KR102434250B1 - 버터플라이형 스로틀밸브 - Google Patents

Abstract

본 발명은 하우징부의 내부에 양측으로 개폐되는 좌측판과 우측판의 인접부분이 서로 겹쳐질 수 있도록 좌측단턱과 우측단턱을 형성하여 인접되는 부분에 틈이 발생되지 않게 하고, 좌측단턱 또는 우측단턱에 내측으로 요입된 패킹홈과 밀폐패킹을 구비하여 밀폐력을 대폭 증가시키는 효과가 있다.

Description

버터플라이형 스로틀밸브 { Butterfly type throttle valve }

본 발명은 버터플라이형 스로틀밸브에 관한 것으로서 보다 상세하게는 스로틀밸브에 사용되는 개폐판의 인접부분에 틈이 발생되지 않도록 서로 안착되는 단턱부가 각각 형성되고, 밀폐력이 증가되도록 단턱부의 일면에 패킹홈과 밀폐패킹이 구비된 버터플라이형 스로틀밸브에 관한 것이다.

일반적으로 버터플라이형 스로틀밸브는 반도체 제조공정중 챔버의 배기라인에 설치되어 관로를 열고 닫음으로서 배기압을 조절하는데 사용된다.

이러한 버터플라이형 스로틀밸브는 가스가 많이 사용되는 일반적인 PVD(PHYSICAL VAPOR DEPOSITION) 방식으로 챔버로 유입된 프러서스 가스 스로틀밸브(PROCESS GAS THROTTLE VALVE)를 통과하여 외부로 배기되는 과정에서 가스조절판을 작동하는데, 상기 가스조절판을 두개의 반원판으로 구성되어 중심회전축을 중심으로 원형판이 90도 회전하면서 밸브를 개폐시키게 되는 것이다.

여기서, 종래의 버터플라이형 스로틀밸브에 관한 기술문헌으로 국내등록실용신안공보 제20-0298331호가 개시되었고, 도 1은 종래의 버터플라이형 스로틀밸브를 도시한 사시도 및 부분단면도이다.

그러나, 종래의 가스조절판이 밀폐된 상태에서 도 1에 도시된 바와 같이 한 쌍의 반원판(P)의 인접부분에 가스(G)가 이동할 수 있는 공간 즉 틈(T)이 존재하여 상기 가스(G)가 면밀히 차단시키지 못하여 스로틀밸브의 효율성을 저하시키는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위해 창작된 것으로 본 발명의 목적은 하우징부의 내부에 양측으로 개폐되는 좌측판과 우측판의 인접부분이 서로 겹쳐질 수 있도록 좌측단턱과 우측단턱을 형성하여 인접되는 부분에 틈이 발생되지 않게 하고, 좌측단턱 또는 우측단턱에 내측으로 요입된 패킹홈과 밀폐패킹을 구비하여 밀폐력을 대폭 증가시키는 버터플라이형 스로틀밸브를 제공함에 있다.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 버터플라이형 스로틀밸브는 한 쌍의 회전축과 이를 구동하는 모터로 이루어진 박스형상의 구동부와, 상기 구동부의 상부에 구비되며 가스의 이동로에 배치되는 링형상의 하우징부로 구성된 버터플라이형 스로틀밸브로서 상기 회전축 중 어느 한 회전축에 연결되며 상기 하우징부의 내부에 구비된 판형상의 좌측판과, 상기 좌측판의 일측면에 형성되며 정해진 거리만큼 단턱진 좌측단턱으로 이루어진 좌측차단부와; 상기 회전축 중 또 다른 회전축에 연결되며 상기 하우징부의 내부에 구비된 판형상의 우측판과, 상기 우측판의 일측면에 형성되며 상기 좌측판과 우측판이 수평으로 회전될 경우 서로 겹쳐지도록 상기 좌측단턱과 대립된 방향으로 단턱진 우측단턱으로 이루어진 우측차단부으로 구성된 것을 특징으로 한다.

상기 좌측단턱 또는 우측단턱 중 어느 하나의 일면에는 내측으로 요입된 패킹홈이 형성되고, 상기 패킹홈에는 상기 좌측단턱과 우측단턱의 밀폐력이 향상되도록 탄성재질의 밀폐패킹이 구비된 것을 특징으로 한다.

상기 패킹홈의 내측면에는 상기 패킹홈으로 삽입된 밀폐패킹의 외주면을 가압하며 고정되도록 내측방향으로 돌출된 가압고정돌기가 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 좌측단턱 또는 우측단턱 중 어느 하나의 바닥면에는 대립되는 방향으로 가압력이 발생되도록 정해진 각도로 절곡된 가압밀착유도부가 형성된 것을 특징으로 한다.

상기 좌측판 또는 우측판의 타측면에는 상기 하우징부의 내측면과 밀착되도록 외측밀폐패킹이 구비된 것을 특징으로 한다.

이와 같이 본 발명에 따른 버터플라이형 스로틀밸브는 효과는 다음과 같다.

첫째, 하우징부의 내부에 양측으로 개폐되는 좌측판과 우측판을 구비하고 상기 좌측판과 우측판의 인접부분이 서로 겹쳐질 수 있는 좌측단턱과 우측단턱을 각각 형성함으로써, 인접되는 부분에 틈이 발생되는 것을 차단할 수 있어 가스가 새어나가는 것을 미연에 방지하고,

둘째, 좌측단턱 또는 우측단턱에 내측으로 요입된 패킹홈과 밀폐패킹을 구비함으로써, 좌측단턱과 우측단턱이 겹쳐질 경우 밀폐력을 대폭 증가시켜 가스차단효율을 향상시킬 수 있으며,

셋째, 패킹홈의 내측면에 내측방향으로 돌출된 가압고정돌기를 형성함으로써, 패킹홈으로 삽입된 밀폐패킹이 이탈되는 것을 방지할 수 있고,

넷째, 좌측단턱 또는 우측단턱에 정해진 각도로 절곡된 가압밀착유도부를 형성함으로써, 좌측단턱과 우측단턱이 겹쳐질 경우 서로를 밀어주는 가압력을 발생시켜 밀폐력을 대폭 증가시킬 수 있으며,

다섯째, 좌측판 또는 우측판의 타측면에 하우징부의 내측면과 밀착되는 외측밀폐패킹을 구비함으로써, 외측으로 새어나가는 가스를 차단할 수 있어 밀폐효율을 향상시킬 있는 효과가 있다.

도 1은 종래의 버터플라이형 스로틀밸브를 나타내 보인 사시도 및 부분단면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 버터플라이형 스로틀밸브를 나타내 보인 사시도 및 부분단면도이며,
도 3은 본 발명에 따른 버터플라이형 스로틀밸브의 동작을 나타내 보인 단면동작도이고,
도 4는 본 발명에 따른 가압고정돌기를 나타내 보인 부분확대 단면도이며,
도 5는 본 발명에 따른 가압밀착유도를 나타내 보인 부분확대 단면도이며,
도 6은 도 2에 도시된 "C"부분을 확대한 도면으로 외측밀폐패킹을 나타내 보인 부분확대 단면도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예를 상세히 설명하면 다음과 같다.

본 발명에 따른 버터플라이형 스로틀밸브는 도 2 내지 도3에 도시된 바와 같이 한 쌍의 회전축(C)과 이를 구동하는 모터로 이루어진 박스형상의 구동부(1)와, 상기 구동부(1)의 상부에 구비되며 가스(G)의 이동로에 배치되는 링형상의 하우징부(2)로 구성된 버터플라이형 스로틀밸브(S)로서 상기 회전축(C) 중 어느 한 회전축(C)에 연결되며 상기 하우징부(2)의 내부에 구비된 판형상의 좌측판(11)과, 상기 좌측판(11)의 일측면에 형성되며 정해진 거리만큼 단턱진 좌측단턱(12)으로 이루어진 좌측차단부(10)와; 상기 회전축(C) 중 또 다른 회전축(C)에 연결되며 상기 하우징부(2)의 내부에 구비된 판형상의 우측판(21)과, 상기 우측판(21)의 일측면에 형성되며 상기 좌측판(11)과 우측판(21)이 수평으로 회전될 경우 서로 겹쳐지도록 상기 좌측단턱(12)과 대립된 방향으로 단턱진 우측단턱(22)으로 이루어진 우측차단부(20)으로 구성된다.

한편, 상기 하우징부(2)의 내주면에는 상기 좌측판(11)과 우측판(21)의 타측면이 하부방향으로 회전되는 것을 차단하는 회전방지차단턱(2a)이 형성되는 것이 바람직하다.

그리고, 상기 좌측단턱(12) 또는 우측단턱(22) 중 어느 하나의 일면에는 도 4에 도시된 바와 같이 내측으로 요입된 패킹홈(31)이 형성되고, 상기 패킹홈(31)에는 상기 좌측단턱(12)과 우측단턱(22)의 밀폐력이 향상되도록 탄성재질의 밀폐패킹(32)이 구비된다.

또한, 상기 패킹홈(31)의 내측면에는 상기 패킹홈(31)으로 삽입된 밀폐패킹(32)의 외주면을 가압하며 고정되도록 내측방향으로 돌출된 가압고정돌기(33)가 형성된다.

그리고, 상기 좌측단턱(12) 또는 우측단턱(22) 중 어느 하나의 바닥면에는 도 5에 도시된 바와 같이 대립되는 방향으로 가압력이 발생되도록 정해진 각도로 절곡된 가압밀착유도부(40)가 형성된다.

또한, 상기 좌측판(11) 또는 우측판(21)의 타측면에는 도 6에 도시된 바와 같이 상기 하우징부(2)의 내측면과 밀착되도록 외측밀폐패킹(50)이 구비된다.

한편, 상기 외측밀폐패킹(50)은 상기 회전방지차단턱(2a)에 밀착되는 면에 내측으로 요입된 홈(미도시)이 형성되어 상기 외측밀폐패킹(50)을 수용시킬 수 있도록 형성되는 것이 바람직하다.

상기와 같은 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 버터플라이형 스로틀밸브의 작용을 살펴보면 다음과 같다.

본 발명에 따른 버터플라이형 스로틀밸브는 도 2 내지 도3에 도시된 바와 같이 한 쌍의 회전축(C)과 이를 구동하는 모터로 이루어진 박스형상의 구동부(1)와, 상기 구동부(1)의 상부에 구비되며 가스(G)의 이동로에 배치되는 링형상의 하우징부(2)로 구성된 버터플라이형 스로틀밸브(S)이다.

여기서, 상기 회전축(C) 중 어느 한 회전축(C)에 연결되며 상기 하우징부(2)의 내부에 구비된 판형상의 좌측판(11)과, 상기 회전축(C) 중 또 다른 회전축(C)에 연결되며 상기 하우징부(2)의 내부에 구비된 판형상의 우측판(21)이 구비됨으로써, 상기 좌측판(11)과 우측판(21)이 수직방향으로 회전될 경우에는 상기 가스(G)를 이동시키고, 수평으로 회전될 경우에는 가스(G)의 이동을 차단하는 구조를 가진다.

여기서, 상기 좌측판(11)의 일측면에 좌측단턱(12)을 형성하고, 우측판(21)의 일측면에 우측단턱(22)을 형성함으로써, 상기 좌측판(11)과 우측판(21)의 접촉되는 부분에 틈이 발생되는 것을 차단할 수 있어 상기 가스(G)가 새어나가는 것을 미연에 방지할 수 있게 된다.

한편, 상기 하우징부(2)의 내주면에는 회전방지차단턱(2a)이 형성됨으로써, 상기 좌측판(11)과 우측판(21)의 타측면이 하부방향으로 회전되는 것을 차단할 수 있게 된다.

그리고, 상기 좌측단턱(12) 또는 우측단턱(22) 중 어느 하나의 일면에 도 4에 도시된 바와 같이 내측으로 요입된 패킹홈(31)과 밀폐패킹(32)을 구비함으로써, 상기 좌측단턱(12)과 우측단턱(22)이 겹쳐질 경우 밀폐력을 대폭 증가시켜 가스차단효율을 향상시킬 수 있게 된다.

또한, 상기 패킹홈(31)의 내측면에 내측방향으로 돌출된 가압고정돌기(33)를 형성함으로써, 상기 패킹홈(31)으로 삽입된 밀폐패킹(32)이 이탈되는 것을 방지하고 용이하게 고정할 수 있게 된다.

그리고, 상기 좌측단턱(12) 또는 우측단턱(22) 중 어느 하나의 바닥면에 도 5에 도시된 바와 같이 대립되는 방향으로 가압력이 발생되도록 정해진 각도로 절곡된 가압밀착유도부(40)를 형성함으로써, 상기 좌측단턱(12)과 우측단턱(22)이 겹쳐질 경우 서로를 밀어주는 가압력을 발생시켜 밀폐력을 대폭 증가시킬 수 있게 된다.

또한, 상기 좌측판(11) 또는 우측판(21)의 타측면에 도 6에 도시된 바와 같이 상기 하우징부(2)의 내측면과 밀착되도록 외측밀폐패킹(50)을 구비함으로써, 외측으로 새어나가는 가스(G) 또한 밀폐시킬 수 있게 된다.

본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호 설명>
C : 회전축 S : 스로틀밸브
G : 가스 1 : 구동부
2 : 하우징부 2a : 회전방지차단턱
10 : 좌측차단부 11 : 좌측판
12 : 좌측단턱 20 : 우측차단부
21 : 우측판 22 : 우측단턱
31 : 패킹홈 32 : 밀폐패킹
33 : 가압고정돌기 40 : 가압밀착유도부
50 : 외측밀폐패킹

Claims (5)

1. 한 쌍의 회전축(C)과 이를 구동하는 모터로 이루어진 박스형상의 구동부(1)와, 상기 구동부(1)의 상부에 구비되며 가스(G)의 이동로에 배치되는 링형상의 하우징부(2)로 구성된 버터플라이형 스로틀밸브(S)에 있어서,
   상기 회전축(C) 중 어느 한 회전축(C)에 연결되며 상기 하우징부(2)의 내부에 구비된 판형상의 좌측판(11)과, 상기 좌측판(11)의 일측면에 형성되며 정해진 거리만큼 단턱진 좌측단턱(12)으로 이루어진 좌측차단부(10)와;
   상기 회전축(C) 중 또 다른 회전축(C)에 연결되며 상기 하우징부(2)의 내부에 구비된 판형상의 우측판(21)과, 상기 우측판(21)의 일측면에 형성되며 상기 좌측판(11)과 우측판(21)이 수평으로 회전될 경우 서로 겹쳐지도록 상기 좌측단턱(12)과 대립된 방향으로 단턱진 우측단턱(22)으로 이루어진 우측차단부(20)으로 구성되고;
   상기 좌측단턱(12) 또는 우측단턱(22) 중 어느 하나의 일면에는 내측으로 요입된 패킹홈(31)이 형성되고, 상기 패킹홈(31)에는 상기 좌측단턱(12)과 우측단턱(22)의 밀폐력이 향상되도록 탄성재질의 밀폐패킹(32)이 구비되며;
   상기 패킹홈(31)의 내측면에는 상기 패킹홈(31)으로 삽입된 밀폐패킹(32)의 외주면을 가압하며 고정되도록 내측방향으로 돌출된 가압고정돌기(33)가 형성되고;
   상기 좌측단턱(12) 또는 우측단턱(22) 중 어느 하나의 바닥면에는 대립되는 방향으로 가압력이 발생되도록 정해진 각도로 절곡된 가압밀착유도부(40)가 형성되며;
   상기 좌측판(11) 또는 우측판(21)의 타측면에는 상기 하우징부(2)의 내측면과 밀착되도록 외측밀폐패킹(50)이 구비된 것을 특징으로 하는 버터플라이형 스로틀밸브.
   
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