KR102429546B1 - 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유도 가열방식의 상향식 선형 증착원을 이용하여 박막 증착을 구현할 수 있도록 구현한 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템에 관한 것으로, 진공 형성되는 밀폐된 내부 공간을 형성하는 케이스부; 상기 케이스부의 내부 공간에 설치되며, 증착 물질을 가열시켜 박막 증착될 증기를 생성하는 가열부; 및 상기 케이스부의 내부 공간에서 상기 가열부에 상측에 설치되며, 상기 가열부로부터 박막 증착될 증기를 전달받아 상측으로 토출시켜 주는 토출부;를 포함한다.

Description

리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템{Linear evaporation source and thin film deposition system having same}

본 발명은 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유도 가열방식의 상향식 선형 증착원을 이용하여 박막 증착을 구현할 수 있도록 구현한 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템에 관한 것이다.

저분자 유기 EL 박막은 저분자 유기 물질을 담은 가열부를 감싼 열선에 전류를 흘려 가열하고 가열부에 전달된 열이 가열부 내의 유기물질의 온도를 상승시키며 유기물질의 온도가 상승됨에 따라 유기물질이 기체의 형태로 가열부를 빠져나가 기판에 증착되는 방식으로 주로 만들어진다. 이러한 열 증착법에 의한 유기 박막의 제작에는 대부분 점 증발원을 사용해왔다.

점 증발원은 기판에 유기물질이 증착됨에 있어 점 증발원에 가까운 기판 부분은 두껍게 박막이 형성되고 먼 기판 부분은 얇게 형성되어 박막이 균일하게 만들어지지 못한다. 따라서, 기판 중심으로부터 먼 곳에 점 증발원을 설치하고 기판을 회전하는 방법을 사용한다. 하지만 이 경우, 증착 챔버의 크기가 커지고 기판을 잡고 회전해야 하며 박막의 균일성도 원하는 만큼 얻지 못하고 있다. 그리고 점 증발원의 용량이 작고 기판 중심에서 먼 곳에 설치되기 때문에 점 증발원으로부터 분출된 유기물질 기체의 대부분은 기판이 아닌 증착 챔버에 증착되어 유기물 사용의 효율성이 현저히 떨어지게 되므로 잦은 유기 물질의 재충전이 필요하거나 증착 챔버에 다수의 점 증발원을 넣어 복잡한 제어를 통해 돌려가며 사용하는 등의 문제가 있다. 게다가 대면적 기판의 경우, 이들 문제가 더욱 심해진다.

증발원은 분사 홀의 개수 및/또는 배열 등에 따라서 점 소스(point source), 선형 증발원(linear source), 그리고 면 증발원(area source) 등으로 구분될 수 있다. 최근에는 기판이 대면적화됨에 따라서 점 소스보다는 선형 증발원이 주목을 받고 있으며, 선형 증발원의 길이는 점차 증가하고 있다. 선형 증발원은 점 소스에 비하여 증착 재료의 효율이 높을 뿐만 아니라 높은 증착 속도의 구현이 가능하기 때문이다. 다만, 선형 증발원은 통상적으로 증발원을 좌우 또는 상하로 스캔하기 위한 스캔 수단이 필요하다. 그리고 선형 증발원은 증착 온도 및 증착 속도의 제어가 어려울 뿐만 아니라 증착 균일성을 얻기가 어려운 단점이 있다. 특히, 대면적의 기판에 대응 할 수 있도록 선형 증발원의 길이가 길어질수록 전체적으로 증착 균일성을 달성하기가 더욱 어려워진다.

또한, 점증발원이나 선형 증발원의 교체시에는 고진공의 진공챔버에서 이루어져야 하므로, 교체 후 다시 고진공으로 배기할 때까지 상당한 시간을 필요로 하게 되어 불합리한 점이 있게 된다. 또한, 점 증발원 또는 선형 증발원 증착 물질을 대량의 수납하는 경우, 증착 물질은 열에 의하여 변성될 수 있다. 빈번한 증착 물질의 교체는 경제적으로 비효율적이다. 따라서, 대용량의 유기물을 수납하고, 유기물 증착을 위한 새로운 구조의 선형 증발 장치가 요구된다.

또한, 유기물 증착 장치는 새도우 마스크(shadow mask)를 사용할 수 있고, 미세 패턴을 위하여 직진성을 가지는 새로운 증발원이 요구된다. 그러나, 통상적인 노즐의 경우, 노즐은 증발원으로부 돌출되어 배치되고, 증기의 직진성을 향상하기 위하여 노즐의 종횡비를 증가시키는 경우, 열전도에 의하여 균일한 노즐의 가열이 어렵다. 따라서, 직진성을 향상하기 위한 새로운 선형 노즐 구조가 요구된다.

또한, 노즐을 가열하기 위한 저항성 가열은 온도 균일성을 유지하기 어렵다. 따라서, 새로운 가열 수단이 요구 된다.

한편, 전술한 배경 기술은 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.

한국등록특허 제10-1060606호(2011.08.31 공고) 한국등록특허 제10-0439948호(2004.07.12 공고)

본 발명의 일측면은 유도 가열방식의 상향식 선형 증착원을 이용하여 박막 증착을 구현할 수 있도록 구현한 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템을 제공한다.

본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템은, 진공 형성되는 밀폐된 내부 공간을 형성하는 케이스부; 상기 케이스부의 내부 공간에 설치되며, 증착 물질을 가열시켜 박막 증착될 증기를 생성하는 가열부; 및 상기 케이스부의 내부 공간에서 상기 가열부에 상측에 설치되며, 상기 가열부로부터 박막 증착될 증기를 전달받아 상측으로 토출시켜 주는 토출부;를 포함한다.

일 실시예에서, 상기 가열부는, 제1 방향으로 연장 형성되어 상기 케이스부의 내부에 배치되며, 증착 물질 수납 공간 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하며, 증착 물질을 가열하여 증기를 생성할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 토출부는, 상기 케이스부의 내부에서 제1 방향을 따라 일정한 길이, 상기 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 일정한 높이, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 일정한 폭을 가지는 직육면체로 형상이며, 복수의 관통 노즐을 포함하고, 도전체 재질로 형성되어 상기 가열부에 장착 설치될 수 있다.

일 실시예에서, 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템은, 상기 케이스부의 내부에서 상기 가열부 및 상기 토출부의 테두리를 따라 감싸도록 배치되며, 교류 전력을 공급받아 발열되어 상기 가열부 및 상기 토출부를 가열시키는 유도 가열 코일;을 더 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 본 발명의 다른 실시예에 따른 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템은, 상기 케이스부의 외측면을 따라 설치되며, 증착 공정이 완료되면 구동되어 상기 케이스부가 냉각될 수 있도록 가열된 상태의 상기 케이스부의 열을 발산시켜 주는 용기 냉각부;를 더 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 용기 냉각부는, 상기 케이스부의 외측면을 따라 좌우 길이 방향으로 연장 형성되는 제1 레일부; 상기 제1 레일부로부터 하측으로 이격되어 상기 제1 레일부와 대향하면서 상기 케이스부의 외측면을 따라 좌우 길이 방향으로 연장 형성되는 제2 레일부; 공기의 유입 및 유출이 용이할 수 있도록 메쉬 형상으로 제작되며, 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 사이의 공간으로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있도록 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 사이의 이격 공간의 전단을 덮고 설치되는 메쉬형 커버; 및 상단이 상기 제1 레일부의 하측에 연결 설치되고, 하단이 상기 제2 레일부의 상측에 연결 설치되며, 상기 메쉬형 커버에 의해 덮여 있는 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 사이의 공간을 따라 이동하면서 상기 케이스부의 외측면으로부터 상기 메쉬형 커버 방향으로 공기의 흐름을 발생시켜 가열된 상태의 상기 케이스부의 열이 상기 메쉬형 커버를 통과한 뒤 발산되도록 유도하는 슬라이딩 발산부;를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 제1 레일부는, 상기 제2 레일부로부터 상측으로 이격되어 상기 케이스부의 외측면을 따라 좌우 길이 방향으로 연장 형성되는 제1 레일 프레임; 상기 슬라이딩 발산부의 상단이 안착되어 이동할 수 있도록 상기 제1 레일 프레임의 하측을 따라 길이 방향으로 연장 형성되는 제1 슬라이딩홈; 및 상기 제1 슬라이딩홈의 상측면을 따라 형성되는 제1 렉기어;를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 제2 레일부는, 상기 제1 레일 프레임으로부터 하측으로 이격되어 상기 케이스부의 외측면을 따라 좌우 길이 방향으로 연장 형성되는 제2 레일 프레임; 상기 슬라이딩 발산부의 하단이 안착되어 이동할 수 있도록 상기 제2 레일 프레임의 상측을 따라 길이 방향으로 연장 형성되는 제2 슬라이딩홈; 및 상기 제2 슬라이딩홈의 하측면을 따라 형성되는 제2 렉기어;를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 슬라이딩 발산부는, 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 사이의 이격 간격에 대응하는 높이로 제작되는 육면체 블록으로 형성되어 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 사이의 공간에 안착되는 슬라이딩 블록; 상기 슬라이딩 블록의 상측에 설치되어 상기 제1 슬라이딩홈에 안착되며, 상기 제1 슬라이딩홈을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩 이동하면서 상기 슬라이딩 블록을 이동시켜 주는 상부 슬라이딩부; 상기 슬라이딩 블록의 하측에 설치되어 상기 제2 슬라이딩홈에 안착되며, 상기 제2 슬라이딩홈을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩 이동하면서 상기 슬라이딩 블록을 이동시켜 주는 하부 슬라이딩부; 원통 형태로 상기 슬라이딩 블록을 전후 방향으로 관통하며 연통 형성되는 공기 이동 통로; 및 상기 공기 이동 통로에 회전 구동이 가능하도록 연결 설치되며, 회전 구동되어 상기 케이스부의 외측면으로부터 상기 메쉬형 커버 방향으로 공기의 흐름을 발생시켜 주는 회전 발산 유닛;을 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 회전 발산 유닛은, 상기 공기 이동 통로의 내경에 대응하는 외경을 형성하는 전후 방향으로 연통 형성되는 원통 형태로 형성되어 상기 공기 이동 통로에 안착되는 회전 원통; 상기 회전 원통의 외측을 따라 연장 설치되며, 외측을 따라 기어산을 형성하는 링형 기어; 상기 회전 원통의 내주면을 따라 전후 방향으로 연장 설치되되, 상기 회전 원통이 회전함에 따라 함께 회전하면서 상기 회전 원통의 내부 공간을 따라 공기의 이동을 유도할 수 있도록 상기 회전 원통의 내주면을 따라 나선형으로 경사지도록 연장 설치되는 유도 블레이드; 및 상기 슬라이딩 블록의 내측에 설치되되, 상기 링형 기어의 기어산에 맞물려 연결 설치되어 상기 회전 원통을 회전 구동시켜 주는 회전 구동 기어;를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 상부 슬라이딩부는, 상기 슬라이딩 블록의 상측에 설치되어 상기 제1 슬라이딩홈에 안착되는 상부 프레임; 및 상기 상부 프레임의 상부에 회전 구동이 가능하도록 연결 설치되되, 상기 상부 프레임의 상측으로 노출되는 상부가 상기 제1 렉기어에 맞물려 연결 설치되며, 정방향 또는 역방향으로 회전 구동되어 상기 슬라이딩 블록을 좌우 방향으로 슬라이딩 이동시켜 주는 적어도 하나 이상의 상부 슬라이딩 기어;를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 상기 하부 슬라이딩부는, 상기 슬라이딩 블록의 하측에 설치되어 상기 제2 슬라이딩홈에 안착되는 하부 프레임; 및 상기 하부 프레임의 하부에 회전 구동이 가능하도록 연결 설치되되, 상기 상부 프레임의 하측으로 노출되는 하부가 상기 제2 렉기어에 맞물려 연결 설치되며, 정방향 또는 역방향으로 회전 구동되어 상기 슬라이딩 블록을 좌우 방향으로 슬라이딩 이동시켜 주는 적어도 하나 이상의 하부 슬라이딩 기어;를 포함할 수 있다.

상술한 본 발명의 일측면에 따르면, 높은 직진성을 가지고 대면적 기판을 균일하게 증착할 수 있고 열 변성없이 대용량의 증착 물질을 수납할 수 있고, 유도 가열 구조 및 블록 형태의 노즐 구조를 채용하여 유도 가열 및 온도 제어가 용이한 유기 발광 소자 박막을 제공하는 효과를 제공할 수 있다.

본 발명의 효과는 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 이하에서 설명할 내용으로부터 통상의 기술자에게 자명한 범위 내에서 다양한 효과들이 포함될 수 있다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템의 개략적인 구성이 도시된 도면들이다.
도 3은 도 2의 가열부를 보여주는 도면이다.
도 4는 도 2의 토출부를 보여주는 도면이다.
도 5 및 도 6은 종래의 점증발원에 의한 증착 시스템을 보여주는 도면들이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템의 개략적인 구성이 도시된 도면이다.
도 8 및 도 9는 도 7의 용기 냉각부를 보여주는 도면들이다.
도 10은 도 8의 슬라이딩 발산부를 보여주는 도면이다.
도 11 및 도 12는 도 10의 회전 발산 유닛을 보여주는 도면들이다.
도 13 내지 도 16은 도 8의 슬라이딩 발산부의 다른 실시예를 보여주는 도면들이다.
도 17은 도 10의 상부 슬라이딩부를 보여주는 도면이다.
도 18은 도 10의 하부 슬라이딩부를 보여주는 도면이다.

후술하는 본 발명에 대한 상세한 설명은, 본 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 예시로서 도시하는 첨부 도면을 참조한다. 이들 실시예는 당업자가 본 발명을 실시할 수 있기에 충분하도록 상세히 설명된다. 본 발명의 다양한 실시예는 서로 다르지만 상호 배타적일 필요는 없음이 이해되어야 한다. 예를 들어, 여기에 기재되어 있는 특정 형상, 구조 및 특성은 일 실시예와 관련하여 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예로 구현될 수 있다. 또한, 각각의 개시된 실시예 내의 개별 구성요소의 위치 또는 배치는 본 발명의 정신 및 범위를 벗어나지 않으면서 변경될 수 있음이 이해되어야 한다. 따라서, 후술하는 상세한 설명은 한정적인 의미로서 취하려는 것이 아니며, 본 발명의 범위는, 적절하게 설명된다면, 그 청구항들이 주장하는 것과 균등한 모든 범위와 더불어 첨부된 청구항에 의해서만 한정된다. 도면에서 유사한 참조부호는 여러 측면에 걸쳐서 동일하거나 유사한 기능을 지칭한다.

이하, 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하기로 한다.

도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템의 개략적인 구성이 도시된 도면들이다.

도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템(10)은, 케이스부(100), 가열부(200) 및 토출부(300)를 포함한다.

케이스부(100)는, 진공 형성되는 밀폐된 내부 공간을 형성한다.

가열부(200)는, 케이스부(100)의 내부 공간에 설치되며, 증착 물질을 가열시켜 박막 증착될 증기를 생성한다.

일 실시예에서, 가열부(200)는, 제1 방향으로 연장 형성되어 케이스부(100)의 내부에 배치되며, 증착 물질 수납 공간 내에 분말 형태의 증착 물질을 수납하며, 증착 물질을 가열하여 증기를 생성할 수 있다.

일 실시예에서, 가열부(200)는, 제1 방향으로 연장되는 증착 물질 수납 공간을 구비하는 가열부 몸체; 증착 물질 수납 공간의 하부면에서 돌출된 돌출부 및 돌출부를 관통하여 관통 노즐과 각각 정렬 되는 가이드 관통홀을 구비하는 증기 가이드부; 증기 가이드부를 덮고 있는 도전 덮개부; 및 도전 덮개부를 덮고 있는 단열 덮개부;를 포함할 수 있다.

일 실시예에서, 증기 가이드부는, 돌출부와 가이드 관통홀을 연통시키는 가이드 개구부를 포함할 수 있다.

토출부(300)는, 케이스부(100)의 내부 공간에서 가열부(200)에 상측에 설치되며, 가열부(200)로부터 박막 증착될 증기를 전달받아 상측으로 토출시켜 준다.

일 실시예에서, 토출부(300)는, 케이스부(100)의 내부에서 제1 방향을 따라 일정한 길이, 제1 방향에 수직한 제2 방향으로 일정한 높이, 및 제1 방향 및 제2 방향에 수직한 제3 방향으로 일정한 폭을 가지는 직육면체로 형상이며, 복수의 관통 노즐(310)을 포함하고, 도전체 재질로 형성되어 가열부(200)에 장착 설치될 수 있다.

일 실시예에서, 복수의 관통 노즐(310)은 가열부(200)의 증착 물질 수납 공간과 서로 연통되고 제2 방향을 따라 각각 형성되고 제1 방향으로 이격되어 서로 나란히 배치되고, 증착 물질 수납 공간의 증기를 토출하고, 관통 노즐은 양의 제2 방향인 중력 방향으로 하향식으로 증기를 토출할 수 있다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템(10)은, 유도 가열 코일(400)을 더 포함할 수 있다.

유도 가열 코일(400)은, 케이스부(100)의 내부에서 가열부(200) 및 토출부(300)의 테두리를 따라 감싸도록 배치되며, 교류 전력(V)을 공급받아 발열되어 가열부(200) 및 토출부(300)를 가열시킬 수 있다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 일 실시예에 따른 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템(10)은, 높은 직진성을 가지고 대면적 기판을 균일하게 증착할 수 있고 열 변성없이 대용량의 증착 물질을 수납할 수 있고, 유도 가열 구조 및 블록 형태의 노즐 구조를 채용하여 유도 가열 및 온도 제어가 용이한 유기 발광 소자 박막을 제공할 수 있다.

도 7은 본 발명의 다른 실시예에 따른 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템의 개략적인 구성이 도시된 도면이다.

도 7을 참조하면, 본 발명의 다른 실시예에 따른 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템(20)은, 케이스부(100), 가열부(200), 토출부(300) 및 용기 냉각부(500를 포함한다.

여기서, 케이스부(100), 가열부(200) 및 토출부(300)는, 도 1의 구성요소와 동일한 구성이므로 설명의 중복을 피하기 위해 그 설명을 생략하기로 한다.

용기 냉각부(500는, 케이스부(100)의 외측면을 따라 설치되며, 증착 공정이 완료되면 구동되어 케이스부(100)가 냉각될 수 있도록 가열된 상태의 케이스부(100)의 열을 발산시켜 준다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 본 발명의 다른 실시예에 따른 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템(20)은, 가열된 상태의 케이스부(100)을 신속하게 냉각시켜 줌으로써, 장비의 가열에 따른 내구성 저하를 감소시켜 줄 수 있다.

도 8 및 도 9는 도 7의 용기 냉각부를 보여주는 도면들이다.

도 8 및 도 9를 참조하면, 용기 냉각부(500)는, 제1 레일부(510), 제2 레일부(520), 메쉬형 커버(530) 및 슬라이딩 발산부(540)를 포함한다.

제1 레일부(510)는, 케이스부(100)의 외측면을 따라 좌우 길이 방향으로 연장 형성된다.

일 실시예에서, 제1 레일부(510)는, 제1 레일 프레임(511), 제1 슬라이딩홈(512) 및 제1 렉기어(513)를 포함할 수 있다.

제1 레일 프레임(511)은, 제2 레일부(520)로부터 상측으로 이격되어 케이스부(100)의 외측면을 따라 좌우 길이 방향으로 연장 형성된다.

제1 슬라이딩홈(512)은, 슬라이딩 발산부(540)의 상단이 안착되어 이동할 수 있도록 제1 레일 프레임(511)의 하측을 따라 길이 방향으로 연장 형성된다.

제1 렉기어(513)는, 제1 슬라이딩홈(512)의 상측면을 따라 형성된다.

제2 레일부(520)는, 제1 레일부(510)로부터 하측으로 이격되어 제1 레일부(510)와 대향하면서 케이스부(100)의 외측면을 따라 좌우 길이 방향으로 연장 형성된다.

일 실시예에서, 제2 레일부(520)는, 제2 레일 프레임(521), 제2 슬라이딩홈(522) 및 제2 렉기어(523)를 포함할 수 있다

제2 레일 프레임(521)은, 제1 레일 프레임(511)으로부터 하측으로 이격되어 케이스부(100)의 외측면을 따라 좌우 길이 방향으로 연장 형성된다.

제2 슬라이딩홈(522)은, 슬라이딩 발산부(540)의 하단이 안착되어 이동할 수 있도록 제2 레일 프레임(521)의 상측을 따라 길이 방향으로 연장 형성된다.

제2 렉기어(523)는, 제2 슬라이딩홈(522)의 하측면을 따라 형성된다.

메쉬형 커버(530)는, 공기의 유입 및 유출이 용이할 수 있도록 메쉬 형상으로 제작되며, 제1 레일부(510)와 제2 레일부(520) 사이의 공간으로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있도록 제1 레일부(510)와 제2 레일부(520) 사이의 이격 공간의 전단을 덮고 설치된다.

슬라이딩 발산부(540)는, 상단이 제1 레일부(510)의 하측에 연결 설치되고, 하단이 제2 레일부(520)의 상측에 연결 설치되며, 메쉬형 커버(530)에 의해 덮여 있는 제1 레일부(510)와 제2 레일부(520) 사이의 공간을 따라 이동하면서 케이스부(100)의 외측면으로부터 메쉬형 커버(530) 방향으로 공기의 흐름을 발생시켜 가열된 상태의 케이스부(100)의 열이 메쉬형 커버(530)를 통과한 뒤 발산되도록 유도한다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 용기 냉각부(500)는, 가열된 상태의 케이스부(100)을 신속하게 냉각시켜 줌으로써, 장비의 가열에 따른 내구성 저하를 감소시켜 줄 수 있다.

도 10은 도 8의 슬라이딩 발산부를 보여주는 도면이다.

도 10을 참조하면, 슬라이딩 발산부(540)는, 슬라이딩 블록(541), 상부 슬라이딩부(542), 하부 슬라이딩부(543), 공기 이동 통로(544) 및 회전 발산 유닛(545)을 포함한다.

슬라이딩 블록(541)은, 제1 레일부(510)와 제2 레일부(520) 사이의 이격 간격에 대응하는 높이로 제작되는 육면체 블록으로 형성되어 제1 레일부(510)와 제2 레일부(520) 사이의 공간에 안착된다.

상부 슬라이딩부(542)는, 슬라이딩 블록(541)의 상측에 설치되어 제1 슬라이딩홈(512)에 안착되며, 제1 슬라이딩홈(512)을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩 이동하면서 슬라이딩 블록(541)을 이동시켜 준다.

하부 슬라이딩부(543)는, 슬라이딩 블록(541)의 하측에 설치되어 제2 슬라이딩홈(522)에 안착되며, 제2 슬라이딩홈(522)을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩 이동하면서 슬라이딩 블록(541)을 이동시켜 준다.

공기 이동 통로(544)는, 원통 형태로 슬라이딩 블록(541)을 전후 방향으로 관통하며 연통 형성된다.

회전 발산 유닛(545)은, 공기 이동 통로(544)에 회전 구동이 가능하도록 연결 설치되며, 회전 구동되어 케이스부(100)의 외측면으로부터 메쉬형 커버(530) 방향으로 공기의 흐름을 발생시켜 준다.

상술한 바와 같은 구성을 가지는 슬라이딩 발산부(540)는, 유도 기류를 발생시켜 냉각 효율성을 향상시켜 줄 수 있다.

도 11 및 도 12는 도 10의 회전 발산 유닛을 보여주는 도면들이다.

도 11 및 도 12를 참조하면, 회전 발산 유닛(545)은, 회전 원통(5451), 링형 기어(5452), 유도 블레이드(5453) 및 회전 구동 기어(5454)를 포함한다.

회전 원통(5451)은, 공기 이동 통로(544)의 내경에 대응하는 외경을 형성하는 전후 방향으로 연통 형성되는 원통 형태로 형성되어 공기 이동 통로(544)에 안착된다.

링형 기어(5452)는, 회전 원통(5451)의 외측을 따라 연장 설치되며, 외측을 따라 기어산을 형성한다.

유도 블레이드(5453)는, 회전 원통(5451)의 내주면을 따라 전후 방향으로 연장 설치되되, 회전 원통(5451)이 회전함에 따라 함께 회전하면서 회전 원통(5451)의 내부 공간을 따라 공기의 이동을 유도할 수 있도록 회전 원통(5451)의 내주면을 따라 나선형으로 경사지도록 연장 설치된다.

회전 구동 기어(5454)는, 슬라이딩 블록(541)의 내측에 설치되되, 링형 기어(5452)의 기어산에 맞물려 연결 설치되어 회전 원통(5451)을 회전 구동시켜 준다.

일 실시예에서, 상부 슬라이딩부(542)는, 상부 프레임(5421) 및 적어도 하나 이상의 상부 슬라이딩 기어(5422)를 포함할 수 있다.

상부 프레임(5421)은, 슬라이딩 블록(541)의 상측에 설치되어 제1 슬라이딩홈(512)에 안착된다.

적어도 하나 이상의 상부 슬라이딩 기어(5422)는, 상부 프레임(5421)의 상부에 회전 구동이 가능하도록 연결 설치되되, 상부 프레임(5421)의 상측으로 노출되는 상부가 제1 렉기어(513)에 맞물려 연결 설치되며, 정방향 또는 역방향으로 회전 구동되어 슬라이딩 블록(541)을 좌우 방향으로 슬라이딩 이동시켜 준다.

일 실시예에서, 하부 슬라이딩부(543)는, 하부 프레임(5431) 및 적어도 하나 이상의 하부 슬라이딩 기어(5432)를 포함할 수 있다.

하부 프레임(5431)은, 슬라이딩 블록(541)의 하측에 설치되어 제2 슬라이딩홈(522)에 안착된다.

적어도 하나 이상의 하부 슬라이딩 기어(5432);는, 하부 프레임(5431)의 하부에 회전 구동이 가능하도록 연결 설치되되, 상부 프레임(5421)의 하측으로 노출되는 하부가 제2 렉기어(523)에 맞물려 연결 설치되며, 정방향 또는 역방향으로 회전 구동되어 슬라이딩 블록(541)을 좌우 방향으로 슬라이딩 이동시켜 준다.

도 13 내지 도 16은 도 8의 슬라이딩 발산부의 다른 실시예를 보여주는 도면들이다.

도 13 내지 도 16을 참조하면 다른 실시예에 따른 슬라이딩 발산부(540a)는, 측면 완충부(546)를 더 포함한다.

측면 완충부(546)는, 슬라이딩 블록(541)의 양측에 설치되어 슬라이딩 블록(541)의 일측 및 타측이 충격이 발생되는 것을 방지할 수 있도록 슬라이딩 블록(541)의 양측을 지지한다.

일 실시예에서, 측면 완충부(546)는, 슬라이딩 블록(541)의 측면에 형성되는 측면 설치홈(5461), 측면 설치홈(5461)에 설치되는 완충 스프링(5462), 및 완충 스프링(5462)에 의해 지지되는 완충 플레이트(5463)을 포함할 수 있다.

상술된 실시예들은 예시를 위한 것이며, 상술된 실시예들이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 상술된 실시예들이 갖는 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 상술된 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.

본 명세서를 통해 보호받고자 하는 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태를 포함하는 것으로 해석되어야 한다.

10, 20: 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템
100: 케이스부
200: 가열부
300: 토출부
400: 유도 가열 코일
500: 용기 냉각부

Claims (2)

1. 진공 형성되는 밀폐된 내부 공간을 형성하는 케이스부;
   상기 케이스부의 내부 공간에 설치되며, 증착 물질을 가열시켜 박막 증착될 증기를 생성하는 가열부;
   상기 케이스부의 내부 공간에서 상기 가열부에 상측에 설치되며, 상기 가열부로부터 박막 증착될 증기를 전달받아 상측으로 토출시켜 주는 토출부; 및
   상기 케이스부의 외측면을 따라 설치되며, 증착 공정이 완료되면 구동되어 상기 케이스부가 냉각될 수 있도록 가열된 상태의 상기 케이스부의 열을 발산시켜 주는 용기 냉각부;를 포함하며,
   상기 용기 냉각부는,
   상기 케이스부의 외측면을 따라 좌우 길이 방향으로 연장 형성되는 제1 레일부;
   상기 제1 레일부로부터 하측으로 이격되어 상기 제1 레일부와 대향하면서 상기 케이스부의 외측면을 따라 좌우 길이 방향으로 연장 형성되는 제2 레일부;
   공기의 유입 및 유출이 용이할 수 있도록 메쉬 형상으로 제작되며, 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 사이의 공간으로 이물질이 유입되는 것을 방지할 수 있도록 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 사이의 이격 공간의 전단을 덮고 설치되는 메쉬형 커버; 및
   상단이 상기 제1 레일부의 하측에 연결 설치되고, 하단이 상기 제2 레일부의 상측에 연결 설치되며, 상기 메쉬형 커버에 의해 덮여 있는 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 사이의 공간을 따라 이동하면서 상기 케이스부의 외측면으로부터 상기 메쉬형 커버 방향으로 공기의 흐름을 발생시켜 가열된 상태의 상기 케이스부의 열이 상기 메쉬형 커버를 통과한 뒤 발산되도록 유도하는 슬라이딩 발산부;를 포함하며,
   상기 제1 레일부는,
   상기 제2 레일부로부터 상측으로 이격되어 상기 케이스부의 외측면을 따라 좌우 길이 방향으로 연장 형성되는 제1 레일 프레임;
   상기 슬라이딩 발산부의 상단이 안착되어 이동할 수 있도록 상기 제1 레일 프레임의 하측을 따라 길이 방향으로 연장 형성되는 제1 슬라이딩홈; 및
   상기 제1 슬라이딩홈의 상측면을 따라 형성되는 제1 렉기어;를 포함하며,
   상기 제2 레일부는,
   상기 제1 레일 프레임으로부터 하측으로 이격되어 상기 케이스부의 외측면을 따라 좌우 길이 방향으로 연장 형성되는 제2 레일 프레임;
   상기 슬라이딩 발산부의 하단이 안착되어 이동할 수 있도록 상기 제2 레일 프레임의 상측을 따라 길이 방향으로 연장 형성되는 제2 슬라이딩홈; 및
   상기 제2 슬라이딩홈의 하측면을 따라 형성되는 제2 렉기어;를 포함하며,
   상기 슬라이딩 발산부는,
   상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 사이의 이격 간격에 대응하는 높이로 제작되는 육면체 블록으로 형성되어 상기 제1 레일부와 상기 제2 레일부 사이의 공간에 안착되는 슬라이딩 블록;
   상기 슬라이딩 블록의 상측에 설치되어 상기 제1 슬라이딩홈에 안착되며, 상기 제1 슬라이딩홈을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩 이동하면서 상기 슬라이딩 블록을 이동시켜 주는 상부 슬라이딩부;
   상기 슬라이딩 블록의 하측에 설치되어 상기 제2 슬라이딩홈에 안착되며, 상기 제2 슬라이딩홈을 따라 좌우 방향으로 슬라이딩 이동하면서 상기 슬라이딩 블록을 이동시켜 주는 하부 슬라이딩부;
   원통 형태로 상기 슬라이딩 블록을 전후 방향으로 관통하며 연통 형성되는 공기 이동 통로; 및
   상기 공기 이동 통로에 회전 구동이 가능하도록 연결 설치되며, 회전 구동되어 상기 케이스부의 외측면으로부터 상기 메쉬형 커버 방향으로 공기의 흐름을 발생시켜 주는 회전 발산 유닛;을 포함하며,
   상기 회전 발산 유닛은,
   상기 공기 이동 통로의 내경에 대응하는 외경을 형성하는 전후 방향으로 연통 형성되는 원통 형태로 형성되어 상기 공기 이동 통로에 안착되는 회전 원통;
   상기 회전 원통의 외측을 따라 연장 설치되며, 외측을 따라 기어산을 형성하는 링형 기어;
   상기 회전 원통의 내주면을 따라 전후 방향으로 연장 설치되되, 상기 회전 원통이 회전함에 따라 함께 회전하면서 상기 회전 원통의 내부 공간을 따라 공기의 이동을 유도할 수 있도록 상기 회전 원통의 내주면을 따라 나선형으로 경사지도록 연장 설치되는 유도 블레이드; 및
   상기 슬라이딩 블록의 내측에 설치되되, 상기 링형 기어의 기어산에 맞물려 연결 설치되어 상기 회전 원통을 회전 구동시켜 주는 회전 구동 기어;를 포함하며,
   상기 상부 슬라이딩부는,
   상기 슬라이딩 블록의 상측에 설치되어 상기 제1 슬라이딩홈에 안착되는 상부 프레임; 및
   상기 상부 프레임의 상부에 회전 구동이 가능하도록 연결 설치되되, 상기 상부 프레임의 상측으로 노출되는 상부가 상기 제1 렉기어에 맞물려 연결 설치되며, 정방향 또는 역방향으로 회전 구동되어 상기 슬라이딩 블록을 좌우 방향으로 슬라이딩 이동시켜 주는 적어도 하나 이상의 상부 슬라이딩 기어;를 포함하며,
   상기 하부 슬라이딩부는,
   상기 슬라이딩 블록의 하측에 설치되어 상기 제2 슬라이딩홈에 안착되는 하부 프레임; 및
   상기 하부 프레임의 하부에 회전 구동이 가능하도록 연결 설치되, 상기 상부 프레임의 하측으로 노출되는 하부가 상기 제2 렉기어에 맞물려 연결 설치되며, 정방향 또는 역방향으로 회전 구동되어 상기 슬라이딩 블록을 좌우 방향으로 슬라이딩 이동시켜 주는 적어도 하나 이상의 하부 슬라이딩 기어;를 포함하는, 리니어 증발 소스를 구비한 박막 증착 시스템.
   
2. 삭제

Images