KR102426445B1 - Mask Stretcher - Google Patents

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KR102426445B1 KR1020170142669A KR20170142669A KR102426445B1 KR 102426445 B1 KR102426445 B1 KR 102426445B1 KR 1020170142669 A KR1020170142669 A KR 1020170142669A KR 20170142669 A KR20170142669 A KR 20170142669A KR 102426445 B1 KR102426445 B1 KR 102426445B1
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temperature sensor
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이승훈
강훈석
박명주
이영진
조한결
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엘지전자 주식회사
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Abstract

본 발명은 챔버 바디와; 챔버 바디 내부에 배치되고 상부에 갠트리 가이드가 구비된 선반과; 선반에 배치되고 마스크가 안착되는 마스크 스테이지와; 선반에 배치되고 프레임이 안착되는 프레임 스테이지와; 마스크를 인장하는 그리퍼와; 갠트리 가이드를 따라 이동되는 갠트리와; 갠트리에 설치된 광학모듈과; 광학모듈의 일부를 감싸고 광학모듈이 관통되는 광학모듈 관통공이 형성된 광학모듈 커버를 포함하여, 광학모듈의 열이 마스크로 전달되는 것을 최소화하여 마스크의 정밀도를 높일 수 있는 이점이 있다. The present invention includes a chamber body; a shelf disposed inside the chamber body and provided with a gantry guide thereon; a mask stage disposed on a shelf and on which a mask is seated; a frame stage disposed on a shelf and on which the frame is seated; a gripper for tensioning the mask; a gantry moving along the gantry guide; an optical module installed on the gantry; Including an optical module cover that surrounds a part of the optical module and has an optical module through hole through which the optical module passes, there is an advantage in that the heat of the optical module is minimized from being transferred to the mask, thereby increasing the precision of the mask.

Description

마스크 인장기{Mask Stretcher}Mask Stretcher

본 발명은 마스크 인장기에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판에 막을 증착시킬 때 사용하는 마스크를 인장시키는 마스크 인장기에 관한 것이다.The present invention relates to a mask tensioner, and more particularly, to a mask tensioner for tensioning a mask used when depositing a film on a substrate.

디스플레이 장치는 정보를 문자, 그래프 또는 도형으로 시각적으로 표시하는 장치로서, 액정표시장치(LCD)나 플라즈마 표시장치(PDP)나 유기발광다이오드(OLED) 등의 표시장치일 수 있다. A display device is a device that visually displays information in characters, graphs, or figures, and may be a display device such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP), or an organic light emitting diode (OLED).

디스플레이 장치 중 유기발광다이오드(OLED: Organic Light Emitting Display)는 스스로 발광할 수 있고 액정표시장치와 달리 별도의 광원을 필요로 하지 않기 때문에, 점차 증가되는 추세이다.Among display devices, organic light emitting diodes (OLEDs) are gradually increasing because they can emit light by themselves and do not require a separate light source unlike liquid crystal displays.

유기발광다이오드를 제조하는 공정은 유기발광 다이오드가 형성되는 기판에 보호막 등의 막을 증착하는 증착공정을 포함할 수 있고, 이러한 증착공정을 위해 마스크를 인장하여 마스크 프레임에 부착하는 마스크 인장기(Mask Stretcher)가 사용될 수 있다. The process of manufacturing the organic light emitting diode may include a deposition process of depositing a film such as a protective film on a substrate on which the organic light emitting diode is formed. ) can be used.

마스크 인장기는 유기재료의 증착공정 준비단계에서 마스크를 처짐없이 정확한 위치에 인장하여 프레임에 부착할 수 있고, 광학모듈을 이용하여 마스크를 정밀하게 측정하는 것이 바람직하다. The mask tensioner can be attached to the frame by tensioning the mask at the correct position without sagging in the preparation stage of the deposition process of the organic material, and it is preferable to precisely measure the mask using an optical module.

마스크 인장기는 마스크를 비젼 측정하는 광학모듈을 더 포함할 수 있고, 이 경우 광학모듈은 마스크의 주변에서 마스크를 비젼 측정할 수 있다. The mask tensioner may further include an optical module for vision-measuring the mask, and in this case, the optical module may vision-measure the mask around the mask.

대한민국 공개특허공보 10-2013-0043538 A (2013년04월30일 공개)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2013-0043538 A (published on April 30, 2013) 대한민국 공개특허공보 10-2015-0006247 A (2015년01월16일 공개)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2015-0006247 A (published on January 16, 2015)

본 발명은 광학모듈의 열이 마스크로 전달되는 것을 최소화하여 마스크의 정밀도를 높일 수 있는 마스크 인장기를 제공하는데 그 목적이 있다.An object of the present invention is to provide a mask tensioner capable of increasing the precision of a mask by minimizing the transfer of heat from an optical module to the mask.

본 발명의 일 실시 예에 따른 마스크 인장기는 챔버 바디와; 챔버 바디 내부에 배치되고 상부에 갠트리 가이드가 구비된 선반과; 선반에 배치되고 마스크가 안착되는 마스크 스테이지와; 선반에 배치되고 프레임이 안착되는 프레임 스테이지와; 마스크를 잡고 마스크를 이동 및 인장하는 그리퍼와; 갠트리 가이드를 따라 이동되는 갠트리와; 갠트리에 설치된 광학모듈과; 광학모듈의 일부를 감싸고 광학모듈이 관통되는 광학모듈 관통공이 형성된 광학모듈 커버를 포함할 수 있다. A mask tensioner according to an embodiment of the present invention includes: a chamber body; a shelf disposed inside the chamber body and provided with a gantry guide thereon; a mask stage disposed on a shelf and on which a mask is seated; a frame stage disposed on a shelf and on which the frame is seated; a gripper holding the mask and moving and tensioning the mask; a gantry moving along the gantry guide; an optical module installed on the gantry; It may include an optical module cover that surrounds a part of the optical module and has an optical module through hole through which the optical module passes.

광학모듈 커버에는 공기를 외부로 배기하는 배기구가 형성될 수 있다. 배기구는 마스크를 향하지 않는 방향으로 개방될 수 있다.An exhaust port for exhausting air to the outside may be formed in the optical module cover. The exhaust port may be open in a direction not facing the mask.

마스크 인장기는 광학모듈 커버에 배치되어 배기구로 에어를 송풍하는 광학모듈 팬을 더 포함할 수 있다. The mask tensioner may further include an optical module fan disposed on the optical module cover to blow air through the exhaust port.

마스크 인장기는 광학모듈 커버의 내부에 배치된 광학모듈 온도센서를 더 포함할 수 있다. The mask tensioner may further include an optical module temperature sensor disposed inside the optical module cover.

마스크 인장기는 광학모듈 온도센서에서 감지된 온도에 따라 광학모듈 팬을 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다. The mask tensioner may further include a controller for controlling the optical module fan according to the temperature sensed by the optical module temperature sensor.

마스크 인장기는 챔버 바디의 상부에 설치된 팬유닛과; 팬유닛의 온도를 측정하는 팬유닛 온도센서와; 팬유닛 온도센서를 감싸고 팬유닛 온도센서와 이격된 팬유닛 온도센서 커버를 더 포함할 수 있다. The mask tensioner includes a fan unit installed on the upper part of the chamber body; a fan unit temperature sensor for measuring the temperature of the fan unit; It may further include a fan unit temperature sensor cover surrounding the fan unit temperature sensor and spaced apart from the fan unit temperature sensor.

마스크 인장기는 챔버 바디의 내부에 갠트리 및 광학모듈 커버를 마주보게 배치된 단열벽을 더 포함할 수 있다. The mask tensioner may further include an insulating wall disposed to face the gantry and the optical module cover inside the chamber body.

갠트리에는 갠트리 가이드로 에어를 분사하는 에어 통로가 형성될 수 있고, 에어통로는 에어 공급기에 연결될 수 있다.An air passage for spraying air to the gantry guide may be formed in the gantry, and the air passage may be connected to an air supply unit.

마스크 인장기는 에어통로를 통해 갠트리 가이드로 공급되는 에어의 온도가 일정하게 에어 공급기를 제어하는 에어공급기 제어부를 더 포함할 수 있다.The mask tensioner may further include an air supply control unit for controlling the air supply unit so that the temperature of the air supplied to the gantry guide through the air passage is constant.

본 발명의 실시 예에 따르면, 광학모듈에서 발생된 열이 마스크로 전달되는 것을 최소화하여 마스크의 정밀도를 높일 수 있는 이점이 있다. According to an embodiment of the present invention, there is an advantage in that it is possible to increase the precision of the mask by minimizing the transfer of heat generated by the optical module to the mask.

또한, 광학모듈 커버에 형성된 배기구를 통해 광학모듈 커버 내부의 공기가 배기될 수 있어, 광학모듈의 승온을 최소화할 수 있고, 광학모듈 커버의 내부에서 배기구를 통해 배기된 공기가 마스크로 유동되는 것을 최소화할 수 있어, 신뢰성이 높은 이점이 있다.In addition, the air inside the optical module cover can be exhausted through the exhaust port formed in the optical module cover, so that the temperature increase of the optical module can be minimized, and the air exhausted through the exhaust port inside the optical module cover flows to the mask. It can be minimized, so there is an advantage of high reliability.

또한, 광학모듈 커버의 내부에 광학모듈 온도센서가 배치되어 광학모듈 커버 내부 온도를 정밀하게 모니터링 할 수 있는 이점이 있다.In addition, the optical module temperature sensor is disposed inside the optical module cover, there is an advantage that can precisely monitor the temperature inside the optical module cover.

또한, 제어부가 광학모듈 온도센서에서 감지된 온도에 따라 광학모듈 팬을 제어하여, 광학모듈 커버 내부 온도에 따른 피드백 제어가 가능하고, 광학모듈의 온도를 신뢰성 높게 관리할 수 있는 이점이 있다.In addition, the controller controls the optical module fan according to the temperature sensed by the optical module temperature sensor, thereby enabling feedback control according to the internal temperature of the optical module cover, and there is an advantage in that the temperature of the optical module can be managed with high reliability.

또한, 팬유닛 온도센서의 하부에서 상승된 에어에 의한 팬유닛 온도센서의 온도 상승을 최소화할 수 있고, 팬유닛 온도센서가 주변 에어에 의해 영향받지 않고 팬 유닛의 온도를 정밀하게 측정할 수 있고, 팬유닛의 피드백 제어의 정확성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.In addition, it is possible to minimize the temperature rise of the fan unit temperature sensor due to the air rising from the lower part of the fan unit temperature sensor, and the fan unit temperature sensor can precisely measure the temperature of the fan unit without being affected by ambient air. , there is an advantage in that the accuracy of the feedback control of the fan unit can be improved.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 인장기의 내부가 도시된 측면도,
도 2는 도 1에 도시된 인장기 모듈이 도시된 사시도,
도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 갠트리와, 광학모듈과, 광학모듈 커버가 함께 도시된 단면도,
도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 팬 유닛과, 팬유닛 온도센서와, 팬유닛 온도센서 커버가 함께 도시된 단면도,
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 인장기의 제어 블록도이다.1 is a side view showing the inside of a mask tensioner according to an embodiment of the present invention;
Figure 2 is a perspective view showing the tensioner module shown in Figure 1;
3 is a cross-sectional view showing a gantry, an optical module, and an optical module cover according to an embodiment of the present invention;
4 is a cross-sectional view showing a fan unit, a fan unit temperature sensor, and a fan unit temperature sensor cover according to an embodiment of the present invention;
5 is a control block diagram of a mask tensioner according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 본 발명의 구체적인 실시 예를 도면과 함께 상세히 설명하도록 한다. Hereinafter, specific embodiments of the present invention will be described in detail with drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예에 따른 마스크 인장기의 내부가 도시된 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 인장기 모듈이 도시된 사시도이며, 도 3은 본 발명의 실시 예에 따른 갠트리와, 광학모듈과, 광학모듈 커버가 함께 도시된 단면도이다.1 is a side view showing the inside of a mask tensioner according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view showing the tensioner module shown in FIG. 1, and FIG. 3 is a gantry and a gantry according to an embodiment of the present invention , an optical module and a cross-sectional view showing the optical module cover together.

마스크 인장기는 챔버 바디(1)와, 팬유닛(2)과, 인장기 모듈(3)을 포함할 수 있다. The mask tensioner may include a chamber body 1 , a fan unit 2 , and a tensioner module 3 .

챔버 바디(1)는 마스크 인장기의 외관을 형성할 수 있다. 챔버 바디(1)은 팬 유닛(2)을 지지할 수 있고, 인장기 모듈(3)을 보호할 수 있다.The chamber body 1 may form the appearance of a mask tensioner. The chamber body 1 may support the fan unit 2 and protect the tensioner module 3 .

챔버 바디(1)는 로어 챔버 바디(11)와, 로어 챔버 바디(11)의 상부에 배치된 어퍼 챔버 바디(12)를 포함할 수 있다.The chamber body 1 may include a lower chamber body 11 and an upper chamber body 12 disposed on the lower chamber body 11 .

로어 챔버 바디(11)에는 인장기 모듈(3)이 수용되는 로어 공간(S1)이 형성될 수 있다. A lower space S1 in which the tensioner module 3 is accommodated may be formed in the lower chamber body 11 .

어퍼 챔버 바디(12)에는 팬유닛(2)이 배치되는 항온 챔버(S2)가 형성될 수 있다. A constant temperature chamber S2 in which the fan unit 2 is disposed may be formed in the upper chamber body 12 .

팬유닛(2)은 챔버 바디(1)에 설치될 수 있고, 챔버 바디(1) 내부의 공기를 흡인하여 챔버 바디(1) 외부로 배출할 수 있다. The fan unit 2 may be installed in the chamber body 1 , and may suck air inside the chamber body 1 and discharge it to the outside of the chamber body 1 .

팬유닛(2)은 챔버 바디(1)의 상부에 설치될 수 있다. 팬유닛(2)은 FFU(Fan Filter Unit)이나 EFU(Exhaust Fan Unit) 등과 같이, 챔버 바디(1) 내측의 오염 공기를 외부로 송풍하는 기기일 수 있고, EFU일 수 있다.The fan unit 2 may be installed on the chamber body 1 . The fan unit 2 may be a device that blows the contaminated air inside the chamber body 1 to the outside, such as a Fan Filter Unit (FFU) or an Exhaust Fan Unit (EFU), and may be an EFU.

팬유닛(2)은 인장기 모듈(3)의 상측에 위치되게 챔버 바디(1)에 설치될 수 있다. 팬유닛(2)은 인장기 모듈(3)의 상측에 위치된 상태에서, 챔버 바디(1) 내부의 공기를 흡입한 후, 외부로 배기할 수 있다. The fan unit 2 may be installed in the chamber body 1 to be positioned above the tensioner module 3 . While the fan unit 2 is positioned above the tensioner module 3 , the fan unit 2 may suck in air inside the chamber body 1 and then exhaust it to the outside.

팬유닛(2)은 그 하측의 공기를 상측방향으로 흡입하게 설치될 수 있다. 팬유닛(2)은 저면에 공기흡입구(21)가 형성될 수 있다. 팬유닛(2)은 공기를 배기하는 배기덕트(22)와 연결될 수 있고, 배기덕트(22)를 통해 공기를 챔버 바디(1) 외부로 배기할 수 있다. The fan unit 2 may be installed to suck the air on its lower side in an upward direction. The fan unit 2 may have an air intake 21 formed on its bottom surface. The fan unit 2 may be connected to an exhaust duct 22 for exhausting air, and may exhaust air to the outside of the chamber body 1 through the exhaust duct 22 .

인장기 모듈(3)은 챔버 바디(1) 내부에 구비될 수 있고, 마스크를 인장시킬 수 있다. 인장기 모듈(3)은 마스크를 인장하여 마스크 프레임에 부착할 수 있다. The tensioner module 3 may be provided inside the chamber body 1 and may tension the mask. The tensioner module 3 may tension the mask and attach it to the mask frame.

인장기 모듈(3)의 마스크는 마스크는 유기발광다이오드(OLED) 제조시 기판에 막을 증착시킬 때 사용하는 마스크일 수 있고, 유기발광다이오드 마스크일 수 있다. 이러한 마스크는 증착기에서 발생된 증착물질이 통과하는 증착 패턴이 형성된 마스크일 수 있고, 인장기 모듈(3)에 의해 마스크 프레임에 부착될 수 있다. The mask of the tensioner module 3 may be a mask used when depositing a film on a substrate when manufacturing an organic light emitting diode (OLED), or may be an organic light emitting diode mask. Such a mask may be a mask having a deposition pattern through which a deposition material generated in the deposition machine passes, and may be attached to the mask frame by the tensioner module 3 .

인장기 모듈(3)에 의해 부착된 마스크와 마스크 프레임은 증착기(미도시)로 이동될 수 있고, 증착기(미도시)에서 유기발광다이오드 제작에 이용될 수 있다. The mask and the mask frame attached by the tensioner module 3 may be moved to an evaporator (not shown), and may be used for manufacturing an organic light emitting diode in the evaporator (not shown).

인장기 모듈(3)은 마스크를 이동 및 인장시킬 수 있고, 마스크(M)를 마스크 프레임(미도시)에 부착시킬 수 있다. 마스크 프레임은 마스크를 지지할 수 있다. The tensioner module 3 may move and tension the mask, and may attach the mask M to a mask frame (not shown). The mask frame may support the mask.

이하, 인장기 모듈(3)의 상세 구성에 대해 설명한다.Hereinafter, a detailed configuration of the tensioner module 3 will be described.

인장기 모듈(3)은 챔버 바디(1) 내부에 배치된 선반(30)을 포함할 수 있다. The tensioner module 3 may include a shelf 30 disposed inside the chamber body 1 .

선반(30)은 마스크를 마스크 프레임에 부착하는 작업공간을 형성할 수 있다.The shelf 30 may form a working space for attaching the mask to the mask frame.

선반(30)은 후술하는 갠트리(70)를 안내하는 갠트리 가이드(32)가 구비될 수 있다. 갠트리 가이드(32)은 선반(30)의 상부에 구비될 수 있고, 갠트리(70)는 갠트리 가이드(32)를 따라 수평 방향으로 이동될 수 있다. The shelf 30 may be provided with a gantry guide 32 for guiding the gantry 70 to be described later. The gantry guide 32 may be provided on the shelf 30 , and the gantry 70 may be horizontally moved along the gantry guide 32 .

인장기 모듈(3)은 마스크가 안착되는 마스크 스테이지(40)를 더 포함할 수 있다. 마스크 스테이지(40)는 선반(30)에 배치될 수 있다. The tensioner module 3 may further include a mask stage 40 on which a mask is mounted. The mask stage 40 may be disposed on the shelf 30 .

인장기 모듈(3)은 마스크 프레임이 안착되는 프레임 스테이지(50)을 더 포함할 수 있다. 프레임 스테이지(50)는 선반(30)에 배치될 수 있다. The tensioner module 3 may further include a frame stage 50 on which the mask frame is mounted. The frame stage 50 may be disposed on the shelf 30 .

인장기 모듈(3)은 마스크를 잡고 마스크를 이동 및 인장하는 그리퍼(60)를 더 포함할 수 있다. 그리퍼(60)는 마스크 스테이지(40)에 안착된 마스크를 잡고, 마스크를 프레임 스테이지(50) 상측으로 이동시킬 수 있고, 프레임 스테이지(50)에 놓여진 마스크 프레임에 마스크를 안착시킬 수 있다. The tensioner module 3 may further include a gripper 60 for holding the mask and moving and tensioning the mask. The gripper 60 may hold the mask seated on the mask stage 40 , move the mask upward on the frame stage 50 , and may seat the mask on the mask frame placed on the frame stage 50 .

그리퍼(60)는 선반(30)에 한 쌍 구비될 수 있고, 한 쌍의 그리퍼(60)는 마스크의 양측을 잡고 이동 및 인장시킬 수 있다.A pair of grippers 60 may be provided on the shelf 30 , and the pair of grippers 60 may grip both sides of the mask to move and tension the mask.

그리퍼(60)는 마스크 스테이지(40)에 안착된 마스크를 마스크 프레임에 얼라인시킬 수 있고, 후술하는 광학모듈(80)에서 측정된 데이터를 기초로 마스크를 마스크 프레임에 정밀하게 얼라인할 수 있다. The gripper 60 may align the mask seated on the mask stage 40 to the mask frame, and may precisely align the mask to the mask frame based on data measured by the optical module 80 to be described later. .

갠트리(70)는 갠트리 가이드(32)를 따라 이동할 수 있다. 갠트리(70)를 갠트리 가이드(32)를 따라 수평 방향으로 이동될 수 있다. The gantry 70 may move along the gantry guide 32 . The gantry 70 may be moved in a horizontal direction along the gantry guide 32 .

인장기 모듈(3)은 갠트리(70)를 이동시키는 갠트리 이동기구를 포함할 수 있다. 갠트리 이동기구는 갠트리를 이동시키는 갠트리 이동모터(34)를 포함할 수 있다. 갠트리 이동모터(34)는 갠트리(70)에 연결되어 갠트리(70)를 직선 이동시키는 리니어 모터를 포함할 수 있다. 갠트리 이동기구는 갠트리를 이동시키는 서보모터 등의 회전 모터와, 회전 모터 및 갠트리에 연결되어 갠트리를 이동시키는 동력전달부재를 포함하는 것도 가능하다. The tensioner module 3 may include a gantry moving mechanism for moving the gantry 70 . The gantry movement mechanism may include a gantry movement motor 34 for moving the gantry. The gantry movement motor 34 may include a linear motor connected to the gantry 70 to linearly move the gantry 70 . The gantry moving mechanism may include a rotation motor such as a servo motor for moving the gantry, and a power transmission member connected to the rotation motor and the gantry to move the gantry.

갠트리(70)는 에어 베어링 등의 가스 베어링에 의해 온도 조절될 수 있다. The gantry 70 may be temperature-controlled by a gas bearing such as an air bearing.

갠트리(70)에는 갠트리 가이드(32)로 에어를 분사하는 에어 통로가 형성될 수 있다. An air passage for spraying air to the gantry guide 32 may be formed in the gantry 70 .

마스크 인장기는 갠트리(70)의 에어 통로에 연결된 에어 공급기(140, 도 5 참조)를 더 포함할 수 있다. 에어 공급기(140)에서 에어 통로로 공급된 에어는 갠트리(70) 및 갠트리 가이드(32)의 열 변형을 최소화할 수 있다. The mask tensioner may further include an air supply 140 (refer to FIG. 5 ) connected to the air passage of the gantry 70 . The air supplied to the air passage from the air supply 140 may minimize thermal deformation of the gantry 70 and the gantry guide 32 .

한편, 인장기 모듈(3)은 마스크의 비젼을 촬영하기 위한 광학모듈(80)을 포함할 수 있다. Meanwhile, the tensioner module 3 may include an optical module 80 for capturing the vision of the mask.

광학모듈(80)은 갠트리(70)에 배치될 수 있다. 광학모듈(70)은 갠트리(70)에 수평 방향으로 이동 가능하게 배치될 수 있다. 갠트리(70)에는 광학모듈(70)을 이동시키는 광학모듈 이동기구를 포함할 수 있다.The optical module 80 may be disposed on the gantry 70 . The optical module 70 may be arranged to be movable in a horizontal direction on the gantry 70 . The gantry 70 may include an optical module moving mechanism for moving the optical module 70 .

광학모듈 이동기구는 갠트리(79)에 설치되어 광학모듈(80)를 이동시키는 리니어 모터 등의 광학모듈 이동모터(82)를 포함할 수 있다. The optical module moving mechanism may include an optical module moving motor 82 such as a linear motor installed on the gantry 79 to move the optical module 80 .

모터(72)가 설치될 수 있다. A motor 72 may be installed.

광학모듈(80)는 갠트리(70)의 이동시 마스크의 상측으로 이동될 수 있고, 마스크의 상측 위치에서 마스크의 비젼을 확보할 수 있다. The optical module 80 may be moved upwards of the mask when the gantry 70 is moved, and the vision of the mask may be secured at a position above the mask.

인장기 모듈(3)은 광학모듈 커버(90)를 포함할 수 있다. The tensioner module 3 may include an optical module cover 90 .

광학모듈 커버(90)는 광학모듈(80)의 일부를 감싸고 광학모듈(80)이 관통되는 광학모듈 관통공(92)이 형성될 수 있다. The optical module cover 90 surrounds a part of the optical module 80 and an optical module through-hole 92 through which the optical module 80 passes may be formed.

광학모듈 커버(90)는 광학모듈(80) 중 열이 상대적으로 많이 발생되는 영역을 감쌀 수 있다. 광학모듈(80)은 그 작동을 위한 소자나 광학모듈(80)을 이동시키는 모터 등의 열원(81)을 포함할 수 있고, 광학모듈 커버(90)는 광학모듈(80) 중 열원(81)이 위치하는 영역을 둘러싸게 배치될 수 있다. The optical module cover 90 may cover an area in the optical module 80 in which a relatively large amount of heat is generated. The optical module 80 may include a heat source 81 such as an element for its operation or a motor for moving the optical module 80 , and the optical module cover 90 is a heat source 81 of the optical module 80 . It may be arranged to surround the area in which it is located.

이러한, 광학모듈 커버(90)는 광학 모듈(80)의 온도에 의한 광학모듈(80)의 위치 변동을 극소화하고 광학 모듈(80)의 열이 마스크로 전달되지 않게 막을 수 있다.The optical module cover 90 can minimize the position change of the optical module 80 due to the temperature of the optical module 80 and prevent the heat of the optical module 80 from being transferred to the mask.

광학모듈 커버(90)에는 공기를 외부로 배기하는 배기구(94)가 형성될 수 있다. 배기구(94)는 마스크를 향하지 않는 방향으로 개방될 수 있다. 배기구(94)는 광학모듈 커버(90)에 수평 방향으로 개방되게 형성될 수 있다. 광학모듈 커버(90)는 광학모듈 커버(90) 외부의 공기가 광학모듈 커버(90) 내부로 흡입되는 흡기구(95)가 형성될 수 있다. An exhaust port 94 for exhausting air to the outside may be formed in the optical module cover 90 . The exhaust port 94 may be opened in a direction not facing the mask. The exhaust port 94 may be formed to be horizontally open to the optical module cover 90 . The optical module cover 90 may have an intake port 95 through which air outside the optical module cover 90 is sucked into the optical module cover 90 .

인장기 모듈(3)은 광학모듈 커버(90)에 배치되어 배기구(94)로 에어를 송풍하는 광학모듈 팬(96)을 더 포함할 수 있다. The tensioner module 3 may further include an optical module fan 96 disposed on the optical module cover 90 to blow air to the exhaust port 94 .

인장기 모듈(3)은 광학모듈 커버(90)의 내부에 배치된 광학모듈 온도센서(98) 를 더 포함할 수 있다. The tensioner module 3 may further include an optical module temperature sensor 98 disposed inside the optical module cover 90 .

인장기 모듈(3)은 마스크 스테이지 또는 프레임 스테이지를 구동하는 하부 구동유닛과, 하부 구동유닛을 감싸는 구동유닛 커버를 더 포함할 수 있다. The tensioner module 3 may further include a lower driving unit for driving the mask stage or the frame stage, and a driving unit cover surrounding the lower driving unit.

한편, 마스크 인장기는 단열벽(120)을 더 포함할 수 있다. 단열벽(120)은 팬유닛(2)의 기류가 외기의 온도변동으로 인해 받는 영향을 최소화할 수 있는 위치에 설치되는 것이 바람직하다.Meanwhile, the mask tensioner may further include an insulating wall 120 . The insulating wall 120 is preferably installed at a position that can minimize the influence of the airflow of the fan unit 2 due to the temperature fluctuation of the outside air.

단열벽(120)은 도 1에 도시된 바와 같이, 챔버 바디(1)의 내부에 갠트리(70) 및 광학모듈 커버(90)를 마주보게 배치될 수 있다. As shown in FIG. 1 , the insulating wall 120 may be disposed to face the gantry 70 and the optical module cover 90 inside the chamber body 1 .

도 4는 본 발명의 실시 예에 따른 팬 유닛과, 팬유닛 온도센서와, 팬유닛 온도센서 커버가 함께 도시된 단면도이다. 4 is a cross-sectional view illustrating a fan unit, a fan unit temperature sensor, and a fan unit temperature sensor cover according to an embodiment of the present invention.

마스크 인장기는 팬유닛(2)의 온도를 측정하는 팬유닛 온도센서(22)와; 팬유닛 온도센서(22)의 하면 및 둘레면을 감싸는 팬유닛 온도센서 커버(24)를 더 포함할 수 있다. The mask tensioner includes a fan unit temperature sensor 22 for measuring the temperature of the fan unit 2; The fan unit temperature sensor cover 24 may further include a lower surface and a peripheral surface of the fan unit temperature sensor 22 .

팬유닛 온도센서(22)는 챔버 바디(1) 내부의 온도에 의해 영향받지 않고 팬유닛(2)의 온도를 측정하는 것이 바람직하고, 팬유닛 온도센서 커버(24)는 챔버 바디(1) 내부에서 유동되는 공기가 팬유닛 온도센서(22)에 접촉되지 않게 막을 수 있다. The fan unit temperature sensor 22 preferably measures the temperature of the fan unit 2 without being affected by the temperature inside the chamber body 1 , and the fan unit temperature sensor cover 24 is located inside the chamber body 1 . It can prevent the air flowing in the fan unit from contacting the temperature sensor 22 .

팬유닛 온도센서(22)는 팬유닛(2)과 접촉되게 설치되어 팬유닛(2)의 온도를 측정하는 접촉식 온도센서로 구성되는 것이 가능하고, 팬유닛(2)과 비접촉식으로 설치된 비접촉식 온도센서로 구성되는 것이 가능하다. The fan unit temperature sensor 22 may be installed in contact with the fan unit 2 and configured as a contact temperature sensor for measuring the temperature of the fan unit 2 , and a non-contact temperature sensor installed in a non-contact manner with the fan unit 2 . It is possible to configure it as a sensor.

팬유닛 온도센서(22)가 접촉식 온도센서일 경우, 팬유닛 온도센서(22)는 일단이 팬유닛(2)에 접촉되게 연결될 수 있다. 팬유닛 온도센서(22)는 팬유닛(2)의 하부에 위치되게 팬유닛(2)에 연결될 수 있다. When the fan unit temperature sensor 22 is a contact type temperature sensor, one end of the fan unit temperature sensor 22 may be connected to contact the fan unit 2 . The fan unit temperature sensor 22 may be connected to the fan unit 2 to be positioned under the fan unit 2 .

팬유닛 온도센서 커버(24)는 그 열이 팬유닛 온도센서(22)로 전도되지 않게 설치되는 것이 바람직하고, 팬유닛 온도센서(22)와 비접촉되게 설치될 수 있다. The fan unit temperature sensor cover 24 is preferably installed so that heat is not conducted to the fan unit temperature sensor 22 , and may be installed in a non-contact with the fan unit temperature sensor 22 .

팬유닛 온도센서 커버(24)는 상면이 개방일 수 있다. The fan unit temperature sensor cover 24 may have an open top surface.

팬유닛 온도센서 커버(24)는 팬유닛 온도센서(22)를 수용하는 팬유닛 온도센서 수용공간(S3)이 형성될 수 있다. The fan unit temperature sensor cover 24 may have a fan unit temperature sensor accommodating space S3 for accommodating the fan unit temperature sensor 22 .

팬유닛 온도센서 커버(24)는 팬유닛(2)의 하부에 연결될 수 있다. 팬유닛 온도센서 커버(24)는 팬유닛(2)에 연결되는 연결부(25)와, 연결부(25)에서 연장되고 팬유닛 온도센서(24)의 하부에 배치된 차폐부(26)을 더 포함할 수 있다. The fan unit temperature sensor cover 24 may be connected to the lower portion of the fan unit 2 . The fan unit temperature sensor cover 24 further includes a connection part 25 connected to the fan unit 2 and a shielding part 26 extending from the connection part 25 and disposed under the fan unit temperature sensor 24 . can do.

차폐부(26)는 팬유닛 온도센서(22) 보다 크게 형성된 판체 형상일 수 있다. The shielding part 26 may have a plate shape formed larger than the fan unit temperature sensor 22 .

팬유닛 온도센서 커버(25)는 온도센서 수용공간(S3)을 개방할 수 있는 개구부(27)을 포함할 수 있다. 개구부(27)는 수평방향으로 개방될 수 있다. The fan unit temperature sensor cover 25 may include an opening 27 capable of opening the temperature sensor accommodating space S3. The opening 27 may be opened in a horizontal direction.

팬유닛(2)의 작동시 챔버 바디(1) 내부의 공기는 팬유닛(2)을 향해 상향 흡인될 수 있는데, 팬유닛(2)을 향해 유동되는 공기는 팬유닛 온도센서 커버(24)에 막혀 팬유닛 온도센서(22)로 유동되지 못하고, 팬유닛 온도센서(22)는 팬유닛(2)의 온도만을 신뢰성 높게 측정할 수 있다. When the fan unit 2 is operated, the air inside the chamber body 1 may be sucked upward toward the fan unit 2 , and the air flowing toward the fan unit 2 is applied to the fan unit temperature sensor cover 24 . It is blocked and cannot flow to the fan unit temperature sensor 22 , and the fan unit temperature sensor 22 can measure only the temperature of the fan unit 2 with high reliability.

도 5는 본 발명의 실시예에 따른 마스크 인장기의 제어 블록도이다.5 is a control block diagram of a mask tensioner according to an embodiment of the present invention.

마스크 인장기는 인장기 모듈(3)을 제어하는 제어부(130)를 더 포함할 수 있다. 제어부(130)는 광학모듈 온도센서(98)에서 감지된 온도에 따라 광학모듈 팬(96)을 제어할 수 있다. 제어부(130)는 광학모듈 온도센서(98)에서 감지된 온도에 따라 광학모듈 커버(90) 내부 온도를 모니터링할 수 있고, 피드백 제어할 수 있다. The mask tensioner may further include a control unit 130 for controlling the tensioner module 3 . The controller 130 may control the optical module fan 96 according to the temperature sensed by the optical module temperature sensor 98 . The controller 130 may monitor the internal temperature of the optical module cover 90 according to the temperature sensed by the optical module temperature sensor 98, and may perform feedback control.

제어부(130)는 갠트리 이동모터(34)를 제어하여 갠트리(70)을 이동시킬 수 있고, 광학모듈 이동모터(82)를 제어하여 광학모듈(80)을 이동시킬 수 있다. The controller 130 may control the gantry movement motor 34 to move the gantry 70 , and may control the optical module movement motor 82 to move the optical module 80 .

광학모듈(80)은 광학모듈(80)의 이동이 완료된 후, 마스크의 비젼을 측정할 수 있고, 그 측정 결과을 제어부(130)로 전송할 수 있다. The optical module 80 may measure the vision of the mask after the movement of the optical module 80 is completed, and transmit the measurement result to the controller 130 .

제어부(130)는 광학모듈(80)에서 촬영된 비젼에 따라, 그리퍼(60)를 제어할 수 있고, 그리퍼(60)에 의해 마스크와 마스크 프레임을 정밀하게 얼라인할 수 있다. The controller 130 may control the gripper 60 according to the vision captured by the optical module 80 , and may precisely align the mask and the mask frame by the gripper 60 .

제어부(130)는 광학모듈 온도센서(98)에서 감지된 온도에 따라 광학모듈 팬(96)의 회전수를 제어할 수 있다. 제어부(130)는 광학모듈 온도센서(98)에서 감지된 온도가 높을수록 광학모듈 팬(96)을 고속으로 회전시킬 수 있다. 제어부(130)는 광학모듈 온도센서(98)에서 감지된 온도가 설정온도 미만이면, 광학모듈 팬(96)을 오프할 수 있다. The controller 130 may control the number of rotations of the optical module fan 96 according to the temperature sensed by the optical module temperature sensor 98 . The controller 130 may rotate the optical module fan 96 at a higher speed as the temperature sensed by the optical module temperature sensor 98 is higher. When the temperature sensed by the optical module temperature sensor 98 is less than the set temperature, the controller 130 may turn off the optical module fan 96 .

제어부(130)는 상기와 같이 광학모듈 팬(96)을 제어하는 것에 의해 광학모듈(80)의 온도를 일정온도로 관리할 수 있다.The controller 130 may manage the temperature of the optical module 80 at a constant temperature by controlling the optical module fan 96 as described above.

한편, 마스크 인장기는 도 1 및 도 2에 도시된 갠트리(70)의 에어통로에 연결된 에어 공급기(140)를 더 포함할 수 있다. 에어 공급기(140)는 갠트리(70)의 에어 통로에 직접 연결되거나 별도의 덕트를 통해 갠트리(70)의 에어 통로에 연결된 에어 펌프를 포함할 수 있다. Meanwhile, the mask tensioner may further include an air supply 140 connected to the air passage of the gantry 70 shown in FIGS. 1 and 2 . The air supply 140 may include an air pump directly connected to the air passage of the gantry 70 or connected to the air passage of the gantry 70 through a separate duct.

마스크 인장기는 에어 공급기(140)를 제어하는 에어공급기 제어부(150)를 더 포함할 수 있다. 에어공급기 제어부(150)는 갠트리의 에어통로를 통해 갠트리 가이드(32, 도 2 참조)로 공급되는 에어의 온도가 일정하게 에어 공급기(140)를 제어할 수 있다. The mask tensioner may further include an air supply control unit 150 for controlling the air supply unit 140 . The air supply controller 150 may control the air supply 140 so that the temperature of the air supplied to the gantry guide 32 (refer to FIG. 2 ) through the air passage of the gantry is constant.

에어공급기 제어부(160)는 통신모듈에 의해 제어부(130)와 연결될 수 있고, 제어부(130)에 의한 인장기 모듈(3)의 작동과 연계하여 에어 공급기(140)를 제어할 수 있다.The air supply control unit 160 may be connected to the control unit 130 by a communication module, and may control the air supply unit 140 in connection with the operation of the tensioner module 3 by the control unit 130 .

이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로서, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. The above description is merely illustrative of the technical spirit of the present invention, and various modifications and variations will be possible without departing from the essential characteristics of the present invention by those skilled in the art to which the present invention pertains.

따라서, 본 발명에 개시된 실시 예들은 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시 예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것은 아니다. Therefore, the embodiments disclosed in the present invention are not intended to limit the technical spirit of the present invention, but to explain, and the scope of the technical spirit of the present invention is not limited by these embodiments.

본 발명의 보호 범위는 아래의 청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술 사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.The protection scope of the present invention should be interpreted by the following claims, and all technical ideas within the scope equivalent thereto should be construed as being included in the scope of the present invention.

1: 챔버 바디 30: 선반
40: 마스크 스테이지 50: 프레임 스테이지
60: 그리퍼 70: 갠트리와;
80: 광학모듈 90: 광학모듈 커버1: Chamber body 30: Lathe
40: mask stage 50: frame stage
60: gripper 70: gantry;
80: optical module 90: optical module cover

Claims (9)

챔버 바디와;
상기 챔버 바디 내부에 배치되고 상부에 갠트리 가이드가 구비된 선반과;
상기 선반에 배치되고 마스크가 안착되는 마스크 스테이지와;
상기 선반에 배치되고 프레임이 안착되는 프레임 스테이지와;
상기 마스크를 잡고 마스크를 이동 및 인장하는 그리퍼와;
상기 갠트리 가이드를 따라 이동되는 갠트리와;
상기 갠트리에 배치된 광학모듈과;
상기 광학모듈의 일부를 감싸고 상기 광학모듈이 관통되는 광학모듈 관통공이 형성된 광학모듈 커버를 포함하고,
상기 광학모듈 커버에는 공기를 외부로 배기하는 배기구가 형성되고,
상기 배기구는 상기 마스크를 향하지 않는 방향으로 개방된 마스크 인장기.a chamber body;
a shelf disposed inside the chamber body and provided with a gantry guide thereon;
a mask stage disposed on the shelf and on which a mask is seated;
a frame stage disposed on the shelf and on which the frame is seated;
a gripper holding the mask and moving and tensioning the mask;
a gantry moving along the gantry guide;
an optical module disposed on the gantry;
and an optical module cover that surrounds a part of the optical module and has an optical module through hole through which the optical module passes,
An exhaust port for exhausting air to the outside is formed in the optical module cover,
wherein the exhaust port is opened in a direction not to face the mask. 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 광학모듈 커버에 배치되어 상기 배기구로 에어를 송풍하는 광학모듈 팬을 더 포함하는 마스크 인장기.The method of claim 1,
The mask tensioner further comprising an optical module fan disposed on the optical module cover to blow air to the exhaust port. 제 1 항에 있어서,
상기 광학모듈 커버의 내부에 배치된 광학모듈 온도센서를 더 포함하는 마스크 인장기.The method of claim 1,
The mask tensioner further comprising an optical module temperature sensor disposed inside the optical module cover. 챔버 바디와;
상기 챔버 바디 내부에 배치되고 상부에 갠트리 가이드가 구비된 선반과;
상기 선반에 배치되고 마스크가 안착되는 마스크 스테이지와;
상기 선반에 배치되고 프레임이 안착되는 프레임 스테이지와;
상기 마스크를 잡고 마스크를 이동 및 인장하는 그리퍼와;
상기 갠트리 가이드를 따라 이동되는 갠트리와;
상기 갠트리에 배치된 광학모듈과;
상기 광학모듈의 일부를 감싸고 상기 광학모듈이 관통되는 광학모듈 관통공이 형성된 광학모듈 커버를 포함하고,
상기 광학모듈 커버에 배치되어 상기 광학모듈 커버에 형성된 배기구로 에어를 송풍하는 광학모듈 팬 및
상기 광학모듈 커버의 내부에 배치된 광학모듈 온도센서를 더 포함하고,
상기 광학모듈 온도센서에서 감지된 온도에 따라 상기 광학모듈 팬을 제어하는 제어부를 더 포함하는 마스크 인장기.a chamber body;
a shelf disposed inside the chamber body and provided with a gantry guide thereon;
a mask stage disposed on the shelf and on which a mask is seated;
a frame stage disposed on the shelf and on which the frame is seated;
a gripper holding the mask and moving and tensioning the mask;
a gantry moving along the gantry guide;
an optical module disposed on the gantry;
and an optical module cover that surrounds a part of the optical module and has an optical module through hole through which the optical module passes,
an optical module fan disposed on the optical module cover to blow air through an exhaust port formed in the optical module cover; and
Further comprising an optical module temperature sensor disposed inside the optical module cover,
The mask tensioner further comprising a controller for controlling the optical module fan according to the temperature sensed by the optical module temperature sensor. 챔버 바디와;
상기 챔버 바디 내부에 배치되고 상부에 갠트리 가이드가 구비된 선반과;
상기 선반에 배치되고 마스크가 안착되는 마스크 스테이지와;
상기 선반에 배치되고 프레임이 안착되는 프레임 스테이지와;
상기 마스크를 잡고 마스크를 이동 및 인장하는 그리퍼와;
상기 갠트리 가이드를 따라 이동되는 갠트리와;
상기 갠트리에 배치된 광학모듈과;
상기 광학모듈의 일부를 감싸고 상기 광학모듈이 관통되는 광학모듈 관통공이 형성된 광학모듈 커버를 포함하고,
상기 챔버 바디의 상부에 설치된 팬유닛과;
상기 팬유닛의 온도를 측정하는 팬유닛 온도센서와;
상기 팬유닛 온도센서를 감싸고 상기 팬유닛 온도센서와 이격된 팬유닛 온도센서 커버를 더 포함하는 마스크 인장기.a chamber body;
a shelf disposed inside the chamber body and provided with a gantry guide thereon;
a mask stage disposed on the shelf and on which a mask is seated;
a frame stage disposed on the shelf and on which the frame is seated;
a gripper holding the mask and moving and tensioning the mask;
a gantry moving along the gantry guide;
an optical module disposed on the gantry;
and an optical module cover that surrounds a part of the optical module and has an optical module through hole through which the optical module passes,
a fan unit installed on the chamber body;
a fan unit temperature sensor for measuring the temperature of the fan unit;
The mask tensioner further comprising a fan unit temperature sensor cover surrounding the fan unit temperature sensor and spaced apart from the fan unit temperature sensor. 제 1 항에 있어서,
상기 챔버 바디의 내부에 상기 갠트리 및 광학모듈 커버를 마주보게 배치된 단열벽을 더 포함하는 마스크 인장기.The method of claim 1,
The mask tensioner further comprising an insulating wall disposed inside the chamber body to face the gantry and the optical module cover. 제 1 항에 있어서,
상기 갠트리에는 상기 갠트리 가이드로 에어를 분사하는 에어 통로가 형성되고,
상기 에어통로는 에어 공급기에 연결된 마스크 인장기.The method of claim 1,
An air passage for spraying air to the gantry guide is formed in the gantry,
The air passage is a mask tensioner connected to an air supply. 제 8 항에 있어서,
상기 에어통로를 통해 상기 갠트리 가이드로 공급되는 에어의 온도가 일정하게 상기 에어 공급기를 제어하는 에어공급기 제어부를 더 포함하는 마스크 인장기.9. The method of claim 8,
The mask tensioner further comprising an air supply control unit for controlling the air supply unit so that the temperature of the air supplied to the gantry guide through the air passage is constant.
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