KR102420949B1 - Method for manufacturing connection structure, and anisotropic conductive adhesive film - Google Patents

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Abstract

[과제] 우수한 도통 저항을 얻을 수 있는 접속 구조체의 제조 방법 및 이방성 도전 접착 필름을 제공하는 것이다.
[해결수단] 중합성 화합물과 광중합 개시제를 다른 개소에 편재시킨 이방성 도전 필름(20)에 자외선을 조사하는 광조사 공정과, 이방성 도전 필름(20)을 개재하여 제1 회로 부재와 제2 회로 부재를 열압착하는 열압착 공정을 갖는다. 이방성 도전 필름 내의 광중합 개시제를 활성화시킨 상태에서 열압착하므로, 배선 부분을 충분히 경화시킬 수 있고, 우수한 도통 저항을 얻을 수 있다. 또한, 이방성 도전 필름 내의 중합성 화합물과 광중합 개시제가 다른 개소에 편재되어 있으므로, 자외선 조사 시의 경화 반응이 억제되어, 선경화에 의한 압입 부족을 방지할 수 있다.
[PROBLEMS] To provide a method for producing a bonded structure and an anisotropic conductive adhesive film capable of obtaining excellent conduction resistance.
[Solution] A light irradiation step of irradiating ultraviolet rays to the anisotropic conductive film 20 in which a polymerizable compound and a photoinitiator are unevenly distributed at different locations, and a first circuit member and a second circuit member through the anisotropic conductive film 20 It has a thermocompression bonding process of thermocompression bonding. Since the photoinitiator in an anisotropic conductive film is thermocompression-bonded in the activated state, a wiring part can fully be hardened and the outstanding conduction resistance can be obtained. Further, since the polymerizable compound and the photopolymerization initiator in the anisotropic conductive film are unevenly distributed in different locations, the curing reaction at the time of UV irradiation is suppressed, and insufficient press-fitting due to line curing can be prevented.

Description

접속 구조체의 제조 방법 및 이방성 도전 접착 필름{METHOD FOR MANUFACTURING CONNECTION STRUCTURE, AND ANISOTROPIC CONDUCTIVE ADHESIVE FILM}The manufacturing method of a bonded structure, and an anisotropic conductive adhesive film TECHNICAL FIELD

본 발명은 회로 부재끼리를 전기적으로 접속하는 접속 구조체의 제조 방법 및 그것에 사용하는 이방성 도전 필름에 관한 것이다.This invention relates to the manufacturing method of the bonded structure which electrically connects circuit members, and the anisotropic conductive film used for it.

종래, LCD(Liquid Crystal Display(액정 디스플레이)) 패널 등의 ACF(ACF: Anisotropic Conductive Film(이방성 도전 필름)) 접속에 있어서, 자외선 조사를 병용하여 저온에서 이방성 도전 필름을 반응 경화시켜 LCD 패널의 휨을 저감하고, 표시 불균일을 억제하는 것이 행해지고 있다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).Conventionally, in ACF (Anisotropic Conductive Film) connection of LCD (Liquid Crystal Display) panels, etc., the anisotropic conductive film is reacted and cured at low temperature by using ultraviolet irradiation to reduce the curvature of the LCD panel. It is reduced and suppressing display nonuniformity is performed (for example, refer patent document 1).

그러나, 종래의 자외선 조사는 주로 기판 하부로부터 행해지고 있으므로, 광투과율이 현저하게 낮은 배선 부분을 경화시키는 것은 곤란하여, 우수한 도통 저항을 얻는 것은 곤란하다.However, since the conventional ultraviolet irradiation is mainly performed from the lower part of the board|substrate, it is difficult to harden the wiring part with remarkably low light transmittance, and it is difficult to obtain the outstanding conduction resistance.

일본 특허 공개 제2007-45900호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2007-45900

본 발명은 이와 같은 종래의 실정을 감안하여 제안된 것으로, 우수한 도통 저항을 얻을 수 있는 접속 구조체의 제조 방법 및 이방성 도전 접착 필름을 제공한다.The present invention has been proposed in view of such a conventional situation, and provides a method for manufacturing a bonded structure and an anisotropic conductive adhesive film capable of obtaining excellent conduction resistance.

본 발명자는 예의 검토를 행한 결과, 중합성 화합물과 광중합 개시제를 다른 개소에 편재시킨 이방성 도전 필름에 자외선을 조사하여 광중합 개시제를 활성화시킨 후, 이방성 도전 필름을 개재하여 제1 회로 부재와 제2 회로 부재를 압착함으로써, 배선 부분의 경화 반응을 향상시켜, 우수한 도통 저항이 얻어지는 것을 발견하였다.As a result of earnest examination, the present inventor irradiates ultraviolet rays to the anisotropic conductive film in which the polymerizable compound and the photoinitiator are localized at different locations to activate the photopolymerization initiator, then the first circuit member and the second circuit through the anisotropic conductive film It discovered that the hardening reaction of a wiring part was improved by crimping|bonding a member, and the outstanding conduction resistance was obtained.

즉, 본 발명에 따른 접속 구조체의 제조 방법은 중합성 화합물과 광중합 개시제를 다른 개소에 편재시킨 이방성 도전 필름에 자외선을 조사하는 광조사 공정과, 상기 이방성 도전 필름을 개재하여 제1 회로 부재와 제2 회로 부재를 열압착하는 열압착 공정을 갖는 것을 특징으로 한다.That is, the method for manufacturing a bonded structure according to the present invention comprises a light irradiation step of irradiating ultraviolet rays to an anisotropic conductive film in which a polymerizable compound and a photopolymerization initiator are localized at different locations, and a first circuit member and a first circuit member through the anisotropic conductive film It has a thermocompression bonding process of thermocompression bonding two circuit members, It is characterized by the above-mentioned.

또한, 본 발명에 따른 접속 구조체는 전술한 제조 방법에 의해 얻어지는 것을 특징으로 한다.Moreover, the bonded structure which concerns on this invention is obtained by the manufacturing method mentioned above, It is characterized by the above-mentioned.

또한, 본 발명에 따른 이방성 도전 필름은 중합성 화합물과 도전성 입자를 함유하는 제1 층과, 광중합 개시제와 비중합성 화합물을 함유하는 제2 층을 갖는 것을 특징으로 한다.Moreover, the anisotropic conductive film which concerns on this invention has a 1st layer containing a polymeric compound and electroconductive particle, and it has a 2nd layer containing a photoinitiator and a non-polymerizable compound, It is characterized by the above-mentioned.

본 발명에 따르면, 이방성 도전 필름에 자외선을 조사하여 광중합 개시제를 활성화시킨 후, 열압착하므로, 배선 부분을 충분히 경화시킬 수 있어, 우수한 도통 저항을 얻을 수 있다.According to the present invention, since the anisotropic conductive film is irradiated with ultraviolet rays to activate the photopolymerization initiator and then thermocompression bonded, the wiring portion can be sufficiently hardened and excellent conduction resistance can be obtained.

도 1은 가부착 공정의 개략을 도시하는 단면도이다.
도 2는 광조사 공정의 개략을 도시하는 단면도이다.
도 3은 탑재 공정의 개략을 도시하는 단면도이다.
도 4는 열압착 공정의 개략을 도시하는 단면도이다.
도 5는 이방성 도전 필름의 구성예를 도시하는 단면도이다.
도 6의 (A)는 IC 탑재 전에 이방성 도전 필름 위로부터 자외선을 조사하는 공정의 개략을 도시하는 단면도이고, 도 6의 (B)는 자외선 조사 후에 IC를 열압착하는 공정의 개략을 도시하는 단면도이다.
도 7은 IC 탑재 후에 IC 위로부터 자외선을 조사하는 공정의 개략을 도시하는 단면도이다.
도 8은 IC 탑재 후에 유리 기판 아래로부터 자외선을 조사하는 공정의 개략을 도시하는 단면도이다.
도 9의 (A)는 IC 탑재 전에 유리 기판 아래로부터 자외선을 조사하는 공정의 개략을 도시하는 단면도이고, 도 9의 (B)는 자외선 조사 후에 IC를 열압착하는 공정의 개략을 도시하는 단면도이다.
도 10은 종래의 이방성 도전 필름의 구성예를 도시하는 단면도이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is sectional drawing which shows the outline of a temporary attachment process.
It is sectional drawing which shows the outline of a light irradiation process.
It is sectional drawing which shows the outline of a mounting process.
It is sectional drawing which shows the outline of a thermocompression bonding process.
It is sectional drawing which shows the structural example of an anisotropic conductive film.
Fig. 6(A) is a cross-sectional view schematically showing the process of irradiating ultraviolet rays from above the anisotropic conductive film before mounting the IC, and Fig. 6(B) is a cross-sectional view schematically showing the process of thermocompression bonding the IC after ultraviolet irradiation. to be.
Fig. 7 is a cross-sectional view schematically showing a step of irradiating ultraviolet rays from above the IC after the IC is mounted.
Fig. 8 is a cross-sectional view schematically showing a step of irradiating ultraviolet rays from below the glass substrate after IC mounting.
Fig. 9(A) is a cross-sectional view schematically showing the step of irradiating ultraviolet rays from below the glass substrate before mounting the IC, and Fig. 9(B) is a cross-sectional view schematically showing the step of thermocompression bonding the IC after ultraviolet irradiation. .
It is sectional drawing which shows the structural example of the conventional anisotropic conductive film.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해, 도면을 참조하면서 하기 순서로 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail in the following order, referring drawings.

1. 접속 구조체의 제조 방법1. Manufacturing method of bonded structure

2. 이방성 도전 필름2. Anisotropic conductive film

3. 실시예3. Examples

<1. 접속 구조체의 제조 방법><1. Manufacturing method of bonded structure>

본 실시 형태에 따른 접속 구조체의 제조 방법은 중합성 화합물과 광중합 개시제를 다른 개소에 편재시킨 이방성 도전 필름에 자외선을 조사하는 광조사 공정과, 이방성 도전 필름을 개재하여 제1 회로 부재와 제2 회로 부재를 열압착하는 열압착 공정을 갖는다. 이방성 도전 필름 내의 광중합 개시제를 활성화시킨 상태에서 열압착하므로, 배선 부분을 충분히 경화시킬 수 있어, 우수한 도통 저항을 얻을 수 있다. 또한, 이방성 도전 필름 내의 중합성 화합물과 광중합 개시제가 다른 개소에 편재되어 있으므로, 자외선 조사 시의 경화 반응이 억제되어, 선(先)경화에 의한 압입 부족을 방지할 수 있다.The manufacturing method of the bonded structure which concerns on this embodiment includes the light irradiation process of irradiating an ultraviolet-ray to the anisotropic conductive film in which the polymeric compound and the photoinitiator were unevenly distributed in different places, The 1st circuit member and the 2nd circuit via the anisotropic conductive film. It has a thermocompression bonding process of thermocompression bonding a member. Since the photoinitiator in an anisotropic conductive film is thermocompression-bonded in the activated state, a wiring part can fully be hardened and the outstanding conduction resistance can be obtained. In addition, since the polymerizable compound and the photopolymerization initiator in the anisotropic conductive film are unevenly distributed at different locations, the curing reaction during ultraviolet irradiation is suppressed, and insufficient press-fitting due to pre-curing can be prevented.

제1 회로 부재 및 제2 회로 부재는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적절히 선택할 수 있다. 제1 회로 부재로서는, 예를 들어 LCD(Liquid Crystal Display) 패널 용도, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 용도 등의 유리 기판, 프린트 배선판(PWB) 등을 들 수 있다. 또한, 제2 회로 부재로서는, 예를 들어 IC(Integrated Circuit(집적 회로)), COF(Chip On Film) 등의 플렉시블 기판(FPC: Flexible Printed Circuits), 테이프 캐리어 패키지(TCP) 기판 등을 들 수 있다.There is no restriction|limiting in particular for a 1st circuit member and a 2nd circuit member, According to the objective, it can select suitably. As a 1st circuit member, glass substrates, such as an LCD (Liquid Crystal Display) panel use, a plasma display panel (PDP) use, a printed wiring board (PWB), etc. are mentioned, for example. Further, as the second circuit member, for example, an IC (Integrated Circuit), a flexible substrate (FPC: Flexible Printed Circuits) such as a COF (Chip On Film), a tape carrier package (TCP) substrate, etc. are mentioned. have.

또한, 본 실시 형태에 따른 접속 구조체의 제조 방법은 광조사 공정 전에 이방성 도전 필름을 가부착하는 가부착 공정, 및 가부착 공정과 열압착 공정 사이에 제2 회로 부재를 탑재하는 탑재 공정을 갖는다. 도 1∼도 4는 각각, 접속 구조체의 제조 방법에 있어서의 가부착 공정, 광조사 공정, 탑재 공정 및 열압착 공정의 개략을 도시하는 단면도이다.Moreover, the manufacturing method of the bonded structure which concerns on this embodiment has a temporary attachment process of temporarily attaching an anisotropic conductive film before a light irradiation process, and a mounting process of mounting a 2nd circuit member between a temporary attachment process and a thermocompression bonding process. 1 to 4 are cross-sectional views each showing the outline of a temporary bonding step, a light irradiation step, a mounting step, and a thermocompression bonding step in the method for manufacturing a bonded structure.

도 1에 도시한 바와 같이, 가부착 공정에서는 제1 회로 부재(10)의 단자가 형성된 실장부 위에 이방성 도전 필름(20)을 가부착한다. 이방성 도전 필름(20)의 가부착은, 예를 들어 베이스 필름 위로부터 압착 툴에 의해 저압으로 가압함으로써, 또는 결합제가 유동성을 나타내지만 경화를 개시하지 않는 온도에서, 저압, 단시간에 열 가압함으로써 행한다. 또한, 이방성 도전 필름의 가부착 후, 베이스 필름은 박리된다.As shown in FIG. 1 , in the temporary attachment process, the anisotropic conductive film 20 is temporarily attached on the mounting portion in which the terminals of the first circuit member 10 are formed. Temporary attachment of the anisotropic conductive film 20 is performed by, for example, pressing at a low pressure with a crimping tool from above the base film, or by heat-pressing at a low pressure and short time at a temperature at which the binder exhibits fluidity but does not initiate curing. . In addition, after the temporary attachment of an anisotropic conductive film, a base film peels.

다음으로, 도 2에 도시한 바와 같이, 광조사 공정에서는 제1 회로 부재(10) 위에 가부착된 이방성 도전 필름(20)에 자외선을 조사한다. 자외선의 조사 방향은 제1 회로 부재(10)에 의한 광투과율의 저하를 방지하는 관점에서, 이방성 도전성 필름(20)측으로부터인 것이 바람직하다. 또한, 이방성 도전 필름(20)은, 후술하는 바와 같이 중합성 화합물과 광중합 개시제가 다른 개소에 편재되어 있으므로, 자외선 조사 시의 경화 반응을 억제할 수 있다.Next, as shown in FIG. 2 , in the light irradiation process, ultraviolet rays are irradiated to the anisotropic conductive film 20 temporarily attached on the first circuit member 10 . It is preferable that the irradiation direction of an ultraviolet-ray is from the side of the anisotropic conductive film 20 from a viewpoint of preventing the fall of the light transmittance by the 1st circuit member 10. Moreover, in the anisotropic conductive film 20, since a polymeric compound and a photoinitiator are unevenly distributed in different locations as mentioned later, the hardening reaction at the time of ultraviolet irradiation can be suppressed.

다음으로, 도 3에 도시한 바와 같이, 탑재 공정에서는 이방성 도전 필름(20)이 가부착된 실장부 위에 제2 회로 부재(30)가 적재된다. 이때, 제2 회로 부재(30)의 단자와 제1 회로 부재(10)의 단자의 위치가 맞도록 얼라인먼트 조정이 행해진다.Next, as shown in FIG. 3 , in the mounting step, the second circuit member 30 is mounted on the mounting portion to which the anisotropic conductive film 20 is temporarily attached. At this time, alignment adjustment is performed so that the position of the terminal of the 2nd circuit member 30 and the terminal of the 1st circuit member 10 may match.

다음으로, 도 4에 도시한 바와 같이, 열압착 공정에서는 제2 회로 부재(30) 위로부터, 소정 온도로 가온된 압착 툴(40)에 의해, 소정의 압력 및 소정의 시간, 열가압되어 본(本)압착된다. 여기서, 광조사 공정의 자외선의 조사 완료로부터 열압착까지의 시간은 광중합 개시제의 종류에 따라 다르지만, 10초 이하인 것이 바람직하다. 또한, 소정 온도는 압착 시에 있어서의 이방성 도전 필름(20)의 온도이고, 80℃ 이상 160℃ 이하인 것이 바람직하다.Next, as shown in FIG. 4 , in the thermocompression bonding process, the second circuit member 30 is thermally pressed for a predetermined pressure and a predetermined time by the crimping tool 40 heated to a predetermined temperature. (本) compressed. Here, although the time from completion of irradiation of ultraviolet-ray of a light irradiation process to thermocompression bonding differs with the kind of photoinitiator, it is preferable that it is 10 second or less. In addition, the predetermined temperature is the temperature of the anisotropic conductive film 20 at the time of crimping|compression-bonding, and it is preferable that they are 80 degreeC or more and 160 degrees C or less.

압착 툴(40)으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적절히 선택할 수 있으며, 가압 대상보다 대면적인 가압 부재를 사용하여 가압을 1회로 행해도 되고, 또한 가압 대상보다 소면적인 가압 부재를 사용하여 가압을 수회로 나누어 행해도 된다. 압착 툴의 선단 형상으로서는 특별히 제한은 없고, 목적에 따라 적절히 선택할 수 있으며, 예를 들어 평면 형상, 곡면 형상 등을 들 수 있다. 또한, 선단 형상이 곡면 형상인 경우, 곡면 형상을 따라 가압하는 것이 바람직하다.There is no restriction|limiting in particular as the crimping tool 40, It can select suitably according to the objective, and pressurization may be performed once using a pressurizing member larger than a press object, and also pressurizing using a pressurizing member smaller in area than a press object. You may divide it into several times and you may carry out. There is no restriction|limiting in particular as a front-end|tip shape of a crimping|compression-bonding tool, According to the objective, it can select suitably, For example, a planar shape, a curved-surface shape, etc. are mentioned. Further, when the tip shape is a curved shape, it is preferable to press along the curved shape.

또한, 압착 툴(40)과 제2 회로 부재(30) 사이에 완충재를 개재 장착하여 열압착해도 된다. 완충재를 개재 장착함으로써, 가압 불균일을 저감할 수 있음과 함께, 압착 툴이 오염되는 것을 방지할 수 있다. 완충재는 시트상의 탄성재 또는 소성체를 포함하고, 예를 들어 실리콘 고무나 폴리4불화에틸렌이 사용된다.In addition, a cushioning material may be interposed between the crimping tool 40 and the second circuit member 30 and thermocompression bonding may be performed. By interposing a cushioning material, while being able to reduce a pressurization nonuniformity, it can prevent that a crimping|compression-bonding tool is contaminated. The cushioning material includes a sheet-like elastic material or a calcined body, and for example, silicone rubber or polytetrafluoroethylene is used.

이와 같은 접속 구조체의 제조 방법에 의하면, 이방성 도전 필름(20)의 결합제가 유동화됨과 함께, 도전성 입자가 제1 회로 부재(10)와 제2 회로 부재(30)의 단자 사이에 협지되고, 이 상태에서 경화된다. 이에 의해, 제1 회로 부재(10)과 제2 회로 부재(30)이 전기적, 기계적으로 접속된 접속 구조체가 제조된다. 본 실시 형태에서는 이방성 도전 필름 내의 광중합 개시제를 여기, 활성화시킨 상태에서 열압착하므로, 배선 부분을 충분히 경화시킬 수 있어, 우수한 도통 저항을 얻을 수 있다. 또한, 이방성 도전 필름 내의 중합성 화합물과 광중합 개시제가 다른 개소에 편재되어 있으므로, 광조사 공정 시에 경화 반응이 억제되어, 열압착 공정 시에 선경화에 의한 압입 부족을 방지할 수 있다. 또한, 광조사 공정으로서, 저조도의 자외선을 조사해도 되고, 형광등 등의 통상 환경 하로 해도 된다. 이로 인해, 자외선을 차단한 옐로우 룸이 불필요해져, 종래의 열압착의 라인 설비로부터의 변경이 적어, 경제적이다.According to the manufacturing method of such a bonded structure, while the binder of the anisotropic conductive film 20 is fluidized, electroconductive particle is pinched between the terminals of the 1st circuit member 10 and the 2nd circuit member 30, and this state hardened in Thereby, the connection structure in which the 1st circuit member 10 and the 2nd circuit member 30 were electrically and mechanically connected is manufactured. In this embodiment, since the photoinitiator in the anisotropic conductive film is excited and thermocompression-bonded in the activated state, a wiring part can fully be hardened and the outstanding conduction resistance can be obtained. In addition, since the polymerizable compound and the photopolymerization initiator in the anisotropic conductive film are unevenly distributed in different locations, the curing reaction is suppressed during the light irradiation step, and insufficient press-fitting due to the line curing during the thermocompression bonding step can be prevented. In addition, as a light irradiation process, you may irradiate low-intensity ultraviolet-ray, and it is good also as normal environment, such as a fluorescent lamp. For this reason, the yellow room which cut off the ultraviolet-ray becomes unnecessary, there are few changes from the conventional line equipment of thermocompression bonding, and it is economical.

<2. 이방성 도전 필름><2. Anisotropic Conductive Film>

전술한 접속 구조체의 제조 방법에 사용되는 이방성 도전 필름은 광조사 공정 시에 경화 반응이 억제되도록 중합성 화합물과 광중합 개시제가 다른 개소에 편재된 것이다. 구체적인 구성으로서는, 광중합 개시제와 중합성 화합물을 한쪽의 면과 다른 쪽의 면으로 각각 분리, 편재시킨 것을 들 수 있다. 이하에서는, 중합성 화합물과 광중합 개시제를 다른 층에 첨가한 다층 필름을 예로 들어 설명한다.In the anisotropic conductive film used in the above-described method for manufacturing the bonded structure, the polymerizable compound and the photopolymerization initiator are localized in different locations so that the curing reaction is suppressed during the light irradiation process. As a specific structure, the thing which separated and localized a photoinitiator and a polymeric compound to one surface and the other surface, respectively is mentioned. Hereinafter, the multilayer film which added the polymeric compound and the photoinitiator to the other layer is mentioned as an example and demonstrated.

도 5는 이방성 도전 필름의 구성예를 도시하는 단면도이다. 이 이방성 도전 필름(20)은 중합성 화합물과 도전성 입자를 함유하는 제1 층(21)과, 광중합 개시제와 비중합성 화합물을 함유하는 제2 층(22)를 갖는다. 중합성 화합물 및 광중합 개시제를 각각 제1 층(21) 및 제2 층(22)에 배합함으로써, 전술한 광조사 공정에 있어서의 경화 반응을 억제할 수 있다.It is sectional drawing which shows the structural example of an anisotropic conductive film. This anisotropic conductive film 20 has the 1st layer 21 containing a polymeric compound and electroconductive particle, and the 2nd layer 22 containing a photoinitiator and a non-polymerizable compound. By mix|blending a polymeric compound and a photoinitiator with the 1st layer 21 and the 2nd layer 22, respectively, the hardening reaction in the light irradiation process mentioned above can be suppressed.

또한, 제1 층(21)과 제2 층(22) 사이에, 비중합성 화합물을 함유하는 제3 층(23)을 갖는 것이 바람직하다. 비중합성 화합물은 막 형성 수지인 것이 바람직하고, 일 형태로서 제3 층(23)은 막 형성 수지만을 포함하고 있어도 된다. 이 제3 층(23)은 제1 층(21)의 중합성 화합물과, 제2 층(22)의 광중합 개시제의 버퍼층이 되므로, 전술한 광조사 공정에 있어서의 경화 반응을 더욱 억제할 수 있다. 이 제3 층(23)은 두께의 균일성은 상관없으므로, 도포나 살포에 의해 작성해도 된다. 또한, 제1 층(21), 제2 층(22) 및 제3 층(23)의 합계의 바람직한 막 두께는 4∼50㎛이다.Also, it is preferable to have a third layer 23 containing a non-polymerizable compound between the first layer 21 and the second layer 22 . It is preferable that the nonpolymerizable compound is a film-forming resin, and as one aspect, the 3rd layer 23 may contain only the film-forming resin. Since this 3rd layer 23 becomes a buffer layer of the polymeric compound of the 1st layer 21, and the photoinitiator of the 2nd layer 22, the hardening reaction in the above-mentioned light irradiation process can be suppressed further. . Since this 3rd layer 23 does not care about the uniformity of thickness, you may create it by application|coating or dispersion|spreading. In addition, the preferable film thickness of the sum total of the 1st layer 21, the 2nd layer 22, and the 3rd layer 23 is 4-50 micrometers.

도전성 입자로서는, 이방성 도전 필름에 있어서 사용되고 있는 공지의 도전성 입자를 사용할 수 있다. 예를 들어, 니켈, 철, 구리, 알루미늄, 주석, 납, 크롬, 코발트, 은, 금 등의 각종 금속이나 금속 합금의 입자, 금속 산화물, 카본, 그래파이트, 유리, 세라믹, 플라스틱 등의 입자의 표면에 금속을 코팅한 것, 이들 입자의 표면에 절연 박막을 더 코팅한 것 등을 들 수 있다. 수지 입자의 표면에 금속을 코팅한 것인 경우, 수지 입자로서는, 예를 들어 에폭시 수지, 페놀 수지, 아크릴 수지, 아크릴로니트릴ㆍ스티렌(AS) 수지, 벤조구아나민 수지, 디비닐벤젠계 수지, 스티렌계 수지 등의 입자를 사용할 수 있다. 또한, 도전성 입자(10)은 제1 층(21)뿐만 아니라, 제2 층(22)에 배합되어 있어도 된다.As electroconductive particle, the well-known electroconductive particle currently used in an anisotropic conductive film can be used. For example, particles of various metals or metal alloys such as nickel, iron, copper, aluminum, tin, lead, chromium, cobalt, silver, gold, metal oxides, carbon, graphite, glass, ceramics, plastics, etc. Those in which a metal is coated on the surface, those in which an insulating thin film is further coated on the surface of these particles, and the like. When the surface of the resin particle is coated with a metal, the resin particle includes, for example, an epoxy resin, a phenol resin, an acrylic resin, an acrylonitrile/styrene (AS) resin, a benzoguanamine resin, a divinylbenzene-based resin, Particles, such as a styrenic resin, can be used. In addition, the electroconductive particle 10 may be mix|blended with not only the 1st layer 21 but the 2nd layer 22.

도전성 입자의 평균 입경으로서는, 통상 1∼10㎛, 보다 바람직하게는 2∼6㎛이다. 또한, 도전성 입자의 함유량은 결합제 수지 조성물 100질량부에 대해, 통상 5∼60질량부, 바람직하게는 10∼50질량부이다.As an average particle diameter of electroconductive particle, it is 1-10 micrometers normally, More preferably, it is 2-6 micrometers. Moreover, content of electroconductive particle is 5-60 mass parts normally with respect to 100 mass parts of binder resin compositions, Preferably it is 10-50 mass parts.

이방성 도전 필름은 광경화형이면 특별히 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 양이온 경화형, 라디칼 경화형, 또는 이들을 병용할 수 있다. 이하, 양이온 경화형의 이방성 도전 필름에 대해 설명한다.The anisotropic conductive film will not be specifically limited if it is a photocurable type, For example, a cation hardening type, a radical hardening type, or these can be used together. Hereinafter, a cation-curable anisotropic conductive film is demonstrated.

양이온 경화형의 제1 층(21) 및 제2 층(22)는 결합제로서, 비중합성 화합물로서의 막 형성 수지와, 중합성 화합물로서의 양이온 중합성 화합물과, 광중합 개시제로서의 광 양이온 중합 개시제를 함유한다.The cation-curable first layer 21 and the second layer 22 contain, as a binder, a film-forming resin as a nonpolymerizable compound, a cationically polymerizable compound as a polymerizable compound, and a photocationic polymerization initiator as a photoinitiator.

막 형성 수지는, 예를 들어 평균 분자량이 10000 이상인 고분자량 수지에 상당하고, 필름 형성성의 관점에서, 10000∼80000 정도의 평균 분자량인 것이 바람직하다. 막 형성 수지로서는, 페녹시 수지, 폴리에스테르 수지, 폴리우레탄 수지, 폴리에스테르우레탄 수지, 아크릴 수지, 폴리이미드 수지, 부티랄 수지 등의 다양한 수지를 들 수 있고, 이들은 단독으로 사용해도 되고, 2종류 이상을 조합하여 사용해도 된다. 이들 중에서도, 막 형성 상태, 접속 신뢰성 등의 관점에서 페녹시 수지를 적절하게 사용하는 것이 바람직하다. 막 형성 수지의 함유량은 결합제 수지 조성물 100질량부에 대해, 통상 30∼80질량부, 바람직하게는 40∼70질량부이다.Film-forming resin corresponds to high molecular weight resin with an average molecular weight of 10000 or more, for example, It is preferable that it is an average molecular weight of about 10000-80000 from a viewpoint of film formation. Various resins, such as a phenoxy resin, a polyester resin, a polyurethane resin, a polyester urethane resin, an acrylic resin, a polyimide resin, butyral resin, are mentioned as film-forming resin, These may be used individually, and two types You may use combining the above. Among these, it is preferable to use a phenoxy resin suitably from a viewpoint of a film formation state, connection reliability, etc. Content of film-forming resin is 30-80 mass parts normally with respect to 100 mass parts of binder resin compositions, Preferably it is 40-70 mass parts.

양이온 중합성 화합물로서는, 에틸렌옥시드, 프로필렌옥시드, 부틸렌옥시드, 스티렌옥시드, 페닐글리시딜에테르, 부틸글리시딜에테르 등의 1관능성 에폭시 화합물; 비스페놀 A형 에폭시 수지, 비스페놀 F형 에폭시 수지, 페놀노볼락형 에폭시 수지, 지환식 에폭시 수지, 트리글리시딜이소시아네이트, 히단토인에폭시 등의 복소환 함유 에폭시 수지; 수소 첨가 비스페놀 A형 에폭시 수지, 프로필렌글리콜디글리시딜에테르, 펜타에리트리톨-폴리글리시딜에테르 등의 지방족계 에폭시 수지; 방향족, 지방족 혹은 지환식의 카르복실산과 에피클로로히드린의 반응에 의해 얻어지는 에폭시 수지; 스피로환 함유 에폭시 수지; o-알릴-페놀노볼락 화합물과 에피클로로히드린의 반응 생성물인 글리시딜에테르형 에폭시 수지; 비스페놀 A의 각각의 수산기의 오르토 위치에 알릴기를 갖는 디알릴비스페놀 화합물과 에피클로로히드린의 반응 생성물인 글리시딜에테르형 에폭시 수지; 쉬프(Schiff)계 화합물, 스틸벤 화합물 및 아조벤젠 화합물의 디글리시딜에테르형 에폭시 수지; (1,1,1,3,3,3-헥사플루오로-2-히드록시이소프로필)시클로헥산과 에피클로로히드린의 반응 생성물 등의 불소 함유 지환식, 방향환식 에폭시 수지 등을 사용할 수 있다.Examples of the cationically polymerizable compound include monofunctional epoxy compounds such as ethylene oxide, propylene oxide, butylene oxide, styrene oxide, phenyl glycidyl ether, and butyl glycidyl ether; Heterocyclic-containing epoxy resins, such as a bisphenol A epoxy resin, a bisphenol F-type epoxy resin, a phenol novolak-type epoxy resin, an alicyclic epoxy resin, triglycidyl isocyanate, and hydantoin epoxy; aliphatic epoxy resins such as hydrogenated bisphenol A epoxy resin, propylene glycol diglycidyl ether, and pentaerythritol-polyglycidyl ether; an epoxy resin obtained by reacting an aromatic, aliphatic or alicyclic carboxylic acid with epichlorohydrin; spiro ring-containing epoxy resin; a glycidyl ether type epoxy resin which is a reaction product of an o-allyl-phenol novolak compound and epichlorohydrin; a glycidyl ether type epoxy resin which is a reaction product of a diallyl bisphenol compound having an allyl group at the ortho position of each hydroxyl group of bisphenol A and epichlorohydrin; Diglycidyl ether-type epoxy resins of Schiff-based compounds, stilbene compounds, and azobenzene compounds; A fluorine-containing alicyclic or aromatic cyclic epoxy resin such as a reaction product of (1,1,1,3,3,3-hexafluoro-2-hydroxyisopropyl)cyclohexane and epichlorohydrin can be used. .

양이온 중합은 암반응을 수반하므로, 광조사 종료 후에도 반응이 서서히 진행되어, 접착 필름으로서의 기능을 저해해 버릴 우려가 있다. 그로 인해, 양이온 중합성 화합물로서, 비교적 암반응이 발생하기 어려운 비스페놀 A형 에폭시 수지, 또는 비스페놀 F형 에폭시 수지를 사용하는 것이 바람직하다.Since cationic polymerization accompanies a dark reaction, reaction progresses gradually even after completion|finish of light irradiation, and there exists a possibility of impairing the function as an adhesive film. Therefore, as a cationically polymerizable compound, it is preferable to use the bisphenol A epoxy resin or bisphenol F type epoxy resin in which a dark reaction does not generate|occur|produce comparatively easily.

양이온 중합성 화합물의 함유량은 지나치게 적으면 도통 신뢰성이 낮아지고, 지나치게 많으면 접착 강도가 낮아지는 경향이 있으므로, 바람직하게는 결합제 수지 조성물 100질량부에 대해, 20∼70질량부, 보다 바람직하게는 30∼60질량부이다.When content of a cationically polymerizable compound is too small, conduction|electrical_connection reliability will become low, and since there exists a tendency for adhesive strength to become low when too large, Preferably it is 20-70 mass parts with respect to 100 mass parts of binder resin compositions, More preferably, 30 -60 parts by mass.

양이온 중합 개시제는 양이온종이 에폭시 수지 말단의 에폭시기를 개환시켜, 에폭시 수지끼리 자기 가교시킨다. 본 실시 형태에서는 광 양이온 중합 개시제가 첨가되어 있으면 좋고, 광 양이온 중합 개시제 및 열 양이온 중합 개시제가 병용되어 있어도 좋다.In the cationic polymerization initiator, the cationic species ring-opens the epoxy group at the end of the epoxy resin and self-crosslinks the epoxy resins. In this embodiment, a photocationic polymerization initiator may just be added, and a photocationic polymerization initiator and a thermal cationic polymerization initiator may be used together.

광 양이온 중합 개시제로서는, 트리아릴술포늄염, 벤질술포늄염, 트리페닐술포늄염, 디페닐-4-티오페녹시페닐술포늄염, 트리아릴요오도늄염, 디아릴요오도늄염, 디페닐요오도늄염, 4-메톡시디페닐요오도늄염, 비스(4-메틸페닐)요오도늄염, 비스(4-tert-부틸페닐)요오도늄염, 비스(도데실페닐)요오도늄염, 1,3-디케토-2-디아조 화합물, 디아조벤조퀴논 화합물, 디아조나프토퀴논 화합물, 헥사클로로안티모네이트, 비스(도데실페닐)헥사플루오로안티모네이트(4,4'-비스[디(β-히드록시에톡시)페닐술포니오]페닐술피드, 비스〔4-(디페닐술포니오)-페닐〕술피드, 비스〔4-(디(4-(2-히드록시에틸)페닐)술포니오)-페닐〕술피드, η5-2,4-(시클로펜타디에닐)〔1,2,3,4,5,6-η-(메틸에틸)벤젠〕-철(1+) 등의 1종 이상을 들 수 있다. 광 양이온 중합 개시제의 시장에서 입수 가능한 구체예로서는, 산-아프로(주)의 상품명 「LW-S1」 등을 들 수 있다.Examples of the photocationic polymerization initiator include triarylsulfonium salts, benzylsulfonium salts, triphenylsulfonium salts, diphenyl-4-thiophenoxyphenylsulfonium salts, triaryliodonium salts, diaryliodonium salts, and diphenyliodonium salts. , 4-methoxydiphenyl iodonium salt, bis(4-methylphenyl)iodonium salt, bis(4-tert-butylphenyl)iodonium salt, bis(dodecylphenyl)iodonium salt, 1,3-diketo- 2-diazo compound, diazobenzoquinone compound, diazonaphthoquinone compound, hexachloroantimonate, bis(dodecylphenyl)hexafluoroantimonate (4,4'-bis[di(β-hydroxy Ethoxy)phenylsulfonio]phenylsulfide, bis[4-(diphenylsulfonio)-phenyl]sulfide, bis[4-(di(4-(2-hydroxyethyl)phenyl)sulfonio )-phenyl]sulfide, η5-2,4-(cyclopentadienyl)[1,2,3,4,5,6-η-(methylethyl)benzene]-iron (1+), etc. As a specific example which can be obtained in the market of a photocationic polymerization initiator, the brand name "LW-S1" of San-Apro Corporation, etc. are mentioned.

열 양이온 중합 개시제로서는, 트리페닐술포늄사불화붕소, 트리페닐술포늄육불화안티몬, 트리페닐술포늄육불화비소, 트리(4-메톡시페닐)술포늄육불화비소, 디페닐(4-페닐티오페닐)술포늄육불화비소, p-t-부틸벤질테트라히드로티오페늄육불화안티몬, N,N-디메틸-N-벤질아닐리늄육불화안티몬, N,N-디메틸-N-벤질아닐리늄사불화붕소, N,N-디메틸-N-(4-클로로벤질)아닐리늄육불화안티몬, N,N-디메틸-N-(1-페닐에틸)아닐리늄육불화안티몬, N-벤질-4-디메틸아미노피리디늄육불화안티몬, N-벤질-4-디에틸아미노피리디늄트리플루오로메탄술폰산, N-(4-메톡시벤질)-4-디메틸아미노피리디늄육불화안티몬, N-(4-메톡시벤질)-4-디에틸아미노피리디늄육불화안티몬, N,N-디메틸-N-(4-메톡시벤질)톨루이디늄육불화안티몬, N,N-디에틸-N-(4-메톡시벤질)톨루이디늄육불화안티몬, 에틸트리페닐포스포늄육불화안티몬, 테트라부틸포스포늄육불화안티몬, 디페닐요오도늄육불화비소, 디-4-클로로페닐요오도늄육불화비소, 디-4-브롬페닐요오도늄육불화비소, 디-p-톨릴요오도늄육불화비소, 페닐(4-메톡시페닐)요오도늄육불화비소 등의 1종 이상을 들 수 있다.As the thermal cationic polymerization initiator, triphenylsulfonium boron tetrafluoride, triphenylsulfonium antimony hexafluoride, triphenylsulfonium arsenic hexafluoride, tri(4-methoxyphenyl)sulfonium arsenic hexafluoride, diphenyl (4-phenylthiophenyl)sulfo Arsenic arsenic hexafluoride, p-t-butylbenzyltetrahydrothiophenium antimony hexafluoride, N,N-dimethyl-N-benzylanilinium antimony hexafluoride, N,N-dimethyl-N-benzylanilinium boron tetrafluoride, N,N- dimethyl-N-(4-chlorobenzyl)anilinium antimony hexafluoride, N,N-dimethyl-N-(1-phenylethyl)anilinium hexafluoride antimony, N-benzyl-4-dimethylaminopyridinium antimony hexafluoride, N-benzyl-4-diethylaminopyridinium trifluoromethanesulfonic acid, N-(4-methoxybenzyl)-4-dimethylaminopyridinium antimony hexafluoride, N-(4-methoxybenzyl)-4-di Ethylaminopyridinium antimony hexafluoride, N,N-dimethyl-N-(4-methoxybenzyl)toluidinium antimony hexafluoride, N,N-diethyl-N-(4-methoxybenzyl)toluidinium meat Antimony fluoride, ethyltriphenylphosphonium antimony hexafluoride, tetrabutylphosphonium antimony hexafluoride, diphenyliodonium arsenic hexafluoride, di-4-chlorophenyliodonium arsenic hexafluoride, di-4-bromphenyliodonium hexafluoride 1 or more types, such as arsenic, di-p-tolyliodonium arsenic hexafluoride, and a phenyl (4-methoxyphenyl) iodonium arsenic hexafluoride, are mentioned.

또한, 열 양이온 중합 개시제 대신에, 광, 열 중 어느 쪽에든 적용 가능한 광ㆍ열 양이온 중합 개시제를 사용해도 된다. 광ㆍ열 양이온 중합 개시제로서는, 술포늄염, 요오도늄염을 들 수 있고, 그 중에서도, 저온에서의 반응성이 우수하고, 가용 시간이 긴 방향족 술포늄염을 적절하게 사용할 수 있다. 광ㆍ열 양이온 중합 개시제의 시장에서 입수 가능한 구체예로서는, 산신 가가쿠 고교(주)의 상품명 「SI-60L」, 「SI-80L」, 「SI-100L」 등을 들 수 있다.Moreover, instead of a thermal cationic polymerization initiator, you may use the photo-thermal cationic polymerization initiator applicable to either light or heat. Examples of the photo-thermal cationic polymerization initiator include sulfonium salts and iodonium salts, and among them, aromatic sulfonium salts having excellent reactivity at low temperatures and long pot life can be suitably used. As a specific example available in the market of a photothermal cationic polymerization initiator, Sanshin Chemical Co., Ltd. brand names "SI-60L", "SI-80L", "SI-100L", etc. are mentioned.

이들 양이온 중합 개시제의 함유량은 지나치게 적으면 반응성이 없어지고, 지나치게 많으면 접착제의 제품 수명이 저하되는 경향이 있으므로, 결합제 수지 조성물 100중량부에 대해, 바람직하게는 0.1∼30중량부, 보다 바람직하게는 0.5∼20중량부이다.When the content of these cationic polymerization initiators is too small, the reactivity disappears, and when too large, the product life of the adhesive tends to decrease. Therefore, with respect to 100 parts by weight of the binder resin composition, preferably 0.1 to 30 parts by weight, more preferably 0.5 to 20 parts by weight.

또한 결합제로서, 필요에 따라, 응력 완화제, 실란 커플링제, 무기 필러 등을 배합해도 된다. 응력 완화제로서는, 수소 첨가 스티렌-부타디엔 블록 공중합체, 수소 첨가 스티렌-이소프렌 블록 공중합체 등을 들 수 있다. 또한, 실란 커플링제로서는, 에폭시계, 메타크릴옥시계, 아미노계, 비닐계, 머캅토ㆍ술피드계, 우레이도계 등을 들 수 있다. 또한, 무기 필러로서는 실리카, 탈크, 산화티타늄, 탄산칼슘, 산화마그네슘 등을 들 수 있다.Moreover, as a binder, you may mix|blend a stress reliever, a silane coupling agent, an inorganic filler, etc. as needed. Examples of the stress reliever include a hydrogenated styrene-butadiene block copolymer and a hydrogenated styrene-isoprene block copolymer. Moreover, as a silane coupling agent, an epoxy type, a methacryloxy type|system|group, an amino type, a vinyl type, a mercapto sulfide type, a ureido type, etc. are mentioned. Moreover, silica, talc, titanium oxide, calcium carbonate, magnesium oxide, etc. are mentioned as an inorganic filler.

[실시예][Example]

<3. 실시예><3. Example>

이하, 본 발명의 실시예에 대해 설명한다. 본 실시예에서는 이방성 도전 필름을 제작하고, 이것을 사용하여 다양한 조사 타이밍으로 접속 구조체를 제작하여, 접속 구조체의 도통 저항 및 경화율에 대해 평가하였다. 또한, 본 발명은 이들 실시예로 한정되는 것은 아니다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described. In this Example, the anisotropic conductive film was produced, the bonded structure was produced at various irradiation timings using this, and the conduction resistance and the curing rate of the bonded structure were evaluated. In addition, the present invention is not limited to these Examples.

접속 구조체의 제작, 도통 저항의 측정, 경화율의 측정 및 평가는 다음과 같이 행하였다.Preparation of the bonded structure, the measurement of the conduction resistance, and the measurement and evaluation of the curing rate were performed as follows.

[접속 구조체의 제작][Production of the connection structure]

평가 기재로서, TI/Al 코팅 유리 기판(금속 배선, t=0.7㎜) 및 IC(1.8㎜×20㎜, t=0.5㎜, Au-도금 범프: 30㎛×85㎛, h=15㎛)를 사용하였다. 광조사 조건은 200mW/㎠-3초로 하였다. 또한, 열압착 조건은 120℃-60㎫-5초로 하였다.As the evaluation substrate, a TI/Al coated glass substrate (metal wiring, t=0.7 mm) and IC (1.8 mm×20 mm, t=0.5 mm, Au-plated bump: 30 μm×85 μm, h=15 μm) were used. was used. Light irradiation conditions were 200 mW/cm 2 -3 seconds. In addition, thermocompression bonding conditions were made into 120 degreeC - 60 MPa-5 second.

[도통 저항의 측정][Measurement of conduction resistance]

디지털 멀티미터(상품명: 디지털 멀티미터 7561, 요코가와 덴키샤제)를 사용하여, 접속 구조체의 도통 저항(Ω)의 측정을 행하였다.The conduction resistance (Ω) of the bonded structure was measured using a digital multimeter (trade name: Digital Multimeter 7561, manufactured by Yokogawa Co., Ltd.).

[경화율의 측정][Measurement of curing rate]

접속 구조체로부터 IC를 박리하여, 금속 배선 위로부터 샘플 A를 취득하였다. 그리고, 샘플 A∼C를 측정하여, 경화율을 산출하였다.IC was peeled from the bonded structure, and the sample A was acquired from the metal wiring top. Then, samples A to C were measured and the curing rate was calculated.

샘플 A: 금속 배선 위의 시료Sample A: Sample on metal wiring

샘플 B: 미경화의 이방성 도전 필름(반응 전)의 시료Sample B: Sample of uncured anisotropic conductive film (before reaction)

샘플 C: 샘플 B를 200㎷/㎠-3초의 광조사 조건 및 120℃-60㎫-5초의 열압착 조건으로 완전 경화시킨 시료Sample C: Sample B completely cured under light irradiation conditions of 200 mV/cm 2 -3 seconds and thermocompression bonding conditions of 120° C.-60 MPa-5 seconds

각 샘플에 대해, FT-IR 측정을 행하여, 얻어진 IR 차트로부터 (I) 914㎝-1: 에폭시환의 역대상 신축 진동 및 (II) 829㎝-1: 방향환의 C-H간 계면 외 변각 진동 2개의 피크를 수치화하였다. 그리고, 각 시료에 대해, 하기 식 1로 흡광도비를 구하고, 얻어진 흡광도비를 사용하여 하기 식 2로 나타내는 경화율을 산출하였다.For each sample, FT-IR measurement was performed, and from the obtained IR chart, (I) 914 cm −1 : chronological stretching vibration of the epoxy ring and (II) 829 cm −1 : 2 peaks of angular oscillations outside the CH interface of aromatic rings was quantified. And about each sample, the absorbance ratio was calculated|required by following formula 1, and the hardening rate represented by following formula 2 was computed using the obtained absorbance ratio.

<식 1><Equation 1>

흡광도비=(I)/(II)Absorbance ratio = (I) / (II)

<식 2><Equation 2>

경화율(%)=(1-샘플 A의 흡광도비/샘플 B의 흡광도비)/(1-샘플 C의 흡광도비/샘플 B의 흡광도비)×100Curing rate (%) = (1-absorbance ratio of sample A/absorbance ratio of sample B)/(1-absorbance ratio of sample C/absorbance ratio of sample B) x 100

[평가][evaluation]

도통 저항의 측정 결과가 1.0Ω 이하, 또한 배선 부분의 경화율의 측정 결과가 70% 이상인 경우를 「OK」로 평가하고, 그 이외를 「NG」로 평가하였다.The case where the measurement result of conduction resistance was 1.0 ohm or less and the measurement result of the hardening rate of a wiring part was 70 % or more evaluated "OK", and evaluated other than that as "NG".

<실시예 1><Example 1>

도 5에 도시한 바와 같이, 3층 구조의 이방성 도전 필름을 제작하였다. 우선, 제1 층(21)로서, 페녹시 수지(YP50, 신니테츠 가가쿠샤제) 20질량부, 액상 에폭시 수지(EP828, 미츠비시 가가쿠샤제) 30질량부, 고형 에폭시 수지(YD014, 신니테츠 가가쿠샤제) 20질량부 및 도전성 입자(AUL704, 세키스이 가가쿠샤제) 30질량부를 배합하여, 두께 8㎛의 A층을 제작하였다. 또한, 제2 층(22)로서, 페녹시 수지(YP50, 신니테츠 가가쿠샤제) 75질량부 및 광 양이온 중합 개시제(LW-S1, 산-아프로샤제) 25질량부를 배합하여, 두께 4㎛의 N층을 제작하였다. 또한, 제3 층(23)으로서, 페녹시 수지(YP50, 신니테츠 가가쿠샤제)를 포함하는 두께 4㎛의 버퍼층을 제작하였다. 그리고, A층과 버퍼층과 N층을 라미네이트하여, 3층 구조의 이방성 도전 필름을 제작하였다.As shown in FIG. 5, the anisotropic conductive film of a three-layer structure was produced. First, as the first layer 21, 20 parts by mass of a phenoxy resin (YP50, manufactured by Shin-Nitetsu Corporation), 30 parts by mass of a liquid epoxy resin (EP828, manufactured by Mitsubishi Chemical), and a solid epoxy resin (YD014, manufactured by Shin-Nitetsu Corporation). 20 mass parts and 30 mass parts of electroconductive particles (AUL704, Sekisui Chemical make) were mix|blended, and the 8-micrometer-thick A-layer was produced. In addition, as the second layer 22, 75 parts by mass of a phenoxy resin (YP50, manufactured by Shin-Nitetsu Chemical) and 25 parts by mass of a photocationic polymerization initiator (LW-S1, manufactured by San-Afro Corporation) were blended to have a thickness of 4 µm. An N-layer was prepared. Moreover, as the 3rd layer 23, the buffer layer of 4 micrometers in thickness containing a phenoxy resin (YP50, the Shinnitetsu Chemical make) was produced. And the A-layer, the buffer layer, and the N-layer were laminated, and the anisotropic conductive film of a three-layer structure was produced.

도 6의 (A)에 도시한 바와 같이, 유리 기판(51) 위에 이방성 도전 필름(52)를 가부착하고, IC 탑재 전에 이방성 도전 필름(52) 위로부터 상기 광조사 조건으로 자외선을 조사하였다. 그리고, 도 6의 (B)에 도시한 바와 같이, 조사 종료로부터 2초 후에 IC(53)을 상기 열압착 조건으로 본압착하여, 접속 구조체를 얻었다.As shown in Fig. 6A, an anisotropic conductive film 52 was temporarily attached on a glass substrate 51, and ultraviolet rays were irradiated from above the anisotropic conductive film 52 under the light irradiation conditions before IC mounting. And as shown in FIG.6(B), the IC 53 was main-compressed-bonded under the said thermocompression bonding conditions 2 seconds after completion|finish of irradiation, and the bonded structure was obtained.

표 1에 나타낸 바와 같이, 실시예 1의 접속 구조체의 도통 저항은 0.7Ω, 금속 배선 부분의 경화율은 85%이고, 평가 결과는 OK였다. As shown in Table 1, the conduction resistance of the bonded structure of Example 1 was 0.7 ohm, and the hardening rate of the metal wiring part was 85 %, and the evaluation result was OK.

<비교예 1><Comparative Example 1>

실시예 1과 동일한 3층 구조의 이방성 도전 필름을 사용하였다. 도 7에 도시한 바와 같이, IC 탑재 후에 IC(53) 위로부터 상기 광조사 조건으로 자외선을 조사하였다. 그리고, 조사 종료로부터 2초 후에 IC(53)을 상기 열압착 조건으로 본압착하여, 접속 구조체를 얻었다.An anisotropic conductive film having the same three-layer structure as in Example 1 was used. As shown in Fig. 7, after the IC was mounted, ultraviolet rays were irradiated from above the IC 53 under the above light irradiation conditions. And 2 seconds after completion|finish of irradiation, the IC 53 was main-compressed-bonded under the said thermocompression bonding conditions, and the bonded structure was obtained.

표 1에 나타낸 바와 같이, 비교예 1의 접속 구조체의 도통 저항은 30Ω, 금속 배선 부분의 경화율은 5% 미만이고, 평가 결과는 NG였다.As shown in Table 1, the conduction resistance of the bonded structure of the comparative example 1 was 30 ohms, and the hardening rate of the metal wiring part was less than 5 %, and the evaluation result was NG.

<비교예 2><Comparative Example 2>

실시예 1과 동일한 3층 구조의 이방성 도전 필름을 사용하였다. 도 8에 도시한 바와 같이, 이방성 도전 필름(52) 위에 IC를 탑재 후, 유리 기판(51) 아래로부터 상기 광조사 조건으로 자외선을 조사하였다. 그리고, 조사 종료로부터 2초 후에 IC(53)을 상기 열압착 조건으로 본압착하여, 접속 구조체를 얻었다.An anisotropic conductive film having the same three-layer structure as in Example 1 was used. As shown in FIG. 8 , after the IC was mounted on the anisotropic conductive film 52 , ultraviolet rays were irradiated from under the glass substrate 51 under the light irradiation conditions. And 2 seconds after completion|finish of irradiation, the IC 53 was main-compressed-bonded under the said thermocompression bonding conditions, and the bonded structure was obtained.

표 1에 나타낸 바와 같이, 비교예 2의 접속 구조체의 도통 저항은 1.8Ω, 금속 배선 부분의 경화율은 60%이고, 평가 결과는 NG였다.As shown in Table 1, the conduction resistance of the bonded structure of the comparative example 2 was 1.8 ohms, the hardening rate of the metal wiring part was 60 %, and the evaluation result was NG.

<비교예 3><Comparative Example 3>

실시예 1과 동일한 3층 구조의 이방성 도전 필름을 사용하였다. 도 9의 (A)에 도시한 바와 같이, 유리 기판(51) 위에 이방성 도전 필름(52)를 가부착하고, IC 탑재 전에 유리 기판(51) 아래로부터 상기 광조사 조건으로 자외선을 조사하였다. 그리고, 도 9의 (B)에 도시한 바와 같이, 조사 종료로부터 2초 후에 IC(53)을 상기 열압착 조건으로 본압착하여, 접속 구조체를 얻었다.An anisotropic conductive film having the same three-layer structure as in Example 1 was used. As shown in Fig. 9A, an anisotropic conductive film 52 was temporarily attached on the glass substrate 51, and ultraviolet rays were irradiated from below the glass substrate 51 under the above light irradiation conditions before IC mounting. Then, as shown in Fig. 9(B) , the IC 53 was subjected to main compression bonding under the thermocompression bonding conditions 2 seconds after the completion of irradiation to obtain a bonded structure.

표 1에 나타낸 바와 같이, 비교예 3의 접속 구조체의 도통 저항은 1.8Ω, 금속 배선 부분의 경화율은 60%이고, 평가 결과는 NG였다. As shown in Table 1, the conduction resistance of the bonded structure of the comparative example 3 was 1.8 ohms, the hardening rate of the metal wiring part was 60 %, and the evaluation result was NG.

<비교예 4><Comparative Example 4>

도 10에 도시한 바와 같이, 2층 구조의 이방성 도전 필름을 제작하였다. 우선, 페녹시 수지(YP50, 신니테츠 가가쿠샤제) 20질량부, 액상 에폭시 수지(EP828, 미츠비시 가가쿠샤제) 30질량부, 고형 에폭시 수지(YD014, 신니테츠 가가쿠샤제) 20질량부, 광 양이온 중합 개시제(LW-S1, 산-아프로샤제) 5질량부 및 도전성 입자(AUL704, 세키스이 가가쿠샤제) 30질량부를 배합하여, 두께 8㎛의 A층(61)을 제작하였다. 또한, 페녹시 수지(YP50, 신니테츠 가가쿠샤제) 20질량부, 액상 에폭시 수지(EP828, 미츠비시 가가쿠샤제) 30질량부, 고형 에폭시 수지(YD014, 신니테츠 가가쿠샤제) 20질량부 및 광 양이온 중합 개시제(LW-S1, 산-아프로샤제) 5질량부를 배합하여, 두께 10㎛의 N층을 제작하였다. 그리고, A층과 N층을 라미네이트하여, 2층 구조의 이방성 도전 필름을 제작하였다.As shown in FIG. 10, the anisotropic conductive film of a two-layer structure was produced. First, 20 parts by mass of phenoxy resin (YP50, manufactured by Shin-Nitetsu Chemicals), 30 parts by mass of liquid epoxy resin (EP828, manufactured by Mitsubishi Chemical), 20 parts by mass of solid epoxy resin (YD014, manufactured by Shin-Nitetsu Chemical), light 5 parts by mass of a cationic polymerization initiator (LW-S1, manufactured by San Afro Co., Ltd.) and 30 parts by mass of conductive particles (AUL704, manufactured by Sekisui Chemical) were blended to prepare A-layer 61 having a thickness of 8 µm. Further, 20 parts by mass of phenoxy resin (YP50, manufactured by Shin-Nitetsu Chemicals), 30 parts by mass of liquid epoxy resin (EP828, manufactured by Mitsubishi Chemical), 20 parts by mass of solid epoxy resin (YD014, manufactured by Shin-Nitetsu Chemical) and light 5 parts by mass of a cationic polymerization initiator (LW-S1, manufactured by San-Afro Corporation) was blended to prepare an N-layer having a thickness of 10 µm. And the A-layer and the N-layer were laminated, and the anisotropic conductive film of a two-layer structure was produced.

실시예 1과 마찬가지로, 도 6의 (A)에 도시한 바와 같이, 유리 기판(51) 위에 이방성 도전 필름(52)를 가부착하고, IC 탑재 전에 이방성 도전 필름(52) 위로부터 상기 광조사 조건으로 자외선을 조사하였다. 그리고, 도 6의 (B)에 도시한 바와 같이, 조사 종료로부터 2초 후에 IC(53)을 상기 열압착 조건으로 본압착하여, 접속 구조체를 얻었다.As in Example 1, as shown in FIG. 6A, an anisotropic conductive film 52 is temporarily attached on the glass substrate 51, and before IC mounting, from above the anisotropic conductive film 52 to the light irradiation conditions UV light was irradiated. And as shown in FIG.6(B), the IC 53 was main-compressed-bonded under the said thermocompression bonding conditions 2 seconds after completion|finish of irradiation, and the bonded structure was obtained.

표 1에 나타낸 바와 같이, 비교예 4의 접속 구조체의 도통 저항은 45Ω, 금속 배선 부분의 경화율은 90%이고, 평가 결과는 NG였다.As shown in Table 1, the conduction resistance of the bonded structure of the comparative example 4 was 45 ohms, and the hardening rate of the metal wiring part was 90 %, and the evaluation result was NG.

<비교예 5><Comparative Example 5>

비교예 4와 동일한 2층 구조의 이방성 도전 필름을 사용하였다. 또한, 비교예 2와 마찬가지로, 도 8에 도시한 바와 같이, 이방성 도전 필름(52) 위에 IC를 탑재 후, 유리 기판(51) 아래로부터 상기 광조사 조건으로 자외선을 조사하였다. 그리고, 조사 종료로부터 2초 후에 IC(53)을 상기 열압착 조건으로 본압착하여, 접속 구조체를 얻었다.An anisotropic conductive film having the same two-layer structure as in Comparative Example 4 was used. Further, as in Comparative Example 2, as shown in FIG. 8 , after the IC was mounted on the anisotropic conductive film 52 , ultraviolet rays were irradiated from below the glass substrate 51 under the light irradiation conditions. And 2 seconds after completion|finish of irradiation, the IC 53 was main-compressed-bonded under the said thermocompression bonding conditions, and the bonded structure was obtained.

표 1에 나타낸 바와 같이, 비교예 5의 접속 구조체의 도통 저항은 1.8Ω, 금속 배선 부분의 경화율은 60%이고, 평가 결과는 NG였다.As shown in Table 1, the conduction resistance of the bonded structure of the comparative example 5 was 1.8 ohms, the hardening rate of the metal wiring part was 60 %, and the evaluation result was NG.

Figure 112015078128567-pat00001
Figure 112015078128567-pat00001

비교예 1은 이방성 도전 필름 위에 IC를 탑재 후, IC 위로부터 자외선을 조사하였으므로, IC가 그림자가 되어, 광 양이온 중합 개시제를 활성화시킬 수 없어, 양호한 도통 저항값 및 배선 부분의 경화율을 얻을 수 없었다.In Comparative Example 1, after mounting the IC on the anisotropic conductive film, ultraviolet rays were irradiated from above the IC, so the IC became a shadow, and the photocationic polymerization initiator could not be activated, and a good conduction resistance value and curing rate of the wiring part could be obtained. there was no

비교예 2는 이방성 도전 필름 위에 IC를 탑재 후, 유리 기판 아래로부터 자외선을 조사하였으므로, 자외선의 투과를 방해해 버려, 광 양이온 중합 개시제의 활성화가 불충분해져, 양호한 도통 저항값 및 배선 부분의 경화율을 얻을 수 없었다.In Comparative Example 2, after mounting the IC on the anisotropic conductive film, ultraviolet rays were irradiated from below the glass substrate, so the transmission of ultraviolet rays was prevented, the activation of the photocationic polymerization initiator became insufficient, and the conduction resistance value and the curing rate of the wiring part were satisfactory. could not get

비교예 3은 유리 기판 위에 이방성 도전 필름을 가부착하고, IC 탑재 전에 유리 기판 아래로부터 자외선을 조사하였으므로, 비교예 2와 마찬가지로 자외선의 투과를 방해해 버려, 광 양이온 중합 개시제의 활성화가 불충분해져, 양호한 도통 저항값 및 배선 부분의 경화율을 얻을 수 없었다.In Comparative Example 3, an anisotropic conductive film was temporarily affixed on a glass substrate, and ultraviolet rays were irradiated from below the glass substrate before IC mounting. As in Comparative Example 2, transmission of ultraviolet rays was prevented, and activation of the photocationic polymerization initiator became insufficient, and the The conduction resistance value and the curing rate of the wiring portion could not be obtained.

비교예 4는 양이온 경화성 화합물과 광 양이온 중합 개시제를 동일한 층에 첨가한 이방성 도전 필름을 사용하였으므로, 유리 기판 위에 이방성 도전 필름을 가부착하고, IC 탑재 전에 이방성 도전 필름 위로부터 자외선을 조사했을 때에, 이방성 도전 필름이 경화되어 버려, 열압착 시에 압입 부족에 의해 도통 저항값이 컸다.Comparative Example 4 used an anisotropic conductive film in which a cation-curable compound and a photocationic polymerization initiator were added in the same layer. Therefore, an anisotropic conductive film was temporarily attached on a glass substrate, and UV rays were irradiated from above the anisotropic conductive film before IC mounting. The conductive film was hardened, and the conduction resistance value was large due to insufficient press-fitting at the time of thermocompression bonding.

비교예 5는 이방성 도전 필름 위에 IC를 탑재 후, 유리 기판 아래로부터 자외선을 조사하였으므로, 비교예 2와 마찬가지로 자외선의 투과를 방해해 버려, 광 양이온 중합 개시제의 활성화가 불충분해져, 양호한 도통 저항값 및 배선 부분의 경화율을 얻을 수 없었다.In Comparative Example 5, after the IC was mounted on the anisotropic conductive film, ultraviolet rays were irradiated from below the glass substrate, so as in Comparative Example 2, the transmission of ultraviolet rays was prevented, the activation of the photocationic polymerization initiator became insufficient, and the good conduction resistance value and The curing rate of the wiring portion could not be obtained.

한편, 실시예 1은 양이온 경화성 화합물과 광 양이온 중합 개시제를 다른 층에 첨가한 이방성 도전 필름을 사용하여, IC 탑재 전에 이방성 도전 필름 위로부터 자외선을 조사하였으므로, 이방성 도전 필름을 경화시키지 않고, 광 양이온 중합 개시제를 활성화시킬 수 있어, 양호한 도통 저항값 및 배선 부분의 경화율을 얻을 수 있었다.On the other hand, in Example 1, using an anisotropic conductive film in which a cation-curable compound and a photocationic polymerization initiator were added to another layer, UV rays were irradiated from above the anisotropic conductive film before IC mounting, so the anisotropic conductive film was not cured, and photocationic The polymerization initiator could be activated, and the favorable conduction resistance value and the hardening rate of a wiring part were obtained.

10 : 제1 회로 부재
20 : 이방성 도전 필름
21 : 제1 층
22 : 제2 층
23 : 제3 층
30 : 제2 회로 부재
40 : 압착 툴
51 : 유리 기판
52 : 이방성 도전 필름
53 : IC
61 : A층
62 : N층
10: first circuit member
20: anisotropic conductive film
21: first floor
22: second floor
23: 3rd floor
30: second circuit member
40: crimping tool
51: glass substrate
52: anisotropic conductive film
53: IC
61: A floor
62: N layer

Claims (13)

중합성 화합물과 광중합 개시제를 다른 개소에 편재시킨 이방성 도전 필름에 자외선을 조사하는 광조사 공정과,
상기 이방성 도전 필름을 개재하여 제1 회로 부재와 제2 회로 부재를 열압착하는 열압착 공정
을 갖는 접속 구조체의 제조 방법이고,
상기 이방성 도전 필름이, 중합성 화합물과 도전성 입자를 함유하는 제1 층과, 광중합 개시제와 비중합성 화합물을 함유하는 제2 층을 갖는 것인 접속 구조체의 제조 방법.
A light irradiation step of irradiating ultraviolet rays to an anisotropic conductive film in which a polymerizable compound and a photoinitiator are localized at different locations;
A thermocompression bonding process of thermocompression bonding the first circuit member and the second circuit member through the anisotropic conductive film
A method for manufacturing a bonded structure having
The manufacturing method of the bonded structure in which the said anisotropic conductive film has a 1st layer containing a polymeric compound and electroconductive particle, and a 2nd layer containing a photoinitiator and a nonpolymerizable compound.
삭제delete 제1항에 있어서, 상기 이방성 도전 필름이 상기 제1 층과 상기 제2 층 사이에, 비중합성 화합물을 함유하는 제3 층을 갖는 것인 접속 구조체의 제조 방법.The method for producing a bonded structure according to claim 1, wherein the anisotropic conductive film has a third layer containing a non-polymerizable compound between the first layer and the second layer. 제1항에 있어서, 제1 회로 부재 위에 이방성 도전 필름을 가부착하는 가부착 공정을 더 갖고,
상기 광조사 공정에서는 상기 이방성 도전 필름측으로부터 자외선을 조사하는 것인 접속 구조체의 제조 방법.
According to claim 1, further comprising a temporary attachment step of temporarily attaching the anisotropic conductive film on the first circuit member,
In the said light irradiation process, the manufacturing method of the bonded structure which irradiates an ultraviolet-ray from the said anisotropic conductive film side.
삭제delete 제3항에 있어서, 제1 회로 부재 위에 이방성 도전 필름을 가부착하는 가부착 공정을 더 갖고,
상기 광조사 공정에서는 상기 이방성 도전 필름측으로부터 자외선을 조사하는 것인 접속 구조체의 제조 방법.
The method according to claim 3, further comprising a temporary attachment step of temporarily attaching an anisotropic conductive film on the first circuit member,
In the said light irradiation process, the manufacturing method of the bonded structure which irradiates an ultraviolet-ray from the said anisotropic conductive film side.
제1항에 있어서, 상기 자외선의 조사 완료로부터 상기 열압착까지의 시간이 10초 이하인 접속 구조체의 제조 방법.The method for manufacturing a bonded structure according to claim 1, wherein the time from the completion of the irradiation of the ultraviolet rays to the thermocompression bonding is 10 seconds or less. 삭제delete 제3항에 있어서, 상기 자외선의 조사 완료로부터 상기 열압착까지의 시간이 10초 이하인 접속 구조체의 제조 방법.The manufacturing method of the bonded structure of Claim 3 whose time from the completion of the said ultraviolet-ray irradiation to the said thermocompression bonding is 10 second or less. 제4항에 있어서, 상기 자외선의 조사 완료로부터 상기 열압착까지의 시간이 10초 이하인 접속 구조체의 제조 방법.The manufacturing method of the bonded structure of Claim 4 whose time from the completion of the said ultraviolet-ray irradiation to the said thermocompression bonding is 10 second or less. 제1항, 제3항, 제4항, 제6항, 제7항, 제9항 및 제10항 중 어느 한 항에 기재된 접속 구조체의 제조 방법에 의해 얻어지는 접속 구조체.The bonded structure obtained by the manufacturing method of the bonded structure in any one of Claims 1, 3, 4, 6, 7, 9, and 10. 중합성 화합물과 도전성 입자를 함유하는 제1 층과,
광중합 개시제와 비중합성 화합물을 함유하는 제2 층
을 갖는 이방성 도전 필름.
A first layer containing a polymerizable compound and conductive particles;
Second layer containing a photoinitiator and a non-polymerizable compound
An anisotropic conductive film having
제12항에 있어서, 상기 제1 층과 상기 제2 층 사이에, 비중합성 화합물을 함유하는 제3 층을 갖는 이방성 도전 필름.The anisotropic conductive film according to claim 12, having a third layer containing a non-polymerizable compound between the first layer and the second layer.
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