JP2013014755A - Anisotropic conductive material, connecting structure and method for producing connecting structure - Google Patents

Anisotropic conductive material, connecting structure and method for producing connecting structure Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an anisotropic conductive material which can enhance conduction reliability when used for electric connection between electrodes, and to provide a connecting structure using the anisotropic conductive material.SOLUTION: This anisotropic conductive material includes a curable compound, a photocationic curing agent, a heat curing agent and a conductive particle 5. The curable compound contains a curable compound having an epoxy group or thiirane group. The connecting structure 1 is equipped with a first connection target member 2 having a first electrode 2b on the upper surface 2a, a second connection target member 4 having a second electrode 4b on the lower surface 4a, and a connection part 3 electrically connecting the first and second connection target members 2, 4. The connection part 3 is formed by curing the anisotropic conductive material.

Description

本発明は、複数の導電性粒子を含む異方性導電材料であって、例えば、フレキシブルプリント基板、ガラス基板、ガラスエポキシ基板及び半導体チップなどの様々な接続対象部材の電極間を電気的に接続するために用いることができる異方性導電材料、並びに該異方性導電材料を用いた接続構造体及び接続構造体の製造方法に関する。   The present invention is an anisotropic conductive material including a plurality of conductive particles, for example, electrically connecting electrodes of various connection target members such as a flexible printed circuit board, a glass substrate, a glass epoxy substrate, and a semiconductor chip. The present invention relates to an anisotropic conductive material that can be used to make a connection, a connection structure using the anisotropic conductive material, and a method of manufacturing the connection structure.

ペースト状又はフィルム状の異方性導電材料が広く知られている。該異方性導電材料では、バインダー樹脂などに複数の導電性粒子が分散されている。   Pasty or film-like anisotropic conductive materials are widely known. In the anisotropic conductive material, a plurality of conductive particles are dispersed in a binder resin or the like.

上記異方性導電材料は、各種の接続構造体を得るために、例えば、フレキシブルプリント基板とガラス基板との接続(FOG(Film on Glass))、半導体チップとフレキシブルプリント基板との接続(COF(Chip on Film))、半導体チップとガラス基板との接続(COG(Chip on Glass))、並びにフレキシブルプリント基板とガラスエポキシ基板との接続(FOB(Film on Board))等に使用されている。   In order to obtain various connection structures, the anisotropic conductive material is, for example, a connection between a flexible printed circuit board and a glass substrate (FOG (Film on Glass)) or a connection between a semiconductor chip and a flexible printed circuit board (COF ( Chip on Film)), connection between a semiconductor chip and a glass substrate (COG (Chip on Glass)), connection between a flexible printed circuit board and a glass epoxy substrate (FOB (Film on Board)), and the like.

上記異方性導電材料の一例として、下記の特許文献1には、ラジカル重合性物質(1)と、加熱により遊離ラジカルを発生する重合開始剤(2)と、エポキシ樹脂(3)と、カチオン重合性開始剤(4)とを含む異方性導電材料が開示されている。上記ラジカル重合性物質(1)としては、エチレンオキサイド及びプロピレンオキサイドの内の少なくとも1種の骨格を6個以上有し、かつ(メタ)アクリロイル基を2個以上有する(メタ)アクリレート化合物が挙げられている。   As an example of the anisotropic conductive material, the following Patent Document 1 includes a radical polymerizable substance (1), a polymerization initiator (2) that generates free radicals upon heating, an epoxy resin (3), and a cation. An anisotropic conductive material containing a polymerizable initiator (4) is disclosed. Examples of the radical polymerizable substance (1) include (meth) acrylate compounds having at least six skeletons of ethylene oxide and propylene oxide and two or more (meth) acryloyl groups. ing.

下記の特許文献2には、高分子(A)と、光硬化性樹脂(B)と、該光硬化性樹脂(B)を硬化させる硬化触媒(C)と、反応性希釈剤(D)と、導電性粒子(E)とを含む異方性導電材料が開示されている。この異方性導電材料の23℃での粘度は5000cps〜300000cpsである。   In the following Patent Document 2, a polymer (A), a photocurable resin (B), a curing catalyst (C) for curing the photocurable resin (B), a reactive diluent (D), and An anisotropic conductive material containing conductive particles (E) is disclosed. The anisotropic conductive material has a viscosity at 23 ° C. of 5000 cps to 300000 cps.

特開2006−127776号公報JP 2006-127776 A 特開平11−335641号公報JP-A-11-335641

上記異方性導電材料により、例えば、半導体チップの電極とガラス基板の電極とを電気的に接続する際には、ガラス基板上に、導電性粒子を含む異方性導電材料を配置する。次に、半導体チップを積層して、加熱及び加圧する。これにより、異方性導電材料を硬化させて、かつ導電性粒子を介して電極間を電気的に接続し、接続構造体を得る。   For example, when the electrode of the semiconductor chip and the electrode of the glass substrate are electrically connected by the anisotropic conductive material, an anisotropic conductive material containing conductive particles is disposed on the glass substrate. Next, the semiconductor chips are stacked, and heated and pressurized. As a result, the anisotropic conductive material is cured, and the electrodes are electrically connected via the conductive particles to obtain a connection structure.

特許文献1,2に記載のような従来の異方性導電材料では、上記電極間の電気的な接続の際に、ガラス基板上に配置された異方性導電材料及び該異方性導電材料に含まれている導電性粒子が、硬化前に大きく流動することがある。このため、異方性導電材料により形成された硬化物層及び導電性粒子を特定の領域に配置できないことがある。さらに、接続されるべき上下の電極間に導電性粒子を配置できなかったり、接続されてはならない隣接する電極間が複数の導電性粒子を介して電気的に接続されたりすることがある。このため、得られる接続構造体における導通信頼性が低いことがある。   In the conventional anisotropic conductive material as described in Patent Documents 1 and 2, the anisotropic conductive material disposed on the glass substrate at the time of electrical connection between the electrodes and the anisotropic conductive material In some cases, the conductive particles contained in the fluid flow largely before curing. For this reason, the hardened | cured material layer and electroconductive particle formed with the anisotropic electrically-conductive material may not be arrange | positioned to a specific area | region. Furthermore, the conductive particles may not be disposed between the upper and lower electrodes to be connected, or adjacent electrodes that should not be connected may be electrically connected via a plurality of conductive particles. For this reason, the conduction | electrical_connection reliability in the connection structure obtained may be low.

本発明の目的は、複数の導電性粒子を含む異方性導電材料であって、電極間の電気的な接続に用いられた場合に、導通信頼性を高めることができる異方性導電材料、並びに該異方性導電材料を用いた接続構造体及び接続構造体の製造方法を提供することである。   An object of the present invention is an anisotropic conductive material including a plurality of conductive particles, which can improve conduction reliability when used for electrical connection between electrodes, The present invention also provides a connection structure using the anisotropic conductive material and a method for manufacturing the connection structure.

本発明の広い局面によれば、硬化性化合物と、光カチオン硬化剤と、熱硬化剤と、導電性粒子とを含み、上記硬化性化合物が、エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物を含有する、異方性導電材料が提供される。   According to a wide aspect of the present invention, the curable compound includes a curable compound, a photocationic curing agent, a thermosetting agent, and conductive particles, and the curable compound includes a curable compound having an epoxy group or a thiirane group. An anisotropic conductive material is provided.

本発明に係る異方性導電材料のある特定の局面では、光ラジカル開始剤がさらに含まれている。   In a specific aspect of the anisotropic conductive material according to the present invention, a photoradical initiator is further included.

本発明に係る異方性導電材料の他の特定の局面では、上記硬化性化合物は、不飽和二重結合を有する硬化性化合物を含有する。   In another specific aspect of the anisotropic conductive material according to the present invention, the curable compound contains a curable compound having an unsaturated double bond.

本発明に係る異方性導電材料のさらに他の特定の局面では、上記硬化性化合物は、エポキシ基又はチイラン基を有し、かつ(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物を含有する。   In still another specific aspect of the anisotropic conductive material according to the present invention, the curable compound contains a curable compound having an epoxy group or a thiirane group and having a (meth) acryloyl group.

本発明に係る異方性導電材料は、ペースト状の異方性導電ペーストであることが好ましい。   The anisotropic conductive material according to the present invention is preferably a paste-like anisotropic conductive paste.

本発明に係る接続構造体は、第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材と、該第1,第2の接続対象部材を電気的に接続している接続部とを備え、該接続部が、上述した異方性導電材料を硬化させることにより形成されている。   A connection structure according to the present invention includes a first connection target member, a second connection target member, and a connection part that electrically connects the first and second connection target members, The connecting portion is formed by curing the anisotropic conductive material described above.

本発明に係る接続構造体の製造方法は、第1の電極を上面に有する第1の接続対象部材上に、異方性導電材料を用いた異方性導電材料層を配置する工程と、該異方性導電材料層に光を照射することにより硬化を進行させて、上記異方性導電材料層をBステージ化する工程と、Bステージ化された異方性導電材料層の上面に、第2の電極を下面に有する第2の接続対象部材をさらに積層する工程と、上記Bステージ化された異方性導電材料層を加熱することにより硬化させる工程とを備え、上記異方性導電材料として、上述した異方性導電材料が用いられる。   The method for manufacturing a connection structure according to the present invention includes a step of disposing an anisotropic conductive material layer using an anisotropic conductive material on a first connection target member having a first electrode on an upper surface, Curing is progressed by irradiating the anisotropic conductive material layer with light, and the anisotropic conductive material layer is converted into a B-stage, and an upper surface of the B-staged anisotropic conductive material layer is A step of further laminating a second connection target member having two electrodes on the lower surface, and a step of curing the B-staged anisotropic conductive material layer by heating, the anisotropic conductive material As described above, the anisotropic conductive material described above is used.

本発明に係る接続構造体の製造方法のある特定の局面では、上記異方性導電材料層をBステージ化する工程において、上記導電性粒子により光が遮られて光が直接照射されなかった異方性導電材料層部分の硬化を、上記光カチオン硬化剤の作用によるカチオン反応により進行させる。   In a specific aspect of the method for manufacturing a connection structure according to the present invention, in the step of forming the anisotropic conductive material layer into a B-stage, light is blocked by the conductive particles and is not directly irradiated with light. Curing of the isotropic conductive material layer portion is advanced by a cation reaction due to the action of the photocationic curing agent.

本発明に係る異方性導電材料は、硬化性化合物と光カチオン硬化剤と熱硬化剤と導電性粒子とを含み、かつ上記硬化性化合物がエポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物を含有するので、例えば、異方性導電材料を光の照射により良好にBステージ化させた後に、加熱によりBステージ化した異方性導電材料を本硬化させることができる。このため、適切な時期に異方性導電材料に光を照射することにより、異方性導電材料及び該異方性導電材料に含まれている導電性粒子の流動を抑制できる。従って、異方性導電材料により形成された硬化物層及び導電性粒子を特定の領域に配置できる。従って、本発明に係る異方性導電材料を電極間の電気的な接続に用いることによって、接続構造体における電極間の導通信頼性を高めることができる。   An anisotropic conductive material according to the present invention includes a curable compound, a photocationic curing agent, a thermosetting agent, and conductive particles, and the curable compound includes a curable compound having an epoxy group or a thiirane group. Therefore, for example, after the anisotropic conductive material is favorably B-staged by light irradiation, the anisotropic conductive material that has been B-staged by heating can be fully cured. For this reason, the flow of the anisotropic conductive material and the conductive particles contained in the anisotropic conductive material can be suppressed by irradiating the anisotropic conductive material with light at an appropriate time. Therefore, the hardened | cured material layer and electroconductive particle formed with the anisotropic electrically-conductive material can be arrange | positioned in a specific area | region. Therefore, by using the anisotropic conductive material according to the present invention for the electrical connection between the electrodes, the conduction reliability between the electrodes in the connection structure can be enhanced.

図1は、本発明の一実施形態に係る異方性導電材料を用いた接続構造体を模式的に示す正面断面図である。FIG. 1 is a front sectional view schematically showing a connection structure using an anisotropic conductive material according to an embodiment of the present invention. 図2(a)〜(c)は、本発明の一実施形態に係る異方性導電材料を用いて接続構造体を得る各工程を説明するための正面断面図である。2A to 2C are front cross-sectional views for explaining each step of obtaining a connection structure using the anisotropic conductive material according to the embodiment of the present invention. 図3は、異方性導電材料層に光を照射したときに、導電性粒子により光が遮られて光が直接照射されなかった異方性導電材料層部分を説明するための模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram for explaining an anisotropic conductive material layer portion where light is blocked by conductive particles and light is not directly irradiated when the anisotropic conductive material layer is irradiated with light. . 図4は、電極に形成された凹部を説明するための模式的な断面図である。FIG. 4 is a schematic cross-sectional view for explaining a recess formed in the electrode.

以下、本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明に係る異方性導電材料は、硬化性化合物と、光カチオン硬化剤と、熱硬化剤と、導電性粒子とを含む。上記硬化性化合物は、エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物を含有する。   The anisotropic conductive material according to the present invention includes a curable compound, a photocationic curing agent, a thermosetting agent, and conductive particles. The curable compound contains a curable compound having an epoxy group or a thiirane group.

本発明に係る異方性導電材料における上記組成の採用によって、光の照射により、異方性導電材料の硬化を進行させることができる。例えば、異方性導電材料を光の照射により良好にBステージ化させた後に、加熱することでBステージ化した異方性導電材料を本硬化させることができる。このため、適切な時期に異方性導電材料に光を照射することにより、異方性導電材料及び該異方性導電材料に含まれている導電性粒子の流動を抑制できる。特に、異方性導電材料に光を照射したときに、導電性粒子により光が遮られて光が直接照射されなかった異方性導電材料層部分の硬化も、光カチオン硬化剤の作用によるカチオン反応によって充分に進行させることができる。この結果、異方性導電材料及び該異方性導電材料に含まれている導電性粒子の流動がかなり抑えられる。   By adopting the above composition in the anisotropic conductive material according to the present invention, curing of the anisotropic conductive material can be advanced by light irradiation. For example, after the anisotropic conductive material is well B-staged by light irradiation, the B-staged anisotropic conductive material can be fully cured by heating. For this reason, the flow of the anisotropic conductive material and the conductive particles contained in the anisotropic conductive material can be suppressed by irradiating the anisotropic conductive material with light at an appropriate time. In particular, when the anisotropic conductive material is irradiated with light, the light is blocked by the conductive particles and the light is not directly irradiated. The reaction can proceed sufficiently. As a result, the flow of the anisotropic conductive material and the conductive particles contained in the anisotropic conductive material is considerably suppressed.

従って、異方性導電材料により形成された接続部及び導電性粒子を特定の領域に配置できる。このため、本発明に係る異方性導電材料を電極間の電気的な接続に用いた場合には、導通信頼性を高めることができる。   Therefore, the connection part and electroconductive particle formed with the anisotropic electrically-conductive material can be arrange | positioned in a specific area | region. For this reason, when the anisotropic conductive material which concerns on this invention is used for the electrical connection between electrodes, conduction | electrical_connection reliability can be improved.

以下、先ず、本発明に係る異方性導電材料に含まれている各成分の詳細を説明する。   Hereinafter, first, the details of each component contained in the anisotropic conductive material according to the present invention will be described.

(硬化性化合物)
上記硬化性化合物は、エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物を含有する。エポキシ基を有する硬化性化合物は、エポキシ化合物である。チイラン基を有する硬化性化合物は、エピスルフィド化合物である。上記エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Curable compound)
The curable compound contains a curable compound having an epoxy group or a thiirane group. The curable compound having an epoxy group is an epoxy compound. The curable compound having a thiirane group is an episulfide compound. As for the said curable compound which has an epoxy group or thiirane group, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記硬化性化合物は、チイラン基を有する硬化性化合物を含有することがより好ましい。上記エピスルフィド化合物は、エポキシ基ではなくチイラン基を有するので、低温で速やかに硬化させることができる。すなわち、チイラン基を有するエピスルフィド化合物は、エポキシ基を有するエポキシ化合物と比較して、チイラン基に由来してより一層低い温度で硬化可能である。   More preferably, the curable compound contains a curable compound having a thiirane group. Since the episulfide compound has a thiirane group instead of an epoxy group, it can be quickly cured at a low temperature. That is, the episulfide compound having a thiirane group can be cured at a lower temperature derived from the thiirane group as compared with the epoxy compound having an epoxy group.

上記エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物は、芳香族環を有することが好ましい。上記芳香族環としては、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、テトラセン環、クリセン環、トリフェニレン環、テトラフェン環、ピレン環、ペンタセン環、ピセン環及びペリレン環等が挙げられる。なかでも、上記芳香族環は、ベンゼン環、ナフタレン環又はアントラセン環であることが好ましく、ベンゼン環又はナフタレン環であることがより好ましい。また、ナフタレン環は、平面構造を有するためにより一層速やかに硬化させることができるので好ましい。   The curable compound having an epoxy group or thiirane group preferably has an aromatic ring. Examples of the aromatic ring include a benzene ring, naphthalene ring, anthracene ring, phenanthrene ring, tetracene ring, chrysene ring, triphenylene ring, tetraphen ring, pyrene ring, pentacene ring, picene ring, and perylene ring. Especially, it is preferable that the said aromatic ring is a benzene ring, a naphthalene ring, or an anthracene ring, and it is more preferable that it is a benzene ring or a naphthalene ring. A naphthalene ring is preferred because it has a planar structure and can be cured more rapidly.

異方性導電材料の硬化性を高める観点からは、上記硬化性化合物100重量%中、上記エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物の含有量は、好ましくは10重量%以上、より好ましくは20重量%以上、100重量%以下である。上記硬化性化合物の全量が上記エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物であってもよい。上記エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物と該エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物とは異なる他の硬化性化合物とを併用する場合には、上記硬化性化合物100重量%中、上記エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物の含有量は、好ましくは99重量%以下、より好ましくは95重量%以下、更に好ましくは90重量%以下、特に好ましくは80重量%以下である。   From the viewpoint of enhancing the curability of the anisotropic conductive material, the content of the curable compound having the epoxy group or thiirane group is preferably 10% by weight or more, more preferably 20% in 100% by weight of the curable compound. % By weight or more and 100% by weight or less. The total amount of the curable compound may be a curable compound having the epoxy group or thiirane group. When the curable compound having an epoxy group or thiirane group and another curable compound different from the curable compound having an epoxy group or thiirane group are used in combination, the epoxy is contained in 100% by weight of the curable compound. The content of the curable compound having a group or thiirane group is preferably 99% by weight or less, more preferably 95% by weight or less, still more preferably 90% by weight or less, and particularly preferably 80% by weight or less.

上記硬化性化合物は、エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物とは異なる他の硬化性化合物をさらに含有していてもよい。該他の硬化性化合物としては、不飽和二重結合を有する硬化性化合物、フェノール硬化性化合物、アミノ硬化性化合物、不飽和ポリエステル硬化性化合物、ポリウレタン硬化性化合物、シリコーン硬化性化合物及びポリイミド硬化性化合物等が挙げられる。上記他の硬化性化合物は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The curable compound may further contain another curable compound different from the curable compound having an epoxy group or a thiirane group. Examples of the other curable compounds include curable compounds having an unsaturated double bond, phenol curable compounds, amino curable compounds, unsaturated polyester curable compounds, polyurethane curable compounds, silicone curable compounds, and polyimide curable compounds. Compounds and the like. As for said other curable compound, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記異方性導電材料の硬化を容易に制御したり、接続構造体における導通信頼性をより一層高めたりする観点からは、上記硬化性化合物は、不飽和二重結合を有する硬化性化合物を含有することが好ましい。上記異方性導電材料の硬化を容易に制御したり、接続構造体における導通信頼性をさらに一層高めたりする観点からは、上記不飽和二重結合を有する硬化性化合物は、(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物であることが好ましい。上記(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物の使用により、Bステージ化した異方性導電材料の各部分における硬化率を好適な範囲に制御することが容易になり、得られる接続構造体の導通信頼性がより一層高くなる。   From the viewpoint of easily controlling the curing of the anisotropic conductive material or further improving the conduction reliability in the connection structure, the curable compound contains a curable compound having an unsaturated double bond. It is preferable to do. From the viewpoint of easily controlling the curing of the anisotropic conductive material and further improving the conduction reliability in the connection structure, the curable compound having an unsaturated double bond is a (meth) acryloyl group. It is preferable that it is a curable compound which has. By using the curable compound having the (meth) acryloyl group, it becomes easy to control the curing rate in each part of the B-staged anisotropic conductive material within a suitable range, and the resulting connected structure is electrically connected. Reliability becomes even higher.

エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物と(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物のような不飽和二重結合を有する硬化性化合物とを併用する場合、その配当量は特に限定されない。エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物100重量部に対して、上記不飽和二重結合を有する硬化性化合物の含有量は好ましくは5重量部以上、より好ましくは10重量部以上、更に好ましくは20重量部以上、好ましくは60重量部以下、より好ましくは50重量部以下、更に好ましくは40重量部以下である。   When a curable compound having an epoxy group or thiirane group and a curable compound having an unsaturated double bond such as a curable compound having a (meth) acryloyl group are used in combination, the dividend amount is not particularly limited. The content of the curable compound having an unsaturated double bond is preferably 5 parts by weight or more, more preferably 10 parts by weight or more, and still more preferably with respect to 100 parts by weight of the curable compound having an epoxy group or thiirane group. It is 20 parts by weight or more, preferably 60 parts by weight or less, more preferably 50 parts by weight or less, and still more preferably 40 parts by weight or less.

Bステージ化した異方性導電材料層の硬化率を容易に制御し、更に得られる接続構造体の導通信頼性をより一層高める観点からは、上記(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物は、(メタ)アクリロイル基を1個又は2個有することが好ましい。   From the viewpoint of easily controlling the curing rate of the B-staged anisotropic conductive material layer and further improving the conduction reliability of the resulting connection structure, the curable compound having the (meth) acryloyl group is: It is preferable to have one or two (meth) acryloyl groups.

上記(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物としては、エポキシ基及びチイラン基を有さず、かつ(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物、及びエポキシ基又はチイラン基を有し、かつ(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物が挙げられる。   The curable compound having the (meth) acryloyl group has no epoxy group and thiirane group, and has a (meth) acryloyl group, and has an epoxy group or thiirane group, and (meth) A curable compound having an acryloyl group may be mentioned.

上記(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物として、(メタ)アクリル酸と水酸基を有する化合物とを反応させて得られるエステル化合物、(メタ)アクリル酸とエポキシ化合物とを反応させて得られるエポキシ(メタ)アクリレート、又はイソシアネートに水酸基を有する(メタ)アクリル酸誘導体を反応させて得られるウレタン(メタ)アクリレート等が好適に用いられる。上記「(メタ)アクリロイル基」は、アクリロイル基とメタクリロイル基とを示す。上記「(メタ)アクリル」は、アクリルとメタクリルとを示す。上記「(メタ)アクリレート」は、アクリレートとメタクリレートとを示す。   As the curable compound having the (meth) acryloyl group, an ester compound obtained by reacting a (meth) acrylic acid and a compound having a hydroxyl group, an epoxy obtained by reacting (meth) acrylic acid and an epoxy compound ( A (meth) acrylate, a urethane (meth) acrylate obtained by reacting a (meth) acrylic acid derivative having a hydroxyl group with an isocyanate, or the like is preferably used. The “(meth) acryloyl group” refers to an acryloyl group and a methacryloyl group. The “(meth) acryl” refers to acryl and methacryl. The “(meth) acrylate” refers to acrylate and methacrylate.

上記(メタ)アクリル酸と水酸基を有する化合物とを反応させて得られるエステル化合物は特に限定されない。該エステル化合物として、単官能のエステル化合物、2官能のエステル化合物及び3官能以上のエステル化合物のいずれも使用可能である。   The ester compound obtained by making the said (meth) acrylic acid and the compound which has a hydroxyl group react is not specifically limited. As the ester compound, any of a monofunctional ester compound, a bifunctional ester compound, and a trifunctional or higher functional ester compound can be used.

上記エポキシ基又はチイラン基を有し、かつ(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物は、エポキシ基を2個以上又はチイラン基を2個以上有する化合物の一部のエポキシ基又は一部のチイラン基を、(メタ)アクリロイル基に変換することにより得られる硬化性化合物であることが好ましい。この硬化性化合物は、部分(メタ)アクリレート化エポキシ化合物又は部分(メタ)アクリレート化エピスルフィド化合物である。   The curable compound having an epoxy group or thiirane group and having a (meth) acryloyl group is a part of the epoxy group or part of thiirane group of the compound having two or more epoxy groups or two or more thiirane groups. It is preferable that it is a curable compound obtained by converting into a (meth) acryloyl group. This curable compound is a partially (meth) acrylated epoxy compound or a partially (meth) acrylated episulfide compound.

上記硬化性化合物は、エポキシ基を2個以上又はチイラン基を2個以上有する化合物と、(メタ)アクリル酸との反応物を含有することが好ましい。この反応物は、エポキシ基を2個以上又はチイラン基を2個以上有する化合物と(メタ)アクリル酸とを、常法に従って塩基性触媒の存在下で反応することにより得られる。エポキシ基又はチイラン基の20%以上が(メタ)アクリロイル基に変換(転化率)されていることが好ましい。該転化率は、より好ましくは30%以上、好ましくは80%以下、より好ましくは70%以下である。エポキシ基又はチイラン基の40%以上、60%以下が(メタ)アクリロイル基に変換されていることが最も好ましい。   The curable compound preferably contains a reaction product of a compound having two or more epoxy groups or two or more thiirane groups and (meth) acrylic acid. This reaction product is obtained by reacting a compound having two or more epoxy groups or two or more thiirane groups with (meth) acrylic acid in the presence of a basic catalyst according to a conventional method. It is preferable that 20% or more of the epoxy group or thiirane group is converted (converted) to a (meth) acryloyl group. The conversion is more preferably 30% or more, preferably 80% or less, more preferably 70% or less. Most preferably, 40% or more and 60% or less of the epoxy group or thiirane group is converted to a (meth) acryloyl group.

上記部分(メタ)アクリレート化エポキシ化合物としては、ビスフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、カルボン酸無水物変性エポキシ(メタ)アクリレート、及びフェノールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Examples of the partially (meth) acrylated epoxy compound include bisphenol type epoxy (meth) acrylate, cresol novolac type epoxy (meth) acrylate, carboxylic acid anhydride-modified epoxy (meth) acrylate, and phenol novolac type epoxy (meth) acrylate. Is mentioned.

上記硬化性化合物として、エポキシ基を2個以上又はチイラン基を2個以上有するフェノキシ樹脂の一部のエポキシ基又は一部のチイラン基を(メタ)アクリロイル基に変換した変性フェノキシ樹脂を用いてもよい。すなわち、エポキシ基又はチイラン基と(メタ)アクリロイル基とを有する変性フェノキシ樹脂を用いてもよい。   As the curable compound, a modified phenoxy resin obtained by converting a part of epoxy groups of a phenoxy resin having two or more epoxy groups or two or more thiirane groups or a part of thiirane groups into a (meth) acryloyl group may be used. Good. That is, a modified phenoxy resin having an epoxy group or thiirane group and a (meth) acryloyl group may be used.

また、上記硬化性化合物は、架橋性化合物であってもよく、非架橋性化合物であってもよい。   The curable compound may be a crosslinkable compound or a non-crosslinkable compound.

上記架橋性化合物の具体例としては、例えば、1,4−ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,9−ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、(ポリ)プロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、グリセリンメタクリレートアクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、(メタ)アクリル酸アリル、(メタ)アクリル酸ビニル、ジビニルベンゼン、ポリエステル(メタ)アクリレート、及びウレタン(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Specific examples of the crosslinkable compound include 1,4-butanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, (poly ) Ethylene glycol di (meth) acrylate, (poly) propylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, glycerol methacrylate acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, tri Examples include methylolpropane trimethacrylate, allyl (meth) acrylate, vinyl (meth) acrylate, divinylbenzene, polyester (meth) acrylate, and urethane (meth) acrylate.

上記非架橋性化合物の具体例としては、エチル(メタ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレート、イソプロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、ペンチル(メタ)アクリレート、ヘキシル(メタ)アクリレート、ヘプチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、n−オクチル(メタ)アクリレート、イソオクチル(メタ)アクリレート、ノニル(メタ)アクリレート、デシル(メタ)アクリレート、ウンデシル(メタ)アクリレート、ドデシル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート及びテトラデシル(メタ)アクリレート等が挙げられる。   Specific examples of the non-crosslinkable compound include ethyl (meth) acrylate, n-propyl (meth) acrylate, isopropyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, t-butyl (meth) ) Acrylate, pentyl (meth) acrylate, hexyl (meth) acrylate, heptyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, isooctyl (meth) acrylate, nonyl (meth) acrylate, decyl (Meth) acrylate, undecyl (meth) acrylate, dodecyl (meth) acrylate, tridecyl (meth) acrylate, tetradecyl (meth) acrylate, and the like.

(熱硬化剤)
上記熱硬化剤は特に限定されない。上記熱硬化剤として、従来公知の熱硬化剤が使用可能である。上記熱硬化剤としては、イミダゾール硬化剤、アミン硬化剤、フェノール硬化剤、ポリチオール硬化剤及び酸無水物等が挙げられる。上記熱硬化剤は、熱ラジカル開始剤ではない熱硬化剤であってもよい。上記熱硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Thermosetting agent)
The said thermosetting agent is not specifically limited. A conventionally known thermosetting agent can be used as the thermosetting agent. Examples of the thermosetting agent include imidazole curing agents, amine curing agents, phenol curing agents, polythiol curing agents, and acid anhydrides. The thermosetting agent may be a thermosetting agent that is not a thermal radical initiator. As for the said thermosetting agent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

異方性導電材料を低温でより一層速やかに硬化させることができるので、上記熱硬化剤は、イミダゾール硬化剤、ポリチオール硬化剤又はアミン硬化剤であることが好ましい。また、異方性導電材料の保存安定性が高くなるので、潜在性の硬化剤が好ましい。該潜在性の硬化剤は、潜在性イミダゾール硬化剤、潜在性ポリチオール硬化剤又は潜在性アミン硬化剤であることが好ましい。上記熱硬化剤は、ポリウレタン樹脂又はポリエステル樹脂等の高分子物質で被覆されていてもよい。   Since the anisotropic conductive material can be cured more rapidly at a low temperature, the thermosetting agent is preferably an imidazole curing agent, a polythiol curing agent, or an amine curing agent. Moreover, since the storage stability of an anisotropic conductive material becomes high, a latent hardening | curing agent is preferable. The latent curing agent is preferably a latent imidazole curing agent, a latent polythiol curing agent or a latent amine curing agent. The thermosetting agent may be coated with a polymer material such as polyurethane resin or polyester resin.

上記イミダゾール硬化剤としては、特に限定されず、2−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾリウムトリメリテート、2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジン及び2,4−ジアミノ−6−[2’−メチルイミダゾリル−(1’)]−エチル−s−トリアジンイソシアヌル酸付加物等が挙げられる。   The imidazole curing agent is not particularly limited, and 2-methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazolium trimellitate, 2, 4-Diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1 ')]-ethyl-s-triazine and 2,4-diamino-6- [2'-methylimidazolyl- (1')]-ethyl-s- Examples include triazine isocyanuric acid adducts.

上記ポリチオール硬化剤としては、特に限定されず、トリメチロールプロパントリス−3−メルカプトプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス−3−メルカプトプロピオネート及びジペンタエリスリトールヘキサ−3−メルカプトプロピオネート等が挙げられる。   The polythiol curing agent is not particularly limited, and examples thereof include trimethylolpropane tris-3-mercaptopropionate, pentaerythritol tetrakis-3-mercaptopropionate, and dipentaerythritol hexa-3-mercaptopropionate. .

上記アミン硬化剤としては、特に限定されず、ヘキサメチレンジアミン、オクタメチレンジアミン、デカメチレンジアミン、3,9−ビス(3−アミノプロピル)−2,4,8,10−テトラスピロ[5.5]ウンデカン、ビス(4−アミノシクロヘキシル)メタン、メタフェニレンジアミン及びジアミノジフェニルスルホン等が挙げられる。   The amine curing agent is not particularly limited, and hexamethylene diamine, octamethylene diamine, decamethylene diamine, 3,9-bis (3-aminopropyl) -2,4,8,10-tetraspiro [5.5]. Examples include undecane, bis (4-aminocyclohexyl) methane, metaphenylenediamine, and diaminodiphenylsulfone.

上記熱硬化剤の含有量は特に限定されない。上記硬化性化合物中の上記熱硬化性化合物100重量部に対して、上記熱硬化剤の含有量は、好ましくは5重量部以上、より好ましくは10重量部以上、好ましくは40重量部以下、より好ましくは30重量部以下、更に好ましくは20重量部以下である。上記熱硬化剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、異方性導電材料が充分に熱硬化する。上記熱硬化性化合物は、加熱により硬化可能な硬化性化合物である。   The content of the thermosetting agent is not particularly limited. The content of the thermosetting agent with respect to 100 parts by weight of the thermosetting compound in the curable compound is preferably 5 parts by weight or more, more preferably 10 parts by weight or more, and preferably 40 parts by weight or less. The amount is preferably 30 parts by weight or less, more preferably 20 parts by weight or less. When the content of the thermosetting agent is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the anisotropic conductive material is sufficiently thermoset. The thermosetting compound is a curable compound that can be cured by heating.

(光カチオン硬化剤)
本発明に係る異方性導電材料は、光カチオン硬化剤を含むので、光照射後の異方性導電材料の硬化を速やかに進行させることができる。さらに、導電性粒子により光が遮られて光が直接照射されなかった異方性導電材料層部分も、光カチオン硬化剤の作用によるカチオン反応によって、硬化を充分に進行させることができる。
(Photocationic curing agent)
Since the anisotropic conductive material which concerns on this invention contains a photocationic hardening agent, hardening of the anisotropic conductive material after light irradiation can be advanced rapidly. Furthermore, the anisotropic conductive material layer portion that is blocked by the conductive particles and not directly irradiated with light can be sufficiently cured by the cation reaction due to the action of the photocation curing agent.

上記光カチオン硬化剤は特に限定されない。上記光カチオン硬化剤として、従来公知の光カチオン硬化剤が使用可能である。上記光カチオン硬化剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The photocationic curing agent is not particularly limited. As the photocationic curing agent, a conventionally known photocationic curing agent can be used. As for the said photocation hardening | curing agent, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記光カチオン硬化剤としては、ヨードニウム系光カチオン硬化剤、オキソニウム系光カチオン硬化剤及びスルホニウム系光カチオン硬化剤等が挙げられる。上記ヨードニウム系光カチオン硬化剤としては、例えば、ビス(4−tert−ブチルフェニル)ヨードニウムヘキサフルオロホスファート等が挙げられる。上記オキソニウム系光カチオン硬化剤としては、例えば、トリメチルオキソニウムテトラフルオロボラート等が挙げられる。上記スルホニウム系光カチオン硬化剤としては、例えば、トリ−p−トリルスルホニウムヘキサフルオロホスファート及びトリフェニルスルホニウムブロミド等が挙げられる。なかでも、異方性導電材料の硬化性をより一層良好にし、電極間の導通信頼性をより一層高める観点からは、スルホニウム系光カチオン硬化剤が好ましい。   Examples of the photocationic curing agent include iodonium-based photocationic curing agents, oxonium-based photocationic curing agents, and sulfonium-based photocationic curing agents. Examples of the iodonium-based photocationic curing agent include bis (4-tert-butylphenyl) iodonium hexafluorophosphate. Examples of the oxonium-based photocationic curing agent include trimethyloxonium tetrafluoroborate. Examples of the sulfonium-based photocationic curing agent include tri-p-tolylsulfonium hexafluorophosphate and triphenylsulfonium bromide. Of these, a sulfonium-based photocationic curing agent is preferable from the viewpoint of further improving the curability of the anisotropic conductive material and further enhancing the conduction reliability between the electrodes.

上記光カチオン硬化剤の含有量は特に限定されない。上記硬化性化合物中の上記光硬化性化合物100重量部に対して、上記光カチオン硬化剤の含有量は、好ましくは0.1重量部以上、より好ましくは0.2重量部以上、好ましくは2重量部以下、より好ましくは1重量部以下である。上記光カチオン硬化剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、異方性導電材料が適度に光硬化する。異方性導電材料に光を照射し、Bステージ化することにより、異方性導電材料の流動を抑制できる。上記光硬化性化合物は、光の照射により硬化可能な硬化性化合物である。   The content of the photocationic curing agent is not particularly limited. The content of the photocationic curing agent is preferably 0.1 parts by weight or more, more preferably 0.2 parts by weight or more, preferably 2 parts per 100 parts by weight of the photocurable compound in the curable compound. It is 1 part by weight or less, more preferably 1 part by weight or less. When the content of the photocation curing agent is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the anisotropic conductive material is appropriately photocured. By irradiating the anisotropic conductive material with light to form a B stage, the flow of the anisotropic conductive material can be suppressed. The photocurable compound is a curable compound that can be cured by light irradiation.

(光ラジカル開始剤)
上記異方性導電材料は、光の照射により一層効率的に硬化可能であるように、光ラジカル開始剤を含むことが好ましい。光ラジカル開始剤の使用により、電極間の導通信頼性がより一層高くなる。上記光ラジカル開始剤は特に限定されない。上記光ラジカル開始剤として、従来公知の光ラジカル開始剤が使用可能である。上記光ラジカル開始剤は、1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Photo radical initiator)
The anisotropic conductive material preferably contains a photo radical initiator so that it can be more efficiently cured by light irradiation. Use of the photo radical initiator further increases the conduction reliability between the electrodes. The photo radical initiator is not particularly limited. A conventionally known photoradical initiator can be used as the photoradical initiator. As for the said photoradical initiator, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記光ラジカル開始剤としては特に限定されず、アセトフェノン光ラジカル開始剤、ベンゾフェノン光ラジカル開始剤、チオキサントン、ケタール光ラジカル開始剤、ハロゲン化ケトン、アシルホスフィノキシド及びアシルホスフォナート等が挙げられる。   The photo radical initiator is not particularly limited, and examples thereof include acetophenone photo radical initiator, benzophenone photo radical initiator, thioxanthone, ketal photo radical initiator, halogenated ketone, acyl phosphinoxide, and acyl phosphonate.

上記アセトフェノン光ラジカル開始剤の具体例としては、4−(2−ヒドロキシエトキシ)フェニル(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、メトキシアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−オン、及び2−ヒドロキシ−2−シクロヘキシルアセトフェノン等が挙げられる。上記ケタール光ラジカル開始剤の具体例としては、ベンジルジメチルケタール等が挙げられる。   Specific examples of the acetophenone photoradical initiator include 4- (2-hydroxyethoxy) phenyl (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, methoxy Examples include acetophenone, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, and 2-hydroxy-2-cyclohexylacetophenone. Specific examples of the ketal photoradical initiator include benzyldimethyl ketal.

上記光ラジカル開始剤の含有量は特に限定されない。上記硬化性化合物中の上記光硬化性化合物100重量部に対して、上記光ラジカル開始剤の含有量は、好ましくは0.1重量部以上、より好ましくは0.2重量部以上、好ましくは2重量部以下、より好ましくは1重量部以下である。上記光ラジカル開始剤の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、異方性導電材料が適度に光硬化する。異方性導電材料に光を照射し、Bステージ化することにより、異方性導電材料の流動を抑制できる。   The content of the photo radical initiator is not particularly limited. The content of the photo radical initiator with respect to 100 parts by weight of the photocurable compound in the curable compound is preferably 0.1 parts by weight or more, more preferably 0.2 parts by weight or more, preferably 2 parts. It is 1 part by weight or less, more preferably 1 part by weight or less. When the content of the photo radical initiator is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, the anisotropic conductive material is appropriately photocured. By irradiating the anisotropic conductive material with light to form a B stage, the flow of the anisotropic conductive material can be suppressed.

また、上記光カチオン硬化剤と上記光ラジカル開始剤との配合比は、重量比で0.01:99.99〜99.99〜0.01であることが好ましく、1:99〜99:1であることがより好ましく、5:95〜95:5であることが更に好ましく、20:80〜80:20であることが特に好ましい。   Moreover, it is preferable that the compounding ratio of the said photocationic curing agent and the said photoradical initiator is 0.01: 99.99-99.99-0.01 by weight ratio, and 1: 99-99: 1. Is more preferably 5:95 to 95: 5, and particularly preferably 20:80 to 80:20.

(導電性粒子)
上記異方性導電材料に含まれている導電性粒子は、第1,第2の接続対象部材の電極間を電気的に接続する。上記導電性粒子は、導電性を有する粒子であれば特に限定されない。導電性粒子の導電層の表面が絶縁層により被覆されていてもよい。この場合には、接続対象部材の接続時に、導電層と電極との間の絶縁層が排除される。上記導電性粒子としては、例えば、有機粒子、金属粒子を除く無機粒子、有機無機ハイブリッド粒子もしくは金属粒子等の表面を金属層で被覆した導電性粒子、又は実質的に金属のみで構成される金属粒子等が挙げられる。上記金属層は特に限定されない。上記金属層としては、金層、銀層、銅層、ニッケル層、パラジウム層又は錫を含有する金属層等が挙げられる。
(Conductive particles)
The conductive particles contained in the anisotropic conductive material electrically connect the electrodes of the first and second connection target members. The conductive particles are not particularly limited as long as they are conductive particles. The surface of the conductive layer of the conductive particles may be covered with an insulating layer. In this case, the insulating layer between the conductive layer and the electrode is excluded when the connection target member is connected. Examples of the conductive particles include organic particles, inorganic particles other than metal particles, organic-inorganic hybrid particles, or conductive particles whose surfaces are covered with a metal layer, or metals that are substantially composed only of metal. Particles and the like. The metal layer is not particularly limited. Examples of the metal layer include a gold layer, a silver layer, a copper layer, a nickel layer, a palladium layer, or a metal layer containing tin.

電極と導電性粒子との接触面積を大きくし、電極間の導通信頼性をより一層高める観点からは、上記導電性粒子は、樹脂粒子と、該樹脂粒子の表面上に配置された導電層とを有することが好ましい。電極間の導通信頼性をより一層高める観点からは、上記導電性粒子は、少なくとも外側の導電性の表面が低融点金属層である導電性粒子であることが好ましい。上記導電性粒子は、樹脂粒子と、該樹脂粒子の表面上に配置された導電層とを有し、該導電層の少なくとも外側の表面が、低融点金属層であることがより好ましい。   From the viewpoint of increasing the contact area between the electrode and the conductive particle and further improving the conduction reliability between the electrodes, the conductive particle includes a resin particle and a conductive layer disposed on the surface of the resin particle. It is preferable to have. From the viewpoint of further improving the conduction reliability between the electrodes, the conductive particles are preferably conductive particles having at least an outer conductive surface as a low melting point metal layer. More preferably, the conductive particles include resin particles and a conductive layer disposed on the surface of the resin particles, and at least the outer surface of the conductive layer is a low melting point metal layer.

上記低融点金属層は、低融点金属を含む層である。該低融点金属とは、融点が450℃以下の金属を示す。低融点金属の融点は好ましくは300℃以下、より好ましくは160℃以下である。また、上記低融点金属層は錫を含むことが好ましい。上記低融点金属層に含まれる金属100重量%中、錫の含有量は好ましくは30重量%以上、より好ましくは40重量%以上、更に好ましくは70重量%以上、特に好ましくは90重量%以上である。上記低融点金属層における錫の含有量が上記下限以上であると、上記低融点金属層と電極との接続信頼性がより一層高くなる。なお、上記錫の含有量は、高周波誘導結合プラズマ発光分光分析装置(堀場製作所社製「ICP−AES」)、又は蛍光X線分析装置(島津製作所社製「EDX−800HS」)等を用いて測定可能である。   The low melting point metal layer is a layer containing a low melting point metal. The low melting point metal is a metal having a melting point of 450 ° C. or lower. The melting point of the low melting point metal is preferably 300 ° C. or lower, more preferably 160 ° C. or lower. The low melting point metal layer preferably contains tin. In 100% by weight of the metal contained in the low melting point metal layer, the content of tin is preferably 30% by weight or more, more preferably 40% by weight or more, still more preferably 70% by weight or more, and particularly preferably 90% by weight or more. is there. When the content of tin in the low-melting-point metal layer is not less than the above lower limit, the connection reliability between the low-melting-point metal layer and the electrode is further enhanced. The tin content is determined using a high frequency inductively coupled plasma optical emission spectrometer (“ICP-AES” manufactured by Horiba, Ltd.) or a fluorescent X-ray analyzer (“EDX-800HS” manufactured by Shimadzu). It can be measured.

導電層の外側の表面が低融点金属層である場合には、低融点金属層が溶融して電極に接合し、低融点金属層が電極間を導通させる。例えば、低融点金属層と電極とが点接触ではなく面接触しやすいため、接続抵抗が低くなる。また、少なくとも外側の表面が低融点金属層である導電性粒子の使用により、低融点金属層と電極との接合強度が高くなる結果、低融点金属層と電極との剥離がより一層生じ難くなり、導通信頼性が効果的に高くなる。   When the outer surface of the conductive layer is a low melting point metal layer, the low melting point metal layer is melted and joined to the electrodes, and the low melting point metal layer conducts between the electrodes. For example, since the low-melting point metal layer and the electrode are not in point contact but in surface contact, the connection resistance is lowered. In addition, the use of conductive particles having at least the outer surface of a low-melting-point metal layer increases the bonding strength between the low-melting-point metal layer and the electrode. , The conduction reliability is effectively increased.

上記低融点金属層を構成する低融点金属は特に限定されない。該低融点金属は、錫、又は錫を含む合金であることが好ましい。該合金は、錫−銀合金、錫−銅合金、錫−銀−銅合金、錫−ビスマス合金、錫−亜鉛合金、錫−インジウム合金等が挙げられる。なかでも、電極に対する濡れ性に優れることから、上記低融点金属は、錫、錫−銀合金、錫−銀−銅合金、錫−ビスマス合金、錫−インジウム合金であることが好ましい。錫−ビスマス合金、錫−インジウム合金であることがより好ましい。   The low melting point metal which comprises the said low melting metal layer is not specifically limited. The low melting point metal is preferably tin or an alloy containing tin. Examples of the alloy include a tin-silver alloy, a tin-copper alloy, a tin-silver-copper alloy, a tin-bismuth alloy, a tin-zinc alloy, and a tin-indium alloy. Especially, since it is excellent in the wettability with respect to an electrode, it is preferable that the said low melting metal is a tin, a tin-silver alloy, a tin-silver-copper alloy, a tin-bismuth alloy, and a tin-indium alloy. More preferred are a tin-bismuth alloy and a tin-indium alloy.

また、上記低融点金属層は、はんだ層であることが好ましい。上記はんだ層を構成する材料は特に限定されないが、JIS Z3001:溶接用語に基づき、液相線が450℃以下である溶加材であることが好ましい。上記はんだ層の組成としては、例えば亜鉛、金、鉛、銅、錫、ビスマス、インジウムなどを含む金属組成が挙げられる。なかでも低融点で鉛フリーである錫−インジウム系(117℃共晶)、又は錫−ビスマス系(139℃共晶)が好ましい。すなわち、はんだ層は、鉛を含まないことが好ましく、錫とインジウムとを含むはんだ層、又は錫とビスマスとを含むはんだ層であることが好ましい。   The low melting point metal layer is preferably a solder layer. Although the material which comprises the said solder layer is not specifically limited, Based on JISZ3001: welding term, it is preferable that it is a filler material whose liquidus is 450 degrees C or less. As a composition of the said solder layer, the metal composition containing zinc, gold | metal | money, lead, copper, tin, bismuth, indium etc. is mentioned, for example. Among them, a tin-indium system (117 ° C. eutectic) or a tin-bismuth system (139 ° C. eutectic) which is low-melting and lead-free is preferable. That is, the solder layer preferably does not contain lead, and is preferably a solder layer containing tin and indium or a solder layer containing tin and bismuth.

上記低融点金属層と電極との接合強度をより一層高めるために、上記低融点金属層は、ニッケル、銅、アンチモン、アルミニウム、亜鉛、鉄、金、チタン、リン、ゲルマニウム、テルル、コバルト、ビスマス、マンガン、クロム、モリブデン、パラジウム等の金属を含んでいてもよい。低融点金属と電極との接合強度をさらに一層高める観点からは、上記低融点金属は、ニッケル、銅、アンチモン、アルミニウム又は亜鉛を含むことが好ましい。低融点金属層と電極との接合強度をより一層高める観点からは、接合強度を高めるためのこれらの金属の含有量は、低融点金属層100重量%中、好ましくは0.0001重量%以上、好ましくは1重量%以下である。   In order to further increase the bonding strength between the low melting point metal layer and the electrode, the low melting point metal layer is made of nickel, copper, antimony, aluminum, zinc, iron, gold, titanium, phosphorus, germanium, tellurium, cobalt, bismuth. Further, it may contain a metal such as manganese, chromium, molybdenum and palladium. From the viewpoint of further increasing the bonding strength between the low melting point metal and the electrode, the low melting point metal preferably contains nickel, copper, antimony, aluminum, or zinc. From the viewpoint of further increasing the bonding strength between the low melting point metal layer and the electrode, the content of these metals for increasing the bonding strength is 100 wt% of the low melting point metal layer, preferably 0.0001 wt% or more, Preferably it is 1 weight% or less.

上記導電性粒子は、樹脂粒子と、該樹脂粒子の表面上に配置された導電層とを有し、該導電層の外側の表面が低融点金属層(はんだ層など)であり、上記樹脂粒子と上記低融点金属層との間に、上記低融点金属層とは別に第2の導電層を有することが好ましい。この場合に、上記低融点金属層は上記導電層全体の一部であり、上記第2の導電層は上記導電層全体の一部である。   The conductive particles include resin particles and a conductive layer disposed on the surface of the resin particles, and the outer surface of the conductive layer is a low melting point metal layer (such as a solder layer). In addition to the low melting point metal layer, a second conductive layer is preferably provided between the low melting point metal layer and the low melting point metal layer. In this case, the low melting point metal layer is a part of the entire conductive layer, and the second conductive layer is a part of the entire conductive layer.

上記低融点金属層とは別の上記第2の導電層は、金属を含むことが好ましい。該第2の導電層を構成する金属は、特に限定されない。該金属としては、例えば、金、銀、銅、白金、パラジウム、亜鉛、鉛、アルミニウム、コバルト、インジウム、ニッケル、クロム、チタン、アンチモン、ビスマス、ゲルマニウム及びカドミウム、並びにこれらの合金等が挙げられる。また、上記金属として、錫ドープ酸化インジウム(ITO)を用いてもよい。上記金属は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The second conductive layer different from the low melting point metal layer preferably contains a metal. The metal constituting the second conductive layer is not particularly limited. Examples of the metal include gold, silver, copper, platinum, palladium, zinc, lead, aluminum, cobalt, indium, nickel, chromium, titanium, antimony, bismuth, germanium and cadmium, and alloys thereof. Further, tin-doped indium oxide (ITO) may be used as the metal. As for the said metal, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記第2の導電層は、ニッケル層、パラジウム層、銅層又は金層であることが好ましく、ニッケル層又は金層であることがより好ましく、銅層であることが更に好ましい。導電性粒子は、ニッケル層、パラジウム層、銅層又は金層を有することが好ましく、ニッケル層又は金層を有することがより好ましく、銅層を有することが更に好ましい。これらの好ましい導電層を有する導電性粒子を電極間の接続に用いることにより、電極間の接続抵抗がより一層低くなる。また、これらの好ましい導電層の表面には、低融点金属層をより一層容易に形成できる。なお、上記第2の導電層は、はんだ層などの低融点金属層であってもよい。導電性粒子は、複数層の低融点金属層を有していてもよい。   The second conductive layer is preferably a nickel layer, a palladium layer, a copper layer, or a gold layer, more preferably a nickel layer or a gold layer, and even more preferably a copper layer. The conductive particles preferably have a nickel layer, a palladium layer, a copper layer, or a gold layer, more preferably have a nickel layer or a gold layer, and still more preferably have a copper layer. By using the conductive particles having these preferable conductive layers for the connection between the electrodes, the connection resistance between the electrodes is further reduced. In addition, a low melting point metal layer can be more easily formed on the surface of these preferable conductive layers. The second conductive layer may be a low melting point metal layer such as a solder layer. The conductive particles may have a plurality of low melting point metal layers.

上記導電性粒子の平均粒子径は、好ましくは0.5μm以上、より好ましくは1μm以上、好ましくは100μm以下、より好ましくは20μm以下、更に好ましくは15μm以下、特に好ましくは10μm以下である。導電性粒子の平均粒子径が上記下限以上及び上記上限以下であると、導電性粒子により光が遮られて光が直接照射されなかった異方性導電材料層部分であっても、光カチオン硬化剤の作用によるカチオン反応によって、硬化を充分に進行させることができる。また、上記導電性粒子の平均粒子径は、5μmを超えていてもよく、10μm以上であってもよい。熱履歴を受けた場合の接続構造体の接続信頼性をより一層高める観点からは、導電性粒子の平均粒子径は、1μm以上、10μm以下であることが特に好ましく、1μm以上、4μm以下であることが最も好ましい。   The average particle diameter of the conductive particles is preferably 0.5 μm or more, more preferably 1 μm or more, preferably 100 μm or less, more preferably 20 μm or less, still more preferably 15 μm or less, and particularly preferably 10 μm or less. When the average particle diameter of the conductive particles is not less than the above lower limit and not more than the above upper limit, even if the anisotropic conductive material layer portion where light is blocked by the conductive particles and not directly irradiated with light, photocationic curing Curing can sufficiently proceed by a cationic reaction due to the action of the agent. Moreover, the average particle diameter of the said electroconductive particle may exceed 5 micrometers, and may be 10 micrometers or more. From the viewpoint of further improving the connection reliability of the connection structure when subjected to a thermal history, the average particle diameter of the conductive particles is particularly preferably 1 μm or more and 10 μm or less, and is 1 μm or more and 4 μm or less. Most preferred.

上記導電性粒子の「平均粒子径」は、数平均粒子径を示す。導電性粒子の平均粒子径は、任意の導電性粒子50個を電子顕微鏡又は光学顕微鏡にて観察し、平均値を算出することにより求められる。   The “average particle size” of the conductive particles indicates a number average particle size. The average particle diameter of the conductive particles can be obtained by observing 50 arbitrary conductive particles with an electron microscope or an optical microscope and calculating an average value.

上記樹脂粒子は、実装する基板の電極サイズ又はランド径によって使い分けることができる。   The resin particles can be properly used depending on the electrode size or land diameter of the substrate to be mounted.

上下の電極間をより一層確実に接続し、かつ横方向に隣接する電極間の短絡をより一層抑制する観点からは、導電性粒子の平均粒子径Cの樹脂粒子の平均粒子径Aに対する比(C/A)は、1.0を超え、好ましくは3.0以下である。また、上記樹脂粒子と上記はんだ層との間に上記第2の導電層がある場合に、はんだ層を除く導電性粒子部分の平均粒子径Bに対する樹脂粒子の平均粒子径Aに対する比(B/A)は、1.0を超え、好ましくは2.0以下である。さらに、上記樹脂粒子と上記はんだ層との間に上記第2の導電層がある場合に、はんだ層を含む導電性粒子の平均粒子径Cのはんだ層を除く導電性粒子部分の平均粒子径Bに対する比(C/B)は、1.0を超え、好ましくは2.0以下である。上記比(B/A)が上記範囲内であったり、上記比(C/B)が上記範囲内であったりすると、上下の電極間をより一層確実に接続し、かつ横方向に隣接する電極間の短絡をより一層抑制できる。   From the viewpoint of more reliably connecting the upper and lower electrodes and further suppressing the short circuit between the electrodes adjacent in the lateral direction, the ratio of the average particle diameter C of the conductive particles to the average particle diameter A of the resin particles ( C / A) is more than 1.0, preferably 3.0 or less. In addition, when the second conductive layer is present between the resin particles and the solder layer, the ratio of the resin particles to the average particle size B with respect to the average particle size B of the conductive particle portion excluding the solder layer (B / A) is greater than 1.0, preferably 2.0 or less. Further, when there is the second conductive layer between the resin particles and the solder layer, the average particle diameter B of the conductive particle portion excluding the solder layer having the average particle diameter C of the conductive particles including the solder layer. The ratio (C / B) to is more than 1.0, preferably 2.0 or less. When the ratio (B / A) is within the above range or the ratio (C / B) is within the above range, electrodes that are more reliably connected between the upper and lower electrodes and that are adjacent in the lateral direction The short circuit between them can be further suppressed.

上記導電性粒子の含有量は特に限定されない。上記異方性導電材料100重量%中、上記導電性粒子の含有量は好ましくは0.1重量%以上、より好ましくは0.5重量%以上、更に好ましくは1重量%以上、好ましくは40重量%以下、より好ましくは30重量%以下、更に好ましくは19重量%以下である。上記導電性粒子の含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、接続されるべき上下の電極間に導電性粒子を容易に配置できる。さらに、接続されてはならない隣接する電極間が複数の導電性粒子を介して電気的に接続され難くなる。すなわち、隣り合う電極間の短絡をより一層防止できる。   The content of the conductive particles is not particularly limited. In 100% by weight of the anisotropic conductive material, the content of the conductive particles is preferably 0.1% by weight or more, more preferably 0.5% by weight or more, still more preferably 1% by weight or more, preferably 40% by weight. % Or less, more preferably 30% by weight or less, still more preferably 19% by weight or less. A conductive particle can be easily arrange | positioned between the upper and lower electrodes which should be connected as content of the said electroconductive particle is more than the said minimum and below the said upper limit. Furthermore, it becomes difficult to electrically connect adjacent electrodes that should not be connected via a plurality of conductive particles. That is, a short circuit between adjacent electrodes can be further prevented.

(他の成分)
上記異方性導電材料は、フィラーを含むことが好ましい。フィラーの使用により、異方性導電材料の硬化物の潜熱膨張を抑制できる。上記フィラーの具体例としては、シリカ、窒化アルミニウム及びアルミナ等が挙げられる。フィラーは1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。
(Other ingredients)
The anisotropic conductive material preferably contains a filler. By using the filler, latent heat expansion of the cured product of the anisotropic conductive material can be suppressed. Specific examples of the filler include silica, aluminum nitride, and alumina. As for a filler, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記異方性導電材料は、硬化促進剤を含むことが好ましい。硬化促進剤の使用により、硬化速度をより一層速くすることができる。硬化促進剤は1種のみが用いられてもよく、2種以上が併用されてもよい。   The anisotropic conductive material preferably contains a curing accelerator. By using a curing accelerator, the curing rate can be further increased. As for a hardening accelerator, only 1 type may be used and 2 or more types may be used together.

上記硬化促進剤の具体例としては、イミダゾール硬化促進剤及びアミン硬化促進剤等が挙げられる。なかでも、イミダゾール硬化促進剤が好ましい。なお、イミダゾール硬化促進剤又はアミン硬化促進剤は、イミダゾール硬化剤又はアミン硬化剤としても用いることができる。   Specific examples of the curing accelerator include imidazole curing accelerators and amine curing accelerators. Of these, imidazole curing accelerators are preferred. In addition, an imidazole hardening accelerator or an amine hardening accelerator can be used also as an imidazole hardening agent or an amine hardening agent.

上記異方性導電材料は、溶剤を含んでいてもよい。該溶剤の使用により、異方性導電材料の粘度を容易に調整できる。上記溶剤としては、例えば、酢酸エチル、メチルセロソルブ、トルエン、アセトン、メチルエチルケトン、シクロヘキサン、n−ヘキサン、テトラヒドロフラン及びジエチルエーテル等が挙げられる。   The anisotropic conductive material may contain a solvent. By using the solvent, the viscosity of the anisotropic conductive material can be easily adjusted. Examples of the solvent include ethyl acetate, methyl cellosolve, toluene, acetone, methyl ethyl ketone, cyclohexane, n-hexane, tetrahydrofuran, and diethyl ether.

(接続構造体及び接続構造体の製造方法)
本発明に係る異方性導電材料を用いて、接続対象部材を接続することにより、接続構造体を得ることができる。
(Connection structure and method of manufacturing connection structure)
A connection structure can be obtained by connecting the connection target members using the anisotropic conductive material according to the present invention.

上記接続構造体は、第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材と、該第1,第2の接続対象部材を電気的に接続している接続部とを備えており、該接続部が上記異方性導電材料を硬化させることにより形成されている。上記接続部は、上記異方性導電材料が硬化した硬化物層である。   The connection structure includes a first connection target member, a second connection target member, and a connection portion that electrically connects the first and second connection target members. The part is formed by curing the anisotropic conductive material. The connection portion is a cured product layer obtained by curing the anisotropic conductive material.

次に、図面を参照しつつ、本発明の一実施形態に係る異方性導電材料を用いた接続構造体、及び該接続構造体の製造方法をより詳細に説明する。   Next, a connection structure using an anisotropic conductive material according to an embodiment of the present invention and a method for manufacturing the connection structure will be described in more detail with reference to the drawings.

図1に、本発明の一実施形態に係る異方性導電材料を用いた接続構造体の一例を模式的に正面断面図で示す。   In FIG. 1, an example of the connection structure using the anisotropic conductive material which concerns on one Embodiment of this invention is typically shown with front sectional drawing.

図1に示す接続構造体1は、第1の接続対象部材2と、第2の接続対象部材4と、第1,第2の接続対象部材2,4を接続している接続部3とを備える。接続部3は、硬化物層である。接続部3は、硬化性化合物と光カチオン硬化剤と熱硬化剤と導電性粒子5とを含む異方性導電材料を硬化させることにより形成されている。該異方性導電材料に含まれている硬化性化合物は、エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物を含有する。上記異方性導電材料は、複数の導電性粒子5を含む。   A connection structure 1 shown in FIG. 1 includes a first connection target member 2, a second connection target member 4, and a connection part 3 connecting the first and second connection target members 2 and 4. Prepare. The connection part 3 is a cured product layer. The connecting portion 3 is formed by curing an anisotropic conductive material including a curable compound, a photocationic curing agent, a thermosetting agent, and conductive particles 5. The curable compound contained in the anisotropic conductive material contains a curable compound having an epoxy group or a thiirane group. The anisotropic conductive material includes a plurality of conductive particles 5.

第1の接続対象部材2は上面2a(表面)に、複数の第1の電極2bを有する。第2の接続対象部材4は下面4a(表面)に、複数の第2の電極4bを有する。第1の電極2bと第2の電極4bとが、1つ又は複数の導電性粒子5により電気的に接続されている。   The first connection target member 2 has a plurality of first electrodes 2b on the upper surface 2a (front surface). The second connection target member 4 has a plurality of second electrodes 4b on the lower surface 4a (front surface). The first electrode 2 b and the second electrode 4 b are electrically connected by one or a plurality of conductive particles 5.

接続構造体1では、第1の接続対象部材2としてガラス基板が用いられており、第2の接続対象部材4として半導体チップが用いられている。第1,第2の接続対象部材は、特に限定されない。第1,第2の接続対象部材としては、具体的には、半導体チップ、コンデンサ及びダイオード等の電子部品、並びにプリント基板、フレキシブルプリント基板、ガラス基板及びガラスエポキシ基板等の回路基板である電子部品等が挙げられる。上記異方性導電材料は、電子部品の接続に用いられる異方性導電材料であることが好ましい。上記異方性導電材料はペースト状の異方性導電ペーストであり該異方性導電ペーストはペーストの状態で接続対象部材上に塗布されることが好ましい。   In the connection structure 1, a glass substrate is used as the first connection target member 2, and a semiconductor chip is used as the second connection target member 4. The first and second connection target members are not particularly limited. Specifically, the first and second connection target members include electronic components such as semiconductor chips, capacitors, and diodes, and electronic components that are circuit boards such as printed boards, flexible printed boards, glass boards, and glass epoxy boards. Etc. The anisotropic conductive material is preferably an anisotropic conductive material used for connecting electronic components. The anisotropic conductive material is a paste-like anisotropic conductive paste, and the anisotropic conductive paste is preferably applied on the connection target member in a paste state.

図1に示す接続構造体1は、例えば、以下のようにして得ることができる。   The connection structure 1 shown in FIG. 1 can be obtained as follows, for example.

図2(a)に示すように、第1の電極2bを上面2aに有する第1の接続対象部材2を用意する。次に、第1の接続対象部材2の上面2aに、硬化性化合物と光カチオン硬化剤と熱硬化剤と導電性粒子5を含み、かつ該硬化性化合物がエポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物を含有する異方性導電材料を用いて、第1の接続対象部材2の上面2aに異方性導電材料層3Aを配置する。このとき、第1の電極2b上に、1つ又は複数の導電性粒子5が配置されていることが好ましい。上記異方性導電材料として異方性導電ペーストを用いる場合には、異方性導電ペーストの配置は、異方性導電ペーストの塗布により行われる。また、上記異方性導電材料層は、異方性導電ペースト層になる。   As shown to Fig.2 (a), the 1st connection object member 2 which has the 1st electrode 2b in the upper surface 2a is prepared. Next, the upper surface 2a of the first connection object member 2 includes a curable compound, a photocationic curing agent, a thermosetting agent, and conductive particles 5, and the curable compound has an epoxy group or a thiirane group. An anisotropic conductive material layer 3 </ b> A is disposed on the upper surface 2 a of the first connection target member 2 using an anisotropic conductive material containing a compound. At this time, it is preferable that one or a plurality of conductive particles 5 be arranged on the first electrode 2b. When an anisotropic conductive paste is used as the anisotropic conductive material, the anisotropic conductive paste is arranged by applying the anisotropic conductive paste. The anisotropic conductive material layer becomes an anisotropic conductive paste layer.

次に、異方性導電材料層3Aに光を照射することにより、異方性導電材料層3Aの硬化を進行させる。異方性導電材料層3Aの硬化を進行させて、異方性導電材料層3AをBステージ化する。図2(b)に示すように、異方性導電材料層3AのBステージ化により、第1の接続対象部材2の上面2aに、Bステージ化された異方性導電材料層3Bを形成する。   Next, the anisotropic conductive material layer 3A is cured by irradiating the anisotropic conductive material layer 3A with light. By curing the anisotropic conductive material layer 3A, the anisotropic conductive material layer 3A is B-staged. As shown in FIG. 2B, the anisotropic conductive material layer 3 </ b> B having the B stage is formed on the upper surface 2 a of the first connection target member 2 by forming the anisotropic conductive material layer 3 </ b> A into the B stage. .

異方性導電材料層3A及びBステージ化された異方性導電材料層3Bの厚み(平均厚み)は、好ましくは10μm以上、好ましくは100μm以下である。COG用途においては、異方性導電材料層3A及びBステージ化された異方性導電材料層3Bの厚み(平均厚み)は、好ましくは10μm以上、より好ましくは15μm以上、好ましくは30μm以下、より好ましくは25μm以下である。FOG用途においては、異方性導電材料層3A及びBステージ化された異方性導電材料層3Bの厚み(平均厚み)は、好ましくは30μm以上、より好ましくは40μm以上、好ましくは70μm以下、より好ましくは60μm以下である。   The thickness (average thickness) of the anisotropic conductive material layer 3A and the B-staged anisotropic conductive material layer 3B is preferably 10 μm or more, and preferably 100 μm or less. In the COG application, the thickness (average thickness) of the anisotropic conductive material layer 3A and the B-staged anisotropic conductive material layer 3B is preferably 10 μm or more, more preferably 15 μm or more, and preferably 30 μm or less. Preferably it is 25 micrometers or less. In FOG use, the thickness (average thickness) of the anisotropic conductive material layer 3A and the B-staged anisotropic conductive material layer 3B is preferably 30 μm or more, more preferably 40 μm or more, and preferably 70 μm or less. Preferably it is 60 micrometers or less.

異方性導電材料層3AをBステージ化する工程において、導電性粒子5により光が遮られて光Xが直接照射されなかった異方性導電材料層部分3Bb(図3参照、導電性粒子5の下方の2本の破線間部分の領域)の硬化を、上記光カチオン硬化剤の作用によるカチオン反応により進行させることが好ましい。これによって、異方性導電材料層及び該異方性導電材料層に含まれている導電性粒子の流動がかなり抑えられる。この結果、電極間の導通信頼性がかなり高くなる。   In the step of forming the anisotropic conductive material layer 3A into the B-stage, the anisotropic conductive material layer portion 3Bb (see FIG. 3, conductive particles 5) where light is blocked by the conductive particles 5 and light X is not directly irradiated. Is preferably advanced by a cation reaction by the action of the photocationic curing agent. Thereby, the flow of the anisotropic conductive material layer and the conductive particles contained in the anisotropic conductive material layer is considerably suppressed. As a result, the conduction reliability between the electrodes is considerably increased.

異方性導電材料層3Aの硬化を進行させて、異方性導電材料層3AをBステージ化する際に、導電性粒子5により光が遮られずに光Xが照射された異方性導電材料層部分3Ba(図3参照、導電性粒子5の下方の2本の破線間部分を除く領域)の硬化率(1)を20%以上にし、かつ導電性粒子5により光が遮られて光Xが直接照射されなかった異方性導電材料層部分3Bb(図3参照、導電性粒子5の下方の2本の破線間部分の領域)の硬化率(2)を20%未満にすることが好ましい。異方性導電材料層部分3Ba,3Bbの硬化率(1),(2)を上記のように制御することによって、異方性導電材料層中の導電性粒子を除く成分を電極と導電性粒子との間から排除して、電極と導電性粒子とを効果的に接触させることができる。特に、導電性粒子5と第1の電極2bとの間に存在する異方性導電材料層3B中の導電性粒子5を除く成分を効果的に排除することができる。さらに、異方性導電材料層部分3Ba,3Bbの硬化率(1),(2)を上記のように制御することによって、電極に導電性粒子が押し込まれた凹部を形成することができる。図4に示すように、導電性粒子5が押し込まれることによって、第1の電極2bに凹部2cを形成することも可能である。従って、得られる接続構造体における電極間の導通信頼性を高めることができる。   When the anisotropic conductive material layer 3A is cured to make the anisotropic conductive material layer 3A into a B-stage, the anisotropic conductive material 5 is irradiated with light X without being blocked by the conductive particles 5. The curing rate (1) of the material layer portion 3Ba (see FIG. 3, the region excluding the portion between the two broken lines below the conductive particles 5) is set to 20% or more, and the light is blocked by the conductive particles 5. The curing rate (2) of the anisotropic conductive material layer portion 3Bb (see FIG. 3, the region between the two broken lines below the conductive particles 5) that was not directly irradiated with X should be less than 20%. preferable. By controlling the curing rates (1) and (2) of the anisotropic conductive material layer portions 3Ba and 3Bb as described above, the components other than the conductive particles in the anisotropic conductive material layer are removed from the electrode and the conductive particles. The electrode and the conductive particles can be effectively brought into contact with each other. In particular, components other than the conductive particles 5 in the anisotropic conductive material layer 3B existing between the conductive particles 5 and the first electrode 2b can be effectively excluded. Furthermore, by controlling the curing rates (1) and (2) of the anisotropic conductive material layer portions 3Ba and 3Bb as described above, it is possible to form the recesses in which the conductive particles are pushed into the electrodes. As shown in FIG. 4, it is also possible to form a recess 2c in the first electrode 2b by pushing in the conductive particles 5. Therefore, the conduction | electrical_connection reliability between electrodes in the connection structure obtained can be improved.

さらに、異方性導電材料層部分3Ba,3Bbの硬化率(1),(2)を上記のように制御することによって、異方性導電材料層に含まれている導電性粒子の流動を充分に抑制できる。すなわち、硬化率が上記下限以上である異方性導電材料層部分3Baの硬化率(1)を比較的高くすることによって、導電性粒子の流動を充分に抑制できる。このため、電極間に、導電性粒子が配置されやすくなる。さらに、第1の接続対象部材又は第2の接続対象部材の外周面よりも側方の領域に、導電性粒子が意図せずに流動するのを抑制できる。このため、第1,第2の接続対象部材の電極間を電気的に接続した場合に、導通信頼性を高めることができる。例えば、接続されるべき上下の電極間を導電性粒子により容易に接続でき、かつ接続されてはならない隣り合う電極間が複数の導電性粒子を介して接続されるのを抑制できる。   Further, by controlling the curing rates (1) and (2) of the anisotropic conductive material layer portions 3Ba and 3Bb as described above, the flow of the conductive particles contained in the anisotropic conductive material layer can be sufficiently increased. Can be suppressed. That is, the flow rate of the conductive particles can be sufficiently suppressed by relatively increasing the curing rate (1) of the anisotropic conductive material layer portion 3Ba having a curing rate equal to or higher than the lower limit. For this reason, it becomes easy to arrange conductive particles between the electrodes. Furthermore, it can suppress that an electroconductive particle flows unintentionally to the area | region of the side rather than the outer peripheral surface of a 1st connection object member or a 2nd connection object member. For this reason, conduction | electrical_connection reliability can be improved when the electrodes of the 1st, 2nd connection object member are electrically connected. For example, the upper and lower electrodes to be connected can be easily connected with conductive particles, and adjacent electrodes that should not be connected can be prevented from being connected via a plurality of conductive particles.

接続構造体における電極間の導通信頼性を効果的に高めるために、異方性導電材料層部分3Baの上記硬化率(1)は、好ましくは20%以上、より好ましくは22%以上、更に好ましくは25%以上、特に好ましくは30%以上、100%以下である。   In order to effectively increase the conduction reliability between the electrodes in the connection structure, the curing rate (1) of the anisotropic conductive material layer portion 3Ba is preferably 20% or more, more preferably 22% or more, and still more preferably. Is 25% or more, particularly preferably 30% or more and 100% or less.

接続構造体における電極間の導通信頼性を効果的に高めるために、異方性導電材料層部分3Bbの上記硬化率(2)は、好ましくは20%以下、より好ましくは20%未満、更に好ましくは15%以下、好ましくは5%以上である。   In order to effectively enhance the conduction reliability between the electrodes in the connection structure, the curing rate (2) of the anisotropic conductive material layer portion 3Bb is preferably 20% or less, more preferably less than 20%, and still more preferably. Is 15% or less, preferably 5% or more.

接続構造体における電極間の導通信頼性を効果的に高めるために、異方性導電材料層部分3Baの上記硬化率(1)と異方性導電材料層部分3Bbの上記硬化率(2)との差の絶対値は、0%を超え、好ましくは5%以上、より好ましくは10%以上である。上記差の絶対値の上限は特に限定されない。上記差の絶対値は、50%以下であってもよく、35%以下であってもよく、30%以下であってもよい。   In order to effectively increase the conduction reliability between the electrodes in the connection structure, the curing rate (1) of the anisotropic conductive material layer portion 3Ba and the cure rate (2) of the anisotropic conductive material layer portion 3Bb are: The absolute value of the difference is more than 0%, preferably 5% or more, more preferably 10% or more. The upper limit of the absolute value of the difference is not particularly limited. The absolute value of the difference may be 50% or less, 35% or less, or 30% or less.

なお、本明細書において、上記硬化率とは、IR(赤外分光法)を使用して反応性官能基の官能基量を測定し、下記式(X)より計算される値を意味する。   In the present specification, the curing rate means a value calculated from the following formula (X) by measuring the functional group amount of a reactive functional group using IR (infrared spectroscopy).

硬化率(%)=(1−(光照射後の異方性導電材料の官能基量/光照射前の異方性導電材料の官能基量))×100 ・・・式(X)   Curing rate (%) = (1- (functional group amount of anisotropic conductive material after light irradiation / functional group amount of anisotropic conductive material before light irradiation)) × 100 Formula (X)

上記式(X)における光照射後の異方性導電材料は、Bステージ化された異方性導電材料である。   The anisotropic conductive material after light irradiation in the above formula (X) is a B-staged anisotropic conductive material.

第1の接続対象部材2の上面2aに、異方性導電材料を配置しながら、異方性導電材料層3Aに光を照射することが好ましい。さらに、第1の接続対象部材2の上面2aへの異方性導電材料の配置と同時に、又は配置の直後に、異方性導電材料層3Aに光を照射することも好ましい。配置と光の照射とが上記のように行われた場合には、異方性導電材料層3Aの流動をより一層抑制できる。このため、得られた接続構造体1における導通信頼性がより一層高くなる。第1の接続対象部材2の上面2aに異方性導電材料を配置してから光を照射するまでの時間は、0秒以上、好ましくは3秒以下、より好ましくは2秒以下である。   It is preferable to irradiate the anisotropic conductive material layer 3A with light while disposing the anisotropic conductive material on the upper surface 2a of the first connection target member 2. Furthermore, it is also preferable to irradiate the anisotropic conductive material layer 3 </ b> A simultaneously with or immediately after the placement of the anisotropic conductive material on the upper surface 2 a of the first connection target member 2. When the arrangement and the light irradiation are performed as described above, the flow of the anisotropic conductive material layer 3A can be further suppressed. For this reason, the conduction | electrical_connection reliability in the obtained connection structure 1 becomes still higher. The time from the placement of the anisotropic conductive material on the upper surface 2a of the first connection target member 2 to the irradiation with light is 0 second or longer, preferably 3 seconds or shorter, more preferably 2 seconds or shorter.

光の照射により異方性導電材料層3AをBステージ化させるために、異方性導電材料層3Aの硬化を適度に進行させるための光照射強度は、例えば、好ましくは0.1〜10000mW/cm程度である。また、異方性導電材料層3Aの硬化を適度に進行させるための光の照射エネルギーは、例えば、好ましくは100〜10000mJ/cm程度である。 In order to make the anisotropic conductive material layer 3A into a B-stage by light irradiation, the light irradiation intensity for appropriately proceeding curing of the anisotropic conductive material layer 3A is, for example, preferably 0.1 to 10000 mW / it is cm 2. Moreover, the irradiation energy of light for appropriately proceeding the curing of the anisotropic conductive material layer 3A is, for example, preferably about 100 to 10,000 mJ / cm 2 .

光を照射する際に用いる光源は特に限定されない。該光源としては、例えば、波長420nm以下に充分な発光分布を有する光源等が挙げられる。また、光源の具体例としては、例えば、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、ケミカルランプ、ブラックライトランプ、マイクロウェーブ励起水銀灯、メタルハライドランプ及びLEDランプ等が挙げられる。   The light source used when irradiating light is not specifically limited. Examples of the light source include a light source having a sufficient light emission distribution at a wavelength of 420 nm or less. Specific examples of the light source include a low-pressure mercury lamp, a medium-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, an ultrahigh-pressure mercury lamp, a chemical lamp, a black light lamp, a microwave excitation mercury lamp, a metal halide lamp, and an LED lamp.

次に、図2(c)に示すように、Bステージ化された異方性導電材料層3Bの上面3aに、第2の接続対象部材4を積層する。第1の接続対象部材2の上面2aの第1の電極2bと、第2の接続対象部材4の下面4aの第2の電極4bとが対向するように、第2の接続対象部材4を積層する。   Next, as shown in FIG. 2C, the second connection target member 4 is laminated on the upper surface 3a of the B-staged anisotropic conductive material layer 3B. The second connection target member 4 is laminated so that the first electrode 2b on the upper surface 2a of the first connection target member 2 and the second electrode 4b on the lower surface 4a of the second connection target member 4 face each other. To do.

さらに、第2の接続対象部材4の積層の際に、異方性導電材料層3Bに熱を付与することにより、異方性導電材料層3Bをさらに硬化させ、接続部3を形成する。ただし、第2の接続対象部材4の積層の前に、異方性導電材料層3Bに熱を付与してもよい。第2の接続対象部材4の積層の後に、異方性導電材料層3Bに熱を付与し完全に硬化させることが好ましい。   Further, when the second connection target member 4 is laminated, the anisotropic conductive material layer 3B is further cured by applying heat to the anisotropic conductive material layer 3B, so that the connection portion 3 is formed. However, heat may be applied to the anisotropic conductive material layer 3B before the second connection target member 4 is laminated. After the lamination of the second connection target member 4, it is preferable to apply heat to the anisotropic conductive material layer 3B to completely cure it.

熱の付与により異方性導電材料層3Bを硬化させる場合には、異方性導電材料層3Bを充分に硬化させるための加熱温度は好ましくは160℃以上、好ましくは250℃以下、より好ましくは200℃以下である。   When the anisotropic conductive material layer 3B is cured by applying heat, the heating temperature for sufficiently curing the anisotropic conductive material layer 3B is preferably 160 ° C or higher, preferably 250 ° C or lower, more preferably It is 200 degrees C or less.

異方性導電材料層3Bを硬化させる際に、加圧することが好ましい。加圧によって第1の電極2bと第2の電極4bとで導電性粒子5を圧縮することにより、第1,第2の電極2b,4bと導電性粒子5との接触面積が大きくなる。このため、導通信頼性が高くなる。   It is preferable to apply pressure when the anisotropic conductive material layer 3B is cured. By compressing the conductive particles 5 with the first electrode 2b and the second electrode 4b by pressurization, the contact area between the first and second electrodes 2b, 4b and the conductive particles 5 is increased. For this reason, conduction reliability increases.

異方性導電材料層3Bを硬化させることにより、第1の接続対象部材2と第2の接続対象部材4とが、接続部3を介して接続される。また、第1の電極2bと第2の電極4bとが、導電性粒子5を介して電気的に接続される。このようにして、図1に示す接続構造体1を得ることができる。本実施形態では、光硬化と熱硬化とが併用されているため、異方性導電材料を短時間で硬化させることができる。   By curing the anisotropic conductive material layer 3 </ b> B, the first connection target member 2 and the second connection target member 4 are connected via the connection portion 3. Further, the first electrode 2 b and the second electrode 4 b are electrically connected through the conductive particles 5. In this way, the connection structure 1 shown in FIG. 1 can be obtained. In this embodiment, since photocuring and thermosetting are used together, the anisotropic conductive material can be cured in a short time.

上記異方性導電材料は、異方性導電フィルムであってもよく、異方性導電ペーストであってもよい。上記異方性導電材料は、ペースト状の異方性導電ペーストであることが好ましい。異方性導電ペーストを用いる場合には、異方性導電フィルムを用いる場合と比較して、導電性粒子が流動しやすく、導通信頼性が低くなる傾向がある。本発明に係る異方性導電材料における組成の採用により、異方性導電ペーストを用いたとしても、導通信頼性を十分に高めることができる。   The anisotropic conductive material may be an anisotropic conductive film or an anisotropic conductive paste. The anisotropic conductive material is preferably a paste-like anisotropic conductive paste. When the anisotropic conductive paste is used, the conductive particles tend to flow and the conduction reliability tends to be lower than when the anisotropic conductive film is used. By adopting the composition in the anisotropic conductive material according to the present invention, even if an anisotropic conductive paste is used, the conduction reliability can be sufficiently increased.

本発明に係る異方性導電材料及び本発明に係る接続構造体の製造方法は、例えば、フレキシブルプリント基板とガラス基板との接続(FOG(Film on Glass))、半導体チップとフレキシブルプリント基板との接続(COF(Chip on Film))、半導体チップとガラス基板との接続(COG(Chip on Glass))、又はフレキシブルプリント基板とガラスエポキシ基板との接続(FOB(Film on Board))等に使用できる。なかでも、本発明に係る異方性導電材料及び本発明に係る接続構造体の製造方法は、COG又はFOG用途に好適であり、COG用途により好適である。本発明に係る異方性導電材料及び本発明に係る接続構造体の製造方法では、上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材として、半導体チップとガラス基板とを用いることが好ましい。上記第1の接続対象部材と上記第2の接続対象部材として、フレキシブルプリント基板とガラス基板とを用いてもよい。   The anisotropic conductive material according to the present invention and the manufacturing method of the connection structure according to the present invention include, for example, a connection between a flexible printed circuit board and a glass substrate (FOG (Film on Glass)), a semiconductor chip and a flexible printed circuit board. Can be used for connection (COF (Chip on Film)), connection between semiconductor chip and glass substrate (COG (Chip on Glass)), connection between flexible printed circuit board and glass epoxy substrate (FOB (Film on Board)), etc. . Especially, the manufacturing method of the anisotropic conductive material which concerns on this invention, and the connection structure which concerns on this invention is suitable for a COG or FOG use, and is more suitable for a COG use. In the anisotropic conductive material according to the present invention and the method for manufacturing the connection structure according to the present invention, it is preferable to use a semiconductor chip and a glass substrate as the first connection target member and the second connection target member. . A flexible printed circuit board and a glass substrate may be used as the first connection target member and the second connection target member.

FOG用途では、L/Sが比較的広いため、導電性粒子の粒径も大きく濃度も低いので、接続時の圧力が低く、充分な圧痕や樹脂充填性が得られず、電極間の導通信頼性、及び硬化物層における空隙(ボイド)の発生が問題となることが多い。これに対して、本発明に係る硬化性組成物の使用により、FOG用途において、電極間の導通信頼性を効果的に高めることができ、硬化物層における空隙(ボイド)の発生を効果的に抑制できる。   In FOG applications, since the L / S is relatively wide, the particle size of the conductive particles is large and the concentration is low, so the pressure at the time of connection is low, sufficient indentation and resin filling properties cannot be obtained, and conduction reliability between electrodes And the occurrence of voids in the cured product layer is often a problem. On the other hand, the use of the curable composition according to the present invention can effectively increase the conduction reliability between the electrodes in the FOG application, and effectively generate voids in the cured product layer. Can be suppressed.

COG用途では、特に、半導体チップとガラス基板との電極間を、異方性導電材料の導電性粒子により確実に接続することが困難なことが多い。例えば、COG用途の場合には、半導体チップの隣り合う電極間、及びガラス基板の隣り合う電極間の間隔が10〜20μm程度であることがあり、微細な配線が形成されていることが多い。微細な配線が形成されていても、本発明に係る異方性導電材料及び本発明に係る接続構造体の製造方法により、導電性粒子を電極間に精度よく配置することができることから、半導体チップとガラス基板との電極間を高精度に接続することができ、導通信頼性を高めることができる。   In COG applications, in particular, it is often difficult to reliably connect the electrodes of the semiconductor chip and the glass substrate with conductive particles of an anisotropic conductive material. For example, in the case of COG use, the distance between adjacent electrodes of a semiconductor chip and the distance between adjacent electrodes of a glass substrate may be about 10 to 20 μm, and fine wiring is often formed. Even if fine wiring is formed, the semiconductor particles can be accurately disposed between the electrodes by the anisotropic conductive material according to the present invention and the manufacturing method of the connection structure according to the present invention. And the glass substrate can be connected with high accuracy, and the conduction reliability can be improved.

以下、本発明について、実施例および比較例を挙げて具体的に説明する。本発明は、以下の実施例のみに限定されない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to Examples and Comparative Examples. The present invention is not limited only to the following examples.

(実施例1)
(1)異方性導電ペーストの調製
下記式(1B)で表されるエピスルフィド化合物(1B)を用意した。
Example 1
(1) Preparation of anisotropic conductive paste An episulfide compound (1B) represented by the following formula (1B) was prepared.

Figure 2013014755
Figure 2013014755

上記エピスルフィド化合物(1B)15重量部と、熱硬化剤であるアミンアダクト(味の素ファインテクノ社製「PN−23J」)4重量部と、エポキシアクリレート(ダイセル・サイテック社製「EBECRYL3702」)8重量部と、光カチオン硬化剤であるトリ−p−トリルスルホニウムヘキサフルオロホスファート(東京化成工業社製)0.5重量部と、光ラジカル開始剤であるアシルホスフィンオキサイド系化合物(チバ・ジャパン社製「DAROCUR TPO」)0.2重量部と、硬化促進剤である2−エチル−4−メチルイミダゾール1重量部と、フィラーであるアルミナ(平均粒子径0.5μm)10重量部とを配合し、さらに導電性粒子A(平均粒子径10μm、ジビニルベンゼン樹脂粒子の表面にニッケルめっき層が形成されており、かつ該ニッケルめっき層の表面に金めっき層が形成されている金属層を有する)を異方性導電ペースト100重量%中での含有量が3重量%となるように添加した後、遊星式攪拌機を用いて2000rpmで5分間攪拌することにより、異方性導電ペーストを得た。   15 parts by weight of the above-mentioned episulfide compound (1B), 4 parts by weight of an amine adduct (“PN-23J” manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co.) which is a thermosetting agent, and 8 parts by weight of epoxy acrylate (“EBECRYL 3702” manufactured by Daicel-Cytec) And 0.5 part by weight of tri-p-tolylsulfonium hexafluorophosphate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) which is a photocationic curing agent, and an acylphosphine oxide compound (manufactured by Ciba Japan Co., Ltd.) which is a photoradical initiator. DAROCUR TPO ") 0.2 parts by weight, 1 part by weight of 2-ethyl-4-methylimidazole as a curing accelerator, and 10 parts by weight of alumina (average particle size 0.5 μm) as a filler, Conductive particles A (average particle diameter 10 μm, nickel plating layer on the surface of divinylbenzene resin particles And having a metal layer with a gold plating layer formed on the surface of the nickel plating layer) was added so that the content in 100% by weight of the anisotropic conductive paste was 3% by weight. Then, anisotropic conductive paste was obtained by stirring for 5 minutes at 2000 rpm using a planetary stirrer.

(2)接続構造体の作製
L/Sが50μm/50μmのAl−4%Ti電極パターンが上面に形成された透明ガラス基板(第1の接続対象部材)を用意した。また、L/Sが50μm/50μm、1電極あたりの電極面積が500000μmの銅電極パターンが下面に形成されたフレキシブルプリント基板(第2の接続対象部材)を用意した。
(2) Production of Connection Structure A transparent glass substrate (first connection target member) having an Al-4% Ti electrode pattern with an L / S of 50 μm / 50 μm formed on the upper surface was prepared. Moreover, the flexible printed circuit board (2nd connection object member) by which the copper electrode pattern whose L / S is 50 micrometers / 50 micrometers and the electrode area per electrode is 500000 micrometers 2 was formed in the lower surface was prepared.

上記透明ガラス基板上に、得られた異方性導電ペーストを厚さ50μmとなるように塗布し、異方性導電ペースト層を形成した。次に、紫外線照射ランプを用いて、照射エネルギーが1000mJ/cmとなるように、異方性導電ペースト層に該異方性導電ペースト層の主面に対して紫外線が垂直に入射するように上方から紫外線を照射し、光重合によって異方性導電ペースト層を半硬化させ、Bステージ化した。次に、異方性導電ペースト層上に上記フレキシブルプリント基板を、電極同士が対向するように積層した。その後、異方性導電ペースト層の温度が185℃となるようにヘッドの温度を調整しながら、フレキシブルプリント基板の上面に加圧加熱ヘッドを載せ、1MPaの圧力をかけて異方性導電ペースト層を185℃で完全硬化させ、接続構造体を得た。 On the transparent glass substrate, the obtained anisotropic conductive paste was applied to a thickness of 50 μm to form an anisotropic conductive paste layer. Next, using an ultraviolet irradiation lamp, ultraviolet rays are incident on the anisotropic conductive paste layer perpendicularly to the main surface of the anisotropic conductive paste layer so that the irradiation energy is 1000 mJ / cm 2. Ultraviolet rays were irradiated from above, and the anisotropic conductive paste layer was semi-cured by photopolymerization to form a B stage. Next, the flexible printed circuit board was laminated on the anisotropic conductive paste layer so that the electrodes face each other. Then, while adjusting the temperature of the head so that the temperature of the anisotropic conductive paste layer becomes 185 ° C., a pressure heating head is placed on the upper surface of the flexible printed circuit board and a pressure of 1 MPa is applied to apply the anisotropic conductive paste layer. Was completely cured at 185 ° C. to obtain a connection structure.

(実施例2)
異方性導電ペーストの調製の際に、光カチオン硬化剤を、トリフェニルスルホニウムブロミド(東京化成工業社製)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペーストを用いたこと以外は実施例1と同様にして、接続構造体を得た。
(Example 2)
An anisotropic conductive paste was obtained in the same manner as in Example 1 except that the photocationic curing agent was changed to triphenylsulfonium bromide (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) during the preparation of the anisotropic conductive paste. . A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained anisotropic conductive paste was used.

(実施例3)
異方性導電ペーストの調製の際に、光ラジカル開始剤を配合しなかったこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペーストを用いたこと以外は実施例1と同様にして、接続構造体を得た。
(Example 3)
An anisotropic conductive paste was obtained in the same manner as in Example 1 except that no photoradical initiator was added during the preparation of the anisotropic conductive paste. A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained anisotropic conductive paste was used.

(実施例4)
異方性導電ペーストの調製の際に、導電性粒子A(平均粒子径10μm)を、導電性粒子B(平均粒子径20μm、ジビニルベンゼン樹脂粒子の表面にニッケルめっき層が形成されており、かつ該ニッケルめっき層の表面に金めっき層が形成されている金属層を有する)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペーストを用いたこと以外は実施例1と同様にして、接続構造体を得た。
Example 4
In the preparation of the anisotropic conductive paste, the conductive particles A (average particle size 10 μm) are the conductive particles B (average particle size 20 μm, the nickel plating layer is formed on the surface of the divinylbenzene resin particles, and An anisotropic conductive paste was obtained in the same manner as in Example 1 except that the surface of the nickel plating layer was changed to (having a metal layer on which a gold plating layer was formed). A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained anisotropic conductive paste was used.

(実施例5)
異方性導電ペーストの調製の際に、導電性粒子A(平均粒子径10μm)を、導電性粒子C(平均粒子径30μm、ジビニルベンゼン樹脂粒子の表面にニッケルめっき層が形成されており、かつ該ニッケルめっき層の表面に金めっき層が形成されている金属層を有する)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペーストを用いたこと以外は実施例1と同様にして、接続構造体を得た。
(Example 5)
In the preparation of the anisotropic conductive paste, the conductive particles A (average particle size 10 μm) are the same as the conductive particles C (average particle size 30 μm, the nickel plating layer is formed on the surface of the divinylbenzene resin particles, and An anisotropic conductive paste was obtained in the same manner as in Example 1 except that the surface of the nickel plating layer was changed to (having a metal layer on which a gold plating layer was formed). A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained anisotropic conductive paste was used.

(実施例6)
異方性導電ペーストの調製の際に、導電性粒子Aを異方性導電ペースト100重量%中での含有量を5重量%となるように用いたこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペーストを用いたこと以外は実施例1と同様にして、接続構造体を得た。
(Example 6)
In the preparation of the anisotropic conductive paste, in the same manner as in Example 1 except that the conductive particles A were used so that the content in 100% by weight of the anisotropic conductive paste was 5% by weight. An anisotropic conductive paste was obtained. A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained anisotropic conductive paste was used.

(実施例7)
異方性導電ペーストの調製の際に、導電性粒子Aを異方性導電ペースト100重量%中での含有量を10重量%となるように用いたこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペーストを用いたこと以外は実施例1と同様にして、接続構造体を得た。
(Example 7)
In the preparation of the anisotropic conductive paste, in the same manner as in Example 1 except that the conductive particles A were used so that the content in 100% by weight of the anisotropic conductive paste was 10% by weight. An anisotropic conductive paste was obtained. A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained anisotropic conductive paste was used.

(実施例8)
異方性導電ペーストの調製の際に、エポキシアクリレートをウレタンアクリレート(ダイセル・サイテック社製「EBECRYL8804」)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペーストを用いたこと以外は実施例1と同様にして接続構造体を得た。
(Example 8)
An anisotropic conductive paste was obtained in the same manner as in Example 1 except that the epoxy acrylate was changed to urethane acrylate ("EBECRYL8804" manufactured by Daicel-Cytec Co., Ltd.) during the preparation of the anisotropic conductive paste. A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained anisotropic conductive paste was used.

(実施例9)
異方性導電ペーストの調製の際に、エポキシアクリレートをトリシクロデカンジメタノールジアクリレート(ダイセル・サイテック社製「IRR−214K」)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペーストを用いたこと以外は実施例1と同様にして接続構造体を得た。
Example 9
Anisotropic conductive paste was prepared in the same manner as in Example 1 except that the epoxy acrylate was changed to tricyclodecane dimethanol diacrylate (“IRR-214K” manufactured by Daicel-Cytec). A conductive paste was obtained. A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained anisotropic conductive paste was used.

(実施例10)
下記式(2B)で表されるエピスルフィド化合物(2B)を用意した。
(Example 10)
An episulfide compound (2B) represented by the following formula (2B) was prepared.

Figure 2013014755
Figure 2013014755

異方性導電ペーストの調製の際に、上記エピスルフィド化合物(1B)を、上記エピスルフィド化合物(2B)に変更したこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペーストを用いたこと以外は実施例1と同様にして接続構造体を得た。   An anisotropic conductive paste was obtained in the same manner as in Example 1 except that the episulfide compound (1B) was changed to the episulfide compound (2B) during the preparation of the anisotropic conductive paste. A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained anisotropic conductive paste was used.

(実施例11)
異方性導電ペーストの調製の際に、エポキシアクリレートの配合量を0.75重量部に変更したこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペーストを用いたこと以外は実施例1と同様にして接続構造体を得た。
(Example 11)
An anisotropic conductive paste was obtained in the same manner as in Example 1 except that the amount of the epoxy acrylate was changed to 0.75 parts by weight when preparing the anisotropic conductive paste. A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained anisotropic conductive paste was used.

(実施例12)
異方性導電ペーストの調製の際に、エポキシアクリレートの配合量を9重量部に変更したこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペーストを用いたこと以外は実施例1と同様にして接続構造体を得た。
(Example 12)
An anisotropic conductive paste was obtained in the same manner as in Example 1 except that the amount of the epoxy acrylate was changed to 9 parts by weight when preparing the anisotropic conductive paste. A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained anisotropic conductive paste was used.

(比較例1)
異方性導電ペーストの調製の際に、光カチオン硬化剤であるトリ−p−トリルスルホニウムヘキサフルオロホスファート(東京化成工業社製)を配合しなかったこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペーストを用いたこと以外は実施例1と同様にして、接続構造体を得た。
(Comparative Example 1)
In the preparation of the anisotropic conductive paste, in the same manner as in Example 1, except that tri-p-tolylsulfonium hexafluorophosphate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.), which is a photocationic curing agent, was not blended. An anisotropic conductive paste was obtained. A connection structure was obtained in the same manner as in Example 1 except that the obtained anisotropic conductive paste was used.

(比較例2)
異方性導電ペーストの調製の際に、エポキシアクリレートと、光カチオン硬化剤であるトリ−p−トリルスルホニウムヘキサフルオロホスファート(東京化成工業社製)と、光ラジカル開始剤であるアシルホスフィンオキサイド系化合物とを配合しなかったこと以外は実施例1と同様にして、異方性導電ペーストを得た。得られた異方性導電ペースト100重量%中、導電性粒子Aの含有量は3重量%であった。
(Comparative Example 2)
In the preparation of the anisotropic conductive paste, epoxy acrylate, tri-p-tolylsulfonium hexafluorophosphate (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.) as a photocationic curing agent, and acylphosphine oxide system as a photoradical initiator An anisotropic conductive paste was obtained in the same manner as in Example 1 except that the compound was not blended. In 100% by weight of the obtained anisotropic conductive paste, the content of the conductive particles A was 3% by weight.

L/Sが50μm/50μmのAl−4%Ti電極パターンが上面に形成された透明ガラス基板(第1の接続対象部材)を用意した。また、L/Sが50μm/50μm、1電極あたりの電極面積が500000μmの銅電極パターンが下面に形成されたフレキシブルプリント基板(第2の接続対象部材)を用意した。 A transparent glass substrate (first connection target member) on which an Al-4% Ti electrode pattern having an L / S of 50 μm / 50 μm was formed was prepared. Moreover, the flexible printed circuit board (2nd connection object member) by which the copper electrode pattern whose L / S is 50 micrometers / 50 micrometers and the electrode area per electrode is 500000 micrometers 2 was formed in the lower surface was prepared.

上記透明ガラス基板上に、得られた異方性導電ペーストを厚さ50μmとなるように塗布し、異方性導電ペースト層を形成した。異方性導電ペーストの塗布の際及び塗布の後に光を照射しなかった。   On the transparent glass substrate, the obtained anisotropic conductive paste was applied to a thickness of 50 μm to form an anisotropic conductive paste layer. No light was applied during and after application of the anisotropic conductive paste.

次に、異方性導電ペースト層の上面に上記フレキシブルプリント基板を、電極同士が対向するように積層した。その後、異方性導電ペースト層の温度が185℃となるようにヘッドの温度を調整しながら、フレキシブルプリント基板の上面に加圧加熱ヘッドを載せ、1MPaの圧力をかけて異方性導電ペースト層を185℃で完全硬化させ、接続構造体を得た。   Next, the flexible printed circuit board was laminated on the upper surface of the anisotropic conductive paste layer so that the electrodes face each other. Then, while adjusting the temperature of the head so that the temperature of the anisotropic conductive paste layer becomes 185 ° C., a pressure heating head is placed on the upper surface of the flexible printed circuit board and a pressure of 1 MPa is applied to apply the anisotropic conductive paste layer. Was completely cured at 185 ° C. to obtain a connection structure.

(評価)
(1)硬化率
接続構造体の製造の際に形成したBステージ化した異方性導電ペースト層における硬化率を評価した。
(Evaluation)
(1) Curing Rate The curing rate in the B-staged anisotropic conductive paste layer formed during the manufacture of the connection structure was evaluated.

導電性粒子により光が遮られずに光が照射された異方性導電ペースト層部分の硬化率(1)と、かつ導電性粒子により光が遮られて光が直接照射されなかった異方性導電ペースト層部分の硬化率(2)とを測定した。測定する際に、導電性粒子により光が遮られずに光が照射された異方性導電ペースト層部分の任意の5箇所の硬化率(1)と導電性粒子により光が遮られて光が直接照射されなかった異方性導電ペースト層部分の任意の5箇所の硬化率(2)とをそれぞれ測定して、測定値の平均値を硬化率とした。   Curing rate (1) of the anisotropic conductive paste layer portion irradiated with light without being blocked by the conductive particles, and anisotropy where the light was blocked by the conductive particles and not directly irradiated with the light The curing rate (2) of the conductive paste layer portion was measured. When measuring, the light is blocked by the conductive particles and the curing rate (1) at any five positions of the anisotropic conductive paste layer irradiated with light without being blocked by the conductive particles. The cure rate (2) at any five locations of the anisotropic conductive paste layer portion that was not directly irradiated was measured, and the average value of the measured values was taken as the cure rate.

(2)圧痕状態
得られた接続構造体における100箇所の導電性粒子と電極との接続部分について、電極に形成された圧痕の状態を観察した。
(2) Indentation state About the connection part of 100 electroconductive particles and an electrode in the obtained connection structure, the state of the indentation formed in the electrode was observed.

偏光顕微鏡を使用し、1電極あたり(500000μmあたり)に明らかな球状の圧痕が平均25個以上確認できる場合を、良好な圧痕が形成されていると判断した。また、1電極あたり(500000μmあたり)に明らかな球状の圧痕が平均5個未満確認できる場合を、圧痕の形成が不十分と判断した。圧痕状態を下記の基準で判定した。 Using a polarizing microscope, it was judged that good indentations were formed when an average of 25 or more spherical indentations per electrode (per 500,000 μm 2 ) could be confirmed. Moreover, it was judged that formation of an indentation was inadequate when the average of less than five spherical indentations per electrode (per 500,000 μm 2 ) was confirmed. The indentation state was determined according to the following criteria.

[圧痕状態の判定基準]
○○:100箇所の接続部分中、明らかな球状の圧痕が平均25個以上
○:100箇所の接続部分中、明らかな球状の圧痕が平均10個以上25個未満
△:100箇所の接続部分中、明らかな球状の圧痕が平均5個以上10個未満
×:100箇所の接続部分中、明らかな球状の圧痕が平均5個未満
[Indentation criteria]
○○: Average of 25 or more spherical indentations in 100 connected portions ○: Average of 10 or more and less than 25 indentations in 100 connected portions Δ: In 100 connected portions The average spherical indentation is 5 or more and less than 10 on average. ×: The average number of obvious spherical indentations is less than 5 in 100 connecting portions.

(3)導通信頼性(上下の電極間の導通試験)
得られた接続構造体の上下の電極間の接続抵抗をそれぞれ、4端子法により測定した。100箇所の接続抵抗の平均値を算出した。なお、電圧=電流×抵抗の関係から、一定の電流を流した時の電圧を測定することにより接続抵抗を求めることができる。
(3) Conduction reliability (conductivity test between upper and lower electrodes)
The connection resistance between the upper and lower electrodes of the obtained connection structure was measured by a four-terminal method. The average value of the connection resistance at 100 locations was calculated. Note that the connection resistance can be obtained by measuring the voltage when a constant current is passed from the relationship of voltage = current × resistance.

結果を下記の表1に示す。   The results are shown in Table 1 below.

Figure 2013014755
Figure 2013014755

1…接続構造体
2…第1の接続対象部材
2a…上面
2b…第1の電極
2c…凹部
3…接続部
3a…上面
3A…異方性導電材料層
3B…Bステージ化された異方性導電材料層
3Ba,3Bb…Bステージ化された異方性導電材料層部分
4…第2の接続対象部材
4a…下面
4b…第2の電極
5…導電性粒子
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Connection structure 2 ... 1st connection object member 2a ... Upper surface 2b ... 1st electrode 2c ... Recessed part 3 ... Connection part 3a ... Upper surface 3A ... Anisotropic conductive material layer 3B ... B staged anisotropy Conductive material layer 3Ba, 3Bb ... B-staged anisotropic conductive material layer portion 4 ... Second connection target member 4a ... Lower surface 4b ... Second electrode 5 ... Conductive particles

Claims (8)

硬化性化合物と、光カチオン硬化剤と、熱硬化剤と、導電性粒子とを含み、
前記硬化性化合物が、エポキシ基又はチイラン基を有する硬化性化合物を含有する、異方性導電材料。
Including a curable compound, a photocationic curing agent, a thermosetting agent, and conductive particles,
An anisotropic conductive material, wherein the curable compound contains a curable compound having an epoxy group or a thiirane group.
光ラジカル開始剤をさらに含む、請求項1に記載の異方性導電材料。   The anisotropic conductive material according to claim 1, further comprising a photoradical initiator. 前記硬化性化合物が、不飽和二重結合を有する硬化性化合物を含有する、請求項1又は2に記載の異方性導電材料。   The anisotropic conductive material according to claim 1, wherein the curable compound contains a curable compound having an unsaturated double bond. 前記硬化性化合物が、エポキシ基又はチイラン基を有し、かつ(メタ)アクリロイル基を有する硬化性化合物を含有する、請求項1〜3のいずれか1項に記載の異方性導電材料。   The anisotropic conductive material of any one of Claims 1-3 in which the said curable compound contains the curable compound which has an epoxy group or thiirane group, and has a (meth) acryloyl group. ペースト状の異方性導電ペーストである、請求項1〜4のいずれか1項に記載の異方性導電材料。   The anisotropic conductive material according to claim 1, which is a paste-like anisotropic conductive paste. 第1の接続対象部材と、第2の接続対象部材と、該第1,第2の接続対象部材を電気的に接続している接続部とを備え、
前記接続部が、請求項1〜5のいずれか1項に記載の異方性導電材料を硬化させることにより形成されている、接続構造体。
A first connection target member, a second connection target member, and a connection part that electrically connects the first and second connection target members;
The connection structure in which the said connection part is formed by hardening the anisotropic conductive material of any one of Claims 1-5.
第1の電極を上面に有する第1の接続対象部材上に、異方性導電材料を用いた異方性導電材料層を配置する工程と、
前記異方性導電材料層に光を照射することにより硬化を進行させて、前記異方性導電材料層をBステージ化する工程と、
Bステージ化された異方性導電材料層の上面に、第2の電極を下面に有する第2の接続対象部材をさらに積層する工程と、
前記Bステージ化された異方性導電材料層を加熱することにより硬化させる工程とを備え、
前記異方性導電材料として、請求項1〜5のいずれか1項に記載の異方性導電材料を用いる、接続構造体の製造方法。
Disposing an anisotropic conductive material layer using an anisotropic conductive material on a first connection target member having a first electrode on an upper surface;
Curing the anisotropic conductive material layer by irradiating it with light, and making the anisotropic conductive material layer a B-stage;
A step of further laminating a second connection target member having a second electrode on the lower surface on the upper surface of the B-staged anisotropic conductive material layer;
Curing the B-staged anisotropic conductive material layer by heating,
The manufacturing method of a connection structure using the anisotropic conductive material of any one of Claims 1-5 as said anisotropic conductive material.
前記異方性導電材料層をBステージ化する工程において、前記導電性粒子により光が遮られて光が直接照射されなかった異方性導電材料層部分の硬化を、前記光カチオン硬化剤の作用によるカチオン反応により進行させる、請求項7に記載の接続構造体の製造方法。   In the step of converting the anisotropic conductive material layer into a B-stage, light is blocked by the conductive particles and the anisotropic conductive material layer portion that is not directly irradiated with light is cured by the action of the photocationic curing agent. The manufacturing method of the connection structure of Claim 7 made to advance by the cation reaction by.
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