KR102398423B1 - 이상 검출 시스템 및 이상 검출 방법 - Google Patents

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Abstract

이상 검출 시스템(10) 및 이상 검출 방법에서는, 외부로부터 피스톤(50)의 스트로크를 입력하고, 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과에 근거하여 피스톤(50)의 이동 시간을 산출하고, 피스톤(50)의 동작 횟수 및 스트로크를 이용하여 피스톤(50)의 총 이동 거리를 산출하여, 이동 시간과 피스톤(50)의 동작 횟수 또는 총 이동 거리에 근거하여 액추에이터(14)의 이상을 검출한다.

Description

이상 검출 시스템 및 이상 검출 방법{ABNORMALITY DETECTION SYSTEM AND ABNORMALITY DETECTION METHOD}
본 발명은 액추에이터(actuator)의 일단부와 타단부의 사이를 변위하는 가동부의 이동 시간에 근거하여 액추에이터의 이상을 검출하는 이상 검출 시스템 및 이상 검출 방법에 관한 것이다.
종래부터, 일단부와 타단부의 사이를 가동부가 이동하는 액추에이터에 있어서, 고장 등을 포함한 액추에이터의 이상 유무는 액추에이터의 일단부 또는 타단부에 공급되는 작동 유체(압력 유체)의 누출, 가동부가 작동하기 위한 최저 압력(최저 작동 압력), 액추에이터의 택 타임(takt time) 등에 근거하여 검출된다.
이 중, 압력 유체의 누설은 예를 들어, 압력 유체의 유량을 검지하는 유량 센서의 검지 결과에 근거하여 판정한다. 그러나, 이 판정 방법에서는 압력 유체를 공급하는 배관의 조건, 사용되는 압력 유체의 압력치, 압력 유체의 맥동, 온도 조건에 의해 유량 센서의 검지 결과가 변화한다. 그 때문에, 이러한 각 조건을 설정하는 것이 어렵다.
또한, 최저 작동 압력은 예를 들어, 압력 유체의 압력을 검지하는 압력 센서의 검지 결과에 근거하여 판정한다. 그러나, 이 판정 방법에서는 액추에이터의 가동을 정지시킨 상태에서 최저 작동 압력을 확인할 필요가 있다. 또한, 액추에이터를 구성하는 실린더의 보어 사이즈나 가동부의 스트로크에 따라서는 가동부의 이동 속도가 변화한다. 이 경우에서도, 이러한 각 조건을 설정하는 것이 어렵다.
여기서, 특허 제 6011875 호 공보에서는 액추에이터 측에 배치된 이상 검출 장치에 있어, 장치 내에 격납된 통계 데이터를 이용해 액추에이터의 택 타임에 대한 이상 검출 처리를 하여 그 검출 결과를 외부에 출력하는 것이 개시되고 있다.
그렇지만, 상기 공보의 기술에서는 이상 검출 처리를 하기 위해, 개별의 기기나 사용 조건에 따라, 택 타임의 초기치에 대한 역치 등을 설정할 필요가 있다.
본 발명은 이러한 과제를 고려하여 이루어진 것으로, 적어도 액추에이터의 고장 등의 이상을 간단, 저비용, 정확 그리고 신속하게 검출할 수 있는 이상 검출 시스템 및 이상 검출 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 양태는, 액추에이터의 일단부과 타단부의 사이를 변위하는 가동부의 이동 시간에 근거하여, 상기 액추에이터의 이상을 검출하는 이상 검출 시스템 및 이상 검출 방법에 관한 것이다.
상기 이상 검출 시스템은, 상기 일단부로 변위된 상기 가동부를 검지하는 제 1 센서와, 상기 타단부로 변위된 상기 가동부를 검지하는 제 2 센서와, 상기 가동부의 스트로크를 입력하는 외부 입력부와, 상기 제 1 센서 및 상기 제 2 센서의 각 검지 결과에 근거하여 상기 이동 시간을 산출하는 이동 시간 산출부와, 상기 가동부의 동작 횟수 및 상기 스트로크에 근거하여 상기 가동부의 총 이동 거리를 산출하는 이동 거리 산출부와, 상기 이동 시간과 상기 이동 횟수 또는 상기 총 이동 거리에 근거하여 적어도 상기 액추에이터의 이상을 검출하는 이상 검출부를 구비한다.
또한, 상기 이상 검출 방법은 외부 입력부에 의해 상기 가동부의 스트로크를 입력하는 제 1 단계와, 제 1 센서에 의해 상기 일단부로 변위된 상기 가동부를 검지하고, 제 2 센서에 의해 상기 타단부로 변위된 상기 가동부를 검지하는 제 2 단계와, 이동 시간 산출부에 의해 상기 제 1 센서 및 상기 제 2 센서의 각 검지결과에 근거하여 상기 이동 시간을 산출하는 제 3 단계와, 이동 거리 산출부에 의해 상기 가동부의 동작 횟수 및 상기 스트로크에 근거하여 상기 가동부의 총 이동 거리를 산출하는 제 4 단계와, 이상 검출부에 의해 상기 이동 시간과 상기 동작 횟수 또는 상기 총 이동 거리에 근거하여 적어도 상기 액추에이터의 이상을 검출하는 제 5 단계를 구비한다.
본 발명에 의하면, 외부로부터 가동부의 스트로크를 미리 입력하고 입력된 스트로크와 제 1 센서 및 제 2 센서의 각 검지 결과와, 가동부의 동작 횟수에 근거하여 액추에이터의 이상을 검출한다. 이것에 의해, 장치 내에 격납된 통계 데이터를 이용해 액추에이터의 이상을 검출하는 상기 공보의 기술과 비교해서 액추에이터의 이상을 간단, 저비용, 정확 그리고 신속하게 검출하는 것이 가능해진다.
상기 목적, 특징 및 이점은 첨부한 도면을 참조하여 설명되는 이하의 실시 형태에 대한 설명으로 쉽게 이해될 것이다.
도 1은 본 실시 형태와 관련되는 이상 검출 시스템의 구성도이다.
도 2는 도 1의 이상 검출 장치의 내부 구성도이다.
도 3은 도 1의 이상 검출 시스템의 동작(이상 검출 방법)의 플로 차트이다.
도 4는 도 1의 이상 검출 시스템의 동작(이상 검출 방법)의 플로 차트이다.
이하, 본 발명과 관련되는 이상 검출 시스템 및 이상 검출 방법에 대해 알맞은 실시 형태를 예시하고, 첨부의 도면을 참조하면서 설명한다.
[1. 본 실시형태의 구성]
<1.1 이상 검출 시스템 (10)의 전체 구성>
도 1과 같이, 본 실시 형태와 관련된 이상 검출 시스템(10)은 4 방향 5 포트의 복동식 전자 밸브인 방향 전환 밸브(12), 유체압 실린더 등의 액추에이터(14), 액추에이터(14)의 일단부(16)에 배설된 제 1 센서(18)(제 1의 센서), 액추에이터 (14)의 타단부(20)에 배설된 제 2 센서(22)(제 2의 센서), 이상 검출 장치(24) 및 PLC(Programmable Logic Controller) 등의 제어 장치(26)(다른 장치)를 구비한다.
또한, 이상 검출 시스템(10)은 도시되지 않는 설비에 내장되어 해당 설비를 정지시키는 일 없이, 설비 가동 중에 액추에이터(14)의 열화 또는 고장 등의 이상을 자동적으로 검출 가능한 이상 검지 기능을 구비한 시스템이다. 또한, 본 실시 형태에서 액추에이터(14)의 일단부(16)는 도 1의, 유체압 실린더의 좌측(헤드 측) 단부이며, 타단부(20)는 유체압 실린더의 우측(로드 측)의 단부이다.
이상 검출 장치(24)는, 설비에 배설된 액추에이터(14)의 근방에 설치되어 외부로부터 각종의 정보를 입력 가능한 조작 입력부(28)(외부 입력부)와, 통신부(30)를 가진다. 조작 입력부(28)는 키보드, 숫자 패드, 터치 패널 등 설비 담당자가 각종 정보를 입력 조작 가능한 조작 장치이다. 제어 장치(26)는 이상 검출 장치(24) 및 액추에이터(14)로부터 떨어진 장소에 설치된 이상 검출 장치(24)에 대한 상위 장치이며, 통신부(32)를 갖는다. 이상 검출 장치(24)의 통신부(30)와 제어 장치(26)의 통신부(32)는 필드 버스 등에 의해 시리얼 접속되고 있다. 따라서, 2개의 통신부(30, 32)는 시리얼 통신에 의해 각종 신호 또는 정보를 송수신한다. 또한, 제어 장치(26)의 통신부(32)는 네트워크(34)를 통해, 원격지에 있는 상위 장치 로서의 복수의 PC(36)(다른 장치, 외부 장치)와 접속 가능하다.　
제어 장치(26)는 통신부(32)를 통해, 방향 전환 밸브(12)의 솔레노이드(12a, 12b)에 제어 신호(제어 지령)를 공급한다. 방향 전환 밸브(12)는 솔레노이드(12a, 12b)에 공급되는 제어 신호에 의해 유체압원(38)으로부터 공급되는 압력 유체를 액추에이터(14)의 일단부(16) 또는 타단부(20)에 선택적으로 출력한다. 즉, 솔레노이드(12a)에 제어 신호가 공급된 경우, 방향 전환 밸브(12)는 도 1에 개시된 2개의 블록 중, 상측의 블록 상태가 된다. 또한, 솔레노이드(12b)에 제어 신호가 공급된 경우, 방향 전환 밸브(12)는 하측 블록 상태가 된다. 방향 전환 밸브 (12)와 액추에이터(14)의 일단부(16) 측 포트(40)와의 사이에는 제 1 배관(42)(제 1의 배관)이 접속되고, 방향 전환 밸브(12)와 액추에이터(14)의 타단부(20) 측 포트(44)와의 사이에는 제 2 배관(46)(제 2의 배관)이 접속된다.
액추에이터(14)는 방향 전환 밸브(12)로부터의 압력 유체 공급에 근거하여 피스톤 로드(48)에 연결된 피스톤(50)(가동부)이 도 1의 좌우 방향(변위 방향, 스트로크 방향)으로 변위하는 유체압 실린더이다. 피스톤 로드(48)는 피스톤 (50)에서 도 1의 우측 방향으로 연장되어, 액추에이터(14)의 타단부(20)를 관통하여 외부로 돌출된다.
여기에서, 솔레노이드(12a)로의 제어 신호 공급에 의해 해당 솔레노이드(12a)가 여자되어, 방향 전환 밸브(12)가 상측 블록 상태가 되었을 경우, 유체압원(38)에서 방향 전환 밸브(12), 제 1 배관(42) 및 포트(40)를 통하여 일단부(16)에 압력 유체가 공급됨과 동시에, 타단부(20)에서 포트(44), 제 2 배관 (46) 및 방향 전환 밸브(12)를 통하여 해당 타단부(20) 내의 압력 유체가 외부로 배출된다. 이로 인해, 피스톤(50) 및 피스톤 로드(48)는 액추에이터(14)의 일단부 (16)에서 타단부(20)를 향해, 도 1의 오른쪽 방향으로 일체로 변위한다.
또한, 솔레노이드(12b)로의 제어 신호 공급에 의해 해당 솔레노이드(12b)가 여자되어 방향 전환 밸브(12)의 상태가 하측 블록 상태가 되었을 경우, 유체압원(38)에서 방향 전환 밸브(12), 제 2 배관(46) 및 포트(44)를 통하여 타단부(20)에 압력 유체가 공급됨과 동시에, 일단부(16)에서 포트(40), 제 1 배관(42) 및 방향 전환 밸브(12)를 통하여 해당 일단부(16) 내의 압력 유체가 외부로 배출된다. 이로 인해, 피스톤(50) 및 피스톤 로드(48)은 타단부(20)에서 일단부(16)을 향해, 도 1의 왼쪽 방향으로 일체로 변위한다.
따라서, 제어 장치(26)로부터 통신부(30)를 통해 각 솔레노이드(12a, 12b)에 교대로 제어 신호를 공급하면, 일단부(16)와 타단부(20)의 사이에서 피스톤(50) 및 피스톤 로드(48)를 도 1의 좌우 방향으로 왕복 이동시킬 수 있다. 그러므로, 본 실시 형태에 있어서 스트로크(storke)란, 액추에이터(14)의 일단부(16)에서 타단부(20)까지 또는, 타단부(20)에서 일단부(16)까지의 피스톤(50)의 이동 거리를 말한다. 또한, 일단부(16) 또는 타단부(20)로부터의 압력 유체 배출 경로 끝에는 사이렌서(silencer)가 배설되어 있다.
액추에이터(14)의 일단부(16)측에는 제 1 센서(18)가 배치되어 있고, 타단부 (20) 측에는 제 2 센서(22)가 배치되어 있다. 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)는 리미트 스위치 또는 자기식 스위치이며, 피스톤(50)이 제 1 센서(18) 및 제 2 센서 (22)에 대향하는 위치로 변위했을 때, 해당 피스톤(50)을 검지하고, 그 검지 결과를 검지 신호로서 이상 검출 장치(24)로 출력한다. 또한, 피스톤(50)의 변위에 의해 해당 피스톤(50)과 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)가 대향하지 않게 되었을 때, 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)는 검지 신호의 출력을 정지한다.
이상 검출 장치(24)는 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과나 외부에서 조작 입력부(28)를 통해 입력된 정보에 근거하여, 액추에이터(14)의 이상, 방향 전환 밸브(12)의 이상 및 제 1 배관(42) 또는 제 2 배관(46)의 이상 유무를 검출한다. 이상 검출 장치(24)는 이상 발생을 나타내는 검출 결과 등을 통신부(30)에서 제어 장치(26)의 통신부(32)로 시리얼 통신에 의해 송신한다. 그 때문에, 이상 검출 장치(24)는 설비의 가동 시에 액추에이터(14) 등의 이상 검출 처리를 연속적으로 실시하는 것이 가능하다.
<1.2 이상 검출 장치 (24)의 내부 구성>
도 2와 같이, 이상 검출 장치(24)는 조작 입력부(28), 입력부(54), 출력부 (56), 시계부(58), 연산 처리부(60), 통신부(30), 출력 처리부(62), 출력부(64), 및 기억부(66)을 갖는다. 연산 처리부(60)는 마이크로컴퓨터 등의 프로세서이며, 기억부(66)에 기억된 프로그램을 동작함으로써, 타임스탬프 처리부(60a), 동작 개시 시간 산출부(60b)(동작 개시 시간 검출부), 이동 시간 산출부(60c), 동작 횟수 카운트부(60d), 이동 거리 산출부(60e), 통계 연산 처리부(60f) 및 이상 검출부(60g)의 기능을 실현한다.
조작 입력부(28)에는 설비 담당자의 조작에 의해 피스톤(50)의 스트로크, 피스톤(50)의 이동 시간의 시간 역치, 피스톤(50)의 동작 횟수 상한치(횟수 상한치), 피스톤 (50)의 총 이동 거리의 거리 역치, 피스톤(50)의 동작 개시 시간 상한치(시간 상한치)가 입력된다.
여기에서, 피스톤(50)의 이동 시간이란, 피스톤(50)이 일단부(16)에서 타단부(20)까지 또는, 타단부(20)에서 일단부(16)까지 이동하는데 필요한 시간을 말한다. 시간 역치란, 피스톤(50)의 이동 시간 허용 범위의 상한치이다.
피스톤(50)의 동작 횟수란, 액추에이터(14)의 일단부(16)와 타단부(20)와의 사이에서 피스톤(50)의 왕복 횟수 또는, 일단부(16)에서 타단부(20)까지 및 타단부 (20)에서 일단부(16)까지 피스톤(50)이 이동한 횟수(왕복 횟수의 2배 횟수)를 말한다. 횟수 상한치란, 피스톤(50)의 동작 횟수 허용 범위의 상한치를 말한다. 또한, 횟수 상한치는 유체압 실린더의 종류(기종)나 방향 전환 밸브(12)의 종류(기종) 또는 씰 방법에 따라 적절히 변경해도 된다.
피스톤(50)의 총 이동 거리란, 피스톤(50)의 동작 횟수에 따른 피스톤(50)의 총 주행 거리이며, 동작 횟수와 스트로크와의 곱이다(동작 횟수×스트로크=총 이동 거리). 거리 역치란, 총 이동 거리의 허용 범위의 상한치다.
동작 개시 시작 시간이란, 피스톤(50)의 1회 동작에 있어서, 솔레노이드(12a, 12b)에 대한 제어 신호의 공급을 개시한 시점부터 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22) 중, 한쪽 센서가 피스톤(50)을 검지할 수 없게 된 시점까지의 시간을 말한다. 시간 상한치란, 동작 개시 시간의 허용 범위 상한치이다.
또한, 상술한 역치 및 상한치는 이상 검출 시스템(10)의 제조 메이커가 권장하는 액추에이터(14), 방향 전환 밸브(12), 제 1 배관(42) 및 제 2 배관(46)등의 공칭 수명 또는 보증 수명에 따른 값이다.
입력부(54)는 제 1 센서(18) 또는 제 2 센서(22)로부터 검지 신호가 입력되었을 때(검지 신호의 신호 레벨이 낮은 레벨에서 높은 레벨로 전환되었을 때), 검지 신호의 상승 에지를 검출하고, 검출 결과(검지 결과)를 연산 처리부(60)에 출력한다. 또한, 입력부(54)는 제 1 센서(18) 또는 제 2 센서(22)로부터의 검지 신호의 입력이 정지되었을 때(검지 신호의 신호 레벨이 높은 레벨에서 낮은 레벨로 전환되었을 때), 검지 신호의 하강 에지를 검출하고, 검출 결과(검지 결과)를 연산 처리부(60)에 출력한다.
출력부(56)는 제어 장치(26)로부터 통신부(30)를 통해 공급된 제어 신호를 방향 전환 밸브(12)의 솔레노이드(12a, 12b)로 출력한다. 시계부(58)는 계시 기능을 가진 타이머이다.
연산 처리부(60)의 타임스탬프 처리부(60a)는, 입력부(54)로부터 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과가 입력되었을 때, 적어도 각 검지 결과에 현재 시각의 시각 정보를 부여하는 타임스탬프 처리를 한다.
동작 개시 시간 산출부(60b)는 피스톤(50)의 1회 동작마다 방향 전환 밸브(12)의 솔레노이드(12a, 12b)로의 제어 신호 공급 개시 시점부터, 제 1 센서 (18) 및 제 2 센서(22) 중, 한쪽 센서가 피스톤(50)을 검지할 수 없게 된 시점까지의 시간을 동작 개시 시작 시간으로 산출(검출) 한다.
이동 시간 산출부(60c)는, 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과에 근거하여 피스톤(50)의 이동 시간을 산출한다. 이 경우, 피스톤(50)의 1회 동작에 있어서, 제어 신호의 공급 개시 시점부터 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22) 중, 다른 쪽 센서가 피스톤(50)을 검지하는 시점까지의 시간을 이동 시간으로 산출한다.
동작 횟수 카운트부(60d)는 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과에 근거하여 피스톤(50)의 동작 횟수를 카운트한다. 이 경우, 피스톤(50)의 1회 동작에 있어서, 상승 에지와 하강 에지가 입력부(54)에서 연산 처리부(60)에 입력되었을 때, 동작 횟수 카운트부(60d)는 피스톤(50)의 1회분 동작으로 카운트한다.
이동 거리 산출부(60e)는 피스톤(50)의 동작 횟수와 스트로크를 곱하여 피스톤(50)의 총 이동 거리를 산출한다.
통계 연산 처리부(60f)는 동작 개시 시간, 이동 시간, 동작 횟수 및 총 이동 거리 등에 대해 평균치, 분산 및 표준편차 등의 통계치를 산출하는 통계 연산 처리를 한다. 이 경우, 예를 들어, 상기 공보에서 통계 연산 처리 기법을 이용해 통계 연산 처리를 하면 된다.
이상 검출부(60g)는 동작 개시 시간, 이동 시간, 동작 횟수 또는 총 이동 거리나 통계 연산 처리의 결과 등에 근거하여 액추에이터(14), 방향 전환 밸브(12), 및 제 1 배관(42) 또는 제 2 배관의 이상 유무를 검출한다. 이상의 유무의 검출 방법은 후술한다.
기억부(66)는, 타임스탬프 처리 후의 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과나 연산 처리부(60)에서의 각종 연산 처리 결과가 기억된다. 따라서, 기억부(66)에는, 각 검지 결과 및 각 연산 처리 결과가 시각 정보에 연관되어 기억된다.
출력 처리부(62)는, 타임스탬프 처리 후의 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과나 연산 처리부(60)에서의 각종 연산처리 결과를 출력부(64)를 통해 외부에 보고할 때, 해당 출력부(64)의 출력 형태에 따른 처리를 한다. 예를 들어, 출력부(64)가 디스플레이 등의 표시부일 경우에는, 출력 처리부(62)는, 각 검지 결과나 각 연산 처리 결과를 디스플레이에 표시하기 위한 표시 처리를 한다.
통신부(30)는 제어 장치(26)의 통신부(32)로부터 공급되는 제어 신호를 출력부 (56) 및 연산 처리부(60)에 출력한다. 또한, 통신부(30)는 타임스탬프 처리 후의 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과나 연산 처리부(60)에서의 각종 연산 처리 결과를 제어 장치(26)의 통신부(32)로 송신한다.
［2. 본 실시 형태의 동작］
이상과 같이 구성되는 본 실시 형태와 관련되는 이상 검출 시스템(10)의 동작(이상 검출 방법)에 대해서, 도 3 및 도 4의 플로 차트를 참조하면서 설명한다. 여기에서는, 제어 장치(26)(도 1 참조)에서 솔레노이드(12a)로의 제어 신호 공급이 개시됨으로써 액추에이터(14)가 구동되며, 가장 먼저 액추에이터 (14)의 일단부(16)에서 타단부(20)로 피스톤(50)이 변위하는 경우에 대해 설명한다. 또한, 제어 장치(26)는 2개의 솔레노이드(12a, 12b)에 대해 교대로 제어 신호를 공급한다.
먼저, 도 3의 단계 (S1)(제 1 단계)에 있어서, 설비의 담당자는 조작 입력부(28)(도 1 및 도 2 참조)를 조작하고, 피스톤(50)의 스트로크, 시간 역치, 횟수 상한치, 거리 역치 및 시간 상한치를 입력한다. 입력된 각 설정치는 기억부(66)에 기억된다.
단계(S2)에 있어서, 제어 장치(26)는 통신부(32)를 통해 이상 검출 장치(24)의 통신부(30)로 제어 신호 공급을 개시한다. 이상 검출 장치(24)의 통신부(30)는 공급된 제어 신호를 출력부(56) 및 연산 처리부(60)에 출력한다. 이로 인해, 연산 처리부(60)는 제어 신호의 공급이 개시된 것을 인식할 수 있다. 또한, 출력부(56)는 방향 전환 밸브(12)의 솔레노이드(12a)에 제어 신호를 공급한다.
단계(S3)에 있어서, 솔레노이드(12a)로의 제어 신호 공급에 의해 해당 솔레노이드 (12a)가 여자되면, 유체압원(38)에서 방향 전환 밸브(12), 제 1 배관(42) 및 포트 (40)를 통하여 액추에이터(14)의 일단부(16)에 압력 유체가 공급됨과 동시에, 타단부(20)에서 포트(44), 제 2 배관(46) 및 방향 전환 밸브를 통해 타단부(20) 내의 압력 유체가 외부로 배출된다. 그 결과, 피스톤(50) 및 피스톤 로드(48)는 액추에이터(14)의 일단부(16)에서 타단부(20)를 향해 변위한다.
이와 같이, 피스톤(50)의 타단부(20) 측으로의 변위에 의해, 다음 단계 (S4)(제 2 단계)에 있어서, 제 1 센서(18)는 피스톤(50)을 검지할 수 없게 된다. 또한, 제 2 센서(22)는 피스톤(50)이 타단부(20)로 변위 함으로써 피스톤(50)을 검지할 수 있다. 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과는, 입력부(54)에 입력된다. 입력부(54)는 제 1 센서(18)로부터 검지 신호의 하강 에지를 검출하고, 그 검출 결과(검지 결과)를 연산 처리부(60)에 출력한다. 또한, 입력부(54)는 제 2 센서(22)로부터의 검지 신호가 상승 에지를 검출하고, 검출 결과(검지 결과)를 연산 처리부(60)에 출력한다.
단계(S5)에 있어서, 연산 처리부(60)의 타임스탬프 처리부(60a)는 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과 즉, 상승 에지 및 하강 에지에 대해서 현재 시각의 시각 정보를 부여하는 타임스탬프 처리를 실행한다. 타임스탬프 처리부(60a)는 시각 정보와 연관된 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과(상승 에지 및 하강 에지 정보)를 기억부(66)에 기억한다.
단계(S6)에 있어서, 동작 개시 시간 산출부(60b)는 솔레노이드(12a)로의 제어 신호 공급 개시 시점부터, 제 1 센서(18)가 피스톤(50)을 검지할 수 없게 된 시점까지의 시간을 동작 개시 시간으로 산출하고, 산출한 동작 개시 시간을 기억부 (66)에 기억한다.
단계(S7) (제 3 단계)에 있어서, 이동 시간 산출부(60c)는 동작 개시 시간 및 상승 에지에 근거하여, 솔레노이드(12a)로의 제어 신호 공급 개시 시점부터, 제 2 센서(22)가 피스톤(50)을 검지한 시점까지의 시간을 이동 시간으로 산출하고, 산출한 이동 시간을 기억부(66)에 기억한다.
단계(S8)에 있어서, 동작 횟수 카운트부(60d)는 하강 에지 및 상승 에지에 근거하여, 피스톤(50)이 1회 동작한 것을 카운트하고, 카운트한 동작 횟수를 기억부(66)에 기억한다.
단계(S9)(제 4 단계)에 있어서, 이동 거리 산출부(60e)는 동작 횟수 카운트부(60d)가 카운트한 동작 횟수와 기억부(66)에 기억되고 있는 스트로크를 곱하여 피스톤(50)의 총 이동 거리를 산출하고, 산출한 총 이동 거리를 기억부(66)에 기억한다.
단계(S10)에 있어서, 통계 연산 처리부(60f)는 동작 개시 시간, 이동 시간, 동작 횟수 및 총 이동 거리에 대하여 평균치, 분산 및 표준편차 등의 통계치를 산출한다.
따라서, 단계 (S5 ~ S10)의 처리에 의해 기억부(66)에는 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과, 동작 개시 시간, 이동 시간, 동작 횟수, 총 이동 거리 및 통계치가 시각 정보와 연관되어 기억된다.
그리고, 도 4의 단계 (S11 ~ S17)(제 5 단계)에 있어서, 이상 검출부(60g)(도 2 참조)는, 상기의 각 산출 결과 및 기억부(66)에 미리 설정한 설정치에 근거하여, 액추에이터(14)(도 1 참조), 방향 전환 밸브(12) 및 제 1 배관(42) 또는 제 2 배관(46)의 이상의 유무를 검출한다.
즉, 단계(S11)에 있어서, 이상 검출부(60g)는 피스톤(50)의 이동 시간이 연장되는 경향에 있는지 아닌지 즉, 이동 시간이 시간 역치 이상인지 아닌지를 판정한다.
이동 시간이 시간 역치 이상인 경우(단계(S11): 예), 다음 단계(S12)에서 이상 검출부(60g)는 피스톤(50)의 총 이동 거리가 짧은지 즉, 동작 횟수가 횟수 상한치 미만인지, 또는 총 이동 거리가 거리 역치 미만인지를 판정한다.
동작 횟수가 횟수 상한치 미만 또는, 총 이동 거리가 거리 역치 미만인 경우(단계(S12): 예), 다음 단계(S13)에 있어서, 이상 검출부(60g)는 단계(S11), (S12)에서 모두 긍정적인 판정 결과를 얻을 수 있었으므로, 방향 전환 밸브(12)에 고장 등의 이상이 발생하고 있다고 판정한다.
또한, 동작 횟수가 횟수 상한치 이상이며 또는, 총 이동 거리가 거리 역치 이상인 경우(단계(S12): 아니오), 이상 검출부(60g)는 단계(S14)에 있어서, 액추에이터(14)에 고장 등의 이상이 발생하고 있다고 판정한다.
나아가, 단계(S11)에서 이동 시간이 시간 역치 미만일 경우(단계(S11): 아니오), 이상 검출부(60g)는 단계(S15)에서 피스톤(50)의 동장 개시 시간에 이상이 있는지 즉, 동작 개시 시간이 시간 상한치 이상인지 아닌지를 판정한다.
동작 개시 시간이 시간 상한치 이상인 경우(단계(S15): 예), 이상 검출부(60g)는 단계(S16)에 있어서, 제 1 배관(42) 또는 제 2 배관(46)에 고장 등의 이상이 발생하고 있다고 판정한다.
동작 개시 시간이 시간 상한치 미만인 경우(단계(S15): 아니오), 이상 검출부(60g)는 단계(S17)에 있어서, 액추에이터(14), 방향 전환 밸브(12) 및 제 1 배관 (42) 또는 제 2 배관(46)에 고장 등의 이상이 발생하지 않는 즉, 정상이라고 판정한다.
그 결과, 단계 (S18)에 있어서, 이상 검출부(60g)는 단계(S13), (S14), (S16), (S17)의 어느 하나의 이상 유무의 판정 결과를 기억부(66)에 기억한다.
단계(S19)에 있어서, 출력 처리부(62)는 기억부(66)에 기억된 시각 정보, 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과, 연산 처리부(60g)에서의 각 연산 처리 결과, 이상 검출부(60g)에서의 판정 결과에 대해 출력부(64)의 출력 형태에 따른 처리를 한다. 이로 인해, 출력부(64)는 출력 처리부(62)에서 처리된 각 결과를 외부에 보고할 수 있다. 예를 들어, 출력부(64)가 표시부라면 표시부 화면 상에 시각 정보, 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과, 연산 처리부(60)에서의 각 연산 처리 결과, 이상 검출부(60g)에서의 판정 결과 등이 표시된다. 또한, 통신부(30)는 상기 시각 정보 및 각 결과를 시리얼 통신에 의해 제어 장치(26)의 통신부(32)로 송신한다. 제어 장치(26)의 통신부(32)는 수신한 정보를 네트워크(34)를 통해 원격지의 PC(36)에 송신한다.
단계(S20)에 있어서, 연산 처리부(60)는 단계 (S4 ~ S19)의 처리를 반복적으로 실행할 것인지 아닌지 여부를 판정한다. 전술한 바와 같이, 제어 장치(26)는 2개의 솔레노이드(12a, 12b)에 대해 제어 신호를 교대로 공급한다. 그 때문에, 단계 (S20)에서 긍정적인 판정 결과가 나왔을 경우, 단계(S4)로 돌아와 단계(S4 ~ S19)의 처리를 반복 실행함으로써, 타단부(20)에서 일단부(16)로 피스톤(50)을 변위시킬 때의 이상 검출 처리를 실행할 수 있다. 이와 같이, 본 실시 형태에서는 단계 (S4 ~ S19)의 처리를 반복하여 실행함으로써, 피스톤(50)이 변위 방향을 따라 왕복 이동 중(액추에이터(14)의 구동중)이라도 액추에이터(14), 방향 전환 밸브(12) 및 제 1 배관(42) 또는 제 2 배관(46)의 이상 유무를 검출할 수가 있다.
또한, 단계 (S13, S14, S16)의 판정 결과에 따라 이상이 검출되어 해당 이상에 대처하기 위해 액추에이터(14)의 구동을 정지하는 경우(단계(S20): 아니오), 제어 장치(26)로부터의 제어 신호 공급을 정지한다. 또한, 정기적인 유지 보수 등으로 액추에이터(14)의 구동을 정지시키는 경우에도(단계(S20): 아니오) 제어 장치(26)로부터의 제어 신호 공급을 정지한다.
[3. 변형 예]
상기의 설명에서는, 이상 검출 장치(24) 내에 조작 입력부(28) 및 출력부(64)를 설치하는 경우를 설명했다. 본 실시 형태에서는, 이상 검출 장치 (24)의 외부에 조작 입력부(28) 및 출력부(64)를 외장 형태로 설치해도 된다.
또한, 상기 설명에서는 제어 장치(26)와 PC(36)가 네트워크(34)를 통해 접속되는 경우를 설명했다. 본 실시 형태에서는, 제어 장치(26)와 PC(36)가 서로 통신 접속이 가능하다면 어떤 접속 형태라도 된다.
나아가, 상기의 설명에서는 기억부(66)에 기억된 각종 정보를 통신부 (30)로부터 제어 장치(26) 및 PC(36)에 송신하는 경우를 설명했다. 본 실시 형태에서는 시각 정보와 연관 지어 각종 정보가 기억부(66)에 기억되므로, USB 등의 운반 가능한 기억부(66)(기억장치)에 각종 정보를 기억하고, 나중에 해당 기억장치를 이상 검출 장치(24)에서 분리한 후, 제어 장치(26) 또는 PC(36)에 접속함으로써, 제어 장치(26)이나 PC(36)가 각종 정보를 취하는 것도 가능하다.
[4. 본 실시 형태의 효과]
이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태와 관련된 이상 검출 시스템(10) 및 이상 검출 방법은 액추에이터(14)의 일단부(16)와 타단부(20) 사이를 변위하는 피스톤 (50)(가동부)의 이동 시간에 근거하여, 액추에이터(14)의 이상을 검출한다.
이상 검출 시스템(10)은, 일단부(16)에 변위된 피스톤(50)을 검지하는 제 1 센서(18)(제 1의 센서)와, 타단부(20)에 변위된 피스톤(50)을 검지하는 제 2 센서 (22)(제 2의 센서)와 피스톤(50)의 스트로크를 입력하는 조작 입력부(28)(외부 입력부)와, 제 1 센서(18)및 제 2 센서(22)의 각각의 검지 결과에 근거하여 이동 시간을 산출하는 이동 시간 산출부(60c)와, 피스톤(50)의 동작 횟수 및 스트로크에 근거하여 피스톤(50)의 총 이동 거리를 산출하는 이동 거리 산출부(60e)와, 이동 시간과 동작 횟수 또는 총 이동 거리에 근거하여, 적어도 액추에이터(14)의 이상을 검출하는 이상 검출부(60g)를 구비한다.
또한, 이상 검출 방법은 조작 입력부(28)에 의해 피스톤(50)의 스트로크를 입력하는 단계(S1)(제 1 단계)와, 제 1 센서(18)에 의해 일단부(16)로 변위된 피스톤(50)을 검지하고, 제 2 센서(22)에 의해 타단부(20)로 변위된 피스톤(50)을 검지하는 단계(S4)(제 2 단계)와, 이동 시간 산출부(60c)에 의해 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과에 근거하여 이동 시간을 산출하는 단계 (S7)(제 3 단계)와, 이동 거리 산출부(60e)에 의해 피스톤(50)의 동작 횟수 및 스트로크에 근거하여 피스톤(50)의 총 이동 거리를 산출하는 단계(S9)(제 4 단계)와, 이상 검출부(60g)에 의해서 이동 시간과 동작 횟수 또는 총 이동 거리에 근거하여, 적어도 액추에이터(14)의 이상을 검출하는 단계(S11 ~ S17) (제 5 단계)를 구비한다.
이와 같이, 외부에서 피스톤(50)의 스트로크를 미리 입력하고 입력된 스트로크와, 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과와, 피스톤(50)의 동작 횟수에 근거하여, 액추에이터(14)의 이상을 검출한다. 이로 인해, 장치 내에 격납된 통계 데이터를 이용해 액추에이터의 이상을 검출하는 상기 공보의 기술과 비교해서, 액추에이터(14)의 이상을 간단, 저비용, 정확 그리고 신속하게 검출하는 것이 가능해진다.
또한, 이상 검출 시스템(10)에서는, 적어도 액추에이터(14)의 이상을 간편하고 정확하게 검출할 수 있으므로, 설비의 유지 보수를 정기적(계획적)으로 하는 경우에, 유지 보수성을 향상시킬 수 있다.
나아가, 이상 검출 시스템(10)에서는 조작 입력부(28)를 통해 피스톤(50)의 스트로크를 입력하므로, 액추에이터(14)의 교환까지 안전율을 고려하여 스트로크를 설정하는 것도 가능해진다.
여기에서, 이상 검출 시스템(10)은 외부로부터의 제어 신호의 공급에 근거하여 압력 유체를 일단부(16) 또는 타단부(20)에 선택적으로 공급하는 방향 전환 밸브 (12)를 더 구비한다. 피스톤(50)은 일단부(16) 또는 타단부(20)로의 압력 유체의 선택적 공급에 의해 일단부(16)와 타단부(20) 사이를 변위한다. 조작 입력부(28)는 스트로크와 이동 시간의 시간 역치와, 동작 횟수의 횟수 상한치 또는 총 이동 거리의 거리 역치를 입력한다. 이동 거리 산출부(60e)는 동작 횟수와 스트로크를 곱하여 총 이동 거리를 산출한다.
그리고, 이상 검출부(60g)는 이동 시간이 시간 역치 이상이며, 동작 횟수가 횟수 상한치 미만 또는, 총 이동 거리가 거리 역치 미만일 경우, 방향 전환 밸브(12)의 이상을 검출한다. 또한, 이상 검출부(60g)는 이동 시간이 시간 역치 이상이며, 동작 횟수가 횟수 상한치 이상 또는, 총 이동 거리가 거리 역치 이상일 경우, 액추에이터(14)의 이상을 검출한다.
이와 같이, 이동 시간과 총 이동 거리와의 2개의 파라미터로부터 고장 등의 이상 요인을 쉽고 정확하게 한정시킬 수 있으므로, 이상(abnormality)을 보다 효율적으로 검출할 수 있다.
또한, 이상 검출 시스템(10)은 방향 전환 밸브(12)에서 일단부(16)에 압력 유체를 공급하는 제 1 배관(42)(제 1의 배관)과, 방향 전환 밸브(12)에서 타단부 (20)에 압력 유체를 공급하는 제 2 배관(46)(제 2의 배관)과, 피스톤(50)의 1회 동작마다 방향 전환 밸브(12)로의 제어 신호 공급 개시 시점부터, 제 1 센서 (18) 및 제 2 센서(22) 중, 한쪽 센서가 피스톤(50)을 검지할 수 없게 된 시점까지의 시간을 피스톤(50)의 동작 개시 시간으로 검출하는 동작 개시 시간 산출부 (60b)(동작 개시 시간 검출부)를 더 구비한다.
이 경우, 조작 입력부(28)는 동작 개시 시작 시간의 시간 상한치를 입력하고, 이상 검출부(60g)는 동작 개시 시작 시간이 시간 상한치 이상인 경우, 제 1 배관(42) 또는 제 2 배관(46)의 이상을 검출한다.
이로 인해, 제 1 배관(42) 또는 제 2 배관(46)의 이상을 간단하고 효율적으로 검출할 수 있다. 또한, 이상의 요인이 액추에이터(14), 방향 전환 밸브 (12), 제 1 배관(42) 또는 제 2 배관(46) 중 어느 것인가를 특정할 수 있으므로, 이상의 요인이 된 디바이스에 대해서 확실하고 신속한 대응을 취하는 것이 가능해진다.
또한, 이상 검출 시스템(10)은 조작 입력부(28), 이동 시간 산출부(60c), 이동 거리 산출부(60e) 및 이상 검출부(60g)와 제 1 센서(18) 및 제 2 센서(22)의 각 검지 결과가 입력될 때, 적어도 각 검지 결과에 현재 시각의 시각 정보를 부여하는 타임스탬프 처리부(60a)를 갖는 이상 검출 장치(24)를 더 구비한다.
이와 같이, 타임스탬프의 개념을 이용하는 것으로 액추에이터(14)로부터 떨어진 원격지에서도 이상의 유무를 관리하는 것이 가능해진다.
이 경우, 이상 검출 장치(24)는 제어 장치(26)(다른 장치)와의 사이에 통신을 하는 통신부(30)를 더 갖는다. 통신부(30)는 시각 정보가 부여된 각 검지 결과 및 이상 검출부(60g)의 검출 결과를 제어 장치(26)에 송신한다.
이로 인해, 액추에이터(14)로부터 떨어진 장소에 있는 제어 장치(26)로 이상 유무를 쉽게 관리할 수 있다. 또한, 제어 장치(26)로부터 이상 검출 장치(24)로 이상의 발생에 대한 확실한 대응을 지시하는 것도 가능해진다.
여기서, 통신부(30)와의 사이에 시리얼 통신을 하는 제어 장치(26)와 제어 장치(26)와의 사이에서 네트워크(34)를 통해 접속된 PC(36)(외부 장치)는 이상 검출장치(24)에 대하여 다른 장치이다. 이 경우, 제어 장치(26)는 시리얼 통신에 의해 통신부(30)를 통해 방향 전환 밸브(12)에 제어 신호를 공급하고, 한편으로, 통신부(30)에서 시각 정보, 각 검지 결과 및 검출 결과를 수신하여, 네트워크(34)를 통해 PC(36)에 시각 정보, 각 검지 결과 및 검출 결과를 송신한다.
이 경우에도, 원격지의 PC(36)에서 이상 유무를 쉽게 관리할 수 있다. 또한, PC(36)가 복수의 액추에이터(14) 및 이상 검출 장치(24)를 집중 관리하고 있는 경우, 해당 PC(36)에서 이상을 검출한 이상 검출 장치(24)에 대해서 이상 발생에 대한 확실한 대응을 개별적으로 지시하는 것도 가능해진다.
또한, 이상 검출 장치(24)는 적어도 이상 검출부(60g)의 검출 결과를 외부에 출력하는 출력부(64)를 더 갖는다. 이로 인해, 설비 담당자 등에게 이상 유무를 보고할 수 있다.
이 경우, 출력부(64)가 검출 결과를 표시하는 표시부라면, 이상의 유무가 표시부의 화면상에 표시되므로, 담당자 등에 대한 보고를 더욱 쉽게할 수 있다.
또한, 본 발명은 상술의 실시 형태에 한정하지 않고, 이 명세서의 기재 내용에 근거하여, 다양한 구성을 취할 수 있는 것은 물론이다.

Claims (9)

  1. 액추에이터(14)의 일단부(16)와 타단부(20) 사이를 변위하는 가동부(50)의 이동 시간에 근거하여, 상기 액추에이터의 이상을 검출하는 이상 검출 시스템(abnormality detection system)(10)에 있어서,
    상기 일단부로 변위된 상기 가동부를 검지하는 제 1 센서(18)와,
    상기 타단부로 변위된 상기 가동부를 검지하는 제 2 센서(22)와,
    상기 가동부의 스트로크를 입력하는 외부 입력부(28)와,
    상기 제 1 센서 및 상기 제 2 센서의 각 검지 결과에 근거하여 상기 이동 시간을 산출하는 이동 시간 산출부(60c)와,
    상기 가동부의 동작 횟수 및 상기 스트로크에 근거하여 상기 가동부의 총 이동 거리를 산출하는 이동 거리 산출부(60e)와,
    상기 이동 시간과 상기 동작 횟수 또는 상기 총 이동 거리에 근거하여, 적어도 상기 액추에이터의 이상을 검출하는 이상 검출부(60g)와
    외부로부터의 제어 신호 공급에 근거하여, 압력 유체를 상기 일단부 또는 상기 타단부에 선택적으로 공급하는 방향 전환 밸브(12)를 구비하고,
    상기 가동부는, 상기 일단부 또는 상기 타단부로의 상기 압력 유체의 선택적인 공급에 의해 상기 일단부와 상기 타단부 사이를 변위하는 피스톤이며,
    상기 외부 입력부는, 상기 스트로크와, 상기 이동 시간의 시간 역치와, 상기 동작 횟수의 횟수 상한치 또는 상기 총 이동 거리의 거리 역치를 입력하고,
    상기 이동 거리 산출부는, 상기 동작 횟수와 상기 스트로크를 곱하여 상기 총 이동 거리를 산출하고,
    상기 이상 검출부는,
    상기 이동 시간이 상기 시간 역치 이상이며, 또한 상기 동작 횟수가 상기 횟수 상한치 미만 또는, 상기 총 이동 거리가 상기 거리 역치 미만일 경우, 상기 방향 전환 밸브의 이상을 검출하고,
    상기 이동 시간이 상기 시간 역치 이상이며, 또한 상기 동작 횟수가 상기 횟수 상한치 이상 또는, 상기 총 이동 거리가 상기 거리 역치 이상일 경우, 상기 액추에이터의 이상을 검출하는, 이상 검출 시스템.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 방향 전환 밸브로부터 상기 일단부로 상기 압력 유체를 공급하는 제 1 배관(42)과,
    상기 방향 전환 밸브로부터 상기 타단부로 상기 압력 유체를 공급하는 제 2 배관(46)과,
    상기 가동부의 1회 동작마다, 상기 방향 전환 밸브로의 상기 제어 신호 공급 개시 시점부터 상기 제 1 센서 및 상기 제 2 센서 중, 한쪽 센서가 상기 가동부를 검지할 수 없게 된 시점까지의 시간을 상기 가동부의 동작 개시 시작 시간으로 검출하는 동작 개시 시간 검출부(60b)를 더 구비하여,
    상기 외부 입력부는, 상기 동작 개시 시간의 시간 상한치를 입력하고,
    상기 이상 검출부는, 상기 동작 개시 시간이 상기 시간 상한치 이상인 경우, 상기 제 1 배관 또는 상기 제 2 배관의 이상을 검출하는, 이상 검출 시스템.
  3. 청구항 1 또는 2에 있어서,
    상기 외부 입력부, 상기 이동 시간 산출부, 상기 이동 거리 산출부 및 상기 이상 검출부와, 상기 제 1 센서 및 상기 제 2 센서의 각 검지 결과가 입력될 때, 적어도 상기 각 검지 결과에 현재 시각의 시각 정보를 부여하는 타임스탬프 처리부(60a)를 갖는 이상 검출 장치(24)를 더 구비하는, 이상 검출 시스템.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 이상 검출 장치는 다른 장치(26,36)와의 사이에서 통신을 수행하는 통신부(30)를 더 가지고 있으며,
    상기 통신부는, 상기 시각 정보가 부여된 상기 각 검지 결과 및 상기 이상 검출부의 검출 결과를 상기 다른 장치로 송신하는, 이상 검출 시스템.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 다른 장치는 상기 통신부와의 사이에서 시리얼 통신을 하는 제어 장치와, 상기 제어 장치와의 사이에서 네트워크(34)를 통해 접속된 외부 장치이며,
    상기 제어 장치는 상기 시리얼 통신에 의해, 상기 통신부를 통해 상기 방향 전환 밸브에 상기 제어 신호를 공급하고 한편으로, 상기 통신부로부터 상기 시각 정보, 상기 각 검지 결과 및 상기 검출 결과를 수신하고, 나아가, 상기 네트워크를 통해 상기 외부 장치로 상기 시각 정보, 상기 각 검지 결과 및 상기 검출 결과를 송신하는, 이상 검출 시스템.
  6. 청구항 3에 있어서,
    상기 이상 검출 장치는, 적어도 상기 이상 검출부의 검출 결과를 외부에 출력하는 출력부(64)를 더 갖는, 이상 검출 시스템.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 출력부는, 상기 검출 결과를 표시하는 표시부인, 이상 검출 시스템.
  8. 액추에이터의 일단부와 타단부 사이를 변위하는 가동부의 이동 시간에 근거하여, 상기 액추에이터의 이상을 검출하는 이상 검출 방법에 있어서,
    외부 입력부에 의해, 상기 가동부의 스트로크를 입력하는 제 1 단계와,
    제 1 센서에 의해, 상기 일단부로 변위된 상기 가동부를 검지하고, 제 2 센서에 의해, 상기 타단부로 변위된 상기 가동부를 검지하는 제 2 단계와,
    이동 시간 산출부에 의해, 상기 제 1 센서 및 상기 제 2 센서의 각 검지 결과에 근거하여, 상기 이동 시간을 산출하는 제 3 단계와,
    이동 거리 산출부에 의해, 상기 가동부의 동작 횟수 및 상기 스트로크에 근거하여 상기 가동부의 총 이동 거리를 산출하는 제 4 단계와,
    이상 검출부에 의해, 상기 이동 시간과 상기 동작 횟수 또는 상기 총 이동 거리에 근거하여, 적어도 상기 액추에이터의 이상을 검출하는 제 5 단계를 구비하고,
    방향 전환 밸브가 외부로부터의 제어 신호 공급에 근거하여, 압력 유체를 상기 일단부 또는 상기 타단부에 선택적으로 공급하고,
    상기 가동부는, 상기 일단부 또는 상기 타단부로의 상기 압력 유체의 선택적인 공급에 의해 상기 일단부와 상기 타단부 사이를 변위하는 피스톤이며,
    상기 외부 입력부는, 상기 스트로크와, 상기 이동 시간의 시간 역치와, 상기 동작 횟수의 횟수 상한치 또는 상기 총 이동 거리의 거리 역치를 입력하고,
    상기 이동 거리 산출부는, 상기 동작 횟수와 상기 스트로크를 곱하여 상기 총 이동 거리를 산출하고,
    상기 이상 검출부는,
    상기 이동 시간이 상기 시간 역치 이상이며, 또한 상기 동작 횟수가 상기 횟수 상한치 미만 또는, 상기 총 이동 거리가 상기 거리 역치 미만일 경우, 상기 방향 전환 밸브의 이상을 검출하고,
    상기 이동 시간이 상기 시간 역치 이상이며, 또한 상기 동작 횟수가 상기 횟수 상한치 이상 또는, 상기 총 이동 거리가 상기 거리 역치 이상일 경우, 상기 액추에이터의 이상을 검출하는, 이상 검출 방법.
  9. 삭제
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