KR102385551B1 - 화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법 - Google Patents

화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법 Download PDF

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Abstract

화학기상증착법을 적용하여 페로브스카이트 태양전지의 광흡수층을 제조하는 방법이 개시된다. 화학기상증착법을 이용하여 페로브스카이트 태양전지 광흡수층을 제조하는 방법은, 화학기상증착법으로 기판 상에 PbIx 박막을 형성하는 단계, PbIx(1≤x≤2) 박막 위에 메틸아민(methylamine)과 요오드(I) 전구체를 공급하는 단계, 및 열처리를 통해 페로브스카이트 구조를 갖는 CH3NH3PbIx 박막을 형성하는 단계를 포함한다.

Description

화학기상증착법에 의한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법{FABRICATION METHOD OF PEROVSKITE SOLAR CELL ABSORBING LAYER BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION}
본 발명은 태양전지에 관한 것으로, 보다 상세하게는 화학기상증착법을 적용하여 페로브스카이트 태양전지의 광흡수층을 제조하는 방법에 관한 것이다.
태양전지는 태양광에너지를 전기에너지로 전환해 주는 소자로, 현재 상업화된 태양전지의 대부분은 결정질실리콘 기판을 이용하는 실리콘 태양전지이며 전체 시장의 80% 이상을 점유하고 있다.
그러나 실리콘 태양전지는 기판의 가격이 제품가격에서 차지하는 비율이 너무 높고, 복잡한 공정을 거쳐야 하기 때문에 제조단가를 낮추는데 한계가 있다.
이러한 문제를 극복하기 위해 CdTe, CIGS, DSSC 등의 여러 종류의 박막 태양전지가 개발되어 왔다. 최근에는 또 다른 박막 태양전지의 하나로서 페로브스카이트 태양전지가 활발히 개발되고 있다.
페로브스카이트 태양전지에 대한 연구에 대하여는 많은 연구그룹의 개발에 힘입어 실험실 수준에서는 20% 이상의 에너지 전환효율을 달성했다고 알려져 있다.
페로브스카이트 태양전지의 광흡수층을 제조하는 방법으로는 스핀 코팅(spin coating) 같은 용액 방법이 가장 많이 이용되고 있다. 용액법에 의한 페로브스카이트 태양전지 제조방법은 비진공 방법이라 제조비용이 저렴하고, 쉽게 구현할 수 있는 장점이 있으나, 증착되는 박막의 균일도가 나빠 대면적의 태양전지를 구현하기 어려운 단점이 있다.
또한 기존의 용액 방법은 증착되는 페로브스카이트 박막 내에 핀홀(pin hole) 등이 다수 존재하여 태양전지의 품질을 떨어뜨리는 단점이 있다.
등록특허공보 제10-1543438호(2015.08.11.)
이에 본 발명에서는 화학기상증착법(chemical vapor deposition, CVD)을 이용하여 페로브스카이트 광흡수층을 제작하는 방법을 제공하는데 그 주된 목적이 있다.
본 발명의 다른 목적은, 박막의 균일도를 개선할 수 있고, 그에 따라 대면적 제조가 가능하고 박막의 품질을 향상시켜 태양전지 효율을 높일 수 있는 태양전지의 제조방법을 제공하는 데 있다.
상기 기술적 과제를 해결하기 위한 본 발명의 일 측면에 따른 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법은, 화학기상증착법을 이용하여 페로브스카이트 태양전지 광흡수층을 제조하는 방법으로서, 화학기상증착법으로 기판 상에 PbIx 박막을 형성하는 단계; 상기 PbIx(1≤x≤2) 박막 위에 CH3NH2(methylamine) 가스와 요오드 전구체를 공급하는 단계; 및 상기 공급하는 단계 후에 열처리를 통해 페로브스카이트 구조를 갖는 CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계를 포함한다.
일실시예에서, 상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 납(Pb) 전구체로 테트라에틸납(tetraethyl-lead), 테트라메틸납(tetramethyl-lead), 아세틸아세토네이트납[acetylacetonate-lead(II)] 및 비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5,-헵탄디오네이트납 [BIS(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-herptanedionato)LEAD(II)]을 사용할 수 있다.
일실시예에서, 상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 요오드(iodine; I) 전구체로 I2, 6-아이오도-1-헥신(6-iodo-1-hexyne), 3차-부틸 아이오다이드(Tertiary-Butyl iodide), 이소프로필 아이오다이드(Iso-propyl iodide), 및 에틸 아이오다이드(Ethyl iodide)를 사용할 수 있다.
일실시예에서, 상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 Pb 전구체와 상기 I 전구체를 반응챔버 내에 동시 또는 순차적으로 공급할 수 있다.
일실시예에서, 상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 Pb 전구체 또는 상기 I 전구체의 캐니스터 온도 분위기를 -20 ~ 100℃로 유지할 수 있다.
일실시예에서, 상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 Pb 전구체 또는 상기 I 전구체를 공급하는 전구체 공급라인의 온도 분위기를 상온 ~ 200℃로 유지할 수 있다.
일실시예에서, 상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 Pb 전구체 또는 상기 I 전구체가 증착되는 기판의 온도 분위기를 50 ~ 300℃로 유지할 수 있다.
일실시예에서, 상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 Pb 전구체 또는 상기 I 전구체를 상기 반응챔버 내로 공급시 아르곤(Ar), 헬륨(He) 또는 질소(N2) 중 어느 하나 또는 이들의 혼합물을 운반가스로 사용할 수 있다.
일실시예에서, 상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 반응챔버 내의 압력 분위기를 1 mTorr ~ 100 Torr로 유지할 수 있다.
일실시예에서, 상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 박막의 증착 속도와 품질을 높이기 위해 플라즈마를 이용할 수 있다.
일실시예에서, 상기 CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계는, MA(methylanine, CH3NH2)와 요오드 전구체 공급라인의 온도 분위기를 상온 ~ 200 ℃로 유지할 수 있다.
일실시예에서, 상기 CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계는, MA(methylanine, CH3NH2)와 요오드 전구체가 공급되는 기판의 온도 분위기를 상온 ~ 250 ℃로 유지할 수 있다.
일실시예에서, 상기 CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계는, 상기 공급하는 단계를 통해 증착된 CH3NH3PbI3 박막을 100 ~ 300 ℃ 온도로 열처리할 수 있다.
일실시예에서, 상기 CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계는, 진공, 아르곤(Ar), 질소(N2), 수소(H2), 헬륨(He) 중 하나 이상의 가스 분위기에서 열처리할 수 있다.
전술한 화학기상증착(CVD)을 이용한 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법을 사용하는 경우에는, 대면적 구현이 용이하며, CVD 전구체로 무기원료를 사용하므로 태양전지가 제조된 후 시간에 따라 효율이 떨어지는 문제를 최소화할 수 있는 장점이 있다. 또한, 이미 검증된 반도체나 액정표시장치(LCD) 등을 제조하는데 사용되는 CVD 장비를 실질적으로 그대로 이용하여 태양전지의 페로브스카이트 광흡수층을 제조할 수 있는 장점도 있다.
또한, 본 발명에 의하면, 기존의 비진공 용액방법으로 제조되는 페로브스카이트 광흡수층을 진공 방식인 CVD 방법으로 구현함으로써, 대면적 페로브스카이트 박막 태양전지의 제조가 가능하며, 기존의 용액방법보다 우수한 박막 제조로 더 높은 효율의 태양전지 제조가 가능한 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 도 1의 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법에 채용할 수 있는 화학기상증착 반응챔버에 대한 예시도이다.
도 3a는 TiO2 박막 위에 CVD 방법으로 증착시킨 PbIx 박막의 표면을 나타낸 것이다.
도 3b는 TiO2 박막 위에 CVD 방법으로 증착시킨 PbIx 박막의 단면을 나타낸 것이다.
도 4a는 CVD 방법으로 증착시킨 PbIx 박막 위에 MA(methylamine)와 요오드 전구체를 공급하여 CH3NH3PbI3 박막을 만든 후, 금속전극을 증착시킨 표면을 나타낸 것이다.
도 4b는 CVD 방법으로 증착시킨 PbIx 박막 위에 MA와 요오드 전구체를 공급하여 CH3NH3PbI3 박막을 만든 후, 금속전극을 증착시킨 단면을 나타낸 것이다.
도 5는 제작된 CH3NH3PbI3 박막을 AES(Auger Electron Spectroscopy)를 이용하여 깊이 분석한 것이다.
도 6은 본 발명의 CVD 방법으로 제작된 CH3NH3PbI3 박막의 에너지 전환 효율을 측정한 것이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다.
제1, 제2, A, B 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. 및/또는 이라는 용어는 복수의 관련된 기재된 항목들의 조합 또는 복수의 관련된 기재된 항목들 중의 어느 항목을 포함한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, "포함한다", "가진다" 등과 관련된 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
본 명세서에서 다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 포함한다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 의미와 일치하는 의미로 해석되어야 하며, 본 명세서에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법을 설명하기 위한 도면이다.
도 1을 참조하면, 본 실시예에 따른 페로브스카이트 태양전지 흡수층의 제조방법은, 화학기상증착법을 이용하여 페로브스카이트 태양전지 광흡수층을 제조하는 방법으로서, 화학기상증착법으로 기판(11) 상에 PbIx(1≤x≤2) 박막(14)을 형성하고, PbIx 박막(14) 위에 CH3NH2(methylamine)와 요오드 전구체(15)를 공급하고, 열처리를 통해 페로브스카이트 구조를 갖는 CH3NH3PbI3 박막(16)을 형성하도록 이루어진다.
구체적으로, PbIx 박막을 형성하는 단계에서는, 납(Pb) 전구체로 테트라에틸납(tetraethyl-lead), 테트라메틸납(tetramethyl-lead), 아세틸아세토네이트납[acetylacetonate-lead(II)] 및 비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5,-헵탄디오네이트납 [BIS(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-herptanedionato)LEAD(II)] 중에서 선택되는 어느 하나 이상을 사용할 수 있다. 그리고 요오드(iodine; I) 전구체로 아이오딘(I2), 6-아이오도-1-헥신(6-iodo-1-hexyne), 3차-부틸 아이오다이드(Tertiary-Butyl iodide), 이소프로필 아이오다이드(Iso-propyl iodide) 및 에틸 아이오다이드(Ethyl iodide) 중에서 선택되는 어느 하나 이상을 사용할 수 있다.
또한, PbIx 박막을 형성하는 단계에서는, Pb 전구체와 I 전구체를 반응챔버(도 2 100 참조) 내에 동시에 혹은 순차적으로 공급할 수 있다.
또한, PbIx 박막을 형성하는 단계에서, Pb 전구체 또는 I 전구체의 캐니스터 온도 분위기를 -20 ~ 100℃로 유지할 수 있으며, 이러한 캐니스터의 온도는 전구체를 반응챔버 내로 원활히 공급하기 위한 것으로 적절한 증기압이 나오는 온도 설정 범위이며, 이 범위를 벗어나면 벗어난 정도가 큰 만큼 증기압 형성 효율이 떨어질 수 있다.
또한, PbIx 박막을 형성하는 단계에서, Pb 전구체 또는 I 전구체를 공급하는 전구체 공급라인의 온도 분위기를 상온 ~ 200℃로 유지할 수 있다.
또한, PbIx 박막을 형성하는 단계에서, Pb 전구체 또는 I 전구체가 증착되는 기판의 온도 분위기를 50 ~ 300℃로 유지할 수 있다.
또한, PbIx 박막을 형성하는 단계에서, Pb 전구체 또는 I 전구체를 반응챔버 내로 공급 시, 아르곤(Ar), 헬륨(He) 및 질소(N2) 중 어느 하나 또는 이들의 혼합물을 운반가스로 사용할 수 있다.
또한, PbIx 박막을 형성하는 단계에서는, 반응챔버 내의 압력 분위기를 1 mTorr ~ 100 Torr로 유지할 수 있다.
또한, PbIx 박막을 형성하는 단계에서는, 박막의 증착 속도와 품질을 높이기 위해 플라즈마를 이용할 수 있다.
다음으로, 상기의 공급하는 단계에서는, MA(CH3NH2)와 요오드 전구체 공급라인의 온도 분위기를 상온 ~ 200 ℃로 유지할 수 있다.
또한, 상기의 공급하는 단계에서는, MA(CH3NH2)와 요오드 전구체가 공급되는 기판의 온도 분위기를 상온 ~ 250 ℃로 유지할 수 있다.
다음으로, CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계에서는, 상기의 공급하는 단계를 통해 증착된 CH3NH3PbI3 박막을 100 ~ 300 ℃ 온도 분위기에서 열처리할 수 있다.
또한, CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계는, 진공, 아르곤(Ar), 질소(N2), 수소(H2), 헬륨(He) 중 하나 이상의 가스 분위기에서 열처리를 수행할 수 있다.
한편, 기판(11)과 PbIx 박막(14) 사이에는 불소도프한 산화 주석(FTO) 박막(12)과 이산화티탄(TiO2) 박막(13)이 순차적으로 증착되어 있을 수 있다. 기판(11)은 유리, 플라스틱 등을 사용할 수 있다.
도 2는 도 1의 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법에 채용할 수 있는 화학기상증착 반응챔버에 대한 예시도이다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 화학기상증착 반응챔버(100)는 내부의 진공 분위기(110) 하에서 태양전지 광흡수층의 제조를 위해 지지대(30) 위에 놓인 기판상에 화학기상증착 방법으로 PbIx 박막을 형성하고 PbIx 박막 위에 메틸아민(methylamine)과 요오드 전구체를 공급하여 증착하고, 특정 온도, 압력 또는 가스 분위기에서의 열처리를 통해 CH3NH3PbI3 박막을 형성하도록 작동할 수 있다.
전술한 실시예에 의하면, 기판(11) 상에 FTO 박막(12) 및 TiO2 박막(13)을 순차적으로 증착한 후, 화학기상증착(CVD) 방법으로 반응챔버(100) 내에 Pb 전구체와 I 전구체를 동시에 혹은 순차적으로 공급하여 TiO2 박막(13) 상에 PbIx 박막(14)을 형성하고, PbIx 박막(14) 상에 메틸아민(methylamine)과 요오드 전구체(15)를 공급한 후 열처리를 통해 페로브스카이트 구조를 갖는 CH3HN3PbI3 박막(16)을 형성할 수 있다.
또한, 전술한 제조공정을 통해 형성된 광흡수층을 구비하여 기존 대비 대면적, 고효율의 박막 태양전지를 제공할 수 있다.
도 3a는 본 실시예의 TiO2 박막 위에 CVD 방법으로 증착시킨 PbIx 박막의 표면을 나타낸다.
도 3a에 나타낸 바와 같이 본 실시예에 의하면 매우 치밀한 PbIx 박막 표면을 얻을 수 있음을 알 수 있다.
도 3b는 본 실시예의 TiO2 박막 위에 CVD 방법으로 증착시킨 PbIx 박막의 단면을 나타낸다.
도 3b에 나타낸 바와 같이 본 실시예에 의하면 CVD 방법으로 제작된 PbIx 박막의 결정구조가 기존 대비 비교적 균일함을 알 수 있다.
도 4a는 본 실시예의 CVD 방법으로 증착시킨 PbIx 박막 위에 MA(methylamine) 가스와 요오드 전구체를 공급하여 CH3NH3PbI3 박막을 형성한 후, 금속전극을 증착시킨 표면을 나타낸다.
도 4a에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의하면 하부 박막인 CH3NH3PbI3 박막이 매우 균일하여 상부 박막인 금속전극 역시 균일한 표면상태를 나타내고 있을 것을 알 수 있다. 금속박막으로는 금(gold, Au)을 사용하였다.
도 4b는 본 실시예의 CVD 방법으로 증착시킨 PbIx 박막 위에 MA와 요오드 전구체를 공급하여 CH3NH3PbI3 박막을 형성한 후, 금속전극을 증착시킨 단면을 나타낸다.
도 4b에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에 의하면 PbIx 박막 위에 MA와 요오드 전구체를 공급하여 제작된 CH3NH3PbI3 박막 역시 밀도가 높고 균일한 박막 상태를 나타내고 있는 것을 알 수 있다.
도 5는 본 실시예의 방법에 따라 제작된 CH3NH3PbI3 박막을 AES(Auger Electron Spectroscopy)를 이용하여 깊이 분석한 것을 나타낸 도면이다.
도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시예에서는 TiO2 박막 위에 Pb와 I가 거의 같은 위치에서 피크(peak)가 나타나 CVD 방법에 의해 CH3NH3PbI3 박막이 정상적으로 제작되었음을 알 수 있다.
도 6은 본 발명의 CVD 방법으로 제작된 CH3NH3PbI3 박막의 에너지 전환 효율을 측정한 것을 나타낸 도면이다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 CVD 방법으로 제작된 페로브스카이트 박막 태양전지에서 15.2%의 에너지 전환 효율을 얻을 수 있었다. 본 실시예에 사용된 시편의 크기는 2㎜ x 4㎜이었다.
위에서 살핀 바와 같이, 전술한 본 발명의 실시예에 의하면, 대면적 구현이 용이하고, 제조 후 시간 경과에 따라 효율이 떨어지는 문제를 최소화할 수 있고, 기존 반도체, 액정표시장치(LCD) 등을 제조하는데 사용되는 CVD 장비를 실질적으로 그대로 이용가능하고, 기존 대비 더 높은 효율의 페로브스카이트 태양전지 제조방법을 제공할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.

Claims (18)

  1. 화학기상증착법을 이용하여 페로브스카이트 태양전지 광흡수층을 제조하는 방법으로서,
    화학기상증착법으로 기판 상에 PbIx(1≤x≤2) 박막을 형성하는 단계;
    상기 PbIx 박막 위에 CH3NH2(methylamine) 가스와 요오드 전구체를 공급하는 단계; 및
    상기 공급하는 단계 후에 열처리를 통해 페로브스카이트 구조를 갖는 CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계;를 포함하고,
    상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, Pb 전구체로 테트라에틸납(tetraethyl-lead), 테트라메틸납(tetramethyl-lead), 아세틸아세토네이트납[acetylacetonate-lead(II)] 및 비스(2,2,6,6-테트라메틸-3,5,-헵탄디오네이트납 [BIS(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-herptanedionato)LEAD(II)]로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나 이상을 사용하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, I 전구체로 아이오딘(I2), 6-아이오도-1-헥신(6-iodo-1-hexyne), 3차-부틸 아이오다이드(Tertiary-Butyl iodide), 이소프로필 아이오다이드(Iso-propyl iodide), 및 에틸 아이오다이드(Ethyl iodide)로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나 이상을 사용하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 Pb 전구체와 상기 I 전구체를 반응챔버 내에 동시에 공급하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 Pb 전구체와 상기 I 전구체를 반응챔버 내에 순차적으로 공급하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 Pb 전구체 또는 상기 I 전구체의 캐니스터 온도 분위기를 -20 ~ 100℃로 유지하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  7. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 Pb 전구체 또는 상기 I 전구체를 공급하는 전구체 공급라인의 온도 분위기를 상온 ~ 200℃로 유지하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  8. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 Pb 전구체 또는 상기 I 전구체가 증착되는 기판의 온도 분위기를 50 ~ 300℃로 유지하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  9. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 Pb 전구체 또는 상기 I 전구체를 상기 반응챔버 내로 공급시 아르곤(Ar), 헬륨(He) 또는 질소(N2) 중 어느 하나 또는 이들의 혼합물을 운반가스로 사용하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  10. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 상기 반응챔버 내의 압력 분위기를 1 mTorr ~ 100 Torr로 유지하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  11. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 PbIx 박막을 형성하는 단계는, 박막의 증착 속도와 품질을 높이기 위해 플라즈마를 이용하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계는, 상기 PbIx 박막 위에 MA(CH3NH2)와 요오드(I) 전구체를 반응챔버 내에 동시에 공급하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계는, 상기 PbIx 박막 위에 MA(CH3NH2)와 요오드(I) 전구체를 반응챔버 내에 순차적으로 공급하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  14. 제12항 또는 제13항에 있어서,
    상기 CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계는, I 전구체로 아이오딘(I2), 6-아이오도-1-헥신(6-iodo-1-hexyne), 3차-부틸 아이오다이드(Tertiary-Butyl iodide), 이소프로필 아이오다이드(Iso-propyl iodide), 및 에틸 아이오다이드(Ethyl iodide)로 이루어진 그룹에서 선택되는 어느 하나 이상을 사용하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 공급하는 단계는, MA(methylanine, CH3NH2)와 요오드 전구체 공급라인의 온도 분위기를 상온 ~ 200 ℃로 유지하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 공급하는 단계는, MA(methylanine, CH3NH2)와 요오드 전구체가 공급되는 기판의 온도 분위기를 상온 ~ 250 ℃로 유지하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  17. 제1항에 있어서,
    상기 CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계는, 상기 공급하는 단계를 통해 증착된 CH3NH3PbI3 박막을 100 ~ 300 ℃ 온도로 열처리하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 CH3NH3PbI3 박막을 형성하는 단계는, 진공, 아르곤(Ar), 질소(N2), 수소(H2), 헬륨(He) 중 하나 이상의 가스 분위기에서 열처리하는 페로브스카이트 태양전지 광흡수층의 제조방법.
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