KR102378983B1 - Apparatus and Method for supplying chemical - Google Patents

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Abstract

약액 공급 장치는 약액을 수용하는 약액 수용부와, 상기 약액 수용부로부터 공급되는 상기 약액을 제조 장치로 공급하기에 앞서 임시로 저장하는 임시 저장부와, 상기 약액 수용부로부터 상기 임시 저장부로 상기 약액이 공급되도록 상기 약액 수용부의 상기 약액을 불활성 기체로 가압하는 가압부와, 상기 가압부와 상기 약액 수용부 사이를 연결하는 가압 라인을 포함한다. 그리고 상기 약액 수용부와 상기 임시 저장부 사이에 배치됨과 아울러 상기 약액 수용부의 하방에서 상방으로 상기 약액이 공급되도록 상기 약액 수용부의 상방에 배치되게 구비되는 버퍼부; 상기 약액 수용부와 상기 버퍼부 사이를 상기 약액 수용부의 하방에서 상방으로 연결하도록 구비되는 제1 연결 라인; 상기 버퍼부와 상기 임시 저장부 사이를 연결시킴과 아울러 상기 버퍼부에 연결되는 부분은 상기 버퍼부의 저면 근처에 배치하도록 구비되는 제2 연결 라인; 상기 버퍼부에 잔류하는 에어를 상기 버퍼부의 외부로 배기하도록 구비되는 배기부; 및 상기 버퍼부와 상기 배기부 사이를 연결하도록 구비되는 배기 라인;을 포함할 수 있다.The chemical solution supply device includes a chemical solution receiving unit for accommodating a chemical solution, a temporary storage unit for temporarily storing the chemical solution supplied from the chemical solution receiving unit prior to supplying to the manufacturing apparatus, and the chemical solution from the chemical solution receiving unit to the temporary storage unit It includes a pressurizing unit for pressurizing the chemical solution of the chemical solution receiving unit with an inert gas to be supplied, and a pressure line connecting the pressurizing unit and the chemical solution receiving unit. and a buffer part disposed between the chemical solution accommodating part and the temporary storage part and disposed above the chemical solution accommodating part so that the chemical solution is supplied upwardly from the lower side of the chemical solution accommodating part; a first connection line provided to connect the chemical solution accommodating part and the buffer part from the lower side to the upper side of the chemical solution accommodating part; a second connection line connecting the buffer unit and the temporary storage unit, and a portion connected to the buffer unit is disposed near a bottom surface of the buffer unit; an exhaust unit provided to exhaust the air remaining in the buffer unit to the outside of the buffer unit; and an exhaust line provided to connect between the buffer unit and the exhaust unit.

Description

약액 공급 장치 및 약액 공급 방법{Apparatus and Method for supplying chemical}Chemical liquid supply device and chemical liquid supply method {Apparatus and Method for supplying chemical}

본 발명은 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법에 관한 것으로써, 보다 상세하게는 집적회로의 제조에 사용되는 약액을 제조 장치로 공급하기 위한 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid supply method, and more particularly, to a chemical liquid supply apparatus and a chemical liquid supply method for supplying a chemical liquid used for manufacturing an integrated circuit to a manufacturing apparatus.

일반적으로, 반도체 소자, 평판표시 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에서는 다양한 약액을 사용하고 있다. 상기 약액의 예로서는 포토리소그라피 공정에 사용하는 포토레지스트 용액 등을 들 수 있다. 상기 포토레지스트 용액과 같은 약액의 공급에서는 주로 질소 가압을 이용한다. 즉, 상기 약액을 수용하는 약액 수용부를 질소 가압시킴에 의해 제조 장치로 상기 약액을 공급하는 것이다.In general, various chemical solutions are used in the manufacture of integrated circuit devices such as semiconductor devices and flat panel display devices. As an example of the said chemical|medical solution, the photoresist solution used for a photolithography process, etc. are mentioned. In the supply of a chemical solution such as the photoresist solution, nitrogen pressurization is mainly used. That is, the chemical solution is supplied to the manufacturing apparatus by nitrogen pressurizing the chemical solution receiving part for accommodating the chemical solution.

상기 약액 수용부의 상기 약액을 거의 다 소모함에 의해 상기 약액 수용부에 상기 약액이 소량이 남아 있을 때 상기 약액 수용부를 상기 질소를 사용하여 가압시킬 경우 상기 제조 장치로는 상기 약액과 함께 에어가 공급될 수 있다. 여기서, 상기 약액과 함께 에어가 공급될 경우에는 상기 제조 장치로 상기 약액이 분사되는 상황이 발생할 수 있다. 그리고 상기 약액이 사방으로 분사되어 상기 제조 장치는 물론이고 제조 대상물을 오염시키는 결과를 초래할 수 있다. 또한, 상기 약액이 분사되는 상황을 방지하기 위해서는 상기 약액 수용부의 상기 약액을 다 소모하지 못하고 교체해야 하는 상황이 발생할 수도 있다.When a small amount of the chemical solution remains in the chemical solution receiving unit by almost consuming the chemical solution in the chemical solution receiving unit, when the chemical solution receiving unit is pressurized using the nitrogen, air is supplied together with the chemical to the manufacturing device. can Here, when air is supplied together with the chemical solution, a situation in which the chemical solution is injected to the manufacturing apparatus may occur. And the chemical is sprayed in all directions, which may result in contaminating the manufacturing apparatus as well as the manufacturing object. In addition, in order to prevent a situation in which the chemical liquid is sprayed, a situation in which the chemical liquid cannot be used up in the chemical liquid accommodating part and needs to be replaced may occur.

본 발명의 목적은 약액 수용부에 수용되는 약액을 에어가 함께 공급되는 상황을 만들지 않고도 안정적으로 다 소모할 수 있는 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법을 제공하는데 있다.It is an object of the present invention to provide a chemical solution supplying device and a chemical solution supply method that can stably consume a chemical solution accommodated in a chemical solution container without creating a situation in which air is supplied together.

언급한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치는 약액을 수용하는 약액 수용부와, 상기 약액 수용부로부터 공급되는 상기 약액을 제조 장치로 공급하기에 앞서 임시로 저장하는 임시 저장부와, 상기 약액 수용부로부터 상기 임시 저장부로 상기 약액이 공급되도록 상기 약액 수용부의 상기 약액을 불활성 기체로 가압하는 가압부와, 상기 가압부와 상기 약액 수용부 사이를 연결하는 가압 라인을 포함하는 약액 공급 장치에 있어서, 상기 약액 수용부와 상기 임시 저장부 사이에 배치됨과 아울러 상기 약액 수용부의 하방에서 상방으로 상기 약액이 공급되도록 상기 약액 수용부의 상방에 배치되게 구비되는 버퍼부; 상기 약액 수용부와 상기 버퍼부 사이를 상기 약액 수용부의 하방에서 상방으로 연결하도록 구비되는 제1 연결 라인; 상기 버퍼부와 상기 임시 저장부 사이를 연결시킴과 아울러 상기 버퍼부에 연결되는 부분은 상기 버퍼부의 저면 근처에 배치하도록 구비되는 제2 연결 라인; 상기 버퍼부에 잔류하는 에어를 상기 버퍼부의 외부로 배기하도록 구비되는 배기부; 및 상기 버퍼부와 상기 배기부 사이를 연결하도록 구비되는 배기 라인;을 포함할 수 있다.A chemical solution supply device according to an embodiment of the present invention for achieving the above object includes a chemical solution receiving unit for accommodating a chemical solution, and temporarily storing the chemical solution supplied from the chemical solution receiving unit prior to supplying to the manufacturing device. A storage unit, a pressurizing unit for pressurizing the chemical solution of the chemical solution receiving unit with an inert gas so that the chemical solution is supplied from the chemical solution receiving unit to the temporary storage unit, and a pressure line connecting the pressurizing unit and the chemical solution receiving unit A chemical solution supplying device comprising: a buffer unit disposed between the chemical solution accommodating part and the temporary storage unit and disposed above the chemical solution accommodating part so that the chemical solution is supplied from the lower side to the upper side of the chemical solution accommodating part; a first connection line provided to connect the chemical solution accommodating part and the buffer part from the lower side to the upper side of the chemical solution accommodating part; a second connection line connecting the buffer unit and the temporary storage unit, and a portion connected to the buffer unit is disposed near a bottom surface of the buffer unit; an exhaust unit provided to exhaust the air remaining in the buffer unit to the outside of the buffer unit; and an exhaust line provided to connect between the buffer unit and the exhaust unit.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 제1 연결 라인은 상기 버퍼부에 연결되는 부분인 상기 버퍼부의 저면 근처에 배치하도록 구비될 수 있다.In the chemical supplying device according to an embodiment of the present invention, the first connection line may be provided to be disposed near the bottom surface of the buffer unit, which is a portion connected to the buffer unit.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 제1 연결 라인에는 상기 제1 연결 라인의 개폐가 가능한 제1 연결 밸브가 더 구비되고, 상기 제2 연결 라인에는 상기 제2 연결 라인의 개폐가 가능한 제2 연결 밸브가 더 구비되고, 상기 배기 라인에는 상기 배기 라인의 개폐가 가능한 배기 밸브가 더 구비되고, 상기 약액 수용부의 상기 약액을 불활성 기체로 가압할 때에는 상기 배기 밸브를 폐쇄시킬 수 있고, 상기 버퍼부에 잔류하는 에어를 배기시킬 때에는 배기 밸브를 개방시킬 수 있다.In the chemical supply apparatus according to an embodiment of the present invention, a first connection valve capable of opening and closing the first connection line is further provided on the first connection line, and the second connection line opens and closes the second connection line A second connection valve capable of being is further provided, and the exhaust line is further provided with an exhaust valve capable of opening and closing the exhaust line, and when pressurizing the chemical solution in the chemical solution container with an inert gas, the exhaust valve can be closed, , the exhaust valve may be opened when the air remaining in the buffer unit is exhausted.

본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에서, 상기 약액 수용부로부터 상기 버퍼부로 공급되는 상기 약액의 수위를 센싱하도록 수위 센서가 더 구비될 수 있고, 상기 수위 센서로부터의 상기 약액의 일정 수위에 대한 신호가 전달되지 않으면 상기 에어를 배기하도록 제어하고, 상기 수위 센서로부터의 상기 약액의 일정 수위에 대한 신호가 전달되면 상기 에어를 배기하지 않도록 제어하는 제어부가 더 구비될 수 있다.In the chemical solution supply device according to an embodiment of the present invention, a water level sensor may be further provided to sense the level of the chemical solution supplied from the chemical solution receiving unit to the buffer unit, and at a predetermined level of the chemical solution from the water level sensor A control unit for controlling the air to be exhausted when a signal is not transmitted, and controlling not to exhaust the air when a signal for a predetermined level of the chemical solution from the water level sensor is transmitted may be further provided.

본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법은 에어를 제거하는 배기부가 연결되는 버퍼부를 구비함과 아울러 약액 수용부가 버퍼부의 아래에 배치되도록 구비하고, 약액 수용부와 버퍼부 사이에서의 연결 라인 및 버퍼부와 임시 저장부 사이에서의 연결 라인 각각을 버퍼부의 저면 근처에 배치하도록 구비한다.The chemical solution supply apparatus and the chemical solution supply method of the present invention include a buffer unit to which an exhaust for removing air is connected, and a chemical solution receiving unit disposed below the buffer unit, a connection line between the chemical solution receiving unit and the buffer unit, and a buffer A connection line between the unit and the temporary storage unit is provided so as to be disposed near the bottom surface of the buffer unit.

이에, 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법에서 제조 장치로 약액을 공급할 경우에는 사전에 에어를 충분하게 제거할 수 있기 때문에 약액 수용부의 약액을 거의 다 소모함에 의해 약액 수용부에 약액이 소량이 남아 있어도 제조 장치로 약액과 함께 에어가 공급되는 것을 방지할 수 있다.Accordingly, in the case of supplying the chemical to the manufacturing apparatus in the chemical supplying apparatus and the chemical supplying method of the present invention, since air can be sufficiently removed in advance, the chemical liquid in the chemical container is consumed almost entirely, so that a small amount of the chemical is in the chemical container. Even if it remains, it is possible to prevent air from being supplied together with the chemical solution to the manufacturing apparatus.

따라서 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법은 약액을 사용한 공정 수행시 제조 장치로 약액이 분사됨에 의해 발생하는 불량을 방지할 수 있고, 더불어 약액 수용부의 약액을 안정적으로 다 소모할 수 있을 것이다.Therefore, the chemical solution supply apparatus and the chemical solution supply method of the present invention can prevent a defect caused by spraying the chemical solution to the manufacturing device when the process using the chemical solution is performed, and also can stably consume the chemical solution in the chemical solution container.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram showing a chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.Since the present invention may have various changes and may have various forms, embodiments will be described in detail in the text. However, this is not intended to limit the present invention to the specific disclosed form, it should be understood to include all modifications, equivalents and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In describing each figure, like reference numerals have been used for like components. Terms such as first, second, etc. may be used to describe various elements, but the elements should not be limited by the terms. The above terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. The terms used in the present application are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present application, terms such as "comprises" or "consisting of" are intended to designate the presence of a feature, number, step, operation, component, part, or combination thereof described in the specification, but one or more other features It is to be understood that this does not preclude the possibility of addition or existence of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical and scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries should be interpreted as having a meaning consistent with the meaning in the context of the related art, and should not be interpreted in an ideal or excessively formal meaning unless explicitly defined in the present application. does not

이하, 첨부하는 도면을 참조하여 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치에 대하여 설명하기로 한다.Hereinafter, a chemical solution supply device according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 약액 공급 장치를 나타내는 개략적인 구성도이다.1 is a schematic configuration diagram showing a chemical liquid supply apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1을 참조하면, 본 발명의 약액 공급 장치(100)는 반도체 소자, 평판표시 소자 등과 같은 집적회로 소자의 제조에 사용되는 약액을 제조 장치(45)에 공급할 수 있다. 상기 약액의 예로서는 주로 포토리소그라피 공정에 사용하는 포토레지스트 용액 등을 들 수 있고, 그리고 상기 포토레지스트 용액의 예로서는 폴리이미드 용액 등을 들 수 있다. 아울러, 상기 약액 공급 장치(100)를 사용하여 집적회로 소자의 제조 장치(45)로 공급하기 위한 상기 약액은 언급한 포토레지스트 용액 이외에도 세정액, 식각액 등도 포함할 수 있다.Referring to FIG. 1 , the chemical solution supplying device 100 of the present invention may supply a chemical solution used for manufacturing an integrated circuit device such as a semiconductor device or a flat panel display device to the manufacturing device 45 . Examples of the chemical solution include a photoresist solution mainly used in a photolithography process, and examples of the photoresist solution include a polyimide solution. In addition, the chemical solution to be supplied to the device 45 for manufacturing an integrated circuit device using the chemical solution supply device 100 may include a cleaning solution, an etchant, etc. in addition to the aforementioned photoresist solution.

상기 약액 공급 장치(100)는 약액 수용부(11), 버퍼부(13), 임시 저장부(15), 가압부(17), 배기부(19), 수위 센서(41), 제어부(43) 등을 포함할 수 있다. 아울러, 상기 약액 공급 장치(100)는 가압 라인(21), 가압 밸브(23), 제1 연결 라인(25), 제1 연결 밸브(27), 제2 연결 라인(31), 제2 연결 밸브(33), 배기 라인(37), 배기 밸브(39) 등을 포함할 수 있다.The chemical solution supply device 100 includes a chemical solution receiving unit 11 , a buffer unit 13 , a temporary storage unit 15 , a pressurizing unit 17 , an exhaust unit 19 , a water level sensor 41 , and a control unit 43 . and the like. In addition, the chemical liquid supply device 100 includes a pressure line 21 , a pressure valve 23 , a first connection line 25 , a first connection valve 27 , a second connection line 31 , and a second connection valve 33 , an exhaust line 37 , an exhaust valve 39 , and the like.

상기 약액 수용부(11)는 상기 약액을 수용하는 것으로써, 저장 탱크 구조를 갖도록 구비될 수 있다.The chemical solution accommodating part 11 is to accommodate the chemical solution, and may be provided to have a storage tank structure.

그리고 본 발명의 상기 약액 공급 장치(100)에서는 상기 약액 수용부(11)의 상방에 상기 버퍼부(13)가 배치되도록 구비될 수 있다. 여기서, 상기 버퍼부(13)를 상기 약액 수용부(11)의 상방에 배치시키는 것은 상기 약액 수용부(11)로부터 상기 버퍼부(13)로 상기 약액을 공급할 때 상기 약액에 에어가 포함되는 것을 차단하기 위함이다. 즉, 상기 약액이 상기 버퍼부(13)의 저면에서 상부로 공급되는 구조를 갖도록 상기 버퍼부(13)를 상기 약액 수용부(11)의 상부에 배치되도록 구비시킴으로써 상기 약액의 공급시 상기 약액이 에어에 노출되는 상황을 최소화할 수 있고, 그 결과 언급한 바와 같이 상기 버퍼부(13)로 공급되는 상기 약액에 에어가 포함되는 것을 사전에 차단할 수 있는 것이다.And in the chemical solution supply device 100 of the present invention, the buffer unit 13 may be disposed above the chemical solution receiving unit 11 . Here, disposing the buffer unit 13 above the chemical solution receiving unit 11 means that air is included in the chemical solution when the chemical solution is supplied from the chemical solution receiving unit 11 to the buffer unit 13 . to block That is, by providing the buffer part 13 so as to be disposed on the upper part of the chemical solution accommodating part 11 so as to have a structure in which the chemical solution is supplied from the bottom surface of the buffer part 13 to the top, the chemical solution is supplied when the chemical solution is supplied. It is possible to minimize the exposure to air, and as a result, as mentioned above, it is possible to block in advance that air is contained in the chemical solution supplied to the buffer unit 13 .

이와 같이, 본 발명에서의 상기 약액 공급 장치(100)는 상기 약액 수용부(11)와 상기 임시 저장부(15) 사이에 배치됨과 아울러 상기 약액 수용부(11)의 하방에서 상방으로 상기 약액이 공급되도록 상기 약액 수용부(11)의 상방에 배치되게 구비되는 상기 버퍼부(13)를 포함할 수 있는 것이다.In this way, the chemical solution supply device 100 in the present invention is disposed between the chemical solution accommodating part 11 and the temporary storage unit 15, and the chemical solution flows upward from the lower side of the chemical solution accommodating part 11. It may include the buffer unit 13 provided to be disposed above the chemical solution receiving unit 11 so as to be supplied.

상기 임시 수용부(15)는 상기 약액을 제조 장치(45)로 공급하기에 앞서 임시로 저장하는 것으로써, 본 발명에서는 상기 버퍼부(13)와 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 그리고 상기 임시 수용부(15)는 상기 약액을 공급받아 임시로 저장하는 저장 탱크 구조를 갖도록 구비될 수도 있다.The temporary accommodating part 15 temporarily stores the chemical solution prior to supplying it to the manufacturing apparatus 45 , and in the present invention, it may be provided to have a structure connected to the buffer part 13 . In addition, the temporary accommodation unit 15 may be provided to have a storage tank structure for receiving and temporarily storing the chemical solution.

이외에도 도시하지는 않았지만, 상기 버퍼부(13)와 상기 제조 장치(45) 사이를 연결하는 연결 라인의 구조를 갖도록 구비될 수도 있다. 상기 연결 라인은 후술하는 제2 연결 라인(31)과 동일한 부재로 이해할 수 있다. 여기서, 상기 임시 수용부(15)가 상기 연결 라인의 구조를 갖도록 구비될 경우 상기 연결 라인에는 상기 제조 장치(45)로 상기 약액의 공급을 개폐시킬 수 있는 공급 밸브(도시되지 않음)가 구비될 수 있다. 상기 공급 밸브는 후술하는 제2 연결 밸브(33)와 동일한 부재로 이해할 수 있다.In addition, although not shown, it may be provided to have a structure of a connection line connecting the buffer unit 13 and the manufacturing apparatus 45 . The connection line may be understood as the same member as the second connection line 31 to be described later. Here, when the temporary accommodation part 15 is provided to have the structure of the connection line, a supply valve (not shown) capable of opening and closing the supply of the chemical to the manufacturing device 45 may be provided on the connection line. can The supply valve may be understood as the same member as the second connection valve 33 to be described later.

이에, 상기 연결 라인의 구조를 갖는 상기 임시 수용부(15) 또한 상기 공급 밸브의 개폐를 통하여 상기 약액을 제조 장치(45)로 공급하기에 앞서 임시로 저장함과 아울러 상기 버퍼부(13)로부터 상기 제조 장치(45)를 상기 약액을 공급할 수 있는 것이다.Accordingly, the temporary receiving unit 15 having the structure of the connection line also temporarily stores the chemical solution prior to supplying the chemical solution to the manufacturing device 45 through opening and closing of the supply valve and from the buffer unit 13 . It is possible to supply the chemical solution to the manufacturing device 45 .

그리고 상기 제1 연결 라인(25)은 상기 약액 수용부(11)와 상기 버퍼부(13) 사이를 연결하는 것으로써, 파이프 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 제1 연결 라인(25)은 상기 버퍼부(13)가 상기 약액 수용부(11)의 상방에 배치되도록 상기 약액 수용부(11)와 상기 버퍼부(13) 사이를 상기 약액 수용부(11)의 하방에서 상방으로 연결하도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 버퍼부(13)에 연결되는 상기 제1 연결 라인(25)의 단부(29)는 상기 버퍼부(13)의 저면 근처에 배치되도록 구비시키는 것으로써, 상기 버퍼부(13)의 바닥에 바로 연결 배치되도록 구비시킬 수도 있다. 상기 제1 연결 라인(25)의 단부(29)를 상기 버퍼부(13)의 저면 근처에 배치시키는 것은 언급한 바와 같이 상기 약액을 상기 버퍼부(13)의 바닥쪽에서 상방으로 공급시킴으로써 상기 약액이 에어에 노출되는 상황을 최소화하기 위함이다.In addition, the first connection line 25 connects between the chemical solution accommodating part 11 and the buffer part 13, and may be provided to have a pipe structure. The first connection line 25 is connected between the chemical solution accommodating part 11 and the buffer part 13 so that the buffer part 13 is disposed above the chemical solution accommodating part 11 , the chemical solution accommodating part 11 . ) may be provided to connect from the lower side to the upper side. In particular, the end 29 of the first connection line 25 connected to the buffer unit 13 is provided to be disposed near the bottom surface of the buffer unit 13 , and the bottom of the buffer unit 13 is provided. It can also be provided so that it can be arranged directly connected to the . Disposing the end 29 of the first connection line 25 near the bottom surface of the buffer unit 13 is to supply the chemical from the bottom of the buffer unit 13 upward, as mentioned above, so that the chemical is This is to minimize exposure to air.

상기 제1 연결 라인(25)에는 상기 제1 연결 라인(25)의 개폐가 가능한 제1 연결 밸브(27)가 구비된다. 상기 제1 연결 밸브(27)는 개폐 동작을 통하여 상기 약액 수용부(11)로부터 상기 버퍼부(13)로 상기 약액을 공급시키거나 또는 차단시킬 수 있다.A first connection valve 27 capable of opening and closing the first connection line 25 is provided on the first connection line 25 . The first connection valve 27 may supply or block the chemical solution from the chemical solution receiving unit 11 to the buffer unit 13 through an opening/closing operation.

상기 제2 연결 라인(31)은 상기 버퍼부(13)와 상기 임시 저장부(15)를 연결시키는 것으로써, 파이프 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 특히, 상기 제2 연결 라인(31) 중에서 상기 버퍼부(13)에 연결되는 부분은 상기 버퍼부(13)의 저면 근처에 배치하도록 구비될 수 있다. 즉, 상기 버퍼부(13)에 배치되는 상기 제2 연결 라인(31)의 단부(35)가 상기 버퍼부(13)의 바닥 가까이에 배치하도록 구비될 수 있는 것이다. 이와 같이, 상기 버퍼부(13)에 배치되는 상기 제2 연결 라인(31)의 단부(35)를 상기 버퍼부(13)의 바닥 가까이에 배치하도록 구비시키는 것은 상기 버퍼부(13)에 공급되는 상기 약액을 충분하게 소모시키기 위함이다.The second connection line 31 connects the buffer unit 13 and the temporary storage unit 15 , and may be provided to have a pipe structure. In particular, a portion of the second connection line 31 connected to the buffer unit 13 may be disposed near a bottom surface of the buffer unit 13 . That is, the end 35 of the second connection line 31 disposed in the buffer unit 13 may be disposed near the bottom of the buffer unit 13 . In this way, the provision of the end 35 of the second connection line 31 disposed on the buffer part 13 to be disposed near the bottom of the buffer part 13 is provided to the buffer part 13 . This is to sufficiently consume the drug solution.

상기 제2 연결 라인(31)에는 상기 제2 연결 라인(31)의 개폐가 가능한 제2 연결 밸브(33)가 구비된다. 상기 제2 연결 밸브(33)는 개폐 동작을 통하여 상기 버퍼부(13)로부터 상기 임시 저장부(15)로 상기 약액을 공급시키거나 또는 차단시킬 수 있다.A second connection valve 33 capable of opening and closing the second connection line 31 is provided on the second connection line 31 . The second connection valve 33 may supply or block the chemical solution from the buffer unit 13 to the temporary storage unit 15 through an opening/closing operation.

또한 본 발명에서의 상기 약액 공급 장치(100)는 언급한 바와 같이 상기 임시 저장부(15)를 연결 라인의 구조를 갖도록 구비할 수 있는 것으로써, 이 경우 상기 제2 연결 라인(31)의 일부가 임시 저장부로 기능할 수 있을 것이고, 상기 제2 연결 밸브(33)가 상기 제조 장치(45)로 상기 약액의 공급을 개폐시킬 수 있는 공급 밸브로 기능할 수 있을 것이다.In addition, as mentioned above, the chemical supply device 100 in the present invention may include the temporary storage unit 15 to have a structure of a connection line, and in this case, a part of the second connection line 31 . may function as a temporary storage unit, and the second connection valve 33 may function as a supply valve capable of opening and closing the supply of the chemical to the manufacturing device 45 .

상기 가압부(17)는 상기 약액 수용부(11)의 상기 약액을 불활성 기체로 가압하도록 구비될 수 있다. 여기서, 상기 불활성 기체는 주로 질소를 포함할 수 있다. 그리고 상기 가압부(17) 및 상기 약액 수용부(11) 사이는 상기 가압 라인(21)으로 연결될 수 있다.The pressurization unit 17 may be provided to pressurize the chemical solution in the chemical solution receiving unit 11 with an inert gas. Here, the inert gas may mainly include nitrogen. In addition, the pressure line 21 may be connected between the pressure unit 17 and the chemical solution receiving unit 11 .

이에, 상기 가압부(17) 및 상기 가압 라인(21)을 사용하여 상기 약액 수용부(11)로 상기 불활성 기체를 가압시킴으로써 상기 약액 수용부(11)의 상기 약액이 상기 버퍼부(13)로 공급될 수 있다. 아울러, 상기 가압 라인(21)에는 상기 불활성 기체의 공급을 개폐시킬 수 있는 가압 밸브(23)가 구비될 수도 있다.Accordingly, by pressurizing the inert gas to the chemical solution receiving unit 11 using the pressurizing unit 17 and the pressurizing line 21 , the chemical solution in the chemical solution receiving unit 11 is transferred to the buffer unit 13 . can be supplied. In addition, the pressure line 21 may be provided with a pressure valve 23 capable of opening and closing the supply of the inert gas.

본 발명의 상기 약액 공급 장치(100)는 언급한 바와 같이 상기 배기부(19)를 구비할 수 있는데, 상기 배기부(19)는 상기 버퍼부(13)에 잔류하는 상기 에어를 상기 버퍼부(19)의 외부로 배기하도록 구비될 수 있다. 상기 배기부(19)는 상기 버퍼부(13)에 잔류하는 상기 에어를 흡입할 수 있는 흡입 펌프 등과 같은 부재로 이루어질 수 있다. 그리고 상기 버퍼부(13)와 상기 배기부(19) 사이에는 상기 버퍼부(13)와 상기 배기부(19) 사이를 연결하도록 배기 라인(37)이 구비될 수 있다. 또한, 상기 배기 라인(37)은 상기 배기 라인(37)을 개폐시킬 수 있는 배기 밸브(39)가 구비될 수 있다.As mentioned above, the chemical supply device 100 of the present invention may include the exhaust unit 19, wherein the exhaust unit 19 pumps the air remaining in the buffer unit 13 into the buffer unit ( 19) may be provided to exhaust to the outside. The exhaust unit 19 may be formed of a member such as a suction pump capable of sucking the air remaining in the buffer unit 13 . Also, an exhaust line 37 may be provided between the buffer part 13 and the exhaust part 19 to connect the buffer part 13 and the exhaust part 19 . In addition, the exhaust line 37 may include an exhaust valve 39 capable of opening and closing the exhaust line 37 .

이에, 상기 배기부(19)와 상기 배기 라인(37)을 사용하여 상기 버퍼부(13)에 잔류하는 상기 에어를 외부로 배기시킴으로써 상기 제조 장치(45)로 공급되는 상기 약액에 상기 에어가 잔류하는 것을 사전에 차단시킬 수 있다. 따라서 본 발명의 약액 공급 장치(100)를 사용하여 제조 장치(45)로 약액을 공급할 경우에는 상기 버퍼부(13)를 사용함으로써 사전에 상기 약액에 잔류할 수 있는 상기 에어를 충분하게 제거할 수 있다. 그러므로 상기 약액 수용부(11)의 약액을 거의 다 소모함에 의해 상기 약액 수용부(11)에 약액이 소량이 남아 있어도 상기 제조 장치(45)로 상기 약액과 함께 상기 에어가 공급되는 것을 용이하게 방지할 수 있다.Accordingly, by exhausting the air remaining in the buffer unit 13 to the outside using the exhaust unit 19 and the exhaust line 37 , the air remains in the chemical solution supplied to the manufacturing device 45 . can be blocked in advance. Therefore, when the chemical solution is supplied to the manufacturing device 45 using the chemical solution supply device 100 of the present invention, the air that may remain in the chemical solution can be sufficiently removed in advance by using the buffer unit 13 . there is. Therefore, even if a small amount of the chemical solution remains in the chemical solution accommodating part 11 by almost consuming the chemical solution in the chemical solution accommodating part 11 , the air is easily prevented from being supplied together with the chemical solution to the manufacturing device 45 . can do.

또한, 본 발명에서의 상기 약액 공급 장치(100)는 상기 약액 수용부(11)로부터 상기 버퍼부(13)로 공급되는 상기 약액의 수위를 센싱하도록 수위 센서(41)를 더 구비할 수 있고, 아울러 상기 수위 센서(41)로부터의 상기 약액의 일정 수위에 대한 신호가 전달되지 않으면 상기 에어를 배기하도록 제어하고, 상기 수위 센서(41)로부터의 상기 약액의 일정 수위에 대한 신호가 전달되면 상기 에어를 배기하지 않도록 제어하는 제어부(43)를 더 구비할 수 있다.In addition, the chemical solution supply device 100 in the present invention may further include a water level sensor 41 to sense the level of the chemical solution supplied from the chemical solution receiving unit 11 to the buffer unit 13, In addition, when a signal for a predetermined level of the chemical from the water level sensor 41 is not transmitted, the air is controlled to be exhausted, and when a signal for a predetermined level of the chemical from the water level sensor 41 is transmitted, the air It may further include a control unit 43 for controlling so as not to exhaust the.

이와 같이, 본 발명의 상기 약액 공급 장치(100)는 상기 수위 센서(41) 및 상기 제어부(43)를 구비함으로써 상기 버퍼부(13)에 공급되는 약액의 공급량에 근거하여 상기 약액에 잔류할 수 있는 에어에 대한 배기 여부를 결정할 수 있는 것이다.In this way, the chemical solution supply device 100 of the present invention includes the water level sensor 41 and the control unit 43, so that based on the supply amount of the chemical solution supplied to the buffer unit 13, it can remain in the chemical solution. It is possible to decide whether to exhaust the existing air.

또한, 본 발명의 상기 약액 공급 장치(100)는 상기 약액 수용부(11)의 상기 약액을 불활성 기체로 가압할 때에는 상기 배기 밸브(39)를 폐쇄시키도록 구비될 수 있고, 상기 버퍼부(13)에 잔류하는 에어를 배기시킬 때에는 상기 배기 밸브(39)를 개방시키도록 구비될 수 있다.In addition, the chemical solution supply device 100 of the present invention may be provided to close the exhaust valve 39 when the chemical solution in the chemical solution receiving unit 11 is pressurized with an inert gas, and the buffer unit 13 ) may be provided to open the exhaust valve 39 when exhausting the remaining air.

본 발명의 상기 약액 공급 장치(100)의 사용에서 상기 약액의 공급시에는 상기 가압부(17)를 사용하여 상기 약액 수용부(11)의 약액을 가압시킴으로서 상기 약액을 상기 버퍼부(13) 및 상기 임시 저장부(15) 그리고 상기 제조 장치(45)로 공급시킬 수 있는 것이다. 이 경우에는 상기 배기 밸브(39)는 폐쇄시키고, 상기 제1 연결 밸브(27) 및 상기 제2 연결 밸브(33)를 개방시킨다. 아울러, 상기 에어의 배기시에는 상기 배기부(19)를 사용함으로써 상기 에어를 외부로 배기시킬 수 있는 것이다. 이 경우에는 상기 배기 밸브(39)는 개방시키고, 상기 제2 연결 밸브(33)는 폐쇄시키고, 그리고 필요에 따라 상기 제1 연결 밸브(27)도 폐쇄시킨다.In the use of the chemical solution supply device 100 of the present invention, when the chemical solution is supplied, the chemical solution in the chemical solution receiving unit 11 is pressurized using the pressurizing unit 17 to transfer the chemical solution to the buffer unit 13 and It can be supplied to the temporary storage unit 15 and the manufacturing device 45 . In this case, the exhaust valve 39 is closed, and the first connection valve 27 and the second connection valve 33 are opened. In addition, when the air is exhausted, the air can be exhausted to the outside by using the exhaust unit 19 . In this case, the exhaust valve 39 is opened, the second connection valve 33 is closed, and, if necessary, the first connection valve 27 is also closed.

언급한 바와 같이, 본 발명의 상기 약액 공급 장치(100)는 상기 에어를 제거하는 상기 배기부(19)가 연결되는 상기 버퍼부(13)를 구비함과 아울러 상기 약액 수용부(11)가 상기 버퍼부(13)의 아래에 배치되도록 구비하고, 상기 약액 수용부(11)와 상기 버퍼부(13) 사이에서의 상기 제1 연결 라인(25) 및 상기 버퍼부(13)와 상기 임시 저장부(15) 사이에서의 상기 제2 연결 라인(31) 각각을 상기 버퍼부의 저면 근처에 배치하도록 구비한다. 이에, 본 발명의 상기 약액 공급 장치(100)를 사용하여 상기 제조 장치(45)로 약액을 공급할 경우에는 사전에 에어를 충분하게 제거할 수 있기 때문에 상기 약액 수용부(11)의 상기 약액을 거의 다 소모함에 의해 상기 약액 수용부(11)에 상기 약액이 소량이 남아 있어도 상기 제조 장치(45)로 상기 약액과 함께 상기 에어가 공급되는 것을 방지할 수 있다.As mentioned above, the chemical solution supply device 100 of the present invention includes the buffer unit 13 to which the exhaust unit 19 for removing the air is connected, and the chemical solution receiving unit 11 is the It is provided to be disposed under the buffer unit 13, and the first connection line 25 between the chemical solution receiving unit 11 and the buffer unit 13 and the buffer unit 13 and the temporary storage unit Each of the second connection lines 31 between (15) is provided so as to be disposed near the bottom surface of the buffer unit. Accordingly, when the chemical solution is supplied to the manufacturing device 45 using the chemical solution supply device 100 of the present invention, the chemical solution in the chemical solution container 11 is almost removed because the air can be sufficiently removed in advance. Even if a small amount of the chemical solution remains in the chemical solution accommodating part 11 by exhaustion, it is possible to prevent the air from being supplied together with the chemical solution to the manufacturing device 45 .

따라서 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법은 약액을 사용한 공정 수행시 제조 장치로 약액이 분사됨에 의해 발생하는 불량을 방지할 수 있고, 더불어 약액 수용부의 약액을 안정적으로 다 소모할 수 있을 것이다.Therefore, the chemical solution supply apparatus and the chemical solution supply method of the present invention can prevent a defect caused by spraying the chemical solution to the manufacturing device when the process using the chemical solution is performed, and also can stably consume the chemical solution in the chemical solution container.

이에 본 발명의 약액 공급 장치 및 약액 공급 방법은 공정 신뢰도를 향상시킬 수 있음과 더불어 약액의 충분한 소모를 통하여 가격 경쟁력의 향상도 꾀할 수 있을 것이다.Accordingly, the chemical liquid supply apparatus and the chemical liquid supply method of the present invention can improve process reliability and also improve price competitiveness through sufficient consumption of the chemical liquid.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiments of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that you can.

11 : 약액 수용부 13 : 버퍼부
15 : 임시 저장부 17 : 가압부
19 : 배기부 21 : 가압 라인
23 : 가압 밸브 25 : 제1 연결 라인
27 : 제1 연결 밸브 31 : 제2 연결 라인
33 : 제2 연결 밸브 37 : 배기 라인
39 : 배기 밸브 41 : 수위 센서
43 : 제어부 45 : 제조 장치
100 : 약액 공급 장치11: chemical solution accommodating part 13: buffer part
15: temporary storage unit 17: pressurization unit
19: exhaust 21: pressure line
23: pressure valve 25: first connection line
27: first connection valve 31: second connection line
33: second connection valve 37: exhaust line
39: exhaust valve 41: water level sensor
43: control unit 45: manufacturing device
100: chemical supply device

Claims (8)

삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 하방에서 상방으로 약액이 공급될 수 있게 약액 수용부에 수용되는 약액을 불활성 기체로 가압하여 약액 수용부로부터 상기 약액 수용부의 상방에 배치되는 버퍼부로 약액을 공급하는 단계;
상기 버퍼부로부터 상기 약액을 임시 저장하도록 구비되는 임시 저장부로 상기 약액을 공급하는 단계; 및
상기 임시 저장부로부터 상기 약액을 제조 장치로 공급하는 단계를 포함하고,
상기 버퍼부에 공급되는 상기 약액이 일정 수위에 도달하지 않을 때에는 상기 버퍼부에 잔류하는 에어를 상기 버퍼부로부터 외부로 배기시키는 단계; 및 상기 버퍼부에 공급되는 상기 약액이 일정 수위에 도달할 때에는 상기 에어의 배기를 중단시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급 방법.supplying the chemical solution from the chemical solution receiving unit to the buffer unit disposed above the chemical solution receiving unit by pressurizing the chemical solution accommodated in the chemical solution container with an inert gas so that the chemical solution can be supplied from the lower side to the upper side;
supplying the chemical solution from the buffer unit to a temporary storage unit provided to temporarily store the chemical solution; and
and supplying the chemical from the temporary storage unit to the manufacturing device,
discharging the air remaining in the buffer unit to the outside from the buffer unit when the chemical solution supplied to the buffer unit does not reach a predetermined level; and stopping the exhaust of the air when the chemical solution supplied to the buffer unit reaches a predetermined level. 제6 항에 있어서, 상기 약액 수용부로부터 상기 버퍼부로의 약액은 상기 버퍼부의 저면 근처까지만 도달하도록 공급되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 방법.The method according to claim 6, wherein the chemical solution from the chemical solution receiving unit to the buffer unit is supplied so as to reach only near the bottom of the buffer unit. 제6 항에 있어서, 상기 버퍼부로부터 상기 임시 저장부로의 약액은 상기 버퍼부의 저면 근처에서 공급이 시작되는 것을 특징으로 하는 약액 공급 방법.The method of claim 6, wherein the supply of the chemical from the buffer unit to the temporary storage is started near a bottom surface of the buffer unit.
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