KR102366269B1 - Vision hybrid align system - Google Patents

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KR102366269B1
KR102366269B1 KR1020210047167A KR20210047167A KR102366269B1 KR 102366269 B1 KR102366269 B1 KR 102366269B1 KR 1020210047167 A KR1020210047167 A KR 1020210047167A KR 20210047167 A KR20210047167 A KR 20210047167A KR 102366269 B1 KR102366269 B1 KR 102366269B1
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lower plate
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check
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KR1020210047167A
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이지훈
김운수
조원일
최일석
강병창
신숙영
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이알케이(주)
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Abstract

Disclosed is a vision hybrid align system comprising: an upper plate unit in which a first panel is disposed; a lower plate unit which is disposed on a location spaced apart from the upper plate and in which a second panel is disposed; a first check unit that can be located between the upper plate unit and the lower plate unit and checking a location of the upper plate unit and the lower plate unit; and a second check unit disposed on an axis which is the same as a direction where a distance between the upper plate unit and the lower plate unit changes, simultaneously checking the upper plate unit and the lower plate unit, and checking the location of the upper plate unit and the lower plate unit.

Description

비젼 하이브리드 얼라인 시스템{VISION HYBRID ALIGN SYSTEM}Vision hybrid alignment system {VISION HYBRID ALIGN SYSTEM}

본 발명은 패널의 위치를 정렬하는 얼라인 시스템에 관한 것이다.The present invention relates to an alignment system for aligning the positions of panels.

특히, 패널의 위치를 듀얼로 체크하여 패널을 정확하게 본딩할 수 있는 비젼 하이브리드 얼라인 시스템에 관한 것이다. In particular, it relates to a vision hybrid alignment system capable of accurately bonding panels by dually checking the positions of the panels.

나비의 작은 날개짓 한 번이 기후 패턴에 큰 변화를 일으키는 것을 나비효과라고 한다. 이는 아주 작은 변화나 작은 사건이 예상치 못한 엄청난 결과를 일으킨다는 것으로, 일반적으로 사회현상을 설명하는데 사용되나, 이는 반도체 세계에서도 마찬가지로 사용될 수 있다.One small flap of a butterfly's wings causes a huge change in climate patterns, called the Butterfly Effect. It is the fact that a very small change or a small event has unexpected and huge consequences. It is commonly used to explain social phenomena, but it can be used in the semiconductor world as well.

반도체는 특정 조건하에서만 전기를 통하게 하는 미시세계의 물질인 바, 아주 정밀한 작업이 수행되어야 한다. 일반적으로 반도체는 실리콘으로 형성된 기판(웨이퍼)를 가공하여 제조되는데, 이 가공 과정에서는 한치의 오차도 허용되어서는 안 된다. 반도체 세계에서는 거시세계에서 용납될 수 있는 오차가 발생되면 반도체는 불량이 되기 때문이다.Semiconductors are microscopic materials that conduct electricity only under certain conditions, so very precise work must be performed. In general, semiconductors are manufactured by processing a substrate (wafer) formed of silicon. This is because in the semiconductor world, if an error that can be tolerated in the macro world occurs, the semiconductor becomes defective.

반도체의 가공 분야에서 가장 흔하게 문제가 되는 분야 중 하나는 웨이퍼를 접착하는 분야이다. 웨이퍼는 필요성에 의하여 웨이퍼를 본딩하는 공정이 수행되고는 하는데, 이론상으로는 복수개의 웨이퍼를 정위치에 정렬하여 배치하고, 정렬된 웨이퍼를 상호 가압하는 것인 바 매우 간단해 보인다. 그러나 이 공정은 이론과는 다르게 매우 어려운 공정이다. 그 이유는 잠깐의 순간 발생되는 아주 미세한 오차 때문이다.One of the most common problem areas in the processing field of semiconductors is the field of bonding wafers. Although the wafer bonding process is performed according to necessity, in theory, a plurality of wafers are arranged in a fixed position, and the aligned wafers are pressed against each other, which seems very simple. However, contrary to theory, this process is very difficult. The reason is a very minute error that occurs in a moment.

일반적으로 웨이퍼를 본딩하기 위하여 웨이퍼를 상부와 하부에 이격하여 배치하고, 그 사이에 정밀한 카메라를 위치시켜 양자의 위치를 확인하여 웨이퍼의 위치를 정렬한 후 웨이퍼를 직선 방향으로 이동시켜 가압하는데, 아무리 정밀하고 조심하게 이동한다 하여도 웨이퍼를 이동 시 웨이퍼의 위치가 변경되는 경우가 빈번히 발생되고는 한다.In general, in order to bond the wafer, the wafer is placed at the top and the bottom, and a precise camera is placed between them to confirm the position of both, align the position of the wafer, and then move the wafer in a straight direction to pressurize it, no matter how Even if the wafer is moved precisely and carefully, the position of the wafer is frequently changed when the wafer is moved.

이를 해결하기 위하여 정렬된 웨이퍼 사이를 아주 미세하게 이격 시킨 후 카메라로 위치를 관찰하여 정렬한 후 최종적으로 웨이퍼를 이동시키는 방법이 활용되고 있으나, 이는 카메라의 물리적 크기로 인하여 그 사이 간격이 발생되고 있으며, 카메라가 제거된 후 웨이퍼가 이동되는 그 순간에 위치가 변경되는 문제가 발생되고는 한다. 따라서 현재에는 웨이퍼를 접착 시 불량이 빈번히 발생되고 있는 실정이다.In order to solve this problem, a method of moving the wafer after aligning by observing the position with a camera after very finely spacing the aligned wafers is being used, but this is due to the physical size of the camera, and the gap between them occurs. , there is a problem that the position is changed at the moment the wafer is moved after the camera is removed. Therefore, at present, defects frequently occur in bonding wafers.

국내 등록특허 등록번호 "10-1141684"Domestic registered patent registration number "10-1141684"

본 발명은 전술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 웨이퍼를 정렬 부착 시 듀얼로 체크하여 보다 정밀하게 웨이퍼를 정렬하여 부착 시킬 수 있는 비젼 하이브리드 얼라인 시스템을 제공하는데 목적이 있다.An object of the present invention is to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a vision hybrid alignment system capable of aligning and attaching a wafer more precisely by performing a dual check when aligning and attaching a wafer.

일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템은 제1패널이 배치되는 상부플레이트부, 상기 상부플레이트와 이격된 위치에 배치되며, 제2패널이 배치되는 하부플레이트부, 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부 사이에 위치될 수 있으며, 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부의 위치를 체크하는 제1체크부 및 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부 사이의 거리가 변경되는 방향과 동일한 축 상에 배치되어, 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부를 동시에 체크하며 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부의 위치를 체크하는 제2체크부를 포함한다.The present invention vision hybrid alignment system according to an embodiment includes an upper plate portion on which a first panel is disposed, a lower plate portion on which a second panel is disposed, and a lower plate portion on which a second panel is disposed, the upper plate portion and the lower portion It may be positioned between the plate parts, and the first check part for checking the positions of the upper plate part and the lower plate part and the distance between the upper plate part and the lower plate part are disposed on the same axis as the direction in which the distance is changed, and a second check part for simultaneously checking the upper plate part and the lower plate part and for checking the positions of the upper plate part and the lower plate part.

상기 제1체크부는 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부 사이에 위치되어 상부플레이트부에 표시된 제1정렬마크와 하부플레이트에 표시된 제2정렬마크를 동시에 체크하는 것을 특징으로 한다.The first check part is positioned between the upper plate part and the lower plate part and simultaneously checks the first alignment mark displayed on the upper plate part and the second alignment mark displayed on the lower plate part.

상기 제1체크부는 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부 사이에 위치될 수 있으며, 동축으로 관통홀이 형성된 경통부와, 상기 경통부와 연통되도록 위치되며, 상기 관통홀을 통하여 상기 제1정렬마크와 제2정렬마크를 촬영하는 제1카메라부와, 상기 경통부와 상기 제1카메라부 사이에 위치되는 렌즈부를 포함한다.The first check part may be positioned between the upper plate part and the lower plate part, and is positioned to communicate with the barrel part having a through-hole coaxially formed therein, and the barrel part, and the first alignment mark and the second part through the penetration hole. It includes a first camera unit for photographing the alignment mark, and a lens unit positioned between the barrel and the first camera unit.

상기 경통부는 일축을 기준으로 회전운동하며 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부 사이에 위치될 수 있는 것을 특징으로 한다.The barrel part rotates about one axis and may be positioned between the upper plate part and the lower plate part.

상기 상부플레이트부와 하부플레이트부에는 각각 제1정렬마크와 제2정렬마크가 동일한 축을 따라 배치되어 있으며, 상기 제2체크부는 상기 제1정렬마크와 제2정렬마크를 동시에 관통하여 체크할 수 있는 것을 특징으로 한다.A first alignment mark and a second alignment mark are arranged along the same axis on the upper plate part and the lower plate part, respectively, and the second check part can check through the first alignment mark and the second alignment mark at the same time. characterized in that

상기 제2체크부는 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부를 관통하도록 배치되는 제2카메라부를 포함하는 것을 특징으로 한다.The second check part is characterized in that it includes a second camera part disposed to penetrate the upper plate part and the lower plate part.

상기 상부플레이트부와 하부플레이트부는 상호 거리가 변경되도록 이동시키는 리프트부가 설치되되, 상기 리프트부는 적어도 상기 제2카메라부의 촬영되는 부분을 폐쇄하지 않는 위치에 위치되는 것을 특징으로 한다.The upper plate part and the lower plate part are provided with a lift part that moves so that the mutual distance is changed, and the lift part is located at a position that does not close at least the part to be photographed of the second camera part.

상기 제1체크부와 제2체크부와 연결되어 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부의 위치를 체크하여 상기 상부플레이트부 또는 하부플레이트부의 위치를 정렬하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.It characterized in that it further comprises a control unit connected to the first check part and the second check part to check the positions of the upper plate part and the lower plate part to align the positions of the upper plate part or the lower plate part.

일 실시예에 의한 본 발명은 제1체크부가 상부플레이트부와 하부플레이트부 사이에 위치되어 각각의 웨이퍼의 위치를 체크하여 1차로 웨이퍼의 위치를 정렬하고, 하부플레이트부의 하측에서 2차로 웨이퍼의 위치를 체크하며 웨이퍼를 부착하는 바 웨이퍼를 정확하게 부착시킬 수 있다. In the present invention according to an embodiment, the first check part is positioned between the upper plate part and the lower plate part to check the position of each wafer to first align the position of the wafer, and secondarily the position of the wafer from the lower side of the lower plate part It is possible to attach the wafer accurately by checking the bar to attach the wafer.

도 1은 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 정면도이다.
도 2는 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 제1체크부와 제2체크부의 동작을 나타낸 개념도이다.
도 3은 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 상부 부분으로, 상부플레이트부, 가압모터부, 클램프부의 정면도이다.
도 4는 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 클램프부의 일부 확대 동작도이다.
도 5는 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 제1체크부의 확대 사시도이다.
도 6은 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 제1체크부의 동작을 나타낸 도면이다.
도 7은 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 하부부분으로, 제2체크부, 얼라인동작부의 정면도이다.
도 8는 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 하부부분으로, 하부플레이트부, 하부리프트부의 확대도이다.1 is a front view of a vision hybrid alignment system according to the present invention according to an embodiment.
2 is a conceptual diagram illustrating the operation of the first check unit and the second check unit of the vision hybrid alignment system according to the present invention according to an embodiment.
3 is an upper part of the vision hybrid alignment system according to the present invention according to an embodiment, and is a front view of an upper plate part, a pressure motor part, and a clamp part.
4 is a partially enlarged operation diagram of a clamp unit of the vision hybrid alignment system according to the present invention according to an embodiment.
5 is an enlarged perspective view of the first check part of the vision hybrid alignment system according to the present invention according to an embodiment.
6 is a view illustrating the operation of the first check unit of the vision hybrid alignment system according to the present invention according to an embodiment.
7 is a lower part of the vision hybrid alignment system according to the present invention according to an embodiment, and is a front view of a second check unit and an alignment operation unit.
8 is an enlarged view of a lower portion of the vision hybrid alignment system according to the present invention, a lower plate portion, and a lower lift portion according to an embodiment.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예를 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.Since the present invention can apply various transformations and can have various embodiments, specific embodiments are illustrated and described in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all modifications, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention.

본 발명에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 발명에서, '포함하다' 또는 '가지다' 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. The terms used in the present invention are only used to describe specific embodiments, and are not intended to limit the present invention. The singular expression includes the plural expression unless the context clearly dictates otherwise. In the present invention, terms such as 'comprising' or 'having' are intended to designate that the features, numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof described in the specification exist, and one or more other features It should be understood that this does not preclude the existence or addition of numbers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 이 때, 첨부된 도면에서 동일한 구성 요소는 가능한 동일한 부호로 나타내고 있음에 유의한다. 또한, 본 발명의 요지를 흐리게 할 수 있는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략할 것이다. 마찬가지 이유로 첨부 도면에 있어서 일부 구성요소는 과장되거나 생략되거나 개략적으로 도시되었다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In this case, it should be noted that in the accompanying drawings, the same components are denoted by the same reference numerals as much as possible. In addition, detailed descriptions of well-known functions and configurations that may obscure the gist of the present invention will be omitted. For the same reason, some components are exaggerated, omitted, or schematically illustrated in the accompanying drawings.

도 1은 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 정면도이다.1 is a front view of a vision hybrid alignment system according to an embodiment of the present invention.

일 실시예에 의한 본 발명은 상부플레이트부(100), 하부플레이트부(200), 제1체크부(300), 제2체크부(400)를 포함한다. 이러한 구성은 전부 또는 일부가 적어도 진공이 되는 챔버 내에 위치된다. 따라서 진공 상태에서 제1패널과 제2패널은 접착될 수 있다.The present invention according to an embodiment includes an upper plate part 100 , a lower plate part 200 , a first check part 300 , and a second check part 400 . This arrangement is placed in a chamber, in whole or in part, at least in a vacuum. Accordingly, the first panel and the second panel may be adhered to each other in a vacuum state.

상부플레이트부(100)에는 제1패널이 배치될 수 있다. 상부플레이트부(100)는 적어도 일측에 제1정렬마크(110)가 배치될 수 있다. 제1정렬마크(110)는 후술할 제1체크부(300), 제2체크부(400)에 의하여 촬영되는 것으로 얼라인을 위하여 활용될 수 있다. 제1정렬마크(110)는 일례로 상부플레이트부(100)의 일면에 형성되며, 그 형상은 십자가의 형상일 수 있다. 그러나 제1정렬마크(110)의 형상은 당연하게도 사용자에 의하여 변형될 수 있다. 이하에서 제1정렬마크(110)는 설명의 편의를 위하여 십자가의 형상이라고 가정하여 설명하도록 하겠다.A first panel may be disposed on the upper plate part 100 . The first alignment mark 110 may be disposed on at least one side of the upper plate part 100 . The first alignment mark 110 is photographed by a first check unit 300 and a second check unit 400, which will be described later, and may be utilized for alignment. The first alignment mark 110 is, for example, formed on one surface of the upper plate part 100, and the shape may be a cross shape. However, the shape of the first alignment mark 110 may of course be deformed by the user. Hereinafter, the first alignment mark 110 will be described assuming the shape of a cross for convenience of description.

상부플레이트부(100)는 하측으로 이동될 수 있다. 상부플레이트의 하측 이동은 후술할 가압모터부(500) 등의 동작을 통하여 수행될 수 있다. 상부플레이트부(100)에는 상부플레이트부(100)의 일면과 타면을 관통하는 할로겐 히터가 배치될 수 있다. 할로겐 히터는 설정된 온도의 열을 인가하여 제1패널과 제2패널의 접착을 보조하는데 활용될 수 있다. 할로겐 히터의 위치는 상부플레이트부(100)를 관통되어 단부가 상부플레이트의 일면과 맞닿을 수 있도록 위치될 수 있다.The upper plate part 100 may be moved downward. The lower movement of the upper plate may be performed through the operation of the pressing motor unit 500, which will be described later. A halogen heater passing through one surface and the other surface of the upper plate part 100 may be disposed on the upper plate part 100 . The halogen heater may be used to assist adhesion between the first panel and the second panel by applying heat of a set temperature. The location of the halogen heater may be positioned so that the end of the halogen heater penetrates through the upper plate 100 and comes into contact with one surface of the upper plate.

또한, 상부플레이트부(100)는 접착부를 포함할 수 있다. 접착부는 상부플레이트부(100)의 일면에 배치된 것으로 제1패널이 상부플레이트부(100)에 배치된 경우, 제1패널이 상부플레이트부(100)에 부착되도록 할 수 있다. 즉, 미도시된 로딩부가 제1패널을 상부플레이트부(100)에 배치하면 접착부를 통하여 상부플레이트에 제1패널을 고정시킬 수 있다. In addition, the upper plate part 100 may include an adhesive part. The adhesive part is disposed on one surface of the upper plate part 100 , and when the first panel is disposed on the upper plate part 100 , the first panel may be attached to the upper plate part 100 . That is, when a loading part (not shown) arranges the first panel on the upper plate part 100 , the first panel can be fixed to the upper plate through the adhesive part.

하부플레이트부(200)는 제2패널이 배치될 수 있다. 하부플레이트부(200)는 상부플레이트부(100)와 이격된 위치에 위치될 수 있다. 하부플레이트부(200)도 상부플레이트부(100)와 마찬가지로 접착부가 배치될 수 있다. 접착부의 존재로 인하여 하부플레이트부(200)에는 제2패널이 배치될 수 있다.The lower plate part 200 may have a second panel disposed therein. The lower plate part 200 may be located at a position spaced apart from the upper plate part 100 . In the lower plate part 200 , similarly to the upper plate part 100 , an adhesive part may be disposed. Due to the presence of the adhesive part, the second panel may be disposed on the lower plate part 200 .

하부플레이트부(200)의 일면에는 제2정렬마크(210)가 형성될 수 있다. 제2정렬마크(210)는 일례로 십자가의 형상을 공간으로 두고 형성된 사각의 점일 수 있다. 제2정렬마크(210)는 제1정렬마크(110)와 동축에 배치됨이 바람직하다. 즉, 상부플레이트부(100)가 하부플레이트부(200)와 정렬되어 배치되고, 이를 하측에서 관찰하면 제2정렬마크(210)의 사이 공간에 제1정렬마크(110)가 배치된 형태로 배치될 수 있다. 즉, 십자가 형상에 사각의 점들이 십자가를 침범하지 않는 형상으로 배치될 수 있다. (제2정렬마크(210)의 형상도 제1정렬마크(110)와 같이 그 형상이 변형될 수 있음)A second alignment mark 210 may be formed on one surface of the lower plate part 200 . The second alignment mark 210 may be, for example, a square point formed with the shape of a cross as a space. The second alignment mark 210 is preferably coaxial with the first alignment mark 110 . That is, the upper plate part 100 is arranged in alignment with the lower plate part 200 , and when it is observed from the lower side, the first alignment mark 110 is arranged in the space between the second alignment marks 210 . can be That is, square points in the cross shape may be arranged in a shape that does not invade the cross. (The shape of the second alignment mark 210 may also be deformed like the first alignment mark 110)

하부플레이트부(200)의 제2정렬마크(210)는 적어도 IR이 투과될 수 있도록 IR이 투과되지 못하는 부분이 아닌 부분에 형성됨이 바람직하다.It is preferable that the second alignment mark 210 of the lower plate part 200 is formed in a portion other than the portion through which the IR cannot be transmitted so that at least the IR can be transmitted therethrough.

하부플레이트부(200)는 상부플레이트부(100)를 향하여 후술할 하부리프트부(800)를 통하여 이동될 수 있다. 또한, 후술할 얼라인동작부(700)를 통하여 그 위치가 변경될 수 있다.The lower plate part 200 may be moved toward the upper plate part 100 through a lower lift part 800 to be described later. Also, the position may be changed through an alignment operation unit 700 to be described later.

제1체크부(300)는 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이에 배치될 수 있도록 형성된다. 제1체크부(300)는 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)의 위치를 체크할 수 있다. 즉, 제1체크부(300)는 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이에 물리적으로 배치되어 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)의 위치를 얼라인한다. 제1체크부(300)를 통하여 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)가 얼라인되면 제1체크부(300)는 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이가 아닌 부분에 위치될 수 있다. The first check part 300 is formed to be disposed between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 . The first check unit 300 may check the positions of the upper plate unit 100 and the lower plate unit 200 . That is, the first check part 300 is physically disposed between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 to align the positions of the upper plate part 100 and the lower plate part 200 . When the upper plate part 100 and the lower plate part 200 are aligned through the first check part 300 , the first check part 300 is not between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 . It can be located in the part.

제2체크부(400)는 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)의 거리가 변경되는 방향과 동일한 축을 관찰하도록 동일한 축 상에 배치될 수 있다. 일례로 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)의 사이 거리가 변경되는 축이 z축인 경우, 제2체크부(400)는 하부플레이트부(200)의 하측에서 z축 방향을 관찰하도록 배치될 수 있다. The second check part 400 may be disposed on the same axis to observe the same axis as the direction in which the distance between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 is changed. For example, if the axis at which the distance between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 is changed is the z-axis, the second check part 400 is configured to observe the z-axis direction from the lower side of the lower plate part 200 . can be placed.

제2체크부(400)는 정밀한 얼라인을 수행한다. 즉, 제1체크부(300)가 물리적으로 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이에 위치될 수 거리로 이격된 후 그 이격된 거리가 좁혀지는 경우 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)의 위치를 체크하여 얼라인될 수 있도록 한다.The second check unit 400 performs precise alignment. That is, when the first check part 300 is spaced apart by a distance that can be physically located between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 and the spaced distance is narrowed, the upper plate part 100 and The position of the lower plate part 200 is checked so that it can be aligned.

이를 통하여 본 발명은 제1패널과 제2패널이 정확하게 부착될 수 있도록 한다. Through this, the present invention enables the first panel and the second panel to be accurately attached.

도 2는 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 제1체크부와 제2체크부의 동작을 나타낸 개념도이다.2 is a conceptual diagram illustrating the operation of the first check unit and the second check unit of the vision hybrid alignment system according to the present invention according to an embodiment.

본 발명인 제1체크부(300)와 제2체크부(400)의 동작을 보다 정밀하게 살펴보면 다음과 같다. The operation of the first check unit 300 and the second check unit 400 according to the present invention will be described in more detail as follows.

상부플레이트부(100)에 제1패널이 정렬되어 배치되고, 하부플레이트부(200)에 제2패널이 정렬되어 배치되면, 제1체크부(300)는 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이에 배치된다. 제1체크부(300)는 미도시되어 있는 제어부로 촬영한 데이터를 송부한다. 후술하여 구조를 자세하게 설명하겠지만, 제1체크부(300)는 동축 방향을 촬영할 수 있다. 즉, 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이에 제1체크부(300)가 배치되면 제1체크부(300)는 z축을 기준으로 상측과 하측을 수직하게 촬영할 수 있다. When the first panel is arranged and arranged on the upper plate part 100 and the second panel is arranged and arranged on the lower plate part 200 , the first check part 300 is the upper plate part 100 and the lower plate part. It is placed between 200. The first check unit 300 transmits the captured data to a control unit (not shown). Although the structure will be described in detail later, the first check unit 300 may photograph the coaxial direction. That is, when the first check part 300 is disposed between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 , the first check part 300 can photograph the upper and lower sides vertically with respect to the z-axis.

제1체크부(300)는 동축으로 촬영된 데이터를 제어부로 송신하고, 제어부는 제1체크부(300)가 상부플레이트부(100)를 촬영한 데이터와 하부플레이트부(200)를 촬영한 데이터가 동축을 기준으로 촬영된 것임을 신뢰하여 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)의 얼라인 동작을 수행할 수 있다.The first check unit 300 transmits coaxially photographed data to the control unit, and the control unit includes data obtained by photographing the upper plate unit 100 by the first check unit 300 and data photographed by the lower plate unit 200 . The alignment operation of the upper plate part 100 and the lower plate part 200 can be performed by trusting that the photograph is taken based on the movable axis.

한편, 제1체크부(300)가 촬영하는 것은 제1정렬마크(110)와 제2정렬마크(210)일 수 있으며, 제어부는 제1정렬마크(110)와 제2정렬마크(210)를 이용하여 얼라인할 수 있다. On the other hand, what the first check unit 300 shoots may be the first alignment mark 110 and the second alignment mark 210 , and the control unit selects the first alignment mark 110 and the second alignment mark 210 . can be used to align.

한편, 제1체크부(300)는 대칭되는 위치에 형성됨이 바람직하다. 그 이유는 상부플레이트부(100), 하부플레이트부(200)가 틸트된 경우가 있으며, 제1체크부(300)가 제1정렬마크(110), 제2정렬마크(210)를 촬영한 것을 기반으로 얼라인이 수행되므로, 촬영한 데이터에 가능성은 작지만 오류가 있을 수 있기 때문이다.On the other hand, the first check unit 300 is preferably formed at a symmetrical position. The reason is that there is a case where the upper plate part 100 and the lower plate part 200 are tilted, and the first check part 300 photographed the first alignment mark 110 and the second alignment mark 210 . This is because, although the possibility is small, there may be errors in the captured data because alignment is performed based on the alignment.

여기서, 제어부는 후술할 얼라인동작부(700)를 동작하여 위치를 정렬할 수 있으며, 또는 클램프부(600)를 다시 동작시켜, 상부플레이트부(100)에 제1패널이 제대로 얼라인되어 위치되도록 할 수도 있다. Here, the control unit may operate the alignment operation unit 700 to be described later to align the positions, or may operate the clamp unit 600 again to properly align the first panel to the upper plate unit 100 and position it you might as well make it

제1체크부(300)를 이용하여 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)의 1차 얼라인이 종료되면, 제2체크부(400)가 동작될 수 있다.When the primary alignment of the upper plate part 100 and the lower plate part 200 using the first check part 300 is finished, the second check part 400 may be operated.

제2체크부(400)는 전술한 바와 같이 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)의 거리가 변경되는 방향을 축(z축)을 향하여 배치되어 있다. 일례로 제2체크부(400)는 하부플레이트부(200)의 하측에서 배치되어 직선의 상측을 촬영하도록 배치된다. 따라서 제2체크부(400)는 제1정렬마크(110)와 제2정렬마크(210)를 동시에 촬영할 수 있다. 즉, 제2체크부(400)는 제1정렬마크(110)와 제2정렬마크(210)가 중첩되도록 촬영할 수 있다. As described above, the second check part 400 is disposed toward the axis (z-axis) in the direction in which the distance between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 is changed. For example, the second check unit 400 is disposed below the lower plate unit 200 to photograph the upper side of the straight line. Accordingly, the second check unit 400 may simultaneously photograph the first alignment mark 110 and the second alignment mark 210 . That is, the second check unit 400 may take a picture so that the first alignment mark 110 and the second alignment mark 210 overlap.

그러므로 제1체크부(300)가 물리적인 크기로 인하여 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이에 위치되지 못하는 그 순간까지도 제2체크부(400)는 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)의 위치를 촬영할 수 있다. Therefore, even to the moment when the first check part 300 is not located between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 due to the physical size, the second check part 400 is the upper plate part 100 and The position of the lower plate part 200 may be photographed.

제어부는 제2체크부(400)로부터 데이터를 수신하여 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)의 위치가 변경되는지 등을 체크하고, 이를 수정하는 얼라인 동작을 수행하도록 할 수 있다. 여기서 제어부는 전술한 바와 같이 얼라인동작부(700) 또는 클램프부(600)를 움직여 얼라인 동작을 수행할 수 있다.The control unit may receive data from the second check unit 400 , check whether the positions of the upper plate unit 100 and the lower plate unit 200 change, and perform an alignment operation to correct this. Here, the controller may perform the alignment operation by moving the alignment operation unit 700 or the clamp unit 600 as described above.

이후 제1패널과 제2패널이 정위치에 정렬되며 맞닿게 되는 경우, 제1패널과 제2패널의 부착이 수행되게 된다.Thereafter, when the first panel and the second panel are aligned in a fixed position and come into contact with each other, the attachment of the first panel and the second panel is performed.

위와 같은 효과를 발휘하는 본 발명의 구성을 이하에서는 상부 부분부터 하부 부분 순으로 시점을 변경하며 설명하도록 하겠다. Hereinafter, the configuration of the present invention exhibiting the above effects will be described by changing the viewpoint from the upper part to the lower part.

도 3은 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 상부 부분으로, 상부플레이트부, 가압모터부, 클램프부의 정면도이다.3 is an upper part of the vision hybrid alignment system according to the present invention according to an embodiment, and is a front view of an upper plate part, a pressure motor part, and a clamp part.

본 발명의 상부 부분은 가압모터부(500), 클램프부(600), 상부플레이트부(100)를 포함할 수 있다.The upper portion of the present invention may include a pressure motor unit 500 , a clamp unit 600 , and an upper plate unit 100 .

여기서 가압모터부(500)는 상부플레이트부(100)와 연결되어 상부플레이트부(100)를 직선의 방향으로 이동시킬 수 있다. 여기서 가압모터부(500)는 위치의 효율성, 그리고 효율적인 동력 전달을 위하여 기어가 맞물린 엑츄에이터와 연결되어 상부플레이트부(100)와 연결될 수 있다. Here, the pressure motor unit 500 may be connected to the upper plate unit 100 to move the upper plate unit 100 in a straight direction. Here, the pressure motor unit 500 may be connected to the upper plate unit 100 by being connected to an actuator engaged with a gear for positional efficiency and efficient power transmission.

상부플레이트부(100)는 접착부를 포함할 수 있다. 여기서 접착부는 상부플레이트부(100)의 일면에 배치되는 접착지그(120)일 수 있다. 즉, 접착지그(120)는 스티키 패드가 설정된 형상으로 배치되어 있으며, 제1패널이 배치되는 경우 접착을 통하여 제1패널은 고정될 수 있다. 그리고 접착지그(120)는 상부플레이트부(100)에 고정될 수 있다. 접착지그(120)가 상부플레이트부(100)에 고정되는 것은 클램프부(600)를 통하여 고정될 수 있다.The upper plate part 100 may include an adhesive part. Here, the adhesive part may be an adhesive jig 120 disposed on one surface of the upper plate part 100 . That is, the adhesive jig 120 is disposed in a shape in which the sticky pad is set, and when the first panel is disposed, the first panel may be fixed through bonding. In addition, the adhesive jig 120 may be fixed to the upper plate part 100 . The fixing of the adhesive jig 120 to the upper plate part 100 may be fixed through the clamp part 600 .

도 4는 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 클램프부의 일부 확대 동작도이다.4 is a partially enlarged operation diagram of a clamp unit of a vision hybrid alignment system according to an embodiment of the present invention.

클램프부(600)는 클램프모터(610), 연결바(620), 중간체(630), 연결부(640), 슬라이딩부(650), 그립부(660)를 포함할 수 있다.The clamp unit 600 may include a clamp motor 610 , a connection bar 620 , an intermediate body 630 , a connection unit 640 , a sliding unit 650 , and a grip unit 660 .

클램프모터(610)는 전원이 공급되면 회전 동력을 전달할 수 있다. 클램프모터(610)는 연결바(620)와 연결되어 있다. 연결바(620)는 리니어하게 이동될 수 있는 가이드바일 수 있다. 따라서 연결바(620)는 클램프모터(610)의 일방향 회전을 통하여 상측으로 이동될 수 있으며, 타방향 회전을 통하여 하측으로 이동될 수 있다.The clamp motor 610 may transmit rotational power when power is supplied. The clamp motor 610 is connected to the connection bar 620 . The connecting bar 620 may be a guide bar that can be moved linearly. Accordingly, the connecting bar 620 may be moved upward through rotation of the clamp motor 610 in one direction, and may be moved downward through rotation in the other direction.

연결바(620)의 타단부에는 중간체(630)가 연결될 수 있다. 중간체(630)는 장홈이 형성되어 있다. 중간체(630)는 연결바(620)와 함께 동작될 수 있다. 즉, 연결바(620)가 상측으로 이동되면 중간체(630)도 상측으로 이동되고, 하측으로 이동되면 동일하게 움직일 수 있다. 중간체(630)의 장홈에는 슬라이딩부(650)가 배치된다.An intermediate body 630 may be connected to the other end of the connecting bar 620 . The intermediate body 630 is formed with a long groove. The intermediate body 630 may be operated together with the connection bar 620 . That is, when the connecting bar 620 is moved upward, the intermediate body 630 is also moved upward, and when the connecting bar 620 is moved downward, it can move in the same way. A sliding part 650 is disposed in the long groove of the intermediate body 630 .

슬라이딩부(650)의 일측은 중간체(630)의 장홈에 배치되고, 타측은 연결부(640)에 힌지 연결될 수 있다. 연결부(640)는 상부플레이트부(100)의 측면에 배치되어 슬라이드 이동되도록 배치된다. 그리고, 연결부(640)를 기준으로 슬라이딩부(650)와 대칭되는 위치에는 그립부(660)가 대칭되는 위치에 배치된다. One side of the sliding part 650 may be disposed in the long groove of the intermediate body 630 , and the other side may be hingedly connected to the connection part 640 . The connection part 640 is disposed on the side surface of the upper plate part 100 to be slidably moved. In addition, the grip part 660 is disposed at a position symmetrical to the sliding part 650 with respect to the connection part 640 .

슬라이딩부(650)는 중간체(630)의 이동에 따라 장홈을 이동할 수 있다. 즉, 중간체(630)가 하측으로 이동되면 슬라이딩부(650)는 좌측으로 이동되고, 그로 인하여 힌지 연결된 연결부(640)를 하측으로 이동시키게 된다. (반대편에 클램프부(600)가 이동되면 슬라이딩부(650)의 우측으로 이동)The sliding part 650 may move the long groove according to the movement of the intermediate body 630 . That is, when the intermediate body 630 is moved downward, the sliding part 650 is moved to the left, thereby moving the hinged connection part 640 downward. (If the clamp part 600 is moved to the opposite side, it moves to the right side of the sliding part 650)

이 때 그립부(660)는 연결부(640)의 이동에 따라 반시계 방향으로 연결부(640)를 기준으로 회전되며, 접착지그(120)를 그립할 수 있다. 그와 반대로 동작되는 경우 슬라이딩부(650)는 우측으로 이동되고, 그로인하여 연결부(640)는 상측으로 이동되며, 그립부(660)는 반시계방향으로 이동될 수 있다. (그리고 그립부(660)도 그 배치된 위치에 따라 시계와 반시계 방향은 상대적일 수 있음에 유의하여야 함)At this time, the grip part 660 is rotated in a counterclockwise direction based on the connection part 640 according to the movement of the connection part 640 , and may grip the adhesive jig 120 . In the opposite case, the sliding unit 650 may be moved to the right, thereby the connecting unit 640 may be moved upward, and the gripping unit 660 may be moved in a counterclockwise direction. (It should be noted that the clockwise and counterclockwise directions may also be relative depending on the location of the grip part 660)

한편, 본 발명인 클램프부(600)는 상부플레이트부(100)를 기준으로 양측에 대칭되는 위치에 배치될 수 있다. 여기서 상부플레이트부(100)를 중심으로 클램프부(600)는 대각이 되는 위치에 위치될 수 있다. Meanwhile, the clamp unit 600 according to the present invention may be disposed at positions symmetrical to both sides with respect to the upper plate unit 100 . Here, the clamp part 600 may be positioned at a diagonal position with respect to the upper plate part 100 .

상술한 클램프부(600)의 동작을 통하여 접착지그(120)는 상부플레이트부(100)에 고정되거나 이탈될 수 있다. Through the above-described operation of the clamp unit 600 , the adhesive jig 120 may be fixed to or separated from the upper plate unit 100 .

또한, 클램프부(600)는 하부플레이트부(200)에도 동일하게 적용되어 하부플레이트부(200)에 배치된 접착지그(120)를 동일한 방식으로 고정할 수 있다. 이에 대한 설명은 전술한 바와 동일한 바 이하에서는 생략하도록 하겠다.In addition, the clamp unit 600 may be equally applied to the lower plate unit 200 to fix the adhesive jig 120 disposed on the lower plate unit 200 in the same manner. A description thereof is the same as described above and will be omitted below.

도 5는 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 제1체크부의 확대 사시도이다. 5 is an enlarged perspective view of the first check part of the vision hybrid alignment system according to the present invention according to an embodiment.

도 6은 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 제1체크부의 동작을 나타낸 도면이다.6 is a view showing the operation of the first check unit of the vision hybrid alignment system according to the present invention according to an embodiment.

제1체크부(300)는 회전인가부(310), 제1카메라부(320), 경통부(330), 발광부(340)를 포함한다. 제1체크부(300)는 정밀한 위치 체크를 위하여 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이에 정확한 위치에 위치되어야 하는 바, 수직 방향으로는 이동되지 않고, 반경방향으로 이동되며, 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이에 위치되도록 형성됨이 바람직하다.The first check unit 300 includes a rotation applying unit 310 , a first camera unit 320 , a barrel unit 330 , and a light emitting unit 340 . The first check unit 300 is to be located at an accurate position between the upper plate unit 100 and the lower plate unit 200 for precise position check, and is not moved in the vertical direction, but is moved in the radial direction, Preferably, it is formed to be positioned between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 .

회전인가부(310)는 모터일 수 있다. 회전인가부(310)인 모터의 샤프트에 기어가 설치되고, 기어의 둘레에 벨트가 배치되고, 이 벨트가 다시 경통부(330)를 둘러싸며 배치되어 모터의 회전으로 경통부(330)를 회전시킬 수 있다. The rotation applying unit 310 may be a motor. A gear is installed on the shaft of the motor, which is the rotation applying unit 310, a belt is arranged around the gear, and the belt is arranged to surround the barrel 330 again to rotate the barrel 330 by the rotation of the motor. there is.

제1카메라부(320)는 지속적으로 특정 부분을 촬영할 수 있다. 즉, 제1카메라부(320)는 경통부(330) 내를 촬영할 수 있다. 제1카메라부(320)와 이격되는 위치에는 발광부(340)가 배치될 수 있다. 발광부(340)는 경통부(330) 내로 빛을 인가한다.The first camera unit 320 may continuously photograph a specific part. That is, the first camera unit 320 may photograph the inside of the barrel unit 330 . The light emitting unit 340 may be disposed at a position spaced apart from the first camera unit 320 . The light emitting unit 340 applies light into the barrel 330 .

경통부(330)는 제1카메라부(320)와 연결되어, 제1카메라부(320)가 제1정렬마크(110)와 제2정렬마크(210)를 확대하여 촬영할 수 있도록 한다. 경통부(330)는 미도시되어 있으나, 렌즈부가 배치되어 제1카메라부(320)가 촬영하는 부분을 확대하여 촬영할 수 있도록 할 수 있다. The barrel unit 330 is connected to the first camera unit 320 so that the first camera unit 320 can enlarge the first alignment mark 110 and the second alignment mark 210 to take pictures. Although the barrel 330 is not shown, a lens unit may be disposed so that a portion photographed by the first camera unit 320 may be enlarged and photographed.

또한 경통부(330) 내에는 두 개의 채널이 형성될 수 있다. 하나의 채널은 상부플레이트부(100) 방향과 연통되며 형성될 수 있고, 다른 하나의 채널은 하부플레이트부(200) 방향과 연통되며 형성될 수 있다. 이러한 경통부(330)는 외부경통(331)과 내부경통(332)으로 구성될 수 있다. In addition, two channels may be formed in the barrel 330 . One channel may be formed in communication with the direction of the upper plate part 100 , and the other channel may be formed in communication with the direction of the lower plate part 200 . The barrel 330 may include an external barrel 331 and an internal barrel 332 .

외부경통(331)은 전술한 회전인가부(310)와 연결될 수 있으며, 내부경통(332)은 외부경통(331)과 연결되어 외부경통(331)과 함께 이동될 수 있다. 즉, 전술한 회전인가부(310)의 벨트가 외부경통(331)에 감겨 배치될 수 있다. The external barrel 331 may be connected to the above-described rotation applying unit 310 , and the internal barrel 332 may be connected to the external barrel 331 and move together with the external barrel 331 . That is, the belt of the above-described rotation applying unit 310 may be wound around the outer barrel 331 .

외부경통(331)과 내부경통(332)은 교차되는 방향으로 배치될 수 있다. 즉, 도면에서 확인할 수 있는 바와 같이 회전인가부(310)가 외부경통(331)을 일방향으로 회전시키면 내부경통(332)은 함께 회전되어 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이에 위치될 수 있으며, 반대로 회전되는 경우 그 위치에서 이탈되도록 구성될 수 있다. 여기서, 적어도 내부경통(332)에는 전술한 두 갈래의 채널이 형성되고, 각각의 채널과 연통되는 위치에 각각 축방향을 향하여 형성된 관통홀이 형성된다.The outer barrel 331 and the inner barrel 332 may be disposed in an intersecting direction. That is, as can be seen in the drawing, when the rotation applying unit 310 rotates the outer barrel 331 in one direction, the inner barrel 332 is rotated together and between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 . It may be positioned, and may be configured to deviate from its position when rotated in the opposite direction. Here, at least the inner barrel 332 is formed with the aforementioned two-pronged channels, and through holes formed in the axial direction are formed at positions communicating with the respective channels.

이를 통하여 본 발명의 제1체크부(300)는 제1정렬마크(110)와 제2정렬마크(210)를 촬영할 수 있다. Through this, the first check unit 300 of the present invention can photograph the first alignment mark 110 and the second alignment mark 210 .

제1카메라부(320)는 전원 공급으로 인하여 경통부(330)를 내측을 촬영할 수 있다. 회전인가부(310)는 경통부(330)를 회전시킨다. 그러면 내부경통(332)은 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이에 위치될 수 있다. 여기서 발광부(340)는 경통부(330)로 빛을 인가하여 제1카메라부(320)가 보다 정확한 촬영을 하도록 할 수 있다. The first camera unit 320 may photograph the inside of the barrel unit 330 due to power supply. The rotation applying unit 310 rotates the barrel 330 . Then, the inner barrel 332 may be positioned between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 . Here, the light emitting unit 340 may apply light to the barrel 330 so that the first camera unit 320 may take a more accurate picture.

내부경통(332)의 관통홀은 제1정렬마크(110) 및 제2정렬마크(210)와 동축에 위치되도록 회전인가부(310)는 일방향 또는 타방향으로 경통부(330)를 회전시킬 수 있다. 제1카메라부(320)는 제1정렬마크(110)와 제2정렬마크(210)를 동시에 촬영한다. 제어부는 제1카메라부(320)가 촬영한 데이터를 수신한다. 그 후 제1정렬마크(110)와 제2정렬마크(210)를 정렬하도록 상부플레이트 또는 하부플레이트를 움직일 수 있다.The rotation applying unit 310 may rotate the barrel 330 in one direction or the other so that the through hole of the inner barrel 332 is located on the same axis as the first alignment mark 110 and the second alignment mark 210 . . The first camera unit 320 simultaneously photographs the first alignment mark 110 and the second alignment mark 210 . The control unit receives data captured by the first camera unit 320 . Thereafter, the upper plate or the lower plate may be moved to align the first alignment mark 110 and the second alignment mark 210 .

만약 제1정렬마크(110)와 제2정렬마크(210)가 정위치에 정렬되면, 회전인가부(310)는 경통부(330)를 회전시켜 내부경통(332)이 상부플레이트부(100)와 하부플레이트 사이에 위치되지 않도록 할 수 있다. 그 후 가압모터부(500)가 동작되어 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이를 좁히도록 동작될 수 있다. If the first alignment mark 110 and the second alignment mark 210 are aligned in their original positions, the rotation applying unit 310 rotates the barrel 330 so that the inner barrel 332 is aligned with the upper plate part 100 . It may not be positioned between the lower plates. Thereafter, the pressing motor unit 500 may be operated to narrow the gap between the upper plate unit 100 and the lower plate unit 200 .

도 7은 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 하부부분으로, 제2체크부, 얼라인동작부의 정면도이다.7 is a lower part of the vision hybrid alignment system according to the present invention according to an embodiment, and is a front view of a second check unit and an alignment operation unit.

제2체크부(400)는 하부플레이트부(200)의 하측에 위치될 수 있다.The second check part 400 may be located below the lower plate part 200 .

제2체크부(400)는 제2카메라부(410)를 포함한다. 여기서 제2카메라부(410)는 IR카메라일 수 있다. 제2체크부(400)는 수평이동부(420)와 연결될 수 있다. 즉, 제2카메라부(410)는 설정된 길이를 가지는데, 제2카메라부(410)의 둘레를 감싸는 고정브라켓이 제2카메라부(410)를 감싸며 배치되고, 모터에 의하여 X, Y축(상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200) 사이의 길이가 변화되는 축을 Z축이라고 가정)을 이동될 수 있는 스테이지와 연결될 수 있다. 따라서 모터의 동작으로 제2카메라부(410)는 X, Y축을 기준으로 이동될 수 있다. The second check unit 400 includes a second camera unit 410 . Here, the second camera unit 410 may be an IR camera. The second check unit 400 may be connected to the horizontal moving unit 420 . That is, the second camera unit 410 has a set length, and a fixing bracket surrounding the periphery of the second camera unit 410 is disposed to surround the second camera unit 410, and the X and Y axes ( Assuming that the axis in which the length between the upper plate part 100 and the lower plate part 200 is changed is the Z-axis), it may be connected to a movable stage. Accordingly, by the operation of the motor, the second camera unit 410 may be moved based on the X and Y axes.

그리고 수평이동부(420)는 다시 교차축이동부(430)와 연결될 수 있다. 교차축이동부(430)는 수평이동부(420)와 연결되어 있을 수 있다. 따라서 수평이동부(420) 자체를 Z축으로 이동시킬 수 있다. 그러므로 제2카메라부(410)도 Z축을 따라서 이동될 수 있다.In addition, the horizontal moving unit 420 may be connected to the cross-axis moving unit 430 again. The cross-axis moving unit 430 may be connected to the horizontal moving unit 420 . Therefore, the horizontal moving unit 420 itself can be moved in the Z-axis. Therefore, the second camera unit 410 may also be moved along the Z-axis.

제2카메라부(410)는 하부플레이트부(200)의 하측에 위치되어 상측을 향하여 촬영할 수 있다. 따라서 전술한 바와 같이 하부플레이트부(200)와 상부플레이트부(100)에 형성된 제2정렬마크(210), 제2정렬마크(210)를 중첩시켜 촬영할 수 있다. 제어부는 제2카메라부(410)를 통하여 촬영된 데이터를 수신하여 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)의 위치를 지속적으로 정렬할 수 있다.The second camera unit 410 may be positioned below the lower plate unit 200 to photograph upward. Therefore, as described above, the second alignment mark 210 and the second alignment mark 210 formed on the lower plate part 200 and the upper plate part 100 may be superimposed and photographed. The control unit may receive the captured data through the second camera unit 410 to continuously align the positions of the upper plate unit 100 and the lower plate unit 200 .

여기서, 제2카메라부(410)와 하부플레이트부(200)는 얼라인동작부(700)의 일면에 배치될 수 있다. 얼라인동작부(700)는 X, Y 및 각도를 틸트할 수 있는 UVW스테이지일 수 있다. 따라서 제어부는 제2카메라부(410)가 촬영한 데이터를 이용하여 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)의 위치를 체크하고, 얼라인동작부(700)를 동작시켜, 하부플레이트부(200)를 이동시켜 얼라인할 수 있다.Here, the second camera unit 410 and the lower plate unit 200 may be disposed on one surface of the alignment operation unit 700 . The alignment operation unit 700 may be a UVW stage capable of tilting X, Y, and an angle. Therefore, the control unit checks the positions of the upper plate part 100 and the lower plate part 200 using the data photographed by the second camera part 410 , and operates the align operation part 700 to operate the lower plate part It can be aligned by moving (200).

도 8는 일 실시예에 의한 본 발명인 비젼 하이브리드 얼라인 시스템의 하부부분으로, 하부플레이트부, 하부리프트부의 확대도이다.8 is an enlarged view of a lower portion of the vision hybrid alignment system according to the present invention, a lower plate portion, and a lower lift portion according to an embodiment.

제1체크부(300)와 제2체크부(400)를 통하여 상부플레이트부(100)와 하부플레이트부(200)가 정렬된 것으로 인식되면, 하부리프트부(800)가 동작될 수 있다. 하부리프트부(800)는 모터의 동작에 따라 Z축 방향으로 이동되는 리프트샤프트를 포함할 수 있다. 하부플레이트부(200)의 단부는 리프트샤프트에 연결되어 있다. 즉, 하부리프트는 하부플레이트부(200)와 제2체크부(400) 사이를 폐쇄하지 않는 위치에 위치된다. 하부플레이트부(200)의 얼라인이 완료되면 모터가 동작되어 하부플레이트부(200)를 수직 방향으로 이동시킬 수 있다.
리프트샤프트는 하부플레이트부(200)의 양단부에 형성된 홀에 인입될 수 있다. 리프트샤프트는 도 8에서 확인할 수 있듯이 직선방향을 따라서 형성되다가 단부측(상측)에서 내측(하부플레이트부(200)방향)으로 절곡되며 형성된다.When it is recognized that the upper plate part 100 and the lower plate part 200 are aligned through the first check part 300 and the second check part 400, the lower lift part 800 may be operated. The lower lift unit 800 may include a lift shaft that is moved in the Z-axis direction according to the operation of the motor. An end of the lower plate part 200 is connected to the lift shaft. That is, the lower lift is located at a position that does not close between the lower plate part 200 and the second check part 400 . When the alignment of the lower plate part 200 is completed, the motor may be operated to move the lower plate part 200 in the vertical direction.
The lift shaft may be introduced into a hole formed at both ends of the lower plate part 200 . As can be seen in FIG. 8 , the lift shaft is formed along a straight line and is bent from the end side (upper side) to the inside (lower plate portion 200 direction).

여기서, 하부리프트부(800)는 얼라인동작부(700)와 연결되지 않는 위치에 위치됨이 바람직하다. (일례로 외부 프레임) 따라서 하부리프트부(800)는 정렬된 하부플레이트부(200)를 Z축 방향으로 이동시켜 제1패널과 제2패널이 맞닿도록 할 수 있다.Here, the lower lift unit 800 is preferably located at a position not connected to the align operation unit 700 . (External frame for example) Accordingly, the lower lift unit 800 may move the aligned lower plate unit 200 in the Z-axis direction so that the first panel and the second panel come into contact with each other.

제1패널과 제2패널이 이와 같이 맞닿게 되면, 전술한 할로겐 히터가 동작되어 제1패널과 제2패널를 임시로 접착한 후, 최종적으로 제1패널과 제2패널을 접착할 수 있다. When the first panel and the second panel come into contact in this way, the above-described halogen heater is operated to temporarily bond the first panel and the second panel, and finally, the first panel and the second panel may be bonded.

이상, 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서, 구성 요소의 부가, 변경, 삭제 또는 추가 등에 의해 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있을 것이며, 이 또한 본 발명의 권리범위 내에 포함된다고 할 것이다.In the above, an embodiment of the present invention has been described, but those of ordinary skill in the art can add, change, delete or add components within the scope that does not depart from the spirit of the present invention described in the claims. It will be possible to variously modify and change the present invention by, etc., which will also be included within the scope of the present invention.

100 : 상부플레이트부
110 : 제1정렬마크
120 : 접착지그
200 : 하부플레이트부
210 : 제2정렬마크
300 : 제1체크부
310 : 회전인가부
320 : 제1카메라부
330 : 경통부
331 : 외부경통
332 : 내부경통
340 : 발광부
400 : 제2체크부
410 : 제2카메라부
420 : 수평이동부
430 : 교차축이동부
500 : 가압모터부
600 : 클램프부
610 : 클램프모터
620 : 연결바
630 : 중간체
640 : 연결부
650 : 슬라이딩부
660 : 그립부
700 : 얼라인동작부
800 : 하부리프트부100: upper plate part
110: first alignment mark
120: adhesive jig
200: lower plate part
210: second alignment mark
300: first check unit
310: rotation application
320: first camera unit
330: light barrel
331: external barrel
332: inner barrel
340: light emitting part
400: second check unit
410: second camera unit
420: horizontal moving part
430: cross axis moving part
500: pressurized motor unit
600: clamp part
610: clamp motor
620: connection bar
630: intermediate
640: connection
650: sliding part
660: grip part
700: align operation part
800: lower lift part

Claims (8)

제1패널이 배치되는 상부플레이트부;
상기 상부플레이트와 이격된 위치에 배치되며, 제2패널이 배치되는 하부플레이트부;
상기 상부플레이트부와 하부플레이트부 사이에 위치될 수 있으며, 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부의 위치를 체크하는 제1체크부; 및
상기 상부플레이트부와 하부플레이트부 사이의 거리가 변경되는 방향과 동일한 축 상에 배치되어, 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부를 동시에 체크하며 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부의 위치를 체크하는 제2체크부를 포함하며
상기 제1체크부는
상기 상부플레이트부와 상기 하부플레이트부 사이에 배치되며 수평방향으로 회전될 수 있는 내부경통과, 상기 내부경통의 일측에서 상기 내부경통이 배치된 방향과 교차되는 방향으로 연결되며 축을 기준으로 자전될 수 있는 외부경통과, 상기 외부경통의 일측에서 상기 외부경통에 회전력을 인가할 수 있는 회전인가부와 상기 외부경통을 감싸는 형태로 연결되는 밸트 및 상기 외부경통에 연결되어 상기 외부경통과 상기 내부경통을 통하여 촬영하는 제1카메라부를 포함하며,
상기 제2체크부는
상기 상부플레이트부와 상기 하부플레이트부를 관통하도록 배치되는 제2카메라부를 포함하며,
상기 하부플레이트부의 단부에는 홀이 형성되며, 상기 제2카메라부보다 외측에서 상기 하부플레이트부 방향으로 직선방향을 따라서 형성되다 단부측에서 내측으로 절곡되며 상기 하부플레이트부의 홀에 인입되어 끼워져서 상기 하부플레이트부를 상기 상부플레이트부 방향으로 이동시킬 수 있는 리프트샤프트를 포함하는 하부리프트부를 포함하는 것
을 특징으로 하는 비젼 하이브리드 얼라인 시스템.an upper plate portion on which the first panel is disposed;
a lower plate portion disposed at a position spaced apart from the upper plate and on which a second panel is disposed;
a first check part that may be positioned between the upper plate part and the lower plate part, and checks the positions of the upper plate part and the lower plate part; and
A second check part disposed on the same axis as the direction in which the distance between the upper plate part and the lower plate part is changed, checking the upper plate part and the lower plate part at the same time, and checking the positions of the upper plate part and the lower plate part includes
The first check unit
An inner tube disposed between the upper plate portion and the lower plate portion and capable of being rotated in a horizontal direction, and one side of the inner tube is connected in a direction crossing the direction in which the inner tube is disposed and rotates about the axis. an external barrel, a rotation applying part capable of applying a rotational force to the external barrel from one side of the external barrel, a belt connected to surround the external barrel, and the external barrel connected to the external barrel and the inner barrel It includes a first camera unit for taking pictures through,
The second check unit
and a second camera part disposed to pass through the upper plate part and the lower plate part,
A hole is formed at the end of the lower plate part, is formed along a straight line from the outside of the second camera part in the direction of the lower plate part, is bent inward from the end side, and is inserted into the hole of the lower plate part and inserted into the lower part of the lower plate part. Including a lower lift part including a lift shaft capable of moving the plate part in the direction of the upper plate part
Vision hybrid alignment system, characterized by. 제1항에 있어서,
상기 제1체크부는
상기 상부플레이트부와 하부플레이트부 사이에 위치되어 상부플레이트부에 표시된 제1정렬마크와 하부플레이트에 표시된 제2정렬마크를 동시에 체크하는 것
을 특징으로 하는 비젼 하이브리드 얼라인 시스템.According to claim 1,
The first check unit
Checking the first alignment mark displayed on the upper plate portion and the second alignment mark displayed on the lower plate located between the upper plate portion and the lower plate portion at the same time
Vision hybrid alignment system, characterized by. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 상부플레이트부와 하부플레이트부에는 각각 제1정렬마크와 제2정렬마크가 동일한 축을 따라 배치되어 있으며,
상기 제2체크부는 상기 제1정렬마크와 제2정렬마크를 동시에 관통하여 체크할 수 있는 것
을 특징으로 하는 비젼 하이브리드 얼라인 시스템.According to claim 1,
A first alignment mark and a second alignment mark are respectively disposed along the same axis on the upper plate portion and the lower plate portion,
The second check unit can check through the first alignment mark and the second alignment mark at the same time
Vision hybrid alignment system, characterized by. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 제1체크부와 제2체크부와 연결되어 상기 상부플레이트부와 하부플레이트부의 위치를 체크하여 상기 상부플레이트부 또는 하부플레이트부의 위치를 정렬하는 제어부를 더 포함하는 것
을 특징으로 하는 비젼 하이브리드 얼라인 시스템.According to claim 1,
Further comprising a control unit connected to the first check part and the second check part to check the positions of the upper plate part and the lower plate part to align the positions of the upper plate part or the lower plate part
Vision hybrid alignment system, characterized by.
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