KR101631028B1 - Bonding apparatus for display - Google Patents

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KR101631028B1
KR101631028B1 KR1020150070471A KR20150070471A KR101631028B1 KR 101631028 B1 KR101631028 B1 KR 101631028B1 KR 1020150070471 A KR1020150070471 A KR 1020150070471A KR 20150070471 A KR20150070471 A KR 20150070471A KR 101631028 B1 KR101631028 B1 KR 101631028B1
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lifting
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KR1020150070471A
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정종범
한경준
서한기
정부영
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(주)다스
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Abstract

An objective of the present invention is to provide a bonding device for a display capable of aligning a position of a display panel with that of a transparent cover without degrading a bonding property toward a target. The bonding device for a display according to an embodiment of the present invention can comprise: a camera module which takes an image of a panel alignment mark provided on a display panel and a cover alignment mark provided on a transparent cover between a lower chamber module supporting the display panel and an upper chamber module supporting the transparent cover; and an aligning module which aligns a position of the panel alignment mark with that of the cover alignment mark based on the image taken by the camera module. According to the present invention, a volume of a bonding space for bonding the display panel with the transparent cover is minimized, and a vacuum forming time is decreased. Therefore, it is possible to decrease a tact time of a bonding process.

Description

디스플레이용 합착 장치{BONDING APPARATUS FOR DISPLAY}[0001] BONDING APPARATUS FOR DISPLAY [0002]

본 발명은 디스플레이용 합착 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는, 디스플레이 패널과 투명 커버를 합착하기 위한 디스플레이용 합착 장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a cohesive device for a display, and more particularly, to a cohesive device for a display for attaching a display panel and a transparent cover.

최근 들어, 반도체 산업 중 디스플레이 산업이 급속도로 발전하면서 평판 디스플레이 장치가 개발 및 상용화되고 있다. 여기서, 평판 디스플레이 장치로는 액정 디스플레이 장치, 플라즈마 디스플레이 장치, 유기 발광 디스플레이 장치, 전기 영동 디스플레이 장치, 전자 습윤 디스플레이 장치 등이 있다. 이러한 평판 디스플레이 장치 중에서 액정 디스플레이 장치 및 유기 발광 디스플레이 장치는 텔레비전 또는 모니터의 디스플레이 장치 이외에도 노트북 컴퓨터, 테블릿 컴퓨터, 스마트 폰, 및 스마트 워치 등과 같은 휴대용 전자 기기의 디스플레이 장치로 널리 사용되고 있다.In recent years, as the display industry has rapidly developed in the semiconductor industry, flat panel display devices have been developed and commercialized. Here, flat panel display devices include liquid crystal display devices, plasma display devices, organic light emitting display devices, electrophoretic display devices, and electronically wet display devices. Among such flat panel display devices, liquid crystal display devices and organic light emitting display devices are widely used as display devices for portable electronic devices such as notebook computers, tablet computers, smart phones, and smart watches in addition to television or monitor display devices.

디스플레이 장치를 구비한 휴대용 전자 기기의 경우, 디스플레이 패널의 표시면은 외부로 노출됨에 따라 외력이나 충격에 의해 손상될 수 있기 때문에 휴대용 전자 기기의 경우 디스플레이 패널을 보호하기 위하여 디스플레이 패널의 표시면에 부착되는 투명 재질의 커버 윈도우 또는 커버 글라스 등과 같은 투명 커버를 포함한다.In the case of a portable electronic device having a display device, since the display surface of the display panel is exposed to the outside, it may be damaged by an external force or an impact. Therefore, in the case of a portable electronic device, And a transparent cover such as a cover glass or a cover glass of a transparent material.

도 1은 종래의 디스플레이용 합착 장치를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view for explaining a conventional lid for a display.

도 1을 참조하면, 종래의 디스플레이용 합착 장치는 하부 챔버(10), 하부 챔버(10)에 승강 가능하게 설치된 하부 스테이지(20), 하부 스테이지(20)의 상면에 설치되어 디스플레이 패널(1)을 지지하는 하부 정전척(30), 하부 챔버(10) 상에 승강 가능하게 설치된 상부 챔버(40), 상부 챔버(40)에 설치된 상부 스테이지(50), 상부 스테이지(50)의 상면에 설치되어 투명 커버(2)를 지지하는 상부 정전척(60), 상부 챔버(40)의 상면 외부에 배치되어 상부 정전척(60)에 마련된 뷰어 홀(view hole)(62)을 통해 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2) 각각에 마련된 얼라인 마크를 촬상하는 비전(vision) 카메라(70), 하부 챔버(10)를 관통하여 하부 스테이지(20)를 지지하는 복수의 구동 축(80), 및 비젼 카메라(70)에 의해 촬상된 얼라인 마크의 위치를 기반으로 하는 복수의 구동 축(80)의 이동을 통해 하부 스테이지(20)를 이동시켜 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2)의 위치를 정렬하는 UVW 스테이지(90)를 포함한다.1, a conventional laminating apparatus for a display includes a lower chamber 10, a lower stage 20 installed to be movable up and down in a lower chamber 10, a display panel 1 installed on an upper surface of the lower stage 20, An upper chamber 40 installed on the lower chamber 10 so as to be able to move up and down, an upper stage 50 provided on the upper chamber 40, and a lower stage 40 provided on the upper surface of the upper stage 50 An upper electrostatic chuck 60 for supporting the transparent cover 2 and a display panel 1 disposed outside the upper surface of the upper chamber 40 through a view hole 62 provided in the upper electrostatic chuck 60, A plurality of driving shafts 80 that support the lower stage 20 through the lower chamber 10 and a plurality of driving shafts 80 that support the lower stage 10 and a plurality of driving shafts Movement of the plurality of drive shafts 80 based on the positions of the alignment marks sensed by the camera 70 Moving the lower stage 20, and a UVW stage 90 to align the position of the display panel 1 and the transparent cover (2).

추가적으로, 종래의 디스플레이용 합착 장치는 하부 챔버(10)와 상부 챔버(40) 사이로 로딩되는 디스플레이 패널(1)을 진공 흡착하고 진공 흡착된 디스플레이 패널(1)을 하부 정전척(30)의 상면에 안착시키기 위한 복수의 하부 진공 핀(미도시)을 갖는 하부 진공 핀 유닛(미도시) 및 하부 챔버(10)와 상부 챔버(40) 사이로 로딩되는 투명 커버(2)를 진공 흡착하고 진공 흡착된 투명 커버(2)를 상부 정전척(60)의 하면에 안착시키기 위한 복수의 상부 진공 핀(미도시)을 갖는 상부 진공 핀 유닛(미도시)을 더 포함한다. 이러한 종래의 디스플레이용 합착 장치를 이용한 기판 합착 방법을 설명하면 다음과 같다.In addition, in the conventional coalescing apparatus for a display, the display panel 1 loaded between the lower chamber 10 and the upper chamber 40 is vacuum-adsorbed and the vacuum-adsorbed display panel 1 is placed on the upper surface of the lower electrostatic chuck 30 A lower vacuum pin unit (not shown) having a plurality of lower vacuum pins (not shown) for placing the vacuum chamber 2 and a transparent cover 2 loaded between the lower chamber 10 and the upper chamber 40 is vacuum- And an upper vacuum pin unit (not shown) having a plurality of upper vacuum pins (not shown) for seating the cover 2 on the lower surface of the upper electrostatic chuck 60. A conventional method for attaching a substrate using a lid for a display will now be described.

먼저, 하부 스테이지(20)와 하부 정전척(30)을 수직 관통하도록 설치된 복수의 하부 진공 핀을 패널 로딩/언로딩 위치로 상승시킨 후, 디스플레이 패널(1)을 하부 정전척(30)의 상부로 로딩한 다음 로딩된 디스플레이 패널(1)을 하부 진공 핀에 흡착한다. 이와 동시에, 상부 스테이지(50)와 상부 정전척(60)을 수직 관통하도록 설치된 복수의 상부 진공 핀을 윈도우 로딩 위치로 하강시킨 후, 접착 부재(3)가 도포된 투명 커버(2)를 상부 정전척(60)의 하부로 로딩한 다음 로딩된 투명 커버(2)를 상부 진공 핀에 흡착한다.First, a plurality of lower vacuum pins installed vertically through the lower stage 20 and the lower electrostatic chuck 30 are raised to the panel loading / unloading position, and then the display panel 1 is mounted on the upper portion of the lower electrostatic chuck 30 And then the loaded display panel 1 is adsorbed to the lower vacuum pin. At the same time, a plurality of upper vacuum pins provided so as to vertically penetrate the upper stage 50 and the upper electrostatic chuck 60 are lowered to a window loading position, and then the transparent cover 2, to which the adhesive member 3 is applied, And then the loaded transparent cover 2 is adsorbed to the upper vacuum pin.

이어서, 하부 진공 핀을 하강시켜 디스플레이 패널(1)을 하부 정전척(30)의 상면에 정전 흡착하여 하부 정전척(30)의 상면에 디스플레이 패널(1)을 안착시킨다. 이와 동시에, 상부 진공 핀을 상승시켜 투명 커버(2)를 상부 정전척(60)의 하면에 정전 흡착하여 상부 정전척(60)의 하면에 투명 커버(2)를 안착시킨다.Subsequently, the lower vacuum pin is lowered to electrostatically adsorb the display panel 1 on the upper surface of the lower electrostatic chuck 30, thereby placing the display panel 1 on the upper surface of the lower electrostatic chuck 30. [ At the same time, the upper vacuum pin is raised so that the transparent cover 2 is electrostatically adsorbed on the lower surface of the upper electrostatic chuck 60 to seat the transparent cover 2 on the lower surface of the upper electrostatic chuck 60.

이어서, 상부 정전척(60) 상에 배치된 비전 카메라(70)를 통해 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2)에 마련된 얼라인 마크를 촬상하고, 촬상된 얼라인 마크의 위치를 기반으로 하는 UVW 스테이지(90)의 구동에 따라 하부 스테이지(20)를 이동시켜 하부 정전척(30)의 위치를 정렬하는 정렬 공정을 통해 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2)의 위치를 정렬한다.Subsequently, an image of the alignment mark provided on the display panel 1 and the transparent cover 2 is captured through the vision camera 70 disposed on the upper electrostatic chuck 60, and based on the position of the captured alignment mark The positions of the display panel 1 and the transparent cover 2 are aligned by aligning the position of the lower electrostatic chuck 30 by moving the lower stage 20 according to the driving of the UVW stage 90.

이어서, 상부 챔버(40)를 하강시켜 하부 챔버(10)와 상부 챔버(40) 사이에 진공 분위기를 형성한 다음 상부 스테이지(20)를 가압하여 투명 커버(2)와 디스플레이 패널(1)을 진공 합착함으로써 투명 커버(2)에 도포된 접착 부재(3)를 통해 디스플레이 패널(1)의 표시면에 투명 커버(2)를 직접적으로 부착한다.Subsequently, the upper chamber 40 is lowered to form a vacuum atmosphere between the lower chamber 10 and the upper chamber 40, and then the upper stage 20 is pressed so that the transparent cover 2 and the display panel 1 are vacuum- The transparent cover 2 is directly attached to the display surface of the display panel 1 through the adhesive member 3 applied to the transparent cover 2 by adhesion.

이어서, 하부 챔버(10)와 상부 챔버(40) 사이에 진공 분위기를 파기한 후 상부 챔버(40)를 상승시킨 다음, 복수의 하부 진공 핀을 패널 로딩/언로딩 위치로 상승시킨 후 투명 커버(2)가 부착된 디스플레이 패널(1)을 외부로 언로딩한다.Subsequently, the upper chamber 40 is raised after breaking the vacuum atmosphere between the lower chamber 10 and the upper chamber 40, and then the plurality of lower vacuum pins are raised to the panel loading / unloading position, 2 is unloaded to the outside.

이와 같은, 종래의 디스플레이용 합착 장치는 다음과 같은 문제점이 있다.Such a conventional lid for a display has the following problems.

첫째, 상부 정전척(60) 상에 배치된 비전 카메라(70)를 통해 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2)에 마련된 얼라인 마크를 촬상하기 때문에 비전 카메라(70)의 촬상을 위해 상부 정전척(60)에 마련되는 뷰어 홀로 인하여 상부 정전척(60)의 흡착 면적이 감소하게 되고, 이로 인한 상부 정전척(60)의 흡착력 저하에 의해 투명 커버(2)가 추락될 수 있다. 특히, 상부 정전척(60)에는 다양한 모델에 대응할 수 있도록 모델별 뷰어 홀을 갖는 뷰어 홀 영역이 마련됨에 따라 상부 정전척(60)의 흡착 면적이 더욱 감소하게 된다.First, since the alignment marks provided on the display panel 1 and the transparent cover 2 are captured through the vision camera 70 disposed on the upper electrostatic chuck 60, The viewer's hole provided in the chuck 60 causes the area of the upper electrostatic chuck 60 to be attracted to decrease and the transparent cover 2 can be dropped due to the lowering of the attraction force of the upper electrostatic chuck 60. Particularly, since the upper electrostatic chuck 60 is provided with a viewer hole region having a model-specific viewer hole so as to correspond to various models, the area of the upper electrostatic chuck 60 to be adsorbed is further reduced.

둘째, 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2) 각각을 지지하기 위해 정전척(30, 50)을 사용함으로써 흡착력이 낮고 구조가 복잡하다.Second, by using the electrostatic chucks 30 and 50 for supporting the display panel 1 and the transparent cover 2, the attraction force is low and the structure is complicated.

셋째, 구동 축(80)과 하부 챔버(10) 사이의 갭 공간 내에서 하부 스테이지(20)의 이동을 통해 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2)의 위치를 정렬하기 때문에 구조적으로 진공 분위기를 형성하기 위한 하부 챔버(10) 내부의 체적이 크고, 이로 인하여 진공도 형성을 위한 시간이 증가함에 따라 공정 택 타임(tact time)이 증가하게 된다.Thirdly, since the positions of the display panel 1 and the transparent cover 2 are aligned through the movement of the lower stage 20 in the gap space between the driving shaft 80 and the lower chamber 10, The volume of the interior of the lower chamber 10 for forming the vacuum chamber is large, thereby increasing the process tact time as the time for forming the vacuum is increased.

본 발명은 전술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 대상물에 대한 흡착력을 저하시키지 않고 디스플레이 패널과 투명 커버 간의 위치를 정렬할 수 있는 디스플레이용 합착 장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a cementing apparatus for a display capable of aligning a position between a display panel and a transparent cover without lowering an attraction force with respect to an object.

또한, 단순한 흡착 구조를 가지면서 대상물에 대한 흡착력이 향상될 수 있는 디스플레이용 합착 장치를 제공하는 것을 다른 기술적 과제로 한다.Another object of the present invention is to provide a cementing apparatus for a display capable of improving the attraction force with respect to an object while having a simple adsorption structure.

그리고, 디스플레이 패널과 투명 커버 간의 합착을 위한 합착 공간의 체적이 최소화되어 진공도 형성 시간이 감소함에 따라 공정 택 타임(tact time)이 단축될 수 있는 디스플레이용 합착 장치를 제공하는 것을 또 다른 기술적 과제로 한다.Another object of the present invention is to provide a cigarette lighter for a display in which the volume of a cigarette space for cigarette bonding between a display panel and a transparent cover is minimized and a vacuum forming time is reduced so that a tact time can be shortened. do.

전술한 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명에 따른 디스플레이용 합착 장치는 베이스 프레임, 베이스 프레임 상에 설치되어 디스플레이 패널을 지지하는 하부 챔버 모듈, 디스플레이 패널의 표시면에 부착될 투명 커버를 지지하는 상부 챔버 모듈, 하부 챔버 모듈과 상부 챔버 모듈 사이로 이동되어 디스플레이 패널에 마련된 제 1 얼라인 마크와 투명 커버에 마련된 제 2 얼라인 마크를 촬상하는 촬상 모듈, 및 베이스 프레임 상에 설치되어 하부 챔버 모듈을 지지하고 촬상 모듈의 촬상 이미지에 기초한 얼라인 제어 신호에 응답하여 하부 챔버 모듈을 이동시켜 제 1 및 제 2 얼라인 마크 간의 위치를 정렬하는 정렬 모듈을 포함할 수 있다.According to an aspect of the present invention, there is provided a cohesion apparatus for a display, comprising: a base frame; a lower chamber module installed on the base frame to support the display panel; Module, an imaging module that is moved between the lower chamber module and the upper chamber module to capture a first alignment mark provided on the display panel and a second alignment mark provided on the transparent cover, and an imaging module provided on the base frame to support the lower chamber module And an alignment module for aligning the position between the first and second alignment marks by moving the lower chamber module in response to an alignment control signal based on the sensed image of the imaging module.

상기 과제의 해결 수단에 의하면, 본 발명은 다음과 같은 효과가 있다.According to the solution of the above-mentioned problems, the present invention has the following effects.

첫째, 양방향 비전 카메라를 이용하여 대상물에 대한 흡착력을 저하시키지 않고 디스플레이 패널과 투명 커버 간의 위치를 정렬할 수 있다.First, by using a bi-directional vision camera, the position between the display panel and the transparent cover can be aligned without lowering the attraction force to the object.

둘째, 진공 흡착 방식과 점착 방식을 통해 디스플레이 패널과 투명 커버를 지지함으로써 단순한 흡착 구조를 가지면서 대상물에 대한 흡착력을 향상시킬 수 있다.Second, by supporting the display panel and the transparent cover through the vacuum adsorption method and the adhesion method, it is possible to improve the adsorption force on the object while having a simple adsorption structure.

셋째, 하부 챔버 전체를 이동시켜 디스플레이 패널과 투명 커버 간의 위치를 정렬함으로써 디스플레이 패널과 투명 커버 간의 합착을 위한 합착 공간의 체적을 최소화하여 진공도 형성 시간을 감소시키고, 이를 통해 공정 택 타임(tact time)을 단축시킬 수 있다.Third, by moving the entire lower chamber to align the position between the display panel and the transparent cover, the volume of the joint space for attaching the display panel to the transparent cover is minimized to reduce the vacuum forming time, Can be shortened.

위에서 언급된 본 발명의 효과 외에도, 본 발명의 다른 특징 및 이점들이 이하에서 기술되거나, 그러한 기술 및 설명으로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.In addition to the effects of the present invention mentioned above, other features and advantages of the present invention will be described below, or may be apparent to those skilled in the art from the description and the description.

도 1은 종래의 디스플레이용 합착 장치를 설명하기 위한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 예에 따른 디스플레이용 합착 장치를 개략적으로 나타내는 도면이다.
도 3은 도 2에 도시된 선I-I’의 단면도이다.
도 4는 도 2 및 도 3에 도시된 하부 챔버 모듈을 설명하기 위한 단면도이다.
도 5는 도 4에 도시된 패널 지지 포스트 및 패널 탈착 핀을 설명하기 위한 단면도이다.
도 6은 도 4에 도시된 A 부분과 B 부분 각각의 확대도이다.
도 7은 도 2 및 도 3에 도시된 상부 챔버 모듈을 설명하기 위한 단면도이다.
도 8은 도 2 및 도 3에 도시된 촬상 모듈을 설명하기 위한 단면도이다.
도 9a 내지 도 9g는 본 발명에 따른 디스플레이용 합착 장치를 이용한 디스플레이 패널과 투명 커버의 합착 방법을 단계적으로 나타내는 도면들이다.
1 is a view for explaining a conventional lid for a display.
2 is a view schematically showing a lid for a display according to an example of the present invention.
3 is a cross-sectional view taken along the line I-I 'shown in Fig.
FIG. 4 is a cross-sectional view illustrating the lower chamber module shown in FIGS. 2 and 3. FIG.
5 is a cross-sectional view illustrating the panel support post and the panel detachment pin shown in Fig.
6 is an enlarged view of each of the portion A and the portion B shown in Fig.
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating the upper chamber module shown in FIGS. 2 and 3. FIG.
8 is a cross-sectional view for explaining the imaging module shown in Figs. 2 and 3. Fig.
9A to 9G are views showing a step-by-step method for attaching a display panel and a transparent cover using a cigarette lid for a display according to the present invention.

본 명세서에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다. The meaning of the terms described herein should be understood as follows.

단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 정의하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "제 1", "제 2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. "적어도 하나"의 용어는 하나 이상의 관련 항목으로부터 제시 가능한 모든 조합을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 예를 들어, "제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 적어도 하나"의 의미는 제 1 항목, 제 2 항목 또는 제 3 항목 각각 뿐만 아니라 제 1 항목, 제 2 항목 및 제 3 항목 중에서 2개 이상으로부터 제시될 수 있는 모든 항목의 조합을 의미한다. "상에"라는 용어는 어떤 구성이 다른 구성의 바로 상면에 형성되는 경우뿐만 아니라 이들 구성들 사이에 제3의 구성이 개재되는 경우까지 포함하는 것을 의미한다.The word " first, "" second," and the like, used to distinguish one element from another, are to be understood to include plural representations unless the context clearly dictates otherwise. The scope of the right should not be limited by these terms. It should be understood that the terms "comprises" or "having" does not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, elements, components, or combinations thereof. It should be understood that the term "at least one" includes all possible combinations from one or more related items. For example, the meaning of "at least one of the first item, the second item and the third item" means not only the first item, the second item or the third item, but also the second item and the second item among the first item, Means any combination of items that can be presented from more than one. The term "on" means not only when a configuration is formed directly on top of another configuration, but also when a third configuration is interposed between these configurations.

이하에서는 본 발명에 따른 디스플레이용 합착 장치의 바람직한 예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가질 수 있다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 수 있다.DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, preferred embodiments of a lid assembly for a display according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the drawings, like reference numerals are used to denote like elements throughout the drawings, even if they are shown on different drawings. In the following description of the present invention, a detailed description of known functions and configurations incorporated herein will be omitted when it may make the subject matter of the present invention rather unclear.

도 2는 본 발명의 일 예에 따른 디스플레이용 합착 장치를 개략적으로 나타내는 도면이며, 도 3은 도 2에 도시된 선I-I’의 단면도이다.FIG. 2 is a schematic view of a lid for a display according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line I-I 'shown in FIG.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 예에 따른 디스플레이용 합착 장치는 베이스 프레임(100), 하부 챔버 모듈(200), 상부 챔버 모듈(300), 촬상 모듈(400), 및 정렬 모듈(500)을 포함한다.2 and 3, a cohesive apparatus for a display according to an exemplary embodiment of the present invention includes a base frame 100, a lower chamber module 200, an upper chamber module 300, an imaging module 400, (500).

상기 베이스 프레임(100)은 지면에 설치되어 하부 챔버 모듈(200)을 지지한다.The base frame 100 is installed on the ground to support the lower chamber module 200.

상기 하부 챔버 모듈(200)은 베이스 프레임(100)의 상면에 설치되어 패널 반송 장치(미도시)에 의해 로딩되는 디스플레이 패널(1)을 지지한다. 여기서, 디스플레이 패널(1)은 액정 디스플레이 패널 또는 유기 발광 디스플레이 패널을 포함하는 평판 디스플레이 패널이 될 수 있으며, 이러한 평판 디스플레이 패널은 공지된 구성을 가지므로, 이에 대한 설명은 생략하기로 한다.The lower chamber module 200 is mounted on the upper surface of the base frame 100 and supports the display panel 1 loaded by a panel transportation device (not shown). Here, the display panel 1 may be a flat panel display panel including a liquid crystal display panel or an organic light emitting display panel. Such a flat panel display panel has a well-known structure, so a description thereof will be omitted.

일 예에 따른 하부 챔버 모듈(200)은, 도 2 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 하부 챔버(210), 패널 지지 수단(220), 패널 승강 수단(230), 패널 탈착 수단(240), 및 펌핑 포트(250)를 포함한다.The lower chamber module 200 according to an exemplary embodiment includes a lower chamber 210, a panel supporting means 220, a panel lifting means 230, a panel removing means 240, And a pumping port 250.

상기 하부 챔버(210)는 베이스 프레임(100)의 상면에 배치되어 정렬 모듈(500)에 지지된다. 이러한 하부 챔버(210)는 상면 테두리 부분에 일정한 높이를 가지도록 돌출된 상부 돌출 측벽을 포함한다. 이에 따라, 하부 챔버(210)는 상부 돌출 측벽에 의해 둘러싸이는 제 1 오목부(212)를 갖는다.The lower chamber 210 is disposed on the upper surface of the base frame 100 and is supported on the alignment module 500. The lower chamber 210 includes an upper protruding sidewall that protrudes to have a constant height at an upper rim portion. Accordingly, the lower chamber 210 has the first recess 212 surrounded by the upper projecting sidewall.

상기 패널 지지 수단(220)은 하부 챔버(210)의 상면에 설치되어 디스플레이 패널(1)을 지지한다. 즉, 패널 지지 수단(220)은 하부 챔버(210)에 마련된 제 1 오목부(212)에 수납되어 외부로부터 제공되는 진공 흡입력에 따라 디스플레이 패널(1)을 지지한다. 일 예에 따른 패널 지지 수단(220)은 하부 다공질 플레이트(221) 및 하부 진공 포트(223)를 포함한다.The panel supporting means 220 is installed on the upper surface of the lower chamber 210 to support the display panel 1. That is, the panel supporting means 220 is housed in the first recess 212 provided in the lower chamber 210 and supports the display panel 1 according to a vacuum suction force provided from the outside. The panel support means 220 according to one example includes a lower porous plate 221 and a lower vacuum port 223.

상기 하부 다공질 플레이트(221)는 하부 챔버(210)의 상면에 마련된 제 1 오목부(212)에 수납되어 하부 진공 포트(223)으로부터 제공되는 진공 흡입력에 따라 디스플레이 패널(1)을 진공 흡착한다. 일 예에 따른 하부 다공질 플레이트(221)는 제 1 오목부(212)에 수납되도록 평판 형태를 갖는 하부 다공질 몸체(221a) 및 하부 다공질 몸체(221a)의 상면에 부착된 하부 다공질 패드(221b)를 포함할 수 있다.The lower porous plate 221 is housed in a first recess 212 provided on the upper surface of the lower chamber 210 and vacuum adsorbs the display panel 1 according to a vacuum suction force provided from the lower vacuum port 223. The lower porous plate 221 according to an exemplary embodiment includes a lower porous body 221a having a flat plate shape and a lower porous pad 221b attached to the upper surface of the lower porous body 221a so as to be accommodated in the first concave portion 212 .

상기 하부 진공 포트(223)는 하부 다공질 플레이트(221)에 하면 중앙부에 삽입되고, 진공 흡입관(미도시)을 통해 외부의 진공 흡입 장치에 연결된다. 이러한 하부 진공 포트(223)는 진공 흡입 장치의 진공 흡입력을 하부 다공질 플레이트(221)에 제공하여 하부 다공질 패드(221b)에 진공 흡입력을 발생시킴으로써 디스플레이 패널(1)이 하부 다공질 패드(221b)에 진공 흡착되도록 한다.The lower vacuum port 223 is inserted into a lower central portion of the lower porous plate 221 and connected to an external vacuum suction device through a vacuum suction pipe (not shown). The lower vacuum port 223 provides a vacuum suction force of the vacuum suction device to the lower porous plate 221 to generate a vacuum suction force to the lower porous pad 221b so that the display panel 1 is vacuum- To be adsorbed.

상기 패널 승강 수단(230)은 패널 반송 장치(미도시)에 의해 하부 챔버(210)의 상부로 로딩되는 디스플레이 패널(1)을 지지하고, 지지된 디스플레이 패널(1)을 패널 지지 수단(220)에 안착시킨다. 일 예에 따른 패널 승강 수단(230)은, 도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 복수의 패널 지지 포스트(231), 패널 승강 플레이트(233), 복수의 패널 승강 가이드 축(235), 하부 지지 플레이트(237), 및 패널 승강 구동부(239)를 포함한다.The panel lifting means 230 supports the display panel 1 loaded to the upper portion of the lower chamber 210 by a panel transportation device and supports the supported display panel 1 to the panel supporting means 220. [ . 2 to 3, the panel lifting means 230 according to an exemplary embodiment includes a plurality of panel support posts 231, a panel lift plate 233, a plurality of panel lift guide shafts 235, A support plate 237, and a panel lift driver 239. [

상기 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각은 패널 지지 수단(220)을 수직 관통하도록 미리 설정된 간격으로 설치된다. 이러한 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각의 상면은 패널 승강 구동부(239)의 구동에 따른 패널 승강 플레이트(233)의 승강에 따라 패널 지지 수단(220)의 상면으로 돌출되어 패널 지지 위치로 상승하거나, 패널 지지 수단(220)의 내부로 삽입되어 패널 안착 위치로 하강한다. 이를 위해, 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각은 상기 하부 챔버(210)에 마련된 제 1 수직 관통홀(214)과 패널 지지 수단(220)에 마련된 제 2 수직 관통홀(225)에 삽입 배치된다.Each of the plurality of panel support posts 231 is installed at predetermined intervals so as to vertically penetrate the panel support means 220. The upper surface of each of the plurality of panel support posts 231 protrudes from the upper surface of the panel supporting means 220 and rises to the panel supporting position as the panel lifting plate 233 is driven by the panel lifting drive unit 239 , And is inserted into the inside of the panel supporting means 220 and descends to the panel seating position. To this end, each of the plurality of panel support posts 231 is inserted into a first vertical through hole 214 provided in the lower chamber 210 and a second vertical through hole 225 provided in the panel supporting means 220 .

일 예에 따른 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각은, 도 5에 도시된 바와 같이, 패널 승강 포스트(231a) 및 패널 점착 척(231b)을 포함한다.Each of the plurality of panel support posts 231 according to one example includes a panel lifting post 231a and a panel sticking chuck 231b, as shown in Fig.

상기 패널 승강 포스트(231a)는 패널 승강 플레이트(233)에 수직하게 설치되어 패널 지지 수단(220)에 승강 가능하게 삽입된다. 패널 승강 포스트(231a)는 길이 방향을 따라 형성된 제 1 중공부(231a1)를 갖는 것으로, 원형 관 형태를 갖는다. 이러한 패널 승강 포스트(231a)는 금속 재질 또는 세라믹 재질로 이루어질 수 있다.The panel lifting post 231a is installed vertically to the panel lifting plate 233 and is vertically inserted into the panel supporting means 220. The panel lifting post 231a has a first hollow portion 231a1 formed along the longitudinal direction, and has a circular tube shape. The panel lifting post 231a may be made of a metal material or a ceramic material.

상기 패널 승강 포스트(231a)의 상부에는 패널 점착 척(231b)의 하부가 분리 가능하게 삽입되는 제 1 척 삽입 홀(231a2)이 마련되어 있다.A first chuck insertion hole 231a2 in which a lower portion of the panel sticking chuck 231b is detachably inserted is provided on the panel lift post 231a.

상기 패널 점착 척(231b)은 패널 승강 포스트(231a)의 상부에 마련된 제 1 척 삽입 홀(231a2)에 분리 가능하게 결합되어 디스플레이 패널(1)을 흡착하며, 특히 디스플레이 패널(1)에 대한 진공 흡착시 디스플레이 패널(1)의 떨림과 같은 미세한 움직임으로 인한 위치 이탈을 방지한다. 패널 점착 척(231b)은 길이 방향을 따라 형성된 제 2 중공부(231b1)를 갖는 것으로, 원형 링 형태를 갖는다. 상기 제 2 중공부(231b1)는 상기 제 1 중공부(231a1)와 동일한 직경을 가질 수 있다. 이러한 패널 점착 척(231b)은 점착성 재질로 이루어질 수 있다. 부가적으로, 상기 패널 점착 척(231b)은 원형 링 형태를 갖는 점착 패드(231b2)를 더 포함할 수 있다. 상기 점착 패드(231b2)는 패널 점착 척(231b)의 상면에 설치될 수 있다.The panel sticking chuck 231b is detachably coupled to the first chuck insertion hole 231a2 provided at the upper part of the panel lift post 231a to attract the display panel 1, Thereby preventing displacement of the display panel 1 due to fine movement such as trembling of the display panel 1 during adsorption. The panel sticking chuck 231b has a second hollow portion 231b1 formed along the longitudinal direction, and has a circular ring shape. The second hollow portion 231b1 may have the same diameter as the first hollow portion 231a1. The panel sticking chuck 231b may be made of an adhesive material. In addition, the panel sticking chuck 231b may further include an adhesive pad 231b2 having a circular ring shape. The adhesive pad 231b2 may be provided on the upper surface of the panel sticking chuck 231b.

다시 도 2 내지 도 4를 참조하면, 하부 챔버(210)의 하면에는 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각이 수직 관통하는 복수의 제 1 포스트 홀더 브라켓(232a)이 설치되어 있다. 상기 복수의 제 1 포스트 홀더 브라켓(232a) 각각은 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각의 승강을 가이드할 뿐만 아니라 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각이 기울어져 승강하는 것을 방지한다.Referring again to FIGS. 2 to 4, a plurality of first post holder brackets 232a, through which a plurality of panel support posts 231 vertically penetrate, are provided on the lower surface of the lower chamber 210. Each of the plurality of first post holder brackets 232a not only guides the lifting and lowering of each of the plurality of panel support posts 231 but also prevents each of the plurality of panel support posts 231 from tilting up and down.

상기 패널 승강 플레이트(233)는 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각을 공통적으로 지지한다. 이를 위해, 패널 승강 플레이트(233)에는 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각의 하단부가 삽입 관통하는 복수의 제 1 포스트 관통홀(233a)이 형성되어 있다. 이에 따라, 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각의 하단부는 해당하는 제 1 포스트 관통홀(233a)을 관통하여 패널 승강 플레이트(233)의 하부로 돌출되어 볼트(232b)와 결합된다. 이에 따라, 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각은 패널 승강 플레이트(233)에 수직하게 고정되면서 하부 챔버(210) 및 패널 지지 수단(220)에 승강 가능하게 삽입되게 된다.The panel lift plate 233 commonly supports each of the plurality of panel support posts 231. To this end, the panel lifting plate 233 is formed with a plurality of first through-holes 233a through which the lower ends of the plurality of panel support posts 231 are inserted. The lower end of each of the plurality of panel support posts 231 penetrates the corresponding first through hole 233a and protrudes to the lower portion of the panel lifting plate 233 and is engaged with the bolt 232b. Each of the plurality of panel support posts 231 is vertically fixed to the panel lifting plate 233 and is inserted into the lower chamber 210 and the panel supporting means 220 in a vertically movable manner.

상기 복수의 패널 승강 가이드 축(235) 각각은 하부 챔버(210)의 하면에 결합되면서 패널 승강 플레이트(233)를 수직 관통한다. 즉, 복수의 패널 승강 가이드 축(235) 각각은 패널 승강 플레이트(233)의 각 모서리 부분에 마련된 제 1 축 관통홀(미도시)을 수직 관통하여 하부 지지 플레이트(237)에 결합된다. 이러한 복수의 패널 승강 가이드 축(235) 각각은 하부 챔버(210)와 하부 지지 플레이트(237) 사이에 설치되어 패널 승강 플레이트(233)의 승강을 가이드함으로써 패널 승강 플레이트(233)이 기울어져 승강되는 것을 방지한다.Each of the plurality of panel elevation guide shafts 235 is coupled to the lower surface of the lower chamber 210 and vertically penetrates the panel lift plate 233. That is, each of the plurality of panel elevation guide shafts 235 is vertically penetrated through the first shaft through hole (not shown) provided at each corner of the panel lifting plate 233 and is coupled to the lower support plate 237. Each of the plurality of panel lift guide shafts 235 is installed between the lower chamber 210 and the lower support plate 237 to guide the panel lift plate 233 up and down so that the panel lift plate 233 is inclined ≪ / RTI >

상기 하부 지지 플레이트(237)는 패널 승강 플레이트(233)의 하부에 배치되어 복수의 패널 승강 가이드 축(235)를 공통적으로 지지함과 아울러 패널 승강 구동부(239)를 지지한다.The lower support plate 237 is disposed below the panel lift plate 233 to support the plurality of panel lift guide shafts 235 in common and supports the panel lift driving unit 239.

상기 패널 승강 구동부(239)는 하부 지지 플레이트(237)의 하면에 설치되어 패널 승강 플레이트(233)를 승강시킴으로써 복수의 패널 지지 포스트(231)를 동시에 승강시킨다. 일 예에 따른 패널 승강 구동부(239)는 모터 지지 브라켓(239a), 제 1 구동 모터(239b), 및 제 1 볼 스크류(239c)를 포함한다.The panel lifting and lowering driving unit 239 is installed on the lower surface of the lower supporting plate 237 to move the panel lifting plate 233 up and down to move the plurality of panel supporting posts 231 simultaneously. The panel lifting drive unit 239 according to an example includes a motor support bracket 239a, a first drive motor 239b, and a first ball screw 239c.

상기 지지 브라켓(239a)은 하부 지지 플레이트(237)의 하면에 설치되어 제 1 구동 모터(239b)를 지지한다.The support bracket 239a is installed on the lower surface of the lower support plate 237 to support the first drive motor 239b.

상기 제 1 구동 모터(239b)는 상기 지지 브라켓(239a)에 설치되어 제 1 볼 스크류(239c)를 정회전 또는 역회전시킨다.The first driving motor 239b is installed on the support bracket 239a to rotate the first ball screw 239c forward or reverse.

상기 제 1 볼 스크류(239c)는 제 1 구동 모터(239b)의 회전축에 연결되어 제 1 구동 모터(239b)의 회전에 따라 패널 승강 플레이트(233)를 승강시키다. 제 1 볼 스크류(239c)는 하부 지지 플레이트(237)을 수직 관통함과 아울러 패널 승강 플레이트(233)에 결합된다. 이때, 하부 지지 플레이트(237)에는 나사산이 형성되어 있지 않은 제 1 볼 스크류(239c)의 하부가 수직 관통하는 제 1 스크류 관통홀(237a)이 마련되어 있다. 그리고, 패널 승강 플레이트(233)에는 제 1 볼 스크류(239c)의 상부에 형성된 나사산과 치합되는 나사홀이 형성되어 있거나, 볼 너트가 설치되어 있다. 이에 따라, 제 1 볼 스크류(239c)는 제 1 구동 모터(239b)의 회전에 따라 패널 승강 플레이트(233)를 승강시킨다. 따라서, 패널 승강 플레이트(233)는 제 1 볼 스크류(239c)의 회전 운동에 따라 상하로 직선 운동함으로써 복수의 패널 지지 포스트(231)를 동시에 승강시킨다.The first ball screw 239c is connected to the rotating shaft of the first driving motor 239b to move the panel lifting plate 233 up and down according to the rotation of the first driving motor 239b. The first ball screw 239c vertically penetrates the lower support plate 237 and is coupled to the panel lifting plate 233. [ At this time, the lower support plate 237 is provided with a first screw through-hole 237a through which the lower part of the first ball screw 239c having no thread is vertically passed. The panel lifting plate 233 is provided with a screw hole or a ball nut which is engaged with a thread formed on the upper portion of the first ball screw 239c. Accordingly, the first ball screw 239c lifts the panel lifting plate 233 in accordance with the rotation of the first driving motor 239b. Accordingly, the panel lifting plate 233 linearly moves up and down in accordance with the rotational motion of the first ball screw 239c, thereby simultaneously lifting and lifting the plurality of panel supporting posts 231.

부가적으로, 상기 패널 승강 구동부(239)는 제 1 구동 모터(239b)의 회전축과 제 1 볼 스크류(239c)를 연결하는 제 1 커플러(239d)를 더 포함할 수 있다.In addition, the panel lifting drive unit 239 may further include a first coupler 239d that connects the rotation axis of the first drive motor 239b and the first ball screw 239c.

상기 패널 탈착 수단(240)은 투명 커버(2)가 합착된 디스플레이 패널(1)의 언로딩시 복수의 패널 지지 포스트(231)에 점착된 디스플레이 패널(1)을 복수의 패널 지지 포스트(231)에서 탈착시킨다. 즉, 패널 탈착 수단(240)은 복수의 패널 지지 포스트(231)의 패널 점착 척(231b)에 점착되어 있는 투명 커버(2)가 합착된 디스플레이 패널(1)을 일정한 높이로 상승시킴으로써 복수의 패널 지지 포스트(231)에서 디스플레이 패널(1)을 탈착시킨다.The panel detachment means 240 removes the display panel 1 from the plurality of panel support posts 231 by attaching the display panel 1 adhered to the plurality of panel support posts 231 during unloading of the display panel 1 to which the transparent cover 2 is attached, . That is, the panel detachment means 240 lifts the display panel 1 to which the transparent cover 2 adhered to the panel sticking chuck 231b of the plurality of panel support posts 231 is attached, The display panel 1 is detached from the support post 231.

일 예에 따른 패널 탈착 수단(240)은 복수의 패널 탈착 핀(241), 핀 승강 플레이트(243), 및 핀 승강 구동부(245)를 포함한다.The panel detachment means 240 according to an example includes a plurality of panel detachment pins 241, a pin lifting plate 243, and a pin lifting drive 245.

상기 복수의 패널 탈착 핀(241) 각각은 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각의 내부에 승강 가능하게 삽입된다. 즉, 복수의 패널 탈착 핀(241) 각각은 패널 지지 포스트(231)에 마련된 제 1 및 제 2 중공부(231a1, 231b1)에 승강 가능하게 삽입된다. 이러한 복수의 패널 탈착 핀(241) 각각은 핀 승강 플레이트(243)의 상승에 따라 동시에 상승되어 복수의 패널 지지 포스트(231)에 점착된 디스플레이 패널(1)을 일정한 높이로 상승시킨다.Each of the plurality of panel detachment pins 241 is inserted into each of the plurality of panel support posts 231 in a liftable manner. That is, each of the plurality of panel detachment pins 241 is inserted into the first and second hollow portions 231a1 and 231b1 provided in the panel support post 231 so as to be able to move up and down. Each of the plurality of panel detachable pins 241 is raised at the same time as the pin lifting plate 243 is lifted to lift the display panel 1 which is adhered to the plurality of panel supporting posts 231 to a certain height.

일 예에 따른 복수의 패널 탈착 핀(241) 각각은 원 기둥 형태를 가질 수 있으며, 금속 재질, 세라믹 재질 또는 엔지니어링 플라스틱 재질로 이루어질 수 있다.Each of the plurality of panel detachment pins 241 according to an exemplary embodiment may have a round column shape, and may be formed of a metal material, a ceramic material, or an engineering plastic material.

다른 예에 따른 복수의 패널 탈착 핀(241) 각각은, 도 5에 도시된 바와 같이, 핀 바디(241a) 및 핀 헤드(241b)를 포함할 수 있다.Each of the plurality of panel detachment pins 241 according to another example may include a pin body 241a and a pin head 241b as shown in Fig.

상기 핀 바디(241a)는 원 기둥 형태를 가질 수 있으며, 금속 재질 또는 세라믹 재질로 이루어질 수 있다.The pin body 241a may have a circular columnar shape, and may be made of a metal material or a ceramic material.

상기 핀 헤드(241b)는 원 기둥 형태로 형성되어 핀 바디(241a)의 상부에 결합된다. 이를 위해, 핀 바디(241a)의 상부에는 핀 헤드(241b)의 하부가 분리 가능하게 삽입되는 헤드 삽입 홈(241c)이 형성되어 있다. 상기 핀 헤드(241b)는 핀 바디(241a)와 다른 재질로 이루어질 수 있다. 즉, 핀 헤드(241b)는 디스플레이 패널(1)과 물리적으로 접촉하는 것으로, 디스플레이 패널(1)과의 접촉시 디스플레이 패널(1)의 손상을 주지 않는 재질로 이루어지는 것이 바람직하다. 일 예에 따른 핀 헤드(241b)는 엔지니어링 플라스틱 재질, 예를 들어 폴리에테르 에테르 케톤(Polyether Ether Ketone) 재질로 이루어질 수 있다.The pin head 241b is formed in a circular column shape and is coupled to an upper portion of the pin body 241a. To this end, a head insertion groove 241c is formed in the upper portion of the pin body 241a, into which a lower portion of the pin head 241b is removably inserted. The pin head 241b may be made of a material different from that of the pin body 241a. That is, the pin head 241b physically contacts the display panel 1 and is preferably made of a material that does not damage the display panel 1 when the pin head 241b comes into contact with the display panel 1. [ The pin head 241b according to one example may be made of an engineering plastic material, for example, a polyether ether ketone material.

다시 도 2 내지 도 4를 참조하면, 상기 핀 승강 플레이트(243)는 패널 승강 수단(230)의 패널 승강 플레이트(233)와 하부 지지 플레이트(237) 사이에 배치되어 복수의 패널 탈착 핀(241)을 공통적으로 지지한다. 이러한 핀 승강 플레이트(243)는 핀 승강 구동부(245)의 구동에 따라 승강되어 복수의 패널 탈착 핀(241)을 동시에 승강시킨다. 핀 승강 플레이트(243)에는 패널 승강 수단(230)의 복수의 패널 승강 가이드 축(235) 각각이 수직 관통하는 복수의 제 2 축 관통홀(미도시)이 형성되어 있다.2 to 4, the pin lifting plate 243 is disposed between the panel lifting plate 233 and the lower supporting plate 237 of the panel lifting unit 230 and includes a plurality of panel detachable pins 241, Are commonly supported. The pin lifting plate 243 is moved up and down according to the driving of the pin lifting and lowering driving unit 245 so that the plurality of panel lifting and lowering pins 241 are raised and lowered simultaneously. The pin lifting plate 243 is provided with a plurality of second shaft through holes (not shown) through which the plurality of panel lifting guide shafts 235 of the panel lifting unit 230 vertically penetrate.

상기 핀 승강 플레이트(243)에는 복수의 패널 탈착 핀(241) 각각의 하단부가 삽입 관통하는 복수의 핀 관통홀(243a)이 형성되어 있다. 이에 따라, 복수의 패널 탈착 핀(241) 각각의 하단부는 해당하는 핀 관통홀(243a)을 관통하여 핀 승강 플레이트(243)의 하부로 돌출되어 볼트(242)와 결합된다. 이에 따라, 복수의 패널 탈착 핀(241) 각각은 핀 승강 플레이트(243)에 수직하게 고정되면서 패널 지지 포스트(231)에 마련된 제 1 및 제 2 중공부(231a1, 231b1)에 승강 가능하게 삽입된다.The pin lifting plate 243 has a plurality of pin through holes 243a through which the lower ends of the plurality of panel detachable pins 241 are inserted. The lower end of each of the plurality of panel detachable pins 241 protrudes to the lower portion of the pin lifting plate 243 through the corresponding pin through hole 243a and is coupled to the bolt 242. Each of the plurality of panel detachment pins 241 is vertically fixed to the pin lifting plate 243 and inserted into the first and second hollow portions 231a1 and 231b1 provided on the panel support post 231 .

또한, 핀 승강 플레이트(243)에는 상기 패널 승강 구동부(239)의 제 1 볼 스크류(239c)가 관통하는 제 2 스크류 관통홀(243b)이 마련되어 있다.The pin lifting plate 243 is provided with a second screw through hole 243b through which the first ball screw 239c of the panel lift driving part 239 passes.

상기 핀 승강 구동부(245)는 핀 승강 플레이트(243)의 하면에 설치되어 핀 승강 플레이트(243)를 승강시킨다. 일 예에 따른 핀 승강 구동부(245)는 구동 실린더를 포함할 수 있다.The pin lifting and lowering driving unit 245 is installed on the lower surface of the pin lifting plate 243 to lift and raise the pin lifting plate 243. The pin lifting driver 245 according to one example may include a driving cylinder.

상기 구동 실린더는 핀 승강 플레이트(243)의 하면에 고정되는 것으로, 실린더 축(245a)은 핀 승강 플레이트(243)를 수직 관통하여 패널 승강 플레이트(233)의 하면에 결합된다. 구동 실린더는 유압 또는 공압 실린더일 수 있다. 이러한 구동 실린더는 패널 승강 플레이트(233)를 지지대로 하여 유압 또는 공압에 따라 실린더 축(245a)을 전진 또는 후진시킴으로써 핀 승강 플레이트(243)를 승강시켜 복수의 패널 탈착 핀(241)을 동시에 승강시킨다. 예를 들어, 구동 실린더는 실린더 축(245a)을 전진시켜 핀 승강 플레이트(243)를 하강시키고, 실린더 축(245a)을 후진시켜 핀 승강 플레이트(243)를 상승시킬 수 있다.The driving cylinder is fixed to the lower surface of the pin lifting plate 243 and the cylinder shaft 245a vertically penetrates the pin lifting plate 243 and is coupled to the lower surface of the panel lifting plate 233. [ The drive cylinder may be a hydraulic or pneumatic cylinder. The drive cylinder moves the cylinder lifting plate 243 up and down by moving the cylinder shaft 245a forward or backward in accordance with the hydraulic pressure or the air pressure with the panel lifting plate 233 as a support to raise and lower the plurality of panel removing pins 241 simultaneously . For example, the drive cylinder can advance the cylinder axis 245a to lower the pin lift plate 243, and the cylinder shaft 245a to move back the pin lift plate 243.

한편, 상기 구동 실린더와 중첩되는 상기 패널 승강 수단(230)의 하부 지지 플레이트(237)에는 핀 승강 플레이트(243)의 승강시 구동 실린더가 원활하게 승강될 수 있도록 하는 실린더 승강홈(237a)이 마련되어 있다.On the other hand, a cylinder lifting groove 237a is provided on the lower support plate 237 of the panel lifting means 230, which overlaps with the driving cylinder, so that the driving cylinder can be smoothly lifted and lowered when the pin lifting plate 243 is lifted or lowered have.

상기 펌핑 포트(250)는 상부 챔버 모듈(300)과 마주하는 하부 챔버(210)의 일측부를 수직 관통하도록 형성되고, 펌핑 관(미도시)을 통해 외부의 진공 펌핑 장치(미도시)에 연결된다. 상기 진공 펌핑 장치는 펌핑 포트(250)를 통해 도킹된 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이에 합착 공간에 진공 분위기를 형성한다.The pumping port 250 is formed to vertically penetrate one side of the lower chamber 210 facing the upper chamber module 300 and is connected to an external vacuum pumping device (not shown) through a pumping pipe . The vacuum pumping device forms a vacuum atmosphere in the cemented space between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 docked through the pumping port 250.

추가적으로, 하부 챔버 모듈(200)은 챔버 밀폐 수단(260)를 더 포함할 수 있다.Additionally, the lower chamber module 200 may further include chamber sealing means 260.

일 예에 따른 챔버 밀폐 수단(260)은 폐루프 형태를 가지도록 형성되어 하부 챔버(210)의 상면 테두리 부분에 일정한 높이로 돌출된 밀폐 링을 포함한다. 상기 밀폐 링은 고무 재질 또는 실리콘 재질로 이루어질 수 있다. 이러한 밀폐 링은 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 간의 도킹시 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이에 마련되는 합착 공간을 밀폐시킨다.The chamber sealing means 260 according to an exemplary embodiment includes a sealing ring formed to have a closed loop shape and protruding at a constant height on an upper surface rim portion of the lower chamber 210. The sealing ring may be made of a rubber material or a silicon material. The sealing ring seals the joint space provided between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 when the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 are docked.

다른 예에 따른 챔버 밀폐 수단(260)은 패널 지지 수단(220)을 둘러싸도록 하부 챔버(210)의 상면 테두리 부분에 마련되고, 기체의 주입 압력에 따라 도킹된 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이에 마련되는 합착 공간을 밀폐시키거나 주입된 기체의 배기 압력에 따라 상기 합착 공간의 밀폐를 해제한다. 이를 위해, 다른 예에 따른 챔버 밀폐 수단(260)은, 도 6에 도시된 바와 같이, 홈부(261), 오-링(263), 기체 주입 포트(265), 및 기체 배기 포트(267)를 포함한다.The chamber sealing means 260 according to another example is provided at an upper edge portion of the lower chamber 210 so as to surround the panel supporting means 220 and includes a lower chamber module 200 docked in accordance with the gas injection pressure, The sealing space provided between the modules 300 is sealed or the sealing of the cementing space is released according to the exhaust pressure of the injected gas. To this end, the chamber sealing means 260 according to another example includes a groove portion 261, an o-ring 263, a gas injection port 265, and a gas exhaust port 267, as shown in Fig. 6 .

상기 홈부(261)는 패널 지지 수단(220)을 둘러싸도록 하부 챔버(210)의 테두리 부분 상면으로부터 일정한 폭과 일정한 깊이를 가지도록 형성된다.The groove portion 261 is formed to have a constant width and a certain depth from the upper surface of the rim portion of the lower chamber 210 so as to surround the panel supporting means 220.

상기 오-링(263)은 폐루프 형태로 가지도록 형성되어 홈부(261)에 승강 가능하도록 삽입된다. 이러한 오-링(263)은 고무 재질 또는 실리콘 재질로 이루어질 수 있다.The O-ring 263 is formed to have a closed loop shape and is inserted into the groove portion 261 so as to be able to move up and down. The O-ring 263 may be made of a rubber material or a silicone material.

상기 기체 주입 포트(265)는 홈부(261)에 연통되도록 하부 챔버(210)의 일측면에 마련된다. 이러한 기체 주입 포트(265)는 기체 주입 관을 통해 기체 블로워 장치(미도시)에 연결된다. 상기 기체 블로워 장치는 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300)이 서로 도킹되면 기체 주입 관을 통해 소정 압력의 기체를 홈부(261)에 주입함으로써 홈부(261)에 삽입된 오-링(263)을 상승시켜 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이에 마련되는 합착 공간을 밀폐시킨다.The gas injection port 265 is provided on one side of the lower chamber 210 so as to communicate with the groove portion 261. The gas injection port 265 is connected to a gas blowing device (not shown) through a gas injection tube. When the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 are docked with each other, the gas blower apparatus injects a predetermined pressure of gas into the groove portion 261 through the gas injection pipe, 263) to seal the joint space provided between the lower chamber module (200) and the upper chamber module (300).

상기 기체 배기 포트(267)는 홈부(261)에 연통되도록 하부 챔버(210)의 타측면에 마련된다. 이러한 기체 배기 포트(267)는 기체 배기 관을 통해 기체 배기 장치(미도시)에 연결된다. 상기 기체 배기 장치는 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300)의 도킹이 해체되면 기체 배기 관을 통해 홈부(261)에 주입된 기체를 외부로 배기함으로써 홈부(261)에 삽입된 오-링(263)을 하강시켜 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이에 마련되는 합착 공간의 밀폐를 해제시킨다.The gas exhaust port 267 is provided on the other side of the lower chamber 210 so as to communicate with the groove portion 261. The gas exhaust port 267 is connected to a gas exhaust device (not shown) through a gas exhaust pipe. When the docking of the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 is broken, the gas exhausting device exhausts the gas injected into the groove portion 261 through the gas exhaust pipe to the outside, The ring 263 is lowered to release the sealing of the joint space provided between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300.

다시 도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 상부 챔버 모듈(300)은 상기 하부 챔버 모듈(200) 상에 배치되어 커버 반송 장치(미도시)에 의해 로딩되는 투명 커버(2)를 지지한다. 여기서, 투명 커버(2)는 투명 플라스틱 재질로 이루어진 커버 윈도우 또는 투명 강화 유리로 이루어진 커버 글라스일 수 있다.2 and 3, the upper chamber module 300 supports the transparent cover 2 which is disposed on the lower chamber module 200 and is loaded by a cover transfer device (not shown). Here, the transparent cover 2 may be a cover glass made of a transparent plastic material or a cover glass made of a transparent tempered glass.

일 예에 따른 상부 챔버 모듈(300)은, 도 2, 도 3 및 도 7에 도시된 바와 같이, 상부 챔버(310), 챔버 승강 수단(330), 커버 지지 수단(350), 및 커버 승강 수단(370)을 포함할 수 있다.The upper chamber module 300 according to one example includes an upper chamber 310, a chamber elevating means 330, a cover supporting means 350, and a cover lifting means 330, as shown in Figs. 2, 3 and 7, (370).

상기 상부 챔버(310)는 상기 하부 챔버 모듈(200) 상에 배치되어 챔버 승강 수단(330)에 지지된다. 이러한 상부 챔버(310)는 하면 테두리 부분에 일정한 높이를 가지도록 돌출된 하부 돌출 측벽을 포함한다. 이에 따라, 상부 챔버(310)는 하부 돌출 측벽에 의해 둘러싸이는 제 2 오목부(312)를 갖는다.The upper chamber 310 is disposed on the lower chamber module 200 and supported by the chamber elevating means 330. The upper chamber 310 includes a lower protruding sidewall protruding to a predetermined height at a bottom edge portion thereof. Accordingly, the upper chamber 310 has the second concave portion 312 surrounded by the lower projecting sidewall.

상기 챔버 승강 수단(330)은 상부 챔버(310) 상에 배치되어 상부 챔버(310)를 지지함과 아울러 합착 공정에 따라 상부 챔버(310)를 승강시킨다. 일 예에 따른 챔버 승강 수단(330)은 상부 베이스 프레임(331), 복수의 메인 포스트(332), 복수의 챔버 승강 가이드 축(333), 챔버 승강 플레이트(334), 복수의 챔버 지지 축(335), 챔버 가압부(336), 및 챔버 승강 구동부(337)를 포함한다.The chamber elevating means 330 is disposed on the upper chamber 310 to support the upper chamber 310 and elevate the upper chamber 310 according to the laminating process. The chamber elevating means 330 according to an example includes an upper base frame 331, a plurality of main posts 332, a plurality of chamber elevating guide shafts 333, a chamber elevating plate 334, a plurality of chamber supporting shafts 335 A chamber pressurizing section 336, and a chamber elevating and driving section 337. [

상기 상부 베이스 프레임(331)은 상부 챔버(310) 상에 배치되어 챔버 승강 플레이트(334)를 지지한다.The upper base frame 331 is disposed on the upper chamber 310 to support the chamber lifting plate 334.

상기 복수의 메인 포스트(332)는 베이스 프레임(100)의 각 모서리 부분에 설치되어 상부 베이스 프레임(331)을 지지한다.The plurality of main posts 332 are installed at respective corner portions of the base frame 100 to support the upper base frame 331.

상기 복수의 챔버 승강 가이드 축(333) 각각은 상부 베이스 프레임(331)에 승강 가능하도록 수직하게 설치된다. 이를 위해, 상부 베이스 프레임(331)에는 복수의 챔버 승강 가이드 축(333) 각각이 승강 가능하게 수직 관통하는 제 3 축 관통홀(미도시)이 마련되어 있다.Each of the plurality of chamber elevation guide shafts 333 is installed vertically so as to be vertically movable on the upper base frame 331. To this end, the upper base frame 331 is provided with a third shaft through hole (not shown) through which each of the plurality of chamber elevation guide shafts 333 vertically penetrates to be vertically movable.

상기 챔버 승강 플레이트(334)는 상부 챔버(310)와 상부 베이스 프레임(331) 사이에 배치되어 복수의 챔버 승강 가이드 축(333)을 공통적으로 지지한다. 여기서, 복수의 챔버 승강 가이드 축(333) 각각의 하단부는 챔버 승강 플레이트(334)의 상면에 수직하게 결합된다.The chamber lift plate 334 is disposed between the upper chamber 310 and the upper base frame 331 to commonly support a plurality of chamber elevation guide shafts 333. Here, the lower end of each of the plurality of chamber elevation guide shafts 333 is vertically coupled to the upper surface of the chamber elevation plate 334.

상기 복수의 챔버 지지 축(335) 각각은 챔버 승강 플레이트(334)에 수직하게 설치되어 상부 챔버(310)를 관통하여 커버 지지 수단(350)에 결합된다. 여기서, 복수의 챔버 지지 축(335) 각각의 상부는 챔버 승강 플레이트(334)를 수직 관통하여 챔버 승강 플레이트(334)의 상면으로 돌출되어 볼트(335a)와 결합되고, 복수의 챔버 지지 축(335) 각각의 하부는 상부 챔버(310)를 관통하여 체결 수단(미도시)에 의해 커버 지지 수단(350)에 결합된다. 이에 따라, 상기 복수의 챔버 지지 축(335) 각각은 챔버 승강 플레이트(334)에 수직하게 설치되어 상부 챔버(310)를 지지함과 아울러 커버 지지 수단(350)를 지지한다.Each of the plurality of chamber supporting shafts 335 is installed vertically to the chamber lifting plate 334 and is coupled to the cover supporting means 350 through the upper chamber 310. The upper portion of each of the plurality of chamber support shafts 335 vertically penetrates the chamber lifting plate 334 and protrudes from the upper surface of the chamber lifting plate 334 to be coupled with the bolt 335a, Is coupled to the cover supporting means 350 by means of fastening means (not shown) through the upper chamber 310. Each of the plurality of chamber supporting shafts 335 is installed vertically to the chamber lifting plate 334 to support the upper chamber 310 and the cover supporting means 350.

상기 챔버 가압부(336)는 챔버 승강 플레이트(334)와 상부 챔버(310) 사이에 설치되어 상부 챔버(310)를 가압한다. 즉, 챔버 가압부(336)는 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2) 간의 합착시 탄성 복원력을 통해 상부 챔버(310)를 가압함으로써 하부 챔버(210)와 상부 챔버(310) 간의 도킹 상태를 유지시킨다. 일 예에 따른 챔버 가압부(336)는 고정 돌기(336a)와 가압 블록(336b) 및 탄성 부재(336c)를 갖는 복수의 챔버 가압 모듈을 포함한다.The chamber presser portion 336 is installed between the chamber lifting plate 334 and the upper chamber 310 to press the upper chamber 310. That is, the chamber pressurizing portion 336 presses the upper chamber 310 through the elastic restoring force when the display panel 1 and the transparent cover 2 are attached together, so that the docking state between the lower chamber 210 and the upper chamber 310 . The chamber pressurizing portion 336 according to an example includes a plurality of chamber pressurizing modules having a fixing protrusion 336a, a pressurizing block 336b and an elastic member 336c.

상기 고정 돌기(336a)는 챔버 승강 플레이트(334)의 하면으로부터 일정한 높이로 돌출된다. 여기서, 고정 돌기(336a)는 챔버 지지 축(335)에 인접하도록 챔버 승강 플레이트(334)의 하면 테두리 부분에 마련될 수 있다.The fixing protrusion 336a protrudes from the lower surface of the chamber lifting plate 334 at a predetermined height. Here, the fixing protrusion 336a may be provided at the bottom edge portion of the chamber lifting plate 334 so as to be adjacent to the chamber supporting shaft 335. [

상기 가압 블록(336b)은 고정 돌기(336a)와 중첩되도록 상부 챔버(310)의 상면에 일정한 높이로 설치된다.The pressing block 336b is installed at a predetermined height on the upper surface of the upper chamber 310 so as to overlap with the fixing protrusion 336a.

상기 탄성 부재(336c)는 고정 돌기(336a)와 가압 블록(336b) 간에 설치되어 탄성 복원력에 따라 가압 블록(336b)을 가압함으로써 챔버 밀폐 수단(260)을 사이에 두고 하부 챔버(210)에 도킹된 상부 챔버(310)의 위치를 고정하고, 챔버 밀폐 수단(260)에 의해 하부 챔버(210)와 상부 챔버(310) 사이에 마련되는 합착 공간의 밀폐 상태를 유지시킨다.The elastic member 336c is installed between the fixing protrusions 336a and the pressing block 336b and presses the pressing block 336b in accordance with the elastic restoring force to dock the lower chamber 210 with the chamber sealing means therebetween. And the chamber sealing means 260 maintains the sealed state of the joint space provided between the lower chamber 210 and the upper chamber 310.

디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2) 간의 합착시 탄성 복원력에 따라 가압 블록(336b)이 상부 챔버(310)를 가압하도록 한다. 여기서, 복수의 고정 돌기(336a) 각각은 해당하는 탄성 부재(336c)의 상측에 삽입되고, 복수의 가압 블록(336b) 각각은 해당하는 탄성 부재(336c)의 하측에 삽입된다. 특히, 탄성 부재(336c)에 삽입된 고정 돌기(336a)와 가압 블록(336b)은 미리 설정된 간격으로 이격될 수 있다.The pressing block 336b presses the upper chamber 310 in accordance with the elastic restoring force when the display panel 1 and the transparent cover 2 are attached together. Here, each of the plurality of fixing projections 336a is inserted into the upper side of the corresponding elastic member 336c, and each of the plurality of pressing blocks 336b is inserted into the lower side of the corresponding elastic member 336c. In particular, the fixing protrusion 336a and the pressing block 336b inserted into the elastic member 336c may be spaced apart from each other at a predetermined interval.

상기 챔버 승강 구동부(337)는 상부 베이스 프레임(331)의 상면에 설치되어 챔버 승강 플레이트(334)를 승강시킨다. 일 예에 따른 챔버 승강 구동부(337)는 제 2 및 제 3 볼 스크류(337a1, 337a2), 제 2 구동 모터(337b), 제 1 기어 박스(337c), 제 2 기어 박스(337d), 및 제 3 기어 박스(337e)를 포함한다.The chamber elevating and lowering driving unit 337 is installed on the upper surface of the upper base frame 331 to elevate the chamber elevating plate 334. The chamber elevating and lowering drive unit 337 according to an example includes second and third ball screws 337a1 and 337a2, a second driving motor 337b, a first gear box 337c, a second gear box 337d, 3 gear box 337e.

상기 제 2 및 제 3 볼 스크류(337a1, 337a2) 각각은 상부 베이스 프레임(331)의 양측 가장자리 부분을 수직 관통하여 챔버 승강 플레이트(334)의 상면에 결합된다. 여기서, 상기 제 2 및 제 3 볼 스크류(337a1, 337a2) 각각은 원 기둥 형태로 형성된다. 이때, 상기 제 2 및 제 3 볼 스크류(337a1, 337a2) 각각의 상측부에는 나사산이 마련되어 있으며, 상기 제 2 및 제 3 볼 스크류(337a1, 337a2) 각각의 하단부에는 나사산이 마련되지 않을 수 있다.Each of the second and third ball screws 337a1 and 337a2 vertically penetrates both side edges of the upper base frame 331 and is coupled to the upper surface of the chamber lifting plate 334. [ Here, each of the second and third ball screws 337a1 and 337a2 is formed in a circular column shape. At this time, the upper portions of the second and third ball screws 337a1 and 337a2 are provided with threads, and the lower ends of the second and third ball screws 337a1 and 337a2 may not have threads.

상기 제 2 구동 모터(337b)는 상부 베이스 프레임(331)의 상면에 배치되어 제 2 및 제 3 볼 스크류(337a1, 337a2) 각각을 동시에 승강시키기 위한 회전력을 제공한다.The second driving motor 337b is disposed on the upper surface of the upper base frame 331 and provides rotational force for simultaneously raising and lowering the second and third ball screws 337a1 and 337a2.

상기 제 1 기어 박스(337c)는 제 2 구동 모터(337b)에 연결되어 제 2 구동 모터(337b)의 회전 운동을 제 2 및 제 3 볼 스크류(337a1, 337a2) 각각 쪽으로 전달한다. 일 예에 따른 제 1 기어 박스(337c)는 제 2 구동 모터(337b)의 회전 축에 연결되어 제 1 수평 축 방향을 중심으로 회전하는 제 1 베벨 기어(미도시), 제 1 베벨 기어의 회전에 따라 제 1 수평 축 방향과 수평 교차하는 제 2 수평 축 방향을 중심으로 회전하는 제 2 및 제 3 베벨 기어(미도시)를 포함할 수 있다.The first gear box 337c is connected to the second driving motor 337b and transmits rotational motion of the second driving motor 337b to the second and third ball screws 337a1 and 337a2. The first gear box 337c according to an example includes a first bevel gear (not shown) connected to the rotation axis of the second drive motor 337b and rotating about a first horizontal axis direction, a first bevel gear And second and third bevel gears (not shown) that rotate about a second horizontal axis direction that intersects the first horizontal axis direction according to the first horizontal axis direction.

상기 제 2 기어 박스(337d)는 제 2 베벨 기어의 회전에 따라 제 2 볼 스크류(337a1)를 승강시킨다. 일 예에 따른 제 2 기어 박스(337d)는 제 2 베벨 기어의 회전 축과 연결되어 제 2 수평 축 방향을 중심으로 회전하는 제 4 베벨 기어(미도시) 및 제 4 베벨 기어의 회전에 따라 제 4 베벨 기어의 회전 축과 수직 교차하는 수직 축 방향을 중심으로 회전하여 제 2 볼 스크류(337a1)를 승강시키는 제 5 베벨 기어(미도시)를 포함할 수 있다. 여기서, 제 5 베벨 기어의 중심부에는 제 2 볼 스크류(337a1)와 치합되는 암나사산이 형성되어 있거나 볼 너트가 설치되어 있다. 이에 따라, 제 2 볼 스크류(337a1)는 제 5 베벨 기어의 회전 운동에 따라 회전하면서 상하로 승강됨으로써 챔버 승강 플레이트(334)의 일측을 승강시킨다.The second gear box 337d moves up and down the second ball screw 337a1 in accordance with the rotation of the second bevel gear. The second gear box 337d according to an example includes a fourth bevel gear (not shown) connected to the rotation shaft of the second bevel gear and rotating about the second horizontal axis direction, and a fourth bevel gear And a fifth bevel gear (not shown) for rotating the second ball screw 337a1 about the vertical axis direction perpendicular to the rotational axis of the fourth bevel gear to lift the second ball screw 337a1. Here, the fifth bevel gear is provided with a female screw thread or a ball nut to be engaged with the second ball screw 337a1 at the center of the fifth bevel gear. Accordingly, the second ball screw 337a1 is lifted up and down while rotating according to the rotational motion of the fifth bevel gear, thereby lifting one side of the chamber lifting plate 334.

상기 제 3 기어 박스(337e)는 제 3 베벨 기어의 회전에 따라 제 3 볼 스크류(337a2)를 승강시킨다. 일 예에 따른 제 3 기어 박스(337e)는 제 3 베벨 기어의 회전 축과 연결되어 제 2 수평 축 방향을 중심으로 회전하는 제 6 베벨 기어(미도시) 및 제 6 베벨 기어의 회전에 따라 제 6 베벨 기어의 회전 축과 수직 교차하는 수직 축 방향을 중심으로 회전하여 제 3 볼 스크류(337a2)를 승강시키는 제 7 베벨 기어(미도시)를 포함할 수 있다. 여기서, 제 7 베벨 기어의 중심부에는 제 3 볼 스크류(337a2)와 치합되는 암나사산이 형성되어 있거나 볼 너트가 설치되어 있다. 이에 따라, 제 3 볼 스크류(337a2)는 제 7 베벨 기어의 회전 운동에 따라 회전하면서 상하로 승강됨으로써 챔버 승강 플레이트(334)의 일측과 동시에 챔버 승강 플레이트(334)의 타측을 승강시킨다.The third gear box 337e lifts the third ball screw 337a2 in accordance with the rotation of the third bevel gear. The third gear box 337e according to an example includes a sixth bevel gear (not shown) connected to the rotation axis of the third bevel gear and rotating about the second horizontal axis direction, and a sixth bevel gear And a seventh bevel gear (not shown) for rotating the third ball screw 337a2 about a vertical axis direction perpendicular to the rotational axis of the bevel gear to elevate the third ball screw 337a2. Here, in the central portion of the seventh bevel gear, a female screw thread to be engaged with the third ball screw 337a2 is formed or a ball nut is provided. Thus, the third ball screw 337a2 is lifted up and down while rotating according to the rotation of the seventh bevel gear, thereby elevating and lowering the other side of the chamber lifting plate 334 simultaneously with one side of the chamber lifting plate 334.

부가적으로, 상기 챔버 승강 구동부(337)는 제 1 및 제 2 기어 박스(337c, 337d) 간의 회전 축을 서로 연결하는 제 2 커플러(337f), 제 1 및 제 3 기어 박스(337c, 337e) 간의 회전 축을 서로 연결하는 제 3 커플러(337g)를 더 포함할 수 있다.In addition, the chamber elevating and lowering drive unit 337 includes a second coupler 337f for connecting rotation shafts between the first and second gear boxes 337c and 337d, and a second coupler 337f for connecting the first and third gear boxes 337c and 337e And a third coupler 337g connecting the rotation axes to each other.

상기 커버 지지 수단(350)은 상부 챔버(310)의 하면에 설치되어 투명 커버(2)를 지지한다. 즉, 커버 지지 수단(350)은 상부 챔버(310)에 마련된 제 2 오목부(312)에 수납되어 외부로부터 제공되는 진공 흡입력에 따라 투명 커버(2)를 지지한다. 일 예에 따른 커버 지지 수단(350)은 상부 다공질 플레이트(351) 및 상부 진공 포트(353)를 포함한다.The cover supporting means 350 is installed on the lower surface of the upper chamber 310 to support the transparent cover 2. That is, the cover supporting means 350 is housed in the second recess 312 provided in the upper chamber 310 and supports the transparent cover 2 according to the vacuum suction force provided from the outside. The cover support means 350 according to an example includes an upper porous plate 351 and an upper vacuum port 353. [

상기 상부 다공질 플레이트(351)는 상부 챔버(310)의 하면에 마련된 제 2 오목부(312)에 수납되어 상부 진공 포트(353)로부터 제공되는 진공 흡입력에 따라 투명 커버(2)를 진공 흡착한다. 일 예에 따른 상부 다공질 플레이트(351)는 제 2 오목부(312)에 수납되도록 평판 형태를 갖는 상부 다공질 몸체(351a) 및 상부 다공질 몸체(351a)의 하면에 부착된 상부 다공질 패드(351b)를 포함할 수 있다.The upper porous plate 351 is housed in a second recess 312 provided on the lower surface of the upper chamber 310 and vacuum-absorbs the transparent cover 2 according to the vacuum suction force provided from the upper vacuum port 353. The upper porous plate 351 according to an exemplary embodiment includes an upper porous body 351a having a flat plate shape and an upper porous pad 351b attached to a lower surface of the upper porous body 351a so as to be accommodated in the second recess 312 .

상기 상부 진공 포트(353)는 상부 다공질 플레이트(351)에 상면 중앙부에 삽입되고, 진공 흡입관(미도시)을 통해 외부의 진공 흡입 장치에 연결된다. 이러한 상부 진공 포트(353)는 진공 흡입 장치의 진공 흡입력을 상부 다공질 플레이트(351)에 제공하여 상부 다공질 패드(351b)에 진공 흡입력을 발생시킴으로써 투명 커버(2)가 상부 다공질 패드(351b)에 진공 흡착되도록 한다.The upper vacuum port 353 is inserted into the upper porous plate 351 at the center of the upper surface thereof and connected to an external vacuum suction device through a vacuum suction pipe (not shown). The upper vacuum port 353 provides a vacuum suction force of the vacuum suction device to the upper porous plate 351 to generate a vacuum suction force in the upper porous pad 351b so that the transparent cover 2 is vacuum- To be adsorbed.

상기 커버 승강 수단(370)은 커버 반송 장치(미도시)에 의해 상부 챔버(310)의 하부로 로딩되는 투명 커버(2)를 지지하고, 지지된 투명 커버(2)를 커버 지지 수단(350)에 안착시킨다. 일 예에 따른 커버 승강 수단(370)은 복수의 커버 지지 포스트(371), 커버 승강 플레이트(373), 복수의 플레이트 승강 가이드 축(375), 및 커버 승강 구동부(377)를 포함한다.The cover lifting means 370 supports the transparent cover 2 which is loaded to the lower portion of the upper chamber 310 by means of a cover conveying device and supports the supported transparent cover 2 to the cover supporting means 350, . The cover lifting means 370 according to an example includes a plurality of cover supporting posts 371, a cover lifting plate 373, a plurality of plate lifting guide shafts 375, and a cover lifting driving portion 377.

상기 복수의 커버 지지 포스트(371) 각각은 커버 지지 수단(350)을 수직 관통하도록 미리 설정된 간격으로 설치된다. 이러한 복수의 커버 지지 포스트(371) 각각의 상면은 커버 승강 구동부(377)의 구동에 따른 커버 승강 플레이트(373)의 승강에 따라 커버 지지 수단(350)의 하면으로 돌출되어 커버 지지 위치로 하강하거나, 커버 지지 수단(350)의 내부로 삽입되어 커버 안착 위치로 상승한다. 이를 위해, 복수의 커버 지지 포스트(371) 각각은 상기 상부 챔버(310)에 마련된 제 3 수직 관통홀(314)과 커버 지지 수단(350)에 마련된 제 4 수직 관통홀(355)에 삽입 배치된다.Each of the plurality of cover supporting posts 371 is installed at predetermined intervals so as to vertically penetrate the cover supporting means 350. The upper surface of each of the plurality of cover supporting posts 371 protrudes from the lower surface of the cover supporting means 350 as the cover lifting plate 373 is lifted or lowered according to the driving of the cover lifting driving portion 377, , And inserted into the interior of the cover supporting means (350) and raised to the cover seating position. Each of the plurality of cover supporting posts 371 is inserted into a third vertical through hole 314 provided in the upper chamber 310 and a fourth vertical through hole 355 provided in the cover supporting means 350 .

일 예에 따른 복수의 커버 지지 포스트(371) 각각은 커버 승강 포스트(371a) 및 커버 점착 척(371b)을 포함한다.Each of the plurality of cover support posts 371 according to an example includes a cover lifting post 371a and a cover sticking chuck 371b.

상기 커버 승강 포스트(371a)는 커버 승강 플레이트(373)에 수직하게 설치되어 커버 지지 수단(350)에 승강 가능하게 삽입된다. 커버 승강 포스트(371a)는 원 기둥 형태를 형성될 수 있다. 이러한 커버 승강 포스트(371a)는 금속 재질 또는 세라믹 재질로 이루어질 수 있다.The cover lifting post 371a is vertically installed on the cover lifting plate 373 and is vertically inserted into the cover supporting means 350. [ The cover lifting post 371a may be formed in a circular column shape. The cover lifting post 371a may be made of a metal material or a ceramic material.

상기 커버 승강 포스트(371a)의 하부에는 커버 점착 척(371b)이 분리 가능하게 삽입되는 제 2 척 삽입 홀(371a1)이 마련되어 있다.A second chuck insertion hole 371a1 through which the cover sticking chuck 371b is detachably inserted is provided below the cover lifting post 371a.

상기 커버 점착 척(371b)은 커버 승강 포스트(371a)의 하부에 마련된 제 2 척 삽입 홀(371a1)에 분리 가능하게 결합되어 투명 커버(2)를 흡착하며, 특히 투명 커버(2)에 진공 흡착시 투명 커버(2)의 떨림과 같은 미세한 움직임으로 인한 위치 이탈을 방지한다. 커버 점착 척(371b)은 점착성 재질로 이루어질 수 있다. 부가적으로, 상기 커버 점착 척(371b)은 원형 링 형태를 갖는 커버 점착 패드(371c)를 더 포함할 수 있다. 상기 커버 점착 패드(371c)는 커버 점착 척(231b)의 하면에 설치될 수 있다.The cover sticking chuck 371b is detachably coupled to the second chuck insertion hole 371a1 provided at the lower part of the cover lifting post 371a to absorb the transparent cover 2 and particularly to the transparent cover 2 by vacuum adsorption Thereby preventing displacement of the transparent cover 2 due to fine movement such as tremble. The cover sticking chuck 371b may be made of an adhesive material. In addition, the cover sticking chuck 371b may further include a cover sticking pad 371c having a circular ring shape. The cover sticking pad 371c may be provided on the lower surface of the cover sticking chuck 231b.

상기 상부 챔버(310)의 상면에는 복수의 커버 지지 포스트(371) 각각이 수직 관통하는 복수의 제 2 포스트 홀더 브라켓(372a)이 설치되어 있다. 상기 복수의 제 2 포스트 홀더 브라켓(372a) 각각은 복수의 커버 지지 포스트(371) 각각의 승강을 가이드할 뿐만아니라 복수의 커버 지지 포스트(371) 각각이 기울어져 승강하는 것을 방지한다.On the upper surface of the upper chamber 310, a plurality of second post holder brackets 372a through which a plurality of cover support posts 371 vertically penetrate are provided. Each of the plurality of second post holder brackets 372a not only guides the lifting and lowering of each of the plurality of cover support posts 371 but also prevents each of the plurality of cover support posts 371 from tilting up and down.

상기 커버 승강 플레이트(373)는 복수의 커버 지지 포스트(371) 각각을 공통적으로 지지한다. 이를 위해, 커버 승강 플레이트(373)에는 복수의 커버 지지 포스트(371) 각각의 상단부가 삽입 관통하는 복수의 제 2 포스트 관통홀(373a)이 형성되어 있다. 이에 따라, 복수의 커버 지지 포스트(371) 각각의 상단부는 해당하는 제 2 포스트 관통홀(373a)을 관통하여 커버 승강 플레이트(373)의 상부로 돌출되어 볼트(372b)와 결합된다. 이에 따라, 복수의 커버 지지 포스트(371) 각각은 커버 승강 플레이트(373)에 수직하게 고정되면서 상부 챔버(310) 및 커버 지지 수단(350)에 승강 가능하게 삽입되게 된다.The cover lifting plate 373 supports each of the plurality of cover supporting posts 371 in common. To this end, the cover lifting plate 373 is formed with a plurality of second through-holes 373a through which the upper ends of the plurality of cover supporting posts 371 are inserted. The upper ends of the plurality of cover support posts 371 protrude upward from the cover lifting plate 373 through the corresponding second through holes 373a and are engaged with the bolts 372b. Each of the plurality of cover supporting posts 371 is vertically fixed to the cover lifting plate 373 and is inserted into the upper chamber 310 and the cover supporting means 350 in a liftable manner.

상기 복수의 플레이트 승강 가이드 축(375) 각각은 챔버 승강 플레이트(334)를 수직 관통하여 커버 승강 플레이트(373)에 수직하게 설치된다. 이를 위해, 챔버 승강 플레이트(334)에는 복수의 플레이트 승강 가이드 축(375) 각각이 승강 가능하게 수직 관통하는 제 4 축 관통홀(미도시)이 마련되어 있다. 이러한 복수의 플레이트 승강 가이드 축(375) 각각은 커버 승강 플레이트(373)의 승강을 가이드한다.Each of the plurality of plate lifting guide shafts 375 vertically penetrates the chamber lifting plate 334 and is installed perpendicularly to the cover lifting plate 373. To this end, the chamber elevating plate 334 is provided with a fourth shaft through hole (not shown) through which a plurality of plate elevating guide shafts 375 vertically penetrate to be vertically movable. Each of the plurality of plate lifting guide shafts 375 guides the lifting and lowering of the cover lifting plate 373.

상기 커버 승강 구동부(377)는 챔버 승강 플레이트(334)의 상면에 설치되고 커버 승강 플레이트(373)를 승강시켜 복수의 커버 지지 포스트(371)를 동시에 승강시킨다. 일 예에 따른 커버 승강 구동부(377)는 제 3 구동 모터(377a), 및 제 4 볼 스크류(377b)를 포함한다.The cover lifting and lowering driving unit 377 is installed on the upper surface of the chamber lifting plate 334 and lifts and raises the cover lifting plate 373 to simultaneously raise and lower the plurality of cover supporting posts 371. The cover lifting drive unit 377 according to an example includes a third drive motor 377a and a fourth ball screw 377b.

상기 제 3 구동 모터(377a)는 챔버 승강 플레이트(334)의 상면에 설치되어 제 4 볼 스크류(377b)를 정회전 또는 역회전시킨다.The third driving motor 377a is installed on the upper surface of the chamber lifting plate 334 to forwardly or reversely rotate the fourth ball screw 377b.

상기 제 4 볼 스크류(377b)는 제 3 구동 모터(377a)의 회전축에 연결되어 제 3 구동 모터(377a)의 회전에 따라 커버 승강 플레이트(373)를 승강시키다. 즉, 제 4 볼 스크류(377b)는 챔버 승강 플레이트(334)를 수직 관통함과 아울러 커버 승강 플레이트(373)에 결합된다. 이때, 챔버 승강 플레이트(334)에는 나사산이 형성되어 있지 않은 제 4 볼 스크류(377b)의 상부가 수직 관통하는 제 3 스크류 관통홀(334a)이 마련되어 있다. 그리고, 커버 승강 플레이트(373)에는 제 4 볼 스크류(377b)의 하부에 형성된 나사산과 치합되는 나사홀이 형성되어 있거나, 볼 너트가 설치되어 있다. 이에 따라, 제 4 볼 스크류(377b)는 제 3 구동 모터(377a)의 회전에 따라 커버 승강 플레이트(373)를 승강시킨다. 따라서, 커버 승강 플레이트(373)는 제 4 볼 스크류(377b)의 회전 운동에 따라 상하로 직선 운동함으로써 복수의 커버 지지 포스트(371)를 동시에 승강시킨다.The fourth ball screw 377b is connected to the rotating shaft of the third driving motor 377a to move the cover lifting plate 373 up and down according to the rotation of the third driving motor 377a. That is, the fourth ball screw 377b vertically penetrates the chamber lifting plate 334 and is coupled to the cover lifting plate 373. At this time, the chamber lifting plate 334 is provided with a third screw through-hole 334a through which an upper portion of the fourth ball screw 377b without a thread is vertically passed. The cover lifting plate 373 is provided with a screw hole to be engaged with a thread formed on the lower part of the fourth ball screw 377b, or a ball nut is provided. Accordingly, the fourth ball screw 377b moves up and down the cover lifting plate 373 in accordance with the rotation of the third driving motor 377a. Therefore, the cover lifting plate 373 linearly moves up and down in accordance with the rotational motion of the fourth ball screw 377b, thereby simultaneously lifting and lifting the plurality of cover supporting posts 371.

다시 도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 촬상 모듈(400)은 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이로 이동되어 디스플레이 패널(1)에 마련된 제 1 얼라인 마크(미도시)와 투명 커버(2)에 마련된 제 2 얼라인 마크(미도시)를 촬상하고, 촬상된 제 1 및 제 2 촬상 이미지를 제어부(미도시)에 제공한다. 일 예에 따른 촬상 모듈(400)은 한 쌍의 수직 지지대(410a, 410b), 가이드 레일(420), 제 1 및 제 2 이동 블록(430a, 430b), 제 1 및 제 2 카메라 슬라이더(440a, 440b), 제 1 및 제 2 양방향 비전 카메라(450a, 450b)를 포함한다.2 and 3, the image sensing module 400 is moved between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 to form a first alignment mark (not shown) provided on the display panel 1 and a second alignment mark (Not shown) provided on the transparent cover 2, and provides the picked up first and second picked-up images to a control unit (not shown). The imaging module 400 according to an exemplary embodiment includes a pair of vertical supports 410a and 410b, a guide rail 420, first and second moving blocks 430a and 430b, first and second camera sliders 440a and 440b, 440b, and first and second bidirectional vision cameras 450a, 450b.

상기 한 쌍의 수직 지지대(410a, 410b)는 서로 나란하도록 베이스 프레임(100)에 설치되어 가이드 레일(420)을 지지한다.The pair of vertical supports 410a and 410b are installed on the base frame 100 to support the guide rails 420 so as to be parallel to each other.

상기 가이드 레일(420)은 한 쌍의 수직 지지대(410a, 410b) 간에 걸쳐지고, 제 1 및 제 2 이동 블록(430a, 430b) 각각의 수평 이동을 가이드한다.The guide rail 420 is interposed between a pair of vertical supports 410a and 410b and guides the horizontal movement of each of the first and second moving blocks 430a and 430b.

상기 제 1 이동 블록(430a)은 가이드 레일(420)의 일측부에 이동 가능하게 설치되어 제 1 카메라 이동 장치(미도시)의 구동에 따라 수평 이동한다. 이때, 상기 제 1 이동 블록(430a)은 가이드 레일(420)의 일측 끝단과 중앙부 사이에서 이동될 수 있다. 여기서, 제 1 카메라 이동 장치는 볼 스크류, 리니어 모터, 또는 벨트를 이용한 수평 이동 방식에 따라 제 1 이동 블록(430a)을 수평 이동시킬 수 있다.The first moving block 430a is movably installed on one side of the guide rail 420 and moves horizontally according to the driving of the first camera moving device (not shown). At this time, the first moving block 430a can be moved between one end of the guide rail 420 and the middle part. Here, the first camera moving device may horizontally move the first moving block 430a according to a horizontal moving method using a ball screw, a linear motor, or a belt.

상기 제 2 이동 블록(430b)은 가이드 레일(420)의 타측부에 이동 가능하게 설치되어 제 2 카메라 이동 장치(미도시)의 구동에 따라 수평 이동한다. 이때, 상기 제 2 이동 블록(430b)은 가이드 레일(420)의 타측 끝단과 중앙부 사이에서 이동될 수 있다. 여기서, 제 2 카메라 이동 장치는 제 1 카메라 이동 장치와 동일한 수평 이동 방식에 따라 제 2 이동 블록(430b)을 수평 이동시킬 수 있다.The second moving block 430b is movably installed on the other side of the guide rail 420 and moves horizontally according to the driving of the second camera moving device (not shown). At this time, the second moving block 430b can be moved between the other end of the guide rail 420 and the middle part. Here, the second camera moving device may horizontally move the second moving block 430b according to the same horizontal moving method as that of the first camera moving device.

상기 제 1 카메라 슬라이더(440a)는, 도 2 및 도 8에 도시된 바와 같이, 제 1 이동 블록(430a)과 제 1 양방향 비전 카메라(450a) 사이에 접철 가능하게 설치되어 제 1 양방향 비전 카메라(450a)를 지지한다. 이러한 제 1 카메라 슬라이더(440a)는 가이드 레일(420)의 길이 방향과 나란한 제 1 수평 방향(X)과 수평 교차하는 제 2 수평 방향(Y)으로 제 1 양방향 비전 카메라(450a)를 슬라이딩시키고, 제 1 이동 블록(430a)의 수평 이동에 따라 제 1 수평 방향(X)으로 이동되어 제 1 양방향 비전 카메라(450a)를 제 1 수평 방향(X)으로 이동시킨다. 일 예에 따른 제 1 카메라 슬라이더(440a)는 제 1 슬라이딩 가이더(442a) 및 제 1 슬라이딩 바(442b)를 포함한다.As shown in FIGS. 2 and 8, the first camera slider 440a is installed between the first moving block 430a and the first bidirectional vision camera 450a so as to be folded and folded by a first bidirectional vision camera 450a. The first camera slider 440a slides the first bidirectional vision camera 450a in a second horizontal direction Y which is horizontal to the first horizontal direction X parallel to the longitudinal direction of the guide rail 420, And is moved in the first horizontal direction X in accordance with the horizontal movement of the first moving block 430a to move the first bidirectional vision camera 450a in the first horizontal direction X. [ The first camera slider 440a according to an exemplary embodiment includes a first sliding guider 442a and a first sliding bar 442b.

상기 제 1 슬라이딩 가이더(442a)는 제 1 이동 블록(430a)에 설치되어 제 1 슬라이딩 바(442b)의 슬라이딩을 가능하게 지지한다.The first sliding guider 442a is installed in the first moving block 430a to support the sliding of the first sliding bar 442b.

상기 제 1 슬라이딩 바(442b)는 제 1 슬라이딩 가이더(442a)의 상면에 슬라이딩 가능하도록 설치되어 제 1 양방향 비전 카메라(450a)를 지지된다. 이러한 제 1 슬라이딩 바(442b)는 제 1 슬라이딩 구동 수단(미도시)의 구동에 따라 제 1 슬라이딩 가이더(442a)의 상면에서 제 2 수평 방향(Y)으로 슬라이딩되어 제 1 양방향 비전 카메라(450a)를 제 2 수평 방향(Y)으로 슬라이딩시킨다.The first sliding bar 442b is slidably mounted on the upper surface of the first sliding guider 442a and is supported by a first bidirectional vision camera 450a. The first sliding bar 442b is slid in the second horizontal direction Y from the upper surface of the first sliding guider 442a in accordance with the driving of the first sliding driving means to drive the first bidirectional vision camera 450a, In the second horizontal direction (Y).

상기 제 2 카메라 슬라이더(440b)는 제 2 이동 블록(430b)과 제 2 양방향 비전 카메라(450b) 사이에 접철 가능하게 설치되어 제 2 양방향 비전 카메라(450b)를 지지한다. 이러한 제 2 카메라 슬라이더(440b)는 제 2 양방향 비전 카메라(450b)를 제 2 수평 방향(Y)으로 슬라이딩시키고, 제 2 이동 블록(430b)의 수평 이동에 따라 제 1 수평 방향(X)으로 이동되어 제 2 양방향 비전 카메라(450b)를 제 1 수평 방향(X)으로 이동시킨다. 일 예에 따른 제 2 카메라 슬라이더(440b)는 제 2 슬라이딩 가이더(444a) 및 제 2 슬라이딩 바(444b)를 포함한다.The second camera slider 440b is foldably installed between the second moving block 430b and the second bidirectional vision camera 450b to support the second bidirectional vision camera 450b. The second camera slider 440b slides the second bidirectional vision camera 450b in the second horizontal direction Y and moves in the first horizontal direction X in accordance with the horizontal movement of the second moving block 430b Thereby moving the second bidirectional vision camera 450b in the first horizontal direction X. [ The second camera slider 440b according to an exemplary embodiment includes a second sliding guide 444a and a second sliding bar 444b.

상기 제 2 슬라이딩 가이더(444a)는 제 2 이동 블록(430b)에 설치되어 제 2 슬라이딩 바(444b)의 슬라이딩을 가능하게 지지한다.The second sliding guider 444a is installed in the second moving block 430b to support the sliding of the second sliding bar 444b.

상기 제 2 슬라이딩 바(444b)는 제 2 슬라이딩 가이더(444a)의 상면에 슬라이딩 가능하도록 설치되어 제 2 양방향 비전 카메라(450b)를 지지된다. 이러한 제 2 슬라이딩 바(444b)는 제 2 슬라이딩 구동 수단(미도시)의 구동에 따라 제 2 슬라이딩 가이더(444a)의 상면에서 제 2 수평 방향(Y)으로 슬라이딩되어 제 2 양방향 비전 카메라(450b)를 제 2 수평 방향(Y)으로 슬라이딩시킨다.The second sliding bar 444b is slidably mounted on the upper surface of the second sliding guider 444a and is supported by the second bidirectional vision camera 450b. The second sliding bar 444b is slid in the second horizontal direction Y on the upper surface of the second sliding guider 444a in accordance with the driving of the second sliding driving means and the second bidirectional vision camera 450b, In the second horizontal direction (Y).

전술한 상기 한 쌍의 수직 지지대(410a, 410b), 가이드 레일(420), 제 1 및 제 2 이동 블록(430a, 430b)과 제 1 및 제 2 카메라 슬라이더(440a, 440b)는 제 1 및 제 2 양방향 비전 카메라(450a, 450b) 각각은 제 1 수평 방향(X) 및 제 2 수평 방향(Y) 중 적어도 하나의 방향으로 이동시키기 위한 카메라 이동 모듈을 구성한다.The pair of vertical supports 410a and 410b, the guide rail 420, the first and second moving blocks 430a and 430b, and the first and second camera sliders 440a and 440b are connected to the first and second Each of the two bidirectional vision cameras 450a and 450b constitutes a camera movement module for moving in at least one of a first horizontal direction X and a second horizontal direction Y. [

상기 제 1 양방향 비전 카메라(450a)는 제 1 카메라 슬라이더(440a)에 설치되고, 제 1 이동 블록(430a)의 수평 이동에 따라 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이에서 제 1 수평 방향(X)으로 수평 이동되거나 제 1 카메라 슬라이더(440a)의 구동에 따라 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이에서 제 2 수평 방향(Y)으로 이동된다.The first bidirectional vision camera 450a is installed in the first camera slider 440a and is disposed between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 according to the horizontal movement of the first moving block 430a. And is moved horizontally in the horizontal direction X or in the second horizontal direction Y between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 according to the driving of the first camera slider 440a.

일 예에 따른 제 1 양방향 비전 카메라(450a)는, 도 3 및 도 8에 도시된 바와 같이, 위치 정렬 공정시, 제 1 카메라 이동 장치의 구동에 따라 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이로 이동되어 디스플레이 패널(1)의 일측에 마련된 제 1 패널 얼라인 마크(AM1)와 투명 커버(2)의 일측에 마련된 제 1 커버 얼라인 마크(AM2)를 동시에 촬상하고, 촬상된 촬상 이미지를 제어부(미도시)에 제공할 수 있다.As shown in FIGS. 3 and 8, the first bidirectional vision camera 450a according to an exemplary embodiment includes a lower chamber module 200 and an upper chamber module 300 so that the first panel alignment mark AM1 provided on one side of the display panel 1 and the first cover alignment mark AM2 provided on one side of the transparent cover 2 are simultaneously picked up, An image can be provided to a control unit (not shown).

다른 예에 따른 제 1 양방향 비전 카메라(450a)는 위치 정렬 공정시, 제 1 카메라 이동 장치의 구동에 따라 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이로 이동되어 디스플레이 패널(1)의 제 1 측에 마련된 제 1 패널 얼라인 마크(AM1)와 투명 커버(2)의 제 1 측에 마련된 제 1 커버 얼라인 마크(AM2)를 동시에 촬상한 다음, 촬상된 촬상 이미지를 제어부에 제공한 다음, 제 1 슬라이딩 구동 수단의 구동에 따라 제 2 수평 방향(Y)으로 슬라이딩되어 디스플레이 패널(1)의 제 1 측과 나란한 제 2 측에 마련된 제 2 패널 얼라인 마크(미도시)와 투명 커버(2)의 제 1 측과 나란한 제 2 측에 마련된 제 2 패널 얼라인 마크(미도시)를 동시에 촬상한 다음 촬상된 촬상 이미지를 제어부에 제공할 수 있다.The first bidirectional vision camera 450a according to another example is moved between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 according to the driving of the first camera moving device during the alignment process, The first panel alignment mark AM1 provided on the first side and the first cover alignment mark AM2 provided on the first side of the transparent cover 2 are imaged at the same time and then the captured image is provided to the control section A second panel alignment mark (not shown) provided on the second side of the display panel 1 in parallel with the first side and a second panel alignment mark (not shown) which is slid in the second horizontal direction Y in accordance with the driving of the first sliding driving means, (Not shown) provided on the second side in parallel with the first side of the second panel 2, and then provide the picked-up image to the control unit.

결과적으로, 상기 제 1 양방향 비전 카메라(450a)는 위치 정렬 공정시, 디스플레이 패널(1)에 마련되는 패널 얼라인 마크의 위치에 기초한 제 1 카메라 이동 장치의 구동 및 제 1 슬라이딩 구동 수단의 구동에 따라 상기 제 1 및 제 2 패널 얼라인 마크 중 적어도 하나 및 이와 중첩되는 상기 제 1 및 제 2 커버 얼라인 마크 중 적어도 하나를 동시에 촬상할 수 있다. 여기서, 상기 패널 얼라인 마크가 디스플레이 패널(1)의 일측에만 마련될 경우, 상기 제 1 카메라 슬라이더(440a)는 생략될 수 있으며, 이 경우 제 1 양방향 비전 카메라(450a)는 제 1 카메라 지지대(미도시)에 의해 지지될 수 있다.As a result, in the alignment process, the first bidirectional vision camera 450a drives the first camera moving device and the first sliding driving device based on the position of the panel alignment mark provided on the display panel 1 At least one of the first and second panel alignment marks and at least one of the first and second cover alignment marks overlapping the first and second panel alignment marks can be simultaneously captured. Here, when the panel alignment mark is provided only on one side of the display panel 1, the first camera slider 440a may be omitted. In this case, the first bidirectional vision camera 450a may include a first camera support (Not shown).

그리고, 제 1 양방향 비전 카메라(440a)는 상기 위치 정렬 공정 이외에는 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 간의 도킹을 방해하지 않도록 하부 챔버 모듈(200)의 외곽부에 설정된 홈 위치로 이동된다.The first bidirectional vision camera 440a moves to the home position set in the outer frame of the lower chamber module 200 so as not to interfere with the docking between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300, do.

상기 제 2 양방향 비전 카메라(450b)는 제 2 카메라 슬라이더(440b)에 설치되고, 제 2 이동 블록(430b)의 수평 이동에 따라 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이에서 제 1 수평 방향(X)으로 수평 이동되거나 제 2 카메라 슬라이더(440b)의 구동에 따라 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이에서 제 2 수평 방향(Y)으로 이동된다.The second bidirectional vision camera 450b is installed on the second camera slider 440b and is disposed between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 in accordance with the horizontal movement of the second moving block 430b. Is moved horizontally in the horizontal direction X or moved in the second horizontal direction Y between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 according to the driving of the second camera slider 440b.

일 예에 따른 제 2 양방향 비전 카메라(450b)는 위치 정렬 공정시, 제 2 카메라 이동 장치의 구동에 따라 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이로 이동되어 디스플레이 패널(1)의 타측에 마련된 제 3 패널 얼라인 마크(미도시)와 투명 커버(2)의 타측에 마련된 제 3 커버 얼라인 마크(미도시)를 동시에 촬상하고, 촬상된 촬상 이미지를 제어부에 제공한다.The second bidirectional vision camera 450b is moved between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 according to the driving of the second camera moving device during the alignment process, (Not shown) provided on the other side of the transparent cover 2 and a third cover alignment mark (not shown) provided on the other side of the transparent cover 2, and provides the captured image to the control unit.

다른 예에 따른 제 2 양방향 비전 카메라(450b)는 위치 정렬 공정시, 제 2 카메라 이동 장치의 구동에 따라 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이로 이동되어 디스플레이 패널(1)의 제 3 측에 마련된 제 3 패널 얼라인 마크(미도시)와 투명 커버(2)의 제 3 측에 마련된 제 3 커버 얼라인 마크(미도시)를 동시에 촬상한 다음, 촬상된 촬상 이미지를 제어부에 제공한 다음, 제 2 슬라이딩 구동 수단의 구동에 따라 제 2 수평 방향(Y)으로 슬라이딩되어 디스플레이 패널(1)의 제 3 측과 나란한 제 4 측에 마련된 제 4 패널 얼라인 마크(미도시)와 투명 커버(2)의 제 3 측과 나란한 제 4 측에 마련된 제 4 패널 얼라인 마크(미도시)를 동시에 촬상한 다음 촬상된 촬상 이미지를 제어부에 제공할 수 있다.The second bidirectional vision camera 450b according to another example is moved between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 according to the driving of the second camera moving device during the alignment process, A third panel alignment mark (not shown) provided on the third side and a third cover alignment mark (not shown) provided on the third side of the transparent cover 2 are simultaneously imaged and then the captured image is provided to the control unit A fourth panel alignment mark (not shown) provided on the fourth side of the display panel 1, which is slid in the second horizontal direction Y and is in parallel with the third side of the display panel 1, A fourth panel alignment mark (not shown) provided on the fourth side of the cover 2 side-by-side with the third side can be picked up at the same time, and then the picked-up picked-up image can be provided to the control unit.

결과적으로, 상기 제 2 양방향 비전 카메라(450b)는 위치 정렬 공정시, 디스플레이 패널(1)에 마련되는 패널 얼라인 마크의 위치에 기초한 제 2 카메라 이동 장치의 구동 및 제 2 슬라이딩 구동 수단의 구동에 따라 상기 제 3 및 제 4 패널 얼라인 마크 중 적어도 하나 및 이와 중첩되는 상기 제 3 및 제 4 커버 얼라인 마크 중 적어도 하나를 동시에 촬상할 수 있다. 여기서, 상기 패널 얼라인 마크가 디스플레이 패널(1)의 타측에만 마련될 경우, 상기 제 2 카메라 슬라이더(440b)는 생략될 수 있으며, 이 경우 제 2 양방향 비전 카메라(450b)는 제 2 카메라 지지대(미도시)에 의해 지지될 수 있다.As a result, the second bidirectional vision camera 450b is driven by driving of the second camera moving device and driving of the second sliding driving device based on the position of the panel alignment mark provided on the display panel 1 At least one of the third and fourth panel alignment marks and at least one of the third and fourth cover alignment marks overlapping the third and fourth panel alignment marks can be simultaneously captured. Here, when the panel alignment mark is provided only on the other side of the display panel 1, the second camera slider 440b may be omitted. In this case, the second bidirectional vision camera 450b may be mounted on the second camera support (Not shown).

그리고, 제 2 양방향 비전 카메라(450b)는 상기 위치 정렬 공정 이외에는 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 간의 도킹을 방해하지 않도록 하부 챔버 모듈(200)의 외곽부에 설정된 홈 위치로 이동된다.The second bidirectional vision camera 450b is moved to the home position set in the outer frame of the lower chamber module 200 so as not to interfere with the docking between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300, do.

이와 같은, 촬상 모듈(400)은 하부 챔버 모듈(200)과 상부 챔버 모듈(300) 사이에서 하부에 위치한 디스플레이 패널(1)의 패널 얼라인 마크(AM1)와 상부에 위치한 투명 커버(2)의 커버 얼라인 마크(AM2)를 동시에 촬상함으로써 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2)의 크기가 변경되더라도 용이하게 패널 얼라인 마크(AM1)와 커버 얼라인 마크(AM2)를 촬상할 수 있다. 이에 따라, 본 발명은 얼라인 마크(AM1, AM2)의 촬상을 위한 뷰어 홀(view hole)을 상부 챔버 모듈(300)에 형성할 필요가 없으며, 뷰어 홀에 의한 종래의 문제점이 발생되지 않는다.The image sensing module 400 is provided between the lower chamber module 200 and the upper chamber module 300 such that the panel alignment mark AM1 of the display panel 1 located below and the transparent cover 2 The panel alignment mark AM1 and the cover alignment mark AM2 can be easily picked up even if the sizes of the display panel 1 and the transparent cover 2 are changed by simultaneously imaging the cover alignment mark AM2. Accordingly, it is not necessary to form a view hole in the upper chamber module 300 for imaging of the alignment marks AM1 and AM2, and the conventional problem caused by the viewer hole does not occur.

다시 도 2 및 도 3을 참조하면, 상기 정렬 모듈(500)은 베이스 프레임(100) 상에 설치되어 하부 챔버 모듈(200)을 지지하고, 촬상 모듈(400)의 촬상 이미지에 기초한 얼라인 제어 신호에 응답하여 하부 챔버 모듈(200)을 이동시켜 패널 얼라인 마크(AM1)와 커버 얼라인 마크(AM2) 간의 위치를 정렬한다. 일 예에 따른 정렬 모듈(500)은 복수의 챔버 지지 포스트(510), 이동 스테이지(520), 및 UVW 스테이지(530)를 포함한다.2 and 3, the alignment module 500 is mounted on the base frame 100 to support the lower chamber module 200, and an alignment control signal based on the sensed image of the imaging module 400, The lower chamber module 200 is moved in order to align the position between the panel alignment mark AM1 and the cover alignment mark AM2. The alignment module 500 according to one example includes a plurality of chamber support posts 510, a movement stage 520, and a UVW stage 530.

상기 복수의 챔버 지지 포스트(510) 각각은 하부 챔버(210)를 지지하는 것으로, 하부 챔버(210)의 하면 모서리 부분에 수직하게 결합된다.Each of the plurality of chamber support posts 510 supports the lower chamber 210 and is vertically coupled to the bottom edge of the lower chamber 210.

상기 이동 스테이지(520)는 상기 복수의 챔버 지지 포스트(510) 각각을 공통적으로 지지한다. The moving stage 520 commonly supports each of the plurality of chamber support posts 510.

상기 UVW 스테이지(530)는 이동 스테이지(520)와 베이스 프레임(100) 사이에 설치되어 얼라인 제어 신호에 응답하여 이동 스테이지(520)를 X축 방향 및/또는 Y축 방향으로 이동시킨다. 일 예에 따른 UVW 스테이지(530)는 베이스 프레임(100)의 상면에 설치된 고정 스테이지, 및 고정 스테이지와 이동 스테이지(520) 간에 설치되어 스테이지 이동부를 포함한다. 스테이지 이동부는 X축 방향의 얼라인 제어 신호에 응답하여 이동 스테이지(520)를 X축 방향으로 이동시키는 적어도 2개의 X축 구동부, 및 Y축 방향의 얼라인 제어 신호에 응답하여 이동 스테이지(520)를 Y축 방향으로 이동시키는 적어도 2개의 Y축 구동부를 포함할 수 있다. 이와 같은, 상기 UVW 스테이지(530)는 공지된 구성을 가지므로 이에 대한 구체적인 설명은 생략하기로 한다.The UVW stage 530 is installed between the moving stage 520 and the base frame 100 and moves the moving stage 520 in the X-axis direction and / or the Y-axis direction in response to the alignment control signal. The UVW stage 530 according to an example includes a fixed stage provided on the upper surface of the base frame 100 and a stage moving part provided between the fixed stage and the moving stage 520. The stage moving section includes at least two X-axis driving sections for moving the moving stage 520 in the X-axis direction in response to the alignment control signal in the X-axis direction, and a moving stage 520 in response to the Y- Axis direction in the Y-axis direction. Since the UVW stage 530 has a known configuration, a detailed description thereof will be omitted.

이와 같은, 상기 정렬 모듈(500)은 UVW 스테이지(530)를 이용하여 얼라인 제어 신호에 응답하여 하부 챔버 모듈(200) 전체를 이동시켜 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2) 간의 위치를 정렬함으로써 종래 기술 대비 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2) 간의 합착을 위한 합착 공간의 체적이 최소화되어 진공도 형성 시간이 감소되고, 이로 인하여 공정 택 타임(tact time)이 단축될 수 있다.The alignment module 500 moves the entire lower chamber module 200 in response to the alignment control signal using the UVW stage 530 to align the position between the display panel 1 and the transparent cover 2 The volume of the cemented space for adhesion between the display panel 1 and the transparent cover 2 is minimized, and the vacuum forming time is reduced, thereby shortening the tact time.

도 9a 내지 도 9g는 본 발명에 따른 디스플레이용 합착 장치를 이용한 디스플레이 패널과 투명 커버의 합착 방법을 단계적으로 나타내는 도면들이다.9A to 9G are views showing a step-by-step method for attaching a display panel and a transparent cover using a cigarette lid for a display according to the present invention.

도 9a 내지 도 9g는 본 발명에 따른 디스플레이 패널과 투명 커버의 합착 방법을 단계적으로 설명하면 다음과 같다.9A to 9G, a method of attaching the display panel and the transparent cover according to the present invention will be described step by step.

먼저, 도 9a에 도시된 바와 같이, 패널 반송 장치에 의해 디스플레이 패널(1)이 패널 로딩 위치로 반송되면, 하부 챔버(210)에 마련된 복수의 패널 지지 포스트(231)를 패널 로딩 위치로 상승시켜 디스플레이 패널(1)을 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각의 패널 점착 척(231b)에 점착시킨다. 그리고, 커버 반송 장치에 의해 투명 커버(2)가 커버 로딩 위치로 반송되면, 상부 챔버(310)에 마련된 복수의 커버 지지 포스트(371)를 커버 로딩 위치로 하강시켜 투명 커버(2)를 복수의 커버 지지 포스트(371) 각각의 커버 점착 척(371b)에 점착시킨다. 여기서, 디스플레이 패널(1)과 마주하는 투명 커버(2)의 하면에는 접착 부재(미도시)가 도포되어 있으며, 접착 부재는 OCA(optical clear adhesive) 또는 OCR(optical clear resin)과 같은 투명 접착제일 수 있다.9A, when the display panel 1 is transported to the panel loading position by the panel transportation device, the plurality of panel support posts 231 provided in the lower chamber 210 are raised to the panel loading position The display panel 1 is adhered to the panel sticking chuck 231b of each of the plurality of panel support posts 231. [ When the transparent cover 2 is conveyed to the cover loading position by the cover conveying device, the plurality of cover supporting posts 371 provided in the upper chamber 310 are lowered to the cover loading position, And adheres to the cover sticking chuck 371b of each of the cover supporting posts 371. Here, an adhesive member (not shown) is coated on the lower surface of the transparent cover 2 facing the display panel 1, and the adhesive member is a transparent adhesive such as an OCA (optical clear adhesive) or an OCR (optical clear resin) .

그런 다음, 도 9b에 도시된 바와 같이, 하부 챔버(210)에 마련된 하부 진공 포트(223)를 통해 패널 지지 수단(220)에 진공 흡입력을 발생시키면서 복수의 패널 지지 포스트(231)를 하강시켜 디스플레이 패널(1)을 패널 지지 수단(220)에 진공 흡착시킨다. 이와 동시에, 상부 챔버(310)에 마련된 상부 진공 포트(353)를 통해 커버 지지 수단(350)에 진공 흡입력을 발생시키면서 복수의 커버 지지 포스트(371)를 상승시켜 투명 커버(2)를 커버 지지 수단(350)에 진공 흡착시킨다.9B, the plurality of panel support posts 231 are lowered while generating a vacuum suction force to the panel supporting means 220 through the lower vacuum port 223 provided in the lower chamber 210, The panel 1 is vacuum-adsorbed to the panel supporting means 220. At the same time, a plurality of cover supporting posts 371 are raised while generating a vacuum suction force to the cover supporting means 350 through the upper vacuum port 353 provided in the upper chamber 310, (350).

그런 다음, 도 9c에 도시된 바와 같이, 촬상 모듈의 제 1 및 제 2 양방향 비전 카메라(450a, 450b) 각각을 하부 챔버(210)와 상부 챔버(310) 사이로 이동시킨다. 이어서, 도 8에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 양방향 비전 카메라(450a, 450b) 각각을 통해 디스플레이 패널(1)에 마련된 패널 얼라인 마크(AM1)와 투명 커버(2)에 마련된 커버 얼라인 마크(AM2)를 동시에 촬상하고, 촬상된 촬상 이미지를 제어부에 제공한다. 이어서, 제 1 및 제 2 양방향 비전 카메라(450a, 450b) 각각에 의해 촬상된 촬상 이미지에 기초한 얼라인 제어 신호에 따른 UVW 스테이지의 구동을 통해 하부 챔버(210) 전체를 이동시켜 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2) 간의 위치를 정렬한다.Then, as shown in FIG. 9C, the first and second bidirectional vision cameras 450a and 450b of the imaging module are moved between the lower chamber 210 and the upper chamber 310, respectively. 8, a panel alignment mark AM1 provided on the display panel 1 through the first and second bidirectional vision cameras 450a and 450b and a cover alignment mark AM1 provided on the transparent cover 2, In mark AM2, and provides the picked-up picked-up image to the control unit. Subsequently, the entire lower chamber 210 is moved through the driving of the UVW stage according to the alignment control signal based on the sensed image picked up by each of the first and second bidirectional vision cameras 450a and 450b, And the transparent cover (2).

그런 다음, 도 9d에 도시된 바와 같이, 디스플레이 패널(1)과 투명 커버(2) 간의 위치 정렬이 완료되면, 촬상 모듈의 제 1 및 제 2 양방향 비전 카메라(450a, 450b) 각각을 하부 챔버(210)의 외곽부에 설정된 홈 위치로 이동시킨다.9D, when the alignment between the display panel 1 and the transparent cover 2 is completed, each of the first and second bidirectional vision cameras 450a and 450b of the imaging module is moved to the lower chamber 210 to the home position set in the outer frame portion.

그런 다음, 도 9e에 도시된 바와 같이, 챔버 승강 플레이트(334)의 하강을 통해 상부 챔버(310)를 하강시켜 하부 챔버(210)에 도킹한다. 이와 동시에, 하부 챔버(210)에 마련된 기체 주입 포트(265)를 통해 하부 챔버(210)에 마련된 홈부(261)에 기체를 주입하여 홈부(261)에 삽입되어 있는 오-링(263)을 하부 챔버(210)의 상면으로 돌출시킴으로써 도킹된 상부 챔버(310)와 하부 챔버(210) 사이의 합착 공간을 밀폐시킨다. 이어서, 하부 챔버(210)에 마련된 펌핑 포트(250)를 통해 상부 챔버(310)와 하부 챔버(210) 사이의 합착 공간에 진공 분위기를 형성한 다음, 챔버 승강 플레이트(334)를 설정된 높이만큼 추가적으로 하강시켜 챔버 지지 축(335)을 미세하게 하강시킴으로써 챔버 지지 축(335)의 미세한 하강을 통해 커버 지지 수단(371)을 추가적으로 가압하여 접착 부재가 도포된 투명 커버(2)를 디스플레이 패널(1)의 표시면에 합착한다. 이때, 챔버 가압부(336)는 챔버 승강 플레이트(334)의 추가적인 하강에 따른 탄성부재(336c)의 수축에 의한 탄성 복원력을 이용해 상부 챔버(310)를 추가적으로 가압함으로써 하부 챔버(210)에 도킹된 상부 챔버(310)의 위치를 고정하고, 챔버 밀폐 수단(260)에 의해 하부 챔버(210)와 상부 챔버(310) 사이에 마련되는 합착 공간의 밀폐 상태를 유지시킨다.Then, as shown in FIG. 9E, the upper chamber 310 is lowered through the lowering of the chamber lifting plate 334 to dock the lower chamber 210. At the same time, the gas is injected into the groove portion 261 provided in the lower chamber 210 through the gas injection port 265 provided in the lower chamber 210, and the O-ring 263 inserted into the groove portion 261 is injected into the lower portion And protrudes to the upper surface of the chamber 210 to seal the joint space between the docked upper chamber 310 and the lower chamber 210. Subsequently, a vacuum atmosphere is formed in the joint space between the upper chamber 310 and the lower chamber 210 through the pumping port 250 provided in the lower chamber 210, and then the chamber lift plate 334 is additionally provided at a predetermined height The chamber supporting shaft 335 is lowered to finely lower the chamber supporting shaft 335 so as to further press the cover supporting means 371 through the minute lowering of the chamber supporting shaft 335 to move the transparent cover 2, As shown in Fig. At this time, the chamber pressurizing portion 336 presses the upper chamber 310 further by using the elastic restoring force due to the contraction of the elastic member 336c due to the further lowering of the chamber lifting plate 334, The position of the upper chamber 310 is fixed and the sealed state of the cementing space provided between the lower chamber 210 and the upper chamber 310 is maintained by the chamber sealing means 260.

그런 다음, 도 9f에 도시된 바와 같이, 펌핑 포트(250)를 통해 상부 챔버(310)와 하부 챔버(210) 사이의 합착 공간에 형성된 진공 분위기를 파기한다. 그리고, 하부 챔버(210)에 마련된 기체 배기 포트(267)를 통해 홈부(261)에 주입되어 있는 기체를 외부로 배기함으로써 하부 챔버(210)의 상면으로 돌출된 오-링(263)을 홈부(261)의 내부로 이동시켜 도킹된 상부 챔버(310)와 하부 챔버(210) 사이의 합착 공간을 밀폐를 해제한다. 또한, 상부 진공 포트(353)를 통해 커버 지지 수단(350)에 제공되는 진공 흡입력을 중단한다.Then, as shown in FIG. 9F, the vacuum atmosphere formed in the cementing space between the upper chamber 310 and the lower chamber 210 through the pumping port 250 is discarded. The gas injected into the groove portion 261 is exhausted to the outside through the gas exhaust port 267 provided in the lower chamber 210 so that the O-ring 263 protruding from the upper surface of the lower chamber 210 is introduced into the groove portion 261 to release the seal space between the docked upper chamber 310 and the lower chamber 210. Further, the vacuum suction force provided to the cover supporting means 350 through the upper vacuum port 353 is stopped.

이어서, 하부 진공 포트(223)를 통해 패널 지지 수단(220)에 제공되는 진공 흡입력을 유지시키면서 상부 챔버(310)를 상승시켜 상부 챔버(310)와 하부 챔버(210) 간의 도킹을 분리한다.The upper chamber 310 is then lifted while the vacuum suction force provided to the panel support means 220 is maintained through the lower vacuum port 223 to separate the docking between the upper chamber 310 and the lower chamber 210.

이어서, 하부 진공 포트(223)를 통해 패널 지지 수단(220)에 제공되는 진공 흡입력을 중단하고, 복수의 패널 지지 포스트(231)를 패널 언로딩 위치로 상승시킨다.Subsequently, the vacuum suction force provided to the panel supporting means 220 through the lower vacuum port 223 is stopped, and the plurality of panel support posts 231 are raised to the panel unloading position.

그런 다음, 도 9g에 도시된 바와 같이, 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각의 내부에 삽입되어 있는 패널 탈착 핀(241)을 일정한 높이로 상승시킴으로써 투명 커버(2)가 합착된 상태로 복수의 패널 지지 포스트(231) 각각의 패널 점착 척(231b)에 점착되어 있는 디스플레이 패널(1)을 패널 점착 척(231b)에서 탈착시킨다.Then, as shown in FIG. 9G, the panel detachable pins 241 inserted into the respective plurality of panel support posts 231 are lifted at a constant height so that a plurality of The display panel 1 adhered to the panel sticking chuck 231b of each panel support post 231 is detached from the panel sticking chuck 231b.

그런 다음, 패널 반송 장치를 통해 투명 커버(2)가 합착된 상태로 복수의 패널 지지 포스트(231)에 지지되어 있는 디스플레이 패널(1)을 외부로 언로딩한다.Then, the display panel 1 supported by the plurality of panel support posts 231 is unloaded to the outside in a state in which the transparent cover 2 is attached through the panel transportation device.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사항을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다. 그러므로, 본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the general inventive concept as defined by the appended claims and their equivalents. Will be clear to those who have knowledge of. Therefore, the scope of the present invention is defined by the appended claims, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents should be interpreted as being included in the scope of the present invention.

100: 베이스 프레임 200: 하부 챔버 모듈
210: 하부 챔버 220: 패널 지지 수단
230: 패널 승강 수단 240: 패널 탈착 수단
250: 펌핑 포트 300: 상부 챔버 모듈
310: 상부 챔버 330: 챔버 승강 수단
350: 커버 지지 수단 370: 커버 승강 수단
400: 촬상 모듈 450a, 450b: 양방향 비전 카메라
500: 정렬 모듈
100: base frame 200: lower chamber module
210: Lower chamber 220: Panel supporting means
230: panel lift means 240: panel detachment means
250: Pumping port 300: Upper chamber module
310: upper chamber 330: chamber elevating means
350: cover supporting means 370: cover lifting means
400: imaging module 450a, 450b: bidirectional vision camera
500: Alignment module

Claims (20)

베이스 프레임;
상기 베이스 프레임 상에 설치되어 디스플레이 패널을 지지하는 하부 챔버 모듈;
상기 디스플레이 패널의 표시면에 부착될 투명 커버를 지지하는 상부 챔버 모듈;
상기 하부 챔버 모듈과 상기 상부 챔버 모듈 사이로 이동되어 상기 디스플레이 패널에 마련된 패널 얼라인 마크와 상기 투명 커버에 마련된 커버 얼라인 마크를 촬상하는 촬상 모듈; 및
상기 베이스 프레임 상에 설치되어 상기 하부 챔버 모듈을 지지하고, 상기 촬상 모듈의 촬상 이미지에 기초한 얼라인 제어 신호에 응답하여 상기 하부 챔버 모듈을 이동시켜 상기 패널 얼라인 마크와 커버 얼라인 마크 간의 위치를 정렬하는 정렬 모듈을 포함하고,
상기 촬상 모듈은 상기 하부 챔버 모듈과 상기 상부 챔버 모듈 사이에서 상기 디스플레이 패널에 마련된 패널 얼라인 마크와 상기 투명 커버에 마련된 커버 얼라인 마크를 동시에 촬상하는 제 1 및 제 2 양방향 비전 카메라, 및 상기 제 1 및 제 2 양방향 비전 카메라 각각을 제 1 수평 방향과 상기 제 1 수평 방향과 수평 교차하는 제 2 수평 방향으로 이동시키는 카메라 이동 모듈을 포함하며,
상기 상부 챔버 모듈은 상기 하부 챔버 모듈 상에 배치되는 상부 챔버를 포함하고,
상기 하부 챔버 모듈은 상기 정렬 모듈에 지지된 하부 챔버, 상기 하부 챔버에 설치되어 상기 디스플레이 패널을 지지하는 패널 지지 수단, 상기 디스플레이 패널을 상기 패널 지지 수단에 안착시키는 패널 승강 수단, 상기 상부 챔버 모듈과 마주하는 상기 하부 챔버의 일측부를 수직 관통하도록 마련된 펌핑 포트, 및 상기 패널 지지 수단을 둘러싸도록 상기 하부 챔버의 테두리 부분에 마련되고, 기체의 주입 압력에 따라 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 사이를 밀폐하는 챔버 밀폐 수단을 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
A base frame;
A lower chamber module installed on the base frame to support the display panel;
An upper chamber module for supporting a transparent cover to be attached to a display surface of the display panel;
An imaging module that moves between the lower chamber module and the upper chamber module and captures a panel alignment mark provided on the display panel and a cover alignment mark provided on the transparent cover; And
The lower chamber module being mounted on the base frame to support the lower chamber module and moving the lower chamber module in response to an alignment control signal based on an image of the imaging module to position the panel alignment mark and the cover alignment mark Comprising an alignment module for aligning,
Wherein the imaging module includes first and second bidirectional vision cameras for simultaneously imaging a panel alignment mark provided on the display panel and a cover alignment mark provided on the transparent cover between the lower chamber module and the upper chamber module, 1 and the second bidirectional vision camera in a first horizontal direction and in a second horizontal direction that horizontally intersects the first horizontal direction,
Wherein the upper chamber module includes an upper chamber disposed on the lower chamber module,
The lower chamber module includes a lower chamber supported by the alignment module, panel support means installed in the lower chamber to support the display panel, panel lift means for seating the display panel on the panel support means, A pumping port provided so as to vertically penetrate one side of the lower chamber facing each other, and a pumping port provided at a rim portion of the lower chamber so as to surround the panel supporting means and configured to seal between the lower chamber and the upper chamber according to the injection pressure of the gas And a chamber sealing means.
삭제delete 삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 패널 지지 수단은,
상기 하부 챔버의 상면에 마련된 하부 다공질 플레이트; 및
상기 하부 다공질 플레이트에 진공 흡입력을 제공하기 위한 하부 진공 포트를 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the panel supporting means comprises:
A lower porous plate provided on an upper surface of the lower chamber; And
And a lower vacuum port for providing a vacuum suction force to the lower porous plate.
제 1 항에 있어서,
상기 패널 승강 수단은,
상기 패널 지지 수단을 수직 관통하도록 설치되어 상기 디스플레이 패널을 지지하는 복수의 패널 지지 포스트;
상기 복수의 패널 지지 포스트를 공통적으로 지지하는 패널 승강 플레이트;
상기 하부 챔버의 하면에 결합되면서 상기 패널 승강 플레이트를 수직 관통하는 복수의 패널 승강 가이드 축;
상기 복수의 패널 승강 가이드 축을 공통적으로 지지하는 하부 지지 플레이트; 및
상기 하부 지지 플레이트의 하면에 설치되고 상기 패널 승강 플레이트를 승강시켜 상기 복수의 패널 지지 포스트를 동시에 승강시키는 패널 승강 구동부를 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
The method according to claim 1,
The panel elevating means includes:
A plurality of panel support posts installed vertically through the panel support means to support the display panel;
A panel lift plate commonly supporting the plurality of panel support posts;
A plurality of panel elevating guide shafts vertically penetrating the panel elevating plate while being coupled to a lower surface of the lower chamber;
A lower support plate for commonly supporting the plurality of panel elevation guide shafts; And
And a panel lift driving unit installed on a lower surface of the lower support plate and moving up and down the panel lift plate to move up and down the plurality of panel support posts at the same time.
제 5 항에 있어서,
상기 복수의 패널 지지 포스트 각각은,
관 형태를 가지면서 상기 패널 승강 플레이트에 수직하게 설치되어 상기 패널 지지 수단에 승강 가능하게 삽입된 패널 승강 포스트; 및
관 형태를 가지면서 상기 패널 승강 포스트의 상부에 결합되어 상기 디스플레이 패널을 흡착하는 패널 점착 척을 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
6. The method of claim 5,
Wherein each of the plurality of panel support posts comprises:
A panel lifting post vertically installed on the panel lifting plate while having a tube shape and being vertically inserted into the panel supporting means; And
And a panel sticking chuck coupled to an upper portion of the panel lift post and having a tube shape to absorb the display panel.
제 6 항에 있어서,
상기 하부 챔버 모듈은 상기 복수의 패널 지지 포스트에 점착된 디스플레이 패널을 상기 복수의 패널 지지 포스트에서 탈착시키는 패널 탈착 수단을 더 포함하며,
상기 패널 탈착 수단은,
상기 복수의 패널 지지 포스트 각각의 내부에 승강 가능하게 삽입된 복수의 패널 탈착 핀;
상기 복수의 패널 탈착 핀을 공통적으로 지지하는 핀 승강 플레이트; 및
상기 핀 승강 플레이트의 하면에 설치되고 상기 패널 승강 플레이트를 지지대로 하여 상기 핀 승강 플레이트를 승강시켜 상기 복수의 패널 탈착 핀을 동시에 승강시키는 핀 승강 구동부를 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
The method according to claim 6,
Wherein the lower chamber module further comprises panel detachment means for detachably attaching the display panel adhered to the plurality of panel support posts to the plurality of panel support posts,
Wherein the panel detachment means comprises:
A plurality of panel detachable pins vertically inserted into each of the plurality of panel support posts;
A pin lifting plate that commonly supports the plurality of panel detachment pins; And
And a pin lifting and lowering driving unit mounted on a lower surface of the pin lifting plate and lifting the pin lifting plate with the panel lifting plate as a supporting base to raise and lower the plurality of panel removing pins at the same time.
제 7 항에 있어서,
상기 복수의 패널 탈착 핀 각각은,
상기 핀 승강 플레이트에 수직하게 설치되어 상기 패널 지지 포스트에 삽입된 핀 바디; 및
상기 핀 바디의 상부에 결합되어 상기 복수의 패널 지지 포스트에 점착된 디스플레이 패널을 탈착시키는 핀 헤드를 포함하며,
상기 핀 바디와 상기 핀 헤드는 서로 다른 재질로 이루어지는, 디스플레이용 합착 장치.
8. The method of claim 7,
Wherein each of the plurality of panel detachment pins includes:
A pin body vertically installed on the pin lifting plate and inserted into the panel supporting post; And
And a pin head coupled to an upper portion of the pin body to detachably attach the display panel to the plurality of panel support posts,
Wherein the pin body and the pin head are made of different materials.
제 8 항에 있어서,
상기 핀 헤드는 엔지니어링 플라스틱 재질로 이루어지는, 디스플레이용 합착 장치.
9. The method of claim 8,
Wherein the pin head is made of an engineering plastic material.
삭제delete 제 1 항에 있어서,
상기 챔버 밀폐 수단은,
상기 패널 지지 수단을 둘러싸도록 상기 하부 챔버의 테두리 부분에 일정 깊이로 마련된 홈부;
상기 홈부에 이동 가능하게 삽입된 오-링;
상기 홈부에 연통되도록 상기 하부 챔버의 일측면에 마련된 기체 주입 포트; 및
상기 홈부에 연통되도록 상기 하부 챔버의 타측면에 마련된 기체 배기 포트를 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
The method according to claim 1,
Wherein the chamber sealing means comprises:
A groove portion provided at a predetermined depth in a rim portion of the lower chamber so as to surround the panel supporting means;
An o-ring movably inserted into the groove;
A gas injection port provided on one side of the lower chamber so as to communicate with the groove; And
And a gas evacuation port provided on the other side of the lower chamber so as to communicate with the groove portion.
제 11 항에 있어서,
상기 오-링은 상기 기체 주입 포트를 통해 상기 홈부에 주입되는 기체의 압력에 의해 상승되어 상기 하부 챔버와 상기 상부 챔버 사이를 밀폐하는, 디스플레이용 합착 장치.
12. The method of claim 11,
And the o-ring is raised by the pressure of the gas injected into the groove through the gas injection port to seal between the lower chamber and the upper chamber.
제 1 항, 제 4 항, 제 5 항, 제 6 항, 제 7 항, 제 8 항, 제 9 항, 제 11 항, 및 제 12 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 상부 챔버 모듈은,
상기 상부 챔버를 승강시키는 챔버 승강 수단;
상기 상부 챔버에 설치되어 상기 투명 커버를 지지하는 커버 지지 수단; 및
상기 투명 커버를 상기 커버 지지 수단에 안착시키는 커버 승강 수단을 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
The method according to any one of claims 1, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 11, and 12,
The upper chamber module includes:
Chamber elevating means for elevating the upper chamber;
A cover supporting means installed in the upper chamber for supporting the transparent cover; And
And cover lifting means for securing the transparent cover to the cover supporting means.
제 13 항에 있어서,
상기 챔버 승강 수단은,
상기 상부 챔버 상에 배치된 상부 베이스 프레임;
상기 베이스 프레임에 수직하게 설치되어 상기 상부 베이스 프레임을 지지하는 복수의 메인 포스트;
상기 상부 베이스 프레임에 승강 가능하도록 수직하게 설치된 복수의 챔버 승강 가이드 축;
상기 복수의 챔버 승강 가이드 축을 공통적으로 지지하는 챔버 승강 플레이트;
상기 챔버 승강 플레이트에 수직하게 설치되어 상기 상부 챔버를 관통하여 상기 커버 지지 수단에 결합된 복수의 챔버 지지 축;
상기 챔버 승강 플레이트와 상기 상부 챔버 사이에 설치되어 상기 상부 챔버를 가압하는 챔버 가압부; 및
상기 상부 베이스 프레임의 상면에 설치되어 상기 챔버 승강 플레이트를 승강시키는 챔버 승강 구동부를 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
14. The method of claim 13,
The chamber elevating means includes:
An upper base frame disposed on the upper chamber;
A plurality of main posts installed vertically to the base frame to support the upper base frame;
A plurality of chamber elevation guide shafts vertically installed to be vertically movable on the upper base frame;
A chamber lift plate commonly supporting the plurality of chamber elevation guide shafts;
A plurality of chamber supporting shafts vertically installed on the chamber elevating plate and coupled to the cover supporting means through the upper chamber;
A chamber presser installed between the chamber lifting plate and the upper chamber to press the upper chamber; And
And a chamber lifting and lowering driving unit installed on an upper surface of the upper base frame to raise and lower the chamber lifting plate.
제 14 항에 있어서,
상기 챔버 가압부는 상기 디스플레이 패널과 상기 투명 커버 간의 합착시 상기 상부 챔버를 가압하는 탄성 부재를 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
15. The method of claim 14,
Wherein the chamber pressurizing portion includes an elastic member for pressing the upper chamber when the display panel and the transparent cover are attached together.
제 13 항에 있어서,
상기 커버 지지 수단은,
상기 상부 챔버의 하면에 마련된 상부 다공질 플레이트; 및
상기 상부 다공질 플레이트에 진공 흡입력을 제공하기 위한 상부 진공 포트를 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
14. The method of claim 13,
Wherein the cover-
An upper porous plate provided on a lower surface of the upper chamber; And
And an upper vacuum port for providing a vacuum suction force to the upper porous plate.
제 16 항에 있어서,
상기 디스플레이 패널과 상기 투명 커버 간의 합착시, 상기 커버 지지 수단은 상기 챔버 승강 플레이트의 추가적인 하강에 따라 상기 투명 커버를 가압하는, 디스플레이용 합착 장치.
17. The method of claim 16,
Wherein when the display panel and the transparent cover are attached together, the cover supporting means presses the transparent cover according to the further descent of the chamber lift plate.
제 14 항에 있어서,
상기 커버 승강 수단은,
상기 커버 지지 수단을 수직 관통하도록 설치되어 상기 투명 커버를 지지하는 복수의 커버 지지 포스트;
상기 복수의 커버 지지 포스트를 공통적으로 지지하는 커버 승강 플레이트;
상기 챔버 승강 플레이트를 수직 관통하도록 상기 커버 승강 플레이트에 수직하게 설치되어 상기 커버 승강 플레이트의 승강을 가이드하는 복수의 플레이트 승강 가이드 축; 및
상기 챔버 승강 플레이트의 상면에 설치되고 상기 커버 승강 플레이트를 승강시켜 상기 복수의 커버 지지 포스트를 동시에 승강시키는 커버 승강 구동부를 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
15. The method of claim 14,
The cover lifting means includes:
A plurality of cover supporting posts installed vertically through the cover supporting means to support the transparent cover;
A cover lifting plate that commonly supports the plurality of cover supporting posts;
A plurality of plate lifting guide shafts vertically installed on the cover lifting plate so as to vertically penetrate the chamber lifting plate and guiding the lifting and lowering of the cover lifting plate; And
And a cover lifting and lowering driving unit installed on an upper surface of the chamber lifting plate and lifting the cover lifting plate to lift and lower the plurality of cover supporting posts at the same time.
제 18 항에 있어서,
상기 복수의 커버 지지 포스트 각각은,
상기 커버 승강 플레이트에 수직하게 설치되어 상기 커버 지지 수단에 승강 가능하게 삽입된 커버 승강 포스트; 및
상기 커버 승강 포스트의 하부에 결합되어 상기 투명 커버를 흡착하는 커버 점착 척을 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
19. The method of claim 18,
Wherein each of the plurality of cover support posts comprises:
A cover lifting post vertically installed on the cover lifting plate and vertically inserted into the cover supporting means; And
And a cover sticking chuck coupled to a lower portion of the cover lifting post to absorb the transparent cover.
제 1 항에 있어서,
상기 정렬 모듈은,
상기 하부 챔버를 지지하는 복수의 챔버 지지 포스트;
상기 복수의 챔버 지지 포스트를 공통적으로 지지하는 이동 스테이지; 및
상기 이동 스테이지와 상기 베이스 프레임 사이에 설치되어 상기 얼라인 제어 신호에 응답하여 상기 이동 스테이지의 이동을 통해 상기 하부 챔버를 이동시켜 상기 패널 얼라인 마크와 커버 얼라인 마크 간의 위치를 정렬하는 UVW 스테이지를 포함하는, 디스플레이용 합착 장치.
The method according to claim 1,
The alignment module comprises:
A plurality of chamber support posts for supporting the lower chamber;
A moving stage for commonly supporting the plurality of chamber support posts; And
A UVW stage provided between the moving stage and the base frame for moving the lower chamber through movement of the moving stage in response to the alignment control signal to align the position between the panel alignment mark and the cover alignment mark, And wherein the lid is attached to the lid.
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