KR102366068B1 - 이송 대차 시스템 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따르면, OHT 레일의 곡선부를 주행할 때, 캐리어 유닛의 무게 중심이 한쪽으로 치우치게 되어 캐리어 유닛이 OHT 레일에서 부상되지 않도록 캐리어 유닛의 상부에 들뜸 방지 부재를 부가함으로써, 곡선 주행시에 OHT 레일에서 캐리어 유닛이 부상되지 않고 주행할 수 있는 방안을 제공할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 곡선부에서의 방향 전환시 가이드를 요구하지 않아, 이송 대차 시스템 설치의 단순화 및 재료비를 절감할 수 있는 효과가 있다.

Description

이송 대차 시스템 {CARRIAGE SYSTEM}
본 발명은 이송 대차 시스템에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 제조 라인에서 대상물을 이송하는데 사용되는 대상물 이송 장치에서 사용될 수 있는 이송 대차 시스템에 관한 것이다.
OHS 또는 OHT(Overhead Hoist Shuttle OR Transport, 천장 대차 시스템)은 이송할 소형 반송 대상물이 많은 대형병원, 반도체 및 평판 디스플레이 생산공장 등에 설치된다. 천장 대차 시스템은 천장에 설치된 레일을 따라 주행하며 대상물을 운반하는 반송대차와, 반송대차의 주행을 안내하기 위한 레일을 갖는 궤도 등을 포함한다.
일예로, 이러한 천장 대차 시스템이 반도체 또는 디스플레이 평판패널 생산 라인에 설치된 경우, 크린룸 내의 천장공간을 이용해서 주행레일이 설치되는데, 주행레일 상에서 구동되는 반송대차는 반도체 웨이퍼, 기판, 마스크, 글라스, 카세트 등이 적재된 반송 대상물을 반송 포트들 사이에서 운반한다.
주행레일은 지주 등에 의해 크린 룸의 천장 등으로부터 지지되며, 주행레일 본체와 급전레일로 이루어진다. 반송대차는 주행 구동부를 구비하여 주행레일 본체 내를 주행할 수 있고, 수전부에 의해 급전 레일로부터 신호를 수전하여 통신한다.
반송대차가 주행레일의 곡선 구간을 주행할 때, 즉, 직선 구간에서 곡선 구간으로 진입할 때, 직선 구간과 곡선 구간에서 가이드에 의한 조향 휠 변경으로 인하여 분기간 간격이 지연되며, 반송대차의 속도 차이로 인하여 반송대차의 무게 중심이 한쪽으로 쏠리는 현상이 발생할 수 있고, 이에 의해 파티클까지 발생할 수도 있다.
한국공개특허 제 10-2009-0023139호
본 발명의 목적은 곡선부를 주행시에 가이드 없이 원활하게 주행할 수 있는 이송 대차 시스템을 제공하고자 한다.
본 발명의 일 측면에 따른 이송 대차 시스템은, 고정 부재; 상기 고정 부재에 의해 고정되고, 한 쌍의 레일을 포함하며, 곡선 형상의 곡선부와 직선 형상의 직선부가 포함된 궤도를 제공하는 OHT 레일; 상기 OHT 레일을 따라 주행 가능하고, 한 쌍의 상기 레일 상에 접촉되는 양쪽의 주행 휠을 포함하는 주행 모듈; 및 상기 주행 모듈의 하측에 결합되며, 파지 유닛을 승강시키는 동력 부재가 구비되고, 상기 파지 유닛에 의하여 파지된 대상물을 수용하기 위한 내부 공간이 구비된 캐리어 유닛을 포함한다. 그리고, 상기 주행 모듈의 상측에는 상기 주행 모듈과 함께 상기 캐리어 유닛이 상기 곡선부에서 곡선 주행 시 상기 주행 모듈의 상기 주행 휠들의 들뜸을 방지하기 위한 들뜸 방지 부재가 결합되고, 상기 곡선부로부터 상측에는 하부가 상기 곡선부를 따라 곡선 주행을 하는 상기 주행 모듈에 결합된 상기 들뜸 방지 부재의 상부와 슬라이딩 접촉(미끄럼 접촉)되어 상기 주행 휠들의 들뜸을 방지하는 들뜸 방지 레일이 설치된다.
또한, 상기 들뜸 방지 부재는 상기 들뜸 방지 레일의 하부와 슬라이딩 접촉되는 상부가 휠 형상인 것을 특징으로 한다. 그리고, 상기 들뜸 방지 부재의 하부에는 상기 들뜸 방지 부재에서 휠 형상인 상부를 탄성적으로 지지하는 스프링이 설치된다.
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또는, 상기 들뜸 방지 부재는 상부가 상기 들뜸 방지 레일의 하부에 탄성적으로 접촉되는 판 스프링인 것을 특징으로 한다.
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상기 OHT 레일은, 상기 곡선부에서 한 쌍의 상기 레일 중 내측 레일 상에 위치된 보조 레일을 더 포함하고, 상기 주행 모듈은, 상기 주행 휠들의 외측에 각각 구비된 보조 휠들을 더 포함하며, 상기 보조 휠들은 상기 주행 모듈이 곡선 주행을 하는 때 상기 내측 레일 쪽으로 위치하는 상기 보조 휠이 상기 보조 레일 상에 접촉되며, 상기 보조 휠들의 지름은 상기 주행 휠들에 비하여 작은 것을 특징으로 한다.
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본 발명에 따르면, 캐리어 유닛이 OHT 레일의 곡선부를 주행할 때, 캐리어 유닛의 무게 중심이 한쪽으로 치우치게 되어 캐리어 유닛이 OHT 레일에서 부상되지 않도록 캐리어 유닛의 상부에 들뜸 방지 부재를 부가함으로써, 곡선 주행시에 OHT 레일에서 캐리어 유닛이 부상되지 않고 주행할 수 있는 방안을 제공할 수 있는 효과가 있다.
또한, 직선 주행에서 곡선 주행으로 방향 전환시 신속하고 매끄럽게 이루어짐으로써, 캐리어의 이송을 신속하게 할 수 있는 효과가 있다.
더불어, 곡선부에서의 방향 전환시 가이드를 요구하지 않아, 이송 대차 시스템 설치의 단순화 및 재료비를 절감할 수 있는 효과가 있다.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
도 1은 들뜸 방지 부재로 휠을 이용하는 경우, 곡선부에 위치한 이송 대차 시스템을 측면에서 바라본 도면이다.
도 2는 들뜸 방지 부재로 휠을 이용하는 경우, 캐리어 유닛이 곡선부를 주행할 때의 모습을 나타낸 도면이다.
도 3은 캐리어 유닛이 직선부를 주행할 때의 모습을 나타낸 도면이다.
도 4 및 도 5는 들뜸 방지 부재로 휠을 이용하는 경우 캐리어 유닛이 곡선부를 주행할 때의 이송 대차 시스템의 사시도이다.
도 6은 들뜸 방지 부재로 탄성 소재를 이용하는 경우, 곡선부에 위치한 이송 대차 시스템을 측면에서 바라본 도면이다.
도 7은 들뜸 방지 부재로 탄성 소재를 이용하는 경우, 곡선부에 위치한 이송대차 시스템의 사시도이다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.
본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 붙이도록 한다.
또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적인 실시예에서만 설명하고, 그 외의 다른 실시예에서는 대표적인 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐만 아니라, 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"된 것도 포함한다. 또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 들뜸 방지 부재(310)로 휠을 이용하는 경우, 곡선부(120)에 위치한 이송 대차 시스템(1000)을 측면에서 바라본 도면이다. 도 1에 나타난 바와 같이, 이송 대차 시스템(1000)은 고정 부재(400), OHT 레일(100), 주행 모듈(200), 캐리어 유닛(300), 제어부(미도시)를 포함한다.
OHT 레일(100) 은 작업 공간에 설치되고, 후술할 주행 모듈(200)이 이동될 수 있게 한다. OHT 레일(100) 은 반도체 제조 라인의 천장에 설치되거나, 천장에 결합된 프레임(미도시)에 설치될 수 있다. OHT 레일(100)은 일례로 두 개의 레일이 서로 일정 거리 이격되게 배치된 것일 수 있다.
이러한 OHT 레일(100)은 직선 및 곡선 등 다양한 형상으로 구성되어 천장의 다양한 영역에 배치될 수 있다. 더욱 상세하게 설명하면, OHT 레일(100)은 일례로 직선부(110)와 곡선부(120)를 포함할 수 있다.
직선부(110)는 직선 주행 레일(111)을 포함할 수 있다. 직선 주행 레일(111)은 직선 형상으로 이루어져서, 캐리어 유닛(300)이 OHT 레일(100)을 따라서 직선 주행을 할 수 있도록 한다.
곡선부(120)는 곡선 주행 레일(121)과 보조 레일(122)를 포함할 수 있다.
곡선 주행 레일(121)은 캐리어 유닛(300)이 OHT 레일(100)을 따라서 곡선 주행할 수 있도록 한다. 곡선 주행 레일(121)의 내측 레일(121A)은 곡률 중심에서부터 곡률 반지름이 짧은 부분을 의미하고, 곡선 주행 레일(121)의 외측 레일(121B)은 곡률 중심에서부터 곡선 곡률 반지름이 긴 부분을 의미한다.
보조 레일(122)은 곡선부(120)의 내측 레일(121A) 상에 위치될 수 있다. 예를 들어 보조 레일(122)은 내측 레일(121A)로부터 돌출된 형상일 수 있다. 이에 따라, 곡선 주행시 내측 레일(121A)측에 위치한 보조 휠(212)이 보조 레일(122)과 접촉되어 주행을 함으로써, 주행 모듈(200)이 곡선부(120)를 따라서 안정적으로 주행할 수 있다.
고정 부재(400)는 OHT 레일(100)의 곡선부(120)를 지지할 수 있다. 예를 들어, 고정 부재(400)는 곡선부(120) 부분을 포괄하는 프레임 구조일 수 있다.
고정 부재(400)는 OHT 레일(100)의 곡선부(120)와 결합될 수 있다. 그리고, 고정 부재(400)는 후술할 들뜸 방지 레일(410)을 OHT 레일(100)의 곡선부(120)와 마주보는 위치에 안치시킬 수도 있다.
이로써, 캐리어 유닛(300)의 곡선 주행시에 가이드 없이도 곡선 주행이 가능하다.
또한, 방향 전환시 조향 변경 없이도 곡선 주행이 가능하게 됨에 따라서, 조향 휠의 위치 전환 문제 해결로 인해 분기간 간격을 최소화할 수 있다. 또한, 조향 휠의 위치오차에 따라 조향휠에 충격이 가해져 발생되는 문제도 해결할 수 있다.
주행 모듈(200)은 대상물을 파지하여 작업 공간의 다양한 영역으로 이동시킨다. 더욱 상세하게, 주행 모듈(200)은 대상물을 픽업하고, OHT 레일(100)을 따라서 이송되면서 대상물을 다양한 위치로 이송한다.
이러한, 주행 모듈(200)은 OHT 레일(100)로부터 전원을 공급받을 수 있다.
이와 다르게, 주행 모듈(200)은 충전식 배터리 또는 비접촉식 전원 공급부를 포함할 수 있으나, 이에 한정하지는 않는다. 그 일례로 비접촉식 전원 공급부는 비접촉식 방식으로 전원을 인가받아 구동모터로 전원을 공급하는 역할을 한다.
여기서, 비접촉식 전원 공급부의 일례로, OHT 레일(100)을 따라 길게 마련되는 유도 레일과, 유도 레일과 접촉되지 않은 상태에서 유도 레일에 인접하게 배치되도록 주행 모듈(200)에 마련되고 전자유도법칙에 의해 비접촉 상태에서 일정한 전류를 인가받아 구동모터로 전원을 공급하는 픽업 유닛을 구비한다.
이에, 유도 레일에 고주파 교류전원이 인가되면 전자유도법칙에 의해 유도 레일에 인접된 픽업 유닛으로 기전력이 생성될 수 있으며, 이러한 기전력은 구동모터의 동작을 위한 동력원으로 사용될 수 있다.
실시예로서 비접촉식 전원 공급부는 파지 유닛으로부터의 전압(기전력)을 인가받는 레귤레이터(REGULATOR)와, 레귤레이터와 연결되며 구동모터로 전압을 분배하는 분배회로를 구비한 파워 서플라이(POWER SUPPLY)를 더 구비할 수 있다.
이러한 구조에 의해 예컨대, 유도 레일과 인접된 파지 유닛으로부터의 전압(기전력)을 인가받는 레귤레이터가 DC 300V의 전압을 파워 서플라이로 인가하면, 파워 서플라이의 분배회로는 이 전압을 예컨대, DC 12V, DC 24V, DC 48V 등으로 분배하여 구동모터로 제공할 수 있다.
만약, 파워 서플라이에 분배회로를 일체로 마련하고, 레귤레이터로부터의 전압을 파워 서플라이가 인가받도록 구현하는 경우, 구현이 간단할 뿐만 아니라 유지보수가 용이하고, 제어가 상대적으로 쉬워지며, 특히 비접촉 방식에 의한 전원을 안정적으로 또한 안전하게 공급할 수 있는 이점이 있다.
제어부(미도시)는 주행 모듈(200)의 이동을 제어한다. 제어부는 주행 모듈(200)을 OHT 레일(100)의 특정 위치까지 이송시킬 수 있다. 그리고, 제어부는 주행 모듈(200)이 대상물을 픽업하도록 할 수 있다. 제어부는 이송 대차 시스템(1000)의 전반적인 동작을 제어하는 것일 수 있다.
캐리어 유닛(300)은 주행 모듈(200)에 결합된다. 캐리어 유닛(300)은 파지 유닛에 의해 대상물을 수용하는 내부 공간을 포함한다. 캐리어 유닛(300)은 동력 부재(미도시)를 포함할 수 있다. 동력 부재는 파지 유닛이 캐리어 유닛(300)에 대해 승강되도록 할 수 있다.
파지 유닛은 캐리어 유닛(300)에 승강 가능하게 결합되고, 대상물을 파지한다.
이러한 파지 유닛에 의해 이송되는 대상물은 웨이퍼 캐리어(FOUP: Front Opening Unified Pod)일 수 있다. 웨이퍼 캐리어는 복수의 웨이퍼를 수납할 수 있다. 복수의 웨이퍼는 웨이퍼 캐리어의 내부에 상하방향으로 나란하게 적층되어 수납될 수 있다.
한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 대차 시스템(1000)에 포함된 주행 모듈(200)은 주행 휠 유닛(210) 및 들뜸 방지 부재(310)를 포함한다.
주행 휠 유닛(210)은 전방 휠 유닛 및 후방 휠 유닛을 포함한다. 또한, 주행 휠 유닛(210)의 일례로 전방 주행용 모터(F), 후방 주행 모터(R) 및 주행 휠(211) 및 보조 휠(212)을 포함할 수 있다. 전방 주행용 모터와 연결된 전방 휠과 후방 주행 모터와 연결되는 후방 휠은 동일한 구조를 갖는다.
주행 휠 유닛(210)은 일례로 전방 휠 유닛과 후방 휠 유닛을 포함할 수 있다.
전방 휠 유닛은 내측 레일(121A)을 따라 주행되는 전방 내측 휠과 외측 레일(121B)을 따라 주행되는 전방 외측 휠이 양측에 마련된다.
후방 휠 유닛은 내측 레일(121A)을 따라 주행되는 후방 내측 휠과 외측 레일(121B)을 따라 주행되는 후방 외측 휠이 양측에 마련된다.
이러한 주행 휠 유닛(210)은 전방 주행용 모터(F) 또는 후방 주행 모터(R)가 동작됨에 따라서 주행 휠(211) 및 보조 휠(212) 각각이 회전되면서 주행 모듈(200)이 OHT 레일(100)을 따라서 전진 또는 후진될 수 있다.
도 2 및 도 3은 주행 모듈이 OHT 레일을 따라 이동하는 모습을 나타낸 도면이다.
도 2 및 도 3을 참조하여 보면, 주행 모듈(200)이 OHT 레일(100)의 곡선 주행 레일(121)을 따라 이동되는 경우, 캐리어 유닛(300)은 원심력에 의하여 기울어질 수 있다. 이에 따라, 주행 모듈(200)의 좌측 또는 우측 중 어느 한 부분이 들뜰 수 있다. 이때, 들뜸 방지 부재(310)는 고정 부재(400)에 밀착되고, 주행 모듈(200)의 들뜸이 방지될 수 있다.
들뜸 방지 부재(310)는 곡선부(120) 주행 시에 캐리어의 무게중심이 한쪽으로 편심되는 것을 방지할 수 있다. 이를 위하여, 들뜸 방지 부재(310)는 외측 레일(121B)에 위치한 부분에 인접하게 위치시키는 것이 바람직할 수 있다.
다만, 들뜸 방지 부재(310)의 위치를 특정 위치로 한정하지는 않으며, 본 발명의 일 실시예에 따른 이송 대차 시스템(1000)의 설계에 따라 다양하게 변경될 수 있다.
한편, 도 4에 나타난 바와 같이, 들뜸 방지 부재(310)는 일예로 휠 형상일 수 있다. 이때, 고정 부재(400)는 들뜸 방지 레일(410)을 포함할 수 있다.
들뜸 방지 레일(410)은 곡선부(120)에 인접하게 설치되고, 들뜸 방지 부재(310)가 접촉될 수 있는 위치에 설치될 수 있다. 들뜸 방지 레일(410)은 고정 부재(400)에 밀착되게 위치될 수도 있다. 이와 다르게, 들뜸 방지 레일(410)은 고정 부재(400)와 일체로 이루어진 것도 가능할 수 있다.
캐리어 유닛(300)이 곡선 주행하는 경우, 캐리어 유닛(300)이 들뜨더라도 휠 형상의 들뜸 방지 부재(310)이 들뜸 방지 레일(410)에 접촉될 수 있다. 이에 따라, 들뜸 방지 휠(311)은 캐리어 유닛(300)이 무게 중심이 한쪽으로 편심되는 것을 방지할 수 있다. 즉, 곡선 주행시 발생되는 캐리어 유닛(300)의 무게 중심 변화에 따른 기울어짐을 방지할 수 있다. 들뜸 방지 레일(410)은 들뜸 방지 부재(310)이 자연스럽게 미끄러지도록 할 수 있다.
이와 같이 들뜸 방지 부재(310)가 휠 형상인 경우에는 곡선 주행에서 내측 레일(121A)의 보조 휠(212)은 보조 레일(122)과 접촉되고, 외측 레일(121B)의 보조 휠 및 주행 휠은 곡선부(120)과 접촉된다. 또한, 들뜸 방지 부재(310)는 들뜸 방지 레일(410)과 접촉하여 주행한다. 이에 따라, 주행 모듈(200)은 주행 상황에 따라 OHT 레일(100) 또는 들뜸 방지 레일(410)에 선택적으로 접촉하여 주행을 실시한다.
한편, 또 다른 변형 예로써, 도 5에 나타난 바와 같이, 들뜸 방지 부재(310)와 캐리어 유닛(300) 사이에 스프링(312)이 설치될 수 있다. 스프링(312)은 탄성 변형가능한 것으로 들뜸 방지 레일(410)과 접촉시에 발생되는 충격을 완화시키고, 주행 모듈(200)이 곡선 주행시 보다 원활하게 곡선 주행을 가능하게 할 수 있다.
도 6 및 도 7에 나타난 바와 같이, 들뜸 방지 부재(510)는 변형예로 외력에 의해 탄성 변형될 수 있다. 예를 들어, 들뜸 방지 부재(510)는 판 스프링, 코일 스프링일 수 있다.
들뜸 방지 부재(510)가 판 스프링인 경우, 판 스프링의 일단은 주행 모듈(200)에 고정 결합될 수 있다. 그리고, 판 스프링의 타단은 주행 모듈(200)로부터 이격되게 위치될 수 있다. 여기서, 판 스프링의 중간 부분은 휘어질 수 있다. 이에 따라, 판 스프링의 전체 형상은 삼각형일 수 있다.
주행 모듈(200)이 이동되는 과정에서, 들뜸 방지 부재(510)는 고정 부재(400) 또는 들뜸 방지 레일(410)에 접촉될 수 있다. 이와 같이, 들뜸 방지 부재(510)가 판 스프링과 같이 탄성력을 갖는 부재인 경우, 들뜸 방지 부재(510)는 고정 부재(400)에 접촉되는 것만으로도 주행 모듈(200)이 들뜨게 되는 것을 방지할 수 있으므로, 본 발명의 일 실시예에 따른 주행 모듈(200)은 고정 부재(400)의 일측에 들뜸 방지 레일(410)을 필요로 하지 않을 수도 있다.
이와 같이, 주행 모듈(200)이 캐리어 유닛(300)의 주행 상태에 따라, 저촉되는 OHT 레일(100)이 상이하게 접촉되어 주행시킬 수 있다. 가이드 없이도 OHT 레일(100)의 곡선 부분을 주행할 수 있으며, 가이드의 ON/OUT에 구별없이 주행이 가능하다.
이상에서 본 발명의 여러 실시예에 대하여 설명하였으나, 지금까지 참조한 도면과 기재된 발명의 상세한 설명은 단지 본 발명의 예시적인 것으로서, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1000: 이송 대차 시스템
100: OHT 레일
110: 직선부
111: 직선 주행 레일
120: 곡선부
121: 곡선 주행 레일
121A: 내측 레일
121B: 외측 레일
122: 보조 레일
200: 주행 모듈
210: 주행 휠 유닛
211: 주행 휠
212: 보조 휠
300: 캐리어 유닛
310: 들뜸 방지 부재
312: 스프링
400: 고정 부재
410: 들뜸 방지 레일
510: 들뜸 방지 부재

Claims (10)

  1. 한 쌍의 레일을 포함하고, 곡선부가 포함된 궤도를 제공하는 OHT 레일과; 상기 OHT 레일을 따라 주행 가능하며, 한 쌍의 상기 레일 상에 접촉되는 양쪽의 주행 휠을 포함하는 주행 모듈과; 상기 주행 모듈의 하측에 결합되고, 파지 유닛을 승강시키는 동력 부재가 구비되며, 상기 파지 유닛에 의하여 파지된 대상물을 수용하기 위한 내부 공간이 구비된 캐리어 유닛을 포함하고,
    상기 주행 모듈의 상측에는 상기 곡선부에서 상기 주행 모듈의 상기 주행 휠
    들의 들뜸을 방지하기 위한 들뜸 방지 부재가 결합되고, 상기 곡선부로부터 상측에는 하부가 상기 곡선부를 따라 곡선 주행을 하는 상기 주행 모듈에 결합된 상기 들뜸 방지 부재의 상부와 슬라이딩 접촉되어 상기 주행 휠들의 들뜸을 방지하는 들뜸 방지 레일이 설치되며,
    상기 들뜸 방지 부재는 상기 들뜸 방지 레일의 하부와 슬라이딩 접촉되는 상부가 휠 형상인 것을 특징으로 하는 이송 대차 시스템.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 제1항에 있어서,
    상기 들뜸 방지 부재의 하부에는 상기 들뜸 방지 부재에서 휠 형상인 상부를 탄성적으로 지지하는 스프링이 설치된 것을 특징으로 하는 이송 대차 시스템.
  9. 제1항 또는 제8항에 있어서,
    상기 OHT 레일은, 상기 곡선부에서 한 쌍의 상기 레일 중 내측 레일 상에 위치된 보조 레일을 더 포함하고,
    상기 주행 모듈은, 상기 주행 휠들의 외측에 각각 구비된 보조 휠들을 더 포함하며,
    상기 보조 휠들은 상기 주행 모듈이 곡선 주행을 하는 때 상기 내측 레일 쪽으로 위치하는 상기 보조 휠이 상기 보조 레일 상에 접촉되며,
    상기 보조 휠들의 지름은 상기 주행 휠들에 비하여 작은 것을 특징으로 하는 이송 대차 시스템.
  10. 삭제
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