KR102357857B1 - 기판 처리장치 - Google Patents

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박용석
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웨이하이 디엠에스 주식회사
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Abstract

본 발명의 일실시예는 기판 세정에 사용되는 약액 또는 세정수의 누출을 방지하고, 부피가 감소되어 공간 활용도가 높은 기판 처리장치를 제공한다. 여기서, 기판 처리장치는 입수부, 탱크부, 배수부, 제1밸브부 그리고 제2밸브부를 포함한다. 입수부로는 기판에 분사되는 약액 또는 세정수가 유입된다. 탱크부는 입수부와 연결되고, 입수부의 약액 또는 세정수가 유입되어 저장된다. 배수부는 탱크부와 연결되고, 탱크부에 저장되는 약액 또는 세정수가 배출된다. 입수부는 탱크부의 내부공간 상부에 구비되고, 배수부는 탱크부의 하부에 구비된다. 제2밸브부는 일부분이 입수부의 내측에 구비되고, 입수부를 개폐하여 입수부의 약액 또는 세정수가 탱크부로 이동되도록 한다. 제2밸브부는 일부분이 탱크부의 내측에 구비되고, 탱크부를 개폐하여 탱크부의 약액 또는 세정수가 배수부로 이동되도록 한다.

Description

기판 처리장치{APPARATUS FOR PROCESSING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 처리장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판 세정에 사용되는 약액 또는 세정수의 누출을 방지하고, 부피가 감소되어 공간 활용도가 높은 기판 처리장치에 관한 것이다.
TV나 컴퓨터의 모니터, 또는 휴대폰(mobile phone), PDA(Personal Digital Assistants), 디지털 카메라 등과 같은 전자기기의 표시장치로 사용되는 평면디스플레이의 종류에는 LCD(Liquid Crystal Display) 기판, PDP(Plasma Display Panel) 기판 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판 등이 있다.
대표적인 평면디스플레이로서의 LCD 기판은 면적이 거대한, 예컨대 가로/세로의 길이가 2 내지 3 미터(m) 내외에 이르는 대면적 원기판을 절단 공정을 통해 수 내지 수십 등분으로 절단하여 단위기판으로 제작한 후, 여러 공정을 거쳐 완제품으로 출시된다.
원기판을 다수의 단위기판으로 절단하는 절단 공정은 소위 스크라이버(Scriber) 혹은 스크라이브 장치(Scribe Apparatus)라고도 불리는 기판 절단시스템을 통해 수행된다.
기판 절단시스템을 통한 기판의 절단 공정 시 기판은 일정한 온도로 미리 가열된 상태에서 진행되는데, 기판 절단 시에는 절단 표면으로부터 발생된 유리 입자나 가루를 기판으로부터 제거하기 위한 세정 공정이 진행된다.
즉 기판의 절단 시에는 절단 라인 영역에서 미세한 유리 입자나 가루 등의 뜨거운 이물질이 발생되어 비산될 수 있는데, 비산된 후에는 기판의 표면으로 낙하될 수 있고, 시간이 경과하면 기판에 눌러 붙어 고착되거나 끈적끈적한 상태의 이물질로 남게 되기 때문에 이러한 이물질을 기판으로 제거하여 양질의 기판을 생산하기 위해 기판 처리장치에 의한 세정 공정이 진행된다.
도 1은 종래의 기판 처리장치를 나타낸 예시도이다.
도 1에서 보는 바와 같이, 종래의 기판 처리장치는 습식세정설비(10) 및 물탱크(20)를 포함한다.
습식세정설비(10)는 기판이 진입하는 진입구(11)를 가진다. 진입구(11)로 진입한 기판에는 약액 또는 세정수가 분무되어 세정공정이 수행된다.
세정공정에 사용된 약액 또는 세정수는 하면이 경사지게 형성되는 안내부(12)를 통해 제1연결파이프(13)를 통해 흐르게 되고 물탱크(20)로 유입된다. 제1연결파이프(13)에는 제1제어밸브(14)가 구비되고, 제1제어밸브(14)에 의해 제1연결파이프(13)의 개폐량이 제어된다.
그리고, 물탱크(20)에 저장되는 약액 또는 세정수는 제2연결파이프(21)를 통해 배출된다. 제2연결파이프(21)에는 제2제어밸브(22)가 구비되고, 제2제어밸브(22)에 의해 제2연결파이프(21)의 개폐량은 제어된다.
이러한 종래의 기판 처리장치에서는 제1연결파이프(13) 및 제2연결파이프(21)의 구성이 복잡하여 유지보수가 어려운 문제점이 있다.
그리고, 종래의 기판 처리장치에서는 제1연결파이프(13) 및 제2연결파이프(21)가 외부로 노출되고, 제1제어밸브(14) 및 제2제어밸브(22)도 외부에서 각각 제1연결파이프(13) 및 제2연결파이프(21)와 연결되기 때문에, 장시간 사용 시 노화현상이 발생할 수 있고, 각 연결부위의 노화로 인해 약액 또는 세정수가 누설될 위험성이 높은 문제점이 있다.
또한, 종래의 기판 처리장치에서는 제1연결파이프(13), 제1제어밸브(14), 제2연결파이프(21) 및 제2제어밸브(22)가 모두 외부에 구비되기 때문에, 기판 처리장치의 전체 부피가 증가되는 등 공간 활용도가 낮아지는 문제점이 있다.
대한민국 공개특허공보 제2010-0119617호(2010.11.10. 공개)
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 기판 세정에 사용되는 약액 또는 세정수의 누출을 방지하고, 부피가 감소되어 공간 활용도가 높은 기판 처리장치를 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 이상에서 언급한 기술적 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위하여, 본 발명의 일실시예는 기판에 분사되는 약액 또는 세정수가 유입되는 입수부; 상기 입수부와 연결되고, 상기 입수부의 약액 또는 세정수가 유입되어 저장되는 탱크부; 그리고 상기 탱크부와 연결되고, 상기 탱크부에 저장되는 약액 또는 세정수가 배출되는 배수부를 포함하고, 상기 입수부는 상기 탱크부의 내부공간 상부에 구비되고, 상기 배수부는 상기 탱크부의 하부에 구비되며, 일부분이 상기 입수부의 내측에 구비되고, 상기 입수부를 개폐하여 상기 입수부의 약액 또는 세정수가 상기 탱크부로 이동되도록 하는 제1밸브부 및 일부분이 상기 탱크부의 내측에 구비되고, 상기 탱크부를 개폐하여 상기 탱크부의 약액 또는 세정수가 상기 배수부로 이동되도록 하는 제2밸브부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치를 제공한다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1밸브부는 상기 입수부의 상부 외측에 구비되는 제1하우징과, 상기 제1하우징의 상부 외측에 구비되고, 동력을 발생하여 상기 제1하우징의 내부에 구비되는 제1구동로드의 스트로크를 증감시키는 제1구동실린더와, 상단부는 상기 제1구동로드에 결합되고, 상기 제1하우징의 하부에 관통 형성되는 제1관통공과, 상기 입수부의 상부에 관통 형성되는 제1관통홀을 통해 상기 입수부의 내측으로 연장되는 제1연장로드와, 상기 제1연장로드의 하단부에 구비되고, 상기 입수부의 하부에 관통 형성되어 상기 입수부의 내측과 상기 탱크부의 내측을 연통시키는 입수홀의 지름보다 큰 지름으로 형성되어 상기 입수홀을 개폐하는 제1실링플레이트를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1실링플레이트의 하면에는 상기 입수홀의 지름보다 큰 지름으로 형성되는 제1링홈이 형성되고, 상기 제1밸브부는 상기 제1링홈에 구비되고, 상기 입수부의 하부 상면에 밀착되어 상기 입수홀을 밀폐하는 제1실링을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1밸브부는 상단부는 상기 제1하우징의 하부에 결합되고, 하단부는 상기 제1실링플레이트의 상부에 결합되며, 상기 제1하우징 및 상기 제1실링플레이트의 사이에서 상기 제1연장로드를 감싸도록 구비되어 상기 제1연장로드의 스트로크 증감 시에 연동하여 신장 또는 수축 변형되는 제1커버를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1하우징은 상기 제1하우징의 하부 저면에 원주방향으로 구비되는 제1걸림구를 가지고, 상기 제1실링플레이트는 상기 제1실링플레이트의 상면에 원주방향으로 구비되는 제2걸림구를 가지며, 상기 제1커버는 상단부에 구비되어 상기 제1걸림구에 결합되는 제1걸림링과, 하단부에 구비되어 상기 제2걸림구에 결합되는 제2걸림링을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제1하우징은 상기 제1하우징의 하부 저면에 원주방향으로 형성되는 제2링홈을 가지고, 상기 제1실링플레이트는 상기 제1실링플레이트의 상면에 원주방향으로 형성되는 제3링홈을 가지며, 상기 제1밸브부는 상기 제2링홈에 결합되는 제2실링 및 상기 제3링홈에 결합되는 제3실링을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 탱크부는 상기 탱크부의 내측에 구비되되, 상단부는 상기 입수부에 결합되고 상기 입수홀의 수직 하측 영역을 지나가도록 하측으로 경사지게 구비되는 경사플레이트를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제2밸브부는 상기 탱크부의 상부 외측에 구비되는 제2하우징과, 상기 제2하우징의 상부 외측에 구비되고, 동력을 발생하여 상기 제2하우징의 내부에 구비되는 제2구동로드의 스트로크를 증감시키는 제2구동실린더와, 상단부가 상기 제2구동로드에 결합되고, 상기 제2하우징의 하부에 관통 형성되는 제2관통공과, 상기 탱크부의 상부에 관통 형성되는 제2관통홀을 통해 상기 탱크부의 내측으로 연장되는 연결로드와, 상기 연결로드의 하단부에 구비되는 연결플랜지와, 상단부가 상기 연결플랜지에 결합되고, 상기 탱크부의 내측에서 하향 연장되는 제2연장로드와, 상기 제2연장로드의 하단부에 구비되고, 상기 탱크부의 하부에 관통 형성되어 상기 탱크부의 내측과 상기 배수부의 내측을 연통시키는 배수홀의 지름보다 큰 지름으로 형성되어 상기 배수홀을 개폐하는 제2실링플레이트를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제2실링플레이트의 하면에는 상기 배수홀의 지름보다 큰 지름으로 형성되는 제4링홈이 형성되고, 상기 제2밸브부는 상기 제4링홈에 구비되고, 상기 탱크부부의 하부에 밀착되어 상기 배수홀을 밀폐하는 제4실링을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제2밸브부는 상단부는 상기 제2하우징의 하부에 결합되고, 하단부는 상기 연결플랜지의 상부에 결합되며, 상기 제2하우징 및 상기 연결플랜지의 사이에서 상기 연결로드를 감싸도록 구비되어 상기 연결로드의 스트로크 증감 시에 연동하여 신장 또는 수축 변형되는 제2커버를 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제2하우징은 상기 제2하우징의 하부 저면에 원주방향으로 구비되는 제3걸림구를 가지고, 상기 연결플랜지는 상기 연결플랜지의 상면에 원주방향으로 구비되는 제4걸림구를 가지며, 상기 제2커버는 상단부에 구비되어 상기 제3걸림구에 결합되는 제3걸림링과, 하단부에 구비되어 상기 제4걸림구에 결합되는 제4걸림링을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 있어서, 상기 제2하우징은 상기 제2하우징의 하부 저면에 원주방향으로 형성되는 제5링홈을 가지고, 상기 연결플랜지는 상기 연결플랜지의 상면에 원주방향으로 형성되는 제6링홈을 가지며, 상기 제2밸브부는 상기 제5링홈에 결합되는 제5실링 및 상기 제6링홈에 결합되는 제6실링을 가질 수 있다.
본 발명의 실시예에 따르면, 제1밸브부에서 제1하우징 및 제1구동실린더를 제외한 나머지 부분은 입수부의 내측에 구비되고, 제2밸브부에서 제2하우징 및 제2구동실린더를 제외한 나머지 부분은 탱크부의 내측에 구비되기 때문에, 장시간 사용하더라도 노화현상의 발생 가능성을 낮출 수 있고, 이로 인한 약액 또는 세정수의 누설 위험성도 낮출 수 있다.
또한, 본 발명의 실시예에 따르면, 입수부는 탱크부보다 외측으로 돌출되지 않도록 마련되고, 배수부는 탱크부 하부의 받침 프레임보다 낮은 높이로 형성되어 배수부가 탱크부의 하부에 구비되더라도 탱크부의 높이는 증가되지 않기 때문에, 탱크부의 전체 부피가 증가하지 않게 되고, 공간 활용도도 높아질 수 있다.
본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
도 1은 종래의 기판 처리장치를 나타낸 예시도이다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리장치를 나타낸 단면 사시도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리장치를 나타낸 단면예시도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리장치의 입수부 및 제1밸브부의 단면예시도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리장치의 제2밸브부를 중심으로 나타낸 단면예시도이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.
명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 “연결(접속, 접촉, 결합)”되어 있다고 할 때, 이는 “직접적으로 연결”되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 “간접적으로 연결”되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 “포함”한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.
본 명세서에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 명세서에서, “포함하다” 또는 “가지다” 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리장치를 나타낸 단면 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리장치를 나타낸 단면예시도이다.
도 2 및 도 3에서 보는 바와 같이, 기판 처리장치는 입수부(100), 탱크부(200), 배수부(300), 제1밸브부(400) 그리고 제2밸브부(500)를 포함할 수 있다.
입수부(100)는 진입되는 기판에 약액 또는 세정수를 분사하여 세정공정이 이루어지는 습식 세정설비와 연결되는 연결파이프(101)와 연결될 수 있다. 습식 세정설비에서 기판에 분사되는 약액 또는 세정수는 연결파이프(101)를 통해 입수부(100)로 유입될 수 있다.
입수부(100)는 탱크부(200)의 내부공간 상부에 구비될 수 있다. 탱크부(200)는 입수부(100)와 연결될 수 있으며, 입수부(100)의 약액 또는 세정수는 탱크부(200)로 유입되어 저장될 수 있다.
탱크부(200)는 상부 일부분이 제거될 수 있으며, 입수부(100)는 탱크부(200)의 상부 일부분이 제거된 부분에 마련될 수 있다.
입수부(100)의 상부(102)는 탱크부(200)의 상부(201)와 동일한 높이를 가질 수 있으며, 입수부(100)의 외측면(102)은 탱크부(200)의 외측면(202)과 연속되도록 형성될 수 있다. 즉, 입수부(100)는 탱크부(200)보다 외측으로 돌출되지 않도록 형성될 수 있고, 탱크부(200) 및 입수부(100)는 연속되는 상면과 연속되는 측면을 가질 수 있어 전체 부피가 감소될 수 있고, 공간 활용도도 높아질 수 있다.
또는, 탱크부(200)의 상부 일부분이 제거되지 않은 상태에서 입수부(100)의 내측벽 및 하부에 해당되는 부분이 탱크부(200)의 내부공간 상부에 구비됨으로써 입수부가 마련될 수도 있다. 이 경우, 탱크부(200)의 상부(201)가 입수부(100)의 상부(102)가 되고, 탱크부(200)의 외측면(202)이 입수부(100)의 외측면(102)이 될 수 있다.
배수부(300)는 탱크부의 하부에 구비되어 탱크부(200)와 연결될 수 있다. 탱크부(200)에 저장되는 약액 또는 세정수는 배수부(300)로 배출될 수 있다. 배수부(300) 및 입수부(100)는 탱크부(200)의 양단부에 각각 형성될 수 있다.
탱크부(200)는 하부에 받침 프레임(105)을 가질 수 있다. 배수부(300)는 받침 프레임(105)의 높이보다 낮은 높이로 형성될 수 있다. 따라서, 배수부(300)가 탱크부(200)의 하부에 구비되더라도 탱크부(200)의 높이는 증가되지 않을 수 있어 공간 활용도가 높아질 수 있다.
제1밸브부(400)는 일부분이 입수부(100)의 내측에 구비될 수 있으며, 입수부(100)를 개폐하여 입수부(100)의 약액 또는 세정수가 탱크부(200)로 이동되도록 할 수 있다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리장치의 입수부 및 제1밸브부의 단면예시도이다.
도 4에서 보는 바와 같이, 제1밸브부(400)는 제1하우징(410), 제1구동실린더(420), 제1연장로드(430) 및 제1실링플레이트(440)를 가질 수 있다.
제1하우징(410)은 입수부(100)의 상부(102) 외측에 구비될 수 있다.
제1하우징(410)은 상부(411), 하부(412) 및 측부(413)를 가질 수 있다.
제1하우징(410)의 하부(412) 및 입수부(100)의 상부(102)의 사이에는 실링패드(419)가 구비될 수 있다. 실링패드(419)는 제1하우징(410)과 입수부(100)의 사이를 실링하여 입수부(100)의 약액 또는 세정수의 누출을 방지할 수 있다.
제1구동실린더(420)는 제1하우징(410)의 상부(411) 외측에 구비될 수 있으며, 동력을 발생하여 제1하우징(410)의 내부(414)에 구비되는 제1구동로드(425)의 스트로크를 증감시킬 수 있다. 제1구동로드(425)는 제1구동실린더(420)에서 동력을 전달받아 수직방향으로 이동할 수 있다. 스트로크는 제1구동로드(425)의 길이를 의미할 수 있으며, 즉, 스트로크가 증가하면 전체 길이가 증가하고 스트로크가 감소하면 전체 길이가 감소하는 것일 수 있다.
제1연장로드(430)는 상단부는 제1구동로드(425)에 결합될 수 있으며, 제1구동로드(425)의 스트로크 변화에 따라 제1구동로드(425)와 함께 상하방향으로 이동될 수 있다. 제1연장로드(430)의 상단부 및 제1구동로드(425)의 하단부는 나사 결합될 수 있다.
제1연장로드(430)는 제1하우징(410)의 하부(412)에 관통 형성되는 제1관통공(415)과, 입수부(100)의 상부(102)에 관통 형성되는 제1관통홀(110)을 통해 입수부(100)의 내측으로 연장될 수 있다. 제1관통홀(110)은 제1하우징(410)의 하부(412)의 지름보다 작은 지름으로 형성될 수 있다.
제1실링플레이트(440)는 제1연장로드(430)의 하단부에 구비될 수 있다. 제1실링플레이트(440)는 입수부(100)의 내측에 구비될 수 있다. 제1실링플레이트(440)는 입수부(100)의 하부에 관통 형성되어 입수부(100)의 내측과 탱크부(200)의 내측을 연통시키는 입수홀(120)의 지름보다 큰 지름으로 형성될 수 있다.
제1실링플레이트(440)는 입수홀(120)을 개폐할 수 있다. 즉, 제1구동로드(425)의 스트로크가 증가하여 제1연장로드(430)가 하향 이동하면 제1실링플레이트(440)는 제1연장로드(430)와 함께 하향 이동되어 입수홀(120)을 닫을 수 있다. 그리고, 제1구동로드(425)의 스트로크가 감소하여 제1연장로드(430)가 상향 이동하면 제1실링플레이트(440)는 제1연장로드(430)와 함께 상향 이동되어 입수홀(120)을 개방할 수 있다.
제1실링플레이트(440)의 하면에는 입수홀(120)의 지름보다 큰 지름으로 형성되는 제1링홈(441)이 형성될 수 있다. 제1밸브부(400)는 제1링홈(441)에 구비되는 제1실링(451)을 가질 수 있으며, 제1실링플레이트(440)가 하향 이동되면 제1실링(451)은 입수부(100)의 하부 상면에 밀착될 수 있다. 이를 통해, 입수홀(120)은 밀폐될 수 있으며, 입수부(100)에 수용된 약액 또는 세정수가 입수홀(120)을 통해 배출되는 것이 방지될 수 있다.
그리고, 제1밸브부(400)는 제1커버(460)를 더 가질 수 있다. 제1커버(460)는 상단부는 제1하우징(410)의 하부(412)에 결합되고, 하단부는 제1실링플레이트(440)의 상부에 결합되며, 제1하우징(410) 및 제1실링플레이트(440)의 사이에서 제1연장로드(430)를 감싸도록 구비될 수 있다. 제1커버(460)는 제1연장로드(430)의 스트로크 증감 시에 연동하여 신장 또는 수축 변형될 수 있다. 이를 위해, 제1커버(460)는 주름진 형태로 형성될 수 있다.
제1하우징(410)은 제1하우징(410)의 하부(412) 저면에 원주방향으로 구비되는 제1걸림구(416)를 가질 수 있다. 제1걸림구(416)는 횡단면이 “L”자 형상을 가질 수 있다.
또한, 제1실링플레이트(440)는 제1실링플레이트(440)의 상면에 원주방향으로 구비되는 제2걸림구(442)를 가질 수 있다. 제2걸림구(442)는 제1걸림구(416)와 대칭을 이루도록 형성될 수 있다.
제1커버(460)는 제1걸림링(461) 및 제2걸림링(462)을 가질 수 있다. 제1걸림링(461)은 제1커버(460)의 상단부에 구비되어 제1걸림구(416)에 결합될 수 있다. 그리고, 제2걸림링(462)은 제1커버(460)의 하단부에 구비되어 제2걸림구(442)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 제1실링플레이트(440)가 이동하지 않거나, 또는 상향 이동 또는 하향 이동 시에도 제1커버(460)의 상단부는 제1하우징(410)의 하부(412)에 견고하게 고정되고, 제1커버(460)의 하단부는 제1실링플레이트(440)에 견고하게 고정될 수 있다.
제1하우징(410)은 제1하우징(410)의 하부(412) 저면에 원주방향으로 형성되는 제2링홈(417)을 더 가질 수 있다.
또한, 제1실링플레이트(440)는 제1실링플레이트(440)의 상면에 원주방향으로 형성되는 제3링홈(443)을 가질 수 있다.
그리고, 제1밸브부(400)는 제2실링(452) 및 제3실링(453)을 더 가질 수 있다. 제2실링(452)은 제2링홈(417)에 결합될 수 있고, 제3실링(453)은 제3링홈(443)에 결합될 수 있으며, 이를 통해, 제1커버(460)의 상단부와 제1하우징(410)의 하부(412)와의 사이 및 제1커버(460)의 하단부와 제1실링플레이트(440)와의 사이로 입수부(100)에 수용된 약액 또는 세정수가 누출되는 것이 효과적으로 방지될 수 있다.
본 발명에 따르면, 제1밸브부(400)에서 제1하우징(410) 및 제1구동실린더(420)를 제외한 나머지 부분은 입수부(100)의 내측에 구비되기 때문에, 장시간 사용하더라도 노화현상의 발생 가능성을 낮출 수 있고, 이로 인한 약액 또는 세정수의 누설 위험성도 낮출 수 있다.
한편, 도 2 및 도 3에서 보는 바와 같이, 탱크부(200)는 경사플레이트(230)를 가질 수 있다. 경사플레이트(230)는 탱크부(200)의 내측에 구비될 수 있으며, 상단부는 입수부(100)에 결합될 수 있다. 그리고, 경사플레이트(230)는 입수홀(120)의 수직 하측 영역을 지나가도록 하측으로 경사지게 구비될 수 있다. 경사플레이트(230)는 입수홀(120)을 통해 유입되는 약액 또는 세정수가 탱크부(200)로 자유낙하하는 높이를 줄여 약액 또는 세정수의 튐을 줄일 수 있다.
또한, 탱크부(200)의 바닥면(205)은 입수부(100)의 하측 부분이 상대적으로 높고, 배수부(300) 방향으로 갈수록 하향 경사지도록 형성될 수 있다. 이를 통해, 입수부(100)로 유입되는 약액 또는 세정수는 배수부(300) 방향으로 흐를 수 있다.
제2밸브부(500)는 일부분이 탱크부(200)의 내측에 구비될 수 있으며, 탱크부(200)를 개폐하여 탱크부(200)의 약액 또는 세정수가 배수부(300)로 이동되도록 할 수 있다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 기판 처리장치의 제2밸브부를 중심으로 나타낸 단면예시도이다.
도 5에서 보는 바와 같이, 제2밸브부(500)는 제2하우징(510), 제2구동실린더(520), 연결로드(530), 연결플랜지(540), 연결로드(530) 및 제2실링플레이트(560)를 가질 수 있다.
제2하우징(510)은 탱크부(200)의 상부(201) 외측에 구비될 수 있다.
제2하우징(510)은 상부(511), 하부(512) 및 측부(513)를 가질 수 있다.
제2하우징(510)의 하부(512) 및 탱크부(200)의 상부(201) 사이는 기밀되어 탱크부(200)의 약액 또는 세정수의 누출이 방지되도록 함이 바람직하다.
제2구동실린더(520)는 제2하우징(510)의 상부(511) 외측에 구비될 수 있으며, 동력을 발생하여 제2하우징(510)의 내부(514)에 구비되는 제2구동로드(525)의 스트로크를 증감시킬 수 있다. 제2구동로드(525)는 제2구동실린더(520)에서 동력을 전달받아 수직방향으로 이동할 수 있다.
연결로드(530)는 상단부가 제2구동로드(525)에 결합될 수 있으며, 제2구동로드(525)의 스트로크 변화에 따라 제2구동로드(525)와 함께 상하방향으로 이동될 수 있다. 연결로드(530)의 상단부 및 제2구동로드(525)의 하단부는 나사 결합될 수 있다.
연결로드(530)는 제2하우징(510)의 하부(512)에 관통 형성되는 제2관통공(515)과, 탱크부(200)의 상부(201)에 관통 형성되는 제2관통홀(210)을 통해 탱크부(200)의 내측으로 연장될 수 있다. 제2관통홀(210)은 제2하우징(510)의 하부(512)의 지름보다 작은 지름으로 형성될 수 있다.
연결플랜지(540)는 연결로드(530)의 하단부에 구비될 수 있다. 연결플랜지(540) 및 연결로드(530)는 나사 결합될 수 있다.
연결플랜지(540)는 하부 중앙에 돌출 형성되는 결합구(545)를 가질 수 있다.
제2연장로드(550)의 상단부에는 결합돌기(551)가 형성될 수 있으며, 결합돌기(551)가 결합구(545)에 삽입 결합됨으로써 제2연장로드(550)는 연결플랜지(540)에 결합될 수 있다. 결합구(545) 및 결합돌기(551)는 끼움 결합될 수 있다. 제2연장로드(550)는 탱크부(200)의 내측에서 하향 연장될 수 있다.
제2실링플레이트(560)는 제2연장로드(550)의 하단부에 구비될 수 있다. 제2실링플레이트(560)는 탱크부(200)의 내측에 구비될 수 있다. 제2실링플레이트(560)는 탱크부(200)의 하부(203)에 관통 형성되어 탱크부(200)의 내측과 배수부(300)의 내측을 연통시키는 배수홀(220)의 지름보다 큰 지름으로 형성될 수 있다.
제2실링플레이트(560)는 배수홀(220)을 개폐할 수 있다. 즉, 제2구동로드(525)의 스트로크가 증가하여 연결로드(530) 및 제2연장로드(550)가 하향 이동하면 제2실링플레이트(560)도 하향 이동되어 배수홀(220)을 닫을 수 있다. 그리고, 제2구동로드(525)의 스트로크가 감소하여 연결로드(530) 및 제2연장로드(550)가 상향 이동하면 제2실링플레이트(560)도 상향 이동되어 배수홀(220)을 개방할 수 있다.
제2실링플레이트(560)의 하면에는 배수홀(220)의 지름보다 큰 지름으로 형성되는 제4링홈(561)이 형성될 수 있다. 제2밸브부(500)는 제4링홈(561)에 구비되는 제4실링(581)을 가질 수 있으며, 제2실링플레이트(560)가 하향 이동되면 제4실링(581)은 탱크부(200)의 하부 상면에 밀착될 수 있다. 이를 통해, 배수홀(220)은 밀폐될 수 있으며, 탱크부(200)에 수용된 약액 또는 세정수가 배수홀(220)을 통해 배출되는 것이 방지될 수 있다.
그리고, 제2밸브부(500)는 제2커버(570)를 더 가질 수 있다. 제2커버(570)는 상단부는 제2하우징(510)의 하부(512)에 결합되고, 하단부는 연결플랜지(540)의 상부에 결합되며, 제2하우징(510) 및 연결플랜지(540)의 사이에서 연결로드(530)를 감싸도록 구비될 수 있다. 제2커버(570)는 연결로드(530)의 스트로크 증감 시에 연동하여 신장 또는 수축 변형될 수 있다. 이를 위해, 제2커버(570)는 주름진 형태로 형성될 수 있다.
제2하우징(510)은 제2하우징(510)의 하부(512) 저면에 원주방향으로 구비되는 제3걸림구(516)를 가질 수 있다. 제3걸림구(516)는 횡단면이 “L”자 형상을 가질 수 있다.
또한, 연결플랜지(540)는 연결플랜지(540)의 상면에 원주방향으로 구비되는 제4걸림구(542)를 가질 수 있다. 제4걸림구(542)는 제3걸림구(516)와 대칭을 이루도록 형성될 수 있다.
제2커버(570)는 제3걸림링(571) 및 제4걸림링(572)을 가질 수 있다. 제3걸림링(571)은 제2커버(570)의 상단부에 구비되어 제3걸림구(516)에 결합될 수 있다. 그리고, 제4걸림링(572)은 제2커버(570)의 하단부에 구비되어 제4걸림구(542)에 결합될 수 있다. 이에 따라, 연결플랜지(540)가 이동하지 않거나, 또는 상향 이동 또는 하향 이동 시에도 제2커버(570)의 상단부는 제2하우징(510)의 하부(512)에 견고하게 고정되고, 제2커버(570)의 하단부는 연결플랜지(540)에 견고하게 고정될 수 있다.
제2하우징(510)은 제2하우징(510)의 하부(512) 저면에 원주방향으로 형성되는 제5링홈(517)을 더 가질 수 있다.
또한, 연결플랜지(540)는 연결플랜지(540)의 상면에 원주방향으로 형성되는 제6링홈(543)을 가질 수 있다.
그리고, 제2밸브부(500)는 제5실링(582) 및 제6실링(583)을 더 가질 수 있다. 제5실링(582)은 제5링홈(517)에 결합될 수 있고, 제6실링(583)은 제6링홈(543)에 결합될 수 있으며, 이를 통해, 제2커버(570)의 상단부와 제2하우징(510)의 하부(512)와의 사이 및 제2커버(570)의 하단부와 연결플랜지(540)와의 사이로 탱크부(200)에 수용된 약액 또는 세정수가 누출되는 것이 효과적으로 방지될 수 있다.
본 발명에 따르면, 제2밸브부(500)에서 제2하우징(510) 및 제2구동실린더(520)를 제외한 나머지 부분은 탱크부(200)의 내측에 구비되기 때문에, 장시간 사용하더라도 노화현상의 발생 가능성을 낮출 수 있고, 이로 인한 약액 또는 세정수의 누설 위험성도 낮출 수 있다.
전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.
본 발명의 범위는 후술하는 청구범위에 의하여 나타내어지며, 청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.
100: 입수부 120: 입수홀
200: 탱크부 220: 배수홀
230: 경사플레이트 300: 배수부
400: 제1밸브부 410: 제1하우징
420: 제1구동실린더 430: 제1연장로드
440: 제1실링플레이트 460: 제1커버
500: 제2밸브부 510: 제2하우징
520: 제2구동실린더 530: 연결로드
540: 연결플랜지 550: 제2연장로드
560: 제2실링플레이트 570: 제2커버

Claims (12)

  1. 기판에 분사되는 약액 또는 세정수가 유입되는 입수부;
    상기 입수부와 연결되고, 상기 입수부의 약액 또는 세정수가 유입되어 저장되는 탱크부; 그리고
    상기 탱크부와 연결되고, 상기 탱크부에 저장되는 약액 또는 세정수가 배출되는 배수부를 포함하고,
    상기 입수부는 상기 탱크부의 내부공간 상부에 구비되고, 상기 배수부는 상기 탱크부의 하부에 구비되며,
    일부분이 상기 입수부의 내측에 구비되고, 상기 입수부를 개폐하여 상기 입수부의 약액 또는 세정수가 상기 탱크부로 이동되도록 하는 제1밸브부; 및
    일부분이 상기 탱크부의 내측에 구비되고, 상기 탱크부를 개폐하여 상기 탱크부의 약액 또는 세정수가 상기 배수부로 이동되도록 하는 제2밸브부를 포함하고,
    상기 제1밸브부는
    상기 입수부의 상부 외측에 구비되고, 하부에 제1관통공이 관통 형성되는 제1하우징과,
    상기 제1관통공과 상기 입수부의 상부에 관통 형성되는 제1관통홀을 통해 상기 입수부의 내측으로 연장되고, 외부 동력에 의해 이동 가능한 제1연장로드와,
    상기 제1연장로드의 하단부에 구비되고, 상기 입수부의 하부에 관통 형성되어 상기 입수부의 내측과 상기 탱크부의 내측을 연통시키는 입수홀의 지름보다 큰 지름으로 형성되어 상기 입수홀을 개폐하는 제1실링플레이트를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제1밸브부는
    상기 제1하우징의 내부에 구비되고, 하단부가 상기 제1연장로드의 상단부에 결합되는 제1구동로드와,
    상기 제1하우징의 상부 외측에 구비되고, 동력을 발생하여 상기 제1구동로드의 스트로크를 증감시키는 제1구동실린더를 더 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제1실링플레이트의 하면에는 상기 입수홀의 지름보다 큰 지름으로 형성되는 제1링홈이 형성되고,
    상기 제1밸브부는
    상기 제1링홈에 구비되고, 상기 입수부의 하부 상면에 밀착되어 상기 입수홀을 밀폐하는 제1실링을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제1밸브부는
    상단부는 상기 제1하우징의 하부에 결합되고, 하단부는 상기 제1실링플레이트의 상부에 결합되며, 상기 제1하우징 및 상기 제1실링플레이트의 사이에서 상기 제1연장로드를 감싸도록 구비되어 상기 제1연장로드의 스트로크 증감 시에 연동하여 신장 또는 수축 변형되는 제1커버를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제1하우징은 상기 제1하우징의 하부 저면에 원주방향으로 구비되는 제1걸림구를 가지고,
    상기 제1실링플레이트는 상기 제1실링플레이트의 상면에 원주방향으로 구비되는 제2걸림구를 가지며,
    상기 제1커버는 상단부에 구비되어 상기 제1걸림구에 결합되는 제1걸림링과, 하단부에 구비되어 상기 제2걸림구에 결합되는 제2걸림링을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 제1하우징은 상기 제1하우징의 하부 저면에 원주방향으로 형성되는 제2링홈을 가지고,
    상기 제1실링플레이트는 상기 제1실링플레이트의 상면에 원주방향으로 형성되는 제3링홈을 가지며,
    상기 제1밸브부는
    상기 제2링홈에 결합되는 제2실링 및 상기 제3링홈에 결합되는 제3실링을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 탱크부는
    상기 탱크부의 내측에 구비되되, 상단부는 상기 입수부에 결합되고 상기 입수홀의 수직 하측 영역을 지나가도록 하측으로 경사지게 구비되는 경사플레이트를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  8. 기판에 분사되는 약액 또는 세정수가 유입되는 입수부;
    상기 입수부와 연결되고, 상기 입수부의 약액 또는 세정수가 유입되어 저장되는 탱크부; 그리고
    상기 탱크부와 연결되고, 상기 탱크부에 저장되는 약액 또는 세정수가 배출되는 배수부를 포함하고,
    상기 입수부는 상기 탱크부의 내부공간 상부에 구비되고, 상기 배수부는 상기 탱크부의 하부에 구비되며,
    일부분이 상기 입수부의 내측에 구비되고, 상기 입수부를 개폐하여 상기 입수부의 약액 또는 세정수가 상기 탱크부로 이동되도록 하는 제1밸브부; 및
    일부분이 상기 탱크부의 내측에 구비되고, 상기 탱크부를 개폐하여 상기 탱크부의 약액 또는 세정수가 상기 배수부로 이동되도록 하는 제2밸브부를 포함하고,
    상기 제2밸브부는
    상기 탱크부의 상부 외측에 구비되는 제2하우징과,
    상기 제2하우징의 상부 외측에 구비되고, 동력을 발생하여 상기 제2하우징의 내부에 구비되는 제2구동로드의 스트로크를 증감시키는 제2구동실린더와,
    상단부가 상기 제2구동로드에 결합되고, 상기 제2하우징의 하부에 관통 형성되는 제2관통공과, 상기 탱크부의 상부에 관통 형성되는 제2관통홀을 통해 상기 탱크부의 내측으로 연장되는 연결로드와,
    상기 연결로드의 하단부에 구비되는 연결플랜지와,
    상단부가 상기 연결플랜지에 결합되고, 상기 탱크부의 내측에서 하향 연장되는 제2연장로드와,
    상기 제2연장로드의 하단부에 구비되고, 상기 탱크부의 하부에 관통 형성되어 상기 탱크부의 내측과 상기 배수부의 내측을 연통시키는 배수홀의 지름보다 큰 지름으로 형성되어 상기 배수홀을 개폐하는 제2실링플레이트를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 제2실링플레이트의 하면에는 상기 배수홀의 지름보다 큰 지름으로 형성되는 제4링홈이 형성되고,
    상기 제2밸브부는
    상기 제4링홈에 구비되고, 상기 탱크부부의 하부에 밀착되어 상기 배수홀을 밀폐하는 제4실링을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 제2밸브부는
    상단부는 상기 제2하우징의 하부에 결합되고, 하단부는 상기 연결플랜지의 상부에 결합되며, 상기 제2하우징 및 상기 연결플랜지의 사이에서 상기 연결로드를 감싸도록 구비되어 상기 연결로드의 스트로크 증감 시에 연동하여 신장 또는 수축 변형되는 제2커버를 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 제2하우징은 상기 제2하우징의 하부 저면에 원주방향으로 구비되는 제3걸림구를 가지고,
    상기 연결플랜지는 상기 연결플랜지의 상면에 원주방향으로 구비되는 제4걸림구를 가지며,
    상기 제2커버는 상단부에 구비되어 상기 제3걸림구에 결합되는 제3걸림링과, 하단부에 구비되어 상기 제4걸림구에 결합되는 제4걸림링을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 제2하우징은 상기 제2하우징의 하부 저면에 원주방향으로 형성되는 제5링홈을 가지고,
    상기 연결플랜지는 상기 연결플랜지의 상면에 원주방향으로 형성되는 제6링홈을 가지며,
    상기 제2밸브부는
    상기 제5링홈에 결합되는 제5실링 및 상기 제6링홈에 결합되는 제6실링을 가지는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
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