KR102351010B1 - FOUP cleaning device - Google Patents
FOUP cleaning device Download PDFInfo
- Publication number
- KR102351010B1 KR102351010B1 KR1020190129010A KR20190129010A KR102351010B1 KR 102351010 B1 KR102351010 B1 KR 102351010B1 KR 1020190129010 A KR1020190129010 A KR 1020190129010A KR 20190129010 A KR20190129010 A KR 20190129010A KR 102351010 B1 KR102351010 B1 KR 102351010B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- foop
- cleaning
- dry air
- foup
- cover
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67051—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing using mainly spraying means, e.g. nozzles
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02046—Dry cleaning only
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68714—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support
- H01L21/68742—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a susceptor, stage or support characterised by a lifting arrangement, e.g. lift pins
Abstract
본 발명은 풉 본체와 풉 커버의 세정 및 건조 효율을 향상시키고, 스노클 노즐의 건조 효율을 향상시킬 수 있는 풉 세정 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
이를 구현하기 위한 본 발명은, 풉 본체와 풉 커버로 이루어진 풉을 세정하기 위한 풉 세정 장치에 있어서, 상기 풉 본체에는 상기 풉 본체의 내부를 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐이 구비되고, 상기 풉 본체와 풉 커버를 세정유체를 이용하여 세정하는 세정 챔버를 포함하되, 상기 세정 챔버에는 상기 풉 본체의 세정 완료 후 상기 스노클 노즐 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부가 구비된 것을 특징으로 한다.An object of the present invention is to provide a FOOP cleaning apparatus capable of improving cleaning and drying efficiency of a FOOP body and a FOOP cover, and improving drying efficiency of a snorkel nozzle.
The present invention provides a FOOP cleaning device for cleaning a FOOP comprising a FOOP body and a FOOP cover, wherein the FOOP body is provided with a snorkel nozzle of foamed porous for purging the inside of the FOOP body, and the FOOP and a cleaning chamber for cleaning the main body and the FOOP cover using a cleaning fluid, wherein the cleaning chamber is provided with a compressed dry air supply unit for injecting compressed dry air into the snorkel nozzle after the cleaning of the FOOP main body is completed. .
Description
본 발명은 풉 세정 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판의 보관 및 운반을 위해 사용되는 풉(FOUP)의 세정 및 건조 효율을 향상시킨 풉 세정 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a FOUP cleaning apparatus, and more particularly, to a FOUP cleaning apparatus having improved cleaning and drying efficiency of a FOUP used for storage and transport of a substrate.
반도체 제조 공정은 반도체 기판을 다양한 방법으로 가공하는 일련의 공정 장비들을 거치게 되는데, 반도체 기판을 보관 및 운반할 때에는 외부의 충격으로부터 손상되지 않도록 주의하여야 하며, 기판의 표면이 수분, 먼지, 각종 유기물 등과 같은 불순물에 의해 오염되지 않도록 관리하여야 한다.The semiconductor manufacturing process goes through a series of process equipment that processes the semiconductor substrate in various ways. When storing and transporting the semiconductor substrate, care must be taken not to damage it from external impact, and the surface of the substrate is subject to moisture, dust, various organic substances, etc. It should be managed so as not to be contaminated by the same impurities.
따라서, 반도체 기판을 보관 및 운반할 때에는 별도의 보관 용기(FOUP; Front opening unified pod, 이하‘풉’이라 칭함)를 사용하게 된다.Therefore, when storing and transporting the semiconductor substrate, a separate storage container (FOUP; Front opening unified pod, hereinafter referred to as 'FOUP') is used.
이와 같은 용도로 사용되는 풉의 내부에는 고정밀도의 반도체 기판이 수납되므로, 풉은 높은 청정도를 유지하기 위한 관리가 요구되며, 이를 위하여 풉은 풉 세정 장치에서 주기적으로 세정 및 건조된다.Since a high-precision semiconductor substrate is housed inside the FOOP used for this purpose, the FOOP needs to be managed to maintain a high degree of cleanliness.
이러한 풉 세정 장치와 관련된 선행기술로서, 공개특허 제10-2013-0095028호, 등록특허 제10-1173987호에는 풉의 표면에 세정액을 분사하여 풉을 세정하는 기술이 개시되어 있다. As prior art related to such a FOUP cleaning device, Korean Patent Publication Nos. 10-2013-0095028 and 10-1173987 disclose a technique for cleaning the FOOP by spraying a cleaning solution on the surface of the FOOP.
또한, 공개특허 제10-2015-0078657호에 나타난 바와 같이, 풉 내부에는 풉 내부에 수납되는 기판을 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐(Snorkel nozzle)이 구비되는데, 풉의 세정 과정에서 세정액이 흡수된 스노클 노즐을 완전하게 건조시켜 원래의 성능을 회복시키는데 많은 시간이 소요되고, 스노클 노즐의 완전 건조에 소요되는 시간 만큼 풉을 재사용할 수 없어 공정 손실이 발생하게 되는 문제점이 있다. 따라서, 풉의 세정 후에 스노클 노즐을 신속하게 건조시켜 원래의 성능을 회복시키는데 소요되는 시간을 단축할 수 있는 풉 세정 장치의 개발이 요구된다.In addition, as shown in Korean Patent Laid-Open No. 10-2015-0078657, a foamed porous snorkel nozzle for purging the substrate accommodated inside the FOOP is provided inside the FOUP, and the cleaning liquid is absorbed during the cleaning process of the FOOP. It takes a lot of time to completely dry the old snorkel nozzle to restore its original performance, and there is a problem in that the process loss occurs because the FOUP cannot be reused as much as the time required for the complete drying of the snorkel nozzle. Therefore, there is a need to develop a FOOP cleaning apparatus capable of shortening the time required to recover the original performance by rapidly drying the snorkel nozzle after cleaning the FOOP.
본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 풉 본체와 풉 커버의 세정 및 건조 효율을 향상시키고, 스노클 노즐의 건조 효율을 향상시킬 수 있는 풉 세정 장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a FOOP cleaning apparatus capable of improving cleaning and drying efficiency of a FOOP body and a FOOP cover, and improving the drying efficiency of a snorkel nozzle.
상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 풉 세정 장치는, 풉 본체와 풉 커버로 이루어진 풉을 세정하기 위한 풉 세정 장치에 있어서, 상기 풉 본체에는 상기 풉 본체의 내부를 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐이 구비되고, 상기 풉 본체와 풉 커버를 세정유체를 이용하여 세정하는 세정 챔버를 포함하되, 상기 세정 챔버에는 상기 풉 본체의 세정 완료 후 상기 스노클 노즐 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부가 구비된 것을 특징으로 한다.The FOOP cleaning device of the present invention for realizing the above object is a FOOP cleaning device for cleaning a FOOP comprising a FOOP body and a FOOP cover, wherein the FOOP body has a porous foam for purging the inside of the FOOP body a cleaning chamber provided with a snorkel nozzle of It is characterized in that the air supply unit is provided.
상기 압축건조공기 공급부는 상기 스노클 노즐의 일측단에 접속 또는 접속해제되도록 전후진 가능하게 구비될 수 있다.The compressed dry air supply unit may be provided so as to be connected to or disconnected from one end of the snorkel nozzle forward and backward.
상기 풉 본체의 일측면에는, 상기 스노클 노즐의 단부가 연결되는 제1포트가 일측에 형성되고, 상기 풉 본체의 내부와 연통하는 제2포트가 타측에 형성되며, 상기 압축건조공기 공급부는, 상기 제1포트에 압축건조공기를 공급하는 제1노즐과, 상기 제2포트에 압축건조공기를 공급하는 제2노즐을 구비할 수 있다.A first port to which an end of the snorkel nozzle is connected is formed on one side of the FOOP body, a second port communicating with the inside of the FOOP body is formed on the other side, and the compressed dry air supply unit includes: A first nozzle for supplying compressed dry air to the first port and a second nozzle for supplying compressed dry air to the second port may be provided.
상기 제1포트와 제2포트의 내측에는 각각 필터가 구비되고, 상기 압축건조공기에 의해 상기 필터가 건조될 수 있다.A filter may be provided inside the first port and the second port, respectively, and the filter may be dried by the compressed dry air.
상기 압축건조공기 공급부는, 상기 제1노즐에 압축건조공기를 공급하며 횡방향으로 구비된 제1공급관, 상기 제1공급관에 연통되어 상기 제2노즐에 압축건조공기를 공급하며 종방향으로 구비된 제2공급관, 및 상기 제1공급관과 제2공급관을 전진 또는 후진 이동시키는 전후진 실린더를 포함할 수 있다.The compressed dry air supply unit includes a first supply pipe provided in a transverse direction for supplying compressed dry air to the first nozzle, and a longitudinal direction while communicating with the first supply pipe to supply compressed dry air to the second nozzle. It may include a second supply pipe, and a forward/backward cylinder for moving the first supply pipe and the second supply pipe forward or backward.
상기 스노클 노즐은 상기 풉 본체의 내부에 양측으로 이격되어 복수로 구비되고, 상기 제1포트와 제2포트는 상기 풉 본체의 일측면에 양측으로 이격되어 복수로 구비되며, 상기 제1노즐을 구비한 제1공급관과 상기 제2노즐을 구비한 제2공급관은 각각 양측으로 이격되어 복수로 구비될 수 있다.A plurality of the snorkel nozzles are provided inside the FOOP body at opposite sides, and a plurality of first and second ports are provided on one side of the FOOP body on both sides and a plurality of spaced apart from each other, and the first nozzle is provided. A plurality of the first supply pipe and the second supply pipe having the second nozzle are spaced apart from each other on both sides.
상기 복수의 제1공급관을 지지하며 상기 전후진 실린더에 연결된 제1공급관 지지부재와, 상기 복수의 제2공급관을 지지하는 제2공급관 지지부재를 더 포함할 수 있다.It may further include a first supply pipe support member supporting the plurality of first supply pipes and connected to the forward and backward cylinders, and a second supply pipe supporting member supporting the plurality of second supply pipes.
상기 제1노즐과 제2노즐에는 상기 제1포트와 제2포트가 형성된 상기 풉 본체의 외측면에 밀착되어 기밀을 유지하기 위한 패드가 결합될 수 있다.A pad for maintaining airtightness by being in close contact with the outer surface of the FOUP body in which the first port and the second port are formed may be coupled to the first nozzle and the second nozzle.
상기 패드는 실리콘 재질로 이루어질 수 있다.The pad may be made of a silicon material.
상기 세정 챔버에는 상기 압축건조공기 공급부에서 분사되는 상기 압축건조공기에 의해 상기 풉 본체가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 상기 풉 본체의 일측면을 지지하기 위한 스토퍼가 구비될 수 있다.A stopper may be provided in the cleaning chamber to support one side of the FOUP body so that the FOOP body is not pushed to one side by the compressed dry air sprayed from the compressed dry air supply unit.
상기 세정 챔버는, 상기 풉 본체의 외측면과 상기 풉 커버에 세정유체를 분사하는 외부 세정유체 분사부와, 상기 풉 본체의 내측면에 세정유체를 분사하는 내부 세정유체 분사부를 구비할 수 있다.The cleaning chamber may include an external cleaning fluid spraying part that sprays a cleaning fluid to the outer surface of the FOOP body and the FOOP cover, and an internal cleaning fluid spraying part spraying the cleaning fluid to an inner surface of the FOOP body.
상기 외부 세정유체 분사부에는 세정유체를 분사하는 복수의 노즐이 상하로 이격되어 형성되되, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체의 외측면에 근접하게 위치하도록 각각의 길이와 분사각이 상이하게 형성될 수 있다.A plurality of nozzles for spraying the cleaning fluid are vertically spaced apart from each other in the external cleaning fluid spraying part, and the plurality of nozzles are formed to have different lengths and different spray angles so as to be located close to the outer surface of the FOUP body. can
상기 풉 본체는 상기 세정 챔버 내에 회전 가능하게 구비되고, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 세정유체를 분사하도록 경사지게 형성될 수 있다.The FOUP body may be rotatably provided in the cleaning chamber, and the plurality of nozzles may be inclined to spray the cleaning fluid in a direction opposite to the rotational direction of the FOOP body.
상기 세정 챔버에는, 세정 완료된 상기 풉 본체와 풉 커버를 건조하기 위한 압축건조공기를 분사하는 에어 공급부가 구비될 수 있다. The cleaning chamber may be provided with an air supply unit that sprays compressed dry air for drying the cleaned FOOP body and the FOOP cover.
상기 에어 공급부는, 상기 풉 본체의 외측면에 압축건조공기를 분사하는 외부 에어 공급부와, 상기 풉 본체의 내측면에 압축건조공기를 분사하는 내부 에어 공급부를 포함할 수 있다.The air supply unit may include an external air supply unit that sprays compressed dry air to an outer surface of the FOOP body, and an internal air supply unit that injects compressed dry air to an inner surface of the FOOP body.
상기 외부 에어 공급부에는 압축건조공기를 분사하는 복수의 노즐이 상하로 이격되어 형성되되, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체의 외측면에 근접하게 위치하도록 각각의 길이와 분사각이 상이하게 형성될 수 있다.A plurality of nozzles for spraying compressed dry air may be vertically spaced apart from each other in the external air supply unit, and the plurality of nozzles may be formed to have different lengths and different injection angles so as to be located close to the outer surface of the FOUP body. have.
상기 풉 본체는 상기 세정 챔버 내에 회전 가능하게 구비되고, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 압축건조공기를 분사하도록 경사지게 형성될 수 있다.The FOUP body may be rotatably provided in the cleaning chamber, and the plurality of nozzles may be inclined to spray compressed dry air in a direction opposite to the rotational direction of the FOOP body.
상기 에어 공급부는, 상기 세정 챔버 내부에서 상기 풉 본체와 상기 풉 커버 사이에 위치하며 전후진 가능하도록 구비되어, 세정 완료된 상기 풉 본체와 상기 풉 커버에 압축건조공기를 분사하는 상부 에어 공급부를 더 포함할 수 있다.The air supply unit may further include an upper air supply unit positioned between the FOOP body and the FOOP cover in the cleaning chamber and provided to move forward and backward for spraying compressed dry air to the FOOP body and the FOOP cover that have been cleaned. can do.
상기 세정 챔버는, 상기 풉 본체가 내부에 수용되어 세정 처리되는 세정 챔버 본체와, 상기 세정 챔버 본체의 상부를 개폐하며 상기 풉 커버가 지지되어 세정 처리되는 세정 챔버 커버를 포함할 수 있다.The cleaning chamber may include a cleaning chamber body in which the FOUP body is accommodated therein to be cleaned, and a cleaning chamber cover that opens and closes an upper portion of the cleaning chamber body and supports and cleans the FOOP cover.
상기 세정 챔버 본체 내에는, 상기 풉 본체가 안착되도록 상기 세정 챔버 본체의 하부에 구비된 안착부와, 상기 세정 챔버 본체의 상부와 하부 사이에서 승강되며 상기 풉 본체를 상기 안착부 상으로 인계하거나 상기 안착부로부터 상기 풉 본체를 인계받아 상기 풉 본체를 승강시키는 승강부를 포함하고, 상기 승강부는 지지부에 의해 상기 세정 챔버 커버와 연결되며, 상기 승강부와 상기 세정 챔버 커버는 동일한 승강구동부에 의해 함께 승강될 수 있다. In the cleaning chamber body, a seating portion provided at a lower portion of the cleaning chamber body to seat the FOUP body is lifted between the upper and lower portions of the cleaning chamber body, and the FOOP body is transferred onto the seating portion or the and an elevating unit receiving the FOOP body from a seating unit to elevate the FOOP main body, wherein the elevating unit is connected to the cleaning chamber cover by a support part, and the lifting unit and the cleaning chamber cover are raised and lowered together by the same elevating driving unit. can be
상기 세정 챔버에는, 세정 완료된 상기 풉 본체와 풉 커버를 건조하기 위해 자외선을 조사하는 자외선 램프가 구비될 수 있다.The cleaning chamber may be provided with an ultraviolet lamp irradiating ultraviolet rays to dry the cleaned FOOP body and FOOP cover.
상기 자외선 램프는, 상기 풉 본체의 외측면에 자외선을 조사하는 외부 자외선 램프와, 상기 풉 본체의 내측면에 자외선을 조사하는 내부 자외선 램프를 포함할 수 있다.The ultraviolet lamp may include an external ultraviolet lamp for irradiating ultraviolet rays to the outer surface of the FOOP body, and an internal ultraviolet lamp for irradiating ultraviolet rays to the inner surface of the FOOP body.
상기 세정 챔버에서 세정이 완료된 풉 본체와 풉 커버가 반송되는 진공 챔버를 더 포함하고, 상기 진공 챔버에는, 상기 진공 챔버 내부에 질소가스를 공급하는 질소가스 공급라인과, 상기 진공 챔버 내부의 유체를 흡입하여 외부로 배출하기 위한 진공라인이 연결될 수 있다.and a vacuum chamber to which the FOOP body and the FOOP cover, which have been cleaned in the cleaning chamber, are transported, wherein the vacuum chamber includes a nitrogen gas supply line for supplying nitrogen gas into the vacuum chamber, and a fluid inside the vacuum chamber. A vacuum line for sucking and discharging to the outside may be connected.
상기 진공 챔버에는 상기 스노클 노즐 내로 질소가스를 주입하는 질소가스 공급부가 구비될 수 있다.A nitrogen gas supply unit for injecting nitrogen gas into the snorkel nozzle may be provided in the vacuum chamber.
상기 질소가스 공급부는 상기 스노클 노즐의 일측단에 접속 또는 접속해제되도록 전후진 가능하게 구비될 수 있다.The nitrogen gas supply unit may be provided so as to be connected to or disconnected from one end of the snorkel nozzle forward and backward.
상기 진공 챔버에는 상기 질소가스 공급부에서 분사되는 상기 질소가스에 의해 상기 풉 본체가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 상기 풉 본체의 일측면을 지지하기 위한 제2스토퍼가 구비될 수 있다.A second stopper may be provided in the vacuum chamber to support one side of the FOOP body so that the FOOP body is not pushed to one side by the nitrogen gas injected from the nitrogen gas supply unit.
본 발명에 따른 풉 세정 장치에 의하면, 풉 본체의 세정 완료 후 스노클 노즐 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부를 구비함으로써 스노클 노즐을 신속하게 건조시켜 원래의 성능을 회복시키는데 소요되는 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.According to the FOOP cleaning apparatus according to the present invention, a compressed dry air supply unit for injecting compressed dry air into the snorkel nozzle after cleaning of the FOOP body is completed, thereby rapidly drying the snorkel nozzle and reducing the time required to restore the original performance There is an effect that can be done.
또한, 압축건조공기 공급부를 전후진시켜 제1노즐과 제2노즐을 풉 본체의 일측면에 형성된 제1포트와 제2포트에 동시에 접속시켜 압축건조공기를 공급함으로써 스노클 노즐의 건조 및 풉 본체 내부의 건조 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, by moving the compressed dry air supply unit forward and backward, the first and second nozzles are simultaneously connected to the first port and the second port formed on one side of the FOOP main body to supply compressed dry air, thereby drying the snorkel nozzle and inside the FOUP main body. drying efficiency can be improved.
또한, 세정 챔버에서 세정 완료된 풉 본체의 내부에 구비된 스노클 노즐에 압축건조공기를 주입하여 1차로 건조시키고, 진공 챔버에서는 스노클 노즐에 질소가스를 주입하여 2차로 건조시킴으로써, 발포 다공질의 스노클 노즐을 단시간에 완전 건조시킬 수 있다.In addition, compressed dry air is primarily dried by injecting compressed dry air into the snorkel nozzle provided inside the FOUP body, which has been cleaned in the cleaning chamber. It can be completely dried in a short time.
또한, 스노클 노즐의 건조를 위한 압축건조공기 또는 질소가스의 공급에 따른 압력에 의해 풉 본체가 일측으로 밀려 이동되는 것을 방지하도록 풉 본체의 일측면을 지지하는 스토퍼를 구비함으로써, 풉 본체가 고정 지지된 상태에서 스노클 노즐의 건조 작업을 안정적으로 수행할 수 있다.In addition, by providing a stopper that supports one side of the FOOP main body to prevent the FOOP main body from being pushed to one side by the pressure caused by the supply of compressed dry air or nitrogen gas for drying the snorkel nozzle, the FOOP main body is fixed and supported. The drying operation of the snorkel nozzle can be carried out stably in this state.
또한, 세정 챔버에서의 세정 및 건조 과정에서는 풉 본체와 풉 커버가 회전되도록 하여 세정유체와 압축건조공기가 풉 본체와 풉 커버의 전체 영역에 걸쳐서 고르게 분사되도록 함과 동시에, 세정유체와 압축건조공기를 분사하는 다수개의 노즐이 풉 본체의 외측면에 근접하게 위치하도록 노즐 각각의 길이와 분사각을 상이하게 형성하고, 복수의 노즐은 풉 본체가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 세정유체를 분사하도록 경사지게 형성함으로써 세정 및 건조 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.In addition, during the cleaning and drying process in the cleaning chamber, the FOOP body and the FOOP cover are rotated so that the cleaning fluid and compressed dry air are evenly sprayed over the entire area of the FOOP body and the FOOP cover, and at the same time, the cleaning fluid and the compressed dry air Each of the nozzles has different lengths and spraying angles so that the plurality of nozzles are positioned close to the outer surface of the FOOP body, and the plurality of nozzles spray the cleaning fluid in the direction opposite to the rotational direction of the FOOP body. By forming it inclined, cleaning and drying efficiency can be further improved.
또한, 세정 챔버 커버와 승강부가 동일한 승강구동부의 구동에 의해 함께 승강되도록 구성함으로써, 세정 챔버에 풉 본체와 풉 커버를 반입 및 반출하는 작업을 간편하고 원활하게 수행할 수 있다. In addition, since the cleaning chamber cover and the lifting unit are configured to be raised and lowered together by the driving of the same lifting driving unit, the operation of loading and unloading the FOOP body and the FOOP cover into the cleaning chamber can be performed simply and smoothly.
도 1은 본 발명의 풉 세정 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 측면도,
도 2는 본 발명의 풉 세정 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도,
도 3은 본 발명의 풉 세정 장치에서 풉을 로딩 및 언로딩부에서 대기부로 이송하는 과정을 설명하기 위한 도면,
도 4는 본 발명의 풉 세정 장치에 구비되는 세정 챔버의 구성을 개략적으로 나타낸 종단면도,
도 5는 본 발명의 풉 세정 장치에 구비되는 세정 챔버의 내부 구조를 보여주는 횡단면도,
도 6은 풉 내부에 구비된 스노클 노즐의 건조를 위한 압축건조공기 공급부와 스토퍼가 풉 본체의 양측에 구비된 모습을 보여주는 사시도,
도 7은 압축건조공기가 공급되는 풉 본체의 우측면도,
도 8은 도 6에 도시된 압축건조공기 공급부를 다른 방향에서 나타낸 사시도,
도 9는 도 6에 도시된 스토퍼의 사시도,
도 10은 도 6의 우측면도,
도 11은 도 10의 A-A 선을 따르는 단면도,
도 12 내지 도 15는 스노클 노즐의 건조 과정에서 압축건조공기 공급부와 스토퍼의 동작 상태를 보여주는 도면,
도 16은 본 발명의 풉 세정 장치에 구비되는 진공 챔버의 구성을 개략적으로 나타낸 종단면도.1 is a side view schematically showing the configuration of the FOUP cleaning device of the present invention;
2 is a plan view schematically showing the configuration of the FOUP cleaning device of the present invention;
3 is a view for explaining a process of transferring the FOOP from the loading and unloading unit to the standby unit in the FOOP cleaning apparatus of the present invention;
4 is a longitudinal cross-sectional view schematically showing the configuration of a cleaning chamber provided in the FOUP cleaning apparatus of the present invention;
5 is a cross-sectional view showing the internal structure of a cleaning chamber provided in the FOUP cleaning apparatus of the present invention;
6 is a perspective view showing a compressed dry air supply unit for drying the snorkel nozzle provided inside the FOOP and stoppers are provided on both sides of the FOUP body;
7 is a right side view of the FOUP body to which compressed dry air is supplied;
8 is a perspective view showing the compressed dry air supply unit shown in FIG. 6 from another direction;
9 is a perspective view of the stopper shown in FIG. 6;
Figure 10 is a right side view of Figure 6;
11 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 10 ;
12 to 15 are views showing the operation state of the compressed dry air supply unit and the stopper during the drying process of the snorkel nozzle;
16 is a longitudinal cross-sectional view schematically showing the configuration of a vacuum chamber provided in the FOUP cleaning apparatus of the present invention.
이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
본 발명의 풉 세정 장치(1)는, 풉 본체(20)와 풉 커버(30)로 이루어진 풉(10)을 세정하기 위한 장치로서, 상기 풉 본체(20)에는 상기 풉 본체(20)의 내부를 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐(21)이 구비되고, 상기 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 세정유체를 이용하여 세정하는 세정 챔버(600)를 포함하되, 상기 세정 챔버(600)에는 상기 풉 본체(20)의 세정 완료 후 상기 스노클 노즐(21) 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부(680)가 구비된 것을 특징으로 한다.The FOOP cleaning device (1) of the present invention is a device for cleaning the FOOP (10) comprising a FOOP body (20) and a FOOP cover (30). A foaming
도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 풉 세정 장치(1)는, 반도체 기판을 보관 및 이송하는데 사용되는 풉(FOUP, 10)을 세정 및 건조하기 위한 장치이다. 상기 풉(10)은 반도체 기판(미도시됨)이 수납되는 풉 본체(20)와, 상기 풉 본체(20)의 일측에 형성된 개구부를 개폐하는 풉 커버(30)로 구성되며, 상기 풉 본체(20)와 풉 커버(30)는 록커(locker, 미도시됨)에 의해 분리 또는 결합되는 구조로 이루어져 있다.1 and 2, the
상기 풉 세정 장치(1)는, 상기 풉(10)의 반송과 세정 및 건조 처리가 수행되는 공정실(100), 상기 공정실(100)에 풉(10)을 반입 및 반출하기 위한 로딩 및 언로딩부(200), 상기 로딩 및 언로딩부(200)의 일측으로 공정실(100) 내에 구비되며, 상기 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 상호 분리 또는 결합되는 대기부(300), 상기 로딩 및 언로딩부(200)와 대기부(300) 사이에 풉(10)을 이송하는 이송수단(400), 상기 공정실(100) 내에서 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 파지하여 반송하는 로봇(500), 상기 대기부(300)에 위치하는 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 상기 로봇(500)에 의해 인계받아 세정유체를 이용하여 세정한 후 건조시키는 세정 챔버(600), 상기 세정 챔버(600)에서 세정 및 건조된 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 상기 로봇(500)에 의해 인계받아 풉 본체(20)와 풉 커버(30)에 잔류하는 수분을 포함한 이물질을 벤트하는 진공 챔버(700), 및 상기 진공 챔버(700)에서 벤트 처리 완료된 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 상기 대기부(300)로 반송하기에 앞서 일시적으로 보관하는 버퍼부(800)를 포함한다. 그리고, 상기 공정실(100) 내부의 일측에는 풉(10)의 세정 및 건조를 위해 사용되는 세정유체로서 핫 디아이워터(Hot deionized water), 압축건조공기(CDA; Compressed dry air), 질소가스(N2) 등의 공급을 위한 설비가 구비된 유틸리티(910)와, 풉(10)의 세정을 위한 스팀의 공급을 위한 설비가 구비된 스팀 유닛(920)이 구비될 수 있다.The
상기 로딩 및 언로딩부(200)는, 세정 대상 풉(10)을 공정실(100) 내로 반입하기 위해 로딩(Loading)하거나, 공정실(100)에서 세정과 건조 및 벤트 공정이 완료된 풉(10)을 공정실(100) 외부로 반출하기 위해 언로딩(Unloading)하기 위한 구성이다. 도 3을 참조하면, 상기 로딩 및 언로딩부(200)에는 풉 본체(20)가 옆으로 뉘어져 풉 커버(30)가 일측에 위치한 상태로 안착되는 지지판(210)이 구비된다.The loading and
상기 대기부(300)는, 상기 로딩 및 언로딩부(200)로부터 이송수단(400)에 의해 이송된 풉(10)이 세정 챔버(600)로 반송되기 전에 대기하는 곳이며, 상기 대기부(300)로 이송된 풉(10)은 로봇(500)에 의해 풉 커버(30)가 아래로 향하는 방향으로 자세가 전환된다. 또한, 상기 대기부(300)에는 풉 본체(20)와 풉 커버(30)에 구비된 로커를 잠금 또는 잠금해제하기 위한 잠금 및 잠금해제수단(미도시됨)이 구비된다. 상기 잠금 및 잠금해제수단은 상기 로커를 일방향 또는 반대방향으로 회전시켜 로커를 잠금 또는 잠금해제하도록 구성될 수 있다.The waiting
상기 대기부(300)에는 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 안착되는 대기판(310)과, 상기 대기판(310)이 상하 방향으로 이동되도록 승강시키는 승강실린더(320)가 구비된다. 상기 승강실린더(320)는 이송수단(400)에 연결되어 이송수단(400)의 구동에 의해 로딩 및 언로딩부(200)와 대기부(300) 사이에서 왕복 이동될 수 있다.The waiting
상기 이송수단(400)은 승강실린더(320)의 왕복 이송을 위한 구성이며, 일실시예로 리니어 모션 가이드로 구성될 수 있다.The transport means 400 is configured for reciprocating transport of the elevating
상기 로딩 및 언로딩부(200)로부터 대기부(300)로 풉(10)을 이송하는 과정을 설명한다. 지지판(210) 상에 풉(10)이 로딩되면, 상기 지지판(210)의 하측에서 대기하고 있던 승강실린더(320)가 상승 이동하면서 지지판(210) 상에 있던 풉(10)을 지지판(210)의 상측으로 들어올린다. 이 상태에서 이송수단(400)의 구동에 의해 승강실린더(320)와 풉(10)은 대기부(300) 측으로 이송된다. 승강실린더(320)와 풉(10)이 대기부(300)의 대기판(310) 상측에 위치하게 되면, 승강실린더(320)는 하강 이동하면서 지지하고 있던 풉(10)을 대기판(310) 상에 올려놓는다. 다음으로, 로봇(500)의 그리퍼(510)가 풉(10)을 파지한 후 풉 커버(30)가 아래 방향을 향하도록 풉(10)을 회전시킨 후에 대기판(310) 상에 올려놓게 되고, 대기부(300)에 구비된 잠금 및 잠금해제수단에 의해 로커가 잠금해제되어 풉 본체(20)와 풉 커버(30)는 분리 가능한 상태가 된다. A process of transferring the
이와 같이 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 분리 가능한 상태가 되면, 로봇(500)에 의해 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 순차로 세정 챔버(600)로 반송된다.As described above, when the
도 4와 도 5를 참조하면, 상기 세정 챔버(600)는, 상기 풉 본체(20)가 내부에 수용되어 세정 및 건조 처리되는 세정 챔버 본체(610)와, 상기 세정 챔버 본체(610)의 상부를 개폐하며 상기 풉 커버(30)가 지지되어 세정 및 건조 처리되는 세정 챔버 커버(620)를 포함하여 구성된다.4 and 5 , the
상기 세정 챔버 본체(610) 내에는, 상기 풉 본체(20)가 안착되도록 상기 세정 챔버 본체(610)의 하부에 구비된 안착부(611)와, 상기 세정 챔버 본체(610)의 상부와 하부 사이에서 승강되며 상기 풉 본체(20)를 상기 안착부(611) 상으로 인계하거나 상기 안착부(611)로부터 상기 풉 본체(20)를 인계받아 상기 풉 본체(20)를 승강시키는 승강부(634)를 포함한다. 상기 승강부(634)는 지지부(633)에 의해 세정 챔버 커버(620)와 연결되며, 상기 승강부(634)와 상기 세정 챔버 커버(620)는 동일한 승강구동부(631)에 의해 함께 승강될 수 있다.In the
상기 대기부(300)로부터 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 세정 챔버(600)로 이동하는 경우, 승강구동부(631)는 상승 이동되고, 이에 따라 세정 챔버 커버(620)와 지지부(633) 및 승강부(634)는 함께 상승 이동하게 되어, 세정 챔버 본체(610)의 상부가 개방됨과 동시에 안착부(611)는 세정 챔버 본체(610)의 상부로 이동하여 풉 본체(20)를 인계받을 수 있는 위치에 대기하게 된다.When the
상기 세정 챔버 커버(620)에는, 로봇(500)에 의해 이송되는 풉 커버(30)를 지지 및 고정하기 위한 풉 커버 지지부(621)와 클램프(622)가 구비된다.The cleaning
상기 로봇(500)에 의해 풉 본체(20)가 승강부(634) 상에 인계되고, 풉 커버(20)가 풉 커버 지지부(621) 및 클램프(622)에 의해 세정 챔버 커버(620)에 지지 및 고정되면, 승강구동부(631)의 하강 구동에 의해 세정 챔버 커버(620)와 이에 고정된 풉 커버(30), 및 지지부(633)에 의해 세정 챔버 커버(620)에 연결된 승강부(634)는 풉 본체(20)를 지지한 상태로 하강 이동하게 된다. 이 경우 승강구동부(631)는 세정 챔버 커버(620)가 세정 챔버 본체(610)의 상부를 밀폐하는 위치까지 하강 구동하게 되며, 이 과정에서 승강부(634)는 안착부(611) 상에 풉 본체(20)를 인계한 후에 안착부(611)의 하측에 위치하며 대기하게 된다. The
도 5를 참조하면, 상기 승강부(634)의 중앙부에는 관통구(634a)가 형성되고, 상기 관통구(634a)의 내측에 안착부(611)가 위치된다. 이에 따라 승강부(634)의 승강 이동시 안착부(611)와의 간섭이 방지되며, 승강부(634)와 안착부(611) 간에 풉 본체(20)의 인수인계가 가능하다.Referring to FIG. 5 , a through
한편, 상기 세정 챔버 본체(610)에는 풉 본체(20)와 풉 커버(30)의 세정을 위한 세정유체를 공급하는 세정유체 분사부(640;640-1,640-2)가 구비된다.Meanwhile, the
상기 세정유체 분사부(640)는, 풉 본체(20)의 외측면과 풉 커버(30)에 세정유체를 분사하는 외부 세정유체 분사부(640-1)와, 상기 풉 본체(20)의 내측면에 세정유체를 분사하는 내부 세정유체 분사부(640-2)로 구성될 수 있다. The cleaning
상기 외부 세정유체 분사부(640-1)는 풉 본체(20)의 외측 둘레에 구비되어 풉 본체(20)의 외측면을 향하여 세정유체를 분사하는 동시에 풉 커버(30)를 향하여 세정유체를 분사하는 다수개의 노즐이 상하로 이격된 위치에 구비될 수 있다.The external cleaning fluid spraying unit 640-1 is provided on the outer periphery of the
상기 내부 세정유체 분사부(640-2)는 풉 본체(20)의 내측에 위치하도록 안착부(611) 상에 구비되어 풉 본체(20)의 내측면을 향하여 세정유체를 분사한다.The internal cleaning fluid spraying part 640 - 2 is provided on the
한편, 상기 풉 본체(20)가 안착되는 안착부(611)는 모터(670)의 구동에 의해 회전 가능하게 구비되고, 상기 풉 커버(20)가 지지되는 풉 커버 지지부(621) 또한 모터(623)의 구동에 의해 회전 가능하게 구비된다. On the other hand, the
도 4를 참조하면, 상기 외부 세정유체 분사부(640-1)에는 세정유체를 분사하는 복수의 노즐이 상하로 이격되어 형성되되, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체(20)의 외측면에 근접하게 위치하도록 각각의 길이와 분사각이 상이하게 형성될 수 있다. 또한, 상기 풉 본체(20)는 상기 세정 챔버(600) 내에 회전 가능하게 구비되고, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체(20)가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 세정유체를 분사하도록 경사지게 형성될 수 있다. 상기 노즐이 경사진 각도는 노즐과 풉 본체(20)의 중심을 연결하는 선을 기준으로 하여 30°~ 40°범위의 경사를 갖도록 형성될 수 있다.Referring to FIG. 4 , a plurality of nozzles for spraying the cleaning fluid are vertically spaced apart from each other in the external cleaning fluid spraying unit 640-1, and the plurality of nozzles are close to the outer surface of the
이와 같은 구성에 의하면, 풉 본체(20)와 풉 커버(30)의 세정시, 외부 세정유체 분사부(640-1)는 회전하는 풉 본체(20)의 외측면에 근접한 위치에서 풉 본체(20)가 회전하는 방향과 대향되는 방향으로 세정유체를 분사하게 되므로, 풉 본체(20)의 세정 효율을 향상시킬 수 있다.According to this configuration, when cleaning the
일실시예로, 상기 외부 세정유체 분사부(640-1)를 통해 분사되는 세정유체는 핫 디아이워터(Hot deionized water)이고, 상기 내부 세정유체 분사부(640-2)를 통해 분사되는 세정유체는 스팀(Stean)일 수 있다. 그리고, 상기 핫 디아이워터와 스팀에는 압축건조공기(CDA)가 혼합되어 공급될 수 있다. In one embodiment, the cleaning fluid sprayed through the external cleaning fluid spraying unit 640-1 is hot deionized water, and the cleaning fluid sprayed through the internal cleaning fluid spraying unit 640-2. may be Steam. In addition, compressed dry air (CDA) may be mixed and supplied to the hot D-water and steam.
이와 같이 외부 세정유체 분사부(640-1)에는 핫 디아이워터와 압축건조공기의 혼합 유체를 공급함으로써 고온의 기포화 및 미립자화된 물 입자가 풉 본체(20)의 외측면과 풉 커버(30)에 세밀하게 침투하여 세정력을 높이고 건조 시간을 단축함과 아울러 분사되는 압력을 높여 세정 효율을 향상시킬 수 있다. As described above, by supplying a mixed fluid of hot DI water and compressed dry air to the external cleaning fluid spraying unit 640-1, high-temperature bubbled and fine-grained water particles are removed from the outer surface of the
또한, 내부 세정유체 분사부(640-2)에는 스팀과 압축건조공기의 혼합 유체를 공급함으로써 핫 디아이워터에 비하여 더욱 미립자화된 스팀에 의해 풉 본체(20) 내측면 전체 영역에 걸쳐서 사각지대 없이 더욱 세밀하게 침투하여 세정력을 한층 더 향상시킬 수 있다. In addition, by supplying a mixed fluid of steam and compressed dry air to the internal cleaning fluid spraying unit 640-2, the steam is more fine-grained compared to hot D.I water. By penetrating more precisely, the cleaning power can be further improved.
한편, 상기 세정 챔버(600)에는, 세정 완료된 상기 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 건조하기 위한 압축건조공기를 분사하는 에어 공급부(650)가 구비된다.On the other hand, the
상기 에어 공급부(650)는, 풉 본체(20)의 외측면에 압축건조공기를 분사하는 외부 에어 공급부(650-1)와, 상기 풉 본체(20)의 내측면에 압축건조공기를 분사하는 내부 에어 공급부(650-2)를 포함하여 구성된다.The
상기 외부 에어 공급부(650-1)에는, 전술한 외부 세정유체 분사부(640-1)의 구성과 유사한 구성으로서, 압축건조공기를 분사하는 복수의 노즐이 상하로 이격되어 형성되되, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체(20)의 외측면에 근접하게 위치하도록 각각의 길이와 분사각이 상이하게 형성된다. 또한, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체(20)가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 압축건조공기를 분사하도록 경사지게 형성된다. 상기 노즐이 경사진 각도는 노즐과 풉 본체(20)의 중심을 연결하는 선을 기준으로 하여 30°~ 40°범위의 경사를 갖도록 형성될 수 있다.The external air supply unit 650-1 has a configuration similar to that of the external cleaning fluid injection unit 640-1, and a plurality of nozzles for spraying compressed dry air are formed to be vertically spaced apart, and the plurality of The nozzles are formed to have different lengths and different spray angles so as to be located close to the outer surface of the
이와 같은 구성에 의하면, 풉 본체(20)의 건조시 회전하는 풉 본체(20)의 외측면에 근접한 위치에서 풉 본체(20)가 회전되는 방향과 대향되는 방향으로 압축건조공기를 분사하게 되므로, 풉 본체(20)와 풉 커버(30)의 건조 효율을 향상시킬 수 있다.According to this configuration, when the FOOP
한편, 상기 에어 공급부(650)는, 세정 챔버(600) 내부에서 상기 풉 본체(20)와 상기 풉 커버(30) 사이에 위치하며 실린더(651)의 구동에 의해 전후진 가능하도록 구비되어 세정 완료된 풉 본체(20)와 풉 커버(30)에 압축건조공기를 분사하는 상부 에어 공급부(650-3)를 더 포함할 수 있다. 상기 상부 에어 공급부(650-3)를 전후진 가능하도록 구성함으로써, 도 4에 도시된 바와 같이 개구부가 아래를 향하는 방향으로 안착된 풉 본체(20)의 상면에 고여있는 수분을 효과적으로 건조시켜 제거할 수 있으며, 풉 커버(30)의 전체 영역에 잔류하는 수분을 효과적으로 건조시켜 제거할 수 있다.Meanwhile, the
한편, 도 4 내지 도 8을 참조하면, 상기 풉 본체(20)에는 풉 본체(20)의 내부를 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐(21)이 구비되고, 상기 세정 챔버(600)에는 풉 본체(20)의 세정 완료 후 상기 스노클 노즐(21) 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부(680)가 구비된다. Meanwhile, referring to FIGS. 4 to 8 , the
상기 압축건조공기 공급부(680)는 스노클 노즐(21)의 일측단에 접속 또는 접속해제되도록 전후진 가능하게 구비된다. 따라서, 전술한 에어 공급부(650)에 의한 압축건조공기 분사에 의한 건조 과정에 의해 미처 건조되지 않고 스노클 노즐(21)에 잔류하는 수분은 상기 압축건조공기 공급부(680)에 의한 스노클 노즐(21) 내부로의 압축건조공기의 주입에 의해 재차 건조시키게 된다.The compressed dry
상기 풉 본체(20)의 일측면에는, 한 쌍으로 구비되는 스노클 노즐(21)의 단부가 각각 연결되는 제1포트(20a,20b)가 일측에 형성되고, 상기 풉 본체(20)의 내부와 연통하는 제2포트(20c,20d)가 타측에 형성되어 있다.
상기 제1포트(20a,20b)와 제2포트(20c,20d)는 기판 처리 공정에서 풉(10)에 기판이 수납되기 전 단계에서 풉(10)이 대기하는 스토커(Stocker)에서 풉(10) 내부를 건조하기 위해 압축건조공기가 유입 및 배기되는 연결포트로서 기능한다.The
상기 압축건조공기 공급부(680)는, 상기 제1포트(20a,20b)에 압축건조공기를 공급하는 제1노즐(682;682-1,682-2)과, 상기 제2포트(20c,20d)에 압축건조공기를 공급하는 제2노즐(684;684-1,684-2)을 포함한다. 상기 제1포트(20a,20b)와 제2포트(20c,20d)의 내측에는 각각 필터(22a,22b,22c,22d)가 구비되고, 풉 본체(20)의 세정 과정에서 세정유체가 흡수된 상기 필터(22a,22b,22c,22d)는 압축건조공기에 의해 신속하게 건조될 수 있다.The compressed dry
도 8을 참조하면, 상기 압축건조공기 공급부(680)는, 상기 제1노즐(682;682-1,682-2)에 압축건조공기를 공급하며 횡방향으로 구비된 제1공급관(681;681-1,681-2), 상기 제1공급관(681;681-1,681-2)에 연통되어 상기 제2노즐(684;684-1,684-2)에 압축건조공기를 공급하며 종방향으로 구비된 제2공급관(683;683-1,683-2), 및 상기 제1공급관(681;681-1,681-2)과 제2공급관(683;683-1,683-2)을 전진 또는 후진 이동시키는 전후진 실린더(682)를 포함한다. Referring to FIG. 8 , the compressed dry
상기 스노클 노즐(21)은 풉 본체(20)의 내부에 양측으로 이격되어 복수로 구비되고, 상기 제1포트(20a,20b)와 제2포트(20c,20d)는 상기 풉 본체(20)의 일측면에 양측으로 이격되어 복수로 구비되며, 상기 제1노즐(682;682-1,682-2)을 구비한 제1공급관(681;681-1,681-2)과 상기 제2노즐(684;684-1,684-2)을 구비한 제2공급관(683;683-1,683-2)은 각각 양측으로 이격되어 복수로 구비될 수 있다.The
상기 복수의 제1공급관(681;681-1,681-2)은 제1공급관 지지부재(686)에 의해 지지되고, 상기 복수의 제2공급관(683;683-1,683-2)은 제2공급관 지지부재(687-1,687-2)에 의해 지지될 수 있다. 상기 제1공급관 지지부재(686)에는 이동블록(687)이 결합되며, 상기 이동블록(687)은 상기 전후진 실린더(685)에 연결되어 전후진 실린더(685)의 구동에 의해 전후진 이동된다. 상기 전후진 실린더(685)는 고정프레임(689) 상에 안착되어 고정될 수 있다.The plurality of
상기 제1노즐(682;682-1,682-2)과 제2노즐(684;684-1,684-2)에는 상기 제1포트(20a,20b)와 제2포트(20c,20d)가 형성된 상기 풉 본체(20)의 외측면에 밀착되어 기밀을 유지하기 위한 패드(682a,682b)가 결합될 수 있다. 일실시예로, 상기 패드(682a,682b)는 실리콘 재질로 이루어질 수 있다.The
도 9를 참조하면, 상기 세정 챔버(600)에는 상기 압축건조공기 공급부(680)에서 분사되는 상기 압축건조공기에 의해 풉 본체(20)가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 상기 풉 본체(20)의 일측면을 지지하기 위한 스토퍼(690)가 구비된다.Referring to FIG. 9 , in the
상기 스토퍼(690)는, 양방향으로 회전 구동되는 로터리 실린더(691)와, 상기 로터리 실린더(691)의 실린더 구동축(692-1,692-2)에 연결된 샤프트(693;693-1,693-2)를 포함하여 구성될 수 있다.The
상기 로터리 실린더(691)의 일방향 회전 구동에 의해 상기 샤프트(693;693-1,693-2)가 일방향으로 회전되면, 상기 샤프트(693;693-1,693-2)의 단부가 상기 풉 본체(20)의 일측면에 접촉되어 상기 풉 본체(20)를 지지하게 되고, 상기 로터리 실리더(691)의 반대방향 회전 구동에 의해 상기 샤프트(693;693-1,693-2)가 반대방향으로 회전되면, 상기 샤프트(693;693-1,693-2)의 단부가 상기 풉 본체(20)의 일측면에서 이격되어 풉 본체(20)를 지지하는 상태가 해제된다.When the
상기 실린더 구동축(692-1,692-2)은 상기 로터리 실린더(691)의 양측으로 돌출되도록 구비되고, 상기 샤프트(693;693-1,693-2)는 상기 양측으로 돌출된 실린더 구동축(692-1,692-2)에 각각 연결된 한 쌍의 샤프트(693;693-1,693-2)로 이루어질 수 있다. 상기 한 쌍의 샤프트(693;693-1,693-2)는 샤프트 지지부재(694)에 의해 지지될 수 있다. The cylinder drive shafts 692-1 and 692-2 are provided to protrude from both sides of the
상기 풉 본체(20)의 일측면에 접촉 시 마찰에 의한 마모를 최소화 하기 위한 구성으로, 샤프트(693;693-1,693-2)의 단부는 곡면 형상으로 이루어지고, 상기 샤프트(693;693-1,693-2)의 단부의 외측면은 내마모성 코팅 처리될 수 있다. 일실시예로, 상기 내마모성 코팅은 테프론(PTFE; Poly-tetrafluoroethylene) 재질로 이루어질 수 있다.It is a configuration to minimize wear due to friction when it comes into contact with one side of the
상기 세정유체 공급부(640)에 의한 세정 및 에어 공급부(650)에 의한 건조시에는 모터(670)의 구동에 의해 안착부(611)와 그 상면에 안착된 풉 본체(20)가 회전되고, 상기 압축건조공기 공급부(680)와 스토퍼(690)는 풉 본체(20)의 외측면과 이격되어 위치한다. 그리고, 상기 압축건조공기 공급부(680)에 의한 스노클 노즐(21)의 건조시에는 상기 모터(670)의 구동이 정지되어 안착부(611)와 그 상면에 안착된 풉 본체(20)는 회전 없이 제자리에 정지된 상태로 위치하고, 상기 압축건조공기 공급부(680)와 스토퍼(690)는 풉 본체(20)의 외측면에 밀착되도록 위치한다.During cleaning by the cleaning
한편, 상기 세정 챔버(600)에는, 세정 완료된 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 건조하기 위한 자외선을 조사하는 자외선 램프(660)가 구비된다. 상기 자외선 램프(660)는, 상기 풉 본체(20)의 외측면에 자외선을 조사하는 외부 자외선 램프(660-1)와, 상기 풉 본체(20)의 내측면에 자외선을 조사하는 내부 자외선 램프(660-2)를 포함하여 구성된다.Meanwhile, in the
도 10 내지 도 15를 참조하면, 스노클 노즐(21)의 건조 시, 먼저 도 12와 같이 스토퍼(690)의 로터리 실린더(691)의 일방향 구동에 의해 샤프트(693)가 일방향으로 회전되어 풉 본체(20)의 일측면을 지지한다. 다음으로, 도 13과 같이 압축건조공기 공급부(680)의 전후진 실린더(685)의 전진 구동에 의해 제1노즐(682)과 제2노즐(684)이 전진이동되어 각각 제1포트(10a,10b)와 제2포트(10c,10d)에 접속되고, 도 14와 같이 압축건조공기(CDA)를 공급한다. 10 to 15, when the
상기 스노클 노즐(21)의 건조 공정이 완료되면, 도 15와 같이 압축건조공기 공급부(680)의 전후진 실린더(685)의 후진 구동에 의해 제1노즐(682)과 제2노즐(684)이 후진이동되어 각각 제1포트(10a,10b)와 제2포트(10c,10d)로부터 접속이 해제되고, 스토퍼(690)의 로터리 실린더(691)의 반대방향 구동에 의해 샤프트(693)가 반대방향으로 회전되어 풉 본체(20)의 일측면을 지지하던 상태를 해제한다.When the drying process of the
상기와 같이 압축건조공기 공급부(680)를 전후진시켜 제1노즐(682;682-1,682-2)과 제2노즐(684;684-1,684-2)을 풉 본체(20)의 일측면에 형성된 제1포트(10a,10b)와 제2포트(10c,10d)에 동시에 접속시켜 압축건조공기(CDA)를 공급함으로써 스노클 노즐(21)의 건조 및 풉 본체(20) 내부의 건조 효율을 향상시킬 수 있다.As described above, the compressed dry
또한, 스노클 노즐(21)의 건조를 위한 압축건조공기 또는 질소가스의 공급에 따른 압력에 의해 풉 본체(20)가 일측으로 밀려 이동되는 것을 방지하도록 풉 본체(20)의 일측면을 지지하기 위해 스토퍼(690)의 샤프트(693;693-1,693-2)가 회전 구동되도록 구성함으로써, 풉 본체(20)가 안정적으로 고정 지지된 상태에서 스노클 노즐(21)의 건조 작업을 원활하게 수행할 수 있다.In addition, in order to support one side of the
상기 세정 챔버(600)에서 세정 및 건조가 완료되면, 승강구동부(631)의 구동에 의해 세정 챔버 커버(620)와 이에 지지된 풉 커버(30)가 상승하고, 이와 동시에 지지부(633)에 의해 세정 챔버 커버(620)와 연결된 승강부(634)가 상승 이동하면서 안착부(611) 상에 안착되어 있던 풉 본체(20)를 인계받아 세정 챔버 본체(610) 상부로 이동하여 반출 가능한 상태로 위치하게 된다. When cleaning and drying are completed in the
상기와 같이 세정 챔버 커버(620)와 승강부(634)가 동일한 승강구동부(631)의 구동에 의해 함께 승강되도록 구성함으로써, 세정 챔버(600)에 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 반입 및 반출하는 작업을 간편하고 신속 원활하게 수행할 수 있다. As described above, by configuring the
상기 풉 본체(20)가 세정 챔버 본체(610) 상부로 이동하면, 풉 커버(30)와 풉 본체(20)는 로봇(500)에 의해 진공 챔버(700)로 반송된다.When the FOOP
도 16을 참조하면, 상기 진공 챔버(700)는, 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 분리된 상태로 수용되는 진공 챔버 본체(710)를 포함한다.Referring to FIG. 16 , the
상기 풉 본체(20)는 진공 챔버 본체(710) 내의 하부에 구비된 안착부(710a) 상에 안착되고, 풉 커버(30)는 진공 챔버 본체(710) 내의 상부에 구비된 지지부(711) 상에 안착된다. The
상기 진공 챔버(700)에는, 진공 챔버(700) 내부에 질소가스를 공급하는 질소가스 공급라인(713)과, 상기 진공 챔버(700) 내부의 유체를 진공에 의해 흡입하여 외부로 벤트하기 위해 진공라인(712)이 연결된다. 상기 질소가스 공급라인(713)을 통해 공급되는 질소가스에 의해 풉 본체(20)와 풉 커버(30)에 잔류하는 수분을 포함하는 이물질은 풉 본체(20)와 풉 커버(30)로부터 분리되며 진공라인(712)을 통해 흡입되어 외부로 벤트된다.In the
한편, 상기 진공 챔버(700)에는 풉 본체(20) 내부에 구비된 스노클 노즐(21) 내로 질소가스를 주입하는 질소가스 공급부(750)가 구비된다. 따라서, 전술한 세정 챔버(600)의 압축건조공기 공급부(680)에 의해 미처 건조되지 않고 스노클 노즐(21)에 잔류하는 수분은 진공 챔버(700)의 질소가스 공급부(750)를 통해 주입되는 질소가스에 의해 건조되어 제거될 수 있다.Meanwhile, the
상기 질소가스 공급부(750)는 스노클 노즐(21)의 일측단에 접속 또는 접속해제되도록 전후진 가능하게 구비된다. The nitrogen gas supply unit 750 is provided to be connected to or disconnected from one end of the
상기 질소가스 공급부(750)는 전술한 세정 챔버(600)에 구비된 압축건조공기 공급부(680)와 동일한 구성으로 이루어질 수 있으며, 제1질소가스 공급관(721), 제1질소가스 노즐(722), 제2질소가스 공급관723), 제2질소가스 노즐(724), 제2전후진 실린더(725), 제1질소가스 공급관 지지부재(726), 제2이동블록(727), 제2고정프레임(728), 제2질소가스 공급관 지지부재(729)을 포함하여 구성될 수 있다.The nitrogen gas supply unit 750 may have the same configuration as the compressed dry
또한, 상기 진공 챔버(700)에는 상기 질소가스 공급부(750)에서 분사되는 질소가스에 의해 풉 본체(20)가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 풉 본체(20)의 일측면을 지지하기 위한 제2스토퍼(730)가 구비된다.In addition, the
상기 제2스토퍼(730)는 전술한 세정 챔버(600)에 구비된 스토퍼(690)와 동일한 구성으로 이루어질 수 있으며, 제2로터리 실린더(731), 제2실린더 구동축(732), 제2샤프트(733)을 포함하고, 상기 제2샤프트(733)의 단부에는 내마모성 코팅(733a) 처리된 것으로 구성될 수 있다.The
상기 진공 챔버(700)에서 수분과 이물질의 벤트 및 스노클 노즐(21)의 건조가 완료되면, 풉 본체(20)와 풉 커버(30)는 로봇(500)에 의해 상기 대기부(300)로 반송된다. 이 경우 상기 대기부(300)에 다른 풉이 위치하고 있는 경우라면, 상기 로봇(500)은 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 버퍼부(800)로 반송시켜 일시적으로 보관되도록 할 수 있다. When the vent of moisture and foreign substances in the
그 후, 상기 대기부(300)에 먼저 있던 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 로딩 및 언로딩부(200)를 통해 언로딩되면, 상기 버퍼부(800)에 일시 보관되어 있던 풉 커버(30)와 풉 본체(20)를 대기부(300)의 대기판(300) 상에 순차로 반송하여 풉 커버(30) 상에 풉 본체(20)가 잠금 가능한 상태가 되도록 안착시킨다.After that, when the
그 후, 상기 대기부(300)에 구비된 잠금 및 잠금해제수단에 의해 록커를 잠금되도록 하여 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 일체로 결합되도록 한다.Thereafter, the locker is locked by the locking and unlocking means provided in the
상기 록커의 잠금에 의해 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 결합된 풉(10)은, 로봇(500)에 의해 풉 커버(30)가 일측을 향하도록 뉘어지도록 방향이 전환된 후에 대기판(310) 상에 다시 안착된다. 그리고, 대기부(300)에 구비된 승강실린더(320)가 상승하며 풉(10)을 대기판(310)의 상측으로 들어올리게 되면, 이송수단(400)의 구동에 의해 승강실린더(320)와 이에 지지된 풉(10)은 로딩 및 언로딩부(200)의 지지판(210) 상측으로 이송되고, 승강실린더(320)의 하강 이동에 의해 승강실린더(320)에 지지되어 있던 풉(10)은 지지판(210) 상에 인계된 후에 언로딩된다.The
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and obvious modifications can be made by those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains without departing from the technical spirit of the present invention as claimed in the claims. It is possible, and such modifications fall within the scope of the present invention.
1 : 풉 세정 장치 10 : 풉
20 : 풉 본체 20a,20b : 제1포트
20c,20d : 제2포트 22a,22b,22c,22d : 필터
21 : 스노클 노즐 30 : 풉 커버
100 : 공정실 200 : 로딩 및 언로딩부
210 : 지지판 300 : 대기부
310 : 대기판 320 : 승강실린더
400 : 이송수단 500 : 로봇
510 : 그리퍼 600 : 세정 챔버
610 : 세정 챔버 본체 611 : 안착부
620 : 세정 챔버 커버 621 : 풉 커버 지지부
622 : 클램프 623 : 모터
630 : 승강수단 631 : 승강구동부
632 : 연결부재 633 : 지지부
634 : 승강부 634a : 관통구
640 : 세정유체 분사부 640-1 : 외부 세정유체 분사부
640-2 : 내부 세정유체 분사부 650 : 에어 공급부
650-1 : 외부 에어 공급부 650-2 : 내부 에어 공급부
650-3 : 상부 에어 공급부 651 : 실린더
660 : 자외선 램프 660-1 : 외부 자외선 램프
660-2 : 내부 자외선 램프 670 : 회전구동부
680 : 압축건조공기 공급부 681,681-1,681-2 : 제1공급관
682,682-1,682-2 : 제1노즐 683,683-1,683-2 : 제2공급관
684,684-1,684-2 : 제2노즐 685 : 전후진 실린더
686 : 제1공급관 지지부재 687 : 이동블록
688 : 고정프레임 689,689-1,689-2 : 제2공급관 지지부재
690 : 스토퍼 691 : 로터리 실린더
692-1,692-2 : 실린더 구동축 693,693-1,693-2 : 샤프트
693a : 내마모성 코팅 694 : 샤프트 지지부재
695 : 고정부재 700 : 진공 챔버
710 : 진공 챔버 본체 710a : 안착부
711 : 지지부 712 : 진공라인
713 : 질소가스 공급라인 720 : 질소가스 공급부
721 : 제1질소가스 공급관 722 : 제1질소가스 노즐
723 : 제2질소가스 공급관 724 : 제2질소가스 노즐
725 : 제2전후진 실린더 726 : 제1질소가스 공급관 지지부재
727 : 제2이동블록 728 : 제2고정프레임
729 : 제2질소가스 공급관 지지부재 730 : 제2스토퍼
731 : 제2로터리 실린더 732 : 제2실린더 구동축
733 : 제2샤프트 733a : 제2내마모성 코팅
800 : 버퍼부 910 : 유틸리티
920 : 스팀 유닛1: FOOP cleaning device 10: FOOP
20:
20c, 20d:
21: snorkel nozzle 30: poop cover
100: process room 200: loading and unloading unit
210: support plate 300: waiting portion
310: waiting plate 320: elevating cylinder
400: transport means 500: robot
510: gripper 600: cleaning chamber
610: cleaning chamber body 611: seating part
620: cleaning chamber cover 621: FOOP cover support part
622: clamp 623: motor
630: elevating means 631: elevating drive
632: connecting member 633: support
634: elevating
640: cleaning fluid injection unit 640-1: external cleaning fluid injection unit
640-2: internal cleaning fluid injection part 650: air supply part
650-1: external air supply unit 650-2: internal air supply unit
650-3: upper air supply 651: cylinder
660: ultraviolet lamp 660-1: external ultraviolet lamp
660-2: internal ultraviolet lamp 670: rotary drive part
680: compressed dry air supply unit 681,681-1,681-2: first supply pipe
682,682-1,682-2: 1st nozzle 683,683-1,683-2: 2nd supply pipe
684,684-1,684-2: second nozzle 685: forward and backward cylinder
686: first supply pipe support member 687: moving block
688: fixed frame 689,689-1,689-2: second supply pipe support member
690: stopper 691: rotary cylinder
692-1,692-2: cylinder drive shaft 693,693-1,693-2: shaft
693a: wear-resistant coating 694: shaft support member
695: fixing member 700: vacuum chamber
710:
711: support 712: vacuum line
713: nitrogen gas supply line 720: nitrogen gas supply unit
721: first nitrogen gas supply pipe 722: first nitrogen gas nozzle
723: second nitrogen gas supply pipe 724: second nitrogen gas nozzle
725: second forward and backward cylinder 726: first nitrogen gas supply pipe support member
727: second moving block 728: second fixed frame
729: second nitrogen gas supply pipe support member 730: second stopper
731: second rotary cylinder 732: second cylinder drive shaft
733:
800: buffer unit 910: utility
920: steam unit
Claims (26)
상기 풉 본체에는 상기 풉 본체의 내부를 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐이 구비되고,
상기 풉 본체와 풉 커버를 세정유체를 이용하여 세정하는 세정 챔버를 포함하되, 상기 세정 챔버에는 상기 풉 본체의 세정 완료 후 상기 스노클 노즐 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부가 구비되되,
상기 압축건조공기 공급부는 상기 스노클 노즐의 일측단에 접속 또는 접속해제되도록 전후진 가능하게 구비되고,
상기 풉 본체의 일측면에는, 상기 스노클 노즐의 단부가 연결되는 제1포트가 일측에 형성되고, 상기 풉 본체의 내부와 연통하는 제2포트가 타측에 형성되며,
상기 압축건조공기 공급부는, 상기 제1포트에 압축건조공기를 공급하는 제1노즐과, 상기 제2포트에 압축건조공기를 공급하는 제2노즐을 구비한 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.A FOOP cleaning device for cleaning a FOOP comprising a FOOP body and a FOOP cover, comprising:
The FOOP body is provided with a foamed porous snorkel nozzle for purging the inside of the FOOP body;
a cleaning chamber for cleaning the FOOP body and the FOOP cover using a cleaning fluid, wherein the cleaning chamber is provided with a compressed dry air supply unit for injecting compressed dry air into the snorkel nozzle after the cleaning of the FOOP body is completed;
The compressed dry air supply unit is provided to be connected to or disconnected from one end of the snorkel nozzle so as to be able to move forward and backward,
A first port to which an end of the snorkel nozzle is connected is formed on one side of the FOOP body, and a second port communicating with the inside of the FOOP body is formed on the other side;
The compressed dry air supply unit comprises a first nozzle for supplying compressed dry air to the first port and a second nozzle for supplying compressed dry air to the second port.
상기 제1포트와 제2포트의 내측에는 각각 필터가 구비되고,
상기 압축건조공기에 의해 상기 필터가 건조되는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
A filter is provided inside the first port and the second port, respectively,
The FOUP cleaning device, characterized in that the filter is dried by the compressed dry air.
상기 압축건조공기 공급부는,
상기 제1노즐에 압축건조공기를 공급하며 횡방향으로 구비된 제1공급관,
상기 제1공급관에 연통되어 상기 제2노즐에 압축건조공기를 공급하며 종방향으로 구비된 제2공급관, 및
상기 제1공급관과 제2공급관을 전진 또는 후진 이동시키는 전후진 실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
The compressed dry air supply unit,
a first supply pipe which supplies compressed dry air to the first nozzle and is provided in a transverse direction;
a second supply pipe communicating with the first supply pipe to supply compressed dry air to the second nozzle and provided in the longitudinal direction; and
and a forward/backward cylinder for moving the first supply pipe and the second supply pipe forward or backward.
상기 스노클 노즐은 상기 풉 본체의 내부에 양측으로 이격되어 복수로 구비되고,
상기 제1포트와 제2포트는 상기 풉 본체의 일측면에 양측으로 이격되어 복수로 구비되며,
상기 제1노즐을 구비한 제1공급관과 상기 제2노즐을 구비한 제2공급관은 각각 양측으로 이격되어 복수로 구비된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.6. The method of claim 5,
The snorkel nozzle is provided in plurality and spaced apart from each other on both sides inside the FOUP body,
The first port and the second port are provided in plurality on one side of the FOUP body and spaced apart from each other on both sides,
The FOUP cleaning apparatus, characterized in that the first supply pipe having the first nozzle and the second supply pipe having the second nozzle are provided in plurality and spaced apart from each other on both sides.
상기 복수의 제1공급관을 지지하며 상기 전후진 실린더에 연결된 제1공급관 지지부재와,
상기 복수의 제2공급관을 지지하는 제2공급관 지지부재를 더 포함하는 풉 세정 장치.7. The method of claim 6,
a first supply pipe support member supporting the plurality of first supply pipes and connected to the forward/backward cylinder;
The FOUP cleaning apparatus further comprising a second supply pipe support member for supporting the plurality of second supply pipes.
상기 제1노즐과 제2노즐에는 상기 제1포트와 제2포트가 형성된 상기 풉 본체의 외측면에 밀착되어 기밀을 유지하기 위한 패드가 결합된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
FOOP cleaning apparatus, characterized in that the first and second nozzles are coupled to a pad for maintaining airtightness by being in close contact with the outer surface of the FOOP body on which the first port and the second port are formed.
상기 패드는 실리콘 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.9. The method of claim 8,
The pad is a FOOP cleaning device, characterized in that made of a silicone material.
상기 세정 챔버에는 상기 압축건조공기 공급부에서 분사되는 상기 압축건조공기에 의해 상기 풉 본체가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 상기 풉 본체의 일측면을 지지하기 위한 스토퍼가 구비된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
and a stopper for supporting one side of the FOOP body so that the FOOP body is not pushed to one side by the compressed dry air sprayed from the compressed dry air supply unit in the cleaning chamber.
상기 세정 챔버는, 상기 풉 본체의 외측면과 상기 풉 커버에 세정유체를 분사하는 외부 세정유체 분사부와, 상기 풉 본체의 내측면에 세정유체를 분사하는 내부 세정유체 분사부를 구비한 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
The cleaning chamber includes an external cleaning fluid spraying part that sprays a cleaning fluid to the outer surface of the FOOP body and the FOOP cover, and an internal cleaning fluid spraying part spraying the cleaning fluid to an inner surface of the FOOP body. A flop cleaning device.
상기 외부 세정유체 분사부에는 세정유체를 분사하는 복수의 노즐이 상하로 이격되어 형성되되, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체의 외측면에 근접하게 위치하도록 각각의 길이와 분사각이 상이하게 형성된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치. 12. The method of claim 11,
A plurality of nozzles for spraying the cleaning fluid are vertically spaced apart from each other in the external cleaning fluid spraying part, and the plurality of nozzles are formed to have different lengths and different spray angles so as to be located close to the outer surface of the FOUP body. Foop cleaning device, characterized.
상기 풉 본체는 상기 세정 챔버 내에 회전 가능하게 구비되고,
상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 세정유체를 분사하도록 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치. 13. The method of claim 12,
The FOUP body is rotatably provided in the cleaning chamber;
and the plurality of nozzles are inclined to spray the cleaning fluid in a direction opposite to a direction in which the FOOP body rotates.
상기 풉 본체에는 상기 풉 본체의 내부를 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐이 구비되고,
상기 풉 본체와 풉 커버를 세정유체를 이용하여 세정하는 세정 챔버를 포함하되, 상기 세정 챔버에는 상기 풉 본체의 세정 완료 후 상기 스노클 노즐 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부가 구비되며,
상기 세정 챔버에는, 세정 완료된 상기 풉 본체와 풉 커버를 건조하기 위한 압축건조공기를 분사하는 에어 공급부가 구비되되,
상기 에어 공급부는, 상기 풉 본체의 외측면에 압축건조공기를 분사하는 외부 에어 공급부와, 상기 풉 본체의 내측면에 압축건조공기를 분사하는 내부 에어 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.A FOOP cleaning device for cleaning a FOOP comprising a FOOP body and a FOOP cover, comprising:
The FOOP body is provided with a foamed porous snorkel nozzle for purging the inside of the FOOP body;
a cleaning chamber for cleaning the FOOP body and the FOOP cover using a cleaning fluid, wherein the cleaning chamber is provided with a compressed dry air supply unit for injecting compressed dry air into the snorkel nozzle after cleaning the FOOP body is completed;
The cleaning chamber is provided with an air supply unit that sprays compressed dry air for drying the cleaned FOOP body and the FOOP cover;
and the air supply unit includes an external air supply unit that sprays compressed dry air to an outer surface of the FOOP body, and an internal air supply unit that injects compressed dry air to an inner surface of the FOOP body.
상기 외부 에어 공급부에는 압축건조공기를 분사하는 복수의 노즐이 상하로 이격되어 형성되되, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체의 외측면에 근접하게 위치하도록 각각의 길이와 분사각이 상이하게 형성된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치. 16. The method of claim 15,
A plurality of nozzles for spraying compressed dry air are formed in the external air supply unit to be vertically spaced apart, and the plurality of nozzles are formed to have different lengths and different spray angles so as to be located close to the outer surface of the FOUP body. Foop cleaning device with
상기 풉 본체는 상기 세정 챔버 내에 회전 가능하게 구비되고,
상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 압축건조공기를 분사하도록 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.17. The method of claim 16,
The FOUP body is rotatably provided in the cleaning chamber;
and the plurality of nozzles are inclined to spray compressed dry air in a direction opposite to a direction in which the FOOP body rotates.
상기 에어 공급부는, 상기 세정 챔버 내부에서 상기 풉 본체와 상기 풉 커버 사이에 위치하며 전후진 가능하도록 구비되어, 세정 완료된 상기 풉 본체와 상기 풉 커버에 압축건조공기를 분사하는 상부 에어 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치. 16. The method of claim 15,
The air supply unit may further include an upper air supply unit positioned between the FOOP body and the FOOP cover in the cleaning chamber and provided to move forward and backward for spraying compressed dry air to the FOOP body and the FOOP cover that have been cleaned. Foop cleaning device, characterized in that.
상기 세정 챔버는, 상기 풉 본체가 내부에 수용되어 세정 처리되는 세정 챔버 본체와, 상기 세정 챔버 본체의 상부를 개폐하며 상기 풉 커버가 지지되어 세정 처리되는 세정 챔버 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.16. The method of claim 1 or 15,
wherein the cleaning chamber includes a cleaning chamber body in which the FOOP body is accommodated therein for cleaning, and a cleaning chamber cover that opens and closes an upper portion of the cleaning chamber body and supports and cleans the FOOP cover. cleaning device.
상기 세정 챔버 본체 내에는, 상기 풉 본체가 안착되도록 상기 세정 챔버 본체의 하부에 구비된 안착부와, 상기 세정 챔버 본체의 상부와 하부 사이에서 승강되며 상기 풉 본체를 상기 안착부 상으로 인계하거나 상기 안착부로부터 상기 풉 본체를 인계받아 상기 풉 본체를 승강시키는 승강부를 포함하고,
상기 승강부는 지지부에 의해 상기 세정 챔버 커버와 연결되며,
상기 승강부와 상기 세정 챔버 커버는 동일한 승강구동부에 의해 함께 승강되는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.20. The method of claim 19,
In the cleaning chamber body, a seating portion provided at a lower portion of the cleaning chamber body to seat the FOUP body is lifted between the upper and lower portions of the cleaning chamber body, and the FOOP body is transferred onto the seating portion or the and an elevating part for taking over the FOOP body from the seating part and elevating the FOOP body;
The lifting part is connected to the cleaning chamber cover by a support part,
The FOUP cleaning apparatus, characterized in that the lifting unit and the cleaning chamber cover are lifted together by the same lifting driving unit.
상기 세정 챔버에는, 세정 완료된 상기 풉 본체와 풉 커버를 건조하기 위해 자외선을 조사하는 자외선 램프가 구비된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.16. The method of claim 1 or 15,
and an ultraviolet lamp irradiating ultraviolet light in the cleaning chamber to dry the cleaned FOOP body and the FOOP cover.
상기 자외선 램프는, 상기 풉 본체의 외측면에 자외선을 조사하는 외부 자외선 램프와, 상기 풉 본체의 내측면에 자외선을 조사하는 내부 자외선 램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치. 22. The method of claim 21,
and the UV lamp includes an external UV lamp for irradiating UV rays to the outer surface of the FOOP body, and an internal UV lamp for irradiating UV rays to the inner surface of the FOOP body.
상기 세정 챔버에서 세정이 완료된 풉 본체와 풉 커버가 반송되는 진공 챔버를 더 포함하고,
상기 진공 챔버에는, 상기 진공 챔버 내부에 질소가스를 공급하는 질소가스 공급라인과, 상기 진공 챔버 내부의 유체를 흡입하여 외부로 배출하기 위한 진공라인이 연결된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.16. The method of claim 1 or 15,
The cleaning chamber further includes a vacuum chamber to which the FOOP body and the FOOP cover, which have been cleaned in the cleaning chamber, are transported;
The vacuum chamber is connected to a nitrogen gas supply line for supplying nitrogen gas into the vacuum chamber, and a vacuum line for sucking the fluid inside the vacuum chamber and discharging it to the outside.
상기 진공 챔버에는 상기 스노클 노즐 내로 질소가스를 주입하는 질소가스 공급부가 구비된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.24. The method of claim 23,
The vacuum chamber is a FOUP cleaning apparatus, characterized in that provided with a nitrogen gas supply for injecting nitrogen gas into the snorkel nozzle.
상기 질소가스 공급부는 상기 스노클 노즐의 일측단에 접속 또는 접속해제되도록 전후진 가능하게 구비된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.25. The method of claim 24,
The nitrogen gas supply unit is a FOUP cleaning apparatus, characterized in that it is provided to be connected to or disconnected from one end of the snorkel nozzle forward and backward.
상기 진공 챔버에는 상기 질소가스 공급부에서 분사되는 상기 질소가스에 의해 상기 풉 본체가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 상기 풉 본체의 일측면을 지지하기 위한 제2스토퍼가 구비된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.26. The method of claim 25,
and a second stopper is provided in the vacuum chamber to support one side of the FOOP body so that the FOOP body is not pushed to one side by the nitrogen gas injected from the nitrogen gas supply unit.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190129010A KR102351010B1 (en) | 2019-10-17 | 2019-10-17 | FOUP cleaning device |
TW109135889A TWI769556B (en) | 2019-10-17 | 2020-10-16 | Foup cleaning device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020190129010A KR102351010B1 (en) | 2019-10-17 | 2019-10-17 | FOUP cleaning device |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20210045675A KR20210045675A (en) | 2021-04-27 |
KR102351010B1 true KR102351010B1 (en) | 2022-01-14 |
Family
ID=75725972
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020190129010A KR102351010B1 (en) | 2019-10-17 | 2019-10-17 | FOUP cleaning device |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR102351010B1 (en) |
TW (1) | TWI769556B (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113380918A (en) * | 2021-04-30 | 2021-09-10 | 徐州中辉光伏科技有限公司 | Multi-channel cleaning optimization equipment for reworking of monocrystalline silicon battery |
TWI762311B (en) * | 2021-05-13 | 2022-04-21 | 科嶠工業股份有限公司 | Method and device for detecting cleaning results of material transfer box |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE60332644D1 (en) * | 2002-10-25 | 2010-07-01 | Shinetsu Polymer Co | SUBSTRATE STORAGE CONTAINER |
DE102006028057B4 (en) * | 2005-10-17 | 2017-07-20 | Dynamic Microsystems Semiconductor Equipment Gmbh | Device for storing contamination-sensitive, plate-shaped objects, in particular for storing semiconductor wafers |
KR101494024B1 (en) * | 2007-02-28 | 2015-02-16 | 엔테그리스, 아이엔씨. | Purge system for a substrate container |
KR101851095B1 (en) * | 2008-03-13 | 2018-04-20 | 엔테그리스, 아이엔씨. | Wafer container with tubular environmental control components |
KR102067752B1 (en) * | 2018-02-09 | 2020-01-17 | (주)에스티아이 | FOUP cleaning device and FOUP cleaning method |
-
2019
- 2019-10-17 KR KR1020190129010A patent/KR102351010B1/en active IP Right Grant
-
2020
- 2020-10-16 TW TW109135889A patent/TWI769556B/en active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW202116641A (en) | 2021-05-01 |
TWI769556B (en) | 2022-07-01 |
KR20210045675A (en) | 2021-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI750453B (en) | Foup cleaning device and foup cleaning method | |
KR102272005B1 (en) | FOUP cleaning device | |
KR101244381B1 (en) | Cleaner for wafer container | |
US10109506B2 (en) | Unit for supplying fluid, apparatus and method for treating substrate with the unit | |
KR101265182B1 (en) | Cleaner for wafer container | |
TW507282B (en) | Liquid processing apparatus | |
KR102351010B1 (en) | FOUP cleaning device | |
US20090196714A1 (en) | Device for the transport, storage, and transfer of substrates | |
KR101536712B1 (en) | Apparatus and method fdr drying substrates | |
KR102064552B1 (en) | Substrate treating apparatus | |
WO2014046044A1 (en) | Substrate-case cleaning device | |
WO2014046043A1 (en) | Substrate-case cleaning device | |
JP5943519B2 (en) | Substrate case cleaning device | |
JP4722979B2 (en) | Hoop cleaning and drying equipment | |
JP4120285B2 (en) | Introducing port mechanism of object to be processed and processing system using the same | |
JP2010114101A (en) | Substrate processing apparatus and method | |
KR101979604B1 (en) | Method for treating substrate | |
KR101220094B1 (en) | System for cleaning wafer carrier | |
JP4505563B2 (en) | Liquid processing equipment | |
KR102387280B1 (en) | Apparatus and method for treating substrate | |
KR102606621B1 (en) | Apparatus and method for treating substrate | |
JP4506916B2 (en) | Liquid processing apparatus and liquid processing method | |
KR100697630B1 (en) | A Barrel Drying Apparatus | |
CN116264172A (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
CN114695190A (en) | Apparatus and method for processing substrate |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant |