KR102272005B1 - FOUP cleaning device - Google Patents

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KR102272005B1
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김영호
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Abstract

본 발명은 풉 본체와 풉 커버의 세정 및 건조 효율을 향상시키고, 스노클 노즐의 건조 효율을 향상시킬 수 있는 풉 세정 장치를 제공함에 그 목적이 있다.
이를 구현하기 위한 본 발명은, 풉 본체와 풉 커버로 이루어진 풉을 세정하기 위한 풉 세정 장치에 있어서, 상기 풉 본체에는 상기 풉 본체의 내부를 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐이 구비되고, 상기 풉 본체와 풉 커버를 세정유체를 이용하여 세정하는 세정 챔버를 포함하되, 상기 세정 챔버에는 상기 풉 본체의 세정 완료 후 상기 스노클 노즐 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부가 구비되며, 상기 세정 챔버에는 상기 압축건조공기 공급부에서 분사되는 상기 압축건조공기에 의해 상기 풉 본체가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 상기 풉 본체의 일측면을 지지하기 위한 샤프트가 회전 구동되도록 구비된 스토퍼를 포함한다.An object of the present invention is to provide a FOOP cleaning apparatus capable of improving cleaning and drying efficiency of a FOOP body and a FOOP cover, and improving drying efficiency of a snorkel nozzle.
The present invention provides a FOOP cleaning apparatus for cleaning a FOOP comprising a FOOP body and a FOOP cover, wherein the FOOP main body is provided with a snorkel nozzle of foamed porous for purging the inside of the FOOP main body, and the FOOP body includes: a cleaning chamber for cleaning the main body and the FOOP cover using a cleaning fluid, wherein the cleaning chamber is provided with a compressed dry air supply unit for injecting compressed dry air into the snorkel nozzle after the cleaning of the FOOP main body is completed, the cleaning chamber includes a stopper provided to rotate and drive a shaft for supporting one side of the FOOP body so that the FOOP body is not pushed to one side by the compressed dry air sprayed from the compressed dry air supply unit.

Description

풉 세정 장치{FOUP cleaning device}FOUP cleaning device

본 발명은 풉 세정 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판의 보관 및 운반을 위해 사용되는 풉(FOUP)의 세정 및 건조 효율을 향상시킨 풉 세정 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a FOUP cleaning apparatus, and more particularly, to a FOUP cleaning apparatus having improved cleaning and drying efficiency of a FOUP used for storage and transport of a substrate.

반도체 제조 공정은 반도체 기판을 다양한 방법으로 가공하는 일련의 공정 장비들을 거치게 되는데, 반도체 기판을 보관 및 운반할 때에는 외부의 충격으로부터 손상되지 않도록 주의하여야 하며, 기판의 표면이 수분, 먼지, 각종 유기물 등과 같은 불순물에 의해 오염되지 않도록 관리하여야 한다.The semiconductor manufacturing process goes through a series of process equipment that processes the semiconductor substrate in various ways. When storing and transporting the semiconductor substrate, care must be taken not to damage it from external impact. It should be managed so as not to be contaminated by the same impurities.

따라서, 반도체 기판을 보관 및 운반할 때에는 별도의 보관 용기(FOUP; Front opening unified pod, 이하‘풉’이라 칭함)를 사용하게 된다.Therefore, when storing and transporting the semiconductor substrate, a separate storage container (FOUP; Front opening unified pod, hereinafter referred to as 'FOUP') is used.

이와 같은 용도로 사용되는 풉의 내부에는 고정밀도의 반도체 기판이 수납되므로, 풉은 높은 청정도를 유지하기 위한 관리가 요구되며, 이를 위하여 풉은 풉 세정 장치에서 주기적으로 세정 및 건조된다.Since a high-precision semiconductor substrate is housed inside the FOOP used for this purpose, the FOOP needs to be managed to maintain a high degree of cleanliness. For this purpose, the FOOP is periodically cleaned and dried in a FOOP cleaning device.

이러한 풉 세정 장치와 관련된 선행기술로서, 공개특허 제10-2013-0095028호, 등록특허 제10-1173987호에는 풉의 표면에 세정액을 분사하여 풉을 세정하는 기술이 개시되어 있다. As prior art related to such a FOOP cleaning device, Korean Patent Application Publication Nos. 10-2013-0095028 and Patent Registration No. 10-1173987 disclose a technique for cleaning the FOOP by spraying a cleaning solution on the surface of the FOOP.

또한, 공개특허 제10-2015-0078657호에 나타난 바와 같이, 풉 내부에는 풉 내부에 수납되는 기판을 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐(Snorkel nozzle)이 구비되는데, 풉의 세정 과정에서 세정액이 흡수된 스노클 노즐을 완전하게 건조시켜 원래의 성능을 회복시키는데 많은 시간이 소요되고, 스노클 노즐의 완전 건조에 소요되는 시간 만큼 풉을 재사용할 수 없어 공정 손실이 발생하게 되는 문제점이 있다. 따라서, 풉의 세정 후에 스노클 노즐을 신속하게 건조시켜 원래의 성능을 회복시키는데 소요되는 시간을 단축할 수 있는 풉 세정 장치의 개발이 요구된다.In addition, as shown in Korean Patent Laid-Open No. 10-2015-0078657, a foamed porous snorkel nozzle for purging the substrate accommodated in the FOUP is provided inside the FOOP, and the cleaning liquid is absorbed during the cleaning process of the FOOP. It takes a lot of time to completely dry the old snorkel nozzle to restore its original performance, and there is a problem in that the process loss occurs because the FOUP cannot be reused as much as the time required for the complete drying of the snorkel nozzle. Therefore, there is a need to develop a FOOP cleaning apparatus capable of reducing the time required to recover the original performance by rapidly drying the snorkel nozzle after cleaning the FOOP.

본 발명은 상술한 제반 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 풉 본체와 풉 커버의 세정 및 건조 효율을 향상시키고, 스노클 노즐의 건조 효율을 향상시킬 수 있는 풉 세정 장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention has been devised to solve the above-mentioned problems, and it is an object of the present invention to provide a FOOP cleaning apparatus capable of improving cleaning and drying efficiency of a FOOP body and a FOOP cover, and improving the drying efficiency of a snorkel nozzle.

상술한 바와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명의 풉 세정 장치는, 풉 본체와 풉 커버로 이루어진 풉을 세정하기 위한 풉 세정 장치에 있어서, 상기 풉 본체에는 상기 풉 본체의 내부를 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐이 구비되고, 상기 풉 본체와 풉 커버를 세정유체를 이용하여 세정하는 세정 챔버를 포함하되, 상기 세정 챔버에는 상기 풉 본체의 세정 완료 후 상기 스노클 노즐 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부가 구비되며, 상기 세정 챔버에는 상기 압축건조공기 공급부에서 분사되는 상기 압축건조공기에 의해 상기 풉 본체가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 상기 풉 본체의 일측면을 지지하기 위한 샤프트가 회전 구동되도록 구비된 스토퍼를 포함한다.The FOOP cleaning apparatus of the present invention for realizing the above object is a FOOP cleaning apparatus for cleaning a FOOP including a FOOP body and a FOOP cover, wherein the FOOP main body has a foamed porous material for purging the inside of the FOOP main body. and a cleaning chamber for cleaning the FOOP body and the FOOP cover using a cleaning fluid, wherein the cleaning chamber includes a compression drying chamber for injecting compressed dry air into the snorkel nozzle after the cleaning of the FOOP body is completed. An air supply unit is provided in the cleaning chamber, and a shaft for supporting one side of the FOOP body is rotationally driven so that the FOUP body is not pushed to one side by the compressed dry air sprayed from the compressed dry air supply unit. included stoppers.

상기 스토퍼는, 양방향으로 회전 구동되는 로터리 실린더와, 상기 로터리 실린더의 실린더 구동축에 연결된 상기 샤프트를 포함하여 구성될 수 있다.The stopper may include a rotary cylinder that is rotationally driven in both directions, and the shaft connected to a cylinder drive shaft of the rotary cylinder.

상기 로터리 실린더의 일방향 회전 구동에 의해 상기 샤프트가 일방향으로 회전되면, 상기 샤프트의 단부가 상기 풉 본체의 일측면에 접촉되어 상기 풉 본체를 지지하게 되고, 상기 로터리 실리더의 반대방향 회전 구동에 의해 상기 샤프트가 반대방향으로 회전되면, 상기 샤프트의 단부가 상기 풉 본체의 일측면에서 이격되어 상기 풉 본체를 지지하는 상태가 해제될 수 있다.When the shaft is rotated in one direction by the unidirectional rotational driving of the rotary cylinder, the end of the shaft is in contact with one side of the FOOP body to support the FOOP body, and by driving the rotary cylinder in the opposite direction When the shaft is rotated in the opposite direction, the end of the shaft is spaced apart from one side of the FOOP body to release the state of supporting the FOOP body.

상기 실린더 구동축은 상기 로터리 실린더의 양측으로 돌출되도록 구비되고, 상기 샤프트는 상기 양측으로 돌출된 실린더 구동축에 각각 연결된 한 쌍의 샤프트로 이루어질 수 있다.The cylinder drive shaft may be provided to protrude from both sides of the rotary cylinder, and the shaft may be formed of a pair of shafts respectively connected to the cylinder drive shafts protruding from both sides.

상기 한 쌍의 샤프트를 연결하며 지지하는 샤프트 지지부재를 더 포함할 수 있다.It may further include a shaft support member for connecting and supporting the pair of shafts.

상기 풉 본체의 일측면에 접촉되는 상기 샤프트의 단부는 곡면 형상으로 이루어질 수 있다.An end of the shaft in contact with one side of the FOUP body may have a curved shape.

상기 풉 본체의 일측면에 접촉되는 상기 샤프트의 단부 외측면은 내마모성 코팅된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.The FOOP cleaning apparatus, characterized in that the outer surface of the end of the shaft in contact with one side of the FOOP body is coated with abrasion resistance.

상기 내마모성 코팅은 테프론 재질로 이루어질 수 있다.The wear-resistant coating may be made of a Teflon material.

상기 압축건조공기 공급부는 상기 스노클 노즐의 일측단에 접속 또는 접속해제되도록 전후진 가능하게 구비될 수 있다.The compressed dry air supply unit may be provided so as to be connected to or disconnected from one end of the snorkel nozzle forward and backward.

상기 세정 챔버는, 상기 풉 본체의 외측면과 상기 풉 커버에 세정유체를 분사하는 외부 세정유체 분사부와, 상기 풉 본체의 내측면에 세정유체를 분사하는 내부 세정유체 분사부를 구비할 수 있다.The cleaning chamber may include an external cleaning fluid spraying unit for spraying a cleaning fluid to the outer surface of the FOOP body and the FOOP cover, and an internal cleaning fluid spraying part for spraying the cleaning fluid to an inner surface of the FOOP body.

상기 외부 세정유체 분사부에는 세정유체를 분사하는 복수의 노즐이 상하로 이격되어 형성되되, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체의 외측면에 근접하게 위치하도록 각각의 길이와 분사각이 상이하게 형성될 수 있다.A plurality of nozzles for spraying the cleaning fluid are vertically spaced apart from each other in the external cleaning fluid spraying part, and the plurality of nozzles are formed to have different lengths and different spraying angles so as to be located close to the outer surface of the FOUP body. can

상기 풉 본체는 상기 세정 챔버 내에 회전 가능하게 구비되고, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 세정유체를 분사하도록 경사지게 형성될 수 있다.The FOUP body may be rotatably provided in the cleaning chamber, and the plurality of nozzles may be inclined to spray the cleaning fluid in a direction opposite to the rotational direction of the FOOP body.

상기 세정 챔버에는, 세정 완료된 상기 풉 본체와 풉 커버를 건조하기 위한 압축건조공기를 분사하는 에어 공급부가 구비될 수 있다.The cleaning chamber may include an air supply unit that sprays compressed dry air for drying the cleaned FOOP body and the FOOP cover.

상기 에어 공급부는, 상기 풉 본체의 외측면에 압축건조공기를 분사하는 외부 에어 공급부와, 상기 풉 본체의 내측면에 압축건조공기를 분사하는 내부 에어 공급부를 포함할 수 있다.The air supply unit may include an external air supply unit that sprays compressed dry air to the outer surface of the FOOP body, and an internal air supply unit that injects compressed dry air to the inner surface of the FOUP body.

상기 외부 에어 공급부에는 압축건조공기를 분사하는 복수의 노즐이 상하로 이격되어 형성되되, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체의 외측면에 근접하게 위치하도록 각각의 길이와 분사각이 상이하게 형성될 수 있다.A plurality of nozzles for spraying compressed dry air may be vertically spaced apart from each other in the external air supply unit, and the plurality of nozzles may be formed to have different lengths and different spray angles so as to be located close to the outer surface of the FOUP body. have.

상기 풉 본체는 상기 세정 챔버 내에 회전 가능하게 구비되고, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 압축건조공기를 분사하도록 경사지게 형성될 수 있다.The FOUP body may be rotatably provided in the cleaning chamber, and the plurality of nozzles may be inclined to spray compressed dry air in a direction opposite to the rotational direction of the FOOP body.

상기 에어 공급부는, 상기 세정 챔버 내부에서 상기 풉 본체와 상기 풉 커버 사이에 위치하며 전후진 가능하도록 구비되어, 세정 완료된 상기 풉 본체와 상기 풉 커버에 압축건조공기를 분사하는 상부 에어 공급부를 더 포함할 수 있다.The air supply unit further includes an upper air supply unit positioned between the FOOP body and the FOOP cover in the cleaning chamber and provided to move forward and backward, and spraying compressed dry air to the FOOP body and the FOOP cover that have been cleaned. can do.

상기 세정 챔버는, 상기 풉 본체가 내부에 수용되어 세정 처리되는 세정 챔버 본체와, 상기 세정 챔버 본체의 상부를 개폐하며 상기 풉 커버가 지지되어 세정 처리되는 세정 챔버 커버를 포함할 수 있다.The cleaning chamber may include a cleaning chamber body in which the FOOP body is accommodated therein to be cleaned, and a cleaning chamber cover that opens and closes an upper portion of the cleaning chamber body and supports and cleans the FOOP cover.

상기 세정 챔버 본체 내에는, 상기 풉 본체가 안착되도록 상기 세정 챔버 본체의 하부에 구비된 안착부와, 상기 세정 챔버 본체의 상부와 하부 사이에서 승강되며 상기 풉 본체를 상기 안착부 상으로 인계하거나 상기 안착부로부터 상기 풉 본체를 인계받아 상기 풉 본체를 승강시키는 승강부를 포함하고, 상기 승강부는 지지부에 의해 상기 세정 챔버 커버와 연결되며, 상기 승강부와 상기 세정 챔버 커버는 동일한 승강구동부에 의해 함께 승강될 수 있다.In the cleaning chamber body, a seating portion provided at a lower portion of the cleaning chamber body to be seated in the cleaning chamber body is elevated between the upper and lower portions of the cleaning chamber body, and the FOUP body is transferred onto the seating portion or the and an elevating unit receiving the FOOP main body from a seating unit to elevate the FOOP main body, wherein the elevating unit is connected to the cleaning chamber cover by a support part, and the lifting unit and the cleaning chamber cover are raised and lowered together by the same elevating driving unit. can be

상기 세정 챔버에는, 세정 완료된 상기 풉 본체와 풉 커버를 건조하기 위해 자외선을 조사하는 자외선 램프가 구비될 수 있다.The cleaning chamber may be provided with an ultraviolet lamp irradiating ultraviolet rays to dry the cleaned FOOP body and FOOP cover.

상기 자외선 램프는, 상기 풉 본체의 외측면에 자외선을 조사하는 외부 자외선 램프와, 상기 풉 본체의 내측면에 자외선을 조사하는 내부 자외선 램프를 포함할 수 있다.The ultraviolet lamp may include an external ultraviolet lamp for irradiating ultraviolet rays to the outer surface of the FOOP body, and an internal ultraviolet lamp for irradiating ultraviolet rays to the inner surface of the FOOP body.

상기 세정 챔버에서 세정이 완료된 풉 본체와 풉 커버가 반송되는 진공 챔버를 더 포함하고, 상기 진공 챔버에는, 상기 진공 챔버 내부에 질소가스를 공급하는 질소가스 공급라인과, 상기 진공 챔버 내부의 유체를 흡입하여 외부로 배출하기 위한 진공라인이 연결될 수 있다.and a vacuum chamber to which the FOOP body and the FOOP cover, which have been cleaned in the cleaning chamber, are transported, wherein the vacuum chamber includes a nitrogen gas supply line for supplying nitrogen gas into the vacuum chamber, and a fluid inside the vacuum chamber. A vacuum line for suctioning and discharging to the outside may be connected.

상기 진공 챔버에는 상기 스노클 노즐 내로 질소가스를 주입하는 질소가스 공급부가 구비될 수 있다.A nitrogen gas supply unit for injecting nitrogen gas into the snorkel nozzle may be provided in the vacuum chamber.

상기 질소가스 공급부는 상기 스노클 노즐의 일측단에 접속 또는 접속해제되도록 전후진 가능하게 구비될 수 있다.The nitrogen gas supply unit may be provided so as to be connected to or disconnected from one end of the snorkel nozzle forward and backward.

상기 진공 챔버에는 상기 질소가스 공급부에서 분사되는 상기 질소가스에 의해 상기 풉 본체가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 상기 풉 본체의 일측면을 지지하기 위한 제2스토퍼가 구비될 수 있다.A second stopper may be provided in the vacuum chamber to support one side of the FOOP body so that the FOOP body is not pushed to one side by the nitrogen gas injected from the nitrogen gas supply unit.

상기 제2스토퍼는, 양방향으로 회전 구동되는 제2로터리 실린더와, 상기 제2로터리 실린더의 제2실린더 구동축에 연결되어 연동하여 회전되며 상기 풉 본체의 일측면을 지지하기 위한 제2샤프트를 포함할 수 있다.The second stopper may include a second rotary cylinder rotatably driven in both directions, and a second shaft connected to a second cylinder drive shaft of the second rotary cylinder to rotate in association with and support one side of the FOUP body. can

본 발명에 따른 풉 세정 장치에 의하면, 풉 본체의 세정 완료 후 스노클 노즐 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부를 구비함으로써 스노클 노즐을 신속하게 건조시켜 원래의 성능을 회복시키는데 소요되는 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.According to the FOOP cleaning apparatus according to the present invention, a compressed dry air supply unit for injecting compressed dry air into the snorkel nozzle after cleaning of the FOOP body is completed, thereby rapidly drying the snorkel nozzle and reducing the time required to restore the original performance There is an effect that can be done.

또한, 스노클 노즐의 건조를 위한 압축건조공기 또는 질소가스의 공급에 따른 압력에 의해 풉 본체가 일측으로 밀려 이동되는 것을 방지하도록 풉 본체의 일측면을 지지하기 위해 스토퍼의 샤프트가 회전 구동되도록 구성함으로써, 풉 본체가 안정적으로 고정 지지된 상태에서 스노클 노즐의 건조 작업을 원활하게 수행할 수 있다.In addition, the shaft of the stopper is rotationally driven to support one side of the FOOP main body to prevent the FOOP main body from being pushed to one side by the pressure caused by the supply of compressed dry air or nitrogen gas for drying the snorkel nozzle. , the snorkel nozzle can be dried smoothly while the FOUP body is stably fixed and supported.

또한, 스토퍼의 샤프트가 로터리 실린더에 의해 일방향으로 회전되면서 풉 본체의 일측면을 지지하도록 구성함으로써, 풉 본체의 일측면을 견고하게 지지할 수 있으며, 풉 본체의 일측면과 접촉되는 샤프트의 단부 외측면을 내마모 코팅 처리함으로써 샤프트의 마모 시 초래될 수 있는 지지 성능의 저하를 방지할 수 있다.In addition, by configuring the stopper shaft to support one side of the FOOP body while being rotated in one direction by the rotary cylinder, one side of the FOOP body can be firmly supported, except for the end of the shaft that is in contact with the one side of the FOOP body Wear-resistant coating on the sides prevents deterioration of support performance that may occur during shaft abrasion.

또한, 세정 챔버에서 세정 완료된 풉 본체의 내부에 구비된 스노클 노즐에 압축건조공기를 주입하여 1차로 건조시키고, 진공 챔버에서는 스노클 노즐에 질소가스를 주입하여 2차로 건조시킴으로써, 발포 다공질의 스노클 노즐을 단시간에 완전 건조시킬 수 있다.In addition, compressed dry air is primarily dried by injecting compressed dry air into the snorkel nozzle provided inside the FOUP body, which has been cleaned in the cleaning chamber, and nitrogen gas is injected into the snorkel nozzle in the vacuum chamber to secondarily dry the snorkel nozzle. It can be completely dried in a short time.

또한, 세정 챔버에서의 세정 및 건조 과정에서는 풉 본체와 풉 커버가 회전되도록 하여 세정유체와 압축건조공기가 풉 본체와 풉 커버의 전체 영역에 걸쳐서 고르게 분사되도록 함과 동시에, 세정유체와 압축건조공기를 분사하는 다수개의 노즐이 풉 본체의 외측면에 근접하게 위치하도록 노즐 각각의 길이와 분사각을 상이하게 형성하고, 복수의 노즐은 풉 본체가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 세정유체를 분사하도록 경사지게 형성함으로써 세정 및 건조 효율을 더욱 향상시킬 수 있다.In addition, during the cleaning and drying process in the cleaning chamber, the FOOP body and the FOOP cover are rotated so that the cleaning fluid and compressed dry air are evenly sprayed over the entire area of the FOOP body and the FOOP cover. The nozzles each have different lengths and different spraying angles so that the plurality of nozzles are positioned close to the outer surface of the FOUP body, and the plurality of nozzles spray the cleaning fluid in the direction opposite to the rotational direction of the FOUP body. By forming it inclined, cleaning and drying efficiency can be further improved.

또한, 세정 챔버 커버와 승강부가 동일한 승강구동부의 구동에 의해 함께 승강되도록 구성함으로써, 세정 챔버에 풉 본체와 풉 커버를 반입 및 반출하는 작업을 간편하고 원활하게 수행할 수 있다. In addition, since the cleaning chamber cover and the lifting unit are configured to be lifted together by the driving of the same lifting driving unit, the operation of loading and unloading the FOOP body and the FOOP cover into the cleaning chamber can be performed simply and smoothly.

도 1은 본 발명의 풉 세정 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 측면도,
도 2는 본 발명의 풉 세정 장치의 구성을 개략적으로 나타낸 평면도,
도 3은 본 발명의 풉 세정 장치에서 풉을 로딩 및 언로딩부에서 대기부로 이송하는 과정을 설명하기 위한 도면,
도 4는 본 발명의 풉 세정 장치에 구비되는 세정 챔버의 구성을 개략적으로 나타낸 종단면도,
도 5는 본 발명의 풉 세정 장치에 구비되는 세정 챔버의 내부 구조를 보여주는 횡단면도,
도 6은 풉 내부에 구비된 스노클 노즐의 건조를 위한 압축건조공기 공급부와 스토퍼가 풉 본체의 양측에 구비된 모습을 보여주는 사시도,
도 7은 압축건조공기가 공급되는 풉 본체의 우측면도,
도 8은 도 6에 도시된 압축건조공기 공급부를 다른 방향에서 나타낸 사시도,
도 9는 도 6에 도시된 스토퍼의 사시도,
도 10은 도 6의 우측면도,
도 11은 도 10의 A-A 선을 따르는 단면도,
도 12 내지 도 15는 스노클 노즐의 건조 과정에서 압축건조공기 공급부와 스토퍼의 동작 상태를 보여주는 도면,
도 16은 본 발명의 풉 세정 장치에 구비되는 진공 챔버의 구성을 개략적으로 나타낸 종단면도.1 is a side view schematically showing the configuration of the FOUP cleaning device of the present invention;
2 is a plan view schematically showing the configuration of the FOUP cleaning device of the present invention;
3 is a view for explaining a process of transferring the FOOP from the loading and unloading unit to the standby unit in the FOOP cleaning apparatus of the present invention;
4 is a longitudinal cross-sectional view schematically showing the configuration of a cleaning chamber provided in the FOUP cleaning apparatus of the present invention;
5 is a cross-sectional view showing the internal structure of a cleaning chamber provided in the FOUP cleaning apparatus of the present invention;
6 is a perspective view showing a compressed dry air supply unit for drying the snorkel nozzle provided inside the FOOP and stoppers are provided on both sides of the FOUP body;
7 is a right side view of the FOUP body to which compressed dry air is supplied;
8 is a perspective view showing the compressed dry air supply unit shown in FIG. 6 from another direction;
9 is a perspective view of the stopper shown in FIG. 6;
Figure 10 is a right side view of Figure 6;
11 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 10;
12 to 15 are views showing the operation state of the compressed dry air supply unit and the stopper during the drying process of the snorkel nozzle;
16 is a longitudinal cross-sectional view schematically showing the configuration of a vacuum chamber provided in the FOUP cleaning apparatus of the present invention.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대한 구성 및 작용을 상세히 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, the configuration and operation of the preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명의 풉 세정 장치(1)는, 풉 본체(20)와 풉 커버(30)로 이루어진 풉(10)을 세정하기 위한 장치로서, 상기 풉 본체(20)에는 상기 풉 본체(20)의 내부를 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐(21)이 구비되고, 상기 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 세정유체를 이용하여 세정하는 세정 챔버(600)를 포함하되, 상기 세정 챔버(600)에는 상기 풉 본체(20)의 세정 완료 후 상기 스노클 노즐(21) 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부(680)가 구비되며, 상기 세정 챔버(600)에는 상기 압축건조공기 공급부(680)에서 분사되는 상기 압축건조공기에 의해 상기 풉 본체(20)가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 상기 풉 본체(20)의 일측면을 지지하기 위한 샤프트(693)가 회전 구동되도록 구비된 스토퍼(690)를 포함하는 것을 특징으로 한다.The FOOP cleaning device (1) of the present invention is a device for cleaning the FOOP (10) composed of a FOOP body (20) and a FOOP cover (30), and the FOOP body (20) has an inside of the FOOP body (20). A foaming porous snorkel nozzle 21 for purging is provided, and a cleaning chamber 600 for cleaning the FOUP body 20 and the FOOP cover 30 using a cleaning fluid, wherein the cleaning chamber 600 ) is provided with a compressed dry air supply unit 680 for injecting compressed dry air into the snorkel nozzle 21 after the cleaning of the FOUP body 20 is completed, and the compressed dry air supply unit 680 is provided in the cleaning chamber 600 . ), a stopper 690 provided so that the shaft 693 for supporting one side of the FOOP body 20 is rotationally driven so that the FOUP body 20 is not pushed to one side by the compressed dry air sprayed from it. It is characterized in that it includes.

도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 풉 세정 장치(1)는, 반도체 기판을 보관 및 이송하는데 사용되는 풉(FOUP, 10)을 세정 및 건조하기 위한 장치이다. 상기 풉(10)은 반도체 기판(미도시됨)이 수납되는 풉 본체(20)와, 상기 풉 본체(20)의 일측에 형성된 개구부를 개폐하는 풉 커버(30)로 구성되며, 상기 풉 본체(20)와 풉 커버(30)는 록커(locker, 미도시됨)에 의해 분리 또는 결합되는 구조로 이루어져 있다.1 and 2, the FOUP cleaning apparatus 1 of the present invention is an apparatus for cleaning and drying the FOUP 10 used for storing and transporting semiconductor substrates. The FOOP 10 includes a FOOP body 20 in which a semiconductor substrate (not shown) is accommodated, and a FOOP cover 30 that opens and closes an opening formed on one side of the FOOP body 20, and the FOOP body ( 20) and the FOUP cover 30 are configured to be separated or combined by a locker (not shown).

상기 풉 세정 장치(1)는, 상기 풉(10)의 반송과 세정 및 건조 처리가 수행되는 공정실(100), 상기 공정실(100)에 풉(10)을 반입 및 반출하기 위한 로딩 및 언로딩부(200), 상기 로딩 및 언로딩부(200)의 일측으로 공정실(100) 내에 구비되며, 상기 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 상호 분리 또는 결합되는 대기부(300), 상기 로딩 및 언로딩부(200)와 대기부(300) 사이에 풉(10)을 이송하는 이송수단(400), 상기 공정실(100) 내에서 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 파지하여 반송하는 로봇(500), 상기 대기부(300)에 위치하는 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 상기 로봇(500)에 의해 인계받아 세정유체를 이용하여 세정한 후 건조시키는 세정 챔버(600), 상기 세정 챔버(600)에서 세정 및 건조된 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 상기 로봇(500)에 의해 인계받아 풉 본체(20)와 풉 커버(30)에 잔류하는 수분을 포함한 이물질을 벤트하는 진공 챔버(700), 및 상기 진공 챔버(700)에서 벤트 처리 완료된 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 상기 대기부(300)로 반송하기에 앞서 일시적으로 보관하는 버퍼부(800)를 포함한다. 그리고, 상기 공정실(100) 내부의 일측에는 풉(10)의 세정 및 건조를 위해 사용되는 세정유체로서 핫 디아이워터(Hot deionized water), 압축건조공기(CDA; Compressed dry air), 질소가스(N2) 등의 공급을 위한 설비가 구비된 유틸리티(910)와, 풉(10)의 세정을 위한 스팀의 공급을 위한 설비가 구비된 스팀 유닛(920)이 구비될 수 있다.The FOUP cleaning device 1 includes a process room 100 in which transport of the FOUP 10 and cleaning and drying processes are performed, and loading and unloading for loading and unloading the FOUP 10 into and out of the process chamber 100 . The loading unit 200 and the loading/unloading unit 200 are provided in the process chamber 100 as one side, and the waiting unit 300 in which the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 are separated or coupled to each other. , a transfer means 400 for transferring the FOUP 10 between the loading and unloading unit 200 and the standby unit 300 , the FOUP body 20 and the FOUP cover 30 in the process room 100 . The robot 500 that grips and transports the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 located in the standby unit 300 are taken over by the robot 500, cleaned using a cleaning fluid, and then dried. The cleaning chamber 600, the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 cleaned and dried in the cleaning chamber 600 are taken over by the robot 500, and the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 are placed on the FOOP body 20 and the FOOP cover 30. The vacuum chamber 700 for venting foreign substances including residual moisture, and the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 that have been vented in the vacuum chamber 700 are temporarily transferred to the standby unit 300 . It includes a buffer unit 800 to be stored as. And, on one side of the inside of the process chamber 100, as a cleaning fluid used for cleaning and drying the FOUP 10, hot deionized water, compressed dry air (CDA), nitrogen gas ( A utility 910 equipped with facilities for supplying N2) and the like, and a steam unit 920 equipped with facilities for supplying steam for cleaning the FOUP 10 may be provided.

상기 로딩 및 언로딩부(200)는, 세정 대상 풉(10)을 공정실(100) 내로 반입하기 위해 로딩(Loading)하거나, 공정실(100)에서 세정과 건조 및 벤트 공정이 완료된 풉(10)을 공정실(100) 외부로 반출하기 위해 언로딩(Unloading)하기 위한 구성이다. 도 3을 참조하면, 상기 로딩 및 언로딩부(200)에는 풉 본체(20)가 옆으로 뉘어져 풉 커버(30)가 일측에 위치한 상태로 안착되는 지지판(210)이 구비된다.The loading and unloading unit 200 is loaded to bring the FOUP 10 to be cleaned into the process room 100 , or the FOUP 10 that has been cleaned, dried and vented in the process room 100 . ) is a configuration for unloading (Unloading) to take out to the outside of the process chamber (100). Referring to FIG. 3 , the loading and unloading unit 200 is provided with a support plate 210 on which the FOOP body 20 is laid sideways and the FOOP cover 30 is positioned on one side.

상기 대기부(300)는, 상기 로딩 및 언로딩부(200)로부터 이송수단(400)에 의해 이송된 풉(10)이 세정 챔버(600)로 반송되기 전에 대기하는 곳이며, 상기 대기부(300)로 이송된 풉(10)은 로봇(500)에 의해 풉 커버(30)가 아래로 향하는 방향으로 자세가 전환된다. 또한, 상기 대기부(300)에는 풉 본체(20)와 풉 커버(30)에 구비된 로커를 잠금 또는 잠금해제하기 위한 잠금 및 잠금해제수단(미도시됨)이 구비된다. 상기 잠금 및 잠금해제수단은 상기 로커를 일방향 또는 반대방향으로 회전시켜 로커를 잠금 또는 잠금해제하도록 구성될 수 있다.The waiting unit 300 is a place where the FOUP 10 transferred by the transfer means 400 from the loading and unloading unit 200 waits before being transferred to the cleaning chamber 600 , and the waiting unit ( The posture of the FOOP 10 transferred to 300 is changed in a direction in which the FOOP cover 30 faces downward by the robot 500 . In addition, the waiting unit 300 is provided with locking and unlocking means (not shown) for locking or unlocking the lockers provided in the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 . The locking and unlocking means may be configured to lock or unlock the locker by rotating the locker in one direction or the opposite direction.

상기 대기부(300)에는 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 안착되는 대기판(310)과, 상기 대기판(310)이 상하 방향으로 이동되도록 승강시키는 승강실린더(320)가 구비된다. 상기 승강실린더(320)는 이송수단(400)에 연결되어 이송수단(400)의 구동에 의해 로딩 및 언로딩부(200)와 대기부(300) 사이에서 왕복 이동될 수 있다.The waiting unit 300 is provided with a waiting plate 310 on which the FOUP body 20 and the FOOP cover 30 are seated, and a lifting cylinder 320 for raising and lowering the waiting plate 310 to move in the vertical direction. . The lifting cylinder 320 may be connected to the transfer means 400 and reciprocate between the loading and unloading unit 200 and the standby unit 300 by driving the transfer means 400 .

상기 이송수단(400)은 승강실린더(320)의 왕복 이송을 위한 구성이며, 일실시예로 리니어 모션 가이드로 구성될 수 있다.The transport means 400 is configured for reciprocating transport of the elevating cylinder 320 and may be configured as a linear motion guide in one embodiment.

상기 로딩 및 언로딩부(200)로부터 대기부(300)로 풉(10)을 이송하는 과정을 설명한다. 지지판(210) 상에 풉(10)이 로딩되면, 상기 지지판(210)의 하측에서 대기하고 있던 승강실린더(320)가 상승 이동하면서 지지판(210) 상에 있던 풉(10)을 지지판(210)의 상측으로 들어올린다. 이 상태에서 이송수단(400)의 구동에 의해 승강실린더(320)와 풉(10)은 대기부(300) 측으로 이송된다. 승강실린더(320)와 풉(10)이 대기부(300)의 대기판(310) 상측에 위치하게 되면, 승강실린더(320)는 하강 이동하면서 지지하고 있던 풉(10)을 대기판(310) 상에 올려놓는다. 다음으로, 로봇(500)의 그리퍼(510)가 풉(10)을 파지한 후 풉 커버(30)가 아래 방향을 향하도록 풉(10)을 회전시킨 후에 대기판(310) 상에 올려놓게 되고, 대기부(300)에 구비된 잠금 및 잠금해제수단에 의해 로커가 잠금해제되어 풉 본체(20)와 풉 커버(30)는 분리 가능한 상태가 된다. A process of transferring the FOUP 10 from the loading and unloading unit 200 to the standby unit 300 will be described. When the FOUP 10 is loaded on the support plate 210, the lifting cylinder 320, which was waiting at the lower side of the support plate 210, moves upward and moves the FOUP 10 on the support plate 210 to the support plate 210. lift to the top of In this state, the lifting cylinder 320 and the FOUP 10 are transferred to the standby unit 300 by the driving of the transfer means 400 . When the elevating cylinder 320 and the FOUP 10 are positioned above the standby plate 310 of the standby unit 300, the lifting cylinder 320 moves downward and the FOUP 10 supported by the standby plate 310. put it on the table Next, the gripper 510 of the robot 500 grips the FOOP 10, rotates the FOOP 10 so that the FOOP cover 30 faces downward, and puts it on the waiting plate 310. , the locker is unlocked by the locking and unlocking means provided in the standby unit 300 so that the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 are in a detachable state.

이와 같이 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 분리 가능한 상태가 되면, 로봇(500)에 의해 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 순차로 세정 챔버(600)로 반송된다.As described above, when the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 are in a detachable state, the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 are sequentially transferred to the cleaning chamber 600 by the robot 500 .

도 4와 도 5를 참조하면, 상기 세정 챔버(600)는, 상기 풉 본체(20)가 내부에 수용되어 세정 및 건조 처리되는 세정 챔버 본체(610)와, 상기 세정 챔버 본체(610)의 상부를 개폐하며 상기 풉 커버(30)가 지지되어 세정 및 건조 처리되는 세정 챔버 커버(620)를 포함하여 구성된다.4 and 5 , the cleaning chamber 600 includes a cleaning chamber body 610 in which the FOUP body 20 is accommodated therein to be cleaned and dried, and an upper portion of the cleaning chamber body 610 . and a cleaning chamber cover 620 that opens and closes the FOUP cover 30 and is cleaned and dried.

상기 세정 챔버 본체(610) 내에는, 상기 풉 본체(20)가 안착되도록 상기 세정 챔버 본체(610)의 하부에 구비된 안착부(611)와, 상기 세정 챔버 본체(610)의 상부와 하부 사이에서 승강되며 상기 풉 본체(20)를 상기 안착부(611) 상으로 인계하거나 상기 안착부(611)로부터 상기 풉 본체(20)를 인계받아 상기 풉 본체(20)를 승강시키는 승강부(634)를 포함한다. 상기 승강부(634)는 지지부(633)에 의해 세정 챔버 커버(620)와 연결되며, 상기 승강부(634)와 상기 세정 챔버 커버(620)는 동일한 승강구동부(631)에 의해 함께 승강될 수 있다.In the cleaning chamber body 610 , a seating part 611 provided at a lower portion of the cleaning chamber body 610 so that the FOUP body 20 is seated is disposed between the upper and lower portions of the cleaning chamber body 610 . An elevating part 634 that lifts and lowers the FOUP body 20 onto the seating part 611 or takes over the FOOP body 20 from the seating part 611 to raise and lower the FOOP body 20 includes The lifting unit 634 is connected to the cleaning chamber cover 620 by the support unit 633, and the lifting unit 634 and the cleaning chamber cover 620 may be lifted together by the same lifting driving unit 631. have.

상기 대기부(300)로부터 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 세정 챔버(600)로 이동하는 경우, 승강구동부(631)는 상승 이동되고, 이에 따라 세정 챔버 커버(620)와 지지부(633) 및 승강부(634)는 함께 상승 이동하게 되어, 세정 챔버 본체(610)의 상부가 개방됨과 동시에 안착부(611)는 세정 챔버 본체(610)의 상부로 이동하여 풉 본체(20)를 인계받을 수 있는 위치에 대기하게 된다.When the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 move from the standby unit 300 to the cleaning chamber 600, the lifting drive 631 moves upward, and accordingly, the cleaning chamber cover 620 and the support part ( 633 and the lifting unit 634 move upward together, so that the upper portion of the cleaning chamber body 610 is opened, and at the same time, the seating portion 611 moves to the upper portion of the cleaning chamber body 610 to lift the FOUP body 20. You will be in a position where you can take over.

상기 세정 챔버 커버(620)에는, 로봇(500)에 의해 이송되는 풉 커버(30)를 지지 및 고정하기 위한 풉 커버 지지부(621)와 클램프(622)가 구비된다.The cleaning chamber cover 620 is provided with a FOOP cover support part 621 and a clamp 622 for supporting and fixing the FOOP cover 30 transported by the robot 500 .

상기 로봇(500)에 의해 풉 본체(20)가 승강부(634) 상에 인계되고, 풉 커버(20)가 풉 커버 지지부(621) 및 클램프(622)에 의해 세정 챔버 커버(620)에 지지 및 고정되면, 승강구동부(631)의 하강 구동에 의해 세정 챔버 커버(620)와 이에 고정된 풉 커버(30), 및 지지부(633)에 의해 세정 챔버 커버(620)에 연결된 승강부(634)는 풉 본체(20)를 지지한 상태로 하강 이동하게 된다. 이 경우 승강구동부(631)는 세정 챔버 커버(620)가 세정 챔버 본체(610)의 상부를 밀폐하는 위치까지 하강 구동하게 되며, 이 과정에서 승강부(634)는 안착부(611) 상에 풉 본체(20)를 인계한 후에 안착부(611)의 하측에 위치하며 대기하게 된다. The FOOP body 20 is taken over by the robot 500 on the lifting unit 634 , and the FOOP cover 20 is supported on the cleaning chamber cover 620 by the FOOP cover support part 621 and the clamp 622 . and when fixed, the cleaning chamber cover 620 and the FOUP cover 30 fixed thereto by the lowering driving of the lifting driving unit 631 , and the lifting unit 634 connected to the cleaning chamber cover 620 by the supporting part 633 ) is moved downward while supporting the loom body 20 . In this case, the lifting driving unit 631 drives down to a position where the cleaning chamber cover 620 seals the upper portion of the cleaning chamber body 610 , and in this process, the lifting unit 634 is unscrewed on the seating unit 611 . After taking over the main body 20, it is positioned below the seating part 611 and waits.

도 5를 참조하면, 상기 승강부(634)의 중앙부에는 관통구(634a)가 형성되고, 상기 관통구(634a)의 내측에 안착부(611)가 위치된다. 이에 따라 승강부(634)의 승강 이동시 안착부(611)와의 간섭이 방지되며, 승강부(634)와 안착부(611) 간에 풉 본체(20)의 인수인계가 가능하다.Referring to FIG. 5 , a through hole 634a is formed in a central portion of the elevating part 634 , and a seating part 611 is positioned inside the through hole 634a. Accordingly, interference with the seating unit 611 is prevented when the lifting unit 634 moves up and down, and the takeover of the FOUP body 20 is possible between the lifting unit 634 and the seating unit 611 .

한편, 상기 세정 챔버 본체(610)에는 풉 본체(20)와 풉 커버(30)의 세정을 위한 세정유체를 공급하는 세정유체 분사부(640;640-1,640-2)가 구비된다.Meanwhile, the cleaning chamber body 610 is provided with cleaning fluid spraying units 640 ; 640 - 1 and 640 - 2 for supplying a cleaning fluid for cleaning the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 .

상기 세정유체 분사부(640)는, 풉 본체(20)의 외측면과 풉 커버(30)에 세정유체를 분사하는 외부 세정유체 분사부(640-1)와, 상기 풉 본체(20)의 내측면에 세정유체를 분사하는 내부 세정유체 분사부(640-2)로 구성될 수 있다. The cleaning fluid spraying part 640 includes an external cleaning fluid spraying part 640-1 that sprays the cleaning fluid to the outer surface of the FOOP body 20 and the FOOP cover 30, and an inner part of the FOOP body 20. It may be composed of an internal cleaning fluid spraying unit 640 - 2 that sprays the cleaning fluid on the side surface.

상기 외부 세정유체 분사부(640-1)는 풉 본체(20)의 외측 둘레에 구비되어 풉 본체(20)의 외측면을 향하여 세정유체를 분사하는 동시에 풉 커버(30)를 향하여 세정유체를 분사하는 다수개의 노즐이 상하로 이격된 위치에 구비될 수 있다.The external cleaning fluid spraying unit 640-1 is provided on the outer periphery of the FOOP body 20 to spray the cleaning fluid toward the outer surface of the FOOP body 20 and spray the cleaning fluid toward the FOOP cover 30 at the same time. A plurality of nozzles may be provided at positions spaced up and down.

상기 내부 세정유체 분사부(640-2)는 풉 본체(20)의 내측에 위치하도록 안착부(611) 상에 구비되어 풉 본체(20)의 내측면을 향하여 세정유체를 분사한다.The internal cleaning fluid spraying part 640 - 2 is provided on the seating part 611 to be located inside the FOOP body 20 and sprays the cleaning fluid toward the inner surface of the FOOP body 20 .

한편, 상기 풉 본체(20)가 안착되는 안착부(611)는 모터(670)의 구동에 의해 회전 가능하게 구비되고, 상기 풉 커버(20)가 지지되는 풉 커버 지지부(621) 또한 모터(623)의 구동에 의해 회전 가능하게 구비된다. Meanwhile, the seating part 611 on which the FOOP body 20 is seated is rotatably provided by driving a motor 670 , and a FOOP cover support part 621 on which the FOOP cover 20 is supported and a motor 623 are provided. ) is rotatably provided by the drive.

도 4를 참조하면, 상기 외부 세정유체 분사부(640-1)에는 세정유체를 분사하는 복수의 노즐이 상하로 이격되어 형성되되, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체(20)의 외측면에 근접하게 위치하도록 각각의 길이와 분사각이 상이하게 형성될 수 있다. 또한, 상기 풉 본체(20)는 상기 세정 챔버(600) 내에 회전 가능하게 구비되고, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체(20)가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 세정유체를 분사하도록 경사지게 형성될 수 있다. 상기 노즐이 경사진 각도는 노즐과 풉 본체(20)의 중심을 연결하는 선을 기준으로 하여 30°~ 40°범위의 경사를 갖도록 형성될 수 있다.Referring to FIG. 4 , a plurality of nozzles for spraying the cleaning fluid are vertically spaced apart from each other in the external cleaning fluid spraying unit 640-1, and the plurality of nozzles are close to the outer surface of the FOUP body 20. Each length and spray angle may be formed to be different to be positioned. In addition, the FOUP body 20 may be rotatably provided in the cleaning chamber 600, and the plurality of nozzles may be inclined to spray the cleaning fluid in a direction opposite to the rotational direction of the FOOP body 20. can The angle at which the nozzle is inclined may be formed to have an inclination in the range of 30° to 40° based on a line connecting the nozzle and the center of the FOUP body 20 .

이와 같은 구성에 의하면, 풉 본체(20)와 풉 커버(30)의 세정시, 외부 세정유체 분사부(640-1)는 회전하는 풉 본체(20)의 외측면에 근접한 위치에서 풉 본체(20)가 회전하는 방향과 대향되는 방향으로 세정유체를 분사하게 되므로, 풉 본체(20)의 세정 효율을 향상시킬 수 있다.According to this configuration, when the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 are cleaned, the external cleaning fluid spraying part 640-1 is positioned close to the outer surface of the rotating FOOP body 20. ) is to spray the cleaning fluid in a direction opposite to the rotating direction, so the cleaning efficiency of the FOUP body 20 can be improved.

일실시예로, 상기 외부 세정유체 분사부(640-1)를 통해 분사되는 세정유체는 핫 디아이워터(Hot deionized water)이고, 상기 내부 세정유체 분사부(640-2)를 통해 분사되는 세정유체는 스팀(Stean)일 수 있다. 그리고, 상기 핫 디아이워터와 스팀에는 압축건조공기(CDA)가 혼합되어 공급될 수 있다. In one embodiment, the cleaning fluid sprayed through the external cleaning fluid spraying unit 640-1 is hot deionized water, and the cleaning fluid sprayed through the internal cleaning fluid spraying unit 640-2. may be Steam. In addition, compressed dry air (CDA) may be mixed and supplied to the hot D-water and steam.

이와 같이 외부 세정유체 분사부(640-1)에는 핫 디아이워터와 압축건조공기의 혼합 유체를 공급함으로써 고온의 기포화 및 미립자화된 물 입자가 풉 본체(20)의 외측면과 풉 커버(30)에 세밀하게 침투하여 세정력을 높이고 건조 시간을 단축함과 아울러 분사되는 압력을 높여 세정 효율을 향상시킬 수 있다. As described above, by supplying a mixed fluid of hot DI water and compressed dry air to the external cleaning fluid injection unit 640-1, high-temperature bubbled and fine-grained water particles are removed from the outer surface of the FOUP body 20 and the FOOP cover 30. ) to increase cleaning power, shorten drying time, and increase spraying pressure to improve cleaning efficiency.

또한, 내부 세정유체 분사부(640-2)에는 스팀과 압축건조공기의 혼합 유체를 공급함으로써 핫 디아이워터에 비하여 더욱 미립자화된 스팀에 의해 풉 본체(20) 내측면 전체 영역에 걸쳐서 사각지대 없이 더욱 세밀하게 침투하여 세정력을 한층 더 향상시킬 수 있다. In addition, by supplying a mixed fluid of steam and compressed dry air to the internal cleaning fluid injection unit 640-2, the steam is more fine-grained compared to hot D.I water, and there is no blind spot over the entire inner surface of the FOUP body 20. By penetrating more precisely, the cleaning power can be further improved.

한편, 상기 세정 챔버(600)에는, 세정 완료된 상기 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 건조하기 위한 압축건조공기를 분사하는 에어 공급부(650)가 구비된다.On the other hand, the cleaning chamber 600 is provided with an air supply unit 650 for spraying compressed dry air for drying the cleaned FOUP body 20 and the FOOP cover 30 .

상기 에어 공급부(650)는, 풉 본체(20)의 외측면에 압축건조공기를 분사하는 외부 에어 공급부(650-1)와, 상기 풉 본체(20)의 내측면에 압축건조공기를 분사하는 내부 에어 공급부(650-2)를 포함하여 구성된다.The air supply unit 650 includes an external air supply unit 650-1 that sprays compressed dry air to the outer surface of the FOUP body 20, and an internal air supply unit 650-1 that injects compressed dry air to the inner surface of the FOUP body 20. It is configured to include an air supply unit (650-2).

상기 외부 에어 공급부(650-1)에는, 전술한 외부 세정유체 분사부(640-1)의 구성과 유사한 구성으로서, 압축건조공기를 분사하는 복수의 노즐이 상하로 이격되어 형성되되, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체(20)의 외측면에 근접하게 위치하도록 각각의 길이와 분사각이 상이하게 형성된다. 또한, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체(20)가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 압축건조공기를 분사하도록 경사지게 형성된다. 상기 노즐이 경사진 각도는 노즐과 풉 본체(20)의 중심을 연결하는 선을 기준으로 하여 30°~ 40°범위의 경사를 갖도록 형성될 수 있다.The external air supply unit 650-1 has a configuration similar to that of the external cleaning fluid injection unit 640-1 described above, and a plurality of nozzles for spraying compressed dry air are formed to be vertically spaced apart from each other, The nozzles are formed to have different lengths and different injection angles so as to be located close to the outer surface of the FOUP body 20 . In addition, the plurality of nozzles are inclined to spray compressed dry air in a direction opposite to the direction in which the FOUP body 20 rotates. The angle at which the nozzle is inclined may be formed to have an inclination in the range of 30° to 40° based on a line connecting the nozzle and the center of the FOUP body 20 .

이와 같은 구성에 의하면, 풉 본체(20)의 건조시 회전하는 풉 본체(20)의 외측면에 근접한 위치에서 풉 본체(20)가 회전되는 방향과 대향되는 방향으로 압축건조공기를 분사하게 되므로, 풉 본체(20)와 풉 커버(30)의 건조 효율을 향상시킬 수 있다.According to this configuration, when the FOOP body 20 is dried, compressed dry air is sprayed in a direction opposite to the direction in which the FOUP body 20 rotates at a position close to the outer surface of the rotating FOOP body 20, The drying efficiency of the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 can be improved.

한편, 상기 에어 공급부(650)는, 세정 챔버(600) 내부에서 상기 풉 본체(20)와 상기 풉 커버(30) 사이에 위치하며 실린더(651)의 구동에 의해 전후진 가능하도록 구비되어 세정 완료된 풉 본체(20)와 풉 커버(30)에 압축건조공기를 분사하는 상부 에어 공급부(650-3)를 더 포함할 수 있다. 상기 상부 에어 공급부(650-3)를 전후진 가능하도록 구성함으로써, 도 4에 도시된 바와 같이 개구부가 아래를 향하는 방향으로 안착된 풉 본체(20)의 상면에 고여있는 수분을 효과적으로 건조시켜 제거할 수 있으며, 풉 커버(30)의 전체 영역에 잔류하는 수분을 효과적으로 건조시켜 제거할 수 있다.Meanwhile, the air supply unit 650 is located between the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 inside the cleaning chamber 600 and is provided to move forward and backward by driving the cylinder 651 to complete cleaning. An upper air supply unit 650-3 for spraying compressed dry air to the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 may be further included. By configuring the upper air supply unit 650-3 to move forward and backward, as shown in FIG. 4, the moisture accumulated on the upper surface of the FOUP body 20 seated in the downward direction can be effectively dried and removed. Also, moisture remaining in the entire area of the FOUP cover 30 may be effectively dried and removed.

한편, 도 4 내지 도 8을 참조하면, 상기 풉 본체(20)에는 풉 본체(20)의 내부를 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐(21)이 구비되고, 상기 세정 챔버(600)에는 풉 본체(20)의 세정 완료 후 상기 스노클 노즐(21) 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부(680)가 구비된다. Meanwhile, referring to FIGS. 4 to 8 , the FOOP body 20 is provided with a foamed porous snorkel nozzle 21 for purging the inside of the FOOP body 20 , and the cleaning chamber 600 includes the FOOP body 20 . After the cleaning of (20) is completed, a compressed dry air supply unit 680 for injecting compressed dry air into the snorkel nozzle 21 is provided.

상기 압축건조공기 공급부(680)는 스노클 노즐(21)의 일측단에 접속 또는 접속해제되도록 전후진 가능하게 구비된다. 따라서, 전술한 에어 공급부(650)에 의한 압축건조공기 분사에 의한 건조 과정에 의해 미처 건조되지 않고 스노클 노즐(21)에 잔류하는 수분은 상기 압축건조공기 공급부(680)에 의한 스노클 노즐(21) 내부로의 압축건조공기의 주입에 의해 재차 건조시키게 된다.The compressed dry air supply unit 680 is provided to be connected to or disconnected from one end of the snorkel nozzle 21 so as to be able to move forward and backward. Therefore, the moisture remaining in the snorkel nozzle 21 without being dried by the drying process by the compressed dry air injection by the air supply unit 650 described above is the snorkel nozzle 21 by the compressed dry air supply unit 680. It is dried again by injecting compressed drying air into the interior.

상기 풉 본체(20)의 일측면에는, 한 쌍으로 구비되는 스노클 노즐(21)의 단부가 각각 연결되는 제1포트(20a,20b)가 일측에 형성되고, 상기 풉 본체(20)의 내부와 연통하는 제2포트(20c,20d)가 타측에 형성되어 있다. First ports 20a and 20b to which the ends of the pair of snorkel nozzles 21 are respectively connected are formed on one side of the FOOP body 20 on one side, and the inside of the FOOP body 20 and The communicating second ports 20c and 20d are formed on the other side.

상기 제1포트(20a,20b)와 제2포트(20c,20d)는 기판 처리 공정에서 풉(10)에 기판이 수납되기 전 단계에서 풉(10)이 대기하는 스토커(Stocker)에서 풉(10) 내부를 건조하기 위해 압축건조공기가 유입 및 배기되는 연결포트로서 기능한다.The first ports 20a and 20b and the second ports 20c and 20d are connected to the FOUP 10 in the stocker where the FOUP 10 waits before the substrate is accommodated in the FOUP 10 in the substrate processing process. ) It functions as a connection port through which compressed dry air is introduced and exhausted to dry the inside.

상기 압축건조공기 공급부(680)는, 상기 제1포트(20a,20b)에 압축건조공기를 공급하는 제1노즐(682;682-1,682-2)과, 상기 제2포트(20c,20d)에 압축건조공기를 공급하는 제2노즐(684;684-1,684-2)을 포함한다. 상기 제1포트(20a,20b)와 제2포트(20c,20d)의 내측에는 각각 필터(22a,22b,22c,22d)가 구비되고, 풉 본체(20)의 세정 과정에서 세정유체가 흡수된 상기 필터(22a,22b,22c,22d)는 압축건조공기에 의해 신속하게 건조될 수 있다.The compressed dry air supply unit 680 is connected to the first nozzles 682; 682-1 and 682-2 for supplying compressed dry air to the first ports 20a and 20b, and to the second ports 20c and 20d. It includes a second nozzle (684; 684-1, 684-2) for supplying compressed dry air. Filters 22a, 22b, 22c, and 22d are provided inside the first port 20a, 20b and the second port 20c, 20d, respectively, and the cleaning fluid is absorbed during the cleaning process of the FOUP body 20 . The filters 22a, 22b, 22c, and 22d can be quickly dried by compressed dry air.

도 8을 참조하면, 상기 압축건조공기 공급부(680)는, 상기 제1노즐(682;682-1,682-2)에 압축건조공기를 공급하며 횡방향으로 구비된 제1공급관(681;681-1,681-2), 상기 제1공급관(681;681-1,681-2)에 연통되어 상기 제2노즐(684;684-1,684-2)에 압축건조공기를 공급하며 종방향으로 구비된 제2공급관(683;683-1,683-2), 및 상기 제1공급관(681;681-1,681-2)과 제2공급관(683;683-1,683-2)을 전진 또는 후진 이동시키는 전후진 실린더(682)를 포함한다. Referring to FIG. 8 , the compressed dry air supply unit 680 supplies compressed dry air to the first nozzles 682; 682-1,682-2, and a first supply pipe 681; 681-1, 681 provided in the transverse direction. -2), a second supply pipe 683 provided in the longitudinal direction while communicating with the first supply pipe 681; 681-1, 681-2 to supply compressed dry air to the second nozzle 684; 684-1,684-2 683-1,683-2), and a forward/backward cylinder 682 for moving the first supply pipe 681; 681-1,681-2 and the second supply pipe 683; 683-1,683-2 forward or backward. .

상기 스노클 노즐(21)은 풉 본체(20)의 내부에 양측으로 이격되어 복수로 구비되고, 상기 제1포트(20a,20b)와 제2포트(20c,20d)는 상기 풉 본체(20)의 일측면에 양측으로 이격되어 복수로 구비되며, 상기 제1노즐(682;682-1,682-2)을 구비한 제1공급관(681;681-1,681-2)과 상기 제2노즐(684;684-1,684-2)을 구비한 제2공급관(683;683-1,683-2)은 각각 양측으로 이격되어 복수로 구비될 수 있다.The snorkel nozzle 21 is provided in plurality at both sides spaced apart from each other inside the FOOP body 20 , and the first ports 20a and 20b and the second ports 20c and 20d are connected to the FOOP body 20 . A first supply pipe (681; 681-1, 681-2) and the second nozzle (684; 684) provided with a plurality of spaced apart from each other on one side of the first nozzle (682; 682-1, 682-2) 1,684-2), the second supply pipe 683; 683-1, 683-2 may be provided in plurality by being spaced apart from each other on both sides.

상기 복수의 제1공급관(681;681-1,681-2)은 제1공급관 지지부재(686)에 의해 지지되고, 상기 복수의 제2공급관(683;683-1,683-2)은 제2공급관 지지부재(687-1,687-2)에 의해 지지될 수 있다. 상기 제1공급관 지지부재(686)에는 이동블록(687)이 결합되며, 상기 이동블록(687)은 상기 전후진 실린더(685)에 연결되어 전후진 실린더(685)의 구동에 의해 전후진 이동된다. 상기 전후진 실린더(685)는 고정프레임(689) 상에 안착되어 고정될 수 있다.The plurality of first supply pipes 681; 681-1 and 681-2 are supported by a first supply pipe support member 686, and the plurality of second supply pipes 683; 683-1, 683-2 are supported by a second supply pipe support member. (687-1,687-2) can be supported. A moving block 687 is coupled to the first supply pipe support member 686 , and the moving block 687 is connected to the forward and backward cylinder 685 to move forward and backward by driving the forward and backward cylinder 685 . . The forward/backward cylinder 685 may be seated and fixed on the fixing frame 689 .

상기 제1노즐(682;682-1,682-2)과 제2노즐(684;684-1,684-2)에는 상기 제1포트(20a,20b)와 제2포트(20c,20d)가 형성된 상기 풉 본체(20)의 외측면에 밀착되어 기밀을 유지하기 위한 패드(682a,682b)가 결합될 수 있다. 일실시예로, 상기 패드(682a,682b)는 실리콘 재질로 이루어질 수 있다.The first nozzle 682; 682-1, 682-2 and the second nozzle 684; 684-1,684-2 are provided with the first port 20a, 20b and the second port 20c, 20d of the FOOP body. Pads 682a and 682b for maintaining airtightness by being in close contact with the outer surface of the 20 may be coupled. In one embodiment, the pads 682a and 682b may be made of a silicon material.

도 9를 참조하면, 상기 세정 챔버(600)에는 상기 압축건조공기 공급부(680)에서 분사되는 상기 압축건조공기에 의해 풉 본체(20)가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 상기 풉 본체(20)의 일측면을 지지하기 위한 스토퍼(690)가 구비된다.Referring to FIG. 9 , in the cleaning chamber 600 , one part of the FOUP body 20 is provided so that the FOUP body 20 is not pushed to one side by the compressed dry air sprayed from the compressed dry air supply unit 680 . A stopper 690 for supporting the side is provided.

상기 스토퍼(690)는, 양방향으로 회전 구동되는 로터리 실린더(691)와, 상기 로터리 실린더(691)의 실린더 구동축(692-1,692-2)에 연결된 샤프트(693;693-1,693-2)를 포함하여 구성될 수 있다.The stopper 690 includes a rotary cylinder 691 driven to rotate in both directions, and shafts 693; 693-1, 693-2 connected to the cylinder drive shafts 692-1 and 692-2 of the rotary cylinder 691; can be configured.

상기 로터리 실린더(691)의 일방향 회전 구동에 의해 상기 샤프트(693;693-1,693-2)가 일방향으로 회전되면, 상기 샤프트(693;693-1,693-2)의 단부가 상기 풉 본체(20)의 일측면에 접촉되어 상기 풉 본체(20)를 지지하게 되고, 상기 로터리 실리더(691)의 반대방향 회전 구동에 의해 상기 샤프트(693;693-1,693-2)가 반대방향으로 회전되면, 상기 샤프트(693;693-1,693-2)의 단부가 상기 풉 본체(20)의 일측면에서 이격되어 풉 본체(20)를 지지하는 상태가 해제된다.When the shaft (693; 693-1, 693-2) is rotated in one direction by the one-way rotational driving of the rotary cylinder (691), the end of the shaft (693; 693-1, 693-2) is the FOUP body (20). When the shaft (693; 693-1, 693-2) is rotated in the opposite direction by the rotational driving of the rotary cylinder (691) in the opposite direction, the shaft is brought into contact with one side to support the FOUP body (20). The ends of (693; 693-1, 693-2) are spaced apart from one side of the FOOP body 20 to release the state of supporting the FOOP body 20 .

상기 실린더 구동축(692-1,692-2)은 상기 로터리 실린더(691)의 양측으로 돌출되도록 구비되고, 상기 샤프트(693;693-1,693-2)는 상기 양측으로 돌출된 실린더 구동축(692-1,692-2)에 각각 연결된 한 쌍의 샤프트(693;693-1,693-2)로 이루어질 수 있다. 상기 한 쌍의 샤프트(693;693-1,693-2)는 샤프트 지지부재(694)에 의해 지지될 수 있다. The cylinder drive shafts 692-1 and 692-2 are provided to protrude from both sides of the rotary cylinder 691, and the shafts 693; 693-1 and 693-2 are provided to protrude from both sides of the cylinder drive shafts 692-1 and 692-2. ) may be formed of a pair of shafts 693; 693-1, 693-2 respectively connected to. The pair of shafts 693 ; 693 - 1 and 693 - 2 may be supported by a shaft support member 694 .

상기 풉 본체(20)의 일측면에 접촉 시 마찰에 의한 마모를 최소화 하기 위한 구성으로, 샤프트(693;693-1,693-2)의 단부는 곡면 형상으로 이루어지고, 상기 샤프트(693;693-1,693-2)의 단부의 외측면은 내마모성 코팅 처리될 수 있다. 일실시예로, 상기 내마모성 코팅은 테프론(PTFE; Poly-tetrafluoroethylene) 재질로 이루어질 수 있다.It is a configuration to minimize wear due to friction when it comes into contact with one side of the FOUP body 20, and the ends of the shafts 693; 693-1 and 693-2 have a curved shape, and the shafts 693; 693-1,693 The outer surface of the end of -2) may be treated with an abrasion-resistant coating. In one embodiment, the wear-resistant coating may be made of a Teflon (PTFE; Poly-tetrafluoroethylene) material.

상기 세정유체 공급부(640)에 의한 세정 및 에어 공급부(650)에 의한 건조시에는 모터(670)의 구동에 의해 안착부(611)와 그 상면에 안착된 풉 본체(20)가 회전되고, 상기 압축건조공기 공급부(680)와 스토퍼(690)는 풉 본체(20)의 외측면과 이격되어 위치한다. 그리고, 상기 압축건조공기 공급부(680)에 의한 스노클 노즐(21)의 건조시에는 상기 모터(670)의 구동이 정지되어 안착부(611)와 그 상면에 안착된 풉 본체(20)는 회전 없이 제자리에 정지된 상태로 위치하고, 상기 압축건조공기 공급부(680)와 스토퍼(690)는 풉 본체(20)의 외측면에 밀착되도록 위치한다.During cleaning by the cleaning fluid supply unit 640 and drying by the air supply unit 650, the seating part 611 and the FOUP body 20 seated on the upper surface are rotated by driving the motor 670, and the The compressed dry air supply unit 680 and the stopper 690 are positioned to be spaced apart from the outer surface of the FOUP body 20 . In addition, when the snorkel nozzle 21 is dried by the compressed dry air supply unit 680, the driving of the motor 670 is stopped so that the mounting unit 611 and the FOUP body 20 seated on the upper surface thereof are rotated without rotation. It is positioned in a stationary state, and the compressed dry air supply unit 680 and the stopper 690 are positioned so as to be in close contact with the outer surface of the FOUP body 20 .

한편, 상기 세정 챔버(600)에는, 세정 완료된 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 건조하기 위한 자외선을 조사하는 자외선 램프(660)가 구비된다. 상기 자외선 램프(660)는, 상기 풉 본체(20)의 외측면에 자외선을 조사하는 외부 자외선 램프(660-1)와, 상기 풉 본체(20)의 내측면에 자외선을 조사하는 내부 자외선 램프(660-2)를 포함하여 구성된다.Meanwhile, in the cleaning chamber 600 , an ultraviolet lamp 660 irradiating ultraviolet rays for drying the cleaned FOOP body 20 and the FOOP cover 30 is provided. The ultraviolet lamp 660 includes an external ultraviolet lamp 660-1 that irradiates ultraviolet rays to the outer surface of the FOOP body 20, and an internal ultraviolet lamp 660-1 that irradiates ultraviolet rays to the inner surface of the FOOP body 20. 660-2) is included.

도 10 내지 도 15를 참조하면, 스노클 노즐(21)의 건조 시, 먼저 도 12와 같이 스토퍼(690)의 로터리 실린더(691)의 일방향 구동에 의해 샤프트(693)가 일방향으로 회전되어 풉 본체(20)의 일측면을 지지한다. 다음으로, 도 13과 같이 압축건조공기 공급부(680)의 전후진 실린더(685)의 전진 구동에 의해 제1노즐(682)과 제2노즐(684)이 전진이동되어 각각 제1포트(10a,10b)와 제2포트(10c,10d)에 접속되고, 도 14와 같이 압축건조공기(CDA)를 공급한다. 10 to 15, when the snorkel nozzle 21 is dried, the shaft 693 is rotated in one direction by the one-way drive of the rotary cylinder 691 of the stopper 690 as shown in FIG. 20) supports one side. Next, as shown in FIG. 13 , the first nozzle 682 and the second nozzle 684 are moved forward by the forward driving of the forward and backward cylinder 685 of the compressed dry air supply unit 680, so that the first port 10a, 10b) and the second ports 10c and 10d, and supplies compressed dry air (CDA) as shown in FIG. 14 .

상기 스노클 노즐(21)의 건조 공정이 완료되면, 도 15와 같이 압축건조공기 공급부(680)의 전후진 실린더(685)의 후진 구동에 의해 제1노즐(682)과 제2노즐(684)이 후진이동되어 각각 제1포트(10a,10b)와 제2포트(10c,10d)로부터 접속이 해제되고, 스토퍼(690)의 로터리 실린더(691)의 반대방향 구동에 의해 샤프트(693)가 반대방향으로 회전되어 풉 본체(20)의 일측면을 지지하던 상태를 해제한다.When the drying process of the snorkel nozzle 21 is completed, as shown in FIG. 15 , the first nozzle 682 and the second nozzle 684 are moved by the reverse driving of the forward and backward cylinder 685 of the compressed dry air supply unit 680. It is moved backward and the connection is released from the first ports 10a and 10b and the second ports 10c and 10d, respectively, and the shaft 693 is driven in the opposite direction by the rotary cylinder 691 of the stopper 690 in the opposite direction. is rotated to release the state that supported one side of the loom body 20 .

상기와 같이 압축건조공기 공급부(680)를 전후진시켜 제1노즐(682;682-1,682-2)과 제2노즐(684;684-1,684-2)을 풉 본체(20)의 일측면에 형성된 제1포트(10a,10b)와 제2포트(10c,10d)에 동시에 접속시켜 압축건조공기(CDA)를 공급함으로써 스노클 노즐(21)의 건조 및 풉 본체(20) 내부의 건조 효율을 향상시킬 수 있다.As described above, the compressed dry air supply unit 680 is moved forward and backward to unscrew the first nozzle 682; 682-1,682-2 and the second nozzle 684;684-1,684-2 formed on one side of the main body 20. The first port (10a, 10b) and the second port (10c, 10d) are connected at the same time to supply compressed dry air (CDA) to improve the drying efficiency of the drying and unpacking of the snorkel nozzle 21 and the drying efficiency inside the body 20 can

또한, 스노클 노즐(21)의 건조를 위한 압축건조공기 또는 질소가스의 공급에 따른 압력에 의해 풉 본체(20)가 일측으로 밀려 이동되는 것을 방지하도록 풉 본체(20)의 일측면을 지지하기 위해 스토퍼(690)의 샤프트(693;693-1,693-2)가 회전 구동되도록 구성함으로써, 풉 본체(20)가 안정적으로 고정 지지된 상태에서 스노클 노즐(21)의 건조 작업을 원활하게 수행할 수 있다.In addition, in order to support one side of the FOOP body 20 to prevent the FOOP body 20 from being pushed to one side by the pressure according to the supply of compressed dry air or nitrogen gas for drying the snorkel nozzle 21, By configuring the shafts 693; 693-1 and 693-2 of the stopper 690 to be rotationally driven, the drying operation of the snorkel nozzle 21 can be smoothly performed while the FOUP body 20 is stably fixed and supported. .

상기 세정 챔버(600)에서 세정 및 건조가 완료되면, 승강구동부(631)의 구동에 의해 세정 챔버 커버(620)와 이에 지지된 풉 커버(30)가 상승하고, 이와 동시에 지지부(633)에 의해 세정 챔버 커버(620)와 연결된 승강부(634)가 상승 이동하면서 안착부(611) 상에 안착되어 있던 풉 본체(20)를 인계받아 세정 챔버 본체(610) 상부로 이동하여 반출 가능한 상태로 위치하게 된다. When cleaning and drying are completed in the cleaning chamber 600 , the cleaning chamber cover 620 and the FOUP cover 30 supported thereon rise by the driving of the lift driving unit 631 , and at the same time, by the support 633 . As the lifting unit 634 connected to the cleaning chamber cover 620 moves upward, it takes over the FOUP body 20 that has been seated on the seating unit 611 and moves to the upper portion of the cleaning chamber body 610 and is positioned so that it can be taken out. will do

상기와 같이 세정 챔버 커버(620)와 승강부(634)가 동일한 승강구동부(631)의 구동에 의해 함께 승강되도록 구성함으로써, 세정 챔버(600)에 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 반입 및 반출하는 작업을 간편하고 신속 원활하게 수행할 수 있다. As described above, by configuring the cleaning chamber cover 620 and the lifting unit 634 to be raised and lowered together by the driving of the same lifting driving unit 631 , the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 are installed in the cleaning chamber 600 . Import and export operations can be performed easily, quickly and smoothly.

상기 풉 본체(20)가 세정 챔버 본체(610) 상부로 이동하면, 풉 커버(30)와 풉 본체(20)는 로봇(500)에 의해 진공 챔버(700)로 반송된다.When the FOOP body 20 moves to the upper portion of the cleaning chamber body 610 , the FOOP cover 30 and the FOOP body 20 are transferred to the vacuum chamber 700 by the robot 500 .

도 16을 참조하면, 상기 진공 챔버(700)는, 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 분리된 상태로 수용되는 진공 챔버 본체(710)를 포함한다.Referring to FIG. 16 , the vacuum chamber 700 includes a vacuum chamber body 710 in which the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 are accommodated in a separated state.

상기 풉 본체(20)는 진공 챔버 본체(710) 내의 하부에 구비된 안착부(710a) 상에 안착되고, 풉 커버(30)는 진공 챔버 본체(710) 내의 상부에 구비된 지지부(711) 상에 안착된다. The FOOP body 20 is seated on a seating part 710a provided at the lower part of the vacuum chamber body 710 , and the FOOP cover 30 is mounted on the support part 711 provided on the upper part of the vacuum chamber body 710 . is seated on

상기 진공 챔버(700)에는, 진공 챔버(700) 내부에 질소가스를 공급하는 질소가스 공급라인(713)과, 상기 진공 챔버(700) 내부의 유체를 진공에 의해 흡입하여 외부로 벤트하기 위해 진공라인(712)이 연결된다. 상기 질소가스 공급라인(713)을 통해 공급되는 질소가스에 의해 풉 본체(20)와 풉 커버(30)에 잔류하는 수분을 포함하는 이물질은 풉 본체(20)와 풉 커버(30)로부터 분리되며 진공라인(712)을 통해 흡입되어 외부로 벤트된다.In the vacuum chamber 700, a nitrogen gas supply line 713 for supplying nitrogen gas to the inside of the vacuum chamber 700, and a vacuum to suck the fluid inside the vacuum chamber 700 by vacuum and vent to the outside Line 712 is connected. By the nitrogen gas supplied through the nitrogen gas supply line 713, foreign substances including moisture remaining in the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 are separated from the FOOP body 20 and the FOOP cover 30. It is sucked through the vacuum line 712 and vented to the outside.

한편, 상기 진공 챔버(700)에는 풉 본체(20) 내부에 구비된 스노클 노즐(21) 내로 질소가스를 주입하는 질소가스 공급부(750)가 구비된다. 따라서, 전술한 세정 챔버(600)의 압축건조공기 공급부(680)에 의해 미처 건조되지 않고 스노클 노즐(21)에 잔류하는 수분은 진공 챔버(700)의 질소가스 공급부(750)를 통해 주입되는 질소가스에 의해 건조되어 제거될 수 있다.Meanwhile, the vacuum chamber 700 is provided with a nitrogen gas supply unit 750 for injecting nitrogen gas into the snorkel nozzle 21 provided in the FOUP body 20 . Accordingly, the moisture remaining in the snorkel nozzle 21 without being dried by the compressed dry air supply unit 680 of the cleaning chamber 600 described above is nitrogen injected through the nitrogen gas supply unit 750 of the vacuum chamber 700 . It can be removed by drying with gas.

상기 질소가스 공급부(750)는 스노클 노즐(21)의 일측단에 접속 또는 접속해제되도록 전후진 가능하게 구비된다. The nitrogen gas supply unit 750 is provided so as to be connected to or disconnected from one end of the snorkel nozzle 21 in a forward and backward manner.

상기 질소가스 공급부(750)는 전술한 세정 챔버(600)에 구비된 압축건조공기 공급부(680)와 동일한 구성으로 이루어질 수 있으며, 제1질소가스 공급관(721), 제1질소가스 노즐(722), 제2질소가스 공급관723), 제2질소가스 노즐(724), 제2전후진 실린더(725), 제1질소가스 공급관 지지부재(726), 제2이동블록(727), 제2고정프레임(728), 제2질소가스 공급관 지지부재(729)을 포함하여 구성될 수 있다.The nitrogen gas supply unit 750 may have the same configuration as the compressed dry air supply unit 680 provided in the cleaning chamber 600 described above, and includes a first nitrogen gas supply pipe 721 and a first nitrogen gas nozzle 722 . , a second nitrogen gas supply pipe 723 , a second nitrogen gas nozzle 724 , a second forward and backward cylinder 725 , a first nitrogen gas supply pipe support member 726 , a second moving block 727 , a second fixed frame 728 , it may be configured to include a second nitrogen gas supply pipe support member 729 .

또한, 상기 진공 챔버(700)에는 상기 질소가스 공급부(750)에서 분사되는 질소가스에 의해 풉 본체(20)가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 풉 본체(20)의 일측면을 지지하기 위한 제2스토퍼(730)가 구비된다.In addition, the vacuum chamber 700 has a second stopper for supporting one side of the FOOP body 20 so that the FOOP body 20 is not pushed to one side by the nitrogen gas injected from the nitrogen gas supply unit 750 . 730 is provided.

상기 제2스토퍼(730)는 전술한 세정 챔버(600)에 구비된 스토퍼(690)와 동일한 구성으로 이루어질 수 있으며, 제2로터리 실린더(731), 제2실린더 구동축(732), 제2샤프트(733)을 포함하고, 상기 제2샤프트(733)의 단부에는 내마모성 코팅(733a) 처리된 것으로 구성될 수 있다.The second stopper 730 may have the same configuration as the stopper 690 provided in the cleaning chamber 600 described above, and include a second rotary cylinder 731 , a second cylinder drive shaft 732 , and a second shaft ( 733), and an end of the second shaft 733 may be configured to be treated with a wear-resistant coating 733a.

상기 진공 챔버(700)에서 수분과 이물질의 벤트 및 스노클 노즐(21)의 건조가 완료되면, 풉 본체(20)와 풉 커버(30)는 로봇(500)에 의해 상기 대기부(300)로 반송된다. 이 경우 상기 대기부(300)에 다른 풉이 위치하고 있는 경우라면, 상기 로봇(500)은 풉 본체(20)와 풉 커버(30)를 버퍼부(800)로 반송시켜 일시적으로 보관되도록 할 수 있다. When the vent of moisture and foreign substances in the vacuum chamber 700 and the drying of the snorkel nozzle 21 are completed, the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 are transported to the standby unit 300 by the robot 500 . do. In this case, if another FOOP is located in the standby unit 300 , the robot 500 may transfer the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 to the buffer unit 800 to be temporarily stored. .

그 후, 상기 대기부(300)에 먼저 있던 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 로딩 및 언로딩부(200)를 통해 언로딩되면, 상기 버퍼부(800)에 일시 보관되어 있던 풉 커버(30)와 풉 본체(20)를 대기부(300)의 대기판(300) 상에 순차로 반송하여 풉 커버(30) 상에 풉 본체(20)가 잠금 가능한 상태가 되도록 안착시킨다.After that, when the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 that were previously in the waiting unit 300 are unloaded through the loading and unloading unit 200 , the FOOP temporarily stored in the buffer unit 800 . The cover 30 and the FOOP body 20 are sequentially transferred onto the standby plate 300 of the standby unit 300 to be seated on the FOOP cover 30 so that the FOOP body 20 is in a lockable state.

그 후, 상기 대기부(300)에 구비된 잠금 및 잠금해제수단에 의해 록커를 잠금되도록 하여 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 일체로 결합되도록 한다.Thereafter, the locker is locked by the locking and unlocking means provided in the standby unit 300 so that the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 are integrally coupled.

상기 록커의 잠금에 의해 풉 본체(20)와 풉 커버(30)가 결합된 풉(10)은, 로봇(500)에 의해 풉 커버(30)가 일측을 향하도록 뉘어지도록 방향이 전환된 후에 대기판(310) 상에 다시 안착된다. 그리고, 대기부(300)에 구비된 승강실린더(320)가 상승하며 풉(10)을 대기판(310)의 상측으로 들어올리게 되면, 이송수단(400)의 구동에 의해 승강실린더(320)와 이에 지지된 풉(10)은 로딩 및 언로딩부(200)의 지지판(210) 상측으로 이송되고, 승강실린더(320)의 하강 이동에 의해 승강실린더(320)에 지지되어 있던 풉(10)은 지지판(210) 상에 인계된 후에 언로딩된다.The FOOP 10, in which the FOOP body 20 and the FOOP cover 30 are combined by the locking of the locker, is turned by the robot 500 so that the FOOP cover 30 is laid down to one side, and then waits It is seated again on the plate 310 . Then, when the lifting cylinder 320 provided in the standby unit 300 rises and the FOUP 10 is lifted to the upper side of the standby plate 310, the lifting cylinder 320 and the The FOUP 10 supported by this is transferred to the upper side of the support plate 210 of the loading and unloading unit 200, and the FOUP 10 supported by the lifting cylinder 320 by the lowering movement of the lifting cylinder 320 is It is unloaded after being handed over on the support plate 210 .

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구되는 본 발명의 기술적 사상에 벗어남 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 자명한 변형실시가 가능하며, 이러한 변형실시는 본 발명의 범위에 속한다.As described above, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and obvious modifications can be made by those of ordinary skill in the art to which the invention pertains without departing from the technical spirit of the invention as claimed in the claims. It is possible, and such modifications fall within the scope of the present invention.

1 : 풉 세정 장치 10 : 풉
20 : 풉 본체 20a,20b : 제1포트
20c,20d : 제2포트 22a,22b,22c,22d : 필터
21 : 스노클 노즐 30 : 풉 커버
100 : 공정실 200 : 로딩 및 언로딩부
210 : 지지판 300 : 대기부
310 : 대기판 320 : 승강실린더
400 : 이송수단 500 : 로봇
510 : 그리퍼 600 : 세정 챔버
610 : 세정 챔버 본체 611 : 안착부
620 : 세정 챔버 커버 621 : 풉 커버 지지부
622 : 클램프 623 : 모터
630 : 승강수단 631 : 승강구동부
632 : 연결부재 633 : 지지부
634 : 승강부 634a : 관통구
640 : 세정유체 분사부 640-1 : 외부 세정유체 분사부
640-2 : 내부 세정유체 분사부 650 : 에어 공급부
650-1 : 외부 에어 공급부 650-2 : 내부 에어 공급부
650-3 : 상부 에어 공급부 651 : 실린더
660 : 자외선 램프 660-1 : 외부 자외선 램프
660-2 : 내부 자외선 램프 670 : 회전구동부
680 : 압축건조공기 공급부 681,681-1,681-2 : 제1공급관
682,682-1,682-2 : 제1노즐 683,683-1,683-2 : 제2공급관
684,684-1,684-2 : 제2노즐 685 : 전후진 실린더
686 : 제1공급관 지지부재 687 : 이동블록
688 : 고정프레임 689,689-1,689-2 : 제2공급관 지지부재
690 : 스토퍼 691 : 로터리 실린더
692-1,692-2 : 실린더 구동축 693,693-1,693-2 : 샤프트
693a : 내마모성 코팅 694 : 샤프트 지지부재
695 : 고정부재 700 : 진공 챔버
710 : 진공 챔버 본체 710a : 안착부
711 : 지지부 712 : 진공라인
713 : 질소가스 공급라인 720 : 질소가스 공급부
721 : 제1질소가스 공급관 722 : 제1질소가스 노즐
723 : 제2질소가스 공급관 724 : 제2질소가스 노즐
725 : 제2전후진 실린더 726 : 제1질소가스 공급관 지지부재
727 : 제2이동블록 728 : 제2고정프레임
729 : 제2질소가스 공급관 지지부재 730 : 제2스토퍼
731 : 제2로터리 실린더 732 : 제2실린더 구동축
733 : 제2샤프트 733a : 제2내마모성 코팅
800 : 버퍼부 910 : 유틸리티
920 : 스팀 유닛1: FOOP cleaning device 10: FOOP
20: Loop body 20a, 20b: 1st port
20c, 20d: second port 22a, 22b, 22c, 22d: filter
21: snorkel nozzle 30: poop cover
100: process room 200: loading and unloading unit
210: support plate 300: waiting portion
310: waiting plate 320: elevating cylinder
400: transport means 500: robot
510: gripper 600: cleaning chamber
610: cleaning chamber body 611: seating part
620: cleaning chamber cover 621: FOOP cover support part
622: clamp 623: motor
630: elevating means 631: elevating drive
632: connecting member 633: support
634: elevating part 634a: through hole
640: cleaning fluid injection unit 640-1: external cleaning fluid injection unit
640-2: internal cleaning fluid injection part 650: air supply part
650-1: external air supply unit 650-2: internal air supply unit
650-3: upper air supply 651: cylinder
660: ultraviolet lamp 660-1: external ultraviolet lamp
660-2: internal ultraviolet lamp 670: rotary drive part
680: compressed dry air supply unit 681,681-1,681-2: first supply pipe
682,682-1,682-2: 1st nozzle 683,683-1,683-2: 2nd supply pipe
684,684-1,684-2: second nozzle 685: forward and backward cylinder
686: first supply pipe support member 687: moving block
688: fixed frame 689,689-1,689-2: second supply pipe support member
690: stopper 691: rotary cylinder
692-1,692-2: cylinder drive shaft 693,693-1,693-2: shaft
693a: wear-resistant coating 694: shaft support member
695: fixing member 700: vacuum chamber
710: vacuum chamber body 710a: seating part
711: support 712: vacuum line
713: nitrogen gas supply line 720: nitrogen gas supply part
721: first nitrogen gas supply pipe 722: first nitrogen gas nozzle
723: second nitrogen gas supply pipe 724: second nitrogen gas nozzle
725: second forward and backward cylinder 726: first nitrogen gas supply pipe support member
727: second moving block 728: second fixed frame
729: second nitrogen gas supply pipe support member 730: second stopper
731: second rotary cylinder 732: second cylinder drive shaft
733: second shaft 733a: second wear-resistant coating
800: buffer unit 910: utility
920: steam unit

Claims (26)

풉 본체와 풉 커버로 이루어진 풉을 세정하기 위한 풉 세정 장치에 있어서,
상기 풉 본체에는 상기 풉 본체의 내부를 퍼지하기 위한 발포 다공질의 스노클 노즐이 구비되고,
상기 풉 본체와 풉 커버를 세정유체를 이용하여 세정하는 세정 챔버를 포함하되, 상기 세정 챔버에는 상기 풉 본체의 세정 완료 후 상기 스노클 노즐 내로 압축건조공기를 주입하는 압축건조공기 공급부가 구비되며,
상기 세정 챔버에는 상기 압축건조공기 공급부에서 분사되는 상기 압축건조공기에 의해 상기 풉 본체가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 상기 풉 본체의 일측면을 지지하기 위한 샤프트가 회전 구동되도록 구비된 스토퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.A FOOP cleaning device for cleaning FOOP comprising a FOOP body and a FOOP cover, comprising:
The FOOP body is provided with a foamed porous snorkel nozzle for purging the inside of the FOOP body;
a cleaning chamber for cleaning the FOOP body and the FOOP cover using a cleaning fluid, wherein the cleaning chamber is provided with a compressed dry air supply unit for injecting compressed dry air into the snorkel nozzle after the cleaning of the FOOP body is completed;
The cleaning chamber includes a stopper provided so that a shaft for supporting one side of the FOOP body is rotationally driven so that the FOUP body is not pushed to one side by the compressed dry air sprayed from the compressed dry air supply unit. Foop cleaning device, characterized. 제1항에 있어서,
상기 스토퍼는, 양방향으로 회전 구동되는 로터리 실린더와, 상기 로터리 실린더의 실린더 구동축에 연결된 상기 샤프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
The stopper may include a rotary cylinder rotatably driven in both directions, and the shaft connected to a cylinder drive shaft of the rotary cylinder. 제2항에 있어서,
상기 로터리 실린더의 일방향 회전 구동에 의해 상기 샤프트가 일방향으로 회전되면, 상기 샤프트의 단부가 상기 풉 본체의 일측면에 접촉되어 상기 풉 본체를 지지하게 되고,
상기 로터리 실리더의 반대방향 회전 구동에 의해 상기 샤프트가 반대방향으로 회전되면, 상기 샤프트의 단부가 상기 풉 본체의 일측면에서 이격되어 상기 풉 본체를 지지하는 상태가 해제되는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.3. The method of claim 2,
When the shaft is rotated in one direction by the one-way rotational driving of the rotary cylinder, the end of the shaft is in contact with one side of the FOOP body to support the FOOP body;
FOOP cleaning, characterized in that when the shaft is rotated in the opposite direction by driving the rotary cylinder in the opposite direction, the end of the shaft is spaced apart from one side of the FOOP body to release the state of supporting the FOOP body Device. 제2항에 있어서,
상기 실린더 구동축은 상기 로터리 실린더의 양측으로 돌출되도록 구비되고,
상기 샤프트는 상기 양측으로 돌출된 실린더 구동축에 각각 연결된 한 쌍의 샤프트로 이루어진 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.3. The method of claim 2,
The cylinder drive shaft is provided to protrude to both sides of the rotary cylinder,
The shaft is a poop cleaning device, characterized in that consisting of a pair of shafts respectively connected to the cylinder drive shaft protruding from both sides. 제4항에 있어서,
상기 한 쌍의 샤프트를 연결하며 지지하는 샤프트 지지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.5. The method of claim 4,
The FOUP cleaning apparatus further comprising a shaft support member for connecting and supporting the pair of shafts. 제1항에 있어서,
상기 풉 본체의 일측면에 접촉되는 상기 샤프트의 단부는 곡면 형상으로 이루어진 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
The FOOP cleaning device, characterized in that the end of the shaft in contact with one side of the FOOP body has a curved shape. 제1항에 있어서,
상기 풉 본체의 일측면에 접촉되는 상기 샤프트의 단부 외측면은 내마모성 코팅된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
The FOOP cleaning apparatus, characterized in that the outer surface of the end of the shaft in contact with one side of the FOOP body is coated with abrasion resistance. 제7항에 있어서,
상기 내마모성 코팅은 테프론 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.8. The method of claim 7,
The FOUP cleaning device, characterized in that the wear-resistant coating is made of a Teflon material. 제1항에 있어서,
상기 압축건조공기 공급부는 상기 스노클 노즐의 일측단에 접속 또는 접속해제되도록 전후진 가능하게 구비된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
The compressed dry air supply unit is a FOUP cleaning apparatus, characterized in that it is provided so as to be connected to or disconnected from one end of the snorkel nozzle forward and backward. 제1항에 있어서,
상기 세정 챔버는, 상기 풉 본체의 외측면과 상기 풉 커버에 세정유체를 분사하는 외부 세정유체 분사부와, 상기 풉 본체의 내측면에 세정유체를 분사하는 내부 세정유체 분사부를 구비한 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
The cleaning chamber includes an external cleaning fluid spraying unit that sprays a cleaning fluid to the outer surface of the FOOP body and the FOOP cover, and an internal cleaning fluid spraying unit that sprays the cleaning fluid to the inner surface of the FOOP body. Foop cleaning device. 제10항에 있어서,
상기 외부 세정유체 분사부에는 세정유체를 분사하는 복수의 노즐이 상하로 이격되어 형성되되, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체의 외측면에 근접하게 위치하도록 각각의 길이와 분사각이 상이하게 형성된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치. 11. The method of claim 10,
A plurality of nozzles for spraying the cleaning fluid are vertically spaced apart from each other in the external cleaning fluid spraying part, and the plurality of nozzles are formed to have different lengths and different spray angles so as to be located close to the outer surface of the FOUP body. Foop cleaning device, characterized. 제11항에 있어서,
상기 풉 본체는 상기 세정 챔버 내에 회전 가능하게 구비되고,
상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 세정유체를 분사하도록 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치. 12. The method of claim 11,
The FOUP body is rotatably provided in the cleaning chamber;
and the plurality of nozzles are inclined to spray the cleaning fluid in a direction opposite to a direction in which the FOOP body rotates. 제1항에 있어서,
상기 세정 챔버에는, 세정 완료된 상기 풉 본체와 풉 커버를 건조하기 위한 압축건조공기를 분사하는 에어 공급부가 구비된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
The FOOP cleaning apparatus according to claim 1, wherein the cleaning chamber includes an air supply unit that sprays compressed dry air for drying the cleaned FOOP body and the FOOP cover. 제13항에 있어서,
상기 에어 공급부는, 상기 풉 본체의 외측면에 압축건조공기를 분사하는 외부 에어 공급부와, 상기 풉 본체의 내측면에 압축건조공기를 분사하는 내부 에어 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.14. The method of claim 13,
and the air supply unit includes an external air supply unit that sprays compressed dry air to an outer surface of the FOOP body, and an internal air supply unit that injects compressed dry air to an inner surface of the FOOP body. 제14항에 있어서,
상기 외부 에어 공급부에는 압축건조공기를 분사하는 복수의 노즐이 상하로 이격되어 형성되되, 상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체의 외측면에 근접하게 위치하도록 각각의 길이와 분사각이 상이하게 형성된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치. 15. The method of claim 14,
A plurality of nozzles for spraying compressed dry air are vertically spaced apart from each other in the external air supply unit, and the plurality of nozzles are formed to have different lengths and different spray angles so as to be located close to the outer surface of the FOUP body. Foop cleaning device with 제15항에 있어서,
상기 풉 본체는 상기 세정 챔버 내에 회전 가능하게 구비되고,
상기 복수의 노즐은 상기 풉 본체가 회전하는 방향과 대향하는 방향으로 압축건조공기를 분사하도록 경사지게 형성된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.16. The method of claim 15,
The FOUP body is rotatably provided in the cleaning chamber;
and the plurality of nozzles are inclined to spray compressed dry air in a direction opposite to a direction in which the FOOP body rotates. 제14항에 있어서,
상기 에어 공급부는, 상기 세정 챔버 내부에서 상기 풉 본체와 상기 풉 커버 사이에 위치하며 전후진 가능하도록 구비되어, 세정 완료된 상기 풉 본체와 상기 풉 커버에 압축건조공기를 분사하는 상부 에어 공급부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치. 15. The method of claim 14,
The air supply unit further includes an upper air supply unit positioned between the FOOP body and the FOOP cover in the cleaning chamber and provided to move forward and backward, and spraying compressed dry air to the FOOP body and the FOOP cover that have been cleaned. Foop cleaning device, characterized in that. 제1항에 있어서,
상기 세정 챔버는, 상기 풉 본체가 내부에 수용되어 세정 처리되는 세정 챔버 본체와, 상기 세정 챔버 본체의 상부를 개폐하며 상기 풉 커버가 지지되어 세정 처리되는 세정 챔버 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
wherein the cleaning chamber includes a cleaning chamber body in which the FOOP body is accommodated therein for cleaning, and a cleaning chamber cover that opens and closes an upper portion of the cleaning chamber body and supports and cleans the FOOP cover. cleaning device. 제18항에 있어서,
상기 세정 챔버 본체 내에는, 상기 풉 본체가 안착되도록 상기 세정 챔버 본체의 하부에 구비된 안착부와, 상기 세정 챔버 본체의 상부와 하부 사이에서 승강되며 상기 풉 본체를 상기 안착부 상으로 인계하거나 상기 안착부로부터 상기 풉 본체를 인계받아 상기 풉 본체를 승강시키는 승강부를 포함하고,
상기 승강부는 지지부에 의해 상기 세정 챔버 커버와 연결되며,
상기 승강부와 상기 세정 챔버 커버는 동일한 승강구동부에 의해 함께 승강되는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.19. The method of claim 18,
In the cleaning chamber body, a seating portion provided at a lower portion of the cleaning chamber body to be seated in the cleaning chamber body is elevated between the upper and lower portions of the cleaning chamber body, and the FOUP body is transferred onto the seating portion or the and an elevating part for taking over the FOOP body from the seating part and elevating the FOOP body;
The lifting part is connected to the cleaning chamber cover by a support part,
The FOUP cleaning apparatus, characterized in that the lifting unit and the cleaning chamber cover are lifted together by the same lifting driving unit. 제1항에 있어서,
상기 세정 챔버에는, 세정 완료된 상기 풉 본체와 풉 커버를 건조하기 위해 자외선을 조사하는 자외선 램프가 구비된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
and an ultraviolet lamp irradiating ultraviolet rays to dry the cleaned FOOP body and FOOP cover in the cleaning chamber. 제20항에 있어서,
상기 자외선 램프는, 상기 풉 본체의 외측면에 자외선을 조사하는 외부 자외선 램프와, 상기 풉 본체의 내측면에 자외선을 조사하는 내부 자외선 램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치. 21. The method of claim 20,
and the UV lamp includes an external UV lamp for irradiating UV to the outer surface of the FOOP body and an internal UV lamp for irradiating UV to the inner surface of the FOOP body. 제1항에 있어서,
상기 세정 챔버에서 세정이 완료된 풉 본체와 풉 커버가 반송되는 진공 챔버를 더 포함하고,
상기 진공 챔버에는, 상기 진공 챔버 내부에 질소가스를 공급하는 질소가스 공급라인과, 상기 진공 챔버 내부의 유체를 흡입하여 외부로 배출하기 위한 진공라인이 연결된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.According to claim 1,
The cleaning chamber further includes a vacuum chamber to which the FOOP body and the FOOP cover, which have been cleaned in the cleaning chamber, are transported;
The vacuum chamber is connected to a nitrogen gas supply line for supplying nitrogen gas to the inside of the vacuum chamber, and a vacuum line for sucking the fluid inside the vacuum chamber and discharging it to the outside. 제22항에 있어서,
상기 진공 챔버에는 상기 스노클 노즐 내로 질소가스를 주입하는 질소가스 공급부가 구비된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.23. The method of claim 22,
The vacuum chamber is provided with a nitrogen gas supply unit for injecting nitrogen gas into the snorkel nozzle. 제23항에 있어서,
상기 질소가스 공급부는 상기 스노클 노즐의 일측단에 접속 또는 접속해제되도록 전후진 가능하게 구비된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.24. The method of claim 23,
The nitrogen gas supply unit is a FOUP cleaning device, characterized in that it is provided to be connected to or disconnected from one end of the snorkel nozzle forward and backward. 제24항에 있어서,
상기 진공 챔버에는 상기 질소가스 공급부에서 분사되는 상기 질소가스에 의해 상기 풉 본체가 일측으로 밀려 이동되지 않도록 상기 풉 본체의 일측면을 지지하기 위한 제2스토퍼가 구비된 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.25. The method of claim 24,
and a second stopper for supporting one side of the FOOP body so that the FOOP body is not pushed to one side by the nitrogen gas injected from the nitrogen gas supply unit in the vacuum chamber. 제25항에 있어서,
상기 제2스토퍼는, 양방향으로 회전 구동되는 제2로터리 실린더와, 상기 제2로터리 실린더의 제2실린더 구동축에 연결되어 연동하여 회전되며 상기 풉 본체의 일측면을 지지하기 위한 제2샤프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 풉 세정 장치.26. The method of claim 25,
The second stopper includes a second rotary cylinder that is rotationally driven in both directions, and a second shaft connected to a second cylinder drive shaft of the second rotary cylinder to rotate in association with and support one side of the FOUP body. Foop cleaning device, characterized in that.
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