KR102345434B1

KR102345434B1 - suction device

Info

Publication number: KR102345434B1
Application number: KR1020197038165A
Authority: KR
Inventors: 히토시 이와사카; 히데유키 도쿠나가; 유지 가사이; 가쓰히로 고시이시; 히데미쓰 다나카; 히로히코 오노; 가쓰토시 미노우라; 나오나리 이와사카
Original assignee: 가부시키가이샤 하모테크
Priority date: 2017-09-20
Filing date: 2018-09-06
Publication date: 2021-12-29
Also published as: SG11201911488UA; TW201921576A; JP7148105B2; KR20200013696A; EP3685971A4; CN110785270A; CN110785270B; US11642794B2; WO2019058989A1; JP2019055439A; US20200164527A1; TWI683390B; EP3685971A1

Abstract

부재를 보다 안정적으로 흡인하는 흡인 장치를 제공한다. 흡인 장치는, 기둥 형상의 본체(11), 상기 본체(11)에 형성되는 평탄상의 단면(12), 상기 단면(12)에 형성되는 오목부(13), 상기 오목부(13) 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는 유체류 형성 수단, 상기 오목부(13) 안에 토출된 유체가 상기 오목부(13)로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 단면(12)에 형성되는 직선형 안내 홈(16)을 구비한다.A suction device for more stably suctioning a member is provided. The suction device includes a columnar main body 11, a flat end face 12 formed in the main body 11, a concave portion 13 formed in the end face 12, and a fluid in the concave portion 13. Fluid flow forming means for discharging to form a swirling flow of fluid in the concave portion, wherein the swirling flow of fluid generates a negative pressure to suck a member; A straight guide groove (16) formed in the end face (12) along a direction flowing out from the recess (13) is provided.

Description

suction device

본 발명은, 베르누이 정리를 이용하여 재료를 흡인하는 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a device for sucking material using Bernoulli's theorem.

최근, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 판 형상 부재를 비접촉으로 반송하기 위한 장치가 개발되고 있다. 예를 들면, 특허 문헌 1에서는, 베르누이의 정리를 이용해 판 형상 부재를 비접촉으로 반송하는 장치가 제안되고 있다. 이 장치에서는, 장치 아래쪽 면에서 개구되는 원통실을 포함한다. 유체가 원통실에 공급되어 중앙부의 부압을 갖는 선회류를 발생시켜, 판 형상 부재를 흡인한다. 원통실로부터 유출하는 유체에 의해서 이 장치와 판 형상 부재 사이에 일정한 거리를 유지하는 것으로, 이 장치에 의한 판 형상 부재의 비접촉 반송을 가능하게 하고 있다.In recent years, the apparatus for conveying plate-shaped members, such as a semiconductor wafer and a glass substrate, without contact is developed. For example, in patent document 1, the apparatus which conveys a plate-shaped member non-contact using Bernoulli's theorem is proposed. In this device, it comprises a cylindrical chamber which opens on the underside of the device. A fluid is supplied to the cylindrical chamber to generate a swirling flow having a negative pressure in the central portion, thereby attracting the plate-shaped member. By maintaining a constant distance between this apparatus and the plate-shaped member by the fluid flowing out from the cylindrical chamber, non-contact conveyance of the plate-shaped member by this apparatus is enabled.

일본국 특허공개 2005-51260A1호 공보Japanese Patent Laid-Open No. 2005-51260A1

본 발명은, 상기의 기술을 기초로 하여 이루어진 것이며, 부재를 보다 안정적으로 흡인하는 흡인 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made on the basis of the above technique, and an object of the present invention is to provide a suction device that suctions a member more stably.

상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 흡인 장치는, 통 형상의 본체; 상기 본체에 형성되는 단면; 상기 단면에 형성되는 오목부; 상기 오목부 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하거나 방사류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류나 방사류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는, 유체류 형성 수단; 및 상기 오목부 안에 토출된 유체가 상기 오목부로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 단면에 형성되는 직선형 안내 홈을 구비한다.In order to solve the above problems, the suction device of the present invention includes a cylindrical body; a cross section formed on the body; a concave portion formed in the cross section; Fluid flow forming means for discharging a fluid into the concave portion to form a swirling flow or forming a radial flow of fluid in the recessed portion, wherein the swirling or radial flow of the fluid generates a negative pressure to attract the member. method; and a straight guide groove formed in the cross-section along a direction in which the fluid discharged into the concave portion flows out of the concave portion.

상기 유체류 형성 수단은 상기 오목부 안에 유체를 토출해 유체의 선회류를 형성하는 유체 통로이며, 상기 안내 홈은, 상기 단면을 향해 볼 때, 상기 유체 통로가 연장하는 방향에 대해 대략 45도의 각도를 이루는 방향을 따라서, 상기 단면에 형성될 수 있다.The fluid flow forming means is a fluid passage for discharging a fluid into the concave portion to form a swirling flow of the fluid, and the guide groove is at an angle of approximately 45 degrees with respect to the direction in which the fluid passage extends when viewed toward the cross section. It may be formed in the cross-section along a direction forming the .

상기 유체류 형성 수단은 상기 오목부 안에 유체를 토출해 방사류를 형성하는 유체 통로이며, 상기 안내 홈은, 상기 단면을 향해 볼 때, 상기 유체 통로가 연장하는 방향에 대해 대략 평행한 방향을 따라서, 상기 단면에 형성될 수 있다.The fluid flow forming means is a fluid passage for discharging a fluid into the concave portion to form a radial flow, and the guide groove follows a direction substantially parallel to the direction in which the fluid passage extends when viewed toward the cross-section. , may be formed in the cross section.

상기 안내 홈은, 상기 안내 홈의 단면적이 상기 오목부로부터의 거리에 비례하여 확대하도록 형성될 수 있다.The guide groove may be formed such that a cross-sectional area of the guide groove is enlarged in proportion to a distance from the concave portion.

상기 안내 홈은, 상기 안내 홈의 단면적이 상기 오목부로부터의 거리에 비례하여 축소하도록 형성될 수 있다.The guide groove may be formed such that a cross-sectional area of the guide groove is reduced in proportion to a distance from the concave portion.

상기 흡인 장치는 상기 단면 상에 마련되며 상기 부압에 의해 흡인되는 상기 부재의 상기 단면을 따라서 이동하는 것을 제한하는 이동 제한 수단을 더 포함할 수 있다.The suction device may further include movement limiting means provided on the cross-section and restricting movement along the cross-section of the member sucked by the negative pressure.

상기 이동 제한 수단은, 뿔-형상의 돌기물이며, 상기 부재에 꽂혀서 상기 부재의 이동을 제한하는 것 일 수 있다.The movement limiting means may be a horn-shaped protrusion, and may be inserted into the member to limit the movement of the member.

본 발명에 따른 또 다른 흡인 장치는 기둥 형상의 본체; 상기 본체에 형성되는 단면; 상기 단면에 형성되는 오목부; 상기 오목부 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하거나 방사류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류나 방사류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는, 유체류 형성 수단; 및 상기 오목부 안에 토출된 유체가 상기 오목부로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 단면에 형성되는 직선형 안내 홈으로서, 상기 안내 홈은 단면을 향해 볼 때, 상기 오목부의 개구 에지의 원호보다 곡률이 작은 직선형 안내 홈을 구비한다.Another suction device according to the present invention is a columnar body; a cross section formed on the body; a concave portion formed in the cross section; Fluid flow forming means for discharging a fluid into the concave portion to form a swirling flow or forming a radial flow of fluid in the recessed portion, wherein the swirling or radial flow of the fluid generates a negative pressure to attract the member. method; and a linear guide groove formed in the cross section along a direction in which the fluid discharged into the recess flows out of the recess, wherein the guide groove has a smaller curvature than a circular arc of an opening edge of the recess when viewed toward the cross section. A guide groove is provided.

본 발명에 따른 또 다른 흡인 장치는 기둥 형상의 본체; 상기 본체의 일 면에 형성되는 오목부; 상기 오목부 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하거나 방사류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류나 방사류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는, 유체류 형성 수단; 상기 오목부를 둘러싸도록 마련되며, 상기 오목부로의 상기 부재의 침입을 저해하는 환상 벽; 및 상기 오목부 안에 토출된 유체가 상기 오목부로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 환상 벽의 내벽면에 형성되는 직선형 안내 홈을 구비한다.Another suction device according to the present invention is a columnar body; a concave portion formed on one surface of the body; Fluid flow forming means for discharging a fluid into the concave portion to form a swirling flow or forming a radial flow of fluid in the recessed portion, wherein the swirling or radial flow of the fluid generates a negative pressure to attract the member. method; an annular wall provided to surround the concave portion, the annular wall inhibiting entry of the member into the concave portion; and a straight guide groove formed in the inner wall surface of the annular wall along a direction in which the fluid discharged into the concave portion flows out of the concave portion.

본 발명에 따른 또 다른 흡인 장치는 기둥 형상의 본체; 상기 본체의 일 면에 형성되는 오목부; 상기 오목부 안에 유체를 토출해 상기 오목부 안에 유체의 선회류를 형성하거나 방사류를 형성하는 유체류 형성 수단으로서, 상기 유체의 선회류나 방사류는 부압을 발생시켜 부재를 흡인하는, 유체류 형성 수단; 상기 오목부를 둘러싸도록 마련되며, 상기 오목부로의 상기 부재의 침입을 저해하는 환상 벽; 및 상기 오목부 안에 토출된 유체가 상기 오목부로부터 유출하는 방향을 따라서 상기 환상 벽의 내벽면에 형성되는 직선형 안내 홈으로서, 상기 안내 홈은 오목부의 개구 에지를 향해 볼 때, 상기 오목부의 개구 에지의 원호보다 곡률이 작은 직선형 안내 홈을 구비한다.Another suction device according to the present invention is a columnar body; a concave portion formed on one surface of the body; Fluid flow forming means for discharging a fluid into the concave portion to form a swirling flow or forming a radial flow of fluid in the recessed portion, wherein the swirling or radial flow of the fluid generates a negative pressure to attract the member. method; an annular wall provided to surround the concave portion, the annular wall inhibiting entry of the member into the concave portion; and a straight guide groove formed on the inner wall surface of the annular wall along a direction in which the fluid discharged into the recess flows out of the recess, wherein the guide groove is an opening edge of the recess when viewed toward the opening edge of the recess. A straight guide groove having a smaller curvature than the arc of

본 발명에 따른 흡인 장치에 의하면, 안내 홈을 구비하지 않은 흡인 장치 보다 부재를 더욱 안정적으로 흡인할 수 있다.According to the suction device according to the present invention, the member can be suctioned more stably than the suction device not provided with the guide groove.

도 1은 선회류-형성체(1)의 일례의 사시도이다.
도 2는 선회류-형성체(1)의 일례의 저면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 선 A-A를 따른 선회류-형성체(1)의 단면도이다.
도 4는 도 3에 도시된 선 B-B를 따른 선회류-형성체(1)의 단면도이다.
도 5는 안내 홈(16)의 배치예를 나타나는 도이다.
도 6은 선회류-형성체(2)의 일례의 사시도이다.
도 7은 선회류-형성체(2)의 일례의 저면도이다.
도 8은 안내 홈(22)의 배치예를 나타나는 도이다.
도 9는 방사류-형성체(3)의 일례의 사시도이다.
도 10은 방사류-형성체(3)의 일례의 저면도이다.
도 11은 도 10에 도시된 선 C-C를 따른 방사류-형성체(3)의 단면도이다.
도 12는 안내 홈(36)의 배치예를 나타나는 도이다.
도 13은 방사류-형성체(4)의 일례의 사시도이다.
도 14는 방사류-형성체(4)의 일례의 저면도이다.
도 15는 안내 홈(43)의 배치예를 나타나는 도이다.
도 16은 안내 홈(16)의 변형예의 사시도이다.
도 17은 안내 홈(16)의 변형예의 저면도이다.
도 18은 안내 홈(16)의 변형예의 사시도이다.
도 19는 안내 홈(16)의 변형예의 저면도이다.
도 20은 안내 홈(16)의 변형예의 사시도이다.
도 21은 안내 홈(16)의 변형예의 저면도이다.
도 22는 안내 홈(36)의 변형예의 사시도이다.
도 23은 안내 홈(36)의 변형예의 저면도이다.
도 24는 안내 홈(36)의 변형예의 사시도이다.
도 25는 안내 홈(36)의 변형예의 저면도이다.
도 26은 안내 홈(36)의 변형예의 사시도이다.
도 27은 안내 홈(36)의 변형예의 저면도이다.
도 28은 안내 홈의 변형예의 측면도이다.
도 29는 선회류-형성체(1A)의 일례의 사시도이다.
도 30은 선회류-형성체(1A)의 일례의 저면도이다.
도 31은 선회류-형성체(1B)의 일례의 측면도이다.
도 32는 선회류-형성체(1C)의 일례의 측면도이다.1 is a perspective view of an example of a swirl flow-forming body 1 .
2 is a bottom view of an example of the swirl flow-forming body 1 .
3 is a cross-sectional view of the swirl flow-forming body 1 taken along the line AA shown in FIG. 2 .
4 is a cross-sectional view of the swirl flow-forming body 1 along the line BB shown in FIG. 3 .
5 : is a figure which shows the arrangement example of the guide groove 16. As shown in FIG.
6 is a perspective view of an example of the swirl flow-forming body 2 .
7 is a bottom view of an example of the swirl flow-forming body 2 .
8 : is a figure which shows the arrangement example of the guide groove 22. As shown in FIG.
9 is a perspective view of an example of the radial flow-forming body 3 .
10 is a bottom view of an example of the radial flow-forming body 3 .
FIG. 11 is a cross-sectional view of the radial flow-forming body 3 along the line CC shown in FIG. 10 .
12 : is a figure which shows the arrangement example of the guide groove 36. As shown in FIG.
13 is a perspective view of an example of the radial flow-forming body 4 .
14 is a bottom view of an example of the radial flow-forming body 4 .
15 : is a figure which shows the arrangement example of the guide groove 43. As shown in FIG.
16 is a perspective view of a modified example of the guide groove 16 .
17 is a bottom view of a modified example of the guide groove 16 .
18 is a perspective view of a modified example of the guide groove 16 .
19 is a bottom view of a modified example of the guide groove 16 .
20 is a perspective view of a modified example of the guide groove 16 .
21 is a bottom view of a modified example of the guide groove 16 .
22 is a perspective view of a modified example of the guide groove 36 .
23 is a bottom view of a modified example of the guide groove 36 .
24 is a perspective view of a modified example of the guide groove 36 .
25 is a bottom view of a modified example of the guide groove 36 .
26 is a perspective view of a modified example of the guide groove 36 .
27 is a bottom view of a modified example of the guide groove 36 .
28 is a side view of a modified example of the guide groove.
29 is a perspective view of an example of the swirl flow-forming body 1A.
30 is a bottom view of an example of the swirl flow-forming body 1A.
31 is a side view of an example of the swirl flow-forming body 1B.
32 is a side view of an example of the swirl flow-forming body 1C.

이하, 본 발명의 실시 형태에 대해 도면을 참조하면서 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described, referring drawings.

1. 제1 실시 형태1. First embodiment

도 1은 본 발명에 따른 "흡인 장치"의 일례인, 선회류-형성체(1)의 일례의 사시도이다. 도 2는 선회류-형성체(1)의 일례의 저면도이다. 도 3은 도 2에 도시된 선 A-A를 따른 선회류-형성체(1)의 단면도이다. 도 4는 도 3에 도시된 선 B-B를 따른 선회류-형성체(1)의 단면도이다. 이들 도에 나타나는 선회류-형성체(1)는, 선회류를 형성하기 위해 베르누이 정리에 의해 부재를 흡인하는 장치이다. 선회류-형성체(1)에 의해 흡인되는 부재는, 예를 들어 고로케 또는 일식-튀김 요리와 같은 식품일 수 있다. 선회류-형성체(1)는 예를 들어 로봇 암의 선단에 장착될 수 있다.1 is a perspective view of an example of a swirl flow-forming body 1, which is an example of a "suction device" according to the present invention. 2 is a bottom view of an example of the swirl flow-forming body 1 . 3 is a cross-sectional view of the swirl flow-forming body 1 taken along the line A-A shown in FIG. 2 . 4 is a cross-sectional view of the swirl flow-forming body 1 taken along the line B-B shown in FIG. 3 . The swirl flow-forming body 1 shown in these figures is a device that sucks a member by Bernoulli's theorem to form a swirl flow. The member sucked by the swirl flow-forming body 1 may be, for example, a food product such as a croquette or a Japanese-tempura dish. The swirl flow-forming body 1 may be mounted on the tip of the robot arm, for example.

선회류-형성체(1)는 본체(11), 단면(12), 오목부(13), 2개의 분출구(14), 경사면(15), 및 8개의 안내 홈(16)을 구비한다. 본체(11)는, 알루미늄 합금 등의 재료로부터 만들어지고, 원 기둥 형상을 가진다. 단면(12)은, 본체(11)의 일 면(구체적으로는, 반송될 부재에 대향하는 면)(이하, 본체(11)의 면은 "저면"이라고 한다.)에 평탄상으로 형성된다. 오목부(13)는, 단면(12)에 형성되는 기둥 형상의 바닥이 있는 구멍이다. 이 오목부(13)는, 본체(11)와 동일한 축에 형성된다. 2개의 분출구(14)는, 오목부(13)에 면하는 본체(11)의 내주 측면(111)에 형성된다. 이러한 분출구(14)는, 내주 측면(111)의 축 방향 중앙에 대하여 단면(12) 근방에 배치된다. 또, 이러한 분출구(14)는, 서로 대향하도록 배치된다. 구체적으로는, 분출구(14)는 본체(11) 또는 오목부(13)의 중심축의 축심을 중심으로 점대칭에 배치된다. 선회류-형성체(1)에 공급된 유체는, 각 분출구(14)를 통해 오목부(13) 내에 토출된다. 오목부(13) 내에 토출되는 유체란, 예를 들면, 압축 공기 등의 기체나, 순수나 탄산수 등의 액체이다. 경사면(15)은, 본체(11)의 개구 단부에 형성된다.The swirl flow-forming body 1 has a body 11 , a cross section 12 , a recess 13 , two jets 14 , an inclined surface 15 , and eight guide grooves 16 . The main body 11 is made from materials, such as an aluminum alloy, and has a columnar shape. The end face 12 is formed in a flat shape on one surface (specifically, the surface facing the member to be conveyed) of the main body 11 (hereinafter, the surface of the main body 11 is referred to as a "bottom surface"). The recessed portion 13 is a columnar bottomed hole formed in the end face 12 . The concave portion 13 is formed on the same axis as the main body 11 . The two jet ports 14 are formed in the inner peripheral side surface 111 of the main body 11 facing the recessed portion 13 . The jet port 14 is disposed in the vicinity of the end face 12 with respect to the axial center of the inner peripheral side surface 111 . Moreover, such a jet port 14 is arrange|positioned so that it may mutually oppose. Specifically, the jet port 14 is arranged point-symmetrically with respect to the central axis of the main body 11 or the central axis of the concave portion 13 . The fluid supplied to the swirl flow-forming body 1 is discharged into the recessed portion 13 through each jet port 14 . The fluid discharged into the recessed portion 13 is, for example, a gas such as compressed air or a liquid such as pure water or carbonated water. The inclined surface 15 is formed at the open end of the main body 11 .

8개의 안내 홈(16)은, 단면(12)의 내주 에지로부터 외주 에지에 걸쳐, 오목부(13) 내에 토출된 유체가 오목부(13)로부터 유출할 방향(구체적으로는, 유체가 오목부(13)로부터 유출할 방향이란 분출구(14)로부터 토출되어 오목부(13)로부터 유출하는 유체 분자들의 벡터의 합성에 의해 나타내질 방향)을 따라서 직선으로 형성된다. 보다 구체적으로는, 이러한 안내 홈(16)은, 단면(12)을 향해 볼 때, 그 안내 홈(16)과 오목부(13)의 개구 에지와의 접점을 지나는 접선에 대해 대략 36도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 예를 들면, 도 5에 나타나는 저면의 일례에 있어서, 안내 홈(16A)은, 당해 안내 홈(16A)과 오목부(13)의 개구 에지와의 접점(P1)을 지나는 접선(L1)에 대해서 36도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 8개의 안내 홈(16) 중에, 2개의 안내 홈(16)은, 단면(12)을 향해 볼 때, 후술 하는 공급로(20)가 연장하는 방향에 대해서 대략 45도의 각도를 이루는 방향에 따라서 형성된다. 그리고, 나머지의 6개의 안내 홈(16)은, 서로 인접한 안내 홈(16)이 연장하는 방향이 대략 45도의 각도를 이루도록 형성된다. 예를 들면, 도 5에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(16B)은, 공급로(20A)가 연장하는 방향(화살표 A1)에 대해서 45도의 각도를 이루는 방향(화살표 A2)을 따라서 형성된다. 또, 안내 홈(16C)은, 공급로(20B)가 연장하는 방향(화살표 A3)에 대해서 45도의 각도를 이루는 방향(화살표 A4)을 따라서 형성된다. 각 안내 홈(16)의 단면 형상은 반원형이다.The eight guide grooves 16 extend from the inner peripheral edge to the outer peripheral edge of the end face 12 in the direction in which the fluid discharged into the concave portion 13 flows out from the concave portion 13 (specifically, the fluid flows into the concave portion). The direction to flow out from (13) is defined as a straight line along the direction to be represented by the synthesis of vectors of fluid molecules discharged from the jet port 14 and flowed out from the concave portion 13). More specifically, this guide groove 16 has an angle of approximately 36 degrees with respect to the tangent passing through the contact point of the guide groove 16 and the opening edge of the recess 13 when viewed towards the end face 12 . formed along the direction. For example, in the example of the bottom surface shown in FIG. 5, 16 A of guide grooves are tangent L1 passing through the contact point P1 of the said guide groove 16A and the opening edge of the recessed part 13. It is formed along a direction forming an angle of 36 degrees. Of the eight guide grooves 16 , two guide grooves 16 are formed along a direction that, when viewed toward the end face 12 , forms an angle of approximately 45 degrees with respect to a direction in which a supply path 20 , which will be described later, extends. do. In addition, the remaining six guide grooves 16 are formed so that the extending directions of the guide grooves 16 adjacent to each other form an angle of approximately 45 degrees. For example, in the example of the bottom surface shown in FIG. 5, the guide groove 16B is formed along the direction (arrow A2) which makes a 45 degree angle with respect to the direction (arrow A1) in which the supply path 20A extends. . Moreover, the guide groove 16C is formed along the direction (arrow A4) which makes an angle of 45 degrees with respect to the direction (arrow A3) in which the supply path 20B extends. The cross-sectional shape of each guide groove 16 is semicircular.

이상에서 설명한 것과 같이 구성되는 안내 홈(16)은, 오목부(13)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자를 정류하면서 오목부(13)로부터 멀어지는 방향으로 안내한다. 안내 홈(16)에 의해 안내되는 유체 분자들은, 단면(12)을 따라서 흐르는 유체와 비교하여, 반송되는 부재와의 충돌을 피할 수 있다.The guide groove 16 configured as described above guides the main fluid molecules flowing out from the opening of the recess 13 in a direction away from the recess 13 while rectifying. The fluid molecules guided by the guide groove 16 can avoid collision with the conveyed member compared to the fluid flowing along the cross section 12 .

또한, 선회류-형성체(1)는, 공급구(17), 환상 통로(18), 연통로(19), 및 2개의 공급로(20)(본 발명에 따른 "유체류 형성 수단"의 일례)를 구비한다. 공급구(17)는, 원판 형상을 가지고, 본체(11)의 상면(즉, 저면과 반대측의 면)의 중앙에 마련된다. 이 공급구(17)는, 예를 들면 튜브를 통해 유체 공급 펌프(도시되지 않음)에 접속되고, 공급구(17)를 통해 본체(11) 내에 유체가 공급된다. 환상 통로(18)는, 통 형상을 가지고, 오목부(13)를 둘러싸도록 본체(11)의 내부에 형성된다. 이 환상 통로(18)는, 오목부(13)로 동일한 축에 형성된다. 환상 통로(18)는, 연통로(19)로부터 공급되는 유체를 공급로(20)에 공급한다. 연통로(19)는, 본체(11)의 저면 또는 상면의 반경 방향으로 직선으로 연장하도록 본체(11) 내부에 마련된다. 이 연통로(19)는, 그 양단부에 있어서 환상 통로(18)로 연통한다. 연통로(19)는, 공급구(17)를 통해 본체(11) 내에 공급되는 유체를 환상 통로(18)에 공급한다. 2개의 공급로(20)는, 단면(12)에 대해서 대략 평행하게 형성되고, 한편 오목부(13)의 외주에 대해서 접선 방향으로 연장되도록 형성된다. 이러한 공급로(20)는, 서로 평행하다. 각 공급로(20)는, 그 일단이 환상 통로(18)로 연통하고, 그 타단이 분출구(14)로 연통한다. 각 공급로(20)는, 오목부(13) 내에 유체의 선회류를 형성한다.Further, the swirl flow-forming body 1 includes a supply port 17, an annular passage 18, a communication passage 19, and two supply passages 20 (of the "fluid flow forming means" according to the present invention). example) is provided. The supply port 17 has a disk shape and is provided in the center of the upper surface (that is, the surface on the opposite side to the bottom surface) of the main body 11 . This supply port 17 is connected to a fluid supply pump (not shown) through, for example, a tube, and the fluid is supplied into the body 11 through the supply port 17 . The annular passage 18 has a cylindrical shape and is formed inside the main body 11 so as to surround the concave portion 13 . The annular passage 18 is formed on the same axis as the recess 13 . The annular passage 18 supplies the fluid supplied from the communication passage 19 to the supply passage 20 . The communication path 19 is provided inside the main body 11 so as to extend in a straight line in the radial direction of the bottom or upper surface of the main body 11 . This communication passage 19 communicates with an annular passage 18 at both ends thereof. The communication passage 19 supplies the fluid supplied into the body 11 through the supply port 17 to the annular passage 18 . The two supply paths 20 are formed substantially parallel to the end face 12 , while extending tangentially to the outer periphery of the concave portion 13 . These supply paths 20 are parallel to each other. Each supply path 20 communicates with the annular passage 18 at one end, and the other end communicates with the jet port 14 . Each supply path 20 forms a swirling flow of fluid in the recess 13 .

다음에서, 이상 설명한 선회류-형성체(1)의 흡인 동작에 대해 설명한다. 선회류-형성체(1)의 공급구(17)를 통해 유체 공급 펌프로부터 유체가 공급되면, 그 유체는, 연통로(19), 환상 통로(18), 및 공급로(20)를 통과하여 분출구(14)로부터 오목부(13) 내에 토출된다. 유체가 토출되면 오목부(13) 내에 선회류가 생성되고, 이어서 유체는 오목부(13)의 개구로부터 유출한다. 그 때, 오목부(13)의 개구에 대향하는 위치에 반송될 부재가 존재하는 경우, 오목부(13)로의 외부 유체의 유입이 제한되어, 선회류의 원심력과 엔트레인먼트 효과의 작용에 의해, 선회류 중심부의 단위 체적 당 유체 분자의 밀도가 감소하므로; 즉, 오목부(13) 내에 부압이 발생한다. 그 결과, 선회류-형성체(1)를 둘러싸는 유체는, 오목부(13) 내로의 유입을 개시하고, 부재는 주변 유체에 의해서 압력이 작용하여 선회류-형성체(1)를 향해 끌어들일 수 있다. 한편, 오목부(13)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들은, 안내 홈(16)에 의해 정류되고, 선회류-형성체(1)의 밖으로 배출된다.Next, the suction operation of the swirl flow-forming body 1 described above will be described. When a fluid is supplied from the fluid supply pump through the supply port 17 of the swirl flow-forming body 1 , the fluid passes through the communication path 19 , the annular path 18 , and the supply path 20 , It is discharged from the ejection port 14 into the recessed part 13 . When the fluid is discharged, a swirling flow is generated in the recess 13 , and then the fluid flows out from the opening of the recess 13 . At that time, when the member to be conveyed exists at a position opposite to the opening of the concave portion 13, the inflow of the external fluid into the concave portion 13 is restricted, and by the action of the centrifugal force of the swirling flow and the entrainment effect, , as the density of fluid molecules per unit volume at the center of the swirling flow decreases; That is, a negative pressure is generated in the concave portion 13 . As a result, the fluid surrounding the swirl flow-forming body 1 starts to flow into the recess 13 , and the member will be drawn toward the swirl flow-forming body 1 under pressure by the surrounding fluid. can On the other hand, the main fluid molecules flowing out from the opening of the concave portion 13 are rectified by the guide groove 16 and discharged out of the swirl flow-forming body 1 .

선회류-형성체(1)에 따르면, 오목부(13)로부터 유출하는 주된 유체 분자들은 안내 홈(16)에 의해 정류되어 배출되기 위해, 유체 분자들이 부재와 충돌하는 것을 방지한다. 그 결과, 부재의 기복 및 회전이 억제되며, 유체 분자들과 부재의 충돌에 기인하는 소음이 경감된다. 또, 선회류-형성체와 방해판 사이에 스페이서를 삽입하는 것으로 유출 유체의 유로를 확보하는 종래의 흡인 장치(예를 들면, 일본국 특허 공개 2016-159405호 공보)와 비교하여, 선회류-형성체(1)는 부품 수가 감소되어 선회류-형성체(1)를 염가로 제조하는 것이 가능하게 된다. 또, 방해판에 의해 유로가 차폐되는 종래의 흡인 장치와 비교하여, 선회류-형성체(1)는 유로의 청소를 용이하게 한다.According to the swirl flow-forming body 1 , the main fluid molecules flowing out from the recess 13 are rectified by the guide groove 16 to be discharged, thereby preventing the fluid molecules from colliding with the member. As a result, the undulation and rotation of the member are suppressed, and noise due to the collision of the fluid molecules with the member is reduced. Further, in comparison with a conventional suction device (for example, Japanese Patent Laid-Open No. 2016-159405) that secures a flow path of the outflow fluid by inserting a spacer between the swirl flow-forming body and the baffle plate, swirl flow- As for the forming body 1, the number of parts is reduced, and it becomes possible to manufacture the swirl flow-forming body 1 at low cost. Further, compared with the conventional suction device in which the flow path is blocked by the baffle plate, the swirl flow-forming body 1 facilitates the cleaning of the flow path.

상기의 선회류-형성체(1)에 따르면, 선회류-형성체(1)에 의해 흡인된 유체는 모두 선회류-형성체(1)의 밖으로 배출되어 오목부(13)나 분출구(14)에 침입하는 것이 없기 때문에, 이에 의해 부재에 의해 유체의 공급로가 오염되는 것이 방지된다.According to the swirl flow-forming body 1 above, all of the fluid sucked by the swirl flow-forming body 1 is discharged to the outside of the swirl flow-forming body 1, so that the concave portion 13 or the spout 14 Since there is nothing intruding into it, it is thereby prevented from contamination of the supply path of a fluid by a member.

2. 제2 실시 형태2. Second embodiment

제2 실시 형태와 관련되는 선회류-형성체(2)(본 발명과 관련되는 "흡인 장치"의 일례)는, 단면(12) 및 경사면(15)을 대신해 환상 벽(21)을 구비하고, 이 환상 벽(21)에 8개의 안내 홈(22)이 형성되고 있는 점에 있어서, 제1 실시 형태와 관련되는 선회류-형성체(1)와 상이하다. 이하에서, 이러한 차이점에 대해 설명한다.The swirl flow-forming body 2 (an example of the "suction device" related to the present invention) according to the second embodiment is provided with an annular wall 21 in place of the end surface 12 and the inclined surface 15, It differs from the swirl flow-forming body 1 according to the first embodiment in that eight guide grooves 22 are formed in the annular wall 21 . Hereinafter, these differences will be described.

도 6은 선회류-형성체(2)의 일례의 사시도이다. 도 7은 선회류-형성체(2)의 일례의 저면도이다. 이러한 도에 나타나는 환상 벽(21)은, 사다리꼴의 단면 형상을 가진다. 환상 벽(21)은 일 단면의 외경이 본체(11)의 지름과 동일해지고, 한편 일 단면의 내경이 오목부(13)의 지름과 동일해지도록 형성된다. 또한, 타 단면의 외경이 일 단면의 외경보다 작고, 한편 타 단면의 내경이 일 단면의 내경보다 커지도록 형성된다. 바꾸어 말하면, 환상 벽(21)은, 일단으로부터 타단에 걸쳐 환상 벽(21)의 두께(또는 개구 영역)가 연속적으로 작아지도록 형성된다. 이와 같이 형성된 환상 벽(21)은, 오목부(13)를 둘러싸도록, 환상 벽(21)의 일 단면이 본체(11)와 동일한 축에서 본체(11)에 고정된다.6 is a perspective view of an example of the swirl flow-forming body 2 . 7 is a bottom view of an example of the swirl flow-forming body 2 . The annular wall 21 shown in this figure has a trapezoidal cross-sectional shape. The annular wall 21 is formed so that the outer diameter of one cross-section becomes equal to the diameter of the body 11 , while the inner diameter of one cross-section becomes equal to the diameter of the concave portion 13 . In addition, it is formed so that the outer diameter of the other end face is smaller than the outer diameter of the one end face, while the inner diameter of the other end surface is larger than the inner diameter of the one end face. In other words, the annular wall 21 is formed so that the thickness (or the opening area) of the annular wall 21 is continuously reduced from one end to the other. The annular wall 21 formed in this way is fixed to the main body 11 at the same axis as the main body 11 at one end of the annular wall 21 so as to surround the concave portion 13 .

이상에서 설명한 것처럼 구성되는 환상 벽(21)은, 오목부(13) 내에서 발생하는 부압에 의해 흡인되는 부재와 접촉하는 것으로, 당해 부재의 오목부(13)로의 침입을 저해한다. 또한, 환상 벽(21)은, 그 일부가 환상 벽(21)의 개구에 함입한 부재의 반경 방향으로의 이동을 제한한다.The annular wall 21 configured as described above is in contact with the member sucked by the negative pressure generated in the recess 13 , and prevents the member from entering the recess 13 . In addition, the annular wall 21 restricts movement in the radial direction of a member, a part of which is entrapped in the opening of the annular wall 21 .

8개의 안내 홈(22)은, 환상 벽(21)의 일단으로부터 타단에 걸치고, 오목부(13) 내에 토출된 유체가 오목부(13)로부터 유출할 방향(구체적으로는, 유체가 오목부(13)로부터 유출할 방향은 분출구(14)로부터 토출되어 오목부(13)로부터 유출하는 유체 분자들의 벡터의 합성에 의해 나타내질 방향)에 따라서 직선 모양으로 형성된다. 보다 구체적으로는, 형성된 안내 홈(22)은, 환상 벽(21)의 타단면을 향해 볼 때, 그 안내 홈(22)과 오목부(13)의 개구 에지와의 접점을 지나는 접선에 대해서 대략 20도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 예를 들면, 도 8에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(22A)은, 당해 안내 홈(22A)과 오목부(13)의 개구 에지와의 접점 P2를 지나는 접선 L2에 대해서 20도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 8개의 안내 홈(22) 중에, 2개의 안내 홈(22)은, 환상 벽(21)의 타단을 향해 볼 때, 공급로(20)가 연장하는 방향에 대해서 대략 45도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 그리고, 나머지의 6개의 안내 홈(22)은, 서로 인접한 안내 홈(22)이 연장하는 방향이 대략 45도의 각도를 이루도록 형성된다. 예를 들면, 도 8에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(22B)은, 공급로(20A)가 연장할 방향(화살표 A1)에 대해서 45도의 각도를 이루는 방향(화살표 A4)을 따라서 형성된다. 또, 안내 홈(22C)은, 공급로(20B)가 연장할 방향(화살표 A3)에 대해서 45도의 각도를 이루는 방향(화살표 A5)을 따라서 형성된다. 각 안내 홈(22)의 단면 형상은 반원형이다.The eight guide grooves 22 span from one end of the annular wall 21 to the other end, and the fluid discharged into the recess 13 flows out from the recess 13 (specifically, the fluid flows into the recess 13 ). The direction to flow out from 13) is formed in a straight line according to the direction to be represented by the synthesis of vectors of fluid molecules discharged from the jet port 14 and discharged from the concave portion 13). More specifically, the formed guide groove 22, when viewed toward the other end face of the annular wall 21 , is approximately with respect to a tangent line passing through the contact point between the guide groove 22 and the opening edge of the recess 13 . It is formed along a direction forming an angle of 20 degrees. For example, in the example of the bottom surface shown in FIG. 8, the guide groove 22A has an angle of 20 degrees with respect to the tangent L2 passing through the contact point P2 of the said guide groove 22A and the opening edge of the recessed part 13. formed along the direction. Of the eight guide grooves 22 , two guide grooves 22 are along a direction forming an angle of approximately 45 degrees with respect to the direction in which the supply passage 20 extends, when viewed toward the other end of the annular wall 21 . is formed In addition, the remaining six guide grooves 22 are formed so that the extending directions of the guide grooves 22 adjacent to each other form an angle of approximately 45 degrees. For example, in the example of the bottom surface shown in FIG. 8, the guide groove 22B is formed along the direction (arrow A4) which makes a 45 degree angle with respect to the direction (arrow A1) which the supply path 20A will extend. . Moreover, 22 C of guide grooves are formed along the direction (arrow A5) which makes an angle of 45 degrees with respect to the direction (arrow A3) in which the supply path 20B extends. The cross-sectional shape of each guide groove 22 is semicircular.

이상에서 설명한 것처럼 구성되는 안내 홈(22)은, 오목부(13)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들을 정류하면서 오목부(13)로부터 멀어질 방향으로 안내한다. 안내 홈(22)에 의해 안내되는 유체 분자들은, 환상 벽(21)의 내벽면을 따라서 흐르는 유체 분자들과 비교하여, 반송되는 부재와의 충돌을 피할 수 있다.The guide groove 22 configured as described above guides the main fluid molecules flowing out from the opening of the recess 13 in a direction away from the recess 13 while rectifying. The fluid molecules guided by the guide groove 22 can avoid collision with the conveyed member, compared with the fluid molecules flowing along the inner wall surface of the annular wall 21 .

선회류-형성체(2)에 따르면, 그 흡인 동작 시에 있어서, 오목부(13)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들이 안내 홈(22)에 의해 정류되고, 선회류-형성체(2)의 밖으로 배출된다. 따라서, 이 선회류-형성체(2)도, 제1 실시 형태에 따른 선회류-형성체(1)와 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the swirl flow-forming body 2 , during its suction operation, main fluid molecules flowing out from the opening of the recess 13 are rectified by the guide groove 22 , and the swirl flow-forming body 2 . is discharged out of Accordingly, this swirl flow-forming body 2 can also obtain the same effects as the swirl flow-forming body 1 according to the first embodiment.

3. 제3 실시 형태3. Third embodiment

제3 실시 형태와 관련되는 방사류-형성체(3)(본 발명에 따른 "흡인 장치"의 일례)는, 방사류를 형성해 베르누이 정리에 의해 부재를 흡인하는 점에 있어서 제1 실시 형태에 따른 선회류-형성체(1)와 상이하다. 이하에서, 이러한 차이점에 대해 설명한다.The radial flow-forming body 3 (an example of a "suction device" according to the present invention) according to the third embodiment is according to the first embodiment in that it forms a radial flow and sucks the member according to Bernoulli's theorem. It is different from the swirl flow-forming body (1). Hereinafter, these differences will be described.

도 9는 방사류-형성체(3)의 일례의 사시도이다. 도 10은 방사류-형성체(3)의 일례의 저면도이다. 도 11은 도 10에 도시된 선 C-C를 따른 방사류-형성체(3)의 단면도이다. 이러한 도에 나타나는 방사류-형성체(3)는, 본체(31), 환상 오목부(32), 단면(33), 대향면(34), 경사면(35), 및 8개의 안내 홈(36)을 구비한다. 본체(31)는, 알루미늄 합금 등의 재료로부터 만들어지며, 통 형상을 가진다. 단면(33)은, 본체(31)의 일면(구체적으로는, 반송될 부재를 다루는 면)(이하, 본체(31)의 일면을 "저면"이라고 한다.)에 평탄상에 형성된다. 환상 오목부(32)는, 본체(31)의 외주와 동심원장에, 단면(33)에 형성된다. 대향면(34)은, 본체(31)의 저면에 평탄상에 형성된다. 그 때, 대향면(34)은, 단면(33)에 대해서 오목하게 형성된다. 이 대향면(34)은, 환상 오목부(32)에 둘러싸여 반송될 부재와 대향한다. 경사면(35)은, 환상 오목부(32)의 개구 단부에 형성된다.9 is a perspective view of an example of the radial flow-forming body 3 . 10 is a bottom view of an example of the radial flow-forming body 3 . FIG. 11 is a cross-sectional view of the radial flow-forming body 3 along the line C-C shown in FIG. 10 . The radial flow-forming body 3 shown in this figure has a body 31 , an annular recess 32 , an end face 33 , an opposing surface 34 , an inclined surface 35 , and eight guide grooves 36 . to provide The main body 31 is made from materials, such as an aluminum alloy, and has a cylindrical shape. The end face 33 is formed on one surface (specifically, the surface for handling the member to be conveyed) of the main body 31 (hereinafter, one surface of the main body 31 is referred to as a "bottom surface") on a flat surface. The annular recessed part 32 is formed in the end face 33 concentric with the outer periphery of the main body 31 . The opposing surface 34 is formed on the bottom surface of the main body 31 on a flat surface. At that time, the opposing surface 34 is formed to be concave with respect to the end surface 33 . This opposing surface 34 is surrounded by the annular recessed portion 32 and faces the member to be conveyed. The inclined surface 35 is formed at the open end of the annular recessed portion 32 .

8개의 안내 홈(36)은, 단면(33)의 내주 에지로부터 외주 에지로 걸치고, 환상 오목부(32) 내에 토출된 유체가 환상 오목부(32)로부터 유출할 방향(구체적으로는, 유체가 환상 오목부(32)로부터 유출할 방향은 후술하는 노즐 구멍(37)으로부터 토출되어 환상 오목부(32)로부터 유출하는 유체 분자들의 벡터의 합성에 의해 나타내질 방향)을 따라서 직선 형상으로 형성된다. 보다 구체적으로는, 이러한 안내 홈(36)은, 단면(33)을 향해 볼 때, 그 안내 홈(36)과 환상 오목부(32)의 개구 에지 사이의 접점을 지나는 접선에 대해서 대략 90도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 예를 들면, 도 12에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(36A)은, 당해 안내 홈(36A)과 환상 오목부(32)의 개구 에지 사이의 접점 P3를 지나는 접선 L3에 대해서 90도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 또, 이러한 안내 홈(36)은, 단면(33)을 향해 볼 때, 후술하는 노즐 구멍(37)이 연장하는 방향에 대해서 대략 평행한 방향에 따라서(보다 구체적으로는, 직선 상에) 형성된다. 예를 들면, 도 12에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(36B)은, 노즐 구멍(37A)이 연장할 방향(화살표 A6)을 따라서 형성된다.The eight guide grooves 36 span from the inner peripheral edge of the end face 33 to the outer peripheral edge, and the direction in which the fluid discharged into the annular recessed part 32 flows out from the annular recessed part 32 (specifically, the fluid The direction to flow out from the annular concave portion 32 is formed in a straight line along the direction to be represented by the synthesis of vectors of fluid molecules discharged from the nozzle hole 37 to be described later and flowed out from the annular concave portion 32). More specifically, this guide groove 36 is at an angle of approximately 90 degrees with respect to the tangent passing through the contact point between the guide groove 36 and the opening edge of the annular recess 32 when viewed towards the end face 33 . formed along the direction of For example, in the example of the bottom surface shown in FIG. 12, the guide groove 36A is an angle of 90 degrees with respect to the tangent L3 passing through the contact point P3 between the said guide groove 36A and the opening edge of the annular recessed part 32. formed along the direction of Moreover, this guide groove 36 is formed along the direction substantially parallel to the direction in which the nozzle hole 37 mentioned later extends (more specifically, on a straight line) when it sees toward the end surface 33. . For example, in the example of the bottom surface shown in FIG. 12, the guide groove 36B is formed along the direction (arrow A6) which nozzle hole 37A will extend.

이상에서 설명한 것처럼 구성되는 안내 홈(36)은, 환상 오목부(32)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들을 정류하면서 환상 오목부(32)로부터 멀어지는 방향으로 안내한다. 안내 홈(36)에 의해 안내되는 유체 분자들은, 단면(33)을 따라서 흐르는 유체 분자들과 비교하여, 반송될 부재와의 충돌을 피할 수 있다.The guide groove 36 configured as described above guides the main fluid molecules flowing out from the opening of the annular recessed part 32 in a direction away from the annular recessed part 32 while rectifying it. The fluid molecules guided by the guide groove 36 can avoid collision with the member to be conveyed, compared to the fluid molecules flowing along the cross section 33 .

또한, 방사류-형성체(3)는, 8개의 노즐 구멍(37)(본 발명에 따른 "유체류 형성 수단"의 일례)과 도입구(38), 도입로(39), 환상 통로(40), 및 연통로(41)를 더 구비한다. 도입구(38)는, 원 형상을 가지고, 본체(31)의 상면(즉, 저면과 반대의 면)의 중앙에 마련된다. 이 도입구(38)는, 예를 들면 튜브를 통해, 유체 공급 펌프(도시되지 않음)와 접속된다. 도입로(39)는, 본체(31)의 중심 축을 따라서 직선 모양으로 연장하도록 본체(31)의 내부에 마련된다. 이 도입로(39)는, 그 일단에서 도입구(38)로 연통하고, 그 타단이 연통로(41)로 연통한다. 도입로(39)는, 도입구(38)를 통해 본체(31) 내에 공급되는 유체를 연통로(41)에 공급한다.In addition, the radial flow-forming body 3 has eight nozzle holes 37 (an example of a "fluid flow forming means" according to the present invention), an inlet 38 , an introduction passage 39 , and an annular passage 40 . ), and a communication path 41 is further provided. The inlet 38 has a circular shape and is provided in the center of the upper surface (ie, the surface opposite to the bottom surface) of the main body 31 . This inlet 38 is connected to a fluid supply pump (not shown), for example via a tube. The introduction passage 39 is provided inside the main body 31 so as to extend linearly along the central axis of the main body 31 . The introduction passage 39 communicates with the introduction port 38 at one end thereof, and the other end communicates with the communication passage 41 . The introduction passage 39 supplies the fluid supplied into the body 31 through the introduction port 38 to the communication passage 41 .

연통로(41)는, 환상 통로(40)의 반경 방향으로 직선으로 연장되도록 본체(31)의 내부에 마련된다. 이 연통로(41)는, 그 축 방향 중앙부에 있어서 도입로(39)로 연통해, 그 양단부에 있어서 환상 통로(40)로 연통한다. 연통로(41)는, 도입로(39)로부터 공급되는 유체를 환상 통로(40)로 공급한다. 환상 통로(40)는, 통 형상을 가지며, 본체(31)의 내부에 마련된다. 이 환상 통로(40)는, 본체(31)로서 동일한 축에 형성된다. 환상 통로(40)는, 연통로(41)로부터 공급되는 유체를 노즐 구멍(37)에 공급한다.The communication passage 41 is provided inside the main body 31 so as to extend linearly in the radial direction of the annular passage 40 . This communication path 41 communicates with the introduction path 39 in the central part of the axial direction, and communicates with the annular passage 40 at the both ends. The communication passage 41 supplies the fluid supplied from the introduction passage 39 to the annular passage 40 . The annular passage 40 has a cylindrical shape and is provided inside the main body 31 . This annular passage 40 is formed on the same axis as the main body 31 . The annular passage 40 supplies the fluid supplied from the communication passage 41 to the nozzle hole 37 .

8개의 노즐 구멍(37)은, 각각, 단면(33) 또는 대향면(34)에 대해서 대략 평행하고, 한편 본체(31)의 저면 또는 상면의 반경 방향으로 직선으로 연장되도록 형성되어 그 일단은 환상 통로(40)로 연통하고, 타단은 환상 오목부(32)로 연통한다. 이러한 노즐 구멍(37)은, 서로 인접하는 2개의 노즐 구멍(37)이 대략 45도의 각도를 이루도록 동일 평면 상에 배치된다. 각 노즐 구멍(37)은, 환상 오목부(32) 내에 유체를 토출해 방사류를 형성한다.Each of the eight nozzle holes 37 is substantially parallel to the end face 33 or the opposing face 34, and is formed so as to extend in a straight line in the radial direction of the bottom or upper face of the body 31, and one end thereof is annular. It communicates with the passage 40 , and the other end communicates with the annular recess 32 . These nozzle holes 37 are arranged on the same plane so that two nozzle holes 37 adjacent to each other form an angle of approximately 45 degrees. Each nozzle hole 37 discharges a fluid into the annular recessed portion 32 to form a radial flow.

다음에, 이상 설명한 방사류-형성체(3)의 흡인 동작에 대해 설명한다. 방사류-형성체(3)의 도입구(38)를 통해 유체가 공급되면, 그 유체는, 도입로(39), 연통로(41), 및 환상 통로(40)를 통과하여 노즐 구멍(37)으로부터 환상 오목부(32) 내에 토출된다. 환상 오목부(32)에 토출된 유체는, 환상 오목부(32)의 개구로부터 방사류로 유출한다. 그 때, 환상 오목부(32)의 개구에 대향하는 위치에 반송될 부재가 존재하는 경우, 방사류-형성체(3)와 부재 사이의 공간으로의 외부 유체의 유입이 제한되어 방사류의 엔트레인먼트 효과에 의해, 당해 공간의 단위 체적 당 유체 분자의 밀도가 작아져서, 부압이 발생한다. 그 결과, 부재는 주변 유체에 의해서 압력이 작용하여 방사류-형성체(3)를 향해 끌어들일 수 있다. 한편, 환상 오목부(32)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들은, 안내 홈(36)에 의해 정류되고, 방사류-형성체(3)의 밖으로 배출된다.Next, the suction operation of the radial flow-forming body 3 described above will be described. When the fluid is supplied through the inlet 38 of the radial flow-forming body 3 , the fluid passes through the introduction passage 39 , the communication passage 41 , and the annular passage 40 , and the nozzle hole 37 ) from the annular recessed portion 32 . The fluid discharged into the annular concave portion 32 flows out in a radial flow from the opening of the annular concave portion 32 . At that time, when the member to be conveyed is present at a position opposite to the opening of the annular concave portion 32, the inflow of the external fluid into the space between the radial flow-forming body 3 and the member is restricted so that the exit of the radial flow is limited. Due to the raining effect, the density of fluid molecules per unit volume of the space becomes small, and negative pressure is generated. As a result, the member can be drawn towards the radial flow-forming body 3 under pressure by the surrounding fluid. On the other hand, the main fluid molecules flowing out from the opening of the annular concave portion 32 are rectified by the guide groove 36 and discharged out of the radial flow-forming body 3 .

방사류-형성체(3)에 따르면, 환상 오목부(32)로부터 유출하는 주된 유체 분자들은 안내 홈(36)에 의해 정류되어 배출되기 위해, 유체 분자들이 부재와 충돌하는 것을 방지한다. 그 결과, 부재의 기복 및 회전이 억제되며, 유체 분자들과 부재 사이의 충돌에 기인하는 소음이 경감된다. 방사류-형성체(3)는 상술한 종래의 흡인 장치와 비교하여 부품 수가 감소되므로; 방사류-형성체(3)를 보다 염가로 제조하는 것이 가능하게 된다. 또, 방해판에 의해 유로가 차폐되는 종래의 흡인 장치와 비교하여, 방사류-형성체(3)의 유로의 청소가 용이하게 된다.According to the radial flow-forming body 3, the main fluid molecules flowing out from the annular concave portion 32 are rectified by the guide groove 36 to be discharged, thereby preventing the fluid molecules from colliding with the member. As a result, ups and downs and rotation of the member are suppressed, and noise due to collision between the fluid molecules and the member is reduced. The radial flow-forming body 3 has a reduced number of parts compared with the conventional suction device described above; It becomes possible to manufacture the radial flow-forming body 3 at a lower cost. Further, compared with the conventional suction device in which the flow path is blocked by a baffle plate, the cleaning of the flow path of the radial flow-forming body 3 becomes easy.

방사류-형성체(3)에 따르면, 방사류-형성체(3)에 의해 흡인된 유체는 모두 방사류-형성체(3)의 밖으로 배출되어, 환상 오목부(32)나 노즐 구멍(37)에 침입하지 않기 때문에, 부재에 의해 유체의 공급로가 오염되는 것이 방지된다.According to the radial flow-forming body 3, all of the fluid sucked by the radial flow-forming body 3 is discharged out of the radial flow-forming body 3, so that the annular recessed portion 32 or the nozzle hole 37 ), so that the fluid supply path is prevented from being contaminated by the member.

4. 제4 실시 형태4. Fourth embodiment

제4 실시 형태에 따른 방사류-형성체(4)(본 발명에 따른 "흡인 장치"의 일례)는, 방사류-형성체(4)가 단면(33)을 대신해 환상 벽(42)을 구비하고, 이 환상 벽(42)에 8개의 안내 홈(43)이 형성되어 있는 점에 있어서 제3 실시 형태에 따른 방사류-형성체(3)와 상이하다. 이하에서, 이러한 차이점에 대해 설명한다.In the radial flow-forming body 4 (an example of the "suction device" according to the present invention) according to the fourth embodiment, the radial flow-forming body 4 is provided with an annular wall 42 in place of the end face 33 . It differs from the radial flow-forming body 3 according to the third embodiment in that eight guide grooves 43 are formed in the annular wall 42 . Hereinafter, these differences will be described.

도 13은 방사류-형성체(4)의 일례의 사시도이다. 도 14는 방사류-형성체(4)의 일례의 저면도이다. 이러한 도에 나타나는 환상 벽(42)은, 사다리꼴의 단면 형상을 가진다. 환상 벽(42)은 일 단면의 외경이 본체(31)의 지름과 동일해지고, 한편 일 단면의 내경이 환상 오목부(32)의 외경과 동일해지도록 형성된다. 또한, 타 단면의 외경이 일 단면의 외경보다 작고, 한편 타 단면의 내경이 일 단면의 내경 보다 커지도록 형성된다. 바꾸어 말하면, 환상 벽(42)은, 일단으로부터 타단에 걸쳐 환상 벽(42)의 두께(또는 개구 영역)가 연속적으로 작아지도록 형성된다. 이와 같이 형성된 환상 벽(42)은, 환상 오목부(32)를 둘러싸도록, 환상 벽(42)의 일 단면이 본체(31)와 동일한 축에서 본체(31)에 고정된다.13 is a perspective view of an example of the radial flow-forming body 4 . 14 is a bottom view of an example of the radial flow-forming body 4 . The annular wall 42 shown in this figure has a trapezoidal cross-sectional shape. The annular wall 42 is formed so that the outer diameter of one cross-section becomes equal to the diameter of the body 31 , while the inner diameter of one cross-section becomes equal to the outer diameter of the annular recessed portion 32 . In addition, it is formed so that the outer diameter of the other end face is smaller than the outer diameter of the one end face, while the inner diameter of the other end surface is larger than the inner diameter of the one end face. In other words, the annular wall 42 is formed so that the thickness (or the opening area) of the annular wall 42 becomes continuously small from one end to the other end. The annular wall 42 formed in this way is fixed to the main body 31 at the same axis as the main body 31 so as to surround the annular recessed portion 32 .

이상에서 설명한 것처럼 구성되는 환상 벽(42)은, 본체(31)에 의해 발생하는 부압에 의해 흡인되는 부재와 접촉하는 것으로, 당해 부재가 환상 오목부(32)로의 침입하는 것을 저해한다. 또한, 환상 벽(42)은, 그 일부가 환상 벽(42)의 개구에 함입한 부재의 반경 방향으로의 이동을 제한한다.The annular wall 42 configured as described above is in contact with a member sucked by the negative pressure generated by the main body 31 , and prevents the member from entering the annular recessed portion 32 . In addition, the annular wall 42 restricts movement in the radial direction of a member, a part of which is entrapped in the opening of the annular wall 42 .

8개의 안내 홈(43)은, 환상 벽(42)의 일단으로부터 타단에 걸치고, 환상 오목부(32) 내에 토출된 유체가 환상 오목부(32)로부터 유출할 방향(구체적으로는, 유체가 환상 오목부(32)로부터 유출할 방향은 노즐 구멍(37)으로부터 토출되어 환상 오목부(32)로부터 유출하는 유체 분자들의 벡터의 합성에 의해 나타내질 방향)에 따라서 직선 모양으로 형성된다. 보다 구체적으로는, 형성된 안내 홈(43)은, 환상 벽(42)의 타단을 향해 볼 때, 그 안내 홈(43)과 환상 오목부(32)의 개구 에지와의 접점을 지나는 접선에 대해서 대략 90도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 예를 들면, 도 15에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(43A)은, 당해 안내 홈(43A)과 환상 오목부(32)의 개구 에지 사이의 접점 P4를 지나는 접선 L4에 대해서 90도의 각도를 이루는 방향을 따라서 형성된다. 또, 이러한 안내 홈(43)의 방향은, 환상 벽(42)의 타단을 향해 볼 때, 노즐 구멍(37)이 연장할 방향에 대해서 대략 평행한 방향에 따라서(보다 구체적으로는, 직선상에) 형성된다. 예를 들면, 도 15에 나타나는 저면의 예에 있어서, 안내 홈(43B)은, 노즐 구멍(37A)이 연장할 방향(화살표 A6)을 따라서 형성된다.The eight guide grooves 43 span from one end of the annular wall 42 to the other end, and the fluid discharged into the annular concave portion 32 flows out from the annular concave portion 32 (specifically, the fluid flows into the annular concave portion 32 ). The direction to flow out from the concave portion 32 is formed in a straight line according to the direction to be represented by the synthesis of vectors of fluid molecules discharged from the nozzle hole 37 and flowing out from the annular concave portion 32). More specifically, the formed guide groove 43, when viewed toward the other end of the annular wall 42 , is approximately with respect to a tangent line passing through the contact point between the guide groove 43 and the opening edge of the annular recessed portion 32 . It is formed along a direction forming an angle of 90 degrees. For example, in the example of the bottom surface shown in FIG. 15, the guide groove 43A is an angle of 90 degrees with respect to the tangent L4 passing through the contact point P4 between the said guide groove 43A and the opening edge of the annular recessed part 32. formed along the direction of In addition, the direction of this guide groove 43 is along a direction substantially parallel to the direction in which the nozzle hole 37 extends (more specifically, on a straight line) when viewed toward the other end of the annular wall 42 . ) is formed. For example, in the example of the bottom surface shown in FIG. 15, the guide groove 43B is formed along the direction (arrow A6) which nozzle hole 37A will extend.

이상에서 설명한 것처럼 구성되는 안내 홈(43)은, 환상 오목부(32)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들을 정류하면서 환상 오목부(32)로부터 멀어질 방향으로 안내한다. 안내 홈(43)에 의해 안내되는 유체 분자들은, 환상 오목부(32)의 내벽면을 따라서 흐르는 유체 분자들과 비교하여, 반송되는 부재와의 충돌을 피할 수 있다.The guide groove 43 configured as described above guides the main fluid molecules flowing out from the opening of the annular recessed part 32 in a direction away from the annular recessed part 32 while rectifying it. The fluid molecules guided by the guide groove 43 can avoid collision with the conveyed member, compared with the fluid molecules flowing along the inner wall surface of the annular recessed portion 32 .

방사류-형성체(4)에 따르면, 그 흡인 동작 시에 있어서, 환상 오목부(32)의 개구로부터 유출하는 주된 유체 분자들이 안내 홈(43)에 의해 정류되고, 방사류-형성체(4)의 밖으로 배출된다. 따라서, 이 방사류-형성체(4)도, 제3 실시 형태에 따른 방사류-형성체(3)와 같은 효과를 얻을 수 있다.According to the radial flow-forming body 4 , during its suction operation, main fluid molecules flowing out from the opening of the annular recessed portion 32 are rectified by the guide groove 43 , and the radial flow-forming body 4 is ) is discharged out of Accordingly, this radial flow-forming body 4 can also obtain the same effects as the radial flow-forming body 3 according to the third embodiment.

5. 변형예5. Variants

상기의 각 실시 형태는, 이하와 같이 변형해도 된다. 또한, 이하의 변형예는 서로 조합해도 된다.Each of the above embodiments may be modified as follows. In addition, you may combine the following modified examples with each other.

5-1. 변형예 15-1. Variant 1

제1 실시 형태에 따른 선회류-형성체(1)의 본체(11) 및 오목부(13)의 형상은, 통 형상에 한정되지 않고, 각주나 타원 기둥 형상이어도 된다. 또, 오목부(13)에 접하는 본체(11)의 내주 측면(111)은, 개구를 향해 오목부(13)의 지름이 확대하도록 테이퍼가 형성되어도 된다. 또, 오목부(13) 내에는, 볼록부의 외주 측면과 본체(11)의 내주 측면(111)과의 사이에 유체 유로를 형성하도록 볼록부가 마련될 수 있다(예를 들면, 일본국 특허공개 2016-159405호 공보의 도 13 참조). 또, 선회류-형성체(1)에 마련되는 분출구(14) 및 공급로(20)의 수는, 2개에 한정되지 않고, 그보다 적거나 그보다 많을 수 있다. 분출구(14)는 내주 측면(111)의 축 방향에서 상측, 중앙 또는 하측에 배치될 수 있다. 또, 경사면(15)의 형성은 생략되어도 된다. 또, 공급구(17)의 형상은, 원 형태에 한정되지 않고, 직사각형이나 타원이어도 된다. 또, 공급구(17)는, 상면 대신에 본체(11)의 측면에 형성될 수 있다. 2개의 공급로(20)는, 반드시 서로 평행할 필요는 없다.The shapes of the main body 11 and the concave portion 13 of the swirl flow-forming body 1 according to the first embodiment are not limited to the cylindrical shape, and may be a prismatic or elliptical column shape. Moreover, the inner peripheral side surface 111 of the main body 11 in contact with the recessed part 13 may be tapered so that the diameter of the recessed part 13 may expand toward an opening. Further, in the concave portion 13, a convex portion may be provided so as to form a fluid flow path between the outer peripheral side surface of the convex portion and the inner peripheral side surface 111 of the body 11 (eg, Japanese Patent Laid-Open No. 2016). -See FIG. 13 of Publication No. 159405). In addition, the number of the jet ports 14 and the supply passages 20 provided in the swirl flow-forming body 1 is not limited to two, and may be less or more than that. The spout 14 may be disposed on the upper side, the center, or the lower side in the axial direction of the inner circumferential side surface 111 . In addition, formation of the inclined surface 15 may be abbreviate|omitted. In addition, the shape of the supply port 17 is not limited to a circular shape, A rectangle or an oval may be sufficient as it. In addition, the supply port 17 may be formed on the side surface of the main body 11 instead of the upper surface. The two supply paths 20 are not necessarily parallel to each other.

제1 실시 형태에 따르는 선회류-형성체(1)에 있어서, 본체(11) 내에 형성되는 유체 통로를 대신하고, 선회류를 형성해 베르누이 정리에 의해 부재를 흡인하는 전동 팬(예를 들면, 일본국 특허공개 2011-138948호 공보 참조)을 채용해도 된다. 이 전동 팬은, 본 발명에 따른 "유체류 형성 수단"의 일례이다.In the swirl flow-forming body 1 according to the first embodiment, an electric fan that replaces the fluid passage formed in the body 11, forms a swirl flow, and sucks the member by Bernoulli's theorem (for example, Japan Korean Patent Application Laid-Open No. 2011-138948) may be employed. This electric fan is an example of "fluid flow forming means" according to the present invention.

제3 실시 형태에 따른 방사류-형성체(3)의 본체(31)의 형상은, 통 형상에 한정되지 않고, 각주나 타원 기둥 형상이어도 된다. 또, 방사류-형성체(3)에 마련되는 노즐 구멍(37)의 수는, 8개에 한정되지 않고, 그보다 적거나 그보다 많을 수 있다. 또, 도입구(38)의 형상은, 원 형태에 한정되지 않고, 직사각형이나 타원이어도 된다. 또, 도입구(38)는, 상면 대신에 본체(31)의 측면에 형성될 수 있다.The shape of the main body 31 of the radial flow-forming body 3 according to the third embodiment is not limited to a cylindrical shape, and may be a prismatic or elliptical columnar shape. In addition, the number of nozzle holes 37 provided in the radial flow-forming body 3 is not limited to eight, but may be less or more than that. In addition, the shape of the inlet 38 is not limited to a circular shape, A rectangle or an ellipse may be sufficient as it. In addition, the inlet 38 may be formed on the side surface of the main body 31 instead of the upper surface.

제2 실시 형태에 따른 환상 벽(21)으로 상기의 제4 실시 형태에 따른 환상 벽(42)의 단면 형상은, 사다리꼴에 한정되지 않고, 반원형이나 삼각형이어도 된다. 또, 환상 벽(21)과 본체(11)는 일체로 형성될 수 있고, 환상 벽(42)과 본체(31)는 일체로 형성될 수 있다.As the annular wall 21 according to the second embodiment, the cross-sectional shape of the annular wall 42 according to the fourth embodiment is not limited to a trapezoid, and may be a semicircle or a triangle. Further, the annular wall 21 and the body 11 may be integrally formed, and the annular wall 42 and the body 31 may be integrally formed.

5-2. 변형예 25-2. Variant 2

도 16 내지 도 21은, 제1 실시 형태에 따른 안내 홈(16)의 변형예를 나타나는 도이다. 도 16 및 도 17에 나타나는 안내 홈(51)은, 그 안내 홈(51)의 단면 형상이 직사각형인 점에 있어서 안내 홈(16)과는 상이하다. 또한, 안내 홈(51)의 단면 형상은, V 형상이나 반-타원 형상이어도 된다. 도 18 및 도 19에 나타나는 안내 홈(52)은, 그 안내 홈(52)의 단면 형상이 직사각형이고, 한편 그 안내 홈(52)의 단면적이 오목부(13)로부터 거리에 비례하여 확대하도록 형성되고 있는 점에 있어서 안내 홈(16)과는 상이하다. 또한, 안내 홈(52)은, 그 폭이 오목부(13)로부터 거리에 비례하여 확대하고/거나, 그 깊이가 오목부(13)로부터 거리에 비례하여 확대할 수 있다. 도 20 및 도 21에 나타나는 안내 홈(53)은, 그 안내 홈(53)의 단면 형상이 직사각형이고, 한편 그 안내 홈(53)의 단면적이 오목부(13)로부터 거리에 비례하여 축소하도록 형성되고 있는 점에 있어서 안내 홈(16)과는 상이하다. 또한, 안내 홈(53)은, 그 폭이 오목부(13)로부터 거리에 비례하여 축소되고/거나, 그 깊이가 오목부(13)로부터 거리에 비례하여 축소될 수 있다.16 to 21 are views showing a modified example of the guide groove 16 according to the first embodiment. The guide groove 51 shown in FIGS. 16 and 17 is different from the guide groove 16 in that the cross-sectional shape of the guide groove 51 is rectangular. In addition, the cross-sectional shape of the guide groove 51 may be a V shape or a semi-ellipse shape. The guide grooves 52 shown in FIGS. 18 and 19 are formed so that the cross-sectional shape of the guide grooves 52 is rectangular, while the cross-sectional area of the guide grooves 52 expands in proportion to the distance from the recessed portion 13 . It is different from the guide groove 16 in the point which has become. Further, the guide groove 52 may have a width proportional to the distance from the recess 13 and/or a depth proportional to the distance from the recess 13 . The guide groove 53 shown in FIGS. 20 and 21 is formed so that the cross-sectional shape of the guide groove 53 is rectangular, while the cross-sectional area of the guide groove 53 is reduced in proportion to the distance from the recessed portion 13. It is different from the guide groove 16 in the point which has become. Further, the guide groove 53 may have its width reduced in proportion to the distance from the concave portion 13 and/or its depth may be reduced in proportion to the distance from the concave portion 13 .

또한, 상기의 안내 홈(16)에 대한 각 변형은, 제2 실시 형태에 따른 안내 홈(22)에 적용해도 된다.In addition, you may apply each deformation|transformation with respect to the said guide groove 16 to the guide groove 22 which concerns on 2nd Embodiment.

도 22 내지 도 27은, 제3 실시 형태에 따른 안내 홈(36)의 변형예를 나타내는 도이다. 도 22 및 도 23에 나타내는 안내 홈(61)은, 그 안내 홈(61)의 단면 형상이 직사각형인 점에 있어서 안내 홈(36)과는 상이하다. 또한, 안내 홈(61)의 단면 형상은, V 형상이나 반-타원 형상이어도 된다. 도 24 및 도 25에 나타나는 안내 홈(62)은, 그 안내 홈(62)의 단면 형상이 직사각형이고, 한편 그 안내 홈(62)의 단면적이 환상 오목부(32)로부터 거리에 비례하여 확대하도록 형성되고 있는 점에 있어서 안내 홈(36)과는 상이하다. 또한, 안내 홈(62)은, 그 폭이 환상 오목부(32)로부터 거리에 비례하여 확대하고/거나, 그 깊이가 환상 오목부(32)로부터 거리에 비례하여 확대될 수 있다. 도 26 및 도 27에 나타나는 안내 홈(63)은, 그 안내 홈(63)의 단면 형상이 직사각형이고, 한편 그 안내 홈(63)의 단면적이 환상 오목부(32)로부터 거리에 비례하여 축소하도록 형성되고 있는 점에 있어서 안내 홈(36)과는 상이하다. 또한, 안내 홈(63)은, 그 폭이 환상 오목부(32)로부터 거리에 비례하여 축소되고/거나, 그 깊이가 환상 오목부(32)로부터 거리에 비례하여 축소될 수 있다.22 to 27 are views showing a modified example of the guide groove 36 according to the third embodiment. The guide groove 61 shown in FIGS. 22 and 23 is different from the guide groove 36 in that the cross-sectional shape of the guide groove 61 is rectangular. In addition, the cross-sectional shape of the guide groove 61 may be a V shape or a semi-elliptical shape. The guide groove 62 shown in FIGS. 24 and 25 has a rectangular cross-sectional shape of the guide groove 62, while the cross-sectional area of the guide groove 62 enlarges in proportion to the distance from the annular recessed portion 32. It is different from the guide groove 36 in that it is formed. Further, the guide groove 62 may have its width enlarged proportionally to the distance from the annular concave portion 32 and/or its depth may be enlarged in proportion to the distance from the annular concave portion 32 . The guide groove 63 shown in FIGS. 26 and 27 has a rectangular cross-sectional shape of the guide groove 63, while the cross-sectional area of the guide groove 63 is reduced in proportion to the distance from the annular recessed portion 32. It is different from the guide groove 36 in that it is formed. Further, the guide groove 63 may have its width reduced in proportion to the distance from the annular concave portion 32 and/or its depth may be reduced in proportion to the distance from the annular concave portion 32 .

또한, 상기의 안내 홈(36)에 대한 각 변형은, 제4 실시 형태와 따른 안내 홈(43)에 적용해도 된다.In addition, you may apply each deformation|transformation with respect to the said guide groove 36 to the guide groove 43 which concerns on 4th Embodiment.

상기의 각 실시 형태에 따른 안내 홈의 개수는, 8개에 한정되지 않고, 그보다 적거나 그보다 많을 수 있다. 또, 각 안내 홈의 폭과 깊이는, 도시된 예보다 클 수도 있다. 예를 들면, 제1 실시 형태에 따른 단면(12)을, 도 28에 예시하도록, 측면도에서 파형 형상의 면이라고 해도 된다. 또, 안내 홈의 배치 방법은 상기의 예에 한정되지 않는다. 안내 홈의 최적인 개수, 치수 및 배치는, 오목부로부터 유출하는 유체의 유량에 따라 정해진다.The number of guide grooves according to each of the above embodiments is not limited to eight, and may be less or more than that. In addition, the width and depth of each guide groove may be larger than the illustrated example. For example, the cross section 12 according to the first embodiment may be a wavy surface in a side view so as to be illustrated in FIG. 28 . In addition, the arrangement|positioning method of a guide groove is not limited to the said example. The optimal number, size, and arrangement of the guide grooves are determined according to the flow rate of the fluid flowing out from the recess.

또, 상기의 각 실시 형태에 따른 안내 홈은, 반드시 직선 모양에 한정되지 않고, 다소 만곡하고 있어도 된다. 구체적으로는, 본체의 단면 또는 오목부를 향해 볼 때, 오목부의 개구 에지의 원호 또는 본체의 외주의 원호보다 곡률이 작은 안내 홈일 수 있다. 예를 들면, 오목부의 개구 에지의 원호 또는 본체의 외주의 원호의 절반인 곡률의 안내 홈일 수 있다. 만일 본체가 각주 형상을 가지는 경우에는, 본체의 단면 또는 오목부로 향해 볼 때, 본체의 외측의 정점을 지나는 외접원의 원호보다 곡률이 작은 안내 홈일 수 있다.Moreover, the guide groove which concerns on said each embodiment is not necessarily limited to a linear shape, You may curve it to some extent. Specifically, it may be a guide groove having a smaller curvature than the arc of the opening edge of the recess or the arc of the outer periphery of the body when viewed toward the cross section or the recess of the body. For example, it may be an arc of the opening edge of the concave portion or a guide groove of curvature that is half of the arc of the outer periphery of the body. If the main body has a prismatic shape, it may be a guide groove having a smaller curvature than the arc of a circumscribed circle passing through the vertex of the outer side of the main body when viewed toward the cross section or the concave portion of the main body.

5-3. 변형예 35-3. Variant 3

제1 실시 형태에 따른 선회류-형성체(1)의 단면(12)에, 반송될 부재의 가로 방향 변위를 방지하기 위한 돌기(71)(상기 돌기(71)는 본 발명에 따른 "이동 제한 수단"의 일례)를 마련해도 된다. 도 29는, 선회류-형성체(1A)(본 발명에 따른 "흡인 장치"의 일례)의 일례의 사시도를 나타낸다. 도 30은, 선회류-형성체(1A)의 일례의 저면도이다. 이러한 도에 나타나는 4개의 돌기(71)는, 선단이 날카로운 통 형상을 가지며, 돌기(71)가 단면(12)으로부터 대략 수직으로 연장하도록, 단면(12)에 장착된다. 각 돌기(71)는, 부압에 의해 흡인된 부재를 둘러싸도록 배치된다. 도면에서 나타난 돌기(71)는, 단면(12)의 반경 방향 중앙에, 동일한 간격으로 배치되어 있다. 이와 같이 구성되는 돌기(71)는, 고속 반송 시에, 부압에 의해서 흡인된 부재가 단면(12)을 따라서 이동하는 것을 제한한다.On the end face 12 of the swirl flow-forming body 1 according to the first embodiment, a projection 71 for preventing lateral displacement of a member to be conveyed (the projection 71 is a “movement restriction” according to the present invention) means") may be provided. Fig. 29 shows a perspective view of an example of the swirl flow-forming body 1A (an example of a "suction device" according to the present invention). 30 is a bottom view of an example of the swirl flow-forming body 1A. The four projections 71 shown in this figure have a cylindrical shape with a sharp tip, and are mounted on the end surface 12 so that the projection 71 extends substantially perpendicularly from the end surface 12 . Each projection 71 is disposed so as to surround the member sucked by the negative pressure. The projections 71 shown in the figure are arranged at equal intervals at the radial center of the end face 12 . The projection 71 constituted in this way limits the movement of the member sucked by the negative pressure along the end surface 12 during high-speed conveyance.

또한, 돌기(71)의 형상은, 선단이 날카로운 각주 형상이나 원뿔 또는 각뿔 형상이어도 된다. 또한, 돌기(71)의 개수는, 3개 이하이거나 5개 이상이어도 된다. 또, 돌기(71)는, 단면(12)의 반경 방향으로 외부 에지 또는 내부 에지에 배치될 수 있다. 또한, 돌기(71)는, 부압에 의해 흡인된 부재에 꽂혀서 배치될 수 있다.In addition, the shape of the projection 71 may be a prismatic shape with a sharp tip, a cone, or a pyramid shape. In addition, the number of projections 71 may be 3 or less or 5 or more may be sufficient as it. In addition, the projection 71 may be disposed on the outer edge or the inner edge in the radial direction of the end face 12 . In addition, the protrusion 71 may be disposed by being inserted into the member sucked by the negative pressure.

돌기(71)는, 제3 실시 형태에 따른 방사류-형성체(3)의 단면(33)에 장착되어도 된다.The projection 71 may be mounted on the end face 33 of the radial flow-forming body 3 according to the third embodiment.

5-4. 변형예 45-4. Variant 4

도 31은, 변형예 3에 따른 선회류-형성체(1A)의 변형예인 선회류-형성체(1B)의 일례의 측면도이다. 상기 도에서 나타나는 선회류-형성체(1B)는, 8개의 안내 홈(16)을 가지지 않고, 또한 선회류-형성체(1B)는 돌기(71)가 스페이서(81)를 통해 단면(12)에 장착되는 것을 구비하고 있는 점에 있어서, 선회류-형성체(1A)와는 상이하다. 이 선회류-형성체(1B)가 구비하는 4개의 스페이서(81)는, 돌기(71)보다 큰 직경의 통 형상을 가지며, 돌기(71)와 동일한 축에서 단면(12)에 장착된다. 또한, 변형예로서 스페이서(81)의 형상은 각주 형상이어도 된다. 이러한 스페이서(81)는, 선회류-형성체(1B)가 부재를 반송할 때, 돌기(71)에 꽂힌 부재(예를 들면, 일식-튀김 요리)의 표면과 접촉하여, 당해 부재가 단면(12)과 접촉하는 것을 방지하는 것으로, 당해 부재와 단면(12)과의 사이에서 간격을 유지한다. 이러한 간격은, 오목부(13)의 개구로부터 유출되는 주된 유체 분자의 유출을 가능하게 하여, 유출 유체와 부재의 충돌이 경감된다. 이러한 이유로, 이 선회류-형성체(1B)에 의해서, 제1 실시 형태에 따른 선회류-형성체(1)와 동일한 효과를 얻을 수 있다.31 is a side view of an example of the swirl flow-forming body 1B, which is a modification of the swirl flow-forming body 1A according to the third modification. The swirl flow-forming body 1B shown in the above figure does not have eight guide grooves 16, and the swirl flow-forming body 1B has a projection 71 through the spacer 81 in the end face 12. It is different from the swirl flow-forming body 1A in that it is mounted on the vortex. The four spacers 81 provided in this swirl flow-forming body 1B have a cylindrical shape with a larger diameter than the projection 71 and are mounted on the end face 12 on the same axis as the projection 71 . In addition, as a modification, the shape of the spacer 81 may be a prismatic shape. This spacer 81 is in contact with the surface of the member (for example, Japanese-tempura dishes) stuck in the projection 71 when the swirl flow-forming body 1B conveys the member, so that the member is cross-section ( 12) by preventing it from contacting, and maintaining the space|interval between the said member and the end face 12. This gap enables the main fluid molecules to flow out from the opening of the recess 13, so that the collision between the outflow fluid and the member is reduced. For this reason, with this swirl flow-forming body 1B, the same effect as the swirl flow-forming body 1 according to the first embodiment can be obtained.

5-5. 변형예 55-5. Variant 5

제1 실시 형태에 따른 선회류-형성체(1)의 단면(12)에, 반송된 부재를 유지하기 위한 통체(91)를 장착해도 된다. 도 32는, 통체(91)가 구비된 선회류-형성체(1C)(본 발명에 따른 "흡인 장치"의 일례)의 일례의 측면도이다. 상기 도에 나타나는 통체(91)는, 고무 등의 탄성 재료로부터 만들어지는 벨로스 형상의 통체이며, 선회류-형성체(1C)에 의해 흡인된 부재를 유지하기 위한 부재이다. 이 통체(91)는, 선회류-형성체(1C)가 발생시키는 부압에 의해 흡인되는 유체를 통과하면서, 오목부(13) 내로 반송된 부재의 침입을 저해하도록, 통체(91)의 일단이 단면(12)에 고정된다. 구체적으로, 통체(91)는 오목부(13)와 같은 축에 대하여 단면(12)에 고정된다. 통체(91)의 축소부의 내경은, 오목부(13)의 내경과 반송된 부재의 최대 지름보다 작으며, 통체(91)의 외단은, 반송된 부재를 향해 확경하고 있다. 이 통체(91)의 높이는, 유체 공급 펌프로부터 선회류-형성체(1C)에 대해서 공급되는 유체의 유량이나, 반송될 부재의 종류에 따라 설정된다. 또한, 통체(91)의 형상은, 통 형상에 한정되지 않고, 각통이나 타원통 형상 등이어도 된다.In the end face 12 of the swirl flow-forming body 1 according to the first embodiment, a cylindrical body 91 for holding the conveyed member may be attached. 32 is a side view of an example of the swirl flow-forming body 1C (an example of the "suction device" according to the present invention) provided with the cylindrical body 91 . The cylinder 91 shown in the figure is a bellows-shaped cylinder made of an elastic material such as rubber, and is a member for holding the member sucked by the swirl flow-forming body 1C. The cylindrical body 91 has one end of the cylindrical body 91 passing through the fluid sucked by the negative pressure generated by the swirl flow-forming body 1C, while inhibiting the penetration of the member conveyed into the recess 13 . It is fixed to the end face (12). Specifically, the cylindrical body 91 is fixed to the end face 12 with respect to the same axis as the recess 13 . The inner diameter of the reduced portion of the cylindrical body 91 is smaller than the inner diameter of the concave portion 13 and the maximum diameter of the conveyed member, and the outer end of the cylindrical body 91 is expanding toward the conveyed member. The height of this cylinder 91 is set according to the flow rate of the fluid supplied from the fluid supply pump to the swirl flow-forming body 1C or the type of member to be conveyed. In addition, the shape of the cylinder 91 is not limited to a cylinder shape, A square cylinder, an elliptical cylinder shape, etc. may be sufficient.

선회류-형성체(1C)에 따르면, 통체(91)는 부재를 흡인함으로써 주위 유체의 선회류-형성체(1C) 내로의 유입을 제한하여, 부압 발생 영역으로부터 멀어진 위치에 존재하는 부재를 흡인할 수 있다. 또한, 통체(91)의 벨로스 형상은 반송될 부재의 형상에 따라 신축이 가능하므로, 따라서, 선회류-형성체(1C)와 반송될 부재 사이의 정렬 불량이 발생하는 경우에도, 통체(91)가 부재의 형상에 맞추어 변형하기 때문에, 선회류-형성체(1C)는 부재를 안정적으로 유지할 수 있다. 또한, 그 벨로스 형상으로 인해, 통체(91)는 반송된 부재가 접촉하는 것으로 생기는 반송된 부재의 손상을 억제할 수 있다. 또한, 통체(91)의 벨로스 형상으로 인해, 선회류-형성체(1C)와 반송된 부재와의 사이의 상하 방향의 클리어런스의 확보가 용이해진다. 바꾸어 말하면, 반송될 부재의 각각에 높이의 편차가 있었다고 해도, 통체(91)의 신축성이 당해 편차를 흡수한다.According to the swirl flow-forming body 1C, the cylindrical body 91 restricts the inflow of the surrounding fluid into the swirl flow-forming body 1C by sucking the member, thereby sucking the member present at a position away from the negative pressure generating region. can do. Further, since the bellows shape of the cylindrical body 91 can be expanded and contracted according to the shape of the member to be conveyed, therefore, even when misalignment occurs between the swirl flow-forming body 1C and the member to be conveyed, the cylindrical body 91 Since the vortex-flow-forming body 1C is able to hold the member stably because it deforms according to the shape of the member. Further, due to its bellows shape, the cylindrical body 91 can suppress damage to the conveyed member caused by the conveyed member coming into contact. Further, due to the bellows shape of the cylindrical body 91, it becomes easy to ensure the clearance in the vertical direction between the swirl flow-forming body 1C and the conveyed member. In other words, even if there is a variation in height in each of the members to be conveyed, the elasticity of the cylindrical body 91 absorbs the variation.

또한, 상기의 통체(91)의 축소부의 내경을, 선회류-형성체(1C)의 오목부(13)의 내경의 1/2 이하 보다 작게 하여, 선회류-형성체(1C)는 더 작은 부재를 반송할 수 있다. 또한, 통체(91)는 반송된 부재를 유지하는 통체(91)의 일단에 형성되는 복수의 노치를 가질 수 있다. 노치의 형상은, 톱니 형상이나 반원, 반타원이나 직사각형 형상을 가질 수 있다. 또한, 선회류-형성체(1C)는 통체(91) 대신에, 단면(12)에 장착된 통체(91) 보다 작은 직경을 갖는 복수의 통체를 구비할 수 있고, 따라서 선회류-형성체(1C)가 복수의 부재를 동시에 반송할 수 있다. 또한, 통체(91)는, 벨로스 형상을 이외의 형상일 수 있다. 또한, 통체(91)은, 단면(12)에 대향하는 단부로부터, 반송된 부재와 대향하는 단부에 걸쳐 점차 축경시켜도 된다.Further, by making the inner diameter of the reduced portion of the cylindrical body 91 smaller than 1/2 or less of the inner diameter of the concave portion 13 of the swirl flow-forming body 1C, the swirl flow-forming body 1C is smaller The member can be transported. In addition, the cylindrical body 91 may have a plurality of notches formed in one end of the cylindrical body 91 holding the conveyed member. The shape of the notch may have a sawtooth shape, a semicircle, a semiellipse shape, or a rectangular shape. Further, the swirl flow-forming body 1C may have, instead of the cylinder body 91, a plurality of cylinders having a smaller diameter than the cylinder body 91 mounted on the end face 12, and thus the swirl flow-forming body ( 1C) can convey a plurality of members simultaneously. In addition, the cylindrical body 91 may have a shape other than a bellows shape. In addition, you may reduce the diameter of the cylinder 91 gradually from the edge part opposing the end surface 12 to the edge part opposing the conveyed member.

통체(91)는, 제3 실시 형태에 따른 방사류 형성체(3)의 단면(33)에 장착될 수 있다.The cylindrical body 91 may be mounted on the end face 33 of the radial flow forming body 3 according to the third embodiment.

5-6. 변형예 65-6. Variant 6

상기의 각 실시 형태에 따른 선회류-형성체 또는 방사류-형성체는, 식품에 한정되지 않고, 반도체 웨이퍼나 유리 기판 등의 판상 또는 시트상의 부재를 흡인하고 유지하고, 반송하기 위해서 사용될 수 있다. 그 때, 부재의 사이즈에 따라서, 판상의 프레임에 복수의 선회류-형성체 또는 방사류-형성체를 장착하여 사용해도 된다(예를 들면, 일본국 특허공개 2016-159405호 공보의 도 10 및 11 참조).The swirl flow-forming body or radial flow-forming body according to each of the above embodiments is not limited to food, and can be used for sucking, holding, and conveying plate-like or sheet-like members such as semiconductor wafers and glass substrates. . In that case, depending on the size of the member, a plurality of swirl flow-forming members or radial flow-forming members may be attached to the plate-shaped frame and used (for example, Fig. 10 and 11).

1, 1A, 1B, 1C, 2... 선회류-형성체, 3, 4... 방사류-형성체, 11... 본체, 12... 단면, 13... 오목부, 14... 분출구, 15... 경사면, 16... 안내 홈, 17... 공급구, 18... 환상 통로, 19... 연통로, 20... 공급로, 21... 환상 벽, 22... 안내 홈, 31... 본체, 32... 환상 오목부, 33... 단면, 34... 대향면, 35... 경사면, 36... 안내 홈, 37... 노즐 구멍, 38... 도입구, 39... 도입로, 40... 환상 통로, 41... 연통로, 42... 환상 벽, 43, 51, 52, 53, 62, 63... 안내 홈, 71... 돌기, 81... 스페이서, 91... 통체, 111... 내주 측면1, 1A, 1B, 1C, 2... vortex-former, 3, 4... radial-flow-former, 11... body, 12... cross section, 13... recess, 14 ... vents, 15... slopes, 16... guide grooves, 17... supply ports, 18... annular passages, 19... flue passages, 20... supply passages, 21... annular wall, 22... guide groove, 31... main body, 32... annular recess, 33... cross section, 34... opposing surface, 35... inclined surface, 36... guide groove, 37... nozzle hole, 38... inlet, 39... inlet, 40... annular passage, 41... flue passage, 42... annular wall, 43, 51, 52, 53, 62, 63... guide groove, 71... protrusion, 81... spacer, 91... cylinder, 111... inner peripheral side

Claims

tubular body;
a cross section formed on the body;
a concave portion formed in the cross section;
Fluid flow forming means for discharging a fluid into the concave portion to form a swirling flow of fluid or forming a radial flow in the concave portion, wherein the swirling or radial flow of the fluid generates a negative pressure to attract the member. method; and
and a straight guide groove formed in the cross section along a direction in which the fluid discharged into the recess flows out of the recess.

The method according to claim 1,
the fluid flow forming means is a fluid passage for discharging a fluid into the concave portion to form a swirling flow of the fluid;
The guide groove is formed in the cross-section along a direction at an angle of 45 degrees with respect to the direction in which the fluid passage extends when viewed toward the cross-section.

The method according to claim 1 or 2,
the fluid flow forming means is a fluid passage for discharging a fluid into the concave portion to form a radial flow;
wherein the guide groove is formed in the cross-section along a direction parallel to the direction in which the fluid passage extends when viewed toward the cross-section.

The method according to claim 1 or 2,
The guide groove is formed so that a cross-sectional area of the guide groove is enlarged in proportion to a distance from the concave portion.

The method according to claim 1 or 2,
wherein the guide groove is formed such that a cross-sectional area of the guide groove is reduced in proportion to a distance from the concave portion.

The method according to claim 1 or 2,
and movement limiting means provided on the cross-section and restricting movement along the cross-section of the member sucked by the negative pressure.

7. The method of claim 6,
The movement limiting means is a horn-shaped protrusion, and is inserted into the member to restrict the movement of the member.

column-shaped body;
a cross section formed on the body;
a concave portion formed in the cross section;
Fluid flow forming means for discharging a fluid into the concave portion to form a swirling flow of fluid or forming a radial flow in the concave portion, wherein the swirling or radial flow of the fluid generates a negative pressure to attract the member. method; and
A linear guide groove formed in the cross section along a direction in which the fluid discharged into the recess flows out of the recess, the guide groove having a smaller curvature than the arc of the opening edge of the recess when viewed toward the cross section. A suction device having a groove.

column-shaped body;
a concave portion formed on one surface of the body;
Fluid flow forming means for discharging a fluid into the concave portion to form a swirling flow of fluid or forming a radial flow in the concave portion, wherein the swirling or radial flow of the fluid generates a negative pressure to attract the member. method;
an annular wall provided to surround the concave portion, the annular wall inhibiting entry of the member into the concave portion; and
and a straight guide groove formed in the inner wall surface of the annular wall along a direction in which the fluid discharged into the recess flows out of the recess.

column-shaped body;
a concave portion formed on one surface of the body;
Fluid flow forming means for discharging a fluid into the concave portion to form a swirling flow of fluid or forming a radial flow in the concave portion, wherein the swirling or radial flow of the fluid generates a negative pressure to attract the member. method;
an annular wall provided to surround the concave portion, the annular wall inhibiting entry of the member into the concave portion; and
A straight guide groove formed on the inner wall surface of the annular wall along a direction in which the fluid discharged into the recess flows out of the recess, the guide groove being the opening edge of the recess when viewed toward the opening edge of the recess. A suction device comprising a straight guide groove having a smaller curvature than a circular arc.