KR102327960B1 - Pattern forming apparatus, pattern forming method and ejection data generation method - Google Patents

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Abstract

패턴 형성 장치는, 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 배선 기판을 향해 토출함으로써, 배선 기판 상에 레지스트막 (92) 의 패턴을 형성한다. 이 때, 배선 기판 상의 도전 패턴 (91) 의 에지 근방 영역 (951) 에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴 (91) 이 형성되어 있지 않은 기재 영역 (953) 에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 한다. 또한, 도전 패턴 (91) 의 영역 중, 에지로부터 떨어진 패턴 중앙 영역 (952) 에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 기재 영역 (953) 에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 적게 한다. 이로써, 배선 기판 상에 적절한 두께를 갖는 레지스트막의 패턴이 형성된다.A pattern forming apparatus forms the pattern of the resist film 92 on a wiring board by discharging the droplet of the ink of a soldering resist toward a wiring board by an inkjet method. At this time, the discharge amount of ink per unit area in the edge vicinity region 951 of the conductive pattern 91 on the wiring board per unit area in the base material region 953 in which the conductive pattern 91 is not formed. Make it larger than the amount of ink ejected. In addition, the discharge amount of ink per unit area in the pattern center area 952 separated from the edge among the areas of the conductive pattern 91 is made smaller than the discharge amount of ink per unit area in the base area 953 . Thereby, a pattern of a resist film having an appropriate thickness is formed on the wiring board.

Description

패턴 형성 장치, 패턴 형성 방법 및 토출 데이터 생성 방법{PATTERN FORMING APPARATUS, PATTERN FORMING METHOD AND EJECTION DATA GENERATION METHOD}PATTERN FORMING APPARATUS, PATTERN FORMING METHOD AND EJECTION DATA GENERATION METHOD

본 발명은, 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴을 형성하는 기술에 관련된다.The present invention relates to a technique for forming a pattern of a resist film on a wiring board.

종래부터, 배선 기판 상의 도체 패턴을 보호하는 것을 목적으로 하여, 배선 기판 상에 레지스트막이 형성된다. 레지스트막은, 후공정의 땜납 도포시에, 땜납이 도체 배선 등의 영역에 부착되는 것을 방지하는 역할도 가져, 「솔더 레지스트」라고도 불린다. 레지스트막을 형성하는 한 수법으로서, 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 배선 기판을 향해 토출하는 방법이 알려져 있다. 이와 같은 기술은, 예를 들어, 일본 공개특허공보 평9-283893호 및 일본 공개특허공보 2008-4820호에 개시되어 있다.BACKGROUND ART Conventionally, a resist film is formed on a wiring board for the purpose of protecting a conductor pattern on the wiring board. A resist film also has a role which prevents that solder adheres to areas|regions, such as a conductor wiring, at the time of solder application|coating of a post process, and is also called a "solder resist." As one method of forming a resist film, the method of discharging the ink droplet of a soldering resist toward a wiring board by an inkjet method is known. Such a technique is disclosed, for example in Unexamined-Japanese-Patent No. 9-283893 and Unexamined-Japanese-Patent No. 2008-4820.

그런데, 배선 기판 상에서는 도체 배선이나 랜드 등의 도체 패턴은 유리 에폭시 수지 등의 기재의 표면으로부터 약간 돌출되어 있다. 그 때문에, 단위 면적당 일정량의 잉크를 배선 기판에 부여하면, 레지스트막이 이상으로 하는 대로의 두께가 되지 않는 경우가 있다. 예를 들어, 기재의 표면과 도체 패턴의 표면 사이의 단차에서는, 도체 패턴 상으로부터 기재의 표면을 향해 잉크가 흘러, 도체 패턴의 에지 상에 충분한 두께의 레지스트막이 형성되지 않을 우려가 있다.By the way, on a wiring board, conductor patterns, such as a conductor wiring and a land, protrude slightly from the surface of base materials, such as a glass epoxy resin. Therefore, when a certain amount of ink per unit area is applied to the wiring board, the resist film may not have the desired thickness. For example, in a step difference between the surface of the substrate and the surface of the conductor pattern, ink flows from on the conductor pattern toward the surface of the substrate, and there is a risk that a resist film of sufficient thickness may not be formed on the edge of the conductor pattern.

또한, 단위 면적당 일정량의 잉크를 배선 기판에 부여한 경우, 도체 패턴의 두께가 그대로 레지스트막의 표면의 요철에 영향을 미쳐, 레지스트막의 표면의 요철이 허용 범위를 초과할 우려도 있다. 이 경우, 예를 들어, 후공정에서 땜납 페이스트를 금속 마스크를 사용하여 도포할 때에, 땜납이 올바르게 도포되지 않을 우려가 있다.In addition, when a certain amount of ink per unit area is applied to the wiring board, the thickness of the conductor pattern directly affects the unevenness of the surface of the resist film, and there is a possibility that the unevenness of the surface of the resist film exceeds the allowable range. In this case, for example, when the solder paste is applied using a metal mask in the subsequent step, there is a risk that the solder may not be applied correctly.

본 발명은, 솔더 레지스트의 잉크로 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치에 대한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the pattern forming apparatus which forms the pattern of a resist film on a wiring board with the ink of a soldering resist.

본 발명의 목적은, 배선 기판 상에 적절한 두께를 갖는 레지스트막의 패턴을 형성할 수 있다.It is an object of the present invention to form a pattern of a resist film having an appropriate thickness on a wiring board.

본 발명의 하나의 바람직한 형태에 관련된 패턴 형성 장치는, 배선 기판을 유지하는 유지부와, 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 상기 배선 기판을 향해 토출하는 헤드부와, 상기 배선 기판과 평행한 방향으로 상기 유지부에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 상기 헤드부 및 상기 이동 기구를 제어함으로써, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 에지 근방 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 하면서 상기 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴을 형성하는 제어부를 구비한다.A pattern forming apparatus according to one preferred aspect of the present invention comprises: a holding part for holding a wiring board; a head part for discharging droplets of solder resist ink toward the wiring board by an inkjet method; a moving mechanism for relatively moving the head portion with respect to the holding portion in the direction, and by controlling the head portion and the moving mechanism, the amount of ink ejected per unit area in the region near the edge of the conductive pattern on the wiring board; and a control unit for forming a pattern of a resist film on the wiring board while increasing the amount of ink discharged per unit area in a region where no conductive pattern is formed.

바람직하게는, 상기 제어부의 제어에 의해, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 영역 중, 에지로부터 떨어진 패턴 중앙 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 적게 하면서 상기 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴이 형성된다.Preferably, the discharge amount of ink per unit area in the pattern center region away from the edge among the conductive pattern regions on the wiring board is set by the control of the control unit in units of the conductive pattern area area. A pattern of a resist film is formed on the wiring board while being smaller than the amount of ink discharged per area.

더욱 바람직하게는, 상기 제어부의 제어에 의해, 상기 에지 근방 영역과 상기 패턴 중앙 영역 사이에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 상기 에지 근방 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량과 상기 패턴 중앙 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량 사이의 토출량으로 하면서 상기 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴이 형성된다.More preferably, the amount of ink discharged per unit area between the region near the edge and the center of the pattern is determined by the control of the control unit, the amount of ink discharged per unit area in the region near the edge and the center of the pattern A pattern of a resist film is formed on the wiring substrate as the discharge amount between the discharge amounts of the ink per unit area in the region.

본 발명의 다른 하나의 바람직한 형태에 관련된 패턴 형성 장치는, 배선 기판을 유지하는 유지부와, 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 상기 배선 기판을 향해 토출하는 헤드부와, 상기 배선 기판과 평행한 방향으로 상기 유지부에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 이동 기구와, 상기 헤드부 및 상기 이동 기구를 제어함으로써, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 영역 중, 에지로부터 떨어진 패턴 중앙 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 적게 하면서 상기 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴을 형성하는 제어부를 구비한다.A pattern forming apparatus according to another preferred aspect of the present invention includes: a holding part for holding a wiring board; a head part for discharging droplets of solder resist ink toward the wiring board by an inkjet method; and parallel to the wiring board. A unit in a pattern central region separated from an edge among regions of a conductive pattern on the wiring board by controlling a moving mechanism for moving the head relative to the holding portion in one direction, and controlling the head and the moving mechanism. and a control unit configured to form a resist film pattern on the wiring board while reducing the ink discharge amount per area less than the ink discharge amount per unit area in a region where no conductive pattern is formed.

상기 어느 바람직한 형태에 있어서도, 바람직하게는, 상기 제어부는, 상기 도전 패턴을 나타내는 도전 패턴 데이터와, 상기 레지스트막의 패턴을 나타내는 레지스트 패턴 데이터를 보존하는 기억부와, 상기 도전 패턴 데이터 및 상기 레지스트 패턴 데이터에 기초하여, 상기 헤드부로부터 상기 배선 기판 상의 각 위치를 향해 토출하는 잉크의 양을 나타내는 토출 데이터를 생성하는 토출 데이터 생성부를 포함한다.In any of the above preferred embodiments, preferably, the control unit includes a storage unit for storing conductive pattern data indicating the conductive pattern and resist pattern data indicating the pattern of the resist film, the conductive pattern data and the resist pattern data and an ejection data generating portion that generates ejection data indicating the amount of ink ejected from the head portion toward each position on the wiring board based on the ?

본 발명은, 솔더 레지스트의 잉크로 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴을 형성하는 패턴 형성 방법에 대한 것이기도 하다. 본 발명의 하나의 바람직한 형태에 관련된 패턴 형성 방법은, a) 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 헤드부로부터 배선 기판을 향해 토출하는 공정과, b) 상기 a) 공정과 병행하여, 상기 배선 기판과 평행한 방향으로 상기 배선 기판에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 공정을 구비하고, 상기 a) 및 b) 공정에 의해, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 에지 근방 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 하면서 상기 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴이 형성된다.This invention also relates to the pattern formation method which forms the pattern of a resist film on a wiring board with the ink of a soldering resist. A pattern forming method according to one preferred aspect of the present invention comprises: a) a step of discharging ink droplets of a solder resist from a head portion toward a wiring board by an inkjet method; b) in parallel with step a), the wiring and a step of relatively moving the head portion with respect to the wiring board in a direction parallel to the substrate, and by the steps a) and b), ink per unit area in a region near the edge of the conductive pattern on the wiring board. A pattern of a resist film is formed on the wiring board while increasing the discharge amount of the ink per unit area in the region where the conductive pattern is not formed.

본 발명의 다른 하나의 바람직한 형태에 관련된 패턴 형성 방법은, a) 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 헤드부로부터 배선 기판을 향해 토출하는 공정과, b) 상기 a) 공정과 병행하여, 상기 배선 기판과 평행한 방향으로 상기 배선 기판에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 공정을 구비하고, 상기 a) 및 b) 공정에 의해, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 영역 중, 에지로부터 떨어진 패턴 중앙 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 적게 하면서 상기 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴이 형성된다.A pattern forming method according to another preferred aspect of the present invention comprises: a) discharging droplets of solder resist ink from a head portion toward a wiring board by an inkjet method; b) in parallel with step a), a step of relatively moving the head portion with respect to the wiring board in a direction parallel to the wiring board; A pattern of a resist film is formed on the wiring board while making the ink discharge amount per unit area smaller than the ink discharge amount per unit area in the region where the conductive pattern is not formed.

본 발명은, 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 헤드부로부터 배선 기판을 향해 토출할 때에 사용되는 토출 데이터를 생성하는 토출 데이터 생성 방법에 대한 것이기도 하다. 본 발명의 하나의 바람직한 형태에 관련된 토출 데이터 생성 방법은, 배선 기판 상의 도전 패턴을 나타내는 도전 패턴 데이터와, 레지스트막의 패턴을 나타내는 레지스트 패턴 데이터를 준비하는 공정과, 상기 도전 패턴 데이터 및 상기 레지스트 패턴 데이터에 기초하여, 상기 도전 패턴의 에지 근방 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 한 토출 데이터를 생성하는 공정을 구비한다.The present invention also relates to an ejection data generating method for generating ejection data used when ejecting droplets of ink of a solder resist from a head portion toward a wiring board by an inkjet method. A discharge data generating method according to one preferred aspect of the present invention comprises the steps of: preparing conductive pattern data representing a conductive pattern on a wiring board and resist pattern data representing a pattern of a resist film; the conductive pattern data and the resist pattern data a step of generating ejection data in which the ejection amount of ink per unit area in the region near the edge of the conductive pattern is greater than the ejection amount of ink per unit area in the region where the conductive pattern is not formed based on do.

본 발명의 다른 하나의 바람직한 형태에 관련된 토출 데이터 생성 방법은, 배선 기판 상의 도전 패턴을 나타내는 도전 패턴 데이터와, 레지스트막의 패턴을 나타내는 레지스트 패턴 데이터를 준비하는 공정과, 상기 도전 패턴 데이터 및 상기 레지스트 패턴 데이터에 기초하여, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 영역 중, 에지로부터 떨어진 패턴 중앙 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 적게 한 토출 데이터를 생성하는 공정을 구비한다.A discharge data generating method according to another preferred aspect of the present invention comprises the steps of preparing conductive pattern data representing a conductive pattern on a wiring board and resist pattern data representing a pattern of a resist film, the conductive pattern data and the resist pattern Based on the data, the ink ejection amount per unit area in the pattern center region separated from the edge among the conductive pattern regions on the wiring board is higher than the ink ejection amount per unit area in the region where the conductive pattern is not formed. and a step of generating less discharge data.

상기 서술한 목적 및 다른 목적, 특징, 양태 및 이점은, 첨부한 도면을 참조하여 이하에 실시하는 이 발명의 상세한 설명에 의해 분명해진다.The above-mentioned and other objects, features, aspects, and advantages will become clear by the detailed description of this invention given below with reference to the accompanying drawings.

도 1 은, 패턴 형성 장치의 외관을 나타내는 사시도이다.
도 2 는, 컴퓨터의 구성을 나타내는 도면이다.
도 3 은, 컴퓨터에 의해 실현되는 기능 구성을 나타내는 도면이다.
도 4 는, 패턴 형성 장치의 동작의 흐름을 나타내는 도면이다.
도 5 는, 도전 패턴을 예시하는 도면이다.
도 6 은, 배선 기판 상에 레지스트막이 형성된 모습을 예시하는 도면이다.
도 7 은, 도 6 중의 VII-VII 의 위치에서의 배선 기판의 단면을 나타내는 도면이다.
도 8 은, 도 6 중의 VII-VII 의 위치 근방에 있어서의 배선 기판의 평면도이다.
도 9 는, 보정 전의 잉크량과 배선 기판의 단면을 나타내는 도면이다.
도 10 은, 보정 후의 잉크량과 배선 기판의 단면을 나타내는 도면이다.
도 11 은, 보정 전의 잉크량으로 잉크의 부여가 실시된 배선 기판의 단면을 나타내는 도면이다.
도 12 는, 보정 후의 잉크량으로 잉크의 부여가 실시된 배선 기판의 단면을 나타내는 도면이다.
도 13 은, 보정 후의 잉크량의 다른 예를 나타내는 도면이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a perspective view which shows the external appearance of a pattern forming apparatus.
Fig. 2 is a diagram showing the configuration of a computer.
Fig. 3 is a diagram showing a functional configuration realized by a computer.
4 : is a figure which shows the flow of operation|movement of a pattern forming apparatus.
5 is a diagram illustrating a conductive pattern.
6 is a diagram illustrating a state in which a resist film is formed on a wiring board.
FIG. 7 is a diagram showing a cross section of the wiring board at positions VII-VII in FIG. 6 .
Fig. 8 is a plan view of a wiring board in the vicinity of a position VII-VII in Fig. 6;
Fig. 9 is a view showing the amount of ink before correction and the cross section of the wiring board.
Fig. 10 is a diagram showing the amount of ink after correction and the cross section of the wiring board.
11 is a diagram showing a cross section of a wiring board to which ink has been applied with the amount of ink before correction.
Fig. 12 is a diagram showing a cross section of a wiring board to which ink has been applied with the amount of ink after correction.
13 is a diagram showing another example of the amount of ink after correction.

도 1 은 패턴 형성 장치 (1) 의 외관을 나타내는 사시도이다. 패턴 형성 장치 (1) 는, 솔더 레지스트의 잉크로 프린트 배선 기판 (이하, 간단히 「배선 기판」이라고 한다) (9) 상에 레지스트막의 패턴을 형성한다. 패턴 형성 장치 (1) 는 잉크젯 방식으로 패턴을 형성한다. 배선 기판 (9) 은, 바람직하게는 판상의 부재이지만, 가요성을 갖는 시트상의 부재여도 된다. 레지스트막은, 배선 기판 (9) 상의 도체 패턴을 보호한다. 도체 패턴에는, 배선, 랜드 및 그 밖의 패턴이 포함된다. 레지스트막은, 후공정에서 땜납 페이스트가 도포되는 영역이나, 레지스트막이 형성되지 말아야 하는 다른 영역에는 형성되지 않는다.1 : is a perspective view which shows the external appearance of the pattern forming apparatus 1. As shown in FIG. The pattern forming apparatus 1 forms the pattern of a resist film on the printed wiring board (henceforth simply a "wiring board") 9 with the ink of a soldering resist. The pattern forming apparatus 1 forms a pattern by an inkjet method. The wiring board 9 is preferably a plate-shaped member, but may be a flexible sheet-shaped member. The resist film protects the conductor pattern on the wiring board 9 . The conductor pattern includes wirings, lands, and other patterns. The resist film is not formed in the region to which the solder paste is applied in the post process, or in other regions where the resist film is not to be formed.

패턴 형성 장치 (1) 는, 본체 (11) 와, 제어부 (12) 를 구비한다. 본체 (11) 는, 배선 기판 (9) 과 평행한 Y 방향으로 배선 기판 (9) 을 이동시키는 Y 방향 이동 기구 (2a) 와, 이동 도중의 배선 기판 (9) 을 향해 솔더 레지스트의 잉크 (이하, 간단히 「잉크」라고 한다) 의 미소 액적을 토출하는 헤드부 (3) 와, Y 방향에 수직이며 또한 배선 기판 (9) 과 평행한 X 방향으로 헤드부 (3) 를 이동시키는 X 방향 이동 기구 (2b) 와, 헤드부 (3) 에 공급되는 잉크를 저류하는 탱크 (4) 를 구비한다. 이하, Y 방향 이동 기구 (2a) 및 X 방향 이동 기구 (2b) 를 합쳐서 「이동 기구 (2)」라고 부른다. Y 방향 이동 기구 (2a) 및 X 방향 이동 기구 (2b) 로는 다양한 기구가 이용 가능하다. 예를 들어, 모터가 장착된 볼 나사 기구가 채용되어도 되고, 리니어 모터가 채용되어도 된다. 제어부 (12) 는, 이동 기구 (2) 및 헤드부 (3) 를 제어한다. 잉크는 탱크 (4) 로부터 튜브 (41) 를 통해 헤드부 (3) 에 공급된다.The pattern forming apparatus 1 includes a main body 11 and a control unit 12 . The main body 11 is the Y-direction movement mechanism 2a which moves the wiring board 9 in the Y direction parallel to the wiring board 9, and the ink of a soldering resist toward the wiring board 9 in the middle of movement (the following) , simply referred to as "ink"), a head portion 3 for discharging minute droplets, and an X-direction moving mechanism for moving the head portion 3 in the X direction perpendicular to the Y direction and parallel to the wiring board 9 . (2b) and a tank (4) for storing ink supplied to the head (3). Hereinafter, the Y-direction movement mechanism 2a and the X-direction movement mechanism 2b are collectively called "the movement mechanism 2". Various mechanisms can be used as the Y-direction movement mechanism 2a and the X-direction movement mechanism 2b. For example, a ball screw mechanism with a motor may be employed, or a linear motor may be employed. The control unit 12 controls the moving mechanism 2 and the head unit 3 . Ink is supplied from the tank 4 to the head portion 3 through the tube 41 .

Y 방향 이동 기구 (2a) 는 배선 기판 (9) 을 유지하는 유지부 (21) 를 갖는다. 본 실시형태에서는 유지부 (21) 는 스테이지로, 이하, 유지부 (21) 를 「스테이지 (21)」라고 부른다. 배선 기판 (9) 은 스테이지 (21) 상에 유지된다. 본 실시형태에서는, 스테이지 (21) 의 표면에는 다수의 구멍이 형성되어 있고, 구멍은 도시되지 않은 흡인 장치에 접속된다. 구멍으로부터 공기의 흡인이 실시됨으로써, 배선 기판 (9) 은 스테이지 (21) 상에 유지된다. 배선 기판 (9) 의 유지는 다른 다양한 수법에 의해 실시되어도 된다. 예를 들어, 스테이지 (21) 의 표면에 구멍으로부터 수평 방향으로 연장되는 홈이 형성되어, 배선 기판 (9) 을 흡인 흡착하는 면적이 확대되어도 된다. 스테이지 (21) 를 다공질 재료로 형성하고, 다공질 재료로부터 흡인이 실시되어도 된다. 스테이지 (21) 는, 기계적인 기구 (機構) 에 의해 배선 기판 (9) 을 유지해도 된다.The Y-direction movement mechanism 2a has a holding portion 21 that holds the wiring board 9 . In this embodiment, the holding|maintenance part 21 is a stage, and hereafter, the holding|maintenance part 21 is called "stage 21." The wiring board 9 is held on the stage 21 . In this embodiment, a large number of holes are formed in the surface of the stage 21, and the holes are connected to an unillustrated suction device. By sucking air from the hole, the wiring board 9 is held on the stage 21 . The holding of the wiring board 9 may be performed by other various methods. For example, a groove extending in the horizontal direction from the hole may be formed in the surface of the stage 21 to increase the area for sucking and adsorbing the wiring board 9 . The stage 21 may be formed of a porous material, and suction may be performed from the porous material. The stage 21 may hold the wiring board 9 by a mechanical mechanism.

헤드부 (3) 에는, X 방향에 관하여 등간격으로 배열된 다수의 토출구를 갖는 토출 유닛이 형성된다. 각 토출구로부터 잉크젯 방식으로 잉크의 액적이 토출된다. 잉크는, 배선 기판 (9) 을 향해 도 1 의 (-Z) 방향으로 토출된다. 잉크젯 방식으로는 다양한 구조가 이용 가능하고, 피에조를 이용하는 구조나 히터를 이용하는 구조가 이용 가능하다.In the head portion 3, a discharge unit having a plurality of discharge ports arranged at equal intervals with respect to the X direction is formed. Droplets of ink are discharged from each discharge port in an inkjet method. The ink is discharged toward the wiring board 9 in the (-Z) direction in FIG. 1 . In the inkjet method, various structures are available, and a structure using a piezo or a structure using a heater may be used.

복수의 토출구로부터 잉크의 액적을 토출하면서 스테이지 (21) 가 Y 방향 이동 기구 (2a) 에 의해 배선 기판 (9) 과 평행한 Y 방향으로 이동함으로써, Y 방향으로 연장되는 영역에 잉크가 부여된다. 이하, 배선 기판 (9) 의 Y 방향의 이동을 「주주사」라고도 한다. 실제로는, 배선 기판 (9) 의 1 회의 주(主)주사에 의해서는, 배선 기판 (9) 상에 복수의 토출구에 대응하는 복수의 잉크의 선이 형성된다. 1 회의 주주사가 완료되면, 헤드부 (3) 는 X 방향 이동 기구 (2b) 에 의해 배선 기판 (9) 과 평행한 X 방향으로 약간 이동하고, 배선 기판 (9) 은 Y 방향 이동 기구 (2a) 에 의해 (-Y) 방향으로 이동한다. 이로써, 2 회째의 주주사가 실시되어, 전회의 주주사에 의해 형성된 잉크의 각 선에 인접하여 잉크의 선이 형성된다.The stage 21 is moved in the Y direction parallel to the wiring board 9 by the Y direction moving mechanism 2a while discharging ink droplets from the plurality of discharge ports, whereby ink is supplied to the region extending in the Y direction. Hereinafter, the movement of the wiring board 9 in the Y direction is also referred to as "main scanning". In fact, a plurality of ink lines corresponding to a plurality of discharge ports are formed on the wiring board 9 by one main scan of the wiring board 9 . When one main scan is completed, the head 3 is slightly moved in the X direction parallel to the wiring board 9 by the X direction moving mechanism 2b, and the wiring board 9 is moved by the Y direction moving mechanism 2a. moves in the (-Y) direction. In this way, the second main scanning is performed, and ink lines are formed adjacent to the respective lines of ink formed by the previous main scanning.

주주사를 소정 횟수 반복함으로써, 복수의 토출구의 X 방향의 배열 폭과 거의 동등한 폭의 영역에 레지스트막이 형성된다. 레지스트막은 필요한 영역에만 형성되기 때문에, 정확하게는, 레지스트막의 패턴이 형성된다. 이하, 복수의 토출구의 X 방향의 배열 폭에 거의 동등한 폭을 「유닛 폭」이라고 부르고, 이 폭으로 레지스트막이 형성되는 영역을 「유닛 영역」이라고 부른다. 하나의 유닛 영역에 레지스트막이 형성되면, 헤드부 (3) 는 X 방향 이동 기구 (2b) 에 의해 X 방향으로 유닛 폭만큼 이동하고, 상기 서술한 주주사를 반복함으로써, 전회의 유닛 영역에 인접하는 유닛 영역에 레지스트막이 형성된다.By repeating the main scanning a predetermined number of times, a resist film is formed in a region having a width substantially equal to the arrangement width of the plurality of discharge ports in the X direction. Since the resist film is formed only in a necessary region, a pattern of the resist film is precisely formed. Hereinafter, a width substantially equal to the arrangement width in the X direction of the plurality of discharge ports is referred to as a "unit width", and a region in which the resist film is formed with this width is referred to as a "unit area". When a resist film is formed in one unit area, the head 3 is moved by the unit width in the X direction by the X direction movement mechanism 2b, and by repeating the above-mentioned main scanning, the unit adjacent to the previous unit area is A resist film is formed in the region.

유닛 영역에서의 레지스트막의 형성 및 헤드부 (3) 의 X 방향으로의 이동이 반복됨으로써, 배선 기판 (9) 상의 필요한 영역 전체에 레지스트막의 패턴이 형성된다.By repeating the formation of the resist film in the unit region and the movement of the head portion 3 in the X direction, a pattern of the resist film is formed in the entire required region on the wiring board 9 .

도 2 는, 제어부 (12) 가 갖는 컴퓨터 (5) 의 구성을 나타내는 도면이다. 컴퓨터 (5) 는 각종 연산 처리를 실시하는 CPU (51), 기본 프로그램을 기억하는 ROM (52) 및 각종 정보를 기억하는 RAM (53) 을 포함하는 일반적인 컴퓨터 시스템의 구성으로 되어 있다. 컴퓨터 (5) 는, 정보 기억을 실시하는 고정 디스크 (54), 화상 등의 각종 정보의 표시를 실시하는 디스플레이 (55), 조작자로부터의 입력을 받아들이는 입력부 (56) 인 키보드 (56a) 및 마우스 (56b), 광 디스크, 자기 디스크, 광 자기 디스크, 메모리 카드 등의 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 (8) 로부터 정보의 판독을 실시하는 판독 장치 (57), 그리고, 본체 (11) 와의 사이에서 신호를 송수신하는 통신부 (58) 를 추가로 포함한다.FIG. 2 : is a figure which shows the structure of the computer 5 which the control part 12 has. The computer 5 has a configuration of a general computer system including a CPU 51 for performing various arithmetic processing, a ROM 52 for storing basic programs, and a RAM 53 for storing various kinds of information. The computer 5 includes a fixed disk 54 for storing information, a display 55 for displaying various information such as images, a keyboard 56a serving as an input unit 56 for receiving input from an operator, and a mouse. (56b), a reading device (57) for reading information from a computer-readable recording medium (8) such as an optical disk, a magnetic disk, a magneto-optical disk, a memory card, and a signal between the main body (11) It further includes a communication unit 58 for transmitting and receiving.

컴퓨터 (5) 에서는, 사전에 판독 장치 (57) 를 통해 기록 매체 (8) 로부터 프로그램 (80) 이 판독 출력되어 고정 디스크 (54) 에 기억되고 있다. 프로그램 (80) 은 네트워크를 통해 고정 디스크 (54) 에 기억되어도 된다. CPU (51) 는, 프로그램 (80) 에 따라 RAM (53) 이나 고정 디스크 (54) 를 이용하면서 연산 처리를 실행한다. CPU (51) 는, 컴퓨터 (5) 에 있어서 연산부로서 기능한다. CPU (51) 이외에 연산부로서 기능하는 다른 구성이 채용되어도 된다.In the computer 5 , the program 80 is read out from the recording medium 8 through the reading device 57 in advance and stored in the fixed disk 54 . The program 80 may be stored in the fixed disk 54 via a network. The CPU 51 executes arithmetic processing while using the RAM 53 or the fixed disk 54 according to the program 80 . The CPU 51 functions as an arithmetic unit in the computer 5 . In addition to the CPU 51, other configurations that function as an arithmetic unit may be employed.

도 3 은, 컴퓨터 (5) 가 프로그램 (80) 에 따라 연산 처리를 실행함으로써 실현되는 기능 구성을 나타내는 도면이다. 이들 기능 구성에는, 토출 데이터 생성부 (61) 와, 기억부 (62) 가 포함된다. 기억부 (62) 는, RAM (53) 이나 고정 디스크 (54) 등에 대응한다. 토출 데이터 생성부 (61) 는, 에지 추출부 (611) 와, 보정부 (612) 와, 변환부 (613) 를 포함한다. 이들 기능의 전부 또는 일부는 전용의 전기 회로에 의해 실현되어도 된다. 또, 복수의 컴퓨터에 의해 이들 기능이 실현되어도 된다.FIG. 3 is a diagram showing a functional configuration realized by the computer 5 executing arithmetic processing in accordance with the program 80 . These functional configurations include a discharge data generation unit 61 and a storage unit 62 . The storage unit 62 corresponds to the RAM 53 , the fixed disk 54 , or the like. The discharge data generating unit 61 includes an edge extracting unit 611 , a correcting unit 612 , and a converting unit 613 . All or part of these functions may be realized by a dedicated electric circuit. In addition, these functions may be realized by a plurality of computers.

도 4 는, 패턴 형성 장치 (1) 의 동작의 흐름을 나타내는 도면이다. 도 4 의 스텝 S12 ∼ S14 는 제어부 (12) 에 의한 연산 처리이며, 스텝 S15 는, 제어부 (12) 의 제어에 의한 본체 (11) 의 동작이다. 기억부 (62) 에는, 미리, 통신부 (58) 나 판독 장치 (57) 등을 통해, 도전 패턴 데이터 (71) 및 레지스트 패턴 데이터 (72) 가 보존되어 준비된다 (스텝 S11). 도전 패턴 데이터 (71) 는, 배선 기판 (9) 상의 도전 패턴을 나타내는 정보이다. 레지스트 패턴 데이터 (72) 는, 배선 기판 (9) 상에 형성될 예정인 레지스트막의 패턴을 나타내는 정보이다. 또한, 도전 패턴 데이터 (71) 및 레지스트 패턴 데이터 (72) 는, 기억부 (62) 에 보존된 단계에서는, 벡터 데이터여도 된다.4 : is a figure which shows the flow of operation|movement of the pattern forming apparatus 1 . Steps S12 to S14 in FIG. 4 are arithmetic processing by the control unit 12 , and step S15 is an operation of the main body 11 under the control of the control unit 12 . In the storage unit 62, the conductive pattern data 71 and the resist pattern data 72 are stored and prepared in advance through the communication unit 58, the reading device 57, or the like (step S11). The conductive pattern data 71 is information indicating a conductive pattern on the wiring board 9 . The resist pattern data 72 is information indicating a pattern of a resist film to be formed on the wiring board 9 . In addition, the conductive pattern data 71 and the resist pattern data 72 may be vector data at a stage stored in the storage unit 62 .

도 5 는, 배선 기판 (9) 상의 도전 패턴 (91) 을 예시하는 도면이다. 도 5 에서는 도전 패턴 (91) 에 평행 사선을 부여하고 있다. 도전 패턴 (91) 은, 전형적으로는, 기재 (90) 상에 형성된 얇은 구리의 패턴이다. 기재 (90) 는, 예를 들어, 유리 에폭시 수지에 의해 형성되지만, 다른 재료에 의해 형성되어도 된다. 도전 패턴 (91) 의 기재 (90) 의 표면으로부터의 높이는, 예를 들어, 35 ㎛ 이다. 도전 패턴 (91) 의 높이로는 다양한 것이 있다. 도 6 은, 배선 기판 (9) 상에 절연층인 레지스트막 (92) 이 형성된 모습을 예시하는 도면이다. 레지스트막 (92) 에 평행 사선을 부여하고 있다. 영역 (931, 932) 은, 레지스트막 (92) 이 존재하지 않는 영역이다.FIG. 5 is a diagram illustrating the conductive pattern 91 on the wiring board 9 . In FIG. 5 , a parallel diagonal line is provided to the conductive pattern 91 . The conductive pattern 91 is typically a thin copper pattern formed on the base material 90 . The base material 90 is formed of, for example, a glass epoxy resin, but may be formed of other materials. The height of the conductive pattern 91 from the surface of the base material 90 is, for example, 35 µm. The height of the conductive pattern 91 may vary. FIG. 6 is a diagram illustrating a state in which a resist film 92 which is an insulating layer is formed on the wiring board 9 . A parallel diagonal line is provided to the resist film 92 . The regions 931 and 932 are regions in which the resist film 92 does not exist.

도 3 의 에지 추출부 (611) 는, 도전 패턴 데이터 (71) 에 대해 에지 추출 처리를 실시함으로써, 도전 패턴 (91) 의 에지를 나타내는 화상을 생성한다. 정확하게는, 에지를 나타내는 화상의 데이터인 에지 데이터를 생성한다 (스텝 S12). 에지 데이터는, 보정부 (612) 에 입력된다. 보정부 (612) 에는, 도전 패턴 데이터 (71) 및 레지스트 패턴 데이터 (72) 도 입력된다. 레지스트 패턴 데이터 (72) 는, 레지스트막의 패턴을 나타내는 화상의 데이터이며, 각 화소에, 잉크의 「부여 있음」을 나타내는 값 「1」 또는 「부여 없음」을 나타내는 값 「0」이 설정되어 있다. 이하, 잉크의 부여의 유무를 나타내는 값을 「부여값」이라고 부른다.The edge extraction unit 611 of FIG. 3 generates an image representing the edge of the conductive pattern 91 by performing edge extraction processing on the conductive pattern data 71 . More precisely, edge data, which is data of an image representing an edge, is generated (step S12). The edge data is input to the correction unit 612 . Conductive pattern data 71 and resist pattern data 72 are also input to the correction unit 612 . The resist pattern data 72 is image data indicating a pattern of a resist film, and a value "1" indicating "with application" or a value "0" indicating "without application" of ink is set in each pixel. Hereinafter, a value indicating the presence or absence of application of ink is referred to as a “applied value”.

보정부 (612) 는, 레지스트 패턴 데이터 (72) 의 각 화소의 부여값을, 레지스트막의 설계상의 두께에 대응하는 단위 면적당의 잉크량으로 변환한다. 즉, 보정부 (612) 에서는, 「부여 있음」의 화소에 대해 미리 정해진 단위 면적당의 잉크량을 설정한다. 이하, 단위 면적당의 잉크량을, 간단히 「잉크량」이라고 한다. 「부여 없음」의 화소에 대해서는 잉크량을 「0」으로 설정한다. 잉크량은, 단위에 연관된 구체적인 잉크량을 나타내는 값이어도 되고, 잉크량에 연관된 단순한 값이어도 된다.The correction unit 612 converts the given value of each pixel in the resist pattern data 72 into an ink amount per unit area corresponding to the design thickness of the resist film. That is, the correction unit 612 sets a predetermined amount of ink per unit area for a pixel of "provided". Hereinafter, the amount of ink per unit area is simply referred to as "ink amount". The ink amount is set to "0" for the pixel of "no application". The ink amount may be a value indicating a specific ink amount associated with a unit, or may be a simple value associated with the ink amount.

다음으로, 보정부 (612) 는, 에지 데이터에 기초하여, 도전 패턴 (91) 의 에지 근방 영역에 있어서의 레지스트막의 두께가 두꺼워지도록 각 화소의 잉크량을 보정한다 (스텝 S13 의 일부). 즉, 보정부 (612) 는, 형성 예정인 레지스트막의 패턴과 도전 패턴 (91) 의 에지가 겹치는 위치 근방에 있어서, 부여되는 잉크의 양이 증대되도록 레지스트 패턴 데이터 (72) 를 보정한다.Next, the correction unit 612 corrects the ink amount of each pixel based on the edge data so that the thickness of the resist film in the region near the edge of the conductive pattern 91 becomes thick (part of step S13). That is, the correction unit 612 corrects the resist pattern data 72 so that the amount of ink applied is increased in the vicinity of the position where the pattern of the resist film to be formed and the edge of the conductive pattern 91 overlap.

보정부 (612) 는, 또한, 도전 패턴 데이터 (71) 및 에지 데이터를 참조함으로써, 도전 패턴 (91) 의 영역 중, 에지로부터 떨어진 배선 중앙 영역에 있어서의 레지스트막의 두께가 얇아지도록 각 화소의 잉크량을 보정한다 (스텝 S13 의 일부). 즉, 보정부 (612) 는, 형성 예정인 레지스트막의 패턴과 도전 패턴 (91) 의 에지보다 내측의 영역이 겹치는 영역에 있어서, 부여되는 잉크의 양이 감소하도록 레지스트 패턴 데이터 (72) 를 보정한다.The correction unit 612 further refers to the conductive pattern data 71 and the edge data so that, among the regions of the conductive pattern 91, the thickness of the resist film in the central region of the wiring separated from the edge is thinned with the ink of each pixel. amount is corrected (part of step S13). That is, the correction unit 612 corrects the resist pattern data 72 so that the amount of ink to be applied decreases in the region where the pattern of the resist film to be formed and the region inside the conductive pattern 91 overlap.

스텝 S12, S13 의 구체예에 대해, 도 6 내지 도 10 을 참조하여 더욱 설명한다. 도 7 은, 레지스트막 (92) 이 형성되기 전의 단계에서의 도 6 중의 VII-VII 의 위치에 있어서의 배선 기판 (9) 의 단면을 나타내는 도면이다. 도 8 은, 레지스트막 (92) 이 형성되기 전의 단계에서의 VII-VII 의 위치 근방에 있어서의 배선 기판 (9) 의 평면도이다. 도전 패턴 (91) 은, 기재 (90) 상에 형성되어 있고, 어느 정도의 두께를 갖는다. 보정부 (612) 는, 도 7 및 도 8 에 부호 94 를 부여하는 도전 패턴 (91) 의 에지를, 도전 패턴 데이터 (71) 로부터 취득한다 (스텝 S12).Specific examples of steps S12 and S13 will be further described with reference to FIGS. 6 to 10 . FIG. 7 is a diagram showing a cross section of the wiring board 9 at positions VII-VII in FIG. 6 at a stage before the resist film 92 is formed. 8 is a plan view of the wiring board 9 in the vicinity of the positions VII-VII in the stage before the resist film 92 is formed. The conductive pattern 91 is formed on the base material 90 and has a certain thickness. The correction unit 612 acquires, from the conductive pattern data 71 , the edge of the conductive pattern 91 assigned with reference numeral 94 in FIGS. 7 and 8 (step S12 ).

여기서, 레지스트막 (92) 이 형성되기 전의 단계에서는, 도 6 의 VII-VII 의 범위에서는, 전체에 레지스트막 (92) 이 형성될 예정으로 되어 있다. 즉, 전체 범위에 있어서 부여값은 「1」이다. 그 때문에, 보정부 (612) 는, 전체 범위에 걸쳐 잉크량을 기정값으로 설정한다. 본 실시형태에서는, 기정값의 잉크량을 「100 ％」로 표현한다. 이 값은, 헤드부 (3) 가 토출할 수 있는 잉크량의 상한값보다 낮다. 도 9 의 하단은, 도 7 과 마찬가지로, VII-VII 의 위치에 있어서의 배선 기판 (9) 의 단면을 나타내고, 상단은, VII-VII 의 범위에 있어서, 잉크량이 100 ％ 로 설정된 것을 나타내고 있다.Here, in the stage before the resist film 92 is formed, in the range VII-VII in FIG. 6, the resist film 92 is scheduled to be formed entirely. That is, in the entire range, the given value is "1". Therefore, the correction unit 612 sets the ink amount to a predetermined value over the entire range. In this embodiment, the ink amount of the preset value is expressed as "100%". This value is lower than the upper limit of the amount of ink that the head part 3 can eject. The lower end of Fig. 9 shows a cross section of the wiring board 9 at the position VII-VII, similar to Fig. 7, and the upper end shows that the ink amount is set to 100% in the range VII-VII.

다음으로, 보정부 (612) 는, 에지 데이터에 기초하여, 도전 패턴 (91) 의 에지 근방 영역 (도 7 및 도 8 에 있어서, 부호 951 을 부여하는 영역이며, 도 8 에서는 평행 사선을 부여하고 있다) 에 있어서의 레지스트막의 두께가 두꺼워지도록 잉크량, 즉, 화소값을 보정한다 (스텝 S13 의 일부). 도 10 의 상단에서는, 에지 근방 영역 (951) 에 대응하는 위치에 부호 951 을 부여하고 있고, 에지 근방 영역 (951) 에서 잉크량이 100 ％ 를 상회하여 기정값보다 많은 것을 나타내고 있다.Next, the correction unit 612 is a region in the vicinity of the edge of the conductive pattern 91 (in Figs. 7 and 8, a region assigned the reference numeral 951, in Fig. 8, a parallel diagonal line is assigned, based on the edge data) The ink amount, that is, the pixel value, is corrected so that the thickness of the resist film in step S13 is increased (part of step S13). In the upper part of FIG. 10, the code|symbol 951 is attached|subjected to the position corresponding to the edge vicinity area|region 951, and it has shown that the ink amount exceeds 100% in the edge vicinity area|region 951, and it is more than a predetermined value.

또한, 보정부 (612) 는, 도전 패턴 데이터 (71) 및 에지 데이터를 참조함으로써, 도 7 및 도 8 에 나타내는 바와 같이, 도전 패턴 (91) 의 영역 중, 에지 (94) 로부터 떨어진 패턴 중앙 영역 (952) 을 특정한다. 도 8 에서는, 패턴 중앙 영역 (952) 에 평행 사선을 부여하고 있다. 그리고, 패턴 중앙 영역 (952) 에 있어서의 레지스트막의 두께가 얇아지도록 잉크량, 즉, 화소값을 보정한다 (스텝 S13 의 일부). 도 10 의 상단에서는, 패턴 중앙 영역 (952) 에 대응하는 위치에 부호 952 를 부여하고 있고, 패턴 중앙 영역 (952) 에서 잉크량이 100 ％ 를 하회하여 잉크량이 기정값보다 적은 것을 나타내고 있다.In addition, the correction unit 612 refers to the conductive pattern data 71 and the edge data, and as shown in FIGS. 7 and 8 , among the regions of the conductive pattern 91 , the pattern center region separated from the edge 94 . (952) is specified. In FIG. 8, the parallel diagonal line is provided in the pattern center area|region 952. Then, the ink amount, ie, the pixel value, is corrected so that the thickness of the resist film in the pattern center region 952 is reduced (part of step S13). In the upper part of FIG. 10, the reference|symbol 952 is attached|subjected to the position corresponding to the pattern center area 952, and it shows that the ink amount is less than 100% in the pattern center area 952, and the ink amount is smaller than a predetermined value.

도 11 은, 만일, 패턴 형성 장치 (1) 가 도 6 의 VII-VII 의 전체 범위에 있어서, 잉크량 100 ％ 로 잉크의 부여를 실시한 경우의 레지스트막 (92) 을 나타내는 도면이다. 솔더 레지스트의 잉크는, 도전 패턴 (91) 의 에지 (94) 근방에 있어서, 도전 패턴 (91) 으로부터 기재 (90) 를 향해 어느 정도 흘러 떨어지기 때문에, 레지스트막 (92) 의 두께는 에지 근방 영역 (951) 에 있어서 얇아진다. 그 결과, 에지 근방에 있어서 절연 불량이 발생할 우려가 있다. 레지스트막 (92) 의 두께는, 예를 들어, 십수 ㎛ 필요하다. 레지스트막 (92) 의 필요한 두께는, 배선 기판 (9) 의 종류에 따라 여러 가지로 상이하다.Fig. 11 is a diagram showing the resist film 92 in the case where the pattern forming apparatus 1 applies ink at 100% of the ink amount in the entire range VII-VII in Fig. 6 . In the vicinity of the edge 94 of the conductive pattern 91, the ink of the soldering resist flows to some extent from the conductive pattern 91 toward the base material 90, and therefore the thickness of the resist film 92 is a region near the edge. (951), it becomes thinner. As a result, there exists a possibility that insulation defect may generate|occur|produce in the edge vicinity. The thickness of the resist film 92 is, for example, tens of micrometers. The required thickness of the resist film 92 is variously different depending on the kind of the wiring board 9 .

한편, 패턴 중앙 영역 (952) 에서는, 레지스트막 (92) 의 두께는 잉크량 100 ％ 에 대응하는 두께로 된다. 여기서, 에지 근방 영역 (951) 보다 외측의 영역을 기재 영역 (953) (도 7 및 도 8 참조) 이라고 부르면, 패턴 중앙 영역 (952) 과 기재 영역 (953) 에서 레지스트막 (92) 의 높이의 차가 크게 상이하면, 후공정의 땜납 페이스트의 도포시에 문제가 생길 우려가 있다. 구체적으로는, 땜납 페이스트를 도포하는 영역에 대응하는 개구가 형성된 금속판을 레지스트막 (92) 상에 배치하고 스퀴지를 사용하여 땜납 페이스트를 인쇄, 즉, 도포할 때에, 금속판과 레지스트막 (92) 사이에 부분적으로 큰 간극이 생겨 도포가 적절히 실시되지 않을 우려가 있다.On the other hand, in the pattern center region 952, the resist film 92 has a thickness corresponding to 100% of the ink amount. Here, if the region outside the edge vicinity region 951 is called the base region 953 (see Figs. 7 and 8), the height of the resist film 92 in the pattern center region 952 and the substrate region 953 is If the difference is significantly different, there is a possibility that a problem may arise during application of the solder paste in the subsequent step. Specifically, when a metal plate having an opening corresponding to the area to which the solder paste is applied is disposed on the resist film 92 and the solder paste is printed, that is, applied, between the metal plate and the resist film 92 using a squeegee. There is a possibility that a large gap is partially formed on the surface, so that the application may not be performed properly.

패턴 형성 장치 (1) 에서는, 에지 근방 영역 (951) 및 패턴 중앙 영역 (952) 에 있어서의 상기 문제를 해결하기 위해, 상기 서술한 바와 같이, 에지 근방 영역 (951) 에 있어서의 잉크량이, 기재 영역 (953) 의 잉크량보다 많아지도록 설정되고, 패턴 중앙 영역 (952) 에 있어서의 잉크량이, 기재 영역 (953) 의 잉크량보다 적어지도록 설정된다. 이하, 보정부 (612) 에 의해 단위 면적당의 잉크의 부여량을 나타내는 데이터로 변환되고, 또한 보정된 레지스트 패턴 데이터 (72) 를 「보정 완료 레지스트 패턴 데이터」라고 부른다.In the pattern forming apparatus 1, in order to solve the said problem in the edge vicinity area|region 951 and the pattern center area|region 952, as mentioned above, the ink amount in the edge vicinity area|region 951 is a base material It is set so that it may become larger than the amount of ink of the area|region 953, and it is set so that the amount of ink in the pattern center area|region 952 may become smaller than the amount of ink of the base material area|region 953. Hereinafter, the corrected resist pattern data 72 converted into data indicating the amount of ink applied per unit area by the correction unit 612 is referred to as "corrected resist pattern data".

보정 완료 레지스트 패턴 데이터는, 도 3 의 변환부 (613) 에 입력되고, 헤드부 (3) 의 각 토출구가 각 위치에서 토출하는 잉크량을 나타내는 토출 데이터 (75) 로 변환된다 (스텝 S14). 바꾸어 말하면, 토출 데이터 (75) 는, 헤드부 (3) 로부터 배선 기판 (9) 상의 각 위치를 향해 토출되는 잉크의 양을 나타낸다. 토출 데이터 (75) 는, 기억부 (62) 에 보존된다. 토출 데이터 (75) 는, 예를 들어, 배선 기판 (9) 상에 10 ㎛ 피치로 격자상으로 설정된 각 위치에 부여되는 잉크 액적의 사이즈를 나타내는 데이터로서 생성된다.The corrected resist pattern data is input to the conversion unit 613 in Fig. 3, and is converted into discharge data 75 indicating the amount of ink discharged at each position by each discharge port of the head unit 3 (step S14). In other words, the ejection data 75 indicates the amount of ink ejected from the head portion 3 toward each position on the wiring board 9 . The discharge data 75 is stored in the storage unit 62 . The ejection data 75 is generated, for example, as data indicating the size of the ink droplet given to each position set in a grid shape with a pitch of 10 mu m on the wiring board 9 .

이상에서 설명한 바와 같이, 토출 데이터 생성부 (61) 는, 도전 패턴 데이터 (71) 및 레지스트 패턴 데이터 (72) 에 기초하여 토출 데이터 (75) 를 생성한다. 보정 완료 레지스트 패턴 데이터와 토출 데이터 (75) 는, 정보의 형식이 상이할 뿐, 실질적으로 모두 단위 면적당의 잉크의 토출량을 나타낸다.As described above, the discharge data generation unit 61 generates the discharge data 75 based on the conductive pattern data 71 and the resist pattern data 72 . The corrected resist pattern data and the ejection data 75 have different information formats, and substantially both indicate the ejection amount of ink per unit area.

본체 (11) 는, 제어부 (12) 로부터 토출 데이터 (75) 를 수신하고, 토출 데이터 (75) 에 따라 헤드부 (3) 및 이동 기구 (2) 를 제어한다. 구체적으로는, 잉크의 액적을 헤드부 (3) 로부터 배선 기판 (9) 을 향해 토출하는 공정과, 배선 기판 (9) 과 평행한 방향으로 배선 기판 (9) 에 대해 헤드부 (3) 를 상대적으로 이동시키는 공정이 병행하여 실시된다. 이로써, 배선 기판 (9) 상에 잉크가 부여되어, 레지스트막 (92) 의 패턴이 형성된다 (스텝 S15).The main body 11 receives the discharge data 75 from the control unit 12 , and controls the head 3 and the moving mechanism 2 according to the discharge data 75 . Specifically, a step of discharging ink droplets from the head portion 3 toward the wiring board 9, and the head portion 3 relative to the wiring board 9 in a direction parallel to the wiring board 9 The moving process is carried out in parallel. Thereby, ink is applied on the wiring board 9, and the pattern of the resist film 92 is formed (step S15).

도 12 는, 도 6 의 VII-VII 의 위치에서, 보정 완료 레지스트 패턴 데이터로부터 유도되는 토출 데이터 (75) 에 따라 형성된 레지스트막 (92) 을 나타내는 도면이다. 도 12 에서는, 도 11 의 레지스트막 (92) 의 형상을 이점쇄선으로 나타내고 있다. 제어부 (12) 의 제어에 의해, 에지 근방 영역 (951) 에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 기재 영역 (953), 즉, 도전 패턴 (91) 이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 하면서 배선 기판 (9) 상에 레지스트막 (92) 의 패턴이 형성된다. 이로써, 에지 근방 영역 (951) 에 있어서 레지스트막 (92) 의 충분한 두께가 확보된다.Fig. 12 is a diagram showing a resist film 92 formed in accordance with ejection data 75 derived from corrected resist pattern data at positions VII-VII in Fig. 6; In Fig. 12, the shape of the resist film 92 in Fig. 11 is indicated by a double-dotted line. Under the control of the control unit 12, the discharge amount of ink per unit area in the edge vicinity region 951 is set per unit area in the base material region 953, that is, in the region where the conductive pattern 91 is not formed. A pattern of the resist film 92 is formed on the wiring board 9 while increasing the amount of ink discharged. Thereby, sufficient thickness of the resist film 92 in the edge vicinity area|region 951 is ensured.

한편, 패턴 중앙 영역 (952) 에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량은, 기재 영역 (953), 즉, 도전 패턴 (91) 이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 적게 하면서 배선 기판 (9) 상에 레지스트막 (92) 의 패턴이 형성된다. 이로써, 패턴 중앙 영역 (952) 에 있어서 레지스트막 (92) 이 불필요하게 두꺼워지는 것이 억제되어, 레지스트막 (92) 의 표면의 요철이 완화된다. 그 결과, 땜납 페이스트의 도포 등의 후공정에 있어서의 문제의 발생을 억제할 수 있다. 나아가, 잉크의 소비량도 삭감할 수 있다.On the other hand, while the discharge amount of ink per unit area in the pattern center area 952 is smaller than the discharge amount of ink per unit area in the base area 953, that is, in the area where the conductive pattern 91 is not formed, A pattern of a resist film 92 is formed on the wiring board 9 . Thereby, it is suppressed that the resist film 92 thickens unnecessarily in the pattern center area|region 952, and the unevenness|corrugation of the surface of the resist film 92 is relieved. As a result, it is possible to suppress the occurrence of problems in subsequent steps such as application of the solder paste. Furthermore, the consumption amount of ink can also be reduced.

에지 근방 영역 (951) 의 잉크량은, 기재 영역 (953) 의 잉크량을 상회하는 것이면, 다양하게 설정되어도 된다. 기재 영역 (953) 의 통상의 잉크량을 100 ％ 로 하여, 에지 근방 영역 (951) 의 잉크량은, 100 ％ 를 상회하고, 300 ％ 이하이다. 바람직하게는 110 ％ 이상 200 ％ 이하이다. 패턴 중앙 영역 (952) 의 잉크량은, 기재 영역 (953) 의 잉크량을 하회하는 것이면, 다양하게 설정되어도 된다. 기재 영역 (953) 의 통상의 잉크량을 100 ％ 로 하여, 패턴 중앙 영역 (952) 의 잉크량은, 20 ％ 이상 100 ％ 미만이다. 바람직하게는 30 ％ 이상 80 ％ 이하이다. 에지 근방 영역 (951) 및 패턴 중앙 영역 (952) 의 잉크량은, 잉크의 점도에 따라 다양하게 변경된다. 잉크의 점도는, 바람직하게는, 50 ℃ 의 온도에 있어서, 10 mPa·s 이상 30 mPa·s 이하이다.The amount of ink in the region near the edge 951 may be set variously as long as it exceeds the amount of ink in the base region 953 . Assuming that the normal amount of ink in the base region 953 is 100%, the amount of ink in the region near the edge 951 exceeds 100% and is 300% or less. Preferably it is 110 % or more and 200 % or less. The amount of ink in the pattern center region 952 may be variously set as long as it is less than the amount of ink in the base region 953 . The amount of ink in the pattern center area 952 is 20% or more and less than 100% by setting the normal amount of ink in the base region 953 to 100%. Preferably it is 30 % or more and 80 % or less. The ink amounts of the edge vicinity region 951 and the pattern center region 952 are variously changed depending on the viscosity of the ink. The viscosity of the ink is preferably 10 mPa·s or more and 30 mPa·s or less at a temperature of 50°C.

에지 근방 영역 (951) 의 에지 (94) 에 수직인 방향의 폭은, 에지 (94) 로부터 양측으로 0.3 mm 이하 (폭 전체로는 0.6 mm 이하) 이다. 바람직하게는, 에지 (94) 로부터 양측으로 0.05 mm 이상 0.15 mm 이하 (폭 전체로는 0.1 mm 이상 0.3 mm 이하) 이다. 단, 잉크의 액적을 부여하는 것이 가능한 위치는 배선 기판 (9) 상에서 이산적으로 존재하며, 또한, 잉크의 액적은 배선 기판 (9) 상에서 퍼지기 때문에, 에지 근방 영역 (951) 이 가는 경우에는, 배선 기판 (9) 상에 형성되는 도트의 일렬만이, 액량이 많은 액적으로 형성되는 경우도 있다.The width in the direction perpendicular to the edge 94 of the region near the edge 951 is 0.3 mm or less on both sides from the edge 94 (0.6 mm or less in width as a whole). Preferably, it is 0.05 mm or more and 0.15 mm or less on both sides from the edge 94 (0.1 mm or more and 0.3 mm or less in overall width). However, positions where ink droplets can be applied exist discretely on the wiring board 9, and since the ink droplets spread on the wiring board 9, when the edge vicinity region 951 is thin, In some cases, only a line of dots formed on the wiring board 9 is formed of droplets with a large amount of liquid.

보정 완료 레지스트 패턴 데이터에 있어서 에지 근방 영역 (951) 에서 잉크량을 늘린다는 개념은, 토출 데이터 (75) 에 있어서, 토출된 액적의 중심이 에지 근방 영역 (951) 내에 위치하는 액적의 액량이 많은 것을 의미한다. 액적의 액량을 크게 하는 수법으로는 다양한 것이 채용 가능하다. 예를 들어, 하나의 액적의 크기를 크게 하거나, 혹은, 실질적으로 하나의 액적으로 간주할 수 있는 복수의 미소 액적의 수를 많게 하는 등의 수법이 있다.The concept of increasing the amount of ink in the region near the edge 951 in the corrected resist pattern data is that, in the ejection data 75, the center of the ejected droplet is located in the region 951 near the edge, and the liquid amount of the droplet is large. means that Various methods are employable as a method of increasing the liquid amount of a droplet. For example, there is a method of increasing the size of one droplet or increasing the number of a plurality of microdroplets that can be regarded as one droplet substantially.

또, 잉크의 액적을 부여하는 것이 가능한 위치는 배선 기판 (9) 상에 이산적으로밖에 존재하지 않는 점에서, 보정 완료 레지스트 패턴 데이터가 적용되는 도전 패턴 (91) 의 폭은, 100 ㎛ 이상인 것이 바람직하고, 더욱 바람직하게는 150 ㎛ 이상이며, 가장 바람직하게는 200 ㎛ 이상이다. 배선 기판 (9) 상에 있어서의 잉크의 액적이 부여 가능한 위치는, 바람직하게는 20 ㎛ 피치 이하로 존재하고, 더욱 바람직하게는 10 ㎛ 피치 이하로 존재한다.In addition, since there are only discrete positions on the wiring board 9 where ink droplets can be applied, the width of the conductive pattern 91 to which the corrected resist pattern data is applied should be 100 µm or more. Preferably, it is more preferably 150 μm or more, and most preferably 200 μm or more. The positions on the wiring board 9 where the ink droplets can be applied are preferably at a pitch of 20 µm or less, and more preferably at a pitch of 10 µm or less.

도 13 은, 도 6 의 VII-VII 의 위치에 있어서의 잉크량의 다른 예를 나타내는 도면이다. 도 13 에서는, 부호 954 로 나타내는 바와 같이, 도 10 과 비교하여, 에지 근방 영역 (951) 과 패턴 중앙 영역 (952) 사이에, 에지 근방 영역 (951) 의 잉크량보다 적고, 패턴 중앙 영역 (952) 의 잉크량보다 많은 잉크량이 설정된다. 잉크량이 중간인 영역은, 예를 들어, 보정부 (612) 에 도전 패턴 데이터 (71) 및 에지 데이터가 입력되어 에지 근방 영역 (951) 과 패턴 중앙 영역 (952) 이 설정될 때에, 에지 근방 영역 (951) 과 패턴 중앙 영역 (952) 사이에, 또는, 패턴 중앙 영역 (952) 의 에지 근방 영역 (951) 에 접하는 부분에 설정된다. 이하, 에지 근방 영역 (951) 과 패턴 중앙 영역 (952) 사이의 잉크량이 중간인 영역을, 「중간 영역 (954)」이라고 부른다. 중간 영역 (954) 의 잉크량은, 기재 영역 (953) 의 잉크량과 동등해도 된다.Fig. 13 is a diagram showing another example of the amount of ink at positions VII-VII in Fig. 6; In FIG. 13, as indicated by reference numeral 954, between the edge vicinity region 951 and the pattern center region 952, as compared with FIG. 10, the amount of ink in the edge vicinity region 951 is smaller than that of the pattern center region 952 ), an ink amount greater than the ink amount of ) is set. The region where the ink amount is intermediate is, for example, an edge vicinity region when the conductive pattern data 71 and edge data are input to the correction unit 612 to set the edge vicinity region 951 and the pattern center region 952. It is set between (951) and the pattern center area|region 952, or in the part in contact with the edge vicinity area|region 951 of the pattern center area|region 952. Hereinafter, a region with an intermediate amount of ink between the edge vicinity region 951 and the pattern center region 952 is referred to as an "intermediate region 954". The amount of ink in the intermediate region 954 may be equal to the amount of ink in the base region 953 .

도 13 에 나타내는 보정 완료 레지스트 패턴 데이터로부터 토출 데이터를 생성하여 잉크의 부여를 실시함으로써, 패턴 형성 장치 (1) 에서는, 제어부 (12) 의 제어에 의해, 에지 근방 영역 (951) 과 패턴 중앙 영역 (952) 사이의 중간 영역 (954) 에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 에지 근방 영역 (951) 에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량과 패턴 중앙 영역 (952) 에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량 사이의 토출량으로 하면서 배선 기판 (9) 상에 레지스트막 (92) 의 패턴이 형성된다. 이로써, 에지 근방 영역 (951) 과 패턴 중앙 영역 (952) 사이에 있어서의 잉크량의 상이가 완화되어, 도전 패턴 (91) 상에 있어서 레지스트막 (92) 에 부자연스러운 요철이 생기는 것이 억제된다.By applying ink by generating discharge data from the corrected resist pattern data shown in Fig. 13, in the pattern forming apparatus 1, under the control of the control unit 12, the edge vicinity region 951 and the pattern center region ( 952), the ink ejection amount per unit area in the intermediate region 954 is calculated as the amount of ink ejected per unit area in the edge vicinity region 951 and the ink per unit area in the pattern center region 952. A pattern of a resist film 92 is formed on the wiring board 9 with the discharge amount between the discharge amounts. Thereby, the difference in the ink amount between the edge vicinity area|region 951 and the pattern center area|region 952 is relieve|moderated, and generation|occurrence|production of unnatural unevenness in the resist film 92 on the conductive pattern 91 is suppressed.

패턴 형성 장치 (1) 에서는, 다양한 변형이 가능하다.In the pattern forming apparatus 1, various deformation|transformation is possible.

에지 (94) 는 에지 근방 영역 (951) 의 중앙에 위치할 필요는 없고, 에지 근방 영역 (951) 은, 에지 (94) 로부터 좌우로 상이한 폭만큼 존재해도 된다. 에지 근방 영역 (951) 에 있어서의 잉크량은, 에지 (94) 로부터 멀어짐에 따라 완만하게 감소해도 된다.The edge 94 does not need to be located at the center of the edge vicinity region 951 , and the edge vicinity region 951 may exist by a width different from the edge 94 to the left and right. The amount of ink in the region near the edge 951 may decrease gently as it moves away from the edge 94 .

상기 실시형태에서는, 에지 근방 영역 (951) 에 있어서의 잉크량의 증가와, 패턴 중앙 영역 (952) 에 있어서의 잉크량의 감소를 실시하고 있지만, 이들 처리의 일방만이 패턴 형성 장치 (1) 에서 실행되어도 된다. 일방의 처리만이 실시되는 경우이더라도, 어느 처리도 실시되지 않는 경우와 비교하여, 배선 기판 (9) 상에 적절한 두께를 갖는 레지스트막 (92) 의 패턴을 형성할 수 있다.In the above embodiment, an increase in the amount of ink in the edge vicinity region 951 and a decrease in the amount of ink in the pattern center region 952 are performed, but only one of these processes is performed in the pattern forming apparatus 1 may be executed in Even in the case where only one process is performed, a pattern of the resist film 92 having an appropriate thickness can be formed on the wiring board 9 as compared with the case in which neither process is performed.

에지 근방 영역 (951) 은 에지 (94) 의 형상에 맞추어 변화된다. 따라서, 에지 근방 영역 (951) 의 형상은 직선이나 꺾은선에는 한정되지 않고, 다양한 형상을 갖는다. 패턴 중앙 영역 (952) 도 도전 패턴 (91) 의 형상에 맞춘 다양한 형상이 된다.The region 951 near the edge is changed in accordance with the shape of the edge 94 . Therefore, the shape of the region near the edge 951 is not limited to a straight line or a broken line, and has various shapes. The pattern center region 952 also has various shapes to match the shape of the conductive pattern 91 .

패턴 형성 장치 (1) 에서는, 헤드부 (3) 는 스테이지 (21) 에 대해 상대적으로 이동하는 것이면, 이동 기구 (2) 로서 다양한 구조가 채용 가능하다. 예를 들어, 스테이지 (21) 가 고정되고, 헤드부 (3) 가 X 방향 및 Y 방향으로 이동해도 된다. 헤드부 (3) 가 Y 방향으로 이동하고, 스테이지 (21) 가 X 방향으로 이동해도 된다.In the pattern forming apparatus 1, as long as the head part 3 moves relatively with respect to the stage 21, various structures are employable as the moving mechanism 2. For example, the stage 21 may be fixed, and the head part 3 may move in an X direction and a Y direction. The head 3 may move in the Y direction, and the stage 21 may move in the X direction.

헤드부 (3) 에 있어서의 토출구의 배열은 다양하게 변경 가능하고, 액적의 크기와 토출구의 X 방향의 피치의 관계도 다양하게 변경 가능하다. 헤드부 (3) 의 배선 기판 (9) 에 대한 1 회의 상대 이동으로 헤드부 (3) 의 하방의 영역에 레지스트막의 패턴이 형성되어도 된다.The arrangement of the discharge ports in the head 3 can be variously changed, and the relationship between the size of the droplet and the pitch of the discharge ports in the X direction can be variously changed. The pattern of the resist film may be formed in the region below the head 3 by one relative movement of the head 3 with respect to the wiring board 9 .

상기 실시형태 및 각 변형예에 있어서의 구성은, 서로 모순되지 않는 한 적절히 조합되어도 된다.The configurations in the above embodiment and each modification may be appropriately combined as long as they do not contradict each other.

발명을 상세하게 묘사하여 설명하였지만, 앞서 서술한 설명은 예시적으로서, 한정적인 것은 아니다. 따라서, 본 발명의 범위를 일탈하지 않는 한, 다수의 변형이나 양태가 가능하다고 할 수 있다.Although the invention has been described and described in detail, the foregoing description is illustrative and not restrictive. Therefore, it can be said that many modifications and aspects are possible without departing from the scope of the present invention.

1 : 패턴 형성 장치
2 : 이동 기구
3 : 헤드부
9 : 배선 기판
12 : 제어부
21 : 스테이지 (유지부)
61 : 토출 데이터 생성부
62 : 기억부
71 : 도전 패턴 데이터
72 : 레지스트 패턴 데이터
75 : 토출 데이터
91 : 도전 패턴
92 : 레지스트막
94 : 에지
951 : 에지 근방 영역
952 : 패턴 중앙 영역
953 : 기재 영역
954 : 중간 영역
S11 ∼ S15 : 스텝1: pattern forming device
2: moving mechanism
3: head part
9: wiring board
12: control unit
21: Stage (maintenance part)
61: discharge data generation unit
62: memory
71: conductive pattern data
72: resist pattern data
75: discharge data
91: challenge pattern
92: resist film
94 : edge
951: edge vicinity region
952: pattern center area
953: substrate area
954: middle area
S11 ~ S15: Step

Claims (9)

솔더 레지스트의 잉크로 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치로서,
배선 기판을 유지하는 유지부와,
잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 상기 배선 기판을 향해 토출하는 헤드부와,
상기 배선 기판과 평행한 방향으로 상기 유지부에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 이동 기구와,
상기 헤드부 및 상기 이동 기구를 제어함으로써, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 에지 근방 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 하면서 상기 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴을 형성하는 제어부를 구비하고,
상기 제어부의 제어에 의해, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 영역 중, 에지로부터 떨어진 패턴 중앙 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 적게 하면서 상기 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴이 형성되는 패턴 형성 장치.A pattern forming apparatus for forming a resist film pattern on a wiring board with solder resist ink, comprising:
a holding part for holding the wiring board;
a head for discharging droplets of solder resist ink toward the wiring board by an inkjet method;
a moving mechanism for relatively moving the head portion with respect to the holding portion in a direction parallel to the wiring board;
By controlling the head part and the moving mechanism, the ink discharge amount per unit area in the region near the edge of the conductive pattern on the wiring board is higher than the ink discharge amount per unit area in the area where the conductive pattern is not formed. a control unit for forming a pattern of a resist film on the wiring board while increasing the number;
Under the control of the control unit, the discharge amount of ink per unit area in the pattern center region separated from the edge among the conductive pattern regions on the wiring board is adjusted to the amount of ink per unit area in the region where the conductive pattern is not formed. A pattern forming apparatus in which a pattern of a resist film is formed on the wiring board while being less than the discharge amount. 제 1 항에 있어서,
상기 제어부의 제어에 의해, 상기 에지 근방 영역과 상기 패턴 중앙 영역 사이에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 상기 에지 근방 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량과 상기 패턴 중앙 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량 사이의 토출량으로 하면서 상기 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴이 형성되는 패턴 형성 장치.The method of claim 1,
Under the control of the control unit, the ink ejection amount per unit area between the edge vicinity region and the pattern center region is determined by the ink ejection amount per unit area in the edge vicinity region and the unit in the pattern central region. A pattern forming apparatus in which a pattern of a resist film is formed on the wiring board, with a discharge amount between the discharge amounts of ink per area. 솔더 레지스트의 잉크로 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴을 형성하는 패턴 형성 장치로서,
배선 기판을 유지하는 유지부와,
잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 상기 배선 기판을 향해 토출하는 헤드부와,
상기 배선 기판과 평행한 방향으로 상기 유지부에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 이동 기구와,
상기 헤드부 및 상기 이동 기구를 제어함으로써, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 영역 중, 에지로부터 떨어진 패턴 중앙 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 적게 하면서 상기 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴을 형성하는 제어부를 구비하는 패턴 형성 장치.A pattern forming apparatus for forming a resist film pattern on a wiring board with solder resist ink, comprising:
a holding part for holding the wiring board;
a head for discharging droplets of solder resist ink toward the wiring board by an inkjet method;
a moving mechanism for relatively moving the head portion with respect to the holding portion in a direction parallel to the wiring board;
By controlling the head part and the moving mechanism, the discharge amount of ink per unit area in the pattern center region separated from the edge among the conductive pattern regions on the wiring board is determined in units of the region where the conductive pattern is not formed. and a control unit for forming a pattern of a resist film on the wiring board while reducing the amount of ink discharged per area. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제어부가,
상기 도전 패턴을 나타내는 도전 패턴 데이터와, 상기 레지스트막의 패턴을 나타내는 레지스트 패턴 데이터를 보존하는 기억부와,
상기 도전 패턴 데이터 및 상기 레지스트 패턴 데이터에 기초하여, 상기 헤드부로부터 상기 배선 기판 상의 각 위치를 향해 토출하는 잉크의 양을 나타내는 토출 데이터를 생성하는 토출 데이터 생성부를 포함하는 패턴 형성 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
the control unit,
a storage unit for storing conductive pattern data indicating the conductive pattern and resist pattern data indicating the pattern of the resist film;
and an ejection data generating unit that generates ejection data representing an amount of ink ejected from the head portion toward each position on the wiring board, based on the conductive pattern data and the resist pattern data. 솔더 레지스트의 잉크로 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴을 형성하는 패턴 형성 방법으로서,
a) 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 헤드부로부터 배선 기판을 향해 토출하는 공정과,
b) 상기 a) 공정과 병행하여, 상기 배선 기판과 평행한 방향으로 상기 배선 기판에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 공정을 구비하고,
상기 a) 및 b) 공정에 의해, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 에지 근방 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 하고, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 영역 중, 에지로부터 떨어진 패턴 중앙 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 적게 하면서 상기 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴이 형성되는 패턴 형성 방법.A pattern forming method for forming a pattern of a resist film on a wiring board with an ink of a solder resist, the pattern forming method comprising:
a) a step of discharging the ink droplets of the solder resist from the head toward the wiring board by the inkjet method;
b) in parallel with step a), comprising a step of relatively moving the head unit with respect to the wiring board in a direction parallel to the wiring board;
Through the steps a) and b), the ink discharge amount per unit area in the region near the edge of the conductive pattern on the wiring board is higher than the ink discharge amount per unit area in the region where the conductive pattern is not formed. and, in the area of the conductive pattern on the wiring board, the ink discharge amount per unit area in the pattern central area separated from the edge is smaller than the ink discharge amount per unit area in the area where the conductive pattern is not formed. A pattern forming method in which a pattern of a resist film is formed on a wiring board. 솔더 레지스트의 잉크로 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴을 형성하는 패턴 형성 방법으로서,
a) 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 헤드부로부터 배선 기판을 향해 토출하는 공정과,
b) 상기 a) 공정과 병행하여, 상기 배선 기판과 평행한 방향으로 상기 배선 기판에 대해 상기 헤드부를 상대적으로 이동시키는 공정을 구비하고,
상기 a) 및 b) 공정에 의해, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 영역 중, 에지로부터 떨어진 패턴 중앙 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 적게 하면서 상기 배선 기판 상에 레지스트막의 패턴이 형성되는 패턴 형성 방법.A pattern forming method for forming a pattern of a resist film on a wiring board with an ink of a solder resist, the pattern forming method comprising:
a) a step of discharging the ink droplets of the solder resist from the head toward the wiring board by the inkjet method;
b) in parallel with step a), comprising a step of relatively moving the head unit with respect to the wiring board in a direction parallel to the wiring board;
According to the steps a) and b), the discharge amount of ink per unit area in the pattern central region separated from the edge among the conductive pattern regions on the wiring board per unit area in the region where the conductive pattern is not formed A pattern forming method in which a pattern of a resist film is formed on the wiring board while being less than the amount of ink ejected. 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 헤드부로부터 배선 기판을 향해 토출할 때에 사용되는 토출 데이터를 생성하는 토출 데이터 생성 방법으로서,
배선 기판 상의 도전 패턴을 나타내는 도전 패턴 데이터와, 레지스트막의 패턴을 나타내는 레지스트 패턴 데이터를 준비하는 공정과,
상기 도전 패턴 데이터 및 상기 레지스트 패턴 데이터에 기초하여, 상기 도전 패턴의 에지 근방 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 많게 하고, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 영역 중, 에지로부터 떨어진 패턴 중앙 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 적게 한 토출 데이터를 생성하는 공정을 구비하는 토출 데이터 생성 방법.An ejection data generating method for generating ejection data used when ejecting droplets of ink of a solder resist from a head portion toward a wiring board by an inkjet method, the method comprising:
A step of preparing conductive pattern data representing a conductive pattern on a wiring board and resist pattern data representing a pattern of a resist film;
Based on the conductive pattern data and the resist pattern data, the ink discharge amount per unit area in the region near the edge of the conductive pattern is larger than the ink discharge amount per unit area in the area where the conductive pattern is not formed. and the discharge amount of ink per unit area in the pattern central area separated from the edge among the areas of the conductive pattern on the wiring board is less than the amount of ink per unit area in the area where the conductive pattern is not formed. A discharge data generating method comprising the step of generating data. 잉크젯 방식으로 솔더 레지스트의 잉크의 액적을 헤드부로부터 배선 기판을 향해 토출할 때에 사용되는 토출 데이터를 생성하는 토출 데이터 생성 방법으로서,
배선 기판 상의 도전 패턴을 나타내는 도전 패턴 데이터와, 레지스트막의 패턴을 나타내는 레지스트 패턴 데이터를 준비하는 공정과,
상기 도전 패턴 데이터 및 상기 레지스트 패턴 데이터에 기초하여, 상기 배선 기판 상의 도전 패턴의 영역 중, 에지로부터 떨어진 패턴 중앙 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량을, 도전 패턴이 형성되어 있지 않은 영역에 있어서의 단위 면적당의 잉크의 토출량보다 적게 한 토출 데이터를 생성하는 공정을 구비하는 토출 데이터 생성 방법.An ejection data generating method for generating ejection data used when ejecting droplets of ink of a solder resist from a head portion toward a wiring board by an inkjet method, the method comprising:
A step of preparing conductive pattern data representing a conductive pattern on a wiring board and resist pattern data representing a pattern of a resist film;
Based on the conductive pattern data and the resist pattern data, the discharge amount of ink per unit area in the pattern central region separated from the edge among the conductive pattern regions on the wiring board is determined in the region where the conductive pattern is not formed. An ejection data generating method comprising the step of generating ejection data that is smaller than an ejection amount of ink per unit area of . 삭제delete
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