KR102325711B1 - Method of manufacturing bellows - Google Patents
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Abstract
(과제) 약제에 대한 내성이 강한 벨로스상의 커버를 제조할 수 있는 벨로스의 제조 방법을 제공한다.
(해결 수단) 벨로스상을 형성하기 위한 접음선을 갖는 성형형과, 판상의 모재를 중첩하여 적층 시트체를 형성하고, 적층 시트체를 벨로스상으로 절곡하고 압축하여 가열한다. 가열 후, 적층 시트체로부터 성형형을 제거한다. 모재는, 예를 들어, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리염화비닐 (PVC), 폴리프로필렌 (PP), 폴리우레탄 (PU) 등으로 형성되고, 고무계의 재료를 사용하지 않고 벨로스상이 형성된다.(Project) To provide a method for manufacturing a bellows capable of producing a bellows-like cover with strong resistance to drugs.
(Solution) A forming die having fold lines for forming a bellows shape and a plate-shaped base material are superposed to form a laminated sheet body, and the laminated sheet body is bent into a bellows shape, compressed and heated. After heating, the molding die is removed from the laminated sheet body. The base material is formed of, for example, polyethylene terephthalate (PET), polyvinyl chloride (PVC), polypropylene (PP), polyurethane (PU) or the like, and a bellows phase is formed without using a rubber-based material.
Description
본 발명은 벨로스의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a bellows.
기계 등의 신축 변위 부분 또는 굴곡 변위 부분을 액체나 티끌, 광선, 습기 등의 외란 인자로부터 지키기 위해서, 그것들을 차폐하는 신축 자재식의 커버로서 벨로스상의 커버가 많이 사용되고 있다. 예를 들어, 절삭 장치와 같이 액체를 사용하는 가공 장치에 있어서, 벨로스상의 커버는, 각 축부를 액체의 비산으로부터 보호하고 있다 (특허문헌 1 참조).In order to protect the elastic displacement part or the bending displacement part of a machine etc. from disturbance factors, such as liquid, dust, light rays, moisture, a bellows-shaped cover is widely used as a telescopic-type cover which shields them. For example, in a processing device using a liquid such as a cutting device, a bellows-shaped cover protects each shaft portion from scattering of the liquid (refer to Patent Document 1).
액 누출을 막아, 내구성이 요구되는 벨로스상의 커버에서는, 고무계 (클로로술폰화 폴리에틸렌, 클로로프렌 고무, 니트릴부타젠 고무, 우레탄 고무 등) 의 재료가 사용되고 있다. 예를 들어, 나일론제 심지의 양면에 고무가 코팅된 시트에, 접음선 (점선) 이나 절입공이 형성된 필름 시트를, 기포를 사이에 두지 않도록 고무계 (클로로프렌 고무, 니트릴부타젠 고무, 우레탄 고무 등) 의 접착제로 전체면 접착하여, 벨로스가 되는 적층체를 형성한다 (특허문헌 2 참조).For a bellows-like cover that prevents liquid leakage and is required to be durable, a rubber-based material (such as chlorosulfonated polyethylene, chloroprene rubber, nitrile butazen rubber, or urethane rubber) is used. For example, on a sheet coated with rubber on both sides of a nylon core, put a film sheet with fold lines (dotted lines) or cut-out holes in it so that there are no air bubbles in between them. ) to form a laminate to be a bellows by bonding the entire surface with an adhesive (see Patent Document 2).
그런데, 가공 장치에서 사용되는 약제, 예를 들어 옥시란은, 고무계 (클로로술폰화 폴리에틸렌 고무, 클로로프렌 고무, 니트릴부타젠 고무 등) 의 재료를 변질시킨다. 옥시란을 함유한 액체가 장기간에 걸쳐 고무계의 재료로 형성된 벨로스상의 커버에 부착되면, 고무가 변질되어 액체를 흡수하고, 벨로스가 신축될 때 흡수된 액체가 짜내지고, 나아가서는 벨로스에 누수를 발생시킨다는 과제가 있었다.By the way, the chemical|medical agent used in a processing apparatus, for example, oxirane, changes the quality of rubber-type (chlorosulfonated polyethylene rubber, chloroprene rubber, nitrile-butazen rubber, etc.). When a liquid containing oxirane is attached to a bellows-like cover made of a rubber-based material over a long period of time, the rubber deteriorates and absorbs the liquid. There was a task to do.
그래서, 본 발명은, 상기를 감안하여 이루어진 것으로서, 약제에 대한 내성이 강한 벨로스상의 커버를 제조할 수 있는 벨로스의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Then, this invention has been made in view of the above, and an object of this invention is to provide the manufacturing method of the bellows which can manufacture the bellows-shaped cover with strong resistance to a chemical|medical agent.
상기 서술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 관련된 벨로스의 제조 방법은, 합성 수지 시트로 이루어지는 모재와, 접음선이 형성된 시트상의 성형형을 중첩하여, 적층 시트체를 형성하는 준비 스텝과, 그 적층 시트체의 그 모재와 그 성형형을 서로 임시 고정하여 고정시키는 임시 고정 스텝과, 그 임시 고정 스텝을 실시한 후, 그 적층 시트체를 그 접음선을 따라 절곡하여, 산부 (山部) 와 골부 (谷部) 를 갖는 벨로스상으로 절곡하는 절곡 스텝과, 그 산부와 그 골부가 서로 밀접할 때까지 압축한 상태로 그 적층 시트체를 가열하는 가열 스텝과, 그 가열 스텝을 실시한 후, 그 적층 시트체로부터 그 성형형을 제거하는 성형형 제거 스텝을 구비하고, 그 모재 단체에 의해 그 벨로스상의 형상이 유지되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the method for manufacturing a bellows according to the present invention is to form a laminated sheet body by superposing a base material made of a synthetic resin sheet and a sheet-like mold with fold lines formed thereon. After carrying out the preparation step, the temporary fixing step of temporarily fixing the base material of the laminated sheet body and the molding die to each other and fixing the temporary fixing step, the laminated sheet body is bent along the fold line, A bending step of bending into a bellows shape having a ridge and a trough, a heating step of heating the laminated sheet body in a compressed state until the ridge and the trough are brought into close contact with each other, and the heating step; After carrying out, a molding die removal step of removing the molding die from the laminated sheet body is provided, and the bellows-like shape is maintained by the base material alone.
또, 상기 벨로스의 제조 방법에 있어서, 그 모재는, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리염화비닐 (PVC), 폴리프로필렌 (PP), 폴리우레탄 (PU) 중 어느 것인 것이 바람직하다.Moreover, in the manufacturing method of the said bellows, it is preferable that the base material is any of polyethylene terephthalate (PET), polyvinyl chloride (PVC), polypropylene (PP), and polyurethane (PU).
또, 상기 벨로스의 제조 방법에 있어서, 그 절곡 스텝에서는, 수평 시트부와 그 수평 시트부의 양단으로부터 대략 수직인 하방으로 절곡되어 이루어지는 1 쌍의 수직부로 이루어지는 コ 자상 벨로스로 절곡되는 것이 바람직하다.Further, in the method for manufacturing the bellows, in the bending step, it is preferable to bend into a U-shaped bellows comprising a horizontal sheet portion and a pair of vertical portions bent substantially vertically downward from both ends of the horizontal sheet portion.
본 발명의 벨로스의 제조 방법에서는, 접음선이 형성된 시트상의 성형형을 사용하여, 합성 수지 시트로 이루어지는 모재에 벨로스상을 형성하고, 모재 단체에 의해 벨로스상을 유지하는 것이다. 이것에 의해, 고무계의 재료를 사용하지 않고 벨로스상을 형성할 수 있기 때문에, 약제에 대한 내성이 강한 벨로스상의 커버를 제조할 수 있다.In the method for manufacturing a bellows of the present invention, a bellows shape is formed on a base material made of a synthetic resin sheet using a sheet-like molding die having fold lines, and the bellows shape is maintained by a single base material. Thereby, since a bellows shape can be formed without using a rubber-type material, the bellows-shaped cover with strong resistance to a chemical|medical agent can be manufactured.
도 1 은 가공 장치의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다.
도 2 는 벨로스의 제조 방법을 나타내는 플로 차트이다.
도 3 은 모재의 구성예를 나타내는 상면도이다.
도 4 는 시트상의 성형형의 구성예를 나타내는 상면도이다.
도 5 는 시트상의 성형형 및 모재의 임시 고정예 (그 1) 를 나타내는 상면도이다.
도 6 은 시트상의 성형형 및 모재의 임시 고정예 (그 2) 를 나타내는 상면도이다.
도 7 은 시트상의 성형형 및 모재의 제 1 절곡예를 나타내는 사시도이다.
도 8 은 시트상의 성형형 및 모재의 제 2 절곡예를 나타내는 사시도이다.
도 9 는 시트상의 성형형 및 모재의 가열예를 나타내는 사시도이다.
도 10 은 가열 후의 시트상의 성형형 및 모재의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 11 은 분리 후의 모재를 나타내는 사시도이다.
도 12 는 분리 후의 시트상의 성형형을 나타내는 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is an exploded perspective view which shows the structural example of a processing apparatus.
2 is a flowchart showing a method for manufacturing a bellows.
It is a top view which shows the structural example of a base material.
4 is a top view showing a configuration example of a sheet-like molding die.
Fig. 5 is a top view showing an example of temporary fixing of a sheet-like molding die and a base material (Part 1).
Fig. 6 is a top view showing an example of temporary fixing of a sheet-like molding die and a base material (Part 2).
Fig. 7 is a perspective view showing a sheet-like molding die and a first bending example of a base material;
Fig. 8 is a perspective view showing a sheet-like molding die and a second bending example of a base material;
Fig. 9 is a perspective view showing an example of heating a sheet-like molding die and a base material;
It is a perspective view which shows the structural example of the sheet-like shaping|molding die and base material after heating.
11 is a perspective view showing a base material after separation.
Fig. 12 is a perspective view showing a sheet-like mold after separation;
본 발명을 실시하기 위한 형태 (실시형태) 에 대해, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지의 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION The form (embodiment) for implementing this invention is demonstrated in detail, referring drawings. This invention is not limited by the content described in the following embodiment. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art, and those that are substantially the same. In addition, the structures described below can be combined suitably. Moreover, various abbreviation|omission, substitution, or change of a structure can be implemented in the range which does not deviate from the summary of this invention.
[실시형태][Embodiment]
실시형태에 관련된 가공 장치에 대해 설명한다. 도 1 은, 가공 장치의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다. 가공 장치 (1) 는, 도시되지 않은 웨이퍼를 절삭하는 것이다. 가공 장치 (1) 는, 척 테이블 (10) 과, 가공 수단 (20) 과, 산출 이송 수단 (30) 과, 절입 이송 수단 (40) 과, 가공 이송 수단 (50) 과, 도시되지 않은 제어 수단을 구비하고 있다.The processing apparatus which concerns on embodiment is demonstrated. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is an exploded perspective view which shows the structural example of a processing apparatus. The processing apparatus 1 cuts a wafer (not shown). The machining apparatus 1 includes a chuck table 10 , a machining means 20 , a calculation feed means 30 , a cut feed means 40 , a machining feed means 50 , and a control means not shown. is provided.
웨이퍼는, 실리콘이나 갈륨비소 등의 기판에 반도체 디바이스가 형성되거나, 사파이어나 SiC 등의 기판에 광디바이스가 형성된 반도체 웨이퍼나 광디바이스 웨이퍼, 무기 재료 기판, 연성 수지 재료 기판, 세라믹 기판이나 유리판 등, 각종 가공 재료이다.A wafer is a semiconductor wafer or an optical device wafer in which a semiconductor device is formed on a substrate such as silicon or gallium arsenide, or an optical device is formed on a substrate such as sapphire or SiC, an inorganic material substrate, a flexible resin material substrate, a ceramic substrate or a glass plate, various processing materials.
여기서, X 축 방향은, 척 테이블 (10) 에 유지된 웨이퍼를 가공 이송하는 방향이다. Y 축 방향은, X 축 방향으로 동일 수평면 상에서 직교하고, 척 테이블 (10) 에 유지된 웨이퍼에 대해, 가공 수단 (20) 을 산출 이송하는 방향이다. Z 축 방향은, X 축 방향 및 Y 축 방향에 직교하는 방향, 본 실시형태에서는 연직 방향이다.Here, the X-axis direction is a direction in which the wafer held by the chuck table 10 is processed and transferred. The Y-axis direction is orthogonal to the X-axis direction on the same horizontal plane and is a direction in which the processing means 20 is calculated and transferred with respect to the wafer held by the chuck table 10 . The Z-axis direction is a direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction, and is a vertical direction in the present embodiment.
척 테이블 (10) 은, X 축 방향으로 이동 가능하게 장치 본체 (2) 의 상면에 배치 형성되어 있다. 척 테이블 (10) 은 원판상으로 형성되고, 유지면 (11) 을 구비하고 있다. 척 테이블 (10) 은, 도시되지 않은 회전 수단에 의해 유지면 (11) 의 중심에 직교하는 회전축에서 회전된다. 유지면 (11) 은, 척 테이블 (10) 의 연직 방향의 상단면이고, 수평면에 대해 평탄하게 형성되어 있다. 유지면 (11) 은, 예를 들어 포러스 세라믹 등으로 구성되어 있고, 도시되지 않은 진공 흡인원의 부압에 의해, 웨이퍼를 흡인 유지한다.The chuck table 10 is disposed on the upper surface of the apparatus
가공 수단 (20) 은, 척 테이블 (10) 에 유지된 웨이퍼를 가공하는 것이다. 가공 수단 (20) 은, 산출 이송 수단 (30) 및 절입 이송 수단 (40) 을 개재하여 장치 본체 (2) 에 배치 형성되어 있다. 가공 수단 (20) 은, 절삭 블레이드 (21) 와, 스핀들 (22) 과, 하우징 (23) 과, 1 쌍의 가공수 공급 노즐 (24) 을 구비하고 있다. 절삭 블레이드 (21) 는, 극박의 원판상 또한 고리상으로 형성된 절삭 지석이다. 스핀들 (22) 은, 그 선단에 절삭 블레이드 (21) 를 착탈 가능하게 장착한다. 하우징 (23) 은, 도시되지 않은 모터 등의 구동원을 가지고 있고, Y 축 방향의 회전축 둘레로 자유롭게 회전할 수 있도록 스핀들 (22) 을 지지한다. 가공수 공급 노즐 (24) 은, 절삭 블레이드 (21) 를 사이에 두도록 배치 형성되어 절삭 블레이드 (21) 에 대해 가공수를 공급한다. 가공 수단 (20) 은, 스핀들 (22) 을 고속 회전시켜 절삭 블레이드 (21) 에 의해 웨이퍼를 절삭함과 함께, 가공수 공급 노즐 (24) 에 의해 절삭 블레이드 (21) 에 대해 가공수를 공급한다.The processing means 20 processes the wafer held by the chuck table 10 . The processing means 20 is arrange|positioned by the apparatus
산출 이송 수단 (30) 은, 척 테이블 (10) 과 가공 수단 (20) 을 Y 축 방향으로 상대 이동시키는 것이다. 예를 들어, 산출 이송 수단 (30) 은, Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (31) 나 펄스 모터 (32) 등의 구동원을 가지고 있고, 절입 이송 수단 (40) 을 지지하는 Y 축 이동 기대 (33) 를 Y 축 방향으로 이동시킨다.The calculation transfer means 30 relatively moves the chuck table 10 and the machining means 20 in the Y-axis direction. For example, the calculation transfer means 30 has a drive source, such as a
절입 이송 수단 (40) 은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 과 직교하는 Z 축 방향으로 가공 수단 (20) 을 이동시키는 것이다. 예를 들어, 절입 이송 수단 (40) 은, Z 축 방향으로 연장되는 도시되지 않은 볼 나사나 펄스 모터 (41) 등의 구동원을 가지고 있고, 가공 수단 (20) 을 지지하는 Z 축 이동 부재 (42) 를 Z 축 방향으로 이동시킨다.The cutting feed means 40 moves the machining means 20 in the Z-axis direction orthogonal to the
가공 이송 수단 (50) 은, 척 테이블 (10) 과 가공 수단 (20) 을 X 축 방향으로 상대 이동시키는 것이다. 예를 들어, 가공 이송 수단 (50) 은, X 축 방향으로 연장된 1 쌍의 가이드 레일 (51) 과, 가이드 레일 (51) 과 평행하게 배치 형성된 볼 나사 (52) 와, 볼 나사 (52) 에 나사 결합된 도시되지 않은 너트에 고정되고, 가이드 레일 (51) 에 자유롭게 슬라이드할 수 있도록 배치 형성된 X 축 이동 기대 (53) 와, 볼 나사 (52) 를 회전시키는 펄스 모터 (54) 를 구비하고 있다. 가공 이송 수단 (50) 은, 펄스 모터 (54) 에 의해 볼 나사 (52) 를 회전시킴으로써, 척 테이블 (10) 을 지지하는 X 축 이동 기대 (53) 를 X 축 방향으로 이동시킨다.The machining feed means 50 relatively moves the chuck table 10 and the machining means 20 in the X-axis direction. For example, the processing transfer means 50 includes a pair of
여기서, 절삭 블레이드 (21) 에 의해 웨이퍼를 가공할 때 공급되는 가공수가, 가공 이송 수단 (50) 의 볼 나사 (52) 등에 부착되는 것을 방지하기 위해, 가공 이송 수단 (50) 에는, 커버 부재 (60) 와, 벨로스 기구 (70) 가 배치 형성되어 있다.Here, in order to prevent the machining water supplied when processing the wafer by the
커버 부재 (60) 는 판상의 부재이고, Z 축 방향에서 보았을 경우에 대략 정방형으로 형성되어 있다. 커버 부재 (60) 는, X 축 방향에서 보았을 경우에 コ 자상으로 형성되어 있고, 상면부 (61) 와, Y 축 방향에 있어서의 양단부가 Z 축 방향으로 하방향으로 절곡되어 형성된 절골부 (62) 를 구비하고 있다. 커버 부재 (60) 는, 척 테이블 (10) 을 지지하는 X 축 이동 기대 (53) 와 척 테이블 (10) 사이에 배치 형성되어 있다. 커버 부재 (60) 는, 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이가 가공 이송 수단 (50) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이보다 약간 길게 형성되어 있다.The
벨로스 기구 (70) 는, 커버 부재 (60) 를 개재하여 X 축 방향으로 연장되도록 배치 형성되어 있다. 벨로스 기구 (70) 는, 제 1 벨로스부 (71A) 와 제 2 벨로스부 (71B) 로 구성되고, 커버 부재 (60) 의 일방측에 제 1 벨로스부 (71A) 가 배치 형성되며, 커버 부재 (60) 의 타방측에 제 2 벨로스부 (71B) 가 배치 형성되어 있다.The
제 1 벨로스부 (71A) 는, 2 개의 벨로스 부재 (710A, 710B) 로 구성되어 있다. 벨로스 부재 (710A, 710B) 는, 합성 수지, 예를 들어, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리염화비닐 (PVC), 폴리프로필렌 (PP), 폴리우레탄 (PU) 등으로 형성되어 있다. 벨로스 부재 (710A, 710B) 는, X 축 방향에서 보았을 경우에 コ 자상으로 형성되어 있고, 수평 시트부 (710a) 와, 1 쌍의 수직부 (710b) 를 구비하고 있다. 수평 시트부 (710a) 는, 수평면을 따라 산부 (710c) 와 골부 (710d) 가 신축 방향 (X 축 방향) 으로 교대로 형성되어 있다. 수평 시트부 (710a) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이는, 커버 부재 (60) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이와 대략 동일한 길이이다. 즉, 수평 시트부 (710a) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이는, 가공 이송 수단 (50) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이보다 약간 길게 형성되어 있다. 벨로스 부재 (710A, 710B) 의 수직부 (710b) 는, 수평 시트부 (710a) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 에 있어서의 양단으로부터 대략 수직으로 하방으로 절곡되어 형성되어 있다. 1 쌍의 수직부 (710b) 는, 벨로스상으로 형성되어 있고, 산부 (710e) 와 골부 (710f) 가 신축 방향으로 교대로 형성되어 있다. 벨로스 부재 (710A) 와 벨로스 부재 (710B) 는, 가이드 프레임 (711) 을 개재하여 연결되어 있다. 가이드 프레임 (711) 은, X 축 방향에서 보았을 경우에, 벨로스 부재 (710A, 710B) 와 동일한 コ 자상으로 형성되어 있고, 가이드 프레임 (711) 의 하단 각각에는, 미끄러짐을 양호하게 하기 위한 롤러 (711a) 가 장착되어 있다. 커버 부재 (60) 와 연결되는 벨로스 부재 (710B) 의 X 축 방향에 있어서의 단면에는, 도시되지 않은 프레임이 장착되어 있고, 프레임과 커버 부재 (60) 의 단면이 도시되지 않은 나사에 의해 고정된다.The 1st bellows
제 2 벨로스부 (71B) 는, 제 1 벨로스부 (71A) 와 동일하게 구성되어 있다. 즉, 제 2 벨로스부 (71B) 는, 2 개의 벨로스 부재 (710C, 710D) 로 구성되어 있다. 벨로스 부재 (710C, 710D) 는, 수평 시트부 (710a) 와, 1 쌍의 수직부 (710b) 를 구비하고 있다. 수평 시트부 (710a) 는, 수평면을 따라 산부 (710c) 와 골부 (710d) 가 신축 방향 (X 축 방향) 으로 교대로 형성되어 있다. 수평 시트부 (710a) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이는, 커버 부재 (60) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이와 대략 동일한 길이이다. 벨로스 부재 (710C, 710D) 의 수직부 (710b) 는, 수평 시트부 (710a) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 에 있어서의 양단으로부터 대략 수직으로 하방으로 절곡되어 형성되어 있다. 1 쌍의 수직부 (710b) 는, 벨로스상으로 형성되어 있고, 산부 (710e) 와 골부 (710f) 가 신축 방향으로 교대로 형성되어 있다. 벨로스 부재 (710C) 와 벨로스 부재 (710D) 는, 가이드 프레임 (711) 을 개재하여 연결되어 있다. 가이드 프레임 (711) 의 하단 각각에는, 미끄러짐을 양호하게 하기 위한 롤러 (711a) 가 장착되어 있다. 커버 부재 (60) 와 연결되는 벨로스 부재 (710C) 의 X 축 방향에 있어서의 단면에는, 프레임 (713) 이 장착되어 있고, 프레임 (713) 과 커버 부재 (60) 의 단면이 도시되지 않은 나사에 의해 고정된다.The 2nd bellows
이와 같이, 커버 부재 (60) 에 연결된 제 1 벨로스부 (71A) 및 제 2 벨로스부 (71B) 는, X 축 방향에 있어서 가공 이송 수단 (50) 의 상방을 덮고 있다. 척 테이블 (10) 의 이동에 수반하여 커버 부재 (60) 가 X 축 방향으로 이동했을 경우에, 제 1 벨로스부 (71A) 가 신장되어 제 2 벨로스부 (71B) 가 수축되거나, 또는, 제 1 벨로스부 (71A) 가 수축되어 제 2 벨로스부 (71B) 가 신장된다. 또한, 커버 부재 (60) 의 이동 범위에 있어서, 제 1 벨로스부 (71A) 또는 제 2 벨로스부 (71B) 가 완전하게 다 신장되는 경우는 없고, 또, 제 1 벨로스부 (71A) 또는 제 2 벨로스부 (71B) 가 완전하게 수축되어 커버 부재 (60) 의 이동이 방해되는 경우도 없다.Thus, the 1st bellows
벨로스 기구 (70) 의 하방측에는, 벨로스 기구 (70) 로부터 가공 부스러기와 함께 흘러 떨어지는 가공수를 받아 들여 배출하는 배수 수단 (80) 이 배치 형성되어 있다. 배수 수단 (80) 은, 배수로 (81) 와, 드레인관 (82) 을 구비하고 있다. 배수로 (81) 는, 커버 부재 (60) 에 연결된 제 1 벨로스부 (71A) 및 제 2 벨로스부 (71B) 를 둘러싸도록 대략 장방형의 프레임 형상으로 형성되고, 가공수가 흐르는 부분이 홈 형상으로 형성되어 있다.On the lower side of the
배수로 (81) 는, 벨로스 기구 (70) 의 벨로스 부재 (710 (710A ∼ 710D)) 의 수직부 (710b) 가 위치 결정되는 바닥면판 (810) 과, 바닥면판 (810) 의 내주측에 세워 설치된 내주벽 (811) 과, 바닥면판 (810) 의 외주측에 세워 설치된 외주벽 (812) 을 구비하고 있다. 내주벽 (811) 은, 벨로스 부재 (710) 의 수직부 (710b) 의 내측에 위치하고, 외주벽 (812) 은, 벨로스 부재 (710) 의 수직부 (710b) 의 외측에 위치하고 있다. 이것에 의해, 벨로스 부재 (710) 의 수직부 (710b) 로부터 흘러 떨어지는 가공수를 바닥면판 (810) 에서 받아 들이고, 바닥면판 (810) 에서 받아 들인 가공수를 드레인관 (82) 을 향하여 흘릴 수 있다.The
배수로 (81) 의 내주벽 (811) 의 X 축 방향에 있어서의 양단부에는, 고정용 금구 (813) 가 장착되어 있다. 일방의 고정용 금구 (813) 에는, 제 1 벨로스부 (71A) 의 벨로스 부재 (710A) 의 단면에 장착된 프레임 (712) 이 고정되고, 타방의 고정용 금구 (813) 에는, 제 2 벨로스부 (71B) 의 벨로스 부재 (710D) 의 단면에 장착된 프레임 (714) 이 고정된다. 이것에 의해, 벨로스 기구 (70) 의 X 축 방향에 있어서의 양단부가 고정된다.Fixing
드레인관 (82) 은, 배수로 (81) 의 바닥면판 (810) 이 일부 개구된 도시되지 않은 개구부에 결합되고, 배수로 (81) 에 저류된 가공수를 외부로 배출한다. 예를 들어, 배수로 (81) 는, 약간 경사져 배치 형성되고, 가장 낮은 위치에 드레인관 (82) 이 배치 형성되어 있다. 이것에 의해, 배수로 (81) 의 가공수는, 가장 낮은 위치의 드레인관 (82) 을 향하여 흘러 나가고, 드레인관 (82) 으로부터 외부로 배출된다.The
배수 수단 (80) 은, 가공 장치 (1) 의 각 구성 요소를 제어하는 것이다. 예를 들어, 배수 수단 (80) 은, 산출 이송 수단 (30), 절입 이송 수단 (40) 및 가공 이송 수단 (50) 의 펄스 모터를 구동시키는 도시되지 않은 구동 회로에 접속되고, 구동 회로를 제어하여 척 테이블 (10) 의 X 축 방향의 위치나, 가공 수단 (20) 의 Y 축 방향 및 Z 축 방향의 위치를 결정한다.The drainage means 80 controls each component of the processing apparatus 1 . For example, the drain means 80 is connected to a drive circuit (not shown) that drives the pulse motors of the calculation feed means 30 , the cut feed means 40 , and the machining feed means 50 , and controls the drive circuit Thus, the position of the chuck table 10 in the X-axis direction and the position of the machining means 20 in the Y-axis direction and the Z-axis direction are determined.
다음으로, 실시형태에 관련된 벨로스의 제조 방법에 대해 설명한다. 도 2 는, 벨로스의 제조 방법을 나타내는 플로 차트이다. 도 3 은, 모재의 구성예를 나타내는 상면도이다. 도 4 는, 시트상의 성형형의 구성예를 나타내는 상면도이다. 도 5 는, 시트상의 성형형 및 모재의 임시 고정예 (그 1) 를 나타내는 상면도로, 성형형이 상면측에 배치되어 있다. 도 6 은, 시트상의 성형형 및 모재의 임시 고정예 (그 2) 를 나타내는 상면도로, 모재가 상면측에 배치되어 있다. 도 7 은, 시트상의 성형형 및 모재의 제 1 절곡예를 나타내는 사시도이다. 도 8 은, 시트상의 성형형 및 모재의 제 2 절곡예를 나타내는 사시도이다. 도 9 는, 시트상의 성형형 및 모재의 가열예를 나타내는 사시도이다. 도 10 은, 가열 후의 시트상의 성형형 및 모재의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 11 은, 분리 후의 모재를 나타내는 사시도이다. 도 12 는, 분리 후의 시트상의 성형형을 나타내는 사시도이다.Next, the manufacturing method of the bellows which concerns on embodiment is demonstrated. 2 is a flowchart showing a method for manufacturing a bellows. 3 : is a top view which shows the structural example of a base material. It is a top view which shows the structural example of a sheet-like shaping|molding die. Fig. 5 is a top view showing a sheet-like molding die and an example of temporary fixing of the base material (Part 1), in which the molding die is disposed on the upper surface side. Fig. 6 is a top view showing a sheet-like molding die and an example (2) of temporary fixing of the base material, in which the base material is arranged on the upper surface side. 7 : is a perspective view which shows the 1st bending example of a sheet-like shaping|molding die and a base material. Fig. 8 is a perspective view showing a sheet-like molding die and a second bending example of the base material. Fig. 9 is a perspective view showing an example of heating a sheet-like molding die and a base material; It is a perspective view which shows the structural example of the sheet-like shaping|molding die and base material after heating. 11 is a perspective view showing the base material after separation. Fig. 12 is a perspective view showing a sheet-like molding die after separation.
먼저, 작업자는, 모재 (90) 와, 접음선이 형성된 시트상의 성형형 (100) 을 중첩하여 적층 시트체 (110) 를 형성한다 (도 2 에 나타내는 스텝 S1 ; 준비 스텝). 여기서, 모재 (90) 및 성형형 (100) 은, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리염화비닐 (PVC), 폴리프로필렌 (PP), 폴리우레탄 (PU) 등으로 형성된 합성 수지 시트이다. 모재 (90) 의 두께는 20 ㎛ ∼ 300 ㎛ 정도이고, 모재 (90) 의 경도 (로크 웰) 는 R 60 ∼ 120 정도이다.First, an operator overlaps the
모재 (90) 및 성형형 (100) 은, 도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 대략 동일한 크기이고, 사각형상으로 형성되어 있다. 성형형 (100) 에는, 폭 방향으로 연장되는 대략 직선상의 복수의 접음선 (101) 과, 삼각공 (102) 이 형성되어 있다. 접음선 (101) 은, 벨로스 부재 (710A) 의 산부 (710c) 및 골부 (710d) 를 형성하기 위한 것이다. 예를 들어, 접음선 (101) 은, 산부용의 접음선 (101a) 과 골부용의 접음선 (101b) 이 성형형 (100) 의 신축 방향으로 일정한 간격으로 교대로 형성되어 있다. 산부용의 접음선 (101a) 및 골부용의 접음선 (101b) 은, 점선과 같은 구멍이 대략 직선상으로 형성됨으로써, 절곡 가능하게 형성되어 있다. 또한, 점선에 한정하지 않고, 성형형 (100) 의 표면 또는 이면에 선상의 오목부를 형성함으로써, 절곡 가능하게 형성해도 된다.The
삼각공 (102) 은, 수직부 (710b) 를 형성하기 위한 것으로, 성형형 (100) 이 개구되어 형성되어 있다. 삼각공 (102) 은, 이등변 삼각형으로 형성되고, 바닥변 (102a) 은, 모재 (90) 의 폭 방향에 있어서의 양단부를 대략 수직으로 절곡하는 선 상에 형성되며, 신축 방향에 있어서 인접하는 산부용의 접음선 (101a) 의 간격과 동일한 길이로 형성되어 있다. 또, 삼각공 (102) 의 정점 (102b) 은, 수직부 (710b) 측에 있어서의 골부용의 접음선 (101b) 상에 형성되어 있다.The
이와 같이 구성된 성형형 (100) 을 모재 (90) 에 중첩하여 적층 시트체 (110) 를 형성한다. 이 때, 모재 (90) 가 성형형 (100) 으로부터 새어나오지 않도록, 성형형 (100) 과 모재 (90) 를 중첩한다. 다음으로, 작업자는, 적층 시트체 (110) 의 모재 (90) 와 성형형 (100) 을 서로 임시 고정하여 고정시킨다 (스텝 S2 ; 임시 고정 스텝). 예를 들어, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 먼저, 성형형 (100) 이 상면측이 되도록 적층 시트체 (110) 를 재치 (載置) 한 상태로, 삼각공 (102) 의 배열 방향을 따라, 삼각공 (102) 을 덮도록 내열 테이프 (111) 를 붙인다. 이것에 의해, 삼각공 (102) 으로부터 노출된 모재 (90) 와 성형형 (100) 을 내열 테이프 (111) 에 의해 부분적으로 첩합 (貼合) 할 수 있다. 다음으로, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 적층 시트체 (110) 의 외주부 (112) 의 4 변에 내열 테이프 (111) 를 붙여, 모재 (90) 의 외주부와 성형형 (100) 의 외주부를 첩합한다. 또한, 도 6 은, 모재 (90) 가 상면측에 배치된 적층 시트체 (110) 를 도시하고 있다.The forming die 100 configured in this way is superimposed on the
다음으로, 작업자는, 적층 시트체 (110) 를 벨로스상으로 절곡한다 (스텝 S3 ; 절곡 스텝). 예를 들어, 작업자는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 성형형 (100) 의 산부용의 접음선 (101a) 을 따라 적층 시트체 (110) 를 산 접기하고, 골부용의 접음선 (101b) 을 따라 적층 시트체 (110) 를 계곡 접기하여, 산부 (91) 와 골부 (92) 를 갖는 벨로스상으로 적층 시트체 (110) 를 절곡한다.Next, the operator bends the
또한, 작업자는, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 삼각공 (102) 의 수직 이등분선 (102d) 을 따라 삼각공 (102) 을 계곡 접기함과 함께, 2 개의 등변 (102c) 을 산 접기한다. 이것에 의해, 적층 시트체 (110) 의 단부 (113) 가 대략 수직으로 벨로스상으로 절곡되어, 수평 시트부 (710a) 의 양단에 1 쌍의 수직부 (710b) 가 형성된다.Further, as shown in FIG. 8 , the operator folds the
다음으로, 작업자는, 1 쌍의 수직부 (710b) 및 수평 시트부 (710a) 가 형성된 적층 시트체 (110) 를 도시되지 않은 가열 장치에 의해 가열한다 (스텝 S4 ; 가열 스텝). 예를 들어, 작업자는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 적층 시트체 (110) 를 신축 방향으로 작게 접어 수축시키고, 적층 시트체 (110) 의 산부 (91) 와 골부 (92) 가 서로 밀접할 때까지 압축하여 고정구 (114) 에 의해 수직부 (710b) 의 각각과 수평 시트부 (710a) 를 고정시킨다. 그리고, 작업자는, 적층 시트체 (110) 가 압축된 상태로, 적층 시트체 (110) 를 가열 장치에 의해 가열한다. 가열 장치는, 예를 들어, 열탕이나 열기, 증기 등에 의해 적층 시트체 (110) 를 가열한다. 적층 시트체 (110) 를 가열하는 온도는 50°∼ 300°정도이고, 가열하는 시간은 1 분 ∼ 10 분 정도이다. 바람직하게는, 가열 온도는 80°∼ 200°정도이고, 가열 시간은 2 분 ∼ 5 분 정도이다. 예를 들어, 가열 온도를 130°정도로 설정하고, 가열 시간을 3 분 정도로 설정한다.Next, an operator heats the
다음으로, 작업자는, 적층 시트체 (110) 로부터 성형형 (100) 을 제거한다 (스텝 S5 ; 성형형 제거 스텝). 예를 들어, 작업자는, 자연 냉각 등에 의해 적층 시트체 (110) 의 열을 방산시킨다. 그리고, 작업자는, 냉각된 적층 시트체 (110) 로부터 고정구 (114) 를 제거하고, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 압축된 적층 시트체 (110) 를 신장시킨다. 작업자는, 적층 시트체 (110) 로부터 내열 테이프 (111) 을 벗기고, 도 11 및 도 12 에 나타내는 바와 같이, 모재 (90) 로부터 성형형 (100) 을 제거한다. 성형형 (100) 이 제거된 모재 (90) 는, 압축 상태태로 가열 처리되어 있으므로, 모재 (90) 단체에 의해 벨로스상의 형상이 유지되어, 벨로스 부재 (710) 가 형성된다.Next, an operator removes the shaping|molding die 100 from the laminated sheet body 110 (step S5; shaping|molding die removal step). For example, the operator dissipates the heat of the
사용 후의 성형형 (100) 은, 평면 형상으로 되돌려 재이용해도 된다. 예를 들어, 도시되지 않은 평면판에 의해 사용 후의 성형형 (100) 을 양측에서 가압함과 함께 가열 처리하여 평면 형상으로 되돌린다. 또, 벨로스상으로 형성된 성형형 (100) 을 반대 방향으로 절곡하여 평면 형상으로 되돌려도 된다.After use, the shaping|molding die 100 may be returned to a planar shape, and may be reused. For example, it heat-processes while pressurizing the shaping|molding die 100 after use from both sides with a flat plate (not shown), and returns to a planar shape. Moreover, you may bend the shaping|molding die 100 formed in the bellows shape in the opposite direction and return it to a planar shape.
이상과 같이, 실시형태에 관련된 벨로스의 제조 방법에 의하면, 접음선 (101) 및 삼각공 (102) 이 형성된 성형형 (100) 을 사용하여, 모재 (90) 를 벨로스상으로 형성하고, 모재 (90) 단체에 의해 벨로스상을 유지하는 것이다. 모재 (90) 은, 예를 들어, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리염화비닐 (PVC), 폴리프로필렌 (PP), 폴리우레탄 (PU) 등으로 형성되어 있고, 고무계의 재료를 사용하지 않고 벨로스상을 용이하게 형성할 수 있다. 이것에 의해, 가공 장치 (1) 에서 사용되는 약제, 예를 들어 옥시란에 의해 변질되지 않고, 약제에 대한 내성이 강한 벨로스 부재 (710) 를 제조할 수 있다. 또, 고무계의 재료를 사용하고 있지 않으므로 경량화를 실현할 수 있어, 벨로스 부재 (710) 의 절곡 부위에 대한 부담을 경감시킬 수 있다. 또, 종래와 같이, 접착 공정에서 시트의 전체면에 접착제를 도포하거나, 접착 첩합시에 기포의 혼입을 막거나 하는 고도의 기능 (技能) 을 필요로 하지 않고, 작업 시간이 걸리는 공정을 삭감시킴으로써, 공정이 간이화되어 작업 능률을 향상 시킬 수 있다.As described above, according to the method for manufacturing a bellows according to the embodiment, the
또, 모재 (90) 로 형성된 벨로스 부재 (710) 는, 수평 시트부 (710a) 와, 수평 시트부 (710a) 의 양단으로부터 대략 수직인 하방으로 절곡되어 이루어지는 1 쌍의 수직부 (710b) 로 이루어지는 コ 자상 벨로스로 절곡되어 있다. 이와 같은 복잡한 벨로스상이어도, 성형형 (100) 을 사용하여 용이하게 형성할 수 있다.Further, the
[변형예][Variation]
다음으로, 실시형태의 변형예에 대해 설명한다. 벨로스 부재 (710) 는, 수지계의 완충포로 표면을 피복해도 된다. 예를 들어, 작업자는, 모재 (90) 로부터 성형형 (100) 을 제거한 후 (스텝 S5 후) 에, 아크릴 수지계의 접착제를 벨로스상의 모재 (90) 의 표면에 도포하고, 벨로스상의 모재 (90) 의 표면에 수지계의 완충포를 첩합하여 적층한다. 이것에 의해, 가공 수단 (20) 에 의해 가공했을 때 비산되는 단재에 의해, 벨로스 부재 (710) 가 받는 손상을 경감시킬 수 있다.Next, a modified example of the embodiment will be described. The surface of the
또, 배수로 (81) 로부터 가공수의 물보라가 상방으로 비산되지 않도록 하는 벨로스상의 물 반환막 (도시 생략) 을 벨로스 부재 (710) 의 수직부 (710b) 에 형성해도 된다. 예를 들어, 작업자는, 모재 (90) 로부터 성형형 (100) 을 제거한 후 (스텝 S5 후) 에, 벨로스 부재 (710) 의 신축 방향에 있어서의 일단측으로부터 타단측까지, 배수로 (81) 의 상방을 덮도록 수직부 (710b) 의 내측으로부터 돌출 시킨 벨로스상의 물 반환막을 접착하여 고정시키다.In addition, a bellows-shaped water return film (not shown) for preventing the spray of processing water from scattering upward from the
또, 압축된 적층 시트체 (110) 를 고정구 (114) 에 의해 고정했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 압축된 적층 시트체 (110) 를 1 쌍의 판상 부재에 의해 사이에 두어 고정시켜 가열해도 된다.Moreover, although the compressed
또, 냉각 후에 적층 시트체 (110) 로부터 고정구 (114) 를 제거하는 예를 설명했지만, 모재 (90) 에 벨로스 형상을 맞출 수 있으면, 고정구 (114) 를 제거하는 타이밍은 냉각 후에 한정되지 않는다.Moreover, although the example which removes the
또, 작업자가 성형형 (100) 을 사용하여 모재 (90) 로부터 벨로스 부재 (710) 를 제조했지만, 도시되지 않은 벨로스 제조 장치를 사용하여 자동적으로 제조해도 된다. 예를 들어, 벨로스 제조 장치는, 모재 (90) 와 성형형 (100) 을 중첩하여 적층 시트체 (110) 를 형성하는 중첩 수단과, 적층 시트체 (110) 의 모재 (90) 와 성형형 (100) 을 내열 테이프 (111) 에 의해 서로 임시 고정하여 고정시키는 임시 고정 수단과, 적층 시트체 (110) 를 벨로스상으로 절곡하는 절곡 수단과, 열탕이나 열기, 증기 등에 의해 적층 시트체 (110) 를 가열하는 가열 수단과, 적층 시트체 (110) 로부터 성형형 (100) 을 제거하는 제거 수단을 구비한다.Moreover, although an operator manufactured the
또, 상기 서술한 벨로스의 제조 방법에 의해 제조되는 벨로스 부재 (710) 는, 웨이퍼를 절삭할 때 발생하는 가공수나 가공 부스러기로부터 가공 이송 수단 (50) 을 보호하는 예에 대해 설명했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 벨로스 부재 (710) 는, 선반이나 프라이스반 등의 가공 장치의 가동부나 축부를, 기름을 함유하는 절삭액이나 절삭 부스러기로부터 보호하는 것으로서 사용해도 된다.In addition, the
1 : 가공 장치
50 : 가공 이송 수단
60 : 커버 부재
70 : 벨로스 기구
71A : 제 1 벨로스부
71B : 제 2 벨로스부
710 (710A ∼ 710D) : 벨로스 부재
710a : 수평 시트부
710b : 수직부
80 : 배수 수단
81 : 배수로
90 : 모재
100 : 성형형
101 : 접음선
101a : 산부용의 접음선
101b : 골부용의 접음선
102 : 삼각공
110 : 적층 시트체
111 : 내열 테이프
114 : 고정구1: processing device
50: processing feed means
60: cover member
70: bellows mechanism
71A: first bellows part
71B: second bellows part
710 (710A ~ 710D): Bellows member
710a: horizontal seat portion
710b: vertical
80: drainage means
81: drain
90: base material
100: molded
101: fold line
101a: fold line for obstetrics and women
101b: fold line for bone
102: triangle ball
110: laminated sheet body
111: heat-resistant tape
114: fixture
Claims (3)
그 적층 시트체의 그 모재와 그 성형형을 서로 임시 고정하여 고정시키는 임시 고정 스텝과,
그 임시 고정 스텝을 실시한 후, 그 적층 시트체를 그 접음선을 따라 절곡하여, 산부와 골부를 갖는 벨로스상으로 절곡하는 절곡 스텝과,
그 산부와 그 골부가 서로 밀접할 때까지 압축한 상태로 그 적층 시트체를 가열하는 가열 스텝과,
그 가열 스텝을 실시한 후, 그 적층 시트체로부터 그 성형형을 제거하는 성형형 제거 스텝을 구비하고,
그 모재 단체에 의해 그 벨로스상의 형상이 유지되는 벨로스의 제조 방법으로서,
그 성형형의 그 접음선은, 직선상의 구멍 또는 선상의 오목부로 형성되고,
그 준비 스텝에서는, 그 모재에 그 성형형을 1장 겹치는 것을 특징으로 하는, 벨로스의 제조 방법.A preparatory step of superposing a base material made of a synthetic resin sheet and a sheet-like mold with fold lines formed thereon to form a laminated sheet body;
a temporary fixing step of temporarily fixing and fixing the base material and the molding die of the laminated sheet body to each other;
After carrying out the temporary fixing step, the laminated sheet body is bent along the fold line, and a bending step of bending the laminated sheet body into a bellows shape having a peak and a valley;
A heating step of heating the laminated sheet body in a compressed state until the peaks and the valleys come into close contact with each other;
After performing the heating step, a molding die removal step of removing the molding die from the laminated sheet body is provided;
A method for manufacturing a bellows in which the shape of the bellows shape is maintained by the base material alone,
The fold line of the molding die is formed by a straight hole or a linear recess,
In the preparation step, a method for manufacturing a bellows characterized in that one sheet of the molding die is stacked on the base material.
그 모재는 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리염화비닐 (PVC), 폴리프로필렌 (PP) 및 폴리우레탄 (PU) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 벨로스의 제조 방법.The method of claim 1,
The base material is polyethylene terephthalate (PET), polyvinyl chloride (PVC), polypropylene (PP), and a method for producing a bellows, characterized in that any one of polyurethane (PU).
그 절곡 스텝에서는, 수평 시트부와 그 수평 시트부의 양단으로부터 수직인 하방으로 절곡되어 이루어지는 1 쌍의 수직부로 이루어지는 コ 자상 벨로스로 절곡되는 것을 특징으로 하는 벨로스의 제조 방법.3. The method according to claim 1 or 2,
In the bending step, the bellows manufacturing method is characterized in that bending is performed into a U-shaped bellows comprising a horizontal sheet portion and a pair of vertical portions bent vertically downward from both ends of the horizontal sheet portion.
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