KR102325711B1 - Method of manufacturing bellows - Google Patents

Method of manufacturing bellows Download PDF

Info

Publication number
KR102325711B1
KR102325711B1 KR1020160041506A KR20160041506A KR102325711B1 KR 102325711 B1 KR102325711 B1 KR 102325711B1 KR 1020160041506 A KR1020160041506 A KR 1020160041506A KR 20160041506 A KR20160041506 A KR 20160041506A KR 102325711 B1 KR102325711 B1 KR 102325711B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
bellows
base material
molding die
sheet body
laminated sheet
Prior art date
Application number
KR1020160041506A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20160121418A (en
Inventor
윈펑 양
고우지 네모토
Original Assignee
가부시기가이샤 디스코
가부시키가이샤 네모토
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시기가이샤 디스코, 가부시키가이샤 네모토 filed Critical 가부시기가이샤 디스코
Publication of KR20160121418A publication Critical patent/KR20160121418A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102325711B1 publication Critical patent/KR102325711B1/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C53/00Shaping by bending, folding, twisting, straightening or flattening; Apparatus therefor
    • B29C53/22Corrugating
    • B29C53/24Corrugating of plates or sheets
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/42Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor characterised by the shape of the moulding surface, e.g. ribs or grooves
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C51/00Shaping by thermoforming, i.e. shaping sheets or sheet like preforms after heating, e.g. shaping sheets in matched moulds or by deep-drawing; Apparatus therefor
    • B29C51/14Shaping by thermoforming, i.e. shaping sheets or sheet like preforms after heating, e.g. shaping sheets in matched moulds or by deep-drawing; Apparatus therefor using multilayered preforms or sheets
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C51/00Shaping by thermoforming, i.e. shaping sheets or sheet like preforms after heating, e.g. shaping sheets in matched moulds or by deep-drawing; Apparatus therefor
    • B29C51/26Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C51/264Auxiliary operations prior to the thermoforming operation, e.g. cutting
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C51/00Shaping by thermoforming, i.e. shaping sheets or sheet like preforms after heating, e.g. shaping sheets in matched moulds or by deep-drawing; Apparatus therefor
    • B29C51/26Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C51/265Auxiliary operations during the thermoforming operation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C51/00Shaping by thermoforming, i.e. shaping sheets or sheet like preforms after heating, e.g. shaping sheets in matched moulds or by deep-drawing; Apparatus therefor
    • B29C51/26Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C51/266Auxiliary operations after the thermoforming operation
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C51/00Shaping by thermoforming, i.e. shaping sheets or sheet like preforms after heating, e.g. shaping sheets in matched moulds or by deep-drawing; Apparatus therefor
    • B29C51/26Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C51/42Heating or cooling
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C51/00Shaping by thermoforming, i.e. shaping sheets or sheet like preforms after heating, e.g. shaping sheets in matched moulds or by deep-drawing; Apparatus therefor
    • B29C51/26Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C51/44Removing or ejecting moulded articles
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29CSHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C53/00Shaping by bending, folding, twisting, straightening or flattening; Apparatus therefor
    • B29C53/80Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
    • B29C53/84Heating or cooling
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2023/00Use of polyalkenes or derivatives thereof as moulding material
    • B29K2023/10Polymers of propylene
    • B29K2023/12PP, i.e. polypropylene
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2027/00Use of polyvinylhalogenides or derivatives thereof as moulding material
    • B29K2027/06PVC, i.e. polyvinylchloride
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2067/00Use of polyesters or derivatives thereof, as moulding material
    • B29K2067/003PET, i.e. poylethylene terephthalate
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29KINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASSES B29B, B29C OR B29D, RELATING TO MOULDING MATERIALS OR TO MATERIALS FOR MOULDS, REINFORCEMENTS, FILLERS OR PREFORMED PARTS, e.g. INSERTS
    • B29K2075/00Use of PU, i.e. polyureas or polyurethanes or derivatives thereof, as moulding material
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29LINDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
    • B29L2016/00Articles with corrugations or pleats

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
  • Diaphragms And Bellows (AREA)

Abstract

(과제) 약제에 대한 내성이 강한 벨로스상의 커버를 제조할 수 있는 벨로스의 제조 방법을 제공한다.
(해결 수단) 벨로스상을 형성하기 위한 접음선을 갖는 성형형과, 판상의 모재를 중첩하여 적층 시트체를 형성하고, 적층 시트체를 벨로스상으로 절곡하고 압축하여 가열한다. 가열 후, 적층 시트체로부터 성형형을 제거한다. 모재는, 예를 들어, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리염화비닐 (PVC), 폴리프로필렌 (PP), 폴리우레탄 (PU) 등으로 형성되고, 고무계의 재료를 사용하지 않고 벨로스상이 형성된다.
(Project) To provide a method for manufacturing a bellows capable of producing a bellows-like cover with strong resistance to drugs.
(Solution) A forming die having fold lines for forming a bellows shape and a plate-shaped base material are superposed to form a laminated sheet body, and the laminated sheet body is bent into a bellows shape, compressed and heated. After heating, the molding die is removed from the laminated sheet body. The base material is formed of, for example, polyethylene terephthalate (PET), polyvinyl chloride (PVC), polypropylene (PP), polyurethane (PU) or the like, and a bellows phase is formed without using a rubber-based material.

Description

벨로스의 제조 방법{METHOD OF MANUFACTURING BELLOWS}Method of manufacturing bellows {METHOD OF MANUFACTURING BELLOWS}

본 발명은 벨로스의 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a bellows.

기계 등의 신축 변위 부분 또는 굴곡 변위 부분을 액체나 티끌, 광선, 습기 등의 외란 인자로부터 지키기 위해서, 그것들을 차폐하는 신축 자재식의 커버로서 벨로스상의 커버가 많이 사용되고 있다. 예를 들어, 절삭 장치와 같이 액체를 사용하는 가공 장치에 있어서, 벨로스상의 커버는, 각 축부를 액체의 비산으로부터 보호하고 있다 (특허문헌 1 참조).In order to protect the elastic displacement part or the bending displacement part of a machine etc. from disturbance factors, such as liquid, dust, light rays, moisture, a bellows-shaped cover is widely used as a telescopic-type cover which shields them. For example, in a processing device using a liquid such as a cutting device, a bellows-shaped cover protects each shaft portion from scattering of the liquid (refer to Patent Document 1).

액 누출을 막아, 내구성이 요구되는 벨로스상의 커버에서는, 고무계 (클로로술폰화 폴리에틸렌, 클로로프렌 고무, 니트릴부타젠 고무, 우레탄 고무 등) 의 재료가 사용되고 있다. 예를 들어, 나일론제 심지의 양면에 고무가 코팅된 시트에, 접음선 (점선) 이나 절입공이 형성된 필름 시트를, 기포를 사이에 두지 않도록 고무계 (클로로프렌 고무, 니트릴부타젠 고무, 우레탄 고무 등) 의 접착제로 전체면 접착하여, 벨로스가 되는 적층체를 형성한다 (특허문헌 2 참조).For a bellows-like cover that prevents liquid leakage and is required to be durable, a rubber-based material (such as chlorosulfonated polyethylene, chloroprene rubber, nitrile butazen rubber, or urethane rubber) is used. For example, on a sheet coated with rubber on both sides of a nylon core, put a film sheet with fold lines (dotted lines) or cut-out holes in it so that there are no air bubbles in between them. ) to form a laminate to be a bellows by bonding the entire surface with an adhesive (see Patent Document 2).

일본 공개특허공보 2001-135593호Japanese Patent Laid-Open No. 2001-135593 일본 특허공보 평4-55855호Japanese Patent Publication No. 4-55855

그런데, 가공 장치에서 사용되는 약제, 예를 들어 옥시란은, 고무계 (클로로술폰화 폴리에틸렌 고무, 클로로프렌 고무, 니트릴부타젠 고무 등) 의 재료를 변질시킨다. 옥시란을 함유한 액체가 장기간에 걸쳐 고무계의 재료로 형성된 벨로스상의 커버에 부착되면, 고무가 변질되어 액체를 흡수하고, 벨로스가 신축될 때 흡수된 액체가 짜내지고, 나아가서는 벨로스에 누수를 발생시킨다는 과제가 있었다.By the way, the chemical|medical agent used in a processing apparatus, for example, oxirane, changes the quality of rubber-type (chlorosulfonated polyethylene rubber, chloroprene rubber, nitrile-butazen rubber, etc.). When a liquid containing oxirane is attached to a bellows-like cover made of a rubber-based material over a long period of time, the rubber deteriorates and absorbs the liquid. There was a task to do.

그래서, 본 발명은, 상기를 감안하여 이루어진 것으로서, 약제에 대한 내성이 강한 벨로스상의 커버를 제조할 수 있는 벨로스의 제조 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.Then, this invention has been made in view of the above, and an object of this invention is to provide the manufacturing method of the bellows which can manufacture the bellows-shaped cover with strong resistance to a chemical|medical agent.

상기 서술한 과제를 해결하고, 목적을 달성하기 위해서, 본 발명에 관련된 벨로스의 제조 방법은, 합성 수지 시트로 이루어지는 모재와, 접음선이 형성된 시트상의 성형형을 중첩하여, 적층 시트체를 형성하는 준비 스텝과, 그 적층 시트체의 그 모재와 그 성형형을 서로 임시 고정하여 고정시키는 임시 고정 스텝과, 그 임시 고정 스텝을 실시한 후, 그 적층 시트체를 그 접음선을 따라 절곡하여, 산부 (山部) 와 골부 (谷部) 를 갖는 벨로스상으로 절곡하는 절곡 스텝과, 그 산부와 그 골부가 서로 밀접할 때까지 압축한 상태로 그 적층 시트체를 가열하는 가열 스텝과, 그 가열 스텝을 실시한 후, 그 적층 시트체로부터 그 성형형을 제거하는 성형형 제거 스텝을 구비하고, 그 모재 단체에 의해 그 벨로스상의 형상이 유지되는 것을 특징으로 한다.In order to solve the above-mentioned problems and achieve the object, the method for manufacturing a bellows according to the present invention is to form a laminated sheet body by superposing a base material made of a synthetic resin sheet and a sheet-like mold with fold lines formed thereon. After carrying out the preparation step, the temporary fixing step of temporarily fixing the base material of the laminated sheet body and the molding die to each other and fixing the temporary fixing step, the laminated sheet body is bent along the fold line, A bending step of bending into a bellows shape having a ridge and a trough, a heating step of heating the laminated sheet body in a compressed state until the ridge and the trough are brought into close contact with each other, and the heating step; After carrying out, a molding die removal step of removing the molding die from the laminated sheet body is provided, and the bellows-like shape is maintained by the base material alone.

또, 상기 벨로스의 제조 방법에 있어서, 그 모재는, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리염화비닐 (PVC), 폴리프로필렌 (PP), 폴리우레탄 (PU) 중 어느 것인 것이 바람직하다.Moreover, in the manufacturing method of the said bellows, it is preferable that the base material is any of polyethylene terephthalate (PET), polyvinyl chloride (PVC), polypropylene (PP), and polyurethane (PU).

또, 상기 벨로스의 제조 방법에 있어서, 그 절곡 스텝에서는, 수평 시트부와 그 수평 시트부의 양단으로부터 대략 수직인 하방으로 절곡되어 이루어지는 1 쌍의 수직부로 이루어지는 コ 자상 벨로스로 절곡되는 것이 바람직하다.Further, in the method for manufacturing the bellows, in the bending step, it is preferable to bend into a U-shaped bellows comprising a horizontal sheet portion and a pair of vertical portions bent substantially vertically downward from both ends of the horizontal sheet portion.

본 발명의 벨로스의 제조 방법에서는, 접음선이 형성된 시트상의 성형형을 사용하여, 합성 수지 시트로 이루어지는 모재에 벨로스상을 형성하고, 모재 단체에 의해 벨로스상을 유지하는 것이다. 이것에 의해, 고무계의 재료를 사용하지 않고 벨로스상을 형성할 수 있기 때문에, 약제에 대한 내성이 강한 벨로스상의 커버를 제조할 수 있다.In the method for manufacturing a bellows of the present invention, a bellows shape is formed on a base material made of a synthetic resin sheet using a sheet-like molding die having fold lines, and the bellows shape is maintained by a single base material. Thereby, since a bellows shape can be formed without using a rubber-type material, the bellows-shaped cover with strong resistance to a chemical|medical agent can be manufactured.

도 1 은 가공 장치의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다.
도 2 는 벨로스의 제조 방법을 나타내는 플로 차트이다.
도 3 은 모재의 구성예를 나타내는 상면도이다.
도 4 는 시트상의 성형형의 구성예를 나타내는 상면도이다.
도 5 는 시트상의 성형형 및 모재의 임시 고정예 (그 1) 를 나타내는 상면도이다.
도 6 은 시트상의 성형형 및 모재의 임시 고정예 (그 2) 를 나타내는 상면도이다.
도 7 은 시트상의 성형형 및 모재의 제 1 절곡예를 나타내는 사시도이다.
도 8 은 시트상의 성형형 및 모재의 제 2 절곡예를 나타내는 사시도이다.
도 9 는 시트상의 성형형 및 모재의 가열예를 나타내는 사시도이다.
도 10 은 가열 후의 시트상의 성형형 및 모재의 구성예를 나타내는 사시도이다.
도 11 은 분리 후의 모재를 나타내는 사시도이다.
도 12 는 분리 후의 시트상의 성형형을 나타내는 사시도이다.
BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is an exploded perspective view which shows the structural example of a processing apparatus.
2 is a flowchart showing a method for manufacturing a bellows.
It is a top view which shows the structural example of a base material.
4 is a top view showing a configuration example of a sheet-like molding die.
Fig. 5 is a top view showing an example of temporary fixing of a sheet-like molding die and a base material (Part 1).
Fig. 6 is a top view showing an example of temporary fixing of a sheet-like molding die and a base material (Part 2).
Fig. 7 is a perspective view showing a sheet-like molding die and a first bending example of a base material;
Fig. 8 is a perspective view showing a sheet-like molding die and a second bending example of a base material;
Fig. 9 is a perspective view showing an example of heating a sheet-like molding die and a base material;
It is a perspective view which shows the structural example of the sheet-like shaping|molding die and base material after heating.
11 is a perspective view showing a base material after separation.
Fig. 12 is a perspective view showing a sheet-like mold after separation;

본 발명을 실시하기 위한 형태 (실시형태) 에 대해, 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다. 이하의 실시형태에 기재한 내용에 의해 본 발명이 한정되는 것은 아니다. 또, 이하에 기재한 구성 요소에는, 당업자가 용이하게 상정할 수 있는 것, 실질적으로 동일한 것이 포함된다. 또한, 이하에 기재한 구성은 적절히 조합하는 것이 가능하다. 또, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위에서 구성의 여러 가지의 생략, 치환 또는 변경을 실시할 수 있다.EMBODIMENT OF THE INVENTION The form (embodiment) for implementing this invention is demonstrated in detail, referring drawings. This invention is not limited by the content described in the following embodiment. In addition, the components described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art, and those that are substantially the same. In addition, the structures described below can be combined suitably. Moreover, various abbreviation|omission, substitution, or change of a structure can be implemented in the range which does not deviate from the summary of this invention.

[실시형태][Embodiment]

실시형태에 관련된 가공 장치에 대해 설명한다. 도 1 은, 가공 장치의 구성예를 나타내는 분해 사시도이다. 가공 장치 (1) 는, 도시되지 않은 웨이퍼를 절삭하는 것이다. 가공 장치 (1) 는, 척 테이블 (10) 과, 가공 수단 (20) 과, 산출 이송 수단 (30) 과, 절입 이송 수단 (40) 과, 가공 이송 수단 (50) 과, 도시되지 않은 제어 수단을 구비하고 있다.The processing apparatus which concerns on embodiment is demonstrated. BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is an exploded perspective view which shows the structural example of a processing apparatus. The processing apparatus 1 cuts a wafer (not shown). The machining apparatus 1 includes a chuck table 10 , a machining means 20 , a calculation feed means 30 , a cut feed means 40 , a machining feed means 50 , and a control means not shown. is provided.

웨이퍼는, 실리콘이나 갈륨비소 등의 기판에 반도체 디바이스가 형성되거나, 사파이어나 SiC 등의 기판에 광디바이스가 형성된 반도체 웨이퍼나 광디바이스 웨이퍼, 무기 재료 기판, 연성 수지 재료 기판, 세라믹 기판이나 유리판 등, 각종 가공 재료이다.A wafer is a semiconductor wafer or an optical device wafer in which a semiconductor device is formed on a substrate such as silicon or gallium arsenide, or an optical device is formed on a substrate such as sapphire or SiC, an inorganic material substrate, a flexible resin material substrate, a ceramic substrate or a glass plate, various processing materials.

여기서, X 축 방향은, 척 테이블 (10) 에 유지된 웨이퍼를 가공 이송하는 방향이다. Y 축 방향은, X 축 방향으로 동일 수평면 상에서 직교하고, 척 테이블 (10) 에 유지된 웨이퍼에 대해, 가공 수단 (20) 을 산출 이송하는 방향이다. Z 축 방향은, X 축 방향 및 Y 축 방향에 직교하는 방향, 본 실시형태에서는 연직 방향이다.Here, the X-axis direction is a direction in which the wafer held by the chuck table 10 is processed and transferred. The Y-axis direction is orthogonal to the X-axis direction on the same horizontal plane and is a direction in which the processing means 20 is calculated and transferred with respect to the wafer held by the chuck table 10 . The Z-axis direction is a direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction, and is a vertical direction in the present embodiment.

척 테이블 (10) 은, X 축 방향으로 이동 가능하게 장치 본체 (2) 의 상면에 배치 형성되어 있다. 척 테이블 (10) 은 원판상으로 형성되고, 유지면 (11) 을 구비하고 있다. 척 테이블 (10) 은, 도시되지 않은 회전 수단에 의해 유지면 (11) 의 중심에 직교하는 회전축에서 회전된다. 유지면 (11) 은, 척 테이블 (10) 의 연직 방향의 상단면이고, 수평면에 대해 평탄하게 형성되어 있다. 유지면 (11) 은, 예를 들어 포러스 세라믹 등으로 구성되어 있고, 도시되지 않은 진공 흡인원의 부압에 의해, 웨이퍼를 흡인 유지한다.The chuck table 10 is disposed on the upper surface of the apparatus main body 2 so as to be movable in the X-axis direction. The chuck table 10 is formed in a disk shape and has a holding surface 11 . The chuck table 10 is rotated on a rotational axis orthogonal to the center of the holding surface 11 by a rotation means (not shown). The holding surface 11 is an upper end surface of the chuck table 10 in the vertical direction, and is formed to be flat with respect to a horizontal surface. The holding surface 11 is made of, for example, a porous ceramic or the like, and holds the wafer by a negative pressure of a vacuum suction source (not shown).

가공 수단 (20) 은, 척 테이블 (10) 에 유지된 웨이퍼를 가공하는 것이다. 가공 수단 (20) 은, 산출 이송 수단 (30) 및 절입 이송 수단 (40) 을 개재하여 장치 본체 (2) 에 배치 형성되어 있다. 가공 수단 (20) 은, 절삭 블레이드 (21) 와, 스핀들 (22) 과, 하우징 (23) 과, 1 쌍의 가공수 공급 노즐 (24) 을 구비하고 있다. 절삭 블레이드 (21) 는, 극박의 원판상 또한 고리상으로 형성된 절삭 지석이다. 스핀들 (22) 은, 그 선단에 절삭 블레이드 (21) 를 착탈 가능하게 장착한다. 하우징 (23) 은, 도시되지 않은 모터 등의 구동원을 가지고 있고, Y 축 방향의 회전축 둘레로 자유롭게 회전할 수 있도록 스핀들 (22) 을 지지한다. 가공수 공급 노즐 (24) 은, 절삭 블레이드 (21) 를 사이에 두도록 배치 형성되어 절삭 블레이드 (21) 에 대해 가공수를 공급한다. 가공 수단 (20) 은, 스핀들 (22) 을 고속 회전시켜 절삭 블레이드 (21) 에 의해 웨이퍼를 절삭함과 함께, 가공수 공급 노즐 (24) 에 의해 절삭 블레이드 (21) 에 대해 가공수를 공급한다.The processing means 20 processes the wafer held by the chuck table 10 . The processing means 20 is arrange|positioned by the apparatus main body 2 via the calculation transfer means 30 and the cut transfer means 40, and is formed. The processing means 20 includes a cutting blade 21 , a spindle 22 , a housing 23 , and a pair of processing water supply nozzles 24 . The cutting blade 21 is a cutting grindstone formed in an ultra-thin disk shape and annular shape. The spindle 22 removably attaches the cutting blade 21 to the front-end|tip. The housing 23 has a drive source, such as a motor (not shown), and supports the spindle 22 so that it can freely rotate around a rotation axis in the Y-axis direction. The machining water supply nozzle 24 is disposed so that the cutting blade 21 is interposed therebetween, and supplies the machining water to the cutting blade 21 . The machining means 20 rotates the spindle 22 at high speed to cut the wafer with the cutting blade 21 , and supplies machining water to the cutting blade 21 through the machining water supply nozzle 24 . .

산출 이송 수단 (30) 은, 척 테이블 (10) 과 가공 수단 (20) 을 Y 축 방향으로 상대 이동시키는 것이다. 예를 들어, 산출 이송 수단 (30) 은, Y 축 방향으로 연장되는 볼 나사 (31) 나 펄스 모터 (32) 등의 구동원을 가지고 있고, 절입 이송 수단 (40) 을 지지하는 Y 축 이동 기대 (33) 를 Y 축 방향으로 이동시킨다.The calculation transfer means 30 relatively moves the chuck table 10 and the machining means 20 in the Y-axis direction. For example, the calculation transfer means 30 has a drive source, such as a ball screw 31 and a pulse motor 32 extending in the Y-axis direction, and supports the cutting transfer means 40 Y-axis movement base ( 33) is moved in the Y-axis direction.

절입 이송 수단 (40) 은, 척 테이블 (10) 의 유지면 (11) 과 직교하는 Z 축 방향으로 가공 수단 (20) 을 이동시키는 것이다. 예를 들어, 절입 이송 수단 (40) 은, Z 축 방향으로 연장되는 도시되지 않은 볼 나사나 펄스 모터 (41) 등의 구동원을 가지고 있고, 가공 수단 (20) 을 지지하는 Z 축 이동 부재 (42) 를 Z 축 방향으로 이동시킨다.The cutting feed means 40 moves the machining means 20 in the Z-axis direction orthogonal to the holding surface 11 of the chuck table 10 . For example, the cutting feed means 40 has a drive source, such as a ball screw and a pulse motor 41 (not shown) extending in the Z-axis direction, and the Z-axis moving member 42 which supports the processing means 20 . ) is moved in the Z-axis direction.

가공 이송 수단 (50) 은, 척 테이블 (10) 과 가공 수단 (20) 을 X 축 방향으로 상대 이동시키는 것이다. 예를 들어, 가공 이송 수단 (50) 은, X 축 방향으로 연장된 1 쌍의 가이드 레일 (51) 과, 가이드 레일 (51) 과 평행하게 배치 형성된 볼 나사 (52) 와, 볼 나사 (52) 에 나사 결합된 도시되지 않은 너트에 고정되고, 가이드 레일 (51) 에 자유롭게 슬라이드할 수 있도록 배치 형성된 X 축 이동 기대 (53) 와, 볼 나사 (52) 를 회전시키는 펄스 모터 (54) 를 구비하고 있다. 가공 이송 수단 (50) 은, 펄스 모터 (54) 에 의해 볼 나사 (52) 를 회전시킴으로써, 척 테이블 (10) 을 지지하는 X 축 이동 기대 (53) 를 X 축 방향으로 이동시킨다.The machining feed means 50 relatively moves the chuck table 10 and the machining means 20 in the X-axis direction. For example, the processing transfer means 50 includes a pair of guide rails 51 extending in the X-axis direction, a ball screw 52 arranged parallel to the guide rail 51 , and a ball screw 52 . It is fixed to a nut (not shown) screwed to the guide rail (51) and is provided with an X-axis movement base (53) arranged and formed so as to slide freely on the guide rail (51), and a pulse motor (54) for rotating the ball screw (52), have. The processing transfer means 50 moves the X-axis movement base 53 supporting the chuck table 10 in the X-axis direction by rotating the ball screw 52 by the pulse motor 54 .

여기서, 절삭 블레이드 (21) 에 의해 웨이퍼를 가공할 때 공급되는 가공수가, 가공 이송 수단 (50) 의 볼 나사 (52) 등에 부착되는 것을 방지하기 위해, 가공 이송 수단 (50) 에는, 커버 부재 (60) 와, 벨로스 기구 (70) 가 배치 형성되어 있다.Here, in order to prevent the machining water supplied when processing the wafer by the cutting blade 21 from adhering to the ball screw 52 of the machining feed means 50, the machining feed means 50 has a cover member ( 60) and the bellows mechanism 70 are arranged.

커버 부재 (60) 는 판상의 부재이고, Z 축 방향에서 보았을 경우에 대략 정방형으로 형성되어 있다. 커버 부재 (60) 는, X 축 방향에서 보았을 경우에 コ 자상으로 형성되어 있고, 상면부 (61) 와, Y 축 방향에 있어서의 양단부가 Z 축 방향으로 하방향으로 절곡되어 형성된 절골부 (62) 를 구비하고 있다. 커버 부재 (60) 는, 척 테이블 (10) 을 지지하는 X 축 이동 기대 (53) 와 척 테이블 (10) 사이에 배치 형성되어 있다. 커버 부재 (60) 는, 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이가 가공 이송 수단 (50) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이보다 약간 길게 형성되어 있다.The cover member 60 is a plate-shaped member and is formed in a substantially square shape when viewed from the Z-axis direction. The cover member 60 is formed in a U-shape when viewed in the X-axis direction, and the upper surface portion 61 and both ends in the Y-axis direction are bent downward in the Z-axis direction to form a cut-out portion 62 . ) is provided. The cover member 60 is disposed between the X-axis movement base 53 supporting the chuck table 10 and the chuck table 10 . The cover member 60 is formed so that the length of the width direction (Y-axis direction) is slightly longer than the length of the width direction (Y-axis direction) of the processing transfer means 50 .

벨로스 기구 (70) 는, 커버 부재 (60) 를 개재하여 X 축 방향으로 연장되도록 배치 형성되어 있다. 벨로스 기구 (70) 는, 제 1 벨로스부 (71A) 와 제 2 벨로스부 (71B) 로 구성되고, 커버 부재 (60) 의 일방측에 제 1 벨로스부 (71A) 가 배치 형성되며, 커버 부재 (60) 의 타방측에 제 2 벨로스부 (71B) 가 배치 형성되어 있다.The bellows mechanism 70 is arranged so as to extend in the X-axis direction via the cover member 60 . The bellows mechanism 70 is composed of a first bellows portion 71A and a second bellows portion 71B, a first bellows portion 71A is disposed on one side of the cover member 60, and a cover member ( 60), a second bellows portion 71B is disposed on the other side.

제 1 벨로스부 (71A) 는, 2 개의 벨로스 부재 (710A, 710B) 로 구성되어 있다. 벨로스 부재 (710A, 710B) 는, 합성 수지, 예를 들어, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리염화비닐 (PVC), 폴리프로필렌 (PP), 폴리우레탄 (PU) 등으로 형성되어 있다. 벨로스 부재 (710A, 710B) 는, X 축 방향에서 보았을 경우에 コ 자상으로 형성되어 있고, 수평 시트부 (710a) 와, 1 쌍의 수직부 (710b) 를 구비하고 있다. 수평 시트부 (710a) 는, 수평면을 따라 산부 (710c) 와 골부 (710d) 가 신축 방향 (X 축 방향) 으로 교대로 형성되어 있다. 수평 시트부 (710a) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이는, 커버 부재 (60) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이와 대략 동일한 길이이다. 즉, 수평 시트부 (710a) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이는, 가공 이송 수단 (50) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이보다 약간 길게 형성되어 있다. 벨로스 부재 (710A, 710B) 의 수직부 (710b) 는, 수평 시트부 (710a) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 에 있어서의 양단으로부터 대략 수직으로 하방으로 절곡되어 형성되어 있다. 1 쌍의 수직부 (710b) 는, 벨로스상으로 형성되어 있고, 산부 (710e) 와 골부 (710f) 가 신축 방향으로 교대로 형성되어 있다. 벨로스 부재 (710A) 와 벨로스 부재 (710B) 는, 가이드 프레임 (711) 을 개재하여 연결되어 있다. 가이드 프레임 (711) 은, X 축 방향에서 보았을 경우에, 벨로스 부재 (710A, 710B) 와 동일한 コ 자상으로 형성되어 있고, 가이드 프레임 (711) 의 하단 각각에는, 미끄러짐을 양호하게 하기 위한 롤러 (711a) 가 장착되어 있다. 커버 부재 (60) 와 연결되는 벨로스 부재 (710B) 의 X 축 방향에 있어서의 단면에는, 도시되지 않은 프레임이 장착되어 있고, 프레임과 커버 부재 (60) 의 단면이 도시되지 않은 나사에 의해 고정된다.The 1st bellows part 71A is comprised by the two bellows members 710A, 710B. The bellows members 710A, 710B are made of a synthetic resin, for example, polyethylene terephthalate (PET), polyvinyl chloride (PVC), polypropylene (PP), polyurethane (PU), or the like. Bellows members 710A, 710B are formed in a U-shape when viewed from the X-axis direction, and include a horizontal sheet portion 710a and a pair of vertical portions 710b. In the horizontal sheet part 710a, along a horizontal plane, the peak part 710c and the valley part 710d are formed alternately in the expansion-contraction direction (X-axis direction). The length in the width direction (Y-axis direction) of the horizontal sheet part 710a is substantially the same as the length in the width direction (Y-axis direction) of the cover member 60 . That is, the length of the horizontal sheet part 710a in the width direction (Y-axis direction) is formed slightly longer than the length of the width direction (Y-axis direction) of the process transfer means 50 . The vertical portion 710b of the bellows members 710A and 710B is formed by bending downward substantially vertically from both ends in the width direction (Y-axis direction) of the horizontal sheet portion 710a. The pair of vertical portions 710b is formed in a bellows shape, and the ridge portions 710e and trough portions 710f are alternately formed in the expansion/contraction direction. The bellows member 710A and the bellows member 710B are connected via a guide frame 711 . The guide frame 711 is formed in the same U-shape as the bellows members 710A and 710B when viewed in the X-axis direction, and at each lower end of the guide frame 711, a roller 711a for good sliding ) is installed. A frame (not shown) is attached to a cross section in the X-axis direction of the bellows member 710B connected to the cover member 60, and the cross section of the frame and the cover member 60 is fixed by a screw (not shown). .

제 2 벨로스부 (71B) 는, 제 1 벨로스부 (71A) 와 동일하게 구성되어 있다. 즉, 제 2 벨로스부 (71B) 는, 2 개의 벨로스 부재 (710C, 710D) 로 구성되어 있다. 벨로스 부재 (710C, 710D) 는, 수평 시트부 (710a) 와, 1 쌍의 수직부 (710b) 를 구비하고 있다. 수평 시트부 (710a) 는, 수평면을 따라 산부 (710c) 와 골부 (710d) 가 신축 방향 (X 축 방향) 으로 교대로 형성되어 있다. 수평 시트부 (710a) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이는, 커버 부재 (60) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 의 길이와 대략 동일한 길이이다. 벨로스 부재 (710C, 710D) 의 수직부 (710b) 는, 수평 시트부 (710a) 의 폭 방향 (Y 축 방향) 에 있어서의 양단으로부터 대략 수직으로 하방으로 절곡되어 형성되어 있다. 1 쌍의 수직부 (710b) 는, 벨로스상으로 형성되어 있고, 산부 (710e) 와 골부 (710f) 가 신축 방향으로 교대로 형성되어 있다. 벨로스 부재 (710C) 와 벨로스 부재 (710D) 는, 가이드 프레임 (711) 을 개재하여 연결되어 있다. 가이드 프레임 (711) 의 하단 각각에는, 미끄러짐을 양호하게 하기 위한 롤러 (711a) 가 장착되어 있다. 커버 부재 (60) 와 연결되는 벨로스 부재 (710C) 의 X 축 방향에 있어서의 단면에는, 프레임 (713) 이 장착되어 있고, 프레임 (713) 과 커버 부재 (60) 의 단면이 도시되지 않은 나사에 의해 고정된다.The 2nd bellows part 71B is comprised similarly to the 1st bellows part 71A. That is, the 2nd bellows part 71B is comprised by the two bellows members 710C, 710D. The bellows members 710C and 710D include a horizontal seat portion 710a and a pair of vertical portions 710b. In the horizontal sheet part 710a, along a horizontal plane, the peak part 710c and the valley part 710d are formed alternately in the expansion-contraction direction (X-axis direction). The length in the width direction (Y-axis direction) of the horizontal sheet part 710a is substantially the same as the length in the width direction (Y-axis direction) of the cover member 60 . The vertical portion 710b of the bellows members 710C and 710D is formed by bending downward substantially vertically from both ends in the width direction (Y-axis direction) of the horizontal sheet portion 710a. The pair of vertical portions 710b is formed in a bellows shape, and the ridge portions 710e and trough portions 710f are alternately formed in the expansion/contraction direction. The bellows member 710C and the bellows member 710D are connected via a guide frame 711 . Each of the lower ends of the guide frame 711 is equipped with a roller 711a for good sliding. A frame 713 is attached to a cross section in the X-axis direction of the bellows member 710C connected to the cover member 60, and the cross sections of the frame 713 and the cover member 60 are attached to a screw (not shown). is fixed by

이와 같이, 커버 부재 (60) 에 연결된 제 1 벨로스부 (71A) 및 제 2 벨로스부 (71B) 는, X 축 방향에 있어서 가공 이송 수단 (50) 의 상방을 덮고 있다. 척 테이블 (10) 의 이동에 수반하여 커버 부재 (60) 가 X 축 방향으로 이동했을 경우에, 제 1 벨로스부 (71A) 가 신장되어 제 2 벨로스부 (71B) 가 수축되거나, 또는, 제 1 벨로스부 (71A) 가 수축되어 제 2 벨로스부 (71B) 가 신장된다. 또한, 커버 부재 (60) 의 이동 범위에 있어서, 제 1 벨로스부 (71A) 또는 제 2 벨로스부 (71B) 가 완전하게 다 신장되는 경우는 없고, 또, 제 1 벨로스부 (71A) 또는 제 2 벨로스부 (71B) 가 완전하게 수축되어 커버 부재 (60) 의 이동이 방해되는 경우도 없다.Thus, the 1st bellows part 71A and the 2nd bellows part 71B connected to the cover member 60 have covered the upper part of the process feed means 50 in the X-axis direction. When the cover member 60 moves in the X-axis direction with the movement of the chuck table 10, the first bellows portion 71A is extended and the second bellows portion 71B is contracted, or the first The bellows portion 71A is contracted to extend the second bellows portion 71B. In addition, in the moving range of the cover member 60, the first bellows part 71A or the second bellows part 71B does not fully extend, and the first bellows part 71A or the second bellows part 71B does not extend completely. There is also no case where the bellows portion 71B is completely contracted to prevent movement of the cover member 60 .

벨로스 기구 (70) 의 하방측에는, 벨로스 기구 (70) 로부터 가공 부스러기와 함께 흘러 떨어지는 가공수를 받아 들여 배출하는 배수 수단 (80) 이 배치 형성되어 있다. 배수 수단 (80) 은, 배수로 (81) 와, 드레인관 (82) 을 구비하고 있다. 배수로 (81) 는, 커버 부재 (60) 에 연결된 제 1 벨로스부 (71A) 및 제 2 벨로스부 (71B) 를 둘러싸도록 대략 장방형의 프레임 형상으로 형성되고, 가공수가 흐르는 부분이 홈 형상으로 형성되어 있다.On the lower side of the bellows mechanism 70, a drainage means 80 for receiving and discharging the processing water flowing down together with the processing waste from the bellows mechanism 70 is arranged. The drainage means 80 includes a drainage passage 81 and a drain pipe 82 . The drain 81 is formed in a substantially rectangular frame shape to surround the first bellows part 71A and the second bellows part 71B connected to the cover member 60, and the part through which the processing water flows is formed in a groove shape, have.

배수로 (81) 는, 벨로스 기구 (70) 의 벨로스 부재 (710 (710A ∼ 710D)) 의 수직부 (710b) 가 위치 결정되는 바닥면판 (810) 과, 바닥면판 (810) 의 내주측에 세워 설치된 내주벽 (811) 과, 바닥면판 (810) 의 외주측에 세워 설치된 외주벽 (812) 을 구비하고 있다. 내주벽 (811) 은, 벨로스 부재 (710) 의 수직부 (710b) 의 내측에 위치하고, 외주벽 (812) 은, 벨로스 부재 (710) 의 수직부 (710b) 의 외측에 위치하고 있다. 이것에 의해, 벨로스 부재 (710) 의 수직부 (710b) 로부터 흘러 떨어지는 가공수를 바닥면판 (810) 에서 받아 들이고, 바닥면판 (810) 에서 받아 들인 가공수를 드레인관 (82) 을 향하여 흘릴 수 있다.The drainage passage 81 is provided with a bottom plate 810 in which the vertical portion 710b of the bellows members 710 (710A to 710D) of the bellows mechanism 70 is positioned, and the bottom plate 810 standing upright on the inner peripheral side. An inner peripheral wall 811 and an outer peripheral wall 812 erected on the outer peripheral side of the bottom plate 810 are provided. The inner peripheral wall 811 is located inside the vertical portion 710b of the bellows member 710 , and the outer peripheral wall 812 is located outside the vertical portion 710b of the bellows member 710 . Thereby, the processing water flowing down from the vertical portion 710b of the bellows member 710 is received by the bottom plate 810, and the processing water received by the bottom plate 810 can be flowed toward the drain pipe 82. have.

배수로 (81) 의 내주벽 (811) 의 X 축 방향에 있어서의 양단부에는, 고정용 금구 (813) 가 장착되어 있다. 일방의 고정용 금구 (813) 에는, 제 1 벨로스부 (71A) 의 벨로스 부재 (710A) 의 단면에 장착된 프레임 (712) 이 고정되고, 타방의 고정용 금구 (813) 에는, 제 2 벨로스부 (71B) 의 벨로스 부재 (710D) 의 단면에 장착된 프레임 (714) 이 고정된다. 이것에 의해, 벨로스 기구 (70) 의 X 축 방향에 있어서의 양단부가 고정된다.Fixing brackets 813 are attached to both ends of the inner peripheral wall 811 of the drainage channel 81 in the X-axis direction. A frame 712 attached to the end face of the bellows member 710A of the first bellows part 71A is fixed to one fixing bracket 813, and to the other fixing bracket 813, the second bellows part A frame 714 mounted to the end face of the bellows member 710D of 71B is fixed. Thereby, the both ends in the X-axis direction of the bellows mechanism 70 are fixed.

드레인관 (82) 은, 배수로 (81) 의 바닥면판 (810) 이 일부 개구된 도시되지 않은 개구부에 결합되고, 배수로 (81) 에 저류된 가공수를 외부로 배출한다. 예를 들어, 배수로 (81) 는, 약간 경사져 배치 형성되고, 가장 낮은 위치에 드레인관 (82) 이 배치 형성되어 있다. 이것에 의해, 배수로 (81) 의 가공수는, 가장 낮은 위치의 드레인관 (82) 을 향하여 흘러 나가고, 드레인관 (82) 으로부터 외부로 배출된다.The drain pipe 82 is coupled to an opening (not shown) in which the bottom plate 810 of the drainage passage 81 is partially opened, and discharges the processed water stored in the drainage passage 81 to the outside. For example, the drainage channel 81 is slightly inclined, and is arrange|positioned, and the drain pipe 82 is arrange|positioned at the lowest position. Thereby, the working water of the drainage channel 81 flows toward the drain pipe 82 of the lowest position, and is discharged|emitted from the drain pipe 82 to the outside.

배수 수단 (80) 은, 가공 장치 (1) 의 각 구성 요소를 제어하는 것이다. 예를 들어, 배수 수단 (80) 은, 산출 이송 수단 (30), 절입 이송 수단 (40) 및 가공 이송 수단 (50) 의 펄스 모터를 구동시키는 도시되지 않은 구동 회로에 접속되고, 구동 회로를 제어하여 척 테이블 (10) 의 X 축 방향의 위치나, 가공 수단 (20) 의 Y 축 방향 및 Z 축 방향의 위치를 결정한다.The drainage means 80 controls each component of the processing apparatus 1 . For example, the drain means 80 is connected to a drive circuit (not shown) that drives the pulse motors of the calculation feed means 30 , the cut feed means 40 , and the machining feed means 50 , and controls the drive circuit Thus, the position of the chuck table 10 in the X-axis direction and the position of the machining means 20 in the Y-axis direction and the Z-axis direction are determined.

다음으로, 실시형태에 관련된 벨로스의 제조 방법에 대해 설명한다. 도 2 는, 벨로스의 제조 방법을 나타내는 플로 차트이다. 도 3 은, 모재의 구성예를 나타내는 상면도이다. 도 4 는, 시트상의 성형형의 구성예를 나타내는 상면도이다. 도 5 는, 시트상의 성형형 및 모재의 임시 고정예 (그 1) 를 나타내는 상면도로, 성형형이 상면측에 배치되어 있다. 도 6 은, 시트상의 성형형 및 모재의 임시 고정예 (그 2) 를 나타내는 상면도로, 모재가 상면측에 배치되어 있다. 도 7 은, 시트상의 성형형 및 모재의 제 1 절곡예를 나타내는 사시도이다. 도 8 은, 시트상의 성형형 및 모재의 제 2 절곡예를 나타내는 사시도이다. 도 9 는, 시트상의 성형형 및 모재의 가열예를 나타내는 사시도이다. 도 10 은, 가열 후의 시트상의 성형형 및 모재의 구성예를 나타내는 사시도이다. 도 11 은, 분리 후의 모재를 나타내는 사시도이다. 도 12 는, 분리 후의 시트상의 성형형을 나타내는 사시도이다.Next, the manufacturing method of the bellows which concerns on embodiment is demonstrated. 2 is a flowchart showing a method for manufacturing a bellows. 3 : is a top view which shows the structural example of a base material. It is a top view which shows the structural example of a sheet-like shaping|molding die. Fig. 5 is a top view showing a sheet-like molding die and an example of temporary fixing of the base material (Part 1), in which the molding die is disposed on the upper surface side. Fig. 6 is a top view showing a sheet-like molding die and an example (2) of temporary fixing of the base material, in which the base material is arranged on the upper surface side. 7 : is a perspective view which shows the 1st bending example of a sheet-like shaping|molding die and a base material. Fig. 8 is a perspective view showing a sheet-like molding die and a second bending example of the base material. Fig. 9 is a perspective view showing an example of heating a sheet-like molding die and a base material; It is a perspective view which shows the structural example of the sheet-like shaping|molding die and base material after heating. 11 is a perspective view showing the base material after separation. Fig. 12 is a perspective view showing a sheet-like molding die after separation.

먼저, 작업자는, 모재 (90) 와, 접음선이 형성된 시트상의 성형형 (100) 을 중첩하여 적층 시트체 (110) 를 형성한다 (도 2 에 나타내는 스텝 S1 ; 준비 스텝). 여기서, 모재 (90) 및 성형형 (100) 은, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리염화비닐 (PVC), 폴리프로필렌 (PP), 폴리우레탄 (PU) 등으로 형성된 합성 수지 시트이다. 모재 (90) 의 두께는 20 ㎛ ∼ 300 ㎛ 정도이고, 모재 (90) 의 경도 (로크 웰) 는 R 60 ∼ 120 정도이다.First, an operator overlaps the base material 90 and the sheet-like shaping|molding die 100 in which the fold line was formed, and forms the lamination|stacking sheet body 110 (step S1 shown in FIG. 2; preparation step). Here, the base material 90 and the molding die 100 are synthetic resin sheets formed of polyethylene terephthalate (PET), polyvinyl chloride (PVC), polypropylene (PP), polyurethane (PU), or the like. The thickness of the base material 90 is about 20 micrometers - 300 micrometers, and the hardness (Rockwell) of the base material 90 is about R60-120.

모재 (90) 및 성형형 (100) 은, 도 3 및 도 4 에 나타내는 바와 같이, 대략 동일한 크기이고, 사각형상으로 형성되어 있다. 성형형 (100) 에는, 폭 방향으로 연장되는 대략 직선상의 복수의 접음선 (101) 과, 삼각공 (102) 이 형성되어 있다. 접음선 (101) 은, 벨로스 부재 (710A) 의 산부 (710c) 및 골부 (710d) 를 형성하기 위한 것이다. 예를 들어, 접음선 (101) 은, 산부용의 접음선 (101a) 과 골부용의 접음선 (101b) 이 성형형 (100) 의 신축 방향으로 일정한 간격으로 교대로 형성되어 있다. 산부용의 접음선 (101a) 및 골부용의 접음선 (101b) 은, 점선과 같은 구멍이 대략 직선상으로 형성됨으로써, 절곡 가능하게 형성되어 있다. 또한, 점선에 한정하지 않고, 성형형 (100) 의 표면 또는 이면에 선상의 오목부를 형성함으로써, 절곡 가능하게 형성해도 된다.The base material 90 and the shaping|molding die 100 are substantially the same size, as shown in FIG.3 and FIG.4, and are formed in the square shape. In the shaping|molding die 100, the some substantially linear fold line 101 extended in the width direction, and the triangular hole 102 are formed. The fold line 101 is for forming the peak 710c and the valley 710d of the bellows member 710A. For example, as for the fold line 101, the fold line 101a for ridges and the fold line 101b for troughs are alternately formed at regular intervals in the expansion/contraction direction of the shaping|molding die 100. The fold line 101a for ridges and the fold line 101b for troughs are formed so that a hole such as a dotted line is formed in a substantially straight line so as to be bendable. In addition, it is not limited to a dotted line, You may form so that bending is possible by forming a linear recessed part in the surface or back surface of the shaping|molding die 100.

삼각공 (102) 은, 수직부 (710b) 를 형성하기 위한 것으로, 성형형 (100) 이 개구되어 형성되어 있다. 삼각공 (102) 은, 이등변 삼각형으로 형성되고, 바닥변 (102a) 은, 모재 (90) 의 폭 방향에 있어서의 양단부를 대략 수직으로 절곡하는 선 상에 형성되며, 신축 방향에 있어서 인접하는 산부용의 접음선 (101a) 의 간격과 동일한 길이로 형성되어 있다. 또, 삼각공 (102) 의 정점 (102b) 은, 수직부 (710b) 측에 있어서의 골부용의 접음선 (101b) 상에 형성되어 있다.The triangular hole 102 is for forming the vertical part 710b, and the shaping|molding die 100 is opened and it is formed. The triangular hole 102 is formed in an isosceles triangle, and the bottom edge 102a is formed on a line that substantially perpendicularly bends both ends of the base material 90 in the width direction, and adjacent mountains in the expansion and contraction direction. It is formed with the same length as the interval of the fold line 101a of the bouillon. Moreover, the apex 102b of the triangular hole 102 is formed on the fold line 101b for troughs in the vertical part 710b side.

이와 같이 구성된 성형형 (100) 을 모재 (90) 에 중첩하여 적층 시트체 (110) 를 형성한다. 이 때, 모재 (90) 가 성형형 (100) 으로부터 새어나오지 않도록, 성형형 (100) 과 모재 (90) 를 중첩한다. 다음으로, 작업자는, 적층 시트체 (110) 의 모재 (90) 와 성형형 (100) 을 서로 임시 고정하여 고정시킨다 (스텝 S2 ; 임시 고정 스텝). 예를 들어, 도 5 에 나타내는 바와 같이, 먼저, 성형형 (100) 이 상면측이 되도록 적층 시트체 (110) 를 재치 (載置) 한 상태로, 삼각공 (102) 의 배열 방향을 따라, 삼각공 (102) 을 덮도록 내열 테이프 (111) 를 붙인다. 이것에 의해, 삼각공 (102) 으로부터 노출된 모재 (90) 와 성형형 (100) 을 내열 테이프 (111) 에 의해 부분적으로 첩합 (貼合) 할 수 있다. 다음으로, 도 6 에 나타내는 바와 같이, 적층 시트체 (110) 의 외주부 (112) 의 4 변에 내열 테이프 (111) 를 붙여, 모재 (90) 의 외주부와 성형형 (100) 의 외주부를 첩합한다. 또한, 도 6 은, 모재 (90) 가 상면측에 배치된 적층 시트체 (110) 를 도시하고 있다.The forming die 100 configured in this way is superimposed on the base material 90 to form the laminated sheet body 110 . At this time, the forming die 100 and the base material 90 are overlapped so that the base material 90 does not leak out of the forming die 100 . Next, an operator temporarily fixes and fixes the base material 90 of the laminated sheet body 110, and the shaping|molding die 100 mutually (step S2; temporary fixing step). For example, as shown in FIG. 5, first, in a state in which the laminated sheet body 110 is placed so that the molding die 100 is on the upper surface side, along the arrangement direction of the triangular holes 102, A heat-resistant tape 111 is attached so as to cover the triangular hole 102 . Thereby, the base material 90 exposed from the triangular hole 102 and the shaping|molding die 100 can be bonded partially with the heat-resistant tape 111. As shown in FIG. Next, as shown in FIG. 6, the heat-resistant tape 111 is pasted to four sides of the outer peripheral part 112 of the laminated sheet body 110, and the outer peripheral part of the base material 90 and the outer peripheral part of the shaping|molding die 100 are bonded together. . In addition, FIG. 6 has shown the laminated sheet body 110 in which the base material 90 is arrange|positioned at the upper surface side.

다음으로, 작업자는, 적층 시트체 (110) 를 벨로스상으로 절곡한다 (스텝 S3 ; 절곡 스텝). 예를 들어, 작업자는, 도 7 에 나타내는 바와 같이, 성형형 (100) 의 산부용의 접음선 (101a) 을 따라 적층 시트체 (110) 를 산 접기하고, 골부용의 접음선 (101b) 을 따라 적층 시트체 (110) 를 계곡 접기하여, 산부 (91) 와 골부 (92) 를 갖는 벨로스상으로 적층 시트체 (110) 를 절곡한다.Next, the operator bends the laminated sheet body 110 into a bellows shape (step S3; bending step). For example, as shown in FIG. 7, an operator folds the laminated sheet body 110 along the fold line 101a for the ridge part of the shaping|molding die 100, and folds the fold line 101b for rib part. Accordingly, the laminated sheet body 110 is valley-folded to bend the laminated sheet body 110 into a bellows shape having the peaks 91 and the valleys 92 .

또한, 작업자는, 도 8 에 나타내는 바와 같이, 삼각공 (102) 의 수직 이등분선 (102d) 을 따라 삼각공 (102) 을 계곡 접기함과 함께, 2 개의 등변 (102c) 을 산 접기한다. 이것에 의해, 적층 시트체 (110) 의 단부 (113) 가 대략 수직으로 벨로스상으로 절곡되어, 수평 시트부 (710a) 의 양단에 1 쌍의 수직부 (710b) 가 형성된다.Further, as shown in FIG. 8 , the operator folds the triangular ball 102 along the perpendicular bisector 102d of the triangular ball 102 and folds the two equilateral sides 102c into mountains. Thereby, the end 113 of the laminated sheet body 110 is bent into a bellows shape substantially vertically, and a pair of vertical portions 710b are formed at both ends of the horizontal sheet portion 710a.

다음으로, 작업자는, 1 쌍의 수직부 (710b) 및 수평 시트부 (710a) 가 형성된 적층 시트체 (110) 를 도시되지 않은 가열 장치에 의해 가열한다 (스텝 S4 ; 가열 스텝). 예를 들어, 작업자는, 도 9 에 나타내는 바와 같이, 적층 시트체 (110) 를 신축 방향으로 작게 접어 수축시키고, 적층 시트체 (110) 의 산부 (91) 와 골부 (92) 가 서로 밀접할 때까지 압축하여 고정구 (114) 에 의해 수직부 (710b) 의 각각과 수평 시트부 (710a) 를 고정시킨다. 그리고, 작업자는, 적층 시트체 (110) 가 압축된 상태로, 적층 시트체 (110) 를 가열 장치에 의해 가열한다. 가열 장치는, 예를 들어, 열탕이나 열기, 증기 등에 의해 적층 시트체 (110) 를 가열한다. 적층 시트체 (110) 를 가열하는 온도는 50°∼ 300°정도이고, 가열하는 시간은 1 분 ∼ 10 분 정도이다. 바람직하게는, 가열 온도는 80°∼ 200°정도이고, 가열 시간은 2 분 ∼ 5 분 정도이다. 예를 들어, 가열 온도를 130°정도로 설정하고, 가열 시간을 3 분 정도로 설정한다.Next, an operator heats the laminated sheet body 110 in which the pair of vertical part 710b and the horizontal sheet|seat part 710a were formed with the heating apparatus not shown (step S4; heating step). For example, as shown in FIG. 9 , the operator folds and contracts the laminated sheet body 110 in the expansion/contraction direction, and when the peaks 91 and the valleys 92 of the laminated sheet body 110 are in close contact with each other, to fix each of the vertical portions 710b and the horizontal seat portion 710a by the fasteners 114. And the operator heats the laminated sheet body 110 with a heating device in the state in which the laminated sheet body 110 was compressed. The heating device heats the laminated sheet body 110 with boiling water, hot air, steam, or the like, for example. The temperature at which the laminated sheet body 110 is heated is about 50° to 300°, and the heating time is about 1 to 10 minutes. Preferably, the heating temperature is about 80° to 200°, and the heating time is about 2 minutes to 5 minutes. For example, the heating temperature is set to about 130°, and the heating time is set to about 3 minutes.

다음으로, 작업자는, 적층 시트체 (110) 로부터 성형형 (100) 을 제거한다 (스텝 S5 ; 성형형 제거 스텝). 예를 들어, 작업자는, 자연 냉각 등에 의해 적층 시트체 (110) 의 열을 방산시킨다. 그리고, 작업자는, 냉각된 적층 시트체 (110) 로부터 고정구 (114) 를 제거하고, 도 10 에 나타내는 바와 같이, 압축된 적층 시트체 (110) 를 신장시킨다. 작업자는, 적층 시트체 (110) 로부터 내열 테이프 (111) 을 벗기고, 도 11 및 도 12 에 나타내는 바와 같이, 모재 (90) 로부터 성형형 (100) 을 제거한다. 성형형 (100) 이 제거된 모재 (90) 는, 압축 상태태로 가열 처리되어 있으므로, 모재 (90) 단체에 의해 벨로스상의 형상이 유지되어, 벨로스 부재 (710) 가 형성된다.Next, an operator removes the shaping|molding die 100 from the laminated sheet body 110 (step S5; shaping|molding die removal step). For example, the operator dissipates the heat of the laminated sheet body 110 by natural cooling or the like. And an operator removes the fastener 114 from the cooled laminated sheet body 110, and, as shown in FIG. 10, the compressed laminated sheet body 110 is extended. An operator peels the heat-resistant tape 111 from the laminated sheet body 110, and removes the shaping|molding die 100 from the base material 90, as shown in FIG.11 and FIG.12. Since the base material 90 from which the shaping|molding die 100 was removed is heat-processed in a compressed state, the bellows-like shape is maintained by the base material 90 single-piece|unit, and the bellows member 710 is formed.

사용 후의 성형형 (100) 은, 평면 형상으로 되돌려 재이용해도 된다. 예를 들어, 도시되지 않은 평면판에 의해 사용 후의 성형형 (100) 을 양측에서 가압함과 함께 가열 처리하여 평면 형상으로 되돌린다. 또, 벨로스상으로 형성된 성형형 (100) 을 반대 방향으로 절곡하여 평면 형상으로 되돌려도 된다.After use, the shaping|molding die 100 may be returned to a planar shape, and may be reused. For example, it heat-processes while pressurizing the shaping|molding die 100 after use from both sides with a flat plate (not shown), and returns to a planar shape. Moreover, you may bend the shaping|molding die 100 formed in the bellows shape in the opposite direction and return it to a planar shape.

이상과 같이, 실시형태에 관련된 벨로스의 제조 방법에 의하면, 접음선 (101) 및 삼각공 (102) 이 형성된 성형형 (100) 을 사용하여, 모재 (90) 를 벨로스상으로 형성하고, 모재 (90) 단체에 의해 벨로스상을 유지하는 것이다. 모재 (90) 은, 예를 들어, 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리염화비닐 (PVC), 폴리프로필렌 (PP), 폴리우레탄 (PU) 등으로 형성되어 있고, 고무계의 재료를 사용하지 않고 벨로스상을 용이하게 형성할 수 있다. 이것에 의해, 가공 장치 (1) 에서 사용되는 약제, 예를 들어 옥시란에 의해 변질되지 않고, 약제에 대한 내성이 강한 벨로스 부재 (710) 를 제조할 수 있다. 또, 고무계의 재료를 사용하고 있지 않으므로 경량화를 실현할 수 있어, 벨로스 부재 (710) 의 절곡 부위에 대한 부담을 경감시킬 수 있다. 또, 종래와 같이, 접착 공정에서 시트의 전체면에 접착제를 도포하거나, 접착 첩합시에 기포의 혼입을 막거나 하는 고도의 기능 (技能) 을 필요로 하지 않고, 작업 시간이 걸리는 공정을 삭감시킴으로써, 공정이 간이화되어 작업 능률을 향상 시킬 수 있다.As described above, according to the method for manufacturing a bellows according to the embodiment, the base material 90 is formed into a bellows shape using the molding die 100 in which the fold line 101 and the triangular hole 102 are formed, and the base material ( 90) to maintain the Bellows Award by the group. The base material 90 is formed of, for example, polyethylene terephthalate (PET), polyvinyl chloride (PVC), polypropylene (PP), polyurethane (PU), etc., and is bellows-like without using a rubber-based material. can be easily formed. Thereby, the bellows member 710 with strong resistance to a chemical|medical agent can be manufactured without being altered by the chemical|medical agent used in the processing apparatus 1, for example, oxirane. Moreover, since a rubber-based material is not used, weight reduction can be realized, and the burden on the bent portion of the bellows member 710 can be reduced. In addition, as in the prior art, a high-level function of applying an adhesive to the entire surface of the sheet in the bonding step or preventing the mixing of air bubbles at the time of bonding and bonding is not required, and the operation time-consuming process is reduced. , the process can be simplified and work efficiency can be improved.

또, 모재 (90) 로 형성된 벨로스 부재 (710) 는, 수평 시트부 (710a) 와, 수평 시트부 (710a) 의 양단으로부터 대략 수직인 하방으로 절곡되어 이루어지는 1 쌍의 수직부 (710b) 로 이루어지는 コ 자상 벨로스로 절곡되어 있다. 이와 같은 복잡한 벨로스상이어도, 성형형 (100) 을 사용하여 용이하게 형성할 수 있다.Further, the bellows member 710 formed of the base material 90 includes a horizontal sheet portion 710a and a pair of vertical portions 710b bent substantially vertically downward from both ends of the horizontal sheet portion 710a. It is bent with a KO cut bellows. Even such a complicated bellows shape can be easily formed using the shaping|molding die 100.

[변형예][Variation]

다음으로, 실시형태의 변형예에 대해 설명한다. 벨로스 부재 (710) 는, 수지계의 완충포로 표면을 피복해도 된다. 예를 들어, 작업자는, 모재 (90) 로부터 성형형 (100) 을 제거한 후 (스텝 S5 후) 에, 아크릴 수지계의 접착제를 벨로스상의 모재 (90) 의 표면에 도포하고, 벨로스상의 모재 (90) 의 표면에 수지계의 완충포를 첩합하여 적층한다. 이것에 의해, 가공 수단 (20) 에 의해 가공했을 때 비산되는 단재에 의해, 벨로스 부재 (710) 가 받는 손상을 경감시킬 수 있다.Next, a modified example of the embodiment will be described. The surface of the bellows member 710 may be coated with a resin-based buffer cloth. For example, after the operator removes the molding die 100 from the base material 90 (after step S5), an acrylic resin adhesive is applied to the surface of the bellows-like base material 90, and the bellows-like base material 90 A resin-based buffer fabric is bonded and laminated to the surface of the Thereby, the damage to which the bellows member 710 receives by the edge material which scatters when it processes by the processing means 20 can be reduced.

또, 배수로 (81) 로부터 가공수의 물보라가 상방으로 비산되지 않도록 하는 벨로스상의 물 반환막 (도시 생략) 을 벨로스 부재 (710) 의 수직부 (710b) 에 형성해도 된다. 예를 들어, 작업자는, 모재 (90) 로부터 성형형 (100) 을 제거한 후 (스텝 S5 후) 에, 벨로스 부재 (710) 의 신축 방향에 있어서의 일단측으로부터 타단측까지, 배수로 (81) 의 상방을 덮도록 수직부 (710b) 의 내측으로부터 돌출 시킨 벨로스상의 물 반환막을 접착하여 고정시키다.In addition, a bellows-shaped water return film (not shown) for preventing the spray of processing water from scattering upward from the drainage passage 81 may be formed in the vertical portion 710b of the bellows member 710 . For example, after the operator removes the molding die 100 from the base material 90 (after step S5), from one end side to the other end side in the expansion and contraction direction of the bellows member 710, The bellows-shaped water return film protruding from the inside of the vertical part 710b so as to cover the upper part is adhered and fixed.

또, 압축된 적층 시트체 (110) 를 고정구 (114) 에 의해 고정했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 압축된 적층 시트체 (110) 를 1 쌍의 판상 부재에 의해 사이에 두어 고정시켜 가열해도 된다.Moreover, although the compressed laminated sheet body 110 was fixed with the fastener 114, it is not limited to this. For example, you may heat the compressed laminated sheet body 110 by clamping it with a pair of plate-shaped members and fixing it.

또, 냉각 후에 적층 시트체 (110) 로부터 고정구 (114) 를 제거하는 예를 설명했지만, 모재 (90) 에 벨로스 형상을 맞출 수 있으면, 고정구 (114) 를 제거하는 타이밍은 냉각 후에 한정되지 않는다.Moreover, although the example which removes the fastener 114 from the lamination|stacking sheet body 110 after cooling was demonstrated, as long as the bellows shape can be fitted to the base material 90, the timing of removing the fastener 114 is not limited after cooling.

또, 작업자가 성형형 (100) 을 사용하여 모재 (90) 로부터 벨로스 부재 (710) 를 제조했지만, 도시되지 않은 벨로스 제조 장치를 사용하여 자동적으로 제조해도 된다. 예를 들어, 벨로스 제조 장치는, 모재 (90) 와 성형형 (100) 을 중첩하여 적층 시트체 (110) 를 형성하는 중첩 수단과, 적층 시트체 (110) 의 모재 (90) 와 성형형 (100) 을 내열 테이프 (111) 에 의해 서로 임시 고정하여 고정시키는 임시 고정 수단과, 적층 시트체 (110) 를 벨로스상으로 절곡하는 절곡 수단과, 열탕이나 열기, 증기 등에 의해 적층 시트체 (110) 를 가열하는 가열 수단과, 적층 시트체 (110) 로부터 성형형 (100) 을 제거하는 제거 수단을 구비한다.Moreover, although an operator manufactured the bellows member 710 from the base material 90 using the shaping|molding die 100, you may manufacture automatically using the bellows manufacturing apparatus not shown. For example, the bellows manufacturing apparatus includes an overlapping means for forming a laminated sheet body 110 by overlapping a base material 90 and a molding die 100, and a base material 90 of the laminated sheet body 110 and a molding die ( Temporary fixing means for temporarily fixing 100) to each other by means of a heat-resistant tape 111, a bending means for bending the laminated sheet body 110 into a bellows shape, and hot water, hot water, steam or the like to temporarily fix the laminated sheet body 110. A heating means for heating the , and a removal means for removing the molding die (100) from the laminated sheet body (110) are provided.

또, 상기 서술한 벨로스의 제조 방법에 의해 제조되는 벨로스 부재 (710) 는, 웨이퍼를 절삭할 때 발생하는 가공수나 가공 부스러기로부터 가공 이송 수단 (50) 을 보호하는 예에 대해 설명했지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 벨로스 부재 (710) 는, 선반이나 프라이스반 등의 가공 장치의 가동부나 축부를, 기름을 함유하는 절삭액이나 절삭 부스러기로부터 보호하는 것으로서 사용해도 된다.In addition, the bellows member 710 manufactured by the above-mentioned method for manufacturing the bellows described an example in which the machining transfer means 50 is protected from machining water and machining chips generated when cutting the wafer, but limited to this. doesn't happen For example, the bellows member 710 may be used as a thing to protect the movable part and shaft part of processing apparatuses, such as a lathe and a price board, from cutting fluid containing oil, and cutting chips.

1 : 가공 장치
50 : 가공 이송 수단
60 : 커버 부재
70 : 벨로스 기구
71A : 제 1 벨로스부
71B : 제 2 벨로스부
710 (710A ∼ 710D) : 벨로스 부재
710a : 수평 시트부
710b : 수직부
80 : 배수 수단
81 : 배수로
90 : 모재
100 : 성형형
101 : 접음선
101a : 산부용의 접음선
101b : 골부용의 접음선
102 : 삼각공
110 : 적층 시트체
111 : 내열 테이프
114 : 고정구
1: processing device
50: processing feed means
60: cover member
70: bellows mechanism
71A: first bellows part
71B: second bellows part
710 (710A ~ 710D): Bellows member
710a: horizontal seat portion
710b: vertical
80: drainage means
81: drain
90: base material
100: molded
101: fold line
101a: fold line for obstetrics and women
101b: fold line for bone
102: triangle ball
110: laminated sheet body
111: heat-resistant tape
114: fixture

Claims (3)

합성 수지 시트로 이루어지는 모재와, 접음선이 형성된 시트상의 성형형을 중첩하여, 적층 시트체를 형성하는 준비 스텝과,
그 적층 시트체의 그 모재와 그 성형형을 서로 임시 고정하여 고정시키는 임시 고정 스텝과,
그 임시 고정 스텝을 실시한 후, 그 적층 시트체를 그 접음선을 따라 절곡하여, 산부와 골부를 갖는 벨로스상으로 절곡하는 절곡 스텝과,
그 산부와 그 골부가 서로 밀접할 때까지 압축한 상태로 그 적층 시트체를 가열하는 가열 스텝과,
그 가열 스텝을 실시한 후, 그 적층 시트체로부터 그 성형형을 제거하는 성형형 제거 스텝을 구비하고,
그 모재 단체에 의해 그 벨로스상의 형상이 유지되는 벨로스의 제조 방법으로서,
그 성형형의 그 접음선은, 직선상의 구멍 또는 선상의 오목부로 형성되고,
그 준비 스텝에서는, 그 모재에 그 성형형을 1장 겹치는 것을 특징으로 하는, 벨로스의 제조 방법.
A preparatory step of superposing a base material made of a synthetic resin sheet and a sheet-like mold with fold lines formed thereon to form a laminated sheet body;
a temporary fixing step of temporarily fixing and fixing the base material and the molding die of the laminated sheet body to each other;
After carrying out the temporary fixing step, the laminated sheet body is bent along the fold line, and a bending step of bending the laminated sheet body into a bellows shape having a peak and a valley;
A heating step of heating the laminated sheet body in a compressed state until the peaks and the valleys come into close contact with each other;
After performing the heating step, a molding die removal step of removing the molding die from the laminated sheet body is provided;
A method for manufacturing a bellows in which the shape of the bellows shape is maintained by the base material alone,
The fold line of the molding die is formed by a straight hole or a linear recess,
In the preparation step, a method for manufacturing a bellows characterized in that one sheet of the molding die is stacked on the base material.
제 1 항에 있어서,
그 모재는 폴리에틸렌테레프탈레이트 (PET), 폴리염화비닐 (PVC), 폴리프로필렌 (PP) 및 폴리우레탄 (PU) 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 벨로스의 제조 방법.
The method of claim 1,
The base material is polyethylene terephthalate (PET), polyvinyl chloride (PVC), polypropylene (PP), and a method for producing a bellows, characterized in that any one of polyurethane (PU).
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
그 절곡 스텝에서는, 수평 시트부와 그 수평 시트부의 양단으로부터 수직인 하방으로 절곡되어 이루어지는 1 쌍의 수직부로 이루어지는 コ 자상 벨로스로 절곡되는 것을 특징으로 하는 벨로스의 제조 방법.
3. The method according to claim 1 or 2,
In the bending step, the bellows manufacturing method is characterized in that bending is performed into a U-shaped bellows comprising a horizontal sheet portion and a pair of vertical portions bent vertically downward from both ends of the horizontal sheet portion.
KR1020160041506A 2015-04-10 2016-04-05 Method of manufacturing bellows KR102325711B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2015-081267 2015-04-10
JP2015081267A JP6579783B2 (en) 2015-04-10 2015-04-10 Manufacturing method of bellows

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20160121418A KR20160121418A (en) 2016-10-19
KR102325711B1 true KR102325711B1 (en) 2021-11-11

Family

ID=57250592

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160041506A KR102325711B1 (en) 2015-04-10 2016-04-05 Method of manufacturing bellows

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6579783B2 (en)
KR (1) KR102325711B1 (en)
CN (1) CN106042346B (en)
TW (1) TWI680028B (en)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7238600B2 (en) * 2019-05-27 2023-03-14 株式会社アイシン Thermally conductive sheet manufacturing method and thermally conductive sheet manufacturing apparatus

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000346196A (en) * 1999-06-03 2000-12-12 Naberu:Kk Industrial bellows
JP2007521152A (en) 2003-11-20 2007-08-02 エアーバス Method for manufacturing curved bent structure

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5240212B1 (en) * 1971-09-30 1977-10-11
DE2428795C3 (en) * 1974-06-14 1980-05-22 Roehm Gmbh, 6100 Darmstadt Method and device for producing a corrugated sheet or sheet made of thermoplastic material
JPS5240212A (en) * 1975-09-23 1977-03-29 Westinghouse Electric Corp Device for sealing turbine diaphragm
JPH0455855A (en) 1990-06-25 1992-02-24 Matsushita Electron Corp Photomask
JPH06190909A (en) * 1992-10-21 1994-07-12 Eiji Kato Manufacture of foamed plastic corrugated medium
JP2791857B2 (en) * 1994-05-23 1998-08-27 キョーラク株式会社 Mold equipment for bellows production
WO1997002133A2 (en) * 1995-06-30 1997-01-23 Kimberly-Clark Worldwide, Inc. Nonwoven and film corrugated laminates
DE19616331C1 (en) * 1996-04-24 1997-11-27 Reifenhaeuser Masch Process for producing a structural film from thermoplastic
JP4427143B2 (en) 1999-11-04 2010-03-03 株式会社ディスコ Cutting equipment
JP2012139651A (en) * 2011-01-04 2012-07-26 Toyota Boshoku Corp Filter element

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000346196A (en) * 1999-06-03 2000-12-12 Naberu:Kk Industrial bellows
JP2007521152A (en) 2003-11-20 2007-08-02 エアーバス Method for manufacturing curved bent structure

Also Published As

Publication number Publication date
KR20160121418A (en) 2016-10-19
JP2016198968A (en) 2016-12-01
CN106042346B (en) 2020-06-19
JP6579783B2 (en) 2019-09-25
TWI680028B (en) 2019-12-21
CN106042346A (en) 2016-10-26
TW201703921A (en) 2017-02-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8349129B2 (en) Method and apparatus for debonding a submounted substrate
JP6009082B2 (en) Glass substrate tape
US20110198040A1 (en) Peeling device
JP7267923B2 (en) Manufacturing method for thin plate-shaped member and manufacturing apparatus for thin plate-shaped member
KR102325711B1 (en) Method of manufacturing bellows
TW201824382A (en) Cutting device and method for dismounting processing means capable of preventing enlargement of a supporting means even if a processing means is configured to be automatically mounted or dismounted
CN109526212A (en) It is ultrasonic bonding to use tool and ultrasonic bonding equipment
KR20160007400A (en) Peeling apparatus and peeling method for laminate, and manufacturing method of electronic device
JP2016198969A (en) Method for manufacturing bellows
US7246646B2 (en) Method for production and apparatus for production of adhesive wafer
KR101430667B1 (en) Apparatus for attaching functional film
JP3231918U (en) Cutting device
TWI769220B (en) Separation device and separation method
JP2018058153A (en) Cutting device and mounting method of cutting means
KR101419350B1 (en) Apparatus for attaching functional film
KR102578981B1 (en) Display device manufacturing system
TW202135154A (en) Method for manufacturing thinned wafer, and device for manufacturing thinned wafer
WO2021153265A1 (en) Method for manufacturing thinned wafers and device for manufacturing thinned wafers
JP2023163815A (en) Sheet pasting device and sheet pasting method
JP2024029589A (en) Sheet sticking device and sheet sticking method
JP2002066866A (en) Bellows device
JP2023163814A (en) Sheet pasting device and sheet pasting method
JP2024006764A (en) Sheet attachment device and sheet attachment method
JP6297924B2 (en) Adhesive layer removing apparatus and adhesive layer removing method
TW202338950A (en) Adherend treatment method and adherend treatment apparatus capable of preventing a predetermined treatment from reaching a non-treatment area of an adherend as much as possible

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant