KR102324270B1

KR102324270B1 - 점성유체 공급용 스퀴지모듈

Info

Publication number: KR102324270B1
Application number: KR1020200097243A
Authority: KR
Inventors: 이강주
Original assignee: 주식회사 삼우 퍼스트; 이강주
Priority date: 2020-08-04
Filing date: 2020-08-04
Publication date: 2021-11-10

Abstract

본 발명은 가공 대상물로 공급되기 전 혹은 공급되는 과정에서 점성유체의 점도를 균일하게 유지하여, 점성유체가 항상 적정의 용량으로 가공 대상물에 공급될 수 있도록 하며, 생산되는 제품의 불량률을 최소화할 수 있는 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 노즐을 구비하는 바디부; 상기 바디부의 내측에서 상기 노즐을 향해 근접하거나 이격되는 제1피스톤; 상기 제1피스톤의 내측에서 상기 노즐을 향해 근접하거나 이격되는 제2피스톤; 상기 바디부와 상기 제1피스톤 사이에 형성되는 제1챔버; 및 상기 제1피스톤과 상기 제2피스톤 사이에 형성되는 제2챔버;를 포함하고, 상기 제1피스톤은 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버를 연결하는 연결유로를 구비하며, 상기 제1챔버 또는 상기 제2챔버에 수용된 점성유체는, 상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤의 이동에 따라 상기 연결유로를 통하여 상기 제2챔버 또는 상기 제1챔버 측으로 유동하면서 교반되는 것을 특징을 개시한다.

Description

점성유체 공급용 스퀴지모듈{SQUEEZE MODULE FOR VISCOUS FLUID SUPPLY}

본 발명은 점성유체 공급용 스퀴지모듈에 관한 것으로, 상세하게는 가공 대상물로 공급되는 점성유체의 점도를 항상 균일하게 유지할 수 있는 점성유체 공급용 스퀴지모듈에 관한 것이다.

일반적으로 컴퓨터나 가전제품 등과 같은 전자기기의 주요 부품으로 내장되는 인쇄회로기판(PCB; Printed Curcuit Board)에는 반도체칩이나 저항칩 등과 같은 다양한 형태의 소형 전자부품이 실장될 수 있도록 용융상태의 솔더가 일정한 패턴으로 도포된다. 이와 같은 솔더의 도포공정은 스크린 프린터(screen printer)라고 하는 장치에 의해 수행되며, 스크린 프린터는 특정 패턴의 개구부가 형성된 금속 마스크 상에 공급된 솔더를 스퀴지로 압착하여 인쇄회로기판의 부품장착부에 도포하게 된다.

일반적으로 솔더는 납 또는 주석 성분의 솔더 입자와 액상의 플럭스(flux)로 구성된다. 솔더의 온도가 높아지면 휘발성을 가지는 플럭스가 활성화되면서 전체적인 물성이 변하고 점도가 낮아지는 현상이 발생한다. 솔더의 점도가 낮아지면 인쇄회로기판 상에서 퍼짐 현상이 발생하면서 제품의 불량률이 증가하는 문제가 있다.

한편, 사용 전의 솔더는 물성의 변화를 방지하기 위하여 상온 이하의 상당히 낮은 온도의 냉장고에 보관된다. 냉장고에 장시간 동안 보관하던 솔더를 꺼내 갑자기 도포공정에 이용하면 문제가 발생한다.

솔더의 온도가 낮아지면 플럭스가 다소 응고되는 경향을 보이면서 점도가 높아진다. 솔더의 점도가 높아지면 솔더가 분사되는 노즐부에서 막힘(choking) 현상이 발생하면서 정상적인 경우와 비교하여 솔더의 분사량이 적어진다. 솔더가 인쇄회로기판에 부족한 양으로 도포된 상태에서 전자부품이 실장되면, 장시간 사용이나 반복되는 진동에 의해 인쇄회로기판에서 전자부품이 이탈되거나 아예 전자부품의 실장이 불가능해지는 문제가 있다.

대한민국 등록특허공보 제1196284호(2012.11.06.공고)

본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명은 가공 대상물로 점성유체를 공급하기 위한 대기상태 혹은 가공 대상물로 점성유체를 공급하는 과정에서 점성유체의 적정한 점도를 균일하게 유지하여, 점성유체가 항상 적정의 용량으로 가공 대상물에 공급될 수 있도록 하며, 생산되는 제품의 불량율을 최소화할 수 있는 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 제공함에 있다.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈은, 점성유체가 토출되는 노즐을 구비하는 바디부; 상기 바디부의 내측에서 배치되며, 상기 노즐을 향해 근접하거나 이격되도록 이동 가능한 제1피스톤; 상기 제1피스톤의 내측에서 배치되며, 상기 노즐을 향해 근접하거나 이격되도록 이동 가능한 제2피스톤; 상기 바디부와 상기 제1피스톤 사이에 형성되어 점성유체가 수용되고, 상기 제1피스톤의 이동에 의해 부피가 가변되는 제1챔버; 및 상기 제1피스톤과 상기 제2피스톤 사이에 형성되어 점성유체가 수용되고, 상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤의 이동에 의해 부피가 가변되는 제2챔버;를 포함하고, 상기 제1피스톤은 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버를 연결하는 연결유로를 구비하며, 상기 제1챔버 또는 상기 제2챔버에 수용된 점성유체는, 상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤의 이동에 따라 상기 연결유로를 통하여 상기 제2챔버 또는 상기 제1챔버 측으로 유동하면서 교반되고, 상기 노즐을 통해 외부로 토출되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈에 있어서, 상기 제2피스톤은, 상기 연결유로를 관통하도록 상기 제2피스톤의 하단부에서 연장 형성되며, 상기 연결유로의 유로단면적을 축소시키는 연장블록;을 포함할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈에 있어서, 상기 연장블록은, 상기 제1피스톤 및 상기 제2피스톤의 상대 위치에 따라 상기 연결유로의 유로단면적이 변화되도록 높이방향을 따라 두께가 변화되는 두께가변부를 구비할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈에 있어서, 상기 연장블록은, 하단부에 형성되며, 상기 제2피스톤의 최대 하강 시 상기 노즐을 밀폐시켜 점성유체의 토출을 차단하는 밸브부를 더 구비할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈에 있어서, 상기 연장블록은, 상기 제2피스톤에서 하부방향으로 돌출되는 높이가 가변되도록 상기 제2피스톤에 대해 이동 가능하게 결합될 수도 있다.

본 발명의 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈에 있어서, 상기 제1챔버는 상기 연장블록을 기준으로 제1좌측챔버 및 제1우측챔버로 구획되며, 상기 제2챔버는 상기 연장블록을 기준으로 제2좌측챔버 및 제2우측챔버로 구획되고, 이 경우 상기 연장블록은, 상기 제1좌측챔버 및 상기 제1우측챔버를 연결하거나 상기 제2좌측챔버 및 상기 제2우측챔버를 연결하도록 관통 형성되는 좌우유동홀을 더 구비할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈에 있어서, 상기 제1피스톤은, 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버를 연결하도록 관통 형성되는 상하유동홀을 구비할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈에 있어서, 상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤은, 외부의 점성유체 공급부로부터 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버에 점성유체를 공급하기 위하여 상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤에 관통 형성되는 점성유체 공급로를 더 구비할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈에 있어서, 상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤은, 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버에 잔존하는 공기를 외부로 배출하기 위하여 상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤에 관통 형성되는 공기배출홀을 더 구비할 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈에 있어서, 상기 제1피스톤은, 상기 연결유로를 기준으로 좌측에 배치되는 제1좌측피스톤; 및 상기 연결유로를 기준으로 우측에 배치되는 제1우측피스톤;을 포함하고, 이 경우 상기 제1좌측피스톤 및 상기 제1우측피스톤은 독립적으로 이동될 수 있다.

본 발명의 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈에 있어서, 상기 제2피스톤은, 상기 연결유로를 기준으로 좌측에 배치되는 제2좌측피스톤; 및 상기 연결유로를 기준으로 우측에 배치되는 제2우측피스톤;을 포함하고, 이 경우 상기 제2좌측피스톤 및 상기 제2우측피스톤은 독립적으로 이동될 수 있다.

여기서, 상기 연장블록은, 상기 제2좌측피스톤에서 상기 연결유로를 관통하도록 연장 형성되는 좌측 연장블록; 및 상기 제2우측피스톤에서 상기 연결유로를 관통하도록 연장 형성되는 우측 연장블록;을 포함할 수 있다.

본 발명에 따르면, 바디부의 내측에 배치되는 이중 구조의 피스톤에 의하여 형성되는 가변식 제1챔버 및 제2챔버를 통하여, 제1피스톤 또는 제2피스톤의 이동에 따라 점성유체가 제1챔버 또는 제2챔버 측으로 유동하면서 교반됨으로써, 점성유체가 가공 대상물로 공급되기 전 혹은 공급되는 과정에서 항상 적정의 점도를 유지할 수 있고, 이에 따라, 생산되는 제품의 불량율을 최소화할 수 있다.

본 발명에 따르면, 제1챔버 및 제2챔버를 연결하는 연결유로를 관통하도록 배치되어 연결유로의 유로단면적을 축소시키는 연장블록을 통하여, 챔버에 수용되는 다양한 물성을 가지는 점성유체에 대해 효과적인 교반을 수행할 수 있다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.
도 2는 본 발명의 제2실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.
도 3 내지 도 5는 도 2의 제1피스톤 및 제2피스톤의 작동을 설명하기 위한 단면 예시도이다.
도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.
도 7은 본 발명의 제4실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.
도 8은 본 발명의 제5실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.
도 9는 본 발명의 제5실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈의 작동을 설명하기 위한 단면 예시도이다.
도 10은 본 발명의 제6실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.
도 11은 본 발명의 제7실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.
도 12는 본 발명의 제8실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.

이하 상술한 해결하고자 하는 과제가 구체적으로 실현될 수 있는 본 발명의 바람직한 실시예들이 첨부된 도면을 참조하여 설명된다. 본 실시예들을 설명함에 있어서, 동일 구성에 대해서는 동일 명칭 및 동일 부호가 사용될 수 있으며 이에 따른 부가적인 설명은 생략될 수 있다.

본 발명을 설명함에 있어서, 점성유체는 가공 대상물에 공급 도포되는 물질로써, 용융 상태 또는 액체 상태일 수 있으며, 점성을 가질 수 있다. 예를 들면, 기판에 패턴을 형성하기 위한 솔더 페이스트와 같은 전도성 물질이거나 기판에 적층되어 패턴을 보호하는 보호피막이거나 접착제 등으로 이루어질 수 있다. 그리고, 가공 대상물은 점성유체가 공급되는 기재로써, 평판이거나 곡면판일 수 있으며, 예를 들면, 기판, 종이, 천 등으로 이루어질 수 있다. 이 외에도, 점성유체 및 가공 대상물은 각각 다양한 형태를 통해 이루어질 수 있으며, 그 종류에 대해 특별히 한정하는 것은 아니다.

도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈은 가공 대상물(1)에 점성유체(M)를 공급하기 위한 것으로, 가공 대상물(1) 방향으로 점성유체(M)를 가압하여 가공 대상물(1)에 점성유체(M)를 도포할 수 있다.

본 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈은 바디부(100), 제1피스톤(200), 제2피스톤(300), 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)을 포함한다.

바디부(100)는 스크린 프린터와 같은 이송부(미도시)에 의해 가공 대상물(1)에 근접하거나 이격되게 이동될 수 있고, 가공 대상물(1)의 상면을 따라 화살표 방향으로 수평 이동될 수 있다.

바디부(100)는 이송부에 의한 이동방향에 수직한 폭방향으로 길게 형성될 수 있다. 그리고, 바디부(100)는 스퀴지모듈의 외부 형상을 형성할 수 있으며, 내부에는 점성유체(M)가 수용되는 수용공간이 구비될 수 있다. 예를 들어, 바디부(100)는 상부가 개방된 U자 형상의 단면으로 형성될 수 있으며, 상부가 개방된 수용공간에 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)이 설치됨에 따라 수용공간은 밀폐될 수 있다.

그리고, 바디부(100)의 중앙 하부에는 노즐(110)이 구비될 수 있으며, 노즐(110)은 바디부(100)의 폭방향을 따라 길게 형성될 수 있다. 수용공간에 수용된 점성유체(M)는 노즐(110)을 통하여 하부방향으로 분사되어 외부로 토출되는데, 예를 들어, 가공 대상물(1)의 상면에 바디부(100)가 올려진 상태에서 가공 대상물(1)의 상면을 따라 이동하면서 노즐(110)에서 토출되는 점성유체(M)는 가공 대상물(1)의 상면에 형성된 패턴홀에 공급 및 도포될 수 있다.

제1피스톤(200)은 바디부(100)의 내측 수용공간에 배치될 수 있으며, 바디부(100)와 상응하게 폭방향으로 길게 형성될 수 있다. 이러한 제1피스톤(200)은 바디부(100)에 대해 상하방향으로 이동 가능하게 결합될 수 있고, 노즐(110)을 향해 근접하거나 이격될 수 있다.

본 실시예에 따른 스퀴지모듈은 모터 혹은 실린더와 같은 제1피스톤 구동부(미도시)를 포함할 수 있으며, 제1피스톤 구동부의 작동에 따라 제1피스톤(200)은 노즐(110)에 근접하거나 이격되도록 상하방향으로 이동될 수 있다.

바디부(100) 및 제1피스톤(200)을 통하여, 바디부(100) 및 제1피스톤(200)의 사이에는 점성유체(M)가 수용되는 제1챔버(400)가 형성될 수 있으며, 제1챔버(400)는 제1피스톤(200)이 이동됨에 따라 부피가 가변될 수 있다.

제2피스톤(300)은 제1피스톤(200)의 내측 수용공간에 배치될 수 있으며, 제1피스톤(200)과 상응하게 폭방향으로 길게 형성될 수 있다. 이러한 제2피스톤(300)은 제1피스톤(200)에 대해 상하방향으로 이동 가능하게 결합될 수 있고, 노즐(110)을 향해 근접하거나 이격될 수 있다.

본 실시예에 따른 스퀴지모듈은 모터 혹은 실린더와 같은 제2피스톤 구동부(미도시)를 포함할 수 있으며, 제2피스톤 구동부의 작동에 따라 제2피스톤(300)은 노즐(110)에 근접하거나 이격되도록 상하방향으로 이동될 수 있다.

결과적으로, 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)은 제1피스톤 구동부 및 제2피스톤 구동부를 통하여 서로 독립적으로 이동될 수 있다.

제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)을 통하여, 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)의 사이에는 점성유체(M)가 수용되는 제2챔버(500)가 형성될 수 있으며, 제2챔버(500)는 제2피스톤(300)이 이동됨에 따라 부피가 가변될 수 있다. 뿐만 아니라, 제1피스톤(100)이 이동됨에 따라서도 부피가 가변될 수 있다.

결과적으로, 제1피스톤(200) 또는 제2피스톤(300)의 상대 이동에 따라 제1챔버(400) 또는 제2챔버(500)의 부피는 가변될 수 있다.

본 실시예에 따른 제1피스톤(200)의 중앙부에는 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)를 연결하는 연결유로(210)가 구비될 수 있으며, 연결유로(210)는 제1피스톤(200)의 폭방향으로 길게 형성될 수 있다.

결과적으로, 제1피스톤(200) 또는 제2피스톤(300)의 상대 이동 시, 연결유로(210)를 통하여 제1챔버(400)에 수용된 점성유체(M)는 제2챔버(500)로 유동될 수 있고, 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)는 제1챔버(400)로 유동될 수 있다.

한편, 제1피스톤(200) 또는 제2피스톤(300)에는 외부의 점성유체 공급부(미도시)와 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)를 연결하는 점성유체 공급로(미도시)가 형성될 수 있으며, 점성유체 공급부에서 공급되는 점성유체(M)는 점성유체 공급로를 통하여 제1챔버(400) 또는 제2챔버(500)에 수용될 수 있다.

그리고, 제1피스톤(200) 또는 제2피스톤(300)에는 제1챔버(400) 또는 제2챔버(500)에 잔존하는 공기를 외부로 배출하기 위한 공기배출홀(미도시)이 형성될 수 있다. 공기배출홀은 점성유체 공급부를 통하여 제1챔버(400) 또는 제2챔버(500) 내부로 점성유체(M)를 공급하거나, 필요에 따라 가공 대상물(1)에 존재하는 잉여 점성유체를 제1챔버(400) 또는 제2챔버(500) 내부로 흡입할 시, 제1챔버(400) 또는 제2챔버(500)에 잔존하는 공기를 외부로 배출하여 점성유체(M)가 노즐(110)을 통하여 원활하게 공급 및 흡입이 이루어질 수 있다. 그리고, 이러한 공기배출홀은 필요에 따라 밀폐될 수 있는데, 예를 들어 노즐(110)을 통해 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)가 가공 대상물(1) 측으로 토출될 시에는 공기배출홀을 밀폐시켜 가공 대상물(1) 측으로 점성유체(M)의 원활한 공급이 이루어지도록 할 수 있다. 또한, 공기배출홀은 외부 대기와 연결될 수 있고, 혹은 별도의 진공챔버와 연결되어 강제 배기될 수도 있다.

이상에서와 같이, 제1챔버(400) 또는 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)는 제1피스톤(200) 또는 제2피스톤(300)의 이동에 따라 노즐(110)을 통하여 외부로 토출되어 가공 대상물(1)에 공급될 수 있고, 연결유로(210)를 통하여 제2챔버(500) 또는 제1챔버(400) 측으로 유동되면서 교반될 수 있다. 따라서, 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)는 항상 균일한 점도를 유지할 수 있게 된다.

여기서, 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)는 해당 점성유체가 가지는 점도에 따라서 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)의 이동 없이도 노즐(110)을 통하여 외부로 토출되어 가공 대상물(1)에 공급될 수도 있다.

도 2는 본 발명의 제2실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.

도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 제2피스톤(300)은 연장블록(310)을 구비할 수 있다.

연장블록(310)은 연결유로(210)를 관통하도록 제2피스톤(300)의 하단부에서 연장 형성될 수 있으며, 연결유로(210)에 상응하도록 폭방향으로 길게 형성될 수 있다.

이러한 연장블록(310)을 통하여 연결유로(210)의 유로단면적은 축소될 수 있다. 즉, 연장블록(310)을 통하여 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)는 연결유로(210)의 유로단면적보다 작은 크기의 미세연결유로(210a)로 연통될 수 있다.

즉, 제1챔버(400)는 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)이 상대 이동됨에 따라 부피가 작아질 수 있는데, 이때 제1챔버(400)에 수용된 점성유체(M)는 미세연결유로(210a)를 통하여 제2챔버(500) 측으로 보다 급속하게 유동될 수 있다.

또한, 제2챔버(500) 역시 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)이 상대 이동됨에 따라 부피가 작아질 수 있는데, 이때 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)는 미세연결유로(210a)를 통하여 제1챔버(400) 측으로 보다 급속하게 유동될 수 있다.

결과적으로, 제1챔버(400) 또는 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)는 노즐(110)을 통하여 토출되지 않는 대기 상태, 혹은 노즐(110)을 통하여 토출되는 과정에서, 교반에 의해 필요로 하는 점도를 항상 균일하게 유지할 수 있으며, 다양한 종류의 물성을 가지는 점성유체(M)에 대해 항상 균일한 점도를 유지할 수 있다.

한편, 도 10을 참조하면, 본 실시예에 따른 연장블록(310)을 통하여 제1챔버(400)는 연장블록(310)을 기준으로 제1좌측챔버(410) 및 제1우측챔버(420)로 구획될 수 있고, 제2챔버(500)는 연장블록(310)을 기준으로 제2좌측챔버(510) 및 제1우측챔버(520)로 구획될 수 있다.

도 3 내지 도 5는 도 2의 제1피스톤 및 제2피스톤의 작동을 설명하기 위한 단면 예시도이다.

도 3은 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)이 동시에 상하방향으로 이동하는 경우를 나타낸 도면으로, 본 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈은 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)이 동시에 상하방향으로 이동될 수 있다.

구체적으로, 도 3에서와 같이, 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)이 서로 밀착되어 제2챔버(500)가 형성되지 않은 상태에서 점성유체(M)는 제1챔버(400)에만 수용될 수 있다. 이때, 도 3 (a)에서와 같이, 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)이 하부방향으로 이동됨에 따라, 제1챔버(400)에 수용된 점성유체(M)는 노즐(110)을 통하여 강한 압력으로 토출될 수 있고, 이 경우 점성유체(M)는 가장 많은 용량으로 토출될 수 있다.

그리고, 도 3 (b)에서와 같이, 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)이 상부방향으로 이동함에 따라, 제1챔버(400)에는 부압이 형성될 수 있다. 이 경우 가공 대상물(1)에 존재하는 잉여 점성유체는 제1챔버(400) 내부로 유입될 수 있다. 즉, 가공 대상물(1)에 너무 많은 점성유체가 공급되어 가공 대상물(1)로부터 잉여 점성유체가 제가될 필요가 있을 경우에는 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)을 상부방향으로 이동하여 잉여 점성유체를 흡입할 수 있다.

물론, 도 3 (b)에서와 같이, 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)이 상부방향으로 이동하더라도, 점성유체(M)의 점도에 따라서는 잉여 점성유체가 흡입되지 않을 수도 있고, 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)가 노즐(110)을 통하여 토출될 수도 있다.

이처럼 사용되는 점성유체(M)의 점도 특성에 따라 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)의 이동거리, 이동시간 및 왕복횟수는 다르게 설정될 수 있다. 즉, 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)의 이동거리, 이동시간 및 왕복횟수는 사용되는 점성유체(M)의 점도 특성을 바탕으로 한 구동프로그램에 의하여 미리 설정될 수 있다. 이를 통해, 노즐(110)을 통한 점성유체(M)의 토출용량 뿐만 아니라, 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)를 어떠한 단계로 교반할 것인지에 대한 교반모드가 설정될 수 있다.

도 4는 제1피스톤(200)은 정지되고, 제2피스톤(300)만이 상하방향으로 이동하는 경우를 나타낸 도면으로, 본 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈은 제2피스톤(300)만이 상하방향으로 이동될 수 있다.

구체적으로, 도 4 (a)에서와 같이, 점성유체(M)는 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 각각 수용될 수 있고, 이때 제2피스톤(300)이 하부방향으로 이동됨에 따라, 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)는 연결유로(210)를 통하여 제1챔버(400)로 유동될 수 있고, 제1챔버(400)에 수용된 점성유체(M)는 노즐(110)을 통하여 토출될 수 있다. 따라서, 가공 대상물(1)을 향해 점성유체(M)를 공급하는 동시에 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)의 교반이 가능해진다. 이 경우 점성유체(M)의 토출 용량은 도 3에서의 토출 용량보다 작은 용량으로 토출될 수 있다.

그리고, 도 4 (b)에서와 같이, 제2피스톤(300)이 다시 상부방향으로 이동함에 따라, 제2챔버(500)에는 일시적으로 부압이 형성되어 제1챔버(400)에 수용된 점성유체(M)는 연결유로(210)를 통하여 제2챔버(500)로 유동하면서 교반될 수 있다. 이처럼 제2피스톤(300)이 상부방향으로 이동함에 따라 제1챔버(400)에 수용된 일부의 점성유체(M)는 제2챔버(500)로 유동할 수 있고 다른 일부의 점성유체(M)는 노즐(110)을 통하여 토출될 수도 있다.

결과적으로, 제1피스톤(200)이 정지된 상태에서 제2피스톤(300)만을 상하방향으로 반복 이동시킴에 따라, 가공 대상물(1)에 점성유체(M)를 공급하는 동시에 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)의 점도를 항상 균일하게 유지할 수 있다.

도 5는 제2피스톤(300)은 정지되고, 제1피스톤(200)만이 상하방향으로 이동하는 경우를 나타낸 도면으로, 본 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈은 제1피스톤(200)만이 상하방향으로 이동될 수 있다.

구체적으로, 도 5 (a)에서와 같이, 점성유체(M)는 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용될 수 있고, 이때 제1피스톤(200)이 하부방향으로 이동됨에 따라, 제1챔버(400)에 수용된 일부의 점성유체(M)는 연결유로(210)를 통하여 제2챔버(500)로 유동될 수 있고, 다른 일부의 점성유체(M)는 노즐(110)을 통하여 토출될 수 있다. 따라서, 가공 대상물(1)을 향해 점성유체(M)를 공급하는 동시에 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)의 교반이 가능해진다. 이 경우 점성유체(M)의 토출 용량은 도 3에서의 토출 용량보다 작은 용량으로 토출될 수 있다.

그리고, 도 5 (b)에서와 같이, 제1피스톤(200)이 다시 상부방향으로 이동함에 따라, 제1챔버(400)에는 일시적으로 부압이 형성되어 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)는 연결유로(210)를 통하여 제1챔버(400)로 유동하면서 교반될 수 있고, 제1챔버(400)에 수용된 일부의 점성유체(M)는 노즐(110)을 통하여 토출될 수 있다.

결과적으로, 제2피스톤(300)이 정지된 상태에서 제1피스톤(200)만을 상하방향으로 반복 이동시킴에 따라, 가공 대상물(1)에 점성유체(M)를 공급하는 동시에 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)의 점도를 항상 균일하게 유지할 수 있다.

이상에서와 같이, 사용되는 점성유체(M)의 점도 특성에 따라 제1피스톤(200) 또는 제2피스톤(300)의 작동여부, 이동거리, 이동시간 및 왕복횟수는 다르게 설정될 수 있다. 즉, 제1피스톤(200) 또는 제2피스톤(300)의 작동여부, 이동거리, 이동시간 및 왕복횟수는 사용되는 점성유체(M)의 점도 특성을 바탕으로 한 구동프로그램에 의하여 미리 설정될 수 있으며, 이를 통해, 노즐(110)을 통한 점성유체(M)의 토출용량 뿐만 아니라, 제1챔버(400) 또는 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)를 어떠한 단계로 교반할 것인지에 대한 교반모드를 세밀하게 설정할 수 있다.

뿐만 아니라, 기판(1)을 향해 미리 설정된 값에 따라 점성유체(M)의 공급하는 과정 중 작업시간이 경과됨에 따라서도 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)의 작동여부, 이동거리, 이동시간 및 왕복횟수는 재설정될 수 있다. 즉, 점성유체(M)가 공급되는 작업시간에 따라 제1챔버(400) 및 제2챔버(500) 내의 점성유체(M)의 점도 특성이 변화될 수 있는데, 이를 고려하여 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)의 작동여부, 이동거리, 이동시간 및 왕복횟수를 재설정함으로써, 점성유체(M)의 토출용량 및 교반정도를 보다 세밀하게 설정할 수 있다.

한편, 본 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈은 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)의 위치를 측정하기 위한 감지부를 더 포함할 수도 있다.

감지부를 통해 측정된 제1피스톤(200) 또는 제2피스톤(300)의 위치로부터 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)의 상대 위치를 산출할 수 있고, 이를 통해, 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)의 용적 즉, 점성유체(M)의 용량을 확인할 수 있다.

도 6은 본 발명의 제3실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.

도 6을 참조하면, 본 실시예에 따른 연장블록(310)은 제2피스톤(300)의 하단부에서 돌출되는 높이가 가변되도록 제2피스톤(300)에 대해 이동 가능하게 결합될 수 있다.

이때, 본 실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈은 연장블록(310)을 이동시키기 위한 블록 구동부(미도시)를 더 포함할 수 있다.

따라서, 연장블록(310)은 블록 구동부를 통하여 제2피스톤(300)에 대해 상하방향으로 이동하면서, 제2피스톤(300)으로부터 돌출되는 높이가 가변될 수 있다.

사용되는 점성유체(M)의 점도에 따라 제2피스톤(300)의 이동거리가 커질 수 있는데, 이때 제2피스톤(300)으로부터 연장블록(310)의 돌출 높이를 조절함으로써, 제2피스톤(300)의 이동 위치와 무관하게 연장블록(310)은 항상 연결유로(210)를 관통한 상태가 만족될 수 있다. 이에 따라, 전술한 바와 같이 다양한 점도를 가지는 점성유체(M)에 대해 미세연결유로에 의한 효과적인 교반이 수행될 수 있다.

그리고, 제2피스톤(300)으로부터 연장블록(310)의 돌출 높이를 조절함으로써, 노즐(110)의 입구와 연장블록(310) 사이의 간격도 조절할 수 있기 때문에, 노즐(110)을 통해 토출되는 점성유체(M)의 토출량을 조절할 수도 있다.

도 7은 본 발명의 제4실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.

도 7을 참조하면, 본 실시예에 따른 연장블록(310)은 두께가변부를 구비할 수 있다.

두께가변부를 통하여 연장블록(310)은 높이방향을 따라 두께가 가변될 수 있다. 즉, 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)의 상대 위치에 따라 연결유로(210)를 관통하는 연장블록(310)의 높이가 변화될 시 연결유로(210)의 유로단면적이 변화될 수 있다.

본 실시예에 따른 두께가변부는 제1두께부(311) 및 제2두께부(312)를 포함할 수 있으며, 제1두께부(311)는 제2두께부(312) 보다 클 수 있다.

따라서, 도 7 (a)에서와 같이, 제1두께부(311)가 연결유로(210)와 동일한 높이를 유지할 때는 제1미세연결유로(210b)를 형성할 수 있고, 도 7 (b)에서와 같이, 제2두께부(312)가 연결유로(210)와 동일한 높이를 유지할 때는 제1미세연결유로(210b) 보다 큰 유로단면적을 가지는 제2미세연결유로(210c)를 형성할 수 있다.

도 7 (a)에서와 같이, 상대적으로 좁은 유로단면적을 가지는 제1미세연결유로(210b)가 형성되면, 제1챔버(400) 및 제2챔버(500) 간 점성유체(M)가 보다 빠르게 유동할 수 있고, 이에 따라, 제1챔버(400) 및 제2챔버(500) 간 점성유체(M)의 교반 효율을 더욱 높일 수 있다. 이 경우는 짧은 시간에 쉽게 굳어지는 물성을 보유한 점성유체(M)에 사용될 수 있으며, 이러한 점성유체(M)는 교반을 상대적으로 빠르게 수행함으로써, 균일한 점도를 유지할 수 있다.

그리고, 도 7 (b)에서와 같이, 상대적으로 넓은 유로단면적을 가지는 제2미세연결유로(210c)가 형성되면, 제1챔버(400) 및 제2챔버(500) 간 점성유체(M)가 상대적으로 천천히 유동하게 되고, 이에 따라, 제1챔버(400) 및 제2챔버(500) 간 점성유체(M)의 교반을 둔화시킬 수 있다. 이 경우는 상대적으로 오랜 시간에 걸쳐 서서히 굳어지는 물성을 보유한 점성유체(M)에 사용될 수 있으며, 이러한 점성유체(M)는 교반을 상대적으로 느리게 수행함으로써, 균일한 점도를 유지할 수 있다.

도 8은 본 발명의 제5실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.

도 8을 참조하면, 본 실시예에 따른 연장블록(310)은 밸브부(313)를 구비할 수 있다.

밸브부(313)는 연장블록(310)의 하단부에 형성될 수 있으며, 제2피스톤(300)의 최대 하강 시 노즐(110)을 밀폐시켜 노즐(110)을 통하여 점성유체(M)가 토출되는 것을 차단할 수 있다.

이처럼 밸브부(313)가 노즐(110)을 밀폐시킨 상태에서는 노즐(110)을 통하여 점성유체(M)가 토출되지 않는 대기 상태일 수 있으며, 이 경우 도 5에서와 같이, 제1피스톤(200)만을 상하방향으로 이동시키면서 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)의 교반을 수행할 수 있다.

한편, 도 9는 본 발명의 제5실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈의 작동을 설명하기 위한 단면 예시도이다.

도 9를 참조하면, 밸브부(313)가 노즐(110)을 밀폐시킨 상태에서, 제2피스톤(300)을 최대로 하강시키면, 제1챔버(400)에 수용된 점성유체(M)는 제2챔버(500)로 유동될 수 있다. 이처럼 제1챔버(400)에 수용된 점성유체(M)가 모두 제2챔버(500)에 수용된 상태에서는 점성유체(M)의 유출 없이 제1피스톤(200)으로부터 바디부(100)만을 분리해낼 수 있다.

즉, 가공 대상물(1)의 종류 또는 작업 여건에 따라, 바디부(100)의 노즐(110)을 변경하거나 세척할 필요가 있는데, 이 경우 노즐(110)이 밀폐된 상태에서 제1피스톤(200)을 하강시켜 제1챔버(400)에 수용된 점성유체(M)를 제2챔버(500)에 이동시켜 수용하고, 이후 기판(1)으로부터 스퀴지모듈을 상승 혹은 회전시킨 상태에서 사용자는 바디부(100)만을 쉽게 분리해낼 수 있다. 이때 스퀴지모듈 내에 잔존하는 점성유체(M)는 외부로 유출됨이 없이 제2챔버(500)에 그대로 수용된 상태를 유지할 수 있다.

이처럼 본 발명은 가공 대상물(1)의 종류 또는 작업 여건에 따라, 바디부(100)를 분리하여 새로운 바디부로 교체하거나 분리된 바디부(100)를 세척 후 재결합시킬 있는 등 스퀴지모듈의 관리를 간편하게 수행할 수 있을 뿐만 아니라, 이러한 스퀴지모듈의 유지보수 과정에서 제1챔버(400) 및 제2챔버(500) 내의 점성유체(M)가 외부로 유출되어 소모되는 것을 예방할 수 있다.

도 10은 본 발명의 제6실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.

도 10을 참조하면, 본 실시예에 따른 제1피스톤(200)은 상하유동홀(220)을 구비할 수 있다.

상하유동홀(220)은 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)를 연결하도록 제1피스톤(200)에 관통 형성될 수 있다.

즉, 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)는 연결유로(210) 뿐만 아니라, 상하유동홀(220)을 통하여 제1챔버(400) 및 제2챔버(500) 사이를 유동하면서 교반될 수 있어, 교반 효율을 높일 수 있다.

도 11은 본 발명의 제7실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.

도 11을 참조하면, 본 실시예에 따른 연장블록(310)은 좌우유동홀(314)을 구비할 수 있다.

좌우유동홀(314)은 제1좌측챔버(410) 및 제1우측챔버(420)를 연결하거나 제2좌측챔버(510) 및 제2우측챔버(520)를 연결하도록 연장블록(310)의 높이방향을 따라 복수개가 관통 형성될 수 있다.

즉, 제1피스톤(200) 및 제2피스톤(300)의 상대 위치에 따라, 좌우유동홀(314)은 제1좌측챔버(410) 및 제1우측챔버(420) 간 점성유체(M)를 유동시키며 교반할 수 있고, 제2좌측챔버(510) 및 제2우측챔버(520) 간 점성유체(M)를 유동시키며 교반할 수 있어, 교반 효율을 보다 더 높일 수 있다.

도 12는 본 발명의 제8실시예에 따른 점성유체 공급용 스퀴지모듈을 설명하기 위한 단면 예시도이다.

도 12를 참조하면, 먼저 본 실시예에 따른 제1피스톤(200)은 연결유로(210)를 기준으로 좌측에 배치되는 제1좌측피스톤(200A)과, 연결유로(210)를 기준으로 우측에 배치되는 제1우측피스톤(200B)을 포함할 수 있다. 이때, 제1좌측피스톤(200A) 및 제1우측피스톤(200B)은 서로 독립적으로 이동될 수 있다.

그리고, 본 실시예에 따른 제2피스톤(300) 역시 연결유로(210)의 중심을 기준으로 좌측에 배치되는 제2좌측피스톤(300A)과, 연결유로(210)의 중심을 기준으로 우측에 배치되는 제2우측피스톤(300B)을 포함할 수도 있다. 이때, 제2좌측피스톤(300A) 및 제2우측피스톤(300B) 역시 서로 독립적으로 이동될 수 있다.

이때, 본 실시예에 따른 연장블록(310)은 연결유로(210)를 관통하도록 제2좌측피스톤(300A)에서 하부방향으로 연장 형성되는 좌측 연장블록(310A)과, 연결유로(210)를 관통하도록 제2우측피스톤(300B)에서 연장 형성되는 우측 연장블록(310B)을 포함할 수 있다. 결과적으로, 좌측 연장블록(310A) 및 우측 연장블록(310B)은 독립적으로 이동되는 제2좌측피스톤(300A) 및 제2우측피스톤(300B)과 연동하여 독립적으로 연결유로(210)를 관통하도록 이동될 수 있다.

결과적으로, 독립적으로 작동하는 제1좌측피스톤(200A) 및 제1우측피스톤(200B)과, 제2좌측피스톤(300A) 및 제2우측피스톤(300B)을 통하여, 제1좌측챔버(410), 제1우측챔버(410), 제2좌측챔버(510) 및 제2좌측챔버(510)의 부피가 독립적으로 가변될 수 있다.

그리고, 제1좌측피스톤(200A) 및 제1우측피스톤(200B)의 상대 위치에 따라서는 연결유로(210)의 유로단면적이 보다 세밀하게 가변될 수 있다.

뿐만 아니라, 좌측 연장블록(310A) 및 우측 연장블록(310B)을 통하여, 제1좌측챔버(410) 및 제2좌측챔버(510)를 연결하는 연결유로(210)의 유로단면적과, 제1우측챔버(420) 및 제2우측챔버(520)를 연결하는 연결유로(210)의 유로단면적이 독립적으로 가변될 수 있다.

따라서, 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)에 대해 보다 세밀한 교반 설정이 가능하고, 다양한 종류의 물성 및 용량으로 토출되는 점성유체(M)에 대해 항상 균일한 점도를 유지할 수 있다.

나아가, 도 7에서와 같이, 추가하여 연장블록(310)에 두께가변부를 구성할 경우에는, 제1챔버(400) 및 제2챔버(500)에 수용된 점성유체(M)의 교반을 보다 더 효과적으로 수행할 수 있고, 과도한 교반에 의해 점성유체(M)의 점도가 요구되는 점도보다 너무 낮아지게 되거나, 혹은 약한 교반에 의해 점성유체(M)의 점도가 요구되는 점도보다 너무 커지게 되는 현상 없이, 보다 세밀하고 정교한 교반 설정이 가능하기 때문에 다양한 종류의 물성 및 용량을 가지는 점성유체(M)에 대해 항상 균일한 점도를 유지할 수 있게 된다.

상술한 바와 같이 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자라면, 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 또는 변경시킬 수 있다.

100: 바디부
110: 노즐
200: 제1피스톤
210: 연결유로
300: 제2피스톤
310: 연장블록
400: 제1챔버
500: 제2챔버

Claims

점성유체가 토출되는 노즐을 구비하는 바디부;
상기 바디부의 내측에서 배치되며, 상기 노즐을 향해 근접하거나 이격되도록 이동 가능한 제1피스톤;
상기 제1피스톤의 내측에서 배치되며, 상기 노즐을 향해 근접하거나 이격되도록 이동 가능한 제2피스톤;
상기 바디부와 상기 제1피스톤 사이에 형성되어 점성유체가 수용되고, 상기 제1피스톤의 이동에 의해 부피가 가변되는 제1챔버; 및
상기 제1피스톤과 상기 제2피스톤 사이에 형성되어 점성유체가 수용되고, 상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤의 이동에 의해 부피가 가변되는 제2챔버;를 포함하고,
상기 제1피스톤은 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버를 연결하는 연결유로를 구비하며,
상기 제1챔버 또는 상기 제2챔버에 수용된 점성유체는, 상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤의 이동에 따라 상기 연결유로를 통하여 상기 제2챔버 또는 상기 제1챔버 측으로 유동하면서 교반되고, 상기 노즐을 통해 외부로 토출되는 것을 특징으로 하는 점성유체 공급용 스퀴지모듈.
제1항에 있어서,
상기 제2피스톤은,
상기 연결유로를 관통하도록 상기 제2피스톤의 하단부에서 연장 형성되며, 상기 연결유로의 유로단면적을 축소시키는 연장블록;을 포함하는 것을 특징으로 하는 점성유체 공급용 스퀴지모듈.
제2항에 있어서,
상기 연장블록은,
상기 제1피스톤 및 상기 제2피스톤의 상대 위치에 따라 상기 연결유로의 유로단면적이 변화되도록 높이방향을 따라 두께가 변화되는 두께가변부를 구비하는 것을 특징으로 하는 점성유체 공급용 스퀴지모듈.
제2항에 있어서,
상기 연장블록은,
하단부에 형성되며, 상기 제2피스톤의 최대 하강 시 상기 노즐을 밀폐시켜 점성유체의 토출을 차단하는 밸브부를 구비하는 것을 특징으로 하는 점성유체 공급용 스퀴지모듈.
제2항에 있어서,
상기 연장블록은,
상기 제2피스톤에서 하부방향으로 돌출되는 높이가 가변되도록 상기 제2피스톤에 대해 이동 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 점성유체 공급용 스퀴지모듈.
제2항에 있어서,
상기 제1챔버는 상기 연장블록을 기준으로 제1좌측챔버 및 제1우측챔버로 구획되며,
상기 제2챔버는 상기 연장블록을 기준으로 제2좌측챔버 및 제2우측챔버로 구획되고,
상기 연장블록은,
상기 제1좌측챔버 및 상기 제1우측챔버를 연결하거나 상기 제2좌측챔버 및 상기 제2우측챔버를 연결하도록 관통 형성되는 좌우유동홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 점성유체 공급용 스퀴지모듈.
제1항에 있어서,
상기 제1피스톤은,
상기 제1챔버 및 상기 제2챔버를 연결하도록 관통 형성되는 상하유동홀을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 점성유체 공급용 스퀴지모듈.
제1항에 있어서,
상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤은,
외부의 점성유체 공급부로부터 상기 제1챔버 및 상기 제2챔버에 점성유체를 공급하기 위하여 상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤에 관통 형성되는 점성유체 공급로를 구비하는 것을 특징으로 하는 점성유체 공급용 스퀴지모듈.
제1항에 있어서,
상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤은,
상기 제1챔버 및 상기 제2챔버에 잔존하는 공기를 외부로 배출하기 위하여 상기 제1피스톤 또는 상기 제2피스톤에 관통 형성되는 공기배출홀을 구비하는 것을 특징으로 하는 점성유체 공급용 스퀴지모듈.
제1항에 있어서,
상기 제1피스톤은,
상기 연결유로를 기준으로 좌측에 배치되는 제1좌측피스톤; 및
상기 연결유로를 기준으로 우측에 배치되는 제1우측피스톤;을 포함하고,
상기 제1좌측피스톤 및 상기 제1우측피스톤은 독립적으로 이동되는 것을 특징으로 하는 점성유체 공급용 스퀴지모듈.
제1항에 있어서,
상기 제2피스톤은,
상기 연결유로를 기준으로 좌측에 배치되는 제2좌측피스톤; 및
상기 연결유로를 기준으로 우측에 배치되는 제2우측피스톤;을 포함하고,
상기 제2좌측피스톤 및 상기 제2우측피스톤은 독립적으로 이동되는 것을 특징으로 하는 점성유체 공급용 스퀴지모듈.
제11항에 있어서,
상기 제2피스톤은,
상기 연결유로를 관통하도록 상기 제2피스톤의 하단부에서 연장 형성되며, 상기 연결유로의 유로단면적을 축소시키는 연장블록;을 포함하고,
상기 연장블록은,
상기 제2좌측피스톤에서 상기 연결유로를 관통하도록 연장 형성되는 좌측 연장블록; 및
상기 제2우측피스톤에서 상기 연결유로를 관통하도록 연장 형성되는 우측 연장블록;을 포함하는 것을 특징으로 하는 점성유체 공급용 스퀴지모듈.