JP2001044602A - 描画装置 - Google Patents
描画装置Info
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- JP2001044602A JP2001044602A JP11218127A JP21812799A JP2001044602A JP 2001044602 A JP2001044602 A JP 2001044602A JP 11218127 A JP11218127 A JP 11218127A JP 21812799 A JP21812799 A JP 21812799A JP 2001044602 A JP2001044602 A JP 2001044602A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 粘性体24を比較的厚く、幅広く、さらにそ
の表面が平坦となるように、部材の表面に付着形成する
こと。 【解決手段】 シリンダ28内の粘性体、たとえば導体
ペースト、封止樹脂は、圧縮気体29によって加圧さ
れ、スロート部27から溜り部26を経てノズル25に
導かれる。ノズル25の移動方向33に垂直な幅Lと高
さHとは、0.5≦H/L≦2に選び、ノズルの移動方
向33の長さWは、W/L≦0.5に選び、幅Lは、2
〜5mmに選ぶ。こうしてノズル25の幅L全域に均一
な流量で粘性体を吐出し、その厚みを均一とし、基板2
1表面に形成された粘性体30の表面が平坦となり、凹
凸は生じない。
の表面が平坦となるように、部材の表面に付着形成する
こと。 【解決手段】 シリンダ28内の粘性体、たとえば導体
ペースト、封止樹脂は、圧縮気体29によって加圧さ
れ、スロート部27から溜り部26を経てノズル25に
導かれる。ノズル25の移動方向33に垂直な幅Lと高
さHとは、0.5≦H/L≦2に選び、ノズルの移動方
向33の長さWは、W/L≦0.5に選び、幅Lは、2
〜5mmに選ぶ。こうしてノズル25の幅L全域に均一
な流量で粘性体を吐出し、その厚みを均一とし、基板2
1表面に形成された粘性体30の表面が平坦となり、凹
凸は生じない。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、導体ペーストを、
電気絶縁性基板上に付着して回路パターンに描画した
り、また電子部品パッケージを気密に封止するためにパ
ッケージの一部分に封止樹脂を付着描画するためなどに
用いられる描画装置に関し、特に導体ペーストおよび封
止樹脂などの粘性体を比較的厚く、広幅に形成すること
ができる描画装置に関する。
電気絶縁性基板上に付着して回路パターンに描画した
り、また電子部品パッケージを気密に封止するためにパ
ッケージの一部分に封止樹脂を付着描画するためなどに
用いられる描画装置に関し、特に導体ペーストおよび封
止樹脂などの粘性体を比較的厚く、広幅に形成すること
ができる描画装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来より、絶縁基板表面に配線パターン
を形成する際には、粘性を有する導体ペーストを絶縁基
板や焼成前のセラミックグリーンシート表面にスクリー
ン印刷法などにより印刷塗布することが行われている。
このスクリーン印刷法は、スクリーン版に形成された配
線パターンに対応して形成された孔を通して導体ペース
トを付着させる方法である。この先行技術では、1回の
スクリーン印刷法によれば、厚みがせいぜい200μm
程度の配線パターンしか形成することができない。とこ
ろが最近に至り、自動車などの車載用の配線基板におい
ては、比較的大きな電流を流すことが要求され、その結
果、厚みが大きい配線パターンの形成が必要とされてい
る。そこで、従来のスクリーン印刷法によって、たとえ
ば600μm以上の厚みの配線パターンを形成するに
は、複数回のスクリーン印刷を行わなければならず、作
業性が悪いものであった。
を形成する際には、粘性を有する導体ペーストを絶縁基
板や焼成前のセラミックグリーンシート表面にスクリー
ン印刷法などにより印刷塗布することが行われている。
このスクリーン印刷法は、スクリーン版に形成された配
線パターンに対応して形成された孔を通して導体ペース
トを付着させる方法である。この先行技術では、1回の
スクリーン印刷法によれば、厚みがせいぜい200μm
程度の配線パターンしか形成することができない。とこ
ろが最近に至り、自動車などの車載用の配線基板におい
ては、比較的大きな電流を流すことが要求され、その結
果、厚みが大きい配線パターンの形成が必要とされてい
る。そこで、従来のスクリーン印刷法によって、たとえ
ば600μm以上の厚みの配線パターンを形成するに
は、複数回のスクリーン印刷を行わなければならず、作
業性が悪いものであった。
【0003】この問題を解決する或る提案された技術
は、図6に示される。電気絶縁性基板1が固定されて水
平なxy平面内で移動するテーブル2の上方に、描画部
3が配置される。この描画部3は、導体ペースト4を吐
出するノズル5と、溜り部6と、スロート部7と、シリ
ンダ8とが下から上にこの順序で連結されて構成され
る。シリンダ8内には、導体ペースト4が充填され、シ
リンダ8内に、矢符9で示されるように圧縮気体が供給
され、これによって導体ペースト4は、ノズル5から基
板1の上表面に吐出され、テーブル2によって基板1が
移動されることによって、基板1上に希望する配線パタ
ーンが描画されることになる。
は、図6に示される。電気絶縁性基板1が固定されて水
平なxy平面内で移動するテーブル2の上方に、描画部
3が配置される。この描画部3は、導体ペースト4を吐
出するノズル5と、溜り部6と、スロート部7と、シリ
ンダ8とが下から上にこの順序で連結されて構成され
る。シリンダ8内には、導体ペースト4が充填され、シ
リンダ8内に、矢符9で示されるように圧縮気体が供給
され、これによって導体ペースト4は、ノズル5から基
板1の上表面に吐出され、テーブル2によって基板1が
移動されることによって、基板1上に希望する配線パタ
ーンが描画されることになる。
【0004】図7は、図6に示される提案されて技術に
おけるノズル5付近の斜視図である。このノズル5は、
導体を広い幅で付着するために、基板1の移動方向(図
6の左右方向、図7の紙面に垂直方向)に間隔をあけて
3本のノズル5a,5b,5cが溜り部6に設けられて
いる。参照符の添え字a,b,cを省略して数字だけで
総括的に示すことがある。これらのノズル5a,5b,
5cは、比較的小径の円形断面を有し、これによってシ
リンダ8に図6の矢符9のように供給される気体圧をで
きるだけ低くして、導体ペースト4が吐出されるように
している。
おけるノズル5付近の斜視図である。このノズル5は、
導体を広い幅で付着するために、基板1の移動方向(図
6の左右方向、図7の紙面に垂直方向)に間隔をあけて
3本のノズル5a,5b,5cが溜り部6に設けられて
いる。参照符の添え字a,b,cを省略して数字だけで
総括的に示すことがある。これらのノズル5a,5b,
5cは、比較的小径の円形断面を有し、これによってシ
リンダ8に図6の矢符9のように供給される気体圧をで
きるだけ低くして、導体ペースト4が吐出されるように
している。
【0005】図8は、図6および図7に示されるノズル
5から吐出された基板1上の配線パターン10の断面図
である。配線パターン10には、直接、あるいは焼成を
経て、たとえば電子部品11が半田などの導体材料12
によって接続固定される。各ノズル5a,5b,5cか
ら導体ペーストが個別的に吐出されることによって、ま
た各ノズル5a,5b,5cからの導体ペーストのたれ
に起因して、さらに各ノズル5a,5b,5cの直前の
上流側における導体ペースト4に作用する気体圧が左右
方向に不均一であることに起因して、図8(1)に吐出
後の自然状態が示されるように配線パターン10の表面
には、凹凸が形成される。これによって配線パターン1
0に接続されるべき電子部品11が基板1に対して傾斜
して電気的接続が不充分になるおそれがある。また表面
の凹んだ部分13に空間14が残存し、電子部品11の
下方に気泡が発生する。これによって電気的接続が不充
分になる。さらにこのような接続が不充分になることに
よって、電子部品11からの熱が基板1に良好に伝導せ
ず、または両側の厚みが中央よりも大きいと、熱放散が
不充分になり、電子部品11が異常な高温度になるおそ
れがある。
5から吐出された基板1上の配線パターン10の断面図
である。配線パターン10には、直接、あるいは焼成を
経て、たとえば電子部品11が半田などの導体材料12
によって接続固定される。各ノズル5a,5b,5cか
ら導体ペーストが個別的に吐出されることによって、ま
た各ノズル5a,5b,5cからの導体ペーストのたれ
に起因して、さらに各ノズル5a,5b,5cの直前の
上流側における導体ペースト4に作用する気体圧が左右
方向に不均一であることに起因して、図8(1)に吐出
後の自然状態が示されるように配線パターン10の表面
には、凹凸が形成される。これによって配線パターン1
0に接続されるべき電子部品11が基板1に対して傾斜
して電気的接続が不充分になるおそれがある。また表面
の凹んだ部分13に空間14が残存し、電子部品11の
下方に気泡が発生する。これによって電気的接続が不充
分になる。さらにこのような接続が不充分になることに
よって、電子部品11からの熱が基板1に良好に伝導せ
ず、または両側の厚みが中央よりも大きいと、熱放散が
不充分になり、電子部品11が異常な高温度になるおそ
れがある。
【0006】また場合によって、図8(2),図8
(3)に示されるように、基板1上の配線パターン10
の表面15が傾斜し、これに電子部品11を固定する
と、電子部品11が傾いて固定されてしまったり、その
接続が一部分とになり、また前述のように電子部品11
からの熱放散が不充分になる。
(3)に示されるように、基板1上の配線パターン10
の表面15が傾斜し、これに電子部品11を固定する
と、電子部品11が傾いて固定されてしまったり、その
接続が一部分とになり、また前述のように電子部品11
からの熱放散が不充分になる。
【0007】また電子部品を封止する封止樹脂を図6お
よび図7に示される技術によって吐出するときにもま
た、その封止樹脂を幅広く平坦に付着することが、上述
と同様に困難となり、これによって気密性が劣るという
問題があった。
よび図7に示される技術によって吐出するときにもま
た、その封止樹脂を幅広く平坦に付着することが、上述
と同様に困難となり、これによって気密性が劣るという
問題があった。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、導体ペース
トおよび封止樹脂などの粘性体を、比較的厚く、しかも
幅広く、さらにその表面が平坦となるように形成するこ
とができるようにした描画装置を提供することがであ
る。
トおよび封止樹脂などの粘性体を、比較的厚く、しかも
幅広く、さらにその表面が平坦となるように形成するこ
とができるようにした描画装置を提供することがであ
る。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、粘性体を吐出
するノズルと、ノズルからの粘性体が付着される部材
と、ノズルとを、相対的に予め定める移動方向に移動す
る移動手段とを含む描画装置において、ノズルは、軸線
に直角な断面がその軸線方向に一様に形成され、ノズル
の前記移動方向に垂直な幅L、軸線方向の高さHは、 0.5 ≦ H/L に選ばれることを特徴とする描画装置である。
するノズルと、ノズルからの粘性体が付着される部材
と、ノズルとを、相対的に予め定める移動方向に移動す
る移動手段とを含む描画装置において、ノズルは、軸線
に直角な断面がその軸線方向に一様に形成され、ノズル
の前記移動方向に垂直な幅L、軸線方向の高さHは、 0.5 ≦ H/L に選ばれることを特徴とする描画装置である。
【0010】本発明に従えば、ノズルから吐出される導
体ペーストまたは封止樹脂などの粘性体は、ノズルと部
材とを移動手段によって予め定める移動方向に相対的に
移動することによって、その部材の表面に付着される。
このノズルは、軸線に直角な断面がその軸線方向に一様
に形成され、たとえばその断面は、長方形などの矩形で
あり、そのノズルの内周面の軸線方向の高さHと幅Lと
の比H/Lは、0.5以上に選ばれる。
体ペーストまたは封止樹脂などの粘性体は、ノズルと部
材とを移動手段によって予め定める移動方向に相対的に
移動することによって、その部材の表面に付着される。
このノズルは、軸線に直角な断面がその軸線方向に一様
に形成され、たとえばその断面は、長方形などの矩形で
あり、そのノズルの内周面の軸線方向の高さHと幅Lと
の比H/Lは、0.5以上に選ばれる。
【0011】ノズルの高さHは、幅Lの0.5倍以上に
することによって、その幅Lの全域に均一な流量で粘性
体がノズルから吐出されることが可能になる。これによ
って部材の表面上に付着して形成された粘性体の塗布厚
みが前記移動方向に垂直な方向に均一になり、その塗布
された粘性体の表面が広い幅L1(≒L、図1参照)に
わたって平坦になり、凹凸が発生することはない。高さ
Hが幅Lの0.5倍未満であるとき、その高さHは、小
さすぎて、幅L全域に粘性点が均一な流量で吐出され
ず、その塗布された粘性体の表面に図8(2),図8
(3)のような凹凸が発生する。
することによって、その幅Lの全域に均一な流量で粘性
体がノズルから吐出されることが可能になる。これによ
って部材の表面上に付着して形成された粘性体の塗布厚
みが前記移動方向に垂直な方向に均一になり、その塗布
された粘性体の表面が広い幅L1(≒L、図1参照)に
わたって平坦になり、凹凸が発生することはない。高さ
Hが幅Lの0.5倍未満であるとき、その高さHは、小
さすぎて、幅L全域に粘性点が均一な流量で吐出され
ず、その塗布された粘性体の表面に図8(2),図8
(3)のような凹凸が発生する。
【0012】また高さHは、幅Lの2倍未満(すなわち
H/L≦2)であれば充分であり、これによってノズル
からの粘性体の流出流量を幅Lの全域にわたって均一に
することができるとともに、それ以上ノズルの高さHを
長くする必要がなく、もっと長くすると、ノズルが大形
化し、ノズルのコストアップとなり、また作業性が悪く
なる。こうしてノズルの高さHを、幅Lに対応して適切
な値の範囲に定めることによって、ノズルの内周面に粘
性体が接触することなどに起因する部材の表面上に付着
した粘性体の表面を広い幅にわたって平坦にすることが
初めて可能になる。粘性体の粘度は、たとえば回転粘度
計(E型粘度計)で500〜1500ポイズであっても
よい。
H/L≦2)であれば充分であり、これによってノズル
からの粘性体の流出流量を幅Lの全域にわたって均一に
することができるとともに、それ以上ノズルの高さHを
長くする必要がなく、もっと長くすると、ノズルが大形
化し、ノズルのコストアップとなり、また作業性が悪く
なる。こうしてノズルの高さHを、幅Lに対応して適切
な値の範囲に定めることによって、ノズルの内周面に粘
性体が接触することなどに起因する部材の表面上に付着
した粘性体の表面を広い幅にわたって平坦にすることが
初めて可能になる。粘性体の粘度は、たとえば回転粘度
計(E型粘度計)で500〜1500ポイズであっても
よい。
【0013】また本発明は、ノズルの前記移動方向の長
さをWとするとき、 W/L ≦ 0.5 に選ばれ、前記幅Lは、 2mm ≦ L に選ばれることを特徴とする。
さをWとするとき、 W/L ≦ 0.5 に選ばれ、前記幅Lは、 2mm ≦ L に選ばれることを特徴とする。
【0014】本発明に従えば、ノズルの移動方向の長さ
Wは、幅Lの0.5倍以下に選び、この幅Lは、2mm
以上に選ぶことによって、たとえば車載用の配線基板の
導体ペーストの塗布による配線パターンを、その幅Lに
ほぼ正確に等しい幅で電気絶縁性基板などの部材に付着
して形成することができ、その配線パターン表面をこの
ような比較的広い幅にわたって平坦にすることができる
ようになる。幅Lは、7mm未満であってもよい。
Wは、幅Lの0.5倍以下に選び、この幅Lは、2mm
以上に選ぶことによって、たとえば車載用の配線基板の
導体ペーストの塗布による配線パターンを、その幅Lに
ほぼ正確に等しい幅で電気絶縁性基板などの部材に付着
して形成することができ、その配線パターン表面をこの
ような比較的広い幅にわたって平坦にすることができる
ようになる。幅Lは、7mm未満であってもよい。
【0015】また本発明の描画装置は、ノズルと、溜り
部と、スロート部と、前記溜り部に粘性体を供給するた
めのシリンダとが、上下に延びる一直線上に軸線をそれ
ぞれ有して下から上にこの順序で連結され、溜り部は、
ノズルの前記長さWよりも移動方向に長く、および/ま
たは前記幅Lよりも長く、形成され、シリンダの上部
に、シリンダ内に圧縮気体を供給する加圧源が連結され
ることを特徴とする。
部と、スロート部と、前記溜り部に粘性体を供給するた
めのシリンダとが、上下に延びる一直線上に軸線をそれ
ぞれ有して下から上にこの順序で連結され、溜り部は、
ノズルの前記長さWよりも移動方向に長く、および/ま
たは前記幅Lよりも長く、形成され、シリンダの上部
に、シリンダ内に圧縮気体を供給する加圧源が連結され
ることを特徴とする。
【0016】さらに本発明は、スロート部は、溜り部の
断面積よりも小さい断面積を有し、シリンダは、スロー
ト部の断面積よりも大きい断面積を有することを特徴と
する。
断面積よりも小さい断面積を有し、シリンダは、スロー
ト部の断面積よりも大きい断面積を有することを特徴と
する。
【0017】本発明に従えば、シリンダの上部に加圧源
から供給される圧縮空気または窒素ガスなどの圧縮気体
によって、そのシリンダ内の粘性体が押圧され、均一な
圧力分布でスロート部を経て溜り部に移動する。スロー
ト部の働きによって、シリンダからの粘性体は、溜り部
でその速度が低下されて減速され、その軸線に垂直な断
面における粘性体の圧力分布をほぼ均一にした状態で、
溜り部からノズルに粘性体を供給することができるよう
になる。溜り部とスロート部とシリンダとの軸線に直角
な断面の形状は、円形であってもよく、またはノズルの
断面と相似形などであってもよく、そのほかの形状であ
ってもよい。粘性体は、その移動時に、特に溜り部とノ
ズルの内周面付近では、その内周面から離れた軸線付近
における部分に比べて内周面との接触摩擦によって移動
速度が低下し、したがってノズルの幅Lの全域にわたっ
て均一な吐出流量を達成するために、そのノズルの高さ
H、幅L、さらに長さWが上述のように適切に選ばれ
る。
から供給される圧縮空気または窒素ガスなどの圧縮気体
によって、そのシリンダ内の粘性体が押圧され、均一な
圧力分布でスロート部を経て溜り部に移動する。スロー
ト部の働きによって、シリンダからの粘性体は、溜り部
でその速度が低下されて減速され、その軸線に垂直な断
面における粘性体の圧力分布をほぼ均一にした状態で、
溜り部からノズルに粘性体を供給することができるよう
になる。溜り部とスロート部とシリンダとの軸線に直角
な断面の形状は、円形であってもよく、またはノズルの
断面と相似形などであってもよく、そのほかの形状であ
ってもよい。粘性体は、その移動時に、特に溜り部とノ
ズルの内周面付近では、その内周面から離れた軸線付近
における部分に比べて内周面との接触摩擦によって移動
速度が低下し、したがってノズルの幅Lの全域にわたっ
て均一な吐出流量を達成するために、そのノズルの高さ
H、幅L、さらに長さWが上述のように適切に選ばれ
る。
【0018】また本発明は、溜り部の底は、その底の断
面積がノズルに向うにつれて小さくなるように、軸線に
対して傾斜して形成されることが望ましい。
面積がノズルに向うにつれて小さくなるように、軸線に
対して傾斜して形成されることが望ましい。
【0019】本発明に従えば、溜り部の底を傾斜してノ
ズルに連なるように図5の構造とすることによって、そ
の溜り部の底を図1に示されるように軸線に垂直にした
構成に比べて、粘性体が幅Lの全域にわたってさらに均
一な流量で吐出することができるようになり、これによ
って吐出された粘性体の表面の凹凸を防ぎ、平坦にする
ことができる。
ズルに連なるように図5の構造とすることによって、そ
の溜り部の底を図1に示されるように軸線に垂直にした
構成に比べて、粘性体が幅Lの全域にわたってさらに均
一な流量で吐出することができるようになり、これによ
って吐出された粘性体の表面の凹凸を防ぎ、平坦にする
ことができる。
【0020】
【発明の実施の形態】図1は、本発明の実施の一形態の
描画装置の全体の構成を示す断面図である。たとえば電
気絶縁性基板21は、水平なxy平面内で移動するテー
ブル22の上部に取外し可能に固定され、そのテーブル
22の上方に、描画部23が配置される。導体ペースト
24は、本発明のノズル25によって基板21上に吐出
され、基板21がテーブル22によって図1の紙面に垂
直方向に移動されることによって、導体30が付着して
厚膜が形成され、配線パターンが形成される。テーブル
22はさらに上下方向であるz方向に変位するように構
成されてもよい。このようなテーブル22は、移動手段
を構成する。本発明の実施の他の形態では、テーブル2
2が固定位置に設けられ、描画部23がxyz座標系で
変位するように構成されてもよい。
描画装置の全体の構成を示す断面図である。たとえば電
気絶縁性基板21は、水平なxy平面内で移動するテー
ブル22の上部に取外し可能に固定され、そのテーブル
22の上方に、描画部23が配置される。導体ペースト
24は、本発明のノズル25によって基板21上に吐出
され、基板21がテーブル22によって図1の紙面に垂
直方向に移動されることによって、導体30が付着して
厚膜が形成され、配線パターンが形成される。テーブル
22はさらに上下方向であるz方向に変位するように構
成されてもよい。このようなテーブル22は、移動手段
を構成する。本発明の実施の他の形態では、テーブル2
2が固定位置に設けられ、描画部23がxyz座標系で
変位するように構成されてもよい。
【0021】描画部23は、導体ペースト24を吐出す
るノズル25と、溜り部26と、スロート部27と、シ
リンダ28とが上下に延びる鉛直線31上に軸線をそれ
ぞれ有して下から上にこの順序で連結される。シリンダ
28の上部には、圧縮空気または窒素ガスが加圧されて
供給される加圧源32が連結され、矢符29で示される
ように圧縮気体の圧力によって、シリンダ28内の導体
ペースト24が加圧される。
るノズル25と、溜り部26と、スロート部27と、シ
リンダ28とが上下に延びる鉛直線31上に軸線をそれ
ぞれ有して下から上にこの順序で連結される。シリンダ
28の上部には、圧縮空気または窒素ガスが加圧されて
供給される加圧源32が連結され、矢符29で示される
ように圧縮気体の圧力によって、シリンダ28内の導体
ペースト24が加圧される。
【0022】図2は、ノズル25付近の一部の斜視図で
あり、図3はノズル25の斜視図である。このノズル2
5は、軸線31に垂直な断面が軸線方向に一様であり、
この実施の形態では長方形である矩形である。ノズル2
5は、移動方向33に垂直な一対の側壁48,49と移
動方向33に平行な一対の端壁50,51とから成る。
ノズル25の内周面は、そのノズル25とテーブル22
との相対的な移動方向33の長さをWとし、この移動方
向33に垂直な幅をLとし、高さHとする。本発明に従
えば、 0.5 ≦ H/L ≦ 2 …(1) W/L ≦ 0.5 …(2) 2 ≦ L …(3) H/Lが0.5未満では、導体ペースト24が基板21
上に幅L全域に均一な流量で吐出されず、その表面が不
均一となり、大きな凹凸が発生する。なお、H/Lが2
を超えても、ノズル25から吐出されて基板21上に形
成された導体ペースト30の厚みは幅L全域にわたって
ほぼ均一であって、凹凸が生じることはなく、高さHを
さらに大きくしても、厚みの均一化の効果に変化はな
く、ノズル25がコストアップし、作業性の悪化につな
がる。本発明の実施の他の形態では、H/Lは2を超え
る値に選ばれてもよい。
あり、図3はノズル25の斜視図である。このノズル2
5は、軸線31に垂直な断面が軸線方向に一様であり、
この実施の形態では長方形である矩形である。ノズル2
5は、移動方向33に垂直な一対の側壁48,49と移
動方向33に平行な一対の端壁50,51とから成る。
ノズル25の内周面は、そのノズル25とテーブル22
との相対的な移動方向33の長さをWとし、この移動方
向33に垂直な幅をLとし、高さHとする。本発明に従
えば、 0.5 ≦ H/L ≦ 2 …(1) W/L ≦ 0.5 …(2) 2 ≦ L …(3) H/Lが0.5未満では、導体ペースト24が基板21
上に幅L全域に均一な流量で吐出されず、その表面が不
均一となり、大きな凹凸が発生する。なお、H/Lが2
を超えても、ノズル25から吐出されて基板21上に形
成された導体ペースト30の厚みは幅L全域にわたって
ほぼ均一であって、凹凸が生じることはなく、高さHを
さらに大きくしても、厚みの均一化の効果に変化はな
く、ノズル25がコストアップし、作業性の悪化につな
がる。本発明の実施の他の形態では、H/Lは2を超え
る値に選ばれてもよい。
【0023】またW/Lを0.5以下に選び、したがっ
てノズル25を偏平とし、このような構成であっても、
幅L全域にわたって均一な流量で導体ペースト24をノ
ズル25から吐出することができる。W/Lを0.5を
超える値に選ぶとき、ノズル25の幅Lよりも基板21
上の導体ペースト30の幅L1が大きくなり(L<L
1)、描画の精度が低下する。W/Lは、たとえば0.
1以上の値であり、0.1未満では、導体ペースト24
が幅Lの全域にわたって均一に吐出されにくくなる。
てノズル25を偏平とし、このような構成であっても、
幅L全域にわたって均一な流量で導体ペースト24をノ
ズル25から吐出することができる。W/Lを0.5を
超える値に選ぶとき、ノズル25の幅Lよりも基板21
上の導体ペースト30の幅L1が大きくなり(L<L
1)、描画の精度が低下する。W/Lは、たとえば0.
1以上の値であり、0.1未満では、導体ペースト24
が幅Lの全域にわたって均一に吐出されにくくなる。
【0024】この幅Lは、2mm以上であり、好ましく
はたとえば3〜30mmであって、実用化される。ノズ
ル25を含む描画部23は、たとえばステンレス鋼など
の金属製であってもよく、または合成樹脂製などの材料
から成ってもよい。
はたとえば3〜30mmであって、実用化される。ノズ
ル25を含む描画部23は、たとえばステンレス鋼など
の金属製であってもよく、または合成樹脂製などの材料
から成ってもよい。
【0025】溜り部26は、ノズル25の移動方向33
の長さWよりもその移動方向33(図1の紙面に垂直方
向)に長く形成され、および/またはノズル25の幅L
よりも図1および図2の左右方向に長く形成される。こ
の溜り部26は、直円筒状の筒体35と、その底36と
上部37とを有し、底36と上部37とは、軸線31に
垂直である。
の長さWよりもその移動方向33(図1の紙面に垂直方
向)に長く形成され、および/またはノズル25の幅L
よりも図1および図2の左右方向に長く形成される。こ
の溜り部26は、直円筒状の筒体35と、その底36と
上部37とを有し、底36と上部37とは、軸線31に
垂直である。
【0026】ノズル25の移動方向33に沿う長さW
は、0.2mm以上であることが望ましく(0.2≦
W)、長さWが0.2mm未満では、ノズル25からの
導体ペースト24の吐出量が小さくなりすぎて、描画装
置によって厚みが大きい描画を形成することが困難にな
る。
は、0.2mm以上であることが望ましく(0.2≦
W)、長さWが0.2mm未満では、ノズル25からの
導体ペースト24の吐出量が小さくなりすぎて、描画装
置によって厚みが大きい描画を形成することが困難にな
る。
【0027】スロート部27は、溜り部26の軸線31
に垂直な断面積よりも小さい断面積を有し、シリンダ2
8からの導体ペースト24を絞って、溜り部26に導
く。このスロート部27の働きによって、導体ペースト
24が減速され、溜り部26で軸線に垂直な断面でほぼ
均一な圧力で導体ペースト24がノズル25に導かれる
ことができる。
に垂直な断面積よりも小さい断面積を有し、シリンダ2
8からの導体ペースト24を絞って、溜り部26に導
く。このスロート部27の働きによって、導体ペースト
24が減速され、溜り部26で軸線に垂直な断面でほぼ
均一な圧力で導体ペースト24がノズル25に導かれる
ことができる。
【0028】シリンダ28は、スロート部27の軸線に
垂直な断面積よりも大きい断面積を有し、中空円錐部3
8と直円筒部39とを含む。スロート部27は、直円筒
状である。
垂直な断面積よりも大きい断面積を有し、中空円錐部3
8と直円筒部39とを含む。スロート部27は、直円筒
状である。
【0029】軸線31は、鉛直であってもよいが、鉛直
に対して斜めであってもよく、水平であってもよい。
に対して斜めであってもよく、水平であってもよい。
【0030】図4は、図1〜図3に示される実施の形態
において、導体ペースト24が流れる状態を示す図であ
る。導体ペースト24は、矢印で示される方向に、圧縮
気体によって移動される。この導体ペースト24は、溜
り部26内で筒部35と底36との内周面に沿って矢符
41で示されるように移動し、さらにノズル25の内周
面に接触して案内される。本発明では、ノズル25の高
さHが、幅Lに対して0.5倍以上であるので、ノズル
25の内周面および軸線31付近にある導体ペースト2
4の各部分の軸線31に沿う移動速度が、ノズル25の
開口端43でほぼ均一な分布とすることができる。
において、導体ペースト24が流れる状態を示す図であ
る。導体ペースト24は、矢印で示される方向に、圧縮
気体によって移動される。この導体ペースト24は、溜
り部26内で筒部35と底36との内周面に沿って矢符
41で示されるように移動し、さらにノズル25の内周
面に接触して案内される。本発明では、ノズル25の高
さHが、幅Lに対して0.5倍以上であるので、ノズル
25の内周面および軸線31付近にある導体ペースト2
4の各部分の軸線31に沿う移動速度が、ノズル25の
開口端43でほぼ均一な分布とすることができる。
【0031】図5は、本発明の実施の他の形態の断面図
である。この実施の形態は、前述の実施の形態に類似
し、対応する部分には同一の参照符を付し、また添え字
を付す。注目すべきはこの実施の形態では溜り部26a
の底36aは、その底36aの軸線31に垂直な断面積
が、ノズル25に向かうにつれて(すなわち図5の下方
になるにつれて)小さくなるように、軸線31に対して
先細状に傾斜して形成される。したがって溜り部26a
内の導体ペースト24は、筒部35aおよび底36aの
内周面に沿って矢符45で示されるように円滑に流れ
て、ノズル25の開口端43では、幅Lの全域にわたっ
てほぼ均一な流量となる。
である。この実施の形態は、前述の実施の形態に類似
し、対応する部分には同一の参照符を付し、また添え字
を付す。注目すべきはこの実施の形態では溜り部26a
の底36aは、その底36aの軸線31に垂直な断面積
が、ノズル25に向かうにつれて(すなわち図5の下方
になるにつれて)小さくなるように、軸線31に対して
先細状に傾斜して形成される。したがって溜り部26a
内の導体ペースト24は、筒部35aおよび底36aの
内周面に沿って矢符45で示されるように円滑に流れ
て、ノズル25の開口端43では、幅Lの全域にわたっ
てほぼ均一な流量となる。
【0032】本件発明者の実施結果を述べる。導体ペー
スト24は、銅を主成分とする粘性体である。ノズル2
5の長さW=0.5mmである。基板21上には、テー
ブル22の移動によって導体ペースト30が、幅L1=
6mm、厚み0.5mm、図1に垂直な方向の長さ50
mmを形成したとき、その導体ペースト30の表面の最
大高低差を導体ペースト30の乾燥後、触針法で測定し
た。また導体ペースト24に代えて、Si系の封止樹脂
であるエポキシ樹脂を同様にして塗布した。
スト24は、銅を主成分とする粘性体である。ノズル2
5の長さW=0.5mmである。基板21上には、テー
ブル22の移動によって導体ペースト30が、幅L1=
6mm、厚み0.5mm、図1に垂直な方向の長さ50
mmを形成したとき、その導体ペースト30の表面の最
大高低差を導体ペースト30の乾燥後、触針法で測定し
た。また導体ペースト24に代えて、Si系の封止樹脂
であるエポキシ樹脂を同様にして塗布した。
【0033】
【表1】
【0034】本発明の実施例1〜6では、H/Lが前述
の式1を満たすとき、最大高低差が比較的小さいことが
判る。これに対して比較例1〜4では、最大高低差が大
きく、実用化が不可能であった。
の式1を満たすとき、最大高低差が比較的小さいことが
判る。これに対して比較例1〜4では、最大高低差が大
きく、実用化が不可能であった。
【0035】こうして本件発明の実施例によれば、電気
絶縁性基板の表面に平坦性の優れた幅広の導体ペースト
の成形体を、複雑な技術、高低を必要とすることなく、
形成することができるようになり、これによってその導
体表面の電子部品などの実装体の傾きを生じることな
く、また実装体下部の気泡が存在しない良好な電子部品
を安価で容易に映像することができる。また封止樹脂を
用いるとき、パッケージとそれを気密に塞ぐ封止キャッ
プとを、封止樹脂によって、封止キャップの傾きを生じ
ることなく、パッケージと封止キャップとの接触面積を
広くし、気密性を向上することができ、このことは特に
半導体パッケージなどにおいて重要である。
絶縁性基板の表面に平坦性の優れた幅広の導体ペースト
の成形体を、複雑な技術、高低を必要とすることなく、
形成することができるようになり、これによってその導
体表面の電子部品などの実装体の傾きを生じることな
く、また実装体下部の気泡が存在しない良好な電子部品
を安価で容易に映像することができる。また封止樹脂を
用いるとき、パッケージとそれを気密に塞ぐ封止キャッ
プとを、封止樹脂によって、封止キャップの傾きを生じ
ることなく、パッケージと封止キャップとの接触面積を
広くし、気密性を向上することができ、このことは特に
半導体パッケージなどにおいて重要である。
【0036】
【発明の効果】請求項1の本発明によれば、導体ペース
トまたは封止樹脂などの粘性体を、ノズルの幅Lの全域
に均一な流量で吐出することができ、これによってその
部材の表面上に付着した粘性体の厚みを、前記幅L方向
に均一とし、その付着された粘性体の表面を平坦にし、
凹凸の発生を防ぐことができる。これによって前記部材
がたとえば電気絶縁性基板であって、その上に粘性体で
ある導体ペーストが付着形成される電子部品では、比較
的厚い導体を基板上に配線して形成することができ、導
体ペーストに接続されるべき電子部品が、基板に対して
傾斜することがなく、電気的接続が確実になるととも
に、図8(1)に関連して前述した気泡が発生すること
はなく、電気的接続を充分に行うことができ、さらに電
子部品から基板への熱放散を充分に行うことができるよ
うになる。また粘性体が封止樹脂であるとき、電子部品
のパッケージを確実に気密に封止することができるよう
になる。
トまたは封止樹脂などの粘性体を、ノズルの幅Lの全域
に均一な流量で吐出することができ、これによってその
部材の表面上に付着した粘性体の厚みを、前記幅L方向
に均一とし、その付着された粘性体の表面を平坦にし、
凹凸の発生を防ぐことができる。これによって前記部材
がたとえば電気絶縁性基板であって、その上に粘性体で
ある導体ペーストが付着形成される電子部品では、比較
的厚い導体を基板上に配線して形成することができ、導
体ペーストに接続されるべき電子部品が、基板に対して
傾斜することがなく、電気的接続が確実になるととも
に、図8(1)に関連して前述した気泡が発生すること
はなく、電気的接続を充分に行うことができ、さらに電
子部品から基板への熱放散を充分に行うことができるよ
うになる。また粘性体が封止樹脂であるとき、電子部品
のパッケージを確実に気密に封止することができるよう
になる。
【0037】請求項2の本発明によれば、ノズルの移動
方向長さWが幅Lの0.5倍であって偏平であっても、
その幅Lが2mm以上であるとき、幅Lの全域にわたり
均一な流量で粘性体を吐出することができる。
方向長さWが幅Lの0.5倍であって偏平であっても、
その幅Lが2mm以上であるとき、幅Lの全域にわたり
均一な流量で粘性体を吐出することができる。
【0038】請求項3の本発明によれば、ノズル本体か
らの粘性体は、スロート部で一旦、絞られた後、溜り部
で減速され、その後も、ノズルに導かれるので、ノズル
からは幅Lの全域にわたって均一な流量で粘性体を吐出
することが可能になる。
らの粘性体は、スロート部で一旦、絞られた後、溜り部
で減速され、その後も、ノズルに導かれるので、ノズル
からは幅Lの全域にわたって均一な流量で粘性体を吐出
することが可能になる。
【0039】請求項4の本発明によれば、溜り部の底
を、ノズルに向かって先細状に傾斜して形成することに
よって、ノズルの幅Lの全域にわたり、さらに一層均一
な流量で粘性体を吐出することができるようになる。
を、ノズルに向かって先細状に傾斜して形成することに
よって、ノズルの幅Lの全域にわたり、さらに一層均一
な流量で粘性体を吐出することができるようになる。
【図1】本発明の実施の一形態の描画装置の全体の構成
を示す断面図である。
を示す断面図である。
【図2】ノズル25付近の一部の斜視図である。
【図3】ノズル25の斜視図である。
【図4】図1〜図3に示される実施の形態において、導
体ペースト24が流れる状態を示す図である。
体ペースト24が流れる状態を示す図である。
【図5】本発明の実施の他の形態の断面図である。
【図6】或る提案された技術を示す断面図である。
【図7】図6に示される技術におけるノズル5付近の斜
視図である。
視図である。
【図8】図6および図7に示されるノズル5から吐出さ
れた基板1上の配線パターン10の断面図である。
れた基板1上の配線パターン10の断面図である。
21 基板 22 テーブル 23 描画部 24,30 導体ペースト 25 ノズル 26 溜り部 27 スロート部 28 シリンダ 31 軸線 32 加圧源
Claims (5)
- 【請求項1】 粘性体を吐出するノズルと、 ノズルからの粘性体が付着される部材と、ノズルとを、
相対的に予め定める移動方向に移動する移動手段とを含
む描画装置において、 ノズルは、軸線に直角な断面がその軸線方向に一様に形
成され、 ノズルの前記移動方向に垂直な幅L、軸線方向の高さH
は、 0.5 ≦ H/L に選ばれることを特徴とする描画装置。 - 【請求項2】 ノズルの前記移動方向の長さをWとする
とき、 W/L ≦ 0.5 に選ばれ、 前記幅Lは、 2mm ≦ L に選ばれることを特徴とする請求項1記載の描画装置。 - 【請求項3】 ノズルと、溜り部と、スロート部と、前
記溜り部に粘性体を供給するためのシリンダとが、上下
に延びる一直線上に軸線をそれぞれ有して下から上にこ
の順序で連結され、 溜り部は、ノズルの前記長さWよりも移動方向に長く、
および/または前記幅Lよりも長く、形成され、 シリンダの上部に、シリンダ内に圧縮気体を供給する加
圧源が連結されることを特徴とする請求項1または2記
載の描画装置。 - 【請求項4】 スロート部は、溜り部の断面積よりも小
さい断面積を有し、 シリンダは、スロート部の断面積よりも大きい断面積を
有することを特徴とする請求項3記載の描画装置。 - 【請求項5】 溜り部の底は、その底の断面積がノズル
に向うにつれて小さくなるように、軸線に対して傾斜し
て形成されることを特徴とする請求項1〜4のうちの1
つに記載の描画装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11218127A JP2001044602A (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11218127A JP2001044602A (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 描画装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001044602A true JP2001044602A (ja) | 2001-02-16 |
Family
ID=16715069
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11218127A Pending JP2001044602A (ja) | 1999-07-30 | 1999-07-30 | 描画装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2001044602A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007044100A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Genchi Kenkyusho:Kk | 発熱体の製造方法および製造装置 |
US7669780B2 (en) | 2003-12-24 | 2010-03-02 | Panasonic Corporation | Fluid supply nozzle, substrate processing apparatus and substrate processing method |
JP2014052519A (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-20 | Fujikura Ltd | 樹脂塗布装置及びそれを用いた光ファイバケーブルの製造方法 |
WO2015001925A1 (ja) * | 2013-07-04 | 2015-01-08 | スリーボンドファインケミカル株式会社 | 塗布装置及び塗布装置の制御方法 |
WO2021014610A1 (ja) * | 2019-07-24 | 2021-01-28 | 旭サナック株式会社 | ノズル、および液体噴射装置 |
-
1999
- 1999-07-30 JP JP11218127A patent/JP2001044602A/ja active Pending
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7669780B2 (en) | 2003-12-24 | 2010-03-02 | Panasonic Corporation | Fluid supply nozzle, substrate processing apparatus and substrate processing method |
JP2007044100A (ja) * | 2005-08-08 | 2007-02-22 | Genchi Kenkyusho:Kk | 発熱体の製造方法および製造装置 |
JP2014052519A (ja) * | 2012-09-07 | 2014-03-20 | Fujikura Ltd | 樹脂塗布装置及びそれを用いた光ファイバケーブルの製造方法 |
WO2015001925A1 (ja) * | 2013-07-04 | 2015-01-08 | スリーボンドファインケミカル株式会社 | 塗布装置及び塗布装置の制御方法 |
CN105451894A (zh) * | 2013-07-04 | 2016-03-30 | 三键精密化学有限公司 | 涂敷装置及涂敷装置的控制方法 |
JPWO2015001925A1 (ja) * | 2013-07-04 | 2017-02-23 | 株式会社スリーボンド | 塗布装置及び塗布装置の制御方法 |
WO2021014610A1 (ja) * | 2019-07-24 | 2021-01-28 | 旭サナック株式会社 | ノズル、および液体噴射装置 |
JPWO2021014610A1 (ja) * | 2019-07-24 | 2021-01-28 | ||
CN114126764A (zh) * | 2019-07-24 | 2022-03-01 | 旭灿纳克株式会社 | 喷嘴及液体喷射装置 |
JP7312486B2 (ja) | 2019-07-24 | 2023-07-21 | 旭サナック株式会社 | 液体噴射装置 |
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---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060403 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060725 |