KR102322679B1 - 진공 건조 장치 - Google Patents

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Abstract

진공 건조 장치는 기판 상에 토출시킨 약액에 잔류하는 솔벤트를 제거하도록 상기 약액을 진공 분위기에서 건조시키는 것으로써, 진공 챔버, 스테이지, 지지핀들, 가이드부들, 구동부를 포함할 수 있다. 상기 진공 챔버는 상기 진공 분위기를 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 스테이지는 상기 진공 챔버에 투입되는 상기 기판이 안착되도록 구비될 수 있다. 상기 지지핀들은 상기 스테이지에 안착되는 상기 기판의 이면을 접촉 지지하도록 구비될 수 있다. 상기 가이드부들은 상기 지지핀들 각각이 상기 스테이지의 후면으로부터 전면으로 상승하거나 또는 상기 전면으로부터 후면으로 하강할 수 있게 상기 지지핀들 각각을 가이드하는 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 구동부는 상기 지지핀들 각각이 상기 가이드부들 각각을 통하여 상승 또는 하강될 수 있게 상기 지지핀에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다.

Description

진공 건조 장치{VACUUM DRYER}
본 발명은 진공 건조 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 기판 상에 토출시킨 약액에 잔류하는 솔벤트를 제거하도록 약액을 진공 분위기에서 건조시키는 진공 건조 장치에 관한 것이다.
유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에서는 기판 상에 컬러 필터 등과 같은 패턴을 형성하는 공정을 수행할 수 있는데, 이러한 패턴을 형성하는 공정은 주로 포토리소그래피 공정일 수 있다.
포토리소그래피 공정은 기판 상에 포토레지스트를 도포하는 공정, 포토레지스트에 잔류하는 솔벤트를 제거하는 공정, 포토레지스트를 베이킹시키는 공정, 포토레지스트를 노광시키는 공정, 포토레지스트를 현상하는 공정 등으로 이루어질 수 있다.
그리고 포토레지스트에 잔류하는 솔벤트를 제거하는 공정은 진공 건조 장치를 사용하여 기판에 도포시킨 포토레지스트를 진공 분위기에서 건조시킴에 의해 달성할 수 있다.
언급한 진공 건조 장치에는 스테이지에 안착되는 기판의 이면을 접촉 지지하는 지지핀들이 구비될 수 있고, 지지핀들은 기판의 다양한 크기에 따라 대응할 수 있도록 스테이지의 다양한 위치에 형성하는 탭들 각각에 삽입 설치되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
아울러 지지핀들 및 탭들 각각은 기판의 다양한 크기에 따라 대응할 수 있도록 구비될 수 있다. 여기서, 기판의 다양한 크기에 따른 대응은 디스플레이 소자의 제조 모델 변경으로 스테이지에 안착되는 기판의 크기가 달라질 경우 지지핀들 각각을 탭들 각각으로부터 탈거한 후 달라진 기판의 크기에 적합한 탭들 각각에 지지핀들 각각을 재배치시켜 삽입 설치함에 의해 달성할 수 있다.
그러나 기판의 다양한 크기에 따른 대응을 위한 지지핀들의 탈거 및 삽입 설치는 작업자의 수작업으로 이루어지기 때문에 공정 시간이 상대적으로 길어질 수 있고, 그 결과 디스플레이 소자의 제조에 따른 생산성 저하를 초래할 수도 있을 것이다.
또한, 지지핀들 각각을 탭들 각각으로부터 탈거할 때 파티클이 발생할 수도 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도가 저하될 수도 있을 것이다.
본 발명의 일 과제는 디스플레이 소자의 제조 모델 변경으로 스테이지에 안착되는 기판의 크기가 달리질 경우에도 기판을 지지하는 지지핀들을 보다 신속하게 재배치할 수 있을 뿐만 아니라 지지핀들의 재배치시 파티클의 발생까지도 최소화할 수 있는 진공 건조 장치를 제공하는데 있다.
상기 본 발명의 일 과제를 달성하기 위한 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치는 기판 상에 토출시킨 약액에 잔류하는 솔벤트를 제거하도록 상기 약액을 진공 분위기에서 건조시키는 것으로써, 진공 챔버, 스테이지, 지지핀들, 가이드부들, 구동부를 포함할 수 있다. 상기 진공 챔버는 상기 진공 분위기를 제공하도록 구비될 수 있다. 상기 스테이지는 상기 진공 챔버에 투입되는 상기 기판이 안착되도록 구비될 수 있다. 상기 지지핀들은 상기 스테이지에 안착되는 상기 기판의 이면을 접촉 지지하도록 구비될 수 있다. 상기 가이드부들은 상기 지지핀들 각각이 상기 스테이지의 후면으로부터 전면으로 상승하거나 또는 상기 전면으로부터 후면으로 하강할 수 있게 상기 지지핀들 각각을 가이드하는 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다. 상기 구동부는 상기 지지핀들 각각이 상기 가이드부들 각각을 통하여 상승 또는 하강될 수 있게 상기 지지핀에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다. 그리고 상기 기판은 서로 다른 크기를 갖는 적어도 두 개의 제1 기판 및 제2 기판을 포함하고, 상기 진공 챔버는 상기 제1 기판 및 제2 기판을 수용하는 크기를 갖고, 상기 스테이지는 상기 제1 기판 및 제2 기판이 안착되는 크기를 가질 때, 상기 스테이지에 상기 제1 기판이 안착될 때에는 상기 지지핀들 중에서 상기 제1 기판의 이면을 접촉 지지하는 구성을 갖는 지지핀들 각각이 상기 가이드부들 각각으로부터 상승될 수 있고, 상기 스테이지에 상기 제2 기판이 안착될 때에는 상기 지지핀들 중에서 상기 제2 기판의 이면을 접촉 지지하는 구성을 갖는 지지핀들 각각이 상기 가이드부들 각각으로부터 상승될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 기판은 서로 다른 크기를 갖는 제1 내지 제n 기판(n은 2이상의 자연수)을 포함하고, 상기 진공 챔버는 상기 제1 내지 제n 기판을 수용하는 크기를 갖고, 상기 스테이지는 상기 제1 내지 제n 기판이 안착되는 크기를 가질 때, 상기 스테이지에 상기 제1 기판이 안착될 때에는 상기 지지핀들 중에서 상기 제1 기판의 이면을 접촉 지지하는 구성을 갖는 지지핀들 각각이 상기 가이드부들 각각으로부터 상승될 수 있고, 상기 스테이지에 상기 제n 기판이 안착될 때에는 상기 지지핀들 중에서 상기 제n 기판의 이면을 접촉 지지하는 구성을 갖는 지지핀들 각각이 상기 가이드부들 각각으로부터 상승될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 구동부는 상기 지지핀들 각각에 개별적으로 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 지지핀들이 행 방향 또는 열 방향을 따라 일정 간격을 갖도록 배치될 때, 상기 구동부는 상기 행 방향 또는 열 방향을 따라 배치되는 지지핀들에 한 번에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다.
예시적인 실시예들에 있어서, 상기 행 방향 또는 열 방향을 따라 배치되는 지지핀들을 서로 연결하는 연결 플레이트를 더 포함하고, 상기 구동부는 상기 연결 플레이트에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치는 디스플레이 소자의 제조 모델 변경으로 스테이지에 안착되는 기판의 크기가 달리질 경우에도 기판을 지지하는 지지핀들을 보다 신속하게 재배치할 수 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 소요되는 공정 시간을 단축시킬 수 있을 것이고, 그 결과 생산성의 향상을 기대할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치는 지지핀들의 재배치 및 설치시에 발생하는 파티클을 최소화할 수 있기 때문에 디스플레이 소자의 제조에 따른 공정 신뢰도의 향상을 기대할 수 있다.
다만, 본 발명의 효과는 상기 언급한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 2는 도 1의 진공 건조 장치에서의 스테이지, 지지핀들 및 가이드부들을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3은 도 1의 진공 건조 장치에 제1 기판이 안착되는 구성을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 4는 도 1의 진공 건조 장치에 제2 기판이 안착되는 구성을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 5는 도 1의 진공 건조 장치에서의 지지핀들을 서로 연결하는 연결 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 실시예를 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "이루어진다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일한 참조 부호를 사용하고 동일한 구성 요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다.
도 1은 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치를 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 2는 도 1의 진공 건조 장치에서의 스테이지, 지지핀들 및 가이드부들을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치(100)는 기판 상에 토출한 약액에 잔류하는 유기 용제를 제거하는 공정에 적용하기 위한 것으로써, 특히 디스플레이 소자의 제조에 따른 포토리소그래피 공정에서 기판 상에 토출한 포토레지스트에 잔류하는 솔벤트를 제거하는 공정에 적용하기 위한 것이다.
그리고 기판 상에 토출한 포토레지스트 등과 같은 약액에 잔류하는 솔벤트 등의 제거는 진공 분위기에서 이루어질 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치(100)는 진공 챔버(11), 스테이지(13), 지지핀(15)들, 가이드부(17)들, 구동부(19) 등을 포함할 수 있다.
진공 챔버(11)는 기판 상에 토출한 약액에 잔류하는 솔벤트의 제거시 진공 분위기를 제공하도록 구비되는 것으로써, 진공 분위기의 형성 및 제공을 위하여 외부와 보다 긴밀하게 차단되는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
또한, 진공 펌프 등의 진공 흡입력에 의해 진공 분위기를 제공할 수 있기에 진공 챔버(11)는 진공 펌프 등과 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
그리고 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치(100)는 다양한 크기의 기판들 모두에 대응하도록 구비될 수 있는 것으로써, 디스플레이 소자의 제조 모델 변경으로 기판의 크기가 달라질 경우에도 대응 가능하도록 구비될 수 있는 것이다.
따라서 진공 챔버(11)는 서로 다른 크기를 갖는 기판들을 수용하는 크기를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 제1 크기를 갖는 제1 기판보다 큰 제2 크기를 갖는 제2 기판을 수용하는 크기를 갖도록 구비될 수 있다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따르면, 언급한 제1 기판 및 제2 기판에 한정되는 것이 아니라 제n 기판(n은 2이상의 자연수)까지 확장할 수 있을 것이다.
여기서, 제n 기판은 제n-1 기판보다 큰 크기를 가질 수 있고, 제n-1 기판은 제n-2 기판보다 큰 크기를 가질 수 있고, 그리고 언급한 바와 같이 제2 기판은 제1 기판보다 큰 크기를 가질 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치(100)의 진공 챔버(11)는 기판이 제n 기판까지 확장될 경우 제n 기판을 수용하는 크기를 갖도록 구비될 수 있다.
스테이지(13)는 기판이 안착되도록 구비될 수 있는 것으로써, 진공 챔버(11)로 투입되는 기판이 안착될 수 있게 진공 챔버(11) 내부에 배치되도록 구비될 수 있다.
그리고 스테이지(13) 또한 제1 기판보다 큰 제2 기판이 안착되는 크기를 가질 수 있고, 나아가 기판이 제n 기판까지 확장될 경우 제n 기판을 수용하는 크기를 갖도록 구비될 수 있다.
지지핀(15)들은 기판 상에 토출시킨 포토레지스트 등과 같은 솔벤트의 제거시 기판의 이면을 접촉 지지하도록 구비될 수 있는 것으로써, 스테이지(13)에 안착되는 기판의 이면을 접촉 지지하도록 구비될 수 있다.
그리고 지지핀(15)들은 기판의 이면을 점접촉하는 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
또한, 지지핀(15)들은 스테이지(13)의 전체면에 고른 분포를 갖도록 배치될 수 있는데, 셀 영역으로 형성되는 기판의 이면 쪽에 배치될 경우 최종적으로 제조되는 디스플레이 소자에 불량 요인을 야기시킬 수 있기 때문에 패드 영역으로 형성되는 기판의 이면 쪽에만 고른 분포를 갖도록 배치될 수 있다.
가이드부(17)들은 지지핀(15)들을 수용하는 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있는 것으로써, 지지핀(15)들 각각이 스테이지(13)의 후면으로부터 전면으로 상승하거나 또는 스테이지(13)의 전면으로부터 후면으로 하강할 수 있게 지지핀(15)들 각각을 가이드하는 홀 구조를 갖도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치(100)는 기판이 스테이지(13)에 안착될 때에는 지지핀(15)들 각각이 가이드부(17)들 각각을 통하여 스테이지(13) 전면으로 상승하여 기판의 이면을 접촉 지지할 수 있을 것이고, 기판이 스테이지(13)에 안착되지 않을 때에는 지지핀(15)들 각각이 가이드부(17)를 각각을 통하여 스테이지(13) 후면으로 하강할 수 있을 것이다.
구동부(19)는 지지핀(15)들 각각이 가이드부(17)들 각각을 통하여 상승 또는 하강될 수 있게 지지핀(15)에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다. 특히, 구동부(19)는 지지핀(15)들 각각과 연결되는 구조를 갖도록 구비됨으로써 기판이 스테이지(13)에 안착될 때 구동부(19)의 구동력에 의해 지지핀(15)들 각각이 가이드부(17)들 각각을 통하여 스테이지(13) 전면으로 상승하여 기판의 이면을 접촉 지지할 수 있을 것이다.
구동부(19)는 압전 소자, 초소형 모터, 초소형 실린더 등으로 이루어질 수 있다.
그리고 구동부(19)가 회전 운동을 하도록 구비될 경우 구동부(19)와 지지핀(15)들 사이에는 구동부(19)의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 변환 부재(transducer) 등이 구비될 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치(100)는 언급한 바와 같이 디스플레이 소자의 제조 모델 변경으로 기판의 크기가 달라질 경우에도 대응 가능하도록 구비될 수 있는 것으로써, 스테이지(13)에 제1 기판이 안착될 때에는 지지핀(15)들 중에서 제1 기판의 이면을 접촉 지지하는 구성을 갖는 지지핀(15)들 각각이 가이드부(17)들 각각으로부터 상승될 수 있게 구비될 수 있고, 스테이지(13)에 제1 기판보다 큰 제2 기판이 안착될 때에는 지지핀(15)들 중에서 제2 기판의 이면을 접촉 지지하는 구성을 갖는 지지핀(15)들 각각이 가이드부(17)들 각각으로부터 상승될 수 있게 구비될 수 있다.
나아가, 제1 기판 및 제2 기판에 한정되는 것이 아니라 언급한 바와 같이 제n 기판까지 확장될 경우 스테이지(13)에 제n 기판이 안착될 때에는 지지핀(15)들 중에서 제n 기판의 이면을 접촉 지지하는 구성을 갖는 지지핀(15)들 각각이 가이드부(17)들 각각으로부터 상승될 수 있게 구비될 수 있다.
이하, 언급한 제1 기판의 안착에 대한 구성 및 제2 기판의 안착에 대한 구성에 대하여 설명하기로 하는데, 제1 기판은 50인치 크기를 가질 수 있을 것이고, 제2 기판은 58인치 크기를 가질 수 있을 것이다.
도 3은 도 1의 진공 건조 장치에 제1 기판이 안착되는 구성을 설명하기 위한 개략적인 도면이고, 도 4는 도 1의 진공 건조 장치에 제2 기판이 안착되는 구성을 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 스테이지(13)는 동일 크기를 갖는 것으로써, 도 3에서와 같이 8분할하는 구성을 갖거나 또는 도 4에서와 같이 6분할하는 구성을 가질 수 있다.
먼저 도 3을 참조하면, 8분할하는 구성을 갖는 스테이지(13)에는 50인치의 크기를 갖는 제1 기판이 안착될 수 있다. 특히, 8분할함에 의해 스테이지(13) 전체 8개면 중에서 6개면을 차지하도록 제1 기판이 안착될 수 있다.
이에, 제1 기판이 스테이지(13)로 안착될 경우에는 8개면 중에서 제1 기판이 안착 및 차지하는 6개면에서의 지지핀(15)들 각각이 가이드부(17)들 각각으로부터 상승되어 제1 기판의 이면을 접촉 지지할 수 있을 것이다.
그리고 도 4를 참조하면, 6분할하는 구성을 갖는 스테이지(13)에는 58인치의 크기를 갖는 제2 기판이 안착될 수 있다. 특히, 6분할함에 의해 스테이지(13) 전체 6개면을 차지하도록 제2 기판이 안착될 수 있다.
이에, 제2 기판이 스테이지(13)로 안착될 경우에는 제2 기판이 안착 및 차지하는 6개면에서의 지지핀(15)들 각각이 가이드부(17)들 각각으로부터 상승되어 제2 기판의 이면을 접촉 지지할 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치(100)에서는 8분할함에 따른 8개면 중에서 제1 기판이 안착되는 6개면에서의 지지핀(15)들의 상승 및 6분할함에 따른 전체면인 제2 기판이 안착되는 6개면에서의 지지핀(15)들의 상승은 지지핀(15)들에 구동력을 제공하는 구동부(19)의 작동을 제어함에 의해 달성할 수 있을 것이다.
아울러, 구동부(19)의 작동에 대한 제어는 기판의 크기별에 따라 구동부(19)의 작동을 제어하는 제어 프로그램에 의해 달성할 수 있을 것이다.
따라서 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치(100)는 디스플레이 소자의 제조 모델 변경으로 스테이지(13)에 안착되는 기판의 크기가 달리질 경우에도 기판을 지지하는 지지핀(15)들을 보다 신속하게 재배치하여 기판의 이면을 접촉 지지할 수 있을 것이다.
또한, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치(100)는 기판의 크기에 따라 지지핀(15)들을 재배치할 때 지지핀(15)들 각각을 지지핀(15)들을 수용하는 가이드부(17)들 각각으로부터 상승 및 하강시킬 수 있기 때문에 지지핀(15)들의 재배치 및 설치에 따른 파티클의 발생도 최소화할 수 있을 것이다.
구동부(19)는 지지핀(15)들 각각에 개별적으로 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다. 이 경우, 구동부(19)는 지지핀(15)들 각각과 연결되는 구조를 갖도록 구비될 수 있을 것이다.
이와 달리, 지지핀(15)들이 행 방향 또는 열 방향을 따라 일정 간격을 갖도록 배치될 때, 구동부(19)는 행 방향 또는 열 방향을 따라 배치되는 지지핀(15)들에 한 번에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있을 것이다.
일예로, 구동부(19)는 도 2의 A 영역에서와 같이 행 방향을 따라 배치되는 지지핀(15)들에 한 번에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있는 것이다.
도 5는 도 1의 진공 건조 장치에서의 지지핀들을 서로 연결하는 연결 플레이트를 설명하기 위한 개략적인 도면이다.
도 5를 참조하면, 구동부(19)가 행 방향 또는 열 방향을 따라 배치되는 지지핀(15)들에 한 번에 구동력을 제공하도록 구비될 경우 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치(100)는 행 방향 또는 열 방향을 따라 배치되는 지지핀(15)들을 서로 연결하는 연결 플레이트(51)를 더 구비할 수 있다.
그리고 구동부(19)는 연결 플레이트(51)에 구동력을 제공하도록 구비될 수 있다.
이에, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치(100)는 구동부(19)를 사용하여 연결 플레이트(51)에 구동력을 제공함으로써 연결 플레이트(51)에 서로 연결되는 지지핀(15)들이 한 번에 상승 또는 하강할 수 있을 것이다.
언급한 바와 같이, 본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치(100)는 연결 플레이트(51)를 구비함으로써 행 방향 또는 열 방향에 배치되는 지지핀(15)들을 한 번의 구동력으로도 상승 및 하강시킬 수 있을 것이고, 그 결과 구동부(19)의 개수를 충분히 줄일 수 있을 것이다.
본 발명의 예시적인 실시예들에 따른 진공 건조 장치는 기판에 도포하는 약액, 특히 포토레지스트로부터 솔벤트를 제거하기 위한 것에 적용할 수 있기에 유기 EL 소자 등과 같은 디스플레이 소자의 제조에 보다 적극적으로 사용할 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
11 : 진공 챔버 13 : 스테이지
15 : 지지핀 17 : 가이드부
19 : 구동부 51 : 연결 플레이트
100 : 진공 건조 장치

Claims (5)

  1. 기판 상에 토출시킨 약액에 잔류하는 솔벤트를 제거하도록 상기 약액을 진공 분위기에서 건조시키는 진공 건조 장치에 있어서,
    상기 진공 분위기를 제공하는 진공 챔버와, 상기 진공 챔버에 투입되는 상기 기판이 안착되는 스테이지와, 상기 스테이지에 안착되는 상기 기판의 이면을 접촉 지지하는 지지핀들과, 상기 지지핀들 각각이 상기 스테이지의 후면으로부터 전면으로 상승하거나 또는 상기 전면으로부터 후면으로 하강할 수 있게 상기 지지핀들 각각을 가이드하는 홀 구조를 갖도록 구비되는 가이드부들, 및 상기 지지핀들 각각이 상기 가이드부들 각각을 통하여 상승 또는 하강될 수 있게 상기 지지핀에 구동력을 제공하는 구동부를 포함하되,
    상기 기판은 서로 다른 크기를 갖는 적어도 두 개의 제1 기판 및 제2 기판을 포함하되, 상기 제2 기판이 상기 제1 기판보다 큰 면적을 가짐에 따라 상기 진공 챔버는 상기 제2 기판을 수용하는 크기를 갖고, 상기 스테이지는 상기 제2 기판이 안착되는 크기를 가짐과 아울러 적어도 두 개로 분할되는 분할 영역들을 갖도록 구비될 때,
    상기 스테이지에 상기 제1 기판이 안착될 때에는 상기 지지핀들 중에서 상기 제1 기판의 이면을 접촉 지지하는 구성을 갖는 지지핀들 각각이 상기 가이드부들 각각으로부터 상승될 수 있고, 상기 스테이지에 상기 제2 기판이 안착될 때에는 상기 지지핀들 중에서 상기 제2 기판의 이면을 접촉 지지하는 구성을 갖는 지지핀들 각각이 상기 가이드부들 각각으로부터 상승될 수 있는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 기판은 서로 다른 크기를 갖는 제1 내지 제n 기판(n은 2이상의 자연수)을 포함하고, 상기 진공 챔버는 상기 제1 내지 제n 기판을 수용하는 크기를 갖고, 상기 스테이지는 상기 제1 내지 제n 기판이 안착되는 크기를 가질 때,
    상기 스테이지에 상기 제1 기판이 안착될 때에는 상기 지지핀들 중에서 상기 제1 기판의 이면을 접촉 지지하는 구성을 갖는 지지핀들 각각이 상기 가이드부들 각각으로부터 상승될 수 있고, 상기 스테이지에 상기 제n 기판이 안착될 때에는 상기 지지핀들 중에서 상기 제n 기판의 이면을 접촉 지지하는 구성을 갖는 지지핀들 각각이 상기 가이드부들 각각으로부터 상승될 수 있는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 구동부는 상기 지지핀들 각각에 개별적으로 구동력을 제공하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  4. 제1 항에 있어서,
    상기 지지핀들이 행 방향 또는 열 방향을 따라 일정 간격을 갖도록 배치될 때, 상기 구동부는 상기 행 방향 또는 열 방향을 따라 배치되는 지지핀들에 한 번에 구동력을 제공하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
  5. 제4 항에 있어서,
    상기 행 방향 또는 열 방향을 따라 배치되는 지지핀들을 서로 연결하는 연결 플레이트를 더 포함하고, 상기 구동부는 상기 연결 플레이트에 구동력을 제공하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 진공 건조 장치.
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