KR102305213B1 - 고강도 세이프티 구조의 고성능 풀림방지 기능을 갖는 cmp용 클램프 - Google Patents
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- 238000005498 polishing Methods 0.000 title description 25
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 9
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 8
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 10
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 5
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 4
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 206010017577 Gait disturbance Diseases 0.000 description 3
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 2
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 2
- 239000003082 abrasive agent Substances 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 1
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 1
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- F16B2/00—Friction-grip releasable fastenings
- F16B2/02—Clamps, i.e. with gripping action effected by positive means other than the inherent resistance to deformation of the material of the fastening
- F16B2/06—Clamps, i.e. with gripping action effected by positive means other than the inherent resistance to deformation of the material of the fastening external, i.e. with contracting action
- F16B2/065—Clamps, i.e. with gripping action effected by positive means other than the inherent resistance to deformation of the material of the fastening external, i.e. with contracting action using screw-thread elements
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- F16B—DEVICES FOR FASTENING OR SECURING CONSTRUCTIONAL ELEMENTS OR MACHINE PARTS TOGETHER, e.g. NAILS, BOLTS, CIRCLIPS, CLAMPS, CLIPS OR WEDGES; JOINTS OR JOINTING
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Abstract
본 발명은 고강도 세이프티 구조의 고성능 풀림방지 기능을 갖는 CMP용 클램프에 관한 것이다.
이에, 본 발명의 기술적 요지는 반도체 CMP(Chemical Mechanical Polishing) HEAD의 연결 이음부(중공 파이프의 플렌지 체결부)에 적용되는 고성능 안전 클램프에 관한 것으로, 이는 일측 힌지구를 통해 타측 개구부 측이 개폐되는 그립(Grip)식 또는 채움식 구조의 홀더 링이 한 쌍(복수의 반구 형태가 원형 링 형태로 조합)으로 구비되도록 하되, 상기 홀더 링의 개구부에는 서로를 향해 나사체결되는 암수체결구가 각각 형성되고, 상기 암수체결구 사이에는 회전방지용 와셔와 고강도 탄성 가압구조 및 나사풀림방지 구조의 탄성밀착판(고탄성 플라스틱 구조의 압착판)이 상호 압착되면서 견고하고 기밀한 밀착을 도모하도록 하는 바, 이는 외부 요인(충격, 진동 등)에 의한 나사 풀림현상을 원천적으로 방지함은 물론 간단한 구조 대비 용이한 체결성과 우수한 작업성을 제공하여 높은 작업 효율이 보장되도록 하는 한편, 특히 안정적인 체결구조로 하여금 가압 조건(시간당 압력 진공 누기 체크) 당 최적(최상)의 압력유지 성능이 확보되어 기밀 안전성과 체결 신뢰성이 개선되도록 함은 물론 재사용이 가능하고 제조원가 절감에 따른 생산성과 경제성이 크게 향상되도록 하는 것을 특징으로 한다.
이에, 본 발명은 와셔나 너트 및 탄성밀착판(고탄성 플라스틱 구조의 압착판) 등의 부속이 용이하게 교환 교체될 있도록 함(유지보수 편의성 제공)은 물론 물론 핸드(Hand), 렌찌(Wrench), 스패너(Spanner) 등을 이용한 다양한 타입의 공구 사용의 활용도가 높아 작업자로 하여금 편리한 작업이 가능하도록 하는 것을 특징으로 한다.
이에, 본 발명의 기술적 요지는 반도체 CMP(Chemical Mechanical Polishing) HEAD의 연결 이음부(중공 파이프의 플렌지 체결부)에 적용되는 고성능 안전 클램프에 관한 것으로, 이는 일측 힌지구를 통해 타측 개구부 측이 개폐되는 그립(Grip)식 또는 채움식 구조의 홀더 링이 한 쌍(복수의 반구 형태가 원형 링 형태로 조합)으로 구비되도록 하되, 상기 홀더 링의 개구부에는 서로를 향해 나사체결되는 암수체결구가 각각 형성되고, 상기 암수체결구 사이에는 회전방지용 와셔와 고강도 탄성 가압구조 및 나사풀림방지 구조의 탄성밀착판(고탄성 플라스틱 구조의 압착판)이 상호 압착되면서 견고하고 기밀한 밀착을 도모하도록 하는 바, 이는 외부 요인(충격, 진동 등)에 의한 나사 풀림현상을 원천적으로 방지함은 물론 간단한 구조 대비 용이한 체결성과 우수한 작업성을 제공하여 높은 작업 효율이 보장되도록 하는 한편, 특히 안정적인 체결구조로 하여금 가압 조건(시간당 압력 진공 누기 체크) 당 최적(최상)의 압력유지 성능이 확보되어 기밀 안전성과 체결 신뢰성이 개선되도록 함은 물론 재사용이 가능하고 제조원가 절감에 따른 생산성과 경제성이 크게 향상되도록 하는 것을 특징으로 한다.
이에, 본 발명은 와셔나 너트 및 탄성밀착판(고탄성 플라스틱 구조의 압착판) 등의 부속이 용이하게 교환 교체될 있도록 함(유지보수 편의성 제공)은 물론 물론 핸드(Hand), 렌찌(Wrench), 스패너(Spanner) 등을 이용한 다양한 타입의 공구 사용의 활용도가 높아 작업자로 하여금 편리한 작업이 가능하도록 하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 발명은 반도체 CMP(Chemical Mechanical Polishing) HEAD의 연결 이음부(중공 파이프의 플렌지 체결부)에 적용되는 고성능 안전 클램프에 관한 것으로, 이는 일측 힌지구를 통해 타측 개구부 측이 개폐되는 그립(Grip)식 또는 채움식 구조의 홀더 링이 한 쌍(복수의 반구 형태가 원형 링 형태로 조합)으로 구비되도록 하되, 상기 홀더 링의 개구부에는 서로를 향해 나사체결되는 암수체결구가 각각 형성되고, 상기 암수체결구 사이에는 회전방지용 와셔와 고강도 탄성 가압구조 및 나사풀림방지 구조의 탄성밀착판(고탄성 플라스틱 구조의 압착판)이 상호 압착되면서 견고하고 기밀한 밀착을 도모하도록 하는 것을 특징으로 하는 고강도 세이프티 구조의 고성능 풀림방지 기능을 갖는 CMP용 클램프에 관한 것이다.
이러한 본 발명은 외부 요인(충격, 진동 등)에 의한 나사 풀림현상을 원천적으로 방지함은 물론 간단한 구조 대비 용이한 체결성과 우수한 작업성을 제공하여 높은 작업 효율이 보장되도록 하는 한편, 특히 안정적인 체결구조로 하여금 가압 조건(시간당 압력 진공 누기 체크) 당 최적(최상)의 압력유지 성능이 확보되어 기밀 안전성과 체결 신뢰성이 개선되도록 함은 물론 재사용이 가능하고 제조원가 절감에 따른 생산성과 경제성이 크게 향상되도록 하는 특징이 있다.
이에, 본 발명은 와셔나 너트 및 탄성밀착판(고탄성 플라스틱 구조의 압착판) 등의 부속이 용이하게 교환 교체될 있도록 함(유지보수 편의성 제공)은 물론 물론 핸드(Hand), 렌찌(Wrench), 스패너(Spanner) 등을 이용한 다양한 타입의 공구 사용의 활용도가 높아 작업자로 하여금 편리한 작업이 가능하도록 하는 것을 특징으로 한다.
최근 반도체 웨이퍼 시장에서는 소자의 집적도 증가로 인한 소자 크기의 감소와 그에 따른 복잡한 기능의 집적회로 구현을 위해 필요한 다층 접속 공정이 실용화되고 있으며, 이에 따라 층간절연막(ILD; Interlayer Dielectric)에 있어서 글로벌(global) 평탄화의 중요성이 더해 가고 있는 실정이다.
이에 평탄화 과정은 크게 웨이퍼의 표면을 일정한 두께로 식각(etch back)하는 방법과 고온에서 표면을 녹임으로 평탄화를 달성하는 재흐름(reflow) 방법 그리고 연마제를 사용하여 웨이퍼의 표면을 스크루빙(scrubbing)하여 평탄화시키는 화학적 기계적 연마(Chemical-Mechanical Polishing; 이하 'CMP' 라 한다) 방법 등이 실시되고 있다.
이러한 평탄화 과정 중에 최근에는 CMP 공정이 널리 사용되고 있으며, 이러한 CMP 공정은 화학적인 제거가공과 기계적인 제거가공을 하나의 가공방법으로 종합하여 단차를 가진 웨이퍼 표면에 폴리싱패드를 밀착시킨 후 연마제와 화학물질이 포함된 슬러리(slurry)를 웨이퍼와 폴리싱패드 사이에 주입시켜 웨이퍼의 표면을 평탄화시키는 방식이다.
이에, 종래의 CMP 장치를 살펴보면 도 8에서 보는 바와 같이, 상부에 연마를 위한 연마패드(110)가 부착되고, 회전 가능한 연마테이블(100); 상기 연마패드(110)상에 연마액(10)을 공급하는 연마액노즐(200); 상기 연마테이블(100)의 연마패드(110) 상부 일측에 연마할 웨이퍼(20)를 개재하여 접하고, 상기 연마액노즐(200)에 의해 상기 연마패드(110)상에 공급되는 연마액(10)을 사용하여 웨이퍼(20)를 지지, 가압 및 회전운동 시킴으로써 연마하는 연마헤드(300); 상기 연마테이블(100)의 연마패드(110) 상부 일측과 접하고, 상기 연마헤드(300)에 의해 연마공정이 수행된 상기 연마패드(110)를 컨디셔닝하는 컨디셔너(400);를 포함하여 구성된다.
한편, 상기 연마헤드는 도 9에서 보는 바와 같이, 상측 단부에 수직으로 연장된 연결관이 파이프 형태로 구비되어 클램프에 의해 윗단 관체와 연결되도록 형성된다.
즉, 종래의 클램프는 연결 단부를 조립하면서 이음부를 기밀상태로 확보하면서 외부 충격의 의해 이탈되거나 틈이 생기는 것을 방지 하도록 형성된다.
이러한 종래의 클램프는 도 10에 도시된 바와 같이 한쌍의 본체와 한쌍의 본체(1)를 각각 회동 가능하게 연결하는 링크(2)와 클램프를 고정하기 위한 체결바(3)와 체결바(3)가 이동하는 스크류(4)를 구비하여 구성된다.
그리고, 상기 본체(1)에는 체결바(3)가 삽입되어 결합되는 체결돌기(1a)가 형성된다.
이때, 상기 체결돌기(1a)의 일측에는 체결돌기(1a)에 결합된 체결바(3)의 회전을 방지 하기 위한 회전방지 돌기(1b)가 구비된다.
그러나, 이러한 종래의 클램프는 외부 충격이나 진동에 의해 쉽게 풀리거나 취약한 내구성과 저탄성(약한 탄성 스프링 적용 등) 구조에 의해 자연 풀림 현상이 지속적으로 발생하여 안전상 적지 않은 문제가 발생되고 있는 실정이다.
또한, 종래의 클램프는 체결 작업시 작업자의 숙련도 실수나 부주의로 인해 체결 강도가 약할 경우 불안정한 체결이 야기되는 문제가 발생된다.
또한, 종래의 클램프는 스패너나 드라이버를 가지고 조임 풀림 나사조립 작업을 수행하고 있는 바, 이는 협소한 공간에서 체결 작업이 매우 불편하여 체결성능이 제대로 보장되기 어려운 문제가 발생된다.
아울러, 종래의 클램프는 풀림방지 기능을 부여하기 위해서 서로 나사 방향이 다른 구조의 이중 조립 구조의 부속을 각각 생산하고 있는 실정으로, 이는 각 부속 간 조립과 취급 및 교환 교체가 어려워 제작상 경제성(제조원가 상승)과 생산성 및 유지보수성이 저하되는 문제가 발생되고 있는 실정이다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 기술적 요지는 반도체 CMP(Chemical Mechanical Polishing) HEAD의 연결 이음부(중공 파이프의 플렌지 체결부)에 적용되는 고성능 안전 클램프에 관한 것으로, 이는 일측 힌지구를 통해 타측 개구부 측이 개폐되는 그립(Grip)식 또는 채움식 구조의 홀더 링이 한 쌍(복수의 반구 형태가 원형 링 형태로 조합)으로 구비되도록 하되, 상기 홀더 링의 개구부에는 서로를 향해 나사체결되는 암수체결구가 각각 형성되고, 상기 암수체결구 사이에는 회전방지용 와셔와 고강도 탄성 가압구조 및 나사풀림방지 구조의 탄성밀착판(고탄성 플라스틱 구조의 압착판)이 상호 압착되면서 견고하고 기밀한 밀착을 도모하도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
이에, 본 발명은 외부 요인(충격, 진동 등)에 의한 나사 풀림현상을 원천적으로 방지함은 물론 간단한 구조 대비 용이한 체결성과 우수한 작업성을 제공하여 높은 작업 효율이 보장되도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 안정적인 체결구조로 하여금 가압 조건(시간당 압력 진공 누기 체크) 당 최적(최상)의 압력유지 성능이 확보되어 기밀 안전성과 체결 신뢰성이 개선되도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
이에, 본 발명은 재사용이 가능하고 제조원가 절감에 따른 생산성과 경제성이 크게 향상되도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 와셔나 너트 및 탄성밀착판(고탄성 플라스틱 구조의 압착판) 등의 부속이 용이하게 교환 교체될 있도록 하는 것(유지보수 편의성 제공)을 제공함에 그 목적이 있다.
아울러, 본 발명은 핸드(Hand), 렌찌(Wrench), 스패너(Spanner) 등을 이용한 다양한 타입의 공구 사용의 활용도가 높아 작업자로 하여금 편리한 작업이 가능하도록 하는 것을 제공함에 그 목적이 있다.
이러한 목적을 달성하기 위해 본 발명은 한 쌍으로 원형을 이루는 고리형 홀더 링(100)이 일측 힌지구(200)를 통해 타측 개구부(300)가 개폐되도록 하되, 상기 개구부(300)에는 복수의 로커날개(310,320)가 각각의 홀더 링(100) 단부 바깥측에 형성되어 별도의 숫체결구(400)와 암체결구(500)에 의해 서로 조립되면서 클램핑되도록 하는 CMP용 클램프에 있어서, 상기 숫체결구(400)는 일측 로커날개(310)의 관통공(311)을 기준으로 힌지축(410)을 통해 선회하는 볼트축(420: 숫나사산부 일부 포함)이 구비되어 클램핑 조립시 타측 로커날개(320)의 수납공간(G)으로 볼트축(420)이 회동하도록 형성되고, 상기 암체결구(500)는 타측 로커날개(320)의 수납공간(G)를 향해 회동한 볼트축(420)과 대응되도록 나사탭(511)을 갖는 너트(510)가 구비되도록 하되, 상기 너트(510)와 타측 로커날개(320) 외주 사이에는 결합공(521)을 갖는 와셔(520)가 장착되어 볼트축(420)이 결합공(521)을 관통하면서 삽입되도록 형성되고, 상기 와셔(520)는 너트(510)를 향한 면상에 단차홈(522)이 형성되어 통공(531)을 갖는 접시형 탄성밀착판(530)이 수납되도록 하되, 상기 접시형 탄성밀착판(530)은 너트(510)를 향한 면에 안착홈(532)이 형성되고, 탄성밀착판(530)의 외주면 일측에 탄성리브(533)가 돌출되도록 형성되어 너트(510)의 일단 가압면(512)이 안착홈(532)에 대응되면서 조임 압착되면 탄성리브(533)의 관경이 외측으로 확장되면서 와셔의 단차홈(522) 내주면에 강력하게 밀착되면서 탄성 가압에 의한 나사풀림이 방지되도록 형성된다.
이에, 상기 와셔(520)는 타측 로커날개(320)와 밀착(단차홈의 반대측)되는 면상에 반구 형태의 회전방지용 구면(523)이 형성되도록 하되, 상기 타측 로커날개(320)는 와셔의 회전방지용 구면(523)과 대응되는 면상에 반구형 회전방지용 요홈(321)이 형성되어 와셔의 회전 및 풀림이 방지되도록 형성된다.
또한, 상기 와셔(520)는 단차홈(522)의 내주연 벽면 일측에 걸림턱(524)이 돌출되도록 형성되고, 상기 탄성밀착판(530)의 외측단 일측(탄성리브(533) 아래쪽 외주면)에는 요철홈(534)이 형성되어 서로 대응되면서 끼움 조립되도록 형성(압착시 밀착 면적이 다면적으로 형성되면서 기아치차처럼 물려 회전이 방지되도록 함)된다.
이에, 상기 와셔(520)는 단차홈 내주연 벽면 타측(개구부와 인접한 위치)에 걸림돌기(535)가 형성되어 너트 조임에 의한 탄성밀착판(530)의 탄성리브(533)가 압착 눌림시 외측단(관경 확장면이 옆으로 확장 팽창)이 걸림돌기에 걸려 바깥으로 빠지지 않도록 형성된다.
또한, 상기 너트(510)는 가압면(512)과 반대되는 외측단에 조임 풀림용 볼트머리(513: 육각볼트머리)과 렌찌홈(514)이 형성되어 협소한 공간에서도 나사체결 조임풀림 작업이 편리하도록 형성된다.
이때, 상기 너트(510)는 가압면(512)의 테두리에 쐐기형 보조압착띠(515)가 외측으로 더 돌출되도록 형성되어 누름시 탄성밀착판(530)의 탄성리브(533) 측 관경 확장을 보다 강하게 밀어붙일 수 있도록 형성된다.
아울러, 상기 탄성밀착판(530)은 재질이 플라스틱을 포함한 합성수지재로 형성되고, 허니컴 구조로 형성되어 탄성에 의한 신축성이 강화되고 내구성이 강화되도록 형성된다.
이와 같이, 본 발명은 고성능 안전 클램프에 관한 것으로, 이는 일측 힌지구를 통해 타측 개구부 측이 개폐되는 그립(Grip)식 또는 채움식 구조의 홀더 링이 한 쌍(복수의 반구 형태가 원형 링 형태로 조합)으로 구비되도록 하되, 상기 홀더 링의 개구부에는 서로를 향해 나사체결되는 암수체결구가 각각 형성되고, 상기 암수체결구 사이에는 회전방지용 와셔와 고강도 탄성 가압구조 및 나사풀림방지 구조의 탄성밀착판(고탄성 플라스틱 구조의 압착판)이 상호 압착되면서 견고하고 기밀한 밀착을 도모하도록 하는 효과가 있다.
이에, 본 발명은 외부 요인(충격, 진동 등)에 의한 나사 풀림현상을 원천적으로 방지함은 물론 간단한 구조 대비 용이한 체결성과 우수한 작업성을 제공하여 높은 작업 효율이 보장되도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 안정적인 체결구조로 하여금 가압 조건(시간당 압력 진공 누기 체크) 당 최적(최상)의 압력유지 성능이 확보되어 기밀 안전성과 체결 신뢰성이 개선되도록 하는 효과가 있다.
이에, 본 발명은 재사용이 가능하고 제조원가 절감에 따른 생산성과 경제성이 크게 향상되도록 하는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 와셔나 너트 및 탄성밀착판(고탄성 플라스틱 구조의 압착판) 등의 부속이 용이하게 교환 교체될 있도록 하는 효과가 있다.(유지보수 편의성 제공)
아울러, 본 발명은 핸드(Hand), 렌찌(Wrench), 스패너(Spanner) 등을 이용한 다양한 타입의 공구 사용의 활용도가 높아 작업자로 하여금 편리한 작업이 가능하도록 하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 클램프가 구비된 CMP 장비의 일 예시도,
도 2는 본 발명에 따른 클램프가 체결 연결부에 적용된 것을 나타낸 요부 확대 사시도,
도 3 내지 도 4는 본 발명에 따른 클램프의 개략적 사시도 및 요부 확대 예시도,
도 5 내지 도 6은 본 발명의 클램프에 풀림방지 기능이 부가된 것을 나타낸 측단면와 사용상태 예시도,
도 7은 본 발명의 선택적인 실시예로서, 걸림돌기와 보조압착띠 및 공간확보홈이 더 형성되는 것을 나타낸 예시도,
도 8 내지 도 9는 일반적인 CMP 장비를 나타낸 예시도,
도 10은 종래의 클램프를 나타낸 예시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 클램프가 체결 연결부에 적용된 것을 나타낸 요부 확대 사시도,
도 3 내지 도 4는 본 발명에 따른 클램프의 개략적 사시도 및 요부 확대 예시도,
도 5 내지 도 6은 본 발명의 클램프에 풀림방지 기능이 부가된 것을 나타낸 측단면와 사용상태 예시도,
도 7은 본 발명의 선택적인 실시예로서, 걸림돌기와 보조압착띠 및 공간확보홈이 더 형성되는 것을 나타낸 예시도,
도 8 내지 도 9는 일반적인 CMP 장비를 나타낸 예시도,
도 10은 종래의 클램프를 나타낸 예시도이다.
다음은 첨부된 도면을 참조하며 본 발명을 보다 상세히 설명하겠다.
먼저, 도 1 내지 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명은 한 쌍으로 원형을 이루는 고리형 홀더 링(100)이 일측 힌지구(200)를 통해 타측 개구부(300)가 개폐되도록 하되, 상기 개구부(300)에는 복수의 로커날개(310,320)가 각각의 홀더 링(100) 단부 바깥측에 형성되어 별도의 숫체결구(400)와 암체결구(500)에 의해 서로 조립되면서 클램핑되도록 형성된다.
이에, 상기 상기 숫체결구(400)는 일측 로커날개(310)의 관통공(311)을 기준으로 힌지축(410)을 통해 선회하는 볼트축(420: 숫나사산부 일부 포함)이 구비되어 클램핑 조립시 타측 로커날개(320)의 수납공간(G)으로 볼트축(420)이 회동하도록 형성된다.
즉, 상기 볼트축은 힌지축과 대응되는 선단에 삽입공이 구비된 고정부가 형성되어 힌지축이 삽입되도록 형성되고, 상기 볼트축은 일부는 민자 형태의 환봉체이고, 외측단으로부터의 나머지 일부는 숫나사산이 가공되어 후술되는 너트의 나사탭이 대응되면서 조임 풀림되도록 형성된다.
이에, 상기 암체결구(500)는 타측 로커날개(320)의 수납공간(G)를 향해 회동한 볼트축(420)과 대응되도록 나사탭(511)을 갖는 너트(510)가 구비되도록 형성된다.
이때, 상기 너트(510)와 타측 로커날개(320) 외주 사이에는 결합공(521)을 갖는 와셔(520)가 장착되어 볼트축(420)이 결합공(521)을 관통하면서 삽입되도록 형성된다.
이에, 상기 와셔(520)는 너트(510)를 향한 면상에 단차홈(522)이 형성되어 통공(531)을 갖는 접시형 탄성밀착판(530)이 수납되도록 형성된다.
이때, 상기 접시형 탄성밀착판(530)은 너트(510)를 향한 면에 안착홈(532)이 형성된다.
또한, 상기 탄성밀착판(530)의 외주면 일측에는 탄성리브(533)가 돌출되도록 형성되어 너트(510)의 일단 가압면(512)이 안착홈(532)에 대응되면서 조임 압착되면 탄성리브(533)의 관경이 외측으로 확장되면서 와셔의 단차홈(522) 내주면에 강력하게 밀착되면서 탄성 가압에 의한 나사풀림이 방지되도록 형성된다.
이에, 상기 와셔(520)는 타측 로커날개(320)와 밀착(단차홈의 반대측)되는 면상에 반구 형태의 회전방지용 구면(523)이 구비되도록 형성된다.
이때, 상기 타측 로커날개(320)는 와셔의 회전방지용 구면(523)과 대응되는 면상에 반구형 회전방지용 요홈(321)이 형성되어 와셔의 회전 및 풀림이 방지되도록 형성된다.
또한, 상기 와셔(520)는 단차홈(522)의 내주연 벽면 일측에 걸림턱(524)이 돌출되도록 형성된다.
그리고, 상기 탄성밀착판(530)의 외측단 일측(탄성리브(533) 아래쪽 외주면)에는 요철홈(534)이 형성되어 걸림턱(524)과 서로 대응되면서 끼움 조립되도록 형성(압착시 밀착 면적이 다면적으로 형성되면서 기아치차처럼 물려 회전이 방지되도록 함)된다.
이에, 상기 와셔(520)는 단차홈 내주연 벽면 타측(개구부와 인접한 위치)에 걸림돌기(535)가 형성되어 너트 조임에 의한 탄성밀착판(530)의 탄성리브(533)가 압착 눌림시 외측단(관경 확장면이 옆으로 확장 팽창)이 걸림돌기에 걸려 바깥으로 빠지지 않도록 형성된다.
또한, 상기 너트(510)는 가압면(512)과 반대되는 외측단에 조임 풀림용 볼트머리(513: 육각볼트머리)과 렌찌홈(514)이 형성되어 협소한 공간에서도 나사체결 조임풀림 작업이 편리하도록 형성된다.
이때, 상기 너트(510)는 가압면(512)의 테두리에 쐐기형 보조압착띠(515)가 외측으로 더 돌출되도록 형성되어 누름시 탄성밀착판(530)의 탄성리브(533) 측 관경 확장을 보다 강하게 밀어붙일 수 있도록 형성된다.
이에, 상기 단차홈 내부 면상 중 어느 일측에는 공간확보홈(538)이 더 형성되어 보조압착띠에 의해 탄성 가압되면서 팽창된 탄성리브(533)의 외측단이 상기 공간확보홈으로 수납되면서 이탈방지와 함께 견고한 고정이 이루어지도록 형성된다.
아울러, 상기 탄성밀착판(530)은 재질이 플라스틱을 포함한 합성수지재로 형성되고, 허니컴 구조로 형성되어 탄성에 의한 신축성이 강화되고 내구성이 강화되도록 형성된다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 고안이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
100 ... 홀더 링 200 ... 힌지구
300 ... 개구부 310 ... 일측 로커날개
320 ... 타측 로커날개 321 ... 회전방지용 요홈
400 ... 숫체결구 410 ... 힌지축
420 ... 볼트축
500 ... 암체결구 510 ... 너트
511 ... 나사탭 512 ... 가압면
513 ... 볼트머리 514 ... 렌찌홈
515 ... 보조압착띠 520 ... 와셔
521 ... 결합공 522 ... 단차홈
523 ... 회전방지용 구면 524 ... 걸림턱
530 ... 탄성밀착판 531 ... 통공
532 ... 안착홈 533 ... 탄성리브
534 ... 요철홈 535 ... 걸림돌기
300 ... 개구부 310 ... 일측 로커날개
320 ... 타측 로커날개 321 ... 회전방지용 요홈
400 ... 숫체결구 410 ... 힌지축
420 ... 볼트축
500 ... 암체결구 510 ... 너트
511 ... 나사탭 512 ... 가압면
513 ... 볼트머리 514 ... 렌찌홈
515 ... 보조압착띠 520 ... 와셔
521 ... 결합공 522 ... 단차홈
523 ... 회전방지용 구면 524 ... 걸림턱
530 ... 탄성밀착판 531 ... 통공
532 ... 안착홈 533 ... 탄성리브
534 ... 요철홈 535 ... 걸림돌기
Claims (3)
- 한 쌍으로 원형을 이루는 고리형 홀더 링(100)이 일측 힌지구(200)를 통해 타측 개구부(300)가 개폐되도록 하되, 상기 개구부(300)에는 복수의 로커날개(310,320)가 각각의 홀더 링(100) 단부 바깥측에 형성되어 별도의 숫체결구(400)와 암체결구(500)에 의해 서로 조립되면서 클램핑되도록 하는 CMP용 클램프에 있어서,
상기 숫체결구(400)는 일측 로커날개(310)의 관통공(311)을 기준으로 힌지축(410)을 통해 선회하는 볼트축(420)이 구비되어 클램핑 조립시 타측 로커날개(320)의 수납공간(G)으로 볼트축(420)이 회동하도록 형성되고, 상기 암체결구(500)는 타측 로커날개(320)의 수납공간(G)를 향해 회동한 볼트축(420)과 대응되도록 나사탭(511)을 갖는 너트(510)가 구비되도록 하되, 상기 너트(510)와 타측 로커날개(320) 외주 사이에는 결합공(521)을 갖는 와셔(520)가 장착되어 볼트축(420)이 결합공(521)을 관통하면서 삽입되도록 형성되고, 상기 와셔(520)는 너트(510)를 향한 면상에 단차홈(522)이 형성되어 통공(531)을 갖는 접시형 탄성밀착판(530)이 수납되도록 하되, 상기 접시형 탄성밀착판(530)은 너트(510)를 향한 면에 안착홈(532)이 형성되고, 탄성밀착판(530)의 외주면 일측에 탄성리브(533)가 돌출되도록 형성되어 너트(510)의 일단 가압면(512)이 안착홈(532)에 대응되면서 조임 압착되면 탄성리브(533)의 관경이 외측으로 확장되면서 와셔의 단차홈(522) 내주면에 강력하게 밀착되면서 탄성 가압에 의한 나사풀림이 방지되도록 하는 것을 특징으로 하는 고강도 세이프티 구조의 고성능 풀림방지 기능을 갖는 CMP용 클램프. - 제 1항에 있어서, 상기 와셔(520)는
타측 로커날개(320)와 밀착되는 면상에 반구 형태의 회전방지용 구면(523)이 형성되도록 하되, 상기 타측 로커날개(320)는 와셔의 회전방지용 구면(523)과 대응되는 면상에 반구형 회전방지용 요홈(321)이 형성되어 와셔의 회전 및 풀림이 방지되도록 하는 것을 특징으로 하는 고강도 세이프티 구조의 고성능 풀림방지 기능을 갖는 CMP용 클램프. - 제 1항에 있어서, 상기 와셔(520)는 단차홈(522)의 내주연 벽면 일측에 걸림턱(524)이 돌출되도록 형성되고, 상기 탄성밀착판(530)의 외측단 일측에는 요철홈(534)이 형성되어 서로 대응되면서 끼움 조립되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 고강도 세이프티 구조의 고성능 풀림방지 기능을 갖는 CMP용 클램프.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020210077937A KR102305213B1 (ko) | 2021-06-16 | 2021-06-16 | 고강도 세이프티 구조의 고성능 풀림방지 기능을 갖는 cmp용 클램프 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| KR1020210077937A KR102305213B1 (ko) | 2021-06-16 | 2021-06-16 | 고강도 세이프티 구조의 고성능 풀림방지 기능을 갖는 cmp용 클램프 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR102305213B1 true KR102305213B1 (ko) | 2021-09-28 |
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ID=77923043
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020210077937A KR102305213B1 (ko) | 2021-06-16 | 2021-06-16 | 고강도 세이프티 구조의 고성능 풀림방지 기능을 갖는 cmp용 클램프 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR102305213B1 (ko) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR20040099582A (ko) | 2003-05-19 | 2004-12-02 | 삼성전자주식회사 | 반도체 웨이퍼용 ｃｍｐ 설비의 헤드 조립체 |
| CN201627790U (zh) * | 2010-02-01 | 2010-11-10 | 林春火 | 快拆式管束的改进构造 |
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-
2021
- 2021-06-16 KR KR1020210077937A patent/KR102305213B1/ko active IP Right Grant
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