KR102304194B1 - Article transport device - Google Patents

Article transport device Download PDF

Info

Publication number
KR102304194B1
KR102304194B1 KR1020170113228A KR20170113228A KR102304194B1 KR 102304194 B1 KR102304194 B1 KR 102304194B1 KR 1020170113228 A KR1020170113228 A KR 1020170113228A KR 20170113228 A KR20170113228 A KR 20170113228A KR 102304194 B1 KR102304194 B1 KR 102304194B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
support
moving
holding
unit
state
Prior art date
Application number
KR1020170113228A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20180028940A (en
Inventor
다이치 도미다
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20180028940A publication Critical patent/KR20180028940A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102304194B1 publication Critical patent/KR102304194B1/en

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0492—Storage devices mechanical with cars adapted to travel in storage aisles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67724—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations by means of a cart or a vehicule
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67739—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber
    • H01L21/67754—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations into and out of processing chamber horizontal transfer of a batch of workpieces

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Carriers, Traveling Bodies, And Overhead Traveling Cranes (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

지지체(22)에, 지지 조작체에 의해 이동되는 이동부(38)와, 이동부(38)에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 이동부(38)에 연결되고 또한 물품(W)을 매달아 지지하는 지지부(39)와, 이동부(38)와 지지부(39) 사이에 개재되는 탄성부(40)와, 지지부(39)를 유지하는 유지부(51)와, 유지부(51)의 상태를 전환시키는 전환부(52)를 포함하고, 전환부(52)는, 이동부(38)에 대하여 지지부(39)를 소정의 위치에 유지하는 유지 상태와, 지지부(39)에 대한 유지를 해제하여 이동부(38)에 대하여 지지부(39)를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 유지 해제 상태로 유지부(51)의 상태를 전환시킨다.In the support 22, a movable part 38 moved by a support operation body, and connected to the movable part 38 so as to be movable in an up-down direction with respect to the movable part 38, and to support the article W by hanging. The state of the support part 39, the elastic part 40 interposed between the moving part 38 and the support part 39, the holding part 51 holding the support part 39, and the holding part 51 are switched and a switching unit 52 to make the switch, wherein the switching unit 52 moves by releasing the holding state for holding the supporting unit 39 at a predetermined position with respect to the moving unit 38 and releasing the holding with respect to the supporting unit 39 . The state of the holding part 51 is switched to the holding|maintenance release state which makes the support part 39 movable with respect to the part 38 in an up-down direction.

Description

물품 반송 장치{ARTICLE TRANSPORT DEVICE}Goods transfer device {ARTICLE TRANSPORT DEVICE}

본 발명은, 이동 방향을 따라 이동하는 이동체와, 상기 이동체에 지지되고 또한 물품을 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 상기 이동체에 대하여 상하 방향으로 이동시키는 지지 조작체를 포함하고 있는 물품 반송(搬送) 장치에 관한 것이다.The present invention relates to an article conveyance comprising: a movable body moving along a movement direction; a support body supported by the movable body and supporting an article; It's about the device.

이러한 물품 반송 장치의 종래예가, 일본공개특허 제2016-094263호 공보(특허문헌 1)에 기재되어 있다. 특허문헌 1의 물품 반송 장치에서는, 지지체[지지 기구(機構)(23)]에 이동부[승강체(31)]와 지지부[반송물 지지부(32)]를 상하 방향으로 이동 가능하게 포함하고, 지지 조작체[승강 조작 기구(24)]에 의해 이동부를 상하 방향으로 이동시키고, 지지부에 의해 물품을 매달아 지지하고 있다. 그리고, 이동부와 지지부 사이에 탄성부[완충체(36)]를 포함하고, 이동체가 이동할 때 이동체에 생기는 진동을 탄성부에 의해 흡수함으로써, 진동이 지지부에 지지되어 있는 물품에 전달되는 것을 억제하였다.A conventional example of such an article transport apparatus is described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2016-094263 (Patent Document 1). In the article transport apparatus of Patent Document 1, the support (support mechanism 23) includes a movable part (elevating body 31) and a support part (transported article support part 32) to be movable in the vertical direction, and is supported. The moving unit is moved in the vertical direction by the operating body (elevating/lowering operation mechanism 24), and the article is suspended and supported by the supporting unit. An elastic part (buffering body 36) is included between the moving part and the supporting part, and by absorbing vibrations generated in the moving body when the moving body moves by the elastic part, the vibration is suppressed from being transmitted to the article supported by the supporting part. did.

전술한 바와 같이 물품 반송 장치에서는, 지지 조작체에 의해 이동부를 상하 방향으로 이동시켜 물품을 이송(transfer) 개소에 이동시키는 경우에, 물품을 이송 개소에 정확하게 이동시키는 것이 요구된다. 그러나, 물품에 전달되는 진동을 보다 적절하게 억제하기 위하여, 탄성 변형하기 용이한 탄성부나 대형의 탄성부를 이용하면, 이동부에 대하여 지지부가 이동하기 용이해진다. 그러므로, 지지 조작체에 의해 이동부를 상하 방향으로 이동시켜 물품을 이송 개소에 이동시키는 경우에, 물품을 이송 개소에 정확하게 이동시키기 어렵다.As described above, in the article transport apparatus, when the article is moved to the transfer location by moving the moving part in the vertical direction by the support operation body, it is required to accurately move the article to the transfer location. However, in order to more appropriately suppress the vibration transmitted to the article, if an elastic portion that is easily elastically deformable or a large elastic portion is used, the support portion becomes easy to move with respect to the moving portion. Therefore, in the case of moving the article to the transfer location by moving the moving part in the vertical direction by the support operation body, it is difficult to accurately move the article to the transfer location.

그래서, 이동체가 이동할 때 이동체에 생기는 진동이 물품에 전달되는 것을 억제할 수 있으면서, 이동부를 이동시켰을 때 물품을 이송 개소에 이동시키기 용이한 물품 반송 장치가 요구된다. Therefore, there is a demand for an article conveying apparatus capable of suppressing the transmission of vibrations generated by the moving object to the article when the moving object moves, and easily moving the article to the transfer location when the moving part is moved.

물품 반송 장치의 특징 구성은, 이동 방향을 따라 이동하는 이동체와, 상기 이동체에 지지되고 또한 물품을 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 상기 이동체에 대하여 상하 방향으로 이동시키는 지지 조작체를 포함하고, A characteristic configuration of the article transport device includes a movable body moving along a movement direction, a support body supported by the movable body and supporting the article, and a support operation body for moving the support body in an up-down direction with respect to the movable body,

상기 지지체는, 상기 지지 조작체에 의해 이동되는 이동부와, 상기 이동부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 상기 이동부에 연결되고 또한 물품을 매달아 지지하는 지지부와, 상기 이동부와 상기 지지부 사이에 개재되는 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 탄성부와, 상기 지지부를 유지하는 유지부와, 상기 유지부의 상태를 전환시키는 전환부를 포함하고, The support includes a movable part moved by the support operation body, a support part connected to the movable part so as to be movable in an up-down direction with respect to the movable part and suspending an article, and between the movable part and the support part. It includes an interposed elastic part elastically deformable in the vertical direction, a holding part for holding the support part, and a switching part for changing the state of the holding part,

상기 전환부는, 상기 이동부에 대하여 상기 지지부를 소정의 위치에 유지하는 유지 상태와, 상기 지지부에 대한 유지를 해제하여 상기 이동부에 대하여 상기 지지부를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 유지 해제 상태로 상기 유지부의 상태를 전환시키는 점에 있다.The switching unit is configured to be in a holding state in which the support part is held at a predetermined position with respect to the moving part, and in a holding release state in which the holding part is released with respect to the moving part to enable the support part to move up and down with respect to the moving part. The point is to change the state of the holding part.

상기 특징 구성에 의하면, 유지부를 유지 해제 상태로 전환함으로써, 지지부가 이동부에 대하여 탄성적으로 상하 방향으로 이동 가능하게 되고, 유지부를 유지 상태로 전환함으로써, 지지부가 이동부에 대하여 소정의 위치에 유지된다. According to the above characteristic configuration, by switching the holding part to the holding release state, the supporting part is elastically movable in the vertical direction with respect to the moving part, and by switching the holding part to the holding state, the supporting part is positioned at a predetermined position with respect to the moving part. maintain.

그러므로, 이동체가 이동할 때는, 유지부를 유지 해제 상태로 전환함으로써, 이동부가 이동할 때 이동부에 생긴 진동을 탄성부에 의해 흡수할 수 있다. 그러므로, 이동부에 생긴 진동이 물품에 전달되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 이동부가 이동할 때는, 유지부를 유지 상태로 전환함으로써, 이동부에 대하여 지지부가 이동하는 것을 규제할 수 있다. 따라서, 지지 조작체에 의해 이동부를 상하 방향으로 이동시켜 물품을 이송 개소에 이동시키는 경우에, 물품을 이송 개소에 정확하게 이동시키기 용이하다. Therefore, when the movable body moves, by switching the holding part to the holding release state, the vibration generated in the moving part when the moving part moves can be absorbed by the elastic part. Therefore, it is possible to suppress transmission of the vibration generated in the moving part to the article. In addition, when the moving unit moves, it is possible to restrict the movement of the supporting unit with respect to the moving unit by switching the holding unit to the holding state. Accordingly, in the case of moving the article to the transfer location by moving the moving part in the vertical direction by the support operation body, it is easy to accurately move the article to the transfer location.

상기와 같이, 이동체가 이동할 때 이동체에 생기는 진동이 물품에 전달되는 것을 억제할 수 있으면서, 이동부를 이동시켰을 때 물품을 이송 개소에 이동시키기 용이한 물품 반송 장치를 제공할 수 있다.As described above, it is possible to provide an article conveying apparatus capable of suppressing transmission of vibrations generated by the moving object to the article when the moving object moves, and easily moving the article to the transfer location when the moving part is moved.

물품 반송 장치의 특징 구성은, 이동 방향을 따라 이동하는 이동체와, 상기 이동체에 지지되고 또한 물품을 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 상기 이동체에 대하여 상하 방향으로 이동시키는 지지 조작체를 포함하고, A characteristic configuration of the article transport device includes a movable body moving along a movement direction, a support body supported by the movable body and supporting the article, and a support operation body for moving the support body in an up-down direction with respect to the movable body,

상기 이동체는, 차륜을 구비한 제2 이동부와, 상기 제2 이동부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 연결되고 또한 상기 지지체를 지지하는 제2 지지부와, 상기 제2 이동부와 상기 제2 지지부 사이에 개재되는 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 제2 탄성부와, 상기 제2 지지부를 유지하는 제2 유지부와, 상기 제2 유지부의 상태를 전환시키는 제2 전환부를 포함하고, 상기 제2 전환부는, 상기 제2 이동부에 대하여 상기 제2 지지부를 소정의 위치에 유지하는 제2 유지 상태와, 상기 제2 지지부에 대한 유지를 해제하여 상기 제2 이동부에 대하여 상기 제2 지지부를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 제2 유지 해제 상태로 상기 제2 유지부의 상태를 전환시키는 점에 있다.The movable body includes a second moving part having wheels, a second supporting part connected to be movable in an up-down direction with respect to the second moving part and supporting the supporting body, the second moving part and the second supporting part A second elastic part elastically deformable in the vertical direction interposed therebetween, a second holding part for holding the second support part, and a second switching part for switching a state of the second holding part, wherein the second switching part , a second holding state in which the second support part is held at a predetermined position with respect to the second moving part, and the second support part is moved up and down with respect to the second moving part by releasing the holding of the second support part. The point is that the state of the second holding part is switched to the second holding release state which enables movement.

상기 구성에 의하면, 제2 유지부를 제2 유지 해제 상태로 전환함으로써, 제2 지지부가 제2 이동부에 대하여 탄성적으로 상하 방향으로 이동 가능하게 되고, 제2 유지부를 유지 상태로 전환함으로써, 제2 지지부가 제2 이동부에 대하여 소정의 위치에 유지된다. According to the above configuration, by switching the second holding unit to the second holding release state, the second supporting unit is elastically movable in the vertical direction with respect to the second moving unit, and by switching the second holding unit to the holding state, The second supporting portion is held at a predetermined position with respect to the second moving portion.

그러므로, 제2 이동체가 이동할 때는, 제2 유지부를 유지 해제 상태로 전환함으로써, 제2 이동부가 이동할 때 제2 이동부에 생긴 진동을 제2 탄성부에 의해 흡수할 수 있다. 따라서, 제2 이동부에 생기게 한 진동이 물품에 전달되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 제2 이동부가 이동할 때는, 제2 유지부를 유지 상태로 전환함으로써, 제2 이동부에 대하여 제2 지지부가 이동하는 것을 규제할 수 있다. 따라서, 지지 조작체에 의해 이동체를 상하 방향으로 이동시켜 물품을 이송 개소에 이동시키는 경우에, 물품을 이송 개소에 정확하게 이동시키기 용이하다. Therefore, when the second movable body moves, by switching the second holding part to the holding release state, the vibration generated in the second moving part when the second moving part moves can be absorbed by the second elastic part. Accordingly, it is possible to suppress transmission of the vibration generated by the second moving part to the article. Moreover, when a 2nd moving part moves, by switching a 2nd holding|maintenance part to a holding state, it can control that a 2nd support part moves with respect to a 2nd moving part. Therefore, in the case where the movable body is moved in the vertical direction by the support operation body to move the article to the transfer location, it is easy to accurately move the article to the transfer location.

상기와 같이, 이동체가 이동할 때 이동체에 생기는 진동이 물품에 전달되는 것을 억제할 수 있으면서, 지지체를 이동시켰을 때 물품을 이송 개소에 이동시키기 용이한 물품 반송 장치를 제공할 수 있다.As described above, it is possible to provide an article conveying apparatus capable of suppressing transmission of vibrations generated by the moving object to the article when the moving object is moved and easily moving the article to the transfer location when the support is moved.

도 1은, 물품 수송 설비의 측면도이다.
도 2는, 물품 수송 설비의 측면도이다.
도 3은, 물품 반송차의 측면도이다.
도 4는, 주행용 위치에 위치하는 지지 기구의 종단(縱斷) 측면도이다.
도 5는, 이송용 위치에 위치하는 지지 기구의 종단 측면도이다.
도 6은, 지지 기구의 횡단 평면도이다.
도 7은, 유지부가 유지 해제 상태로 전환되어 있는 지지 기구의 종단 정면도이다.
도 8은, 유지부가 유지 상태로 전환되어 있는 지지 기구의 종단 정면도이다.
도 9는, 전환용 위치에 위치하는 지지 기구의 일부 종단 측면도이다.
도 10은, 주행용 위치에 위치하는 지지 기구의 일부 종단 측면도이다.
도 11은, 다른 실시형태(1)의 유지부가 유지 해제 상태로 전환되어 있는 지지 기구의 종단 정면도이다.
도 12는, 다른 실시형태(1)의 유지부가 유지 상태로 전환되어 있는 지지 기구의 종단 정면도이다.1 is a side view of an article transport facility.
2 is a side view of an article transport facility.
3 is a side view of the article transport vehicle.
It is a longitudinal side view of the support mechanism located in the position for traveling.
5 : is a longitudinal side view of the support mechanism located in the position for a transfer.
6 is a transverse plan view of the support mechanism.
Fig. 7 is a longitudinal front view of the support mechanism in which the holding portion is switched to the holding release state;
Fig. 8 is a longitudinal front view of the support mechanism in which the holding part is switched to the holding state.
Fig. 9 is a partially longitudinal side view of the support mechanism positioned in the switching position.
It is a partial longitudinal side view of the support mechanism located in the position for traveling.
Fig. 11 is a longitudinal front view of the support mechanism in which the holding portion of the other embodiment (1) is switched to the holding release state.
Fig. 12 is a longitudinal front view of the support mechanism in which the holding part of the other embodiment (1) is switched to the holding state.

이하, 물품 반송 장치를 포함한 물품 수송 설비의 실시형태를 도면에 기초하여 설명한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, an embodiment of an article transport facility including an article transport device will be described with reference to the drawings.

도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 수송 설비에는, 물품 반송차(1)와 레일(2)과 처리 장치(3)가 포함되어 있다. 레일(2)은, 주행 경로를 따라 설치되어 있고, 천장에 매달려 지지되어 있다. 물품 반송차(1)는, 주행 경로를 따라 레일(2) 상을 주행하여 용기(W)를 반송한다. 물품 반송차(1)는, 물품 반송 장치에 상당한다. 처리 장치(3)는, 용기(W)에 대한 처리를 행하는 장치이며, 바닥면 상에 설치되어 있다. 상기 처리 장치(3)에 인접하는 상태로 지지대(4)가 설치되어 있다.1 and 2 , the article transport facility includes an article transport vehicle 1 , a rail 2 , and a processing device 3 . The rail 2 is provided along the travel route, and is supported by hanging from the ceiling. The article transport vehicle 1 travels on the rail 2 along the travel route to transport the container W. The article transport vehicle 1 corresponds to an article transport device. The processing apparatus 3 is an apparatus which processes with respect to the container W, and is provided on the floor surface. The support 4 is provided in the state adjacent to the said processing device 3 .

용기(W)는, 복수개의 기판을 수납 가능하고 또한 기판의 출입을 막는 덮개가 착탈 가능하게 포함되어 있는 용기이며, 물품에 상당한다. 본 실시형태에서는, 기판을 반도체 웨이퍼로 하고, 그 반도체 웨이퍼를 수용하는 FOUP(Front Opening Unified Pod)를 용기(W)로 하고 있다. The container W is a container in which a plurality of substrates can be accommodated, and a lid for preventing entry and exit of the substrate is included in a detachable manner, and corresponds to an article. In the present embodiment, the substrate is a semiconductor wafer, and a FOUP (Front Opening Unified Pod) accommodating the semiconductor wafer is used as the container W.

도 3∼도 5에 나타낸 바와 같이, 용기(W)에는, 용기(W)의 상단부에 포함되어 물품 반송차(1)의 지지 기구(22)에 지지되는 플랜지부(Wa)와, 플랜지부(Wa)보다 아래쪽에 위치하여 복수개의 기판을 수용하는 용기 본체부(Wb)와, 용기 본체부(Wb)의 전면(前面)에 형성된 기판 출입용의 기판 출입구를 닫는 착탈(着脫) 가능한 덮개체(도시하지 않음)가 포함되어 있다. 덧붙이면, 물품 반송차(1)는, 플랜지부(Wa)를 매달아 지지한 상태로 용기(W)를 반송한다. 3 to 5 , the container W includes a flange portion Wa included in the upper end of the container W and supported by the support mechanism 22 of the article transport vehicle 1 , and a flange portion ( A removable cover body for closing the substrate entrance and exit for substrate entry and exit formed on the front surface of the container body part Wb, which is located below Wa and accommodates a plurality of substrates, and the container body part Wb. (not shown) is included. Incidentally, the article transport vehicle 1 transports the container W in a state in which the flange portion Wa is suspended and supported.

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 플랜지부(Wa)의 상면[용기(W)의 상면]에는, 아래쪽으로 오목하게 들어간 원뿔 형상의 오목부(Wo)가 형성되어 있다. 지지대(4)에 용기(W)가 지지되어 있는 상태에서, 그 용기(W)를 향하여 지지 기구(22)를 하강 이동시켰을 때, 지지 기구(22)에 포함되어 있는 걸어맞춤부(36)가 위쪽으로부터 오목부(Wo)에 걸어맞추어진다.As shown in FIG.4 and FIG.5, the conical recessed part Wo recessed downward is formed in the upper surface (upper surface of the container W) of the flange part Wa. When the support mechanism 22 is moved downward toward the container W in a state in which the container W is supported by the support 4, the engaging portion 36 included in the support mechanism 22 is It is engaged with the concave portion Wo from above.

지지대(4)는, 물품 반송차(1)의 주행 경로의 바로 아래에 설치되어 있고, 물품 반송차(1)의 주행 방향을 따라 복수 설치되어 있다. The support 4 is provided just below the traveling path of the product transport vehicle 1 , and a plurality of supports 4 are provided along the traveling direction of the product transport vehicle 1 .

물품 반송차(1)는, 용기(W)를 지지대(4)에 반송하고, 또한 용기(W)를 지지대(4)로부터 반송한다. 그리고, 도면 이외의 반송 장치에 의해, 용기(W)의 전체 또는 용기(W) 내의 기판만이, 지지대(4)와 처리 장치(3) 사이에서 반송된다.The article transport vehicle 1 transports the container W to the support 4 , and also transports the container W from the support 4 . And the whole container W or only the board|substrate in the container W is conveyed between the support stand 4 and the processing apparatus 3 by the conveyance apparatus other than drawing.

[물품 반송차][Goods Carrier]

다음에, 물품 반송차(1)에 대하여 설명한다. 그리고, 물품 반송차(1)를 설명하는 데에 있어서, 물품 반송차(1)가 수평한 직선형의 주행 경로를 주행하고 있는 상태를 상정하여 설명한다. 또한, 물품 반송차(1)가 주행하는 방향을 주행 방향으로 하고, 상하 방향으로 볼 때 주행 방향과 직교하는 방향을 폭 방향으로서 설명한다. Next, the article transport vehicle 1 will be described. In the description of the article transport vehicle 1, it is assumed that the article transport vehicle 1 travels on a horizontal and linear travel path. Further, a direction in which the article transport vehicle 1 travels is defined as a traveling direction, and a direction orthogonal to the traveling direction when viewed in the vertical direction is described as a width direction.

도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(1)는, 천장에 설치된 레일(2)에 지지된 상태에서 레일(2)을 따라 이동하는 주행부(15)와, 레일(2)의 아래쪽에 위치하여 주행부(15)에 매달려 지지되어 있는 본체부(16)를 포함하고 있다.As shown in FIG. 3 , the article transport vehicle 1 has a traveling part 15 that moves along the rail 2 while supported by a rail 2 installed on the ceiling, and is located below the rail 2 . To include a body portion 16 that is supported by hanging from the traveling portion (15).

주행부(15)는, 주행 방향으로 늘어선 전(前)주행부(15F)와 후(後)주행부(15R)를 포함하고 있다. 전주행부(15F)는, 후주행부(15R)보다 전방에 위치하고 있다. 전주행부(15F) 및 후주행부(15R)에는, 주행용 모터(18)에 의해 회전되는 좌우 한쌍의 주행륜(19)이 장착되어 있다. 전주행부(15F)의 주행륜(19) 및 후주행부(15R)의 주행륜(19)이 주행용 모터(18)에 의해 회전되는 것에 의해, 물품 반송차(1)가 주행 경로를 따라 주행한다.The traveling section 15 includes a front traveling section 15F and a rear traveling section 15R arranged in the traveling direction. The front running part 15F is located in front of the rear running part 15R. A pair of left and right running wheels 19 rotated by a running motor 18 are attached to the front running portion 15F and the rear running portion 15R. As the traveling wheels 19 of the front traveling portion 15F and the traveling wheels 19 of the rear traveling portion 15R are rotated by the traveling motor 18, the article transport vehicle 1 moves along the traveling path. drive

본체부(16)에는, 주행부(15)에 연결되는 베이스부(21)과, 용기(W)를 지지하는 지지 기구(22)와, 지지 기구(22)를 주행부(15)에 대하여 승강 이동시키는 승강 조작 기구(23)와, 상승 설정 위치(도 1 등에 나타내는 위치)로 상승하고 있는 지지 기구(22)에 의해 지지된 용기(W)의 위쪽 및 주행 방향 양측을 덮는 커버체(24)를 포함하고 있다. 그리고, 주행부(15)와 베이스부(21)에 의해, 주행 방향(이동 방향)을 따라 이동하는 이동체(A)가 구성되어 있다. 또한, 지지 기구(22)가, 이동체(A)[주행부(15) 및 베이스부(21)]에 지지되고, 또한 용기(W)를 지지하는 지지체에 상당한다. 또한, 승강 조작 기구(23)가, 지지 기구(22)(지지체)를 이동체(A)[주행부(15) 및 베이스부(21)]에 대하여 상하 방향으로 이동시키는 지지 조작체에 상당한다.The main body 16 includes a base 21 connected to the traveling unit 15 , a supporting mechanism 22 for supporting the container W , and lifting and lowering the supporting mechanism 22 with respect to the traveling unit 15 . A cover body 24 that covers both the upper and lower sides of the container W supported by the lifting operation mechanism 23 to be moved and the support mechanism 22 raised to the lifting setting position (position shown in FIG. 1 or the like) and the traveling direction. contains And the movable body A which moves along a traveling direction (moving direction) is comprised by the traveling part 15 and the base part 21. As shown in FIG. In addition, the support mechanism 22 is supported by the movable body A (the traveling part 15 and the base part 21), and corresponds to the support body which supports the container W. In addition, the lifting operation mechanism 23 corresponds to a support operation object which moves the support mechanism 22 (support body) in the vertical direction with respect to the movable body A (the traveling part 15 and the base part 21).

베이스부(21)는, 주행부(15)에 연결된 연결 베이스부와 승강 조작 기구(23)를 지지하는 지지 베이스부를 포함하고 있다. 그리고, 베이스부(21)는, 지지 베이스부를 연결 베이스부에 대하여 폭 방향을 따라 슬라이드 이동 가능하게 구성되어 있다. 즉, 베이스부(21)는, 승강 조작 기구(23) 및 지지 기구(22)를 주행부(15)에 대하여 폭 방향으로 이동시키는 슬라이드 조작 기구로서의 기능을 갖추고 있다.The base part 21 includes a connecting base part connected to the traveling part 15 and a support base part which supports the raising/lowering operation mechanism 23 . And the base part 21 is comprised so that a slide movement is possible along the width direction with respect to a connection base part with respect to a support base part. That is, the base part 21 is equipped with the function as a slide operation mechanism which moves the raising/lowering operation mechanism 23 and the support mechanism 22 with respect to the traveling part 15 in the width direction.

승강 조작 기구(23)에는, 선단부가 지지 기구(22)에 접속되어 지지 기구(22)를 매다는 복수의 삭상체(索狀體)(30)와, 삭상체(30)가 권회(卷回)된 권회체(31)와, 권회체(31)를 회전시키는 승강용 모터(32)(도 6 참조)가 포함되어 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 복수개의 삭상체(30)로서 3개의 벨트가 포함되어 있다. In the lifting and lowering operation mechanism 23 , a plurality of rods 30 are connected to the support mechanism 22 at their distal end to suspend the support mechanism 22 , and the rods 30 are wound. The wound body 31 and the lifting motor 32 (refer FIG. 6) which rotates the wound body 31 are included. And in this embodiment, three belts are contained as the several rod body 30. As shown in FIG.

승강 조작 기구(23)는, 승강용 모터(32)에 의해 권회체(31)를 정방향 및 역방향으로 회전시켜, 복수의 삭상체(30)를 감기 및 풀어내기 조작을 선택적으로 행함으로써, 지지 기구(22)를 주행용 위치(도 1 참조)와 이송용 위치(도 2 참조)에 상하 방향으로 이동시키도록 구성되어 있다. 주행용 위치는, 주행부(15)가 주행할 때의 주행부(15)에 대한 지지 기구(22)의 위치다. 물품 반송차(1)는, 지지 기구(22)가 주행용 위치에 위치하는 상태로 주행한다. 이송용 위치는, 주행용 위치보다 아래쪽의 위치이며, 이송용 위치까지 지지 기구(22)를 하강시킴으로써 지지 기구(22)에 의해 지지된 용기(W)가 지지대(4) 상에 위치할 때의 지지 기구(22)의 위치다.The lifting operation mechanism 23 rotates the winding body 31 in the forward direction and the reverse direction by the raising/lowering motor 32, and selectively performs the winding and unwinding operation of the plurality of rods 30, thereby providing a support mechanism. It is comprised so that it may move 22 in an up-down direction to the position for traveling (refer FIG. 1) and the position for transfer (refer FIG. 2). The traveling position is the position of the support mechanism 22 with respect to the traveling unit 15 when the traveling unit 15 travels. The article transport vehicle 1 travels with the support mechanism 22 positioned at the traveling position. The transfer position is a position lower than the running position, and the container W supported by the support mechanism 22 by lowering the support mechanism 22 to the transfer position is positioned on the support table 4 . The position of the support mechanism 22 .

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 지지 기구(22)는, 파지용 모터(34)의 구동에 의해 한 쌍의 파지 클로우(claw)(35)를 서로 접근 이간시키도록 구성되어 있다. 설명을 부가하면, 지지 기구(22)는, 한 쌍의 파지 클로우(35)를 접근시킴으로써, 한 쌍의 파지 클로우(35)가 용기(W)의 플랜지부(Wa)를 지지하는 지지 상태(도 4 및 도 5 참조)로 전환되고, 파지 클로우(35)를 서로 이간시킴으로써, 한 쌍의 파지 클로우(35)에 의한 용기(W)의 플랜지부(Wa)에 대한 지지를 해제하는 지지 해제 상태(도시하지 않음)로 전환된다. 이와 같이, 지지 기구(22)는, 파지용 모터(34)의 구동에 의해 지지 상태와 지지 해제 상태로 변경 가능하게 구성되어 있다.4 and 5, the support mechanism 22 is comprised so that a pair of gripping claws 35 may mutually approach and space|separate by the drive of the gripping motor 34. As shown in FIG. In addition, the support mechanism 22 is in a supporting state (Fig. 4 and 5), and by separating the holding claws 35 from each other, the support release state ( not shown). In this way, the support mechanism 22 is comprised so that a change into a support state and a support release state is possible by the drive of the motor 34 for gripping.

지지 기구(22)는, 승강 조작 기구(23)에 의해 이동되는 이동부(38)와, 이동부(38)에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 이동부(38)에 연결된 지지부(39)와, 이동부(38)와 지지부(39) 사이에 개재되는 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 탄성부(40)를 포함하고 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 탄성부(40)는 기둥형으로 형성된 실리콘 고무를 사용하고 있다. The support mechanism 22 includes a moving part 38 moved by the lifting operation mechanism 23 and a support part 39 connected to the moving part 38 so as to be movable in an up-down direction with respect to the moving part 38; It includes an elastic part 40 elastically deformable in the vertical direction interposed between the moving part 38 and the support part 39 . And, in this embodiment, the elastic part 40 uses the silicone rubber formed in columnar shape.

이동부(38)는, 삭상체(30)의 선단부가 접속되는 피접속부(42)를 포함하고 있다. 지지부(39)는, 파지 클로우(35) 및 파지용 모터(34)를 포함하고 있고, 용기(W)를 매달아 지지한다. 탄성부(40)는, 이동부(38)의 제1 부분(38a)과 지지부(39)의 제2 부분(39a) 사이에 압축 상태로 설치되어 있다. 지지부(39)의 제2 부분(39a)은, 이동부(38)의 제1 부분(38a)의 바로 위에 위치하고 있다. 제1 부분(38a)은 이동부(38)의 일부이며, 제2 부분(39a)은 지지부(39)의 일부다.The moving part 38 includes the to-be-connected part 42 to which the front-end|tip of the rod 30 is connected. The support part 39 includes the gripping claw 35 and the gripping motor 34, and suspends the container W and supports it. The elastic part 40 is provided in a compressed state between the first part 38a of the moving part 38 and the second part 39a of the support part 39 . The second part 39a of the supporting part 39 is located directly above the first part 38a of the moving part 38 . The first part 38a is part of the moving part 38 , and the second part 39a is part of the supporting part 39 .

탄성부(40)의 하단부는 이동부(38)의 제1 부분(38a)에 접착되어 있고, 탄성부(40)의 상단부는 지지부(39)의 제2 부분(39a)에 접착되어 있다. 이와 같이, 탄성부(40)에 의해 이동부(38)에 대하여 지지부(39)가 연결되어 있다. 그러므로, 물품 반송차(1)가 주행했을 때 주행부(15)에 발생한 진동이 탄성부(40)에 의해 흡수됨으로써, 진동이 지지부(39)나 그것에 지지된 용기(W)에 전달되는 것을 억제할 수 있다.The lower end of the elastic part 40 is adhered to the first part 38a of the moving part 38 , and the upper end of the elastic part 40 is adhered to the second part 39a of the supporting part 39 . In this way, the support portion 39 is connected to the moving portion 38 by the elastic portion 40 . Therefore, vibration generated in the traveling unit 15 when the article transport vehicle 1 travels is absorbed by the elastic unit 40, thereby suppressing transmission of the vibration to the supporting unit 39 or the container W supported thereon. can do.

이동부(38)는 바닥판(43)과, 상기 바닥판(43)의 위쪽을 덮는 커버(44)를 포함하고 있다. 이동부(38)는 바닥판(43)과 커버(44)로 사각상자형으로 형성되어 있고, 피접속부(42) 및 탄성부(40)는 이동부(38) 내에 수용되어 있고, 지지부(39)는 파지 클로우(35)의 일부 등을 제외하고 이동부(38) 내에 수용되어 있다. 바닥판(43)의 상면에, 피접속부(42)가 연결되고, 또한 탄성부(40)가 접착되어 있다. 그리고, 커버(44)에는, 삭상체(30)가 상하 방향으로 삽통하기 위한 제1 구멍(44a)이 형성되어 있다. 또한, 바닥판(43)에 있어서의 탄성부(40)가 접착된 부분이 이동부(38)의 제1 부분(38a)에 상당한다. The moving part 38 includes a bottom plate 43 and a cover 44 covering an upper portion of the bottom plate 43 . The moving part 38 is formed in a rectangular box shape with the bottom plate 43 and the cover 44 , the to-be-connected part 42 and the elastic part 40 are accommodated in the moving part 38 , and the supporting part 39 ) is accommodated in the moving part 38 except for a part of the gripping claw 35 and the like. To the upper surface of the bottom plate 43, the to-be-connected part 42 is connected, and the elastic part 40 is adhere|attached. And the cover 44 is formed with the 1st hole 44a through which the rod 30 is inserted in an up-down direction. Moreover, the part to which the elastic part 40 in the bottom plate 43 was adhere|attached corresponds to the 1st part 38a of the moving part 38. As shown in FIG.

이동부(38)는, 전술한 바와 같이 삭상체(30)의 선단부가 접속되는 피접속부(42)를 포함하고 있고, 승강 조작 기구(23)에 의한 복수의 삭상체(30)의 감기 및 풀어내기에 의해, 이동부(38)가 상하 방향으로 이동한다.The moving part 38 includes the to-be-connected part 42 to which the front-end|tip part of the rod 30 is connected as mentioned above, The winding and unwinding of the some rodent 30 by the raising/lowering operation mechanism 23 is carried out. By betting, the moving part 38 moves in the up-down direction.

도 6에 나타낸 바와 같이, 본 실시형태에서는, 피접속부(42)는 3개 포함되고, 탄성부(40)는 3개 포함되어 있다. As shown in FIG. 6 , in this embodiment, three to-be-connected parts 42 are included, and three elastic parts 40 are included.

지지 기구(22)의 주행 방향의 중심으로부터 주행 방향의 한쪽에는, 2개의 피접속부(42)와 하나의 탄성부(40)가 설치되어 있다. 또한, 지지 기구(22)의 주행 방향의 중심으로부터 주행 방향의 다른 쪽에는, 하나의 피접속부(42)와 2개의 탄성부(40)가 설치되어 있다. Two to-be-connected parts 42 and one elastic part 40 are provided in one side of the running direction from the center of the running direction of the support mechanism 22. As shown in FIG. Moreover, one to-be-connected part 42 and two elastic parts 40 are provided in the other side of the running direction from the center of the running direction of the support mechanism 22. As shown in FIG.

한쪽의 하나의 탄성부(40)는, 폭 방향으로 볼 때, 2개의 피접속부(42)의 양쪽과 겹치는 상태로 설치되어 있다. 한쪽의 2개의 피접속부(42)는, 폭 방향으로 볼 때 서로 일부가 겹치는 상태로 설치되고, 또한 서로 주행 방향으로 어긋난 상태로 설치되어 있다. 또한, 한쪽의 하나의 탄성부(40)는, 폭 방향에 있어서 다른 쪽의 2개의 탄성부(40) 사이에 위치하도록 설치되어 있다. One elastic part 40 is provided in the state which overlaps with both sides of the to-be-connected part 42, when it sees in the width direction. One of the two to-be-connected parts 42 is provided in the state which partially overlaps with each other when viewed in the width direction, and is provided in the state shifted|shifted in the running direction from each other. Moreover, one elastic part 40 is provided so that it may be located between the other two elastic parts 40 in the width direction.

다른 쪽의 2개의 탄성부(40) 각각은, 폭 방향으로 볼 때, 다른 쪽의 하나의 피접속부(42)와 겹치는 상태로 설치되어 있다. 다른 쪽의 2개의 탄성부(40)는, 폭 방향으로 볼 때 서로 전체가 겹치는 상태로 설치되고, 서로 주행 방향으로 같은 위치에 설치되어 있다. 또한, 다른 쪽의 하나의 피접속부(42)는, 폭 방향에 있어서 한쪽의 2개의 피접속부(42)의 사이에 위치하도록 설치되어 있다.Each of the other two elastic parts 40 is provided in the state which overlaps with the other to-be-connected part 42, when viewed in the width direction. The other two elastic parts 40 are provided in a state where the whole overlaps each other when viewed in the width direction, and are provided at the same position in the traveling direction. Moreover, the other to-be-connected part 42 is provided so that it may be located between one of two to-be-connected parts 42 in the width direction.

지지부(39)는 구동부(46)와 승강판(47)을 포함하고 있다. 구동부(46)에는, 파지용 모터(34)가 내장되어 있고, 파지 클로우(35) 및 걸어맞춤부(36)를 아래쪽으로 돌출시키는 상태로 포함하고 있다. 상기 파지 클로우(35) 및 걸어맞춤부(36)는, 바닥판(43)에 형성된 관통공(43a)을 관통하여 바닥판(43)보다 아래쪽으로 돌출되어 있다. 승강판(47)은, 구동부(46)의 상면에 연결되어 있고, 구동부(46)로부터 가로로 옆쪽으로 돌출되어 있다. 승강판(47)에 있어서의 구동부(46)로부터 가로로 옆쪽으로 돌출된 부분의 하면에 탄성부(40)가 접착되어 있고, 상기 승강판(47)에 있어서의 탄성부(40)가 접착된 부분이 제2 부분(39a)에 상당한다. The support part 39 includes a driving part 46 and a lifting plate 47 . The drive unit 46 has a gripping motor 34 incorporated therein, and includes the gripping claw 35 and the engaging portion 36 in a state in which they protrude downward. The gripping claw 35 and the engaging portion 36 protrude below the bottom plate 43 through a through hole 43a formed in the bottom plate 43 . The lifting plate 47 is connected to the upper surface of the driving unit 46 , and protrudes laterally from the driving unit 46 . An elastic part 40 is adhered to the lower surface of a portion protruding laterally and laterally from the driving unit 46 of the lifting plate 47, and the elastic part 40 of the lifting plate 47 is adhered. The portion corresponds to the second portion 39a.

도 7 및 도 8에 나타낸 바와 같이, 지지부(39)에는 유지용 지지부(48)와 해제용 오목부(49)가 포함되어 있다. 이들 유지용 지지부(48) 및 해제용 오목부(49)는, 구동부(46)의 하단부에 포함되어 있다.7 and 8 , the support portion 39 includes a support portion 48 for holding and a recess portion 49 for release. These holding|maintenance support part 48 and the recessed part 49 for release are included in the lower end part of the drive part 46. As shown in FIG.

도 4로부터 도 8에 나타낸 바와 같이, 지지 기구(22)는 유지용 지지부(48)를 유지하는 유지부(51)와, 유지부(51)의 상태를 전환시키는 전환부로서의 전환용 실린더(52)와, 피조작부로서의 제2 롤러(53a) 및 조작부로서의 제3 롤러(53b)를 가지는 링크체(53)를 포함하고 있다.As shown in FIG. 4 to FIG. 8, the support mechanism 22 has the holding|maintenance part 51 which holds the holding|maintenance support part 48, and the cylinder 52 for switching as a switching part which switches the state of the holding part 51. ) and a link body 53 having a second roller 53a as an operation part and a third roller 53b as an operation part.

설명을 부가하면, 도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 바닥판(43)의 상면에, 링크 지지체(54)가 세워 설치되어 있다. 링크체(53)는 그 길이 방향의 중간부가, 링크 지지체(54)에 요동 가능하게 지지되어 있다. 그리고, 링크체(53)의 길이 방향 일단부에는, 제2 롤러(53a)가 회전 가능하게 포함되어 있고, 링크체(53)의 길이 방향 타단부에는, 제3 롤러(53b)가 회전 가능하게 포함되어 있다. 제3 롤러(53b)는, 승강판(47)에 포함된 블록(47a)의 바로 아래에 위치하고 있다. 그러므로, 링크체(53)는, 제2 롤러(53a)가 아래쪽으로 가압 조작됨으로써 제3 롤러(53b)가 위쪽으로 이동하도록 요동하여, 제3 롤러(53b)에 의해 지지부(39)를 이동부(38)에 대하여 위쪽으로 밀어올린다.In addition, as shown in FIG.4 and FIG.5, the link support body 54 is erected on the upper surface of the bottom plate 43, and is provided. As for the link body 53, the intermediate part in the longitudinal direction is supported by the link support body 54 so that it can swing. A second roller 53a is rotatably included at one end of the link body 53 in the longitudinal direction, and a third roller 53b is rotatably included at the other end of the link body 53 in the longitudinal direction. Included. The third roller 53b is located just below the block 47a included in the lifting plate 47 . Therefore, the link body 53 oscillates so that the third roller 53b moves upward by the second roller 53a being pressed downward, and the support part 39 is moved by the third roller 53b to the moving part. Push upwards against (38).

전환용 실린더(52)는, 이동부(38)에 대하여 지지부(39)를 소정의 위치에 유지하는 유지 상태(도 5 및 도 8 참조)와, 지지부(39)에 대한 유지를 해제하여 이동부(38)에 대하여 지지부(39)를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 유지 해제 상태(도 4 및 도 7 참조)로 유지부(51)의 상태를 전환한다. The cylinder 52 for switching is a holding state (refer to FIGS. 5 and 8) which holds the support part 39 in a predetermined position with respect to the moving part 38, and releases the holding|maintenance with respect to the support part 39, and a moving part. With respect to 38, the state of the holding part 51 is switched to the holding|maintenance release state (refer FIG. 4 and FIG. 7) which makes the support part 39 movable in an up-down direction.

설명을 부가하면, 유지부(51)에 있어서의 구동부(46)에 접촉하는 부분에, 주행 방향을 따르는 축심(軸心) 주위에 회전 가능한 제1 롤러(51a)가 포함되어 있다. 유지부(51)에는, 폭 방향으로 간격을 둔 상태로 한 쌍의 제1 롤러(51a)가 포함되어 있다. 전환용 실린더(52)는, 그 로드가 유지부(51)에 연결되어 있다. 그리고, 전환용 실린더(52)는, 신축하여 유지부(51)를 폭 방향으로 이동시킴으로써, 도 7에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 제1 롤러(51a)의 양쪽이 해제용 오목부(49)의 바로 아래에 위치하는 유지 해제 상태와, 도 8에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 제1 롤러(51a)의 양쪽이 유지용 지지부(48)의 바로 아래에 위치하는 유지 상태로 유지부(51)의 상태를 전환 가능하게 구성되어 있다.In addition, the 1st roller 51a rotatable about the axial center along a running direction is contained in the part which contacts the drive part 46 in the holding|maintenance part 51. As shown in FIG. The holding part 51 includes a pair of first rollers 51a in a state spaced apart in the width direction. As for the cylinder 52 for switching, the rod is connected to the holding|maintenance part 51. As shown in FIG. And the cylinder 52 for switching expands and contracts and moves the holding|maintenance part 51 in the width direction, as shown in FIG. 7, both sides of the pair of 1st roller 51a are recessed parts 49 for release. The holding part 51 in the holding state positioned just below the holding release state and the holding state in which both sides of the pair of first rollers 51a are positioned just below the holding support part 48, as shown in FIG. It is configured to be able to change the state of

도 8에 나타낸 바와 같이, 유지부(51)를 유지 상태로 전환한 상태에서는, 지지부(39)는, 유지부(51)에 의해 지지부(39)가 아래쪽으로부터 지지되는 것에 의해, 이동부(38)에 대하여 소정의 위치보다 아래쪽으로 이동하는 것이 규제된다. 이와 같이, 지지부(39)는 이동부(38)에 대하여 소정의 위치에 유지된다. 덧붙이면, 지지부(39)가 이동부(38)에 대하여 소정의 위치보다 위쪽으로 이동하는 것은 탄성부(40)에 의해 규제된다. As shown in FIG. 8 , in the state in which the holding unit 51 is switched to the holding state, the supporting unit 39 is supported by the holding unit 51 from below, so that the moving unit 38 is supported. ), the movement below a predetermined position is regulated. In this way, the support part 39 is held at a predetermined position with respect to the moving part 38 . In addition, the movement of the support part 39 upward relative to the moving part 38 above a predetermined position is regulated by the elastic part 40 .

또한, 도 7에 나타낸 바와 같이, 유지부(51)를 유지 해제 상태로 전환한 상태에서는, 지지부(39)는, 유지부(51)에 의해 지지부(39)가 아래쪽으로부터 지지되지 않게 되므로, 이동부(38)에 대하여 소정의 위치보다 아래쪽으로 이동하는 것이 허용된다. 이로써, 지지부(39)에 대한 유지가 해제된다.In addition, as shown in FIG. 7, in the state in which the holding part 51 is switched to the holding|maintenance release state, since the support part 39 is not supported by the holding part 51 from below, it moves, It is allowed to move below a predetermined position relative to the portion 38 . Thereby, the holding|maintenance with respect to the support part 39 is cancelled|released.

승강 조작 기구(23)는, 주행용 위치(도 4 및 도 10 참조) 및 이송용 위치(도 5 참조)에 더하여, 주행용 위치보다 위쪽으로 설정된 전환용 위치(도 9 참조)로, 지지 기구(22)를 이동시킨다. 그리고, 주행용 위치가 제1 위치에 상당하고, 전환용 위치가 제2 위치에 상당하고, 이송용 위치가 제3 위치에 상당한다. In addition to the position for traveling (refer FIGS. 4 and 10) and the position for transfer (refer FIG. 5), the raising/lowering operation mechanism 23 is a position for switching (refer FIG. 9) set above the position for traveling, and is a support mechanism. (22) is moved. And the position for a run corresponds to a 1st position, the position for a switch corresponds to a 2nd position, and the position for a transfer corresponds to a 3rd position.

그리고, 베이스부(21)에는, 압압부(押壓部)(55)가 포함되어 있다. 상기 압압부(55)는, 지지 기구(22)가 주행용 위치로부터 전환용 위치로 이동함으로써 링크체(53)의 제2 롤러(53a)를 아래쪽으로 가압 조작하고, 지지 기구(22)가 전환용 위치로부터 주행용 위치로 이동함으로써 링크체(53)의 제2 롤러(53a)의 가압 조작을 해제한다And the base part 21 includes the pressing part 55. As shown in FIG. The press part 55 presses the 2nd roller 53a of the link body 53 downward when the support mechanism 22 moves from the position for traveling to the position for switching, and the support mechanism 22 switches. The press operation of the 2nd roller 53a of the link body 53 is cancelled|released by moving from a use position to a running position.

설명을 부가하면, 커버(44)에는 제2 구멍(44b)이 형성되어 있고, 상기 제2 구멍(44b)은 제2 롤러(53a)의 바로 위에 위치하고 있다. 베이스부(21)에는 압압부(55)가 포함되어 있고, 상기 압압부(55)는 제2 롤러(53a)의 바로 위에 위치하고 있다.In addition, a second hole 44b is formed in the cover 44, and the second hole 44b is located directly above the second roller 53a. The base part 21 includes a pressing part 55 , and the pressing part 55 is located directly above the second roller 53a.

도 4 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 유지부(51)가 유지 해제 상태로 전환되어 있는 상태이고, 또한 유지부(51)와 탄성부(40)와 링크체(53) 중에서 탄성부(40)만으로 지지부(39)가 지지되어 있는 상태에서는, 이동부(38)와 지지부(39)의 상하 방향의 이간 거리는, 도 9에 나타낸 바와 같이 이동부(38)에 대하여 지지부(39)가 소정의 위치에 위치하고 있을 때의 이동부(38)와 지지부(39)의 상하 방향의 이간 거리보다 짧다. As shown in FIGS. 4 and 7 , the holding part 51 is switched to the holding release state, and the elastic part 40 among the holding part 51 , the elastic part 40 , and the link body 53 . In a state in which the supporting part 39 is supported by the bay, the vertical distance between the moving part 38 and the supporting part 39 is a predetermined position of the supporting part 39 with respect to the moving part 38 as shown in FIG. 9 . It is shorter than the distance between the moving part 38 and the support part 39 in the up-down direction when it is located.

그리고, 도 9에 나타낸 바와 같이, 압압부(55)에 의해 제2 롤러(53a)를 아래쪽으로 가압 조작함으로써, 링크체(53)가 요동하여 제3 롤러(53b)에 의해 승강판(47)에 고정된 블록(47a)이 위쪽으로 밀어올려져, 이동부(38)와 지지부(39)의 상하 방향의 이간 거리가 길어지고, 지지부(39)는 이동부(38)에 대하여 소정의 위치에 위치한다. And, as shown in FIG. 9, by pressing the 2nd roller 53a downward by the pressing part 55, the link body 53 rock|fluctuates and the raising/lowering plate 47 by the 3rd roller 53b. The block 47a fixed to the is pushed upward, the vertical distance between the moving part 38 and the supporting part 39 is increased, and the supporting part 39 is positioned at a predetermined position with respect to the moving part 38 . Located.

상기와 같이, 지지부(39)를 이동부(38)에 대하여 소정의 위치로 한 상태에서, 도 8에 나타낸 바와 같이, 유지부(51)를 유지 해제 상태로부터 유지 상태로 전환함으로써, 도 10에 나타낸 바와 같이, 압압부(55)에 의한 압압을 해제하여 제3 롤러(53b)에 의해 지지부(39)가 위쪽으로 밀어올려지지 않았다고 해도, 지지부(39)가 유지부(51)의 제1 롤러(51a)에 의해 지지되어 있으므로, 지지부(39)는 이동부(38)에 대하여 소정의 위치에 유지된다.As described above, in the state in which the support part 39 is placed in a predetermined position with respect to the moving part 38, as shown in FIG. 8, by switching the holding part 51 from the holding release state to the holding state, the As shown, even if the pressure by the pressing part 55 is released and the support part 39 is not pushed upward by the third roller 53b, the support part 39 is the first roller of the holding part 51 . Since it is supported by the 51a, the supporting part 39 is held at a predetermined position with respect to the moving part 38 .

[제어부][control unit]

도 3에 나타낸 바와 같이, 물품 반송차(1)에는 이동체(A), 승강 조작 기구(23) 및 전환용 실린더(52)를 제어하여 물품 반송차(1)의 작동을 제어하는 제어부(H)가 포함되어 있다. As shown in FIG. 3 , the article transport vehicle 1 includes a control unit H for controlling the operation of the article transport vehicle 1 by controlling the movable body A, the lifting operation mechanism 23 , and the switching cylinder 52 . is included.

제어부(H)는, 지상 측에 설치되는 상위 컨트롤러로부터의 반송 지령에 기초하여, 용기(W)를 반송원(搬送元)의 지지대(4)로부터 수취하는 수취 처리와, 용기(W)를 반송처의 지지대(4)에 건네주는 건넴 처리를 실행하기 위해, 물품 반송차(1)에 설치되어 있는 모터류의 작동을 제어한다. 물품 반송차(1)는, 수취 처리를 실행하여 반송원의 지지대(4)로부터 용기(W)를 수취하고, 건넴 처리를 실행하여 반송처의 지지대(4)에 용기(W)를 건네줌으로써, 반송원의 지지대(4)로부터 반송처의 지지대(4)로 용기(W)를 반송한다.The control part H conveys the container W and the receiving process which receives the container W from the support stand 4 of a conveyance source based on the conveyance instruction|command from the upper-level controller provided in the ground side, and conveys the container W. The operation of motors installed in the article transport vehicle 1 is controlled in order to carry out the handing over to the supporter 4 of the destination. The article transport vehicle 1 performs a receiving process to receive the container W from the support 4 of the transport source, and performs a handing process to deliver the container W to the support 4 of the transport destination, The container W is conveyed from the support 4 of a conveyance source to the support 4 of a conveyance destination.

건넴 처리에서는 주행 제어, 하강 승강 제어, 클로우 이간 제어, 상승 승강 제어의 순서로 실행된다. In the handing process, travel control, lowering/lowering control, claw separation control, and rising/lowering control are executed in the order.

건넴 처리의 주행 제어는, 반송원의 지지대(4)에 대응하는 정지 위치를 주행원으로 하고, 반송처의 지지대(4)에 대응하는 정지 위치를 주행처로 하여, 주행원으로부터 주행처에 주행부(15)를 주행시키기 위해 주행용 모터(18)의 작동을 제어한다. 덧붙이면, 건넴 처리에 있어서의 주행 제어는, 지지 기구(22)에 의해 용기(W)를 지지하고 있는 상태로 실행된다. 상기 주행 제어가, 용기(W)를 내려놓는 이송 개소에 대하여 미리 설정된 위치를 주행처[이동처(移動處)]로서, 주행원[이동원(移動元)]으로부터 주행처(이동처)까지 이동체(A)를 이동시키는 이동 제어에 상당한다.In the travel control of the handing over processing, a stop position corresponding to the support 4 of the transport source is used as the traveling source, and a stop position corresponding to the support 4 of the transport destination is used as the travel destination, and the traveling unit is transferred from the travel source to the travel destination. In order to drive (15), the operation of the traveling motor (18) is controlled. In addition, travel control in the handing over process is performed in the state in which the container W is supported by the support mechanism 22 . A moving object from a traveling source (moving source) to a traveling destination (moving destination) is a position set in advance with respect to the transfer point where the travel control puts the container W down. It corresponds to the movement control which moves (A).

하강 승강 제어는, 지지 기구(22)를 주행용 위치로부터 전환용 위치에 위쪽으로 이동시킨 후, 유지부(51)를 유지 해제 상태로부터 유지 상태로 전환하고, 그 후, 지지 기구(22)를 전환용 위치로부터 이송용 위치에 아래쪽으로 이동시키기 위해, 승강용 모터(32) 및 전환용 실린더(52)의 작동을 제어한다. 즉, 상기 하강 승강 제어에서는, 주행용 위치로부터 전환용 위치로 이동부(38)를 상승시킨 후에 전환용 위치로부터 이송용 위치까지 이동부(38)를 하강시켜, 지지부(39)에 지지되어 있는 용기(W)를 이송 개소에 내려놓는 내려놓음 제어와, 내려놓음 제어에 있어서 이동부(38)가 전환용 위치에 위치하는 상태에서 유지부(51)를 유지 해제 상태로부터 유지 상태로 전환하는 유지 제어가 실행된다.In the lowering/lowering control, after moving the supporting mechanism 22 upward from the traveling position to the switching position, the holding unit 51 is switched from the holding release state to the holding state, and thereafter, the supporting mechanism 22 is In order to move downward from the position for switching to the position for transfer, the operation|movement of the motor 32 for raising/lowering and the cylinder 52 for switching is controlled. That is, in the lowering/lowering control, after the moving unit 38 is raised from the traveling position to the switching position, the moving unit 38 is lowered from the switching position to the transfer position, and is supported by the supporting unit 39 . A holding control for placing the container W at the transfer point, and a holding for switching the holding unit 51 from the holding release state to the holding state in the state where the moving unit 38 is positioned at the switching position in the setting control. control is executed.

클로우 이간 제어는, 지지 기구(22)를 지지 상태로부터 지지 해제 상태로 전환하기 위해 파지용 모터(34)의 작동을 제어한다. The claw separation control controls the operation of the gripping motor 34 in order to switch the support mechanism 22 from the support state to the support release state.

상승 승강 제어는, 지지 기구(22)를 이송용 위치로부터 전환용 위치에 위쪽으로 이동시킨 후, 유지부(51)를 유지 상태로부터 유지 해제 상태로 전환하고, 그 후, 지지 기구(22)를 전환용 위치로부터 주행용 위치에 아래쪽으로 이동시키기 위해, 승강용 모터(32) 및 전환용 실린더(52)의 작동을 제어한다.After the lifting/lowering control moves the support mechanism 22 upward from the position for transfer to the position for switching, the holding part 51 is switched from the holding state to the holding release state, and thereafter, the support mechanism 22 is In order to move downward from the position for switching to the position for traveling, the operation|movement of the motor 32 for raising/lowering and the cylinder 52 for switching is controlled.

상기와 같이 본 실시형태에서는, 제어부(H)는, 주행부(15)가 주행하고 있는 동안은, 유지부(51)를 유지 해제 상태로 전환하고, 주행부(15)가 정지하고 또한 지지 기구(22)를 상하 방향으로 이동시키고 있는 동안은, 유지부(51)를 유지 상태로 전환할 수 있도록, 물품 반송차(1)를 제어하고 있다. 즉, 제어부(H)는, 주행 제어에 의해 주행부(15)가 주행처에 도착하여 주행 제어가 완료된 후에, 내려놓음 제어 및 유지 제어를 실행한다.As described above, in the present embodiment, the control unit H switches the holding unit 51 to the holding release state while the traveling unit 15 is traveling, the traveling unit 15 is stopped, and the supporting mechanism The article transport vehicle 1 is controlled so that the holding unit 51 can be switched to the holding state while the 22 is moved in the vertical direction. That is, the control unit H executes the unloading control and the maintenance control after the traveling unit 15 arrives at the traveling destination by the traveling control and the traveling control is completed.

수취 처리에서는 주행 제어, 하강 승강 제어, 클로우 접근 제어, 상승 승강 제어의 순서로 실행된다. In the receiving process, travel control, lowering/lowering control, claw approach control, and ascending/lowering control are executed in the order.

그리고, 수취 처리의 주행 제어는, 주행부(15)를 반송원의 지지대(4)에 대응하는 위치로 주행시키기 위해 주행용 모터(18)의 작동을 제어하는 점, 그 주행 제어는, 지지 기구(22)에 의해 용기(W)를 지지하지 않는 상태에서 실행되는 점, 및 클로우 이간 제어 대신에, 지지 기구(22)를 지지 해제 상태로부터 지지 상태로 전환하기 위해 파지용 모터(34)의 작동을 제어하는 클로우 접근 제어를 실행하는 점 이외는, 수수(授受) 처리와 동일하다.The travel control of the receiving process controls the operation of the traveling motor 18 in order to cause the traveling unit 15 to travel to a position corresponding to the support 4 of the transport source, and the traveling control is a support mechanism. The point executed in the state in which the container W is not supported by 22, and the operation of the gripping motor 34 to switch the support mechanism 22 from the unsupported state to the supported state instead of the claw separation control. It is the same as the give-and-take process, except that the claw access control that controls the

[다른 실시형태][Other embodiment]

(1) 상기 실시형태에서는, 지지체에 이동부와 지지부와 탄성부와 전환부를 포함하였으나, 이동체에 이동부와 지지부와 탄성부와 전환부를 포함해도 된다. (1) In the said embodiment, although the moving part, the support part, the elastic part, and the switching part were included in a support body, you may include a moving part, a support part, an elastic part, and a switching part in a movable body.

구체적으로는, 도 11 및 도 12에 나타낸 바와 같이, 이동체(A)에, 주행륜(19)(차륜)를 포함한 제2 이동부(61)[주행부(15)와 베이스부(21)의 일부로 구성]와, 제2 이동부(61)에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 연결되고 또한 지지 기구(22)(지지체)를 지지하는 제2 지지부(62)와, 제2 이동부(61)와 제2 지지부(62) 사이에 개재되는 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 제2 탄성부(63)와, 제2 지지부(62)를 유지하는 제2 유지부(64)와, 제2 유지부(64)의 상태를 전환시키는 제2 전환부(65)를 포함한다. More specifically, as shown in FIGS. 11 and 12 , the second moving part 61 (of the traveling part 15 and the base part 21 ) including the traveling wheels 19 (wheels) in the movable body A. composed of a part], a second support part 62 movably connected in the vertical direction with respect to the second moving part 61 and supporting the support mechanism 22 (support body), the second moving part 61 and A second elastic part 63 that is elastically deformable in the vertical direction interposed between the second support parts 62 , a second holding part 64 holding the second support part 62 , and a second holding part 64 . and a second switching unit 65 for switching the state of

제2 전환부(65)는, 제2 이동부(61)에 대하여 제2 지지부(62)를 소정의 위치에 유지하는 제2 유지 상태(도 12 참조)와, 제2 지지부(62)에 대한 유지를 해제하여 제2 이동부(61)에 대하여 제2 지지부(62)를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 제2 유지 해제 상태(도 11 참조)로 제2 유지부(64)의 상태를 전환하도록 구성한다.The second switching unit 65 includes a second holding state (refer to FIG. 12 ) for holding the second supporting unit 62 at a predetermined position with respect to the second moving unit 61 , and To release the holding to switch the state of the second holding unit 64 to the second holding release state (see FIG. 11 ) that enables the second supporting unit 62 to move in the vertical direction with respect to the second moving unit 61 . make up

(2) 상기 실시형태에서는, 제어부가, 이동 제어에 의해 이동부가 이동처에 도착한 후에, 내려놓음 제어를 개시하도록, 이동 제어 및 내려놓음 제어를 실행하였으나, 제어부가, 이동 제어에 의해 이동부의 이동이 개시된 후, 상기 이동 제어에 의해 이동부가 이동처에 도착하기 전에, 내려놓음 제어를 개시하고, 이동 제어에 의해 이동부가 이동처에 도착한 후에, 내려놓음 제어가 완료되도록, 이동 제어 및 내려놓음 제어를 실행해도 된다.(2) In the above embodiment, the control unit executes the movement control and the placing control so that the placing control is started after the moving unit arrives at the moving destination by the movement control. However, the control unit moves the moving unit by the movement control After this is started, before the moving part arrives at the moving destination by the movement control, the placing control is started, and after the moving part arrives at the moving destination by the movement control, the placing control is completed so that the moving control and the placing control are completed. may be run.

(3) 상기 실시형태에서는, 지지부의 제2 부분을 이동부의 제1 부분의 바로 위에 위치시켜, 탄성부를 이동부의 제1 부분과 지지부의 제2 부분 사이에 압축 상태로 설치하였으나, 지지부의 제2 부분을 이동부의 제1 부분의 바로 아래에 위치시켜, 탄성부를 이동부의 제1 부분과 지지부의 제2 부분 사이에 인장 상태로 설치해도 된다. (3) In the above embodiment, the second part of the support part is positioned directly above the first part of the moving part, and the elastic part is installed in a compressed state between the first part of the moving part and the second part of the support part, but the second part of the support part The part may be positioned directly below the first part of the moving part, and the elastic part may be provided in tension between the first part of the moving part and the second part of the support part.

또한, 상기 실시형태에서는, 탄성부로서 기둥형의 실리콘 고무를 사용하였으나, 탄성체는 스프링이나 판스프링 등의 별도의 탄성 부재를 사용해도 되고, 재질이나 형상은 적절히 변경해도 된다.Moreover, in the said embodiment, although columnar silicone rubber was used as an elastic part, other elastic members, such as a spring and a leaf spring, may be used for an elastic body, and a material and shape may be changed suitably.

(4) 상기 실시형태에서는, 이동체가, 천장에 설치된 레일에 지지된 상태에서 레일을 따라 이동하고, 지지체가 레일의 아래쪽에 위치하여 이동체에 매달려 지지되도록, 물품 반송차를 구성하였으나, 이동체가 바닥면에 설치된 레일에 지지된 상태에서 레일을 따라 이동하고, 지지체가 레일의 위쪽에 위치하여 이동체에 지지되도록, 물품 반송차를 구성해도 된다.(4) In the above embodiment, the article transport vehicle is configured such that the movable body moves along the rail while being supported by the rail installed on the ceiling, and the support body is located below the rail and is supported by hanging from the movable body. The article transport vehicle may be configured such that it moves along the rail in a state supported by the rail provided on the surface, and the support is positioned above the rail to be supported by the movable body.

(5) 상기 실시형태에서는, 지지체를 제2 위치로 상승시킨 상태에서, 유지부를 유지 해제 상태로부터 유지 상태로 전환하였으나, 지지체를 제1 위치에 위치시킨 상태에서, 또는, 지지체를 제1 위치로부터 제3 위치를 향하여 하강시키면서, 유지부를 유지 해제 상태로부터 유지 상태로 전환하도록 해도 된다. (5) In the above embodiment, in the state where the support body is raised to the second position, the holding part is switched from the holding release state to the holding state, but with the support body positioned at the first position, or the support body is moved from the first position You may make it switch from a holding|maintenance release state to a holding state, descending toward a 3rd position.

구체적으로는, 예를 들면, 전환부를, 유지부를 상하 방향으로 이동시키도록 구성하고, 탄성체만으로 지지되어 있는 지지부보다 아래쪽에 유지부를 퇴피시킨 상태를 유지 해제 상태로 하고, 이동부에 대하여 소정의 위치에 위치하는 지지부를 유지부에 의해 아래쪽으로부터 지지하는 상태를 유지 상태로 하여, 전환부에 의해 유지부를 상하 방향으로 이동시킴으로써, 유지 해제 상태와 유지 상태에 유지부를 전환하도록 해도 된다.Specifically, for example, the switching unit is configured to move the holding unit in the vertical direction, and the state in which the holding unit is retracted below the supporting unit supported only by the elastic body is set as the holding release state, and a predetermined position with respect to the moving unit is made. The holding part may be switched between the holding release state and the holding state by making the holding state in which the supporting part located at ' is supported from below by the holding part and moving the holding part up and down by the switching part.

[상기 실시형태의 개요][Summary of the above embodiment]

이하, 상기에서 설명한 물품 반송 장치의 개요에 대하여 설명한다.Hereinafter, the outline of the article transport apparatus described above will be described.

물품 반송 장치의 특징 구성은, 이동 방향을 따라 이동하는 이동체와, 상기 이동체에 지지되고 또한 물품을 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 상기 이동체에 대하여 상하 방향으로 이동시키는 지지 조작체를 포함하고, A characteristic configuration of the article transport device includes a movable body moving along a movement direction, a support body supported by the movable body and supporting the article, and a support operation body for moving the support body in an up-down direction with respect to the movable body,

상기 지지체는, 상기 지지 조작체에 의해 이동되는 이동부와, 상기 이동부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 상기 이동부에 연결되고 또한 물품을 매달아 지지하는 지지부와, 상기 이동부와 상기 지지부 사이에 개재되는 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 탄성부와, 상기 지지부를 유지하는 유지부와, 상기 유지부의 상태를 전환시키는 전환부를 포함하고, The support includes a movable part moved by the support operation body, a support part connected to the movable part so as to be movable in an up-down direction with respect to the movable part and suspending an article, and between the movable part and the support part. It includes an interposed elastic part elastically deformable in the vertical direction, a holding part for holding the support part, and a switching part for changing the state of the holding part,

상기 전환부는, 상기 이동부에 대하여 상기 지지부를 소정의 위치에 유지하는 유지 상태와, 상기 지지부에 대한 유지를 해제하여 상기 이동부에 대하여 상기 지지부를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 유지 해제 상태로 상기 유지부의 상태를 전환시키는 점에 있다.The switching unit is configured to be in a holding state in which the support part is held at a predetermined position with respect to the moving part, and in a holding release state in which the holding part is released with respect to the moving part to enable the support part to move up and down with respect to the moving part. The point is to change the state of the holding part.

상기 특징 구성에 의하면, 유지부를 유지 해제 상태로 전환함으로써, 지지부가 이동부에 대하여 탄성적으로 상하 방향으로 이동 가능하게 되고, 유지부를 유지 상태로 전환함으로써, 지지부가 이동부에 대하여 소정의 위치에 유지된다. According to the above characteristic configuration, by switching the holding part to the holding release state, the supporting part is elastically movable in the vertical direction with respect to the moving part, and by switching the holding part to the holding state, the supporting part is positioned at a predetermined position with respect to the moving part. maintain.

그러므로, 이동체가 이동할 때는, 유지부를 유지 해제 상태로 전환함으로써, 이동부가 이동할 때 이동부에 생긴 진동을 탄성부에 의해 흡수할 수 있다. 그러므로, 이동부에 생긴 진동이 물품에 전달되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 이동부가 이동할 때는, 유지부를 유지 상태로 전환함으로써, 이동부에 대하여 지지부가 이동하는 것을 규제할 수 있다. 따라서, 지지 조작체에 의해 이동부를 상하 방향으로 이동시켜 물품을 이송 개소로 이동시키는 경우에, 물품을 이송 개소에 정확하게 이동시키기 용이하다. Therefore, when the movable body moves, by switching the holding part to the holding release state, the vibration generated in the moving part when the moving part moves can be absorbed by the elastic part. Therefore, it is possible to suppress transmission of the vibration generated in the moving part to the article. In addition, when the moving unit moves, it is possible to restrict the movement of the supporting unit with respect to the moving unit by switching the holding unit to the holding state. Therefore, in the case where the moving part is moved in the vertical direction by the support operation body to move the article to the transfer location, it is easy to accurately move the article to the transfer location.

상기와 같이, 이동체가 이동할 때 이동체에 생기는 진동이 물품에 전달되는 것을 억제할 수 있으면서, 이동부를 이동시켰을 때 물품을 이송 개소에 이동시키기 용이한 물품 반송 장치를 제공할 수 있다.As described above, it is possible to provide an article conveying apparatus capable of suppressing transmission of vibrations generated by the moving object to the article when the moving object moves, and easily moving the article to the transfer location when the moving part is moved.

여기서, 상기 탄성부는, 상기 이동부의 제1 부분과, 상기 지지부의 일부이고 또한 상기 제1 부분의 바로 위에 위치하는 제2 부분과의 사이에 압축 상태로 설치되고, 상기 이동부는, 피조작부 및 조작부를 가지는 링크체를 포함하고, 상기 링크체는, 상기 피조작부가 아래쪽으로 가압 조작됨으로써 상기 조작부가 위쪽으로 이동하여 상기 조작부에 의해 상기 지지부를 상기 이동부에 대하여 위쪽으로 밀어올리고, 상기 지지 조작체는, 상기 이동체가 이동할 때의 상기 이동체에 대한 상기 지지체의 위치인 제1 위치와, 상기 제1 위치보다 위쪽으로 이동한 제2 위치와, 상기 제1 위치보다 아래쪽으로 이동한 제3 위치에 상기 지지체를 상하 방향으로 이동시키고, 상기 이동체는, 상기 지지체가 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동함으로써 상기 링크체의 상기 피조작부를 아래쪽으로 가압 조작하고, 상기 지지체가 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 이동함으로써 상기 링크체의 상기 피조작부의 가압 조작을 해제하는 압압부를 포함하고 있으면 바람직하다.Here, the elastic part is provided in a compressed state between a first part of the moving part and a second part which is a part of the support part and is located directly above the first part, and the moving part includes the operated part and the operated part. and a link body having a, wherein the link body is configured such that, when the operated part is pressed downward, the operating part moves upward, and the operating part pushes the supporting part upward with respect to the moving part, and the support operating body is a first position that is a position of the support with respect to the movable body when the movable body moves, a second position that is moved upward from the first position, and a third position that is moved below the first position. a support body is moved in an up-down direction, and the movable body presses the operated part of the link body downward by moving the support body from the first position to the second position, and the support moves the support body from the second position to the second position. It is preferable that the link body includes a pressing portion for releasing the pressing operation of the operated portion of the link body by moving to the first position.

상기 구성에 의하면, 이동체가 이동하는 경우에는, 지지체는 제1 위치에 위치하고 있다. 그리고, 지지체를 제1 위치로부터 제2 위치에 위쪽으로 이동시킨 후에, 지지체를 제2 위치로부터 제3 위치에 아래쪽으로 이동시킴으로써, 다음과 같이 지지체를 유지할 수 있다. According to the above configuration, when the movable body moves, the support body is positioned at the first position. Then, after moving the support body upward from the first position to the second position, by moving the support body downward from the second position to the third position, the support body can be maintained as follows.

즉, 지지체를 제1 위치로부터 제2 위치에 위쪽으로 이동시킴으로써, 링크체의 피조작부가 압압부에 의해 가압 조작된다. 이에 따라, 링크체의 조작부가 지지부를 이동부에 대하여 위쪽으로 밀어올리고, 이동부에 대하여 지지부를 소정의 위치에 위치시킬 수 있다. 그리고, 이와 같이, 링크체의 작용에 의해 지지부를 소정의 위치에 위치시킨 상태에서, 전환부에 의해 유지부를 유지 해제 상태로부터 유지 상태로 전환한다. 이 때, 지지부는 소정의 위치에 위치하고 있으므로, 전환부에 의해 유지부를 유지 해제 상태로부터 유지 상태로 전환하기 위한 조작력에 의해 지지부를 이동시킬 필요가 없기 때문, 전환부의 조작력을 작게 할 수 있다. That is, by moving the support body upward from the first position to the second position, the operated portion of the link body is pressed by the pressing portion. Thereby, the operation part of the link body pushes up the support part with respect to the moving part, and it can position the support part with respect to the moving part at a predetermined position. And, in the state in which the support part was positioned at a predetermined position by the action of the link body in this way, the holding part is switched from the holding release state to the holding state by the switching part. At this time, since the support part is located at a predetermined position, it is not necessary to move the support part by the operating force for switching the holding part from the holding release state to the holding state by the switching part, so that the operating force of the switching part can be made small.

상기와 같이, 지지 조작체에 의한 지지체의 조작력을 이용하여 이동부에 대한 지지체의 위치를 변경함으로써, 전환부의 조작력이 작게 된다.As described above, by changing the position of the support with respect to the moving part using the operating force of the support by the support operating body, the operating force of the switching part becomes small.

또한, 상기 이동체, 상기 지지 조작체 및 상기 전환부를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제어부는, 물품을 내려놓는 이송 개소에 대하여 미리 설정된 위치를 이동처로 하여, 이동원으로부터 상기 이동처까지 상기 이동체를 이동시키는 이동 제어와, 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치에 상기 이동부를 상승시킨 후에 상기 제2 위치로부터 상기 제3 위치에 상기 이동부를 하강시켜, 상기 지지부에 지지하고 있는 물품을 상기 이송 개소에 내려놓는 내려놓음 제어와, 상기 내려놓음 제어에 있어서 상기 이동부가 상기 제2 위치에 위치하는 상태에서 상기 유지부를 상기 유지 해제 상태로부터 상기 유지 상태로 전환하는 유지 제어를 실행하고, 상기 이동 제어에 의해 상기 이동체가 상기 이동처에 도착하기 전에 상기 내려놓음 제어의 실행을 개시하면 바람직하다.The control unit may further include a control unit for controlling the movable body, the support operation body, and the switching unit, wherein the control unit moves the movable body from the moving source to the moving destination by using a preset position with respect to a transfer point where the article is placed as the moving destination. and, after raising the moving unit from the first position to the second position, lowering the moving unit from the second position to the third position, and lowering the article supported by the supporting unit to the transfer point. a release control and a holding control for switching the holding part from the holding release state to the holding state in a state where the moving part is located at the second position in the putting control are executed; It is preferable to start the execution of the placing control before the moving object arrives at the moving destination.

상기 구성에 의하면, 주행 제어를 실행할 때는, 유지부를 유지 해제 상태로 전환해 둠으로써, 주행 제어에 의해 이동체가 이동원으로부터 이동할 때, 이동체에 생긴 진동이 물품에 전달되는 것을 억제할 수 있다. 그리고, 내려놓음 제어를 실행하고, 그 내려놓음 제어의 실행 중에 유지 제어를 실행함으로써, 물품을 이송 개소에 내려놓기 전에 유지부를 유지 상태로 전환할 수 있기 때문에, 지지 조작체에 의해 이동부를 상하 방향으로 이동시켜 물품을 이송 개소에 이동시키는 경우에, 물품을 이송 개소에 정확하게 이동시키기 용이하다. According to the above configuration, by switching the holding unit to the holding release state when executing the travel control, when the moving object moves from the moving source by the travel control, it is possible to suppress transmission of vibrations generated in the moving object to the article. Then, by executing the placing control and executing the holding control during the execution of the placing control, the holding unit can be switched to the holding state before the article is put down at the transfer location, so that the moving unit can be moved in the vertical direction by the support operation body. In the case of moving the article to the transfer location by moving the

그리고, 이동 제어에 의해 이동체가 이동처에 도착하기 전에 내려놓음 제어의 실행을 개시하기 때문에, 이동체가 이동처에 도착한 후에 내려놓음 제어의 실행을 개시한 경우에 비하여, 물품을 이송 개소에 신속히 내리는 것이 가능하다.And, since execution of the placing control is started before the moving object arrives at the moving destination by the movement control, the article is lowered to the transfer location more quickly than in the case where execution of the placing control is started after the moving object arrives at the moving destination. it is possible

또한, 상기 이동체는, 천장에 설치된 레일에 지지된 상태에서 상기 레일을 따라 이동하고, 상기 지지체는, 상기 레일의 아래쪽에 위치하여 상기 이동체에 매달려 지지되어 있으면 바람직하다.In addition, it is preferable that the movable body moves along the rail in a state supported by a rail installed on the ceiling, and the support body is located below the rail and is supported by hanging from the movable body.

상기 구성에 의하면, 천장에 설치된 레일을 따라 이동체가 이동할 때는, 유지부를 유지 해제 상태로 전환하여 둠으로써, 이동체가 레일의 이음매 등을 이동했을 때 생긴 진동이, 물품에 전달되는 것을 억제할 수 있다. 그리고, 레일의 아래쪽에 위치하는 지지체가, 바닥면 가까이에 설정된 이송 개소에 용기를 내려놓을 때, 유지부를 유지 상태로 전환하여 둠으로써, 지지부가 이동부에 대하여 이동하기 어려워져, 이송 개소에 물품을 정확하게 내려놓기 용이해진다. According to the above configuration, when the movable body moves along the rail installed on the ceiling, the vibration generated when the movable body moves the joint of the rail or the like can be suppressed from being transmitted to the article by switching the holding part to the holding release state. . And, when the support located below the rail puts the container down at the transfer location set close to the floor, by switching the holding part to the holding state, the support part becomes difficult to move with respect to the moving part, and the article is transferred to the transfer location. It is easy to put down accurately.

물품 반송 장치의 특징 구성은, 이동 방향을 따라 이동하는 이동체와, 상기 이동체에 지지되고 또한 물품을 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 상기 이동체에 대하여 상하 방향으로 이동시키는 지지 조작체를 포함하고, A characteristic configuration of the article transport device includes a movable body moving along a movement direction, a support body supported by the movable body and supporting the article, and a support operation body for moving the support body in an up-down direction with respect to the movable body,

상기 이동체는, 차륜을 구비한 제2 이동부와, 상기 제2 이동부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 연결되고 또한 상기 지지체를 지지하는 제2 지지부와, 상기 제2 이동부와 상기 제2 지지부 사이에 개재되는 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 제2 탄성부와, 상기 제2 지지부를 유지하는 제2 유지부와, 상기 제2 유지부의 상태를 전환시키는 제2 전환부를 포함하고, 상기 제2 전환부는, 상기 제2 이동부에 대하여 상기 제2 지지부를 소정의 위치에 유지하는 제2 유지 상태와, 상기 제2 지지부에 대한 유지를 해제하여 상기 제2 이동부에 대하여 상기 제2 지지부를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 제2 유지 해제 상태로 상기 제2 유지부의 상태를 전환시키는 점에 있다.The movable body includes a second moving part having wheels, a second supporting part connected to be movable in an up-down direction with respect to the second moving part and supporting the supporting body, the second moving part and the second supporting part A second elastic part elastically deformable in the vertical direction interposed therebetween, a second holding part for holding the second support part, and a second switching part for switching a state of the second holding part, wherein the second switching part , a second holding state in which the second support part is held at a predetermined position with respect to the second moving part, and the second support part is moved up and down with respect to the second moving part by releasing the holding of the second support part. The point is that the state of the second holding unit is switched to the second holding release state which enables movement.

상기 구성에 의하면, 제2 유지부를 제2 유지 해제 상태로 전환함으로써, 제2 지지부가 제2 이동부에 대하여 탄성적으로 상하 방향으로 이동 가능하게 되고, 제2 유지부를 유지 상태로 전환함으로써, 제2 지지부가 제2 이동부에 대하여 소정의 위치에 유지된다. According to the above configuration, by switching the second holding unit to the second holding release state, the second supporting unit is elastically movable in the vertical direction with respect to the second moving unit, and by switching the second holding unit to the holding state, The second supporting portion is held at a predetermined position with respect to the second moving portion.

그러므로, 제2 이동체가 이동할 때는, 제2 유지부를 유지 해제 상태로 전환함으로써, 제2 이동부가 이동할 때 제2 이동부에 생긴 진동을 제2 탄성부에 의해 흡수할 수 있다. 이로써, 제2 이동부에 생긴 진동이 물품에 전달되는 것을 억제할 수 있다. 또한, 제2 이동부가 이동할 때는, 제2 유지부를 유지 상태로 전환함으로써, 제2 이동부에 대하여 제2 지지부가 이동하는 것을 규제할 수 있다. 따라서, 지지 조작체에 의해 이동체를 상하 방향으로 이동시켜 물품을 이송 개소에 이동시키는 경우에, 물품을 이송 개소에 정확하게 이동시키기 용이하다. Therefore, when the second movable body moves, by switching the second holding part to the holding release state, the vibration generated in the second moving part when the second moving part moves can be absorbed by the second elastic part. Thereby, it is possible to suppress the vibration generated in the second moving part from being transmitted to the article. Moreover, when a 2nd moving part moves, by switching a 2nd holding|maintenance part to a holding state, it can control that a 2nd support part moves with respect to a 2nd moving part. Therefore, when the movable body is moved in the vertical direction by the support operation body to move the article to the transfer location, it is easy to accurately move the article to the transfer location.

상기와 같이, 이동체가 이동할 때 이동체에 생기는 진동이 물품에 전달되는 것을 억제할 수 있으면서, 지지체를 이동시켰을 때 물품을 이송 개소에 이동시키기 용이한 물품 반송 장치를 제공할 수 있다. As described above, it is possible to provide an article conveying apparatus capable of suppressing transmission of vibrations generated by the moving object to the article when the moving object is moved and easily moving the article to the transfer location when the support is moved.

본 개시에 관한 기술은 이동체와, 이동체에 지지된 지지체와, 지지체를 상하 방향으로 이동시키는 지지 조작체를 포함하고 있는 물품 수송 설비에 이용할 수 있다. The technology according to the present disclosure can be used for an article transport facility including a movable body, a support supported by the movable body, and a support operation body that moves the support in an up-down direction.

1 : 물품 반송차(물품 반송 장치)
22 : 지지 기구(지지체)
23 : 승강 조작 기구(지지 조작체)
38 : 이동부
38a : 제1 부분
39 : 지지부
39a : 제2 부분
40 : 탄성부
51 : 유지부
52 : 전환용 실린더(전환부)
53 : 링크체
53a : 제2 롤러(피조작부)
53b : 제3 롤러(조작부)
55 : 압압부
61 : 제2 이동부
62 : 제2 지지부
63 : 제2 탄성부
64 : 제2 유지부
65 : 제2 전환부
A : 이동체
H : 제어부
W : 용기(물품)1: Goods transport vehicle (goods transport device)
22: support mechanism (support body)
23: lifting operation mechanism (support operation body)
38: moving part
38a: first part
39: support
39a: second part
40: elastic part
51: holding part
52: cylinder for conversion (switching part)
53: link body
53a: second roller (part to be operated)
53b: third roller (operation part)
55: pressing unit
61: second moving unit
62: second support
63: second elastic part
64: second holding part
65: second conversion unit
A: mobile
H: control
W : container (article)

Claims (5)

이동 방향을 따라 이동하는 이동체;
상기 이동체에 지지되고 또한 물품을 지지하는 지지체; 및,
상기 지지체를 상기 이동체에 대하여 상하 방향으로 이동시키는 지지 조작체
를 포함하고,
상기 지지체는, 상기 지지 조작체에 의해 이동되는 이동부; 상기 이동부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 상기 이동부에 연결되고 또한 물품을 매달아 지지하는 지지부; 상기 이동부와 상기 지지부 사이에 개재되는 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 탄성부; 상기 지지부를 유지하는 유지부; 및 상기 유지부의 상태를 전환시키는 전환부를 포함하고,
상기 전환부는, 상기 이동부에 대하여 상기 지지부를 소정의 위치에 유지하는 유지 상태와, 상기 지지부에 대한 유지를 해제하여 상기 이동부에 대하여 상기 지지부를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 유지 해제 상태로 상기 유지부의 상태를 전환시키는,
물품 반송(搬送) 장치.a moving body moving along the moving direction;
a support supported on the movable body and supporting an article; and,
A support operation body for moving the support body in an up-down direction with respect to the movable body
including,
The support may include: a moving part moved by the support operator; a support part connected to the moving part so as to be movable in the vertical direction with respect to the moving part and supporting the article by hanging; an elastic part elastically deformable in the vertical direction interposed between the moving part and the support part; a holding part for holding the support part; and a switching unit for changing the state of the holding unit,
The switching unit is configured to be in a holding state in which the support part is held at a predetermined position with respect to the moving part, and in a holding release state in which the holding part is released with respect to the moving part to enable the support part to move up and down with respect to the moving part. to change the state of the holding part,
Goods transport device. 제1항에 있어서,
상기 탄성부는, 상기 이동부의 제1 부분과, 상기 지지부의 일부이고 또한 상기 제1 부분의 바로 위에 위치하는 제2 부분 사이에 압축 상태로 설치되고,
상기 이동부는, 피(被)조작부 및 조작부를 가지는 링크체를 포함하고,
상기 링크체는, 상기 피조작부가 아래쪽으로 가압 조작됨으로써 상기 조작부가 위쪽으로 이동하여 상기 조작부에 의해 상기 지지부를 상기 이동부에 대하여 위쪽으로 밀어올리고,
상기 지지 조작체는, 상기 이동체가 이동할 때의 상기 이동체에 대한 상기 지지체의 위치인 제1 위치와, 상기 제1 위치보다 위쪽으로 이동한 제2 위치와, 상기 제1 위치보다 아래쪽으로 이동한 제3 위치에 상기 지지체를 상하 방향으로 이동시키고,
상기 이동체는, 상기 지지체가 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치로 이동함으로써 상기 링크체의 상기 피조작부를 아래쪽으로 가압 조작하고, 상기 지지체가 상기 제2 위치로부터 상기 제1 위치로 이동함으로써 상기 링크체의 상기 피조작부의 가압 조작을 해제하는 압압부(押壓部)를 포함하는, 물품 반송 장치. According to claim 1,
The elastic part is installed in a compressed state between the first part of the moving part and the second part which is a part of the support part and is located just above the first part,
The moving unit includes a link body having an operating unit and an operating unit,
In the link body, when the operated part is pressed downward, the operation part moves upward, and the support part is pushed upward with respect to the movable part by the operation part,
The support operation body includes a first position that is a position of the support relative to the movable body when the movable body moves, a second position that is moved higher than the first position, and a second position that is moved lower than the first position. 3 to move the support in the vertical direction,
The movable body presses the operated part of the link body downward by the support body moving from the first position to the second position, and the link body moves from the second position to the first position. and a pressing portion for releasing a pressing operation of the operated portion of a sieve. 제2항에 있어서,
상기 이동체, 상기 지지 조작체, 및 상기 전환부를 제어하는 제어부를 포함하고,
상기 제어부는, 물품을 내려놓는 이송 개소(箇所)에 대하여 미리 설정된 위치를 이동처(移動處)로 하여, 이동원(移動元)으로부터 상기 이동처까지 상기 이동체를 이동시키는 이동 제어와, 상기 제1 위치로부터 상기 제2 위치에 상기 이동부를 상승시킨 후에 상기 제2 위치로부터 상기 제3 위치에 상기 이동부를 하강시켜, 상기 지지부에 지지되어 있는 물품을 상기 이송 개소에 내려놓는 내려놓음 제어와, 상기 내려놓음 제어에 있어서 상기 이동부가 상기 제2 위치에 위치하는 상태에서 상기 유지부를 상기 유지 해제 상태로부터 상기 유지 상태로 전환하는 유지 제어를 실행하고,
상기 이동 제어에 의해 상기 이동체가 상기 이동처에 도착하기 전에 상기 내려놓음 제어의 실행을 개시하는, 물품 반송 장치.3. The method of claim 2,
a control unit for controlling the movable body, the support operation body, and the switching unit;
The control unit includes a movement control for moving the movable body from a movement source to the movement destination by using a preset position with respect to a transfer point where the article is placed as a movement destination; a placing control for lowering the moving unit from the second position to the third position after raising the moving unit from the position to the second position to place the article supported by the support unit at the transfer point; executing holding control for switching the holding unit from the holding release state to the holding state in a state in which the moving unit is positioned at the second position in the release control;
and starting execution of the placing control before the moving object arrives at the moving destination by the movement control. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 이동체는, 천장에 설치된 레일에 지지된 상태에서 상기 레일을 따라 이동하고,
상기 지지체는, 상기 레일의 아래쪽에 위치하여 상기 이동체에 매달려 지지되어 있는, 물품 반송 장치. 3. The method of claim 1 or 2,
The movable body moves along the rail in a state supported by the rail installed on the ceiling,
wherein the support body is located below the rail and is supported by hanging from the movable body. 이동 방향을 따라 이동하는 이동체;
상기 이동체에 지지되고 또한 물품을 지지하는 지지체; 및
상기 지지체를 상기 이동체에 대하여 상하 방향으로 이동시키는 지지 조작체
를 포함하고,
상기 이동체는, 차륜을 구비한 제2 이동부; 상기 제2 이동부에 대하여 상하 방향으로 이동 가능하게 연결되고 또한 상기 지지체를 지지하는 제2 지지부; 상기 제2 이동부와 상기 제2 지지부 사이에 개재되는 상하 방향으로 탄성 변형 가능한 제2 탄성부; 상기 제2 지지부를 유지하는 제2 유지부; 및 상기 제2 유지부의 상태를 전환시키는 제2 전환부를 포함하고,
상기 제2 전환부는, 상기 제2 이동부에 대하여 상기 제2 지지부를 소정의 위치에 유지하는 제2 유지 상태와, 상기 제2 지지부에 대한 유지를 해제하여 상기 제2 이동부에 대하여 상기 제2 지지부를 상하 방향으로 이동 가능하게 하는 제2 유지 해제 상태로, 상기 제2 유지부의 상태를 전환시키는,
물품 반송 장치.a moving body moving along the moving direction;
a support supported on the movable body and supporting an article; and
A support operation body for moving the support body in an up-down direction with respect to the movable body
including,
The movable body includes: a second moving part having wheels; a second support part connected to the second movable part to be movable in the vertical direction and supporting the support body; a second elastic part elastically deformable in the vertical direction interposed between the second moving part and the second support part; a second holding unit for holding the second supporting unit; and a second switching part for switching the state of the second holding part,
The second switching unit includes: a second holding state for holding the second supporting unit at a predetermined position with respect to the second moving unit; switching the state of the second holding unit to a second holding release state that enables the supporting unit to move in the vertical direction;
Goods conveying equipment.
KR1020170113228A 2016-09-09 2017-09-05 Article transport device KR102304194B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016176981A JP6702106B2 (en) 2016-09-09 2016-09-09 Article carrier
JPJP-P-2016-176981 2016-09-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20180028940A KR20180028940A (en) 2018-03-19
KR102304194B1 true KR102304194B1 (en) 2021-09-17

Family

ID=61569864

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170113228A KR102304194B1 (en) 2016-09-09 2017-09-05 Article transport device

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP6702106B2 (en)
KR (1) KR102304194B1 (en)
CN (1) CN107804640B (en)
TW (1) TWI719238B (en)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108792472A (en) * 2018-06-27 2018-11-13 上海新创达智能科技有限公司 A kind of novel overhead transport systems
JP7234754B2 (en) * 2019-04-04 2023-03-08 村田機械株式会社 overhead carrier
WO2020217632A1 (en) * 2019-04-24 2020-10-29 村田機械株式会社 Damping device, stacker crane, transport system, and damping device jig
JP7111255B2 (en) * 2019-05-13 2022-08-02 村田機械株式会社 overhead carrier
JP7238736B2 (en) * 2019-11-13 2023-03-14 株式会社ダイフク Article lifting device
WO2021181923A1 (en) * 2020-03-13 2021-09-16 村田機械株式会社 Gripper device, conveyance vehicle, and conveyance method
JP7359171B2 (en) * 2021-02-17 2023-10-11 株式会社ダイフク Goods transport vehicle

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005280946A (en) 2004-03-30 2005-10-13 Daifuku Co Ltd Conveying device
JP2006298535A (en) 2005-04-19 2006-11-02 Murata Mach Ltd Overhead traveling vehicle

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11322263A (en) * 1998-05-12 1999-11-24 Shinko Electric Co Ltd Suspended type elevating/lowering device
JP4123570B2 (en) * 1998-05-12 2008-07-23 アシスト テクノロジーズ ジャパン株式会社 Suspended lifting device
JP2000016755A (en) * 1998-06-29 2000-01-18 Shinko Electric Co Ltd Suspended lifting device
JP4120396B2 (en) * 2002-12-27 2008-07-16 村田機械株式会社 Transport cart
US20050079041A1 (en) * 2003-10-13 2005-04-14 International Business Machines Corporation Hoisting device for use with overhead traveling carriage system
JP4086028B2 (en) * 2004-10-05 2008-05-14 株式会社ダイフク Hanging conveyor
CN101277879A (en) * 2005-10-03 2008-10-01 日精株式会社 Bracket transferring mechanism and article storing apparatus using the same
WO2010044440A1 (en) * 2008-10-17 2010-04-22 株式会社アルバック Conveying device and vacuum device
JP5209549B2 (en) * 2009-03-19 2013-06-12 本田技研工業株式会社 Door transfer equipment
CN102470985B (en) * 2009-11-27 2015-07-22 株式会社大福 Ceiling conveyor car
JP2011143521A (en) * 2010-01-18 2011-07-28 Honda Motor Co Ltd Assembling carrying device
JP5668340B2 (en) * 2010-07-02 2015-02-12 村田機械株式会社 Ceiling transport vehicle
CN103803304A (en) * 2012-11-09 2014-05-21 贺芳 Transmission method and device
JP5782492B2 (en) * 2013-10-09 2015-09-24 日立アロカメディカル株式会社 Sample measuring device
JP6102759B2 (en) * 2014-01-16 2017-03-29 株式会社ダイフク Goods transport cart
JP6256694B2 (en) * 2014-06-13 2018-01-10 株式会社ダイフク Container lifting and lowering conveyor
JP6327124B2 (en) * 2014-11-12 2018-05-23 株式会社ダイフク Goods transport vehicle
CN205531367U (en) * 2015-10-15 2016-08-31 中国长江三峡集团公司 System of vibrating
CN205221839U (en) * 2015-10-31 2016-05-11 重庆雨帝建材有限公司 Globular part conveyor device of connecting rod formula

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005280946A (en) 2004-03-30 2005-10-13 Daifuku Co Ltd Conveying device
JP2006298535A (en) 2005-04-19 2006-11-02 Murata Mach Ltd Overhead traveling vehicle

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018039659A (en) 2018-03-15
TWI719238B (en) 2021-02-21
KR20180028940A (en) 2018-03-19
TW201811645A (en) 2018-04-01
CN107804640A (en) 2018-03-16
CN107804640B (en) 2021-08-06
JP6702106B2 (en) 2020-05-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102304194B1 (en) Article transport device
KR102319927B1 (en) Article transport carriage
TWI246501B (en) Overhead traveling carriage system
JP6327124B2 (en) Goods transport vehicle
KR102463265B1 (en) Article transport facility
JP6642577B2 (en) Transport system
KR101463473B1 (en) Transfer device
US9685360B2 (en) Transport device
KR102432628B1 (en) Article support deviec
JP7099245B2 (en) Goods carrier
KR102268409B1 (en) Container transport facility
KR102206058B1 (en) Conveyance system
JP2013154983A (en) Article transport facility
KR20120029325A (en) Transport device
US11345542B2 (en) Article transport facility
KR102126240B1 (en) Substrate transport facility
JP2016107285A (en) Laser cutting system
JP7268667B2 (en) carrier
KR102264858B1 (en) System and method of Apparatus for transferring a carrier
KR102637694B1 (en) driving car system
CN114644196A (en) Article conveying facility

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant