KR102126240B1 - Substrate transport facility - Google Patents

Substrate transport facility Download PDF

Info

Publication number
KR102126240B1
KR102126240B1 KR1020130127067A KR20130127067A KR102126240B1 KR 102126240 B1 KR102126240 B1 KR 102126240B1 KR 1020130127067 A KR1020130127067 A KR 1020130127067A KR 20130127067 A KR20130127067 A KR 20130127067A KR 102126240 B1 KR102126240 B1 KR 102126240B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
container
substrate
low
mounting portion
point
Prior art date
Application number
KR1020130127067A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20140059716A (en
Inventor
시게토 무라야마
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20140059716A publication Critical patent/KR20140059716A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102126240B1 publication Critical patent/KR102126240B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G1/00—Storing articles, individually or in orderly arrangement, in warehouses or magazines
    • B65G1/02—Storage devices
    • B65G1/04—Storage devices mechanical
    • B65G1/0407—Storage devices mechanical using stacker cranes
    • B65G1/0414—Storage devices mechanical using stacker cranes provided with satellite cars adapted to travel in storage racks
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)

Abstract

기판 반송 설비는, 주행 레일을 따라 주행 이동하여 용기를 용기 반송 개소에 반송하는 천정 반송차와, 기판 인출 개소에 위치하는 용기로부터 기판을 인출하여 기판 처리 장치에 반송하는 기판 반송 장치와, 용기를 탑재하는 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시켜 용기를 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 반송하는 중계 반송 장치를 구비한다. 기판 반송 장치를, 탑재부에 탑재된 상태로 기판 인출 개소에 위치하는 용기로부터, 기판을 인출하여, 상기 기판을 기판 처리 장치에 반송 가능하게 구성한다. The substrate transport facility includes a ceiling transport vehicle that travels along a travel rail and transports containers to a container transport location, a substrate transport apparatus that draws a substrate from a container located at a substrate extraction location, and transports the substrate to a substrate processing apparatus. A relay conveying device is provided that moves the mounting portion to be mounted along a horizontal direction to convey the container between the container conveyance point and the substrate withdrawal point. The board|substrate conveying apparatus is comprised so that a board|substrate is taken out from the container located in the board|substrate take-out position mounted in the mounting part, and the board|substrate can be conveyed to a substrate processing apparatus.

Figure R1020130127067
Figure R1020130127067

Description

기판 반송 설비{SUBSTRATE TRANSPORT FACILITY}Substrate transport facility {SUBSTRATE TRANSPORT FACILITY}

본 발명은, 천정에 설치된 주행 레일에 안내 지지된 상태로 상기 주행 레일을 따라 주행 이동하여, 복수 개의 기판을 수납한 용기를 용기 반송 개소(箇所)에 반송하는 천정 반송차(搬送車)가 설치되어 있는 기판 반송 설비에 관한 것이다. In the present invention, a ceiling transport vehicle is installed, which travels along the travel rail while being guided and supported by the travel rail provided on the ceiling, and transports containers containing a plurality of substrates to a container transport location. It relates to a substrate transfer facility.

상기와 같은 기판 반송 설비의 일례로서, 기판을 수납한 용기를 천정 반송차에 의해 용기 반송 개소에 반송하도록 구성되어 있는 것이 있다[예를 들면, 일본공개특허 제2010―137961호 공보(특허 문헌 1 참조)]. As an example of such a substrate transport facility, there is one that is configured to transport a container containing a substrate to a container transport location by a ceiling transport vehicle (for example, JP 2010-137961 A (Patent Document 1). Reference)].

이 특허 문헌 1에 기재된 기판 반송 설비에서는, 용기를 탑재하는 제1 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시켜 용기를 용기 반송 개소와 중계 개소와의 사이에서 반송하는 제1 반송 장치와, 용기를 탑재하는 제2 탑재부를 수평 방향 및 상하 방향으로 이동시켜 용기를 중계 개소와 물품 수납 선반의 수납부와의 사이에서 반송하는 제2 반송 장치를 설치하여, 이들 제1 반송 장치와 제2 반송 장치에 의해, 용기 반송 개소의 용기를 물품 수납 선반의 수납부에 반송하도록 구성되어 있다. In the substrate conveying facility described in this patent document 1, a first conveying device for conveying a container between a container conveying point and a relay point by moving the first mounting portion for mounting the container along a horizontal direction, and a agent for mounting the container 2 A second conveying device is provided to move the mounting portion in the horizontal direction and up and down to convey the container between the relay point and the storage part of the article storage shelf, and by using the first conveying device and the second conveying device, the container It is comprised so that the container of a conveyance location is conveyed to the storage part of an article storage shelf.

그리고, 물품 수납 선반의 근방에 기판 인출 개소를 설정하고, 상기 기판 인출 개소에 용기를 탑재 지지하는 탑재대를 설치하는 동시에, 탑재대에 탑재된 용기로부터 기판을 인출하여 상기 기판을 기판 처리 장치에 반송하는 기판 반송 장치를 설치하도록 구성되어 있는 것이 있다[예를 들면, 일본공개특허 제2008―068963호 공보(특허 문헌 2 참조)]. 이 특허 문헌 2에 기재된 기판 반송 설비에서는, 제2 반송 장치를 이용하여 용기를 물품 수납 선반의 수납부와 기판 인출 개소의 탑재대와의 사이에서 반송하고, 기판 반송 장치에 의해 탑재대 위의 용기로부터 기판을 인출하여 상기 기판을 기판 처리 장치에 반송하여, 기판을 기판 처리 장치에 반송하도록 구성되어 있다. Then, a substrate withdrawal location is set in the vicinity of the article storage shelf, and a mounting table for mounting and supporting a container is provided at the substrate withdrawal location, and a substrate is withdrawn from the container mounted on the mounting table to transfer the substrate to the substrate processing apparatus. Some are configured to provide a substrate conveying device for conveying (for example, Japanese Patent Application Publication No. 2008-068963 (see Patent Document 2)). In the substrate transport facility described in this patent document 2, the container is transported between the storage portion of the article storage shelf and the mounting table of the substrate take-out point using a second transportation device, and the container on the mounting table is transferred by the substrate transport device. It is comprised so that a board|substrate is taken out from it, and the said board|substrate is conveyed to a substrate processing apparatus, and a board|substrate is conveyed to a substrate processing apparatus.

상기한 특허 문헌 1에 기재된 기판 반송 설비 및 특허 문헌 2에 기재된 기판 반송 설비로부터, 기판 반송 설비를 다음과 같이 구성하는 것이 고려된다. 즉, 기판을 수납한 용기를 천정 반송차에 의해 용기 반송 개소에 반송하고, 이 용기 반송 개소에 위치하는 용기를 제1 반송 장치에 의해 중계 개소에 반송하고, 제2 반송 장치에 의해, 중계 개소에 위치하는 용기를 물품 수납 선반의 수납부에 반송하는 동시에, 필요에 따라 물품 수납 선반의 수납부에 수납되어 있는 용기를 기판 인출 개소의 탑재대 상으로 반송한다. 그리고, 기판 반송 장치에 의해, 탑재대에 탑재된 상태로 기판 인출 개소에 위치하는 용기로부터, 기판을 인출하여, 상기 기판(4)을 기판 처리 장치에 반송한다. From the substrate transport facility described in Patent Document 1 and the substrate transport facility described in Patent Document 2, it is considered that the substrate transport facility is configured as follows. That is, the container containing the substrate is conveyed to the container conveyance point by the ceiling conveyance vehicle, and the container positioned at the container conveyance point is conveyed to the relay point by the first conveyance device, and the relay position is conveyed by the second conveyance device. The container located at is transported to the storage portion of the article storage shelf, and, if necessary, the container stored in the storage portion of the article storage shelf is transferred onto the mounting table at the substrate take-out point. And the board|substrate is taken out from the container located in the board|substrate take-out position with the board|substrate conveying apparatus mounted in the mounting table, and the said board|substrate 4 is conveyed to a board|substrate processing apparatus.

일본공개특허 제2010―137961호 공보Japanese Patent Publication No. 2010-137961 일본공개특허 제2008―068963호 공보Japanese Patent Publication No. 2008-068963

그러나, 상기한 바와 같이 구성한 기판 반송 설비에서는, 용기를 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 반송하기 위해, 제1 탑재부를 수평 방향으로 이동시키는 제1 반송 장치와, 제2 탑재부를 수평 방향 및 상하 방향으로 이동시키는 제2 반송 장치를 설치하고 있는 점이나, 용기를 일시적으로 수납하는 물품 수납 선반을 설치하고 있는 점이나, 기판 인출 개소에 탑재대를 설치하고 있는 점에 의해, 기판 반송 설비의 구성이 복잡한 것으로 되어 있었다. 또한, 제1 반송 장치로부터 제2 반송 장치에 용기를 받아건네는 점이나, 제2 반송 장치로부터 탑재대에 용기를 받아건네는 점에 의해, 기판을 기판 처리 장치에 효율적으로 반송하기 어려웠다. However, in the substrate conveying facility configured as described above, in order to convey the container between the container conveying point and the substrate withdrawing point, the first conveying device for moving the first mounting portion in the horizontal direction and the second mounting portion in the horizontal direction And a second conveying device for moving in the vertical direction, a point for providing an article storage shelf for temporarily storing a container, and a point for installing a mounting base at a substrate take-out point. The composition of the was supposed to be complicated. In addition, it was difficult to efficiently transport the substrate to the substrate processing apparatus due to the fact that the container was transferred from the first conveying device to the second conveying device, or the container was conveyed from the second conveying device to the mounting table.

상기 문제점을 해결하기 위해, 구성의 간소화를 도모하면서 기판을 효율적으로 기판 처리 장치에 반송할 수 있는 기판 반송 설비의 실현이 요구된다. In order to solve the above problem, it is desired to realize a substrate transport facility capable of efficiently transporting a substrate to a substrate processing apparatus while simplifying the configuration.

본 발명에 관한 기판 반송 설비는, Substrate transport equipment according to the present invention,

천정에 설치된 주행 레일에 안내 지지된 상태로 상기 주행 레일을 따라 주행 이동하여, 복수 개의 기판을 수납한 용기를 용기 반송 개소에 반송하는 천정 반송차;A ceiling transport vehicle which travels along the travel rail while being guided by the travel rail installed on the ceiling, and transports a container containing a plurality of substrates to a container transport location;

상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 반송 가능한 중계 반송 장치; 및A relay conveyance device capable of conveying the container between the container conveyance point and the substrate withdrawal point; And

상기 기판 인출 개소에 위치하는 상기 용기로부터 상기 기판을 인출하여, 상기 기판에 대하여 처리를 행하는 기판 처리 장치에, 인출한 상기 기판을 반송하는 기판 반송 장치;A substrate transfer device for taking the substrate out of the container located at the substrate take-off point and processing the substrate;

를 포함하고,Including,

여기서, 상기 중계 반송 장치가, 상기 용기를 탑재하는 단일의 탑재부를 구비하여, 상기 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시켜 상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 상기 기판 인출 개소와의 사이에서 반송 가능하게 구성되며, Here, the relay conveying device is configured to be provided with a single mounting portion for mounting the container, to move the mounting portion in the horizontal direction to transport the container between the container transporting point and the substrate take-off point. ,

상기 기판 반송 장치가, 상기 탑재부에 탑재된 상태로 상기 기판 인출 개소에 위치하는 상기 용기로부터, 상기 기판을 인출하여, 상기 기판을 상기 기판 처리 장치에 반송 가능하게 구성되어 있다.The substrate transport apparatus is configured to be able to transport the substrate to the substrate processing apparatus by taking out the substrate from the container positioned at the substrate take-out position while being mounted on the mounting portion.

즉, 중계 반송 장치는, 용기를 탑재하는 단일의 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시킴으로써, 상기 탑재부 상의 용기를 다른 탑재부에 이송탑재(transfer)시키지 않고, 탑재부에 탑재한 용기를 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 반송할 수 있다. 기판 반송 장치는, 탑재부에 탑재된 상태로 기판 인출 개소에 위치하는 용기로부터, 기판을 인출하여, 상기 기판을 상기 기판 처리 장치에 반송할 수 있다. That is, the relay transport apparatus moves the single mounting portion for mounting the container along the horizontal direction, thereby transferring the container mounted on the mounting portion to the container conveying position and the substrate without transferring the container on the mounting portion to another mounting portion. It can be conveyed between locations. The board|substrate conveying apparatus can take out a board|substrate from the container located in the board|substrate take-out position mounted in the mounting part, and can convey the said board|substrate to the said board|substrate processing apparatus.

그러므로, 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 용기를 반송하는 반송 장치로서, 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시키는 중계 반송 장치를 설치하는 것만으로 되고, 또한 일시적으로 용기를 수납하는 물품 수납 선반이 필요하지 않고, 또한 기판 인출 개소에 있어서 용기를 탑재 지지하기 위한 탑재대를 별도 설치할 필요가 없다. 그러므로, 기판 반송 설비의 구성의 간소화를 도모할 수 있다. 또한, 기판 반송 장치가, 기판 인출 개소에 있어서 중계 반송 장치의 탑재부에 탑재된 용기로부터 직접 기판을 인출하고, 상기 기판을 기판 처리 장치에 반송하도록 구성되므로, 중계 반송 장치의 탑재부로부터 다른 개소에 용기를 받아건넬 필요가 없어, 기판을 기판 처리 장치에 효율적으로 반송하기 용이해진다. Therefore, as a conveying device for conveying the container between the container conveying point and the substrate taking-out point, it is only necessary to provide a relay conveying device for moving the mounting portion along the horizontal direction, and an article storage shelf for temporarily storing the container is provided. It is not necessary, and there is no need to separately install a mounting table for mounting and supporting the container at the substrate take-out point. Therefore, it is possible to simplify the configuration of the substrate transport facility. In addition, since the substrate conveying device is configured to withdraw the substrate directly from the container mounted on the mounting portion of the relay conveying device at the substrate taking-out point, and convey the substrate to the substrate processing apparatus, the container is transferred from the mounting portion of the relay conveying device to another location. There is no need to pass through, and it becomes easy to efficiently transfer the substrate to the substrate processing apparatus.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다. Hereinafter, examples of preferred embodiments of the present invention will be described.

본 발명에 관한 기판 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 기판이, 직사각형으로 형성된 판상체인 것이 바람직하다. In the board|substrate conveyance facility embodiment which concerns on this invention, it is preferable that the said board|substrate is a plate shape formed in rectangle.

즉, 기판이, 유리 기판 등의 직사각형으로 형성된 판상체이며, 그 직사각형으로 형성된 판상체를 효율적으로 용기로부터 인출하여 기판 처리 장치에 반송할 수 있다. That is, the substrate is a plate-like body formed of a rectangle such as a glass substrate, and the plate-like body formed of the rectangle can be efficiently taken out of the container and conveyed to the substrate processing apparatus.

본 발명에 관한 기판 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 중계 반송 장치가, 상기 탑재부를 연직(鉛直) 방향을 따른 축심 주위로 선회(旋回) 이동시켜 상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 상기 기판 인출 개소와의 사이에서 반송하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다. In the substrate conveying facility embodiment according to the present invention, the relay conveying device rotates the mounting portion around an axis in the vertical direction to move the container to the container conveying position and the substrate withdrawal point. It is preferable that it is comprised so that it may convey in between.

즉, 탑재부에 용기를 탑재시킨 상태로, 탑재부를 선회 이동시킴으로써 용기를 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 반송할 수 있다. That is, the container can be conveyed between the container conveyance point and the substrate withdrawal point by moving the mounting portion by rotating the container in the state where the container is mounted.

그리고, 탑재부의 선회 이동은, 예를 들면, 연직 방향을 따른 회전 축심 주위로 회전 가능한 연결부에 탑재부를 연결하여 그 연결부를 전동 모터에 의해 회전시키는 등의 간단한 구성으로 실현할 수 있으므로, 중계 반송 장치의 구성의 간소화를 도모할 수 있다. In addition, since the rotational movement of the mounting portion can be realized in a simple configuration, for example, by connecting the mounting portion to a rotatable connection portion around a rotating shaft center along the vertical direction and rotating the connection portion by an electric motor, Configuration can be simplified.

본 발명에 관한 기판 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 기판 인출 개소가, 복수 설정되고, 상기 중계 반송 장치가, 복수의 상기 기판 인출 개소에 별개로 상기 용기를 반송하는 상태로 복수 설치되고, 상기 기판 반송 장치가, 상기 용기가 복수의 상기 기판 인출 개소의 어디에 위치하는 상태에 있더라도, 상기 용기로부터 상기 기판을 인출 가능하게 구성되어 있는 것이 바람직하다. In the board|substrate conveyance facility embodiment which concerns on this invention, a plurality of said board|substrate take-out points are set, and the said relay transfer apparatus is provided in multiple states in the state which conveys the said container to several said board|substrate take-off points separately, and said board|substrate It is preferable that the conveying apparatus is configured to be able to withdraw the substrate from the container even when the container is in a state where it is located at a plurality of the substrate extraction points.

즉, 중계 반송 장치를 복수 설치하여, 복수 개소의 기판 인출 개소에 별개로 용기를 반송할 수 있으므로, 1개의 기판 인출 개소에 용기가 존재하고 있는 경우라도, 다른 기판 인출 개소에 용기를 반송할 수 있다. 그리고, 복수의 기판 인출 개소 중, 기판 반송 장치에 의해 기판을 인출하고 있는 용기가 존재하고 있는 기판 인출 개소 이외의 기판 인출 개소를, 용기를 일시적으로 보관하는 버퍼로서 이용할 수 있다. That is, since a plurality of relay transport apparatuses are provided and containers can be transported separately to a plurality of substrate take-out points, even if a container exists at one substrate take-off point, the container can be transported to another substrate take-out point. have. And, among the plurality of substrate take-out locations, a substrate take-out location other than the substrate take-out location where the container is taken out by the substrate transfer device may be used as a buffer for temporarily storing the container.

본 발명에 관한 기판 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 천정 반송차가, 상기 용기를 매달아 지지하는 지지체를 승강 가능하게 구비하여, 상기 지지체를 상승 위치로 상승 이동시킨 주행용 상태에서 주행 이동 가능하게 구성되며, 또한 상기 지지체를 상기 상승 위치로부터 하강 이동시켜 상기 탑재부 상에 상기 용기를 내려놓는 형태로 상기 용기를 상기 용기 반송 개소에 반송하도록 구성되며, 상기 용기 반송 개소는, 상기 탑재부 상에 탑재된 상태로 상기 용기 반송 개소에 위치하는 상기 용기의 상단이, 상기 주행용 상태의 상기 천정 반송차의 상기 지지체의 하단보다 아래쪽이며 또한 상기 주행용 상태의 상기 천정 반송차에 지지된 상기 용기의 하단보다 위쪽에 위치하는 개소로 설정되어 있는 것이 바람직하다. In the embodiment of the substrate transport facility according to the present invention, the ceiling transport vehicle is provided with a support for hanging and supporting the container so that it can be moved up and down in a running state in which the support is raised and moved to an elevated position. In addition, the container is configured to convey the container to the container conveying location in a form of lowering the container on the mounting portion by moving the support downward from the raised position, wherein the container conveying location is mounted on the mounting portion. The upper end of the container located at the container conveyance point is lower than the lower end of the support of the ceiling transport vehicle in the running state, and further above the lower end of the container supported by the ceiling transport vehicle in the running state. It is preferable that it is set to a location to be located.

즉, 용기 반송 개소는, 탑재부 상에 탑재된 상태로 용기 반송 개소에 위치하는 용기의 상단이, 주행용 상태의 천정 반송차의 지지체의 하단보다 아래쪽이며 또한 주행용 상태의 천정 반송차에 지지된 용기의 하단보다 위쪽에 위치하도록 설정되어 있다. 그러므로, 용기 반송 개소에 위치하는 용기를 탑재 지지하는 탑재부의 위치를, 용기 반송 개소의 바로 위에 위치하는 천정 반송차에 접근하여, 천정 반송차가 용기 반송 개소에 반송할 때의 지지체의 하강량을 적게 할 수 있어, 용기를 용기 반송 개소로 신속히 반송할 수 있다. That is, in the container conveyance position, the upper end of the container positioned at the container conveyance position while being mounted on the mounting portion is lower than the lower end of the support of the ceiling conveyance vehicle in the traveling state and supported by the ceiling conveyance vehicle in the traveling state. It is set to be located above the bottom of the container. Therefore, the position of the mounting portion for mounting and supporting the container positioned at the container conveyance position is approached to the ceiling transport vehicle positioned directly above the container conveyance position, and the amount of descending of the support when the ceiling transport vehicle is conveyed to the container conveyance position is reduced. This can be done, and the container can be quickly transported to the container transport location.

또한, 용기 반송 개소는, 탑재부 상에 탑재된 상태로 용기 반송 개소에 위치하는 용기의 상단이, 주행용 상태의 천정 반송차의 지지체의 하단보다 아래쪽에 위치하는 개소이므로, 용기 반송 개소에 용기가 존재하고 있었다고 해도, 용기를 지지하지 않는 주행용 상태의 천정 반송차를 용기 반송 개소의 바로 위로 주행시킬 수 있다. In addition, since the upper end of the container located in the container conveyance position while being mounted on the mounting portion is located below the lower end of the support of the ceiling transport vehicle in the running state, the container conveyance position is the container conveyance position. Even if it exists, the ceiling transport vehicle in a running state without supporting the container can be moved directly above the container transport point.

본 발명에 관한 기판 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 용기 반송 개소로서, 저위치(低位置) 용기 반송 개소와 상기 저위치 용기 반송 개소보다 고위치(高位置)로 설정된 고위치 용기 반송 개소가 설정되고, 상기 기판 인출 개소로서, 저위치 기판 인출 개소와 상기 저위치 기판 인출 개소보다 고위치로 설정된 고위치 기판 인출 개소가 설정되고, 상기 중계 반송 장치로서, 상기 용기를 상기 저위치 용기 반송 개소와 상기 저위치 기판 인출 개소와의 사이에서 반송하는 저위치 반송 장치와, 상기 용기를 상기 고위치 용기 반송 개소와 상기 고위치 기판 인출 개소와의 사이에서 반송하는 고위치 반송 장치가 설치되고, 상기 고위치 반송 장치에 구비된 고위치용의 상기 탑재부가, 상기 저위치 반송 장치에 구비된 저위치용의 상기 탑재부에서의 상기 용기를 탑재하는 탑재면의 높이보다 높고 또한 상기 저위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 상단보다 낮은 높이에 설치되고, 상기 저위치용의 탑재부는, 상기 저위치용의 탑재부의 이동 궤적이 상기 고위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치되고, 상기 고위치용의 탑재부는, 상기 고위치용의 탑재부의 이동 궤적이 상기 저위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치되어 있는 것이 바람직하다. In the board|substrate conveyance facility embodiment which concerns on this invention, the low-position container conveyance position and the high-position container conveyance position set to the higher position than the said low-position container conveyance position are set as said container conveyance position. As the substrate take-off point, a low-position substrate take-off point and a high-position substrate take-off point set to a higher position than the low-position substrate take-off point are set, and as the relay conveying device, the container is provided with the low-position container take-off point. A low-position conveying device for conveying between the low-position substrate take-off point and a high-position conveying device for conveying the container between the high-position container conveyance point and the high-position substrate take-off point are installed, and the high The mounting portion for a high position provided in the position conveying device is higher than the height of a mounting surface for mounting the container in the mounting portion for a low position provided in the low position conveying device and is mounted on the mounting portion for the low position. It is installed at a lower height than the top of the container, and the low-position mounting portion overlaps the movement trajectory of the low-position mounting portion when viewed from the vertical direction with the movement trajectory of the container mounted on the high-position mounting portion. It is installed in a state having a portion that does not overlap with the portion, and the high-position mounting portion overlaps when the movement trajectory of the high-position mounting portion is viewed from the vertical direction with the movement trajectory of the container mounted on the low-position mounting portion. It is preferable to be installed in a state having a part that does not overlap with the part to be.

즉, 저위치용의 탑재부의 이동 궤적이, 고위치용의 탑재부에 탑재된 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분을 가지고, 또한 고위치용의 탑재부의 이동 궤적이, 저위치용의 탑재부에 탑재된 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분을 가지는 상태로, 저위치용의 탑재부 및 고위치용의 탑재부가 설치되어 있다. 그러므로, 저위치 반송 장치와 고위치 반송 장치와의 수평 방향에서의 설치 스페이스의 공간 절약화를 도모할 수 있다. That is, the movement trajectory of the mounting portion for the low position has a portion overlapping when viewed from the vertical direction with the movement trajectory of the container mounted on the mounting portion for the high position, and the movement trajectory of the mounting portion for the high position is the mounting portion for the low position. The low-position mounting portion and the high-position mounting portion are provided in a state of having a portion overlapping when viewed from the vertical direction and the movement trajectory of the container mounted on. Therefore, space saving of the installation space in the horizontal direction between a low-position conveying apparatus and a high-position conveying apparatus can be aimed at.

또한, 고위치용의 탑재부가, 저위치용의 탑재부에서의 용기를 탑재하는 탑재면의 높이보다 높고 또한 저위치용의 탑재부에 탑재된 용기의 상단보다 낮은 높이에 설치되어 있으므로, 저위치 반송 장치와 고위치 반송 장치와의 상하 방향에서의 설치 스페이스의 공간 절약화를 도모할 수 있다. In addition, since the high-position mounting portion is provided at a height higher than the height of the mounting surface for mounting the container at the low-position mounting portion and lower than the top of the container mounted at the low-position mounting portion, the low-position conveying apparatus and The space saving of the installation space in the up-down direction with a high position conveying apparatus can be aimed at.

또한, 고위치용의 탑재부 및 그 고위치용의 탑재부에 탑재된 용기가, 저위치용의 탑재부의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되지 않는 상태에서는, 저위치용의 탑재부를 이동시켜 용기를 반송할 때, 고위치용의 탑재부나 그 고위치용의 탑재부에 탑재된 용기가 방해가 되지 않는다. 그러므로, 전술한 바와 같이, 고위치용의 탑재부 및 그 고위치용의 탑재부에 탑재된 용기를, 저위치용의 탑재부의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되지 않는 개소에 위치시킨 상태에서, 저위치용의 탑재부를 저위치 용기 반송 개소에 대응하는 위치와 저위치 기판 인출 개소에 대응하는 위치로 이동시킴으로써, 용기를 저위치 용기 반송 개소와 저위치 기판 인출 개소와의 사이에서 반송할 수 있다. Further, in a state in which the mounting portion for the high position and the container mounted on the mounting portion for the high position do not overlap with the movement trajectory of the mounting position for the low position when viewed in the vertical direction, the mounting portion for the low position is moved to transport the container. At this time, the high-position mounting portion or the container mounted on the high-position mounting portion does not interfere. Therefore, as described above, the high-position mounting portion and the container mounted on the high-position mounting portion are positioned at a position not overlapping with the movement trajectory of the low-position mounting portion, and for the low position. The container can be conveyed between the low-position container conveyance point and the low-position substrate take-off point by moving the mounting portion of the position to a position corresponding to the low-position container conveyance point and a low-position substrate take-off point.

또한, 저위치용의 탑재부에 탑재된 용기가 고위치용의 탑재부의 이동 궤적과 상하 방향으로 중복되지 않는 상태에서는, 고위치용의 탑재부를 고위치 용기 반송 개소에 대응하는 위치와 고위치 기판 반송 개소에 대응하는 위치로 이동시킴으로써, 용기를 고위치 용기 반송 개소와 고위치 기판 반송 개소와의 사이에서 반송할 수 있다. Further, in a state where the container mounted on the low-position mounting portion does not overlap with the movement trajectory of the high-position mounting portion in the vertical direction, the high-position mounting portion is positioned at a position corresponding to the high-position container transportation location and a high-position substrate transportation location. By moving to the corresponding position, the container can be transported between the high-position container conveyance point and the high-position substrate conveyance point.

이와 같이, 저위치 반송 장치와 고위치 반송 장치와의 수평 방향 및 상하 방향에서의 설치 스페이스의 공간 절약화를 도모하면서, 고위치 반송 장치에 있어서의 고위치용의 탑재부에 탑재된 용기에 간섭하지 않고, 저위치 반송 장치에 의해 용기를 저위치 용기 반송 개소나 저위치 기판 인출 개소에 반송할 수 있다. Thus, while aiming at space saving of the installation space in the horizontal direction and the vertical direction of a low-position conveyance apparatus and a high-position conveyance apparatus, without interfering with the container mounted in the high-position conveyance mounting part in a high-position conveyance apparatus. , The container can be conveyed to the low-position container conveyance point or the low-position substrate take-out point by the low-position conveyance device.

도 1은, 기판 반송 설비의 사시도이다.
도 2는, 기판 반송 설비의 평면도이다.
도 3은, 기판 반송 설비의 측면도이다.
도 4는, 저위치 반송 장치와 고위치 반송 장치를 나타낸 사시도이다.
도 5는, 저위치 반송 장치와 고위치 반송 장치를 나타낸 평면도이다.
도 6은, 저위치용의 탑재부에 탑재된 용기의 이동 궤적과 고위치용의 탑재부 및 그 탑재부에 탑재된 용기의 이동 궤적을 나타낸 평면도이다.
도 7은, 고위치용의 탑재부에 탑재된 용기의 이동 궤적과 저위치용의 탑재부 및 그 탑재부에 탑재된 용기의 이동 궤적을 나타낸 평면도이다.
도 8은, 탑재부의 지지 구조를 나타낸 도면이다.
도 9는, 제어 블록도이다.
도 10은, 플로우차트이다. 1 is a perspective view of a substrate transport facility.
2 is a plan view of the substrate transport facility.
3 is a side view of the substrate transport facility.
4 is a perspective view showing a low-position conveying device and a high-position conveying device.
5 is a plan view showing a low-position conveying device and a high-position conveying device.
Fig. 6 is a plan view showing a movement trajectory of a container mounted on a mounting portion for a low position and a movement trajectory of a mounting portion for a high position and a container mounted on the mounting portion.
It is a top view which shows the movement trajectory of the container mounted in the mounting part for high positions, the movement trajectory of the mounting part for low positions, and the container mounted in the mounting part.
8 is a view showing the supporting structure of the mounting portion.
9 is a control block diagram.
10 is a flowchart.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다. Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 설비에는, 제1 반송 개소(1)(도 2 및 도 3 참조)와 제2 반송 개소(2)(도 2 및 도 3 참조)와의 사이에서 복수 개의 기판(4)을 수납 가능한 용기(3)를 반송하는 반송 장치(5)와, 제1 반송 개소(1)와 자체 사이에서 용기(3)를 반송하는 천정 반송차(6)와, 기판(4)에 대하여 처리를 행하는 기판 처리 장치(7)와, 제2 반송 개소(2)에 위치하는 용기(3)와 기판 처리 장치(7)와의 사이에서 기판(4)을 반송하는 기판 반송 장치(8)가 설치되어 있다. 본 예에서는, 천정 반송차(6)는, 제1 반송 개소(1)와 자체 사이에서 용기(3)를 반송하는 기구(機構)를 가지는 동시에, 수평 방향으로 이동 가능하게 구성된다. As shown in Figs. 1 to 3, a plurality of substrate conveying facilities are provided between the first conveying point 1 (see Figs. 2 and 3) and the second conveying point 2 (see Figs. 2 and 3). A conveying device 5 for conveying a container 3 that can accommodate four substrates 4, a ceiling transport vehicle 6 for conveying a container 3 between the first conveying point 1 and itself, and a substrate ( 4) a substrate processing apparatus 7 for processing the substrate, and a substrate transport apparatus for transporting the substrate 4 between the container 3 and the substrate processing apparatus 7 located at the second transport location 2 ( 8) is installed. In this example, the ceiling transport vehicle 6 is configured to have a mechanism for transporting the container 3 between the first transport point 1 and itself, and to be movable in the horizontal direction.

그리고, 기판 반송 설비는, 천정 반송차(6)에 의해 용기(3)를 제1 반송 개소(1)에 반송하고, 반송 장치(5)에 의해 용기(3)를 제1 반송 개소(1)로부터 제2 반송 개소(2)에 반송하고, 기판 반송 장치(8)에 의해, 제2 반송 개소(2)에 위치하는 용기(3)로부터 기판(4)을 인출하여 상기 기판(4)을 기판 처리 장치(7)에 반송하도록 구성되어 있다. And the board|substrate conveyance facility conveys the container 3 to the 1st conveyance location 1 by the ceiling conveyance vehicle 6, and the container 3 is conveyed to the 1st conveyance location 1 by the conveyance apparatus 5. The substrate 4 is taken out from the container 3 located in the second conveying point 2 by the substrate conveying device 8, and then conveyed to the second conveying point 2 from the substrate 4. It is configured to convey to the processing apparatus 7.

또한, 기판 반송 설비는, 기판 반송 장치(8)에 의해, 기판 처리 장치(7)에 의한 처리가 완료된 기판(4)을 기판 처리 장치(7)로부터 제2 반송 개소(2)에 위치하는 용기(3)에 반송하여 상기 기판(4)을 용기(3)에 수납하고, 반송 장치(5)에 의해 용기(3)를 제2 반송 개소(2)로부터 제1 반송 개소(1)에 반송하고, 천정 반송차(6)에 의해 용기(3)를 제1 반송 개소(1)로부터 반송하도록 구성되어 있다. Moreover, the board|substrate conveyance facility is the container which the board|substrate 4 by which the processing by the board|substrate processing apparatus 7 was completed by the board|substrate conveyance apparatus 8 is located in the 2nd conveyance location 2 from the board|substrate processing apparatus 7 (3), and the substrate 4 is stored in the container 3, and the container 3 is conveyed from the second conveying point 2 to the first conveying point 1 by the conveying device 5, , It is configured to convey the container 3 from the first conveying point 1 by the ceiling conveying car 6.

기판 반송 설비는, 청정실 내에 설치되어 있고, 기판(4)으로서, 액정 패널 등에 사용되는 직사각형으로 형성된 유리 기판이 용기(3)에 수납되어 있다. 용기(3)는, 가로측 면에는 기판(4)을 출입시키기 위한 개구가 형성되고, 천정 반송차(6)의 지지체(21)에 지지되는 플랜지부가 상면에 설치되어 있다. 또한, 도시는 생략하지만, 기판(4)은, 수평 자세로 또한 상하 방향으로 인접하는 기판(4)끼리의 사이에 간극이 형성된 상태로 용기(3)에 수납되어 있다. The board|substrate conveyance facility is provided in the clean room, and as the board|substrate 4, the glass substrate formed in the rectangle used for a liquid crystal panel etc. is accommodated in the container 3. In the container 3, an opening for entering and exiting the substrate 4 is formed on the lateral side, and a flange portion supported by the support 21 of the ceiling transport vehicle 6 is provided on the upper surface. In addition, although not shown, the substrate 4 is accommodated in the container 3 in a state where a gap is formed between adjacent substrates 4 in the horizontal position and in the vertical direction.

그리고, 기판 처리 장치(7)에서는, 기판(4)에 대하여 도포, 노광 및 현상 등의 소정의 처리가 행해지고 있다. Then, in the substrate processing apparatus 7, predetermined processing such as coating, exposure, and development is performed on the substrate 4.

도 3에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(6)가 설치되어 상기 천정 반송차에 의해 용기(3)가 반송되는 용기 반송 영역(E1)과, 기판 처리 장치(7)나 기판 반송 장치(8)가 설치되어 상기 기판 반송 장치(8)에 의해 기판(4)이 반송되는 기판 반송 영역(E2)이, 칸막이벽(9)에 의해 구획되어 있다. 그리고, 반송 장치(5)는, 용기 반송 영역(E1)으로 돌출 가능한 상태로 기판 반송 영역(E2)에 설치되어 있고, 용기 반송 영역(E1)과 기판 반송 영역(E2)과의 사이에서 용기(3)를 반송하도록 구성되어 있다. As shown in FIG. 3, the container transport area E1 in which the ceiling transport vehicle 6 is installed and the container 3 is transported by the ceiling transport vehicle, and the substrate processing apparatus 7 or the substrate transport apparatus 8 Is installed, and the substrate transport region E2, to which the substrate 4 is transported by the substrate transport apparatus 8, is partitioned by a partition wall 9. And the conveying apparatus 5 is provided in the board|substrate conveyance area|region E2 in the state which can protrude to the container conveyance area|region E1, and the container (between the container conveyance area|region E1 and the board|substrate conveyance area|region E2 is ( It is configured to convey 3).

그리고, 제1 반송 개소(1)는 용기 반송 영역(E1)에 설정되고, 제2 반송 개소(2)는, 기판 반송 영역(E2)에 설정되어 있다. And the 1st conveyance point 1 is set in the container conveyance area|region E1, and the 2nd conveyance point 2 is set in the board|substrate conveyance area|region E2.

도 4 및 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 반송 개소(1)로서, 저위치 제1 반송 개소(1L)와, 상기 저위치 제1 반송 개소보다 고위치로 설정된 고위치 제1 반송 개소(1H)가 설정되고, 제2 반송 개소(2)로서, 저위치 제2 반송 개소(2L)와, 상기 저위치 제2 반송 개소(2L)보다 고위치로 설정된 고위치 제2 반송 개소(2H)가 설정되어 있다. 4 and 5, as the first conveying point 1, the first conveying point 1L at a low position and the first conveying point 1H at a higher position set at a higher position than the first conveying point at the lower position 1H ) Is set, and as the second conveyance point 2, the low position second conveyance point 2L and the high position second conveyance point 2H set to a higher position than the low position second conveyance point 2L are set. It is set.

그리고, 반송 장치(5)는, 용기(3)를 탑재하는 단일의 탑재부(11)를 수평 방향을 따라 이동시킴으로써, 용기(3)를 제1 반송 개소(1)와 제2 반송 개소(2)와의 사이에서 반송하도록 구성되어 있다. 단일의 탑재부(11)는, 상하 방향에서 볼 때 ㄷ자형(각이 진 U자형)으로 형성된 판형 부재에 의해 구성되어 있다. And the conveying apparatus 5 moves the container 3 to the 1st conveyance location 1 and the 2nd conveyance location 2 by moving the single mounting part 11 which mounts the container 3 along a horizontal direction. It is configured to convey between and. The single mounting portion 11 is constituted by a plate-shaped member formed in a U-shape (angled U-shape) when viewed in the vertical direction.

반송 장치(5)로서, 용기(3)를 탑재하는 저위치용의 탑재부(11L)를 수평 방향을 따라 이동시켜 용기(3)를 저위치 제1 반송 개소(1L)와 저위치 제2 반송 개소(2L)와의 사이에서 반송하는 저위치 반송 장치(5L)와, 용기(3)를 탑재하는 고위치용의 탑재부(11H)를 수평 방향을 따라 이동시켜 용기(3)를 고위치 제1 반송 개소(1H)와 고위치 제2 반송 개소(2H)와의 사이에서 반송하는 고위치 반송 장치(5H)가 설치되어 있다. As the conveying device 5, the low-position first conveyance point 1L and the low-position second conveyance point are moved by moving the placement portion 11L for the low-position for mounting the container 3 along the horizontal direction. The low position conveying device 5L conveyed between (2L) and the high position mounting portion 11H for mounting the container 3 are moved along the horizontal direction to move the container 3 to the high position first conveying position ( A high position conveying device 5H for conveying between 1H) and the high position second conveying point 2H is provided.

그리고, 제1 반송 개소(1)가, 용기 반송 개소에 상당하고, 제2 반송 개소(2)가, 기판 인출 개소에 상당한다. 저위치 제1 반송 개소(1L)가, 저위치 용기 반송 개소에 상당하고, 고위치 제1 반송 개소(1H)가, 고위치 용기 반송 개소에 상당한다. 저위치 제2 반송 개소(2L)가, 저위치 기판 인출 개소에 상당하고, 고위치 제2 반송 개소(2H)가, 고위치 기판 인출 개소에 상당한다. 이와 같이, 제2 반송 개소(2)는, 복수 설정되어 있다. And the 1st conveyance point 1 is corresponded to the container conveyance point, and the 2nd conveyance point 2 is corresponded to the board|substrate draw-out point. The low-position first conveyance point 1L corresponds to the low-position container conveyance point, and the high-position first conveyance point 1H corresponds to the high-position container conveyance point. The low-position second conveyance point 2L corresponds to the low-position substrate take-out point, and the high-position second conveyance point 2H corresponds to the high-position substrate pull-out point. In this way, a plurality of second conveyance points 2 are set.

또한, 반송 장치(5)가, 용기(3)를 탑재하는 탑재부(11)를 수평 방향을 따라 이동시켜 용기(3)를 용기 반송 개소와 기판 인출 개소와의 사이에서 반송하는 중계 반송 장치에 상당한다. 반송 장치(5)는, 복수의 제2 반송 개소(2)에 별개로 용기(3)를 반송하는 상태로 복수 설치되어 있다. Moreover, the conveying apparatus 5 is equivalent to the relay conveying apparatus which moves the mounting part 11 which mounts the container 3 along a horizontal direction, and conveys the container 3 between the container conveyance position and the substrate take-off point. do. The conveying apparatus 5 is provided in the state which conveys the container 3 separately to several 2nd conveyance points 2.

도 1 및 도 3에 나타낸 바와 같이, 저위치 반송 장치(5L)와 고위치 반송 장치(5H)와의 한 쌍의 반송 장치(5)의 조(組)는, 상하 방향으로 배열된 상태로 2조 설치되어 있다. 이들, 위쪽의 저위치 반송 장치(5L) 및 고위치 반송 장치(5H)와, 아래쪽의 저위치 반송 장치(5L) 및 고위치 반송 장치(5H)는, 높이가 상이한 것 이외에는 마찬가지로 구성되어 있다. 또한, 위쪽의 저위치 반송 장치(5L) 및 고위치 반송 장치(5H)와, 아래쪽의 저위치 반송 장치(5L) 및 고위치 반송 장치(5H)는, 같은 지지 프레임(12)에 상하 방향에서 상이한 높이로 지지되어 있다. 1 and 3, the pair of transfer devices 5 of the low-position transport apparatus 5L and the high-position transport apparatus 5H are two sets in a state arranged in the vertical direction. Installed. The upper and lower position conveying devices 5L and 5H, and the lower and lower position conveying devices 5L and 5H are configured similarly except that the heights are different. In addition, the upper low position conveying device 5L and the high position conveying device 5H, and the lower low position conveying device 5L and the high position conveying device 5H are placed on the same support frame 12 in the vertical direction. It is supported at different heights.

저위치 반송 장치(5L)는, 저위치용의 탑재부(11L)를 연직 방향을 따른 축심(P) 주위로 선회 이동 가능하게 설치되어 있다. The low-position conveying device 5L is provided so as to be able to pivotably move the mounting portion 11L for the low-position around the axial center P along the vertical direction.

설명을 추가하면, 도 8에 나타낸 바와 같이, 저위치 전동 모터(13L)의 출력축에 저위치 연결부(14L)가 축심(P) 주위로 회전 가능하게 연결되어 있고, 그 저위치 연결부(14L)에 저위치용의 탑재부(11L)가 캔틸레버형(cantilever type)으로 연결되어 있다. 그리고, 저위치 전동 모터(13L)에 의해 저위치 연결부(14L)가 축심(P) 주위로 회전 구동함으로써, 저위치용의 탑재부(11L)를 축심(P) 주위로 선회 이동시켜 용기(3)를 저위치 제1 반송 개소(1L)와 저위치 제2 반송 개소(2L)와의 사이에서 반송하도록 구성되어 있다. 8, the low-position connecting portion 14L is rotatably connected to the output shaft of the low-position electric motor 13L around the shaft center P, and the low-position connecting portion 14L is added. The low position mounting portion 11L is connected in a cantilever type. Then, the low-position connecting portion 14L is rotationally driven around the shaft center P by the low-position electric motor 13L, so that the low-position mounting portion 11L is pivotally moved around the shaft center P to move the container 3 It is configured to convey between the low position first conveyance point 1L and the low position second conveyance point 2L.

또한, 마찬가지로, 고위치 반송 장치(5H)도, 고위치용의 탑재부(11H)를 연직 방향을 따른 축심(P) 주위로 선회 이동 가능하게 설치되어 있고, 고위치 전동 모터(13H)에 의해 고위치 연결부(14H)가 축심(P) 주위로 회전 구동함으로써, 고위치용의 탑재부(11H)를 축심(P) 주위로 선회 이동시켜 용기(3)를 고위치 제1 반송 개소(1H)와 고위치 제2 반송 개소(2H)와의 사이에서 반송하도록 구성되어 있다. In addition, similarly, the high-position conveying device 5H is also provided so as to be able to pivotably move the mounting portion 11H for high-position around the shaft center P along the vertical direction, and by the high-position electric motor 13H. As the connecting portion 14H rotates and moves around the axis P, the high-position mounting portion 11H is pivoted around the axis P to move the container 3 to the high position first conveying point 1H and high position agent. It is configured to convey between 2 conveying points 2H.

이와 같이, 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치용의 탑재부(11H)는 동일 축심 주위로 선회 이동 가능하게 설치되어 있다. In this way, the mounting portion 11L for the low position and the mounting portion 11H for the high position are provided so as to be able to pivot around the same axis.

저위치 전동 모터(13L) 및 고위치 전동 모터(13H)는, 저위치 전동 모터(13L)가 고위치 전동 모터(13H)보다 위쪽에 위치하는 상태로 지지 프레임(12)에 지지되어 있다. The low-position electric motor 13L and the high-position electric motor 13H are supported by the support frame 12 in a state where the low-position electric motor 13L is positioned above the high-position electric motor 13H.

저위치 전동 모터(13L)는, 출력축이 위쪽을 향해 돌출하는 자세로 형성되어 있고, 그 저위치 전동 모터(13L)의 출력축에, 저위치 연결부(14L)의 상측 연결 부분(14a)으로부터 위쪽으로 돌출된 상측 돌출 부분(14c)이 일체로 회전하는 상태로 연결되어 있다. The low-position electric motor 13L is formed in a posture in which the output shaft protrudes upward, and from the upper connecting portion 14a of the low-position connecting portion 14L to the output shaft of the low-position electric motor 13L upwards. The protruding upper protruding portion 14c is connected in an integrally rotating state.

또한, 고위치 전동 모터(13H)는, 출력축이 아래쪽을 향해 돌출하는 자세로 형성되어 있고, 그 고위치 전동 모터(13H)의 출력축에, 고위치 연결부(14H)의 하측 연결 부분(14b)으로부터 아래쪽으로 돌출된 하측 돌출 부분(14d)이 일체로 회전하는 상태로 연결되어 있다. Further, the high-position electric motor 13H is formed in a posture in which the output shaft protrudes downward, and from the lower connection portion 14b of the high-position connecting portion 14H to the output shaft of the high-position electric motor 13H. The lower protruding portion 14d protruding downward is connected in an integrally rotating state.

그리고, 저위치 연결부(14L)의 하측 연결 부분(14b)은, 축심(P) 주위로 회전 가능한 상태로 고위치 연결부(14H)의 하측 돌출 부분(14d)에 연결되어 있고, 고위치 연결부(14H)의 상측 연결 부분(14a)은, 축심(P) 주위로 회전 가능한 상태로 저위치 연결부(14L)의 상측 돌출 부분(14c)에 연결되어 있다. Then, the lower connecting portion 14b of the low-position connecting portion 14L is connected to the lower protruding portion 14d of the high-position connecting portion 14H in a rotatable state around the shaft center P, and the high-position connecting portion 14H ), the upper connecting portion 14a is connected to the upper protruding portion 14c of the low-position connecting portion 14L in a state rotatable around the shaft center P.

또한, 저위치 연결부(14L)의 상측 연결 부분(14a)과 고위치 연결부(14H)의 하측 연결 부분(14b)과의 사이에는 지지 프레임(12)에 지지된 부재(15)가 개재되어 있고, 저위치 연결부(14L)의 상측 연결 부분(14a)은, 축심(P) 주위로 회전 가능한 상태로 부재(15)의 상단부에 연결되고, 고위치 연결부(14H)의 하측 연결 부분(14b)은, 축심(P) 주위로 회전 가능한 상태로 부재(15)의 하단부에 연결되어 있다. Further, a member 15 supported by the support frame 12 is interposed between the upper connecting portion 14a of the low-position connecting portion 14L and the lower connecting portion 14b of the high-position connecting portion 14H, The upper connecting portion 14a of the low-position connecting portion 14L is connected to the upper end of the member 15 in a state rotatable around the shaft center P, and the lower connecting portion 14b of the high-position connecting portion 14H is It is connected to the lower end of the member 15 in a rotatable state around the shaft center P.

이와 같이, 저위치 연결부(14L) 및 고위치 연결부(14H)는, 저위치 전동 모터(13L)와 고위치 전동 모터(13H)와의 사이에 상하 방향으로 협지되는 상태로 설치되어 있다. 그리고, 위로부터, 고위치 연결부(14H)의 상측 연결 부분(14a), 저위치 연결부(14L)의 상측 연결 부분(14a), 고위치 연결부(14H)의 하측 연결 부분(14b), 저위치 연결부(14L)의 하측 연결 부분(14b)의 순으로 배열하여, 고위치 연결부(14H)의 상측 연결 부분(14a)과 하측 연결 부분(14b)과의 사이에 저위치 연결부(14L)의 상측 연결 부분(14a)을 위치시키고, 저위치 연결부(14L)의 상측 연결 부분(14a)과 하측 연결 부분(14b)과의 사이에 고위치 연결부(14H)의 하측 연결 부분(14b)을 위치하게 하고 있다. 이로써, 저위치 연결부(14L) 및 고위치 연결부(14H)의 각각을 상하 방향으로 넓은 간격으로 지지 프레임(12) 측으로 연결할 수 있으면서, 저위치 연결부(14L)와 고위치 연결부(14H)와의 상하 방향에서의 설치 스페이스의 공간 절약화가 도모되어 있다. In this way, the low-position connecting portion 14L and the high-position connecting portion 14H are installed in a state of being held in the vertical direction between the low-position electric motor 13L and the high-position electric motor 13H. And, from above, the upper connection portion 14a of the high-position connection portion 14H, the upper connection portion 14a of the low-position connection portion 14L, the lower connection portion 14b of the high-position connection portion 14H, and the low-position connection portion Arranged in the order of the lower connecting portion 14b of 14L, the upper connecting portion of the low position connecting portion 14L between the upper connecting portion 14a and the lower connecting portion 14b of the high position connecting portion 14H. 14a is positioned, and the lower connecting portion 14b of the high position connecting portion 14H is positioned between the upper connecting portion 14a and the lower connecting portion 14b of the low position connecting portion 14L. Accordingly, each of the low-position connecting portion 14L and the high-position connecting portion 14H can be connected to the support frame 12 at a wide interval in the vertical direction, while the low-position connecting portion 14L and the high-position connecting portion 14H are vertically moved. The space saving of installation space in is aimed at.

그리고, 저위치 연결부(14L)에 연결된 저위치용의 탑재부(11L) 및 고위치 연결부(14H)에 연결된 고위치용의 탑재부(11H)는, 고위치용의 탑재부(11H)가, 저위치용의 탑재부(11L)에서의 용기(3)를 탑재하는 탑재면[탑재부(11H)의 상면]의 높이보다 높고 또한 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 상단보다 낮은 높이에 위치하는 상태로 설치되어 있다. The high-position mounting portion 11H is connected to the low-position connecting portion 14L, and the high-position mounting portion 11H is connected to the low-position connecting portion 14L and the high-position connecting portion 14H is connected to the low-position connecting portion 14L. Located at a height higher than the height of the mounting surface (top surface of the mounting portion 11H) on which the container 3 is mounted at (11L) and lower than the top of the container 3 mounted at the mounting portion 11L for low positioning. It is installed in a state.

다음에, 저위치용의 탑재부(11L) 및 고위치용의 탑재부(11H)의 선회 이동 및 상하 방향에서 볼 때의 위치 관계에 대하여 설명한다. 그리고, 용기 반송 영역(E1)과 기판 반송 영역(E2)이 배열된 방향을 설비 전후 방향(도 2 및 도 5에 의해 화살표 X로 나타내는 방향)이라고 하고, 설비 전후 방향과 직교하는 방향을 설비 좌우 방향(도 2 및 도 5에 의해 화살표 Y로 나타내는 방향)이라고 하여 설명한다. 본 예에서는, 설비 전후 방향 및 설비 좌우 방향의 각각이, 수평면에 평행한 방향으로 된다. Next, the rotational movement of the mounting portion 11L for the low position and the mounting portion 11H for the high position and the positional relationship when viewed in the vertical direction will be described. In addition, the direction in which the container transport region E1 and the substrate transport region E2 are arranged is referred to as a front-rear direction of the equipment (direction indicated by arrow X in FIGS. 2 and 5), and the direction perpendicular to the front-rear direction of the equipment is left and right. It will be described as a direction (direction indicated by arrow Y by Figs. 2 and 5). In this example, each of the front-rear direction of the facility and the left-right direction of the facility becomes a direction parallel to the horizontal plane.

도 5에 나타낸 바와 같이, 지지 프레임(12)은 기판 반송 영역(E2)에 설치되어 있고, 축심(P)은 기판 반송 영역(E2)에 위치하고 있다. 5, the support frame 12 is provided in the board|substrate conveyance area|region E2, and the axial center P is located in the board|substrate conveyance area|region E2.

저위치용의 탑재부(11L)는, 축심(P)을 중심으로 상하 방향에서 볼 때 반시계 방향으로 선회 이동시켜 용기 반송 영역(E1)으로 돌출 이동시킴으로써, 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응하는 위치[도 5의 (a)에 실선으로 나타낸 위치]로 선회 이동하도록 구성되어 있다. 이 때, 저위치용의 탑재부(11L)는, 축심(P)에 대하여 설비 전후 방향의 용기 반송 영역(E1)이 위치하는 측에 위치하고 있다. The low-position mounting portion 11L is rotated counterclockwise when viewed from the vertical direction with respect to the shaft center P, and protruded to the container conveyance area E1, thereby to the low-position first conveyance point 1L. It is configured to pivot to the corresponding position (the position indicated by the solid line in Fig. 5A). At this time, the mounting portion 11L for the low position is located on the side where the container conveyance area E1 in the front-rear direction of the equipment is positioned with respect to the shaft center P.

또한, 저위치용의 탑재부(11L)는, 축심(P)을 중심으로 상하 방향에서 볼 때 시계 방향으로 선회 이동시켜 기판 반송 영역(E2)으로 퇴피 이동시킴으로써, 저위치 제2 반송 개소(2L)에 대응하는 위치[도 5의 (a)에 가상선으로 나타낸 위치]로 선회 이동하도록 구성되어 있다. 이 때, 저위치용의 탑재부(11L)는, 축심(P)에 대하여 설비 좌우 방향의 한쪽[천정 반송차(6)의 주행 방향 상류측]에 위치하고 있다. In addition, the low-position second conveyance point 2L is provided by the low-position mounting portion 11L pivoting clockwise as viewed from the vertical direction around the shaft center P and retreating to the substrate conveyance area E2. It is configured to move pivotally to a position (a position indicated by a virtual line in Fig. 5A). At this time, the mounting portion 11L for the low position is located on one side (upstream of the traveling direction of the ceiling transport vehicle 6) in the left-right direction of the installation relative to the shaft center P.

그리고, 고위치용의 탑재부(11H)는, 축심(P)을 중심으로 상하 방향에서 볼 때 시계 방향으로 선회 이동시켜 용기 반송 영역(E1)으로 돌출 이동시킴으로써, 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응하는 위치[도 5의 (b)에 실선으로 나타낸 위치]로 선회 이동하도록 구성되어 있다. 이 때, 고위치용의 탑재부(11H)는, 축심(P)에 대하여 설비 전후 방향의 용기 반송 영역(E1)이 위치하는 측에 위치하고 있다. Then, the mounting portion 11H for the high position is rotated clockwise when viewed from the vertical direction around the shaft center P, and protruded to the container conveyance area E1, thereby moving to the high position first conveyance point 1H. It is configured to pivot to the corresponding position (the position indicated by the solid line in Fig. 5B). At this time, the mounting portion 11H for the high position is located on the side where the container conveyance area E1 in the front-rear direction of the equipment is positioned with respect to the shaft center P.

또한, 고위치용의 탑재부(11H)는, 축심(P)을 중심으로 상하 방향에서 볼 때 반시계 방향으로 선회 이동시켜 기판 반송 영역(E2)으로 퇴피 이동시킴으로써, 고위치 제2 반송 개소(2H)에 대응하는 위치[도 5의 (b)에 가상선으로 나타낸 위치]로 선회 이동하도록 구성되어 있다. 이 때, 고위치용의 탑재부(11H)는, 축심(P)에 대하여 설비 좌우 방향의 다른 쪽[천정 반송차(6)의 주행 방향 하류측]에 위치하고 있다. In addition, the high-position second conveyance location 2H by moving the mounting portion 11H for high-position counterclockwise as viewed from the vertical direction around the shaft center P and retreating to the substrate conveyance area E2 It is configured to rotate to a position corresponding to (a position indicated by a virtual line in Fig. 5B). At this time, the mounting portion 11H for the high position is located on the other side (downstream of the traveling direction of the ceiling transport vehicle 6) in the left-right direction of the installation relative to the shaft center P.

그리고, 반송 개소[저위치 제1 반송 개소(1L) 등]에 대응하는 위치란, 용기(3)가 반송 개소에 위치할 때 상기 용기(3)를 탑재하고 있는 탑재부(11)가 존재하고 있는 위치이다. 또한, 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치용의 탑재부(11H)와의 각각의 요동(搖動) 각도는 90°로 설정되어 있다. And the position corresponding to a conveyance location (low position first conveyance location 1L, etc.) is a mounting portion 11 on which the vessel 3 is mounted when the container 3 is positioned at the conveyance location. Location. In addition, each swing angle between the mounting portion 11L for a low position and the mounting portion 11H for a high position is set to 90°.

또한, 도 3에서의 위쪽에 위치하는 저위치 반송 장치(5L)와 고위치 반송 장치(5H)와의 조는, 도 5의 (b)에 나타낸 위치 관계로 되어 있고, 도 3에서의 아래쪽에 위치하는 저위치 반송 장치(5L)와 고위치 반송 장치(5H)와의 조는, 도 5의 (a)에 나타낸 위치 관계로 되어 있다. In addition, the pair of the low position conveying apparatus 5L and the high position conveying apparatus 5H positioned in the upper part in FIG. 3 have the positional relationship shown in FIG. 5B, and are located in the lower part in FIG. 3. The pair of the low position conveying device 5L and the high position conveying device 5H has a positional relationship shown in Fig. 5A.

도 5에 나타낸 바와 같이, 저위치 제1 반송 개소(1L)와 고위치 제1 반송 개소(1H)는, 모두 축심(P)에 대하여 설비 전후 방향의 용기 반송 영역(E1)이 위치하는 측으로 설정되어 있고, 저위치 제1 반송 개소(1L)와 고위치 제1 반송 개소(1H)가 상하 방향에서 볼 때 같은 위치로 설정되어 있다. 그리고, 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응한 위치로 선회 이동한 저위치용의 탑재부(11L)와, 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응한 위치로 선회 이동한 고위치용의 탑재부(11H)는, 모두 축심(P)에 대하여 설비 전후 방향의 용기 반송 영역(E1)이 위치하는 측으로 이동하고 있고, 이들 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치용의 탑재부(11H)는 상하 방향에서 볼 때 같은 위치에 위치하고 있다. As shown in Fig. 5, both the low-position first conveyance point 1L and the high-position first conveyance point 1H are set to the side where the container conveyance area E1 in the front-rear direction of the equipment is positioned with respect to the shaft P. And the low position first conveyance point 1L and the high position first conveyance point 1H are set to the same position when viewed from the vertical direction. Then, the low-position mounting portion 11L pivoted to a position corresponding to the low-position first transport location 1L, and the high-position mounting portion rotated to a position corresponding to the high-position first transport location 1H. All 11H moves to the side where the container conveyance area|region E1 of the front-rear direction of equipment is located with respect to the shaft center P, and these mounting parts 11L for low position and mounting parts 11H for high position are up-down direction. Seen from the same location.

또한, 저위치 제2 반송 개소(2L)는 축심(P)에 대하여 설비 좌우 방향의 한쪽으로 설정되고, 고위치 제2 반송 개소(2H)는 축심(P)에 대하여 설비 좌우 방향의 다른 쪽으로 설정되어 있고, 저위치 제2 반송 개소(2L)와 고위치 제2 반송 개소(2H)가 상하 방향에서 볼 때 상이한 위치로 설정되어 있다. 그리고, 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응한 위치로 선회 이동한 저위치용의 탑재부(11L)는, 축심(P)에 대하여 설비 좌우 방향의 한쪽으로 이동하고, 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응한 위치로 선회 이동한 고위치용의 탑재부(11H)는, 축심(P)에 대하여 설비 좌우 방향의 다른 쪽으로 이동하고 있고, 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치용의 탑재부(11H)는 상하 방향에서 볼 때 상이한 위치에 위치하고 있다. In addition, the low position second conveyance point 2L is set to one side in the left and right direction of the facility with respect to the shaft center P, and the high position second conveyance point 2H is set to the other side in the left and right direction of the facility with respect to the axis P. And the low position second conveyance point 2L and the high position second conveyance point 2H are set to different positions when viewed in the vertical direction. Then, the low-position mounting portion 11L, which has been pivotally moved to a position corresponding to the low-position first conveyance point 1L, moves to one side in the left-right direction of the facility with respect to the shaft P, and the high-position first conveyance point. The high-position mounting portion 11H, which has been pivotally moved to the position corresponding to (1H), is moving to the other side in the left-right direction of the installation relative to the shaft center P, and the low-mount mounting portion 11L and high-position mounting portion ( 11H) are located at different positions when viewed in the vertical direction.

그리고, 도 5∼도 7에 나타낸 바와 같이, 저위치용의 탑재부(11L)는, 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응하는 위치로 이동시킨 상태에서는, 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적 및 그 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되고, 저위치 제2 반송 개소(2L)에 대응하는 위치로 이동시킨 상태에서는, 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적 및 그 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되지 않도록 설치되어 있다. Then, as shown in Figs. 5 to 7, the low-position mounting portion 11L is moved to a position corresponding to the low-position first conveying location 1L, and the high-position mounting portion 11H is moved. The trajectory and the movement trajectory of the container 3 mounted on the mounting portion 11H for the high position are overlapped when viewed in the vertical direction and moved to a position corresponding to the low position second conveyance point 2L, for high position The movement trajectory of the mounting portion 11H and the movement trajectory of the container 3 mounted on the mounting portion 11H for its high position are provided so as not to overlap when viewed in the vertical direction.

또한, 고위치용의 탑재부(11H)는, 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응하는 위치로 이동시킨 상태에서는, 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적 및 그 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되고, 고위치 제2 반송 개소(2H)에 대응하는 위치로 이동시킨 상태에서는, 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적 및 그 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되지 않도록 설치되어 있다. Further, in the state where the high-position mounting portion 11H is moved to a position corresponding to the high-position first conveying point 1H, the movement trajectory of the low-position mounting portion 11L and its low-position mounting portion 11L The trajectory of the container 3 mounted on) is overlapped when viewed in the vertical direction, and moved to a position corresponding to the high position second conveyance point 2H, and the trajectory of the low position mounting portion 11L And a movement trajectory of the container 3 mounted on the mounting portion 11L for the low position, so as not to overlap when viewed in the vertical direction.

그리고, 도 6에 있어서는, 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적을, 일점 쇄선(3LT)으로 나타내고, 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적 및 그 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적을, 일점 쇄선(11HT)으로 나타내고 있다. 또한, 도 7에 있어서는, 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적을, 일점 쇄선(3HT)으로 나타내고, 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적 및 그 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적을, 일점 쇄선(11LT)으로 나타내고 있다. In Fig. 6, the movement trajectory of the container 3 mounted on the mounting portion 11L for a low position is indicated by a one-dot chain line 3LT, and the movement trajectory of the mounting portion 11H for a high position and its high position The movement trajectory of the container 3 mounted on the mounting portion 11H is indicated by a dashed-dotted line 11HT. In Fig. 7, the movement trajectory of the container 3 mounted on the mounting portion 11H for the high position is indicated by a single-dot chain line 3HT, and the movement trajectory of the mounting portion 11L for the low position and its low position The movement trajectory of the container 3 mounted on the mounting portion 11L of is indicated by a dashed-dotted line 11LT.

이와 같이, 저위치용의 탑재부(11L)는, 상기 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적 및 그 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적이, 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적 및 그 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 중복 부분과 중복되지 않는 비중복 부분을 가지고, 상기 중복 부분과 상기 비중복 부분이 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 방향을 따라 배열된 상태로 설치되어 있다. 또한, 고위치용의 탑재부(11H)는, 상기 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적 및 그 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적이, 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적 및 그 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 중복 부분과 중복되지 않는 비중복 부분을 가지고, 상기 중복 부분과 상기 비중복 부분이 고위치용의 탑재부(11L)의 이동 방향을 따라 배열된 상태로 설치되어 있다. As described above, in the low-position mounting portion 11L, the movement trajectory of the above-mentioned low-position mounting portion 11L and the low-position mounting portion 11L are the movement trajectories of the container 3 mounted in the high-position. A moving trajectory of the mounting portion 11H and a moving trajectory of the container 3 mounted on the mounting portion 11H for its high position and a non-overlapping portion that does not overlap with the overlapping portion when viewed in the vertical direction, the overlapping portion and The non-overlapping portions are provided in a state arranged along the movement direction of the mounting portion 11L for the low position. In addition, the high-position mounting portion 11H includes the high-position mounting portion 11H moving trajectory and the high-position mounting portion 11H moving container trajectory 3, the low-position mounting portion 11L. ) And a non-overlapping portion that does not overlap with the overlapping portion when viewed in the vertical direction with the movement trajectory of the container 3 mounted on the moving portion 11L for its low position and the overlapping portion and the ratio The overlapping portions are provided in a state arranged along the moving direction of the mounting portion 11L for high position.

그리고, 고위치용의 탑재부(11H) 및 저위치용의 탑재부(11L)의 각각은, 다른 쪽의 탑재부(11L, 11H)가 중복되지 않는 개소에 위치하는 상태로, 용기(3)를 제1 반송 개소(1)와 제2 반송 개소(2)와의 사이에서 반송 가능하게 구성되어 있다. Then, each of the mounting portions 11H for the high position and the mounting portions 11L for the low position are transported to the container 3 in a state where the other mounting portions 11L and 11H are located at locations where they do not overlap. It is comprised so that conveyance is possible between the location 1 and the 2nd conveyance location 2.

즉, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, 고위치용의 탑재부(11H)가 고위치 제2 반송 개소(2H)에 대응하는 위치에 위치하는 상태에서는, 고위치용의 탑재부(11H)나 이 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 용기(3)에 접촉하지 않고, 저위치용의 탑재부(11L)를, 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응하는 위치나 저위치 제2 반송 개소(2L)에 대응하는 위치로 이동시켜, 용기(3)를 저위치 제1 반송 개소(1L)나 저위치 제2 반송 개소(2L)에 반송 가능하게 되어 있다. That is, as shown in Fig. 5(a), in a state where the mounting portion 11H for a high position is positioned at a position corresponding to the second location 2H at a high position, the mounting portion 11H for a high position or this high position The position corresponding to the low position first conveyance position 1L or the low position second conveyance position (2L) of the low position placement part 11L without contacting the container 3 mounted on the tooth placement part 11H ), the container 3 can be transported to the low-position first transport location 1L or the low-position second transport location 2L.

또한, 도 5의 (b)에 나타낸 바와 같이, 저위치용의 탑재부(11L)가 저위치 제2 반송 개소(2L)에 대응하는 위치에 위치하는 상태에서는, 저위치용의 탑재부(11L)나 이 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 용기(3)에 접촉하지 않고, 고위치용의 탑재부(11H)를, 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응하는 위치나 고위치 제2 반송 개소(2H)에 대응하는 위치로 이동시켜, 용기(3)를 고위치 제1 반송 개소(1H)나 고위치 제2 반송 개소(2H)에 반송 가능하게 되어 있다. Further, as shown in Fig. 5(b), in a state where the mounting portion 11L for the low position is positioned at a position corresponding to the second location 2L for the low position, the mounting portion 11L for the low position or A position corresponding to the high position first conveyance position 1H or a high position second conveyance position without contacting the container 3 mounted on the low position placement part 11L By moving to the position corresponding to (2H), the container 3 can be conveyed to the high-position first conveyance point 1H or the high-position second conveyance point 2H.

기판 반송 장치(8)는, 설비 전후 방향에서 반송 장치(5)와 기판 처리 장치(7)와의 사이에 설치된 승강 이동 가능한 승강대(17)와, 그 승강대(17) 상을 설비 좌우 방향으로 이동 가능한 이동 로봇(18)을 구비하여 구성되어 있다. 이동 로봇(18)에는, 승강 이동 가능, 연직 축심 주위로 회전 이동 가능하고, 및 수평 방향으로 출퇴(出退) 이동 가능하게 포크형의 지지부(18a)가 구비되어 있다. The board|substrate conveying apparatus 8 is the platform 17 which can be moved up and down and installed between the conveying apparatus 5 and the board|substrate processing apparatus 7 in the front-back direction of equipment, and the platform 17 which can move on the platform 17 to the left-right direction of a facility It is provided with the mobile robot 18. The mobile robot 18 is provided with a fork-shaped support portion 18a that can be moved up and down, rotated and moved around the vertical axis, and movable in a horizontal direction.

이 기판 반송 장치(8)는, 승강대(17)의 승강 이동 및 이동 로봇(18)의 설비 좌우 방향을 따르는 이동, 및 지지부(18a)의 승강, 회전 및 출퇴에 의해, 다음과 같이 작동하도록 구성되어 있다. 즉, 기판 반송 장치(8)는, 저위치용의 탑재부(11L)에 탑재된 상태로 저위치 제2 반송 개소(2L)에 위치하는 용기(3)로부터 1매씩 기판(4)을 인출하여 상기 기판(4)을 기판 처리 장치(7)에 반송하고, 고위치용의 탑재부(11H)에 탑재된 상태로 고위치 제2 반송 개소(2H)에 위치하는 용기(3)로부터 기판(4)을 1매씩 인출하여 상기 기판(4)을 기판 처리 장치(7)에 반송하고, 또한 기판 처리 장치(7)에 의해 처리를 끝낸 기판(4)을 고위치용 또는 저위치용의 탑재부(11)에 탑재된 상태로 제2 반송 개소(2)에 위치하는 용기(3)에 1매씩 반송하여 상기 기판(4)을 용기(3)에 수납하도록 구성되어 있다. This substrate transfer device 8 is configured to operate as follows by lifting and moving of the platform 17 and moving along the left and right directions of the equipment of the moving robot 18 and lifting and rotating and withdrawing of the support portion 18a. It is done. That is, the board|substrate conveying apparatus 8 draws the board|substrate 4 one by one from the container 3 located in the 2nd position of the low position in the state mounted in the mounting part 11L for low position, and the said board|substrate 4 is taken out above. The substrate 4 is conveyed to the substrate processing apparatus 7 and the substrate 4 is transferred from the container 3 located at the high position second conveyance point 2H in a state mounted on the high position mounting portion 11H. Each of the substrates 4 is taken out and conveyed to the substrate processing apparatus 7, and the substrate 4, which has been processed by the substrate processing apparatus 7, is mounted on the mounting portion 11 for high-position or low-position. It is configured such that the substrates 4 are stored in the container 3 by conveying them one by one to the container 3 located at the second transport point 2 in a state.

기판 반송 장치(8)는, 용기(3)가 4개소의 제2 반송 개소(2)[2개소의 저위치 제2 반송 개소(2L) 및 2개소의 고위치 제2 반송 개소(2H)]의 어디에 위치하는 상태에 있더라도, 용기(3)로부터 기판(4)을 출입 가능하게 구성되어 있다. 그리고, 4개소의 제2 반송 개소(2) 중, 기판 반송 장치(8)에 의해 기판(4)을 출입하고 있는 용기(3)가 존재하고 있는 제2 반송 개소(2) 이외의 제2 반송 개소(2)를, 용기(3)를 일시적으로 보관하는 버퍼로서 이용할 수 있도록 되어 있다. In the substrate transfer device 8, the container 3 has four second transfer locations 2 (two low-position second transfer locations 2L and two high-position second transfer locations 2H). It is configured to be able to enter and exit the substrate 4 from the container 3, regardless of where it is located. Then, of the second conveyance points 2 of the four, the second conveyance other than the second conveyance point 2 in which the container 3 entering and leaving the substrate 4 is present by the substrate conveyance device 8 is present. The location 2 can be used as a buffer for temporarily storing the container 3.

도 1∼도 3에 나타낸 바와 같이, 천정 반송차(6)는, 천정에 설치된 주행 레일(20)에 안내 지지된 상태로 주행 레일(20)을 따라 주행 가능하도록 구성되어 있다. 또한, 천정 반송차(6)는, 용기(3)를 지지하는 지지체(21)를, 승강 가능하고, 또한 상하 방향을 따르는 축심 주위로 회전 가능하게 구비하여 구성되어 있다. 또한, 천정 반송차(6)는, 반송 장치(5)의 근방에 있어서는, 설비 좌우 방향을 따라 일방향(도 1에 있어서 좌측 위로부터 우측 아래)으로 주행하게 되어 있다. 1 to 3, the ceiling transport vehicle 6 is configured to be able to travel along the travel rail 20 in a state guided by the travel rail 20 provided on the ceiling. In addition, the ceiling transport vehicle 6 is configured to be provided with a support 21 for supporting the container 3, and is rotatable around a shaft center along the vertical direction. In addition, in the vicinity of the transport apparatus 5, the ceiling transport vehicle 6 travels in one direction (upper left to lower right in FIG. 1) along the left and right directions of the equipment.

그리고, 천정 반송차(6)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 지지체(21)를 상승 위치로 상승 이동시킨 상태로 주행 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 천정 반송차(6)는, 지지체(21)를 상승 위치로부터 하강 이동시켜 탑재부(11) 상에 용기(3)를 내려놓는 형태로 제1 반송 개소(1)에 용기(3)를 반송하고, 지지체(21)를 상승 위치로 상승 이동시켜 탑재부(11) 상으로부터 용기(3)를 끌어올리는 형태로 제1 반송 개소(1)로부터 용기(3)를 반송하도록 구성되어 있다. 이와 같이 하여, 천정 반송차(6)는, 제1 반송 개소(1)를 반송 대상 개소로 하는 용기(3)의 반송을 행하고, 제1 반송 개소(1)와 자체 사이에서 용기(3)를 이송탑재[수수(授受)]한다. And, as shown in FIG. 3, the ceiling transport vehicle 6 is configured to be capable of traveling in a state in which the support body 21 is moved upward to the raised position. In addition, the ceiling transport vehicle 6 transports the container 3 to the first transport location 1 in the form of lowering the container 3 on the mounting portion 11 by moving the support 21 downward from the raised position. It is configured to convey the container 3 from the 1st conveyance point 1 in the form which raises the container 3 from the mounting part 11 by moving the support body 21 to an upward position. In this way, the ceiling transport vehicle 6 transports the container 3 that uses the first transport point 1 as the transport target position, and moves the container 3 between the first transport point 1 and itself. It is carried [transmitted].

설명을 추가하면, 천정 반송차(6)는, 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치에 정지한 상태에서, 용기(3)를 지지한 지지체(21)를 하강 이동시키고, 지지체(21)에 의한 용기(3)에 대한 지지를 해제하여 용기(3)를 탑재부(11)에 내려놓고, 제1 반송 개소(1)로 용기(3)가 반송되도록 구성되어 있다. When the description is added, the ceiling transport vehicle 6 moves the support body 21 supporting the container 3 downward while moving to a stop position immediately above the first transport location 1 and supports ( It is configured such that the support for the container 3 by 21) is released, the container 3 is put down on the mounting portion 11, and the container 3 is transported to the first transport location 1.

또한, 천정 반송차(6)는, 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치에 정지한 상태에서, 용기(3)를 지지하지 않는 지지체(21)를 하강 이동시키고, 지지체(21)에 의해 제1 반송 개소(1)에 위치하는 용기(3)를 지지하고, 용기(3)를 지지한 지지체(21)를 상승 이동시킴으로써, 제1 반송 개소(1)로부터 용기(3)를 반송하도록 구성되어 있다. In addition, the ceiling transport vehicle 6 moves the support body 21 that does not support the container 3 downward while moving to a stop position immediately above the first transport location 1, and the support body 21 By carrying out the container 3 located in the 1st conveyance point 1, and moving the support body 21 which supported the container 3 upwardly, the container 3 is conveyed from the 1st conveyance point 1 by It is configured to.

그리고, 천정 반송차(6)가, 저위치 제1 반송 개소(1L) 및 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대하여 공통적으로 설정된 정지 위치에 정지한 상태에서, 저위치 제1 반송 개소(1L) 또는 고위치 제1 반송 개소(1H)와 자체 사이에서 용기(3)를 반송 가능하게(이송탑재 가능하게) 구성되어 있다. Then, in the state where the ceiling transport vehicle 6 stops at a stop position set in common with respect to the low-position first transport position 1L and the high-position first transport position 1H, the low-position first transport position 1L ) Alternatively, the container 3 is configured to be transportable (transportable) between the high-position first transport point 1H and itself.

또한, 천정 반송차(6)를 정지 위치에 정지시킨 상태에 있어서, 제1 반송 개소(1)에 대응하는 위치에 저위치용의 탑재부(11L)가 위치하고 있을 때는, 천정 반송차(6)와 저위치 제1 반송 개소(1L)와의 사이에서 용기(3)가 반송되고, 제1 반송 개소(1)에 대응하는 위치에 고위치용의 탑재부(11H)가 위치하고 있을 때는, 천정 반송차(6)와 고위치 제1 반송 개소(1H)와의 사이에서 용기(3)가 반송된다. In addition, in a state where the ceiling transport vehicle 6 is stopped at a stop position, when the mounting portion 11L for a low position is located at a position corresponding to the first transport location 1, the ceiling transport vehicle 6 and When the container 3 is conveyed between the low position first conveyance point 1L and the high-position mounting portion 11H is located at a position corresponding to the first conveyance point 1, the ceiling conveyance vehicle 6 The container 3 is conveyed between the and the high position first conveying point 1H.

제1 반송 개소(1)[저위치 제1 반송 개소(1L) 및 고위치 제1 반송 개소(1H)]는, 탑재부(11)에 탑재된 상태에서 제1 반송 개소(1)에 위치하는 용기(3)의 상단이, 주행용 상태의 천정 반송차(6)의 지지체(21)의 하단보다 아래쪽이며 또한 주행용 상태의 천정 반송차(6)에 지지된 용기(3)의 하단보다 위쪽에 위치하는 개소로 설정되어 있다. The 1st conveyance point 1 (low position 1st conveyance position 1L and high position 1st conveyance position 1H) is the container located in the 1st conveyance position 1 in the state mounted in the mounting part 11 The upper end of (3) is lower than the lower end of the support 21 of the ceiling transport vehicle 6 in the running state, and further above the lower end of the container 3 supported by the ceiling transport vehicle 6 in the running state. It is set to the location to be located.

제1 반송 개소(1)를 천정 반송차(6)에 가까운 개소로 설정할 수 있으므로, 천정 반송차(6)가 제1 반송 개소(1)에 용기(3)를 반송할 때의 지지체(21)의 하강량을 적게 할 수 있어, 용기(3)를 제1 반송 개소(1)로 신속히 반송할 수 있다. 또한, 제1 반송 개소(1)에 용기(3)가 존재하고 있었다고 해도, 용기(3)를 지지하지 않는 주행용 상태의 천정 반송차(6)를 자유롭게 주행 이동시킬 수 있다. Since the 1st conveyance point 1 can be set to the position close to the ceiling conveyance vehicle 6, the support body 21 when the ceiling conveyance vehicle 6 conveys the container 3 to the 1st conveyance location 1 The amount of descent of can be reduced, and the container 3 can be quickly conveyed to the first conveying point 1. Moreover, even if the container 3 exists in the 1st conveyance point 1, the ceiling conveyance vehicle 6 in the running state which does not support the container 3 can be freely moved and moved.

도 9에 나타낸 바와 같이, 기판 반송 설비에는, 반송 장치(5), 천정 반송차(6), 및 기판 반송 장치(8)의 작동을 제어하는 반송 제어 장치(H)가 설치되어 있다. As shown in FIG. 9, the conveyance control device H which controls the operation of the conveyance apparatus 5, the ceiling conveyance vehicle 6, and the substrate conveyance apparatus 8 is provided in the board|substrate conveyance facility.

반송 제어 장치(H)는, 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위에 위치하는 정지 위치까지 주행 이동시키는 수수 전 주행 처리와, 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치로부터 주행 이동시키는 수수 후 주행 처리와, 천정 반송차(6)에 의해 용기(3)를 제1 반송 개소(1)에 반송하는 내려놓는 처리와 천정 반송차(6)에 의해 용기(3)를 제1 반송 개소(1)로부터 반송하는 들어올리는 처리를 실행하기 위해, 천정 반송차(6)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. The conveyance control device H travels before and after the transfer of the ceiling transport vehicle 6 to the stop position located immediately above the first transport location 1 and the ceiling transport vehicle 6 at the first transport location. (1) Post-transfer travel processing to move and travel from the stop position immediately above, and the laying down process and the ceiling transport vehicle for transporting the container 3 to the first transport location 1 by the ceiling transport vehicle 6 ( 6) is configured to control the operation of the ceiling transport vehicle 6 in order to perform the lifting process of transporting the container 3 from the first transport location 1.

또한, 반송 제어 장치(H)는, 탑재부(11)를 제1 반송 개소(1)에 대응하는 위치로부터 제2 반송 개소(2)에 대응하는 위치로 이동시키는 퇴피 처리와, 탑재부(11)를 제2 반송 개소(2)에 대응하는 위치로부터 제1 반송 개소(1)에 대응하는 위치로 이동시키는 돌출 처리를 실행하기 위해, 반송 장치(5)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다. In addition, the conveyance control device H includes a evacuation process for moving the mounting portion 11 from a position corresponding to the first conveying point 1 to a position corresponding to the second conveying point 2, and a mounting portion 11. It is configured to control the operation of the conveying apparatus 5 in order to perform the projecting process of moving from the position corresponding to the second conveying point 2 to the position corresponding to the first conveying point 1.

다음에, 도 10에 나타낸 플로우차트에 기초하여, 반송 제어 장치(H)가 내려놓는 처리를 실행함으로써, 천정 반송차(6)에 의해 저위치 제1 반송 개소(1L)로 용기(3)를 반송하고, 반송 제어 장치(H)가 들어올리는 처리를 실행함으로써, 천정 반송차(6)에 의해 고위치 제1 반송 개소(1H)로부터 용기(3)를 반송하는 경우를 예로 들어, 천정 반송차(6)와 반송 장치(5)와의 사이에서 용기(3)를 반송하는 반송 제어에 대하여 설명한다. 그리고, 통상은, 탑재부(11)는 제2 반송 개소(2)에 대응하는 위치로 이동하고 있다. Next, based on the flow chart shown in FIG. 10, the container 3 is moved to the low position first conveyance point 1L by the ceiling conveyance vehicle 6 by executing the processing laid down by the conveyance control device H. For example, a case where the container 3 is conveyed from the high-position first conveyance point 1H by the ceiling conveyance vehicle 6 by conveying and carrying out the process that the conveyance control device H lifts The conveyance control which conveys the container 3 between (6) and the conveyance apparatus 5 is demonstrated. And, normally, the mounting portion 11 is moved to a position corresponding to the second transfer point 2.

반송 제어 장치(H)는, 용기(3)를 저위치 제2 반송 개소(2L)에 반송하는 반입(搬入) 지령이 지령되면, 먼저, 수수 전 주행 처리와 돌출 처리를 실행한다. 수수 전 주행 처리 및 돌출 처리에서는, 반입 대상의 용기(3)를 지지한 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치에 주행시키고 또한 저위치용의 탑재부(11L)를 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응하는 위치로 돌출 이동시키기 위해, 천정 반송차(6) 및 반송 장치(5)의 작동을 제어한다. 그 후, 반송 제어 장치(H)는, 내려놓는 처리를 실행한 후, 퇴피 처리를 실행한다. 내려놓는 처리에서는, 저위치용의 탑재부(11L) 상에 용기(3)를 내려놓아 용기(3)를 저위치 제1 반송 개소(1L)에 반송시키기 위해, 천정 반송차(6)의 작동을 제어한다. 또한, 퇴피 처리에서는, 저위치용의 탑재부(11L)를 저위치 제2 반송 개소(2L)에 대응하는 위치로 이동시켜 용기(3)를 저위치 제2 반송 개소(2L)에 반송하기 위해, 반송 장치(5)의 작동을 제어한다. When the carrying-in command to convey the container 3 to the low-position second conveying point 2L is commanded, the conveyance control device H first executes the traveling process and the protruding process before handing over. In the traveling process and the protruding process before pick-up, the ceiling transport vehicle 6 supporting the container 3 to be brought in is moved to a stop position just above the first transport point 1 and the low-mount mounting portion 11L ), the operation of the ceiling transport vehicle 6 and the transport device 5 is controlled to protrude to a position corresponding to the low position first transport location 1L. Thereafter, the conveyance control device H executes a put-down process, and then executes a evacuation process. In the laying-down process, the operation of the ceiling transport vehicle 6 is performed in order to lower the container 3 onto the low-position mounting portion 11L and transport the container 3 to the low-position first transport location 1L. Control. Further, in the evacuation process, in order to transport the container 3 to the low-position second conveyance point 2L by moving the mounting portion 11L for the low-position to a position corresponding to the low-position second conveyance point 2L, The operation of the conveying device 5 is controlled.

또한, 수수 전 주행 처리와 돌출 처리에서는, 통상에서는 수수 전 주행 처리 쪽이 긴 시간을 필요로 하고, 천정 반송차(6)가 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치까지 이동하기 전에 탑재부(11)는 제1 반송 개소(1)에 대응하는 위치로의 이동을 완료하고 있다. 그러므로, 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위로 주행시킨 후, 탑재부(11)가 제1 반송 개소(1)로 돌출 이동할 때까지 내려놓는 처리의 개시를 대기시킬 필요 없어, 신속히 제1 반송 개소(1)로 용기(3)를 반송 가능하게 되어 있다. In addition, in the traveling process and the protruding process before the delivery, the traveling process before the delivery usually requires a long time, and before the ceiling transport vehicle 6 moves to the stop position just above the first transport point 1 The mounting part 11 has completed the movement to the position corresponding to the first conveyance point 1. Therefore, it is not necessary to wait for the start of the process of lowering the ceiling transport vehicle 6 after it has traveled directly above the first transport point 1 until the mounting portion 11 protrudes to the first transport point 1. , The container 3 can be quickly conveyed to the first conveying point 1.

전술한 바와 같이, 반송 제어 장치(H)는, 퇴피 처리를 실행하여 용기(3)를 저위치 제2 반송 개소(2L)에 반송한 후, 반출(搬出) 지령이 지령되어 있지 않으면, 수수 후 주행 처리를 실행하여, 용기(3)를 지지하고 있지 않은 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치로부터 주행시키기 위해 천정 반송차(6)의 작동을 제어한다. As mentioned above, the conveyance control device H carries out evacuation processing, conveys the container 3 to the second low-conveyance location 2L, and then, after receiving, if the carry-out command is not commanded, The running process is executed to control the operation of the ceiling transport vehicle 6 in order to move the ceiling transport vehicle 6 that does not support the container 3 from the stop position just above the first transport location 1. .

또한, 반송 제어 장치(H)는, 반출 지령이 있으면, 돌출 처리를 실행한다. 돌출 처리에서는, 고위치용의 탑재부(11H)를 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응하는 위치로 돌출 이동시키기 위해, 반송 장치(5)의 작동을 제어한다. 그 후, 반송 제어 장치(H)는, 들어올리는 처리를 실행한 후, 수수 후 주행 처리와 퇴피 처리를 실행한다. 들어올리는 처리에서는, 반출 대상의 용기(3)를 천정 반송차(6)에 의해 지지하기 위해, 천정 반송차(6)의 작동을 제어한다. 또한, 수수 후 주행 처리 및 퇴피 처리에서는, 반출 대상의 용기(3)를 지지한 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치로부터 주행시키고 또한 고위치용의 탑재부(11H)를 고위치 제2 반송 개소(2H)에 대응하는 위치로 퇴피 이동시키기 위해, 천정 반송차(6) 및 반송 장치(5)의 작동을 제어한다. In addition, the conveyance control device H executes a protrusion process when there is an instruction to carry out. In the protruding process, the operation of the conveying device 5 is controlled to protrude and move the mounting portion 11H for the high position to a position corresponding to the high-position first conveying point 1H. Thereafter, the conveyance control device H executes a lifting process, and then performs a traveling process and a evacuation process after receiving. In the lifting process, the operation of the ceiling transport vehicle 6 is controlled in order to support the container 3 to be carried out by the ceiling transport vehicle 6. Further, in the traveling process and evacuation process after the delivery, the ceiling transport vehicle 6 supporting the container 3 to be carried out is moved from the stop position just above the first transport point 1, and the mounting unit for high position ( In order to retreat 11H) to a position corresponding to the high position second conveyance point 2H, the operation of the ceiling transport vehicle 6 and the conveyance device 5 is controlled.

그리고, 반송 제어 장치(H)는, 반입 지령이 지령되어 있지 않고, 반출 지령만이 지령되고 있는 경우에는, 먼저, 수수 전 주행 처리와 돌출 처리를 실행한다. 수수 전 주행 처리 및 돌출 처리에서는, 용기(3)를 지지하고 있지 않은 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치에 주행시키고 또한 고위치용의 탑재부(11)를 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응하는 위치로 돌출 이동시키기 위해, 천정 반송차(6) 및 반송 장치(5)의 작동을 제어한다. 그 후, 반송 제어 장치(H)는, 들어올리는 처리를 실행한 후, 수수 후 주행 처리와 퇴피 처리를 실행한다. 들어올리는 처리에서는, 반출 대상의 용기(3)를 천정 반송차(6)에 의해 지지하기 위해, 천정 반송차(6)의 작동을 제어한다. 또한, 수수 후 주행 처리 및 퇴피 처리에서는, 반출 대상의 용기(3)를 지지한 천정 반송차(6)를 제1 반송 개소(1)의 바로 위의 정지 위치로부터 주행시키고 또한 고위치용의 탑재부(11H)를 고위치 제2 반송 개소(2H)에 대응하는 위치로 퇴피 이동시키기 위해, 천정 반송차(6) 및 반송 장치(5)의 작동을 제어한다. Then, when the carry-in command is not commanded and only the carry-out command is commanded, the conveyance control device H first executes the traveling process and the protruding process before receiving. In the traveling process and the protruding process before pick-up, the ceiling transport vehicle 6, which does not support the container 3, is moved to a stop position just above the first transport point 1, and the mounting portion 11 for high position is moved. The operation of the ceiling transport vehicle 6 and the transport apparatus 5 is controlled so as to protrude to a position corresponding to the high position first transport location 1H. Thereafter, the conveyance control device H executes a lifting process, and then performs a traveling process and a evacuation process after receiving. In the lifting process, the operation of the ceiling transport vehicle 6 is controlled in order to support the container 3 to be carried out by the ceiling transport vehicle 6. Further, in the traveling process and evacuation process after the delivery, the ceiling transport vehicle 6 supporting the container 3 to be carried out is moved from the stop position just above the first transport point 1, and the mounting unit for high position ( In order to retreat 11H) to a position corresponding to the high position second conveyance point 2H, the operation of the ceiling transport vehicle 6 and the conveyance device 5 is controlled.

이와 같이, 용기(3)를 탑재하는 탑재부(11)를 수평 방향을 따라 이동시킴으로써, 탑재부(11)에 탑재한 용기(3)를 제1 반송 개소(1)와 제2 반송 개소(2)와의 사이에서 반송하고, 기판 반송 장치(8)에 의해, 탑재부(11)에 탑재된 상태로 제2 반송 개소(2)에 위치하는 용기(3)로부터 기판(4)을 인출하여 상기 기판(4)을 기판 처리 장치(7)에 반송하게 되어 있다. 이 결과, 기판 반송 설비의 구성의 간소화를 도모할 수 있으면서, 기판(4)을 기판 처리 장치(7)에 효율적으에 반송하기 쉬워지고 있다. Thus, by moving the mounting part 11 which mounts the container 3 along a horizontal direction, the container 3 mounted in the mounting part 11 is provided with the 1st conveyance location 1 and the 2nd conveyance location 2 The substrate 4 is taken out from the container 3 located in the second conveying location 2 while being conveyed therebetween and mounted on the mounting portion 11 by the substrate conveying device 8. To be transferred to the substrate processing apparatus 7. As a result, it is easy to efficiently convey the substrate 4 to the substrate processing apparatus 7 while simplifying the configuration of the substrate transport facility.

[다른 실시형태][Other embodiments]

(1) 상기 실시형태에서는, 중계 반송 장치로서, 저위치 반송 장치(5L)와 고위치 반송 장치(5H)를 설치하였으나, 중계 반송 장치로서, 저위치 반송 장치(5L)와 고위치 반송 장치(5H) 중 어느 한쪽만을 설치해도 된다. (1) In the above-described embodiment, as the relay conveying device, the low-position conveying device 5L and the high-position conveying device 5H were provided, but as the relay conveying device, the low-position conveying device 5L and the high-position conveying device ( 5H) may be provided.

(2) 상기 실시형태에서는, 탑재부(11)를, 연직 방향을 따른 축심 주위로 선회 이동시킴으로써 용기 반송 개소에 대응하는 위치와 기판 인출 개소에 대응하는 위치로 이동시키도록 구성하였지만, 탑재부(11)를, 수평 방향을 따라 직선 이동시킴으로써 용기 반송 개소에 대응하는 위치와 기판 인출 개소에 대응하는 위치로 이동시키도록 구성해도 된다. (2) In the above-described embodiment, the mounting portion 11 is configured to move to a position corresponding to the container conveyance point and a position corresponding to the substrate take-off point by orbiting around the axial center along the vertical direction. It may be configured to move the position to the position corresponding to the container conveyance point and the position corresponding to the substrate take-off point by linearly moving it along the horizontal direction.

또한, 중계 반송 장치를, 용기(3)를 탑재 지지하는 체인이나 벨트 등을 구비한 컨베이어 장치에 의해 구성해도 된다. 이와 같이 중계 반송 장치를 컨베이어 장치에 의해 구성한 경우에는, 체인이나 벨트 등의 용기(3)를 탑재 지지하는 부분이 탑재부(11)에 상당하고, 체인이나 벨트를 회전 구동시킴으로써 탑재 지지하는 부분[탑재부(11)]를 수평 방향을 따라 이동시키게 된다. Moreover, you may comprise a relay conveyance apparatus with the conveyor apparatus provided with the chain 3 or a belt etc. which mounts and supports the container 3. In this way, in the case where the relay conveying device is configured by a conveyor device, a part for mounting and supporting the container 3 such as a chain or a belt corresponds to the mounting part 11, and a part for mounting and supporting by rotating and driving a chain or a belt [mounting part] (11)] along the horizontal direction.

그리고, 단일의 탑재부(11)는, 상기 실시형태의 같은 ㄷ자형(각이 진 U자형)의 판형 부재와 같이 1개의 부재에 의해 구성하는 외에, 용기(3)의 설비 가로 폭 방향의 양 단부를 별개로 지지하도록 한 쌍의 부재[예를 들면, 무단(無端) 벨트]에 의해 구성해도 된다. In addition, the single mounting portion 11 is constituted by one member such as the plate-shaped member of the same U-shape (angled U-shape) in the above-described embodiment, and both ends of the container 3 in the width direction of the equipment. It may be constituted by a pair of members (for example, an endless belt) to separately support.

(3) 상기 실시형태에서는, 용기 반송 개소를, 탑재부(11)에 탑재된 상태로 용기 반송 개소에 위치하는 용기(3)의 상단이, 주행용 상태의 천정 반송차(6)의 하단보다 아래쪽이며 또한 주행용 상태의 천정 반송차(6)에 지지된 용기(3)의 하단보다 위쪽에 위치하는 개소로 설정하였으나, 용기 반송 개소를, 탑재부(11)에 탑재된 상태에서 용기 반송 개소에 위치하는 용기(3)의 상단이, 주행용 상태의 천정 반송차(6)의 하단보다 아래쪽이며 또한 주행용 상태의 천정 반송차(6)에 지지된 용기(3)의 하단보다 아래쪽에 위치하는 개소로 설정하여, 용기 반송 개소에 용기(3)가 존재하고 있었다고 해도, 용기(3)를 지지하는 주행용 상태의 천정 반송차(6)를 자유롭게 주행 이동할 수 있도록 구성해도 된다. (3) In the above-described embodiment, the upper end of the container 3 positioned at the container transport position with the container transport position mounted on the mounting portion 11 is lower than the lower end of the ceiling transport vehicle 6 in the running state. It is also set to a position located above the lower end of the container 3 supported by the ceiling transport vehicle 6 in a running state, but the container transport location is located at the container transport location while mounted on the mounting unit 11. The position where the upper end of the container 3 to be said is lower than the lower end of the ceiling transport vehicle 6 in a running state and is located below the lower end of the container 3 supported by the ceiling transport vehicle 6 in a running state. Even if the container 3 is present at the container transport location, it may be configured so that the ceiling transport vehicle 6 in a traveling state supporting the container 3 can travel freely.

(4) 상기 실시형태에서는, 저위치용의 탑재부(11L)를, 그 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적이 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치하고, 고위치용의 탑재부(11H)를, 그 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적이 저위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치하였으나, 이들 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치용의 탑재부(11H)를, 각각의 이동 궤적이 상하 방향으로 중복되지 않는 상태로 설치해도 된다. (4) In the above-described embodiment, a portion where the movement trajectory of the mounting portion 11L for the low position is viewed from the vertical direction of the movement trajectory of the mounting portion 11H for the high position is overlapped. When installed in a state having a portion that does not overlap with the high-position mounting portion 11H, when the movement trajectory of the high-position mounting portion 11H is viewed from the vertical direction of the movement trajectory of the low-position mounting portion 11H. Although installed in a state having overlapping portions and non-overlapping portions, these low-position mounting portions 11L and high-position mounting portions 11H may be installed in a state in which the respective movement trajectories do not overlap in the vertical direction. .

구체적으로는, 예를 들면, 상기 실시형태에 있어서, 탑재부(11)의 평면에서 볼 때의 형상을 빗살형으로 형성하는 것 등에 의해, 저위치 제1 반송 개소(1L)에 대응하는 위치의 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치 제1 반송 개소(1H)에 대응하는 위치의 고위치용의 탑재부(11H)가, 상하 방향에서 볼 때 중첩되지 않도록 구성하여, 저위치용의 탑재부(11L)와 고위치용의 탑재부(11H)를, 각각의 이동 궤적이 상하 방향으로 중복되지 않는 상태로 설치해도 된다. Specifically, for example, in the above-described embodiment, the position of the position corresponding to the low-position first conveyance point 1L is formed, for example, by forming a comb-like shape when viewed from the plane of the mounting portion 11. The mounting portion 11L for the position and the mounting portion 11H for the high position at a position corresponding to the high position first conveying point 1H are configured so as not to overlap when viewed in the vertical direction, and the mounting portion 11L for the low position And the mounting portion 11H for the high position may be provided in a state in which the respective movement trajectories do not overlap in the vertical direction.

그리고, 저위치용의 탑재부(11L)의 이동 궤적의 전체와 고위치용의 탑재부(11H)의 이동 궤적의 전체가, 상하 방향으로 중복되는 상태로 설치해도 된다. Further, the entire movement trajectory of the low-position mounting portion 11L and the entire movement trajectory of the high-position mounting portion 11H may be provided in a state in which they overlap in the vertical direction.

(5) 상기 실시형태에서는, 기판(4)을, 직사각형으로 형성된 판상체로 하였으나, 기판(4)을, 웨이퍼 등의 원형 또는 대략 원형으로 형성된 판상체로 해도 된다. 또한, 용기(3)는, 웨이퍼 수납용의 FOUP로서도 된다. (5) In the above-described embodiment, the substrate 4 is a plate-shaped body formed in a rectangular shape, but the substrate 4 may be a plate-shaped body formed in a circular shape or a substantially circular shape such as a wafer. In addition, the container 3 may be used as a FOUP for wafer storage.

1: 용기 반송 개소
1L: 저위치 용기 반송 개소
1H: 고위치 용기 반송 개소
2: 기판 인출 개소
2L: 저위치 기판 인출 개소
2H: 고위치 기판 인출 개소
3: 용기
4: 기판
5: 중계 반송 장치
5L: 저위치 반송 장치
5H: 고위치 반송 장치
6: 천정 반송차
7: 기판 처리 장치
8: 기판 반송 장치
11: 탑재부
11L: 저위치용의 탑재부
11H: 고위치용의 탑재부
20: 주행 레일
21: 지지체
P: 축심1: Container transfer point
1L: Low position container transfer point
1H: High position container transfer point
2: Substrate withdrawal point
2L: Low-position substrate withdrawal point
2H: High position substrate withdrawal point
3: Courage
4: Substrate
5: relay transfer device
5L: Low position conveying device
5H: High position conveying device
6: Ceiling transport vehicle
7: Substrate processing device
8: Substrate conveying device
11: Mounting part
11L: Low position mounting part
11H: Mounting part for high position
20: driving rail
21: support
P: Axis

Claims (6)

천정에 설치된 주행 레일에 안내 지지된 상태로 상기 주행 레일을 따라 주행 이동하여, 복수 개의 기판을 수납한 용기를 용기 반송(搬送) 개소에 반송하는 천정 반송차를 구비한 기판 반송 설비로서,
상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 기판 인출 개소 사이에서 반송 가능한 중계 반송 장치; 및
상기 기판 인출 개소에 위치하는 상기 용기로부터 상기 기판을 인출하여, 상기 기판에 대하여 처리를 행하는 기판 처리 장치에, 인출한 상기 기판을 반송하는 기판 반송 장치;
를 포함하고,
상기 중계 반송 장치가, 상기 용기를 탑재하는 탑재부로서 단일의 탑재부만을 구비하여, 상기 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시켜 상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 상기 기판 인출 개소 사이에서 반송 가능하게 구성되며,
상기 기판 반송 장치가, 상기 탑재부에 탑재된 상태로 상기 기판 인출 개소에 위치하는 상기 용기로부터, 상기 기판을 인출하여, 상기 기판을 상기 기판 처리 장치에 반송 가능하게 구성되어 있고,
상기 중계 반송 장치가, 상기 탑재부를 연직(鉛直) 방향을 따른 축심(軸心) 주위로 선회(旋回) 이동시켜 상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 상기 기판 인출 개소 사이에서 반송하도록 구성되어 있는,
기판 반송 설비. A substrate transport facility having a ceiling transport vehicle that travels along the travel rail while being guided by a travel rail installed on the ceiling to transport containers containing a plurality of substrates to a container transport location.
A relay transport device capable of transporting the container between the container transport point and the substrate take-out point; And
A substrate transfer device for taking the substrate out of the container located at the substrate take-off point and processing the substrate;
Including,
The relay conveyance device is configured to be provided with only a single mounting portion as a mounting portion for mounting the container, and to move the mounting portion along a horizontal direction so that the container can be transported between the container transportation location and the substrate extraction location,
The substrate transport apparatus is configured to be able to transport the substrate to the substrate processing apparatus by taking out the substrate from the container positioned at the substrate take-out position while being mounted on the mounting portion,
The relay conveying device is configured to move the mounting portion around an axial center along a vertical direction to convey the container between the container conveying location and the substrate withdrawing location,
Substrate transfer facility. 제1항에 있어서,
상기 기판이, 직사각형으로 형성된 판상체(板狀體)인, 기판 반송 설비. According to claim 1,
A board|substrate conveyance facility in which the said board|substrate is a plate-shaped object formed in the rectangle. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 기판 인출 개소가, 복수 설정되고,
상기 중계 반송 장치가, 복수의 상기 기판 인출 개소에 별개로 상기 용기를 반송하는 상태로 복수 설치되고,
상기 기판 반송 장치가, 상기 용기가 복수의 상기 기판 인출 개소 중 어디에 위치하는 상태에 있더라도, 상기 용기로부터 상기 기판을 인출 가능하게 구성되어 있는, 기판 반송 설비. The method according to claim 1 or 2,
A plurality of locations for taking out the substrate are set,
A plurality of the relay conveying devices are provided in a state of conveying the containers separately at a plurality of the substrate taking-out points,
The substrate transport apparatus is configured so that the substrate can be withdrawn from the container even when the container is in a state where the container is located in any of the plurality of substrate extraction locations. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 천정 반송차가, 상기 용기를 매달아 지지하는 지지체를 승강 가능하게 구비하여, 상기 지지체를 상승 위치로 상승 이동시킨 주행용 상태에서 주행 이동 가능하게 구성되며, 또한 상기 지지체를 상기 상승 위치로부터 하강 이동시켜 상기 탑재부 상에 상기 용기를 내려놓는 형태로 상기 용기를 상기 용기 반송 개소에 반송하도록 구성되며,
상기 용기 반송 개소는, 상기 탑재부 상에 탑재된 상태로 상기 용기 반송 개소에 위치하는 상기 용기의 상단이, 상기 주행용 상태의 상기 천정 반송차의 상기 지지체의 하단보다 아래쪽이며 또한 상기 주행용 상태의 상기 천정 반송차에 지지된 상기 용기의 하단보다 위쪽에 위치하는 개소로 설정되어 있는, 기판 반송 설비. The method according to claim 1 or 2,
The ceiling transport vehicle is provided with a support for hanging and supporting the container so as to be movable, and is configured to be movable in a traveling state in which the support is raised and moved to an elevated position, and the support is moved downward from the raised position. It is configured to convey the container to the container conveying location in the form of placing the container on the mounting portion,
In the container conveyance position, the upper end of the container positioned in the container conveyance position while being mounted on the mounting portion is lower than the lower end of the support of the ceiling transport vehicle in the traveling state and also in the driving state. The substrate transport facility is set at a position located above the lower end of the container supported by the ceiling transport vehicle. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 용기 반송 개소로서, 저위치(低位置) 용기 반송 개소와 상기 저위치 용기 반송 개소보다 고위치(高位置)로 설정된 고위치 용기 반송 개소가 설정되고,
상기 기판 인출 개소로서, 저위치 기판 인출 개소와 상기 저위치 기판 인출 개소보다 고위치로 설정된 고위치 기판 인출 개소가 설정되고,
상기 중계 반송 장치로서, 상기 용기를 상기 저위치 용기 반송 개소와 상기 저위치 기판 인출 개소 사이에서 반송하는 저위치 반송 장치와, 상기 용기를 상기 고위치 용기 반송 개소와 상기 고위치 기판 인출 개소 사이에서 반송하는 고위치 반송 장치가 설치되고,
상기 고위치 반송 장치에 구비된 고위치용의 상기 탑재부가, 상기 저위치 반송 장치에 구비된 저위치용의 상기 탑재부에서의 상기 용기를 탑재하는 탑재면의 높이보다 높고 또한 상기 저위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 상단보다 낮은 높이에 설치되고,
상기 저위치용의 탑재부는, 상기 저위치용의 탑재부의 이동 궤적이 상기 고위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치되고,
상기 고위치용의 탑재부는, 상기 고위치용의 탑재부의 이동 궤적이 상기 저위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치되어 있는, 기판 반송 설비.The method according to claim 1 or 2,
As the container conveyance point, a low-position container conveyance point and a high-position container conveyance point set at a higher position than the low-position container conveyance point are set,
As the substrate withdrawal location, a low-position substrate withdrawal location and a high-position substrate withdrawal location set to a higher position than the low-position substrate withdrawal location are set,
As the relay conveying device, a low-position conveying device for conveying the container between the low-position container conveying point and the low-position substrate extracting point, and the container between the high-position container conveying point and the high-position substrate extracting point A high position conveying device for conveying is installed,
The mounting portion for a high position provided in the high-position conveying device is higher than a height of a mounting surface for mounting the container in the mounting portion for a low-position provided in the low-position conveying device, and the mounting portion for the low-position. It is installed at a lower height than the top of the mounted container,
The low-position mounting portion is installed in a state where the movement trajectory of the low-position mounting portion has a overlapping portion and a non-overlapping portion when viewed in the vertical direction with the movement trajectory of the container mounted on the high-position mounting portion. Become,
The high-position mounting portion is installed in a state in which the movement trajectory of the high-position mounting portion has a overlapping portion and a non-overlapping portion when viewed in the vertical direction with the movement trajectory of the container mounted on the low-position mounting portion. Substrate transport equipment. 천정에 설치된 주행 레일에 안내 지지된 상태로 상기 주행 레일을 따라 주행 이동하여, 복수 개의 기판을 수납한 용기를 용기 반송(搬送) 개소에 반송하는 천정 반송차를 구비한 기판 반송 설비로서,
상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 기판 인출 개소 사이에서 반송 가능한 중계 반송 장치; 및
상기 기판 인출 개소에 위치하는 상기 용기로부터 상기 기판을 인출하여, 상기 기판에 대하여 처리를 행하는 기판 처리 장치에, 인출한 상기 기판을 반송하는 기판 반송 장치;
를 포함하고,
상기 중계 반송 장치가, 상기 용기를 탑재하는 단일의 탑재부를 구비하여, 상기 탑재부를 수평 방향을 따라 이동시켜 상기 용기를 상기 용기 반송 개소와 상기 기판 인출 개소 사이에서 반송 가능하게 구성되며,
상기 기판 반송 장치가, 상기 탑재부에 탑재된 상태로 상기 기판 인출 개소에 위치하는 상기 용기로부터, 상기 기판을 인출하여, 상기 기판을 상기 기판 처리 장치에 반송 가능하게 구성되어 있고,
상기 용기 반송 개소로서, 저위치(低位置) 용기 반송 개소와 상기 저위치 용기 반송 개소보다 고위치(高位置)로 설정된 고위치 용기 반송 개소가 설정되고,
상기 기판 인출 개소로서, 저위치 기판 인출 개소와 상기 저위치 기판 인출 개소보다 고위치로 설정된 고위치 기판 인출 개소가 설정되고,
상기 중계 반송 장치로서, 상기 용기를 상기 저위치 용기 반송 개소와 상기 저위치 기판 인출 개소 사이에서 반송하는 저위치 반송 장치와, 상기 용기를 상기 고위치 용기 반송 개소와 상기 고위치 기판 인출 개소 사이에서 반송하는 고위치 반송 장치가 설치되고,
상기 고위치 반송 장치에 구비된 고위치용의 상기 탑재부가, 상기 저위치 반송 장치에 구비된 저위치용의 상기 탑재부에서의 상기 용기를 탑재하는 탑재면의 높이보다 높고 또한 상기 저위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 상단보다 낮은 높이에 설치되고,
상기 저위치용의 탑재부는, 상기 저위치용의 탑재부의 이동 궤적이 상기 고위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치되고,
상기 고위치용의 탑재부는, 상기 고위치용의 탑재부의 이동 궤적이 상기 저위치용의 탑재부에 탑재된 상기 용기의 이동 궤적과 상하 방향에서 볼 때 중복되는 부분과 중복되지 않는 부분을 가지는 상태로 설치되어 있는, 기판 반송 설비. A substrate transport facility having a ceiling transport vehicle that travels along the travel rail while being guided by a travel rail installed on the ceiling to transport containers containing a plurality of substrates to a container transport location.
A relay transport device capable of transporting the container between the container transport point and the substrate take-out point; And
A substrate transfer device for taking the substrate out of the container located at the substrate take-off point and processing the substrate;
Including,
The relay conveyance device is configured to be provided with a single mounting portion for mounting the container, and to move the mounting portion in a horizontal direction so that the container can be transported between the container transportation location and the substrate withdrawal location,
The substrate transport apparatus is configured to be able to transport the substrate to the substrate processing apparatus by taking out the substrate from the container positioned at the substrate take-out position while being mounted on the mounting portion,
As the container conveyance point, a low-position container conveyance point and a high-position container conveyance point set at a higher position than the low-position container conveyance point are set,
As the substrate withdrawal location, a low-position substrate withdrawal location and a high-position substrate withdrawal location set to a higher position than the low-position substrate withdrawal location are set,
As the relay conveying device, a low-position conveying device for conveying the container between the low-position container conveying point and the low-position substrate extracting point, and the container between the high-position container conveying point and the high-position substrate extracting point A high position conveying device for conveying is installed,
The mounting portion for a high position provided in the high-position conveying device is higher than a height of a mounting surface for mounting the container in the mounting portion for a low-position provided in the low-position conveying device, and the mounting portion for the low-position. It is installed at a lower height than the top of the mounted container,
The low-position mounting portion is installed in a state where the movement trajectory of the low-position mounting portion has a overlapping portion and a non-overlapping portion when viewed in the vertical direction with the movement trajectory of the container mounted on the high-position mounting portion. Become,
The high-position mounting portion is installed in a state in which the movement trajectory of the high-position mounting portion has a overlapping portion and a non-overlapping portion when viewed in the vertical direction with the movement trajectory of the container mounted on the low-position mounting portion. Substrate transport equipment.
KR1020130127067A 2012-11-07 2013-10-24 Substrate transport facility KR102126240B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2012-245744 2012-11-07
JP2012245744A JP5928304B2 (en) 2012-11-07 2012-11-07 Board transfer equipment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20140059716A KR20140059716A (en) 2014-05-16
KR102126240B1 true KR102126240B1 (en) 2020-06-24

Family

ID=50700704

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020130127067A KR102126240B1 (en) 2012-11-07 2013-10-24 Substrate transport facility

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP5928304B2 (en)
KR (1) KR102126240B1 (en)
CN (1) CN103803230B (en)
TW (1) TWI599528B (en)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6593287B2 (en) * 2016-09-09 2019-10-23 株式会社ダイフク Goods transport equipment
JP7213056B2 (en) * 2018-10-18 2023-01-26 東京エレクトロン株式会社 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS AND SUBSTRATE PROCESSING METHOD
TWI684993B (en) * 2019-05-31 2020-02-11 群翊工業股份有限公司 Level correction equipment
KR102170507B1 (en) * 2020-06-04 2020-10-29 이태구 Parts transfer system

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006044920A (en) * 2004-08-09 2006-02-16 Murata Mach Ltd Overhead traveling vehicle system
KR100646906B1 (en) * 1998-09-22 2006-11-17 동경 엘렉트론 주식회사 Substrate processing apparatus and substrate processing method
KR100925240B1 (en) * 2003-03-25 2009-11-05 다다모토 다마이 Vacuum processing system being able to carry process object into and out of vacuum chamber
JP2010137961A (en) 2008-12-11 2010-06-24 Muratec Automation Co Ltd Storage and inlet-outlet method

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4758127A (en) * 1983-06-24 1988-07-19 Canon Kabushiki Kaisha Original feeding apparatus and a cassette for containing the original
US5588790A (en) * 1993-11-01 1996-12-31 Lichti Robert D High speed storage system
JPH10297710A (en) * 1997-04-30 1998-11-10 Fujitsu Ltd Carrier carrying device
JPH11329989A (en) * 1998-05-21 1999-11-30 Kokusai Electric Co Ltd Substrate processing apparatus
JP3352636B2 (en) * 1998-09-22 2002-12-03 東京エレクトロン株式会社 Processing apparatus and method
JP3462405B2 (en) * 1998-10-29 2003-11-05 東京エレクトロン株式会社 Processing equipment
JP3829633B2 (en) * 2001-02-22 2006-10-04 株式会社ダイフク Load storage equipment
US7578650B2 (en) * 2004-07-29 2009-08-25 Kla-Tencor Technologies Corporation Quick swap load port
US7771151B2 (en) * 2005-05-16 2010-08-10 Muratec Automation Co., Ltd. Interface between conveyor and semiconductor process tool load port
JP4756372B2 (en) 2006-09-13 2011-08-24 株式会社ダイフク Substrate processing method
JP4887332B2 (en) * 2007-09-20 2012-02-29 東京エレクトロン株式会社 Substrate processing equipment
JP5212165B2 (en) * 2009-02-20 2013-06-19 東京エレクトロン株式会社 Substrate processing equipment
JP5273479B2 (en) * 2009-10-23 2013-08-28 株式会社ダイフク Substrate storage container and transport equipment for transporting the same

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100646906B1 (en) * 1998-09-22 2006-11-17 동경 엘렉트론 주식회사 Substrate processing apparatus and substrate processing method
KR100925240B1 (en) * 2003-03-25 2009-11-05 다다모토 다마이 Vacuum processing system being able to carry process object into and out of vacuum chamber
JP2006044920A (en) * 2004-08-09 2006-02-16 Murata Mach Ltd Overhead traveling vehicle system
JP2010137961A (en) 2008-12-11 2010-06-24 Muratec Automation Co Ltd Storage and inlet-outlet method

Also Published As

Publication number Publication date
TW201422507A (en) 2014-06-16
JP2014096415A (en) 2014-05-22
CN103803230B (en) 2017-09-01
JP5928304B2 (en) 2016-06-01
TWI599528B (en) 2017-09-21
KR20140059716A (en) 2014-05-16
CN103803230A (en) 2014-05-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN114684519B (en) Transport vehicle and transport apparatus
KR102405911B1 (en) Article transport facility
KR102062179B1 (en) Conveying system
KR102155617B1 (en) Article storage facility
JP4378655B2 (en) Article processing equipment
US8875866B2 (en) Article transport facility
KR102279602B1 (en) Article transport facility
KR20200033273A (en) Transport vehicle and transport equipment
JP6102759B2 (en) Goods transport cart
KR102126240B1 (en) Substrate transport facility
KR20120106618A (en) Article transport facility
KR101359682B1 (en) Side buffer for a transport vehicle that travels along the ceiling, and transport vehicle system
KR102206058B1 (en) Conveyance system
JP2007096140A (en) Article giving/receiving method and apparatus in suspended ascending/descending carrier truck
JP7099245B2 (en) Goods carrier
EP1845552A1 (en) Transportation system and transportation method
KR102066169B1 (en) Article transport facility
WO2017043234A1 (en) Transport system and transport method
JP2020070155A (en) Article transfer facility
JP2010235214A (en) Traveling vehicle system
KR20220060485A (en) Transport vehicle
CN116605602A (en) Pipe support and conveying vehicle system

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant