KR102290364B1 - Method for manufacturing of metal shadow mask, and metal shadow mask manufactured by thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법 및 이 제조방법에 의해 제조된 메탈 쉐도우 마스크에 관한 것으로서, 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법은 메탈 박판을 준비하는 단계; 상기 메탈 박판의 양 면 중, 적어도 어느 한쪽의 일 면에 버림 박판을 부착시키는 단계; 상기 메탈 박판과 상기 버림 박판을 미리 설정된 규격에 맞게 레이저로서 커팅하는 단계; 및 상기 버림 박판을 분리하는 단계를 포함하거나, 또는 메탈 박판을 준비하는 단계; 상기 메탈 박판이 담길 수 있도록 일정 높이의 식각액이 담긴 용기를 구비하는 단계; 상기 용기에 상기 메탈 박판을 담근 상태에서, 레이저에 의해 미리 설정된 규격에 맞게 커팅하는 단계; 및 동시에 상기 식각액에 의해 식각을 실시하는 단계를 포함할 수 있으며, 메탈 쉐도우 마스크는 상기한 제조방법에 의해 제조될 수 있다.The present invention relates to a method for manufacturing a metal shadow mask and a metal shadow mask manufactured by the manufacturing method, the method for manufacturing a metal shadow mask comprising the steps of: preparing a thin metal plate; attaching the discarded thin plate to at least one of both sides of the metal thin plate; Cutting the metal thin plate and the discarded thin plate with a laser according to a preset standard; and separating the discarded thin plate, or preparing a thin metal plate; providing a container containing an etchant of a certain height so that the thin metal plate can be contained; Cutting the metal thin plate in a state immersed in the container, according to a preset standard by a laser; and simultaneously performing etching with the etchant, and the metal shadow mask may be manufactured by the above-described manufacturing method.

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Figure 112020109553515-pat00004

Description

메탈 쉐도우 마스크의 제조방법 및 이 제조방법에 의해 제조된 메탈 쉐도우 마스크{Method for manufacturing of metal shadow mask, and metal shadow mask manufactured by thereof}Method for manufacturing a metal shadow mask and a metal shadow mask manufactured by the manufacturing method

본 발명은 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법 및 이 제조방법에 의해 제조된 메탈 쉐도우 마스크에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 대면적 금속 박판을 메탈 쉐도우 마스크로 커팅하는 과정에서 레이저에 의해 커팅하되, 금속 박판의 절단 면에 버(Burr)가 발생되지 않도록 하는 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법 및 이 제조방법에 의해 제조된 메탈 쉐도우 마스크에 관한 것이다.The present invention relates to a method for manufacturing a metal shadow mask and a metal shadow mask manufactured by the manufacturing method, and more particularly, to a large-area thin metal plate cut by a laser in the process of cutting it with a metal shadow mask, but It relates to a method for manufacturing a metal shadow mask that prevents burrs from being generated on a cut surface, and to a metal shadow mask manufactured by the manufacturing method.

일반적으로, OLED (organic light emitting diode) 등과 같은 표시 장치의 제조 공정에 사용되는 메탈 쉐도우 마스크는, 메탈 박판에 원하는 모양대로 패턴을 형성하여 기판과 체결 후 이것을 마스크 삼아 OLED용 재료를 성막하여 기판상에 선택적으로 OLED용 재료들을 성막하는 도구이다.In general, a metal shadow mask used in a manufacturing process of a display device such as an organic light emitting diode (OLED), etc. forms a pattern in a desired shape on a thin metal plate, is fastened to a substrate, and uses this as a mask to form a material for OLED to form a film on the substrate. It is a tool to selectively deposit materials for OLED.

메탈 쉐도우 마스크를 제조하기 위해서는 메탈 박판을 미리 설계한 모양대로 커팅하는 단계를 수행하게 되는데, 이때 메탈 쉐도우 마스크의 커팅 공정은 도 1에 도시된 바와 같이 식각 공정에 의해 이루어지게 된다.In order to manufacture the metal shadow mask, a step of cutting the thin metal plate in a previously designed shape is performed. In this case, the metal shadow mask cutting process is performed by an etching process as shown in FIG. 1 .

식각 공정으로 제작된 메탈 쉐도우 마스크의 단면은 도 2와 같으며, 커팅된 부위에 돌출부가 없어 OLED등의 표시장치 제작할 때 척킹에 의한 밀착시 표시장치의 일면에 스크레치등의 손상이 없다.The cross-section of the metal shadow mask produced by the etching process is as shown in FIG. 2, and there is no protrusion in the cut part, so there is no damage such as scratches on one surface of the display device when it is closely adhered by chucking when manufacturing a display device such as an OLED.

반면 , 식각에 의해 메탈박판의 커팅 공정을 수행하게 되는 경우, OLED용 기판의 사이즈가 커지게 되면서 마스터 패턴을 형성하는 Photomask의 사이즈도 커져야 하고, 또한 식각에 필요한 장비도 커져야 되어 투자, 재료수급 및 장비적 한계에 부딪치게 된다.On the other hand, when the metal thin plate cutting process is performed by etching, the size of the photomask forming the master pattern must increase as the size of the substrate for OLED increases, and the equipment required for etching must also increase, so that investment, material supply and demand and equipment limitations.

한편, 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 식각을 대신하여 레이저에 의하여 메탈 박판을 커팅하는 공정을 개발하기도 하였으나, 이 경우 도 3에 도시된 바와 같이, 메탈박판(10)의 커팅이면(12) 양 단부 측에 레이저 커팅에 의한 버(Burr)(14)가 발생되어 LCD 등의 표시 장치와 척킹에 의한 밀착 시 상기 버(14)에 의해 표시 장치의 일 면에 스크래치 등의 손상을 입히게 되는 등의 문제점이 있었다.On the other hand, in order to solve the above problems, a process of cutting a thin metal plate by a laser has been developed instead of etching, but in this case, as shown in FIG. A burr 14 is generated on the end side by laser cutting, so that when the display device such as an LCD is in close contact with the chucking, the burr 14 causes damage such as scratches on one surface of the display device. There was a problem.

본 발명은 상기와 같은 제반 문제점들에 착안하여 안출된 것으로서, 본 발명이 해결하고자 하는 기술적 과제는, 레이저에 의하여 메탈 박판을 커팅하여 정밀한 규격에 맞게 커팅이 이루어지도록 하되, 레이저에 의한 커팅 시 발생할 수 있는 버(Burr)의 발생 없이 매끈한 절단 면을 가질 수 있는 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법 및 이 제조방법에 의해 제조된 메탈 쉐도우 마스크를 제공하는 것이다.The present invention has been devised in view of the various problems as described above, and the technical problem to be solved by the present invention is to cut a thin metal plate with a laser so that the cutting is made to meet a precise standard, but to occur when cutting by a laser An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a metal shadow mask capable of having a smooth cut surface without generating burrs, and a metal shadow mask manufactured by the manufacturing method.

본 발명의 과제들은 이상에서 언급한 과제로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The problems of the present invention are not limited to the problems mentioned above, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법은, (a) 메탈 박판을 준비하는 단계; (b) 상기 메탈 박판의 양 면 중, 적어도 어느 한쪽의 일 면에 버림 박판(Dummy Sheet)을 부착시키는 단계; (c) 상기 메탈 박판과 상기 버림 박판을 미리 설정된 규격에 맞게 레이저로서 커팅하는 단계; 및 (d) 상기 버림 박판을 분리하는 단계를 포함할 수 있다.A method of manufacturing a metal shadow mask according to an embodiment of the present invention for solving the above problems, (a) preparing a thin metal plate; (b) attaching a dummy sheet to at least one surface of both sides of the thin metal plate; (c) cutting the metal thin plate and the discarded thin plate with a laser according to a preset standard; and (d) separating the discarded thin plate.

이 경우, 상기 (b) 단계에서, 상기 메탈 박판의 양 면 중, 표시 장치와 척킹에 의해 면 접촉이 이루어지는 일 면에만 버림 버림 박판을 부착시킬 수 있다.In this case, in the step (b), among both surfaces of the thin metal plate, the discarded thin plate may be attached to only one surface that is in surface contact with the display device by chucking.

또한, 본 발명의 실시 예에 따른 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법은, (a) 메탈 박판을 준비하는 단계; (b) 상기 메탈 박판 표면에 식각액으로부터 메탈 박막을 보호할 수 있는 약액을 도포하는 단계: (C)상기 메탈 박판이 담길 수 있도록 일정 높이의 식각액이 담긴 용기를 구비하는 단계; (d) 상기 용기에 상기 메탈 박판을 담근 상태에서, 레이저에 의해 미리 설정된 규격에 맞게 커팅하는 단계; 및 (e) 동시에 상기 식각액에 의해 식각을 실시하는 단계를 포함할 수도 있다.In addition, the method of manufacturing a metal shadow mask according to an embodiment of the present invention, (a) preparing a thin metal plate; (b) applying a chemical solution capable of protecting the metal thin film from the etchant on the surface of the thin metal plate: (C) providing a container containing the etchant of a certain height so that the thin metal plate can be contained; (d) cutting the metal thin plate in a state immersed in the container according to a preset standard by a laser; and (e) simultaneously performing etching with the etchant.

한편, 상기 과제를 해결하기 위한 본 발명의 실시 예에 따른 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법에 의해 제조된 메탈 쉐도우 마스크는, 상기한 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법에 의해 커팅 공정을 수행하여 제조될 수 있다.Meanwhile, the metal shadow mask manufactured by the method of manufacturing a metal shadow mask according to an embodiment of the present invention for solving the above problems may be manufactured by performing a cutting process according to the manufacturing method of the metal shadow mask.

여기서, 상기 메탈 박판의 절단 면에는 버의 발생 없이 매끈한 면을 이룰 수 있다.Here, the cut surface of the thin metal plate may have a smooth surface without the occurrence of burrs.

본 발명의 기타 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Other specific details of the invention are included in the detailed description and drawings.

본 발명의 실시 예에 따른 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법 및 이 제조방법에 의해 제조된 메탈 쉐도우 마스크에 의하면, 레이저에 의하여 메탈 박판이 커팅되어 정밀한 규격에 맞게 커팅이 이루어지되, 레이저에 의한 커팅 시 발생할 수 있는 버(Burr)의 발생 없이 매끈한 절단 면을 갖는 메탈 쉐도우 마스크가 제조됨에 따라 별도의 연마 공정을 수행하지 않아도 됨으로써, 제조 공정이 단순화되어 제조비용이 절감되고 작업성 및 생산성이 향상되는 효과가 제공될 수 있다.According to the method of manufacturing a metal shadow mask according to an embodiment of the present invention and the metal shadow mask manufactured by the manufacturing method, the thin metal plate is cut by a laser and cut to meet precise specifications, which may occur when cutting by a laser There is no need to perform a separate polishing process as a metal shadow mask with a smooth cut surface is manufactured without the occurrence of burrs, thereby simplifying the manufacturing process, reducing manufacturing costs, and improving workability and productivity. may be provided.

또한, 메탈 박판을 레이저에 의해 정밀한 규격에 맞게 신속히 커팅하는 공정을 수행할 수 있게 됨으로써, 규격의 오차 발생 우려가 불식되어 불량률을 줄일 수 있는 효과도 제공될 수 있다.In addition, since it is possible to perform a process of rapidly cutting the thin metal plate according to a precise specification by means of a laser, the fear of occurrence of an error in the specification is eliminated and an effect of reducing the defect rate can be provided.

본 발명에 따른 효과는 이상에서 예시된 내용에 의해 제한되지 않으며, 더욱 다양한 효과들이 본 명세서 내에 포함되어 있다.The effect according to the present invention is not limited by the contents exemplified above, and more various effects are included in the present specification.

도 1은 종래에 메탈 쉐도우 마스크를 제조하는 공정을 순차적으로 도시한 공정 순서도.
도 2는 종래에 메탈 쉐도우 마스크의 커팅 공정에 의해 형성된 절단 면을 개략적으로 도시한 부분 단면도.
도 3은 종래에 메탈 쉐도우마스크의 다른 커팅 공정에 의해 형성된 절단 면을 개략적으로 도시한 부분 단면도.
도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 커팅 공정의 순서도.
도 5는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 커팅 공정과, 이 커팅 공정에 의해 형성되는 절단 면을 개략적으로 도시한 부분 단면도.
도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 커팅 공정의 순서도.
도 7은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 커팅 공정과, 이 커팅 공정에 의해 형성되는 절단 면을 개략적으로 도시한 부분 단면도.
도 8은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 커팅 공정의 순서도.
도 9는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 커팅 공정과, 이 커팅 공정에 의해 형성되는 절단 면을 개략적으로 도시한 부분 단면도1 is a process flow chart sequentially illustrating a process of manufacturing a conventional metal shadow mask.
2 is a partial cross-sectional view schematically showing a cut surface formed by a conventional cutting process of a metal shadow mask.
3 is a partial cross-sectional view schematically showing a cut surface formed by another cutting process of a conventional metal shadow mask.
4 is a flowchart of a cutting process according to a first embodiment of the present invention.
5 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a cutting process according to the first embodiment of the present invention and a cut surface formed by the cutting process;
6 is a flowchart of a cutting process according to a second embodiment of the present invention.
7 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a cutting process according to a second embodiment of the present invention and a cut surface formed by the cutting process;
8 is a flowchart of a cutting process according to a third embodiment of the present invention.
9 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a cutting process according to a third embodiment of the present invention and a cut surface formed by the cutting process;

본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 명세서 전체에 걸쳐 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭한다.Advantages and features of the present invention, and a method for achieving them will become apparent with reference to the embodiments described below in detail in conjunction with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, and only these embodiments allow the disclosure of the present invention to be complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the possessor of the scope of the invention, and the present invention is only defined by the scope of the claims. Like reference numerals refer to like elements throughout.

따라서, 몇몇 실시 예에서, 잘 알려진 공정 단계들, 잘 알려진 구조 및 잘 알려진 기술들은 본 발명이 모호하게 해석되는 것을 피하기 위하여 구체적으로 설명되지 않는다.Accordingly, in some embodiments, well-known process steps, well-known structures, and well-known techniques have not been specifically described in order to avoid obscuring the present invention.

본 명세서에서 사용된 용어는 실시 예들을 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 복수형도 포함한다. 명세서에서 사용되는 포함한다(comprises) 및/또는 포함하는(comprising)은 언급된 구성요소, 단계 및/또는 동작 이외의 하나 이상의 다른 구성요소, 단계 및/또는 동작의 존재 또는 추가를 배제하지 않는 의미로 사용한다. 그리고, "및/또는"은 언급된 아이템들의 각각 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다.The terminology used herein is for the purpose of describing the embodiments and is not intended to limit the present invention. As used herein, the singular also includes the plural unless specifically stated otherwise in the phrase. As used herein, includes and/or comprising means not excluding the presence or addition of one or more other components, steps and/or actions other than the stated components, steps and/or actions. use it as And, “and/or” includes each and every combination of one or more of the recited items.

또한, 본 명세서에서 기술하는 실시 예들은 본 발명의 이상적인 예시도인 사시도, 단면도, 측면도 및/또는 개략도들을 참고하여 설명될 것이다. 따라서, 제조 기술 및/또는 허용 오차 등에 의해 예시도의 형태가 변형될 수 있다. 따라서, 본 발명의 실시 예들은 도시된 특정 형태로 제한되는 것이 아니라 제조 공정에 따라 생성되는 형태의 변화도 포함되는 것이다. 또한, 본 발명의 실시 예에 도시된 각 도면에 있어서 각 구성 요소들은 설명의 편의를 고려하여 다소 확대 또는 축소되어 도시된 것일 수 있다.Further, the embodiments described herein will be described with reference to perspective, cross-sectional, side view and/or schematic views that are ideal illustrative views of the present invention. Accordingly, the form of the illustrative drawing may be modified due to manufacturing technology and/or tolerance. Accordingly, embodiments of the present invention are not limited to the specific form shown, but also include changes in the form generated according to the manufacturing process. In addition, in each drawing shown in the embodiment of the present invention, each component may be illustrated in a somewhat enlarged or reduced manner in consideration of convenience of description.

이하, 본 발명의 실시 예들에 따른 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법 및 이 제조방법에 의해 제조된 메탈 쉐도우 마스크를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a metal shadow mask according to embodiments of the present invention and a metal shadow mask manufactured by the manufacturing method will be described in detail based on the accompanying exemplary drawings.

<제1 실시 예><First embodiment>

도 4는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 커팅 공정의 순서도이고, 도 5는 본 발명의 제1 실시 예에 따른 커팅 공정과, 이 커팅 공정에 의해 형성되는 절단 면을 개략적으로 도시한 부분 단면도이다.4 is a flowchart of a cutting process according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 5 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a cutting process according to the first embodiment of the present invention and a cut surface formed by the cutting process am.

도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1 실시 예에 따른 커팅 공정은, 커팅 공정을 수행하고자 하는 메탈 박판을 준비(S100)하고, 이 메탈 박판의 일 면에 버림 박판을 부착(S110)시킨 후, 레이저를 이용하여 규격에 맞는 치수로 커팅 공정(S120~S130)을 수행한 후 버림 박판을 제거함으로써, 일 측면에 절단 면을 형성할 수 있다.4 and 5, the cutting process according to the first embodiment of the present invention prepares a thin metal plate to be subjected to the cutting process (S100), and attaches a discarded thin plate to one surface of the thin metal plate After (S110), the cutting process (S120 to S130) is performed using a laser to a size conforming to the standard, and then the discarded thin plate is removed, thereby forming a cut surface on one side.

이 때, 레이저에 의한 커팅 공정에 의해 메탈 박판(100)과 부착된 버림 박판(110)의 절단 면(102,112) 단부에는 버(Burr)(104.114)가 발생되는바, 메탈 박판(100)으로부터 버(114)가 발생된 버림 박판(110)을 분리시키게 되면, 메탈 박판(100)의 절단 면(102)은 버의 발생 없이 매끈한 상태의 절단 면을 형성하게 된다.At this time, a burr (Burr) (104.114) is generated at the end of the cut surface 102, 112 of the thin metal plate 100 and the attached thin plate 110 by the cutting process by the laser, the burr from the thin metal plate 100 When the (114) is generated to separate the discarded thin plate 110, the cut surface 102 of the metal thin plate 100 is to form a cut surface in a smooth state without the occurrence of burrs.

이 때, 메탈 박판(100)의 절단 면(102) 중, 버림 박판(110)이 부착되었던 일 면에는 버가 발생되지 않지만, 별도로 버림 박판이 부착되지 않았던 타 면에는 버(104)가 발생될 수 있다.At this time, among the cut surfaces 102 of the thin metal plate 100, burrs are not generated on one surface to which the thin discarded plate 110 is attached, but burrs 104 are generated on the other surface to which the thin discarded plate is not attached. can

여기서, 버림 박판(110)이 부착되었던 일 면은 LCD 등의 표시 장치와 척킹에 의해 밀착되어 면 접촉이 이루어지는 면이고, 버림 박판(110)이 부착되지 않았던 타 면은 LCD 등의 표시 장치와 척킹에 의해 밀착되지 않는 면이므로, LCD 등의 표시 장치와 척킹에 의해 밀착되어 면 접촉이 이루어지는 일 면에만 버가 발생되지 않도록 버림 박판(110)을 부착시킨 후 레이저에 의해 커팅 공정을 수행할 수 있다.Here, the one side to which the thin discarded plate 110 was attached is a surface that is in close contact with a display device such as an LCD by chucking, and the other surface to which the discarded thin plate 110 is not attached is a display device such as an LCD and chucking. Since it is a surface that is not in close contact with a display device such as an LCD, a cutting process can be performed by a laser after attaching the discarding thin plate 110 so that burrs are not generated only on one surface that is in close contact with a display device such as an LCD by chucking. .

이와 같이, 메탈 박판(100)의 일 면 즉, LCD 등의 표시 장치와 척킹에 의해 면 접촉을 이루게 되는 일 면에 버림 박판(110)을 부착시킨 후, 레이저에 의해 커팅 공정을 수행하게 되면, 버림 박판(110)의 절단 면에 버(114)가 발생될 뿐, 메탈 박판(100)에서 LCD 등의 표시 장치와 면 접촉을 이루게 되는 일 면에는 버가 발생되지 않음으로써, 표시 장치 등에 스크래치 등을 발생시킬 우려가 불식될 수 있다.In this way, after attaching the discarded thin plate 110 to one surface of the thin metal plate 100, that is, one surface that is in surface contact with a display device such as an LCD by chucking, performing a cutting process by a laser, Only burrs 114 are generated on the cut surface of the discarded thin plate 110, and burrs are not generated on one surface that is in surface contact with a display device such as an LCD in the thin metal plate 100, so that scratches on the display device, etc. can be dispelled.

따라서, 본 발명의 제1 실시 예에 따르면 종래에서와 같이 식각에 의해 메탈 박판을 커팅시키지 않고 레이저에 의해 버의 발생 없이 신속하면서도 정밀한 치수에 맞는 규격으로 커팅시킬 수 있게 됨으로써, 그 커팅 공정이 간소화되어 전체적인 메탈 쉐도우 마스크의 제조 공정이 줄어들게 됨은 물론 정밀도 또한 크게 향상될 수 있다.Therefore, according to the first embodiment of the present invention, the thin metal plate is not cut by etching as in the prior art, and it is possible to quickly and precisely cut the metal plate to a standard suitable for the size without generating burrs by the laser, thereby simplifying the cutting process. As a result, the overall metal shadow mask manufacturing process can be reduced, and precision can also be greatly improved.

<제2 실시 예><Second embodiment>

도 6은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 커팅 공정의 순서도이고, 도 7은 본 발명의 제2 실시 예에 따른 커팅 공정과, 이 커팅 공정에 의해 형성되는 절단 면을 개략적으로 도시한 부분 단면도이다.6 is a flowchart of a cutting process according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a cutting process according to a second embodiment of the present invention and a cut surface formed by the cutting process. am.

도 6 및 도 7에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시 예에 따른 커팅 공정은, 커팅 공정을 수행하고자 하는 메탈 박판을 준비(S200)하고, 이 메탈 박판(200)의 양 면에 각각 제1 버림 박판(210) 및 제2 버림 박판(220)을 부착시킨 후, 레이저를 이용하여 규격에 맞는 치수로 커팅(S220~S230) 공정을 수행한 후 제1 버림 박판 및 제2 버림 박판을 제거함으로써, 일 측면에 절단 면을 형성할 수 있다.6 and 7, the cutting process according to the second embodiment of the present invention prepares a thin metal plate to be subjected to a cutting process (S200), and on both sides of the thin metal plate 200, respectively After attaching the first thin discarding plate 210 and the second discarding thin plate 220, the cutting (S220 to S230) process to the size that meets the standard using a laser is performed, and then the first discarding thin plate and the second discarding thin plate By removing it, it is possible to form a cut surface on one side.

이 때, 레이저에 의한 커팅 공정에 의해 메탈 박판(200)의 양 면에 각각 부착된 제1 버림 박판(210) 및 제2 버림 박판(220)의 절단 면(212,222) 단부에는 버(Burr)(214,2224)들이 발생되는바, 메탈 박판(200)으로부터 각각 버(214,224)들이 발생된 제1 버림 박판(210) 및 제2 버림 박판(220)을 분리(S230)시키게 되면, 메탈 박판(200)의 절단 면(202)은 매끈한 상태가 되고, 레이저가 조사되는 반대면에는 미세한 버(204)가 발생될 수 있다.At this time, the cut surfaces 212 and 222 of the first thin plate 210 and the second thin plate 220 respectively attached to both sides of the thin metal plate 200 by the laser cutting process have a burr (Burr) ( 214 and 2224 are generated, when the thin metal plate 200 separates the first thin plate 210 and the second thin plate 220 from which burrs 214 and 224 are generated from the thin metal plate 200 (S230), respectively, the thin metal plate 200 ) of the cut surface 202 becomes a smooth state, and a fine burr 204 may be generated on the opposite surface to which the laser is irradiated.

여기서, 버림 박판(210)이 부착되었던 일 면은 LCD 등의 표시 장치와 척킹에 의해 밀착되어 면 접촉이 이루어지는 면이고, 버림 박판(220)이 부착되는 면은 LCD 등의 표시 장치와 척킹에 의해 밀착되지 않는 면으로 사용하면 된다. Here, the one side to which the discard thin plate 210 was attached is a surface that is in close contact with a display device such as an LCD by chucking, and the surface to which the discard thin plate 220 is attached is by chucking with a display device such as an LCD. It can be used on the non-adhesive side.

이와 같이, 메탈 박판(200)의 양 면 즉, LCD 등의 표시 장치와 척킹에 의해 면 접촉을 이루게 되는 일 면과 이 일 면의 타 면에 각각 제1 버림 박판(210) 및 제2 버림 박판(220)을 부착시킨 후, 레이저에 의해 커팅 공정을 수행하게 되면, 제1 버림 박판(210) 및 제2 버림 박판(220)의 절단 면(212,222)에만 버(214,224)가 발생될 뿐, 메탈 박판(200)의 절단 면(202)에는 버가 발생되지 않음으로써, 표시 장치 등에 스크래치 등을 발생시킬 우려가 불식될 수 있다.In this way, the first thin plate 210 and the second thin plate discarded on both sides of the metal thin plate 200, that is, one side that is in surface contact with a display device such as an LCD by chucking and the other side of the one side, respectively. After attaching the 220, when the cutting process is performed by a laser, only the burrs 214 and 224 are generated only on the cut surfaces 212 and 222 of the first thin plate 210 and the second thin plate 220 to discard, metal Since no burrs are generated on the cut surface 202 of the thin plate 200 , the risk of scratching the display device or the like can be eliminated.

따라서, 본 발명의 제2 실시 예에 따르면 종래에서와 같이 식각에 의해 메탈 박판을 커팅시키지 않고 레이저에 의해 버의 발생 없이 신속하면서도 정밀한 치수에 맞는 규격으로 커팅시킬 수 있게 됨으로써, 그 커팅 공정이 간소화되어 전체적인 메탈 쉐도우 마스크의 제조 공정이 줄어들게 됨은 물론 정밀도 또한 크게 향상될 수 있다.Therefore, according to the second embodiment of the present invention, it is possible to cut the metal thin plate quickly and accurately without burr generation by the laser without cutting the metal thin plate by etching as in the prior art, thereby simplifying the cutting process. As a result, the overall metal shadow mask manufacturing process can be reduced, and precision can also be greatly improved.

<제3 실시 예><Third embodiment>

도 8은 본 발명의 제3 실시 예에 따른 커팅 공정의 순서도이고, 도 9는 본 발명의 제3 실시 예에 따른 커팅 공정과, 이 커팅 공정에 의해 형성되는 절단 면을 개략적으로 도시한 부분 단면도이다.8 is a flowchart of a cutting process according to a third embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a partial cross-sectional view schematically illustrating a cutting process according to a third embodiment of the present invention and a cut surface formed by the cutting process am.

도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제3 실시 예에 따른 커팅 공정은, 커팅 공정을 수행하고자 하는 메탈 박판을 준비(S300)하고, 식각액으로부터 메탈 박막을 보호하는 박막을 코팅하여 준비한다. 일정 높이의 식각액이 담긴 용기를 구비한 후(S310), 이 용기에 메탈 박판을 투입(S320)한 다음, 레이저를 이용하여 규격에 맞는 치수로 커팅 공정을 수행함과 아울러 동시에 식각(S330)이 이루어지도록 함으로써, 일 측면에 절단 면을 형성할 수 있다.8 and 9, the cutting process according to the third embodiment of the present invention prepares a metal thin plate to be cut (S300), and coats a thin film protecting the metal thin film from an etchant. Prepare. After a container containing an etching solution of a certain height is provided (S310), a thin metal plate is put into the container (S320), and then, using a laser, a cutting process is performed to a size that meets the standard, and at the same time, an etching (S330) is performed. By doing so, it is possible to form a cut surface on one side.

따라서, 레이저에 의한 커팅 공정에 의해 메탈 박판(300)의 절단 면(302)이 형성될 때, 식각 공정이 동시에 이루어지게 됨에 따라 절단 면(302)의 양 측에는 버가 발생되지 않고 식각에 의해 절단 면의 모서리 부위는 절단 면 방향으로 경사지도록 식각 면(304)이 형성되는바, 메탈 박판(300)의 절단 면(302)에는 버가 발생되지 않음으로써, 표시 장치 등에 스크래치 등을 발생시킬 우려가 불식될 수 있다.Therefore, when the cut surface 302 of the thin metal plate 300 is formed by the cutting process by the laser, as the etching process is performed at the same time, burrs are not generated on both sides of the cut surface 302 and cut by etching The etched surface 304 is formed so that the edge portion of the surface is inclined in the direction of the cut surface, and burrs do not occur on the cut surface 302 of the thin metal plate 300, so there is a risk of scratching the display device, etc. can be extinguished

따라서, 본 발명의 제3 실시 예에 따르면 레이저에 의해 커팅 공정을 수행할 때, 동시에 식각액으로 식각시키게 됨으로써, 낮은 열 에너지를 이용한 Laser를 사용할 수 있으므로 버 발생을 없앨 수 있어서 신속하면서도 정밀한 치수에 맞는 규격으로 커팅시킬 수 있게 되는바, 그 커팅 공정이 간소화되어 전체적인 메탈 쉐도우 마스크의 제조 공정이 줄어들게 됨은 물론 정밀도 또한 크게 향상될 수 있다.Therefore, according to the third embodiment of the present invention, when the cutting process is performed by the laser, the etching is simultaneously performed with the etchant, so that the laser using low thermal energy can be used, thereby eliminating burr generation, so that it is possible to quickly and precisely fit the dimensions Since it can be cut to a standard, the cutting process is simplified so that the overall metal shadow mask manufacturing process is reduced, and precision can also be greatly improved.

본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains will understand that the present invention may be embodied in other specific forms without changing the technical spirit or essential features thereof. Therefore, it should be understood that the embodiments described above are illustrative in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is indicated by the following claims rather than the above detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be interpreted as being included in the scope of the present invention. do.

<제1 실시 예>
100 : 메탈 박판 102 : 절단 면
104 : 버 110 : 버림 박판
112 : 절단 면 114 : 버
<제2 실시 예>
200 : 메탈 박판 202 : 절단 면
204 : 버 210 : 제1 버림 박판
212 : 절단 면 214 : 버
220 : 제2 버림 박판 222 : 절단 면
224 : 버
<제3 실시 예>
300 : 메탈 박판 302 : 절단 면
304 : 식각 면 310 : 용기
320 : 식각액<First embodiment>
100: thin metal plate 102: cut surface
104: burr 110: discarded thin plate
112: cut surface 114: burr
<Second embodiment>
200: thin metal plate 202: cut surface
204: burr 210: first discarded thin plate
212: cut surface 214: burr
220: second discarded thin plate 222: cut surface
224 : Burr
<Third embodiment>
300: thin metal plate 302: cut surface
304: etching surface 310: vessel
320: etchant

Claims (5)

삭제delete 삭제delete (a) 메탈 박판을 준비하는 단계;
(b) 절단면에 버가 발생하지 않도록 하기 위하여 상기 메탈 박판의 양 면 중, 적어도 어느 한쪽의 일 면에 버림 박판을 부착시키는 단계;
(c) 상기 메탈 박판과 상기 버림 박판이 함께 담길 수 있도록 일정 높이의 식각액이 담긴 용기를 구비하는 단계; 및
(d) 상기 용기에 상기 메탈 박판을 담근 상태에서, 레이저에 의해 미리 설정된 규격에 맞게 상기 메탈 박판과 상기 버림 박판을 함께 커팅함과 동시에 상기 식각액에 의해 절단면에 식각이 이루어지도록 하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법.
(a) preparing a thin metal plate;
(b) attaching a discarded thin plate to at least one of both sides of the thin metal plate to prevent burrs from occurring on the cut surface;
(c) providing a container containing an etchant of a certain height so that the thin metal plate and the thin discarded plate can be contained together; and
(d) in a state in which the thin metal plate is immersed in the container, cutting the thin metal plate and the discarded thin plate together according to a preset standard by a laser and simultaneously performing etching on the cut surface by the etchant; including; Method of manufacturing a metal shadow mask, characterized in that.
 청구항 3에 기재된 메탈 쉐도우 마스크의 제조방법에 의해 커팅 공정을 수행하여 제조된 것을 특징으로 하는 메탈 쉐도우 마스크.
A metal shadow mask, characterized in that it is manufactured by performing a cutting process by the method of manufacturing the metal shadow mask according to claim 3.
 제 4항에 있어서,
상기 메탈 박판의 절단 면에는 버의 발생 없이 매끈한 면을 이루는 것을 특징으로 하는 메탈 쉐도우 마스크.5. The method of claim 4,
Metal shadow mask, characterized in that the cut surface of the thin metal plate forms a smooth surface without the occurrence of burrs.
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