KR102283382B1 - Vehicle maintenance lift - Google Patents

Vehicle maintenance lift Download PDF

Info

Publication number
KR102283382B1
KR102283382B1 KR1020170080556A KR20170080556A KR102283382B1 KR 102283382 B1 KR102283382 B1 KR 102283382B1 KR 1020170080556 A KR1020170080556 A KR 1020170080556A KR 20170080556 A KR20170080556 A KR 20170080556A KR 102283382 B1 KR102283382 B1 KR 102283382B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
vehicle
working chamber
maintenance
rail
traveling rail
Prior art date
Application number
KR1020170080556A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20190001107A (en
Inventor
임혁순
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020170080556A priority Critical patent/KR102283382B1/en
Publication of KR20190001107A publication Critical patent/KR20190001107A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR102283382B1 publication Critical patent/KR102283382B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67733—Overhead conveying
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061—Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/67706—Mechanical details, e.g. roller, belt
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02—Articles
    • B65G2201/0297—Wafer cassette

Abstract

주행 레일을 따라 이동하는 천장 주행 이송 장치의 비히클 유지 보수를 위한 비히클 유지 보수용 승강 장치가 개시된다. 상기 장치는, 상기 주행 레일과 연결되며 상기 비히클의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버와, 상기 주행 레일과 연결되는 상부 위치와 상기 비히클의 유지 보수가 수행되는 하부 위치 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버 내에 배치되며 상기 작업 챔버 내에서 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일과, 상기 서포트 레일을 승강시키기 위한 승강 기구와, 상기 작업 챔버 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 챔버 내부의 오염 물질을 제거하기 위한 팬 필터 유닛을 포함한다.Disclosed is a hoisting device for vehicle maintenance for vehicle maintenance of an overhead traveling transport device moving along a traveling rail. The apparatus includes a working chamber connected to the traveling rail and providing a space for maintenance of the vehicle, and being able to move up and down between an upper position connected to the traveling rail and a lower position where maintenance of the vehicle is performed. A support rail disposed in the working chamber and supporting the vehicle in the working chamber, a lifting mechanism for raising and lowering the support rail; It includes a fan filter unit for

Description

비히클 유지 보수용 승강 장치{Vehicle maintenance lift}Vehicle maintenance lift

본 발명의 실시예들은 비히클 유지 보수용 승강 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, OHT(Overhead Hoist Transport) 장치와 같은 천장 주행 이송 장치의 비히클(vehicle) 유지 보수를 위한 승강 장치에 관한 것이다.Embodiments of the present invention relate to a lifting device for vehicle maintenance. More particularly, it relates to a hoisting device for vehicle maintenance of an overhead hoist transport device such as an overhead hoist transport (OHT) device.

일반적으로, 반도체 또는 디스플레이 장치는 실리콘 웨이퍼 또는 유리 기판과 같은 기판에 대하여 일련의 제조 공정들을 반복적으로 수행함으로써 제조될 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 상에 회로 패턴들을 형성하기 위하여 증착, 사진 식각, 산화, 이온 주입, 세정 등의 제조 공정들이 선택적 및/또는 반복적으로 수행될 수 있다.In general, a semiconductor or display device can be manufactured by repeatedly performing a series of manufacturing processes on a substrate such as a silicon wafer or a glass substrate. For example, manufacturing processes such as deposition, photolithography, oxidation, ion implantation, and cleaning may be selectively and/or repeatedly performed to form circuit patterns on the substrate.

상기와 같은 제조 공정들은 오염 방지를 위하여 청정도 관리가 이루어지는 클린룸 내에서 수행되며, 상기 제조 공정들 사이에서의 기판 이송은 카세트, 풉(FOUP) 등과 같은 기판 수납 용기를 이용하여 이루어질 수 있다. 예를 들면, 상기 기판 수납 용기는 RGV(Rail Guided Vehicle), OHT(Overhead Hoist Transport) 등과 같은 무인 반송 장치에 의해 상기 제조 공정들 사이에서 이송될 수 있다.The manufacturing processes as described above are performed in a clean room in which cleanliness is managed to prevent contamination, and substrate transfer between the manufacturing processes may be performed using a substrate storage container such as a cassette or FOUP. For example, the substrate storage container may be transported between the manufacturing processes by an unmanned transport device such as a Rail Guided Vehicle (RGV), an Overhead Hoist Transport (OHT), or the like.

상기 OHT 장치와 같은 천장 주행 이송 장치는, 클린룸의 천장에 설치된 주행 레일과, 상기 주행 레일 상에서 이동 가능하도록 구성된 비히클을 포함할 수 있다. 상기 비히클의 하부에는 이송 대상물의 운반을 위한 호이스트 모듈이 장착될 수 있으며, 상기 호이스트 모듈은 상기 이송 대상물의 파지를 위한 그리퍼 유닛과, 상기 그리퍼 유닛의 수직 이동을 위한 호이스트 유닛과, 상기 그리퍼 유닛과 호이스트 유닛의 수평 이동 및 회전을 위한 로봇을 포함할 수 있다.The overhead traveling transport device such as the OHT device may include a traveling rail installed on the ceiling of a clean room, and a vehicle configured to be movable on the traveling rail. A hoist module for transporting an object to be transferred may be mounted on a lower portion of the vehicle, and the hoist module includes a gripper unit for gripping the transfer object, a hoist unit for vertical movement of the gripper unit, the gripper unit and It may include a robot for horizontal movement and rotation of the hoist unit.

대한민국 공개특허공보 제10-2013-0057955호 (공개일자: 2013년 06월 03일)Republic of Korea Patent Publication No. 10-2013-0057955 (published date: June 03, 2013)

본 발명의 실시예들은 상기 천장 주행 이송 장치의 비히클에 대한 유지 보수를 위해 상기 비히클을 수직 방향으로 승강시키며 아울러 유지 보수 과정에서 발생되는 오염 물질의 제거가 가능한 비히클 유지 보수용 승강 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.Embodiments of the present invention provide an elevating device for vehicle maintenance capable of vertically elevating the vehicle for maintenance of the vehicle of the overhead traveling transport device and also removing contaminants generated during the maintenance process. There is a purpose.

본 발명의 실시예들에 따르면, 주행 레일을 따라 이동하는 천장 주행 이송 장치의 비히클 유지 보수를 위한 비히클 유지 보수용 승강 장치에 있어서, 상기 장치는, 상기 주행 레일과 연결되며 상기 비히클의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버와, 상기 주행 레일과 연결되는 상부 위치와 상기 비히클의 유지 보수가 수행되는 하부 위치 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버 내에 배치되며 상기 작업 챔버 내에서 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일과, 상기 서포트 레일을 승강시키기 위한 승강 기구와, 상기 작업 챔버 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 챔버 내부의 오염 물질을 제거하기 위한 팬 필터 유닛을 포함할 수 있다.According to embodiments of the present invention, in the vehicle maintenance elevating device for vehicle maintenance of the overhead traveling transport device moving along the traveling rail, the device is connected to the traveling rail and performs maintenance of the vehicle a support for supporting the vehicle in the working chamber, the working chamber providing space for It may include a rail, an elevating mechanism for elevating the support rail, and a fan filter unit for discharging air inside the work chamber to the outside and removing contaminants from the work chamber.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 작업 챔버의 측면에는 상기 비히클의 동작 상태를 점검하기 위한 제1 도어가 구비될 수 있다.According to embodiments of the present invention, a first door for checking the operating state of the vehicle may be provided on a side surface of the working chamber.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 작업 챔버의 전면 상부에는 상기 비히클의 출입을 위한 개구가 구비될 수 있다.According to embodiments of the present invention, an opening for entering and exiting the vehicle may be provided at an upper front surface of the working chamber.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 작업 챔버의 전면 하부에는 상기 비히클의 동작 테스트를 위한 테스트용 로드 포트가 배치될 수 있다.According to embodiments of the present invention, a test load port for testing the operation of the vehicle may be disposed on a lower front surface of the working chamber.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 개구와 상기 테스트용 로드 포트 사이에는 상기 비히클의 반입 및 반출을 위한 제2 도어가 구비될 수 있다.According to embodiments of the present invention, a second door for loading and unloading the vehicle may be provided between the opening and the test load port.

본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 작업 챔버의 하부에는 상기 공간을 한정하는 배플 플레이트가 배치될 수 있으며 상기 팬 필터 유닛은 상기 배플 플레이트 아래에 배치될 수 있다.According to embodiments of the present invention, a baffle plate defining the space may be disposed under the working chamber, and the fan filter unit may be disposed under the baffle plate.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치는, 상기 주행 레일과 연결되며 상기 비히클의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버와, 상기 주행 레일과 연결되는 상부 위치와 상기 비히클의 유지 보수가 수행되는 하부 위치 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버 내에 배치되며 상기 작업 챔버 내에서 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일과, 상기 서포트 레일을 승강시키기 위한 승강 기구와, 상기 작업 챔버 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 챔버 내부의 오염 물질을 제거하기 위한 팬 필터 유닛을 포함할 수 있다. 따라서, 상기 비히클의 유지 보수를 위한 상기 비히클의 승강이 용이하게 이루어질 수 있으며, 또한 상기 비히클의 유지 보수 작업이 상기 작업 챔버 내에서 수행되고 상기 작업 챔버 내부의 오염 물질이 상기 팬 필터 유닛에 의해 제거될 수 있으므로, 상기 비히클의 유지 보수 작업에 의해 클린룸의 내부가 오염되는 것이 충분히 방지될 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the lifting device for vehicle maintenance includes a working chamber connected to the traveling rail and providing a space for maintenance of the vehicle, and an upper portion connected to the traveling rail. a support rail disposed in the working chamber to be able to be lifted between a position and a lower position in which maintenance of the vehicle is performed and supporting the vehicle in the working chamber; and an elevating mechanism for raising and lowering the support rail; A fan filter unit for discharging air inside the chamber to the outside and removing contaminants from the inside of the working chamber may be included. Accordingly, lifting and lowering of the vehicle for maintenance of the vehicle can be easily performed, and the maintenance work of the vehicle is performed in the working chamber and contaminants inside the working chamber are removed by the fan filter unit. Therefore, it is possible to sufficiently prevent the interior of the clean room from being contaminated by the maintenance work of the vehicle.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 유지 보수용 승강 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 비히클 유지 보수용 승강 장치의 외관을 설명하기 위한 사시도이다.
도 3은 도 1에 도시된 유지 보수 작업이 수행된 후 비히클의 동작 테스트 단계를 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining a lifting device for vehicle maintenance according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a perspective view illustrating an external appearance of the lifting device for vehicle maintenance shown in FIG. 1 .
3 is a schematic diagram for explaining the operation test step of the vehicle after the maintenance work shown in FIG. 1 is performed.

이하, 본 발명의 실시예들은 첨부 도면들을 참조하여 상세하게 설명된다. 그러나, 본 발명은 하기에서 설명되는 실시예들에 한정된 바와 같이 구성되어야만 하는 것은 아니며 이와 다른 여러 가지 형태로 구체화될 수 있을 것이다. 하기의 실시예들은 본 발명이 온전히 완성될 수 있도록 하기 위하여 제공된다기보다는 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에게 본 발명의 범위를 충분히 전달하기 위하여 제공된다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the present invention should not be construed as being limited to the embodiments described below and may be embodied in various other forms. The following examples are provided to fully convey the scope of the present invention to those skilled in the art, rather than to enable the present invention to be fully completed.

본 발명의 실시예들에서 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 배치되는 또는 연결되는 것으로 설명되는 경우 상기 요소는 상기 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결될 수도 있으며, 다른 요소들이 이들 사이에 개재될 수도 있다. 이와 다르게, 하나의 요소가 다른 하나의 요소 상에 직접 배치되거나 연결되는 것으로 설명되는 경우 그들 사이에는 또 다른 요소가 있을 수 없다. 다양한 요소들, 조성들, 영역들, 층들 및/또는 부분들과 같은 다양한 항목들을 설명하기 위하여 제1, 제2, 제3 등의 용어들이 사용될 수 있으나, 상기 항목들은 이들 용어들에 의하여 한정되지는 않을 것이다.In embodiments of the present invention, when an element is described as being disposed or connected to another element, the element may be directly disposed or connected to the other element, and other elements may be interposed therebetween. could be Alternatively, where one element is described as being directly disposed on or connected to another element, there cannot be another element between them. Although the terms first, second, third, etc. may be used to describe various items such as various elements, compositions, regions, layers and/or portions, the items are not limited by these terms. will not

본 발명의 실시예들에서 사용된 전문 용어는 단지 특정 실시예들을 설명하기 위한 목적으로 사용되는 것이며, 본 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 또한, 달리 한정되지 않는 이상, 기술 및 과학 용어들을 포함하는 모든 용어들은 본 발명의 기술 분야에서 통상적인 지식을 갖는 당업자에게 이해될 수 있는 동일한 의미를 갖는다. 통상적인 사전들에서 한정되는 것들과 같은 상기 용어들은 관련 기술과 본 발명의 설명의 문맥에서 그들의 의미와 일치하는 의미를 갖는 것으로 해석될 것이며, 명확히 한정되지 않는 한 이상적으로 또는 과도하게 외형적인 직감으로 해석되지는 않을 것이다.The terminology used in the embodiments of the present invention is only used for the purpose of describing specific embodiments, and is not intended to limit the present invention. In addition, unless otherwise limited, all terms including technical and scientific terms have the same meaning as understood by one of ordinary skill in the art of the present invention. The above terms, such as those defined in conventional dictionaries, shall be interpreted as having meanings consistent with their meanings in the context of the relevant art and description of the present invention, ideally or excessively outwardly intuitive, unless clearly defined. will not be interpreted.

본 발명의 실시예들은 본 발명의 이상적인 실시예들의 개략적인 도해들을 참조하여 설명된다. 이에 따라, 상기 도해들의 형상들로부터의 변화들, 예를 들면, 제조 방법들 및/또는 허용 오차들의 변화는 충분히 예상될 수 있는 것들이다. 따라서, 본 발명의 실시예들은 도해로서 설명된 영역들의 특정 형상들에 한정된 바대로 설명되어지는 것은 아니라 형상들에서의 편차를 포함하는 것이며, 도면들에 설명된 요소들은 전적으로 개략적인 것이며 이들의 형상은 요소들의 정확한 형상을 설명하기 위한 것이 아니며 또한 본 발명의 범위를 한정하고자 하는 것도 아니다.Embodiments of the present invention are described with reference to schematic diagrams of ideal embodiments of the present invention. Accordingly, changes from the shapes of the diagrams, eg, changes in manufacturing methods and/or tolerances, are those that can be fully expected. Accordingly, embodiments of the present invention are not to be described as being limited to the specific shapes of the areas described as diagrams, but rather to include deviations in the shapes, and the elements described in the drawings are entirely schematic and their shapes It is not intended to describe the precise shape of the elements, nor is it intended to limit the scope of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 유지 보수용 승강 장치를 설명하기 위한 개략적인 구성도이고, 도 2는 도 1에 도시된 비히클 유지 보수용 승강 장치의 외관을 설명하기 위한 사시도이며, 도 3은 도 1에 도시된 유지 보수 작업이 수행된 후 비히클의 동작 테스트 단계를 설명하기 위한 개략도이다.1 is a schematic configuration diagram for explaining an elevating device for vehicle maintenance according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a perspective view for explaining the appearance of the elevating device for vehicle maintenance shown in FIG. 1; 3 is a schematic diagram for explaining the operation test step of the vehicle after the maintenance work shown in FIG. 1 is performed.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)는 물건 이송을 위한 비히클(30)의 유지 보수를 위해 상기 비히클(30)의 승강을 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, OHT 장치와 같은 천장 주행 이송 장치(10)의 비히클(30)에 대한 유지 보수를 위해 사용될 수 있다.1 to 3 , the lifting device 100 for vehicle maintenance according to an embodiment of the present invention is used for lifting and lowering the vehicle 30 for maintenance of the vehicle 30 for transporting goods. can For example, it may be used for maintenance of the vehicle 30 of the overhead traveling transfer device 10 such as an OHT device.

상기 천장 주행 이송 장치(10)는 클린룸의 천장에 설치되는 주행 레일(20)과 상기 주행 레일(20) 상에서 이동 가능하게 구성되는 비히클(30)을 포함할 수 있다. 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 비히클(30)은 상기 주행 레일(20)을 따라 이동하기 위한 추진력을 제공하는 주행 모듈과 상기 주행 모듈의 하부에 장착되며 물건의 이송을 위한 호이스트 모듈을 포함할 수 있다. 상기 호이스트 모듈은 이송 대상물의 픽업을 위한 그리퍼 유닛과, 상기 그리퍼 유닛의 수직 이동을 위한 호이스트 유닛과, 상기 그리퍼 유닛과 호이스트 유닛의 수평 이동 및 회전을 위한 로봇을 포함할 수 있다.The overhead traveling transport device 10 may include a traveling rail 20 installed on the ceiling of a clean room and a vehicle 30 configured to be movable on the traveling rail 20 . Although not shown in detail, the vehicle 30 may include a driving module that provides a driving force for moving along the driving rail 20 and a hoist module that is mounted on the lower portion of the driving module and transports goods. . The hoist module may include a gripper unit for picking up an object to be transported, a hoist unit for vertical movement of the gripper unit, and a robot for horizontal movement and rotation of the gripper unit and the hoist unit.

상기 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)는, 상기 주행 레일(20)과 연결되며 상기 비히클(30)의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버(110)와, 상기 주행 레일(20)과 연결되는 상부 위치와 상기 비히클(30)의 유지 보수가 수행되는 하부 위치 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버(110) 내에 배치되며 상기 작업 챔버(110) 내에서 상기 비히클(30)을 지지하는 서포트 레일(120)과, 상기 서포트 레일(120)을 승강시키기 위한 승강 기구(130)와, 상기 작업 챔버(110) 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 챔버(110) 내부의 오염 물질을 제거하기 위한 팬 필터 유닛(140)을 포함할 수 있다.The vehicle maintenance lifting device 100 includes a working chamber 110 connected to the traveling rail 20 and providing a space for maintenance of the vehicle 30 , and connected to the traveling rail 20 . A support rail ( 120 , an elevating mechanism 130 for elevating the support rail 120 , and a fan for discharging air inside the work chamber 110 to the outside and removing contaminants from the work chamber 110 . A filter unit 140 may be included.

상기 작업 챔버(110)는 대략 직사각 형태를 가질 수 있으며, 상기 작업 챔버(110)의 전면 상부에는 상기 비히클(30)의 출입을 위한 개구(112)가 구비될 수 있다. 즉, 도시된 바와 같이 상기 개구(112)를 통해 상기 주행 레일(20)의 단부가 배치될 수 있으며, 상기 서포트 레일(120)은 상기 주행 레일(20)의 단부에 인접하는 상부 위치와 상기 비히클(30)의 유지 보수를 위한 하부 위치 사이에서 승강될 수 있다.The working chamber 110 may have a substantially rectangular shape, and an opening 112 through which the vehicle 30 may enter and exit may be provided at an upper front surface of the working chamber 110 . That is, as shown, an end of the traveling rail 20 may be disposed through the opening 112 , and the support rail 120 is positioned adjacent to the end of the traveling rail 20 at an upper position adjacent to the end of the traveling rail 20 and the vehicle. It can be lifted between the lower positions for maintenance of (30).

상기 승강 기구(130)는 상기 비히클(30)이 상기 상부 위치에서 상기 서포트 레일(120) 상으로 이동된 후 상기 서포트 레일(120)을 상기 하부 위치로 하강시킬 수 있다. 예를 들면, 상세히 도시되지는 않았으나, 상기 승강 기구(130)는 상기 서포트 레일(120)을 수직 방향으로 안내하기 위한 가이드 레일들과 상기 서포트 레일(120)을 수직 방향으로 승강시키기 위한 구동부를 포함할 수 있다. 일 예로서, 상기 구동부는 모터와 타이밍 벨트 등을 이용하여 구성될 수 있다. 그러나, 상기 구동부의 구성은 다양하게 변경 가능하므로 이에 의해 본 발명의 범위가 제한되지는 않을 것이다.The lifting mechanism 130 may lower the support rail 120 to the lower position after the vehicle 30 is moved onto the support rail 120 from the upper position. For example, although not shown in detail, the elevating mechanism 130 includes guide rails for guiding the support rail 120 in a vertical direction and a driving unit for elevating the support rail 120 in a vertical direction. can do. As an example, the driving unit may be configured using a motor and a timing belt. However, since the configuration of the driving unit can be variously changed, the scope of the present invention will not be limited thereby.

상기 작업 챔버(110)의 측면에는 상기 비히클(30)의 동작 상태를 점검하기 위한 제1 도어(114)가 구비될 수 있다. 상기 비히클(30)이 상기 하부 위치로 하강된 후 작업자는 상기 제1 도어(114)를 개방한 후 상기 비히클(30)의 동작 상태를 점검할 수 있다. 예를 들면, 상기 주행 모듈과 호이스트 모듈의 동작 상태, 각종 센서들의 동작 상태, 상기 주행 모듈의 구동 휠들의 마모 상태 등이 작업자에 의해 점검될 수 있다.A first door 114 for checking the operating state of the vehicle 30 may be provided on a side surface of the working chamber 110 . After the vehicle 30 is lowered to the lower position, the operator may check the operating state of the vehicle 30 after opening the first door 114 . For example, the operating state of the driving module and the hoist module, the operating state of various sensors, the wear state of the driving wheels of the driving module, etc. may be checked by the operator.

한편, 상기 비히클(30)의 동작 상태가 불량하여 고장 수리, 부품 교체 등이 요구되는 경우 상기 비히클(30)은 상기 작업 챔버(110)로부터 반출될 수 있다. 이를 위해 상기 작업 챔버(110)의 전면에는 상기 비히클(30)의 반입 및 반출을 위한 제2 도어(116)가 구비될 수 있다. 상기 제2 도어(116)는 상기 개구(112) 아래에 위치될 수 있으며, 후술될 테스트용 로드 포트(150) 상부에 배치될 수 있다. 즉, 상기 제2 도어(116)는 상기 개구(112)와 상기 테스트용 로드 포트(150) 사이에 위치될 수 있다.On the other hand, when the operating state of the vehicle 30 is poor and repair or replacement of parts is required, the vehicle 30 may be taken out from the working chamber 110 . To this end, a second door 116 for loading and unloading the vehicle 30 may be provided on the front surface of the working chamber 110 . The second door 116 may be located under the opening 112 , and may be disposed above a test load port 150 , which will be described later. That is, the second door 116 may be positioned between the opening 112 and the test load port 150 .

상기 테스트용 로드 포트(150)는 도 3에 도시된 바와 같이 상기 비히클(30)이 상기 작업 챔버(110)로 이동되기 전 또는 상기 비히클(30)의 점검이 완료된 후 상기 주행 레일(20) 상에 위치된 비히클(30)의 동작 상태를 테스트하기 위해 사용될 수 있다. 예를 들면, 상기 테스트용 로드 포트(150)는 공정 설비에 구비되는 로드 포트와 동일하게 구성될 수 있으며, 카세트 또는 FOUP 등과 같은 기판 수납 용기를 지지할 수 있도록 구성될 수 있다. 즉, 상기 테스트용 로드 포트(150)는 상기 기판 수납 용기의 로드/언로드 테스트, 상기 호이스트 모듈의 티칭 상태 등을 테스트하기 위해 사용될 수 있다.As shown in FIG. 3 , the test load port 150 is installed on the traveling rail 20 before the vehicle 30 is moved to the working chamber 110 or after the vehicle 30 is inspected. It can be used to test the operating state of the vehicle 30 located in the . For example, the test load port 150 may be configured the same as a load port provided in a process facility, and may be configured to support a substrate storage container such as a cassette or a FOUP. That is, the test load port 150 may be used to test a load/unload test of the substrate storage container, a teaching state of the hoist module, and the like.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 상기 팬 필터 유닛(140)은 상기 작업 챔버(110)의 하부에 구비될 수 있으며, 상기 작업 챔버(110) 내에서 발생된 파티클과 같은 오염 물질이 상기 작업 챔버(110)의 외부 즉 클린룸으로 확산되는 것을 방지하기 위해 사용될 수 있다. 즉, 상기 팬 필터 유닛(140)은 상기 작업 챔버(110) 내부의 공기를 외부 즉 클린룸으로 배출할 수 있으며, 이때 상기 공기에 포함된 오염 물질을 제거할 수 있다. 특히, 상기 작업 챔버(110) 내부에는 상기 팬 필터 유닛(140)에 의해 하방 기류가 형성될 수 있으며, 이에 따라 상기 개구(112)를 통해 상기 작업 챔버(110) 내부로 유입되거나 상기 작업 챔버(110) 내에서 발생된 오염 물질이 포함된 공기는 상기 팬 필터 유닛(140)에 의해 정화된 후 상기 작업 챔버(110)로부터 배출될 수 있다.According to an embodiment of the present invention, the fan filter unit 140 may be provided under the working chamber 110 , and contaminants such as particles generated in the working chamber 110 may be removed from the working chamber. It can be used to prevent diffusion to the outside of 110, that is, to a clean room. That is, the fan filter unit 140 may discharge the air inside the working chamber 110 to the outside, that is, a clean room, and in this case, contaminants contained in the air may be removed. In particular, a downward airflow may be formed in the working chamber 110 by the fan filter unit 140 , and accordingly, it flows into the working chamber 110 through the opening 112 or flows into the working chamber ( Air containing contaminants generated in 110 ) may be discharged from the working chamber 110 after being purified by the fan filter unit 140 .

예를 들면, 상기 작업 챔버(110)의 하부에는 상기 작업 챔버(110)의 내부 공간을 한정하는 즉 상기 작업 챔버(110)의 바닥을 구성하는 배플 플레이트(118)가 배치될 수 있으며, 상기 팬 필터 유닛(140)은 상기 배플 플레이트(118) 아래에 배치될 수 있다. 상기 팬 필터 유닛(140)의 아래에는 상기 작업 챔버(110)의 하부 패널(119)이 구비될 수 있다. 상기 배플 플레이트(118)는 복수의 관통공들을 구비하거나 그물망 형태로 구성될 수 있으며, 상기 하부 패널(119)에는 상기 공기를 외부로 배출하기 위한 복수의 개구들이 구비될 수 있다.For example, a baffle plate 118 defining an internal space of the working chamber 110 , that is, constituting the bottom of the working chamber 110 may be disposed under the working chamber 110 , and the fan The filter unit 140 may be disposed below the baffle plate 118 . A lower panel 119 of the working chamber 110 may be provided under the fan filter unit 140 . The baffle plate 118 may have a plurality of through holes or may be configured in a mesh shape, and the lower panel 119 may have a plurality of openings for discharging the air to the outside.

특히, 상기 팬 필터 유닛 내부(140)의 필터 오염 정도와 팬의 동작 상태 등을 작업자에게 알려주는 경보 기능이 제공될 수 있으며, 이를 통해 상기 비히클(30)의 유지 보수에 따른 오염이 효과적으로 관리될 수 있다.In particular, an alarm function informing the operator of the filter contamination level inside the fan filter unit 140 and the operating state of the fan may be provided, through which contamination due to maintenance of the vehicle 30 can be effectively managed. can

상술한 바와 같은 본 발명의 실시예들에 따르면, 상기 비히클 유지 보수용 승강 장치(100)는, 상기 주행 레일(20)과 연결되며 상기 비히클(30)의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버(110)와, 상기 주행 레일(20)과 연결되는 상부 위치와 상기 비히클(30)의 유지 보수가 수행되는 하부 위치 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버(110) 내에 배치되며 상기 작업 챔버(110) 내에서 상기 비히클(30)을 지지하는 서포트 레일(120)과, 상기 서포트 레일(120)을 승강시키기 위한 승강 기구(130)와, 상기 작업 챔버(110) 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 챔버(110) 내부의 오염 물질을 제거하기 위한 팬 필터 유닛(140)을 포함할 수 있다.According to the embodiments of the present invention as described above, the vehicle maintenance lifting device 100 is connected to the traveling rail 20 and provides a space for maintenance of the vehicle 30 . It is disposed in the working chamber 110 so as to be able to elevate between a 110 and an upper position connected to the traveling rail 20 and a lower position where maintenance of the vehicle 30 is performed, and the working chamber 110 . A support rail 120 for supporting the vehicle 30 within, a lifting mechanism 130 for elevating the support rail 120, and discharging the air inside the work chamber 110 to the outside A fan filter unit 140 for removing contaminants inside the chamber 110 may be included.

따라서, 상기 비히클(30)의 유지 보수를 위한 상기 비히클(30)의 승강이 용이하게 이루어질 수 있으며, 또한 상기 비히클(30)의 유지 보수 작업이 상기 작업 챔버(110) 내에서 수행되고 상기 작업 챔버(110) 내부의 오염 물질이 상기 팬 필터 유닛(140)에 의해 제거될 수 있으므로, 상기 비히클(30)의 유지 보수 작업에 의해 클린룸의 내부가 오염되는 것이 충분히 방지될 수 있다.Therefore, the lifting and lowering of the vehicle 30 for maintenance of the vehicle 30 can be made easily, and the maintenance work of the vehicle 30 is performed in the working chamber 110 and the working chamber ( 110) Since the inside contaminants can be removed by the fan filter unit 140, it is possible to sufficiently prevent the inside of the clean room from being contaminated by the maintenance work of the vehicle 30.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.Although the above has been described with reference to the preferred embodiment of the present invention, those skilled in the art can variously modify and change the present invention within the scope without departing from the spirit and scope of the present invention as set forth in the following claims. You will understand that there is

10 : 천장 주행 이송 장치 20 : 주행 레일
30 : 비히클 100 : 비히클 유지 보수용 승강 장치
110 : 작업 챔버 112 : 개구
114 : 제1 도어 116 : 제2 도어
118 : 배플 플레이트 119 : 하부 패널
120 : 서포트 레일 130 : 승강 기구
140 : 팬 필터 유닛 150 : 테스트용 로드 포트10: ceiling traveling transport device 20: traveling rail
30: vehicle 100: lifting device for vehicle maintenance
110: working chamber 112: opening
114: first door 116: second door
118: baffle plate 119: lower panel
120: support rail 130: elevating mechanism
140: fan filter unit 150: load port for testing

Claims (6)

주행 레일을 따라 이동하는 천장 주행 이송 장치의 비히클 유지 보수를 위한 비히클 유지 보수용 승강 장치에 있어서,
상기 주행 레일과 연결되며 상기 비히클의 유지 보수를 위한 공간을 제공하는 작업 챔버;
상기 주행 레일과 연결되는 상부 위치와 상기 비히클의 유지 보수가 수행되는 하부 위치 사이에서 승강 가능하도록 상기 작업 챔버 내에 배치되며 상기 작업 챔버 내에서 상기 비히클을 지지하는 서포트 레일;
상기 서포트 레일을 승강시키기 위한 승강 기구; 및
상기 작업 챔버 내부의 공기를 외부로 배출하며 상기 작업 챔버 내부의 오염 물질을 제거하기 위한 팬 필터 유닛을 포함하며,
상기 작업 챔버의 전면 상부에는 상기 비히클의 출입을 위한 개구가 구비되고, 상기 작업 챔버의 전면 하부에는 상기 비히클이 상기 개구에 인접하도록 상기 주행 레일 상에 위치된 상태에서 상기 비히클의 동작 테스트를 수행하기 위한 테스트용 로드 포트가 배치되는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.A lifting device for vehicle maintenance for vehicle maintenance of a ceiling traveling transport device moving along a traveling rail, comprising:
a working chamber connected to the traveling rail and providing a space for maintenance of the vehicle;
a support rail disposed in the working chamber to be able to move up and down between an upper position connected to the traveling rail and a lower position in which maintenance of the vehicle is performed and configured to support the vehicle in the working chamber;
an elevating mechanism for elevating the support rail; and
and a fan filter unit for discharging the air inside the working chamber to the outside and removing contaminants from the inside of the working chamber,
An opening for entry and exit of the vehicle is provided at an upper front surface of the working chamber, and an operation test of the vehicle is performed in a state where the vehicle is positioned on the traveling rail so as to be adjacent to the opening at a lower front side of the working chamber A lifting device for vehicle maintenance, characterized in that a load port for testing is disposed. 제1항에 있어서, 상기 작업 챔버의 측면에는 상기 비히클의 동작 상태를 점검하기 위한 제1 도어가 구비되는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.The lifting device for vehicle maintenance according to claim 1, wherein a first door for checking an operation state of the vehicle is provided on a side surface of the working chamber. 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 개구와 상기 테스트용 로드 포트 사이에는 상기 비히클의 반입 및 반출을 위한 제2 도어가 구비되는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.The lifting device for vehicle maintenance according to claim 1, wherein a second door for loading and unloading the vehicle is provided between the opening and the test load port. 제1항에 있어서, 상기 작업 챔버의 하부에는 상기 공간을 한정하는 배플 플레이트가 배치되며, 상기 팬 필터 유닛은 상기 배플 플레이트 아래에 배치되는 것을 특징으로 하는 비히클 유지 보수용 승강 장치.The apparatus of claim 1, wherein a baffle plate defining the space is disposed under the working chamber, and the fan filter unit is disposed below the baffle plate.
KR1020170080556A 2017-06-26 2017-06-26 Vehicle maintenance lift KR102283382B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170080556A KR102283382B1 (en) 2017-06-26 2017-06-26 Vehicle maintenance lift

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170080556A KR102283382B1 (en) 2017-06-26 2017-06-26 Vehicle maintenance lift

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20190001107A KR20190001107A (en) 2019-01-04
KR102283382B1 true KR102283382B1 (en) 2021-07-29

Family

ID=65017752

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170080556A KR102283382B1 (en) 2017-06-26 2017-06-26 Vehicle maintenance lift

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102283382B1 (en)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7136236B2 (en) * 2019-01-25 2022-09-13 村田機械株式会社 Storage system
CN115028103B (en) * 2022-06-09 2024-01-09 长鑫存储技术有限公司 Loading device and automatic material conveying system

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3946678B2 (en) * 2003-09-22 2007-07-18 アネスト岩田株式会社 Package type fluid machinery
JP5527619B2 (en) 2011-11-24 2014-06-18 株式会社ダイフク Ceiling-mounted goods transport equipment
JP5720954B2 (en) * 2012-03-06 2015-05-20 株式会社ダイフク Cleaning device for overhead conveyor
KR102252727B1 (en) * 2015-05-27 2021-05-17 세메스 주식회사 Apparatus for transferring a cassette
KR20170036667A (en) * 2017-03-23 2017-04-03 세메스 주식회사 Apparatus for transferring a vehicle

Also Published As

Publication number Publication date
KR20190001107A (en) 2019-01-04

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10930536B2 (en) Workpiece stocker with circular configuration
KR102091892B1 (en) Accommodating container, shutter opening and closing unit for accommodating container, and wafer stocker using same
JP6556148B2 (en) Load port and load port atmosphere replacement method
KR101443457B1 (en) Transfer robot
KR102205661B1 (en) Substrate transfer robot and substrate transfer device
KR20120055493A (en) Substrate container storage system
CN110612601B (en) Thin plate-shaped substrate holding finger and transfer robot having the same
KR20120014474A (en) Substrate cleaning/drying apparatus and substrate processing apparatus comprising the same, substrate cleaning/drying method, and method for manufacturing of display device the same
KR20070006213A (en) Apparatus and method for manufacturing semiconductor devices
KR102169581B1 (en) Vehicle maintenance lift
KR102283382B1 (en) Vehicle maintenance lift
WO2000051921A1 (en) Material handling and transport system and process
KR20080030111A (en) Work receiving device
KR102172066B1 (en) Vehicle maintenance lift
JP3082389B2 (en) Cleanroom storage
US20080075564A1 (en) Container Carrying Equipment
KR102626528B1 (en) Conveying device with local purge function
JP5164416B2 (en) Substrate processing apparatus, storage container transport method, and semiconductor device manufacturing method
JP2005294280A (en) Sealed container transfer system
JP4633294B2 (en) Transfer robot transfer type transfer device and transfer robot transfer method
KR20120058703A (en) Stacker robot for transfering cassette
JP2015109355A (en) Local cleaning transfer apparatus
KR100852468B1 (en) A Load Port Direct-Coupled to Loadlock Chamber
KR20160049629A (en) Cassette stoker and casette loading/unloading method using thereof
KR102189275B1 (en) Transfer robot and transfer apparatus including the same

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right