KR20170036667A - Apparatus for transferring a vehicle - Google Patents

Apparatus for transferring a vehicle Download PDF

Info

Publication number
KR20170036667A
KR20170036667A KR1020170036596A KR20170036596A KR20170036667A KR 20170036667 A KR20170036667 A KR 20170036667A KR 1020170036596 A KR1020170036596 A KR 1020170036596A KR 20170036596 A KR20170036596 A KR 20170036596A KR 20170036667 A KR20170036667 A KR 20170036667A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
rail
vehicle
stage
height
lift
Prior art date
Application number
KR1020170036596A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
김진성
Original Assignee
세메스 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 세메스 주식회사 filed Critical 세메스 주식회사
Priority to KR1020170036596A priority Critical patent/KR20170036667A/en
Publication of KR20170036667A publication Critical patent/KR20170036667A/en

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/52Devices for transferring articles or materials between conveyors i.e. discharging or feeding devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773Conveying cassettes, containers or carriers
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0297Wafer cassette

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

An apparatus for transferring a vehicle comprises: a first rail arranged at a first height, and transferring a vehicle in which a cassette is stored; a second rail arranged at a second height different from the first height, and transferring the vehicle; and a lifting unit provided by penetrating through the first rail and the second rail, and enabling the vehicle to be lifted between the first rail and the second rail. Therefore, the apparatus for transferring a vehicle can easily adjust a height of the vehicle being transferred.

Description

비히클 이송 장치{Apparatus for transferring a vehicle}[0001] APPARATUS FOR TRANSFERRING A VEHICLE [0002]

본 발명은 비히클 이송 장치에 관한 것으로, 반도체 또는 디스플레이 제조 설비에 카세트가 수납된 비히클을 이송하기 위한 비히클 이송 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a vehicle transport apparatus, and more particularly, to a vehicle transport apparatus for transporting a vehicle containing a cassette to a semiconductor or display manufacturing facility.

일반적으로, 반도체 또는 디스플레이 제조 설비에서 카세트가 수납된 비히클을 이송하기 위해 이송 레일이 이용된다. 상기 이송 레일이 서로 다른 높이에 복수개 구비되는 경우, 상기 이송 레일 사이에서 상기 비히클을 승강시키기 위한 리프트가 필요하다. Generally, a conveying rail is used to convey a vehicle containing a cassette in a semiconductor or display manufacturing facility. When a plurality of the feed rails are provided at different heights, a lift is required to raise and lower the vehicle between the feed rails.

종래 기술에 따르면, 상기 리프트는 다수의 축들, 상기 비히클을 지지하는 스테이지와, 상기 스테이지와 연결된 타이밍 벨트 또는 체인, 상기 벨트 또는 체인을 구동시키기 위한 모터 등으로 이루어진다. 상기 리프트는 상기 축들에 상기 스테이지, 벨트 또는 체인, 모터 등 동력 전달을 위한 구성을 하므로, 상기 리프트의 구조가 복잡하고, 상기 비히클을 안정적으로 승강시키기 위해 조정해야할 포인트가 많다. 또한, 상기 벨트 또는 체인의 작동시 파티클이 발생할 여지가 있으므로, 상기 비히클이 오염될 여지가 있다. 그리고, 상기 벨트 또는 체인의 파손시 상기 비히클이 추락하여 파손될 여지가 있다. According to the prior art, the lift comprises a plurality of shafts, a stage for supporting the vehicle, a timing belt or chain connected to the stage, a motor for driving the belt or chain, and the like. Since the lift has a structure for transmitting power to the shafts, such as the stage, the belt, the chain, and the motor, the structure of the lift is complicated, and there are many points to be adjusted for stably lifting and lowering the vehicle. Further, there is a possibility that the vehicle may be contaminated because there is a possibility that particles will be generated during operation of the belt or chain. In addition, when the belt or chain is broken, the vehicle may fall and be damaged.

본 발명은 구조가 단순하면서 안정적으로 비히클을 승강시키며, 추락의 위험을 줄일 수 있는 비히클 이송 장치를 제공한다. The present invention provides a vehicle transport device that can lift a vehicle in a simple and stable manner and reduce the risk of falling.

본 발명에 따른 비히클 이송 장치는 제1 높이에 배치되며, 카세트가 수납되는 비히클을 이송하기 위한 제1 레일과, 상기 제1 높이와 다른 제2 높이에 배치되며, 상기 비히클을 이송하기 위한 제2 레일 및 상기 제1 레일 및 상기 제2 레일을 관통하여 구비되며, 상기 비히클을 상기 제1 레일과 상기 제2 레일 사이에서 승강시키기 위한 승강 유닛을 포함할 수 있다. A vehicle transport apparatus according to the present invention comprises a first rail disposed at a first height for transporting a vehicle in which a cassette is received and a second rail disposed at a second height different from the first height, And an elevating unit provided between the first rail and the second rail, the elevating unit being provided for raising and lowering the vehicle between the first and second rails.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 유닛은, 상기 비히클을 지지하기 위한 스테이지와, 상기 스테이지의 하부에 구비되며, 상기 스테이지를 상기 제1 높이 및 상기 제2 높이로 승강시키기 위한 스파이럴 리프트 및 상기 스테이지 상부면에 구비되며, 상기 비히클의 이동을 위해 상기 제1 레일 및 상기 제2 레일과 연결을 위한 연결 레일을 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the elevating unit includes: a stage for supporting the vehicle; a spiral lift unit provided at a lower portion of the stage for moving the stage to the first height and the second height; And a connection rail for connection with the first rail and the second rail for movement of the vehicle.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 승강 유닛은, 상하 방향을 따라 연장하는 다수의 빔들 및 상기 스테이지의 측면에 구비되며, 상기 빔들과 접촉한 상태로 상기 스테이지의 승강을 가이드 하기 위한 가이드 롤러들을 더 포함할 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the elevating unit includes a plurality of beams extending along the vertical direction, and a guide roller provided on a side surface of the stage and guiding the elevation of the stage in contact with the beams, As shown in FIG.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 스테이지의 승강을 안정적으로 가이드하기 위해 상기 가이드 롤러들은 각각 하나의 빔과 3점 접촉할 수 있다. According to an embodiment of the present invention, the guide rollers may be in three-point contact with one beam to stably guide the elevation of the stage.

본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 비히클이 상기 제1 레일과 상기 연결 레일 사이 및 상기 제2 레일과 상기 연결 레일 사이를 원활하게 이동하도록 하기 위해 상기 제1 레일의 단부, 상기 제2 레일의 단부 및 상기 연결 레일의 양단부는 사선 형태의 단면을 가질 수 있다. According to one embodiment of the present invention, the vehicle is provided with an end portion of the first rail, an end portion of the second rail, and a connecting portion of the first rail and the connecting rail, so that the vehicle smoothly moves between the first rail and the connecting rail, And both end portions of the connecting rails may have a cross-sectional shape of an oblique line.

본 발명에 따른 비히클 이송 장치에서 승강 유닛은 스파이럴 리프트를 이용하여 스테이지에 안착되는 비히클을 승강시키며, 상기 스테이지의 측면에 구비된 가이들 롤러들을 이용하여 상기 비히클의 승강을 가이드한다. In the vehicle transport apparatus according to the present invention, the lift unit lifts and lifts the vehicle that is seated on the stage using a spiral lift, and guides the lift of the vehicle by using the guide rollers provided on the side of the stage.

따라서, 상기 비히클 이송 장치는 벨트나 체인 대신에 상기 스파이럴 리프트를 이용하므로, 전체적인 구성이 단순하다. 또한, 상기 스파이럴 리프트가 파손되더라도 상기 스파이럴 리프트의 특성으로 인해 상기 비히클을 지지한 스테이지가 추락할 가능성이 적다. 그리고, 상기 스파이럴 리프트의 작동시 파티클이 발생할 여지가 적으므로, 상기 파티클로 인해 상기 비히클이 오염될 가능성이 낮다. Therefore, the vehicle transport apparatus uses the spiral lift instead of a belt or a chain, so that the overall structure is simple. Also, even if the spiral lift is broken, the stage supporting the vehicle is less likely to fall due to the characteristics of the spiral lift. Also, since there is little room for particle generation during operation of the spiral lift, the possibility of contamination of the vehicle due to the particles is low.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 이송 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 비히클 이송 장치를 설명하기 위한 측면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 빔과 롤러를 설명하기 위한 확대도이다.
1 is a side view for explaining a vehicle transportation apparatus according to an embodiment of the present invention.
Fig. 2 is a side view for explaining the vehicle transport apparatus shown in Fig. 1. Fig.
3 is an enlarged view for explaining the beam and the roller shown in Fig.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 비히클 이송 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A vehicle transport apparatus according to an embodiment of the present invention will now be described in detail with reference to the accompanying drawings. The present invention is capable of various modifications and various forms, and specific embodiments are illustrated in the drawings and described in detail in the text. It should be understood, however, that the invention is not intended to be limited to the particular forms disclosed, but includes all modifications, equivalents, and alternatives falling within the spirit and scope of the invention. Like reference numerals are used for like elements in describing each drawing. In the accompanying drawings, the dimensions of the structures are enlarged to illustrate the present invention in order to clarify the present invention.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다. The terms first, second, etc. may be used to describe various components, but the components should not be limited by the terms. The terms are used only for the purpose of distinguishing one component from another. For example, without departing from the scope of the present invention, the first component may be referred to as a second component, and similarly, the second component may also be referred to as a first component.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.The terminology used in this application is used only to describe a specific embodiment and is not intended to limit the invention. The singular expressions include plural expressions unless the context clearly dictates otherwise. In this application, the terms "comprises", "having", and the like are used to specify that a feature, a number, a step, an operation, an element, a part or a combination thereof is described in the specification, But do not preclude the presence or addition of one or more other features, integers, steps, operations, components, parts, or combinations thereof.

다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다. Unless defined otherwise, all terms used herein, including technical or scientific terms, have the same meaning as commonly understood by one of ordinary skill in the art to which this invention belongs. Terms such as those defined in commonly used dictionaries are to be interpreted as having a meaning consistent with the contextual meaning of the related art and are to be interpreted as either ideal or overly formal in the sense of the present application Do not.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비히클 이송 장치를 설명하기 위한 측면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 비히클 이송 장치를 설명하기 위한 측면도이며, 도 3은 도 2에 도시된 빔과 롤러를 설명하기 위한 확대도이다. FIG. 1 is a side view for explaining a vehicle transporting apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a side view for explaining a vehicle transporting apparatus shown in FIG. 1, Fig.

도 1 내지 도 3을 참조하면, 비히클 이송 장치(100)는 카세트가 수납되는 비히클(10)을 이송하기 위한 것으로, 제1 레일(110), 제2 레일(120) 및 승강 유닛(130)을 포함한다. 1 to 3, the vehicle transport apparatus 100 is for transporting a vehicle 10 in which a cassette is received, and includes a first rail 110, a second rail 120, and an elevation unit 130 .

제1 레일(110)은 제1 높이에 배치되며, 비히클(10)은 제1 레일(110)을 따라 이송된다. The first rail 110 is disposed at a first height and the vehicle 10 is transported along a first rail 110.

제2 레일(120)은 상기 제1 높이와 다른 제2 높이에 배치되며, 비히클(10)은 제2 레일(120)을 따라 이송된다. 상기 제2 높이는 상기 제1 높이보다 높거나 낮을 수 있다. The second rail 120 is disposed at a second height different from the first height and the vehicle 10 is transported along the second rail 120. The second height may be higher or lower than the first height.

제1 레일(110)과 제2 레일(120)은 다른 높이에서 서로 평행하게 배치될 수도 있고, 제1 레일(110)과 제2 레일(120)은 다른 높이에서 서로 평행하지 않도록 배치될 수도 있다. The first rail 110 and the second rail 120 may be disposed parallel to each other at different heights and the first rail 110 and the second rail 120 may be disposed at different heights so as not to be parallel to each other .

한편, 상기에서는 제1 레일(110)과 제2 레일(120) 만 구비되는 것으로 설명되었지만, 상기 레일이 3개 이상 구비될 수도 있다. In the above description, the first rail 110 and the second rail 120 are provided. However, three or more rails may be provided.

승강 유닛(130)은 제1 레일(110) 및 제2 레일(120)을 상하로 관통하여 구비된다. The elevating unit 130 is provided so as to pass through the first and second rails 110 and 120 vertically.

제1 레일(110)과 제2 레일(120)은 다른 높이에서 서로 평행하게 배치된 경우, 승강 유닛(130)은 제1 레일(110)(또는 제2 레일(120))의 임의 지점에 구비될 수 있다. When the first rail 110 and the second rail 120 are disposed at a different height from each other and parallel to each other, the elevating unit 130 is installed at any point of the first rail 110 (or the second rail 120) .

제1 레일(110)과 제2 레일(120)은 다른 높이에서 서로 평행하지 않도록 배치된 경우, 승강 유닛(130)은 제1 레일(110)과 제2 레일(120)을 중첩하였을 때 교차되는 지점에 구비될 수 있다. When the first rail 110 and the second rail 120 are disposed so as not to be parallel to each other at a different height, the elevating unit 130 is configured to intersect the first rail 110 and the second rail 120 when the first rail 110 and the second rail 120 are overlapped. Point.

승강 유닛(130)은 제1 레일(110)과 제2 레일(120) 사이에서 비히클(10)을 승강시킨다. 예를 들면, 승강 유닛(130)은 상기 제1 높이의 제1 레일(110)을 따라 이송된 비히클(10)을 상기 제2 높이로 승강시켜 제2 레일(120)을 따라 이송될 수 있도록 한다. 또한, 승강 유닛(130)은 상기 제2 높이의 제2 레일(120)을 따라 이송된 비히클(10)을 상기 제1 높이로 승강시켜 제1 레일(110)을 따라 이송될 수 있도록 한다.The lift unit 130 lifts the vehicle 10 between the first rail 110 and the second rail 120. For example, the lifting unit 130 lifts the vehicle 10 transported along the first rail 110 of the first height to the second height so as to be transported along the second rail 120 . The elevation unit 130 also lifts the vehicle 10 transported along the second rail 120 of the second height to the first height so as to be transported along the first rail 110.

승강 유닛(130)은 베이스 플레이트(131), 스테이지(132), 스파이럴 리프트(133), 연결 레일(134), 빔들(136) 및 가이드 롤러들(137)을 포함한다. The lifting unit 130 includes a base plate 131, a stage 132, a spiral lift 133, a connecting rail 134, beams 136 and guide rollers 137.

베이스 플레이트(131)는 대략 사각 평판 형태를 가지며, 스파이럴 리프트(133) 및 빔들(136)이 고정될 수 있다. The base plate 131 has a substantially rectangular plate shape, and the spiral lift 133 and the beams 136 can be fixed.

스테이지(132)는 베이스 플레이트(131)의 상방에 배치되며, 비히클(10)을 지지한다. 스테이지(132)는 대략 사각 평판 형태를 갖는다. 이때, 스테이지(132)는 비히클(10)을 안정적으로 지지하기 위해 비히클(10)의 하부면보다 크기가 큰 것이 바람직하다. 또한, 스테이지(132)는 베이스 플레이트(131)의 크기보다 작은 크기를 갖는 것이 바람직하다. The stage 132 is disposed above the base plate 131 and supports the vehicle 10. The stage 132 has a substantially rectangular plate shape. At this time, it is preferable that the stage 132 is larger in size than the lower surface of the vehicle 10 in order to stably support the vehicle 10. Further, it is preferable that the stage 132 has a smaller size than the size of the base plate 131.

스파이럴 리프트(133)는 베이스 플레이트(131)와 스테이지(132) 사이에 구비되며, 베이스 플레이트(131)의 상부면에 고정되어 스테이지(132)를 승강시킨다. The spiral lift 133 is provided between the base plate 131 and the stage 132 and fixed to the upper surface of the base plate 131 to lift the stage 132.

구체적으로, 스파이럴 리프트(133)는 스테이지(132)를 상기 제1 높이에서 상기 제2 높이로 승강시키거나, 상기 제2 높이에서 상기 제1 높이로 승강시킨다. Specifically, the spiral lift 133 lifts the stage 132 from the first height to the second height, or lifts the stage 132 from the second height to the first height.

스파이럴 리프트(133)는 스테이지(132)를 안정적으로 지지하기 위해 스테이지(132)의 하부면 중앙 부위를 지지할 수 있다. The spiral lift 133 can support the center portion of the lower surface of the stage 132 to stably support the stage 132. [

한편, 스파이럴 리프트(133)는 하나가 구비될 수도 있지만, 다수개가 구비될 수도 있다. 스파이럴 리프트(133)가 다수개 구비되는 경우, 스테이지(132)를 안정적으로 지지할 수 있도록 배치된다. Meanwhile, one spiral lift 133 may be provided, but a plurality of spiral lifts 133 may be provided. When a plurality of spiral lifts 133 are provided, the stage 132 can be stably supported.

또한, 스파이럴 리프트(133) 대신에 볼 스크류, 유압 또는 에어 실린더 등이 구비될 수도 있다. Instead of the spiral lift 133, a ball screw, a hydraulic cylinder, or an air cylinder may be provided.

스파이럴 리프트(133)는 높은 하중을 견딜 수 있으므로, 무거운 비히클(10)을 안정적으로 승강시킬 수 있다. The spiral lift 133 can withstand a high load, so that the heavy vehicle 10 can be stably lifted and lowered.

또한, 스파이럴 리프트(133)가 파손되더라도 스파이럴 리프트(133)의 특성으로 인해 스테이지(132)를 지지한 상태를 유지할 수 있다. 따라서, 스테이지(132)에 지지된 비히클(10)이 추락하여 파손될 가능성이 낮다. Further, even if the spiral lift 133 is broken, the state of supporting the stage 132 can be maintained due to the characteristics of the spiral lift 133. [ Therefore, the possibility that the vehicle 10 supported on the stage 132 falls and is broken is low.

그리고, 스파이럴 리프트(133)의 작동시 파티클이 발생할 여지가 적으므로, 상기 파티클로 인해 비히클(10)이 오염될 가능성이 낮다. In addition, since there is little room for particle generation during operation of the spiral lift 133, the possibility of contamination of the vehicle 10 due to the particles is low.

제1 레일(110)과 제2 레일(120)은 다른 높이에서 서로 평행하지 않도록 배치된 경우 또는 제1 레일(110)과 제2 레일(120)은 다른 높이에서 서로 평행하게 배치된 경우라도 비히클(10)의 이송 방향을 변경할 필요가 있는 경우, 스테이지(132)가 회전할 필요가 있다. 스테이지(132)의 회전 구동을 위해 스파이럴 리프트(133)가 고정되는 베이스 플레이트(131)가 회전 가능하도록 구비될 수도 있다. 베이스 플레이트(131)는 별도의 회전 구동부에 의해 회전될 수 있다. Even when the first and second rails 110 and 120 are disposed so as not to be parallel to each other at different heights or when the first and second rails 110 and 120 are disposed at a different height and in parallel with each other, It is necessary to rotate the stage 132 when it is necessary to change the conveying direction of the stage 10. A base plate 131 to which the spiral lift 133 is fixed may be rotatably mounted to rotate the stage 132. The base plate 131 can be rotated by a separate rotation driving unit.

연결 레일(134)은 스테이지(132) 상부면에 구비되며, 비히클(10)의 이동을 위해 제1 레일(110) 및 제2 레일(120)과 연결된다. 즉, 연결 레일(134)은 제1 레일(110) 또는 제2 레일(120)을 따라 이송된 비히클(10)이 스테이지(132)로 용이하게 이동할 수 있도록 하며, 스테이지(132)에 지지된 비히클(10)이 제1 레일(110) 또는 제2 레일(120)로 용이하게 이동할 수 있도록 한다. The connection rail 134 is provided on the upper surface of the stage 132 and is connected to the first rail 110 and the second rail 120 for movement of the vehicle 10. That is, the connecting rail 134 allows the vehicle 10 transported along the first rail 110 or the second rail 120 to be easily moved to the stage 132, and the vehicle 132 supported on the stage 132 (10) can be easily moved to the first rail (110) or the second rail (120).

연결 레일(134)의 양단부(135)는 사선 형태의 단면을 갖는다. 또한, 연결 레일(134)의 양단부(135)와 연결되는 제1 레일(110)의 단부들(112) 및 제2 레일(120)의 단부들(122)도 사선 형태의 단면을 갖는다. 이때, 연결 레일(134)의 양단부(135)와 연결 레일(134)의 양단부(135)와 연결되는 제1 레일(110)의 단부들(112) 및 제2 레일(120)의 단부들(122)에서 상기 사선 형태의 단면은 동일한 방향으로 형성된다. Both ends 135 of the connecting rail 134 have a slanting cross-section. The end portions 112 of the first rail 110 and the end portions 122 of the second rail 120 connected to both ends 135 of the connecting rail 134 also have an oblique cross section. The ends 112 of the first rail 110 and the ends 122 of the second rail 120 are connected to both ends 135 of the connection rail 134 and both ends 135 of the connection rail 134. [ ), The oblique cross-section is formed in the same direction.

스테이지(132)가 승강할 때 연결 레일(134)이 제1 레일(110) 및 제2 레일(120)과 충돌하는 것을 방지하기 위해 연결 레일(134)의 양단부(135)와 제1 레일(110)의 단부들(112) 및 제2 레일(120)의 단부들(122) 사이는 일정 간격 이격된다. In order to prevent the connection rail 134 from colliding with the first rail 110 and the second rail 120 when the stage 132 is lifted and lowered, both ends 135 of the connection rail 134 and the first rail 110 And the end portions 122 of the second rail 120 are spaced apart from each other by a predetermined distance.

하지만, 연결 레일(134)의 양단부(135), 제1 레일(110)의 단부들(112) 및 제2 레일(120)의 단부들(122)이 상기 사선 형태의 단면을 가지므로, 비히클(10)이 상기 간격으로 인한 충격없이 제1 레일(110)과 연결 레일(134) 사이 또는 제2 레일(120)과 연결 레일(134) 사이를 원활하게 이동할 수 있다. However, since the end portions 135 of the connecting rail 134, the end portions 112 of the first rail 110, and the end portions 122 of the second rail 120 have the oblique cross section, 10 can smoothly move between the first rail 110 and the connecting rail 134 or between the second rail 120 and the connecting rail 134 without impact due to the gap.

빔들(136)은 상하 방향을 따라 연장하며, 베이스 플레이트(131)의 양측 가장자리 부위에 고정된다. 빔들(136)들은 상기 양측 가장자리에 각각 구비되기 위해 짝수 개로 구비되는 것이 바람직하다. 가이드 롤러들(137)과의 접촉을 위해 빔들(136)의 수평 단면은 ‘T’자, ‘H’자, ‘U’자 등의 형태를 가질 수 있다. The beams 136 extend in the vertical direction and are fixed to both side edge portions of the base plate 131. It is preferable that the beams 136 are provided in even numbers so as to be provided on the both side edges. The horizontal cross-section of the beams 136 for contact with the guide rollers 137 may have the form of a 'T', an 'H', a 'U', or the like.

가이드 롤러들(137)은 스테이지(132)의 양측 측면에 구비된다. 가이드 롤러들(137)의 개수는 빔들(136)의 개수와 실질적으로 동일하다. 가이드 롤러(137)들은 빔들(136)과 접촉한 상태를 유지하므로, 스테이지(132)의 승강을 가이드한다. 따라서, 스파이럴 리프트(133)에 의해 스테이지(132)가 승강할 때, 스테이지(132)가 흔들림 없이 안정적으로 승강할 수 있다. The guide rollers 137 are provided on both side surfaces of the stage 132. The number of guide rollers 137 is substantially the same as the number of beams 136. The guide rollers 137 maintain contact with the beams 136, thereby guiding the lifting and lowering of the stage 132. Therefore, when the stage 132 is lifted and lowered by the spiral lift 133, the stage 132 can stably move up and down without shaking.

한편, 가이드 롤러들(137)은 하나의 빔(136)과 3점 접촉할 수 있다. 구체적으로, 도 3에 도시된 바와 같이 빔들(136)이 ‘T’자 형태를 갖는 경우에도 가이드 롤러들(137)은 하나의 빔(136)과 3점 접촉할 수 있고, 빔들(136)이 ‘H’자 및 ‘U’자 형태를 갖는 경우에도 가이드 롤러들(137)은 하나의 빔(136)과 3점 접촉할 수 있다. On the other hand, the guide rollers 137 can make three-point contact with one beam 136. 3, the guide rollers 137 can be in three-point contact with a single beam 136 even when the beams 136 have a "T" shape, and the beams 136 The guide rollers 137 can make three-point contact with one beam 136 even in the case of having the 'H' character and the 'U' character.

가이드 롤러들(137)이 빔들(136)과 3점 접촉하는 경우, 가이드 롤러들(137)은 스테이지(132)의 승강을 보다 안정적으로 가이드할 수 있다. When the guide rollers 137 make three-point contact with the beams 136, the guide rollers 137 can guide the lifting and lowering of the stage 132 more stably.

이하에서는 비히클 이송 장치(100)를 이용한 비히클(10)의 이송 과정에 대해 간단히 설명한다. Hereinafter, the process of transporting the vehicle 10 using the vehicle transport apparatus 100 will be briefly described.

먼저, 스파이럴 리프트(133)가 스테이지(132)를 승강시켜 제1 레일(110)의 높이인 제1 높이에 위치시킨 상태에서, 비히클(10)을 제1 레일(110)을 따라 이송하여 상기 제1 높이에 위치한 스테이지(132) 상에 위치시킨다. The spiral lift 133 is moved along the first rail 110 while the stage 132 is lifted and positioned at a first height that is the height of the first rail 110, Lt; RTI ID = 0.0 > 1 < / RTI >

다음으로, 스파이럴 리프트(133)가 비히클(10)이 지지된 스테이지(132)를 상기 제1 높이에서 제2 레일(120)의 높이인 제2 높이로 승강시킨다. Next, the spiral lift 133 lifts the stage 132, on which the vehicle 10 is supported, from the first height to a second height, which is the height of the second rail 120.

이후, 스테이지(132)에 지지된 비히클(10)을 제2 레일(120)을 따라 이송한다. Thereafter, the vehicle 10 supported on the stage 132 is transported along the second rail 120.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 비히클 이송 장치는 구성이 단순하고, 비히클을 안정적으로 승강시킬 수 있으며, 파티클로 인해 상기 비히클이 오염될 가능성이 낮다. 그러므로, 상기 비히클 이송 장치의 이송 신뢰성을 향상시킬 수 있다. As described above, the vehicle transportation device according to the present invention is simple in construction, can lift and lift the vehicle stably, and is less likely to contaminate the vehicle due to particles. Therefore, the transport reliability of the vehicle transport apparatus can be improved.

상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the present invention as defined by the following claims. It can be understood that it is possible.

100 : 비히클 이송 장치 110 : 제1 레일
120 : 제2 레일 130 : 승강 유닛
131 : 베이스 플레이트 132 : 스테이지
133 : 스파이럴 리프트 134 : 연결 레일
136 : 빔 137 : 가이드 롤러
10 : 비히클
100: Vehicle transport device 110: First rail
120: second rail 130: elevating unit
131: base plate 132: stage
133: Spiral lift 134: Connecting rail
136: Beam 137: Guide roller
10: Vehicle

Claims (5)

제1 높이에 배치되며, 카세트가 수납되는 비히클을 이송하기 위한 제1 레일;
상기 제1 높이와 다른 제2 높이에 배치되며, 상기 비히클을 이송하기 위한 제2 레일;
상기 제1 레일 및 상기 제2 레일을 관통하여 구비되며, 상기 비히클을 상기 제1 레일과 상기 제2 레일 사이에서 승강시키기 위한 승강 유닛을 포함하고,
상기 승강 유닛은,
상기 비히클을 지지하기 위한 스테이지; 및
상기 스테이지의 하부에 구비되어 상기 스테이지를 지지하면서, 회전 구동을 통해 상기 스테이지를 상기 제1 높이 및 상기 제2 높이로 승강시키기 위한 스파이럴 리프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 이송 장치.
A first rail disposed at a first height for transporting a vehicle in which the cassette is housed;
A second rail disposed at a second height different from the first height, for transporting the vehicle;
And an elevating unit provided to pass through the first rail and the second rail and to lift the vehicle between the first rail and the second rail,
The elevating unit includes:
A stage for supporting the vehicle; And
And a spiral lift provided at a lower portion of the stage to support the stage and to elevate the stage to the first height and the second height through rotation driving.
제1항에 있어서, 상기 승강 유닛은,
상기 스테이지 상부면에 구비되며, 상기 비히클의 이동을 위해 상기 제1 레일 및 상기 제2 레일과 연결을 위한 연결 레일을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 이송 장치.
The apparatus according to claim 1,
Further comprising a connection rail provided on the top surface of the stage for connection with the first rail and the second rail for movement of the vehicle.
제2항에 있어서, 상기 비히클이 상기 제1 레일과 상기 연결 레일 사이 및 상기 제2 레일과 상기 연결 레일 사이를 원활하게 이동하도록 하기 위해 상기 제1 레일의 단부, 상기 제2 레일의 단부 및 상기 연결 레일의 양단부는 사선 형태의 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 비히클 이송 장치.3. The apparatus of claim 2, wherein the vehicle includes an end portion of the first rail, an end portion of the second rail, and an end portion of the second rail in order to allow the vehicle to smoothly move between the first rail and the connecting rail and between the second rail and the connecting rail. Characterized in that both ends of the connecting rail have a cross-section of an oblique shape. 제1항에 있어서, 상기 승강 유닛은,
상하 방향을 따라 연장하는 다수의 빔들; 및
상기 스테이지의 측면에 구비되며, 상기 빔들과 접촉한 상태로 상기 스테이지의 승강을 가이드하기 위한 가이드 롤러들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 비히클 이송 장치.
The apparatus according to claim 1,
A plurality of beams extending along the vertical direction; And
Further comprising guide rollers provided on side surfaces of the stage and guiding the lifting and lowering of the stage in contact with the beams.
제4항에 있어서, 상기 스테이지의 승강을 안정적으로 가이드하기 위해 상기 가이드 롤러들은 각각 하나의 빔과 3점 접촉하는 것을 특징으로 하는 비히클 이송 장치. 5. The vehicle transportation device according to claim 4, wherein the guide rollers each make three-point contact with one beam to stably guide the elevation of the stage.
KR1020170036596A 2017-03-23 2017-03-23 Apparatus for transferring a vehicle KR20170036667A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170036596A KR20170036667A (en) 2017-03-23 2017-03-23 Apparatus for transferring a vehicle

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020170036596A KR20170036667A (en) 2017-03-23 2017-03-23 Apparatus for transferring a vehicle

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150068750A Division KR20160135450A (en) 2015-05-18 2015-05-18 Apparatus for transferring a vehicle

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20170036667A true KR20170036667A (en) 2017-04-03

Family

ID=58589191

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020170036596A KR20170036667A (en) 2017-03-23 2017-03-23 Apparatus for transferring a vehicle

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR20170036667A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190001107A (en) * 2017-06-26 2019-01-04 세메스 주식회사 Vehicle maintenance lift

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190001107A (en) * 2017-06-26 2019-01-04 세메스 주식회사 Vehicle maintenance lift

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100487298B1 (en) Transporting apparatus for plate form body
JPWO2015170660A1 (en) lift device
KR101707068B1 (en) Transport facility and automated warehouse
JP2008174369A (en) Vertical course switching device for conveying travelling body
KR100528810B1 (en) Apparatus for transferring works
TW201208970A (en) Rising and lowering device
CN103640883A (en) Glass transferring equipment
JP2008100774A (en) Conveying carrier and method for transferring article to be conveyed by the conveying carrier
KR20170036667A (en) Apparatus for transferring a vehicle
KR101613119B1 (en) Stocker apparatus
KR20170057568A (en) Carriage system
JP2006248680A (en) Support structure of telescopic arm in transfer machine
KR20160135450A (en) Apparatus for transferring a vehicle
JP6776503B2 (en) Belt conveyor device
CN106672628B (en) Glass substrate rotating equipment
KR102490595B1 (en) Buffer apparatus
KR20160119917A (en) Transfer robot with multi arm
KR101328574B1 (en) Apparatus for transferring substrate
CN104828595A (en) Guiding device for aluminum plate
CN114655614A (en) Automatic loading and unloading equipment
KR20180077734A (en) Apparatus for Transferring Substrate
JP6886879B2 (en) Horizontal circulation parking device
KR100654160B1 (en) Apparatus for carrying a vehicle in a parking equipment
KR20210158241A (en) Guiding structure of hoist unit and apparatus for transferring carriers having the same
JP2006151524A (en) Elevator type conveying and delivery apparatus

Legal Events

Date Code Title Description
A107 Divisional application of patent
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E90F Notification of reason for final refusal
E601 Decision to refuse application