KR102278770B1

KR102278770B1 - 건식 세정 장치

Info

Publication number: KR102278770B1
Application number: KR1020190124909A
Authority: KR
Inventors: 안진호; 손두열; 최종현; 오승철; 안승재; 박명진
Original assignee: 주식회사 에이아이코리아
Priority date: 2019-10-08
Filing date: 2019-10-08
Publication date: 2021-07-19
Also published as: KR20210041990A

Abstract

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치는, 토출 유로를 구비하여 대상체에 공기를 분사하는 블로워; 상기 블로워가 내부에 수용되고, 상기 대상체로부터 이탈한 파티클이 유입되는 유입 공간을 포함하는 챔버; 및 상기 챔버에 연결되어 상기 유입 공간의 공기를 흡입함으로써 상기 파티클을 흡입하여 배출하는 흡입부;를 포함하고, 상기 블로워는, 공기가 유입되는 유입구가 일단에 구비되고 외주면에 공기가 배출되는 복수개의 배출부가 구비된 로드부; 및 상기 로드부의 양측에 배치되어 상기 로드부로부터 배출된 공기를 상기 대상체로 안내하는 블레이드부;를 포함하고, 상기 배출부는 상기 로드부의 길이방향으로 배치되고, 상기 배출부 사이의 거리는 상기 로드부의 일단에서 타단으로 갈수록 증가할 수 있다.

Description

건식 세정 장치{DRY CLEANING DEVICE}

본 발명은 건식 세정 장치에 관한 것이다.

PDP, LCD, AMOLED 등의 디스플레이용 유리기판 또는 필름(Film) 또는 반도체 웨이퍼 등은 세정을 거쳐 표면에 이물질이 없는 표면 상태를 유지해야 한다. 만약 이물질이 표면에 존재한 채로 가공하게 되면 최종 제품에 결점이 생겨 불량제품이 생산되어 생산 수율이 나빠지게 된다

세정방법은 크게 습식세정(Wet cleaning)과 건식세정(dry cleaning)이 있다. 습식세정이란 유기세정, 순수 물에 의한 세척, 무기세정 및 건조 단계를 순차적으로 거치는 것으로, 점착성 이물질인 기름때, 테이프자국, 손기름등과 같이 유기바인더로 연결된 무기물을 비접촉식 방법으로 유기바인더를 끊어 무기물화 하는 세정방법이다. 건식세정이란 유기세정 및 무기세정을 거쳐 세정을 완료하는 것으로, 비점착성 이물질인 먼지와 같은 무기물을 비접촉식 방법으로 부유시켜 세정하는 방법이다. 이러한 무기세정방법의 한 종류로서 건식 세정 장치가 사용되었다.

건식 세정 장치는 일반적으로 초음파를 대상체에 전달하여 대상체 표면의 파티클(particle)을 대상체 표면으로부터 이격시킨 후, 공기를 분사하여 가진된 초음파를 가지는 압축공기(Pressure air)수단, 그리고 진공흡입(Vacuum suction)수단으로 구성되어 기판에 부착된 이물질을 제거하게 된다. 재진대는 기판 위에서 정전기에 의해 (+) 또는 (-)로 대전된 이물질을 중화시켜 점착력을 잃게 하고, 가진된 초음파를 가지는 압축공기(Pressure air)수단은 기판표면 경계층을 깨고 그 안에 존재하는 중화된 상태의 이물질을 부유시키고, 진공흡입(Vacuum suction)수단은 부유된 이물질을 흡입하게 된다.

이러한 건식 세정 장치의 경우 공기 분사 또는 공기 흡입시 공기의 불균일 유동이 발생할 수 있으며, 이와 같이 공기의 불균일 유동이 발생하면, 세정 효율이 저하되는 문제점이 있다. 따라서, 공기의 분사 또는 흡입시 공기의 불균일 유동을 감소시킬 수 있는 건식 세정 장치에 대한 연구가 요구되고 있는 실정이다.

본 발명은 공기 분사 시 공기의 불균일 유동을 감소시킬 수 있는 건식 세정 장치를 제공하는데 발명의 목적이 있다.

또한, 본 발명은 공기 흡입 시 공기의 불균일 유동을 감소시킬 수 있는 건식 세정 장치를 제공하는데 발명의 목적이 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치는 대상체에 공기를 분사하는 블로워; 상기 블로워가 내부에 수용되고, 상기 대상체로부터 이탈한 파티클이 유입되는 유입 공간을 포함하는 챔버; 및 상기 챔버에 연결되고 상기 파티클을 흡입하여 배출하는 흡입부;를 포함하고, 상기 블로워는, 공기가 유입되는 유입구가 일단에 구비되고 외주면에 공기가 배출되는 배출부가 구비된 로드부; 및 상기 로드부의 양측에 배치되어 상기 로드부로부터 배출된 공기를 상기 대상체로 안내하는 블레이드부;를 포함하고, 상기 배출부는 상기 로드부의 일단측에 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제1 배출부 및 상기 제1 배출부와 길이방향으로 이격되게 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제2 배출부를 포함하며, 상기 제2 배출부의 홀 사이의 거리는 상기 제1 배출부의 홀 사이의 거리보다 멀게 구비될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 배출부의 홀 사이의 거리, 상기 제2 배출부의 홀 사이의 거리 및 상기 제1 배출부와 상기 제2 배출부 사이의 거리는 하기 식 1을 만족할 수 있다.

[식 1]

L1 = 3/5 * L2,

L3 = 7/3 * L1

(∵L1: 제1 배출부의 홀 사이의 거리, L2: 제2 배출부의 홀 사이의 거리, L3: 제1 배출부와 제2 배출부 사이의 거리)

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 배출부와 상기 유입구 사이의 최단 거리 및 상기 제2 배출부와 상기 유입구 사이의 최장 거리는 하기 식 2를 만족할 수 있다.

[식 2]

L5 = 10 * L4

(∵L4: 제1 배출부와 유입구 사이의 최단 거리, L5: 제2 배출부와 유입구 사이의 거리)

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 블레이드부는, 상기 로드부의 상측 외면을 감싸고, 상기 로드부와의 사이에서 제1 토출로를 형성하는 커버; 및 상기 커버의 하측에 배치되고, 상기 제1 토출로와 연통되게 구비되어 상기 제1 토출로에서 토출된 공기를 상기 대상체로 안내하는 제2 토출로를 형성하는 블레이드;를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 토출로는 길이방향 단면 형상이 곡선으로 형성되고, 상기 제2 토출로는 길이방향 단면 형상이 직선으로 형성될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제2 토출로는 슬릿형태로 구비될 수 있으며, 유속 차이를 발생시키도록 길이 방향 단면이 확장되는 공진부를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 공진부는 공기 유출측의 단면적이 공기 유입측의 단면적보다 크게 구비될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 흡입부는, 상기 유입 공간과 연통되게 구비되는 제1 흡입로; 및 제1 흡입로로부터 유입된 파티클을 외부로 배출하는 제2 흡입로;를 포함하고, 상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로는 상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로 사이에 구비된 연통로를 통해 서로 연통되게 구비되며, 상기 연통로는 길이방향으로 폭방향 간격이 변화할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 연통로는, 상기 흡입부의 일단에서 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 감소하는 제1 연통로, 상기 제1 연통로의 타단에 연결되고, 상기 흡입부의 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하여 타단의 폭방향 간격이 상기 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격과 동일하게 구비되는 제2 연통로 및 상기 제2 연통로의 타단에 연결되고 상기 흡입부의 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하는 제3 연통로를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 연통로의 길이방향 길이, 상기 제2 연통로의 길이 방향 길이 및 상기 제3 연통로의 길이방향 길이는 하기 식 3을 만족할 수 있다.

[식 3]

L6 = L7,

L6 + L7 = L8

(∵ L5: 제1 연통로의 길이방향 길이, L6: 제2 연통로의 길이방향 길이, L7: 제3 연통로의 길이방향 길이)

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격, 상기 제2 연통로의 타단의 폭방향 간격 및 상기 제3 통로의 타단의 폭방향 간격은 하기 식 4를 만족할 수 있다.

[식 4]

D = G,

E = 3D

(∵ D: 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격, G: 제2 연통로의 타단의 폭방향 간격, E: 제3 연통로의 타단의 폭방향 간격)

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치는 대상체에 공기를 분사하는 블로워; 상기 블로워가 내부에 수용되고, 상기 대상체로부터 이탈한 파티클이 유입되는 유입 공간을 포함하는 챔버; 및 상기 챔버에 연결되고 상기 파티클을 흡입하여 배출하는 흡입부;를 포함하고, 상기 흡입부는, 상기 유입 공간과 연통되게 구비되는 제1 흡입로; 및 제1 흡입부로부터 유입된 파티클을 외부로 배출하는 제2 흡입로;를 포함하고, 상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로는 상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로 사이에 구비된 연통로를 통해 서로 연통되게 구비되며, 상기 연통로는 길이방향으로 폭방향 간격이 변화할 수 있다.

[식 3]

L6 = L7,

L6 + L7 = L8

[식 4]

D = G,

E = 3D

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 블로워는, 공기가 유입되는 유입구가 일단에 구비되고 외주면에 공기가 배출되는 복수개의 배출부가 구비된 로드부; 및 상기 로드부의 양측에 배치되어 상기 로드부로부터 배출된 공기를 상기 대상체로 안내하는 블레이드부;를 포함하고, 상기 배출부는 상기 로드부의 일단측에 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제1 배출부 및 상기 제1 배출부와 길이방향으로 이격되게 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제2 배출부를 포함하며, 상기 제2 배출부의 홀 사이의 거리는 상기 제1 배출부의 홀 사이의 거리보다 멀게 구비될 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치에서 상기 제1 배출부의 홀 사이의 거리, 상기 제2 배출부의 홀 사이의 거리 및 상기 제1 배출부와 상기 제2 배출부 사이의 거리는 하기 식 1을 만족하는 건식 세정 장치.

[식 1]

L1 = 3/5 * L2,

L3 = 7/3 * L1

(∵L1: 제1 배출부의홀 사이의 거리, L2: 제2 배출부의 홀 사이의 거리, L3: 제1 배출부와 제2 배출부 사이의 거리)

[식 2]

L5 = 10 * L4

본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치는 세정 구간의 공기 분사 시 공기의 불균일 유동을 방지할 수 있는 효과가 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치는 세정 구간의 공기 흡입 시 공기의 불균일 유동을 방지할 수 있는 효과가 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치의 개략 후면 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치의 개략 전면 사시도이다.
도 3은 도 1의 A-A'에 따른 단면 사시도이다.
도 4는 도 1의 B-B'에 따른 단면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드부의 개략 사시도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 다른 흡입부에 형성된 연통로의 개략 평면도이다.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다. 다만, 본 발명의 사상은 제시되는 실시예에 제한되지 아니하고, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서 다른 구성요소를 추가, 변경, 삭제 등을 통하여, 퇴보적인 다른 발명이나 본 발명의 사상의 범위 내에 포함되는 다른 실시예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본원 발명 사상의 범위 내에 포함된다고 할 것이다.

또한, 실시예의 도면에 나타나는 동일한 사상의 범위 내의 기능이 동일한 구성요소는 동일한 참조부호를 사용하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치의 개략 후면 사시도고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치의 개략 전면 사시도이고, 도 3은 도 1의 A-A'에 따른 단면 사시도이고, 도 4는 도 1의 B-B'에 따른 단면도이고, 도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 로드부의 개략 사시도이고, 도 6은 본 발명의 일 실시예에 다른 흡입부에 형성된 연통로의 개략 평면도이다.

도 1 내지 도 6을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치(1)는 블로워(100), 챔버(200) 및 흡입부(300)를 포함할 수 있다.

블로워(100)는 토출 유로(110)를 구비하여 대상체(미도시)에 공기를 분사할 수 있다. 블로워(100)는 로드부(110) 및 로드부(110)의 양측에 배치되어 로드부(110)로부터 배출된 공기를 대상체로 안내하는 블레이드부(120)를 포함할 수 있다.

로드부(110)의 일단에는 공기가 유입되는 유입구(111)가 구비될 수 있으며, 외주면에는 공기가 배출되는 배출부(112)가 구비될 수 있다.

로드부(110)의 유입구(111)의 일단은 별도의 압축 공기 분사 장치(미도시)에 연결될 수 있으며, 압축 공기 분사 장치가 구동하는 경우 압축 공기는 로드부(110)의 유입구(111)를 통해 로드부(110)로 유입될 수 있다. 유입구(111)로 유입된 압축 공기는 로드부(110)를 따라 길이방향으로 이동할 수 있다. 공기는 길이방향으로 이동 중에 로드부(110)의 외주면에 형성된 배출부(112)를 통해 로드부(110)의 외측으로 배출될 수 있다.

배출부(112)는 일로드부(110)의 상측 외주면에 형성될 수 있으며, 로드부(110)에 길이 방향으로 배치될 수 있다. 이러한 배출부(112)는 일 예로서, 로드부(110)의 일단측에 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제1 배출부(112a) 및 제1 배출부(112a)와 길이방향으로 이격되게 배치되고 복수개의 홀을 포함하는 제2 배출부(112b)를 포함할 수 있다. 여기서, 제2 배출부(112b)의 홀 사이의 거리(L2)는 제1 배출부(112a)의 홀 사이의 거리(L1)보다 멀게 구비될 수 있다. 여기서, 제2 "l출부(112b)의 홀 사이의 거리는 제1 배출부(112a)와 제2 배출부(112b)사이의 거리보다는 가깝게 구비될 수 있다. 예를 들어, 제1 배출부(112a)의 홀 사이의 거리(L1), 제2 배출부(112b)의 홀 사이의 거리 및 제1 배출부(112a)와 제2 배출부(112b) 사이의 거리(L3)은 하기 식 1을 만족할 수 있다.

[식 1]

L1 = 3/5 * L2,

L3 = 7/3 * L1

더하여, 배출부(112)는 제1 배출부(112a)와 유입구(111) 사이의 최단거리(L4) 및 제2 배출부(112b)와 유입구(111) 사이의 최장 거리가(L5)가 하기 식 2를 만족하도록 구비될 수 있다.

[식 2]

L5 = 10 * L4

이와 같이 배출부(112)를 구성함으로써, 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치(1)는 제1 배출부(112a)와 제2 배출부(112b)를 구성하는 홀 사이의 거리를 제2 토출로(122a)를 통해 분사되는 공기의 불균일 유동을 감소시킬 수 있다. 다시 말해, 로드부(110)의 일단으로 압축 공기가 유입되면, 로드부(110)의 타단측 공기의 유속은 일단측 공기의 유속보다 빠르게 형성된다. 따라서, 제2 배출부(112b)의 홀 사이의 간격(L2)을 제1 배출부(112a)의 홀 사이의 간격(L1)보다 멀게 구비하여 로드부(110) 외부로 배출되는 공기의 유량을 길이방향으로 균일하게 조절할 수 있으며, 이에 의해 제2 토출로(122a)로 이동하는 공기의 유량 및 속도가 균일하게 될 수 있다. 결과적으로 제2 토출로(122a)를 통해 분사되는 공기의 불균일 유동을 감소시킬 수 있다.

블레이드부(120)는 로드부(110)의 양측에서 로드부(110)를 감싸도록 구비되어 공기가 분사되는 토출로를 형성할 수 있다. 예를 들어, 블레이드부(120)는 로드부(110)의 상측 외면을 감싸고, 로드부(110)와의 사이에서 제1 토출로(121a)를 형성하는 커버(121) 및, 커버(121)의 하측에 배치되고 제1 토출로(121a)와 연통되게 구비되어 제1 토출로(121a)에서 토출된 공기를 대상체로 안내하는 제2 토출로(122a)를 형성하는 블레이드(122)를 포함할 수 있다. 여기서, 제1 토출로(121a)는 길이방향 단면 형상이 곡선으로 형성될 수 있으며, 제1 토출로(121a)는 길이방향 단면 형상이 직선으로 형성될 수 있다.

제2 토출로(122a)는 슬릿 형태로 구비될 수 있으며, 유속 차이를 발생시키도록 길이 방향 단면이 확장되는 공진부(122b)를 포함할 수 있다. 공진부(122b)는 공기 유출측의 단면적이 공기 유입측의 단면적보다 크게 구비될 수 있다. 제2 토출로(122a)를 통해 공기가 지나가는 경우 공기는 공진부(122b)에 의해 유속과 압력차이가 발생하게 되며 이에 따라 고밀도의 초음파가 발생할 수 있다. 이러한 초음파는 유동이 실린 초음파로서 대상체의 파티클을 효과적으로 제거할 수 있다.

여기서 공기의 이동 경로에 대해 설명하면, 로드부(110)의 일단으로 유입된 압축 공기는 로드부(110)의 길이방향을 따라 이동하며, 배출부(112)를 통해 로드부(110)의 외부로 배출될 수 있다. 이때, 공기는 배출부(112)를 통해 로드부(110)의 상측으로 이동할 수 있다. 이후 공기는 제1 토출로(121a)를 따라 로드부(110)의 하측으로 이동할 수 있다. 이어서 제2 토출로(122a)로 유입되어 블레이드(122) 외측으로 분사될 수 있다.

챔버(200)는 블로워(100)를 감싸도록 구비될 수 있다. 다시 말해, 챔버(200)의 내부에는 블로워(100)가 수용될 수 있다. 챔버(200)는 대상체로 부터 이탈한 파티클이 유입되는 유입 공간(210)을 포함할 수 있다. 유입 공간(210)은 블로워(100)의 폭방향 양측에 구비될 수 있으며, 블로워(100)에 의해 공기가 분사되는 경우 대상체로부터 이탈한 파티클은 유입 공간(210)으로 유입될 수 있다. 보다 구체적으로, 유입 공간(210)은 흡입부(300)와 연통되게 구비되어 흡입부(300) 구동 시 유입 공간(210)의 공기는 흡입부(300)로 흡입될 수 있으며, 이러한 공기 유동에 의해 대상체를 이탈한 파티클은 유입 공간(210)으로 유입될 수 있다.

흡입부(300)는 챔버(200)에 연결되어 유입 공간(210)의 공기를 흡입함으로써 파티클을 흡입하여 배출할 수 있다. 이를 위해, 흡입부(300)는 별도의 석션 장치(미도시)에 연결되어 구동될 수 있다. 흡입부(300)는 공기가 이동하는 흡입로(310)를 포함할 수 있다. 예를 들어 흡입부(300)는 유입 공간(210)과 연통되게 구비되는 제1 흡입로(311) 및 제1 흡입로(311)로부터 유입된 파티클을 외부로 배출하는 제2 흡입로(312)를 포함할 수 있다.

여기서, 제1 흡입로(311) 및 제2 흡입로(312)는 제1 흡입로(311)와 제2 흡입로(312) 사이에 구비되는 격벽(320)에 형성된 연통로(321)에 의해 서로 연통되게 구비될 수 있다.

흡입부(300)에서의 공기 유동을 설명하면, 유입 공간(210)으로부터 파티클을 포함하는 공기는 제1 흡입로(311) 및 연통로(321)를 순차적으로 통과하여 제2 흡입로(312)로 유입된 후 최종적으로 외부로 배출될 수 있다.

여기서, 연통로(321)는 길이방향으로 폭방향 간격이 변하도록 구비될 수 있다. 예를 들어, 연통로(321)는 흡입부(300)의 일단에서 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 감소하는 제1 연통로(321a), 제1 연통로(321a)의 타단에 연결되고, 흡입부(300)의 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하여 타단의 폭방향 간격이 제1 연통로(321a)의 일단의 폭방향 간격과 동일하게 구비되는 제2 연통로(321b) 및 제2 연통로(321b)의 타단에 연결되고 흡입부(300)의 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하는 제3 연통로(321c)를 포함할 수 있다. 여기서, 제1 연통로(321a)의 길이방향 길이를 'L6'이라하고, 제2 연통로(321b)의 길이방향 길이를 'L7'이라하고, 제3 연통로(321c)의 길이방향 길이를 'L8'이라 했을 때, 제1 연통로(321a) 내지 제3 연통로(321c)는 하기 식 3을 만족할 수 있다.

[식 3]

L6 = L7,

L6 + L7 = L8

(∵ L6: 제1 연통로의 길이방향 길이, L7: 제2 연통로의 길이방향 길이, L8: 제3 연통로의 길이방향 길이)

더하여, 제1 연통로(321a)의 일단의 폭방향 간격을 'D'라하고, 제2 연통로(321b)의 타단의 폭방향 간격을 'G'라하고, 제3 연통로(321c)의 타단의 폭방향 간격을 'D'라 했을 때, 제1 연통로(321a) 내지 제3 연통로(321c)는 하기 식 4를 만족할 수 있다.

[식 4]

D = G,

E = 3D

여기서, 제1 연통로(321a)의 타단의 폭방향 간격과 제2 연통로(321b)의 일단의 폭방향 간격은 동일할 수 있다. 제1 연통로(321a)의 타단의 폭방향 간격은 일단의 폭방향 간격을 'D'라 했을 때 3/4*D에 해당할 수 있다.

이와 같이, 흡입되는 공기의 유속이 빠르게 형성되는 부분의 연통로(321)의 폭방향 간격을 상대적으로 작게 형성하고, 공기의 유속이 느리게 형성되는 부분의 폭방향 간격을 상대적으로 크게 형성함으로써, 본 발명의 일 실시예에 다른 건식 세정 장치(1)는 세정 구간의 공기 흡입 시 공기의 불균일 유동을 방지할 수 있다.

다시 말해, 석션 장치가 구동하는 경우 석션 장치는 흡입부(300), 보다 구체적으로, 제2 흡입로(312)의 공기를 흡입하게 된다. 이때, 제2 흡입로(312)의 일단측에 배치된 공기가 상대적으로 빠른 유속으로 흡입된다. 따라서, 연통로(321)의 일단측 폭방향 간격을 상대적으로 작게 형성하여 제2 흡입로(312)로의 길이방향 전체 경로에서 흡입되는 공기량 및 유속을 일정하게 할 수 있으며 결과적으로 공기의 불균일 유동을 방지할 수 있다.

전술한 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 건식 세정 장치(1)는 인접하게 배치되는 배출부(112)의 길이 방향 간격 및 연통로(321)의 폭방향 간격을 공기의 유속에 대응되게 형성함으로써, 세정 구간의 공기 분사 및 흡입 시 공기의 불균일 유동을 방지할 수 있는 효과가 있다.

상기에서는 본 발명에 따른 실시예를 기준으로 본 발명의 구성과 특징을 설명하였으나 본 발명은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 사상과 범위 내에서 다양하게 변경 또는 변형할 수 있음은 본 발명의 속하는 기술분야의 통상의 기술자들에게 명백한 것이며, 따라서 이와 같은 변경 또는 변형은 첨부된 특허청구범위에 속함을 밝혀둔다.

1: 건식 세정 장치 100: 블로워
110: 로드부 111: 유입구
112: 배출부 120: 블레이드부
200: 챔버 210: 유입 공간
300: 흡입부 310: 흡입로
311: 제1 흡입로 312: 제2 흡입로
320: 격벽 321: 연통로

Claims

대상체에 공기를 분사하는 블로워;
상기 블로워가 내부에 수용되고, 상기 대상체로부터 이탈한 파티클이 유입되는 유입 공간을 포함하는 챔버; 및
상기 챔버에 연결되고 상기 파티클을 흡입하여 배출하는 흡입부;를 포함하고,
상기 블로워는,
공기가 유입되는 유입구가 일단에 구비되고 유입된 공기가 배출되는 배출부가 외면을 관통하여 형성된 로드부; 및
상기 로드부의 양측에 배치되어 상기 로드부로부터 배출된 공기를 상기 대상체로 안내하는 블레이드부;를 포함하고,
상기 배출부는 상기 로드부의 길이방향을 따라 배치되고 상기 로드부의 외면을 관통하여 형성된 복수개의 홀을 포함하는 제1 배출부 및 상기 로드부의 길이방향으로 상기 제1 배출부와 이격되게 배치되고, 상기 로드부의 길이방향을 따라 배치되며 상기 로드부의 외면을 관통하여 형성된 복수개의 홀을 포함하는 제2 배출부를 포함하며,
상기 제1 배출부는 상기 제2 배출부와 상기 로드부의 일단 사이에 형성되고,
상기 제2 배출부의 홀 사이의 거리는 상기 제1 배출부의 홀 사이의 거리보다 멀게 구비되는 건식 세정 장치.
제1 항에 있어서,
상기 제1 배출부의 홀 사이의 거리, 상기 제2 배출부의 홀 사이의 거리 및 상기 제1 배출부와 상기 제2 배출부 사이의 거리는 하기 식 1을 만족하는 건식 세정 장치.
[식 1]
L1 = 3/5 * L2,
L3 = 7/3 * L1
(∵L1: 제1 배출부의 홀 사이의 거리, L2: 제2 배출부의 홀 사이의 거리, L3: 제1 배출부와 제2 배출부 사이의 거리)
제1 항에 있어서,
상기 제1 배출부와 상기 유입구 사이의 최단 거리 및 상기 제2 배출부와 상기 유입구 사이의 최장 거리는 하기 식 2를 만족하는 건식 세정 장치.
[식 2]
L5 = 10 * L4
(∵L4: 제1 배출부와 유입구 사이의 최단 거리, L5: 제2 배출부와 유입구 사이의 거리)
제1 항에 있어서,
상기 블레이드부는,
상기 로드부의 상측 외면을 감싸고, 상기 로드부와의 사이에서 제1 토출로를 형성하는 커버; 및
상기 커버의 하측에 배치되고, 상기 제1 토출로와 연통되게 구비되어 상기 제1 토출로에서 토출된 공기를 상기 대상체로 안내하는 제2 토출로를 형성하는 블레이드;를 포함하는 건식 세정 장치.
제4 항에 있어서,
상기 제1 토출로는 길이방향 단면 형상이 곡선으로 형성되고, 상기 제2 토출로는 길이방향 단면 형상이 직선으로 형성된 건식 세정 장치.
제4 항에 있어서,
상기 제2 토출로는 슬릿형태로 구비될 수 있으며, 유속 차이를 발생시키도록 길이 방향 단면이 확장되는 공진부를 포함하는 건식 세정 장치.
제4 항에 있어서,
상기 제2 토출로는 슬릿형태로 구비되고, 유속차이를 발생시키도록 길이 방향 단면의 면적이 확장되는 공진부를 포함하고,
상기 공진부는 공기 유출측의 단면적이 공기 유입측의 단면적보다 크게 구비되는 건식 세정 장치.
제1 항에 있어서,
상기 흡입부는,
상기 유입 공간과 연통되게 구비되는 제1 흡입로; 및
제1 흡입로로부터 유입된 파티클을 외부로 배출하는 제2 흡입로;를 포함하고,
상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로는 상기 제1 흡입로 및 상기 제2 흡입로 사이에 구비된 연통로를 통해 서로 연통되게 구비되며, 상기 연통로는 길이방향으로 폭방향 간격이 변화하는 건식 세정 장치.
제8 항에 있어서,
상기 연통로는, 상기 흡입부의 일단에서 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 감소하는 제1 연통로,
상기 제1 연통로의 타단에 연결되고, 상기 흡입부의 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하여 타단의 폭방향 간격이 상기 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격과 동일하게 구비되는 제2 연통로 및
상기 제2 연통로의 타단에 연결되고 상기 흡입부의 타단으로 갈수록 폭방향 간격이 증가하는 제3 연통로를 포함하는 건식 세정 장치.
제9 항에 있어서,
상기 제1 연통로의 길이방향 길이, 상기 제2 연통로의 길이 방향 길이 및 상기 제3 연통로의 길이방향 길이는 하기 식 3을 만족하는 건식 세정 장치.
[식 3]
L6 = L7,
L6 + L7 = L8
(∵ L6: 제1 연통로의 길이방향 길이, L7: 제2 연통로의 길이방향 길이, L8: 제3 연통로의 길이방향 길이)
제9 항에 있어서,
상기 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격, 상기 제2 연통로의 타단의 폭방향 간격 및 상기 제3 연통로의 타단의 폭방향 간격은 하기 식 4를 만족하는 건식 세정 장치.
[식 4]
D = G,
E = 3D
(∵ D: 제1 연통로의 일단의 폭방향 간격, G: 제2 연통로의 타단의 폭방향 간격, E: 제3 연통로의 타단의 폭방향 간격)