KR102271586B1 - Flexible organic light emitting device and method of menufacturing the same - Google Patents

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Abstract

본 발명의 실시예에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치는, 기판과, 상기기판 상에 구비되는 유기 발광 소자층, 및 상기 유기 발광 소자층 상부에 구비되는 박막 봉지층을 포함하고, 상기 박막 봉지층은 적층된 복수의 무기막들을 포함하고, 상기 복수의 무기막들 중 적어도 하나의 무기막은 평면상 서로 이격되어 배치되는 복수의 무기막 패턴들을 포함하고, 상기 복수의 무기막 패턴들 사이에는 유기막이 형성된다.A flexible organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes a substrate, an organic light emitting device layer provided on the substrate, and a thin film encapsulation layer provided on the organic light emitting device layer, the thin film encapsulation layer includes a plurality of stacked inorganic layers, at least one inorganic layer among the plurality of inorganic layers includes a plurality of inorganic layer patterns spaced apart from each other on a plane, and an organic layer is disposed between the plurality of inorganic layer patterns. is formed

Description

가요성 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법{FLEXIBLE ORGANIC LIGHT EMITTING DEVICE AND METHOD OF MENUFACTURING THE SAME}Flexible organic light emitting display device and manufacturing method thereof

본 기재는 가요성 유기 발광 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로 더욱 상세하게는, 복수의 무기막 및 유기막을 포함하는 박막 봉지층 구조를 가지는 가요성 유기 발광 표시 장치에 관한 것이다.The present disclosure relates to a flexible organic light emitting display device and a manufacturing method thereof, and more particularly, to a flexible organic light emitting display device having a thin film encapsulation layer structure including a plurality of inorganic layers and organic layers.

유기 발광 표시 장치는 정공 주입 전극과 유기 발광층 및 전자 주입 전극으로 구성되는 유기 발광 소자들을 포함한다. 각각의 유기 발광 소자는 유기 발광층 내부에서 전자와 정공이 결합하여 생성된 여기자(exciton)가 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발생하는 에너지에 의해 발광한다.The organic light emitting diode display includes organic light emitting devices including a hole injection electrode, an organic emission layer, and an electron injection electrode. Each organic light emitting device emits light by energy generated when excitons generated by combining electrons and holes in the organic light emitting layer fall from an excited state to a ground state.

유기 발광 소자를 포함하는 유기 발광 표시 장치의 기판을 폴리이미드(Polyimide, PI) 등의 가요성 필름(flexible film)으로 형성하는 경우 쉽게 구부릴 수 있으며, 슬림화에 유리하다. When the substrate of the organic light emitting diode display including the organic light emitting device is formed of a flexible film such as polyimide (PI), it can be easily bent and is advantageous for slimming.

이러한 가요성 유기 발광 표시 장치를 구부리는 경우 응력(stress)이 발생하게 되며, 구체적으로, 볼록해지는 외측에는 인장 응력이 발생하고, 오목해지는 내측에는 압축 응력이 발생하며, 외측과 내측 사이의 중간 영역에는 어떠한 힘도 발생하지 않는 중립면(Netural Plane, NP)이 존재하게 된다. 이러한 중립면에 유기 발광 소자를 위치시켜야 유기 발광 표시 장치의 화면 이상이 발생하지 않게 된다.When the flexible organic light emitting diode display device is bent, stress is generated. Specifically, tensile stress is generated on the convex outer side, compressive stress occurs on the concave inner side, and an intermediate region between the outer and inner sides is generated. There is a neutral plane (NP) on which no force is generated. When the organic light emitting diode is positioned on the neutral plane, a screen abnormality of the organic light emitting display device does not occur.

그러나, 유기 발광 표시 장치에 부착되는 편광 필름, 보호 필름 등의 내외부 필름에 의해 유기 발광 표시 장치의 두께가 증가하는 경우, 인장 응력과 압축 응력은 증가하게 되고, 중립면은 좁아지게 되어 중립면에 유기 발광 소자를 위치시키기 어렵게 된다. 또한, 유기 발광 표시 장치는 복합적인 물질로 층상 구조를 이루고 있으므로 구부러지는 경우 외측과 내측간에 인장 응력과 압축 응력의 차이로 변형율(strain)의 비대칭 현상이 발생하게 되어 중립면에 유기 발광 소자가 위치하기 어렵고, 이로 인해 화면 이상이 발생하게 된다.However, when the thickness of the organic light emitting display device increases due to internal and external films such as a polarizing film or a protective film attached to the organic light emitting display device, tensile stress and compressive stress increase, and the neutral plane becomes narrower and the neutral plane becomes smaller. It becomes difficult to position the organic light emitting element. In addition, since the organic light emitting diode display has a layered structure made of a complex material, when it is bent, an asymmetry of strain occurs due to a difference in tensile stress and compressive stress between the outside and the inside, so that the organic light emitting device is positioned on the neutral plane. It is difficult to do, and this causes screen abnormalities.

또한, 유기 발광 표시 장치가 구부러지는 경우 과도한 응력에 의해 크랙(crack)이 발생되어 표시 영역 내로 투습 경로가 형성될 수 있고, 박막 봉지층을 구성하는 유기막 및 무기막의 변형에 의해, 표시 영역의 변형 기타 불량을 야기할 수 있다.In addition, when the organic light emitting diode display device is bent, a crack may be generated by excessive stress to form a moisture permeable path into the display area, and the organic layer and the inorganic layer constituting the thin film encapsulation layer may be deformed, causing the display area to be damaged. It may cause deformation and other defects.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위해, 본 발명의 실시예들에서 가요성 유기 발광 표시 장치를 구부리거나 접었을 경우 박막 봉지층의 무기막에서 발생되는 크랙을 방지하고, 박막 봉지층으로부터 표시 영역으로의 투습을 방지하기 위한 가요성 유기 발광 표시 장치를 제공한다.In order to solve the above problems, in embodiments of the present invention, when the flexible organic light emitting display device is bent or folded, cracks generated in the inorganic film of the thin film encapsulation layer are prevented, and moisture permeation from the thin film encapsulation layer to the display area is prevented. Provided is a flexible organic light emitting diode display for preventing .

본 발명의 실시예에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치는, 기판과, 상기 기판 상에 구비되는 유기 발광 소자층, 및 상기 유기 발광 소자층 상부에 구비되는 박막 봉지층을 포함하고, 상기 박막 봉지층은 적층된 복수의 무기막들을 포함하고, 상기 복수의 무기막들 중 적어도 하나의 무기막은 평면상 서로 이격되어 배치되는 복수의 무기막 패턴들을 포함하고, 상기 복수의 무기막 패턴들 사이에는 유기막이 형성된다.A flexible organic light emitting diode display according to an embodiment of the present invention includes a substrate, an organic light emitting element layer provided on the substrate, and a thin film encapsulation layer provided on the organic light emitting element layer, and the thin film encapsulation layer includes a plurality of stacked inorganic layers, at least one inorganic layer among the plurality of inorganic layers includes a plurality of inorganic layer patterns spaced apart from each other on a plane, and an organic layer is disposed between the plurality of inorganic layer patterns. is formed

본 발명의 실시예에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치는, 상기 적어도 하나의 무기막, 상기 복수의 무기막 패턴들, 및 상기 유기막은 각각 제1 무기막, 제1 무기막 패턴들, 및 제1 유기막이고, 상기 제1 유기막 상에 배치되며, 상기 제1 무기막 패턴들 사이에 상호 이격되어 배치되는 복수의 제2 무기막 패턴들을 포함하는 제2 무기막을 더 포함할 수 있다.In a flexible organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention, the at least one inorganic layer, the plurality of inorganic layer patterns, and the organic layer may include a first inorganic layer, first inorganic layer patterns, and a first The organic layer may further include a second inorganic layer disposed on the first organic layer and including a plurality of second inorganic layer patterns spaced apart from each other between the first inorganic layer patterns.

본 발명의 실시예에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치는, 상기 복수의 제2 무기막 패턴들 사이에 배치되는 제2 유기막, 및 상기 제2 유기막 상에 배치되며, 상기 제2 무기막 패턴들 사이에 상호 이격되어 배치되는 복수의 제3 무기막 패턴들을 포함하는 제3 무기막을 더 포함할 수 있다.A flexible organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes a second organic layer disposed between the plurality of second inorganic layer patterns, and on the second organic layer, the second inorganic layer pattern A third inorganic layer including a plurality of third inorganic layer patterns disposed to be spaced apart from each other may be further included.

상기 제1 무기막 패턴들 및 제2 무기막 패턴들은 서로 일부가 접촉할 수 있다.The first inorganic layer patterns and the second inorganic layer patterns may partially contact each other.

상기 복수의 무기막들은 상기 유기 발광 소자층의 유기 발광층의 상부에 배치될 수 있다.The plurality of inorganic layers may be disposed on the organic light emitting layer of the organic light emitting device layer.

상기 복수의 무기막 패턴들은 서로 다른 층의 무기막들의 무기막 패턴들을 통해 서로 이어질 수 있다. The plurality of inorganic layer patterns may be connected to each other through inorganic layer patterns of inorganic layers of different layers.

상기 복수의 무기막 패턴들은 평면상 정사각형이 반복되어 배치되는 행렬로 이루어질 수 있다.The plurality of inorganic layer patterns may be formed in a matrix in which squares are repeatedly disposed on a plane.

상기 복수의 무기막 패턴들은 평면상 원형이 반복되어 배치되는 행렬로 이루어질 수 있다.The plurality of inorganic layer patterns may be formed in a matrix in which a circular pattern is repeatedly disposed on a plane.

상기 복수의 무기막 패턴들은 평면상 직사각형이 반복되어 배치되는 행렬로 이루어질 수 있다.The plurality of inorganic layer patterns may be formed in a matrix in which a rectangle is repeatedly disposed on a plane.

상기 복수의 무기막 패턴들은 상기 기판이 구부려지는 방향으로 배열될 수 있다.The plurality of inorganic layer patterns may be arranged in a direction in which the substrate is bent.

상기 복수의 무기막 패턴들은 삼각뿔 형상이 반복되어 배치되는 행렬로 이루어질 수 있다.The plurality of inorganic film patterns may be formed in a matrix in which a triangular pyramid shape is repeatedly disposed.

상기 복수의 무기막 패턴들은, 상기 기판이 구부러지는 벤딩(bending) 영역과 상기 기판이 구부러지지 않는 언벤딩(unbending) 영역에서, 크기를 달리할 수 있다.The plurality of inorganic layer patterns may have different sizes in a bending region in which the substrate is bent and an unbending region in which the substrate is not bent.

본 발명의 실시예에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치 제조 방법은, 기판 상에, 트랜지스터와 연결된 애노드와, 상기 애노드 상에 형성된 유기 발광층과, 상기 유기 발광층 상에 형성된 캐소드를 포함하는 유기 발광 소자층을 형성하는 단계와, 상기 유기 발광 소자층의 상부에 박막 봉지층을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 박막 봉지층을 형성하는 단계는, 상기 유기 발광 소자층의 상부에 제1 무기막을 증착하는 제1 증착 단계와, 상기 제1 무기막을 상호 이격되어 배치되는 복수의 제1 무기막 패턴들을 포함하도록 패턴화하는 제1 식각 단계와, 제1 마스크를 이용하여 상기 패턴화된 제1 무기막 패턴들 사이에 제1 유기막을 증착하는 제2 증착 단계와, 상기 제1 유기막 상부에 제2 무기막을 증착하는 제3 증착 단계, 및 상기 제2 무기막을 상호 이격되어 배치되는 복수의 제2 무기막 패턴들을 포함하도록 패턴화하는 제2 식각 단계를 포함한다.The method of manufacturing a flexible organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention includes an organic light emitting device layer including an anode connected to a transistor, an organic light emitting layer formed on the anode, and a cathode formed on the organic light emitting layer on a substrate and forming a thin film encapsulation layer on the organic light emitting device layer, wherein the forming of the thin film encapsulation layer includes depositing a first inorganic layer on the organic light emitting device layer. A first deposition step, a first etching step of patterning the first inorganic layer to include a plurality of first inorganic layer patterns disposed to be spaced apart from each other, and a first mask to form the patterned first inorganic layer patterns A second deposition step of depositing a first organic layer therebetween, a third deposition step of depositing a second inorganic layer on the first organic layer, and a plurality of second inorganic layer patterns arranged to be spaced apart from each other and a second etching step of patterning to include them.

본 발명의 실시예에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치 제조 방법은, 상기 제2 식각 단계 후에, 제2 마스크를 이용하여 상기 패턴화된 제2 무기막 패턴들 사이에 제2 유기막을 증착하는 제4 증착 단계와, 상기 제2 유기막 상부에 제3 무기막을 증착하는 제5 증착 단계, 및 상기 제3 무기막을 상호 이격되어 배치되는 복수의 제3 무기막 패턴들을 포함하도록 패턴화하는 제3 식각 단계를 더 포함할 수 있다.In the method of manufacturing a flexible organic light emitting display device according to an embodiment of the present invention, after the second etching step, a fourth method of depositing a second organic layer between the patterned second inorganic layer patterns using a second mask is performed. A deposition step, a fifth deposition step of depositing a third inorganic layer on the second organic layer, and a third etching step of patterning the third inorganic layer to include a plurality of third inorganic layer patterns spaced apart from each other may further include.

본 발명의 실시예들에 따르면, 가요성 유기 발광 표시 장치를 구부리거나 접었을 경우, 박막 봉지층의 무기막의 무기막 패턴들에 의해, 무기막의 스트레스(stress)를 완화하여 무기막에서 발생되는 크랙을 방지하고, 박막 봉지층으로부터 표시 영역으로의 투습을 방지할 수 있다.According to embodiments of the present invention, when the flexible organic light emitting diode display is bent or folded, the inorganic film pattern of the thin film encapsulation layer relieves stress of the inorganic film to reduce cracks generated in the inorganic film. and moisture permeation from the thin film encapsulation layer to the display area can be prevented.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치의 화소 구조를 나타내는 배치도이다.
도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 선에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치의 단면을 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 4는 본 발명에 따른 기판의 일례를 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 6은 도 3의 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 7은 도 5의 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 10은 도 8의 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 11은 도 9의 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 13은 도 12의 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 15는 도 14의 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 16은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 단면도이다.
도 17은 도 16의 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 평면도이다.
도 18은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 단면도이다.1 is a layout view illustrating a pixel structure of a flexible organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment.
FIG. 2 is a diagram illustrating a cross-section of a flexible organic light emitting diode display taken along line II-II of FIG. 1 .
3 is a cross-sectional view schematically illustrating a flexible organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment.
4 is a cross-sectional view schematically illustrating an example of a substrate according to the present invention.
5 is a cross-sectional view schematically illustrating a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention.
6 is a plan view schematically illustrating the thin film encapsulation layer of FIG. 3 .
7 is a plan view schematically illustrating the thin film encapsulation layer of FIG. 5 .
8 is a cross-sectional view schematically illustrating a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention.
9 is a cross-sectional view schematically illustrating a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention.
10 is a plan view schematically illustrating the thin film encapsulation layer of FIG. 8 .
11 is a plan view schematically illustrating the thin film encapsulation layer of FIG. 9 .
12 is a cross-sectional view schematically illustrating a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention.
13 is a plan view schematically illustrating the thin film encapsulation layer of FIG. 12 .
14 is a cross-sectional view schematically illustrating a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention.
15 is a plan view schematically illustrating the thin film encapsulation layer of FIG. 14 .
16 is a cross-sectional view schematically illustrating a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention.
17 is a plan view schematically illustrating the thin film encapsulation layer of FIG. 16 .
18 is a cross-sectional view schematically illustrating a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예들에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예들에 한정되지 않는다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings so that those of ordinary skill in the art to which the present invention pertains can easily implement them. The present invention may be embodied in many different forms and is not limited to the embodiments described herein.

또한, 여러 실시예들에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 일 실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예들에서는 일 실시예와 다른 구성에 대해서만 설명하기로 한다.In addition, in various embodiments, components having the same configuration are typically described in one embodiment using the same reference numerals, and only configurations different from the one embodiment will be described in other embodiments.

도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며, 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고, 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다. 어느 부분이 다른 부분의 "위에" 또는 "상에" 있다고 언급하는 경우, 이는 바로 다른 부분의 위에 있을 수 있거나 그 사이에 다른 부분이 수반될 수도 있다.It is noted that the drawings are schematic and not drawn to scale. Relative dimensions and proportions of parts in the drawings are shown exaggerated or reduced in size for clarity and convenience in the drawings, and any dimensions are illustrative only and not limiting. In addition, the same reference numerals are used to indicate similar features to the same structure, element, or part appearing in two or more drawings. When a part is referred to as being “on” or “on” another part, it may be directly on the other part, or the other part may be involved in between.

본 발명의 실시예는 본 발명의 한 실시예를 구체적으로 나타낸다. 그 결과, 도해의 다양한 변형이 예상된다. 따라서 실시예는 도시한 영역의 특정 형태에 국한되지 않으며, 예를 들면 제조에 의한 형태의 변형도 포함한다.The embodiment of the present invention specifically represents one embodiment of the present invention. As a result, various modifications of the diagram are expected. Therefore, the embodiment is not limited to a specific shape of the illustrated area, and includes, for example, a shape modification by manufacturing.

이하, 도 1 내지 도 4를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치를 설명한다. Hereinafter, a flexible organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment will be described with reference to FIGS. 1 to 4 .

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치의 화소 구조를 나타내는 배치도이고, 도 2는 도 1의 Ⅱ-Ⅱ 선에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치의 단면을 나타내는 도면이다. 1 is a layout view illustrating a pixel structure of a flexible organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the flexible organic light emitting display device taken along line II-II of FIG. 1 .

도 1 및 도 2를 참조하면, 가요성 유기 발광 표시 장치는 화소마다 형성된 화소 회로와 유기 발광 다이오드(OLED)를 포함한다. 화소 회로는 기본적으로 스위칭 박막 트랜지스터(50)와 구동 박막 트랜지스터(60) 및 커패시터(70)를 포함한다. 그리고 가요성 유기 발광 표시 장치는 일 방향을 따라 배치된 게이트선(81)과, 게이트선(81)과 절연 교차되는 데이터선(82) 및 구동 전압선(83)을 포함한다.1 and 2 , the flexible organic light emitting diode display includes a pixel circuit formed for each pixel and an organic light emitting diode (OLED). The pixel circuit basically includes a switching thin film transistor 50 , a driving thin film transistor 60 , and a capacitor 70 . In addition, the flexible organic light emitting diode display includes a gate line 81 disposed in one direction, a data line 82 and a driving voltage line 83 that insulate and cross the gate line 81 .

여기서, 하나의 화소는 게이트선(81)과 데이터선(82) 및 구동 전압선(83)을 경계로 정의될 수 있으나, 반드시 이에 한정되지 않는다. 화소는 이미지를 표시하는 기본 단위를 의미하며, 가요성 유기 발광 표시 장치는 복수의 화소를 이용하여 이미지를 표시한다.Here, one pixel may be defined by the gate line 81 , the data line 82 , and the driving voltage line 83 as a boundary, but is not limited thereto. A pixel means a basic unit for displaying an image, and the flexible organic light emitting diode display displays an image using a plurality of pixels.

도 1 및 도 2에서는, 하나의 화소에 두 개의 박막 트랜지스터(50, 60)와 하나의 커패시터(70)를 구비한 2Tr-1Cap 구조의 능동 구동형 가요성 표시 장치를 도시하고 있지만, 가요성 유기 발광 표시 장치의 구조는 도시한 예로 한정되지 않는다. 가요성 유기 발광 표시 장치는 셋 이상의 박막트랜지스터와 둘 이상의 커패시터를 구비할 수 있으며, 별도의 배선이 더 형성되어 다양한 구조로 형성될 수 있다.1 and 2 show an active driving type flexible display device having a 2Tr-1Cap structure including two thin film transistors 50 and 60 and a capacitor 70 in one pixel, but The structure of the light emitting display device is not limited to the illustrated example. The flexible organic light emitting diode display may include three or more thin film transistors and two or more capacitors, and may have various structures by further forming separate wires.

유기 발광 다이오드(OLED)는 애노드(91)와 유기 발광층(92) 및 캐소드(93)를 포함한다. 애노드(91)와 캐소드(93) 중 어느 하나는 정공 주입 전극이고, 다른 하나는 전자 주입 전극이다. 애노드(91)와 캐소드(93)로부터 유기 발광층(92)으로 전자와 정공이 주입되고, 정공과 전자가 결합한 여기자(exciton)가 여기 상태로부터 기저 상태로 떨어질 때 발광이 이루어진다.The organic light emitting diode (OLED) includes an anode 91 , an organic light emitting layer 92 , and a cathode 93 . One of the anode 91 and the cathode 93 is a hole injection electrode, and the other is an electron injection electrode. Electrons and holes are injected into the organic light emitting layer 92 from the anode 91 and the cathode 93 , and light is emitted when excitons in which the holes and electrons are combined fall from the excited state to the ground state.

애노드(91)는 반사율이 높은 금속으로 형성되며, 캐소드(93)는 투명한 도전막으로 형성될 수 있다. 이 경우 유기 발광층(92)의 빛은 애노드(91)에 의해 반사되고, 캐소드(93)와 박막 봉지층(45)을 투과하여 외부로 방출된다.The anode 91 may be formed of a metal having high reflectivity, and the cathode 93 may be formed of a transparent conductive film. In this case, light from the organic emission layer 92 is reflected by the anode 91 , passes through the cathode 93 and the thin film encapsulation layer 45 , and is emitted to the outside.

커패시터(70)는 유전체인 층간 절연막(85)을 사이에 두고 배치된 한 쌍의 커패시터 전극(71, 72)을 포함한다. 커패시터(70)에 축전된 전하와 두 개의 커패시터 전극(71, 72) 사이의 전압에 의해 축전 용량이 결정된다.The capacitor 70 includes a pair of capacitor electrodes 71 and 72 disposed with an interlayer insulating film 85 interposed therebetween. The capacitance is determined by the charge stored in the capacitor 70 and the voltage between the two capacitor electrodes 71 and 72 .

스위칭 박막 트랜지스터(50)는 스위칭 반도체층(51), 스위칭 게이트 전극(52), 스위칭 소스 전극(53), 및 스위칭 드레인 전극(54)을 포함한다. 구동 박막 트랜지스터(60)는 구동 반도체층(61), 구동 게이트 전극(62), 구동 소스 전극(63), 및 구동 드레인 전극(64)을 포함한다.The switching thin film transistor 50 includes a switching semiconductor layer 51 , a switching gate electrode 52 , a switching source electrode 53 , and a switching drain electrode 54 . The driving thin film transistor 60 includes a driving semiconductor layer 61 , a driving gate electrode 62 , a driving source electrode 63 , and a driving drain electrode 64 .

스위칭 박막 트랜지스터(50)는 발광시키고자 하는 화소를 선택하는 스위칭 소자로 사용된다. 스위칭 게이트 전극(52)은 게이트선(81)에 연결된다. 스위칭 소스 전극(53)은 데이터선(82)에 연결되고, 스위칭 드레인 전극(54)은 어느 한 커패시터 전극(71)에 연결된다.The switching thin film transistor 50 is used as a switching element for selecting a pixel to emit light. The switching gate electrode 52 is connected to the gate line 81 . The switching source electrode 53 is connected to the data line 82 , and the switching drain electrode 54 is connected to any one of the capacitor electrodes 71 .

구동 박막 트랜지스터(60)는 선택된 화소의 유기 발광층(92)을 발광시키기 위한 구동 전원을 화소 전극(91)에 인가한다. 구동 게이트 전극(62)은 스위칭 드레인 전극(54)과 연결된 커패시터 전극(71)과 연결된다. 구동 소스 전극(63) 및 다른 하나의 커패시터 전극(72)은 구동 전압선(83)과 연결된다. 구동 드레인 전극(64)은 컨택 홀을 통해 유기 발광 다이오드(OLED)의 애노드(91)와 연결된다.The driving thin film transistor 60 applies driving power for emitting light to the organic emission layer 92 of the selected pixel to the pixel electrode 91 . The driving gate electrode 62 is connected to the capacitor electrode 71 connected to the switching drain electrode 54 . The driving source electrode 63 and the other capacitor electrode 72 are connected to the driving voltage line 83 . The driving drain electrode 64 is connected to the anode 91 of the organic light emitting diode OLED through a contact hole.

스위칭 박막 트랜지스터(50)는 게이트선(81)에 인가되는 게이트 전압에 의해 작동하여 데이터선(82)에 인가되는 데이터 전압을 구동 박막 트랜지스터(60)로 전달한다. 구동 전압선(83)으로부터 구동 박막 트랜지스터(60)에 인가되는 공통 전압과 스위칭 박막 트랜지스터(50)로부터 전달된 데이터 전압의 차에 해당하는 전압이 커패시터(70)에 저장되고, 커패시터(70)에 저장된 전압에 대응하는 전류가 구동 박막 트랜지스터(60)를 통해 유기 발광 다이오드(OLED)로 흘러 유기 발광층(92)이 발광한다.The switching thin film transistor 50 operates by the gate voltage applied to the gate line 81 to transmit the data voltage applied to the data line 82 to the driving thin film transistor 60 . A voltage corresponding to a difference between the common voltage applied from the driving voltage line 83 to the driving thin film transistor 60 and the data voltage transferred from the switching thin film transistor 50 is stored in the capacitor 70 and stored in the capacitor 70 . A current corresponding to the voltage flows to the organic light emitting diode (OLED) through the driving thin film transistor 60 , and the organic light emitting layer 92 emits light.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치를 개략적으로 나타내는 단면도이다. 도 3을 참조하면, 가요성 유기 발광 표시 장치는 유기 발광 소자층(20) 상부에 박막 봉지층(30)을 포함할 수 있다. 박막 봉지층(30)은 적층된 복수의 무기막들(35, 37)을 포함하고, 복수의 무기막들(35, 37) 중 적어도 하나는 평면상 서로 이격되어 배치되는 복수의 무기막 패턴들을 포함하고, 상기 복수의 무기막 패턴들 사이에는 유기막(36)이 형성될 수 있다. 3 is a cross-sectional view schematically illustrating a flexible organic light emitting diode display according to an exemplary embodiment. Referring to FIG. 3 , the flexible organic light emitting diode display may include the thin film encapsulation layer 30 on the organic light emitting device layer 20 . The thin film encapsulation layer 30 includes a plurality of inorganic layers 35 and 37 stacked, and at least one of the plurality of inorganic layers 35 and 37 forms a plurality of inorganic layer patterns spaced apart from each other on a plane. and an organic layer 36 may be formed between the plurality of inorganic layer patterns.

유기 발광 소자층(20)을 덮고 있는 박막 봉지층(30)은 외부로부터 산소 및 수분이 유기 발광 소자로 유입되는 것을 방지하여 유기 발광 소자를 보호할 수 있다.The thin film encapsulation layer 30 covering the organic light emitting device layer 20 may prevent oxygen and moisture from flowing into the organic light emitting device from the outside, thereby protecting the organic light emitting device.

무기막은 금속 산화물 또는 금속 질화물을 포함하는 단일막 또는 적층막일 수 있다. 예를 들어, 무기막은 SiNx, SiO2, SiON 등의 세라믹 물질로 이루어질 수 있고, Al2O3, TiO2, MgO, CrO 등의 투명한 재질로 이루어질 수 있다.The inorganic film may be a single film or a laminate film including a metal oxide or a metal nitride. For example, the inorganic layer may be made of a ceramic material such as SiN x , SiO 2 , SiO N , and may be made of a transparent material such as Al 2 O 3 , TiO 2 , MgO or CrO.

또한, 유기막은 고분자로 형성되며, 예를 들어 폴리에틸렌테레프탈레이트, 폴리이미드, 폴리카보네이트, 에폭시, 폴리에틸렌, 및 폴리아크릴레이트 중 어느 하나로 형성되는 단일막 또는 적층막일 수 있다.In addition, the organic film is formed of a polymer, for example, may be a single film or a laminate film formed of any one of polyethylene terephthalate, polyimide, polycarbonate, epoxy, polyethylene, and polyacrylate.

한편, 유기 발광 소자층(20)과 박막 봉지층(30) 사이에는 기능성층(25)이 더 구비될 수 있는데, 기능성층(25)으로, 유기 발광 소자층(20)을 보호하거나 광효율을 조절하는 캡핑(capping)층이 더 구비되거나, 이온에 의한 플라즈마 손상을 방지하거나 광효율을 조절하는 플루오린화리튬(LiF)층이 더 구비될 수 있다. 플로오린화리튬을 포함하는 할로겐화 금속층은 무기막(35, 37)을 스퍼터링 방식 또는 플라즈마 증착 방식으로 형성할 때, 유기 발광층이 손상되는 것을 방지할 수 있다.Meanwhile, a functional layer 25 may be further provided between the organic light emitting device layer 20 and the thin film encapsulation layer 30 . The functional layer 25 protects the organic light emitting device layer 20 or adjusts light efficiency. A capping layer may be further provided, or a lithium fluoride (LiF) layer for preventing plasma damage caused by ions or controlling light efficiency may be further provided. The metal halide layer including lithium fluoride may prevent the organic light emitting layer from being damaged when the inorganic layers 35 and 37 are formed by sputtering or plasma deposition.

상세하게는, 박막 봉지층(30)은 유기 발광 소자층(20) 상부에 구비되는, 상호 이격되어 배치되는 복수의 제1 무기막 패턴들(35')을 포함하는 제1 무기막(35)과, 복수의 제1 무기막 패턴들(35') 사이에 배치되는 제1 유기막(36), 및 제1 유기막(36) 상에 배치되며, 제1 무기막 패턴들(35') 사이에 상호 이격되어 배치되는 복수의 제2 무기막 패턴들(37')을 포함하는 제2 무기막(37)을 포함할 수 있다. 즉, 박막 봉지층(30)은 2개의 무기막들(35, 37)과 1개의 유기막(36)으로 구성될 수 있다. In detail, the thin film encapsulation layer 30 is provided on the organic light emitting device layer 20, the first inorganic layer 35 including a plurality of first inorganic layer patterns 35 ′ spaced apart from each other. and a first organic layer 36 disposed between the plurality of first inorganic layer patterns 35 ′, and disposed on the first organic layer 36 , between the first inorganic layer patterns 35 ′. may include a second inorganic layer 37 including a plurality of second inorganic layer patterns 37 ′ spaced apart from each other. That is, the thin film encapsulation layer 30 may include two inorganic layers 35 and 37 and one organic layer 36 .

유기막(36)은 에폭시, 아크릴, PI 계열 등의 유기물질이 제1 무기막 패턴들(35') 사이에 채워져 형성되는 것일 수 있다.The organic layer 36 may be formed by filling an organic material such as epoxy, acrylic, or PI-based material between the first inorganic layer patterns 35 ′.

또한, 제1 및 제2 무기막 패턴들(35', 37')은 유기 발광 소자층의 유기 발광층의 상부, 즉 표시 영역에 배치될 수 있다.Also, the first and second inorganic layer patterns 35 ′ and 37 ′ may be disposed on the organic light emitting layer of the organic light emitting device layer, that is, in the display area.

도 6은 도 3의 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 평면도이다. 도 3 및 도 6을 참조하면, 제1 및 제2 무기막 패턴들(35', 37')은 수직 및 수평 구조상 서로 일부가 접촉될 수 있다. 즉, 제1 및 제2 무기막 패턴들(35', 37')은 수직 구조상 가장자리 부분이 상하에서 서로 접촉되고, 수평 구조상 패턴들이 서로 일부가 오버랩(overlap)되는 구조이다. 따라서, 제1 및 제2 무기막 패턴들(35', 37')은 서로 다른 층의 무기막들의 무기막 패턴들을 통해 서로 이어지는 구조가 된다. 도 3 및 도 6에서는, 무기막이 2개의 층으로 이루어진 경우의 예를 도시하였으나, 무기막이 3개 이상으로 이루어진 경우에도 이와 동일하다.6 is a plan view schematically illustrating the thin film encapsulation layer of FIG. 3 . 3 and 6 , the first and second inorganic layer patterns 35 ′ and 37 ′ may partially contact each other in vertical and horizontal structures. That is, the first and second inorganic layer patterns 35 ′ and 37 ′ have a structure in which edge portions contact each other from top and bottom in a vertical structure, and partially overlap each other in a horizontal structure. Accordingly, the first and second inorganic layer patterns 35 ′ and 37 ′ have a structure connected to each other through inorganic layer patterns of inorganic layers of different layers. In FIGS. 3 and 6 , an example of the case in which the inorganic film is formed of two layers is illustrated, but the same applies when the inorganic film is formed of three or more layers.

또한, 제1 및 제2 무기막 패턴들(35', 37')은 평면상 대략 정사각형이 반복되어 배치되는 형렬로 이루어질 수 있다. In addition, the first and second inorganic layer patterns 35 ′ and 37 ′ may be formed in an arrangement in which approximately squares are repeatedly arranged on a plane.

한편, 가요성 기판(10)은 플렉서블(flexible)한 플라스틱 소재를 포함할 수 있으나, 이에 한정되는 것은 아니며, 가요성 기판(10)이 스테인레스 강 등으로 이루어진 금속성 기판을 포함할 수도 있으며, 그 밖에 플렉서블한 다양한 소재가 사용될 수 있다. 가요성 기판(10)은 예를 들어, 폴리에틸렌에테르프탈레이트(polyethylene ether phtalate), 폴리에틸렌나프탈레이트(polyethylene naphtalate), 폴리카보네이트(polycarbonate), 폴리아릴레이트(polyarylate), 폴리에테르이미드(polyetherimide), 폴리에테르술폰(polyether sulfone), 및 폴리이미드(polyimide) 등과 같이 내열성 및 내구성이 우수한 플라스틱을 소재를 포함할 수도 있다.On the other hand, the flexible substrate 10 may include a flexible plastic material, but is not limited thereto, and the flexible substrate 10 may include a metallic substrate made of stainless steel or the like. A variety of flexible materials may be used. The flexible substrate 10 may be, for example, polyethylene ether phtalate, polyethylene naphtalate, polycarbonate, polyarylate, polyetherimide, or polyether. A plastic material having excellent heat resistance and durability, such as polyether sulfone and polyimide, may be included.

도 4는 본 발명에 따른 기판의 일례를 개략적으로 나타내는 단면도이다. 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 기판(10)은 저온폴리실리콘(LTPS; low temperature polysilicon)층(9) 이하, 복수의 무기막(7, 8)과 폴리이미드층(3, 6), 비정질 실리콘층(5)을 포함할 수 있다. 상세하게는, 유기 발광 소자층(20)은 저온폴리실리콘층(9) 상에 형성되고, 저온폴리실리콘층(9) 하부에는 SiNx, SiOx 와 같은 무기막이 베리어층(7, 8)으로 형성될 수 있다. 베리어층(7, 8) 하부에는 폴리이미드와 같은 유기막(6), 비정질 실리콘층(5), SiOx 층(4), 폴리이미드층(3)이 차례로 아래를 향해 적층된 구조일 수 있다. 또한, 폴리이미드층(3) 하부에는 하부보호필름(2)이 부착될 수 있다. 4 is a cross-sectional view schematically illustrating an example of a substrate according to the present invention. Referring to FIG. 4 , the substrate 10 according to the present invention includes a low temperature polysilicon (LTPS) layer 9 or less, a plurality of inorganic layers 7 and 8 and polyimide layers 3 and 6, An amorphous silicon layer 5 may be included. In detail, the organic light emitting device layer 20 is formed on the low-temperature polysilicon layer 9, and an inorganic film such as SiN x and SiO x is formed under the low-temperature polysilicon layer 9 as the barrier layers 7 and 8. can be formed. Under the barrier layers 7 and 8, an organic layer 6 such as polyimide, an amorphous silicon layer 5, a SiO x layer 4, and a polyimide layer 3 may be sequentially stacked downward. . In addition, a lower protective film 2 may be attached to a lower portion of the polyimide layer 3 .

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 7은 도 5의 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 평면도이다.5 is a cross-sectional view schematically illustrating a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention, and FIG. 7 is a plan view schematically illustrating the thin film encapsulation layer of FIG. 5 .

도 5 및 도 7을 참조하면, 도 3의 박막 봉지층 구조에서, 제2 유기막(38) 및 제3 무기막(39)을 더 포함할 수 있다. 제2 유기막(38)은 복수의 제2 무기막 패턴들(37') 사이에 배치되고, 제3 무기막(39)은, 제2 유기막(38) 상에 배치되며, 제2 무기막 패턴들(37') 사이에 상호 이격되어 배치되는 복수의 제3 무기막 패턴들(39')을 포함할 수 있다. 5 and 7 , the thin film encapsulation layer structure of FIG. 3 may further include a second organic layer 38 and a third inorganic layer 39 . The second organic layer 38 is disposed between the plurality of second inorganic layer patterns 37 ′, and the third inorganic layer 39 is disposed on the second organic layer 38 , and the second inorganic layer It may include a plurality of third inorganic layer patterns 39 ′ spaced apart from each other between the patterns 37 ′.

도 3의 실시예에서와 마찬가지로, 제2 및 제3 무기막 패턴들(37', 39')은 수직 및 수평 구조상 서로 일부가 접촉될 수 있다. 또한, 제2 및 제3 무기막 패턴들(37', 39')은 평면상 대략 정사각형이 반복되어 배치되는 행렬로 이루어질 수 있다.As in the embodiment of FIG. 3 , the second and third inorganic layer patterns 37 ′ and 39 ′ may partially contact each other in vertical and horizontal structures. In addition, the second and third inorganic layer patterns 37 ′ and 39 ′ may be formed in a matrix in which approximately squares are repeatedly disposed on a plane.

도 8은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 10은 도 8의 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 평면도이다. 도 8 및 도 10을 참조하면, 제1 무기막 패턴들(135') 및 제2 무기막 패턴들(137')이 평면상 원형이 반복되어 배치되는 행렬로 이루어질 수 있다. 또한, 제1 무기막 패턴들(135') 및 제2 무기막 패턴들(137')은 수직 구조상 대략 반원형의 형상일 수 있다. 제1 및 제2 무기막 패턴들(135', 137')은 마찬가지로, 서로 일부가 접촉될 수 있고, 평면상 반복되어 배치되는 행렬로 이루어질 수 있다. 8 is a cross-sectional view schematically illustrating a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a plan view schematically illustrating the thin film encapsulation layer of FIG. 8 . Referring to FIGS. 8 and 10 , the first inorganic layer patterns 135 ′ and the second inorganic layer patterns 137 ′ may be formed in a matrix in which a circular pattern is repeatedly disposed on a plane. Also, the first inorganic layer patterns 135 ′ and the second inorganic layer patterns 137 ′ may have a substantially semicircular shape in a vertical structure. Similarly, the first and second inorganic layer patterns 135 ′ and 137 ′ may partially contact each other and may be formed in a matrix repeatedly arranged on a plane.

도 9 및 도 11은 도 8 및 도 10의 구조에, 제3 무기막 패턴들(139')이 더 포함되어 있는 박막 봉지층의 구조를 개략적으로 나타내는 도면들이다. 도 9 및 도 11을 참조하면, 도 8의 박막 봉지층 구조에서, 제2 유기막(138) 및 제3 무기막(139)을 더 포함할 수 있다. 제2 유기막(138)은 복수의 제2 무기막 패턴들(137') 사이에 배치되고, 제3 무기막(139)은, 제2 유기막(138) 상에 배치되며, 제2 무기막 패턴들(137') 사이에 상호 이격되어 배치되는 복수의 제3 무기막 패턴들(139')을 포함할 수 있다. 9 and 11 are views schematically illustrating a structure of a thin film encapsulation layer in which third inorganic film patterns 139 ′ are further included in the structure of FIGS. 8 and 10 . 9 and 11 , the thin film encapsulation layer structure of FIG. 8 may further include a second organic layer 138 and a third inorganic layer 139 . The second organic layer 138 is disposed between the plurality of second inorganic layer patterns 137 ′, the third inorganic layer 139 is disposed on the second organic layer 138 , and the second inorganic layer It may include a plurality of third inorganic layer patterns 139 ′ spaced apart from each other between the patterns 137 ′.

제2 및 제3 무기막 패턴들(137', 139')은 앞서 설명한 실시예와 마찬가지로, 서로 일부가 접촉될 수 있고, 평면상 반복되어 배치되는 행렬로 이루어질 수 있다.Like the above-described embodiment, the second and third inorganic layer patterns 137 ′ and 139 ′ may partially contact each other and may be formed in a matrix repeatedly arranged on a plane.

도 12는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 13은 도 12의 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 평면도이다. 도 12 및 도 13을 참조하면, 박막 봉지층은 상호 이격되어 배치되는 복수의 제1 무기막 패턴들(235')을 포함하는 제1 무기막(235)과, 복수의 제1 무기막 패턴들(135') 사이에 배치되는 제1 유기막(236), 및 제1 유기막(236) 상에 배치되며, 제1 무기막 패턴들(235') 사이에 상호 이격되어 배치되는 복수의 제2 무기막 패턴들(237')을 포함하는 제2 무기막(237)을 포함할 수 있다. 제1 및 제2 무기막 패턴들(235', 236')은 평면상 직사각형이 반복되어 배치되는 행렬로 이루어질 수 있다. 12 is a cross-sectional view schematically illustrating a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention, and FIG. 13 is a plan view schematically illustrating the thin film encapsulation layer of FIG. 12 . 12 and 13 , the thin film encapsulation layer includes a first inorganic layer 235 including a plurality of first inorganic layer patterns 235 ′ disposed to be spaced apart from each other, and a plurality of first inorganic layer patterns. A first organic layer 236 disposed between the 135', and a plurality of second layers disposed on the first organic layer 236 and spaced apart from each other between the first inorganic layer patterns 235' A second inorganic layer 237 including inorganic layer patterns 237 ′ may be included. The first and second inorganic layer patterns 235 ′ and 236 ′ may be formed in a matrix in which a rectangle is repeatedly disposed on a plane.

또한, 복수의 제1 및 제2 무기막 패턴들(235', 237')은 기판(10)이 구부려지는 방향으로 배열될 수 있다. 무기막 패턴들(235', 237')이 평면상 수평 방향으로만 반복되어 배치되어 있으므로, 가요성 유기 발광 표시 장치가 수평 방향으로 구부려지거나 접었을 경우의 박막 봉지층의 무기막의 크랙이 방지될 수 있다.Also, the plurality of first and second inorganic layer patterns 235 ′ and 237 ′ may be arranged in a direction in which the substrate 10 is bent. Since the inorganic film patterns 235' and 237' are repeatedly arranged only in the horizontal direction on a plane, cracking of the inorganic film of the thin film encapsulation layer can be prevented when the flexible organic light emitting diode display is bent or folded in the horizontal direction. have.

앞서 설명한 실시예들과 마찬가지로, 제1 및 제2 무기막 패턴들(235', 237')은 수직 및 수평 구조상 서로 일부가 접촉될 수 있다. 도시하지는 않았지만, 도 12의 박막 봉지층 구조에서, 제2 유기막 및 제3 무기막을 더 포함할 수 있다. 제2 유기막은 복수의 제2 무기막 패턴들 사이에 배치되고, 제3 무기막은, 제2 유기막 상에 배치되며, 제2 무기막 제2 무기막 패턴들 사이에 상호 이격되어 배치되는 복수의 제3 무기막 패턴들을 포함할 수 있다As in the above-described embodiments, the first and second inorganic layer patterns 235 ′ and 237 ′ may partially contact each other in vertical and horizontal structures. Although not shown, the thin film encapsulation layer structure of FIG. 12 may further include a second organic layer and a third inorganic layer. The second organic layer is disposed between the plurality of second inorganic layer patterns, the third inorganic layer is disposed on the second organic layer, and a plurality of second inorganic layers are spaced apart from each other between the second inorganic layer patterns. Third inorganic layer patterns may be included.

도 14는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 단면도이고, 도 15는 도 14의 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 평면도이다. 도 14 및 도 15를 참조하면, 앞서 설명한 실시예들과 유사한 박막 봉지층 구조이나, 제1 및 제2 무기막 패턴들(335', 337')의 형상이 삼각뿔 형상일 수 있다는 점에서 다르며, 제1 및 제2 무기막 패턴들(335', 337')은 수직 및 수평 구조상 서로 일부가 접촉될 수 있으로, 수직 구조상 이등변 삼각형 형태일 수 있으며, 수평 구조상 대략 정사각형이 반복되어 배치되는 행렬로 이루어질 수 있다. 14 is a cross-sectional view schematically illustrating a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention, and FIG. 15 is a plan view schematically illustrating the thin film encapsulation layer of FIG. 14 . 14 and 15, the thin film encapsulation layer structure similar to the above-described embodiments, but different in that the shapes of the first and second inorganic film patterns 335' and 337' may be triangular pyramid shapes, The first and second inorganic film patterns 335' and 337' may be partially in contact with each other in a vertical and horizontal structure, may have an isosceles triangular shape in a vertical structure, and in a matrix in which approximately squares are repeatedly arranged in a horizontal structure. can be done

도 16 및 도 17을 참조하면, 박막 봉지층은 도 14의 박막 봉지층 구조에서, 제2 유기막(338) 및 제3 무기막(339)을 더 포함할 수 있다. 제2 유기막(338)은 복수의 제2 무기막 패턴들(337') 사이에 배치되고, 제3 무기막(339)은, 제2 유기막(338) 상에 배치되며, 제2 무기막 패턴들(337') 사이에 상호 이격되어 배치되는 복수의 제3 무기막 패턴들(339')을 포함할 수 있다. 16 and 17 , the thin film encapsulation layer may further include a second organic layer 338 and a third inorganic layer 339 in the thin film encapsulation layer structure of FIG. 14 . The second organic layer 338 is disposed between the plurality of second inorganic layer patterns 337 ′, and the third inorganic layer 339 is disposed on the second organic layer 338 , and the second inorganic layer It may include a plurality of third inorganic layer patterns 339 ′ spaced apart from each other between the patterns 337 ′.

제2 및 제3 무기막 패턴들(337', 339')은 앞서 설명한 실시예들과 마찬가지로, 서로 일부가 접촉될 수 있고, 평면상 반복되어 배치되는 행렬로 이루어질 수 있다.Like the above-described embodiments, the second and third inorganic layer patterns 337 ′ and 339 ′ may partially contact each other and may be formed in a matrix repeatedly arranged on a plane.

무기막 패턴들의 형태는 본 발명의 실시예들에 따른 정사각형, 직사각형, 원형, 삼각뿔형에 한정되지 않고, 여러 다른 기타 형상으로 이루어질 수 있다.The shape of the inorganic film patterns is not limited to the square, rectangular, circular, and triangular pyramid shapes according to the embodiments of the present invention, and may be formed in various other shapes.

도 18은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 박막 봉지층을 개략적으로 나타내는 단면도이다. 도 18을 참조하면, 가요성 기판(10)은 구부러질 수 있는 벤딩(bending) 영역(B)과 구부러지지 않는 언벤딩(unbending) 영역(A)으로 대략 구분할 수 있다. 박막 봉지층은 유기 발광 소자층 상부에 구비되는, 상호 이격되어 배치되는 복수의 제1 무기막 패턴들(435')을 포함하는 제1 무기막(435)과, 복수의 제1 무기막 패턴들(435') 사이에 배치되는 제1 유기막(436), 및 제1 유기막(436) 상에 배치되며, 제1 무기막 패턴들(435') 사이에 상호 이격되어 배치되는 복수의 제2 무기막 패턴들(437')을 포함하는 제2 무기막(437)을 포함할 수 있다. 18 is a cross-sectional view schematically illustrating a thin film encapsulation layer according to another embodiment of the present invention. Referring to FIG. 18 , the flexible substrate 10 may be roughly divided into a bending region B that can be bent and an unbending region A that is not bent. The thin film encapsulation layer includes a first inorganic layer 435 including a plurality of first inorganic layer patterns 435 ′ provided on the organic light emitting device layer and spaced apart from each other, and a plurality of first inorganic layer patterns. A first organic layer 436 disposed between 435', and a plurality of second layers disposed on the first organic layer 436 and spaced apart from each other between the first inorganic layer patterns 435' A second inorganic layer 437 including inorganic layer patterns 437 ′ may be included.

그런데, 본 실시예에서는, 벤딩 영역(B)에서는 제1 및 제2 무기막 패턴들(435', 437')의 크기를 작게 형성하고, 언벤딩 영역(A)에서는 제1 및 제2 무기막 패턴들(435', 437')의 크기를 작게 형성할 수 있다. 기판(10)의 벤딩 각도가 커서 응력이 많이 발생되는 영역에서는 무기막 패턴들(435', 437')의 크기를 작게 하고 단위 면적당 무기막 패턴들(435', 437')의 수를 많게 형성하여, 응력 발생에 따른 충격 및 크랙의 전파를 더욱 완화시켜줄 수 있다. 여기서, 벤딩 영역(B)은 비표시 영역(non-active area)일 수 있고, 언벤딩 영역(A)은 표시 영역(active area)일 수 있다. 또한, 벤딩 영역과 언벤딩 영역은 엄격히 나뉘어지는 것은 아니고, 필요에 따라 무기막 패턴들(435', 437')의 크기와 단위 면적당 수를 조절할 수 있다.However, in the present embodiment, the first and second inorganic layer patterns 435 ′ and 437 ′ are formed to be small in size in the bending region B, and the first and second inorganic layer patterns 435 ′ and 437 ′ are formed in the unbending region A. The sizes of the patterns 435 ′ and 437 ′ may be formed to be small. In a region where a large amount of stress is generated due to a large bending angle of the substrate 10 , the size of the inorganic layer patterns 435 ′ and 437 ′ is reduced and the number of the inorganic layer patterns 435 ′ and 437 ′ per unit area is increased. Thus, it is possible to further mitigate the propagation of impact and cracks caused by stress generation. Here, the bending area B may be a non-active area, and the unbending area A may be an active area. In addition, the bending region and the unbending region are not strictly divided, and the size and number of inorganic layer patterns 435 ′ and 437 ′ per unit area may be adjusted as needed.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치 제조 방법은, 기판 상에, 트랜지스터와 연결된 애노드와, 상기 애노드 상에 형성된 유기 발광층과, 상기 유기 발광층 상에 형성된 캐소드를 포함하는 유기 발광 소자층을 형성하는 단계와, 상기 유기 발광 소자층의 상부에 박막 봉지층을 형성하는 단계를 포함한다.Meanwhile, according to an embodiment of the present invention, a method for manufacturing a flexible organic light emitting display device includes an organic light emitting diode display including an anode connected to a transistor, an organic light emitting layer formed on the anode, and a cathode formed on the organic light emitting layer on a substrate. and forming a light emitting device layer, and forming a thin film encapsulation layer on the organic light emitting device layer.

상기 박막 봉지층을 형성하는 단계는, 상기 유기 발광 소자층의 상부에 제1 무기막을 증착하는 제1 증착 단계와, 상기 제1 무기막을 상호 이격되어 배치되는 복수의 제1 무기막 패턴들을 포함하도록 패턴화하는 제1 식각 단계와, 제1 마스크를 이용하여 상기 패턴화된 제1 무기막 패턴들 사이에 제1 유기막을 증착하는 제2 증착 단계와, 상기 제1 유기막 상부에 제2 무기막을 증착하는 제3 증착 단계, 및 상기 제2 무기막을 상호 이격되어 배치되는 복수의 제2 무기막 패턴들을 포함하도록 패턴화하는 제2 식각 단계를 포함하는 포함할 수 있다.The forming of the thin film encapsulation layer may include a first deposition step of depositing a first inorganic layer on the organic light emitting device layer, and a plurality of first inorganic layer patterns disposed to be spaced apart from each other on the first inorganic layer. A first etching step of patterning, a second deposition step of depositing a first organic layer between the patterned first inorganic layer patterns using a first mask, and a second inorganic layer on the first organic layer A third deposition step of depositing, and a second etching step of patterning the second inorganic layer to include a plurality of second inorganic layer patterns disposed to be spaced apart from each other may be included.

또한, 상기 제2 식각 단계 후에, 제2 마스크를 이용하여 상기 패턴화된 제2 무기막 패턴들 사이에 제2 유기막을 증착하는 제4 증착 단계와, 상기 제2 유기막 상부에 제3 무기막을 증착하는 제5 증착 단계, 및 상기 제3 무기막을 상호 이격되어 배치되는 복수의 제3 무기막 패턴들을 포함하도록 패턴화하는 제3 식각 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, after the second etching step, a fourth deposition step of depositing a second organic layer between the patterned second inorganic layer patterns using a second mask, and a third inorganic layer on the second organic layer The method may further include a fifth deposition step of depositing, and a third etching step of patterning the third inorganic layer to include a plurality of third inorganic layer patterns spaced apart from each other.

한편, 유기 발광 소자층을 형성하는 단계 후에, 캐소드 상에 캐소드를 보호하거나 광효율을 조절하는 캡핑(capping)층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다. Meanwhile, after forming the organic light emitting device layer, the method may further include forming a capping layer on the cathode to protect the cathode or control light efficiency.

또한, 캐소드 상에 이온에 의한 플라즈마 손상을 방지하거나 광효율을 조절하는 플루오린화리튬(LiF)층을 형성하는 단계를 더 포함할 수 있다.In addition, the method may further include forming a lithium fluoride (LiF) layer on the cathode to prevent plasma damage caused by ions or control light efficiency.

이와 같이, 본 발명의 실시예들에 따른 가요성 유기 발광 표시 장치에 의해서, 가요성 유기 발광 표시 장치를 구부리거나 접었을 경우, 박막 봉지층의 무기막의 무기막 패턴들에 의해, 무기막의 스트레스(stress)를 완화하여 무기막에서 발생되는 크랙을 방지하고, 박막 봉지층으로부터 표시 영역으로의 투습을 방지할 수 있다.As described above, when the flexible organic light emitting display device is bent or folded by the flexible organic light emitting diode display according to embodiments of the present invention, the inorganic layer is subjected to stress due to the inorganic layer patterns of the thin film encapsulation layer. ) to prevent cracks occurring in the inorganic film and prevent moisture permeation from the thin film encapsulation layer into the display area.

본 발명을 앞서 기재한 바에 따라 바람직한 실시예를 통해 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 다음에 기재하는 특허청구범위의 개념과 범위를 벗어나지 않는 한, 다양한 수정 및 변형이 가능하다는 것을 본 발명이 속하는 기술 분야에 종사하는 자들은 쉽게 이해할 것이다.Although the present invention has been described through preferred embodiments as described above, the present invention is not limited thereto, and various modifications and variations are possible without departing from the concept and scope of the following claims. Those in the technical field to which it belongs will readily understand.

100: 가요성 유기 발광 표시 장치 10: 기판
20: 유기 발광 소자층 30: 박막 봉지층
35: 제1 무기막 36: 제1 유기막
37: 제2 무기막 38: 제2 유기막
39: 제3 무기막 35': 제1 무기막 패턴
37': 제2 무기막 패턴 39': 제3 무기막 패턴100: flexible organic light emitting display device 10: substrate
20: organic light emitting device layer 30: thin film encapsulation layer
35: first inorganic film 36: first organic film
37: second inorganic film 38: second organic film
39: third inorganic film 35': first inorganic film pattern
37': second inorganic film pattern 39': third inorganic film pattern

Claims (14)

기판;
상기 기판 상에 구비되는 유기 발광 소자층; 및
상기 유기 발광 소자층 상부에 구비되는 박막 봉지층을 포함하고,
상기 박막 봉지층은 적층된 제1 무기막 및 제2 무기막을 포함하고,
상기 제1 무기막 및 제2 무기막 중 적어도 하나는 평면상 서로 이격되어 배치되는 복수의 무기막 패턴들을 포함하고, 상기 복수의 무기막 패턴들 사이에는 유기막이 형성되며,
상기 제1 무기막의 일부는 상기 제2 무기막의 일부와 접촉하는 가요성 유기 발광 표시 장치.Board;
an organic light emitting device layer provided on the substrate; and
and a thin film encapsulation layer provided on the organic light emitting device layer,
The thin film encapsulation layer includes a stacked first inorganic film and a second inorganic film,
At least one of the first inorganic film and the second inorganic film includes a plurality of inorganic film patterns spaced apart from each other on a plane, and an organic film is formed between the plurality of inorganic film patterns,
A portion of the first inorganic layer is in contact with a portion of the second inorganic layer. 제 1 항에서,
상기 복수의 무기막 패턴들, 및 상기 유기막은 각각 제1 무기막 패턴들, 및 제1 유기막이고,
상기 제2 무기막은 상기 제1 무기막 패턴들 사이에 상호 이격되어 배치되는 복수의 제2 무기막 패턴들을 포함하는 가요성 유기 발광 표시 장치.
In claim 1,
The plurality of inorganic layer patterns and the organic layer are first inorganic layer patterns and a first organic layer, respectively;
The second inorganic layer includes a plurality of second inorganic layer patterns spaced apart from each other between the first inorganic layer patterns.
 제 2 항에서,
상기 복수의 제2 무기막 패턴들 사이에 배치되는 제2 유기막; 및
상기 제2 유기막 상에 배치되며, 상기 제2 무기막 패턴들 사이에 상호 이격되어 배치되는 복수의 제3 무기막 패턴들을 포함하는 제3 무기막을 더 포함하는 가요성 유기 발광 표시 장치.In claim 2,
a second organic layer disposed between the plurality of second inorganic layer patterns; and
The flexible organic light emitting display device further comprising: a third inorganic layer disposed on the second organic layer and including a plurality of third inorganic layer patterns spaced apart from each other between the second inorganic layer patterns. 제 2 항에서,
상기 제1 무기막 패턴들 및 제2 무기막 패턴들은 서로 일부가 접촉하는 가요성 유기 발광 표시 장치.In claim 2,
The first inorganic layer patterns and the second inorganic layer patterns partially contact each other. 제 1 항에서,
상기 제1 무기막 및 상기 제2 무기막은 상기 유기 발광 소자층의 유기 발광층의 상부에 배치되는 가요성 유기 발광 표시 장치.In claim 1,
The first inorganic layer and the second inorganic layer are disposed on the organic light emitting layer of the organic light emitting device layer. 제 1 항에서,
상기 복수의 무기막 패턴들은 서로 다른 층의 무기막들의 무기막 패턴들을 통해 서로 이어지는 가요성 유기 발광 표시 장치. In claim 1,
The plurality of inorganic layer patterns are connected to each other through inorganic layer patterns of inorganic layers of different layers. 제 1 항에서,
상기 복수의 무기막 패턴들은 평면상 정사각형이 반복되어 배치되는 행렬로 이루어지는 가요성 유기 발광 표시 장치.In claim 1,
The plurality of inorganic layer patterns is a flexible organic light emitting diode display including a matrix in which squares are repeatedly arranged on a plane. 제 1 항에서,
상기 복수의 무기막 패턴들은 평면상 원형이 반복되어 배치되는 행렬로 이루어지는 가요성 유기 발광 표시 장치.In claim 1,
A flexible organic light emitting display device comprising a matrix in which the plurality of inorganic layer patterns are repeatedly arranged in a circular shape on a plane. 제 1 항에서,
상기 복수의 무기막 패턴들은 평면상 직사각형이 반복되어 배치되는 행렬로 이루어지는 가요성 유기 발광 표시 장치.In claim 1,
A flexible organic light emitting display device comprising a matrix in which the plurality of inorganic layer patterns are repeatedly arranged in a rectangular shape on a plane. 제 9 항에서,
상기 복수의 무기막 패턴들은 상기 기판이 구부려지는 방향으로 배열되는 가요성 유기 발광 표시 장치.10. In claim 9,
The plurality of inorganic layer patterns are arranged in a direction in which the substrate is bent. 제 1 항에서,
상기 복수의 무기막 패턴들은 삼각뿔 형상이 반복되어 배치되는 행렬로 이루어지는 가요성 유기 발광 표시 장치.In claim 1,
A flexible organic light emitting display device comprising a matrix in which the plurality of inorganic layer patterns are repeatedly arranged in a triangular pyramid shape. 제 1 항에서,
상기 복수의 무기막 패턴들은, 상기 기판이 구부러지는 벤딩(bending) 영역과 상기 기판이 구부러지지 않는 언벤딩(unbending) 영역에서, 크기를 달리하는 가요성 유기 발광 표시 장치.In claim 1,
The plurality of inorganic layer patterns have different sizes in a bending region in which the substrate is bent and an unbending region in which the substrate is not bent. 기판 상에, 트랜지스터와 연결된 애노드와, 상기 애노드 상에 형성된 유기 발광층과, 상기 유기 발광층 상에 형성된 캐소드를 포함하는 유기 발광 소자층을 형성하는 단계;
상기 유기 발광 소자층의 상부에 박막 봉지층을 형성하는 단계를 포함하며,
상기 박막 봉지층을 형성하는 단계는,
상기 유기 발광 소자층의 상부에 제1 무기막을 증착하는 제1 증착 단계;
상기 제1 무기막을 상호 이격되어 배치되는 복수의 제1 무기막 패턴들을 포함하도록 패턴화하는 제1 식각 단계;
제1 마스크를 이용하여 상기 패턴화된 제1 무기막 패턴들 사이에 제1 유기막을 증착하는 제2 증착 단계:
상기 제1 유기막 상부에 제2 무기막을 증착하는 제3 증착 단계; 및
상기 제2 무기막을 상호 이격되어 배치되는 복수의 제2 무기막 패턴들을 포함하도록 패턴화하는 제2 식각 단계를 포함하고,
상기 복수의 제1 무기막 패턴들의 일부는 상기 복수의 제2 무기막 패턴들의 일부와 접촉하는 가요성 유기 발광 표시 장치 제조 방법.
forming an organic light emitting device layer including an anode connected to a transistor, an organic light emitting layer formed on the anode, and a cathode formed on the organic light emitting layer on a substrate;
Forming a thin film encapsulation layer on the organic light emitting device layer,
Forming the thin film encapsulation layer,
a first deposition step of depositing a first inorganic layer on the organic light emitting device layer;
a first etching step of patterning the first inorganic layer to include a plurality of first inorganic layer patterns disposed to be spaced apart from each other;
A second deposition step of depositing a first organic layer between the patterned first inorganic layer patterns using a first mask:
a third deposition step of depositing a second inorganic layer on the first organic layer; and
a second etching step of patterning the second inorganic layer to include a plurality of second inorganic layer patterns disposed to be spaced apart from each other;
A method of manufacturing a flexible organic light emitting display device in which a portion of the plurality of first inorganic layer patterns is in contact with a portion of the plurality of second inorganic layer patterns.
 제 13 항에서,
상기 제2 식각 단계 후에,
제2 마스크를 이용하여 상기 패턴화된 제2 무기막 패턴들 사이에 제2 유기막을 증착하는 제4 증착 단계;
상기 제2 유기막 상부에 제3 무기막을 증착하는 제5 증착 단계; 및
상기 제3 무기막을 상호 이격되어 배치되는 복수의 제3 무기막 패턴들을 포함하도록 패턴화하는 제3 식각 단계를 더 포함하는 가요성 유기 발광 표시 장치 제조 방법.In claim 13,
After the second etching step,
a fourth deposition step of depositing a second organic layer between the patterned second inorganic layer patterns using a second mask;
a fifth deposition step of depositing a third inorganic layer on the second organic layer; and
and a third etching step of patterning the third inorganic layer to include a plurality of third inorganic layer patterns spaced apart from each other.
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