KR102251264B1

KR102251264B1 - 불량 검출 방법

Info

Publication number: KR102251264B1
Application number: KR1020170030405A
Authority: KR
Inventors: 사토시 아라이; 미키 요시다; 마사요시 우치다
Original assignee: 가부시기가이샤 디스코
Priority date: 2016-03-14
Filing date: 2017-03-10
Publication date: 2021-05-11
Also published as: JP6639283B2; KR20170106924A; TW201731627A; JP2017164826A; CN107186900A; CN107186900B; TWI712464B

Abstract

본 발명은, 첨가제의 주입 불량을 적절하게 판정할 수 있는 불량 검출 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
가공액 공급 장치(40)에 있어서 첨가제의 주입 불량을 검출하는 불량 검출 방법으로서, 가공액 내의 첨가제의 농도를 설정하는 농도 설정 단계와, 농도 설정 단계에서 설정된 첨가제의 농도와, 유량계(44)로 계측된 액체의 유량을 바탕으로 첨가제의 첨가량을 산출하는 첨가량 산출 단계와, 첨가량 산출 단계에서 산출된 첨가량으로 첨가제를 액체에 첨가할 때에, 이송 펌프(64a, 64b)의 작동 시간이 적절한지 여부를 판별하는 이송 펌프 작동 판별 단계와, 이송 펌프 작동 판별 단계에서 이송 펌프의 작동 시간이 적절하지 않다고 판별된 경우에, 첨가제의 주입 불량이라고 판정하는 판정 단계를 포함한다.

Description

불량 검출 방법{DEFECT DETECTION METHOD}

본 발명은, 가공액으로의 첨가제의 주입 불량을 검출하는 불량 검출 방법에 관한 것이다.

반도체 웨이퍼로 대표되는 피가공물의 정전 파괴나, 가공시에 발생하는 칩(가공 칩) 등이 피가공물에 부착되는 것을 막기 위해, 대전방지용 첨가제가 주입, 혼합된 가공액을 이용하여 피가공물을 가공하는 경우가 있다. 가공액으로의 첨가제 주입은, 예컨대, 가공액 공급 장치에서 행해진다(예컨대, 특허문헌 1 참조).

그런데, 이 가공액 공급 장치에서는, 첨가제의 유로가 되는 배관(튜브)이 절곡되거나, 유로 내에 에어나 분진 등의 이물이 침입되어, 필요한 분량의 첨가제를 가공액에 주입할 수 없는 경우가 있었다. 그래서, 가공액의 도전율이나 비저항률 등을 계측하고, 그 값에 기초하여 적절한 분량의 첨가제가 주입되었는지 여부를 판정하는 방법 등도 검토되고 있다.

[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2007-222963호 공보

그러나, 전술한 방법에서는, 도전율이나 비저항률 등을 계측하는 계측기에 이상이 있으면, 예컨대, 적절한 분량의 첨가제가 주입되지 않음에도 불구하고, 주입되었다고 오판정할 가능성이 있다. 본 발명은 이러한 문제점을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 첨가제의 주입 불량을 적절하게 판정할 수 있는 불량 검출 방법을 제공하는 것이다.

본 발명의 일 양태에 따르면, 일단부가 액체 공급원에 접속되고 타단부가 가공 장치에 접속된 유로에 배치되어 상기 유로를 흐르는 액체의 유량을 계측하는 유량계와, 상기 액체에 첨가되는 첨가제를 수용하는 첨가제 용기와, 상기 첨가제 용기로부터 공급되는 첨가제를 저류하는 저류 용기와, 미리 정해진 양의 상기 첨가제가 상기 저류 용기에 항상 저류된 상태가 되도록 상기 첨가제를 상기 첨가제 용기로부터 상기 저류 용기로 이송하는 이송 펌프와, 상기 유로의 상기 유량계보다 하류측에 상기 저류 용기의 상기 첨가제를 주입하는 주입 펌프와, 상기 액체에 상기 첨가제를 주입하여 생성되는 가공액의 도전율 또는 전기 저항률을 계측하는 계측기를 구비하는 가공액 공급 장치에서의 첨가제의 주입 불량을 검출하는 불량 검출 방법으로서, 상기 가공액 내의 상기 첨가제의 농도를 설정하는 농도 설정 단계와, 상기 농도 설정 단계에서 설정된 상기 첨가제의 농도와, 상기 유량계로 계측된 상기 액체의 유량을 바탕으로 상기 첨가제의 첨가량을 산출하는 첨가량 산출 단계와, 상기 첨가량 산출 단계에서 산출된 첨가량으로 상기 첨가제를 상기 액체에 첨가할 때에, 이송 펌프의 작동 시간이 적절한지 여부를 판별하는 이송 펌프 작동 판별 단계와, 상기 이송 펌프 작동 판별 단계에서 상기 이송 펌프의 작동 시간이 적절하지 않다고 판별된 경우에, 상기 첨가제의 주입 불량이라고 판정하는 판정 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불량 검출 방법이 제공된다.

본 발명의 일 양태에 있어서, 상기 판정 단계에서 상기 첨가제의 주입 불량이라고 판정된 경우에, 경고를 발하는 경고 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 본 발명의 일 양태에 있어서, 상기 판정 단계에서 상기 첨가제의 주입 불량이라고 판정된 경우에, 상기 가공 장치의 가동을 정지시키는 정지 신호를 발하여 상기 가공 장치의 가동을 정지시키는 가공 장치 정지 단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.

본 발명의 일 양태에 따른 불량 검출 방법에서는, 첨가제를 미리 정해진 첨가량으로 첨가할 때에, 이송 펌프의 작동 시간이 적절한지 여부를 판별하고, 그 결과에 기초하여 첨가제가 적절히 주입되고 있는지 여부를 판정하기 때문에, 가공액의 도전율이나 비저항률 등을 계측하는 계측기에 이상이 있는 경우 등에도, 첨가제의 주입 불량을 적절히 판정할 수 있다.

도 1은 가공액 공급 장치가 병설된 절삭 장치의 구성예를 모식적으로 나타낸 사시도이다.
도 2는 가공액 공급 장치 등의 구성예를 모식적으로 나타낸 도면이다.

첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 일 양태에 따른 실시형태에 대해서 설명한다. 본 실시형태에 따른 불량 검출 방법은, 농도 설정 단계, 첨가량 산출 단계, 이송 펌프 작동 판별 단계, 판정 단계, 경고 단계 및 장치 정지 단계(가공 장치 정지 단계)를 포함한다.

농도 설정 단계에서는, 가공액 내의 첨가제의 농도를 원하는 값으로 설정한다. 첨가량 산출 단계에서는, 농도 설정 단계에서 설정된 첨가제의 농도와, 유량계로 계측된 액체의 유량을 바탕으로 첨가제의 첨가량을 산출한다. 이송 펌프 작동 판별 단계에서는, 첨가량 산출 단계에서 산출된 첨가량으로 첨가제를 첨가할 때에, 이송 펌프의 작동 시간이 적절한지 여부를 판별한다.

판정 단계에서는, 이송 펌프 작동 판별 단계에서 이송 펌프의 작동 시간이 적절하지 않다고 판별된 경우에, 첨가제의 주입 불량이라고 판정한다. 경고 단계에서는, 판정 단계에서 첨가제의 주입 불량이라고 판정된 경우에, 경고를 발한다. 장치 정지 단계에서는, 판정 단계에서 첨가제의 주입 불량이라고 판정된 경우에, 절삭 장치(가공 장치)의 가동을 정지시킨다. 이하, 본 실시형태에 따른 불량 검출 방법에 대해서 상세히 설명한다.

처음에, 본 실시형태의 불량 검출 방법을 이용하는 가공액 공급 장치 등에 대해서 설명한다. 도 1은 가공액 공급 장치가 병설된 절삭 장치(가공 장치)의 구성예를 모식적으로 나타낸 사시도이다. 또한, 본 실시형태에서는, 웨이퍼를 절삭하기 위한 절삭 장치에 대해서 설명하지만, 본 발명에 따른 가공 장치는, 연삭 장치, 연마 장치 등이라도 좋다.

도 1에 도시된 바와 같이, 절삭 장치(가공 장치)(2)는, 각 구조를 지지하는 베이스(4)를 구비하고 있다. 베이스(4)의 전방의 코너부에는, 승강 가능한 카세트 엘리베이터(6)가 배치되어 있다. 카세트 엘리베이터(6)의 상면에는, 복수의 피가공물(11)을 수용 가능한 카세트(8)가 실린다. 또한, 도 1에서는, 설명의 편의상, 카세트(8)의 윤곽만을 나타내고 있다.

피가공물(11)은, 예컨대, 실리콘 등의 반도체 재료로 이루어진 원반 형상의 웨이퍼이며, 그 표면측은, 중앙의 디바이스 영역과, 디바이스 영역을 둘러싸는 외주 잉여 영역으로 나뉘어져 있다.

디바이스 영역은, 격자형으로 배열된 분할 예정 라인(스트리트)에 의해 복수의 영역으로 더 구획되어 있고, 각 영역에는, IC, LSI 등의 디바이스가 형성되어 있다. 단, 피가공물(11)의 재질이나 형상, 디바이스의 종류 등에 제한은 없다. 예컨대, 패키지 기판, 세라믹스 기판, 수지 기판, 금속 기판 등을 피가공물(11)로서 이용할 수도 있다.

피가공물(11)의 이면측에는, 피가공물(11)보다 직경이 큰 다이싱 테이프(13)가 접착되어 있다. 이 다이싱 테이프(13)의 외주 부분에는, 알루미늄, 스테인레스 등의 금속 재료로 이루어진 환형의 프레임(15)이 고정되어 있다. 즉, 피가공물(11)은, 다이싱 테이프(13)를 통해 프레임(15)에 지지되어 있다.

Y축 방향(인덱싱 이송 방향)에 있어서 카세트 엘리베이터(6)에 인접하는 위치에는, 임시 배치 기구(10)가 배치되어 있다. 임시 배치 기구(10)는, 예컨대, Y축 방향으로 이동 가능한 푸시풀 기구(12)와, 서로 평행한 상태를 유지하면서 접근, 이격되는 한 쌍의 가이드 레일(14)을 포함한다.

푸시풀 기구(12)는, 카세트(8) 내의 피가공물(11)을 가이드 레일(14)로 인출하거나 또는 가이드 레일(14)에 실린 피가공물(11)을 카세트(8)에 삽입한다. 가이드 레일(14)은, 프레임(15)을 X축 방향(가공 이송 방향)에 있어서 끼움으로써 피가공물(11)을 미리 정해진 위치에 맞춘다.

X축 방향에 있어서 카세트 엘리베이터(6)에 인접하는 위치에는 직사각 형상의 개구(4a)가 형성되어 있다. 개구(4a) 내에는 X축 이동 테이블(16), X축 이동 테이블(16)을 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 기구(도시하지 않음) 및 X축 이동 기구를 덮는 방진 방적 커버(18)가 배치되어 있다.

X축 이동 기구는, X축 방향에 대략 평행한 한 쌍의 X축 가이드 레일(도시하지 않음)을 구비하고 있고, X축 가이드 레일에는, X축 이동 테이블(16)이 슬라이드 가능하게 부착되어 있다. X축 이동 테이블(16)의 하면측에는, 너트부(도시하지 않음)가 고정되어 있고, 이 너트부에는, X축 가이드 레일에 평행한 X축 볼나사(도시하지 않음)가 나사 결합되어 있다.

X축 볼나사의 일단부에는, X축 펄스 모터(도시하지 않음)가 연결되어 있다. X축 펄스 모터로 X축 볼나사를 회전시킴으로써, X축 이동 테이블(16)은 X축 가이드 레일을 따라 X축 방향으로 이동한다.

X축 이동 테이블(16)의 위쪽에는, 피가공물(11)을 흡인, 유지하기 위한 척 테이블(유지 수단)(20)이 배치되어 있다. 척 테이블(20)의 주위에는, 피가공물(11)을 지지하는 환형의 프레임(15)을 사방에서 협지, 고정하기 위한 클램프(22)가 배치되어 있다.

척 테이블(20)은, 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)에 연결되어 있고, Z축 방향(수직 방향)에 대략 평행한 회전축 주위로 회전한다. 또한, 척 테이블(20)은, 전술한 X축 이동 기구에 의해 X축 방향으로 이동한다. 척 테이블(20)의 상면은, 피가공물(11)을 흡인, 유지하는 유지면(20a)으로 되어 있다. 이 유지면(20a)은, 척 테이블(20)의 내부에 형성된 유로 등을 통해 흡인원(도시하지 않음)에 접속되어 있다.

개구(4a)와 임시 배치 기구(10) 사이의 위치에는, 피가공물(11)을 반송하는 제1 반송 기구(24)가 배치되어 있다. 제1 반송 기구(24)에 의해 임시 배치 기구(10)로부터 척 테이블(20)로 반송된 피가공물(11)은, 유지면(20a)에 작용하는 흡인원의 부압에 의해 척 테이블(20)에 흡인, 유지된다.

베이스(4)의 후방에는, 지지대(4b)가 배치되어 있다. 이 지지대(4b)의 개구(4a) 측에는, 피가공물(11)을 절삭하는 절삭 유닛(26)이 지지되어 있다. 절삭 유닛(26)은, Y축 이동 기구(도시하지 않음)에 의해 Y축 방향으로 이동함과 더불어, Z축 이동 기구(도시하지 않음)에 의해 Z축 방향으로 이동한다. 절삭 유닛(26)에 인접하는 위치에는, 피가공물(11)을 촬상하는 촬상 유닛(28)이 배치되어 있다.

절삭 유닛(26)은, 원환형의 절삭 블레이드(30)를 구비하고 있다. 이 절삭 블레이드(30)는, Y축 주위로 회전하는 스핀들(도시하지 않음)의 일단측에 장착되어 있다. 스핀들의 타단측에는 모터(도시하지 않음)가 연결되어 있고, 스핀들에 장착된 절삭 블레이드(30)를 회전시킨다.

개구(4a) 및 지지대(4b)의 근방에는, 원형의 개구(4c)가 형성되어 있고, 이 개구(4c) 내에는 세정 기구(32)가 배치되어 있다. 또한, 지지대(4b)의 개구(4c) 측의 측면에는, 피가공물(11)을 척 테이블(20)로부터 세정 기구(32)로 반송하는 제2 반송 기구(34)가 배치되어 있다. 지지대(4b)의 상면에는, 가공 상황 등을 표시하기 위한 모니터(36)가 배치되어 있다.

절삭 블레이드(30)의 근방에는, 피가공물(11)이나 절삭 블레이드(30)에 가공액을 공급하기 위한 노즐(38)이 배치되어 있다. 이 노즐(38)은, 예컨대, 절삭 장치(2)의 외부에 배치된 가공액 공급 장치(40)에 접속되어 있고, 가공액 공급 장치(40)로부터 공급되는 가공액(절삭액)을 피가공물(11)이나 절삭 블레이드(30)에 분사한다.

도 2는 가공액 공급 장치(40) 등의 구성예를 모식적으로 나타낸 도면이다. 가공액 공급 장치(40)는, 액체 공급원(42)으로부터 공급되는 순수 등의 액체에, 액상의 첨가제를 주입, 혼합하여, 절삭 장치(2)에서 사용되는 가공액(절삭액)을 생성할 수 있도록 구성되어 있다. 첨가제로는, 예컨대, 폴리에틸렌이민, 디시안디아미드 등으로 이루어진 고분자량의 수용성 양이온 폴리머가 사용된다.

가공액 공급 장치(40)는, 예컨대, 액체 공급원(42)으로부터 공급되는 액체의 유량을 계측하기 위한 유량계(44)를 구비하고 있다. 이 유량계(44)는, 상류단(일단부)이 액체 공급원(42)에 접속되고, 하류단(타단부)이 절삭 장치(2)(노즐(38))에 접속된 유로(46)의 상류측에 배치되어 있다.

유량계(44)로 계측되는 계측치는, 가공액 공급 장치(40)가 구비하는 제어 유닛(제어 수단)(48) 내의 첨가량 산출부(48a)로 보내진다. 첨가량 산출부(48a)는, 설정부(48b)에 설정되어 있는 가공액 내의 첨가제의 농도와, 유량계(44)의 계측치(즉, 유로(46)를 흐르는 액체의 유량)에 기초하여, 유로(46)를 흐르는 액체에 첨가해야 할 첨가제의 첨가량(예컨대, 유량)을 산출한다.

첨가량 산출부(48a)에서 산출된 첨가제의 첨가량은, 주입 펌프 제어부(48c)로 통지된다. 주입 펌프 제어부(48c)는, 첨가량 산출부(48a)로부터 통지되는 첨가제의 첨가량에 기초하여, 유로(46)에 첨가제를 주입하기 위한 주입 펌프(50)의 동작을 제어한다.

주입 펌프(50)는, 유량계(44)보다 하류측에서 유로(46)에 접속되어 있고, 첨가량 산출부(48a)로부터 통지되는 첨가제의 첨가량에 따라, 저류 용기(54)에 저류되어 있는 첨가제를 유로(46)에 주입한다. 이에 따라, 유로(46)를 흐르는 액체에 첨가제를 첨가하여, 원하는 농도의 첨가제를 포함하는 가공액을 생성할 수 있다.

유로(46)의 더욱 하류측에는, 생성된 가공액의 도전율이나 비저항률 등을 계측하기 위한 계측기(52)가 배치되어 있다. 계측기(52)로 계측되는 계측치는, 제어 유닛(48) 내의 제1 판정부(48d)로 보내진다.

예컨대, 계측기(52)의 계측치가 설정부(48b)에 설정되어 있는 첨가제의 농도에 대응한 값이 아닌 경우, 즉, 첨가제가 적절한 첨가량으로 첨가되어 있지 않은 경우, 제1 판정부(48d)는, 경고 발신부(48e)에 그 취지를 통지한다. 또한, 첨가제가 적절한 첨가량으로 첨가되지 않는 원인으로는, 예컨대, 유로(46)를 구성하는 배관의 절곡이나 유로(46) 내로의 이물의 침입 등에 기인하는 주입 펌프(50)의 공회전을 들 수 있다.

경고 발신부(48e)는, 제1 판정부(48d)로부터의 통지에 기초하여, 오퍼레이터 등에 대하여 첨가제가 적절한 첨가량으로 첨가되지 않는다는 취지의 경고를 발한다. 구체적으로는, 예컨대, 경고등(도시하지 않음)의 발광, 스피커(도시하지 않음)로부터의 통지음의 발생, 절삭 장치(2)가 구비하는 모니터(38)로의 표시 등의 방법으로 경고를 발한다.

저류 용기(54) 내에는, 첨가제의 액면의 높이를 검출하기 위한 액면 검출 센서(56)가 배치되어 있다. 이 액면 검출 센서(56)는, 상한 검출용 전극(58), 하한 검출용 전극(60) 및 공통 전극(62)을 포함한다.

상한 검출용 전극(58)은, +전극이며, 그 하단의 위치는, 상한이 되는 액면의 높이에 대응하고 있다. 또한, 하한 검출용 전극(60)은, +전극이며, 그 하단의 위치는, 하한이 되는 액면의 높이에 대응하고 있다. 한편, 공통 전극(62)은, 예컨대, -전극이며, 전원(도시하지 않음) 등을 통해 상한 검출용 전극(58) 및 하한 검출용 전극(60)에 접속된다.

그 때문에, 예컨대, 저류 용기(54) 내의 첨가제의 액면이 상한 검출용 전극(58)의 하단에 접하면, 상한 검출용 전극(58)과 공통 전극(62) 사이에 전류가 흐른다. 따라서, 이 전류를 이송 펌프 제어부(48f) 등에 의해 모니터링함으로써, 저류 용기(54) 내의 첨가제의 액면의 높이가 상한에 도달하였는지 여부(상한보다 낮은지 여부)를 확인할 수 있다.

또한, 예컨대, 저류 용기(54) 내의 첨가제의 액면이 하한 검출용 전극(60)의 하단에 접하면, 하한 검출용 전극(60)과 공통 전극(62) 사이에 전류가 흐른다. 따라서, 이 전류를 이송 펌프 제어부(48f) 등에 의해 모니터링함으로써, 저류 용기(54) 내의 첨가제의 액면의 높이가 하한에 도달하였는지 여부(하한보다 낮은지 여부)를 확인할 수 있다.

이송 펌프 제어부(48f)는, 저류 용기(54) 내의 첨가제의 액면의 높이가 상한에 도달하지 않았다고 판정한 경우, 제1 이송 펌프(64a) 또는 제2 이송 펌프(64b)를 작동시켜, 제1 첨가제 용기(66a) 또는 제2 첨가제 용기(66b)의 첨가제를 저류 용기(54)로 이송한다. 한편, 이송 펌프 제어부(48f)는, 저류 용기(54) 내의 첨가제의 액면의 높이가 상한에 도달하였다고 판정한 경우, 제1 이송 펌프(64a) 및 제2 이송 펌프(64b)를 정지시킨다.

또한, 제1 첨가제 용기(66a) 또는 제2 첨가제 용기(66b)가 비게 되면, 첨가제의 액면의 높이가 하한을 하회하는 경우가 있다. 이 경우, 이송 펌프 제어부(48f)는, 사용하는 이송 펌프를 전환하여, 첨가제가 남아 있는 첨가제 용기로부터 저류 용기(54)로 첨가제를 이송시킨다.

또한, 이송 펌프 제어부(48f)는, 예컨대, 제1 이송 펌프(64a) 및 제2 이송 펌프(64b)의 작동 시간(작동 타이밍이나 누적 작동 시간 등)에 관한 정보를, 제2 판정부(48g)로 통지한다. 마찬가지로, 주입 펌프 제어부(48c)는, 예컨대, 주입 펌프(50)의 작동 시간(작동 타이밍이나 누적 작동 시간 등)에 관한 정보를 제2 판정부(48g)로 통지한다.

제2 판정부(48g)는, 첨가량 산출부(48a)에서 산출된 첨가제의 첨가량, 제1 이송 펌프(64a) 및 제2 이송 펌프(64b)의 작동 시간, 주입 펌프(50)의 작동 시간 등의 정보에 기초하여, 제1 이송 펌프(64a) 및 제2 이송 펌프(64b)가 적절하게 작동하고 있는지 여부를 판별한다.

제1 이송 펌프(64a) 및 제2 이송 펌프(64b)가 적절하게 작동하지 않는다고 판별된 경우, 제2 판정부(48g)는, 첨가제의 주입 불량이 발생하고 있다고 판정한 후에, 그 판정 결과를 경고 발신부(48e) 및 정지 신호 송신부(48h)에 통지한다. 경고 발신부(48e)는, 제2 판정부(48g)로부터의 통지에 기초하여, 오퍼레이터 등에 대하여 첨가제가 적절한 첨가량으로 첨가되지 않는다는 취지의 경고를 발한다.

한편, 정지 신호 송신부(48h)는, 제2 판정부(48g)로부터의 통지에 기초하여, 절삭 장치(2)를 정지시키기 위한 정지 신호를 송신한다. 정지 신호 송신부(48h)로부터 송신된 정지 신호는, 절삭 장치(2)가 구비하는 제어 유닛(제어 수단)(68)의 정지 신호 수신부(68a)에서 수신되고, 정지부(68b)로 보내진다. 정지부(68b)는, 정지 신호 수신부(68a)로부터 보내지는 정지 신호에 기초하여 절삭 장치(2)를 정지시킨다.

다음에, 전술한 가공액 공급 장치(40)에서 실시되는 불량 검출 방법에 대해서 설명한다. 본 실시형태에 따른 불량 검출 방법에서는, 우선, 가공액 내의 첨가제의 농도를 원하는 값으로 설정하는 농도 설정 단계를 실시한다. 구체적으로는, 예컨대, 오퍼레이터 등에 의해, 피가공물(11)의 가공에 알맞은 첨가제의 농도가 제어 유닛(48) 내의 설정부(48b)에 설정된다.

농도 설정 단계 후에는, 농도 설정 단계에서 설정된 첨가제의 농도와, 유량계(44)로 계측된 액체의 유량을 바탕으로 첨가제의 첨가량을 산출하는 첨가량 산출 단계를 실시한다. 또한, 이 첨가량 산출 단계를 실시하기 전에는, 미리 액체 공급원(42)으로부터 유로(46)로의 액체의 공급을 시작해 둔다.

첨가량 산출 단계에서는, 우선, 유량계(44)로 계측된 계측치(즉, 유로(46)를 흐르는 액체의 유량)이 첨가량 산출부(48a)로 보내진다. 또한, 설정부(48b)에 설정되어 있는 첨가제의 농도가 첨가량 산출부(48a)로 통지된다. 첨가량 산출부(48a)는, 이들 정보에 기초하여, 유로(46)를 흐르는 액체에 첨가해야 할 첨가제의 첨가량(예컨대, 유량)을 산출한다.

예컨대, 유량계(44)로 계측된 계측치가 10 ℓ/min이며, 설정부(48b)에 설정되어 있는 첨가제의 농도가 100 ppm이라고 한다. 이 경우, 유로(46)를 흐르는 액체에 첨가해야 할 첨가제의 첨가량은, 예컨대, 1 ㎖/min 정도가 된다.

첨가량 산출 단계 후에는, 첨가량 산출 단계에서 산출된 첨가량으로 첨가제를 첨가할 때에, 제1 이송 펌프(64a) 및 제2 이송 펌프(64b)의 작동 시간이 적절한지 여부를 판별하는 이송 펌프 작동 판별 단계를 실시한다. 즉, 이 이송 펌프 작동 판별 단계는, 주입 펌프(50)에 의해 유로(46)에 첨가제를 주입할 때에 수행된다.

주입 펌프(50)에 의한 첨가제의 주입은, 예컨대, 다음과 같은 절차로 행해진다. 우선, 첨가량 산출부(48a)에서 산출된 첨가제의 첨가량이 주입 펌프 제어부(48c)에 통지된다. 주입 펌프 제어부(48c)는, 통지된 첨가제의 첨가량에 기초하여 주입 펌프(50)를 작동시켜, 저류 용기(54)에 저류되어 있는 첨가제를 유로(46)에 주입한다.

이에 따라, 유로(46)를 흐르는 액체에 첨가제를 첨가하여, 원하는 농도의 첨가제를 포함하는 가공액을 생성할 수 있다. 또한, 생성된 가공액은, 유로(46)를 통해 절삭 장치(2)(노즐(38))로 공급된다.

가공액의 생성에 따라, 저류 용기(54)에 저류되어 있는 첨가제는 감소한다. 이송 펌프 제어부(48f)는, 이 첨가제의 감소를 액면 검출 센서(56)로 검출한다. 첨가제의 감소가 검출되면, 이송 펌프 제어부(48f)는, 제1 이송 펌프(64a) 또는 제2 이송 펌프(64b)를 작동시켜, 제1 첨가제 용기(66a) 또는 제2 첨가제 용기(66b)의 첨가제를 저류 용기(54)로 이송한다.

여기서, 저류 용기(54)에 저류되어 있는 첨가제의 감소량은, 유로(46)에 주입되어야 할 첨가제의 첨가량, 즉, 첨가량 산출부(48a)에서 산출된 첨가제의 첨가량이나, 주입 펌프(50)의 누적 작동 시간 등에 따라 결정된다. 예컨대, 첨가량이 1 ㎖/min이며, 주입 펌프(50)의 누적 작동 시간이 100분인 경우, 저류 용기(54)의 첨가제의 감소량은 100 ㎖가 된다.

따라서, 제2 판정부(48g)는, 상정되는 첨가제의 감소량 등을 기준으로, 제1 이송 펌프(64a) 및 제2 이송 펌프(64b)의 작동 타이밍 등이 적절한지 여부를 판별할 수 있다. 예컨대, 상정되는 첨가제의 감소량이 미리 정해진 임계치(예컨대, 100 ㎖)에 도달한 타이밍에 제1 이송 펌프(64a) 또는 제2 이송 펌프(64b)가 작동하지 않는 경우에, 제2 판정부(48g)는, 제1 이송 펌프(64a) 및 제2 이송 펌프(64b)의 작동 시간이 적절하지 않다고 판별한다. 또한, 이 임계치는, 임의로 설정할 수 있다.

이송 펌프 작동 판별 단계 후에는, 이송 펌프 작동 판별 단계에서 이송 펌프의 작동 시간이 적절하지 않다고 판별된 경우에, 첨가제의 주입 불량이라고 판정하는 판정 단계를 실시한다. 구체적으로는, 제1 이송 펌프(64a) 및 제2 이송 펌프(64b)가 적절하게 작동하지 않는다고 판별된 경우, 제2 판정부(48g)는, 첨가제의 주입 불량이 발생하고 있다고 판정한 후에, 그 판정 결과를 경고 발신부(48e) 및 정지 신호 송신부(48h)에 통지한다.

판정 단계 후에는, 판정 단계에서 첨가제의 주입 불량이라고 판정된 경우에, 경고를 발하는 경고 단계를 실시한다. 구체적으로는, 예컨대, 경고 발신부(48e)는, 오퍼레이터 등에 대하여, 경고등(도시하지 않음)의 발광, 스피커(도시하지 않음)로부터의 통지음의 발생, 절삭 장치(2)가 구비하는 모니터(38)에의 표시 등의 방법으로 경고를 발한다.

또한, 판정 단계 후에는, 판정 단계에서 첨가제의 주입 불량이라고 판정된 경우에, 절삭 장치(2)의 가동을 정지시키는 장치 정지 단계를 실시한다. 구체적으로는, 예컨대, 정지 신호 송신부(48h)는, 제2 판정부(48g)로부터의 통지에 기초하여, 절삭 장치(2)를 정지시키기 위한 정지 신호를 송신한다.

정지 신호 송신부(48h)로부터 송신된 정지 신호는, 제어 유닛(68)의 정지 신호 수신부(68a)에서 수신되어, 정지부(68b)로 보내진다. 정지부(68b)는, 정지 신호 수신부(68a)로부터 보내지는 정지 신호에 기초하여 절삭 장치(2)를 정지시킨다.

이상과 같이, 본 실시형태에 따른 불량 검출 방법에서는, 첨가제를 미리 정해진 첨가량으로 첨가할 때에, 제1 이송 펌프(64a) 및 제2 이송 펌프(64b)의 작동 시간이 적절한지 여부를 판별하고, 그 결과에 기초하여 첨가제가 적절히 주입되었는지 여부를 판정하기 때문에, 예컨대, 가공액의 도전율이나 비저항률 등을 계측하는 계측기(52)에 이상이 있어, 첨가제가 적절하게 주입되고 있지 않음에도 불구하고 계측기(52)의 계측치가 정상치(적정치)를 나타내는 경우 등에도, 첨가제의 주입 불량을 적절하게 판정할 수 있다.

또한, 본 실시형태에 따른 불량 검출 방법에서는, 첨가제의 주입 불량이라고 판정된 경우에, 경고를 발하는 경고 단계나, 절삭 장치(가공 장치)(2)의 가동을 정지시키는 장치 정지 단계(가공 장치 정지 단계)를 실시하기 때문에, 절삭 장치(2)에서의 가공 불량에 의해 많은 피가공물(11)을 낭비해 버리는 일도 없다.

또한, 본 발명은 상기 실시형태의 기재에 한정되지 않고, 여러 가지 변경하여 실시 가능하다. 예컨대, 상기 실시형태에 따른 불량 검출 방법과, 가공액의 도전율이나 비저항률 등에 기초하여 첨가제의 주입 불량을 판정하는 불량 검출 방법을 병용하여도 좋다.

그 밖에, 상기 실시형태에 따른 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적 범위를 일탈하지 않는 한 적절하게 변경하여 실시할 수 있다.

2 : 절삭 장치(가공 장치) 4 : 베이스
4a : 개구 4b : 지지대
4c : 개구 6 : 카세트 엘리베이터
8 : 카세트 10 : 임시 배치 기구
12 : 푸시풀 기구 14 : 가이드 레일
16 : X축 이동 테이블 18 : 방진 방적 커버
20 : 척 테이블(유지 수단) 20a : 유지면
22 : 클램프 24 : 제1 반송 기구
26 : 절삭 유닛 28 : 촬상 유닛
30 : 절삭 블레이드 32 : 세정 기구
34 : 제2 반송 기구 36 : 모니터
38 : 노즐 40 : 가공액 공급 장치
42 : 액체 공급원 44 : 유량계
46 : 유로 48 : 제어 유닛(제어 수단)
48a : 첨가량 산출부 48b : 설정부
48c : 주입 펌프 제어부 48d : 제1 판정부
48e : 경고 발신부 48f : 이송 펌프 제어부
48g : 제2 판정부 48h : 정지 신호 송신부
50 : 주입 펌프 52 : 계측기
54 : 저류 용기 56 : 액면 검출 센서
58 : 상한 검출용 전극 60 : 하한 검출용 전극
62 : 공통 전극 64a : 제1 이송 펌프
64b : 제2 이송 펌프 66a : 제1 첨가제 용기
66b : 제2 첨가제 용기 68 : 제어 유닛(제어 수단)
68a : 정지 신호 수신부 68b : 정지부
11 : 피가공물 13 : 다이싱 테이프
15 : 프레임

Claims

일단부가 액체 공급원에 접속되고 타단부가 가공 장치에 접속된 유로에 배치되어 상기 유로를 흐르는 액체의 유량을 계측하는 유량계와, 상기 액체에 첨가되는 첨가제를 수용하는 첨가제 용기와, 상기 첨가제 용기로부터 공급되는 첨가제를 저류하는 저류 용기와, 미리 정해진 양의 상기 첨가제가 상기 저류 용기에 항상 저류된 상태가 되도록 상기 첨가제를 상기 첨가제 용기로부터 상기 저류 용기로 이송하는 이송 펌프와, 상기 유로의 상기 유량계보다 하류측에 상기 저류 용기의 상기 첨가제를 주입하는 주입 펌프와, 상기 액체에 상기 첨가제를 주입하여 생성되는 가공액의 도전율 또는 전기 저항률을 계측하는 계측기를 구비하는 가공액 공급 장치에서의 첨가제의 주입 불량을 검출하는 불량 검출 방법에 있어서,
상기 가공액 내의 상기 첨가제의 농도를 설정하는 농도 설정 단계와;
상기 농도 설정 단계에서 설정된 상기 첨가제의 농도와, 상기 유량계에서 계측된 상기 액체의 유량을 바탕으로 상기 첨가제의 첨가량을 산출하는 첨가량 산출 단계와;
상기 첨가량 산출 단계에서 산출된 첨가량으로 상기 첨가제를 상기 액체에 첨가할 때에, 이송 펌프의 작동 시간이 적절한지 여부를 판별하는 이송 펌프 작동 판별 단계와;
상기 계측기에 의하여 상기 가공액의 도전율 또는 전기 저항률을 계측하고, 상기 가공액의 도전율 또는 전기 저항률이 설정된 상기 첨가제의 농도에 대응한 값인지 여부를 판정하는 계측 단계와;
상기 가공액의 도전율 또는 전기 저항률이 설정된 상기 첨가제의 농도에 대응하지 않거나, 또는 상기 가공액의 도전율 또는 전기 저항률이 설정된 상기 첨가제의 농도에 대응한 값이고 상기 이송 펌프 작동 판별 단계에서 상기 이송 펌프의 작동 시간이 적절하지 않다고 판별된 경우에, 상기 첨가제의 주입 불량이라고 판정하는 판정 단계와;
상기 판정 단계에서 상기 첨가제의 주입 불량이라고 판정된 경우에, 상기 가공 장치의 가동을 정지시키는 정지 신호를 발하여 상기 가공 장치의 가동을 정지시키는 가공 장치 정지 단계
를 포함하고,
상기 이송 펌프 작동 판별 단계는:
상기 첨가제의 첨가량 및 상기 주입 펌프의 누적 작동 시간에 따라, 상기 저류 용기에 저류되어 있는 상기 첨가제의 감소량을 결정하는 단계; 및
상기 감소량이 미리 정해진 임계치에 도달한 타이밍에 상기 이송 펌프가 작동하지 않는 경우에, 상기 이송 펌프의 작동 시간이 적절하지 않다고 판별하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 불량 검출 방법.
제1항에 있어서,
상기 판정 단계에서 상기 첨가제의 주입 불량이라고 판정된 경우에, 경고를 발하는 경고 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 불량 검출 방법.
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