KR102249575B1 - 반도체소자 테스트용 핸들러 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체소자의 테스트를 지원하는 핸들러에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는, 테스트되어야할 반도체소자를 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩하는 로딩장치; 상기 로딩장치에 의해 반도체소자의 로딩이 완료된 테스트트레이를 수용하여 설정된 온도 조건으로 테스트트레이에 적재된 반도체소자의 온도를 조절하기 위해 마련되며, 외부에서 내부로 인입되는 케이블이 통과할 수 있는 케이블구멍을 가지는 챔버; 상기 챔버 내부의 테스트위치에서 적재된 반도체소자의 테스트가 완료된 테스트트레이가 언로딩위치로 오면, 상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 언로딩하는 언로딩장치; 및 상기 케이블구멍으로 케이블은 통과시키면서 상기 챔버의 내부와 외부를 단열시키기 위해 마련되는 단열블럭; 을 포함하고, 상기 단열블럭은 상기 케이블구멍을 가지는 벽면 측에 탈착 가능하게 결합된다.
본 발명에 따르면, 문제된 케이블만 별도의 분리하여 교체 작업을 수행하면 되기 때문에 교체 작업이 간편하여 시간과 인력의 소모를 최소화시키고, 작업 도중 다른 케이블 손상이 방지되는 등 전체적으로 작업성이 향상된다.

Description

반도체소자 테스트용 핸들러{HANDLER FOR TESTING SEMICONDUCTOR}
본 발명은 테스터에 의한 반도체소자의 테스트를 지원하는 테스트핸들러에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 테스트핸들러에서 반도체소자를 테스터에 전기적으로 연결시키는 부분과 관계가 있다.
테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자를 등급별로 분류하여 고객 트레이에 적재하는 기기이다.
도1은 일반적인 테스트핸들러(100)를 평면에서 바라본 개념도이다.
도1에서와 같이, 테스트핸들러(100)는 로딩장치(110), 제1 챔버(120), 테스트챔버(130), 연결장치(140), 제2 챔버(150) 및 언로딩장치(160) 등을 포함하여 구성된다.
로딩장치(110)는 고객트레이(CTn)에 적재되어 있는 테스트되어야 할 반도체소자들을 로딩위치(LP : LOADING POSITION)에 있는 수평 상태의 테스트트레이(TT)로 로딩(LOADING)시킨다.
제1 챔버(120)는 로딩위치(LP)로부터 이송되어 온 테스트트레이(TT)에 로딩되어 있는 반도체소자들을 테스트 환경조건에 따라 예열(豫熱) 또는 예냉(豫冷)시키기 위해 마련된다.
테스트챔버(130)는 제1 챔버(120)에서 예열/예냉된 후 테스트위치(TP : TEST POSITION)로 이송되어 온 테스트트레이(TT)에 적재되어 있는 반도체소자들을 테스트하기 위해 마련된다.
연결장치(140)는 테스트챔버(130) 내에 있는 테스트트레이(TT)를 테스트챔버(130) 측에 결합되어 있는 테스터의 인터페이스보드(IB) 측으로 밀어 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결시킨다.
제2 챔버(150)는 테스트챔버(130)로부터 이송되어 온 테스트트레이(TT)에 적재되어 있는 가열 또는 냉각된 반도체소자들을 상온(常溫)으로 회귀시키기 위해 마련된다.
언로딩장치(160)는 제2 챔버(160)로부터 언로딩위치(UP : UNLOADING POSITION)로 온 테스트트레이(TT)에 적재되어 있는 반도체소자들을 테스트 등급별로 분류하면서 빈 고객트레이(CTe)로 언로딩(UNLOADING)시킨다.
그리고 언로딩위치(UP)에서 적재된 반도체소자의 언로딩이 완료된 테스트트레이(TT)는 로딩위치(LP)로 이송된다.
참고로 테스트핸들러에는 수평식과 수직식이 있다. 수평식 테스트핸들러에서는 테스트트레이가 수평인 상태에서 적재된 반도체소자가 테스터에 전기적으로 연결되고, 수직식 테스트핸들러에서는 테스트트레이가 수직인 상태에서 적재된 반도체소자가 테스터에 전기적으로 연결된다. 도1은 수직식 테스트핸들러의 예이다.
이상에서 설명한 바와 같이, 테스트트레이(TT)는 미도시한 다수의 이송장치에 의해 로딩위치(LP)로부터 제1 챔버(120), 테스트챔버(130), 제2 챔버(150) 및 언로딩위치(UP)를 거쳐 다시 로딩위치(LP)로 이어지는 폐쇄경로(C)를 따라 순환 이동한다.
참고로, 근자에 본 출원인에 의해 개발된 테스트핸들러(100)의 경우에는 위의 제1 챔버(120)와 제2 챔버(150)의 역할은 바뀔 수 있고, 이러한 경우 테스트트레이(TT)의 이동 경로도 바뀔 수 있다.
한편, 제1 챔버(120), 테스트챔버(130), 제2 챔버(150)에는 히터, 칠러 및 온도센서 등의 작동에 필요한 전원 케이블, 온도센서를 포함한 각종 센서 등에 의해 감지된 정보를 가져오기 위한 정보 케이블, 기타 부품들의 제어나 동작에 필요한 케이블 등과 같은 각종 케이블을 챔버(120, 130, 150)의 외부에서 내부로 인입시키기 위한 케이블구멍을 가진다. 물론, 제1 챔버(120), 테스트챔버(130), 제2 챔버(150) 중 어느 하나에만 케이블구멍이 형성되어서 해당 케이블구멍으로 인입된 케이블들이 나머지 챔버(120, 130, 150)들로 나뉘도록 구현될 수도 있다. 또한, 핸들러에 따라서는 하나의 챔버만이 구비될 수도 있다. 그리고 위와 같은 챔버(120, 130, 150)는 정교한 온도 조절을 위해 내부가 외부로부터 단열되어야 한다.
종래에는 도2에서와 같이 챔버(CB, 120, 130, 150)에 형성된 케이블구멍(CH)으로 각종 케이블(CL)들을 통과시킨 후, 단열을 위해 실리콘(SC)으로 마감을 하였다.
그런데, 장비의 생산 도중에 생산 작업의 불량으로 케이블(CL)들이 단선(특히, 광섬유로된 케이블)되거나 장비의 가동 중의 부품 고장이나 케이블(CL)의 단선 등에 의해 케이블(CL)을 재설치 해야 되는 경우가 종종 발생한다. 이러한 경우 종래기술에 의하면 고형화된 실리콘(SC)을 모두 벗겨낸 후 재작업해야 되는 번거로움과 불편함으로 인해 시간과 인력의 낭비가 발생하고, 정비 과정에서 다른 케이블(CL)까지 손상되는 경우가 있었다. 물론, 실리콘(SC) 마감에 따른 외관의 미감도 제품의 품위를 손상시킨다.
대한민국 공개특허 10-2014-0101456호
본 발명의 목적은 챔버의 내부와 외부 간의 단열을 유지하면서 챔버에 형성된 케이블구멍의 마감을 실리콘이 아닌 별개로 구성된 구조물에 의해 처리할 수 있는 기술을 제공하는 것이다.
위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반도체소자 테스트용 핸들러는, 테스트되어야할 반도체소자를 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩하는 로딩장치; 상기 로딩장치에 의해 반도체소자의 로딩이 완료된 테스트트레이를 수용하여 설정된 온도 조건으로 테스트트레이에 적재된 반도체소자의 온도를 조절하기 위해 마련되며, 외부에서 내부로 인입되는 케이블이 통과할 수 있는 케이블구멍을 가지는 챔버; 상기 챔버 내부의 테스트위치에서 적재된 반도체소자의 테스트가 완료된 테스트트레이가 언로딩위치로 오면, 상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 언로딩하는 언로딩장치; 및 상기 케이블구멍으로 케이블은 통과시키면서 상기 챔버의 내부와 외부를 단열시키기 위해 마련되는 단열블럭; 을 포함하고, 상기 단열블럭은 상기 케이블구멍을 가지는 벽면 측에 탈착 가능하게 결합된다.
상기 단열블럭은, 상기 케이블구멍을 가지는 벽면 측에 탈착 가능하게 결합되며, 설치구멍을 가지는 본체; 및 상기 설치구멍에 설치되며, 케이블이 통과될 수 있는 통과구멍을 가지는 케이블홀더; 를 포함한다.
상기 케이블홀더는 상기 설치구멍에 끼워짐으로써 설치될 수 있다.
상기 본체는 상기 설치구멍의 내경과 상기 케이블홀더의 외경 사이에 단열 공기를 주입시킬 수 있는 주입유로를 가질 수 있다.
상기 본체는, 상기 케이블홀더가 삽입 설치되는 설치홈을 가지는 설치판; 및 상기 설치판에 탈착 가능하게 결합되며, 상기 설치홈에 삽입 설치된 상기 케이블홀더를 고정시키기 위한 고정판; 을 포함할 수 있으며, 상기 설치홈은 상기 설치판과 상기 고정판의 결합에 의해 상기 설치구멍을 이루게 된다.
상기 케이블홀더는 상기 고정판이 상기 설치판에 결합되면서 가해지는 가압력에 의해 형태가 변형될 수 있는 단열소재로 구비되는 것이 바람직하다.
상기 단열블럭은, 상기 케이블구멍을 가지는 벽면에 탈착 가능하게 결합되며, 상기 설치구멍을 통과한 케이블이 지나갈 수 있는 패스구멍을 가지는 결합부재; 를 더 포함하고, 상기 본체는 상기 결합부재에 탈착 가능하게 결합됨으로써 상기 케이블구멍을 가지는 벽면 측에 탈착 가능하게 결합될 수 있다.
상기 케이블홀더는 2개 이상의 부속품으로 분할되게 구비될 수 있다.
위와 같은 본 발명에 따르면 다음과 같은 효과가 있다.
첫째, 불량이 발생한 케이블만 분리하여 케이블 교체 작업을 수행하면 되기 때문에 교체 작업이 간편하여 시간과 인력의 소모를 최소화시키고, 작업 도중 다른 케이블을 건드릴 소지가 줄어들어서 다른 케이블의 손상이 방지되는 등 전체적으로 작업성이 향상된다.
둘째, 단열블럭에 의해 케이블구멍이 마감되기 때문에 장비의 외관이 깔끔하여 제품의 품위를 향상시킨다.
도1은 종래의 일반적인 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도이다.
도2는 종래기술의 문제점을 설명하기 위한 참조도이다.
도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트핸들러에 대한 개념적인 평면도이다.
도4는 도3의 테스트핸들러에 적용된 제1 실시예에 따른 단열블럭에 대한 개략적인 일부 분해사시도이다.
도5는 도4의 단열블럭에 대한 단면도이다.
도6은 도3의 테스트핸들러에 적용된 제2 실시예에 따른 단열블럭에 대한 개략적인 일부 분해사시도이다.
도7은 도5의 단열블럭에 대한 단면도이다.
도8 및 도9는 도4 또는 도6의 단열블럭에 적용된 케이블홀더에 대한 응용예들을 도시하고 있다.
이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축한다. 또한, 후술될 제1 실시예와 제2 실시예에서 동일한 기능과 작용을 하는 구성들은 형태나 구조가 다소 다르더라도 동일한 부호로 표기한다.
<테스트핸들러에 대한 설명>
도3은 본 발명의 일 실시예에 따른 테스트핸들러(300)를 평면에서 바라본 개념도이다.
도3에서와 같이, 테스트핸들러(300)는 로딩장치(310), 제1 챔버(320), 테스트챔버(330), 연결장치(340), 제2 챔버(350), 언로딩장치(360) 및 단열블럭(370) 등을 포함하여 구성된다.
위의 구성들 중 로딩장치(310), 제1 챔버(320), 테스트챔버(330), 연결장치(340), 제2 챔버(350), 언로딩장치(360)는 각각 도1의 로딩장치(110), 제1 챔버(120), 테스트챔버(130), 연결장치(140), 제2 챔버(150) 및 언로딩장치(160)와 기능 및 작용이 동일하므로 그 설명을 생략한다.
한편, 단열블럭(370)은 테스트챔버(330)에 형성된 케이블구멍(CH)으로 케이블은 통과시키면서 테스트챔버(330)의 내부와 외부를 단열시키기 위해 마련된다. 그리고 단열블럭(370)은 케이블구멍(CH)을 가지는 테스트챔버(330)의 벽면에 탈착 가능하게 결합된다. 물론, 실시하기에 따라서는 제1 챔버(320)와 제2 챔버(350)에도 각각 케이블구멍(CH)이 형성될 수 있고, 각각의 케이블구멍(CH)에 모두 단열블럭(370)이 설치될 수 있다. 본 발명은 이러한 단열블럭(370)에 특징을 가지므로, 이하에서 실시예 별로 나누어 단열블럭(370)에 대하여 자세히 살펴본다.
<단열블럭에 대한 제1 실시예>
도4는 제1 실시예에 따른 단열블럭(370)에 대한 일부 분해사시도이고, 도5는 도4의 단열블럭(370)에 대한 단면도이다.
본 실시예에 따른 단열블럭(370)은 본체(371) 및 다수의 케이블홀더(372)를 포함한다.
본체(371)는 결합수단인 볼트(B)에 의해 케이블구멍(CH)이 형성된 챔버(CB)의 벽면(W)에 탈착 가능하게 결합되며, 케이블홀더(372)가 끼워지는 다수의 설치구멍(IH)을 가진다. 여기서 본 실시예에서의 챔버(CB)는 테스트챔버(130)를 상정하고 있지만, 제1 챔버(120)나 제2 챔버(150) 중 어느 하나일 수 있거나 모두 일 수 있다. 또한, 본체(371)에는 설치구멍(IH)들을 지나면서 설치구멍(IH)의 내경과 케이블홀더(372)의 외경 사이에 단열공기를 주입시키기 위한 주입유로(AR)가 형성되어 있다. 여기서 단열공기는 건조 공기(dry air)인 것이 바람직하다.
케이블홀더(372)는 설치구멍(IH)에 끼움에 의해 삽입 설치된다. 이러한 케이블홀더(372)는 케이블(CL)이 통과될 수 있는 통과구멍(TH)을 가진다. 그리고 주입유로(AR)가 지나가는 부분에서 케이블홀더(372)의 외경의 직경(D1)은 설치구멍(IH)의 내경의 직경(D2)보다 작다. 따라서 주입유로(AR)로 공급되는 단열공기는 주입유로(AR)를 통한 공기의 이동 경로(M) 상에서 전단에 있는 설치구멍(IH)에서 후단에 있는 설치구멍(IH) 측으로 이동될 수 있다.
또한, 설치구멍(IH)을 통한 챔버(CB)의 내부와 외부의 열교환을 방지하기 위해 설치구멍(IH)의 내경과 케이블홀더(372)의 외경 사이를 밀봉시키기 위한 밀봉링(SR)들이 구비된다.
참고로, 실시하기에 따라서는 단열을 위해 케이블홀더(372)의 외면과 설치구멍(IH)을 이루는 내벽 간에는 간극이 존재하는 구조로 구성하고, 밀봉링(SR)에 의해서만 케이블홀더(372)가 설치구멍(IH)에 끼움된 상태를 유지하도록 하는 것도 충분히 고려될 수 있다.
한편, 케이블(CL)이 케이블홀더(372)에 바람직하게 고정될 수 있도록 케이블홀더(372)의 상단과 하단에 고정패드(SP)들이 구비된다. 이러한 고정패드(SP)들은 케이블(CL)을 고정하는 기능 외에도 통과구멍(TH)을 통한 챔버(CB)의 내부와 외부의 열교환을 차단하는 기능도 가진다.
계속하여 위와 같은 단열블럭(370)의 사용에 대하여 설명한다.
핸들러(300)의 생산 조립 작업 또는 핸들러(300)의 가동 중에 내부 부품의 고장이나 케이블(CL)의 단선 등으로 인하여 케이블(CL)을 교체해야 할 필요성이 있으면, 작업자는 도4에서와 같이 해당 케이블(CL)이 고정된 케이블홀더(372)를 본체로부터 분리시킨다. 그리고 케이블(CL)을 교체한 후 케이블홀더(372)를 설치구멍(IH)에 다시 끼운다.
또한, 핸들러(300)의 가동 시에는 주입유로(AR)를 통해 단열공기가 주입되기 때문에 챔버(CB)의 내부와 외부 사이에 단열공기에 의한 단열벽이 형성되어 챔버(CB)의 내부와 외부 사이의 단열 효과를 더욱 향상시킨다. 물론, 주입유로(AR)를 통해 고압으로 공급되는 단열공기는 설치구멍(IH)의 내경과 케이블홀더(372)의 외경 사이에 있을 수 있는 미세한 틈을 통해 챔버(CB)의 내부와 외부로 미세한 양이 지속적으로 빠져나가지만, 빠져나가는 양만큼 주입유로(AR)를 통해 단열공기가 지속적으로 보충된다. 이에 따라 주입유로(AR) 상에는 챔버(CB)의 내부나 외부의 온도 영향을 직접적으로 받지 않는 단열공기가 존재함으로 인하여, 단열 성능이 더욱 향상되고 유지될 수 있다.
참고로, 본체(371)와 케이블홀더(372)는 금속보다 단열 성능이 좋은 에폭시와 같은 합성수지 소재로 구비되는 것이 바람직하다.
<단열블럭에 대한 제2 실시예>
도6은 제2 실시예에 따른 단열블럭(370)에 대한 분해사시도이고, 도7은 도6의 단열블럭(370)에 대한 단면도이다.
본 실시예에 따른 단열블럭(370)은 본체(371), 다수의 케이블홀더(372) 및 결합부재(373)를 포함한다.
본체(371)는 케이블홀더(372)가 설치되는 설치구멍(IH, 도2 참조)을 가진다. 본 실시예에서의 본체(371)는 설치판(371a)과 고정판(371b)을 포함한다. 그리고 본체(371)는 볼트(B1)와 같은 결합수단에 의해 결합부재(373)에 결합된다.
설치판(371a)은 케이블홀더(372)가 삽입 설치되는 설치홈(IS)들을 가진다.
고정판(371b)은 볼트(B2)와 같은 결합수단에 의해 설치판(371a)에 탈착 가능하게 결합되며, 설치홈(IS)들에 삽입 설치된 케이블홀더(372)를 고정시킨다. 이러한 고정판(371b)이 설치판(371a)에 결합됨으로써 설치홈(IS)들은 설치구멍(IH)을 이루게 된다.
물론, 실시하기에 따라서는 고정판(371b)에도 설치판(371a)의 설치홈(IS)에 대응되는 위치에 유사한 대응홈이 형성될 수도 있다. 다만, 이러한 경우에도 대응홈은 고정판(371b)이 케이블홀더(372)를 가압할 수 있는 정도의 깊이를 가져야 한다.
케이블홀더(372)는 설치홈(IS)에 삽입 설치된다. 또한, 제1 실시예에서와 같이 케이블홀더(372)는 케이블(CL)이 통과될 수 있는 통과구멍(TH)을 가진다. 이러한 케이블홀더(372)는 발포 실리콘과 같이 단열 성능이 좋으면서 탄성 변형이 가능한 단열소재로 구비되는 것이 바람직하다. 이에 따라 설치홈(IS)에 삽입된 케이블홀더(372)는 고정판(371b)이 설치판(371a)에 결합되면서 고정판(371b)에 의해 눌려 형상 변형되면서 설치구멍(IH)에 고정되고, 밀폐성도 견고하게 유지될 수 있다.
참고로 케이블(CL)이 설치되는 케이블홀더(372)의 상단 부분과 하단 부분은 케이블 타이(CT, 도7 참조) 같은 묶음수단에 의해 묶여짐으로써 케이블(CL)이 케이블홀더(372)에 일체로 결합될 수 있다.
결합부재(373)는 볼트(B3)와 같은 결합수단에 의해 케이블구멍(CH)을 가지는 챔버(CB)의 벽면(W)에 탈착 가능하게 결합된다. 이러한 결합부재(373)는 설치구멍(IH)을 통과한 케이블(CL)이 지나갈 수 있는 패스구멍(PH)을 가진다.
마찬가지로, 위의 설치판(371a), 고정판(371b) 및 결합수단(373)은 단열 성능이 좋은 에폭시와 같은 합성수지 소재로 구비되는 것이 바람직하다.
위와 같은 제2 실시예에 따르면 케이블(CL)의 교체 시에 해당 케이블(CL)이 고정된 케이블홀더(372)를 설치구멍(IH)으로부터 잡아 뺀 후 교체 작업을 수행할 수도 있고, 고정판(371b)을 설치판(371a)으로부터 분리시킨 후 해당 케이블(CL)이 고정된 케이블홀더(372)를 설치홈(IS)으로부터 탈거하는 방식으로 교체 작업을 수행할 수도 있다. 참고로, 본 실시예에서의 케이블홀더(372)는 교체 작업 시에 재활용하여도 되고, 기존 것을 버리고 새로운 것으로 교체하여도 된다.
<기타 사항>
1. 위의 실시예에서는 케이블(CL)의 외면이 통과구멍(TH)을 이루는 내면에 접촉되는 것으로 표현되었지만, 실시하기에 따라서는 단열을 위해 케이블(CL)의 외면과 통과구멍(TH)을 이루는 내면이 서로 접촉하지 않는 구조를 가지도록 하고, 고정패드(SP)와 케이블 타이(CT)에 의해 케이블(CL)이 케이블홀더(372)에 고정 설치되도록 구현될 수도 있다.
2. 또한, 위의 실시예에서는 케이블홀더(372)가 단일한 몸체로 이루어져 있지만, 실시하기에 따라서는 케이블홀더(372)가 도8에서 참조되는 바와 같이 2개의 부속품으로 분할되게 구현되거나 3개 이상의 부속품으로 분할될 수 있다. 도8과 같은 케이블홀더(372)에 의하면 통과구멍(TH)으로 통과될 수 없는 케이블(CL)의 설치가 가능해진다. 분할된 부속품들은 밀봉링(SR)이나 케이블 타이(CT)에 의해 결합될 수 있다. 물론, 분할된 부속품들이 끼움돌기나 끼움홈과 같은 별도의 결합수단에 의해 결합되거나, 묶음링 같은 별개의 결합부재에 의해 결합되도록 구현될 수도 있다.
3. 더 나아가 도9에서와 같이 하나의 케이블홀더(372)가 2개의 통과구멍(TH1, TH2)을 가지도록 구현될 수도 있다. 물론, 3 이상의 통과구멍을 가지도록 구현되는 것도 경우에 따라서 얼마든지 구현 가능하다. 도9의 예에 따르면 하나의 케이블홀더(372)에 2개의 케이블(CL)을 설치하는 것이 가능해진다. 물론, 본 응용예에 따른 케이블홀더(372)도 단일한 몸체로 구비될 수도 있고, 2개 이상의 분할된 부속품으로 구비될 수도 있다.
위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
300 : 반도체소자 테스트용 핸들러
310 : 로딩장치
320 : 제1 챔버 330 : 테스트챔버
350 : 제2 챔버 CB : 챔버
CH : 케이블구멍 벽면 : W
360 : 언로딩장치
370 : 단열블럭
371 : 본체
371a : 설치판 371b : 고정판
IH : 설치구멍 IS : 설치홈
AR : 주입유로
372 : 케이블홀더
TH : 통과구멍
373 : 결합부재
PH : 패스구멍

Claims (8)

  1. 테스트되어야할 반도체소자를 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩하는 로딩장치;
    상기 로딩장치에 의해 반도체소자의 로딩이 완료된 테스트트레이를 수용하여 설정된 온도 조건으로 테스트트레이에 적재된 반도체소자의 온도를 조절하기 위해 마련되며, 외부에서 내부로 인입되는 케이블이 통과할 수 있는 케이블구멍을 가지는 챔버;
    상기 챔버 내부의 테스트위치에서 적재된 반도체소자의 테스트가 완료된 테스트트레이가 언로딩위치로 오면, 상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 언로딩하는 언로딩장치; 및
    상기 케이블구멍으로 케이블은 통과시키면서 상기 챔버의 내부와 외부를 단열시키기 위해 마련되는 단열블럭; 을 포함하고,
    상기 단열블럭은 상기 케이블구멍을 가지는 벽면 측에 탈착 가능하게 결합되고,
    상기 단열블럭은,
    상기 케이블구멍을 가지는 벽면 측에 탈착 가능하게 결합되며, 설치구멍을 가지는 본체; 및
    상기 설치구멍에 설치되며, 케이블이 통과될 수 있는 통과구멍을 가지는 케이블홀더; 를 포함하며,
    상기 본체는 상기 설치구멍의 내경과 상기 케이블홀더의 외경 사이에 단열 공기를 주입시킬 수 있는 주입유로를 가지는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  2. 테스트되어야할 반도체소자를 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩하는 로딩장치;
    상기 로딩장치에 의해 반도체소자의 로딩이 완료된 테스트트레이를 수용하여 설정된 온도 조건으로 테스트트레이에 적재된 반도체소자의 온도를 조절하기 위해 마련되며, 외부에서 내부로 인입되는 케이블이 통과할 수 있는 케이블구멍을 가지는 챔버;
    상기 챔버 내부의 테스트위치에서 적재된 반도체소자의 테스트가 완료된 테스트트레이가 언로딩위치로 오면, 상기 언로딩위치에 있는 테스트트레이로부터 테스트가 완료된 반도체소자를 언로딩하는 언로딩장치; 및
    상기 케이블구멍으로 케이블은 통과시키면서 상기 챔버의 내부와 외부를 단열시키기 위해 마련되는 단열블럭; 을 포함하고,
    상기 단열블럭은 상기 케이블구멍을 가지는 벽면 측에 탈착 가능하게 결합되고,
    상기 단열블럭은,
    상기 케이블구멍을 가지는 벽면 측에 탈착 가능하게 결합되며, 설치구멍을 가지는 본체; 및
    상기 설치구멍에 설치되며, 케이블이 통과될 수 있는 통과구멍을 가지는 케이블홀더; 를 포함하며,
    상기 본체는,
    상기 케이블홀더가 삽입 설치되는 설치홈을 가지는 설치판; 및
    상기 설치판에 탈착 가능하게 결합되며, 상기 설치홈에 삽입 설치된 상기 케이블홀더를 고정시키기 위한 고정판; 을 포함하며,
    상기 설치홈은 상기 설치판과 상기 고정판의 결합에 의해 상기 설치구멍을 이루게 되는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 케이블홀더는 상기 설치구멍에 끼워짐으로써 설치되는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 케이블홀더는 상기 고정판이 상기 설치판에 결합되면서 가해지는 가압력에 의해 형태가 변형될 수 있는 단열소재로 구비되는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 단열블럭은,
    상기 케이블구멍을 가지는 벽면에 탈착 가능하게 결합되며, 상기 설치구멍을 통과한 케이블이 지나갈 수 있는 패스구멍을 가지는 결합부재; 를 더 포함하고,
    상기 본체는 상기 결합부재에 탈착 가능하게 결합됨으로써 상기 케이블구멍을 가지는 벽면 측에 탈착 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 케이블홀더는 2개 이상의 부속품으로 분할되게 구비되는 것을 특징으로 하는
    반도체소자 테스트용 핸들러.













  7. 삭제
  8. 삭제
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