KR102216889B1 - 광전 소자 및 광전 소자의 제조 방법 - Google Patents

광전 소자 및 광전 소자의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전자기 복사를 발생시키기 위해 제공된 유기 활성층(5), 및 상기 활성층의 전기 콘택팅을 위해 제공된 제 1 전극(1)을 포함하는 광전 소자에 관한 것이며, 상기 제 1 전극은 제 1 전극층(11), 및 상기 제 1 전극층으로부터 적어도 부분적으로 이격된 제 1 접속층(12)을 포함하고, 상기 활성층은 적어도 부분적으로 제 1 전극층과 제 1 접속층 사이에 배치되며, 제 1 전극은 적어도 하나의 관통 접속부(13)를 포함하고, 상기 관통 접속부는 활성층을 통해 연장됨으로써, 제 1 전극층과 제 1 접속층 사이의 전기 접촉을 형성한다. 본 발명은 또한 이러한 소자의 제조 방법에 관한 것이다.

Description

광전 소자 및 광전 소자의 제조 방법{OPTOELECTRONIC COMPONENT AND METHOD FOR PRODUCING AN OPTOELECTRONIC COMPONENT}
본 발명은 광전 소자 및 광전 소자의 제조 방법에 관한 것이다.
넓은 발광 면을 가진 유기 발광 다이오드(OLED)에 균일한 전류 공급은 기술적 도전이다. 종래의 OLED에서는 OLED에 의해 발생한 복사가 먼저 전극층을 통과한 후에, 복사가 OLED를 벗어난다. 따라서, 전극층은 가급적 복사 투과성이어야 하고 동시에 양호한 전기 전도성으로 형성되어야 한다. 소자의 크기가 커짐에 따라, 특히 OLED의 발광 면이 커짐에 따라, 도체 트랙(소위 버스 바아)의 사용에 의해 추가로 전도도를 높일 필요가 커진다. 그러나 이는 OLED의 발광 면이 복사 투과성 전극층 상에서 버스 바아에 의한 커버링으로 인해 줄어들게 한다.
본 발명의 과제는 소자 발광 면의 가급적 적은 손실과 가급적 균일한 전류 공급을 가진 광전 소자 및 상기 광전 소자의 제조 방법을 제공하는 것이다.
상기 과제는 독립 청구항들에 따른 광전 소자 또는 제조 방법에 의해 해결된다. 다른 실시예들 및 개선예들은 종속 청구항들에 제시된다.
일 실시예에 따라, 광전 소자는 전자기 복사의 발생을 위해 제공된 유기 활성층, 및 상기 활성층의 전기 콘택팅을 위해 제공된 제 1 전극을 포함한다. 제 1 전극은 바람직하게 제 1 전극층, 및 적어도 부분적으로 상기 제 1 전극층으로부터 이격된 제 1 접속층을 포함한다. 활성층은 이 경우 적어도 부분적으로 제 1 전극층과 제 1 접속층 사이에 배치된다. 또한, 제 1 전극은 적어도 하나의 관통 접속부를 포함하고, 상기 관통 접속부는 완전히 활성층을 통해 연장된다. 소자의 작동 중에, 관통 접속부는 제 1 전극층과 제 1 접속층 사이의 전기 접촉을 형성한다.
본 출원의 범위에서, 관통 접속부는 광전 소자의 전극의 구성 부분을 의미하고, 상기 구성 부분은 완전히, 상기 전극에 속하지 않는 적어도 하나의 층을 통해 연장되며, 광전 소자의 작동 중에 전극의, 적어도 부분적으로 서로 공간적으로 이격된 추가의 구성 부분들 사이의 전기 접촉을 형성한다. "층을 통해 연장된다"라는 표현은 관통 접속부가 층을 특히 꿰뚫고 바람직하게는 상기 층에 의해 사방에서 둘러싸이는 것을 의미한다.
제 1 전극은 바람직하게 다층으로 형성된다. 상기 제 1 전극은 이 경우 적어도 제 1 전극층, 제 1 접속층 및 적어도 하나의 관통 접속부를 포함한다. 바람직하게 제 1 전극은 광전 소자의 애노드로서 구현된다. 활성층은 바람직하게 수직 방향으로 적어도 부분적으로 제 1 전극에 의해 둘러싸인다. 바람직하게는 활성층이 제 1 전극층에 직접 접한다. 본 출원의 범위에서 수직 방향은 제 1 전극층의 메인 연장면에 대해 수직으로 향한 방향을 의미한다. 바람직하게는 제 1 접속층이 적어도 부분적으로 제 1 전극층으로부터 수직 방향으로 이격된다. 즉, 제 1 접속층과 제 1 전극층은 바람직하게 서로 상하로 배치된다. 바람직하게는 제 1 전극층 및 제 1 접속층이 적어도 부분적으로 서로 평행하다.
제 1 전극층은 바람직하게 복사 투과성으로 형성된다. 예를 들면, 제 1 전극층은 활성층에 의해 발생한 복사의 적어도 70%, 바람직하게는 적어도 80%, 특히 바람직하게는 적어도 90%의 투과율을 갖는다. 바람직하게는 제 1 전극층이 TCO-재료(투명한 전도성 산화물)를 포함한다. 이러한 투명한, 전도성 재료들은 일반적으로 금속 산화물, 예를 들면 아연 산화물, 주석 산화물, 카드뮴 산화물, 티타늄 산화물, 인듐 산화물 또는 인듐 주석 산화물(ITO)이다.
제 1 접속층은 바람직하게 복사 반사 층으로서 형성된다. 접속층 및 관통 접속부는 바람직하게 높은 전기 전도도를 가진 적어도 하나의 기본 재료를 포함한다. 하나의 층의 기본 재료는 상기 층을 적어도 50%, 특히 적어도 70% 형성하는 재료를 의미한다. 이런 기본 재료에 대한 예는 구리, 알루미늄, 은과 같은 금속 또는 상기 금속들 중 적어도 하나와의 합금이다. 특히 바람직하게는 접속층 및 관통 접속부가 제 1 전극층보다 더 높은 전기 전도도를 갖는다.
일 실시예에 따라, 활성층은 적어도 하나의 유기 발광층을 가진 유기 기능 층 스택을 포함한다. 유기 기능 층 스택은 유기 폴리머, 유기 올리고머, 유기 모노머, 유기 비-폴리머 소분자("small molecules") 또는 이들의 조합을 가진 층들을 포함할 수 있다. 특히, 적어도 하나의 발광층 내로 효과적인 정공 주입을 가능하게 하기 위해, 유기 기능 층 스택이 정공 전달층으로서 구현된 유기 기능 층을 포함하는 것이 바람직할 수 있다. 정공 전달층의 재료로서, 예를 들면 3차 아민, 카르바졸 유도체, 전도성 폴리아닐린 또는 폴리에틸렌디옥시티오펜이 바람직한 것으로 나타날 수 있다. 적어도 하나의 유기 발광층의 재료로서, 형광 또는 인광으로 인해 복사를 방출하는 재료들, 예를 들면 폴리플루오렌, 폴리티오펜 또는 폴리페닐렌 또는 그 유도체, 화합물, 혼합물 또는 공중합체가 적합하다. 또한, 유기 기능 층 스택은 전자 전달층으로서 형성된 기능 층을 포함할 수 있다. 또한, 층 스택은 전자 및/또는 정공 차단층들을 포함할 수 있다. 유기 기능 층 스택은 전극들 사이에 배치된 복수의 유기 발광 층을 포함할 수 있다.
유기 발광 소자의 기본적인 구성에 대해서, 예를 들면 유기 기능 층 스택의 구성, 층 조성 및 재료에 대해서, 특히 유기 발광 소자의 구성, 층 구성 및 재료와 관련해서 여기에 포함되는 간행물 WO 2010/066245 A1이 참고된다.
일 실시예에 따라, 제 1 전극은 소자의 관통 접속 구조를 형성하는 복수의 관통 접속부를 포함한다. 관통 접속 구조는 제 1 전극층의 가로 방향 전도도를 효과적으로 개선하므로, 소자의 활성층 내로 균일한 전류 공급이 달성된다. 버스 바아가 생략될 수 있으므로, 활성층에 의해 발생한 복사가 복사 방출면 상의 버스 바아 또는 도체 트랙에 의해 흡수되지 않으면서, 제 1 전극층을 통과하고 광전 소자로부터 방출될 수 있다.
바람직하게는 관통 접속부들이 제 1 전극층 상에 균일하게 배치된다. 관통 접속부들의 균일한 배치는 제 1 전극층 상의 균일한 전류 분배를 야기한다.
다른 실시예에 따라, 광전 소자는 복사 투과성 지지체를 포함한다. 바람직하게는 지지체가 유리를 포함하거나 또는 유리로 이루어진다. 지지체는 제 1 전극층을 등지는 지지체의 면 상에 소자의 복사 방출면을 포함한다. 또한, 제 1 전극층은 바람직하게 복사 투과성 지지체와 활성층 사이에 배치된다. 특히 바람직하게는 제 1 전극층이 지지체에 직접 접한다. 즉, 제 1 전극층과 지지체 사이에는 지지체에 제 1 전극층을 고정하기 위해 최대 하나의 연결층이 배치된다. 이러한 배치는 흡수에 의한 복사 손실을 최소화하는데, 그 이유는 복사가 가능한 최단 거리로 소자로부터 방출될 수 있기 때문이다.
일 실시예에 따라, 복사 방출면은 바람직하게 편평하게 형성된다. 즉, 복사 방출면은 바람직하게 곡률을 갖지 않는다. 바람직하게는 복사가 직접 복사 방출면에서 소자를 벗어난다. 바람직하게는 소자의 복사 방출면이 0.1 제곱센티미터 내지 1 제곱미터, 특히 100 제곱센티미터 내지 0.5 제곱미터이다. 특히 바람직하게는 복사 방출면이 연속하는 면이다.
다른 실시예에 따라 광전 소자는 활성층의 전기 콘택팅을 위해 제공된 제 2 전극을 포함한다. 바람직하게 제 1 전극은 광전 소자의 캐소드로서 구현된다. 제 2 전극은 적어도 하나의 제 2 전극층을 포함한다. 바람직하게는 제 1 접속층 및 제 2 전극층은 지지체를 등지는 활성층의 면 상에 배치된다. 예를 들면, 제 1 접속층 및 제 2 전극층은 지지체에 대한 평면도로 볼 때 중첩된다. 바람직하게는 제 2 전극층이 적어도 부분적으로 활성층과 제 1 접속층 사이에 배치된다. 특히 바람직하게는 제 2 전극층이 활성층에 직접 접한다.
다른 실시예에 따라, 제 2 전극층은 바람직하게 활성층에 의해 발생한 전자기 복사의 거울 층으로서 형성된다. 제 2 전극층에서 복사의 반사는 바람직하게 복사 아웃-커플링율 및 그에 따라 소자의 효율을 높인다. 제 2 전극층이 활성층을 향한 면에 복사 반사층을 갖는 것도 가능하다. 예를 들면, 복사 반사 층은 은 층이다.
다른 실시예에 따라, 활성층 및 제 2 전극층은 제 1 전극층에 대한 적어도 하나의 리세스를 포함한다. 리세스는 바람직하게 측면 방향으로 활성층에 의해 그리고 제 2 전극층에 의해 사방에서 둘러싸인다. 측면 방향은 수직 방향에 대해 수직인 방향을 의미한다.
관통 접속부는 적어도 부분적으로 리세스 내에 배치된다. 바람직하게는 활성층과 관통 접속부 사이에 그리고 활성층과 제 1 접속층 사이에 전기 절연을 위한 적어도 하나의 절연층이 배치된다. 활성층과 제 2 전극층은 바람직하게 제 1 전극층을 통해 관통 접속부 및 제 1 접속층과 전기 전도 방식으로 접속된다.
다른 실시예에 따라 리세스의 내부에서 관통 접속부와 활성층 사이에 바람직하게는 제 1 절연층이, 그리고 관통 접속부와 제 2 전극층 사이에 제 2 절연층이 배치된다. 바람직하게는 제 1 절연층과 제 2 절연층이 리세스의 내부에서 서로 인접한다. 제 1 절연층과 제 2 절연층이 하나의 생산 단계에서 제조되므로, 공통 절연층의 부분인 것도 가능하다.
다른 실시예에 따라, 소자의 관통 접속 구조는 바람직하게 측면 방향으로 서로 이격된 복수의 관통 접속부를 포함한다. 관통 접속부들은 예를 들면 제 1 전극층 또는 제 1 접속층을 통해 서로 전기 접속된다.
일 변형 실시예에 따라, 관통 접속부들은 적어도 부분적으로 측면으로 서로 인접한다. 따라서, 관통 접속부들은 바람직하게 연속하는 관통 접속 구조를 형성한다. 이는 특히 관통 접속부들이 반도체 소자의 작동 중에 직접 (예를 들면 제 1 전극층 또는 제 1 접속층을 통하지 않고) 서로 전기 전도 방식으로 접속된다는 것을 의미한다.
연속하는 관통 접속 구조는 예를 들면 E-형, H-형 또는 F-형이다. 연속하는 관통 접속 구조는 제 2 전극층이 연속하도록 유지되는 방식으로 다른 형태를 갖는 것도 가능하다. 연속하는 관통 접속 구조에서 개별 관통 접속부는 바람직하게 스트립형이다. "스트립형 관통 접속부"는 관통 접속부가 예를 들면 활성층에 대한 평면도로 볼 때 길이방향 치수가 가로방향 치수의 바람직하게는 적어도 2배, 특히 바람직하게는 적어도 5배인 횡단면을 갖는 것을 의미한다. 리세스들은 측면 방향으로 적어도 부분적으로 서로 직접 접한다. 리세스들 내에 형성된 절연층들도 바람직하게 연속하기 때문에, 절연층의 형성이 간단해진다.
일 변형 실시예에 따라, 연속하는 관통 접속 구조는 제 2 전극층 또는 활성층을 바람직하게는 복수의 서로 분리된 부분 영역들로 세분한다. 즉, 부분 영역들은 측면 방향에서 서로 공간적으로 이격된다.
제 2 전극은 바람직하게 적어도 부분적으로 다층으로 형성된다. 제 2 전극층과 더불어, 제 2 전극은 바람직하게 제 2 접속층을 포함한다. 이 경우, 제 2 전극은 소자의 작동 중에 바람직하게는 제 2 접속층을 통해 외부 전압원과 전기 접촉된다. 제 1 접속층은 바람직하게 적어도 부분적으로 제 2 접속층과 제 2 전극층 사이에 배치된다. 또한, 제 2 전극은 바람직하게 제 2 접속층과 제 2 전극층의 전기 콘택팅을 위해 제공된 복수의 추가 관통 접속부를 포함한다. 추가의 관통 접속부들은 바람직하게 제 2 접속층으로부터 제 1 접속층을 통해 제 2 전극층으로 연장된다. 따라서, 제 2 전극층의 서로 이격된 부분 영역들은 추가의 관통 접속부에 의해 서로 전기 전도 방식으로 접속될 수 있다.
다른 실시예에 따라, 광전 소자는 적어도 하나의 추가 절연층을 포함한다. 추가 절연층은 바람직하게 제 1 전극과 제 2 전극 사이의 전기 절연을 위해 제공된다. 추가의 절연층은 적어도 부분적으로 제 1 접속층과 제 2 접속층 사이에 배치된다. 바람직하게 추가의 절연층은 적어도 부분적으로 제 1 접속층과 추가의 관통 접속부 사이로 연장된다. 추가의 절연층은 바람직하게 제 2 절연층에 인접한다.
광전 소자의 제조 방법은 일 실시예에 따라 하기 단계들을 포함한다. 먼저, 지지체가 준비된다. 제 1 전극층은 지지체 상에 제공된다. 유기 활성층은 제 1 전극층 상에 형성된다. 활성층은 적어도 하나의 리세스를 포함하고, 상기 리세스는 활성층을 통해 연장된다. 리세스는 바람직하게 활성층의 형성 동안 또는 형성 후에 형성된다. 적어도 하나의 관통 접속부는 바람직하게 적어도 부분적으로 리세스 내에 형성되므로, 관통 접속부에 의해 제 1 접속층이 제 1 전극층과 전기 전도 방식으로 접속된다.
이 방법 단계들에 의해, 제 1 전극층과 제 1 접속층 사이의 전기 콘택팅이 유기 활성층을 통과하는 관통 접속부에 의해 이루어진다.
상기 방법에 의해 특히 전술한 광전 소자가 제조될 수 있다. 광전 소자와 관련해서 설명된 특징들은 방법에도 사용될 수 있고, 역으로 방법과 관련한 특징들은 소자에도 사용될 수 있다.
일 실시예에 따라 유기 활성층은 바람직하게 제 1 전극층의 제공 후에 제 1 전극층 상에 제공되므로, 활성층은 제 1 전극층에 인접한다. 제 1 전극층은 바람직하게 지지체와 활성층 사이에 배치된다.
다른 실시예에 따라, 활성층을 통해 연장되는 적어도 하나의 리세스가 형성되므로, 제 1 전극층은 바람직하게는 활성층을 향한 전극층의 면 상에 적어도 부분적으로 활성층을 갖지 않는다. 이는 예를 들면 활성층의 부분적 제거에 의해 구현될 수 있다. 대안으로서, 유기 활성층이 바람직하게는 구조화되어 제 1 전극층 상에 제공된다. 예를 들면, 제 1 전극층 상에서 리세스를 위해 제공된 적어도 하나의 지점이 마스크 또는 커버링 재료에 의해 커버된다. 후속해서, 리세스가 예를 들면 마스크의 제거에 의해 또는 커버링 재료의 적어도 부분적인 제거에 의해 형성된다.
다른 실시예에 따라, 제 1 절연층 및 제 2 절연층이 적어도 부분적으로 리세스 내에 형성된다. 리세스 내부에서 제 1 절연층은 바람직하게 측면 방향으로 활성층에 직접 접한다. 제 2 절연층은 적어도 부분적으로 리세스 내에서 연장되고 측면 방향으로 바람직하게는 제 2 전극층에 직접 접한다.
제 1 절연층은 바람직하게 제 2 전극층의 제공 전에 리세스 내에 형성된다. 제 1 절연층에 의해 제 2 전극층의 제공 동안 제 2 전극층과 제 1 전극층 사이의 단락의 위험이 줄어든다. 제 2 절연층은 바람직하게 제 2 전극층의 제공 후에, 제 2 절연층이 적어도 부분적으로 제 2 전극층 상에 그리고 리세스 내에 연장되도록 형성된다. 그 후에 제 1 절연층과 제 2 절연층은 2개의 서로 별도의 방법 단계에서 제조된다. 대안으로서, 제 1 절연층과 제 2 절연층은 예를 들면 하나의 공통 방법 단계에서 형성될 수 있다. 바람직하게는 이들은 공통의 절연층을 형성한다.
상기 광전 소자 및 상기 방법의 다른 장점들, 바람직한 실시예들 및 개선예들은 도 1a 내지 도 3e와 관련해서 하기에 설명된 실시예에 제시된다.
도 1a는 광전 소자의 제 1 실시예를 나타낸 개략적인 단면도.
도 1b는 광전 소자의 제 2 실시예를 나타낸 개략적인 단면도.
도 2a 내지 도 2c는 관통 접속부의 관통 접속 구조의 여러 실시예를 나타낸 제 2 전극층의 높이에서의 평면도.
도 3은 전자 소자의 다른 실시예를 나타낸 개략적인 단면도.
도 4a 내지 도 4e는 광전 소자의 제조를 위한 실시예에 따른 방법 단계를 나타낸 개략도.
동일한, 동일한 형태의 또는 동일하게 작용하는 소자들은 도면들에서 동일한 도면 부호로 표시된다. 도면들은 각각 개략도이므로 반드시 축척에 맞지는 않는다. 오히려, 비교적 작은 소자들 및 특히 층 두께들이 명확성을 위해 과도한 크기로 도시될 수 있다.
광전 소자의 제 1 실시예는 도 1a에 개략적인 단면도로 도시되어 있다.
광전 소자(10)는 지지체(4), 유기 활성층(5), 제 1 전극(1) 및 제 2 전극(2)을 포함한다. 제 1 및 제 2 전극은 활성층의 전기 콘택팅을 위해 제공된다. 소자의 작동 중에, 활성층은 예를 들면 자외선, 가시광선 또는 적외선 스펙트럼 범위의 전자기 복사를 방출한다.
제 1 전극(1)은 지지체(4) 상에 직접 배치된 제 1 전극층(11)을 포함한다. 또한, 제 1 전극(1)은, 지지체(4) 상에서 수직 방향으로 제 1 전극층(11)으로부터 이격되어 배치된 제 1 접속층(12)을 포함한다. 제 1 전극층(11)은 투명한, 전기 전도성 산화물, 예를 들면 인듐 주석 산화물로 이루어진 층일 수 있다.
제 1 전극층(11)과 제 1 접속층(12) 사이에는 유기 활성층(5)이 배치된다, 활성층(5)은 제 1 전극층(11)에 직접 접한다.
소자(10)의 작동 중에, 제 1 전극(1)은 바람직하게 제 1 접속층(12)을 통해 외부 전압원과 전기 접촉된다. 제 1 접속층(12)은 소자의 작동 중에 예를 들면 외부 전압원과 전기 접촉된다. 즉, 소자(10)는 제 1 투명한 전극층(11)을 등지는 활성층(5)의 면에 의해, 즉 후면에서 접촉될 수 있다.
제 2 전극(2)은 활성층(5)과 제 1 접속층(12) 사이에 배치된 제 2 전극층(21)을 포함한다. 제 2 전극층(21)은 활성층(5)에 직접 접한다. 측면 방향에서, 활성층과 제 2 전극층은 서로 동일 평면으로 끝난다. 제 1 전극층(21)은 복사 불투과성으로 형성될 수 있다. 특히, 제 1 전극층(21)은 소자(10)에 의해 방출된 방사선을 반사하도록 형성된다. 이는 소자의 복사의 아웃-커플링율을 높인다.
또한, 제 1 전극(1)은 적어도 하나의 관통 접속부(13)를 포함한다. 관통 접속부는 제 1 접속층(12)의 부분일 수 있거나 또는 제 1 접속층(12)에 직접 접할 수 있다. 관통 접속부(13)는 수직 방향으로 제 1 접속층(12)으로부터 완전히 제 2 전극층(21)을 통해 그리고 완전히 활성층(5)을 통해 연장된다. 관통 접속부(13)도 제 1 전극층(11)에 인접한다. 소자(10)의 작동 중에, 관통 접속부(13)는 제 1 전극층(11)과 제 1 접속층(12) 사이의 전기 접촉을 형성한다. 관통 접속부(13)와 제 1 접속층(12)은 측면 방향으로 전류 분배를 위해 사용된다. 소자(10)의 관통 접속 구조를 형성하는 복수의 관통 접속부(13)에 의해, 활성층(5) 내로 균일한 전류 공급이 달성될 수 있다. 관통 접속부(13)와 제 1 접속층(12)은 제 1 전극층(11)의 가로방향 전도도를 개선하면서, 캐리어 바디의 복사 방출면(41)이 섀도우되지 않게 한다.
관통 접속부(13)와 제 1 접속층(12)은 동일한 기본 재료로 형성될 수 있다. 관통 접속부(13)와 제 1 접속층(12)이 상이한 기본 재료들, 예를 들면 열 전도도와관련해서 서로 상이한 기본 재료들로도 형성될 수 있다. 이 경우, 관통 접속부(13)는 제 1 접속층보다 더 높은 열 전도도를 가질 수 있다. 이러한 실시예는 활성층(5)으로부터 또는 제 1 전극층(11)으로부터 열 방출을 개선한다.
소자는 또한 제 1 전극(1)과 제 2 전극(2) 사이의 그리고 활성층(5)과 관통 접속부(13) 사이의 전기 절연을 위한 절연층(6)을 포함한다. 절연층은 예를 들면 비-전도성 산화물, 예를 들면 알루미늄 산화물, 티타늄 산화물 및 실리콘 산화물, 질화물, 예를 들면 실리콘 질화물, 또는 비-전도성 코팅을 포함한다.
소자(10)는 또한 적어도 하나의 리세스(8)를 포함한다. 리세스(8)는 완전히 제 2 전극층(21) 및 활성층(5)을 통해 연장된다. 그에 따라 리세스(8)는 활성층(5) 및 제 2 전극층(21) 내의 홀이다 관통 접속부(13) 및 절연층(6)은 적어도 부분적으로 리세스(8)의 내부에 배치된다. 측면 방향에서, 관통 접속부(13)의 원주 전체가 절연층(6)에 의해 둘러싸인다. 리세스(5)의 내부에서 관통 접속부(13)는 절연층(6)에 의해 활성층(5) 및 제 2 전극층(21)으로부터 전기 절연된다. 리세스의 외부에서 절연층(6)은 측면 방향에서 제 1 접속층(12)과 제 2 전극층(21) 사이에 연장된다. 절연층(6)은 제 1 접속층(12) 및 제 2 전극층(21)에 인접한다.
지지체(4)는 복사 투과성으로 형성된다. 지지체(4)는 유리를 포함할 수 있거나 또는 유리로 이루어진다. 지지체(4)는 제 1 전극층(11)을 등지는 면 상에 소자의 복사 방출면(41)을 포함한다. 즉, 소자에 의해 발생한 복사는 복사 방출면(41)에서 소자(10)로부터 방출된다. 복사 방출면(41)은 편평하게 형성된다. 달리 표현하면, 복사 방출면(41)은 제조로 인한 변동을 제외하고 곡률을 갖지 않는다.
도 1b에는 광전 소자의 다른 실시예가 단면도로 도시되어 있다. 이 실시예는 도 1a의 광전 소자에 대한 제 1 실시예에 실질적으로 상응한다. 이와는 달리, 절연층(6)은 제 1 절연층(61) 및 제 2 절연층(62)을 포함한다. 리세스(8) 내에서 제 1 절연층(61) 및 제 2 절연층(62)은 서로 직접 접한다. 수직 방향에서, 제 1 절연층(61)은 활성층(5)과 동일 평면으로 끝난다. 달리 표현하면, 제 1 절연층(61)은 측면 방향에서 활성층(5)에 의해 완전히 둘러싸이고, 이 경우 제 1 절연층(61)과 활성층(5)은 동일한 수직 높이를 갖는다. 활성층(5) 상에 제 2 전극층(21)의 제공 동안, 상기 방식의 제 1 절연층(61)은 제 1 전극층(11)을 제 2 전극층(21)과의 가능한 단락으로부터 보호할 수 있다.
제 2 절연층은 리세스(8)의 외부에서 부분적으로 제 1 접속층(11)과 제 2 전극층(21) 사이에 배치된다. 제 2 절연층(62)은 이 경우 제 1 접속층(12)과 제 2 전극층(21) 사이의 전기 절연을 위해 사용된다. 제 1 절연층(61)과 제 2 절연층(62)은 동일한 기본 재료로 형성될 수 있다. 이들이 각각 다른 기본 재료를 포함하는 것도 가능하다.
도 2a에는 전자기 소자의 다른 실시예가 제 2 전극층(21)의 높이에서 측 단면도로 도시되어 있다. 제 1 전극(1)은 소자의 관통 접속 구조(3)의 복수의 관통 접속부(13)를 포함한다. 관통 접속부들(13)은 측면 방향으로 서로 공간적으로 이격된다. 관통 접속부들(13)은 각각 원형 횡단면을 갖는다. 횡단면은 수직 방향을 따라 일정할 수 있다. 제 1 접속층(12)으로부터 간격이 커짐에 따라 횡단면이 감소할 수 있다. 즉, 관통 접속부(13)의 횡단면은 수직 방향으로 제 1 접속층(12)으로부터 제 1 전극층(11)을 향해 가늘어진다. 관통 접속부(13)의 횡단면은 스트립형, 직사각형, 타원형, 십자형이거나 또는 다른 형태를 가질 수도 있다. 관통 접속부들(13)은 상이한 형태의 횡단면을 가질 수도 있다.
측면 방향으로 각각의 개별 관통 접속부(13)는 절연층(6)에 의해 완전히 둘러싸인다. 제 2 전극층(21)은 복수의 리세스(8)를 포함하고, 상기 리세스들 내에 각각 절연층(6) 및 관통 접속부(12)가 배치된다. 리세스(8)는 해당 관통 접속부(13)의 횡단면의 형태와 동일한 형태를 가진 횡단면을 갖는다. 이를 도외시 하고, 리세스(8) 및 해당 관통 접속부(13)는 상이한 형태의 횡단면을 가질 수 있다.
도 2b에는 광전 소자의 다른 실시예가 횡단면도로 개략적으로 도시되어 있다. 이 실시예는 도 2a의 실시예에 실질적으로 상응한다. 이와는 달리, 관통 접속부(13)의 횡단면은 스트립형이다. 즉, 활성층에 대한 평면도로 볼 때, 관통 접속부는 길이방향 치수가 가로방향 치수의 예를 들면 적어도 2배, 특히 적어도 5배인 횡단면을 갖는다.
도 2c에는 광전 소자의 다른 실시예가 제 2 전극층(21)의 횡단면도로 개략적으로 도시되어 있다. 소자는 복수의 관통 접속부(13)를 포함하고, 상기 관통 접속부들은 부분적으로 서로 인접하므로 연속하는 관통 접속 구조(3)를 형성한다. 관통 접속 구조(3)는 측면 방향으로 연속하는 절연층(6)에 의해 둘러싸인다.
연속하는 관통 접속 구조(3)는 제 2 전극층(21)을 복수의 서로 분리된 부분 영역(210)으로 세분한다. 부분 영역들은 측면 방향으로 서로 공간적으로 이격된다. 도 2c에는 활성층(5)이 도시되어 있지 않은데, 상기 활성층은 이러한 연속하는 관통 접속 구조에 의해 복수의 서로 분리된 영역(50)으로 세분된다. 연속하는 관통 접속 구조(3)는 예시적으로 벌집형 구조를 갖는다. 개별 관통 접속부는 스트립형이다. 연속하는 관통 접속 구조(3)는 사다리형, 원형, 거미줄형 또는 다른 연속하는 구조를 가질 수도 있다.
도 3에는 광전 소자의 다른 실시예가 개략적인 단면도로 도시되어 있다. 이 실시예는 도 1a의 실시예에 실질적으로 상응한다. 이와 달리, 제 2 전극(2)은 제 2 전극층(21), 제 2 접속층(22) 및 복수의 추가 관통 접속부(23)를 포함한다. 또한, 제 2 전극층(21)은 연속하는 관통 접속 구조(3)를 형성하는 관통 접속부들(13)에 의해 제 2 전극층의 복수의 서로 분리된 부분 영역들(210)로 세분된다. 이로 인해, 활성층(5)도 복수의 서로 분리된 부분 영역들(50)로 세분된다.
제 2 접속층(22)은 제 2 전극층(21)을 등지는 제 1 접속층(12)의 면 상에 배치된다. 제 1 접속층(12)은 제 2 접속층(22)과 제 2 전극층(21) 사이에 배치된다. 추가의 관통 접속부들(23)은 수직 방향으로 제 2 접속층(22)으로부터 완전히 제 1 접속층(12)을 통해 제 1 전극층(21)의 부분 영역들(210)로 연장된다. 소자(10)의 작동 중에, 활성층의 부분 영역들(50)은 추가의 관통 접속부들(22)에 의해 서로 전기 전도 방식으로 접속된다.
제 2 접속층(22)은 서로 분리된 부분 영역들로 세분될 수 있고, 접속층(22)의 부분 영역들은 각각 추가의 관통 접속부(23)에 인접한다. 달리 표현하면, 접속층(22)의 부분 영역들이 각각 적어도 하나의 추가 관통 접속부(23)와 전기 접속된다. 상기 추가의 관통 접속부(23)는 소자(10)의 작동 중에 활성층(5)의 부분 영역들(50) 중 하나와 전기 접촉된다. 제 2 접속층(22)의 이러한 디자인에 의해, 활성층(5)의 서로 분리된 부분 영역들(50)의 의도적인 전기 콘택팅이 간단히 달성될 수 있다.
소자는 또한 제 1 전극(1)과 제 2 전극(2) 사이의 전기 절연을 위한 추가의 절연층(63)을 포함한다. 추가의 절연층(63)은 부분적으로 제 2 접속층(22)과 제 1 접속층(12) 사이에 그리고 부분적으로 추가의 관통 접속부(23)와 제 1 접속층(12) 사이에 배치된다. 추가의 절연층(63)은 절연층(6)에 인접한다.
도 4a 내지 도 4e에는 광전 소자의 제조 방법의 실시예가 각각 개략적으로 도시된 중간 단계들에 의해 평면도로 도시되어 있다. 제조될 소자는 예를 들면 도 1b에 개략적으로 도시되어 있다. 이하에 설명되는 중간 단계들은 설명된 다른 실시예들 및 이들의 조합의 광전 소자들의 제조시 적용될 수 있다.
제 1 단계에서 지지체(4)가 준비된다. 제 1 전극층(11)은 지지체 상에 제공된다. 유기 활성층(5) 및 리세스(8)는 제 1 전극층(11) 상에 형성된다(도 4a).
리세스(8)의 형성은 예를 들면 활성층(5)의 부분 제거에 의해 이루어질 수 있다. 대안으로서 리세스(8)는 예를 들면 마스크를 이용해서 제 1 전극층(11) 상에 활성층(5)의 형성시 형성될 수 있다. 달리 표현하면, 활성층(5)은 구조화되어 제 1 전극층(11) 상에 제공될 수 있다. 마스크 대신에, 커버링 재료, 예를 들면 광 구조화 가능한 커버링 재료가 사용될 수도 있다.
다른 중간 단계에서, 제 1 절연층(61)이 형성된다(도 4b). 이는 예를 들면 리세스(8) 내로 전기 절연 재료의 제공에 의해 구현될 수 있다. 커버링 재료가 전기 절연 재료이고, 그럼으로써 제 1 절연층의 형성이 커버링 재료의 부분적인 제거에 의해 이루어지는 것도 가능하다.
다른 중간 단계에서, 제 2 전극층(21)은 활성층(5) 상에 제공된다(도 4c). 이 경우, 리세스들(8)은 제 2 전극층을 갖지 않는다. 예를 들면, 제 2 전극층(21)은 활성층 상에 증착된다. 활성층(5)과 유사하게, 제 2 전극층(21)은 예를 들면 마스크 또는 커버링 재료에 의해 구조화되어 형성될 수 있다. 바람직하게 제 1 절연층(61)은 제 2 전극층(21)의 제공 전에 형성되고, 이로 인해 제 2 전극층(21)과 제 1 전극층(11) 사이의 단락 위험이 현저히 감소한다.
다른 중간 단계에서, 제 2 절연층(62)은 제 2 전극층(21) 상에 제공된다(도 4d). 제 2 절연층(62)은 제 2 전극층(21)을 완전히 커버한다. 리세스(8)의 내부에서 제 2 절연층(62)은 제 1 절연층(61)에 직접 접한다. 관통 접속부(13)를 위해 제공된 리세스(8)의 영역들은 제 2 절연층을 갖지 않는다.
다른 중간 단계에서, 관통 접속부(13) 및 제 1 접속층(12)이 형성된다(도 4e). 이 경우, 관통 접속부(13)를 위해 제공된 리세스(8)의 영역은 전기 전도성 재료로 채워질 수 있다.
그리고 나서, 제 1 접속층(12)은 제 2 절연층(62) 상에 형성, 예를 들면 증착된다. 제 1 접속층(12)은 제 2 절연층(62) 및 관통 접속부(13)를 완전히 커버한다. 관통 접속부들(13) 및 제 1 접속층이 공통의 방법 단계에서 제조될 수도 있다.
활성층을 통과하는 관통 접속부들의 사용에 의해, 제 1 접속층과 제 1 전극층 사이의 전기 접속이 형성되고, 이로 인해 제 1 전극층의 가로방향 전도도의 개선이 효과적으로 달성되면서, 소자의 복사 방출면은 예를 들면 버스 바아에 의해 섀도우되지 않는다.
본 발명은 실시예에 기초한 본 발명의 설명에 의해 실시예로 제한되지 않는다. 오히려, 본 발명은 모든 특징 또는 모든 조합이 특허 청구범위 또는 실시예에 명확히 제시되지 않더라도, 새로운 모든 특징들 및 특징들의 모든 조합을 포함하고, 이는 특히 특허 청구범위 내의 특징들의 모든 조합을 포함한다.
본 특허 출원은 독일 출원 10 2012 221 191.8의 우선권을 주장하고, 그 공개 내용은 여기에 포함된다.
1 전극
4 지지체
5 활성층
8 리세스
10 광전 소자
11 제 1 전극층
12 제 1 접속층
13 관통 접속부
21 제 2 전극층
22 제 2 접속층
23 추가의 관통 접속부
41 복사 방출면
61 제 1 절연층
62 제 2 절연층
210 부분 영역

Claims (20)

  1. 전자기 복사를 발생시키기 위해 제공된 유기 활성층(5), 상기 활성층의 전기 콘택팅을 위해 제공된 제 1 전극(1) 및 상기 활성층의 전기 콘택팅을 위해 제공된 제 2 전극(2)을 포함하는 광전 소자(10)로서,
    - 제 1 전극은 제 1 전극층(11), 및 적어도 부분적으로 상기 제 1 전극층으로부터 이격된 제 1 접속층(12)을 포함하고,
    - 상기 활성층은 적어도 부분적으로 상기 제 1 전극층과 상기 제 1 접속층 사이에 배치되고,
    - 상기 제 1 전극은 상기 활성층을 통해 연장되어 상기 제 1 전극층과 상기 제 1 접속층 사이의 전기 접촉을 형성하는 연속하는 관통 접속 구조(3) 형태의 관통 접속부들(13)을 포함하고,
    - 상기 제 2 전극(2)은 제 2 전극층(21), 제 2 접속층(22) 및 상기 제 2 접속층(22)의 전기 콘택팅을 위한 복수의 추가 관통 접속부들(23)을 포함하고,
    - 상기 연속하는 관통 접속 구조는 상기 제 2 전극층(21)을 복수의 서로 이격된 부분 영역들(210)로 세분하고, 상기 활성층(5)을 복수의 서로 분리된 부분 영역들(50)로 세분하며,
    - 상기 추가 관통 접속부들(23)은 상기 제 1 접속층(12)을 통해 연장되는 것인, 광전 소자.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 전극층(21)은 적어도 부분적으로 상기 활성층과 상기 제 1 접속층(12) 사이에 배치되는 것인, 광전 소자.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 제 2 전극층(21)은 상기 소자에 의해 발생한 전자기 복사의 거울 층으로서 형성되는 것인, 광전 소자.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 제 1 전극층(11)은 복사 투과성 지지체(4)와 상기 활성층(5) 사이에 배치되고, 상기 지지체는 상기 제 1 전극층을 등지는 상기 지지체의 면 상에 상기 소자의 복사 방출면(41)을 갖는 것인, 광전 소자.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 접속층(12) 및 상기 제 2 전극층(21)은 상기 지지체(4)를 등지는 상기 활성층(5)의 면 상에 배치되고, 상기 지지체에 대한 평면도로 볼 때 중첩되는 것인, 광전 소자.
  6. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 활성층(5)과 상기 제 2 전극층(21)은 상기 제 1 전극층(11)에 대한 적어도 하나의 리세스(8)를 포함하고, 상기 리세스 내에 상기 관통 접속부들(13) 중 적어도 하나가 배치되는 것인, 광전 소자.
  7. 제 6 항에 있어서,
    - 상기 리세스(8)의 내부에서 상기 관통 접속부(13)와 상기 활성층(5) 사이에 전기 절연을 위한 제 1 절연층(61)이 배치되고, 상기 관통 접속부(13)와 상기 제 2 전극층(21) 사이에 전기 절연을 위한 제 2 절연층(62)이 배치되며,
    - 상기 리세스의 내부에서 상기 제 1 절연층과 상기 제 2 절연층이 서로 인접하고,
    - 상기 리세스의 외부에서 상기 제 1 접속층(12)과 상기 제 2 전극층 사이에 상기 제 2 절연층이 배치되는 것인, 광전 소자.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 전자기 복사를 발생시키기 위해 제공된 유기 활성층(5), 상기 활성층의 전기 콘택팅을 위해 제공된 제 1 전극(1) 및 상기 활성층의 전기 콘택팅을 위해 제공된 제 2 전극(2)을 포함하는 광전 소자(10)로서,
    - 제 1 전극은 제 1 전극층(11), 및 적어도 부분적으로 상기 제 1 전극층으로부터 이격된 제 1 접속층(12)을 포함하고,
    - 상기 활성층은 적어도 부분적으로 상기 제 1 전극층과 상기 제 1 접속층 사이에 배치되고,
    - 상기 제 1 전극은 상기 활성층을 통해 연장되어 상기 제 1 전극층과 상기 제 1 접속층 사이의 전기 접촉을 형성하는 연속하는 관통 접속 구조(3) 형태의 관통 접속부들(13)을 포함하고,
    - 상기 제 2 전극(2)은 제 2 전극층(21), 제 2 접속층(22) 및 상기 제 2 접속층(22)의 전기 콘택팅을 위한 복수의 추가 관통 접속부들(23)을 포함하고,
    - 상기 연속하는 관통 접속 구조는 상기 제 2 전극층(21)을 복수의 서로 이격된 부분 영역들(210)로 세분하고, 상기 활성층(5)을 복수의 서로 분리된 부분 영역들(50)로 세분하고,
    - 상기 추가 관통 접속부들(23)은 상기 제 1 접속층(12)을 통해 연장되고,
    - 상기 관통 접속부들(13)은 적어도 부분적으로 서로 인접하여, 상기 관통 접속부들은 연속하는 관통 접속 구조(3)를 형성하고,
    - 상기 제 1 접속층(12)은 상기 제 2 접속층(22)과 상기 제 2 전극층(21) 사이에 배치되고,
    - 상기 추가 관통 접속부들(23)에 의해 상기 제 2 전극층의 서로 이격된 부분 영역들이 서로 전기 접속되며,
    - 상기 제 1 접속층(12)과 상기 제 2 접속층(22) 사이에, 그리고 상기 제 1 접속층(12)과 상기 추가 관통 접속부들(23) 사이에 전기 절연을 위한 추가의 절연층(63)이 배치되고, 상기 추가의 절연층은 적어도 부분적으로 제 2 절연층(62)에 직접 접하는 것인, 광전 소자.
  12. 전자기 복사를 발생시키기 위해 제공된 유기 활성층(5), 상기 활성층의 전기 콘택팅을 위해 제공된 제 1 전극(1) 및 상기 활성층의 전기 콘택팅을 위해 제공된 제 2 전극(2)을 포함하는 광전 소자(10)로서,
    - 제 1 전극은 제 1 전극층(11), 및 적어도 부분적으로 상기 제 1 전극층으로부터 이격된 제 1 접속층(12)을 포함하고,
    - 상기 활성층은 적어도 부분적으로 상기 제 1 전극층과 상기 제 1 접속층 사이에 배치되고,
    - 상기 제 1 전극은 상기 활성층을 통해 연장되어 상기 제 1 전극층과 상기 제 1 접속층 사이의 전기 접촉을 형성하는 연속하는 관통 접속 구조(3) 형태의 관통 접속부들(13)을 포함하고,
    - 상기 제 2 전극(2)은 제 2 전극층(21), 제 2 접속층(22) 및 상기 제 2 접속층(22)의 전기 콘택팅을 위한 복수의 추가 관통 접속부들(23)을 포함하고,
    - 상기 연속하는 관통 접속 구조는 상기 제 2 전극층(21)을 복수의 서로 이격된 부분 영역들(210)로 세분하고, 상기 활성층(5)을 복수의 서로 분리된 부분 영역들(50)로 세분하고,
    - 상기 추가 관통 접속부들(23)은 상기 제 1 접속층(12)을 통해 연장되며,
    - 상기 관통 접속부들(13)은 각각 스트립형으로 형성되고, 상기 활성층(5)에 대한 평면도로 볼 때 길이방향 치수가 가로방향 치수의 적어도 2배의 크기인 횡단면을 갖는 것인, 광전 소자.
  13. 삭제
  14. 광전 소자(10)의 제조 방법으로서,
    A) 지지체(4)를 제공하는 단계,
    B) 상기 지지체 상에 제 1 전극층(11)을 적층하는 단계,
    C) 상기 제 1 전극층 상에, 활성층을 통해 연장되는 적어도 하나의 리세스(8)를 가진 유기 활성층(5)을 형성하는 단계,
    D) 관통 접속부가 상기 제 1 전극층에 인접하도록, 적어도 부분적으로 상기 리세스 내에 적어도 하나의 관통 접속부(13)를 형성하는 단계,
    E) 제 1 접속층이 상기 소자의 작동 중에 상기 관통 접속부를 통해 상기 제 1 전극층과 전기 전도 방식으로 접속되도록, 상기 지지체를 등지는 상기 활성층의 면 상에 제 1 접속층(12)을 형성하는 단계를 포함하고,
    - 제 1 전극은 연속하는 관통 접속 구조(3) 형태의 복수의 관통 접속부들(13)을 포함하고,
    - 소자는 활성층의 전기 콘택팅을 위해 제공된 제 2 전극(2)을 포함하고, 상기 제 2 전극(2)은 제 2 전극층(21), 제 2 접속층(22) 및 상기 제 2 접속층(22)의 전기 콘택팅을 위한 복수의 추가 관통 접속부들(23)을 포함하고,
    - 연속하는 관통 접속 구조는 상기 제 2 전극층(21)을 복수의 서로 이격된 부분 영역들(210)로 세분하고, 상기 활성층(5)을 복수의 서로 분리된 부분 영역들(50)로 세분하며,
    - 상기 추가 관통 접속부들(23)은 상기 제 1 접속층(12)을 통해 연장되는 것인 광전 소자의 제조 방법.
  15. 삭제
  16. 삭제
  17. 광전 소자(10)의 제조 방법으로서,
    A) 지지체(4)를 제공하는 단계,
    B) 상기 지지체 상에 제 1 전극층(11)을 적층하는 단계,
    C) 상기 제 1 전극층 상에, 활성층을 통해 연장되는 적어도 하나의 리세스(8)를 가진 유기 활성층(5)을 형성하는 단계,
    D) 관통 접속부가 상기 제 1 전극층에 인접하도록, 적어도 부분적으로 상기 리세스 내에 적어도 하나의 관통 접속부(13)를 형성하는 단계,
    E) 제 1 접속층이 상기 소자의 작동 중에 상기 관통 접속부를 통해 상기 제 1 전극층과 전기 전도 방식으로 접속되도록, 상기 지지체를 등지는 상기 활성층의 면 상에 제 1 접속층(12)을 형성하는 단계를 포함하고,
    - 제 1 전극은 연속하는 관통 접속 구조(3) 형태의 복수의 관통 접속부들(13)을 포함하고,
    - 소자는 활성층의 전기 콘택팅을 위해 제공된 제 2 전극(2)을 포함하고, 상기 제 2 전극(2)은 제 2 전극층(21), 제 2 접속층(22) 및 상기 제 2 접속층(22)의 전기 콘택팅을 위한 복수의 추가 관통 접속부들(23)을 포함하고,
    - 연속하는 관통 접속 구조는 상기 제 2 전극층(21)을 복수의 서로 이격된 부분 영역들(210)로 세분하고, 상기 활성층(5)을 복수의 서로 분리된 부분 영역들(50)로 세분하고,
    - 상기 추가 관통 접속부들(23)은 상기 제 1 접속층(12)을 통해 연장되고,
    - 단계 C)와 단계 D) 사이에 상기 리세스(8)를 가진 상기 제 2 전극층(21)이 상기 지지체(4)를 등지는 상기 활성층(5)의 면의 바로 위에 형성되고, 상기 리세스는 상기 활성층 및 상기 제 2 전극층을 통해 연장되고,
    - 제 1 절연층(61)은 상기 제 2 전극층(21)의 적층 전에 상기 리세스(8) 내에 형성되며,
    - 제 2 절연층(62)이 상기 제 2 전극층(21)의 적층 후에 적어도 부분적으로 상기 리세스(8) 내에 형성되고, 상기 제 2 절연층은 상기 리세스 내에서 상기 제 1 절연층(61)에 인접하는 것인, 광전 소자의 제조 방법.
  18. 삭제
  19. 제 14 항에 있어서,
    - 상기 제 2 접속층(22)은 서로 분리된 부분 영역들을 포함하고,
    - 상기 추가 관통 접속부들(23)은 상기 제 1 접속층(12)을 통해 상기 제 2 전극층(21)의 상기 부분 영역들(210)로 연장되고, 상기 제 2 접속층(22)의 분리된 부분 영역들은 각각 상기 추가 관통 접속부들(23) 중 하나에 인접하는 것인, 광전 소자의 제조 방법.
  20. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 따른 광전 소자로서,
    - 상기 제 2 접속층(22)은 서로 분리된 부분 영역들을 포함하고,
    - 상기 추가 관통 접속부들(23)은 상기 제 1 접속층(12)을 통해 상기 제 2 전극층(21)의 상기 부분 영역들(210)로 연장되고, 상기 제 2 접속층(22)의 분리된 부분 영역들은 각각 상기 추가 관통 접속부들(23) 중 하나에 인접하는 것인, 광전 소자.
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