KR102208298B1 - 레이저 빔 장치 및 레이저 모니터링 장치 - Google Patents

레이저 빔 장치 및 레이저 모니터링 장치 Download PDF

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이광현
조민식
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국방과학연구소
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Abstract

일 실시 예에 따른 레이저 모니터링 장치는, 복수 개의 레이저를 결합 및 회절 반사시키는 레이저 빔 장치; 상기 레이저 빔 장치로부터 전송된 레이저 빔의 일부를 추출하는 빔 샘플러; 상기 빔 샘플러로부터 전송된 레이저 빔을 분할시키는 빔 분할 장치; 및 상기 빔 분할 장치를 통과한 레이저 빔을 검출하는 빔 검출 장치를 포함할 수 있다.

Description

레이저 빔 장치 및 레이저 모니터링 장치{LASER BEAM DEVICE AND MONITORING DEVICE FOR LASER}
아래의 설명은 레이저 빔 장치 및 레이저 모니터링 장치에 관한 것이다.
고출력 및 고품질 레이저는 민수용, 군수용, 학술계 등 다양한 분야에서 요구된다. 군수용으로는 수십 kW급 이상의 레이저 출력이 요구되나 단일 레이저는 비선형 현상, 냉각의 어려움, 모드의 불안정, 소자 손상 등의 문제로 출력 증가에 한계를 갖는다. 이를 극복하여 출력 증대를 위해서는 다수의 레이저 빔들을 단일 빔으로 합쳐 출력을 증대하는 빔 결합 기술이 필수적이다. 최근에는 서로 다른 파장을 갖는 레이저 빔들을 개별적으로 증폭한 뒤 분산성을 갖는 광소자로 결합하는 이른바 파장 제어 빔 결합이 널리 연구되고 있다. 빌 결합을 위한 소자로는 분산성이 크며 효율 및 손상 문턱값(threshold)이 높은 회절 격자가 주로 사용된다. 그리고 빔 결합용 레이저로는 높은 빔 품질과 적은 발열량, 안정성 등을 장점으로 갖는 광섬유 레이저가 주로 사용된다.
전술한 배경기술은 발명자가 본 발명의 도출과정에서 보유하거나 습득한 것으로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에 공개된 공지기술이라고 할 수는 없다.
일 실시 예의 목적은 결합된 레이저 빔에 영향을 주지 않고, 레이저 빔의 채널 별 및 편광 별 출력을 전압을 통하여 실시간으로 모니터링할 수 있는 레이저 빔 장치 및 레이저 모니터링 장치를 제공하는 것이다.
일 실시 예에 따른 레이저 모니터링 장치는, 복수 개의 레이저를 결합시킬 수 있는 레이저 빔 장치; 상기 레이저 빔 장치로부터 전송된 레이저 빔의 일부를 추출하는 빔 샘플러; 상기 빔 샘플러로부터 전송된 레이저 빔을 분할시키는 빔 분할 장치; 및 상기 빔 분할 장치를 통과한 레이저 빔을 검출하는 빔 검출 장치를 포함할 수 있다.
상기 레이저 빔 장치는, 각각 레이저를 발산하는 복수 개의 광섬유 레이저를 포함하는 광섬유 레이저 어레이; 상기 광섬유 레이저 어레이로부터 발산되는 레이저를 반사시키는 전송 거울; 상기 전송 거울로부터 반사된 복수 개의 레이저 빔의 경로를 전환시켜서 레이저 빔을 결합시키고, 결합되지 않은 레이저 빔은 결합된 레이저 빔의 진행방향과 다른 방향으로 전송시키는 회절 격자; 및 레이저의 일부를 흡수하는 댐퍼를 포함할 수 있다.
상기 빔 샘플러는, 상기 회절 격자로부터 전송된 결합되지 않은 레이저 빔 중에서, 일부를 상기 빔 분할 장치로 반사시키고, 나머지는 관통하여 상기 댐퍼로 입사시킬 수 있다.
상기 빔 분할 장치는, 레이저 빔을 s 편광과 p 편광을 수직한 경로로 나누는 편광 분할기; 상기 편광 분할기에서 나뉜 s 편광을 집광하는 제 1 집광 렌즈; 및 상기 편광 분할기에서 나뉜 p 편광을 집광하는 제 2 집광 렌즈를 포함할 수 있다.
상기 빔 검출 장치는, 상기 제 1 집광 렌즈에 의하여 집광된 복수 개의 집광 빔을 채널 별로 검출하는 제 1 광 검출 어레이; 상기 제 2 집광 렌즈에 의하여 집광된 복수 개의 집광 빔을 채널 별로 검출하는 제 2 광 검출 어레이; 및 상기 제 1 광 검출 어레이 및 상기 제 2 광 검출 어레이의 출력 전압을 나타내는 출력부를 포함할 수 있다.
상기 빔 분할 장치는, 레이저 빔을 복굴절시켜서 s 편광과 p 편광으로 나누는 복굴절 분할기; 및 상기 복굴절 분할기에서 나뉜 s 편광과 p 편광을 각각 집광하는 집광 렌즈를 포함할 수 있다.
상기 빔 검출 장치는, 상기 집광 렌즈에 의하여 집광된 복수 개의 s 편광 및 p 편광 빔을 채널 별로 검출하는 광 검출 어레이; 및 상기 광 검출 어레이의 출력 전압을 나타내는 출력부를 포함할 수 있다.
상기 레이저 모니터링 장치는, 분할된 레이저 빔이 시간에 따라 선택적으로 통과하는 광 초퍼를 더 포함할 수 있다.
상기 레이저 모니터링 장치는, 상기 광 초퍼를 관통한 레이저 빔이 집광되고 반사됨으로써 레이저 빔의 경로를 전환시키는 광 경로 형성 장치를 더 포함할 수 있다.
상기 빔 검출 장치는, 광 검출기; 및 상기 광 검출기의 출력 전압을 시간에 따라 나타내는 출력부를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 레이저 빔 장치는, 각각 레이저를 발산하는 복수 개의 광섬유 레이저를 포함하는 광섬유 레이저 어레이; 상기 광섬유 레이저 어레이로부터 발산되는 레이저를 반사시키는 전송 거울; 상기 전송 거울로부터 반사된 복수 개의 레이저 빔의 경로를 전환시켜서 레이저 빔을 결합시키고, 결합되지 않은 레이저 빔은 결합된 레이저 빔의 진행방향과 다른 방향으로 전송시키는 회절 격자; 및 레이저의 일부를 흡수하는 댐퍼를 포함할 수 있다.
일 실시 예에 따른 레이저 모니터링 장치는, 결합된 레이저 빔이 진행하는 경로 상에 설치되지 않고, 결합되지 않은 레이저 빔을 회절 반사시키고, 상기 결합되지 않은 레이저 빔을 편광 별 및 채널별로 분할하고, 편광 별 및 채널별로 레이저 출력을 실시간 모니터링할 수 있다.
일 실시 예에 따른 레이저 빔 장치는, 결합된 레이저 빔과 다른 경로로 결합되지 않은 레이저 빔을 회절 반사시킬 수 있다.
일 실시 예에 따른 레이저 모니터링 장치는, 결합된 레이저 빔에 영향을 주지 않고, 결합되지 않은 레이저 빔을 편광 별 및 채널 별로 분할하고, 레이저의 채널 별 출력 및 편광 유지 여부를 동시에 실시간으로 모니터링할 수 있다.
도 1은 일 실시 예에 따른 레이저 빔 장치의 레이저 빔 경로를 나타낸 도면이다.
도 2는 일 실시 예에 따른 레이저 모니터링 장치의 도면이다.
도 3은 일 실시 예에 따른 레이저 모니터링 장치의 도면이다.
도 4는 일 실시 예에 따른 레이저 모니터링 장치의 도면이다.
도 5는 일 실시 예에 따른 광 초퍼를 레이저 빔 입사 방향에서 바라본 도면이다.
이하, 실시 예들을 예시적인 도면을 통해 상세하게 설명한다. 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 실시 예를 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 실시 예에 대한 이해를 방해한다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
또한, 실시 예의 구성 요소를 설명하는 데 있어서, 제 1, 제 2, A, B, (a), (b) 등의 용어를 사용할 수 있다. 이러한 용어는 그 구성 요소를 다른 구성 요소와 구별하기 위한 것일 뿐, 그 용어에 의해 해당 구성 요소의 본질이나 차례 또는 순서 등이 한정되지 않는다. 어떤 구성 요소가 다른 구성요소에 "연결", "결합" 또는 "접속"된다고 기재된 경우, 그 구성 요소는 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결되거나 접속될 수 있지만, 각 구성 요소 사이에 또 다른 구성 요소가 "연결", "결합" 또는 "접속"될 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
어느 하나의 실시 예에 포함된 구성요소와, 공통적인 기능을 포함하는 구성요소는, 다른 실시 예에서 동일한 명칭을 사용하여 설명하기로 한다. 반대되는 기재가 없는 이상, 어느 하나의 실시 예에 기재한 설명은 다른 실시 예에도 적용될 수 있으며, 중복되는 범위에서 구체적인 설명은 생략하기로 한다.
도 1은 일 실시 예에 따른 레이저 빔 장치의 레이저 빔 경로를 나타낸 도면이다.
도 1을 참조하면, 레이저 빔 장치(11)는, 복수 개의 레이저를 결합시킬 수 있다. 예를 들어, 레이저 빔 장치(11)는, 광섬유 레이저 어레이(111), 전송 거울(112), 회절 격자(113) 및 댐퍼(114)를 포함할 수 있다.
광섬유 레이저 어레이(111)는, 각각 레이저를 발산하는 복수 개의 광섬유 레이저를 포함할 수 있다. 예를 들어, 광섬유 레이저의 n개 채널을 각각 I1, I2, I3, ??, In이라고 할 때, 각각의 광섬유 레이저 어레이에서 발산된 레이저는 회절 격자(113)에서 반사되어 결합될 수 있고, 회절 격자(113)에 대한 각 레이저 빔의 입사각과 동일한 반사각으로 반사되어 분산될 수 있다. 구체적으로, 광섬유 레이저 어레이(111)에서 i번째 채널의 레이저는 광섬유 레이저 어레이(111)로부터 발산 및 진행하여 전송 거울(112)에서 반사 후 시준되어 회절 격자(113)에 θi의 각도로 입사할 수 있다. 회절 격자(113)로부터 반사되는 m차 회절빔의 각도 θi,m는 아래 [수학식 1]을 따른다.
Figure 112020089928080-pat00001
(g:회절 격자의 격자 밀도, λi:빔의 파장)
빔 결합을 위해 각 채널의 파장 λi는 -1차 반사 빔이 모두 같은 θi,-1의 각도로 반사되도록 [수학식1]에 따라서 조절될 수 있다. -1차 반사 빔 외의 차수들은, 결합 효율의 손실에 포함되므로, 회절 격자(113)의 밀도와 입사 빔의 각도는 각각 0차와 -1차만 존재하도록 설계함으로써 빔 결합 손실을 최소화할 수 있다. 예를 들어, 광섬유 레이저 어레이가 편광 유지(polarization-maintaining, PM) 광섬유로 구성될 경우에는, 빔 편광을 s 편광으로 유지할 수 있어 높은 빔 결합 효율을 가진다. 하지만 PM 광섬유는 비선형성이 높아서 무편광(non-PM) 광섬유에 비해 최대 출력에 한계가 있다. 따라서 고출력 레이저를 위해 non-PM 광섬유를 사용하되, 후술하는 바와 같이 편광 제어기술을 사용하여 최종 출력 빔이 s 편광으로 유지되도록 제어할 수 있다.
전송 거울(112)은, 광섬유 레이저 어레이(111)로부터 발산되는 레이저를 반사시킬 수 있다. 예를 들어, 전송 거울(112)에서 반사된 레이저가 회절 격자(113)에 입사될 수 있도록 전송 거울(112)의 초점을 고려하여, 전송 거울(112)과 회절 격자(113)의 위치를 배치할 수 있다.
회절 격자(113)는, 전송 거울(112)로부터 반사된 복수 개의 레이저 빔의 경로를 전환시켜서 레이저 빔을 결합시키고, 결합되지 않은 레이저 빔은 결합된 레이저 빔의 진행방향과 다른 방향으로 전송시킬 수 있다. 예를 들어, 회절 격자(113)는, 빔 결합 효율을 높이는데 중요 요소가 될 수 있으며, μm 이하의 미세 격자 주기를 수십 mm 이상의 대면적으로 제작하는 것이 바람직하다. 회절 격자(113)는, s 편광의 빔 결합에 대하여 -1차 반사 빔의 경우 약 97%, 0차 반사 빔의 경우 약 2.8%, 0차 및 -1차 투과 빔의 경우, 약 0.1%로 높은 빔 결합 효율을 나타낼 수 있다. 이와 같은 결합 효율은 예시적인 수치이며, 회절 격자의 제품 성능이나 특성에 따라 달라질 수 있다. 한편, p 편광의 경우 이와 달리 대부분 0차 반사 빔으로 손실될 수 있다. 따라서, 회절 격자(113)는, s 편광에 대하여 효율적으로 회절 및 반사할 수 있으므로, 레이저 빔이 s 편광으로 유지되는지 여부가 중요하다.
댐퍼(114)는, 레이저의 일부를 흡수할 수 있다. 예를 들어, -1차 반사빔 외의 차수들은 전부 원치 않는 잡광으로서 댐퍼(114)로 입사하여 소멸시킬 수 있다.
한편, i번째 채널의 광섬유 출력(Pi)은 s 편광 출력(Pi,s)과 p 편광 출력(Pi,p)에 의해 [수학식 2]와 같이 나타낼 수 있다.
Figure 112020089928080-pat00002
s 편광과 p 편광에 대한 회절 격자(113)의 효율을 각각 es, ep라 할 때, 회절 격자(113)로부터 반사된 후의 채널별 출력은 [수학식 3]에 따라서 표현되며 회절 격자(113)에 따라서 보다 감소할 것이다.
Figure 112020089928080-pat00003
레이저 모니터링 장치는, 채널별로 p 편광과 s 편광을 분리하여 각각의 출력을 출력부를 통하여 모니터링하고, 출력 자체가 감소했을 경우는 더 많은 펌핑, 즉, 출력 제어를 통해 출력을 향상할 수 있다. 또한, 수집된 정보에 기초하여 편광 비율을 측정하여 사용자에게 알려줄 수 있고, p 편광의 비율이 증가했을 경우는 이를 억제하도록 편광 제어할 수 있다.
도 2는 일 실시 예에 따른 레이저 모니터링 장치의 도면이다.
도 2를 참조하면, 레이저 모니터링 장치(1)는, 결합된 레이저 빔에 영향을 주지 않고, 결합되지 않은 레이저 빔을 편광 별 및 채널별로 분할하고, 레이저의 0차 반사 빔을 이용하여 채널별 출력 및 편광 유지 여부를 동시에 실시간으로 모니터링할 수 있다. 회절 격자(113)로부터 반사되는 -1차 반사 빔은 같은 각도 θi,-1로 회절되어 결합되는 반면, 0차 반사 빔은 [수학식 1]에 따라 파장에 대한 의존성이 사라지기 때문에 입사한 각도와 동일한 각도로 반사된다. 이와 같은 레이저 모니터링 장치(1)에 따르면, 빔 결합 레이저의 출력에 이상이 감지될 경우, 어느 채널에 결함이 발생한 것인지 쉽게 파악할 수 있으며, 결합 레이저에 영향을 주지 않을 수 있다. 예를 들어 레이저 모니터링 장치(1)는, 레이저 빔 장치(11), 빔 샘플러(12), 빔 분할 장치(15) 및 빔 검출 장치(16)를 포함할 수 있다.
빔 샘플러(12)는, 레이저 빔 장치(11)로부터 전송된 레이저 빔의 일부를 추출할 수 있다. 예를 들어, 빔 샘플러(12)는, 회절 격자(113)로부터 전송된 결합되지 않은 레이저 빔 중에서, 일부를 빔 분할 장치(15)로 반사시키고, 나머지는 관통하여 댐퍼(114)로 입사시킬 수 있다. 빔 샘플러(12)를 활용하면, 높은 출력에 의한 레이저 모니터링 장치(1)의 손상을 방지할 수 있다.
빔 분할 장치(15)는, 빔 샘플러(12)로부터 전송된 레이저 빔을 분할시킬 수 있다. 예를 들어, 빔 분할 장치(15)는, 편광 분할기(151), 제 1 집광 렌즈(152) 및 제 2 집광 렌즈(153)를 포함할 수 있다.
편광 분할기(151)는, 레이저 빔을 s 편광과 p 편광을 수직한 경로로 나눌 수 있다.
제 1 집광 렌즈(152)는, 편광 분할기(151)에서 나뉜 s 편광을 집광할 수 있고, 제 2 집광 렌즈(153)는, 편광 분할기(151)에서 나뉜 p 편광을 집광할 수 있다.
빔 검출 장치(16)는, 빔 분할 장치(15)를 통과한 레이저 빔을 검출할 수 있다. 예를 들어, 빔 검출 장치(16)는, 광 검출 어레이(161) 및 출력부(162)를 포함할 수 있다.
광 검출 어레이(161)는, 집광된 레이저가 입사되면, 레이저의 광에너지가 전기 에너지로 변환되어, 채널 별 및 편광 별로 대응되는 전압 값을 도출할 수 있다. 예를 들어, 제 1 광 검출 어레이(161b)는 제 1 집광 렌즈(152)에 의하여 집광된 복수 개의 집광 빔을 채널 별로 검출할 수 있고, 제 2 광 검출 어레이(161a)는 제 2 집광 렌즈(153)에 의하여 집광된 복수 개의 집광 빔을 채널 별로 검출할 수 있다.
출력부(162)는, 제 1 광 검출 어레이(161b) 및 제 2 광 검출 어레이(161a)의 출력 전압을 나타낼 수 있다. 예를 들어, 광 검출 어레이(161)로부터 측정된 전압값으로부터 채널 별 및 편광 별 출력을 산출하기 위해서는, 손실 및 변환 팩터 등을 미리 측정하여 [수학식 4]에 따라 도출할 수 있다.
Figure 112020089928080-pat00004
도 3은 일 실시 예에 따른 레이저 모니터링 장치의 도면이다.
도 3을 참조하면, 레이저 모니터링 장치(2)는, 레이저 빔 장치(11), 빔 샘플러(12), 빔 분할 장치(25) 및 빔 검출 장치(26)를 포함할 수 있다.
빔 분할 장치(25)는 복굴절 분할기(251) 및 집광 렌즈(252)를 포함할 수 있다.
복굴절 분할기(251)는, 레이저 빔을 복굴절시켜서 s 편광과 p 편광으로 나눌 수 있다. 예를 들어, 복굴절 분할기(251)를 통과하면, p 편광과 s 편광은 1 ~ 10°사이각을 형성하면서 분리될 수 있다.
집광 렌즈(252)는, 복굴절 분할기(251)에서 나뉜 s 편광과 p 편광을 각각 집광할 수 있다. 예를 들어, 집광 렌즈(252)는 단일 렌즈로 형성될 수 있으므로 시스템을 소형화할 수 있다.
빔 검출 장치(26)는 광 검출 어레이(261) 및 출력부(262)를 포함할 수 있다.
광 검출 어레이(261)는 집광 렌즈(252)에 의하여 집광된 복수 개의 s 편광 및 p 편광을 채널 별로 검출할 수 있다. 이와 같은 구조에 따르면, 광 검출 어레이(261)가 단일 어레이로 형성될 수 있으므로 시스템을 소형화할 수 있다.
도 4는 일 실시 예에 따른 레이저 모니터링 장치의 도면이고, 도 5는 일 실시 예에 따른 광 초퍼를 레이저 빔 입사 방향에서 바라본 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 레이저 모니터링 장치(3)는, 레이저 빔 장치(11), 빔 샘플러(12), 빔 분할 장치(25), 빔 검출 장치(36), 광 초퍼(37) 및 광 경로 형성 장치(38)를 포함할 수 있다. 레이저 모니터링 장치(3)에 의하면, 어레이 형태의 광 검출 장비를 이용하지 않고도 레이저를 모니터링 할 수 있다.
광 초퍼(37)를 이용하면, 분할된 레이저 빔이 시간에 따라 선택적으로 통과할 수 있다. 예를 들어, 광 초퍼(37)가 작동할 경우, 채널 별 및 편광 별로 분할된 스팟들 중 한 개의 스팟이 초퍼 홀(372)을 관통할 수 있고, 초퍼 휠(371)이 회전함에 따라, 다른 한 개의 스팟이 초퍼 홀(372)을 관통할 수 있다. 예를 들어, 광 초퍼(37)를 활용할 경우, 편광 제어에 충분한 속도인, 각 채널당 1000 Hz의 속도까지 데이터를 획득할 수 있다.
광 경로 형성 장치(38)는, 광 초퍼(27)를 관통한 레이저 빔이 집광되고 반사됨으로써, 빔 검출 장치(36)를 향해 안내되는 광 경로를 형성할 수 있다. 예를 들어, 광 경로 형성 장치(38)는, 집광 렌즈(381) 및 반사 거울(382)을 포함할 수 있다.
집광 렌즈(381)는, 빔 분할 장치(25)를 통해 분할되고, 광 초퍼(37)를 통과한 s 편광 및 p 편광을 굴절시킴으로써, 2가지 편광 중 어느 한 종류의 편광(예: s 편광)이 빔 검출 장치(36)로 집광되게 할 수 있다. 다시 말하면, 빔 검출 장치(36)는, 2가지 편광 중 어느 한 종류의 편광이 집광 렌즈(381)를 통해 집광되는 위치에 배치될 수 있다.
반사 거울(382)은, 상기 2가지 편광 중 나머지 종류의 편광(예: p 편광)의 경로에 설치되어, 상기 나머지 종류의 편광(예: p 편광)이 반사를 통해 빔 검출 장치(36)로 입사되게 할 수 있다.빔 검출 장치(36)는, 광 검출기(363) 및 출력부(364)를 포함할 수 있다.
광 검출기(363)는 광 검출 어레이 대신 사용될 수 있으며, 광 초퍼(37)에 의하여 한 개의 스팟을 통과한 레이저 빔 만을 신호로 받아들일 수 있다.
출력부(364)는 광 검출기(363)의 출력 전압을 시간에 따라 나타낼 수 있다. 예를 들어, 광 검출기(363)에서 얻어지는 신호는 채널 별 및 편광 별로 시간에 따른 피크값으로 얻어지며 각 피크의 최댓값을 통해 출력을 모니터링할 수 있다.
이상과 같이 비록 한정된 도면에 의해 실시 예들이 설명되었으나, 해당 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 상기의 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 예를 들어, 설명된 기술들이 설명된 방법과 다른 순서로 수행되거나, 및/또는 설명된 구조, 장치 등의 구성요소들이 설명된 방법과 다른 형태로 결합 또는 조합되거나, 다른 구성요소 또는 균등물에 의하여 대치되거나 치환되더라도 적절한 결과가 달성될 수 있다.

Claims (12)

  1. 복수 개의 레이저를 결합시킬 수 있는 레이저 빔 장치;
    상기 레이저 빔 장치로부터 전송된 레이저 빔의 일부를 추출하는 빔 샘플러;
    상기 빔 샘플러로부터 전송된 레이저 빔을 분할시키는 빔 분할 장치;
    상기 빔 분할 장치를 통과한 레이저 빔을 검출하는 빔 검출 장치; 및
    분할된 레이저 빔이 시간에 따라 선택적으로 통과하는 광 초퍼를 포함하고,
    상기 레이저 빔 장치는,
    각각 레이저를 발산하는 복수 개의 광섬유 레이저를 포함하는 광섬유 레이저 어레이;
    상기 광섬유 레이저 어레이로부터 발산되는 레이저를 반사시키는 전송 거울;
    상기 전송 거울로부터 반사된 복수 개의 레이저 빔의 경로를 전환시켜서 레이저 빔을 결합시키고, 결합되지 않은 레이저 빔은 결합된 레이저 빔의 진행방향과 다른 방향으로 전송시키는 회절 격자; 및
    레이저의 일부를 흡수하는 댐퍼를 포함하고,
    상기 빔 샘플러는,
    상기 회절 격자로부터 전송된 결합되지 않은 레이저 빔 중에서, 일부를 상기 빔 분할 장치로 반사시키고, 나머지는 관통하여 상기 댐퍼로 입사시키고,
    상기 빔 분할 장치는,
    레이저 빔을 복굴절시켜서 s 편광과 p 편광으로 나누는 복굴절 분할기; 및
    상기 복굴절 분할기에서 나뉜 s 편광과 p 편광을 각각 집광하는 집광 렌즈를 포함하는 레이저 모니터링 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 삭제
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 광 초퍼를 관통한 레이저 빔이 집광되고 반사됨으로써 레이저 빔의 경로를 전환시키는 광 경로 형성 장치를 더 포함하는 레이저 모니터링 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 빔 검출 장치는,
    광 검출기; 및
    상기 광 검출기의 출력 전압을 시간에 따라 나타내는 출력부를 포함하는 레이저 모니터링 장치.
  11. 삭제
  12. 삭제
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