KR102203002B1 - 진공 코팅 장치 - Google Patents

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KR102203002B1
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프랑코 모레니
안토니오 코레아
주세페 비스코미
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자티슬로 아게
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Abstract

기재(substrate)의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치(10)가 진공 챔버(12)를 포함하고, 진공 챔버는 증발원에 대면하여 배치되는 돔(dome)으로 형성되고, 축(R)을 중심으로 회전 가능한 기재 홀더(16) 및 증발원(14)을 수용한다. 증발원에 대해 기재 홀더 상의 기재를 부분적으로 쉐도잉(shadowing)하기 위한 마스킹 장치(20)가 사이에 위치된다. 마스킹 장치는, 진공 챔버에서 정지 상태인 고정 마스킹부(22), 및 그래디언트 마스크를 형성하기 위하여, 기재 홀더 상의 기재에 부여된 그래디언트 쉴드(gradient shield)를 가지는 복수의 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)를 포함한다. 그래디언트 섹터부가 고정 마스킹부 뒤에 저장되는 그래디언트 마스크 개방 위치와, 그래디언트 섹터부가 증발원과 기재 홀더 사이에서 팬(fan)과 같이 펼쳐지는 그래디언트 마스크 폐쇄 위치와의 사이에서, 그래디언트 섹터부는 상기 축을 중심으로 회전될 수 있다.

Description

진공 코팅 장치
본 발명은 일반적으로 청구항 1의 전제부에 따른 기재(substrate)의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치에 관한 것이다. 특히, 본 발명은 스펙터클 렌즈 블랭크(blank)의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치에 관한 것으로, 소위 "그래디언트 렌즈(gradient lens)"의 대량 생산의 프레임 내에서 사용될 수 있다. 그래디언트 렌즈는, 예를 들면 미적 이유로, 개별 렌즈가 렌즈의 상부에서 색깔이 더 어둡고, 이후 렌즈를 아래로 이동함에 따라, 색깔이 렌즈 상에서 더 이상 보이지 않을 때까지 색깔이 밝아지는 방식으로 틴트(tint)로 코팅되는 유형의 렌즈이다.
그래디언트 렌즈를 얻기 위하여, 증발기 도가니에 대하여 코팅될 기재 영역의 부위를 쉐도우(shadow)하는 스크린은 이미 제안되어 왔고, 따라서 스크린의 쉐도우 또는 하프-쉐도우(half-shadow)에 놓인 기재의 구역은 노출된 구역 보다 덜 강하게 증기 코팅된다.
이 맥락에서, 청구항 1의 전제부를 형성하는 문헌 US 7,311,939 B2에서는 진공 챔버에서 복수의 기재를 동시에 코팅하기 위한 진공 코팅 유닛이 기재되어 있다. 알려진 진공 코팅 유닛은 대칭 수직 축을 규정하는 증발 도가니, 증발 도가니 위에 배치되는 돔(dome)과 같이 형성되고, 증발 도가니의 대칭 수직 축을 중심으로 기재의 링에 방사상으로 동일한 간격으로 그리고 돔에 대하여 정지된 상태로 복수의 기재를 유지하기 위한 내측 구성을 가지는 기재 홀더, 및 대칭 축을 중심으로 돔을 회전시키기 위한 회전 구동부를 포함하고, 회전 구동부에 의해 기재는 대칭 축을 중심으로 원형 경로 상에 이동된다.
코팅 동안에 기재 상의 층 두께 또는 색깔 변화를 얻기 위하여, 알려진 진공 코팅 유닛은, 증발 도가니에 대해 기재 홀더에 의해 유지되는 기재를 부분적으로 쉐도잉하기 위하여, 증발 도가니와 기재 홀더 사이에서 진공 챔버에 위치되는 마스킹 장치를 더 가진다. 더 정확하게는, 이 마스킹 장치는 스크린에 형성된 적어도 하나의 연속적인, 즉 폐쇄된 원형 구멍 링을 포함하고, 이는 증발 도가니로부터 기재 홀더로의 증발에 대하여, 기재의 각각의 링과 관련되고, 증발 도가니와 돔 사이에 형성된 콘(cone) 내에서, 대칭 축에 대하여 둘레로 배치된다. 따라서 이 구멍 링은 원으로 기재 홀더에 맞춤되는 기재 그룹으로써 역할한다.
본 종래 기술에서, 다른 것 가운데, 기재 홀더로부터 구멍 링의 거리를 변화시킴으로써, 기재 상에 코팅된 그리도 부분적으로 코팅된 구역 사이의 전이를 다르게 하는 것이 또한 제안되었다. 기재에 더 가깝게 구멍 링이 위치될수록, 더 급격한 전이가 된다. 전이가 부드럽게 또는 강하게 되도록 구성할 수 있기 위하여, 본 종래 기술에서는 기재 홀더와 구멍 링 사이의 거리가 수직 방향으로, 다시 말해서 대칭 축에 평행하게 조절 가능한 것이 제안되었다. 이를 위하여, 진공 챔버 내측에, 제어기에 의해 구동될 수 있는 구멍 링을 위한 수직 구동부가 제공된다.
비록 본 종래 기술에서 코팅 동작 동안에도 구멍 링을 위한 수직 구동부를 구동시키는 것이 예견되지만, 그럼에도 구멍 링은 항상 증발 도가니와 기재 홀더 사이에 여전히 있고, 따라서 항상 기재의 적어도 일부분에 대한 쉐도잉 효과를 제공한다. 그러므로 반사 방지(AR) 코팅 단계 등과 같은, 증발 도가니를 마주하는 기재의 전체 영역 상에 완전히 충돌하기 위하여, 스크리닝(screening) 효과 없이 이 코팅 유닛에서 수행되는 임의의 추가 코팅 단계는, 원하는 비-스크린 코팅 단계를 위한 진공을 발생하도록 진공 챔버가 다시 폐쇄될 수 있기 전에, 진공 챔버에서 진공이 해제되어야 하고, 구멍 링을 제거하기 위하여 진공 챔버가 개방되어야 하는 것을 필요로 한다. 그러나 이 과정은 시간이 소모되고, 스펙터클 렌즈의 대량 생산에 수행되기에는 바람직하지 않다.
따라서 본 발명은, 문헌 US 7,311,939 B2에 의해 나타내는 바와 같은 종래 기술로부터 시작하여, 기재, 특히 스펙터클 렌즈 블랭크의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치를 생성의 목적을 가지고, 층 두께 또는 색 변화를 위한 스크리닝 효과를 갖는 또한 갖지 않는 진공 코팅 단계 모두는 더욱 효율적인 방식으로 수행될 수 있고, 박스 코팅 장치는 그래디언트 스펙터클 렌즈의 대량 생산의 프레임 내에서 배치되기에 특히 적합하다.
본 목적은 청구항 1에 나타나 있는 특징적 사항으로 달성된다. 본 발명의 유리한 또는 편리한 개량예는 청구항 2 내지 15에 나타나 있다.
본 발명에 따르면, 기재의, 특히 스펙터클 렌즈 블랭크(blank)의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치의 경우에, 박스 코팅 장치는 진공 챔버를 포함하고, 진공 챔버는 복수의 기재를 유지하기 위한 기재 홀더 및 증발원을 수용하고, 기재 홀더는, 증발원에 대면하여 배치되는 돔(dome)으로 형성되고, 돔 회전 구동부에 의해 증발원을 통과하는 회전 축을 중심으로 회전 가능하여, 기재 홀더에 의해 유지되는 기재는 증발원에 대해 각각 일정한 간격으로 회전 축을 중심으로 원 경로 상으로 이동될 수 있고, 증발원과 기재 홀더 사이의 진공 챔버에 위치되고, 증발원에 대해 기재 홀더에 의해 유지되는 기재를 부분적으로 쉐도잉(shadowing)하기 위한 마스킹 장치를 더 가지고, 마스킹 장치는, 진공 챔버에서 정지 상태인 고정 마스킹부, 및 그래디언트 마스크를 형성하기 위하여, 기재 홀더에 의해 유지되는 기재에 부여된 그래디언트 쉴드(gradient shield)를 각각 가지는 복수의 그래디언트 섹터부를 포함하고, 그래디언트 섹터부가 고정 마스킹부 뒤에 저장되는 그래디언트 마스크 개방 위치와, 그래디언트 섹터부가 증발원과 기재 홀더 사이에서 팬(fan)과 같이 펼쳐지는 그래디언트 마스크 폐쇄 위치와의 사이에서, 그래디언트 섹터부는 회전 축을 중심으로 회전될 수 있다.
따라서 박스 코팅 장치의 진공 챔버 내에서, 마스킹 장치는 두 개의 다른 상태, 즉 스크리닝 또는 쉐도잉 상태(그래디언트 마스크 폐쇄 위치), 또는 비-스크리닝 또는 비-쉐도잉 상태(그래디언트 마스크 개방 위치)를 선택적으로 취할 수 있다. 마스킹 장치의 스크리닝 또는 쉐도잉 상태에서, 그래디언트 섹터부는 고정 마스킹부 뒤로부터 펼쳐져, 증발원으로부터 나온 증발된 재료가, 기재 홀더에 의해 유지되는 기재를 치기 전에, 그래디언트 쉴드에 충돌하여 그래디언트 쉴드를 통과해야만 한다. 대조적으로, 마스킹 장치의 비-스크리닝 또는 비-쉐도잉 상태에서, 그래디언트 섹터부는 고정 마스킹부 뒤의 저장 공간 내로 스위블되고(swiveled), 따라서 증발된 재료(고정 마스킹부에 의해 커버되는 영역의 옆 또는 외측에서)는 기재 홀더를 통하여 순환되는 기재 상에 자유롭게 그리고 직접적으로 충돌한다. 그러므로 본 발명에 따르면, 층 두께 또는 색 변화를 위한 쉐도잉 효과를 갖는 또한 갖지 않는 진공 코팅 단계 모두를 원 위치에서 수행할 수 있다. 이렇게 함으로써, 개별 코팅 단계는 동일한 진공 조건 하에서 직접 연속하여 수행될 수 있다. 즉, 본 발명에 따르면, 쉐도잉 효과를 갖는 또한 갖지 않는 개별 코팅 단계 사이에 진공 챔버에서 진공을 해제하고 진공을 다시 만들기 위하여 진공 챔버를 개방 및 폐쇄하는 것이 요구되지 않는다. 결과적으로, 전체 코팅 공정, 특히, 두께 및/또는 색 변화 코팅 층을 가지는 그래디언트 스펙터클 렌즈의 공정이 상당한 시간 절약으로, 따라서 매우 효율적인 방식으로 수행될 수 있다.
원칙적으로, 4개 이상, 또한 필요하다면 다른 크기 및 형상의 이동 가능한 그래디언트 섹터부를 가진 마스킹 장치를 제공하는 것이 가능하다. 그러나 낮은 복잡성 및 비용 관점에서, 마스킹 장치가 거의 동일한 크기 및 형상이고, 적층된 배치에서 고정 마스킹부 뒤에 저장될 수 있는 3개의 그래디언트 섹터부를 가지면 바람직하다. 3개 그래디언트 섹터부만의 제공은, 각각의 그래디언트 섹터부에 의해 수행되는 개별 그래디언트 쉴드와, 기재 홀더에 의해 유지되는 부여된 기재와의 사이의 자유 거리 차이가 그래디언트 섹터부 사이만으로 작다는 장점을 추가로 가지고, 따라서 그래디언트 섹터부의 쉐도잉 효과가 실질적으로 동일하다.
마스킹 장치의 간단한 구조에 관하여, 그래디언트 섹터부가 회전 축과 정렬되는 공통 중앙 샤프트에 의해 진공 챔버에 스위블 장착되면 또한 바람직하다. 그러함에도, 회전 축에 대하여 동축으로 배치되고, 각각의 그래디언트 섹터부에 각각 부여되는 복수의 (중공) 샤프트가, 예를 들면, 원한다면 그래디언트 섹터부를 개별적으로 구동하기 위하여 또한 실현 가능할 것이다.
앞서 지적된 바와 같이, 원칙적으로, 개별 그래디언트 섹터부를 구동하는 별도 가능성이 제공될 수 있고, 그래디언트 섹터부는 원하는 대로 마스킹 위치에 대해 개별적으로 피봇되거나 되지 않을 수 있다. 그러나 다시 낮은 복잡성 및 비용 관점에서, 그래디언트 섹터부의 제1 부분이 중앙 샤프트와 회전하도록 연결되고, 반면에, 다른 그래디언트 섹터부는 중앙 샤프트에 대하여 피봇 가능하도록 중앙 샤프트 상에 장착된다면 바람직하고, 중앙 샤프트의 회전 방향에 따라, 그래디언트 마스크를 폐쇄 또는 개방하도록, 다른 그래디언트 섹터부는 중앙 샤프트와 회전 시 연속적인 방식으로 제1 그래디언트 섹터부에 의해 제1 그래디언트 섹터부를 따라 이동되도록 더 구성된다.
박스 코팅 장치의 유리한 실시예에서, 마스킹 구동 구성은, 인접한 그래디언트 섹터부는 각 경우에, 협력하는 구동 돌출부를 포함하고, 구동 돌출부는 중앙 샤프트의 회전시 서로 연속적으로 결합하게 배치되도록 더 될 수 있다. 이런 직접적인 형상-맞춤 조치가 단순하고 신뢰성 있는 구조로 인하여 마찰-맞춤, 케이블 풀(pull) 등을 통한 부품 링킹(linking)과 같은 다른 가능한 조치보다 바람직하다.
동일한 이유로, 다른 그래디언트 섹터부 각각에는, 중앙 샤프트의 회전 방향에 따라 각각의 그래디언트 섹터부의 개방 위치와 폐쇄 위치를 각각 형성하는 두 개의 받침 어깨부가 마련될 수 있다. 이 경우에, 바람직하게는, 개방 위치와 폐쇄 위치 각각에서, 각각의 다른 그래디언트 섹터부의 멈춤부로 역할하기 위하여 다른 그래디언트 섹터부의 받침 어깨부와 협력하는 하나의 정지된 멈춤 핀만 제공될 수 있고, 따라서 유리하게는 하나의 정지된 부품만이 그래디언트 섹터부의 전체 이동 범위를 제한한다.
진공 챔버에서 진공 손실에 대한 양호한 밀봉 옵션뿐만 아니라 상당히 콤팩트하고 단단한 디자인 관점에서, 기재 홀더는 중공 샤프트를 통하여 돔 회전 구동부에 구동 가능하게 연결된다면 더욱 바람직하고, 진공 챔버에서 그래디언트 섹터부의 스위블 장착을 위한 중앙 샤프트는 중공 샤프트를 통하여 연장되어, 중앙 샤프트 및 중공 샤프트는 회전 축을 중심으로 동심으로 배치된다.
원칙적으로, 마스킹 구동 장치는, 그래디언트 섹터부가 그래디언트 마스크 개방 위치와 그래디언트 마스크 폐쇄 위치와의 사이에서 회전 축을 중심으로 예를 들면, 기어 또는 레버 메커니즘을 통하여 중앙 샤프트에 토크를 수동으로 가함으로써 회전되도록 될 수 있다. 그러나 그래디언트 섹터부가 그래디언트 마스크 개방 위치와 그래디언트 마스크 폐쇄 위치와의 사이에서 회전 축을 중심으로 마스킹 회전 구동부에 의해 회전 가능하다면 바람직하다. 이 조치는 유리하게는 박스 코팅 장치의 제어 유닛을 통하여 마스킹 장치의 자동 제어를 가능하게 한다. 이 경우에, 바람직하게는, 마스킹 회전 구동부는 진공 챔버의 외측에 위치되고, 회전 피드스루(feed through)를 통하여 진공 챔버 내에서 중앙 샤프트에 구동 가능하게 연결될 수 있다. 이 장치는, 마스킹 회전 구동부의 간편한 제공을 가능하게 할 뿐만 아니라 진공 챔버 내에서 진공 오염의 위험을 낮추는 점에도 유리하다. 원칙적으로, 전기 모터가 마스킹 회전 구동부로서 사용될 수 있다. 그러나 특히 비용 관점에서, 마스킹 회전 구동부가 공압 모터이면 바람직하다.
유리하게는, 그래디언트 섹터부에는 회전 축으로부터 떨어진 자유 단부에 롤러가 마련될 수 있고, 회전 축을 중심으로 그래디언트 섹터부의 회전시, 롤러는 배정된 가이딩 레일 상에서 구르도록 배치되고, 가이딩 레일은 진공 챔버를 원형으로 둘러싸고, 그래디언트 섹터부의 자유 단부에서 중력에 반하여 그래디언트 섹터부를 지지하도록 정지 상태로 장착된다. 이 조치는 그래디언트 섹터부의 상당히 단단한 배치를 제공하고, 동시에 매우 부드러운 이동을 가능하게 한다. 그럼에도, 그래디언트 섹터부의 자유 단부에서 그래디언트 섹터부를 이동 가능하게 지지하기 위하여 슬라이드 베어링 등의 제공은 또한 가능할 것이다.
원칙적으로, 그래디언트 쉴드는 그래디언트 섹터부 상에 고정되도록 장착될 수 있고, 또는 하나의 부품으로 형성될 수 있다. 이후 다른 코팅 목적에 대해 박스 코팅 장치의 설정은 그래디언트 섹터부의 완전한 교체를 가능하게 요구할 수 있다. 그러나 높은 정도의 융통성의 관점에서, 그래디언트 쉴드가 상호 교환 가능하도록 그래디언트 섹터부에 장착된다면 바람직하다. 대안적으로 또는 추가로, 훨씬 더 큰 융통성을 제공하기 위하여, 그래디언트 쉴드는 쉐도잉 효과에 관하여 조절 가능하도록 그래디언트 섹터부에 장착될 수 있다.
후자의 경우에, 마지막으로, 그래디언트 섹터부로의 그래디언트 쉴드의 장착은, 일 부분에 볼트 결합되고, 다른 부분에서 직사각형 홀을 통과하는 나사 부재를 사용하여 수행되어, 나사 부재를 체결하기 전에, 그래디언트 섹터부에 대하여 직사각형 홀을 따라 그래디언트 쉴드를 측방향으로 변위시킴으로써, 그래디언트 쉴드는 쉐도잉 효과에 관하여 조절될 수 있도록, 매우 간단히 실행될 수 있다.
이하, 부분적으로 단순화된 또는 개략적인 첨부 도면을 참조하여, 스펙터클 렌즈 블랭크(blank)와 같은 기재의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치의 바람직한 실시 형태를 가지고 본 발명을 더 상세히 설명한다. 도시의 단순화를 위해, 박스 코팅 장치의 클래딩(cladding), 벽 및 도어의 부품 외에, 특히, 셔터를 갖는 전자 비임 총, 작동 유닛과 제어 시스템(전기 캐비넷), 스크린, 기재와 소모품을 위한 취급 장치와 배치 요소, 전류(변압기), 압축 공기, 진공(고진공 펌프 세트) 및 냉각수(물 열 조절기, 캐스케이드 냉각기, 물 냉각기)를 위한 공급 및 조절 장치(라인, 호스 및 관을 포함하여), 또한 측정 장치, 유지 보수 장치 및 안전 장치는, 모든 경우에 본 발명의 이해에 필요 없다는 점에서 도 1에서 대부분 생략되었음을 유의해야 한다. 적어도 이들 생략된 부품, 어셈블리 및 장치의 구조 및 기능은 통상의 기술자에게 알려져 있다.
도 1은, 특히, 기재로서 스펙터클 렌즈 블랭크의 진공 코팅을 위한 본 발명에 따른 박스 코팅 장치를 위쪽 전방 우측에서 비스듬히 본 사시도를 나타내며, 기재는 진공 챔버에서 중앙 회전 축을 중심으로 돔 형상의 기재 홀더에 의해 이동 가능하게 유지되고, 증발원에 대해 기재 홀더 상의 기재를 선택적으로 부분적으로 쉐도잉하기 위한 특정 마스킹 장치가 증발원과 기재 홀더 사이의 진공 챔버에 위치된다.
도 2는, 관련 회전 구동 조립체를 포함하는, 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 돔 형상의 기재 홀더 및 부여된 마스킹 장치를 아래쪽 측방 좌측에서 비스듬히 본 사시도를 나타내며, 마스킹 장치의 그래디언트 섹터부는, 박스 코팅 장치의 증발원과 기재 홀더 사이에 규정된 스크린을 제공하도록 그래디언트 섹터부가 팬(fan)과 같이 펼쳐지는 그래디언트 마스크 폐쇄 위치에 위치된다.
도 3은, 도 1의 상부로부터, 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 평면도를 나타내며, 마스킹 장치의 그래디언트 섹터부는, 그래디언트 섹터부가 마스킹 장치의 고정 마스킹부 뒤에 저장되는 그래디언트 마스크 개방 위치에 위치된다.
도 4는 도 3의 Ⅳ-Ⅳ 단면선에 대응하는 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 단면도를 나타낸다.
도 5는, 기재 홀더 및 마스킹 장치용으로 마련된 회전 구동 조립체의 더 나은 도시를 위해, 도 4의 Ⅴ 부분에 대응하는 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 확대된 부분 단면도를 나타낸다.
도 6은, 기재 홀더 및 마스킹 장치용으로 마련된 회전 구동 조립체의 추가 도시를 위해, 도 5의 Ⅵ 부분에 대응하는 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 추가로 확대된 부분 단면도를 나타낸다.
도 7은, 도 5의 Ⅶ 부분에 대응하는 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 도 6 규모의 부분 단면도를 나타내며, 어떻게 마스킹 장치의 그래디언트 섹터부가 마스크 장치용으로 마련된 회전 구동 조립체의 중앙 샤프트에 회전 가능하게 부착되는 지를 추가로 도시한다.
도 8은, 도 2의 아래로부터의 기재 홀더 및 마스킹 장치의 저면도를 나타내며, 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 관련 회전 구동 조립체는 명료성을 위해 생략되고, 그래디언트 섹터부는 그래디언트 마스크 개방 위치에 위치되어, 즉 도 8의 우측 상의 마스킹 장치의 고정 마스킹부 뒤에 저장된다.
도 9는, 도 2의 아래로부터의 마스킹 장치의 저면도를 나타내고, 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 기재 홀더 및 관련 회전 구동 조립체는 명료성을 위해 생략되고, 그래디언트 섹터부는 그래디언트 마스크 폐쇄 위치에 위치되어, 즉 회전 축을 중심으로 부채와 같이 펴진다.
도 10은, 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 마스킹 장치를 전방 우측에서 비스듬히 본 확대 절취 사시도를 나타내며, 어떻게 중앙 회전 축으로부터 떨어진 그래디언트 섹터부의 자유 단부에 롤러가 마련되는지를 도시하고, 자유 단부에서 중력에 반하여 그래디언트 섹터부를 지지하기 위하여, 중앙 회전 축을 중심으로 그래디언트 섹터부의 회전 시, 롤러는 진공 챔버를 원형으로 둘러싸는, 부여된 정지 상태의 가이딩 레일 상에 구르도록 배치된다.
도 11은, 롤러의 그래디언트 섹터부로의 부착, 및 롤러와 가이딩 레일 사이의 롤링 접촉의 추가 도시를 위해, 도 10의 단면선 ⅩⅠ-ⅩⅠ에 대응하는 도 10의 마스킹 장치의 추가 확대된 절취 단면도를 나타낸다.
도 12는, 그래디언트 섹터부 상에 수직으로 보는 방향으로, 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 마스킹 장치의 그래디언트 섹터부의 확대된 절취 평면도를 나타내며, 어떻게 그래디언트 쉴드가 상호 교환 가능하고 또한 쉐도잉 효과에 관하여 조절 가능하도록 그래디언트 섹터부에 장착되는 지를 도시한다.
도 13은, 나사 부재 및 직사각형 홀의 도움으로 그래디언트 섹터부로의 그래디언트 쉴드의 조절 가능한 장착의 추가 도시를 위해, 도 12의 단면선 ⅩⅠⅠⅠ-ⅩⅠⅠⅠ에 대응하는 도 12의 그래디언트 섹터부의 추가 확대된 절취 단면도를 나타낸다.
도 14a 내지 14h는, 회전 구동 조립체를 포함하지만 기재 홀더는 명료성을 위해 생략되는, 도 1에 따른 박스 코팅 장치의 마스킹 장치를 박스 코팅 장치에서 떼어내어서 아래에서 비스듬히 본 사시도를 나타내며, 그래디언트 마스크 개방 위치로부터 그래디언트 마스크 폐쇄 위치로(도 14a 내지 14d), 또한 그 반대로(도 14e 내지 14h)의 마스킹 장치의 3개 그래디언트 섹터부의 밀폐 및 개방 동작 순서를 각각 도시한다.
도 15a 내지 15h는, 도 14a 내지 14h에 따른 3개의 그래디언트 섹터부의 적층된 허브 섹션의 개략적이고 투명한 형태의 상면도를 나타내며, 상부 허브 섹션은 실선으로, 중간 허브 섹션은 점선으로, 최하위 허브 섹션은 작은 점선으로 나타내고, 또한 방사상 치수는 단지 명료성을 위해서 허브 섹션으로부터 허브 섹션으로 변화되고, 도 14a 내지 14h에 대응하는 밀폐 및 개방 동작 순서를 추가 도시하고, 이들 도식의 상면도는, 특히 어떻게 허브 섹션 상에 제공되는 구동 돌출부 및 받침 어깨부가 함께 정지 상태의 멈춤 핀과 상호 작용하는지를 각각 도시하고, 그래디언트 마스크 개방 위치로부터 그래디언트 마스크 폐쇄 위치로(도 15a 내지 15d), 또한 그 반대로(도 15e 내지 15h), 하부 그래디언트 섹터부는 회전 시 연속적인 방식으로 상부 그래디언트 섹터부에 의해 상부 그래디언트 섹터부를 따라 이동된다.
도 16a 내지 16h는, 도 14a 내지 14h에 따른 3개의 그래디언트 섹터부의 적층된 허브 섹션의 전방 단면도를 나타내며, 도 14a 내지 14h, 15a 내지 15h에 도시된 순서에 대응하는, 그래디언트 마스크 개방 위치로부터 그래디언트 마스크 폐쇄 위치로(도 16a 내지 16d), 또한 그 반대로(도 16e 내지 16h)의 3개 그래디언트 섹터부의 밀폐 및 개방 동작 순서를 각각 추가로 도시한다.
기재(substrate)(도면에 도시되지 않음)의, 특히 스펙터클 렌즈 블랭크의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치(10)가 도 1, 3 및 4에 도면부호 "10"으로 표시된다. 박스 코팅 장치(10)는 진공 챔버(12)를 가지고, 진공 챔버는 복수의 기재를 유지하기 위한 기재 홀더(16), 및 증발원(14)을 수용한다. 기재 홀더(16)는, (예를 들면, 본 출원인으로부터 이용 가능한 박스 코팅 장치 "1200-DLX 박스 코팅기"로 알려진 방식으로) 증발원(14)에 대면하여 배치되는 돔(dome)으로 형성되고, 돔 회전 구동부(18)에 의해 증발원(14)을 통과하는 회전 축(R)을 중심으로 회전 가능하여, 복수의 원(본 예에서 7개 원) 상에 공지된 방식으로 기재 홀더(16)에 의해 유지되는 기재는 증발원(14)에 대해 각각 일정한 간격으로 회전 축(R)을 중심으로 원 경로 상으로 이동될 수 있다. 또한, 증발원(14)에 대해 기재 홀더(16)에 의해 유지되는 기재를 부분적으로 쉐도잉(shadowing)하기 위한 마스킹 장치(20)가 증발원(14)과 기재 홀더(16) 사이의 진공 챔버(12)에 위치된다.
더욱 상세히 설명되는 바와 같이, 마스킹 장치(20)는, 진공 챔버(12)에서 정지 상태인 고정 마스킹부(22), 및 그래디언트 마스크를 형성하기 위하여, 기재 홀더(16)에 의해 유지되는 기재에 부여된 그래디언트 쉴드(gradient shield)(30)를 각각 가지는 복수의 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)(도시된 실시예에서 3개)를 포함한다. 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)가 적층된 배치에서 고정 마스킹부(22) 뒤에 저장되는 그래디언트 마스크 개방 위치(도 3, 4, 5, 7, 8, 14a, 14h, 15a, 15h, 16a, 16h)와, 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)가 증발원(14)과 기재 홀더(16) 사이에서 팬(fan)과 같이 펼쳐지는 그래디언트 마스크 폐쇄 위치(도 1, 2, 9, 14d, 14e, 15d, 15e, 16d, 16e)와의 사이에서, 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)(도시된 실시예에서 거의 동일한 크기 및 형상임)는 회전 축(R)을 중심으로 회전될 수 있다.
진공 챔버(12) 내측에 대해 자유로운 시야를 가능하게 하기 위하여 도 1 내지 3에 생략된 박스 코팅 장치(10)의 벽을 또한 도시하는 도 4에서 이해될 수 있는 바와 같이, 진공 챔버(12)는 측벽(32), 상벽(34) 및 바닥벽(36)에 의해 경계 지워진다. 증발원(14)은 바닥벽(36) 상의 중앙 위치에 적절하게 장착된다. 또한 바닥벽(36)은 마스킹 장치(20)에 부여된 지지 구조체(38)를 지탱한다. 도 1 및 4에 따르면, 지지 구조체(38)는, 진공 챔버(12)를 원형으로 둘러싸는 가이딩 레일(42)(도 10 및 11 참조)을 정지 상태로 수평으로 장착하도록, 길이 조절될 수 있고, 회전 축(R) 둘레로 균일하게 분포되는 4개의 포스트(40)를 가진다. 가이딩 레일(42)은, 회전 축(R)으로부터 떨어진 그래디언트 섹터부의 자유 단부에서 중력에 반하여 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)를 지지하는 역할을 한다. 이를 위하여, 그래디언트 섹터부의 자유 단부에서, 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)에는 원주 방향으로 서로 이격되는 두 개의 롤러(44)가 각각 마련된다. 롤러(44)는 회전 축(R)을 중심으로 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)의 회전시, 가이딩 레일(42) 상에서 구르도록 배정되고 배치된다.
돔 형상의 기재 홀더(16)의 추가 세부사항에 대하여, 박스 코팅 장치(10)에서 기재 홀더의 지지 및 돔 회전 구동부(18)를 포함하는 구동 장치는 특히 도 4 내지 7로부터 이해될 수 있다. 박스 코팅 장치(10)의 상벽(34)에는 도면부호 "46"으로 원형 형상의 중앙 개구부가 마련되고, 중앙 개구부를 통하여 기재 홀더(16)용 구동 장치가 진공 챔버(12) 내로 연장된다. 링 형상의 베어링 플랜지(48)가 회전 축(R) 상의 중앙 개구부(46)와 정렬되도록 상벽(34)의 상부 상에 고정되게 장착된다. 베어링 플랜지(48)의 내부 원주에서, 리테이닝 링(50)(도 6 참조)과 함께, 기재 홀더(16)용 축 및 반경 베어링 장치(52)를 지지한다. 도 6 및 7에서 최적으로 도시된 바와 같이, 축 및 반경 베어링 장치(52)는 2 부품 구조의 중공 샤프트(54)를 지지하고, 기재 홀더(16)가 회전 축(R)을 중심으로 중공 샤프트(54)와 함께 회전할 수 있고, 동시에 중력에 반하여 축방향으로 지지되도록, 기재 홀더(16)는 브래킷(56)을 통하여 중공 샤프트에 후크 결합된다. 이와 같은 기재 홀더(16)는 아치형 홀딩 암(58)을 포함하고, 거미 같은 아치형 홀딩 암은 회전 축(R)을 중심으로 규칙적인 간격(도 1 및 3 참조)으로 중공 샤프트(54)로부터 연장되고, 동일한 크기 및 형상의 시트형의, 아치형 홀딩 세그먼트(60)를 제거 가능하게 유지한다. 각 홀딩 세그먼트(60)는, 기재가 공지된 방식으로 상부로부터 들어맞을 수 있는, 복수의 실질적으로 원형의 구멍(62)을 가진다.
이하 설명되는 바와 같이, 기재 홀더(16)는 중공 샤프트(54)를 통하여 돔 회전 구동부(18)에 구동 가능하게 연결된다. 도 4 내지 6에 따르면, 편평한 지지 플레이트(64)가 베어링 플랜지(48)의 상부 상에 복수의 브래킷(66)에 의해 고정되게 장착된다. 지지 플레이트(64)에는, 도 4 내지 6의 우측 상에, 회전 피드스루(feed through)(72)의 구동 샤프트(70)가 통과하여 연장되는 개구부(68)가 마련된다. 회전 피드스루(72)는 장착 플랜지(74)에 의해 개구부(68)에 대해 중심이 되도록 지지 플레이트(64)에 장착된다. 또한, 중간 부품(76)의 상부에서 각도 기어(78)를 유지하기 위한 중간 부품(76)이 회전 피드스루(72)의 상부 단부에 장착된다. 도 4 및 5의 각도 기어(78)의 우측에서, 돔 회전 구동부(18)는 각도 기어(78)에 플랜지 장착된다. 따라서, 돔 회전 구동부(18)는 박스 코팅 장치(10)의 상벽(34)에 대하여 각도 기어(78)의 하우징, 중간 부품(76), 회전 피드스루(72)의 하우징, 장착 플랜지(74), 지지 플레이트(64) 및 베어링 플랜지(48)를 통하여 고정된다.
지지 플레이트(64)의 개구부(68)를 통하여 연장되는 구동 샤프트(70) 상에, 피니언(80)이 구동 샤프트(70)와 함께 회전할 수 있도록 장착된다. 피니언(80)은 중공 샤프트(54)와 함께 회전할 수 있도록 중공 샤프트(54)의 상부 상에 장착되는 기어 휠(82)과 함께 맞물린다. 이전 기재로부터 명백한 바와 같이, 중공 샤프트(54)(및 따라서 기재 홀더(16))는 전기 돔 회전 구동부(18), 각도 기어(78), 회전 피드스루(72)의 구동 샤프트(70), 거기에 부착된 피니언(80), 및 중공 샤프트(54) 상에 배치되는 기어 휠(82)을 통하여 회전 축(R)을 중심으로 회전하도록 구성될 수 있다.
다음은, 도시된 실시예에서, 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)가 어떻게 구조되어, 바람직하게는 공압 모터인 마스킹 회전 구동부(84)에 의해, 그래디언트 마스크 개방 위치와 그래디언트 마스크 폐쇄 위치와의 사이에서 회전 축(R)을 중심으로 회전할 수 있는지에 대하여 설명될 것이다. 각 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)는, 중앙 허브 섹션(86, 88, 90), 및 약 90도의 세그먼트 각도의, 시트형의 아치형 원형 세그먼트(92, 94, 96)를 포함하고, 원형 세그먼트는 그의 좁은 측에서 원형 두 개의 체결부(특히, 도 2, 7 및 9 참조)를 통하여 각각의 허브 섹션(86, 88, 90)에 부착되고, 이하 설명될 복수의 그래디언트 쉴드(30)가 마련된다. 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)의 그래디언트 마스크 폐쇄 위치에서 원형 세그먼트(92, 94, 96)는 기재 홀더(16)의 돔 형상과 유사한 (부분적으로) 돔 형상을 생성하지만, 도 1 및 2에서 볼 수 있는 바와 같이, 기재 홀더(16)의 돔 형상에 대하여 실질적으로 평행하게 오프셋되어 위치된다.
또한, 우선, 도 4 내지 7로부터 알 수 있는 바와 같이, 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)는 회전 축(R)과 정렬되는 공통의 중앙 샤프트(98)에 의해 진공 챔버(12)에서 스위블(swivel) 장착된다. 더욱 정확하게는, 도 5 및 7에 따르면, 각각의 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)의 허브 섹션(86, 88, 90)은, 각각의 내부 원주에서, 롤링 베어링(100)에 의해 중앙 샤프트(98)의 하부 단부의 외부 원주 상에 방사방향으로 지지된다. 또 다른 롤링 베어링(100)이 고정 마스킹부(22)의 구부러진 중앙 단부 섹션(102)과 중앙 샤프트(98)의 하부 단부 사이에 마련된다. 도 7에 따르면, 중앙 나사(108)에 의해 중앙 샤프트(98)의 하부 단부면에 볼트 결합되는 단부 워셔(106)와 함께 롤링 베어링(100) 사이에 축방향으로 개재되는 스페이서 링(104)이 이 베어링 장치를 축방향으로 제 위치에 유지한다. 동시에, 고정 마스킹부(22)의 중앙 단부 섹션(102)은 중앙 샤프트(98) 상에 축방향으로 지지된다. 평면도에서 봤을 때(도 8 및 9 참조), 정삼각형 형상을 가지고, 시트 재료로 이루어진, 고정 마스킹부(22)의 구부러진 외부 단부 섹션(110)은 브래킷(112)을 통하여 박스 코팅 장치(10)의 측벽(32)에 의해 축방향으로 지지되고 측벽(32)에 고정된다(도 4 참조).
중앙 샤프트(98)는 축방향으로 고정되게 지지되지만, 박스 코팅 장치(10)의 상벽(34)에 대해 회전 가능하다. 이를 위하여, 도 4 내지 6에 따르면, 지지 플레이트(64)에 원형 형상의 중앙 개구부(114)가 마련된다. 베어링 슬리브(116)가 중공 샤프트(54)의 하부 단부에서 대략 끝날 때까지(도 7 참조), 베어링 슬리브(116)는 지지 플레이트(64)의 중앙 개구부(114), 기어 휠(82), 중공 샤프트(54), 및 상벽(34)의 중앙 개구부(46)를 통하여 연장하여 상부로부터 지지 플레이트(64)에 플랜지 장착된다. 중앙 샤프트(98)는, 상부의 위치 롤링 베어링(118)과 하부의 플로팅 롤링 베어링(120)을 포함하는 베어링 장치에 의하여 베어링 슬리브(116)의 내측에 회전 가능하게 장착된다. 베어링 슬리브(116)의 하부 단부에 장착된 링 부품(122)(도 5 및 7 참조)이 플로팅 롤링 베어링(120)을 축방향으로 지지하면서, 위치 롤링 베어링(118)은 어깨부(124) 및 리테이닝 링(126)(도 6 참조)에 의해 베어링 슬리브(116)의 내부 원주에서 축방향으로 제 위치에 유지된다. 또한, 도 6에 따르면, 중앙 샤프트(98)는 중앙 샤프트(98)의 환형 칼라(128)를 통하여 축방향으로 위치 롤링 베어링(118) 상에 안착된다.
도 4 내지 6에서 알 수 있는 바와 같이, 추가 회전 피드스루(132)의 구동 샤프트(130)가 베어링 슬리브(116) 내로 연장되고, 중앙 샤프트(98)의 상부 단부에 고정되게 연결된다. 회전 피드스루(132)는 장착 플랜지(134)에 의해 베어링 슬리브(116)에 대해 중심이 되도록 베어링 슬리브(116)에 장착된다. 또한, 도 4 및 5에 따르면, 마스킹 회전 구동부(84)를 유지하기 위한 중간 부품(136)이 회전 피드스루(132)의 상부 단부에 장착되고, 마스킹 회전 구동부는 중간 부품(136)의 상부에 플랜지 장착되고, 회전 피드스루(132)의 구동 샤프트(130)의 상부 단부에 구동 가능하게 연결된다. 따라서 마스킹 회전 구동부(84)도 박스 코팅 장치(10)의 상벽(34)에 대하여, 중간 부품(136), 회전 피드스루(132)의 하우징, 장착 플랜지(134), 베어링 슬리브(116), 지지 플레이트(64), 및 베어링 플랜지(48)를 통하여 고정된다. 이전 기재로부터 더욱 명백한 바와 같이, 중앙 샤프트(98)는 회전 축(R)을 중심으로 (시계 방향 또는 반시계 방향으로) 공압 마스킹 회전 구동부(84) 및 회전 피드스루(132)의 구동 샤프트(130)를 통하여 구동될 수 있다. 이렇게 함으로써, 진공 챔버(12)에서 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)의 스위블 장착을 위한 중앙 샤프트(98)는, 돔 회전 구동부(18)에 기재 홀더(16)를 구동 가능하게 연결하는 중공 샤프트(54)를 통하여 연장되어, 중앙 샤프트(98) 및 중공 샤프트(54)는 회전 축(R)을 중심으로 동심으로 배치된다. 이 맥락에서, a) 장착된 부품들 사이의 도 6에 도시된 여러 실링 링, b) 진공 챔버(12) 내의 중앙 샤프트(98)를 진공 챔버(12) 외측에 위치되는 마스킹 회전 구동부(84)에 구동 가능하게 연결함으로써, 마스킹 장치(20)에 부여되는 회전 피드스루(132), 및 c) 기재 홀더(16)에 부여되는 회전 피드스루(72)가 함께, 주변 공기가 상벽(34)의 중앙 개구부(46)를 통하여 진공 챔버(12)로 유입하는 것을 방지한다는 점에 유의해야 한다.
이하에서 설명되는 바와 같이, 제1, 즉, 그래디언트 섹터부의 상부 부분(24)은 중앙 샤프트(98)와 회전하도록 연결되는데 반하여, 다른 그래디언트 섹터부(26, 28)는 중앙 샤프트(98)에 대해 피봇 가능하도록 롤링 베어링(100)에 의해 중앙 샤프트(98) 상에 장착되고, 중앙 샤프트(98)의 회전 방향에 따라 그래디언트 마스크를 폐쇄 또는 개방하도록, 다른 그래디언트 섹터부(26, 28)는 중앙 샤프트(98)와의 회전 시 연속적인 방식으로 제1 그래디언트 섹터부(24)에 의해 제1 그래디언트 섹터부를 따라 이동되도록 더 구성된다. 이를 위하여, 특히 도 7에 따르면, 중앙 샤프트(98)는, 각도 브래킷(138) 및 적절한 체결부(140, 142)에 의해, 중앙 샤프트(98)의 대향하는 측 상의 그래디언트 섹터부(24)의 허브 섹션(86)에 구동 가능하게 연결되고, 체결부는 각각, 중앙 샤프트(98)에 고정되고, 허브 섹션(86)의 부여되는 긴 토잉(towing) 홀(144) 내로 결합된다. 또한, 인접한 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)는 각 경우에, 협력하는 구동 돌출부를 포함하고, 구동 돌출부는 중앙 샤프트(98)의 회전시 서로 연속적으로 결합하게 되도록 배치된다.
더 정확하게는, 도 15a 내지 16h에 따르면, 상부 그래디언트 섹터부(24)의 허브 섹션(86)은 구동 돌출부로서 결합 핀(146)을 포함하고, 결합 핀은 허브 섹션(86)의 하부측으로부터 돌출하고, 허브 섹션(86)의 회전 방향에 따라, 두 개의 키(148, 150) 중 어느 하나와 협력하도록 위치되고, 두 개의 키는, 중간 그래디언트 섹터부(26)의 허브 섹션(88)의 하부측에 부착되고 하부측으로부터 구동 돌출부로서 돌출하고, 회전 축(R)에 대하여 약 100도의 각도로 이격되어 있다. 유사하게, 중간 그래디언트 섹터부(26)의 허브 섹션(88)은 구동 돌출부로서 결합 핀(152)을 포함하고, 결합 핀은 허브 섹션(88)의 하부측으로부터 돌출하고, 허브 섹션(88)의 회전 방향에 따라, 두 개의 키(154, 156) 중 어느 하나와 협력하도록 위치되고, 두 개의 키는, 최하위 그래디언트 섹터부(28)의 허브 섹션(90)의 하부측에 부착되고 하부측으로부터 구동 돌출부로서 돌출하고, 회전 축(R)에 대하여 약 100도의 각도로 이격되어 있다.
특히, 도 15a 내지 15h로부터 더욱 알 수 있는 바와 같이, 다른 그래디언트 섹터부(26, 28) 각각에는, 중앙 샤프트(98)의 회전 방향에 따라 각각의 그래디언트 섹터부(26, 28)의 개방 위치와 폐쇄 위치를 각각 형성하는 두 개의 받침 어깨부(158, 160, 162, 164)가 마련된다. 그래디언트 섹터부(26)의 중간 허브 섹션(88)의 받침 어깨부(158, 160)는 회전 축(R)에 대하여 약 187도의 각도로 이격되지만, 그래디언트 섹터부(28)의 최하위 허브 섹션(90)의 받침 어깨부(162, 164)는 회전 축(R)에 대하여 약 97도의 각도로 이격된다. 도 15a 내지 16h로부터 더욱 명백한 바와 같이, 개방 위치와 폐쇄 위치 각각에서, 각각의 그래디언트 섹터부(26, 28)의 멈춤부로 역할하기 위하여 다른 그래디언트 섹터부(26, 28)의 받침 어깨부(158, 160, 162, 164)와 협력하도록 배치되는 하나의 정지된 멈춤 핀(166)만 제공된다. 멈춤 핀(166)은 고정 마스킹부(22)의 중앙 단부 섹션(102)에 고정되게 부착된다.
작동시, 도 14a에 도시된 그래디언트 마스크 개방 위치로부터 시작하여, 이 위치에서는, 중간 허브 섹션(88)의 받침 어깨부(158)와, 최하위 허브 섹션(90)의 받침 어깨부(162)가 모두 멈춤 핀(166)과 접촉하고(도 16a의 원 부분 참조), 상부 그래디언트 섹터부(24)의 허브 섹션(86)은, 도 15a의 화살표로 나타내는 바와 같이, 도 15a의 반시계 방향으로 회전 축(R)을 중심으로, 마스킹 회전 구동부(84)에 의해 구동된 중앙 샤프트(98)를 통하여 회전된다. 그래디언트 섹터부(24)의 약 90도 회전 시(도 14b 참조), 상부 허브 섹션(86)의 결합 핀(146)은 중간 허브 섹션(88)의 키(148)와 접촉하고(도 15b 및 도 16b의 원 부분 참조), 중간 허브 섹션(88)과 이에 따라 그래디언트 섹터부(26)는 그래디언트 섹터부(24)의 상부 허브 섹션(88)과 함께 회전된다. 그래디언트 섹터부(24)의 약 180도 회전 시(도 14c 참조), 중간 허브 섹션(88)의 결합 핀(152)은 최하위 허브 섹션(90)의 키(154)와 접촉하고(도 15c 및 도 16c의 원 부분 참조), 최하위 허브 섹션(90)과 이에 따라 그래디언트 섹터부(28)는 그래디언트 섹터부(24, 26)와 함께 회전된다. 마지막으로, 그래디언트 섹터부(24)의 약 270도 회전 시(도 14d 참조), 중간 및 최하위 허브 섹션(88, 90)의 받침 어깨부(160, 164)는, 마스킹 장치(20)의 폐쇄 이동을 멈추도록 멈춤 핀(166)과 결합하여 접촉한다(도 15d 및 도 16d의 원 부분 참조). 이제 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)는 고정 마스킹부(22) 뒤의 저장 공간으로부터 완전히 펼쳐져, 기재 홀더(16)에 의해 유지되는 기재 상에 쉐도잉 효과를 낸다.
도 14d, 14e, 15d, 15e, 16d, 16e에 도시된 상태, 즉 그래디언트 마스크 폐쇄 위치로부터 시작하여, 마스킹 장치(20)를 개방하기 위하여, 중간 및 최하위 허브 섹션(88, 90)의 받침 어깨부(160, 164)는 정지 핀(166)과 접촉 상태를 유지하면서, 상부 그래디언트 섹터부(24)의 허브 섹션(86)은, 도 15e의 화살표로 나타내는 바와 같이 도 15e의 시계 방향으로 회전 축(R)을 중심으로 중앙 샤프트(98)를 통하여 마스킹 회전 구동부(84)에 의해 피봇된다. 그래디언트 섹터 피스톤(24)의 약 90도 회전시(도 14f 참조), 상부 허브 섹션(86)의 결합 핀(146)은 중간 허브 섹션(88)의 다른 키(150)와 접촉하고(도 15f 및 도 16f의 원 부분 참조), 중간 허브 섹션(88)과 이에 따라 그래디언트 섹터부(26)는 그래디언트 섹터부(24)의 상부 허브 섹션(88)과 함께 다시 회전된다. 그래디언트 섹터 피스톤(24)의 약 180도 회전시(도 14g 참조), 중간 허브 섹션(88)의 결합 핀(152)은 최하위 허브 섹션(90)의 다른 키(156)와 접촉하고(도 15g 및 도 16g의 원 부분 참조), 최하위 허브 섹션(90)과 이에 따라 그래디언트 섹터부(28)는 그래디언트 섹터부(24, 26)와 함께 다시 회전된다. 마지막으로, 그래디언트 섹터 피스톤(24)의 약 270도 회전시(도 14h 참조), 중간 및 최하위 허브 섹션(88, 90)의 받침 어깨부(158, 162)는, 마스킹 장치(20)의 개방 움직임을 멈추기 위하여, 타측으로부터 멈춤 핀(166)과 결합하여 접촉한다(도 15h 및 도 16h의 원 부분 참조). 이 상태에서, 상부 허브 섹션(86)과 이에 따라 그래디언트 섹터부(24)의 추가 회전은, 특히 멈춤 핀(166)에 의해 멈춰지는 상부 허브 섹션(86)의 결합 핀(146)과 중간 허브 섹션(88) 상의 키(150) 사이의 접촉에 의해 방지된다. 이제 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)는 고정 마스킹부(22)의 뒤의 저장 공간에 다시 완전히 저장되어, 기재 홀더(16)에 의해 유지되는 기재 상에 증발원(14)으로부터 나온 증발 재료의 직접 충돌을 가능하게 한다.
진공 챔버(12)에서 가이딩 레일(42) 상의 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)의 롤링 축 지지의 추가 세부사항은 도 10 및 11로부터 알 수 있다. 따라서 예를 들면, 롤링 베어링의 도움으로, 가이딩 레일(42) 상에 구르도록 적절하게 구성되는 롤러(44)는, 유지 암(170) 상의 나사 축(168)에 의해 장착된다. 유지 암(170)은 각각의 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)와 가이딩 레일(42) 사이의 정의된 수직 거리를 제공하고, 도 10 및 11에서 그래디언트 섹터부(24)의 원형 세그먼트(92)에서 하나의 롤러(44)에 대해 예시적으로 도시된 바와 같이, 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)의 원형 세그먼트(92, 94, 96)의 자유 에지에 적절하게 볼트 결합된다.
마지막으로, 도 10, 12 및 13은, 그래디언트 쉴드(30)가 상호 교환 가능하고 또한 쉐도잉 효과에 관하여 조절 가능하도록 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)에 어떻게 장착될 수 있는지를 도시한다. 따라서 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)로의 그래디언트 쉴드(30)의 장착은, 일 부분에, 즉, 도시된 예에서 원형 세그먼트(92)에 너트(174)의 도움으로 볼트 결합되고, 다른 부분에서, 즉, 본 예에서 그래디언트 쉴드(30)에서 직사각형 홀(176)을 통과하는 나사 부재(172)를 사용하여 수행되고, 워셔(178)는 너트(174)와 그래디언트 쉴드(30) 사이에 개재된다. 따라서 나사 부재(172) 및 너트(174)를 각각 체결하기 전에, 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)에 대하여 직사각형 홀(176)을 따라 그래디언트 쉴드(30)를 측방향으로 변위시킴으로써, 그래디언트 쉴드(30)는 쉐도잉 효과에 관하여 조절될 수 있고, 따라서 각각의 그래디언트 쉴드(30)는, 각각의 원형 세그먼트(92, 94, 96)에서 정의된 범위로 부여된 실질적으로 정사각형의 개구부를 부분적으로 커버한다.
기재의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치가, 진공 챔버를 포함하고, 진공 챔버는 증발원, 및 증발원에 대면하여 배치되는 돔(dome)으로 형성되고 축을 중심으로 회전 가능한 기재 홀더를 수용한다. 증발원에 대해 기재 홀더 상의 기재를 부분적으로 쉐도잉하기 위한 마스킹 장치가 사이에 위치된다. 마스킹 장치는, 진공 챔버에서 정지 상태인 고정 마스킹부, 및 그래디언트 마스크를 형성하기 위하여, 기재 홀더 상의 기재에 부여된 그래디언트 쉴드를 가지는 복수의 그래디언트 섹터부를 포함한다. 그래디언트 섹터부가 고정 마스킹부 뒤에 저장되는 그래디언트 마스크 개방 위치와, 그래디언트 섹터부가 증발원과 기재 홀더 사이에서 팬(fan)과 같이 펼쳐지는 그래디언트 마스크 폐쇄 위치와의 사이에서, 그래디언트 섹터부가 상기 축을 중심으로 회전될 수 있다.
10 박스 코팅 장치 12 진공 챔버
14 증발원 16 기재 홀더
18 돔 회전 구동부 20 마스킹 장치
22 고정 마스킹부 24 그래디언트 섹터부
26 그래디언트 섹터부 28 그래디언트 섹터부
30 그래디언트 쉴드 32 측벽
34 상벽 36 바닥벽
38 지지 구조체 40 포스트
42 가이딩 레일 44 롤러
46 중앙 개구부 48 베어링 플랜지
50 리테이닝 링 52 축 및 반경 베어링 장치
54 중공 샤프트 56 브래킷
58 홀딩 암 60 홀딩 세그먼트
62 구멍 64 지지 플레이트
66 브래킷 68 개구부
70 구동 샤프트 72 회전 피드스루
74 장착 플랜지 76 중간 부품
78 각도 기어 80 피니언
82 기어 휠 84 마스킹 회전 구동부
86 (상부) 허브 섹션 88 (중간) 허브 섹션
90 (최하위) 허브 섹션 92 원형 세그먼트
94 원형 세그먼트 96 원형 세그먼트
98 중앙 샤프트 100 롤링 베어링
102 중앙 단부 섹션 104 스페이서 링
106 단부 워셔 108 중앙 나사
110 외부 단부 섹션 112 브래킷
114 중앙 개구부 116 베어링 슬리브
118 위치 롤링 베어링 120 플로팅 롤링 베어링
122 링 부품 124 어깨부
126 리테이닝 링 128 환형 칼라
130 구동 샤프트 132 회전 피드스루
134 장착 플랜지 136 중간 부품
139 각도 브래킷 140 체결부
142 체결부 144 긴 토잉 홀
146 긴 핀 148 키
150 키 152 긴 핀
154 키 156 키
158 받침 어깨부 160 받침 어깨부
162 받침 어깨부 164 받침 어깨부
166 멈춤 핀 168 나사 축
170 홀딩 암 172 나사 부재
174 너트 176 직사각형 홀
178 워셔 R 회전 축

Claims (16)

  1. 기재(substrate)의 진공 코팅을 위한 박스 코팅 장치(10)로서, 박스 코팅 장치는 진공 챔버(12)를 포함하고, 진공 챔버는 복수의 기재를 유지하기 위한 기재 홀더(16) 및 증발원(14)을 수용하고, 상기 기재 홀더(16)는, 상기 증발원(14)에 대면하여 배치되는 돔(dome)으로 형성되고, 돔 회전 구동부(18)에 의해 상기 증발원(14)을 통과하는 회전 축(R)을 중심으로 회전 가능하여, 상기 기재 홀더(16)에 의해 유지되는 기재는 상기 증발원(14)에 대해 각각 일정한 간격으로 상기 회전 축(R)을 중심으로 원 경로 상으로 이동될 수 있고,
    상기 증발원(14)에 대해 상기 기재 홀더(16)에 의해 유지되는 기재를 부분적으로 쉐도잉(shadowing)하기 위한 마스킹 장치(20)가 상기 증발원(14)과 상기 기재 홀더(16) 사이의 상기 진공 챔버(12)에 위치되고,
    상기 마스킹 장치(20)는, 상기 진공 챔버(12)에서 정지 상태인 고정 마스킹부(22), 및 그래디언트 마스크를 형성하기 위하여, 상기 기재 홀더(16)에 의해 유지되는 기재에 부여된 그래디언트 쉴드(gradient shield)(30)를 각각 가지는 복수의 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)를 포함하고,
    상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)가 상기 고정 마스킹부(22) 뒤에 저장되는 그래디언트 마스크 개방 위치와, 상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)가 상기 증발원(14)과 상기 기재 홀더(16) 사이에서 팬(fan)과 같이 펼쳐지는 그래디언트 마스크 폐쇄 위치와의 사이에서, 상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)는 상기 회전 축(R)을 중심으로 회전될 수 있는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 마스킹 장치(20)는 동일한 크기 및 형상이고, 적층된 배치에서 상기 고정 마스킹부(22) 뒤에 저장될 수 있는 세 개의 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)를 포함하는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)는 상기 회전 축(R)과 정렬되는 공통의 중앙 샤프트(98)에 의해 상기 진공 챔버(12)에서 스위블(swivel) 장착되는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 그래디언트 섹터부의 제1 부분(24)은 상기 중앙 샤프트(98)와 회전하도록 연결되는데 반하여, 다른 그래디언트 섹터부(26, 28)는 상기 중앙 샤프트(98)에 대해 피봇 가능하도록 상기 중앙 샤프트(98) 상에 장착되고,
    상기 중앙 샤프트(98)의 회전 방향에 따라 상기 그래디언트 마스크를 폐쇄 또는 개방하도록, 상기 다른 그래디언트 섹터부(26, 28)는, 상기 중앙 샤프트(98)와의 회전 시, 연속적인 방식으로 상기 제1 그래디언트 섹터부(24)에 의해 제1 그래디언트 섹터부를 따라 이동되도록 더 구성되는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    인접한 그래디언트 섹터부(24; 26; 28)는 각 경우에, 협력하는 구동 돌출부(146; 148, 150, 152; 154, 156)를 포함하고, 구동 돌출부는 상기 중앙 샤프트(98)의 회전시 서로 연속적으로 결합하게 되도록 배치되는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  6. 청구항 4에 있어서,
    상기 다른 그래디언트 섹터부(26; 28) 각각에는, 상기 중앙 샤프트(98)의 회전 방향에 따라, 각각의 그래디언트 섹터부(26; 28)의 개방 위치와 폐쇄 위치를 각각 형성하는 두 개의 받침 어깨부(158, 160; 162, 164)가 마련되는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  7. 청구항 6에 있어서,
    개방 위치와 폐쇄 위치 각각에서, 각각의 상기 다른 그래디언트 섹터부(26, 28)의 멈춤부로 역할하기 위하여, 상기 다른 그래디언트 섹터부(26, 28)의 상기 받침 어깨부(158, 160; 162, 164)와 협력하는 하나의 정지된 멈춤 핀(166)만 제공되는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  8. 청구항 3에 있어서,
    상기 기재 홀더(16)는 중공 샤프트(54)를 통하여 상기 돔 회전 구동부(18)에 구동 가능하게 연결되고, 상기 진공 챔버(12)에서 상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)의 스위블 장착을 위한 상기 중앙 샤프트(98)는 상기 중공 샤프트(54)를 통하여 연장되어, 상기 중앙 샤프트(98) 및 상기 중공 샤프트(54)는 상기 회전 축(R)을 중심으로 동심으로 배치되는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  9. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)는 마스킹 회전 구동부(84)에 의해 상기 그래디언트 마스크 개방 위치와 상기 그래디언트 마스크 폐쇄 위치와의 사이에서 상기 회전 축(R)을 중심으로 회전될 수 있는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  10. 청구항 9에 있어서,
    상기 마스킹 회전 구동부(84)는 상기 진공 챔버(12)의 외측에 위치되고, 회전 피드스루(feed through)(132)를 통하여 상기 진공 챔버(12) 내에서 상기 중앙 샤프트(98)에 구동 가능하게 연결되는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  11. 청구항 9에 있어서,
    상기 마스킹 회전 구동부(84)는 공압 모터인 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  12. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)에는 상기 회전 축(R)으로부터 떨어진 자유 단부에 롤러(44)가 마련되고, 상기 회전 축(R)을 중심으로 상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)의 회전시, 상기 롤러(44)는 배정된 가이딩 레일(42) 상에서 구르도록 배치되고,
    상기 가이딩 레일(42)은 상기 진공 챔버(12)를 원형으로 둘러싸고, 그래디언트 섹터부의 자유 단부에서 중력에 반하여 상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)를 지지하도록 정지 상태로 장착되는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  13. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그래디언트 쉴드(30)는 상호 교환 가능하도록 상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)에 장착되는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  14. 청구항 1 내지 청구항 8 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 그래디언트 쉴드(30)는 쉐도잉 효과에 관하여 조절 가능하도록 상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)에 장착되는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  15. 청구항 14에 있어서,
    상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)로의 상기 그래디언트 쉴드(30)의 장착은, 일 부분에 볼트 결합되고, 다른 부분에서 직사각형 홀(176)을 통과하는 나사 부재(172)를 사용하여 수행되어, 상기 나사 부재(172)를 체결하기 전에, 상기 그래디언트 섹터부(24, 26, 28)에 대하여 상기 직사각형 홀(176)을 따라 상기 그래디언트 쉴드(30)를 측방향으로 변위시킴으로써, 상기 그래디언트 쉴드(30)는 쉐도잉 효과에 관하여 조절될 수 있는 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
  16. 청구항 1에 있어서,
    상기 기재는 스펙터클 렌즈 블랭크(blank)인 것을 특징으로 하는 박스 코팅 장치.
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3296423B1 (en) * 2016-09-16 2019-01-30 Satisloh AG Vacuum coating apparatus
FR3058424B1 (fr) * 2016-11-10 2022-06-10 Bnl Eurolens Installation de depot par evaporation d'un revetement sur des articles
IT201900008784A1 (it) * 2019-06-12 2020-12-12 Thelios S P A Metodo per realizzare una lente di occhiali rivestita mediante deposizione fisica di vapore pvd, lente di occhiali ed occhiale dotato di lenti realizzate con detto metodo
DE102020118367A1 (de) * 2020-07-13 2022-01-13 Carl Zeiss Vision International Gmbh Vorrichtung zum Aufnehmen eines Gegenstands in einer Vakuumbeschichtungsanlage
CN113416934B (zh) * 2021-06-26 2023-07-25 丹阳市鼎新机械设备有限公司 一种镜片双舱真空镀膜工艺
CN115407432B (zh) * 2022-08-29 2023-12-22 歌尔光学科技有限公司 一种真空镀膜系统

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200435257Y1 (ko) 2006-09-29 2007-01-12 (주)인텍 진공 증착기

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH650028A5 (de) * 1980-09-26 1985-06-28 Balzers Hochvakuum Anordnung zum gleichfoermigen beschichten von rotationsflaechen durch bedampfen im hochvakuum.
CH652754A5 (de) * 1981-03-13 1985-11-29 Balzers Hochvakuum Anordnung zum beschichten von substraten in einer vakuumbeschichtungsanlage.
JP2913745B2 (ja) * 1990-04-10 1999-06-28 松下電器産業株式会社 真空蒸着装置
FR2775298B1 (fr) * 1998-02-24 2000-05-05 Essilor Int Cache de repartition pour le controle du depot par evaporation d'un quelconque revetement sur un quelconque substrat, enceinte de traitement mettant en oeuvre un tel cache de repartition, et procede correspondant
DE10324928A1 (de) 2003-06-03 2005-07-14 Leybold Optics Gmbh Vakuumbeschichtungsanlage
JP3966869B2 (ja) * 2004-05-11 2007-08-29 株式会社昭和真空 基板ドーム
US8293017B2 (en) * 2008-04-10 2012-10-23 Raytheon Canada Limited Method and apparatus for coating surfaces
US8246748B2 (en) * 2008-07-09 2012-08-21 Raytheon Canada Limited Method and apparatus for coating surfaces
US20100102025A1 (en) * 2008-10-28 2010-04-29 Essilor International (Compagnie Generale D'optique) Method and apparatus for marking coated ophthalmic substrates or lens blanks having one or more electrically conductive layers
CN103668075B (zh) * 2012-09-05 2015-11-11 财团法人工业技术研究院 具有弧形载盘的旋转定位装置、自动取放系统及其操作方法
CN105143500B (zh) * 2012-10-04 2017-10-10 康宁股份有限公司 光学涂覆方法、设备和产品
CN107250422B (zh) * 2015-03-11 2019-09-06 依视路国际公司 热蒸发器
EP3296423B1 (en) * 2016-09-16 2019-01-30 Satisloh AG Vacuum coating apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR200435257Y1 (ko) 2006-09-29 2007-01-12 (주)인텍 진공 증착기

Also Published As

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