JP2010286446A - ディスプレイパネルの検査装置及びディスプレイパネルの検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】複数のディスプレイパネルの光学的特性測定を効率良く行えるようにする。
【解決手段】複数のディスプレイパネルを複数の面に搭載可能で水平方向に回転することができる多角柱型タワー310a〜310dと、そのディスプレイパネルを測定する検査部201と、検査部を搭載する水平及び垂直方向に移動させる駆動部202a,202bとを備えている。さらに、検査部201が検査するディスプレイパネル以外からの外乱を防ぐ外光遮光部203とを備えている。さらにまた、検査部及び多柱型タワーをそれぞれ回転させて正対させながら、検査部がディスプレイパネルを検査するように制御する制御部を備えている。
【選択図】図1
【解決手段】複数のディスプレイパネルを複数の面に搭載可能で水平方向に回転することができる多角柱型タワー310a〜310dと、そのディスプレイパネルを測定する検査部201と、検査部を搭載する水平及び垂直方向に移動させる駆動部202a,202bとを備えている。さらに、検査部201が検査するディスプレイパネル以外からの外乱を防ぐ外光遮光部203とを備えている。さらにまた、検査部及び多柱型タワーをそれぞれ回転させて正対させながら、検査部がディスプレイパネルを検査するように制御する制御部を備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、複数のディスプレイパネルの光学特性を検査するためのディスプレイパネルの検査装置、及びディスプレイパネルの検査方法に関する。より詳細には、複数のディスプレイパネルの光学特性を長時間に亘って検査する場合に適用される装置及び方法に関する。
有機エレクトロルミネッセンスパネル,プラズマディスプレイパネル(PDP),液晶パネルなどの各種ディスプレイパネルを検査する検査装置として、例えば図7に示した構成のものが実用化されている。即ち、図7に示すように、水平方向に回転する回転機構部30を基部に置き、その上に鉛直方向に移動する垂直駆動機構部20を備え、その鉛直機構部上に輝度計等を備えた検査部10を備えた検査ロボットが用意する。そして、図7のように、この検査ロボットを中心にして、縦に3枚のディスプレイパネルを備えたパネル設置部41〜44を扇状に等距離の位置に配置する。このような配置で、縦3枚×横4枚の12枚のディスプレイパネル51,52,・・・,62を扇状に配置して、それぞれのディスプレイパネル51〜62で何らかの画像(例えば基準となる画像)を継続的に表示させてある。このような構成及び配置で、検査ロボットを構成する検査部10を、手動操作で水平方向回転と鉛直方向に動かして、ディスプレイパネルに表示される画像の特性を一台ずつ検査部10で検査している。
特許文献1には、ターンテーブルの上に複数のディスプレイパネルを配置して、そのターンテーブルを回転させながら検査を行うことで、複数台のディスプレイパネルを連続的に検査する構成についての記載がある。
特許文献2には、発光パネルを搭載した検査パレットを搬入ステーションへの装入することで、検査パレット単位での発光パネルのエイジング試験を自動的に行うことができる装置についての記載がある。
しかしながら、図7に示した構成のディスプレイパネル用検査装置では、輝度計等を備えた検査部を中心にディスプレイパネルを扇状に配置しているので、ディスプレイパネルの数に比例してパネル設置部が大型化し、その配置が円状になってしまう。つまり、検査するディスプレイパネルの数に従って、検査装置の設置面積も増加するという問題が生じる。
また、光学特性測定の際に対して、ディスプレイパネルを隣接しての配置しているため、それぞれのディスプレイパネルに表示される画像を測定する際に、他のディスプレイパネルからの入射光等の外乱の影響を受け易い。そのため、ディスプレイパネルを多数並べてしまうと、検査部は正確な光学特性の測定ができないという問題がある。
また、光学特性測定の際に対して、ディスプレイパネルを隣接しての配置しているため、それぞれのディスプレイパネルに表示される画像を測定する際に、他のディスプレイパネルからの入射光等の外乱の影響を受け易い。そのため、ディスプレイパネルを多数並べてしまうと、検査部は正確な光学特性の測定ができないという問題がある。
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、複数のディスプレイパネルの光学的特性測定を効率良く行えるようにすることを目的とする。
本発明は、複数のディスプレイパネルを複数の面に搭載可能で水平方向に回転することができる多角柱型タワーと、そのディスプレイパネルを測定する検査部と、検査部を搭載する水平及び垂直方向に移動させる駆動部とを備えている。さらに、検査部が検査するディスプレイパネル以外からの外乱を防ぐ外光遮光部とを備えている。さらにまた、検査部及び多柱型タワーをそれぞれ回転させて正対させながら、検査部がディスプレイパネルを検査するように制御する制御部を備えている。
本発明によると、多角柱型タワーの回転で、多角柱型タワーのそれぞれの面に配置されたディスプレイパネルを検査部側に向けて、検査部と正対させることが可能となる。また、検査部を搭載する駆動部での水平及び垂直方向の移動で、多角柱型タワーの各面の複数のディスプレイパネルと正対させて、測定が行えると共に、それぞれのディスプレイパネル内のどの測定ポイントについても検査部と正対させて測定が行える。
本発明により、一台の検査部で複数のディスプレイパネルを連続して精度よく自動検査をすることができ、自動測定スケジュールによる制御を組み合わることにより効率の良い長期経時測定を行うことができる。さらに、検査部には外光遮光部が搭載しているので、測定していないディスプレイモデルからの外乱を受けることなく、より精度の高い光学特性を測定することができる。
そして、多角柱型タワーの一面ずつに、複数のディスプレイパネルを搭載することができるため、多くのディスプレイパネルを一度に測定することができる。また、多角柱型タワーの全面にディスプレイパネルを搭載しているので、検査装置の設置面積の小スペース化を図れる。
以下、本発明の一実施の形態について、図1〜図6を参照して以下の順序で説明する。
1.検査装置の構成(図1〜5)
2.検査装置の制御系の構成(図6)
1.検査装置の構成(図1〜5)
2.検査装置の制御系の構成(図6)
一実施の形態の例は、ディスプレイパネル用検査装置とした例である。本実施の形態の例のディスプレイパネル用検査装置は、例えば、有機エレクトロルミネッセンスパネル,プラズマディスプレイパネル(PDP),液晶パネルなどのディスプレイパネルの検査を、数日から数カ月などの長期間に亘って行うものである。これらのディスプレイパネルは、テレビジョン受像機や各種モニタディスプレイに使用されて、画像表示などを行うものである。また、それぞれのディスプレイパネルは、例えばパネルの対角線の長さが数十インチ程度(例えば10インチ程度から50インチ程度、あるいはそれ以上のサイズ)の比較的大型のディスプレイである。
[1.検査装置の構成]
図1及び図2を用いて、検査装置の全体構成について説明する。図1は検査装置の全体を示した斜視図を示し、図2は検査装置全体の平面図を示したものである。
図1に示すように、この検査装置は、外光遮光部203を備えた検査機構部200を中心に、その検査機構部200の周囲に、検査機構部200を円形に囲むように4台のパネル設置用タワー310a〜dを設置している。4台のパネル設置用タワー310a〜dは、ほぼ等間隔に扇状に配置してある。中心の検査機構部200から、それぞれのパネル設置用タワー310a〜dまでの距離は、等距離の位置にしている。そして、検査機構部200と4台のパネル設置用タワー310a〜dを覆う形で、外部からの外乱を完全に遮断するための暗室400を設置している。図1では暗室400は、パネル設置用タワー310a〜310dの配置位置に対応して五角形としてあるが、他の形状でもよい。
図1及び図2を用いて、検査装置の全体構成について説明する。図1は検査装置の全体を示した斜視図を示し、図2は検査装置全体の平面図を示したものである。
図1に示すように、この検査装置は、外光遮光部203を備えた検査機構部200を中心に、その検査機構部200の周囲に、検査機構部200を円形に囲むように4台のパネル設置用タワー310a〜dを設置している。4台のパネル設置用タワー310a〜dは、ほぼ等間隔に扇状に配置してある。中心の検査機構部200から、それぞれのパネル設置用タワー310a〜dまでの距離は、等距離の位置にしている。そして、検査機構部200と4台のパネル設置用タワー310a〜dを覆う形で、外部からの外乱を完全に遮断するための暗室400を設置している。図1では暗室400は、パネル設置用タワー310a〜310dの配置位置に対応して五角形としてあるが、他の形状でもよい。
検査機構部200は、検査部201とその検査部201を移動可能に保持する機構とで構成される。検査部201は、入射光の光学特性を測定する輝度計等の検査機器を備える。検査部201の入射光入射部には、筒型遮光部204(図4参照)が取り付けてあり、周囲から検査部201への光の不要な入射がない構成としてある。
検査機構部200は、ベース部206を暗室400の床面上に配置して、移動しないように固定させてある。このベース部206の上に、検査部201と外光遮光部203とが、回転駆動部207により一体に水平方向に回転できる構成としてある。図1及び図2に示したθ0は、回転駆動部207による回転方向を示す。この回転駆動部207による回転駆動で、検査機構部200が備える検査部201の検査光入射面が、各パネル設置用タワー310a〜310dに設置されたディスプレイパネルと正対する位置になるようにしてある。この点についての詳細は後述する。なお回転駆動部207はベース部206上の外光遮光部203で隠れる位置に設置してあり、図1などでは図示されていない(図3,図4参照)。
検査機構部200は、ベース部206を暗室400の床面上に配置して、移動しないように固定させてある。このベース部206の上に、検査部201と外光遮光部203とが、回転駆動部207により一体に水平方向に回転できる構成としてある。図1及び図2に示したθ0は、回転駆動部207による回転方向を示す。この回転駆動部207による回転駆動で、検査機構部200が備える検査部201の検査光入射面が、各パネル設置用タワー310a〜310dに設置されたディスプレイパネルと正対する位置になるようにしてある。この点についての詳細は後述する。なお回転駆動部207はベース部206上の外光遮光部203で隠れる位置に設置してあり、図1などでは図示されていない(図3,図4参照)。
回転駆動部207により回転する部分には、水平・垂直駆動部202を載せてある。水平・垂直駆動部202は、検査部201を水平方向Hに移動させる水平駆動機構部202aと、検査部201を垂直方向Vに移動させる垂直駆動機構部202bとで構成される。
外光遮光部203は、検査部201が向いている面のみに開口部205を有している円筒状で、高さはパネル設置用タワーと同等である。この外光遮光部203は、例えば遮光性と反射防止性を有する黒色などの反射防止シートを、円筒形のフレームの外側に貼って構成させてある。円筒形のフレームの内側にも反射防止シートを貼ってもよい。また、図1などに示した構成では、円筒形の上端側は開口させてあるが、この上端を塞ぐ構成としてもよい。
検査機構部200の周囲に複数配置されたパネル設置用タワー310a,310b,310c,310dについては、それぞれ四角柱形状としてある。各パネル設置用タワー310a,310b,310c,310dは、ベース部311a,311b,311c,311dの上に、回転駆動部312a,312b,312c,312dで水平方面に回転駆動可能としてある。なお、図1ではパネル設置用タワー310a,310dの回転駆動部312a,312dだけを符号を付してあり、パネル設置用タワー310b,310cの312b,312cは奥に隠れるため符号で示していないが、他のタワーと同様の構成である。図1及び図2には、回転駆動部312a,312b,312c,312dで回転各タワー10a,310b,310c,310dを回転駆動させる方向θ1,θ2,θ3,θ4を示してある。
この方向θ1,θ2,θ3,θ4の回転駆動で、各タワー310a〜310dのいずれの側面も、検査機構部200が備える検査部201の検査光入射面と正対する位置とすることができるようにしてある。
この方向θ1,θ2,θ3,θ4の回転駆動で、各タワー310a〜310dのいずれの側面も、検査機構部200が備える検査部201の検査光入射面と正対する位置とすることができるようにしてある。
それぞれのパネル設置用タワー310a,310b,310c,310dは、4つの側面のそれぞれに、縦3段に検査パネル設置部300を設け、4つの面を合わせて1つタワーで合計12個のディスプレイパネルの設置が可能な構成としてある。各検査パネル設置部300には、パネル状のヒータ(後述するヒータ304)が配置してあり、設置されたディスプレイパネルの裏面をそのヒータで加熱でき、またディスプレイパネルの温度を検出できる構成としてある。ヒータの構成については後述する。
それぞれの設置部300に設置されたディスプレイパネルには、パネル駆動用の電源と画像表示用の映像信号を供給できる構成としてあり、ディスプレイパネルでの画像表示を検査中継続して行う構成としてある。
次に、図3を用いて、検査機構部200に搭載されている検査部201がパネル設置用タワー310cに向いている場合に行われる検査動作について説明する。
図3は検査機構部200及びパネル設置用タワー310cの位置関係を示した斜視図である。なお、パネル設置用タワー310a、310b、310dに対しても同じ動作で検査が行われ、パネル設置用タワー310a、310b、310dのそれぞれについての説明は省略する。
図3は検査機構部200及びパネル設置用タワー310cの位置関係を示した斜視図である。なお、パネル設置用タワー310a、310b、310dに対しても同じ動作で検査が行われ、パネル設置用タワー310a、310b、310dのそれぞれについての説明は省略する。
まず、検査部201の検査光の入射部の中心軸に対してパネル設置用タワー310cの一つの側面が正確に直交するように正対するように、検査機構部200及びパネル設置用タワー310cをそれぞれ回転させて、設定する。そして、水平駆動機構部202a及び垂直機構部202bを用いて、検査部201を、例えば最上段の試験パネル302aの画像中の設定された測定ポイントを測定できるように移動させて、検査部201に入射した光の特性測定を行う。同一試験パネル上の測定ポイントの変更は、水平駆動機構部202aと垂直機構部202bによる駆動だけで行い、回転は行わない。
ここでの測定は、例えば、試験パネルの表示点灯条件を変更した上で、試験パネル302a上の全領域の分割測定を行う。測定する光学測定としては、例えば輝度変化,階調変化等がある。ただし、この測定は既に知られた測定技術であり、説明は省略する。
ここでの測定は、例えば、試験パネルの表示点灯条件を変更した上で、試験パネル302a上の全領域の分割測定を行う。測定する光学測定としては、例えば輝度変化,階調変化等がある。ただし、この測定は既に知られた測定技術であり、説明は省略する。
そして、試験パネル302aの測定が終了したあとは、水平駆動機構部202a及び垂直機構部202bを用いて、検査部201を2段目の試験パネル302b、3段目の試験パネル302cに順次に移動させて、同様に光学測定を行う。
パネル設置用タワー310cの試験パネル302a〜302cのある面の測定が終了したあとは、パネル設置用タワー310cを90°回転させて、試験パネル302d〜302fのある別の面を向かせる。その状態で、水平駆動機構部202a及び垂直機構部202bを用いた駆動で、3つの試験パネル302d〜302fの特性を順に測定する。これをパネル設置用タワー310cの全ての面に対して順に行う。そして、パネル設置用タワー310cの全ての面の試験パネルが終了したら、別のパネル設置用タワーに向くように検査機構部200を回転させて、同様な測定を全てのパネル設置用タワーに行っていく。
図4を用いて、測定を行っている試験パネル302の上下にある試験パネルから外乱防止処理について説明する。
図4では、パネル設置用タワー310cに搭載している試験パネル302a〜302cの面と、検査機構部200に搭載してある検査部201が対面している状態を示している。そして、その検査部201の先端に筒型遮光部204を備えて、試験パネル302bの上端の領域を測定している。
図4では、パネル設置用タワー310cに搭載している試験パネル302a〜302cの面と、検査機構部200に搭載してある検査部201が対面している状態を示している。そして、その検査部201の先端に筒型遮光部204を備えて、試験パネル302bの上端の領域を測定している。
この筒型遮光部204を備えることにより、試験パネル302a及び302cの放射状の光からの影響を受けることなく、検査部201は高精度な光学測定をすることができる。つまり、測定している試験パネルと同列にある非対象パネルからのさまざまな入射光並びにパネル自身の光を取り込まない様になり、より精度の高い測定ができる。さらに、図1及び図2に示したように、円筒形の遮光部203を備えて、周囲の他のパネル設置用タワーに搭載している試験パネルからの光についても遮光されて、この点からもより精度の高い測定ができる。なお、円筒形の遮光部203と筒型遮光部204との双方を設けるのが好ましいが、例えば筒型遮光部204だけでも十分な効果が得られる場合には、円筒形の遮光部203を省略してもよい。
また、本例のパネル設置用タワー310a,310b,310c,310dは、それぞれの検査パネル設置部300にパネル状(シート状)のヒータ304を取り付けてある。このヒータ304は、搭載されるディスプレイパネルとほぼ同じ大きさか、それよりも大きい大きさとしてあり、搭載されたディスプレイパネルの裏面を加熱する。
このヒータ304は、図5(a)にタワーの上部を破断して示すように、4面の全ての面の試験パネルの背面に備えられている。なお、ヒータ304とヒータ304a〜hは同一である。そして、そのヒータ304の3CHヒータの構成は、図6(b)が示すように、下から下部ヒータ305c、中央ヒータ305b、上部ヒータ305aの3つのシートヒータで構成されている。ただし、そのシートヒータの面積は、上部ヒータ305a及び下部ヒータ305cのヒータのシート面積は同じで、中央ヒータ305bは上部ヒータ305a及び下部ヒータcの約2倍の大きさとなっている。そのうえで、この温度調整制御部303で、下部ヒータ305c、中央ヒータ305b、上部ヒータ305aの温度を変えて、試験パネル全面を目標温度の公差になるように制御している。
これにより、シートヒータを縦配置にした場合でも、検査パネル設置部300に設置したパネルがいずれのサイズであっても、目標温度の公差±2℃に試験パネル全面の温度を制御することができる。
[2.検査装置の内部構成]
図1は、本実施の形態の例であるディスプレイパネル用検査装置の内部構成例を示すブロック図である。ディスプレイパネル用検査装置は、マイクロプロセッサやコンピュータ装置等よりなる制御部101を備え、制御部101は伝送路を通して、各部と通信を行い、各部の動作制御を行う。この図1に示した制御系は、例えば暗室400内に設置すればよい。或いは、暗室400の外部であってもよい。
図1は、本実施の形態の例であるディスプレイパネル用検査装置の内部構成例を示すブロック図である。ディスプレイパネル用検査装置は、マイクロプロセッサやコンピュータ装置等よりなる制御部101を備え、制御部101は伝送路を通して、各部と通信を行い、各部の動作制御を行う。この図1に示した制御系は、例えば暗室400内に設置すればよい。或いは、暗室400の外部であってもよい。
制御部101は、検査部201と、水平・垂直駆動部202と、タワー制御部102と、パネル設置用タワー310a〜310d内にあるそれぞれのパネル制御部301とに接続されている。
検査部201は、試験パネル302を測定するための光学測定機器で、これを用いて試験パネルの測定を行う。その光学測定機器には、例えば、輝度計、分光測色計、色度計等がある。検査部201で測定して得たデータは、制御部101又は別の測定データ収集装置に供給する。
タワー制御部102は、タワー回転駆動部312a〜312dに回転指令を送る。これらは、検査部201の向きがいずれかのパネル設置用タワーに向いた場合に、搭載している試験パネルが検査部201の対面になるように回転し、全ての試験パネルが測定を受けるように順次に回転動作を行う。
この測定動作と各タワー及び測定機構部の駆動動作は、例えば制御部101に実装されたプログラムで指示された順序で行う。なお、上述した説明では各タワーの各面のパネルを順番に行う動作を説明したが、パネル毎に設定された測定間隔によっては、順番通りでなくてもよい。また、ディスプレイパネルが設置されていない箇所については、測定を飛ばすようにしてもよい。
この測定動作と各タワー及び測定機構部の駆動動作は、例えば制御部101に実装されたプログラムで指示された順序で行う。なお、上述した説明では各タワーの各面のパネルを順番に行う動作を説明したが、パネル毎に設定された測定間隔によっては、順番通りでなくてもよい。また、ディスプレイパネルが設置されていない箇所については、測定を飛ばすようにしてもよい。
パネル制御部301は、試験パネル302と、ヒータ304を制御している温度調整制御部303とに接続してある。ヒータ304は、試験パネルの背面に設置してあり、試験パネル全面が一定の温度になるように温度調整制御部303にて、制御されている。
なお、本例の場合には、パネル制御部301と、試験パネル302と、ヒータ304と、温度調整制御部303の組み合わせを1セットとして、検査パネル設置部300毎に設置してあり、試験を行う試験パネル302の数に対応して設置してある。従って、本例の場合には、1つのパネル設置用タワーで12セット備える。
このような構成の測定装置とすることで、測定装置の占有面積の縮小化、並びに試験パネルの搭載数の増加を図ることができる。そして、一台の検査部201でパネル設置用タワー310a〜310dの全ての面、つまり全ての試験パネルの全ての検査ポイントが常に検査部201と直交した正対状態で測定できるため、精密な光学測定が可能である。さらに、制御部101で設定する自動測定スケジュールとの組み合わせることにより、効率の良い長期経時測定の自動化が可能である。
また、暗室400、外光遮光部203を備えることにより、測定していないパネル設置用タワーに搭載されている非対象パネルなどからのさまざまな入射光を取り込まない様になり、精度の高い測定ができる。
また、パネル設置用タワー310a〜310dを四角柱形状としたことで、測定部201側を向いていない面に取り付けられたディスプレイパネルを、測定作業者が調整したり交換することが可能となり、連続的な測定を邪魔することなく、ディスプレイパネルの保守や交換が行える効果を有する。
以上、本発明の実施の形態を説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではなく、発明の要旨を変更しない範囲での変更は可能である。例えば、設置するパネル設置用タワーを4台としたが、検査部200を中心から全てのパネル設置用タワーが同距離の位置にあれば、4台以上の設置でもよい。そして、その配置は扇状としているが、タワー検査部200を中心から等距離であればよいので、円陣状の配置にしてもよい。
また、パネル設置用タワーを四角柱形状として、その2つの側面全てにパネル設置部を配置したが、必ずしも全ての側面にパネル設置部を配置しなくてもよい。タワーそのものの形状についても、三角柱形状や五角柱形状などの他の形状としてもよい。
10…検査部、20…垂直駆動機構部、30…回転機構部、41〜44…試験パネル設置盤、51〜63…試験パネル、101…制御部、102…タワー制御部、200…検査機構部、201…検査部、202…水平・垂直駆動部、202a…水平駆動機構部、202b…垂直駆動機構部、203…外光遮光部、204…筒型遮光部、205…開口部、206…ベース部、207…回転駆動部、300…検査パネル設置部、300a〜300d…検査パネル設置部、301…パネル制御部、302…試験パネル、302a〜302t…試験パネル、303…温度調節制御部、304,304a〜304h…ヒータ、305a…上部ヒータ、305b…中央ヒータ、305c…下部ヒータ、310a〜310d…パネル設置用タワー、311a〜311d…ベース部、312a〜312d…回転駆動部、400…暗室
Claims (5)
- 入射光の光学特性を測定する検査部と、
前記検査部を搭載し、搭載した前記検査部を水平方向及び垂直方向に移動可能にすると共に回転が可能な検査部駆動機構部と、
水平方向に回転可能であり、複数の面のそれぞれでディスプレイパネルを保持可能に構成した、前記検査部を囲むように複数配置した多角柱型タワーと、
前記検査部の測定光入射位置の周囲からの光を遮光し、前記検査部駆動機構部の回転に連動して回転する遮光部と、
前記それぞれの多角柱型タワーの回転と、前記検査部駆動機構部による前記検査部の位置と、前記遮光部の回転とを連動して外光遮光部外光遮光部制御する検査制御部と
を備えたディスプレイパネルの検査装置。 - 前記多角柱型タワーのそれぞれのディスプレイパネル保持部で保持されたディスプレイパネルの裏面と接するパネル型ヒータと、
前記パネル型ヒータの温度制御を行う温度制御部と
を備えた請求項1記載のディスプレイパネルの検査システム。 - 前記パネル型ヒータは、複数に分割されたパネル型ヒータで構成した
請求項2記載のディスプレイパネルの検査装置。 - 前記検査部と前記保持機構部と前記多角柱型タワーと前記遮光部を収納した暗室を備えた
請求項1記載のディスプレイパネルの検査装置。 - 入射光の光学特性を測定する検査部を水平方向及び垂直方向に移動可能にすると共に回転が可能に保持し、
水平方向に回転可能な多角柱型タワーを、前記検査部を囲むように複数配置し、
前記多角柱型タワーの複数の面のそれぞれでディスプレイパネルを保持し、
前記検査部の測定光入射位置の周囲からの光を遮光する遮光部を配置し、
前記それぞれの多角柱型タワーの回転と、前記検査部の位置と、前記遮光部の回転とを連動して制御する
ディスプレイパネルの検査方法。
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2009
- 2009-06-15 JP JP2009142277A patent/JP2010286446A/ja active Pending
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