KR102172349B1 - 신축성 기판의 제조방법 및 그를 포함하는 신축성 전자기기의 제조방법 - Google Patents

신축성 기판의 제조방법 및 그를 포함하는 신축성 전자기기의 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 (a) 제1 올리고머 및 올리고머 겔 중 1종 이상, 및 제1 경화제를 포함하는 제1 혼합용액을 일정한 패턴으로 캐리어 상에 위치시켜 상기 캐리어 상에 제1 혼합용액 패턴을 형성하는 단계; (b) 제2 올리고머 및 제2 경화제를 포함하는 제2 혼합용액을 상기 제1 혼합용액 패턴 및 캐리어 상에 위치시켜, 상기 캐리어 상에 위치하고 상기 제2 혼합용액을 포함하는 제2 부분과, 상기 제1 혼합용액 패턴을 포함하고 상기 제1 혼합용액 패턴의 표면의 전부 또는 일부가 상기 제2 혼합용액에 접하는 제1 부분을 포함하는 프리기판을 제조하는 단계; 및 (c) 상기 프리기판을 경화시켜, 제2 혼합용액이 경화되어 형성된 소프트부(soft part), 및 상기 소프트부 상에 상기 제1 혼합용액 패턴이 경화되어 형성된 하드패턴을 갖는 하드부(hard part)를 포함하는 신축성 기판을 제조하는 단계;를 포함하는 신축성 기판의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명의 신축성 기판의 제조방법은 하드패턴을 갖는 하드부를 먼저 형성한 후, 소프트부를 형성함으로써 신축성 기판을 제조할 수 있고, 기판과 소자 간의 분리가 발생하지 않으며, 신축 후에도 소자의 성능이 유지되는 효과가 있다.

Description

신축성 기판의 제조방법 및 그를 포함하는 신축성 전자기기의 제조방법{METHOD OF MANUFACTURING STRETCHABLE SUBSTRATE, AND METHOD OF FABRICATING STRETCHABLE ELECTRONIC DEVICE COMPRISING THE SAME}
본 발명은 신축성 기판의 제조방법 및 그를 포함하는 신축성 전자기기의 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 하드패턴을 갖는 하드부를 먼저 형성한 후, 소프트부를 형성하는 신축성 기판의 제조방법 및 그를 포함하는 신축성 전자기기의 제조방법에 관한 것이다.
스트레처블 전자기기는 신축 하에서도 기능을 유지할 수 있는 장치로서, 기존의 딱딱한 전자기기와 부드러운 곡선형 시스템간의 기계적 부조화를 해소하기 위한 유망한 해결책으로서 각광받고 있다. 스트레처블 전자기기의 발전을 위해 기계적으로 내구성이 있는 새로운 재료, 변형 가능한 도체 및 회로, 새로운 가공 방법, 그리고 스트레처블 기판을 위한 탄성 재료의 개발에 대해 학계와 산업계로부터 집중적인 연구가 진행되고 있다. 그 중에서도, 신축성의 기판은 가해진 변형을 견디는 요소를 구성하고, 그렇게 함으로써 소자에 신축성을 부여하여 스트레처블 전자기기의 전체적인 성능에 중요한 특성을 부여한다.
현재까지의 연구들에서는 스트레처블 장치를 구현하기 위해 신축성 기판 재료로서 실리콘 기반의 탄성 중합체를 많이 이용해왔다. 하지만 기존의 탄성 중합체 재료들로 제작한 기판은 소자 제작 공정에서 딱딱한 소자 부분과 연한 기판 부분 간 기계적 물성의 불균형으로 인해 서로 분리되는 문제가 발생하기 때문에 새로운 신축성 기판을 제작하기 위한 기술 개발이 필수적이다. 또한, 기존의 기판 재료를 이용한 공정은 복잡하고, 여러 단계의 공정을 거쳐야 하므로 스트레처블 전자기기의 상용화를 위해서 간단하고 짧은 공정을 통한 제조 기술 개발이 요구되고 있다.
본 발명의 목적은 상기 문제점을 해결하기 위한 것으로, 하드패턴을 갖는 하드부를 먼저 형성한 후, 소프트부를 형성하는 신축성 기판의 제조방법을 제공하는 데 있다.
또한, 이와 같은 신축성 기판을 적용하여 신축 후에도 기판과 소자 간의 분리가 발생하지 않아 소자의 성능이 유지되는 신축성 전자기기의 제조방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 일 측면에 따르면, (a) 제1 올리고머 및 올리고머 겔 중 1종 이상, 및 제1 경화제를 포함하는 제1 혼합용액을 일정한 패턴으로 캐리어 상에 위치시켜 상기 캐리어 상에 제1 혼합용액 패턴을 형성하는 단계; (b) 제2 올리고머 및 제2 경화제를 포함하는 제2 혼합용액을 상기 제1 혼합용액 패턴 및 캐리어 상에 위치시켜, 상기 캐리어 상에 위치하고 상기 제2 혼합용액을 포함하는 제2 부분과, 상기 제1 혼합용액 패턴을 포함하고 상기 제1 혼합용액 패턴의 표면의 전부 또는 일부가 상기 제2 혼합용액에 접하는 제1 부분을 포함하는 프리기판을 제조하는 단계; 및 (c) 상기 프리기판을 경화시켜, 제2 혼합용액이 경화되어 형성된 소프트부(soft part), 및 상기 소프트부 상에 상기 제1 혼합용액 패턴이 경화되어 형성된 하드패턴을 갖는 하드부(hard part)를 포함하는 신축성 기판을 제조하는 단계;를 포함하는 신축성 기판의 제조방법이 제공된다.
상기 신축성 기판의 제조방법이 단계 (b) 후에 상기 캐리어와 마주하는 방향의 반대 방향으로 상기 프리기판의 일면 상에 커버 부재를 위치시켜 상기 프리기판의 일면을 평탄화 시키는 단계 (b');를 추가로 포함할 수 있다.
상기 커버 부재가 유리판, 실리콘 웨이퍼, 금속판, 무기재료판, 및 고분자판 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
상기 제1 올리고머, 올리고머 젤 및 제2 올리고머의 종류를 각각 조절하여 상기 소프트부와 상기 하드부의 탄성계수를 제어할 수 있다.
상기 제1 혼합용액의 상기 제1 경화제의 함량 및 상기 제2 혼합용액의 상기 제2 경화제의 함량을 각각 조절하여 상기 소프트부의 탄성계수 및 하드부의 탄성계수를 제어할 수 있다.
상기 제1 혼합용액의 투입이 주사 탐침 방법, 잉크젯 프린팅 방법, 임프린팅 방법, 전기수력학 프린팅 방법, 3D 프린팅 방법, 슬롯-다이 코팅 방법 및 스프레이 코팅 방법 중에서 선택된 1종 이상의 방법으로 수행될 수 있다,
상기 하드 패턴의 형상이 직선, 곡선, 원형, 타원형, 다각형, 및 이들의 조합 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
상기 하드부의 탄성계수(modulus)가 상기 소프트부의 탄성계수(modulus) 보다 클 수 있다.
상기 소프트부의 탄성계수(Ms)가 0.8 내지 3.0 MPa이고, 상기 하드부의 탄성계수(Mh)가 15 내지 193 MPa 일 수 있다.
상기 소프트부의 탄성계수(Ms)에 대한 상기 하드부의 탄성계수(Mh)의 비(Mh/ Ms)가 5.0 내지 241.3 일 수 있다.
상기 신축성 기판의 신장 변형 시 상기 소프트부의 스트레인에 대한 상기 하드부의 스트레인의 비가 0 내지 1% 일 수 있다.
상기 캐리어가 유리, 세라믹, 및 고분자 중에서 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 제1 올리고머 및 제2 올리고머가 각각 독립적으로 주사슬과 상기 주사슬에 공유결합된 단수 또는 복수의 작용기를 포함하고, 상기 작용기가 각각 독립적으로 비닐기, 에폭시기, 이소시아네이트기, 히드록시기, 티올기 및 카르복실기 중에서 선택된 1종 이상을 포함하고, 상기 주사슬이 실리콘, 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane), 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리우레탄, 폴리스타이렌, 폴리아크릴레이트, 폴리아릴레이트, 폴리에스터, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리아미드, 아크릴 수지, 에폭시 수지, 아미노 수지 및 페놀 수지 중에서 선택된 1종 이상 포함할 수 있다.
상기 올리고머 겔이 상기 올리고머 겔의 주사슬과 상기 주사슬에 공유결합된 단수 또는 복수의 작용기를 포함하고, 상기 작용기가 각각 독립적으로 비닐기, 에폭시기, 이소시아네이트기, 히드록시기, 티올기 및 카르복실기 중에서 선택된 1종 이상을 포함하고, 상기 주사슬이 실리콘, 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane), 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리우레탄, 폴리스타이렌, 폴리아크릴레이트, 폴리아릴레이트, 폴리에스터, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리아미드, 아크릴 수지, 에폭시 수지, 아미노 수지 및 페놀 수지 중에서 선택된 1종 이상 포함하고, 상기 주사슬이 서로 가교결합되고, 상기 올리고머 겔이 겔 형태일 수 있다.
상기 제1 경화제 및 제2 경화제가 서로 같거나 다를 수 있고, 각각 독립적으로 orthosilicic acid, tetravinylsilane, Si(OH)n(OR)4-n(n은 1 내지 4의 정수, R은 C1-C10 알킬기), 3-(Triethoxysilyl)propyl isocyanate, Bis(2-methacryloyl)oxyethyl disulfide, 1,4-Bis(4-vinylphenoxy)butane, Divinylbenzene, p-Divinylbenzene, Glycerol ethoxylate, Glycerol ethoxylate-co-propoxylate triol, Hexa(ethylene glycol) dithiol, 2-[8-(3-Hexyl-2,6-dioctylcyclohexyl)octyl]pyromellitic diimide oligomer(maleimide terminated), 2-[8-(3-Hexyl-2,6-dioctylcyclohexyl)octyl]pyromellitic diimide oligomer(maleimide terminated), 11-Maleimidoundecanoic acid, Pentaerythritol ethoxylate, Pentaerythritol ethoxylate, Pentaerythritol propoxylate, 1,4-Phenylenediacryloyl chloride, Poly(ethylene glycol) bisazide, Ethylene glycol diacrylate, Poly(ethylene glycol) diacrylate, 2,4,6,8-Tetramethyl-2,4,6,8-tetrakis(propyl glycidyl ether)cyclotetrasiloxane, 1,3,5-Triallyl-1,3,5-triazine-2,4,6(1H,3H,5H)-trione, Di(ethylene glycol) diacrylate, Ethylene glycol dimethacrylate, Di(ethylene glycol) dimethacrylate, Triethylene glycol dimethacrylate, Tetra(ethylene glycol) diacrylate, monomethyl ether hydroquinone, Trimethylolpropane ethoxylate, Trimethylolpropane ethoxylate, Trimethylolpropane ethoxylate, 4-Vinylbenzocyclobutene, 3-Aminophenyl sulfone, 4-Aminophenyl sulfone, 5-Amino-1,3,3-trimethylcyclohexanemethylamine, 1,2,4-Benzenetricarboxylic anhydride, Bisphenol A acetate propionate technical grade, Bisphenol A diglycidyl ether, Bisphenol A propoxylate diglycidyl ether, Bisphenol F, Castor oil glycidyl ether, 1,2-Cyclohexanedicarboxylic anhydride, 2,2′-Diallyl bisphenol A diacetate ether, 1,4,5,6,7,7-Hexachloro-5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride, 6-Maleimidohexanoic acid,cis-1,2,3,6-Tetrahydrophthalic anhydride, Trimethylolpropane triglycidyl ether, Trimethylolpropane tris[poly(propylene glycol), N,N'-Methylenebisacrylamide, N,N'-Methylenebisacrylamide, N,N'-(1,2-Dihydroxyethylene)bisacrylamide, N-(1-Hydroxy-2,2-dimethoxyethyl)acrylamide, 1,4-Cyclohexanedimethanol divinyl ether, N,N′-(1,2-Dihydroxyethylene)bisacrylamide, 1,6-Hexanediol diacrylate, 4,4′-Methylenebis(cyclohexyl isocyanate), Poly(ethylene glycol) dimethacrylate, Tetraethylene glycol dimethyl ether, Polytetramethylene ether glycol, Glycerol, Bromoacetic acid N-hydroxysuccinimide ester, 3-Maleimidobenzoic acid N-hydroxysuccinimide ester, 4-(N-Maleimidomethyl)cyclohexanecarboxylic acid N-hydroxysuccinimide ester, 3-(2-Pyridyldithio)propionic acid N-hydroxysuccinimide ester, Dimethyl pimelimidate dihydrochloride, 3,3′-Dithiodipropionic acid di(N-hydroxysuccinimide ester), 및 Suberic acid bis(3-sulfo-N-hydroxysuccinimide ester) 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
상기 제1 경화제 및 제2 경화제가 서로 같거나 다를 수 있고, 각각 독립적으로 구조식 1로 표시되는 화합물일 수 있다.
[구조식 1]
Figure 112019093569017-pat00001
상기 구조식 1에서,
A는 탄소원자 또는 규소원자이고,
R1 내지 R4는 같거나 서로 다르고, 각각 독립적으로 수소원자, 히드록시기, 비닐기, C1-C10 알킬기, C1-C10 알콕시기, 에폭시기, 또는 글리시딜기이고,
R1 내지 R4는 동시에 수소원자가 아니다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, (a) 제1 올리고머 및 올리고머 겔 중 1종 이상, 및 제1 경화제를 포함하는 제1 혼합용액을 일정한 패턴으로 캐리어 상에 위치시켜 캐리어 상에 제1 혼합용액 패턴을 형성하는 단계; (b) 제2 올리고머 및 제2 경화제를 포함하는 제2 혼합용액을 상기 제1 혼합용액 패턴 및 캐리어 상에 위치시켜, 상기 캐리어 상에 위치하고 상기 제2 혼합용액을 포함하는 제2 부분과, 제1 혼합용액 패턴을 포함하고 상기 제1 혼합용액 패턴의 표면의 전부 또는 일부가 상기 제2 혼합용액에 접하는 제1 부분을 포함하는 프리기판을 제조하는 단계; (c) 상기 프리기판을 경화시켜, 제2 혼합용액이 경화되어 형성된 소프트부(soft part), 및 상기 소프트부 상에 상기 제1 혼합용액 패턴이 경화되어 형성된 하드부(hard part)를 포함하는 신축성 기판을 제조하는 단계; 및 (d) 상기 하드부 상에 전자소자를 위치시켜 신축성 전자기기를 제조하는 단계;를 포함하는 신축성 전자기기의 제조방법이 제공된다.
상기 신축성 전자기기의 제조방법이 상기 단계 (c)와 (d) 사이에, 상기 하드부 상에 접착층을 위치시키는 단계 (c')를 추가로 포함할 수 있다.
상기 전자소자가 박막트랜지스터, 태양전지, 유기발광다이오드 및 디스플레이 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
본 발명의 신축성 기판의 제조방법은 하드패턴을 갖는 하드부를 먼저 형성한 후, 소프트부를 형성함으로써 신축성 기판을 제조할 수 있고, 기판과 소자 간의 분리가 발생하지 않는 효과가 있다.
또한, 상기 신축성 기판의 제조방법을 포함하는 신축성 전자기기의 제조방법은 신축 후에도 소자의 성능이 유지되는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 따른 신축성 기판의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 2는 실시예 1에 따른 신축성 기판에서 하드부와 소프트부의 변형율을 나타낸 도면이다.
도 3은 소자실시예 1(a) 및 소자비교예 1(b)에 따라 제조된 페로브스카이트 태양전지의 성능을 변형율에 따라 비교한 그래프이다.
도 4은 소자실시예 2 및 소자비교예 2에 따라 제조된 전도성 기판의 반복인장에 따른 저항변화를 비교한 그래프이다.
도 5는 소자실시예 3 및 소자비교예 3에 따라 제조된 SCLC 소자의 변형율에 따라 정공이동도 변화를 비교한 그래프이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하도록 한다.
그러나, 이하의 설명은 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
본원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
또한, 어떤 구성요소가 다른 구성요소 상에 "형성되어" 있다거나 "적층되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소의 표면 상의 전면 또는 일면에 직접 부착되어 형성되어 있거나 적층되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 더 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 신축성 기판의 제조방법을 설명하기 위한 순서도이다.
이하, 도 1을 참조하여, 본 발명의 신축성 기판의 제조방법에 대하여 상세히 설명하기로 한다. 다만, 이는 예시로서 제시되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 제한되지는 않으며 본 발명은 후술할 청구범위의 범주에 의해 정의될 뿐이다.
본 발명은 (a) 제1 올리고머 및 올리고머 겔 중 1종 이상, 및 제1 경화제를 포함하는 제1 혼합용액을 일정한 패턴으로 캐리어 상에 위치시켜 상기 캐리어 상에 제1 혼합용액 패턴을 형성하는 단계; (b) 제2 올리고머 및 제2 경화제를 포함하는 제2 혼합용액을 상기 제1 혼합용액 패턴 및 캐리어 상에 위치시켜, 상기 캐리어 상에 위치하고 상기 제2 혼합용액을 포함하는 제2 부분과, 상기 제1 혼합용액 패턴을 포함하고 상기 제1 혼합용액 패턴의 표면의 전부 또는 일부가 상기 제2 혼합용액에 접하는 제1 부분을 포함하는 프리기판을 제조하는 단계; 및 (c) 상기 프리기판을 경화시켜, 제2 혼합용액이 경화되어 형성된 소프트부(soft part), 및 상기 소프트부 상에 상기 제1 혼합용액 패턴이 경화되어 형성된 하드패턴을 갖는 하드부(hard part)를 포함하는 신축성 기판을 제조하는 단계;를 포함하는 신축성 기판의 제조방법을 제공한다.
상기 신축성 기판의 제조방법이 단계 (b) 후에 상기 캐리어와 마주하는 방향의 반대 방향으로 상기 프리기판의 일면 상에 커버 부재를 위치시켜 상기 프리기판의 일면을 평탄화 시키는 단계 (b');를 추가로 포함할 수 있다.
상기 커버 부재가 유리판, 실리콘 웨이퍼, 금속판, 무기재료판, 및 고분자판 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
상기 제1 올리고머, 올리고머 젤 및 제2 올리고머의 종류를 각각 조절하여 상기 소프트부와 상기 하드부의 탄성계수를 제어할 수 있다.
상기 제1 혼합용액의 상기 제1 경화제의 함량 및 상기 제2 혼합용액의 상기 제2 경화제의 함량을 각각 조절하여 상기 소프트부의 탄성계수 및 하드부의 탄성계수를 제어할 수 있다.
상기 제1 혼합용액의 투입이 주사 탐침 방법, 잉크젯 프린팅 방법, 임프린팅 방법, 전기수력학 프린팅 방법, 3D 프린팅 방법, 슬롯-다이 코팅 방법 및 스프레이 코팅 방법 중에서 선택된 1종 이상의 방법으로 수행될 수 있다.
상기 하드 패턴의 형상이 직선, 곡선, 원형, 타원형, 다각형, 및 이들의 조합 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
상기 하드부의 탄성계수(modulus)가 상기 소프트부의 탄성계수(modulus) 보다 클 수 있다.
상기 소프트부의 탄성계수(Ms)가 0.8 내지 3.0 MPa이고, 상기 하드부의 탄성계수(Mh)가 15 내지 193 MPa 일 수 있다.
상기 소프트부의 탄성계수(Ms)에 대한 상기 하드부의 탄성계수(Mh)의 비(Mh/ Ms)가 5.0 내지 241.3 일 수 있다.
상기 신축성 기판의 신장 변형 시 상기 소프트부의 스트레인에 대한 상기 하드부의 스트레인의 비가 0 내지 1% 일 수 있다.
상기 캐리어가 유리, 세라믹, 및 고분자 중에서 선택된 어느 하나를 포함할 수 있다.
상기 제1 올리고머 및 제2 올리고머가 각각 독립적으로 주사슬과 상기 주사슬에 공유결합된 단수 또는 복수의 작용기를 포함하고, 상기 작용기가 각각 독립적으로 비닐기, 에폭시기, 이소시아네이트기, 히드록시기, 티올기 및 카르복실기 중에서 선택된 1종 이상을 포함하고, 상기 주사슬이 실리콘, 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane), 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리우레탄, 폴리스타이렌, 폴리아크릴레이트, 폴리아릴레이트, 폴리에스터, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리아미드, 아크릴 수지, 에폭시 수지, 아미노 수지 및 페놀 수지 중에서 선택된 1종 이상 포함할 수 있다.
상기 올리고머 겔이 상기 올리고머 겔의 주사슬과 상기 주사슬에 공유결합된 단수 또는 복수의 작용기를 포함하고, 상기 작용기가 각각 독립적으로 비닐기, 에폭시기, 이소시아네이트기, 히드록시기, 티올기 및 카르복실기 중에서 선택된 1종 이상을 포함하고, 상기 주사슬이 실리콘, 폴리디메틸실록산(polydimethylsiloxane), 폴리테트라플루오로에틸렌, 폴리우레탄, 폴리스타이렌, 폴리아크릴레이트, 폴리아릴레이트, 폴리에스터, 폴리에틸렌, 폴리프로필렌, 폴리카보네이트, 폴리이미드, 폴리아미드, 아크릴 수지, 에폭시 수지, 아미노 수지 및 페놀 수지 중에서 선택된 1종 이상 포함하고, 상기 주사슬이 서로 가교결합되고, 상기 올리고머 겔이 겔 형태일 수 있다.
여기서 올리고머는 소중합체이며 분자량이 200 내지 10,000 이하의 것을 말한다. 올리고머는 중합 정도가 높은 고분자 화합물 같은 수지상(樹脂狀) 물질이 아니며, 보통의 유기물과 마찬가지로 증류 및 분리할 수 있고 용액으로 존재할 수 있다. 또한 1종 또는 여러 종의 원자 혹은 원자단(구성 단위)이 수 개에서 수십개 서로 반복 연결되어 형성된 분자로, 그 물리적 성질이 1 내지 수 개의 구성 단위의 증감에 따라 변화할 수 있다.
상기 제1 경화제 및 제2 경화제가 서로 같거나 다를 수 있고, 각각 독립적으로 orthosilicic acid, tetravinylsilane, Si(OH)n(OR)4-n(n은 1 내지 4의 정수, R은 C1-C10 알킬기), 3-(Triethoxysilyl)propyl isocyanate, Bis(2-methacryloyl)oxyethyl disulfide, 1,4-Bis(4-vinylphenoxy)butane, Divinylbenzene, p-Divinylbenzene, Glycerol ethoxylate, Glycerol ethoxylate-co-propoxylate triol, Hexa(ethylene glycol) dithiol, 2-[8-(3-Hexyl-2,6-dioctylcyclohexyl)octyl]pyromellitic diimide oligomer(maleimide terminated), 2-[8-(3-Hexyl-2,6-dioctylcyclohexyl)octyl]pyromellitic diimide oligomer(maleimide terminated), 11-Maleimidoundecanoic acid, Pentaerythritol ethoxylate, Pentaerythritol ethoxylate, Pentaerythritol propoxylate, 1,4-Phenylenediacryloyl chloride, Poly(ethylene glycol) bisazide, Ethylene glycol diacrylate, Poly(ethylene glycol) diacrylate, 2,4,6,8-Tetramethyl-2,4,6,8-tetrakis(propyl glycidyl ether)cyclotetrasiloxane, 1,3,5-Triallyl-1,3,5-triazine-2,4,6(1H,3H,5H)-trione, Di(ethylene glycol) diacrylate, Ethylene glycol dimethacrylate, Di(ethylene glycol) dimethacrylate, Triethylene glycol dimethacrylate, Tetra(ethylene glycol) diacrylate, monomethyl ether hydroquinone, Trimethylolpropane ethoxylate, Trimethylolpropane ethoxylate, Trimethylolpropane ethoxylate, 4-Vinylbenzocyclobutene, 3-Aminophenyl sulfone, 4-Aminophenyl sulfone, 5-Amino-1,3,3-trimethylcyclohexanemethylamine, 1,2,4-Benzenetricarboxylic anhydride, Bisphenol A acetate propionate technical grade, Bisphenol A diglycidyl ether, Bisphenol A propoxylate diglycidyl ether,Bisphenol F, Castor oil glycidyl ether, 1,2-Cyclohexanedicarboxylic anhydride, 2,2′-Diallyl bisphenol A diacetate ether, 1,4,5,6,7,7-Hexachloro-5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride, 6-Maleimidohexanoic acid,cis-1,2,3,6-Tetrahydrophthalic anhydride, Trimethylolpropane triglycidyl ether, Trimethylolpropane tris[poly(propylene glycol), N,N'-Methylenebisacrylamide, N,N'-Methylenebisacrylamide, N,N'-(1,2-Dihydroxyethylene)bisacrylamide, N-(1-Hydroxy-2,2-dimethoxyethyl)acrylamide, 1,4-Cyclohexanedimethanol divinyl ether, N,N′-(1,2-Dihydroxyethylene)bisacrylamide, 1,6-Hexanediol diacrylate, 4,4′-Methylenebis(cyclohexyl isocyanate), Poly(ethylene glycol) dimethacrylate, Tetraethylene glycol dimethyl ether, Polytetramethylene ether glycol, Glycerol, Bromoacetic acid N-hydroxysuccinimide ester, 3-Maleimidobenzoic acid N-hydroxysuccinimide ester, 4-(N-Maleimidomethyl)cyclohexanecarboxylic acid N-hydroxysuccinimide ester, 3-(2-Pyridyldithio)propionic acid N-hydroxysuccinimide ester, Dimethyl pimelimidate dihydrochloride, 3,3′-Dithiodipropionic acid di(N-hydroxysuccinimide ester), 및 Suberic acid bis(3-sulfo-N-hydroxysuccinimide ester) 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
상기 제1 경화제 및 제2 경화제가 서로 같거나 다를 수 있고, 각각 독립적으로 구조식 1로 표시되는 화합물일 수 있다.
[구조식 1]
Figure 112019093569017-pat00002
상기 구조식 1에서,
A는 탄소원자 또는 규소원자이고,
R1 내지 R4는 같거나 서로 다르고, 각각 독립적으로 수소원자, 히드록시기, 비닐기, C1-C10 알킬기, C1-C10 알콕시기, 에폭시기, 또는 글리시딜기이고,
R1 내지 R4는 동시에 수소원자가 아니다.
상기 R1 내지 R4는 같거나 서로 다르고, 각각 독립적으로 수소원자, 히드록시기, 비닐기, C1-C10 알킬기, 또는 C1-C10 알콕시기일 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따르면, (a) 제1 올리고머 및 올리고머 겔 중 1종 이상, 및 제1 경화제를 포함하는 제1 혼합용액을 일정한 패턴으로 캐리어 상에 위치시켜 캐리어 상에 제1 혼합용액 패턴을 형성하는 단계; (b) 제2 올리고머 및 제2 경화제를 포함하는 제2 혼합용액을 상기 제1 혼합용액 패턴 및 캐리어 상에 위치시켜, 상기 캐리어 상에 위치하고 상기 제2 혼합용액을 포함하는 제2 부분과, 제1 혼합용액 패턴을 포함하고 상기 제1 혼합용액 패턴의 표면의 전부 또는 일부가 상기 제2 혼합용액에 접하는 제1 부분을 포함하는 프리기판을 제조하는 단계; (c) 상기 프리기판을 경화시켜, 제2 혼합용액이 경화되어 형성된 소프트부(soft part), 및 상기 소프트부 상에 상기 제1 혼합용액 패턴이 경화되어 형성된 하드부(hard part)를 포함하는 신축성 기판을 제조하는 단계; 및 (d) 상기 하드부 상에 전자소자를 위치시켜 신축성 전자기기를 제조하는 단계;를 포함하는 신축성 전자기기의 제조방법이 제공된다.
상기 신축성 전자기기의 제조방법이 상기 단계 (c)와 (d) 사이에, 상기 하드부 상에 접착층을 위치시키는 단계 (c')를 추가로 포함할 수 있다.
상기 전자소자가 박막트랜지스터, 태양전지, 유기발광다이오드 및 디스플레이 중에서 선택된 1종 이상을 포함할 수 있다.
[실시예]
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 들어 설명하도록 한다. 그러나 이는 예시를 위한 것으로서 이에 의하여 본 발명의 범위가 한정되는 것은 아니다.
실시예 1: 신축성 기판의 제조
올리고머 Polyurethane (PU) (40 wt%) 및 PU 경화제 (60 wt%)를 포함하는 제1 혼합용액을 이형제가 도포된 실리콘 캐리어 상에 잉크젯 프린팅 방법으로 주사하였다. 다음으로 올리고머 PDMS (95 wt%) 및 PDMS 경화제 (5 wt%)를 포함하는 제2 혼합용액을 상기 제1 혼합용액이 주사된 캐리어 상에 부어 프리기판을 제조하였다. 상기 제1 혼합용액 및 제2 혼합용액을 포함하는 프리기판 상에 접하도록 이형제가 도포된 실리콘 커버 부재를 덮은 후, 압력을 가해 평탄화시켰다. 이어서 70 ℃오븐에서 2 시간 동안 경화시키고, 상기 캐리어 및 상기 커버 부재를 떼어내어 소프트부(soft part) 및 하드패턴을 갖는 하드부(hard part)를 포함하는 신축성 기판을 제조하였다.
소자실시예 1: 태양전지의 제조
실시예 1에 따라 제조된 신축성 기판의 하드부(hard part) 상에 전도성 고분자 정공수송층을 스핀 코팅을 이용해 적층하고, 최종적으로 은 전극을 마스크를 이용하여 화학기상증착법(CVD)을 통해 증착시키는 방법으로 태양전지를 제조하였다.
소자실시예 2: 신축성 전도성 기판의 제조
실시예 1에 따라 제조된 신축성 기판의 하드부(hard part) 상에 금 전극을 화학기상증착법(CVD) 및 용액박막공정을 통해 증착시키는 방법으로 신축성을 지니는 전도성 기판을 제조하였다.
소자실시예 3: 신축성 SCLC 소자의 제조
실시예 1에 따라 제조된 신축성 기판의 하드부(hard part) 상에 전도성 고분자 정공수송층을 스핀 코팅을 이용해 적층하여 신축성을 지니는 SCLC 소자를 제조하였다.
비교예 1: Sylgard 184를 이용한 PDMS 기판
현재까지 사용되고 있는 신축성 기판을 비교예로 제작하기 위해 실리콘 고무인 PDMS를 사용하였고, 이는 실시예 1에서 사용한 두가지 용액과 동일한 용액으로 구성되어 있다.
상기 두가지 용액을 20:1의 무게 비율로 혼합하여 완전히 섞이도록 5분 동안 저어주었다. 이어서 상기 PDMS 혼합 용액 내의 기포를 제거하기 위해 5분 동안 진공 처리를 한 후, 평평한 플라스틱판 또는 유리판 상에 혼합 용액을 일정한 속도로 부었다. 평평한 플라스틱판 또는 유리판 표면에 상기 PDMS 혼합 용액이 완전히 퍼진 후, 70℃오븐에서 2시간 동안 경화시켰다. 이후 형성된 투명한 필름 층을 평평한 플라스틱판 또는 유리판으로부터 떼어내어 신축성 기판을 제작하였다.
비교예 2: Ecoflex 00-30을 이용한 실리콘 고무 기판
백금 촉매 반응을 통한 silicone rubber로서 Ecoflex 00-30(Smooth-On)은 1A(실리콘 수지와 백금 촉매 함유)와 1B(경화제), 두 가지 액체로 구성되어 있으며, 이 둘을 무게 비율 1:1로 혼합하여 완전히 섞이도록 5분 동안 저어주었다. 이어서 혼합 용액 내의 기포를 제거하기 위해 5분 동안 진공 처리를 하였다. 이후 평평한 플라스틱판 또는 유리판 상에 혼합 용액을 일정한 속도로 부었다. 평평한 플라스틱판 또는 유리판 표면에 상기 혼합 용액이 완전히 퍼진 후, 70 ℃오븐에서 2 시간 동안 경화시켰다. 이후 형성된 반투명한 필름 층을 떼어내어 신축성 기판을 제작하였다.
비교예 3: Polystyrene-block-poly(ethylene-ran-butylene)-block-polystyrene (SEBS) 기판 Tuftec H1062
SEBS는 탄성을 보이는 블록 공중합체로서 Tuftec H1062는 poly(ethylene-co- butylene)의 부피분율이 82 %로 구성되어 있으며, pellet 형태의 제품을 toluene에 200mg/ml의 농도로 용해시켜 기판을 제작하였다. 이후 평평한 플라스틱판 또는 유리판 상에 SEBS 용액을 일정한 속도로 부었다. 평평한 플라스틱판 또는 유리판 표면에 상기 혼합 용액이 완전히 퍼진 후, toluene 용매 증발을 위해 70 ℃오븐에서 2 시간 동안 보관하였다. 이후 형성된 투명한 필름 층을 떼어내어 신축성 기판을 제작하였다.
소자비교예 1: 태양전지의 제조
실시예 1에 따라 제조된 신축성 기판의 하드부(hard part) 상에 적층 및 증착하는 대신에 비교예 1에 따라 연질부(Soft part)로만 구성된 신축성 기판의 상층부에 적층 및 증착하는 것을 제외하고는 소자실시예 1과 동일한 방법으로 태양전지를 제조하였다.
소자비교예 2: 신축성 전도성 기판의 제조
실시예 1에 따라 제조된 신축성 기판의 하드부(hard part) 상에 증착하는 대신에 비교예 1에 따라 연질부(Soft part)로만 구성된 신축성 기판의 상층부에 증착하는 것을 제외하고는 소자실시예 2와 동일한 방법으로 신축성을 지니는 전도성 기판을 제조하였다.
소자비교예 3: 신축성 SCLC 소자의 제조
실시예 1에 따라 제조된 신축성 기판의 하드부(hard part) 상에 적층하는 대신에 비교예 1에 따라 연질부(Soft part)로만 구성된 신축성 기판의 상층부에 적층하는 것을 제외하고는 소자실시예 3과 동일한 방법으로 신축성을 지니는 SCLC 소자를 제조하였다.
[시험예]
시험예 1: 신축성 기판의 경도 비교
표 1은 실시예 1에 따라 제조된 신축성 기판에서 하드부 및 소프트부의 경도와 비교예 1 내지 3에 따라 제조된 신축성 기판의 경도를 측정하여 비교한 경도 시험 결과이다. 경도는 Shore durometer type A 또는 D를 통해 측정하였는데, 이는 주로 고분자 또는 탄성중합체의 경도를 측정하는데 이용한다. Durometer 기기의 indentor로 샘플 표면의 특정 부위에 load를 가했을 시, indentation의 깊이에 따라 추산하여 샘플의 경도 값을 얻을 수 있다. 또한, 이 값을 탄성계수 값으로 환산하여 비교할 수 있다.
기판 Shore Hardness (A or D) Modulus (MPa)
실시예 1의 하드부 58D 187
실시예 1의 소프트부 45A 2.0
비교예 1 41A 1.8
비교예 2 22A 0.8
비교예 3 57A 3.2
결과적으로, 실시예 1에 따라 제조된 신축성 기판에서 하드패턴을 갖는 하드부(hard part)의 탄성계수가 187MPa로 가장 높으며, 비교예 2에 따라 제조된 신축성 기판의 탄성계수가 0.8 MPa로 가장 낮았다. 따라서, 신축성 기판의 하드부(hard part)의 경도(hardness)가 소프트부의 경도 및 비교예 1 내지 3에 따라 제조된 신축성 기판의 경도보다 5배 내지 233.8배 증가한 것을 알 수 있었다.
시험예 2: 신축성 기판의 소프트부 및 하드부 변형률 비교
도 2는 실시예 1에 따른 신축성 기판에서 하드부와 소프트부의 변형율을 나타낸 도면이다.
도 2를 참조하면, 실시예 1에 따른 신축성 기판에 70% 인장을 가하였을 때, 소프트부(Soft part)는 70% 인장이 그대로 가해지고, 하드부(Rigid part)는 높은 경도로 인하여 10% 미만의 인장이 가해져 그 형태를 유지하는 것을 확인할 수 있었다.
시험예 3: 소자의 광전효율 비교
도 3은 소자실시예 1(a) 및 소자비교예 1(b)에 따라 제조된 페로브스카이트 태양전지의 성능을 변형율에 따라 비교한 그래프이다.
도 3을 참조하면, 소자실시예 1에 따른 소자는 0에서 50%의 인장을 가하였을 때, 19.86%에서 16.4%로 3.46%의 광전효율이 감소하였고, 소자비교예 1에 따른 소자는 19.24%에서 11.82%로 7.42%의 광전효율이 감소함을 확인할 수 있었다.
따라서 소자실시예 1에 따른 소자는 상대적으로 인장이 가해졌을 때, 더 우수한 내구성을 지니는 것을 확인할 수 있었다.
시험예 4: 소자의 반복인장에 따른 저항변화 비교
도 4은 소자실시예 2 및 소자비교예 2에 따라 제조된 전도성 기판의 반복인장에 따른 저항변화를 비교한 그래프이다. 사이클 (cycle) 시험을 위해서는, 재료의 40%까지 변형을 주었다 되돌리는 방법으로 총 50회 진행하였으며, 매회 측정된 저항값을 기록하여 수치화하였다.
도 4을 참조하면, 소자비교예 2에 따른 소자는 10사이클 이상의 반복인장이 가해졌을 때, 저항변화율이 50% 이상 증가하는 반면, 소자실시예 2에 따른 소자는 50사이클 이상의 반복인장이 가해졌을때, 5% 이하의 저항변화율을 나타내는 것을 통해 상대적으로 더 우수한 성능을 나타냄을 확인할 수 있었다.
시험예 5: 소자의 반복인장에 따른 저항변화 비교
도 5는 소자실시예 3 및 소자비교예 3에 따라 제조된 SCLC 소자의 변형율에 따라 정공이동도 변화를 비교한 그래프이다.
도 5를 참조하면, 소자실시예 3에 따른 소자는 소자비교예 3에 따라 제조한 소자에 비해 70%의 인장이 가해졌을 때, 정공이동도가 10% 이하의 감소를 보여 소자비교예 3에 비해서 성능저하가 더 적게 나타나 우수한 내구성을 나타냄을 확인할 수 있었다.
본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

Claims (19)

  1. (a) 제1 올리고머 및 제1 경화제를 포함하는 제1 혼합용액을 일정한 패턴으로 캐리어 상에 위치시켜 상기 캐리어 상에 제1 혼합용액 패턴을 형성하는 단계;
    (b) 제2 올리고머 및 제2 경화제를 포함하는 제2 혼합용액을 상기 제1 혼합용액 패턴 및 캐리어 상에 위치시켜, 상기 캐리어 상에 위치하고 상기 제2 혼합용액을 포함하는 제2 부분과, 상기 제1 혼합용액 패턴을 포함하고 상기 제1 혼합용액 패턴의 표면의 전부 또는 일부가 상기 제2 혼합용액에 접하는 제1 부분을 포함하는 프리기판을 제조하는 단계;
    (b') 상기 캐리어와 마주하는 방향의 반대 방향으로 상기 프리기판의 일면 상에 커버 부재를 위치시켜 상기 프리기판의 일면을 평탄화 시키는 단계; 및
    (c) 상기 프리기판을 경화시켜, 제2 혼합용액이 경화되어 형성된 소프트부(soft part), 및 상기 소프트부 상에 상기 제1 혼합용액 패턴이 경화되어 형성된 하드패턴을 갖는 하드부(hard part)를 포함하는 신축성 기판을 제조하는 단계;를 포함하고,
    상기 제1 올리고머는 폴리우레탄 중합용 우레탄 올리고머이고,
    상기 제2 올리고머는 실리콘 고무 중합용 실리콘 올리고머인 것인 신축성 기판의 제조방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 커버 부재가 유리판, 실리콘 웨이퍼, 금속판, 무기재료판, 및 고분자판 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 제조방법.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 제1 혼합용액의 상기 제1 경화제의 함량 및 상기 제2 혼합용액의 상기 제2 경화제의 함량을 각각 조절하여 상기 소프트부의 탄성계수 및 하드부의 탄성계수를 제어하는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제1 혼합용액의 투입이 주사 탐침 방법, 잉크젯 프린팅 방법, 임프린팅 방법, 전기수력학 프린팅 방법, 3D 프린팅 방법, 슬롯-다이 코팅 방법 및 스프레이 코팅 방법 중에서 선택된 1종 이상의 방법으로 수행되는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 제조방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 하드 패턴의 형상이 직선, 곡선, 원형, 타원형, 다각형, 및 이들의 조합중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 제조방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 하드부의 탄성계수(modulus)가 상기 소프트부의 탄성계수(modulus) 보다 큰 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 제조방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 소프트부의 탄성계수(Ms)가 0.8 내지 3.0 MPa이고, 상기 하드부의 탄성계수(Mh)가 15 내지 193 MPa인 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 제조방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 소프트부의 탄성계수(Ms)에 대한 상기 하드부의 탄성계수(Mh)의 비(Mh/ Ms)가 5.0 내지 241.3인 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 제조방법.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 신축성 기판의 신장 변형 시 상기 소프트부의 스트레인에 대한 상기 하드부의 스트레인의 비가 0 내지 1%인 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 제조방법.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 캐리어가 유리, 세라믹, 및 고분자 중에서 선택된 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 제조방법.
  13. 삭제
  14. 삭제
  15. 제1항에 있어서,
    상기 제1 경화제 및 제2 경화제가 서로 같거나 다를 수 있고, 각각 독립적으로 orthosilicic acid, tetravinylsilane, Si(OH)n(OR)4-n(n은 1 내지 4의 정수, R은 C1-C10 알킬기), 3-(Triethoxysilyl)propyl isocyanate, Bis(2-methacryloyl)oxyethyl disulfide, 1,4-Bis(4-vinylphenoxy)butane, Divinylbenzene, p-Divinylbenzene, Glycerol ethoxylate, Glycerol ethoxylate-co-propoxylate triol, Hexa(ethylene glycol) dithiol, 2-[8-(3-Hexyl-2,6-dioctylcyclohexyl)octyl]pyromellitic diimide oligomer(maleimide terminated), 2-[8-(3-Hexyl-2,6-dioctylcyclohexyl)octyl]pyromellitic diimide oligomer(maleimide terminated), 11-Maleimidoundecanoic acid, Pentaerythritol ethoxylate, Pentaerythritol ethoxylate, Pentaerythritol propoxylate, 1,4-Phenylenediacryloyl chloride, Poly(ethylene glycol) bisazide, Ethylene glycol diacrylate, Poly(ethylene glycol) diacrylate, 2,4,6,8-Tetramethyl-2,4,6,8-tetrakis(propyl glycidyl ether)cyclotetrasiloxane, 1,3,5-Triallyl-1,3,5-triazine-2,4,6(1H,3H,5H)-trione, Di(ethylene glycol) diacrylate, Ethylene glycol dimethacrylate, Di(ethylene glycol) dimethacrylate, Triethylene glycol dimethacrylate, Tetra(ethylene glycol) diacrylate, monomethyl ether hydroquinone, Trimethylolpropane ethoxylate, Trimethylolpropane ethoxylate, Trimethylolpropane ethoxylate, 4-Vinylbenzocyclobutene, 3-Aminophenyl sulfone, 4-Aminophenyl sulfone, 5-Amino-1,3,3-trimethylcyclohexanemethylamine, 1,2,4-Benzenetricarboxylic anhydride, Bisphenol A acetate propionate technical grade, Bisphenol A diglycidyl ether, Bisphenol A propoxylate diglycidyl ether,Bisphenol F, Castor oil glycidyl ether, 1,2-Cyclohexanedicarboxylic anhydride, 2,2′-Diallyl bisphenol A diacetate ether, 1,4,5,6,7,7-Hexachloro-5-norbornene-2,3-dicarboxylic anhydride, 6-Maleimidohexanoic acid,cis-1,2,3,6-Tetrahydrophthalic anhydride, Trimethylolpropane triglycidyl ether, Trimethylolpropane tris[poly(propylene glycol), N,N'-Methylenebisacrylamide, N,N'-Methylenebisacrylamide, N,N'-(1,2-Dihydroxyethylene)bisacrylamide, N-(1-Hydroxy-2,2-dimethoxyethyl)acrylamide, 1,4-Cyclohexanedimethanol divinyl ether, N,N′-(1,2-Dihydroxyethylene)bisacrylamide, 1,6-Hexanediol diacrylate, 4,4′-Methylenebis(cyclohexyl isocyanate), Poly(ethylene glycol) dimethacrylate, Tetraethylene glycol dimethyl ether, Polytetramethylene ether glycol, Glycerol, Bromoacetic acid N-hydroxysuccinimide ester, 3-Maleimidobenzoic acid N-hydroxysuccinimide ester, 4-(N-Maleimidomethyl)cyclohexanecarboxylic acid N-hydroxysuccinimide ester, 3-(2-Pyridyldithio)propionic acid N-hydroxysuccinimide ester, Dimethyl pimelimidate dihydrochloride, 3,3′-Dithiodipropionic acid di(N-hydroxysuccinimide ester), 및 Suberic acid bis(3-sulfo-N-hydroxysuccinimide ester) 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 제조방법.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 제1 경화제 및 제2 경화제가 서로 같거나 다를 수 있고, 각각 독립적으로 구조식 1로 표시되는 화합물인 것을 특징으로 하는 신축성 기판의 제조방법:
    [구조식 1]
    Figure 112019093569017-pat00003

    상기 구조식 1에서,
    A는 탄소원자 또는 규소원자이고,
    R1 내지 R4는 같거나 서로 다르고, 각각 독립적으로 수소원자, 히드록시기, 비닐기, C1-C10 알킬기, C1-C10 알콕시기, 에폭시기, 또는 글리시딜기이고,
    R1 내지 R4는 동시에 수소원자가 아니다.
  17. (a) 제1 올리고머 및 제1 경화제를 포함하는 제1 혼합용액을 일정한 패턴으로 캐리어 상에 위치시켜 캐리어 상에 제1 혼합용액 패턴을 형성하는 단계;
    (b) 제2 올리고머 및 제2 경화제를 포함하는 제2 혼합용액을 상기 제1 혼합용액 패턴 및 캐리어 상에 위치시켜, 상기 캐리어 상에 위치하고 상기 제2 혼합용액을 포함하는 제2 부분과, 제1 혼합용액 패턴을 포함하고 상기 제1 혼합용액 패턴의 표면의 전부 또는 일부가 상기 제2 혼합용액에 접하는 제1 부분을 포함하는 프리기판을 제조하는 단계;
    (b') 상기 캐리어와 마주하는 방향의 반대 방향으로 상기 프리기판의 일면 상에 커버 부재를 위치시켜 상기 프리기판의 일면을 평탄화 시키는 단계;
    (c) 상기 프리기판을 경화시켜, 제2 혼합용액이 경화되어 형성된 소프트부(soft part), 및 상기 소프트부 상에 상기 제1 혼합용액 패턴이 경화되어 형성된 하드부(hard part)를 포함하는 신축성 기판을 제조하는 단계; 및
    (d) 상기 하드부 상에 전자소자를 위치시켜 신축성 전자기기를 제조하는 단계;를 포함하고,
    상기 제1 올리고머는 폴리우레탄 중합용 우레탄 올리고머이고,
    상기 제2 올리고머는 실리콘 고무 중합용 실리콘 올리고머인 것인 신축성 전자기기의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 신축성 전자기기의 제조방법이 상기 단계 (c)와 (d) 사이에,
    상기 하드부 상에 접착층을 위치시키는 단계 (c')를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 전자기기의 제조방법.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 전자소자가 박막트랜지스터, 태양전지, 유기발광다이오드 및 디스플레이 중에서 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 신축성 전자기기의 제조방법.
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