KR102150614B1 - 지그 검사장치를 갖는 기판의 비접촉식 수직 처리시스템 - Google Patents

지그 검사장치를 갖는 기판의 비접촉식 수직 처리시스템 Download PDF

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Abstract

본 발명은 인쇄회로기판 등의 기판을 액자형 지그로써 파지한 상태에서 수직이동시키면서 표면처리작업을 수행하는 시스템에 있어서 상기 지그를 이송시키기 위한 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 지그 검사장치에 관한 것이다. 구 구성은;
메인챔버; 상기 메인챔버 내부로 기판을 공급하는 기판공급부; 박형으로 된 기판의 가장자리를 클램프로 파지하는 복수 개의 지그; 지그이송장치; 상기 메인챔버 내부에서 이송되는 기판의 표면에 표면처리액을 분사하는 표면처리부; 상기 표면처리부를 통과한 기판의 표면에 세정수를 분사 공급하기 위한 세정부; 상기 세정부를 통과한 기판의 표면에서 세정수를 제거하기 위한 건조부; 처리가 완료된 기판을 파지하고 있는 지그를 상기 기판공급부를 향하여 반송하기 위한 지그반송부; 상기 지그반송부에 설치되는 것으로서 상기 지그에서 기판을 회수하는 기판회수부; 및 상기 기판공급부, 표면처리부, 세정부, 건조부 및 지그반송부의 각 경계지점 중 어느 한 곳 이상에 상기 지그에 설치된 클램프의 이상유무를 검사하기 위한 지그 검사장치;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

지그 검사장치를 갖는 기판의 비접촉식 수직 처리시스템{Non Contact Vertical Typed Processing System For Board Having Jig Inspecting Apparatus}
본 발명은 기판의 수직 처리시스템에 관한 것으로서, 보다 구체적으로는 인쇄회로기판 등의 기판을 액자형 지그로써 파지한 상태에서 수직이동시키면서 에칭, 박리 또는 전처리 등의 각종 작업을 수행함으로써 제품의 표면을 보호할 수 있으며 고품질을 얻을 수 있는, 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 지그 검사장치에 관한 것이다.
기판을 처리하기 위한 여러 작업내용과 이 작업을 수행하는 여러 시스템이 있다. 기판이라 함은 각종 전자제품에 사용되는 인쇄회로기판이 대표적이다. 인쇄회로기판은 기술의 발달로 초박형화 및 대형화되는 추세에 있다. 기판을 처리하는 작업내용에는 도금, 에칭, 현상, 박리, 전처리 등의 작업이 포함된다.
특히 현상이란 포토리소그라피(photolithography) 기술의 일부로서 해당 분야의 기술발전과 더불어 갈수록 복잡해지고 난이도도 높아지고 있다. 인쇄회로기판의 처리공정 중 패턴 노광에서 폴리머로 변화되지 않은 미경화 부분을 화학약품을 이용하여 벗겨냄으로써 인쇄회로기판의 동박상에 필요한 영상을 1차로 재현하는 작업을 말한다.
현상작업은 노광공정을 거친 제품의 투입, 세정, 건조, 화학처리, 수차례의 수세와 건조(또는 액절), 산세와 건조(또는 액절), 가열 건조, 배출 등의 세부 작업으로 구성된다. 현상액은 탄산나트륨이 일반적으로 사용되며, 수세액은 사용제품에 따라 공업용수 또는 전해수가 사용될 수 있다.
본 발명은 기존의 기판 현상시스템을 개선하여 작업효율을 높이고 설치 및 운영상 더욱 경제적인 시스템을 구축하기 위한 것이다.
종래의 기판 현상시스템에서는 박형 기판을 파지하기 위하여 액자 형태로 된 지그가 사용되어 왔다. 지그는 사각의 프레임으로 되어 있으며 그의 상단과 하단에는 기판의 상하단을 각각 클램핑하기 위한 클램프가 설치되어 있다.
기판 현상시스템은 지그를 연속적으로 이송시키기 위한 지그 이송장치를 가지고 있다. 지그 이송장치는 컨베이어와 유사하게 지그를 연속적으로 구동시킨다.
기판은 이송되는 과정에서 적지 않은 부하를 받게 된다. 기판은 분사노즐로부터 강하게 분사되는 표면처리액, 세정수, 압축공기를 연속적으로 받아들여야 한다.
지그에 설치된 클램프의 파지력이 약하거나 또는 클램프에 고장이 있어서 제대로 작동하지 않는 경우에는 기판을 온전하게 고정할 수 없을 것이다. 이 경우 기판이 처리과정 중 받게 되는 부하에 의해 크게 손상되거나 심지어 지그에서 탈락될 수도 있다. 그러면 기판을 폐기하여야 하는 것은 물론이고 시스템 전체가 운전을 정지하여야 하는 손해가 생기게 된다.
그래서 지그에 설치된 클램프의 이상유무는 주기적으로 체크해주는 것이 바람직하다. 종래에는 시스템이 정지된 때 그로부터 지그를 꺼내어 검사를 시행하여 왔으나 많은 수의 클램프를 일일이 검사하는데 적지 않은 인력과 시간이 소요되었으므로 잦은 검사를 할 수는 없었다.
대한민국 특허출원 제10-2011-0104225호 대한민국 특허출원 제10-2007-0088002호
위와 같은 문제에 대한 본 발명의 목적은 인쇄회로기판 등의 기판을 액자형 지그로써 파지한 상태에서 수직이동시키면서 표면처리작업을 수행하는 시스템에 있어서, 상기 지그에 설치된 클램프를 검사하기 위한, 지그 검사장치를 갖는 기판의 비접촉식 수직 처리시스템을 제공하는 것에 있다.
본 발명의 구체적인 목적은, 처리시스템 내에 클램프를 검사하기 위한 검사장치를 구비함으로써 현재 시스템 내에서 사용중에 있는 클램프의 이상유무를 검사할 수 있으므로 가장 정확하며 신속한 검사가 가능하게 된다. 클램프에 이상이 있을 경우 즉시로 조치를 취함으로써 확대손해를 최소화할 수 있는 지그 검사장치를 갖는 기판의 비접촉식 수직 처리시스템을 제공하는 것에 있다.
위와 같은 목적은, 일직선 형태로 연속되어 있는 작업공간이 마련되도록 베이스프레임의 상부에 박스 형태로 설치되는 메인챔버; 상기 메인챔버 내부로 기판을 공급하는 기판공급부; 박형으로 된 기판의 가장자리를 클램프로 파지하여 팽팽하게 유지한 상태에서 작업이 이루어질 수 있도록 하는 복수 개의 지그; 상기 메인챔버 내부에 설치되는 것으로서 기판을 파지하고 있는 상기 지그를 연속적으로 이송시키기 위한 지그이송장치; 상기 지그이송장치에 의해 상기 메인챔버 내부에서 이송되는 기판의 표면에 표면처리액을 분사하는 표면처리부; 상기 표면처리부의 후단에 설치되는 것으로서, 상기 표면처리부를 통과한 기판의 표면에 세정수를 분사 공급하기 위한 세정부; 상기 세정부의 후단에 설치되는 것으로서, 상기 세정부를 통과한 기판의 표면에서 세정수를 제거하기 위한 건조부; 처리가 완료된 기판을 파지하고 있는 지그를 상기 기판공급부를 향하여 반송하기 위한 지그반송부; 상기 지그반송부에 설치되는 것으로서 상기 지그에서 기판을 회수하는 기판회수부; 및
상기 기판공급부, 표면처리부, 세정부, 건조부 및 지그반송부의 각 경계지점 중 어느 한 곳 이상에 상기 지그에 설치된 클램프의 이상유무를 검사하기 위한 지그 검사장치를 포함하는 것을 특징으로 하는, 지그 검사장치를 갖는 기판의 비접촉식 수직 처리시스템에 의해 달성된다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 지그 검사장치는;
이송중인 지그와 평행하게 대면할 수 있는 위치에 고정 설치되는 검사프레임; 상기 각 클램프의 위치에 대응되는 지점에 개별검사기구가 고정될 수 있도록 상기 검사프레임 상에 횡방향으로 설치되는 검사기구안착대; 상기 검사기구안착대의 길이방향을 상기 클램프와 같은 위치에 설치되는 개별검사기구;를 포함하되;
상기 개별검사기구는;
상기 클램프의 레버를 가압하는 가압봉; 상기 가압봉을 상기 클램프레버를 향해 전진시키는 가압봉구동부; 상기 가압봉이 전진하여 상기 클램프레버를 움직이는지 여부를 감지하기 위한 동작감지부;를 포함할 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 가압봉구동부는 상기 클램프에 설치된 스프링의 탄성력 미만의 힘으로 상기 가압봉을 가압함으로써 상기 클램프가 정상일 경우에는 상기 가압봉은 상기 클램프를 향해 전진할 수 없게 하는 것일 수 있다. 여기서 상기 가압봉구동부는 모터, 전자석 또는 공압실린더 중 어느 하나일 수 있다.
본 발명의 또 다른 특징에 의하면, 상기 동작감지부는 상기 개별검사기구의 측방에 설치되는 것으로서, 상기 가압봉구동부에 의해 상기 가압봉이 전진하게 될 때 위치되는 지점에 물체가 있는지 여부를 레이저광에 의해 감지하는 레이저 송수신부를 포함할 수 있다.
상기 프레임설치대는 상기 지그를 향한 방향으로 직선운동이 가능하게 설치될 수 있다.
상기 검사기구안착대는 지면에 수직을 이루는 수직축에 대하여 상기 지그를 향한 방향으로 회전이 가능하게 설치될 수 있다.
본 발명에 따르면, 인쇄회로기판 등의 기판을 액자형 지그로써 파지한 상태에서 수직이동시키면서 표면처리작업을 수행하는 시스템에서 지그를 이송시키기 위한 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 지그 검사장치가 제공된다. 좀 더 구체적으로는, 이상이 생긴 부분을 즉각적으로 감지하여 분리 또는 관리자에게 인지시킴으로써 고가의 기판을 손상시켜 경제적 손실을 입지 않도록 하며, 특정 지그의 문제로 인해 시스템 전체의 가동을 멈추게 되는 문제를 없앨 수 있는 지그 검사장치가 제공된다. 또한 지그 및 그에 부착된 클램프의 형태에 맞춰 구조를 조정함으로써 다양한 형태의 지그에도 적용할 수 있는 지그 검사장치를 갖는 수직 처리시스템이 제공된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 의한 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 전체 평면구성도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 기판 검사장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 기판 검사장치의 측면 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 기판 검사장치의 평면 구성도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 기판 검사장치의 작동상태를 설명하기 위한 평면 구성도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 기판 검사장치의 작동상태를 설명하기 위한 측면 구성도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시예에 의한 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 기판 검사장치의 측면 구성도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 내용을 상세하게 설명한다. 도 1과 도 2를 기본적으로 참조하겠으며, 나머지 도면은 필요한 곳에서 인용하기로 한다.
우선 본 발명에 의한 기판의 비접촉식 수직 처리시스템의 지그 검사장치(이하, '지그 검사장치'라 한다)가 적용되는 판의 비접촉식 수직 처리시스템의 구성을 도 1을 참조하여 간단히 설명한다.
일직선 형태로 연속되어 있는 작업공간이 마련되도록 박스 형태로 메인챔버(1)가 설치된다. 기판공급부(3)는 메인챔버(1)의 일측 내부로 기판을 공급한다. 복수 개의 지그(5, 도 2 참조)는 박형으로 된 기판(P)의 가장자리를 클램프(6)로 파지하여 팽팽하게 유지한 상태에서 작업이 이루어질 수 있도록 한다. 표면처리부(7)는 메인챔버(1) 내부에서 이송되는 기판(P)의 표면에 표면처리액(L)을 분사한다. 세정부(9)와 건조부(11)는 표면처리부(5)를 통과한 기판의 표면에 세정수 및 에어를 분사 공급하여 세정과 건조를 수행한다. 지그반송부(13)는 처리가 완료된 기판(P)을 파지하고 있는 지그를 상기 기판공급부(3)를 향하여 반송하며, 기판회수부(15)는 지그(5)에서 기판(P)을 회수하여 후속공정으로 넘긴다.
본 발명에 의하면, 기판공급부, 표면처리부, 세정부, 건조부 및 지그반송부의 각 경계지점 중 어느 한 곳 이상에는 버퍼부(17)가 마련된다. 도시된 바에 의하면 각 경계지점 모든 지점에 버퍼부(17)가 마련된다. 버퍼부(17)는 1 ~ 3장의 지그(5)가 동시에 수용될 수 있는 폭을 가진다.
본 발명의 지그 검사장치는 시스템 내에서 사용중에 있는 지그, 특히 그의 클램프(6)의 이상유무를 검사하기 위한 장치이다. 지그검사장치(17)는 메인챔버(1) 내부, 특히 기판공급부(3), 표면처리부(7), 세정부(9), 건조부(11) 및 지그반송부(13)의 각 경계지점 중 어느 한 곳 이상에 설치된다. 더 나아가 버퍼부(17) 중 어느 한 곳 이상에 설치된다. 경우에 따라서는 지그반송부(13) 상에도 설치될 수도 있다. 이하 이 지그 검사장치를 도 2 내지 도 5를 더 참조하여 설명한다.
기판(P)을 파지하고 있는 지그(5)는 지그이송장치에 의해 수직으로 세워진 상태에서 연속적으로 이송된다. 지그 검사장치는 이렇게 이송되고 있는 지그(5)를 검사하는 것이다. 검사 순간에 지그를 순간적으로(예를 들어, 1 ~ 2초) 멈추게끔 시스템을 설정할 수도 있고, 지그(5)를 따라 함께 이동하면서 검사를 수행하도록 구성할 수도 있다.
상기 지그 검사장치는 검사프레임(19), 검사기구안착대(21) 및 개별검사기구(23)를 포함한다.
검사프레임(19)은 이송 중에 있는 지그(5)와 평행하게 대면할 수 있는 위치에 고정 설치된다. 다만 전술한 바와 같이 지그(5)의 이송방향을 따라 지그(5)와 함께 일정 구간(버퍼부(17) 내의 구간)에서 이동 가능하게 설치될 수도 있다.
검사기구안착대(21)는 선반(shelf)과 유사한 형태로서 지그의 각 클램프(6)의 위치에 대응되는 지점에 개별검사기구(23)가 고정될 수 있도록 검사프레임(19) 상에 횡방향으로 설치된다. 검사기구안착대(21)는 도시된 바에 의하면 상부클램프(6')의 검사를 위한 상부검사기구안착대(21')와, 하부클램프(6")의 검사를 위한 하부검사기구안착대(21")로 구성된다.
개별검사기구(23)는 검사기구안착대(21)의 길이방향을 따라 클램프(6)와 같은 위치에 설치된다. 개별검사기구(23)는 검사기구안착대(21)의 길이방향을 따라 위치조정이 가능하게끔 설치될 수 있다. 검사기구안착대(21)에는 자신의 길이방향을 따라 제1레일(25)이 설치되고, 개별검사기구(23)에는 제1레일(25)에 결합하기 위한 제1이동블럭(27)이 설치될 수 있다.
지그(5)의 종류에 따라서 클램프(6)의 위치가 변경될 때 이에 맞출 수 있도록 하기 위함이다.
또한 검사기구안착대(21)는 프레임설치대(28)의 위에 또는 아래에 설치될 수 있다. 프레임설치대(28)는 검사기구안착대와 평행을 이루는 판재로 되어 있다. 그리고 프레임설치대(28)에는 지그(5)를 향한 방향으로, 즉 제1레일(25)과 직각을 이루는 방향으로 제2레일(29)이 설치되어 있다. 검사기구안착대(21)에는 제2레일(29)과 결합하여 그를 따라 이동할 수 있는 제2이동블럭(31)이 설치되어 있다.
그리고 검사기구안착대(21)는 검사프레임(19)의 세로바(33)를 따라 상하로 높이조절을 할 수 있다. 이를 위해 세로바(33)에는 제3레일(35)을 설치할 수 있고, 프레임설치대(28)에는 제3레일(35)을 따라 이동될 수 있는 제3이동블럭(37)을 설치할 수 있다.
결과적으로 개별검사기구(23)는 상하 및 좌우로 위치 조정을 할 수 있도록 설치된다. 개별검사기구는 클램프(6)에 맞게끔 위치가 조정된 후에 세팅볼트(미도시됨)에 의해 해당 위치에 고정된다.
여기서 더 나아가 프레임설치대(28)는 도 3에 도시된 바와 같이 지면에 수직을 이루는 수직축에 대하여 상기 지그(5)를 향한 방향으로, 즉 화살표(K) 방향으로 회전이 가능하게 설치될 수 있다. 이를 위해 프레임설치대(28)의 양단에는 원호형태의 장공(39)이 마련되어 있는 브래킷(41)이 설치되어 있다. 프레임설치대(28)는 힌지축(43)을 중심으로 회전 가능하게 브래킷(41) 상에 고정된다. 제3이동블럭(37)은 이 브래킷(41)에 연결된다. 이것은 후술되는 가압봉(45)의 이동각도를 클램프레버(6a)의 설치구조에 맞추어 조정할 수 있도록 하기 위한 배려이다.
이하, 개별검사기구(23)를 설명한다.
개별검사기구(23)는 가압봉(45), 가압봉구동부(47) 및 동작감지부(49)를 포함한다. 가압봉(45)은 클램프 레버(6a)를 가압하는 것으로서 클램프 레버(6a)의 누름부를 향해 수평방향으로 연장되게끔 설치된다. 가압봉(45)의 선단은 클램프 레버(6a)를 누르기 적당하도록 둥글게 되어 있을 수 있으며, 나아가 마찰을 감소시키기 위하여 롤러가 설치될 수도 있다.
가압봉구동부는 외부신호에 따라 동력을 이용하여 가압봉(45)을 클램프 레버(6a)를 향해 전진시킨다. 여기서 가압봉구동부는 모터, 전자석 또는 공압실린더 중 어느 하나일 수 있다. 본 발명의 실시예에 의하면 모터(47)가 가압봉구동부에 사용된다.
모터(47)는 상부프레임안착대(28')와 하부프레임안착대(28")에 각각 설치된다. 모터(47)는 상부검사기구(21')에 안착된 개별검사기구(23)를 동시에 기동시키는 상부모터(47')와 하부검사기구(21")에 안착된 개별검사기구(23)를 동시에 기동시키는 하부모터(47")로 구성된다. 도 5와 도 6은 상부모터(47')에 의해 4개의 개별검사기구가 동시에 작동한 상태를 도시한다.
모터(47)가 작동하면 가압봉은 클램프 레버(6a)를 향해 전진한다.
한편 가압봉은 검사기구 안착대 상면(또는 저면)에 고정 설치된 케이싱(49) 내부에 전후방향(지그를 향한 방향)으로 슬라이드 가능하게 설치된다. 그리고 가압봉은 완충스프링(51)에 의해 전방에 저항이 있을 경우 뒤로 밀릴 수 있도록 설치된다. 전방에 저항이 있는 경우는 지그에 설치된 클램프가 정상 상태에 있는 때에 해당한다. 검사기구안착대(21)가 클램프를 향해 전진할 때 클램프스프링(6b)의 탄성력이 정상일 경우에는 가압봉(45)이 전진할 수 없고 완충스프링(51)에 의해 뒤로 밀릴 수 있도록 하는 것이다. 완충스프링(51)의 탄성계수는 클램프스프링(6b)의 탄성계수보다 작아야 한다.
만약 클램프(6)에 이상이 있는 경우에는 가압봉(45)이 클램프레버(6a)를 밀고 앞으로 전진하게 된다. 클램프(6)에 이상이 있는 경우는 클램프레버가 부러진 경우, 클램프스프링이 빠지거나 탄성력이 크게 저하된 경우 등 다양하다.
동작감지부(51)는 클램프에 이상이 있어서 가압봉(45)이 전진하여 클램프레버(6a)를 움직였는지 여부를 감지하여 신호를 발생시킨다.
동작감지부는 도 4 내지 도 6에 도시된 바와 같이 개별검사기구(23)의 측방에 설치되는 것으로서, 상기 가압봉구동부에 의해 상기 가압봉이 전진하게 될 때 위치되는 지점에 물체가 있는지 여부를 레이저광에 의해 감지하는 레이저 송수신부(51,53)를 포함할 수 있다. 만약 어떤 클램프(6"', 도 5의 최우측단에 도시된 클램프)에 이상이 있을 경우 그를 누르는 가압봉(45')이 전진하게 될 것이며, 레이저 송수신부(52,53)는 이를 감지할 수 있게 된다. 레이저 송수신부(52,53)는 검사기구 안착대(21) 상에 설치될 수 있으며, 도 6에서 점선으로 표시된 영역(R)에 물체가 위치되는 것을 감지하도록 세팅된다.
레이저 송수신부(52,53)로부터 신호를 받은 제어부는 시스템을 일시 정지시키거나 해당 지그를 표지하고 관리자에게 경보를 인가하는 등의 조치를 취한다.
동작감지부는 각각의 개별검사기구(23)마다 설치되는 위치센서일 수도 있다. 클램프의 개수에 해당하는 여러 개의 신호가 제어부에 인가되어 제어부는 어떤 클램프에 문제가 있는지를 즉각적으로 감지하여 신호를 외부에 송출할 수 있다. 다양한 종류의 위치센서가 선택적으로 사용될 수 있다.
개별검사기구의 구성 역시 다양하게 안출될 수 있다. 도 7은 그의 예중 하나이다. 이하, 도 7을 참조하여 본 발명의 다른 실시예를 설명한다.
본 실시예에 의하면, 각각의 개별검사기구(23) 마다 소형의 개별모터(47')가 설치되어 있으며, 개별모터(47')의 구동에 의해 가압봉(45)이 도면상 우측 방향으로 전진한다. 가압봉(45)에는 랙(55)이 설치되어 개별모터(47')의 구동에 의해 가압봉이 전진할 수 있다. 동작감지부는 가압봉과 검사기구안착대(21)에 설치되는 접점스위치(57)가 될 수 있다.
클램프(6)가 정상일 경우에는 저항을 받게 될 것이고 가압봉이 설치된 케이싱(49)은 도면상 좌측으로 밀리게 된다(도 7(b) 참조). 클램프(6)에 이상이 있는 경우에는 가압봉(45)이 도면상 우측으로 전진하게 되고 접점스위치(57)가 온(on)되어 이상신호를 얻을 수 있게 된다.
본 실시예는 지그에 설치된 모든 클램프(6) 마다 개별적으로 검사하는 효과를 얻을 수 있으므로 특정 클램프(6)의 이상유무를 즉시로 판단할 수 있게 한다.
본 발명은 현상시스템을 기반으로 하여 창안된 것이지만, 전술한 것처럼 현상 이외의 다양한 처리시스템에도 그대로 적용될 수 있는 것이며, 본 발명의 권리범위에는 그러한 처리시스템에도 미치는 것으로 해석되어야 한다.
위에 도시 및 설명된 구성은 본 발명의 기술적 사상에 근거한 바람직한 실시예에 지나지 아니한다. 당업자는 통상의 기술적 상식을 바탕으로 다양한 변경실시를 할 수 있을 것이지만 이는 본 발명의 보호범위에 포함될 수 있음을 주지해야 할 것이다.
1 : 메인챔버 3 : 기판공급부
5 : 지그 6(6',6") : 클램프
6a : 클램프레버 7 : 표면처리부
9 : 세정부 11 : 건조부
13 : 지그반송부 15 : 기판회수부
17 : 버퍼부 19 : 검사프레임
21(21', 21") : 검사기구 안착대
23 : 개별검사기구 25,29,35 : 제1,2,3레일
27,31,37 : 제1,2,3이동블럭
28(28', 28") : 프레임설치대
41 : 브래킷 43 : 힌지축
45 : 가압봉 47 : 모터
47' : 개별모터 49 : 케이싱
51 : 완충스프링 52,53 : 레이저송수신부
55 : 랙 57 : 접점스위치
P : 기판

Claims (6)

  1. 일직선 형태로 연속되어 있는 작업공간이 마련되도록 베이스프레임의 상부에 박스 형태로 설치되는 메인챔버; 상기 메인챔버 내부로 기판을 공급하는 기판공급부; 박형으로 된 기판의 가장자리를 클램프로 파지하여 팽팽하게 유지한 상태에서 작업이 이루어질 수 있도록 하는 복수 개의 지그; 상기 메인챔버 내부에 설치되는 것으로서 기판을 파지하고 있는 상기 지그를 연속적으로 이송시키기 위한 지그이송장치; 상기 지그이송장치에 의해 상기 메인챔버 내부에서 이송되는 기판의 표면에 표면처리액을 분사하는 표면처리부; 상기 표면처리부의 후단에 설치되는 것으로서, 상기 표면처리부를 통과한 기판의 표면에 세정수를 분사 공급하기 위한 세정부; 상기 세정부의 후단에 설치되는 것으로서, 상기 세정부를 통과한 기판의 표면에서 세정수를 제거하기 위한 건조부; 처리가 완료된 기판을 파지하고 있는 지그를 상기 기판공급부를 향하여 반송하기 위한 지그반송부; 상기 지그반송부에 설치되는 것으로서 상기 지그에서 기판을 회수하는 기판회수부; 및 상기 기판공급부, 표면처리부, 세정부, 건조부 및 지그반송부의 각 경계지점 중 어느 한 곳 이상에 상기 지그에 설치된 클램프의 이상유무를 검사하기 위한 지그 검사장치를 포함하되, 상기 지그 검사장치는;
    이송중인 지그와 평행하게 대면할 수 있는 위치에 고정 설치되는 검사프레임; 상기 각 클램프의 위치에 대응되는 지점에 개별검사기구가 고정될 수 있도록 상기 검사프레임 상에 횡방향으로 설치되는 검사기구안착대; 상기 검사기구안착대의 길이방향을 상기 클램프와 같은 위치에 설치되는 개별검사기구를 포함하며;
    상기 개별검사기구는;
    상기 클램프의 레버를 가압하는 가압봉; 상기 가압봉을 상기 클램프레버를 향해 전진시키는 가압봉구동부; 상기 가압봉이 전진하여 상기 클램프레버를 움직이는지 여부를 감지하기 위한 동작감지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 지그 검사장치를 갖는 기판의 비접촉식 수직 처리시스템.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 가압봉구동부는 상기 클램프에 설치된 스프링의 탄성력 미만의 힘으로 상기 가압봉을 가압함으로써 상기 클램프가 정상일 경우에는 상기 가압봉은 상기 클램프를 향해 전진할 수 없게 하며;
    상기 가압봉구동부는 모터, 전자석 또는 공압실린더 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는, 지그 검사장치를 갖는 기판의 비접촉식 수직 처리시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 동작감지부는 상기 개별검사기구의 측방에 설치되는 것으로서, 상기 가압봉구동부에 의해 상기 가압봉이 전진하게 될 때 위치되는 지점에 물체가 있는지 여부를 감지하는 위치센서를 포함하는 것을 특징으로 하는, 지그 검사장치를 갖는 기판의 비접촉식 수직 처리시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 검사기구안착대는 지면에 수직을 이루는 수직축에 대하여 상기 지그를 향한 방향으로 회전이 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는, 지그 검사장치를 갖는 기판의 비접촉식 수직 처리시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 검사기구안착대는 검사기구안착대와 평행을 이루는 판재로 되어 있는 프레임설치대의 위에 설치되며;
    상기 프레임설치대에는 상기 지그를 향한 방향으로, 제2레일(29)이 설치되어 있으며;
    상기 검사기구안착대에는 상기 제2레일(29)과 결합하여 그를 따라 이동할 수 있는 제2이동블럭(31)이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 지그 검사장치를 갖는 기판의 비접촉식 수직 처리시스템.
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