KR102130114B1 - Substrate align device and apparatus for deposition having the same - Google Patents

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Abstract

기판 얼라인 기구 및 이를 구비한 증착장치가 개시된다. 본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 하면 노출되도록 상기 기판 하면의 단부를 지지하는 기판 홀더와; 상기 기판 홀더의 상부에 배치되어 상기 기판의 상면에 대향하여 상하로 이동하는 기판 터치플레이트와; 상기 기판의 코너부에 상응하여 상기 기판 홀더에 결합되며, 상기 기판의 코너부의 대각 방향으로 직선왕복이동하는 가압부와; 상기 기판 터치플레이트에 결합되어 상기 기판 터치플레이트의 상하 이동에 따라 상기 가압부를 상기 기판의 코너부의 대각 방향으로 직선이동시키는 작동부를 포함하는, 기판 얼라인 기구가 제공된다.Disclosed is a substrate alignment mechanism and a deposition apparatus having the same. According to an aspect of the present invention, a substrate holder for supporting an end of the lower surface of the substrate so that the lower surface of the substrate is exposed; A substrate touch plate disposed above the substrate holder and moving up and down opposite to an upper surface of the substrate; A pressing portion coupled to the substrate holder corresponding to a corner portion of the substrate, and linearly reciprocating in a diagonal direction of the corner portion of the substrate; A substrate alignment mechanism is provided that is coupled to the substrate touch plate and includes an operation portion for linearly moving the pressing portion in a diagonal direction of the corner portion of the substrate according to the vertical movement of the substrate touch plate.

Description

기판 얼라인 기구와 이를 구비한 증착장치{Substrate align device and apparatus for deposition having the same}Substrate align device and apparatus for deposition having the same}

본 발명은 기판 얼라인 기구와 이를 구비한 증착장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 간소한 장비 구성으로 기판 홀더에 로딩된 기판을 정위치로 정밀하게 얼라인할 수 있는 기판 얼라인 기구와 이를 구비한 증착장치에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate alignment mechanism and a deposition apparatus having the same. More specifically, the present invention relates to a substrate alignment mechanism capable of precisely aligning a substrate loaded in a substrate holder to a fixed position with a simple equipment configuration and a deposition apparatus having the same.

유기 전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes: OLED)는 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 스스로 빛을 내는 자발광소자로서, 비발광소자에 빛을 가하기 위한 백라이트가 필요하지 않기 때문에 경량이고 박형의 평판표시장치를 제조할 수 있다.Organic light emitting diodes (OLEDs) are self-emission devices that emit light using an electroluminescence phenomenon that emits light when a current flows through a fluorescent organic compound, and do not require a backlight for applying light to a non-light emitting device. Therefore, a lightweight and thin flat panel display device can be manufactured.

이러한 유기 전계 발광소자를 이용한 평판표시장치는 응답속도가 빠르며, 시야각이 넓어 차세대 표시장치로서 대두 되고 있다. 특히, 제조공정이 단순하기 때문에 생산원가를 기존의 액정표시장치 보다 많이 절감할 수 있는 장점이다.A flat panel display device using such an organic electroluminescent device has a fast response speed and a wide viewing angle, and has emerged as a next-generation display device. In particular, because the manufacturing process is simple, it is an advantage that can reduce the production cost more than the existing liquid crystal display device.

유기 전계 발광 소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기 박막은 진공열증착방법으로 기판 상에 증착된다.In the organic electroluminescent device, a hole injection layer, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, and an electron injection layer, which are the remaining constituent layers except the anode and cathode electrodes, are made of organic thin films, and these organic thin films are deposited on a substrate by vacuum thermal evaporation Is deposited on.

진공열증착방법은 진공챔버 내의 기판 지지부에 기판을 로딩하고, 일정 패턴이 형성된 쉐도우 마스크(shadow mask)와 기판을 얼라인(align)한 후, 증발물질이 담겨 있는 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질을 기판 상에 증착하는 방식으로 이루어진다. The vacuum heat deposition method loads the substrate to the substrate support in the vacuum chamber, aligns the shadow mask and the substrate on which a certain pattern is formed, and then sublimates in the evaporation source by applying heat to the evaporation source containing the evaporation material. It is made by a method of depositing the evaporated material on the substrate.

기판이 진공챔버 내의 기판 지지부에 로딩된 후 기판을 쉐도우 마스크와 정밀하게 얼라인하는 것은 이후 공정에 있어 초석이 되므로 그 정밀도를 높이는 것은 매우 중요하다. 이에 따라 여러 가지 얼라인 방법과 장치들이 제안되고 있다. After the substrate is loaded into the substrate support in the vacuum chamber, precisely aligning the substrate with a shadow mask becomes a cornerstone in a subsequent process, so it is very important to increase the precision. Accordingly, various alignment methods and devices have been proposed.

대한민국공개 실용신안 제20-2009-0005429호의 경우, 리프트 유닛과 회전 부재 등을 사용하여 얼라이닝 하며, 등록특허 제10-0977582의 경우, 발광/수광 소자와 스핀 척에 의해 얼라이닝을 실시하는 방식을 제안하고 있다. 그 밖에 많은 얼라이너 구성이 제안되어 있으나, 좀 더 간소화된 장비와 구동 방식으로도 정밀도를 높일 수 있는 얼라인 장치가 필요하다. In the case of Korean Utility Model No. 20-2009-0005429, the alignment is performed using a lift unit and a rotating member, etc., and in the case of registered patent No. 10-0977582, the alignment is performed by a light emitting/light receiving element and a spin chuck Are proposing. Many other aligner configurations have been proposed, but an alignment device capable of increasing precision even with a more simplified equipment and driving method is required.

본 발명은 간소한 장비 구성으로 기판 홀더에 로딩된 기판을 정위치로 정밀하게 얼라인할 수 있는 기판 얼라인 기구와 이를 구비한 증착장치를 제공하는 것이다.The present invention provides a substrate alignment mechanism capable of precisely aligning a substrate loaded in a substrate holder to a fixed position with a simple equipment configuration and a deposition apparatus having the same.

본 발명의 일 측면에 따르면, 기판의 하면 노출되도록 상기 기판 하면의 단부를 지지하는 기판 홀더와; 상기 기판 홀더의 상부에 배치되어 상기 기판의 상면에 대향하여 상하로 이동하는 기판 터치플레이트와; 상기 기판의 코너부에 상응하여 상기 기판 홀더에 결합되며, 상기 기판의 코너부의 대각 방향으로 직선왕복이동하는 가압부와; 상기 기판 터치플레이트에 결합되어 상기 기판 터치플레이트의 상하 이동에 따라 상기 가압부를 상기 기판의 코너부의 대각 방향으로 직선이동시키는 작동부를 포함하는, 기판 얼라인 기구가 제공된다.According to an aspect of the present invention, a substrate holder for supporting an end of the lower surface of the substrate so that the lower surface of the substrate is exposed; A substrate touch plate disposed above the substrate holder and moving up and down opposite to an upper surface of the substrate; A pressing portion coupled to the substrate holder corresponding to a corner portion of the substrate, and linearly reciprocating in a diagonal direction of the corner portion of the substrate; A substrate alignment mechanism is provided that is coupled to the substrate touch plate and includes an operation portion for linearly moving the pressing portion in a diagonal direction of the corner portion of the substrate according to the vertical movement of the substrate touch plate.

상기 가압부는, 상기 기판의 대각 방향으로 기판 홀더에 결합되는 가이드레일과; 상기 가이드레일을 따라 직선 왕복 이동하는 슬라이더와; 상기 슬라이더에 일측에 결합되어 상기 기판의 코너부를 가압하는 가압단과; 상기 슬라이더에 타측에 결합되는 이동단과; 상기 이동단에 결합되는 제1 마그넷을 포함하며, 상기 작동부는, 상기 기판 터치플레이트에 결합되는 고정단과; 상기 고정단에 결합되며 상기 제1 마그넷과 동일 극성을 갖으며 상기 기판 터치플레이트의 하향이동에 따라 상기 제1 마그넷과 대향하여 척력을 가하는 제2 마그넷을 포함할 수 있다.The pressing portion, a guide rail coupled to the substrate holder in the diagonal direction of the substrate; A slider that reciprocates linearly along the guide rail; A pressing end coupled to one side of the slider to press a corner portion of the substrate; A moving end coupled to the other side of the slider; It includes a first magnet coupled to the mobile terminal, the operation unit, a fixed end coupled to the substrate touch plate; A second magnet coupled to the fixed end and having the same polarity as the first magnet and applying repulsive force to the first magnet according to downward movement of the substrate touch plate may be included.

상기 가압부는, 상기 이동단이 전단에 위치하는 고정블록과; 상기 고정블록에 대향하여 상기 슬라이더에 결합되는 지지블록과; 상기 고정블록과 상기 지지블록 사이에 배치되는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.The pressing portion, the fixed block is located at the front end of the mobile terminal; A support block coupled to the slider against the fixed block; An elastic member disposed between the fixing block and the support block may be further included.

상기 가압부는, 상기 기판의 대각 방향으로 기판 홀더에 결합되는 가이드레일과; 상기 가이드레일을 따라 직선 왕복 이동하는 슬라이더와; 상기 슬라이더에 일측에 결합되어 상기 기판의 코너부를 가압하는 가압단과;상기 슬라이더에 타측에 결합되며 후단에 곡면이 형성되는 이동단을 포함하며, 상기 작동부는, 상기 기판 터치플레이트에 결합되는 고정단과; 상기 고정단에 결합되며, 상기 기판 터치플레이트의 하향이동에 따라 회전에 따라 상기 곡면을 가압하는 가압롤러를 포함할 수 있다.The pressing portion, a guide rail coupled to the substrate holder in the diagonal direction of the substrate; A slider that reciprocates linearly along the guide rail; A pressing end coupled to one side of the slider to press a corner portion of the substrate; a moving end coupled to the other side of the slider and having a curved surface formed at a rear end, wherein the operation unit includes a fixed end coupled to the substrate touch plate; It is coupled to the fixed end, it may include a pressure roller for pressing the curved surface in accordance with the rotation in accordance with the downward movement of the substrate touch plate.

상기 가압부는, 상기 이동단이 전단에 위치하는 고정블록과; 상기 고정블록에 대향하여 상기 슬라이더에 결합되는 지지블록과; 상기 고정블록과 상기 지지블록 사이에 배치되는 탄성부재를 더 포함할 수 있다.The pressing portion, the fixed block is located at the front end of the mobile terminal; A support block coupled to the slider against the fixed block; An elastic member disposed between the fixing block and the support block may be further included.

상기 기판의 코너부를 지지하도록 상기 기판의 코너부 중 일부에는 상기 기판의 코너부가 하향 슬라이딩되도록 경사부를 구비하는 핀 부재가 배치되며, 상기 기판의 나머지 코너부에는 상기 가압부와, 상기 가압부에 상응하는 작동부가 배치될 수 있다.A pin member having an inclined portion is disposed on a part of the corner portion of the substrate so as to support the corner portion of the substrate so that the corner portion of the substrate slides downward. The operation part can be arranged.

상기 핀 부재는, 곡면이 상기 기판의 코너부의 양변을 각각 지지하는 한 쌍의 콘 부재를 포함할 수 있다.The pin member may include a pair of cone members whose curved surfaces respectively support both sides of a corner portion of the substrate.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 기판에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서, 진공챔버와; 상기 진공챔버의 내부에 배치되며, 마스크의 단부를 지지하는 마스크 홀더와; 상기 마스크 홀더의 상부에 배치되는, 상기 기판 얼라인 기구와; 상기 마스크 홀더 하부에 상기 기판에 대향하여 배치되는 증발원을 포함하는, 증착장치가 제공된다.According to another aspect of the present invention, a deposition apparatus for forming a thin film on a substrate, comprising: a vacuum chamber; A mask holder disposed inside the vacuum chamber and supporting an end of the mask; A substrate alignment mechanism disposed on the mask holder; A deposition apparatus is provided, including an evaporation source disposed opposite the substrate under the mask holder.

본 발명의 실시예에 따르면, 간소한 장비 구성으로 기판 홀더에 로딩된 기판을 정위치로 정밀하게 얼라인 할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, it is possible to precisely align the substrate loaded in the substrate holder to the correct position with a simple equipment configuration.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 기구를 구비한 증착장치를 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 기구의 구성을 설명하기 위한 사시도.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 기구의 작동 상태를 설명하기 위한 도면.
도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 얼라인 기구의 작동 상태를 설명하기 위한 도면.
도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 따른 기판 얼라인 기구의 작동 상태를 설명하기 위한 도면.1 is a view showing a deposition apparatus having a substrate alignment mechanism according to an embodiment of the present invention.
Figure 2 is a perspective view for explaining the configuration of the substrate alignment mechanism according to an embodiment of the present invention.
3 is a view for explaining the operating state of the substrate alignment mechanism according to an embodiment of the present invention.
4 is a view for explaining the operating state of the substrate alignment mechanism according to another embodiment of the present invention.
5 is a view for explaining the operating state of the substrate alignment mechanism according to another embodiment of the present invention.

본 발명은 다양한 변환을 가할 수 있고 여러 가지 실시예를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 상세한 설명에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 실시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변환, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기술에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.The present invention can be applied to various transformations and can have various embodiments, and specific embodiments will be illustrated in the drawings and described in detail in the detailed description. However, this is not intended to limit the present invention to specific embodiments, and should be understood to include all conversions, equivalents, and substitutes included in the spirit and scope of the present invention. In the description of the present invention, when it is determined that a detailed description of known technologies related to the present invention may obscure the subject matter of the present invention, the detailed description will be omitted.

이하, 본 발명에 따른 기판 얼라인 기구 및 이를 구비한 증착장치의 실시예를 첨부도면을 참조하여 상세히 설명하기로 하며, 첨부 도면을 참조하여 설명함에 있어, 동일하거나 대응하는 구성 요소는 동일한 도면번호를 부여하고 이에 대한 중복되는 설명은 생략하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of a substrate alignment mechanism and a deposition apparatus having the same according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings, and in the description with reference to the accompanying drawings, identical or corresponding components have the same reference numbers. And redundant description thereof will be omitted.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 기구를 구비한 증착장치를의 도시한 도면이다. 그리고, 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 기구의 구성을 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 얼라인 기구의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다.1 is a view showing a deposition apparatus having a substrate alignment mechanism according to an embodiment of the present invention. And, Figure 2 is a perspective view for explaining the configuration of the substrate alignment mechanism according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a view for explaining the operating state of the substrate alignment mechanism according to an embodiment of the present invention .

도 1 내지 도 3에는, 진공챔버(10), 기판(11), 기판 얼라인 기구(12), 기판 홀더(14), 기판 터치플레이트(16), 가압부(18), 작동부(20), 마스크(21), 마스크 홀더(22), 증발원(24), 지지 프레임(26), 지지구(28), 가압단(30), 슬라이더(31), 이동단(32), 가이드레일(33), 제1 마그넷(34), 고정단(36), 제2 마그넷(38), 고정블록(39), 지지블록(40), 탄성부재(42), 제1 코너부(50), 제2 코너부(52), 제3 코너부(54), 제4 코너부(56)가 도시되어 있다.1 to 3, the vacuum chamber 10, the substrate 11, the substrate alignment mechanism 12, the substrate holder 14, the substrate touch plate 16, the pressing portion 18, the operating portion 20 , Mask 21, mask holder 22, evaporation source 24, support frame 26, support 28, pressing end 30, slider 31, moving end 32, guide rail 33 ), the first magnet 34, the fixed end 36, the second magnet 38, the fixed block 39, the support block 40, the elastic member 42, the first corner portion 50, the second The corner part 52, the third corner part 54, and the fourth corner part 56 are shown.

본 실시예에 따른 기판 얼라인 기구(12)를 설명하기 이전에, 기판 얼라인 기구(12)가 장착된 증착장치를 먼저 설명하기로 한다.Before describing the substrate alignment mechanism 12 according to the present embodiment, a deposition apparatus equipped with the substrate alignment mechanism 12 will be described first.

증착장치는, 기판(11)에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서, 진공챔버(10)와; 상기 진공챔버(10)의 내부에 배치되며, 마스크(21)의 단부를 지지하는 마스크 홀더(22)와; 상기 마스크 홀더(22)의 상부에 배치되는, 본 실시예에 따른 기판 얼라인 기구(12)와; 상기 마스크 홀더(22) 하부에 상기 기판(11)에 대향하여 배치되는 증발원(24)을 포함한다.The vapor deposition apparatus is a vapor deposition apparatus for forming a thin film on the substrate 11, comprising: a vacuum chamber 10; A mask holder 22 disposed inside the vacuum chamber 10 and supporting an end of the mask 21; A substrate alignment mechanism 12 according to the present embodiment, which is disposed on the mask holder 22; An evaporation source 24 is disposed under the mask holder 22 to face the substrate 11.

진공챔버(10)의 내부는 증발입자의 증착을 위하여 진공 분위기가 유지되며, 기판(11)이 진공챔버(10) 내에 위치하는 기판 홀더(14)에 로딩된다. 마스크 홀더(22)의 하부의 기판(11)과 대향하는 위치에는 증발원(24)이 배치된다. 증발원(24)에서 증발되는 증발입자는 마스크 홀더(22)에 지지되어 있는 마스크(21)를 관통하여 기판(11)에 증착된다.The inside of the vacuum chamber 10 is maintained in a vacuum atmosphere for the deposition of evaporation particles, the substrate 11 is loaded into the substrate holder 14 located in the vacuum chamber 10. An evaporation source 24 is disposed at a position facing the substrate 11 under the mask holder 22. The evaporated particles evaporated from the evaporation source 24 pass through the mask 21 supported by the mask holder 22 and are deposited on the substrate 11.

마스크 홀더(22)에는 마스크(21)가 미리 설치되어 있고, 기판(11)이 기판 홀더(14)에 로딩된 후 기판 터치플레이트(16)를 하강시키면 기판 터치플레이트(16)에 부착되어 있는 작동부(20)가 가압부(18)에 접촉되면서 가압부(18)가 기판(11)의 코너부(50, 52, 54, 56)를 대각 방향으로 밀게 된다. 기판 터치플레이트(16)가 완전히 하강하면 가압부(18)가 최종 얼라인 위치로 이동되면서 기판(11)이 기판 홀더(14)의 정위치에 위치하게 된다.The mask 21 is pre-installed in the mask holder 22, and when the substrate 11 is lowered after the substrate 11 is loaded into the substrate holder 14, the substrate is attached to the substrate touch plate 16. As the portion 20 contacts the pressing portion 18, the pressing portion 18 pushes the corner portions 50, 52, 54, and 56 of the substrate 11 diagonally. When the substrate touch plate 16 is completely lowered, the pressing portion 18 is moved to the final alignment position, and the substrate 11 is positioned at the correct position of the substrate holder 14.

이하에서는 본 실시예에 따른 기판 얼라인 기구(12)를 자세히 설명하기로 한다.Hereinafter, the substrate alignment mechanism 12 according to the present embodiment will be described in detail.

본 실시예에 따른 기판 얼라인 기구(12)는, 기판(11)의 하면 노출되도록 상기 기판(11) 하면의 단부를 지지하는 기판 홀더(14)와; 상기 기판 홀더(14)의 상부에 배치되어 상기 기판(11)의 상면에 대향하여 상하로 이동하는 기판 터치플레이트(16)와; 상기 기판(11)의 코너부에 상응하여 상기 기판 홀더(14)에 결합되며, 상기 기판(11)의 코너부의 대각 방향으로 직선왕복이동하는 가압부(18)와; 상기 기판 터치플레이트(16)에 결합되어 상기 기판 터치플레이트(16)의 상하 이동에 따라 상기 가압부(18)를 상기 기판(11)의 코너부의 대각 방향으로 직선이동시키는 작동부(20)를 포함한다.The substrate alignment mechanism 12 according to the present embodiment includes: a substrate holder 14 supporting an end portion of the lower surface of the substrate 11 so that the lower surface of the substrate 11 is exposed; A substrate touch plate 16 disposed above the substrate holder 14 and moving up and down opposite to an upper surface of the substrate 11; A pressing portion 18 coupled to the substrate holder 14 corresponding to a corner portion of the substrate 11 and linearly reciprocating in a diagonal direction of the corner portion of the substrate 11; Includes an operation unit 20 coupled to the substrate touch plate 16 to move the pressing portion 18 linearly in the diagonal direction of the corner portion of the substrate 11 according to the vertical movement of the substrate touch plate 16 do.

기판 홀더(14)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(11)의 증착면이 하부로 노출되도록 기판(11)의 단부를 지지한다. 본 실시예에 따른 기판 홀더(14)는 서로 대향하여 쌍을 이루는 지지 프레임(26)과, 지지 프레임(26)에 부착되어 있는 다수의 지지구(28)를 포함하며, 지지 프레임(26)의 지지구(28)가 기판(11)의 서로 대향하는 양단부를 지지하여 기판(11)의 증착면이 하부로 노출되도록 구성하였다. 기판(11)은 로봇 암 등의 이송수단에 의해 기판 홀더(14)에 단부가 지지되도록 로딩된다.The substrate holder 14 supports the end of the substrate 11 such that the deposition surface of the substrate 11 is exposed downward, as shown in FIG. 2. The substrate holder 14 according to the present embodiment includes a support frame 26 paired to face each other and a plurality of support holes 28 attached to the support frame 26, and the support frame 26 The support 28 is configured to support both ends of the substrate 11 facing each other so that the deposition surface of the substrate 11 is exposed downward. The substrate 11 is loaded such that an end is supported on the substrate holder 14 by a transfer means such as a robot arm.

기판 터치플레이트(16)는 기판 홀더(14)의 상부에 배치되어 기판(11)의 상면에 대향하여 상하로 이동한다. 기판 터치플레이트(16)가 하강하여 기판(11)의 상면에 접하면서 기판(11)이 마스크(21)와 합착이 이루지며, 이 상태에서 기판(11)에 대한 증착을 수행하게 된다. The substrate touch plate 16 is disposed above the substrate holder 14 and moves up and down opposite to the upper surface of the substrate 11. As the substrate touch plate 16 descends and contacts the top surface of the substrate 11, the substrate 11 is bonded to the mask 21, and deposition of the substrate 11 is performed in this state.

기판 터치플레이트(16)는 기판(11)의 상면에 대향하여 상하로 이동하게 되며, 기판 터치플레이트(16)의 하향에 따른 힘을 이용하여 작동부(20)가 가압부(18)를 이동시켜 기판(11)의 얼라인을 수행하게 된다. The substrate touch plate 16 moves up and down to face the upper surface of the substrate 11, and the operating portion 20 moves the pressing portion 18 by using the force according to the downward direction of the substrate touch plate 16. The alignment of the substrate 11 is performed.

가압부(18)는, 기판(11)의 코너부에 상응하여 기판 홀더(14)에 결합되며, 기판(11)의 코너부의 대각 방향으로 직선왕복이동하게 된다. The pressing portion 18 is coupled to the substrate holder 14 corresponding to the corner portion of the substrate 11, and moves in a straight line in the diagonal direction of the corner portion of the substrate 11.

기판(11)은 사각형 형상으로 4개의 코너부를 갖게 되는데, 기판(11)의 코너부는, 사각형의 꼭지점을 중심으로 서로 수직을 이루는 양변으로 구성된다. 본 실시예에서는 설명의 편의를 위하여, 도 2에 도시된 바와 같이, 기판(11)의 좌측 상부부터 시계 방향으로 제1 코너부(50), 제2 코너부(52), 제3 코너부(54) 및 제4 코너부(56)로 칭하기로 한다. The substrate 11 has four corner portions in a square shape, and the corner portions of the substrate 11 are formed by both sides perpendicular to each other with respect to the vertices of the square. In this embodiment, for convenience of description, as shown in FIG. 2, the first corner portion 50, the second corner portion 52, and the third corner portion (clockwise) from the upper left of the substrate 11 54) and the fourth corner portion 56.

작동부(20)는, 기판 터치플레이트(16)에 결합되어 기판 터치플레이트(16)의 상하 이동에 따라 가압부(18)를 기판(11)의 코너부의 대각 방향으로 직선이동시킨다. 상술한 바와 같이 기판 터치플레이트(16)는 기판(11)의 상면에 대향하여 상하로 이동하게 되는데, 기판 터치플레이트(16)의 하향이동에 따라 기판 터치플레이트(16)에 결합된 작동부(20)가 하강하면서 기판 홀더(14)에 부착된 가압부(18)를 대각선 방향으로 밀게 되고, 이에 따라 가압부(18)가 기판(11)의 코너부를 가압하여 기판(11)이 정위치로 자리를 잡도록 한다. The operation unit 20 is coupled to the substrate touch plate 16 and moves the pressing portion 18 in a diagonal direction in the corner portion of the substrate 11 according to the vertical movement of the substrate touch plate 16. As described above, the substrate touch plate 16 moves up and down to face the upper surface of the substrate 11, and the operation unit 20 coupled to the substrate touch plate 16 according to the downward movement of the substrate touch plate 16 ) As the descending, the pressing portion 18 attached to the substrate holder 14 is pushed diagonally, and accordingly, the pressing portion 18 presses the corner portion of the substrate 11 so that the substrate 11 is in position. Try to catch.

기판 터치플레이트(16)가 상승하면 작동부(20)가 가압부(18)에서 떨어지고 가압부(18)는 탄성부재(42)의 탄성력에 의해 본래의 위치로 복원하게 된다.When the substrate touch plate 16 is raised, the operating portion 20 falls off the pressing portion 18 and the pressing portion 18 is restored to its original position by the elastic force of the elastic member 42.

본 실시예에서는 마그넷의 척력을 이용하여 가압부(18)가 기판(11)의 대각 방향으로 직선이동되도록 구성하였다.In this embodiment, the pressing portion 18 is configured to move linearly in the diagonal direction of the substrate 11 using the repulsive force of the magnet.

즉, 본 실시예에 따른 가압부(18)는, 기판(11)의 대각 방향으로 기판 홀더(14)에 결합되는 가이드레일(33)과; 가이드레일(33)을 따라 직선 왕복 이동하는 슬라이더(31)와; 슬라이더(31)에 일측에 결합되어 기판(11)의 코너부를 가압하는 가압단(30)과; 상기 슬라이더(31)에 타측에 결합되는 이동단(32)과; 상기 이동단(32)에 결합되는 제1 마그넷(34)을 포함하며, 작동부(20)는, 기판(11) 터치플레이에 결합되는 고정단(36)과; 고정단(36)에 결합되며 제1 마그넷(34)과 동일 극성을 갖으며 기판 터치플레이트(16)의 하향이동에 따라 제1 마그넷(34)과 대향하여 척력을 가하는 제2 마그넷(38)을 포함한다.That is, the pressing portion 18 according to the present embodiment includes a guide rail 33 coupled to the substrate holder 14 in a diagonal direction of the substrate 11; A slider 31 that linearly reciprocates along the guide rail 33; A pressing end 30 coupled to one side of the slider 31 to press a corner portion of the substrate 11; A moving end 32 coupled to the other side of the slider 31; It includes a first magnet 34 coupled to the moving end 32, the operation unit 20, the fixed end 36 coupled to the substrate 11 touch play; A second magnet 38 coupled to the fixed end 36 and having the same polarity as the first magnet 34 and applying repulsive force against the first magnet 34 according to the downward movement of the substrate touch plate 16 Includes.

가이드레일(33)은 가압단(30)을 기판(11)의 대각 방향으로 이동하도록 가이드하며, 레일 형태로 기판(11)의 대각 방향으로 기판 홀더(14)에 결합된다. The guide rail 33 guides the pressing end 30 to move in the diagonal direction of the substrate 11 and is coupled to the substrate holder 14 in the diagonal direction of the substrate 11 in the form of a rail.

슬라이더(31)는 가이드레일(33)을 따라 직선 왕복 이동하며 기판(11)의 코너부에 접촉되는 가압단(30)이 결합된다. 슬라이더(31)가 가이드레일(33)을 따라 직선왕복이동하면서 슬라이더(31)에 부착된 가압단(30)이 기판(11)의 대각방향으로 기판(11)의 코너부를 밀게 된다.The slider 31 is linearly reciprocated along the guide rail 33, and the pressing end 30 contacting the corner portion of the substrate 11 is coupled. As the slider 31 moves linearly and reciprocally along the guide rail 33, the pressing end 30 attached to the slider 31 pushes the corner portion of the substrate 11 in the diagonal direction of the substrate 11.

이동단(32)은, 작동부(20)의 고정단(36)과 상응하여 슬라이더(31)에 힘을 가하게 된다. 이동단(32)에는 제1 마그넷(34)이 부착되어 있으며, 작동부(20)의 고정단(36)에는 제1 마그넷(34)과 동일 극성을 갖으며 기판 터치플레이트(16)의 하향이동에 따라 제1 마그넷(34)과 대향하여 척력을 가하는 제2 마그넷(38)이 부착된다. The moving end 32 applies a force to the slider 31 in correspondence with the fixed end 36 of the operation unit 20. The first magnet 34 is attached to the moving end 32, and the fixed end 36 of the operation unit 20 has the same polarity as the first magnet 34 and moves downwardly of the substrate touch plate 16. In accordance with the first magnet 34, a second magnet 38 is applied that exerts a repulsive force.

도 3에 도시된 바와 같이, 가압부(18)의 이동단(32)의 후단에 제1 마그넷(34)이 경사지게 배치되고 작동부(20)의 고정단(36)에는 제1 마그넷(34)과 동일한 경사를 갖도록 제2 마그넷(38)을 대향시킨 상태로 결합되어 있는데, 기판 터치플레이트(16)의 하강에 따라 제2 마그넷(38)이 하강되면 제1 마그넷(34)과 제2 마그넷(38)에는 척력이 작용하여 가압부(18)가 기판(11)의 대각방향으로 이동하면서 기판(11)의 코너부를 밀게 된다. As shown in FIG. 3, the first magnet 34 is inclined at the rear end of the moving end 32 of the pressing unit 18 and the first magnet 34 is fixed at the fixed end 36 of the operation unit 20. The second magnet 38 is coupled to have the same inclination as facing each other. When the second magnet 38 descends according to the descending of the substrate touch plate 16, the first magnet 34 and the second magnet ( The repulsive force acts on 38), so that the pressing portion 18 moves in the diagonal direction of the substrate 11 and pushes the corner portion of the substrate 11.

한편, 기판 터치플레이트(16)의 상승에 따라 가압부(18)가 본래 위치로 복원될 수 있도록, 가압부(18)는, 이동단(32)이 전단에 위치하는 고정블록(39)과; 고정블록(39)에 대향하여 상기 슬라이더(31)에 결합되는 지지블록(40)과; 고정블록(39)과 지지블록(40) 사이에 배치되는 탄성부재(42)를 더 포함할 수 있다. 기판 터치플레이트(16)의 상승에 따라 제2 마그넷(38)이 상승되면 마그넷 간의 척력이 제거되고, 고정블록(39)에 의해 지지되는 탄성부재(42)에 의해 지지블록(40)이 기판(11)의 대각 방향의 외측으로 밀리면서 가압부(18)가 본래 위치로 탄성복원된다.On the other hand, so that the pressing portion 18 can be restored to its original position according to the rise of the substrate touch plate 16, the pressing portion 18 includes: a fixed block 39 with a moving end 32 positioned at the front end; A support block 40 coupled to the slider 31 opposite to the fixed block 39; An elastic member 42 disposed between the fixed block 39 and the support block 40 may be further included. When the second magnet 38 is raised according to the rise of the substrate touch plate 16, the repulsive force between the magnets is removed, and the support block 40 is supported by the elastic member 42 supported by the fixing block 39. The pressing portion 18 is elastically restored to its original position while being pushed outward in the diagonal direction of 11).

본 실시예에서는, 도 2에 도시된 바와 같이, 4개의 가압부(18)가 기판(11)의 각 코너부(50, 52, 54, 56)에 상응하여 배치된 형태를 제시한다. 각 코너부(50, 52, 54, 56)에 각각 위치한 가압부(18)는 탄성부재(42)의 탄성력에 의해 기판(11)의 코너부(50, 52, 54, 56)에 대응하여 벌어져 있으며, 기판(11)이 기판 홀더(14)의 벌어진 4개의 가압부(18) 사이에 로딩된 상태에서 기판 터치플레이트(16)가 하강하면 각 가압부(18)에 상응하는 작동부(20)가 하강하면서 기판(11)의 4개의 코너부(50, 52, 54, 56)를 대각 방향을 밀어 기판(11)이 기판 홀더(14)의 정위치에 얼라인 되도록 한다.In this embodiment, as shown in FIG. 2, four pressing portions 18 are presented in a form arranged corresponding to each corner portion 50, 52, 54, and 56 of the substrate 11. The pressing portions 18 respectively located at the corner portions 50, 52, 54, and 56 are opened in correspondence to the corner portions 50, 52, 54, 56 of the substrate 11 by the elastic force of the elastic member 42. When the substrate touch plate 16 is lowered while the substrate 11 is loaded between the four opened pressing portions 18 of the substrate holder 14, the operation portion 20 corresponding to each pressing portion 18 The four corners (50, 52, 54, 56) of the substrate 11 are pushed diagonally while descending, so that the substrate 11 is aligned to the correct position of the substrate holder 14.

한편, 각 코너부(50, 52, 54, 56)에 배치되는 4개의 가압부(18) 모두에 작동부(20)를 상응하여 배치하지 않아도 된다. 예를 들면, 제1 내지 제4 코너부(56)에 각각 상응하여 제1 내지 제4 가압부(18)를 설치하고, 제1 가압부(18), 제2 가압부(18) 및 제3 가압부(18)에 대하여 작동부(20)를 설치하지 않고, 제4 가압부(18)에 대하여만 작동부(20)를 설치하는 형태로서, 기판 터치플레이트(16)의 하강에 따라 제4 가압부(18)에 상응하는 작동부(20)만이 하강하여 제4 코너부(56)를 기판(11)의 대각 방향으로 밀도록 구성하는 형태이다. On the other hand, it is not necessary to arrange the operation parts 20 correspondingly to all four pressing parts 18 arranged in each corner part 50, 52, 54, and 56. For example, the first to fourth pressing portions 18 are provided corresponding to the first to fourth corner portions 56, respectively, and the first pressing portion 18, the second pressing portion 18, and the third The operation unit 20 is not installed with respect to the pressing unit 18, and the operation unit 20 is installed only with respect to the fourth pressing unit 18. The fourth unit is moved according to the downward movement of the substrate touch plate 16. Only the operation portion 20 corresponding to the pressing portion 18 descends and is configured to push the fourth corner portion 56 in the diagonal direction of the substrate 11.

도 4는 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 얼라인 기구(12)의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다. 도 4에는, 기판 홀더(14), 기판 터치플레이트(16), 가압부(18), 작동부(20), 가압단(30), 슬라이더(31), 가이드레일(33), 이동단(32), 고정단(36), 고정블록(39), 지지블록(40), 탄성부재(42), 곡면(44), 가압롤러(46)가 도시되어 있다.4 is a view for explaining the operating state of the substrate alignment mechanism 12 according to another embodiment of the present invention. 4, the substrate holder 14, the substrate touch plate 16, the pressing portion 18, the operating portion 20, the pressing end 30, the slider 31, the guide rail 33, the moving end 32 ), fixed end 36, fixed block 39, support block 40, elastic member 42, curved surface 44, press roller 46 is shown.

상술한 일 실시예에서는 두 개의 마그넷의 척력에 의해 가압부(18)가 이동하도로 구성하였으나, 본 실시예에서는 가압롤러(46)의 직접적인 접촉에 따라 가압부(18)가 직선이동하도록 구성한 형태이다. In the above-described embodiment, the pressing portion 18 is configured to move by the repulsive force of the two magnets, but in this embodiment, the pressing portion 18 is configured to move in a straight line according to direct contact of the pressing roller 46. .

본 실시예에 따른 가압부(18)는, 기판(11)의 대각 방향으로 기판 홀더(14)에 결합되는 가이드레일(33)과; 가이드레일(33)을 따라 직선 왕복 이동하는 슬라이더(31)와; 슬라이더(31)에 일측에 결합되어 상기 기판(11)의 코너부를 가압하는 가압단(30)과; 슬라이더(31)에 타측에 결합되며 후단에 곡면(44)이 형성되는 이동단(32)을 포함하며, 작동부(20)는, 기판 터치플레이트(16)에 결합되는 고정단(36)과; 고정단(36)에 결합되며, 기판 터치플레이트(16)의 하향이동에 따라 회전에 따라 곡면(44)을 가압하는 가압롤러(46)를 포함한다.The pressing portion 18 according to the present embodiment includes a guide rail 33 coupled to the substrate holder 14 in the diagonal direction of the substrate 11; A slider 31 that linearly reciprocates along the guide rail 33; A pressing end 30 coupled to one side of the slider 31 to press the corner portion of the substrate 11; The slider 31 is coupled to the other side and includes a moving end 32 on which a curved surface 44 is formed at the rear end, and the operation unit 20 includes: a fixed end 36 coupled to the substrate touch plate 16; It is coupled to the fixed end 36, and includes a pressure roller 46 that presses the curved surface 44 according to the rotation according to the downward movement of the substrate touch plate 16.

가이드레일(33), 슬라이더(31), 가압단(30), 고정단(36)의 구성은 위의 일 실시예와 동일하므로 설명을 생략하기로 한다.The configuration of the guide rail 33, the slider 31, the pressure end 30, and the fixed end 36 is the same as in the above-described embodiment, so a description thereof will be omitted.

본 실시에에 따른 이동단(32)에는, 도 4에 도시된 바와 같이, 후단으로 돌출되는 곡면(44)이 형성되어 있고, 고정단(36)에는 이동단(32)의 곡면(44)에 접촉되어 회전하는 가압롤러(46)가 결합되어 있다. 기판 터치플레이트(16)의 하강에 따라 고정단(36)의 가압롤러(46)가 하향으로 이동하면서 이동단(32)의 곡면(44)을 밀게 되고 이에 따라 이동단(32)이 부착된 슬라이더(31)가 기판(11)의 대각방향으로 이동하면서 가압단(30)이 기판(11)의 코너부를 밀게 된다. 그리고, 가압롤러(46)가 상승하면 가압롤러(46)가 곡면(44)으로 부터 떨어지면서 탄성부재(42)에 의해 다시 슬라이더(31)가 원위치로 복귀하게 된다.In the moving end 32 according to the present embodiment, as shown in FIG. 4, a curved surface 44 protruding to the rear end is formed, and the fixed end 36 is attached to the curved surface 44 of the moving end 32. A pressing roller 46 that rotates in contact is coupled. As the pressing roller 46 of the fixed end 36 moves downward as the substrate touch plate 16 descends, the curved surface 44 of the moving end 32 is pushed, and accordingly, the slider to which the moving end 32 is attached As the 31 moves in the diagonal direction of the substrate 11, the pressing end 30 pushes the corner portion of the substrate 11. Then, when the pressure roller 46 rises, the pressure roller 46 falls from the curved surface 44 and the slider 31 is returned to the original position again by the elastic member 42.

이외의 구성은 상술한 바와 같으므로 그 설명을 생략하기로 한다.The rest of the configuration is as described above, so the description thereof will be omitted.

도 5는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 따른 기판 얼라인 기구(12)의 작동 상태를 설명하기 위한 도면이다. 5 is a view for explaining the operating state of the substrate alignment mechanism 12 according to another embodiment of the present invention.

도 5에는 기판(11), 기판 홀더(14), 핀 부재(47), 콘 부재(48), 경사부(49),제4 코너부(56)가 도시되어 있다.5, the substrate 11, the substrate holder 14, the pin member 47, the cone member 48, the inclined portion 49, and the fourth corner portion 56 are shown.

본 실시예에 따른 기판 얼라인 기구(12)는, 상술한 바와 같이, 기판(11)의 4개의 코너부(50, 52, 54, 56)에 가압부 및 작동부를 설치하지 않고, 4개 중 일부(52, 54, 56)에 핀 부재(47)를 설치하고, 나머지 코너부(50)에 가압부(18)와 고정부를 설치하도록 구성한 형태이다. 본 실시예에서는 제1 코너부(50)에는 가압부와 작동부를 설치하고, 나머지 제2 내지 제4 코너부(52, 54, 56)에는 콘 부재(48)를 설치한 형태를 제시한다.Substrate alignment mechanism 12 according to the present embodiment, as described above, the four corner portions (50, 52, 54, 56) of the pressing portion and the operating portion is not provided, of the four It is a form in which the pin member 47 is installed in a part 52, 54, 56, and the pressing part 18 and the fixing part are installed in the remaining corner parts 50. In this embodiment, the first corner portion 50 is provided with a pressing portion and an operating portion, and the remaining second to fourth corner portions 52, 54, and 56 are provided with a form in which a cone member 48 is installed.

핀 부재(47)는, 기판(11)의 코너부(50)를 지지하도록 기판 홀더(14)에 결합되며, 기판(11)의 코너부가 하향 슬라이딩되도록 경사부(27)를 구비한다. 핀 부재(47)는 기판(11)의 코너부를 지지하게 되는데, 기판(11)의 코너부와 접하는 곳에 경사부(49)가 마련되어 있다. 기판(11)이 로딩되면 핀 부재(47)의 경사부(49)에 의해 기판(11)의 코너부가 하향 슬라이딩된다. The pin member 47 is coupled to the substrate holder 14 to support the corner portion 50 of the substrate 11, and has an inclined portion 27 so that the corner portion of the substrate 11 slides downward. The pin member 47 supports the corner portion of the substrate 11, but the inclined portion 49 is provided in contact with the corner portion of the substrate 11. When the substrate 11 is loaded, the corner portion of the substrate 11 is sliding downward by the inclined portion 49 of the pin member 47.

본 실시예에서는 핀 부재(47)로서, 도 5에 도시된 바와 같이, 하향으로 단면이 확대되는 원뿔 형상의 한 쌍의 콘 부재(48)를 제시한다. 콘 부재(48)는 밑면이 원이고, 옆면이 곡면(44)인 뿔 모양의 입체 형상을 갖는다. 따라서, 콘 부재(48)의 옆면은 경사부(49)를 구성하게 되고, 기판(11)이 로딩되면 기판(11)의 코너부가 콘 부재(48)의 경사부(49)를 따라 하향 슬라이딩된다. 콘 부재(48)는 쌍을 이루어 기판(11)의 코너부를 구성하는 양변이 각각 지지되도록 기판 홀더(14)에 부착된다. In the present embodiment, as a pin member 47, as shown in FIG. 5, a pair of cone members 48 having a conical shape extending in a downward direction is presented. The cone member 48 has a three-dimensional shape in the shape of a horn having a circular bottom surface and a curved surface 44 on the side surface. Accordingly, the side surface of the cone member 48 constitutes the inclined portion 49, and when the substrate 11 is loaded, the corner portion of the substrate 11 slides downward along the inclined portion 49 of the cone member 48. . The cone members 48 are attached to the substrate holder 14 so that both sides constituting a pair of corner portions of the substrate 11 are supported.

핀 부재(47)가 설치되지 않은 나머지 기판(11)의 코너부에는 상술한 가압부(18)와 작동부(20)가 쌍을 이루어 설치되고, 기판 터치플레이트(16)의 하강에 따라 작동부(20)가 하강하면서 가압부(18)가 기판(11)의 나머지 코너부를 밀면서 기판(11)을 정위치에 얼라인하게 된다.The above-described pressing portion 18 and the operation portion 20 are installed in pairs on the corner portion of the remaining substrate 11 where the pin member 47 is not installed, and the operation portion according to the downward movement of the substrate touch plate 16. As the 20 descends, the pressing portion 18 aligns the substrate 11 in place while pushing the remaining corners of the substrate 11.

기판(11)이 로봇 암 등에 의해 기판 홀더(14)에 로딩되면 기판(11)의 자중에 의해 핀 부재(47)의 경사부(49)를 따라 기판(11)이 하향 슬라이딩되면서 일차적으로 기판(11)의 얼라인이 이루어지고, 기판 터치플레이트(16)의 하강에 따라 가압부(18)가 기판(11)의 코너부를 밀면서 기판(11)이 기판 홀더(14)의 정위치에 위치하도록 얼라인하게 된다.When the substrate 11 is loaded onto the substrate holder 14 by a robot arm or the like, the substrate 11 is primarily slid downward along the inclined portion 49 of the pin member 47 due to the weight of the substrate 11. Alignment of 11) is made, and as the pressing portion 18 pushes the corner portion of the substrate 11 according to the descending of the substrate touch plate 16, the substrate 11 is aligned so as to be positioned at the correct position of the substrate holder 14 It is caused by.

이외의 구성은 상술한 바와 같으므로 그 설명을 생략하기로 한다.The rest of the configuration is as described above, so the description thereof will be omitted.

이상에서 본 발명의 실시예들에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.Although the embodiments of the present invention have been described above, the spirit of the present invention is not limited to the embodiments presented herein, and those skilled in the art to understand the spirit of the present invention can add elements within the scope of the same spirit. However, other embodiments may be easily proposed by changing, deleting, adding, or the like, but this will also be considered to be within the scope of the present invention.

10: 진공챔버 11: 기판
12: 기판 얼라인 기구 14: 기판 홀더
16: 기판 터치플레이트 18: 가압부
20: 작동부 21: 마스크
22: 마스크 홀더 24: 증발원
26: 지지 프레임 28: 지지구
30: 가압단 31: 슬라이더
32: 이동단 34: 제1 마그넷
36: 고정단 38: 제2 마그넷
39: 고정블록 40: 지지블록
42: 탄성부재 44: 곡면
46: 롤러 47: 핀 부재
48: 콘 부재 49: 경사부
50, 52, 54, 56: 코너부10: vacuum chamber 11: substrate
12: substrate alignment mechanism 14: substrate holder
16: Substrate touch plate 18: Pressing part
20: operation portion 21: mask
22: mask holder 24: evaporation source
26: support frame 28: support
30: pressure stage 31: slider
32: mobile terminal 34: first magnet
36: fixed end 38: second magnet
39: fixed block 40: support block
42: elastic member 44: curved surface
46: roller 47: pin member
48: cone member 49: slope
50, 52, 54, 56: Corner

Claims (8)

기판의 하면이 노출되도록 상기 기판 하면의 단부를 지지하는 기판 홀더와;
상기 기판 홀더의 상부에 배치되어 상기 기판의 상면에 대향하여 상하로 이동하는 기판 터치플레이트와;
상기 기판의 코너부에 상응하여 상기 기판 홀더에 결합되며, 상기 기판의 코너부의 대각 방향으로 직선왕복이동하는 가압부와;
상기 기판 터치플레이트에 결합되어 상기 기판 터치플레이트의 상하 이동에 따라 상기 가압부를 상기 기판의 코너부의 대각 방향으로 직선이동시키는 작동부를 포함하되,
상기 가압부는,
상기 기판의 대각 방향으로 기판 홀더에 결합되는 가이드레일과;
상기 가이드레일을 따라 직선 왕복 이동하는 슬라이더와;
상기 슬라이더에 일측에 결합되어 상기 기판의 코너부를 가압하는 가압단과;
상기 슬라이더에 타측에 결합되며 후단에 곡면이 형성되는 이동단과;
상기 이동단이 전단에 위치하는 고정블록과;
상기 고정블록에 대향하여 상기 슬라이더에 결합되는 지지블록과;
상기 고정블록과 상기 지지블록 사이에 배치되는 탄성부재를 포함하고,
상기 작동부는,
상기 기판 터치플레이트에 결합되는 고정단과;
상기 고정단에 결합되며, 상기 기판 터치플레이트의 하향이동에 따라 회전에 따라 상기 곡면을 가압하는 가압롤러를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 기구.
A substrate holder supporting an end of the lower surface of the substrate to expose the lower surface of the substrate;
A substrate touch plate disposed above the substrate holder and moving up and down opposite to an upper surface of the substrate;
A pressing portion coupled to the substrate holder corresponding to a corner portion of the substrate, and linearly reciprocating in a diagonal direction of the corner portion of the substrate;
Is coupled to the substrate touch plate includes an operation portion for moving the pressing portion in a diagonal direction of the corner portion of the substrate according to the vertical movement of the substrate touch plate,
The pressing portion,
A guide rail coupled to the substrate holder in a diagonal direction of the substrate;
A slider that reciprocates linearly along the guide rail;
A pressing end coupled to one side of the slider to press a corner portion of the substrate;
A moving end coupled to the other side of the slider and having a curved surface at the rear end;
A fixed block in which the mobile end is located at the front end;
A support block coupled to the slider against the fixed block;
It includes an elastic member disposed between the fixed block and the support block,
The operation unit,
A fixed end coupled to the substrate touch plate;
It is coupled to the fixed end, characterized in that it comprises a pressing roller for pressing the curved surface according to the rotation according to the downward movement of the substrate touch plate, the substrate alignment mechanism.
삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 기판의 코너부를 지지하도록 상기 기판의 코너부 중 일부에는 상기 기판의 코너부가 하향 슬라이딩되도록 경사부를 구비하는 핀 부재가 배치되며,
상기 기판의 나머지 코너부에는 상기 가압부와, 상기 가압부에 상응하는 작동부가 배치되는 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 기구.
According to claim 1,
A pin member having an inclined portion is disposed on some of the corner portions of the substrate to support the corner portions of the substrate, so that the corner portions of the substrate slide downward.
A substrate alignment mechanism, characterized in that the pressing portion and an operation portion corresponding to the pressing portion are disposed at the remaining corner portion of the substrate.
제6항에 있어서,
상기 핀 부재는,
곡면이 상기 기판의 코너부의 양변을 각각 지지하는 한 쌍의 콘 부재를 포함하는 것을 특징으로 하는, 기판 얼라인 기구.
The method of claim 6,
The pin member,
The substrate alignment mechanism, characterized in that the curved surface includes a pair of cone members respectively supporting both sides of the corner portion of the substrate.
기판에 박막을 형성하기 위한 증착장치로서,
진공챔버와;
상기 진공챔버의 내부에 배치되며, 마스크의 단부를 지지하는 마스크 홀더와;
상기 마스크 홀더의 상부에 배치되는, 상기 제1항, 제6항 및 제7항 중 어느 한 항에 따른 기판 얼라인 기구와;
상기 마스크 홀더 하부에 상기 기판에 대향하여 배치되는 증발원을 포함하는, 증착장치.As a deposition device for forming a thin film on a substrate,
A vacuum chamber;
A mask holder disposed inside the vacuum chamber and supporting an end of the mask;
A substrate alignment mechanism according to any one of claims 1, 6, and 7 disposed on the mask holder;
And an evaporation source disposed opposite to the substrate under the mask holder.
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