KR102123826B1 - Aligning module - Google Patents
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Abstract
본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반송모듈, 공정모듈 등에 결합되어 기판의 얼라인 후 반송모듈, 공정모듈 등에 기판을 공급하기 위한 얼라인모듈에 관한 것이다.
본 발명은, 외부로부터 2장의 직사각형 기판들이 도입된 후 수평방향으로 평행하게 배치된 상태에서 상기 2장의 직사각형 기판들의 수평위치를 정렬하는 얼라인모듈로서, 밀폐된 내부공간을 형성하는 얼라인챔버와; 상기 얼라인챔버에 설치되어 상기 2장의 기판들을 지지하는 복수의 기판지지부재들과; 상기 얼라인챔버에 설치되어 상기 기판지지부재들에 의하여 지지된 2장의 직사각형 기판들의 수평위치를 정렬하는 얼라인부를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈을 개시한다.The present invention relates to a substrate processing system, and more particularly, to an alignment module for supplying a substrate to a transport module, a process module, etc. after being aligned with a transport module, a process module, and the like.
The present invention is an alignment module that aligns the horizontal positions of the two rectangular substrates in a horizontally parallel state after two rectangular substrates are introduced from the outside. ; A plurality of substrate support members installed in the alignment chamber to support the two substrates; Disclosed is an alignment module, which is installed in the alignment chamber and includes an alignment unit that aligns horizontal positions of two rectangular substrates supported by the substrate supporting members.
Description
본 발명은 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반송모듈, 공정모듈 등에 결합되어 기판의 얼라인 후 반송모듈, 공정모듈 등에 기판을 공급하기 위한 얼라인모듈 및 기판얼라인방법에 관한 것이다.The present invention relates to a substrate processing system, and more particularly, to an alignment module and a substrate alignment method for supplying a substrate to a transport module, a process module, etc. after being aligned with a transport module or a process module.
기판처리시스템은, 로드락모듈 및 공정모듈의 결합 및 배치에 따라서 클러스터타입 및 인라인타입이 있다.The substrate processing system has a cluster type and an inline type according to the combination and arrangement of the load lock module and the process module.
클러스터 타입은, 하나의 반송모듈을 중심으로 외부에서 기판이 도입되는 로드락모듈과, 반송모듈에 결합되어 반송모듈로부터 기판을 공급받아 기판을 처리하는 공정모듈들이 배치된 구성을 말한다.The cluster type refers to a configuration in which a load lock module in which a substrate is introduced from the center of one transfer module and process modules that are coupled to the transfer module to receive the substrate from the transfer module and process the substrate are disposed.
인라인타입은, 로드락모듈, 공정모듈 및 언로드락모듈이 순차적으로 배치된 구성을 말한다.The inline type refers to a configuration in which load lock modules, process modules, and unload lock modules are sequentially arranged.
여기서 로드락모듈은, 외부로부터 도입된 기판을 반송모듈 또는 공정모듈로 도입되기 전에 정렬, 예열 등 기판처리 전에 필요한 기능을 수행하는 모듈로서, 대기압 하의 외부에서 진공압 하의 반송모듈 또는 공정모듈로 기판을 전달할 수 있도록 압력변환기능을 수행하는 등 필요에 따라서 다양한 구성이 가능하다.Here, the load lock module is a module that performs functions required before substrate processing such as alignment and preheating before the substrate introduced from the outside is introduced into the transfer module or process module, and is transferred to the transfer module or process module under vacuum pressure from outside under atmospheric pressure. Various configurations are possible as needed, such as performing a pressure conversion function to deliver
한편, 로드락모듈을 포함하는 기판처리시스템은, 6세대, 7세대, 8세대 등 기판처리를 기준으로 기판의 크기에 따라서 그 크기가 증가하고 있으며, 증가된 기판규격에 따라서 크기, 정렬기능, 레시피 등이 최적화됨이 일반적이다.On the other hand, the substrate processing system including the load lock module is increasing in size according to the size of the substrate based on the substrate processing, such as 6th, 7th, 8th generation, size, alignment function, It is common that recipes are optimized.
그러나, 상기와 같이 각 크기에 최적화된 기판처리시스템은, 다른 규격, 즉 크기가 다른 기판처리에 사용될 수 없어, 크기가 다른 기판처리를 위해서는 그 크기에 최적화된 기판처리시스템을 새로 설치하여야 함으로 추가 투자비용이 발생되는 문제점이 있다.However, as described above, the substrate processing system optimized for each size cannot be used for processing different sizes, i.e., substrate processing with different sizes, and a substrate processing system optimized for the size must be newly installed to process substrates having different sizes. There is a problem in that investment costs are incurred.
본 발명의 목적은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 외부에서 2장의 기판들이 도입된 후 2장의 기판들에 대한 정렬을 동시에 수행할 수 있는 얼라인모듈 및 기판얼라인방법을 제공하는 데 있다.An object of the present invention is to provide an alignment module and a substrate alignment method capable of simultaneously aligning two substrates after two substrates are introduced from the outside in order to solve the above problems.
본 발명은 상기와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은, 외부로부터 2장의 직사각형 기판들이 도입된 후 수평방향으로 평행하게 배치된 상태에서 상기 2장의 직사각형 기판들의 수평위치를 정렬하는 얼라인모듈로서, 밀폐된 내부공간을 형성하는 얼라인챔버와; 상기 얼라인챔버에 설치되어 상기 2장의 기판들을 지지하는 복수의 기판지지부재들과; 상기 얼라인챔버에 설치되어 상기 기판지지부재들에 의하여 지지된 2장의 직사각형 기판들의 수평위치를 정렬하는 얼라인부를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈을 개시한다.The present invention was created to achieve the object of the present invention as described above, the present invention, the horizontal position of the two rectangular substrates in a state in which two rectangular substrates are introduced from the outside and placed in parallel in the horizontal direction. An alignment module to align, and an alignment chamber forming a closed inner space; A plurality of substrate support members installed in the alignment chamber to support the two substrates; Disclosed is an alignment module, which is installed in the alignment chamber and includes an alignment unit that aligns horizontal positions of two rectangular substrates supported by the substrate supporting members.
상기 얼라인부는, 상기 2장의 직사각형 기판들이 이루는 제1직사각형의 각 꼭지점에서 회전 및 선형이동 중 적어도 어느 하나에 의하여 수평방향으로 가압하는 제1 내지 제4정렬부들과; 상기 제1 내지 제4정렬부들에 의하여 가압될 때 상기 2장의 직사각형 기판들이 수평방향으로 서로 마주보는 내측변들을 지지하는 하나 이상의 중앙정렬부재를 포함하는 중앙정렬부를 포함할 수 있다.The alignment unit may include first to fourth alignment units for pressing in the horizontal direction by at least one of rotation and linear movement at each vertex of the first rectangle formed by the two rectangular substrates; When pressed by the first to fourth alignment units, the two rectangular substrates may include a central alignment unit including one or more central alignment members that support inner sides facing each other in the horizontal direction.
상기 중앙정렬부재는, 상기 내측변들과 밀착되며 수평단면형상 또는 상기 내측변과 수직인 수직단면형상이 다각형, 원형 및 타원형 중 어느 하나의 형상을 가질 수 있다.The center alignment member may be in contact with the inner sides, and a horizontal cross-sectional shape or a vertical cross-sectional shape perpendicular to the inner side may have one of polygonal, circular, and elliptical shapes.
상기 중앙정렬부재는, 상기 2장의 직사각형 기판들의 배치방향을 기준으로, 상기 내측변들과 접촉하는 접촉부분으로부터 끝단으로 가면서 수평폭이 감소하는 것이 바람직하다.It is preferable that the horizontal width of the center alignment member decreases as it goes from the contact portion contacting the inner sides to the end, based on the arrangement direction of the two rectangular substrates.
상기 중앙정렬부재는, 기판정렬시 상기 내측변들 사이에 위치되고, 기판정렬 후 반출되기 전에 상기 내측변들 사이로부터 후퇴될 수 있다.The center alignment member is positioned between the inner sides during substrate alignment, and may be retracted from between the inner sides before being taken out after substrate alignment.
상기 중앙정렬부재는, 상기 2장의 직사각형 기판들의 배치방향과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 회전되며, 기판정렬시 상기 내측변들과 밀착되고, 회전되어 기판정렬 후 반출되기 전에 상기 내측변들과 밀착이 해제될 수 있다.The center alignment member is rotated around a rotation axis perpendicular to the placement direction of the two rectangular substrates, and is in close contact with the inner sides when the substrate is aligned, and is in close contact with the inner sides before being rotated and taken out after the substrate is aligned. Can be released.
상기 얼라인부는, 기판정렬시 상기 중앙정렬부재를 내측변들 사이에 위치시키고, 기판정렬 후 반출되기 전에 상기 내측변들 사이로부터 상기 중앙정렬부재를 후퇴시키는 정렬부재이동부를 포함할 수 있다.The alignment unit may include an alignment member moving unit that positions the central alignment member between the inner sides during substrate alignment, and retracts the central alignment member from between the inner sides before being unloaded after substrate alignment.
상기 얼라인부는, 상기 2장의 직사각형 기판들의 배치방향과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 상기 중앙정렬부재를 회전시키며, 기판정렬시 상기 내측변들과 밀착되도록 하고, 기판정렬 후 반출되기 전에 상기 중앙정렬부재를 회전시켜 상기 내측변들과 밀착을 해제시키는 정렬부재회전이동부를 포함할 수 있다.The alignment unit rotates the central alignment member around a rotation axis perpendicular to the placement direction of the two rectangular substrates, and when the substrate is aligned, is brought into close contact with the inner sides, and after the substrate is aligned, the central alignment is carried out. It may include a rotating member rotating the alignment member to release contact with the inner side by rotating the member.
상기 중앙정렬부재는, 상기 내측변들을 따라서 2n개(n은 1 이상의 자연수)로 설치되며, 상기 정렬부재회전이동부는, 상기 2n개의 중앙정렬부재들을 n개씩 서로 다른 방향으로 회전시킬 수 있다.The center alignment member is provided with 2n pieces (n is a natural number of 1 or more) along the inner sides, and the alignment member rotation moving unit can rotate the 2n center alignment members in n different directions.
상기 2장의 기판들은 서로 평행하며 상하방향으로 높이차를 가지도록 상기 기판지지부재들에 의하여 지지되며, 상기 2장의 직사각형 기판들이 배치방향으로 내측에 위치된 내측변들과 각각 접촉하는 한 쌍의 중앙정렬부재들과; 상기 한 쌍의 중앙정렬부재들이 결합되고 상기 내측변과 평행을 이루는 축을 회전축으로 하여 회전가능하게 설치되는 회전부재와; 정렬시 상기 한 쌍의 중앙정렬부재들이 상기 내측변들과 각각 접촉되며, 정렬 후 기판반출시 상기 한 쌍의 중앙정렬부재들에 의한 기판에 대한 접촉상태를 해제하도록 상기 회전부재를 회전시키는 회전구동부와; 상기 기판의 도입 및 배출시 기판의 상하이동에 따른 상기 한 쌍의 중앙정렬부재들과의 간섭을 방지하기 위하여 상기 한 쌍의 중앙정렬부재들을 기판의 상하이동영역으로부터 후퇴시키는 선형이동부를 포함할 수 있다.The two substrates are parallel to each other and are supported by the substrate support members so as to have a height difference in the vertical direction, and a pair of centers in which the two rectangular substrates respectively contact the inner sides located inside in the arrangement direction. Alignment members; A rotating member in which the pair of central alignment members are coupled and rotatably installed with an axis parallel to the inner side as a rotation axis; When aligning, the pair of central alignment members are in contact with each of the inner sides, and after rotation, the rotation driving unit rotates the rotating member to release the contact state to the substrate by the pair of central alignment members when the substrate is taken out. Wow; And a linear moving part for retracting the pair of central alignment members from the movable region of the substrate to prevent interference with the pair of central alignment members due to the movement of the substrate during introduction and discharge of the substrate. Can be.
본 발명은 또한 외부로부터 2장의 직사각형 기판들이 도입되어 2장의 직사각형 기판들이 수평방향으로 평행하게 배치하는 기판도입단계와; 상기 기판도입단계 후에 상기 2장의 직사각형 기판들의 수평위치를 정렬하는 얼라인단계를 포함하는 기판얼라인방법을 개시한다.The present invention also includes a substrate introduction step in which two rectangular substrates are introduced from the outside and the two rectangular substrates are arranged in parallel in the horizontal direction; Disclosed is a substrate alignment method including an alignment step of aligning horizontal positions of the two rectangular substrates after the substrate introduction step.
상기 얼라인단계는, 상기 2장의 직사각형 기판들 사이에 하나 이상의 중앙정렬부재를 위치시키는 중앙정렬부재 배치단계와; 상기 2장의 직사각형 기판들이 이루는 제1직사각형의 각 꼭지점에서 수평방향으로 가압하여 상기 2장의 직사각형 기판들이 수평방향으로 서로 마주보는 내측변들과 밀착시키는 가압단계와; 상기 가압단계 후에 상기 2장의 직사각형 기판들에 대한 꼭지점에서의 가압상태를 해제하는 가압해제단계를 포함할 수 있다.The aligning step may include: arranging a center aligning member to position one or more center aligning members between the two rectangular substrates; A pressing step of pressing in the horizontal direction at each vertex of the first rectangle formed by the two rectangular substrates and bringing the two rectangular substrates into close contact with the inner sides facing each other in the horizontal direction; After the pressing step may include a pressing release step for releasing the pressing state at the vertex of the two rectangular substrates.
상기 가압단계 후 기판의 반출 전에 상기 중앙정렬부재를 상기 내측변들 사이로부터 후퇴시키는 중앙정렬부재후퇴단계를 포함할 수 있다.After the pressing step, the center aligning member may be retracted from the center sides before the substrate is taken out.
상기 중앙정렬부재는, 상기 2장의 직사각형 기판들의 배치방향과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치되고, 상기 중앙정렬부재는, 상기 가압단계에서 회전되어 상기 내측변들과 밀착되며, 상기 가압단계 후 기판의 반출 전에 회전되어 상기 내측변들과의 밀착을 해제시키는 밀착해제단계를 포함할 수 있다.The central alignment member is rotatably installed around a rotation axis perpendicular to the placement direction of the two rectangular substrates, and the central alignment member is rotated in the pressing step to be in close contact with the inner sides, and the pressing After the step, it may be rotated before the substrate is taken out, and may include an adhesion release step of releasing adhesion with the inner sides.
상기 중앙정렬부재는, 상기 내측변들을 따라서 2n개(n은 1 이상의 자연수)로 설치되며, 상기 밀착해제단계는, 상기 2n개의 중앙정렬부재들을 n개씩 서로 다른 방향으로 회전시킬 수 있다.The center alignment member is installed in 2n pieces (n is a natural number of 1 or more) along the inner sides, and the contact release step may rotate the 2n center alignment members in n different directions.
상기 가압해제단계는, 상기 중앙정렬부재후퇴단계 또는 상기 밀착해제단계 후에 수행되는 것이 바람직하다.The pressure release step is preferably performed after the central alignment member retraction step or the close contact release step.
본 발명에 따른 얼라인모듈 및 기판얼라인방법은, 외부에서 도입된 2장의 기판들을 수평방향으로 배치된 상태에서 정렬을 동시에 수행함으로써 기판에 대한 정렬이 신속하여 전체 공정소요시간을 최소화하여 기판의 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.In the alignment module and the substrate alignment method according to the present invention, the alignment of the substrates is quickly performed by simultaneously aligning the two substrates introduced from the outside in a horizontally arranged state, minimizing the total process time, thereby minimizing the overall process time. There is an advantage that can improve productivity.
구체적으로, 본 발명에 따른 얼라인모듈 및 기판얼라인방법은, 기판정렬을 위한 얼라인부를 2장의 직사각형 기판이 이루는 제1직사각형의 꼭지점에 대응되는 제1 내지 제4정렬부와, 2장의 직사각형 기판들 사이에서 접촉되는 중앙정렬부로 구성함으로써 외부에서 2장의 기판들이 도입된 후 2장의 기판들에 대한 정렬을 동시에 수행할 수 있어 전체 공정소요시간을 최소화하여 기판의 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.Specifically, in the alignment module and the substrate alignment method according to the present invention, the first to fourth alignment portions corresponding to the vertices of the first rectangle formed by the two rectangular substrates and the two alignment portions for aligning the substrate By configuring the central alignment part that is in contact between the substrates, it is possible to simultaneously align two substrates after two substrates are introduced from the outside, thereby minimizing the overall process time and improving the productivity of the substrate. have.
더 나아가, 기판정렬 후 기판반출 전에 2장의 기판들에 접촉되는 중앙정렬부의 중앙정렬부재를 먼저 후퇴시킴으로써 기판반출시 기판과 중앙정렬부재 간의 마찰에 따른 기판손상, 정렬이 흐트러지는 문제점을 방지할 수 있는 이점이 있다.Furthermore, by retracting the central alignment member of the central alignment unit that comes into contact with the two substrates prior to substrate unloading after substrate alignment, it is possible to prevent a problem of substrate damage and misalignment caused by friction between the substrate and the central alignment member during substrate transportation. There is an advantage.
또한 본 발명에 따른 얼라인모듈 및 기판얼라인방법은, 기판정렬을 위한 얼라인부를 2장의 직사각형 기판이 이루는 제1직사각형의 꼭지점에 대응되는 제1 내지 제4정렬부와, 2장의 직사각형 기판들 사이에서 접촉되는 중앙정렬부로 구성함으로써, 2장의 직사각형 기판으로 분할하기 전의 기판을 처리하기 위한 기존 기판처리시스템의 구조의 변경을 최소화함으로써 기판도입을 위한 로드락모듈과 같은 기존 설비의 재활용을 극대화함으로써 처리대상인 기판의 분할에도 불구하고 분할된 기판처리에 추가되는 설비투자비용을 최소화할 수 있는 이점이 있다.In addition, the alignment module and the substrate alignment method according to the present invention, the first to fourth alignment portions corresponding to the vertices of the first rectangle formed by two rectangular substrates for alignment of the substrate, and two rectangular substrates By configuring the central alignment part that is in contact with each other, by minimizing the change in the structure of the existing substrate processing system for processing the substrate before dividing it into two rectangular substrates, maximizing the recycling of existing equipment such as load lock modules for substrate introduction Despite the division of the substrate to be treated, there is an advantage of minimizing the equipment investment cost added to the divided substrate treatment.
또한 본 발명에 따른 얼라인모듈 및 기판얼라인방법은, 기판정렬을 위한 얼라인부를 2장의 직사각형 기판이 이루는 제1직사각형의 꼭지점에 대응되는 제1 내지 제4정렬부와, 2장의 직사각형 기판들 사이에서 접촉되는 중앙정렬부로 구성함으로써, 얼라인부의 설치에 따른 얼라인챔버의 크기증가를 최소화하여 얼라인챔버 내의 압력변환시간을 최소화하고 제조비용 또한 현저히 절감할 수 있는 이점이 있다.In addition, the alignment module and the substrate alignment method according to the present invention, the first to fourth alignment portions corresponding to the vertices of the first rectangle formed by two rectangular substrates for alignment of the substrate, and two rectangular substrates By configuring the central alignment portion to be contacted therebetween, the size increase of the alignment chamber according to the installation of the alignment portion is minimized, thereby minimizing the pressure conversion time in the alignment chamber and significantly reducing the manufacturing cost.
도 1은, 본 발명에 따른 기판처리시스템의 일예를 보여주는 개념도이다.
도 2는, 본 발명에 따른 얼라인모듈의 구성을 보여주는 평면도이다.
도 3은, 도 2의 얼라인모듈의 Ⅲ-Ⅲ 방향의 수직단면도이다.
도 4a 및 도 4b는, 도 2의 얼라인모듈의 제1 내지 제4정렬부의 실시예로서, 구성 및 작동을 보여주는 일부 평면도들이다.
도 5는, 도 2의 얼라인모듈의 중앙정렬부재의 일 실시예를 보여주는 측면도이다.
도 6a 및 도 6b는, 도 2의 얼라인모듈의 중앙정렬부재의 다른 실시예들을 보여주는 일부 평면도들이다.
도 7은, 도 2의 얼라인모듈의 중앙정렬부재의 또 다른 실시예를 보여주는 일부 평면도이다.
도 8a 및 도 8b는, 도 2의 얼라인모듈의 중앙정렬부재의 또 다른 실시예로서, 각각 작동과정을 보여주는 일부 측면도 및 일부 평면도이다.1 is a conceptual diagram showing an example of a substrate processing system according to the present invention.
2 is a plan view showing the configuration of an alignment module according to the present invention.
3 is a vertical cross-sectional view of the alignment module of FIG. 2 in the III-III direction.
4A and 4B are examples of the first to fourth alignment units of the alignment module of FIG. 2, and are some plan views showing the configuration and operation.
5 is a side view showing an embodiment of the center alignment member of the alignment module of FIG. 2.
6A and 6B are some plan views showing other embodiments of the center alignment member of the alignment module of FIG. 2.
7 is a partial plan view showing another embodiment of the center alignment member of the alignment module of FIG. 2.
8A and 8B, as another embodiment of the center alignment member of the alignment module of FIG. 2, are partially side views and partial plan views, respectively, showing an operation process.
이하 본 발명에 따른 얼라인모듈 및 기판얼라인방법에 관하여 첨부된 도면을 참조하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the alignment module and the substrate alignment method according to the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
특히 본 발명에 따른 얼라인모듈(10)은, 외부로부터 기판(1)이 도입된 후 정렬 후 반출되는 구성이면 로드락모듈은 물론 어떠한 모듈도 모두 가능하다.In particular, the
그리고 본 발명에 따른 얼라인모듈(10)은, 클러스터타입 및 인라인타입 등 식각, 증착 등 기판처리를 위한 기판처리시스템에 모두 적용될 수 있다.And the
예로서, 본 발명에 따른 얼라인모듈(10)이, 로드락모듈로서 설치되는 기판처리시스템의 일예로서, 도 1에 도시된 바와 같이, 외부로부터 이송로봇(11)에 의하여 2장의 기판(1)이 도입되는 얼라인모듈(10)과, 얼라인모듈(10)과 결합되며 반송로봇(22)에 의하여 얼라인모듈(10)로부터 기판(1)을 인출하는 반송모듈(20)과, 반송모듈(20)에 결합되어 반송로봇(22)에 의하여 기판(1)을 전달받아 기판처리를 수행하는 복수의 공정모듈(50)을 포함하여 구성될 수 있다.As an example, as an example of the substrate processing system in which the
여기서 상기 각 모듈들에는, 상호 격리를 위하여 게이트밸브(31, 32, 41)들이 설치된다.Here, the
상기 반송모듈(20)은, 얼라인모듈(10)과 결합되며 반송로봇(22)에 의하여 얼라인모듈(10)로부터 기판(1)을 인출하는 구성으로서, 반송챔버(21) 및 반송챔버(21)에 설치된 반송로봇(22)을 포함하여 구성되는 등 다양한 구성이 가능하다.The
상기 공정모듈(50)은, 반송로봇(22)에 의하여 도입된 기판(1)에 대하여 식각, 증착 등의 기판처리공정을 수행하는 모듈로서, 공정챔버(51) 등을 포함하는 등 기판처리의 종류에 따라서 다양한 구성이 가능하다.The
본 발명에 따른 얼라인모듈(10)은, 도 1 내지 도 8b에 도시된 바와 같이, 외부로부터 2장의 직사각형 기판(1)들이 2장의 직사각형 기판(1)들이 수평방향으로 평행하게 배치된 상태에서 2장의 직사각형 기판(1)들의 수평위치를 정렬하는 얼라인모듈로서, 밀폐된 내부공간을 형성하는 얼라인챔버(100)와; 얼라인챔버(100)에 설치되어 2장의 기판(1)들을 지지하는 복수의 기판지지부재(130)들과; 얼라인챔버(100)에 설치되어 기판지지부재(130)들에 의하여 지지된 2장의 직사각형 기판(1)들의 수평위치를 정렬하는 얼라인부(200)를 포함한다.
상기 얼라인챔버(100)는, 밀폐된 내부공간을 형성하는 구성으로서, 상측이 개구되며 직육면체 형상의 챔버본체(110)와, 챔버본체(110)와 탈착가능하게 결합되는 상부리드(120)를 포함하여 구성될 수 있다.The
상기 챔버본체(110)는, 기판(1)의 도입 및 배출을 위하여 하나 이상의 게이트(111, 112)가 형성되며, 도 2에 도시된 바와 같이, 서로 대향되는 방향에서 한 쌍의 게이트(111, 112)들이 형성될 수 있다.The
한편 상기 얼라인챔버(100)는, 설치환경에 따라서 대기압 하의 외부에서 진공압 하의 반송모듈(20)의 전달이 가능하도록 압력변환을 위하여 진공펌프와 같은 압력변환장치가 결합될 수 있다.On the other hand, the
또한 상기 얼라인챔버(100)는, 기판처리의 종류에 따라서 예열 등을 위하여 히터 등이 설치될 수 있다.In addition, the
상기 복수의 기판지지부재(130)들은, 얼라인챔버(100)에 설치되어 이송로봇(11) 등에 의하여 도입된 2장의 기판(1)을 지지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The plurality of
예로서, 상기 복수의 기판지지부재(130)들은, 얼라인챔버(100)의 바닥에서 상측으로 돌출형성된 리프트핀들로 구성될 수 있다For example, the plurality of
또한 상기 복수의 기판지지부재(130)들은, 한국공개특허공보 제10-2014-0119283호 중 도 3c 등에 개시된 기판지지유닛(3)으로 구성될 수 있다.In addition, the plurality of
한편 상기 복수의 기판지지부재(130)들은, 상하이동이 가능하도록 설치될 수 있다.On the other hand, the plurality of
또한 상기 복수의 기판지지부재(130)들은, 2장의 기판(1)을 지지함에 있어서, 2장의 기판(1)들이 서로 상하방향으로 높이차를 가지도록 지지할 수 있다.In addition, the plurality of
상기 얼라인부(200)는, 얼라인챔버(100)에 설치되어 기판지지부재(130)들에 의하여 지지된 2장의 직사각형 기판(1)들의 수평위치를 정렬하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The
특히 상기 얼라인부(200)는, 도 2 내지 도 8b에 도시된 바와 같이, 2장의 직사각형 기판(1)들이 이루는 제1직사각형의 각 꼭지점에서 수평방향으로 가압하는 제1 내지 제4정렬부(210)들과; 제1 내지 제4정렬부(210)들에 의하여 가압될 때 2장의 직사각형 기판(1)들이 수평방향으로 서로 마주보는 내측변들을 지지하는 하나 이상의 중앙정렬부(220)를 포함할 수 있다.In particular, the
상기 제1 내지 제4정렬부(210)들은, 2장의 직사각형 기판(1)들이 이루는 제1직사각형의 각 꼭지점에서 수평방향으로 가압하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The first to
예로서, 상기 제1 내지 제4정렬부(210)들은, 한국공개특허공보 제10-2014-0119283호에 개시된 바와 같이, 한 쌍의 밀착부재(211)들이 지지되는 지지부재(212)와, 지지부재(212)가 회전가능하게 지지되는 힌지축(215)과, 챔버(20)에 고정되어 힌지축(215)이 고정되는 고정부재(216)와, 한 쌍의 밀착부재(211)들과 힌지축(215) 사이에서 지지부재(212)에 설치되는 연결축(213)과, 연결축(213)과 연결되는 연결로드(214)와, 연결로드(214)와 연결되어 연결로드(214)를 선형으로 이동시키는 구동부(미도시)를 포함할 수 있다.For example, the first to
여기서 상기 한 쌍의 밀착부재들(211)은 기판(1)의 꼭지점 부분에서의 가로변 및 세로변에 각각 밀착되는 부분으로서, 기판(1)의 꼭지점 부분에 밀착될 때의 충격을 흡수할 수 있도록 탄성을 가지는 재질로 이루어지는 것이 바람직하며, 보다 바람직하게는, 폴리에테르케톤(PEK)과 같은 엔지니어링플라스틱으로 이루어지는 것이 바람직하다.Here, the pair of
상기와 같은 구성을 가지는 상기 제1 내지 제4정렬부(210)들은, 지지부재(130)에 의하여 지지되는 2장의 직사각형 기판(1)들이 이루는 제1직사각형의 각 꼭지점, 즉 4개의 코너에서 한 쌍의 밀착부재(211)들의 회전에 의하여 기판(1)과 밀착된다.The first to
이때 상기 기판(1)은, 후술하는 중앙정렬부(220)에 의하여 내측변들이 지지됨으로써 2장의 직사각형 기판(1)에 대한 정렬이 동시에 이루어지게 된다.At this time, the
상기 중앙정렬부(220)는, 내측변들 사이에 하나 이상으로 설치되어, 제1 내지 제4정렬부(210)들에 의하여 가압될 때 내측변들을 지지하는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The
특히 상기 중앙정렬부(220)는, 내측변들에 대한 지지방식에 따라서 다양한 실시예가 가능하다.In particular, the
상기 중앙정렬부(220)는, 내측변들과 밀착되며 수평단면형상 또는 상기 내측변과 수직인 수직단면형상이 직사각형과 같은 다각형을 이루거나 도 2, 도 6a, 및 도 7에 도시된 바와 같이, 원형, 타원형 등의 형상을 이루는 중앙정렬부재(221)를 포함할 수 있다.The
구체적인 예로서, 즉, 상기 중앙정렬부재(221)는, 상측에서 보았을 때 내측변들을 양변으로 하여 직사각형의 바를 이루거나, 내측변들을 따라서 배치되는 복수의 직사각형들로 이루어질 수 있다.As a specific example, that is, the
또 다른 구체적인 예로서, 상기 중앙정렬부재(221)는, 길이방향과 수직인 수평단면형상 또는 상기 내측변과 수직인 수직단면형상이 원형 또는 타원형을 이룰 수 있으며, 중앙정렬부재(221)의 길이방향은 기판기판표면과 수직을 이루거나, 내측변과 평행을 이룰 수 있다.As another specific example, the
이때 상기 중앙정렬부재(221)는, 기판정렬시 균형을 고려하여, 서로 대칭을 이루어 2개, 균일한 간격으로 3개 이상으로 설치되는 등 다양하게 설치될 수 있다. At this time, the
한편 상기 얼라인모듈(10) 내로 도입된 2장의 기판(1)은 기판정렬 후 반송로봇(22)에 의하여 반출되며, 이때 지지부재(130)들에 의하여 지지된 기판(1)들의 저면을 지지하여 상측으로 승강된 후 게이트(112)를 통하여 반출될 수 있다.Meanwhile, the two
여기서 상기 기판(1)은, 중앙정렬부재(221)에 접촉된 상태로 있어 반송로봇(22)에 의하여 상측으로 들어 올려질 때 스크래치 등 기판(1)이 손상되거나 정렬이 흐트러지는 문제점이 발생될 수 있다.Here, since the
이에, 상기 중앙정렬부재(221)는, 기판(1)과의 접촉면적을 최소화하는 것이 바람직한바 앞서 설명한 바와 같이, 길이방향과 수직인 수평단면형상 또는 상기 내측변과 수직인 수직단면형상이 원형 또는 타원형을 가지거나, 도 5에 도시된 바와 같이, 내측변들과 접촉하는 접촉부위로부터 끝단으로 가면서 2장의 직사각형 기판(1)들의 배치방향의 수평폭이 감소하는 것이 바람직하다.Thus, the
다시 말하면, 상기 중앙정렬부재(221)는, 2장의 직사각형 기판(1)들의 배치방향을 기준으로, 내측변들과 접촉하는 접촉부분으로부터 끝단으로 가면서 수평폭이 감소하는 것이 바람직하다.In other words, the
또한 상기 중앙정렬부재(221)는, 기판정렬 후 반송로봇(22)에 의하여 반출되기 전에 내측변들 사이에서 후퇴되는 것이 바람직하다.In addition, the
즉, 상기 얼라인부(200)는, 기판정렬시 중앙정렬부재(221)를 내측변들 사이에 위치시키고, 기판정렬 후 반출되기 전에 내측변들 사이로부터 중앙정렬부재(221)를 후퇴시키는 정렬부재이동부(미도시)를 포함할 수 있다.That is, the
상기 정렬부재이동부는, 얼라인챔버(100)의 측면 쪽 또는 저면 쪽에 설치되어 끝단에 중앙정렬부재(221)가 설치된 연결부재(222)를 내측변과 평행한 방향 또는 기판표면과 수직인 방향 중 어느 하나의 방향으로 선형이동시킴으로써 중앙정렬부재(221)를 내측변들 사이에 위치시키거나 후퇴시킬 수 있다.The alignment member moving part is installed in the side or bottom side of the
또한 상기 기판(1)이 반송로봇(22)에 의하여 상측으로 들어 올려질 때 스크래치 등 기판(1)이 손상되거나 정렬이 흐트러지는 문제점을 해결하기 위항 방법으로서, 중앙정렬부재(221)가 도 7에 도시된 바와 같이, 2장의 직사각형 기판(1)들의 배치방향과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 회전되며, 기판정렬시 내측변들과 밀착되고, 회전되어 기판정렬 후 반출되기 전에 상기 내측변들과 밀착이 해제될 수 있다.In addition, when the
이를 위하여, 상기 얼라인부(200)는, 2장의 직사각형 기판(1)들의 배치방향과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 중앙정렬부재(221)를 회전시키며, 기판정렬시 내측변들과 밀착되도록 하고, 기판정렬 후 반출되기 전에 중앙정렬부재(221)를 회전시켜 내측변들과 밀착을 해제시키는 정렬부재회전이동부를 포함할 수 있다.To this end, the
상기 정렬부재회전이동부는, 2장의 직사각형 기판(1)들의 배치방향과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 중앙정렬부재(221)를 회전시키는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The alignment member rotation moving unit is configured to rotate the
특히 상기 중앙정렬부재가 상기 내측변들을 따라서 2n개(n은 1 이상의 자연수)로 설치될 때, 정렬부재회전이동부는, 2n개의 중앙정렬부재들을 n개씩 서로 다른 방향으로 회전시키는 것이 바람직하다.Particularly, when the center alignment member is installed in 2n pieces (n is a natural number of 1 or more) along the inner sides, it is preferable that the alignment member rotation moving part rotates 2n center alignment members in n different directions.
여기서 상기 중앙정렬부재들은, 내측변들을 따라서 중심에 하나가 위치되고 중심에 위치된 중앙정렬부재를 중심으로 서로 대향된 위치에 있는 중앙정렬부재들이 서로 반대방향으로 회전될 수 있다.Here, in the center alignment members, one of the centers may be rotated in opposite directions with respect to each other, with one center positioned along the inner sides and opposite to each other with the center alignment member positioned at the center.
한편 상기 2장의 기판(1)들은 내측변이 중앙정렬부재(221)에 접촉된 상태로 있어서 기판(1)이 반송로봇(22)에 의하여 상측으로 들어 올려질 때, 스크래치 등 기판(1)이 손상되거나 정렬이 흐트러지는 문제점을 방지하기 위한 다른 구성으로서, 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같이 구성될 수 있다.On the other hand, when the
즉, 상기 중앙정렬부(220)는, 2장의 직사각형 기판들이 배치방향으로 내측에 위치된 내측변들과 각각 접촉하는 한 쌍의 중앙정렬부재(221)들과; 한 쌍의 중앙정렬부재(221)들이 결합되고 내측변과 평행을 이루는 축을 회전축으로 하여 회전가능하게 설치되는 회전부재(223)와; 정렬시 한 쌍의 중앙정렬부재(221)들이 내측변들과 각각 접촉되며, 정렬 후 기판반출시 한 쌍의 중앙정렬부재(221)들에 의한 기판(1)에 대한 접촉상태를 해제하도록 회전부재(223)를 회전시키는 회전구동부(미도시)와; 기판(1)의 도입 및 배출시 기판(1)의 상하이동에 따른 한 쌍의 중앙정렬부재(221)들과의 간섭을 방지하기 위하여 중앙정렬부재(221)들을 기판(1)의 상하이동영역으로부터 후퇴시키는 선형이동부(미도시)를 포함할 수 있다.That is, the
여기서 상기 2장의 기판(1)들은 서로 평행하게 배치되며 상하방향으로 높이차를 가지도록 기판지지부재(130)들에 의하여 지지된다.Here, the two
상기 한 쌍의 중앙정렬부재(221)들은, 내측변들과 각각 접촉하는 구성으로서 2장의 직사각형 기판들이 배치방향으로 내측에 위치된 내측변들에 대하여 충분히 지지할 수 있는 구조이면 어떠한 구조도 가능하다.The pair of
예로서, 상기 회전부재(223)의 외주면에 부착되어 회전부재(223)의 회전에 의하여 회전되는 직사각형 플레이트로 구성될 수 있다.For example, it may be formed of a rectangular plate attached to the outer circumferential surface of the rotating
상기 회전부재(223)는, 한 쌍의 중앙정렬부재(221)들이 결합되고 내측변과 평행한 축을 회전축으로 하여 회전가능하게 설치되는 구성으로서 다양한 구성이 가능하다.The
상기 회전부재(223)는, 기판정렬시 한 쌍의 중앙정렬부재(221)들이 기판(1)을 지지하는 면이 기판(1)의 표면에 대하여 수직을 이루도록 하여 기판(1)을 안정적으로 지지하고, 한 쌍의 중앙정렬부재(221)들을 회전시켜 기판(1)과의 접촉을 해제하여 기판반출시 기판(1)과의 마찰을 방지하지 하게 된다.The rotating
상기 회전구동부는, 정렬시 한 쌍의 중앙정렬부재(221)들이 내측변들과 각각 접촉되며, 정렬 후 기판반출시 한 쌍의 중앙정렬부재(221)들에 의한 기판(1)에 대한 접촉상태를 해제하도록 회전부재(223)를 회전시키는 구성으로서 회전모터 등 다양한 구성이 가능하다.In the rotation driving part, a pair of
상기 선형이동부는, 기판(1)의 도입 및 배출시 기판(1)의 상하이동에 따른 한 쌍의 중앙정렬부재(221)들과의 간섭을 방지하기 위하여 중앙정렬부재(221)들을 기판(1)의 상하이동영역으로부터 후퇴시키는 구성으로서 선형이동모듈 등 다양한 구성이 가능하다.The linear moving part, the substrate (1) to the
상기 중앙정렬부(220)가 도 8a 및 도 8b에 도시된 바와 같은 구성을 가지게 되면, 2장의 기판 사이의 간격을 최소화함으로써 얼라인챔버(100)는 물론 반송챔버(21), 공정챔버(51)의 크기를 최소화하여 기판처리 공정시간의 감소, 제조비용을 절감할 수 있는 이점이 있다.When the
한편, 본 발명의 실시예는, 외부에서 도입된 기판을 정렬한 후 반송모듈 또는 공정모듈로 전달하는 로드락모듈에 관하여 설명하였으나, 2장의 직사각형 기판들이 도입되고 정렬 후 반출하는 모듈이면 버퍼모듈 등 모두 적용이 가능하다On the other hand, the embodiment of the present invention has been described with respect to a load lock module that transfers a substrate introduced from the outside to a transfer module or a process module, but if two rectangular substrates are introduced and aligned and then taken out, a buffer module, etc. All can be applied
그리고, 본 발명은 얼라인모듈로 구체화하여 설명하였으나, 수평방향으로 배치된 2장의 기판을 동시에 얼라인하는데 특징이 있는바, 기판의 얼라인방법으로서 구현될 수 있다.In addition, although the present invention has been specifically described and described as an alignment module, it is characterized by aligning two substrates arranged in the horizontal direction at the same time, and thus can be implemented as an alignment method of the substrate.
이하, 본 발명에 따른 얼라인방법에 관하여 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the alignment method according to the present invention will be described.
본 발명에 따른 얼라인방법은, 외부로부터 2장의 직사각형 기판(1)들이 도입되어 2장의 직사각형 기판(1)들이 수평방향으로 평행하게 배치하는 기판도입단계(S10)와; 기판도입단계(S10) 후에 2장의 직사각형 기판(1)들의 수평위치를 정렬하는 얼라인단계(S20)를 포함한다.The alignment method according to the present invention includes: a substrate introduction step (S10) in which two
상기 기판도입단계(S10)는, 외부로부터 2장의 직사각형 기판(1)들이 도입되어 2장의 직사각형 기판(1)들이 수평방향으로 평행하게 배치하는 단계로서, 다양한 방법에 의하여 수행될 수 있다.The substrate introducing step S10 is a step in which two
예로서, 상기 기판도입단계(S10)는, 이송로봇(11)에 의하여 얼라인챔버(100) 내부로 도입한 후 얼라인챔버(100)에 설치된 지지부재(130)들에 지지시켜 2장의 직사각형 기판(1)들이 수평방향으로 평행하게 배치할 수 있다.For example, the substrate introduction step (S10) is introduced into the
상기 얼라인단계(S20)기판도입단계(S10) 후에 2장의 직사각형 기판(1)들의 수평위치를 정렬하는 단계로서 다양한 방법에 의하여 수행될 수 있다.As the step of aligning the horizontal positions of the two
예로서, 상기 얼라인단계(S20)는, 2장의 직사각형 기판(1)들 사이에 하나 이상의 중앙정렬부재(221)를 위치시키는 중앙정렬부재 배치단계(S21)와; 2장의 직사각형 기판(1)들이 이루는 제1직사각형의 각 꼭지점에서 수평방향으로 가압하여 2장의 직사각형 기판(1)들이 수평방향으로 서로 마주보는 내측변들과 밀착시키는 가압단계(S22)와, 가압단계(S22) 후에 2장의 직사각형 기판(1)들에 대한 꼭지점에서의 가압상태를 해제하는 가압해제단계(S23)를 포함할 수 있다.For example, the alignment step (S20) includes: a center alignment member placement step (S21) for positioning one or more
한편, 상기 가압단계(S22) 후에는, 도 5, 도 6a 및 도 6b에 도시된 바와 같이, 기판(1)의 반출 전에 중앙정렬부재(221)를 내측변들 사이로부터 후퇴시키는 중앙정렬부재후퇴단계(S24)가 수행될 수 있다.On the other hand, after the pressing step (S22), as shown in FIGS. 5, 6A and 6B, the center alignment member retracts the
또한, 상기 중앙정렬부재(221)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 2장의 직사각형 기판(1)들의 배치방향과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치되는 경우, 중앙정렬부재(221)는, 가압단계(S22)에서 회전되어 내측변들과 밀착된다.In addition, when the
그리고, 상기 가압단계(S22) 후에는 기판(1)의 반출 전에 회전되어 내측변들과의 밀착을 해제시키는 밀착해제단계(S25)가 수행될 수 있다.Then, after the pressing step (S22) is rotated before the
그리고, 상기 중앙정렬부재(221)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 내측변들을 따라서 서로 대칭되도록 짝수개로 설치될 수 있으며, 이때 밀착해제단계(S25)는, 내측변들과의 밀착해제시 서로 대칭되는 중앙정렬부재(221)들을 서로 반대방향으로 회전시키는 것이 바람직하다.And, the
즉, 상기 중앙정렬부재(221)는, 내측변들을 따라서 2n개(n은 1 이상의 자연수)로 설치되며, 밀착해제단계(S25)는, 2n개의 중앙정렬부재(221)들을 n개씩 서로 다른 방향으로 회전시킬 수 있다.That is, the
한편 상기 중앙정렬부재후퇴단계(S24) 또는 밀착해제단계(S25)와 관련하여, 가압해제단계(S23)는, 중앙정렬부재후퇴단계(S24) 후에 수행되는 것이 바람직하다.On the other hand, with respect to the center alignment member retreating step (S24) or the close contact release step (S25), the pressure release step (S23) is preferably performed after the central alignment member retreating step (S24).
본 발명은, 상기와 같은 방법의 수행에 의하여, 외부에서 도입된 2장의 기판들을 수평방향으로 배치된 상태에서 정렬을 동시에 수행함으로써 기판에 대한 정렬이 신속하여 전체 공정소요시간을 최소화하여 기판의 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다.
According to the present invention, by performing the above-described method, two substrates introduced from the outside are simultaneously aligned in a horizontally arranged state, so that alignment to the substrate is quickly minimized, thereby minimizing the overall process time and productivity of the substrate. There is an advantage that can be improved.
이상은 본 발명에 의해 구현될 수 있는 바람직한 실시예의 일부에 관하여 설명한 것에 불과하므로, 주지된 바와 같이 본 발명의 범위는 위의 실시예에 한정되어 해석되어서는 안 될 것이며, 위에서 설명된 본 발명의 기술적 사상과 그 근본을 함께 하는 기술적 사상은 모두 본 발명의 범위에 포함된다고 할 것이다.The above is only a description of some of the preferred embodiments that can be implemented by the present invention, and as is well known, the scope of the present invention should not be construed as being limited to the above embodiments, and the present invention described above. It will be said that both the technical idea and the technical idea together with the fundamental are included in the scope of the present invention.
1 : 기판 10 : 로드락모듈
100 : 얼라인챔버
200 : 얼라인부
210 : 제1~제4정렬부 220 : 중앙정렬부
221 : 중앙정렬부재1: Board 10: Load lock module
100: alignment chamber
200: alignment part
210: first to fourth alignment unit 220: central alignment unit
221: Central alignment member
Claims (15)
밀폐된 내부공간을 형성하는 얼라인챔버와;
상기 얼라인챔버에 설치되어 상기 2장의 기판들을 지지하는 복수의 기판지지부재들과;
상기 얼라인챔버에 설치되어 상기 기판지지부재들에 의하여 지지된 2장의 직사각형 기판들의 수평위치를 정렬하는 얼라인부를 포함하며,
상기 얼라인부는,
상기 2장의 직사각형 기판들이 이루는 제1직사각형의 각 꼭지점에서 회전 및 선형이동 중 적어도 어느 하나에 의하여 수평방향으로 가압하는 제1 내지 제4정렬부들과;
상기 제1 내지 제4정렬부들에 의하여 가압될 때 상기 2장의 직사각형 기판들이 수평방향으로 서로 마주보는 내측변들을 지지하는 하나 이상의 중앙정렬부재를 포함하는 중앙정렬부를 포함하며,
기판정렬시 상기 중앙정렬부재를 내측변들 사이에 위치시키고, 기판정렬 후 반출되기 전에 상기 내측변들 사이로부터 상기 중앙정렬부재를 후퇴시키는 정렬부재이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.As an alignment module that aligns the horizontal positions of the two rectangular substrates in a state in which they are arranged parallel to the horizontal direction after the two rectangular substrates are introduced from the outside,
An alignment chamber forming a closed interior space;
A plurality of substrate support members installed in the alignment chamber to support the two substrates;
It includes an alignment unit that is installed in the alignment chamber to align the horizontal position of the two rectangular substrates supported by the substrate support members,
The alignment portion,
First to fourth alignment parts for pressing in the horizontal direction by at least one of rotation and linear movement at each vertex of the first rectangle formed by the two rectangular substrates;
A central alignment unit including at least one central alignment member supporting inner sides facing each other in the horizontal direction when the two rectangular substrates are pressed by the first to fourth alignment units,
An alignment module comprising an alignment member moving part that positions the central alignment member between the inner sides during substrate alignment, and retracts the central alignment member from between the inner sides before being carried out after substrate alignment.
상기 중앙정렬부재는,
상기 내측변들과 밀착되며 수평단면형상 또는 상기 내측변과 수직인 수직단면형상이 다각형, 원형 및 타원형 중 어느 하나의 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.The method according to claim 1,
The central alignment member,
Alignment module, characterized in that the horizontal cross-sectional shape or the vertical cross-sectional shape perpendicular to the inner side has any one of polygonal, circular and elliptical shapes in close contact with the inner sides.
상기 중앙정렬부재는,
상기 2장의 직사각형 기판들의 배치방향을 기준으로, 상기 내측변들과 접촉하는 접촉부분으로부터 끝단으로 가면서 수평폭이 감소하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.The method according to claim 1,
The central alignment member,
Based on the arrangement direction of the two rectangular substrates, the alignment module, characterized in that the horizontal width decreases from the contact portion in contact with the inner side to the end.
밀폐된 내부공간을 형성하는 얼라인챔버와;
상기 얼라인챔버에 설치되어 상기 2장의 기판들을 지지하는 복수의 기판지지부재들과;
상기 얼라인챔버에 설치되어 상기 기판지지부재들에 의하여 지지된 2장의 직사각형 기판들의 수평위치를 정렬하는 얼라인부를 포함하며,
상기 얼라인부는,
상기 2장의 직사각형 기판들이 이루는 제1직사각형의 각 꼭지점에서 회전 및 선형이동 중 적어도 어느 하나에 의하여 수평방향으로 가압하는 제1 내지 제4정렬부들과;
상기 제1 내지 제4정렬부들에 의하여 가압될 때 상기 2장의 직사각형 기판들이 수평방향으로 서로 마주보는 내측변들을 지지하는 하나 이상의 중앙정렬부재를 포함하는 중앙정렬부를 포함하며,
상기 얼라인부는,
상기 2장의 직사각형 기판들의 배치방향과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 상기 중앙정렬부재를 회전시키며, 기판정렬시 상기 내측변들과 밀착되도록 하고, 기판정렬 후 반출되기 전에 상기 중앙정렬부재를 회전시켜 상기 내측변들과 밀착을 해제시키는 정렬부재회전이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.As an alignment module that aligns the horizontal positions of the two rectangular substrates in a state in which they are arranged parallel to the horizontal direction after the two rectangular substrates are introduced from the outside,
An alignment chamber forming a closed interior space;
A plurality of substrate support members installed in the alignment chamber to support the two substrates;
It includes an alignment unit that is installed in the alignment chamber to align the horizontal position of the two rectangular substrates supported by the substrate support members,
The alignment portion,
First to fourth alignment parts for pressing in the horizontal direction by at least one of rotation and linear movement at each vertex of the first rectangle formed by the two rectangular substrates;
A central alignment unit including at least one central alignment member supporting inner sides facing each other in the horizontal direction when the two rectangular substrates are pressed by the first to fourth alignment units,
The alignment portion,
The center alignment member is rotated around an axis of rotation perpendicular to the placement direction of the two rectangular substrates, the substrate is aligned with the inner sides, and the center alignment member is rotated before being unloaded after alignment. Alignment module, characterized in that it comprises an alignment member rotation moving portion to release the contact with the inner side.
상기 중앙정렬부재는, 상기 내측변들을 따라서 2n개(n은 1 이상의 자연수)로 설치되며,
상기 정렬부재회전이동부는, 상기 2n개의 중앙정렬부재들을 n개씩 서로 다른 방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.The method according to claim 6,
The central alignment member is installed in 2n pieces (n is a natural number of 1 or more) along the inner sides,
The alignment member rotation moving unit, the alignment module, characterized in that for rotating the 2n of the central alignment members in n different directions.
밀폐된 내부공간을 형성하는 얼라인챔버와;
상기 얼라인챔버에 설치되어 상기 2장의 기판들을 지지하는 복수의 기판지지부재들과;
상기 얼라인챔버에 설치되어 상기 기판지지부재들에 의하여 지지된 2장의 직사각형 기판들의 수평위치를 정렬하는 얼라인부를 포함하며,
상기 2장의 기판들은 서로 평행하며 상하방향으로 높이차를 가지도록 상기 기판지지부재들에 의하여 지지되며,
상기 2장의 직사각형 기판들이 배치방향으로 내측에 위치된 내측변들과 각각 접촉하는 한 쌍의 중앙정렬부재들과;
상기 한 쌍의 중앙정렬부재들이 결합되고 상기 내측변과 평행을 이루는 축을 회전축으로 하여 회전가능하게 설치되는 회전부재와;
정렬시 상기 한 쌍의 중앙정렬부재들이 상기 내측변들과 각각 접촉되며, 정렬 후 기판반출시 상기 한 쌍의 중앙정렬부재들에 의한 기판에 대한 접촉상태를 해제하도록 상기 회전부재를 회전시키는 회전구동부와;
상기 기판의 도입 및 배출시 기판의 상하이동에 따른 상기 한 쌍의 중앙정렬부재들과의 간섭을 방지하기 위하여 상기 한 쌍의 중앙정렬부재들을 기판의 상하이동영역으로부터 후퇴시키는 선형이동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 얼라인모듈.As an alignment module that aligns the horizontal positions of the two rectangular substrates in a state in which they are arranged parallel to the horizontal direction after the two rectangular substrates are introduced from the outside,
An alignment chamber forming a closed interior space;
A plurality of substrate support members installed in the alignment chamber to support the two substrates;
It is installed in the alignment chamber includes an alignment unit for aligning the horizontal position of the two rectangular substrates supported by the substrate support members,
The two substrates are parallel to each other and supported by the substrate support members to have a height difference in the vertical direction,
A pair of central alignment members in which the two rectangular substrates respectively contact the inner sides located inside in the arrangement direction;
A rotating member in which the pair of central alignment members are coupled and rotatably installed with an axis parallel to the inner side as a rotation axis;
When aligning, the pair of central alignment members are in contact with each of the inner sides, and after rotation, the rotation driving unit rotates the rotating member to release contact with the substrate by the pair of central alignment members when the substrate is taken out. Wow;
And a linear moving unit for retracting the pair of central alignment members from the movable region of the substrate to prevent interference with the pair of central alignment members due to the movement of the substrate during introduction and discharge of the substrate. Alignment module, characterized in that.
상기 기판도입단계 후에 상기 2장의 직사각형 기판들의 수평위치를 정렬하는 얼라인단계를 포함하며,
상기 얼라인단계는,
상기 2장의 직사각형 기판들 사이에 하나 이상의 중앙정렬부재를 위치시키는 중앙정렬부재 배치단계와;
상기 2장의 직사각형 기판들이 이루는 제1직사각형의 각 꼭지점에서 수평방향으로 가압하여 상기 2장의 직사각형 기판들이 수평방향으로 서로 마주보는 내측변들과 밀착시키는 가압단계와;
상기 가압단계 후에 상기 2장의 직사각형 기판들에 대한 꼭지점에서의 가압상태를 해제하는 가압해제단계를 포함하며,
상기 가압단계 후 기판의 반출 전에 상기 중앙정렬부재를 상기 내측변들 사이로부터 후퇴시키는 중앙정렬부재후퇴단계를 포함하는 기판얼라인방법.A substrate introduction step in which two rectangular substrates are introduced from the outside and the two rectangular substrates are arranged in parallel in the horizontal direction;
And an alignment step of aligning the horizontal positions of the two rectangular substrates after the substrate introduction step,
The alignment step,
A center alignment member placement step of positioning at least one center alignment member between the two rectangular substrates;
A pressing step of pressing in the horizontal direction at each vertex of the first rectangle formed by the two rectangular substrates and bringing the two rectangular substrates into close contact with the inner sides facing each other in the horizontal direction;
And a pressing release step for releasing the pressing state at the vertex of the two rectangular substrates after the pressing step,
And a center aligning member retracting step of retreating the center aligning member from among the inner sides before the substrate is taken out after the pressing step.
상기 가압해제단계는, 상기 중앙정렬부재후퇴단계 후에 수행되는 것을 특징으로 하는 기판얼라인방법.The method according to claim 9,
The pressure release step, the substrate alignment method, characterized in that is performed after the center alignment member retreat step.
상기 기판도입단계 후에 상기 2장의 직사각형 기판들의 수평위치를 정렬하는 얼라인단계를 포함하며,
상기 얼라인단계는,
상기 2장의 직사각형 기판들 사이에 하나 이상의 중앙정렬부재를 위치시키는 중앙정렬부재 배치단계와;
상기 2장의 직사각형 기판들이 이루는 제1직사각형의 각 꼭지점에서 수평방향으로 가압하여 상기 2장의 직사각형 기판들이 수평방향으로 서로 마주보는 내측변들과 밀착시키는 가압단계와;
상기 가압단계 후에 상기 2장의 직사각형 기판들에 대한 꼭지점에서의 가압상태를 해제하는 가압해제단계를 포함하며,
상기 중앙정렬부재는, 상기 2장의 직사각형 기판들의 배치방향과 수직을 이루는 회전축을 중심으로 회전가능하게 설치되고, 상기 중앙정렬부재는, 상기 가압단계에서 회전되어 상기 내측변들과 밀착되며,
상기 가압단계 후 기판의 반출 전에 회전되어 상기 내측변들과의 밀착을 해제시키는 밀착해제단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판얼라인방법.A substrate introduction step in which two rectangular substrates are introduced from the outside and the two rectangular substrates are arranged in parallel in the horizontal direction;
And an alignment step of aligning the horizontal positions of the two rectangular substrates after the substrate introduction step,
The alignment step,
A center alignment member placement step of positioning at least one center alignment member between the two rectangular substrates;
A pressing step of pressing in the horizontal direction at each vertex of the first rectangle formed by the two rectangular substrates and bringing the two rectangular substrates into close contact with the inner sides facing each other in the horizontal direction;
And a pressing release step for releasing the pressing state at the vertex of the two rectangular substrates after the pressing step,
The central alignment member is rotatably installed around a rotation axis that is perpendicular to the arrangement direction of the two rectangular substrates, and the central alignment member is rotated in the pressing step to be in close contact with the inner sides,
After the pressing step is rotated before the substrate is taken out of the substrate alignment method, characterized in that it comprises a release step of releasing the contact with the inner side.
상기 중앙정렬부재는, 상기 내측변들을 따라서 2n개(n은 1 이상의 자연수)로 설치되며,
상기 밀착해제단계는, 상기 2n개의 중앙정렬부재들을 n개씩 서로 다른 방향으로 회전시키는 것을 특징으로 하는 기판얼라인방법.The method according to claim 13,
The central alignment member is installed in 2n pieces (n is a natural number of 1 or more) along the inner sides,
In the step of releasing the adhesion, the substrate alignment method is characterized in that the 2n central alignment members are rotated in n different directions.
상기 가압해제단계는, 상기 밀착해제단계 후에 수행되는 것을 특징으로 하는 기판얼라인방법.The method according to claim 13 or claim 14,
The pressure release step, the substrate alignment method, characterized in that is performed after the adhesion release step.
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