KR102122790B1 - 부분 금속 필름을 포함하는 다중층이 구비된 기판, 글레이징 유닛 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기능성 금속 필름(140)이 50% 내지 90% 또는 심지어 53% 내지 83%로 이루어진 표면 덮음 정도를 제공하는 불연속 필름인 것을 특징으로 하는, 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 적어도 하나의 기능성 금속 필름 (140) 및 적어도 2개의 반사방지 코팅(120, 160)을 포함하고 상기 반사방지 코팅 각각은 적어도 하나의 반사방지 층(124, 164)을 포함하고 상기 기능성 필름(140)이 두 반사방지 코팅(120, 160) 사이에 놓이는 것인, 얇은 필름 다중층(34)으로 한 면(31)이 코팅된 기판(30)에 관한 것이다.

Description

부분 금속 필름을 포함하는 다중층이 구비된 기판, 글레이징 유닛 및 방법 {SUBSTRATE EQUIPPED WITH A MULTILAYER COMPRISING A PARTIAL METAL FILM, GLAZING UNIT AND PROCESS}
본 발명은 태양 복사 및/또는 장파장 적외 복사에 작용할 수 있는 하나 이상의 기능성 층을 포함하는 얇은 필름들의 다중층으로 코팅된, 특히 강직성 광물 물질, 예컨대 유리로 제조된 투명 기판에 관한 것이다.
더 구체적으로, 본 발명은 기능성 층 또는 각 기능성 층이 두 반사방지 코팅 사이에 배치되는 방식으로 "n"개의 금속 기능성 층, 특히 은을 기재로 하거나 또는 은 함유 금속 합금을 기재로 하는 기능성 층 및 "(n+1)"개의 반사방지 코팅의 교번을 포함하는 얇은 필름들의 다중층을 갖는 기판, 특히 투명 유리 기판에 관한 것이다 (여기서, n은 ≥ 1의 정수임). 각 반사방지 코팅은 적어도 하나의 반사방지 층을 포함하고, 각 코팅은 바람직하게는 다수의 층으로 이루어지고, 그 중 적어도 하나의 층 또는 심지어 각 층이 반사방지 층이다. 여기서, 반사방지 층의 개념은 유전층의 개념과 동의어이고; 유전층의 개념은 특히, 금속 본성 때문에 유전체일 수 없는 금속 기능성 층의 개념과 대조적으로 사용된다.
더 구체적으로, 본 발명은 단열 및/또는 태양 보호 글레이징 유닛을 제작하기 위한 이러한 기판의 용도에 관한 것이다. 이 글레이징 유닛은 특히 건물 및 차량 탑승칸에서 공기 조화 부하를 감소시키고/감소시키거나 지나친 과열을 방지하고/방지하거나 ("태양 제어 패널"이라고 불리는 글레이징 유닛) 글레이징을 끼운 표면의 계속 증가하는 영역에 의해 추진되는 외부 쪽으로 소산되는 에너지 양을 감소시키는 ("저방출 패널"이라고 불리는 글레이징 유닛) 것을 목적으로 건물 및 차량 둘 모두에 설비되도록 설계될 수 있다.
이 기판은 특히 전자 장치에 통합될 수 있고, 그러면, 다중층이 전류 전도를 위한 전극으로 이용될 수 있거나 (조명 장치, 디스플레이 장치, 광기전 패널, 전기변색 유리 패널 등), 또는 특별한 기능을 갖는 글레이징 유닛, 예컨대, 예를 들어 난방 유리 패널에 통합될 수 있다.
기판에 이러한 성질을 부여하는 것으로 알려진 다중층 구조의 한 유형은 적외선에서 및/또는 태양 복사에서 반사 성질을 갖는 금속 기능성 층, 특히, 은 또는 은 함유 금속 합금을 기재로 하거나 또는 완전히 은으로 제조된 금속 기능성 층으로 이루어진다.
이렇게 해서, 이 유형의 다중층에서 기능성 층은 두 유전체 반사방지 코팅 사이에 배치되고, 각 유전체 반사방지 코팅은 일반적으로 각 층이 질화물 유형 및 특히, 규소 또는 알루미늄 질화물 또는 산화물의 반사방지 물질로 이루어지는 여러 층을 포함한다.
그러나, 때때로 배리어 코팅이 반사방지 코팅 또는 각 반사방지 코팅과 금속 기능성 층 사이에 삽입되고, 기판의 방향으로 기능성 층 아래에 배치되는 배리어 코팅은 형성 및/또는 침지 코팅 유형의 고온에서의 가능한 열 처리 동안에 기능성 층을 보호하고, 기판으로부터의 반대측에 기능성 층 위에 배치되는 배리어 코팅은 상부 반사방지 코팅의 침착 동안에 및 형성 및/또는 침지 코팅 유형의 고온에서의 잠재적 열 처리 동안에 가능한 열화로부터 이 층을 보호한다.
현재, 일반적으로, 각 금속 기능성 층이 완전한 층인 것이 요망되고, 다시 말해서, 그의 표면적 전체에 걸쳐서 및 그의 전체 두께에 걸쳐서 문제의 금속 물질로 이루어지는 것이 요망된다.
관련 분야 기술자는 어떤 주어진 물질 (예를 들어, 은)의 경우 이 물질의 통상의 침착 조건 하에서는 어느 일정 두께를 넘어야만 완전한 층이 얻어진다고 여긴다.
완전한 은층과 반사방지 층 사이의 접착 에너지는 약 1 J/㎡ 정도로 매우 낮고, 두 반사방지 층 사이의 접착 에너지는 은과 또 다른 층 사이의 접착 에너지보다 5 내지 9 배 높다. 따라서, 적어도 하나의 은 기능성 층 또는 은을 기재로 하는 기능성 층을 포함하는 다중층의 접착 에너지는 완전한 금속 기능성 층과 다른 물질의 이 낮은 접착 에너지에 의해 제한된다.
본 발명자들은 단일의 금속 기능성 층에 대해 또는 여러 개의 금속 기능성 층이 있는 경우에는 이들 모든 금속 기능성 층에 대해 문제의 조건 하에서 완전한 층을 얻기 위해 요구되는 최소 두께 미만의 두께를 갖는 하나 이상의 금속 기능성 층을 갖는 얇은 필름들의 다중층을 침착시킬 수 있는 가능성을 숙고하였다.
이렇게 해서, 본 발명자들은 명백한 이유 때문에 이 다중층의 저항/□이 하나 이상의 완전한 기능성 층(들)을 갖는 동일한 다중층보다 높았지만, 그럼에도 불구하고 이 저항/□이 일부 응용을 가능하게 할 수 있다는 것을 관찰하였다.
무엇보다도, 그 다음, 본 발명자들은 다중층의 접착 에너지가 이론 모델이 예측한 것보다 더 높다는 것을 관찰하였다.
그 다음, 본 발명자들은 불연속인 단일의 금속 기능성 층을 포함하는 다중층의 경우 및 또한, 모든 금속 기능성 층이 불연속인 여러 개의 금속 기능성 층을 포함하는 다중층의 경우, 매우 높은 기계적 내성 및 심지어, 더 놀라운 것은, 매우 높은 화학적 내성을 얻을 수 있다는 것을 관찰하였다.
게다가, 본 발명자들은 이렇게 해서 형성된 다중층이 투명하고 흐림 또는 표면 부식이 없고 투과 및 반사 둘 모두에서 색을 가지고, 이것이 완전한 금속 기능성 층(들)을 갖는 다중층으로 얻어지는 것과 유사할 수 있다는 것을 관찰하였다.
마지막으로, 본 발명자들은 비록 다중층으로 코팅된 기판이 형성, 침지 코팅 또는 어닐링을 위한 열 처리를 거칠지라도 기계적 및 화학적 내성의 이 우수한 성질들이 보존된다는 것을 발견하였다.
이렇게 해서, 이 관찰은 금속 기능성 층 또는 각 금속 기능성 층이 상대적으로 높은 저항/□ (예를 들어, 10 Ω/□ 초과)을 나타내는 것이 허용되는 응용 및 기계적 내성 또는 심지어 때로는 화학적 내성에 유리한 효과를 갖는 높은 접착 에너지가 큰 이점인 응용에 이 유형의 다중층을 이용하는 길을 열어준다.
그렇다면, 상기 예의 틀 안에서, 사실상, 다중층의 하나의 기능성 층, 일부 기능성 층 또는 모든 기능성 층이 완전한 경우보다 더 높은 저항/□을 나타내지만, 특히 내성이 있고, 그래서 기후 조건이 심각한 제약을 부과하는 영역에서 이용될 수 있는 얇은 필름들의 다중층을 형성하는 것이 가능하다.
이렇게 해서, 본 발명의 가장 넓은 의미에서, 본 발명의 대상은 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 적어도 하나의 금속 기능성 층 및 적어도 2개의 반사방지 코팅을 포함하고, 상기 반사방지 코팅 각각은 적어도 하나의 반사방지 층을 포함하고, 상기 기능성 층은 두 반사방지 코팅 사이에 배치되는 얇은 필름들의 다중층으로 한 면이 코팅된 기판이고, 이 기판은 상기 금속 기능성 층 (다시 말해서, 다중층이 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 단일의 금속 기능성 층을 포함할 때 다중층의 유일한 금속 기능성 층) 또는 각 금속 기능성 층 (다시 말해서, 다중층이 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 여러 개의 금속 기능성 층을 포함할 때 다중층의 모든 금속 기능성 층)이 50% 내지 98%, 또는 53% 내지 83%, 또는 심지어 63% 내지 83% 범위의 표면적 점유율을 나타내는 불연속 층이다.
본 발명에 따르면, 이렇게 해서 침착된 기능성 층, 또는 이렇게 해서 침착된 각 기능성 층은 섬(island) 사이에 덮이지 않은 영역을 갖는 상호연결된 섬의 형태의 구조화를 갖는 자가 구조화된 층이다.
다중층의 유일한 금속 기능성 층일 때는 금속 기능성 층 또는 다중층에 여러 개의 금속 기능성 층이 있을 때는 각 금속 기능성 층이 연속이 아니기 때문에, 이것은 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 금속 기능성 층 또는 각 금속 기능성 층을 둘러싸는 층들 사이에 직접적인 접촉이 존재하는 것을 허용한다. 이 영역들은 강한 접착성을 가진다. 또한, 가장 약한 계면, 따라서 은과 인접 층 사이의 계면에서 발달되는 어떠한 잠재적 균열도 진행하기 위해 두 반사방지 층 사이에서 전파할 필요가 있을 것이고, 이것은 더 높은 에너지를 요구한다. 따라서, 바로 이 방식으로 다중층의 전체 접착 에너지가 상당히 개선되는 것이다.
얇은 필름들의 다중층이 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 연속 금속 기능성 층을 전혀 포함하지 않는 것이 중요한데, 왜냐하면 적어도 하나의 이러한 연속 층의 존재는 이 연속 금속 기능성 층 또는 각 연속 금속 기능성 층의 두 계면에서 접착 에너지를 감소시키고, 따라서 "가장 약한 링크" 현상에 의해 다중층 전체의 내성 성질을 감소시키기 때문이다.
본 발명의 의미에서, "불연속 층"은 본 발명에 따르는 다중층의 표면 상에서 어떠한 주어진 치수의 정사각형을 고려할 때, 그렇다면 이 정사각형 내에서 불연속 기능성 층이 정사각형의 표면의 50% 내지 98%, 또는 정사각형의 표면의 53% 내지 83%, 또는 심지어 63% 내지 83%에 존재하는 것을 의미하는 것임을 이해해야 한다.
문제의 정사각형은 코팅의 주된 부분 내에 위치하고; 본 발명의 틀 안에서, 그 사상은 최종 용도를 위해 나중에 감춰질 특별한 가장자리 또는 특별한 윤곽을 형성하는 것이 아니다.
불연속성은 통상의 기술에 의해 유한한 저항/□을 측정하는 것이 가능하도록 하는 것이다. 이렇게 해서, 그것은 층을 구성하는 금속 물질의 클러스터가 이 물질이 전적으로 없는 부피에 의해 분리되지만 함께 연결되는 불연속 기능성 층 (또는 각 불연속 기능성 층)을 얻는 문제이다.
본 발명에 따르면, 기능성 층(들)을 갖는 이 유형의 자가구조화된 다중층은 연속 기능성 층(들)을 갖는 다중층에 대해서 더 높은 접착 에너지를 가지고, 그의 광학적 성질 (빛 투과율, 빛 반사율 및 방출률)은 감소되지만 약 20% 내지 30%의 방출률 수준이 적당할 수 있는 일부 특정 응용 (주로, 따뜻한 또는 온대 기후를 갖는 지역)에서는 여전히 허용되는 범위 내이다.
본 발명의 의미에서, "코팅"은 코팅 내부에 오직 하나의 층 또는 상이한 물질의 여러 층이 있을 수 있음을 의미한다는 것을 이해해야 한다.
"다중층"이라는 용어는 광물 (예컨대 유리) 또는 유기 (예컨대 플라스틱 물질 시트) 기판을 층들 사이에 삽입하지 않은 차곡차곡 쌓이게 침착된 얇은 필름의 세트임을 의미한다는 것을 이해해야 한다.
통상적으로, "어떤 물질을 기재로 하는 층"은 층이 이 물질, 다시 말해서 그 물질의 화학 원소로 주로 이루어지거나, 또는 잠재적으로, 안정한 화학량론적 화학식의 문제의 물질의 생성물이 원자 백분율로 문제의 층의 적어도 50%를 구성함을 의미한다는 것을 이해해야 한다.
또한, 통상적으로, 본 발명의 의미에서, "반사방지 층"은 그의 본성의 관점에서 물질이 "비금속"임을, 다시 말해서, 금속이 아님을 의미한다는 것을 이해해야 한다. 본 발명의 맥락에서, 이 용어는 전체 가시파장 범위 (380 ㎚ 내지 780 ㎚)에 걸쳐서 5 이상의 n/k 비를 갖는 물질을 나타낸다.
n은 주어진 파장에서 물질의 실수 굴절률을 나타내고, k는 주어진 파장에서 굴절률의 허수부를 나타내고, n/k 비는 주어진 파장에서 계산된다는 것을 상기한다.
본 문서에서 나타내는 굴절률의 값은 550 ㎚의 파장에서 통상적으로 측정되는 값이다.
본 발명에 따르면, 상기 불연속 금속 기능성 층 또는 각 불연속 금속 기능성 층은 다음 두께 e를 가질 수 있다:
- 이산화티타늄 TiO2를 기재로 하는 층 상에 침착시, 1.0 ≤ e ≤ 4.5 ㎚, 또는 심지어 1.0 ≤ e ≤ 4.0 ㎚; 또는 2.0 ≤ e ≤ 4.5 ㎚, 또는 2.0 ≤ e ≤ 4.0 ㎚, 또는
- 아연 및 주석 산화물 SnZnOx를 기재로 하는 층 상에 침착시, 1.0 ≤ e ≤ 4.5 ㎚, 또는 심지어 1.0 ≤ e ≤ 4.0 ㎚; 또는 2.0 ≤ e ≤ 4.5 ㎚, 또는 심지어 2.0 ≤ e ≤ 4.0 ㎚, 또는
- 아연 산화물 ZnO를 기재로 하는 층 상에 침착시, 1.0 ≤ e ≤ 5.0 ㎚, 또는 심지어 1.0 ≤ e ≤ 4.5 ㎚; 또는 2.0 ≤ e ≤ 5.0 ㎚, 또는 심지어 2.0 ≤ e ≤ 4.5 ㎚, 또는
- 규소 질화물 Si3N4를 기재로 하는 층 상에 침착시, 1.0 ≤ e ≤ 7.0 ㎚, 또는 심지어 1.0 ≤ e ≤ 6.0 ㎚; 또는 2.0 ≤ e ≤ 7.0 ㎚, 또는 심지어 2.0 ≤ e ≤ 6.0 ㎚, 또는
- 니켈을 기재로 하는 층 상에 침착시, 1.0 ≤ e ≤ 5.0 ㎚, 또는 심지어 1.0 ≤ e ≤ 4.0 ㎚; 또는 2.0 ≤ e ≤ 5.0 ㎚, 또는 심지어 2.0 ≤ e ≤ 4.0 ㎚.
바람직하게는, 본 발명에 따르는 다중층은 기판의 면 바로 위에 침착된다.
단일의 불연속 금속 기능성 층을 포함하는 본 발명에 따르는 다중층의 경우,
- 본 발명의 한 특별한 버전에서, 그 면과 상기 금속 기능성 층 사이에 배치되는 상기 반사방지 코팅은 1.8 내지 2.2 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 중간 굴절률 반사방지 층을 포함하고, 이 중간 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 산화물을 기재로 한다. 이 중간 굴절률 반사방지 층은 5 내지 35 ㎚ 범위의 물리적 두께를 가질 수 있다.
- 게다가, 상기 금속 기능성 층 아래에 배치되는 상기 반사방지 코팅이 2.3 내지 2.7 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조되는 고 굴절률 반사방지 층을 포함하는 것이 가능하고, 이 고 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 산화물을 기재로 하고/하거나 이 고 굴절률 반사방지 층이 바람직하게는 5 내지 25 ㎚ 범위의 물리적 두께를 가진다.
- 본 발명의 또 다른 특별한 버전에서, 그 면으로부터의 반대측에 상기 금속 기능성 층 위에 배치되는 상기 반사방지 코팅은 1.8 내지 2.2 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 중간 굴절률 반사방지 층을 포함하고, 이 중간 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 산화물을 기재로 한다. 이 중간 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 5 내지 35 ㎚ 범위의 물리적 두께를 가진다.
게다가, 상기 금속 기능성 층 위에 배치되는 상기 반사방지 코팅이 2.3 내지 2.7 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 고 굴절률 반사방지 층을 포함하는 것이 가능하고, 이 고 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 산화물을 기재로 하고/하거나 이 고 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 5 내지 25 ㎚ 범위의 물리적 두께를 가진다. 상기 다중층은 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 오직 2개의 불연속 금속 기능성 층 및 3개의 반사방지 코팅을 포함할 수 있고, 각 금속 기능성 층은 두 반사방지 코팅 사이에 배치된다.
상기 다중층은 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 오직 3개의 불연속 금속 기능성 층 및 4개의 반사방지 코팅을 포함할 수 있고, 각 불연속 금속 기능성 층은 두 반사방지 코팅 사이에 배치된다.
여러 개의 불연속 금속 기능성 층을 포함하는 본 발명에 따르는 다중층의 경우,
- 본 발명의 한 특별한 버전에서, 그 면과 첫 번째 금속 기능성 층 사이에 또는 각 금속 기능성 층 아래에 배치되는 상기 반사방지 코팅은 1.8 내지 2.2 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 중간 굴절률 반사방지 층을 포함하고, 이 중간 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 산화물을 기재로 한다. 이 중간 굴절률 반사방지 층은 5 내지 35 ㎚ 범위의 물리적 두께를 가질 수 있다.
- 게다가, 첫 번째 금속 기능성 층 아래에 또는 각 금속 기능성 층 아래에 배치되는 상기 반사방지 코팅이 2.3 내지 2.7 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조되는 고 굴절률 반사방지 층을 포함하는 것이 가능하고, 이 고 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 산화물을 기재로 하고/하거나 이 고 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 5 내지 25 ㎚ 범위의 물리적 두께를 가진다.
- 본 발명의 또 다른 특별한 버전에서, 그 면으로부터의 반대측에 마지막 금속 기능성 층 위에 또는 각 금속 기능성 층 위에 배치되는 상기 반사방지 코팅은 1.8 내지 2.2 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 중간 굴절률 반사방지 층을 포함하고, 이 중간 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 산화물을 기재로 한다. 이 중간 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 5 내지 35 ㎚ 범위의 물리적 두께를 가진다.
- 게다가, 마지막 금속 기능성 층 위에 또는 각 금속 기능성 층 위에 배치되는 상기 반사방지 코팅이 2.3 내지 2.7 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 고 굴절률 반사방지 층을 포함하는 것이 가능하고, 이 고 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 산화물을 기재로 하고/하거나 이 고 굴절률 반사방지 층은 바람직하게는 5 내지 25 ㎚ 범위의 물리적 두께를 가진다.
본 발명의 또 다른 특별한 버전에서는, 적어도 하나의 기능성 층이 기능성 층과 기능성 층 아래에 있는 반사방지 코팅 사이에 배치되는 배리어 하부코트 바로 위에 침착되고/침착되거나, 적어도 하나의 기능성 층이 기능성 층과 기능성 층 위에 있는 반사방지 코팅 사이에 배치되는 배리어 상부코트 바로 아래에 침착되고/침착되거나, 배리어 하부코트 및/또는 배리어 상부코트가 0.2 ㎚ ≤ e' ≤ 2.5 ㎚이도록 하는 물리적 두께 e'을 갖는 니켈 또는 티타늄을 기재로 하는 얇은 층을 포함한다.
기판으로부터 가장 먼 층인, 상부 반사방지 코팅의 마지막 층은 산화물을 기재로 할 수 있고, 게다가, 바람직하게는 아화학량론적으로 침착되고; 그것은 특히 이산화티타늄 (TiOx)을 기재로 할 수 있거나 또는 아연 및 주석의 혼합 산화물 (SnzZnyOx)을 기재로 할 수 있다.
이렇게 해서, 다중층은 바람직하게는 아화학량론적으로 침착되는 최종 층 (또는 "상부코트"), 다시 말해서 보호층을 포함할 수 있다. 이 층은 침착 후 결국에는 다중층에서 대개는 화학량론적으로 산화된다.
게다가, 본 발명은 두 기판 사이에 적어도 하나의 기체 분리 계면이 배치되고, 기판이 본 발명에 따르는 것인, 섀시 구조에 의해 함께 유지되는 적어도 2개의 기판을 포함하는 다중 글레이징 유닛에 관한 것이고, 상기 글레이징 유닛은 외부 공간과 내부 공간 사이에 분리를 형성한다.
한 특별한 변형예에서, 본 발명에 따르는 다중층은 글레이징 유닛의 면(4) 상에 위치한다.
본 발명에 따르는 글레이징 유닛은 궁극적으로는 적어도 하나의 다른 기판과 결합되는, 본 발명에 따르는 다중층을 담지하는 기판을 적어도 포함한다. 각 기판은 맑거나 또는 착색될 수 있다. 특히, 기판 중 적어도 하나는 벌크 착색된 유리로 제조될 수 있다. 착색 유형의 선택은 일단 글레이징 유닛이 제조되면 글레이징 유닛에 추구되는 빛 투과율 수준 및/또는 추구되는 측색적 측면에 의존할 것이다.
본 발명에 따르는 글레이징 유닛은 유리/얇은 필름들의 다중층/시트(들)/유리/유리 유형 시트의 구조를 얻도록 특히 적어도 2개의 유리 유형 강직성 기판을 적어도 하나의 열가소성 중합체 시트를 통해 결합시킨 적층된 구조를 가질 수 있다. 중합체는 특히 폴리비닐부티랄 PVB, 에틸렌 비닐아세테이트 EVA, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 PET, 폴리비닐 클로라이드 PVC를 기재로 할 수 있다.
게다가, 본 발명은 얇은 필름들의 다중층으로 코팅된 기판 및 특히, 본 발명에 따르는 기판을 형성하기 위한 금속 기능성 층 (다시 말해서, 다중층이 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 단일의 금속 기능성 층을 포함할 때 다중층의 유일한 금속 기능성 층) 또는 각 금속 기능성 층 (다시 말해서, 다중층이 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 여러 개의 금속 기능성 층을 포함할 때 다중층의 모든 금속 기능성 층)이 50% 내지 98%, 또는 53% 내지 83%, 또는 심지어 63% 내지 83% 범위의 표면적 점유율을 나타내는 불연속 층인 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 적어도 하나의 금속 기능성 층 및 적어도 2개의 반사방지 코팅의 용도에 관한 것이다.
게다가, 본 발명은 얇은 필름들의 다중층으로 코팅된 기판 및 특히, 본 발명에 따르는 기판을 형성하기 위해 금속 기능성 층 (다시 말해서, 다중층이 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 단일의 금속 기능성 층을 포함할 때 다중층의 유일한 금속 기능성 층) 또는 각 금속 기능성 층 (다시 말해서, 다중층이 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 여러 개의 금속 기능성 층을 포함할 때 다중층의 모든 금속 기능성 층)이 50% 내지 98%, 또는 53% 내지 83%, 또는 심지어 63% 내지 83% 범위의 표면적 점유율을 나타내는 불연속 층인 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 적어도 하나의 금속 기능성 층 및 적어도 2개의 반사방지 코팅을 침착시키는 방법에 관한 것이다.
유리하게, 이렇게 해서 본 발명은 투명 기판 상에 침착될 때 > 50%의 가시광선에서의 빛 투과율 TL 및 20% 미만의 가시광선에서의 빛 반사율 RL (다중층 측에서)을 가지고 투과에서 및 반사에서 상대적으로 중성색을 가지며, 동시에 기판 단독의 방출률보다 낮은 방출률을 나타내는, 단일의 기능성 층을 갖는 얇은 필름들의 다중층을 형성하는 것을 허용한다.
유리하게, 이렇게 해서 본 발명은 다중층이 높은 기계적 내성 및/또는 높은 화학적 내성을 나타내도록 다중층의 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 모든 금속 기능성 층이 불연속인 1개, 2개, 3개, 4개 또는 그 초과의 금속 기능성 층(들)을 갖는 얇은 필름들의 다중층을 형성하는 것을 허용한다.
본 발명의 세부사항 및 이점은 첨부된 도면을 이용해서 예시되는 다음 비제한 예로부터 명백해질 것이다.
도 1은 불연속 기능성 층이 배리어 하부코트 바로 위에 및 배리어 상부코트 바로 아래에 침착된 본 발명에 따르는 단일의 기능성 층을 갖는 다중층을 나타낸 도면이고;
도 2는 도 1에 따르는 단일의 기능성 층을 갖는 다중층을 포함하는 이중 글레이징 솔루션(solution)을 나타낸 도면이고;
도 3은 왼쪽에서부터 오른쪽으로 53% 내지 98%의 표면적 점유율을 갖는 은 기능성 층의 이원 TEM 이미지를 나타낸 도면이고;
도 4는 도 3의 네 가지 경우의 불연속 층에 대해 측정한 접착 에너지 Ad (J/㎡)를 동일한 이 네 가지 경우의 모델에 따르는 이론값 Gm과 비교해서 은 표면의 분율 ("은 표면 분율" 또는 SSF), 다시 말해서 표면적 점유율의 함수로서 나타낸 도면이고;
도 5는 흑색 삼각형을 이용하여 Z 유형의 얇은 필름들의 다중층의 가시광선에서의 빛 투과율 TL 및 흑색 직사각형을 이용하여 가시광선에서의 빛 반사율 RL을 은층의 두께 e의 함수로서 나타낸 도면이고;
도 6은 다중층이 없는 기판 단독의 방출률과 함께, 흑색 역삼각형을 이용하여 Z 유형의 얇은 필름들의 다중층의 이론 방출률 및 흑색 점을 이용하여 측정 방출률을 은층의 두께 e의 함수로서 나타낸 도면이고;
도 7은 흑색 다이아몬드를 이용하여 1.0 내지 8.0 ㎚의 구배에서 은층의 두께 e의 함수로서 Y 유형의 얇은 필름들의 다중층 및 흑색 정사각형을 이용하여 0.0 내지 2.0 ㎚의 구배에서 은층의 두께 e의 함수로서 Y 유형의 얇은 필름들의 다중층의 가시광선에서의 빛 투과율 TL을 나타낸 도면이고;
도 8은 흑색 다이아몬드를 이용하여 1.0 내지 8.0 ㎚의 구배에서 은층의 두께 e의 함수로서 Y 유형의 얇은 필름들의 다중층 및 흑색 정사각형을 이용하여 0.0 내지 2.0 ㎚의 구배에서 은층의 두께 e의 함수로서 Y 유형의 얇은 필름들의 다중층의 적외선에서의 빛 흡수율 Abs을 나타낸 도면이고;
도 9는 흑색 다이아몬드를 이용하여 1.0 내지 8.0 ㎚의 구배에서 은층의 두께 e의 함수로서 Y 유형의 얇은 필름들의 다중층 및 흑색 정사각형을 이용하여 0.0 내지 2.0 ㎚의 구배에서 은층의 두께 e의 함수로서 Y 유형의 얇은 필름들의 다중층의 가시광선에서의 빛 반사율 RL을 나타낸 도면이고;
도 10은 파장 λ의 함수로서 및 은층의 두께 e의 함수로서 Y 유형의 얇은 필름들의 다중층의 흡수 스펙트럼을 나타낸 도면이고;
도 11은 실시예 1 내지 4의 다중층의 저항/□ (Ω/□) R을 은층의 두께의 함수로서 나타낸 도면이고;
도 12는 실시예 1 내지 4의 다중층의 적외선 흡수율 Ab을 은층의 두께의 함수로서 나타낸 도면이고;
도 13은 실시예 1 내지 4의 다중층의 Lab 다이어그램에서의 투과에서의 색 Ct을 은층의 두께의 함수로서 나타낸 도면이고;
도 14는 실시예 1 내지 4의 다중층의 다중층측에서 Lab 다이어그램에서의 반사에서의 색 Cr을 은층의 두께의 함수로서 나타낸 도면이고;
도 15는 실시예 6의 가시광선에서의 빛 투과율 TL (점선) 및 가시광선에서의 빛 반사율 RL (실선)을 은층의 두께 e의 함수로서 나타낸 도면이고;
도 16은 실시예 6의 적외선에서의 흡수율을 은층의 두께 e의 함수로서 나타낸 도면이고;
도 17은 실시예 6의 방출률 (점선) 및 저항/□ (실선)을 은층의 두께 e의 함수로서 나타낸 도면이고;
도 18은 2개의 불연속 기능성 층 각각이 반사방지 코팅 바로 위에 및 반사방지 코팅 바로 아래에 침착된, 본 발명에 따르는 2개의 기능성 층을 갖는 다중층을 나타낸 도면이고;
도 19는 3개의 불연속 기능성 층 각각이 반사방지 코팅 바로 위에 및 반사방지 코팅 바로 아래에 침착된, 본 발명에 따르는 3개의 기능성 층을 갖는 다중층을 나타낸 도면이다.
도 1, 2, 18 및 19에서는 다양한 층 또는 다양한 요소의 두께 사이의 비율이 그것들을 읽는 것을 용이하게 하기 위해 엄격하게 고수되지는 않는다.
도 1은 은을 기재로 하거나 또는 은을 함유하는 금속 합금을 기재로 하는 및 바람직하게는 은으로만 제조된 단일의 기능성 층(140)이 두 반사방지 코팅, 즉, 기판(30)의 방향으로 기능성 층(140) 아래에 위치하는 하부 반사방지 코팅(120)과 기판(30)으로부터의 반대측에 기능성 층(140) 위에 배치되는 상부 반사방지 코팅(160) 사이에 배치되는, 투명 유리 기판(30) 상에 및 더 정확하게는, 이 기판(30)의 면(31) 상에 침착된 본 발명에 따르는 단일의 기능성 층을 갖는 다중층(34)의 구조를 도시한다.
이 두 반사방지 코팅(120, 160)은 각각 적어도 하나의 반사방지 층(124, 164)을 포함한다.
잠재적으로, 한편으로, 기능성 층(140)은 하부 반사방지 코팅(120)과 기능성 층(140) 사이에 배치되는 배리어 하부코트(130) 바로 위에 침착될 수 있고, 다른 한편으로, 기능성 층(140)은 기능성 층(140)과 상부 반사방지 코팅(160) 사이에 배치되는 배리어 상부코트(150) 바로 아래에 침착될 수 있다.
배리어 하층 및/또는 상층은 금속 형태로 침착되고 금속층인 것으로 나타내지만, 그의 주 기능이 기능성 층을 보호하기 위해 다중층의 침착 과정에서 산화되는 것이기 때문에 실제로는 산화된 층이다.
이 반사방지 코팅(160)은 특히, 산화물, 특히 아화학량론적으로 산소를 갖는 산화물을 기재로 하는 임의의 보호층(168)으로 끝날 수 있다.
단일의 기능성 층을 갖는 다중층이 도 2에 도시된 바와 같이 이중 글레이징 구조를 갖는 다중 글레이징 유닛(100)에 이용될 때, 이 글레이징 유닛은 섀시 구조(90)에 의해 함께 유지되고 기체 분리 계면(15)에 의해 서로 분리된 2개의 기판(10, 30)을 포함한다.
이렇게 해서, 글레이징 유닛은 외부 공간(ES)과 내부 공간(IS) 사이에 분리를 형성한다.
높은 기계적 내성 때문에, 본 발명에 따르는 다중층은 면(4) 상에 (건물에 들어가는 햇빛의 입사 방향을 고려할 때 건물의 가장 안쪽 시트 상에 및 내부에 향하는 그의 면 상에) 위치할 수 있다.
도 2는 외부 공간(ES)과 접촉하는 기판(30)의 외부 면(31) 상에 위치하는 얇은 필름들의 다중층(34)의 면(4) 상에서의 이 위치설정 (건물에 들어가는 햇빛의 입사 방향은 이중 화살표로 도시됨)을 도시하고, 기판(30)의 다른 면(29)은 기체 분리 계면(15)과 접촉한다.
그러나, 또한, 이 이중 글레이징 구조에서 기판 중 하나가 적층된 구조를 갖는 것을 예상할 수 있지만, 이러한 구조에는 기체 분리 계면이 없기 때문에 혼동 가능성은 없다.
제1 단계로서, 착수된 연구는 기판/ZnO/Ag/ZnO 구조를 가지고 각 ZnO 층이 10 ㎚의 두께를 갖는 Z 유형의 다중층과 관련되고, 그 다음에는 기판/ZnO/Ag/ZnO 구조를 가지고 각 ZnO 층이 5 ㎚의 두께를 갖는 Y 유형의 다중층과 관련되고, 그 다음에는 불연속 층을 포함하기 위해서 다양한 물질을 시험하기 위해 5 개 실시예의 시리즈를 실시하였고, 마지막으로, 완전한 다중층의 하나의 실시예를 실시하였다.
이하에서 모든 다중층의 층의 침착 조건은 다음과 같다:
Figure 112015058967465-pct00001
이렇게 해서, 침착된 층은 세 범주로 분류될 수 있다:
i- 전체 가시 파장 범위에서 5 초과의 n/k 비를 나타내는 유전체/반사방지 물질 층: Si3N4:Al, TiOx, TiO2, ZnO, SnZnOx
ii- 적외선에서 및/또는 태양 복사에서 반사 성질을 갖는 물질의 금속 기능성 층: Ag
iii- 다중층 침착 동안 기능성 층의 본성의 변경에 대비하여 기능성 층을 보호하도록 설계된 배리어 하층 및 상층: Ni, NiCr; 그의 두께가 미미할 때 (2 ㎚ 이하일 때)는 광학적 및 에너지 성질에 대한 그의 영향이 일반적으로 무시된다.
모든 실시예에서, 얇은 필름들의 다중층은 쌩-고벵(SAINT-GOBAIN)이라는 회사에서 유통시키는 플라니룩스(Planilux) 상표의 두께 4 ㎜의 맑은 소다석회 유리로 제조된 기판 상에 침착시켰다.
이 다중층의 경우,
- R은 다중층의 저항/□ (Ω/□)를 나타내고,
- Ab는 적외선 범위에서의 흡수율을 나타내고,
- TL은 2°에서 발광체 D65에 따라서 측정되는 가시광선에서의 빛 투과율 (%)을 나타내고,
- RL은 2°에서 발광체 D65에 따라서 측정되는 가시광선에서의 유리측 (다중층이 침착된 표면 반대측의 기판 표면)의 빛 반사율 (%)을 나타내고,
- Ct는 2°에서 발광체 D65에 따라서 측정되는 LAB 시스템에서의 투과에서의 색 a* 및 b*를 나타내고,
- Cr은 기판의 코팅된 측 (면(31))에서 2°에서 발광체 D65에 따라서 측정되는 LAB 시스템에서의 반사에서의 색 a* 및 b*를 나타낸다.
본 발명에 따르면, 금속 기능성 층(140)은 50% 내지 98% 범위의 표면적 점유율 (금속 기능성 층에 의해 덮이는, 기능성 층 바로 아래에 위치하는 층의 표면의 비율)을 갖는 불연속 층이다.
도 3은 왼쪽에서부터 오른쪽으로 기판/ZnO/Ag/ZnO 구조를 가지고 각 ZnO 층이 10 ㎚의 두께를 갖는 얇은 필름들의 다중층 Z에 대해 얻은
- 2 ㎚의 은 두께로 얻은 53%의 표면적 점유율,
- 3 ㎚의 은 두께로 얻은 63%의 표면적 점유율,
- 4 ㎚의 은 두께로 얻은 84%의 표면적 점유율,
- 5 ㎚의 은 두께로 얻은 98%의 표면적 점유율
을 나타낸다.
본 문서에서, 불연속 기능성 층의 두께 e를 언급할 때, 이것은 기능성 층에 의해 덮이는 영역에서 측정되는 두께 또는 평균 두께가 아니라, 기능성 층이 연속일 경우에 얻게 될 두께일 것이다.
이 값은 침착이 적용되는 표면적과 함께 층의 침착 속도 (또는 더 정확하게는 금속 기능성 층의 침착 챔버 내에서 기판의 스캐닝 속도), 단위 시간 당 스퍼터링된 물질의 양을 고려함으로써 얻을 수 있다. 이 두께는 연속 기능성 층과 직접 비교를 허용하기 때문에 매우 실용적이다.
이렇게 해서, 두께 e는 침착된 층이 연속일 경우에 측정될 두께이다.
실제로, 마그네트론 스퍼터링에 의한 침착의 동일한 조건 (매우 낮은 압력, 표적 조성, 기판의 스캐닝 속도, 캐소드에 적용되는 전력) 하에서 기능성 층의 두께가 보통 10 ㎚인 경우에는 기능성 층의 두께의 1/2, 다시 말해서 5 ㎚를 얻기 위해서는 기판의 스캐닝 속도를 1/2 감소시키는 것으로 필요충분하다.
도 3에 이원 모드 (흑색-백색)로 도시된 투과전자현미경 TEM에 의한 관찰을 나타낸다. 이 도면의 네 부분에서 은은 백색이고 ZnO는 흑색이다.
이 유형의 다중층 Z에서는 5 ㎚ 초과의 은 두께의 경우 접착 에너지가 다소 일정하고: 이 에너지가 1.0 내지 1.5 J/㎡의 범위이고, 상당히 낮은 값임을 관찰하였다.
도 4는 불연속 금속 기능성 층(140)의 상기한 네 가지 경우에서 다중층 Z에 대해 측정된 접착 에너지 Ge (흑색 점을 갖는 곡선)를 나타내고: 이 접착 에너지는 5 ㎚ 초과의 은 두께의 경우에 관찰된 접착 에너지보다 항상 크다.
게다가, 이 측정된 결합 에너지 Ge는 과학 문헌에서 입수가능한 모델에 의해 계산되는 것 같은 이론적 결합 에너지 Gm (백색 정사각형을 갖는 곡선)보다 높다.
도 5는 흑색 삼각형을 이용하여 은의 금속 기능성 층의 두께 e의 함수로서 Z 유형의 다중층의 빛 투과율 TL을 나타내고: 이 빛 투과율은 5 ㎚ 이하의 은 두께의 경우, 다시 말해서, 50% 내지 98% 범위의 표면적 점유율의 경우, 여전히 60 내지 80%의 유용한 범위 내이다.
게다가, 도 5는 흑색 직사각형을 이용하여 은의 금속 기능성 층의 두께 e의 함수로서 Z 유형의 다중층의 빛 반사율 RL을 나타내고: 이 빛 반사율은 5 ㎚ 이하의 은 두께의 경우, 다시 말해서, 50% 내지 98% 범위의 표면적 점유율의 경우, 여전히 10 내지 20%의 유용한 범위 내이다.
도 6은 코팅이 없는 기판 단독의 방출률 εG을 예로서 나타내고: 이것은 약 90%에 위치하는 수평선이다.
게다가, 도 6은 5 ㎚ 이하의 은 두께의 경우, 다시 말해서, 50% 내지 98% 범위의 표면적 점유율의 경우, Z 유형의 다중층으로 기판 단독의 방출률보다 낮은 방출률 εZ (흑색 점)을 측정하는 것이 가능하다는 것을 나타낸다.
하기 표 1은 은층의 두께 및 표면적 점유율의 함수로서 Z 유형의 다중층에 대해 측정된 방출률을 요약한다.
Figure 112015058967465-pct00002
이론적 계산은 5 ㎚ 이하의 은 두께의 경우, 다시 말해서, 50% 내지 98% 범위의 표면적 점유율의 경우, Z 유형의 다중층으로 기판 단독의 방출률보다 낮은 방출률 εZ (흑색 역삼각형)을 얻을 수 있고, 관찰된 방출률보다 더 높다는 것을 나타낸다.
이렇게 해서, 도 5 및 6은 도 4에서 볼 수 있는 바와 같이 접착 에너지가 매우 높을지라도 일부 응용에서는 유용할 수 있는, 상대적으로 낮은 빛 반사율, 상대적으로 높은 빛 투과율 및 다소 높은 방출률을 갖는 Z 유형의 다중층을 형성하는 것이 가능하다는 것을 나타낸다.
Z 유형의 다중층에 대해 관찰된 현상을 더 잘 이해하려고 시도하기 위해, 기판/ZnO/Ag/ZnO 구조를 가지고 각 ZnO 층이 5 ㎚의 두께를 갖는 "Y 유형"이라고 불리는 제2 다중층을 시험하였고, 이 Y 유형의 다중층에 대해 한편으로는 1.0 내지 8.0 ㎚ 및 다른 한편으로는 0 내지 2.0 ㎚의 은 구배를 시험하였다.
0 내지 2.0 ㎚에서는 흡수율이 2% (은 층이 없는 유리의 흡수율)에서부터 20 내지 23% 범위의 흡수율로 단조 증가한다는 것을 관찰하였다. 상기한 바와 같이, 그 후로 2 내지 6 ㎚의 은에서는 흡수율이 급속히 감소하여 5 - 6 %의 값에 도달한다. 또한, 작은 두께의 Ag의 경우에는 흡수율 수준의 일부가 증가하는 반사율 수준과 관련된다는 것을 언급하는 것도 흥미롭다. 이것은 광학 간섭 효과를 조정함으로써 흡수율 수준을 약간 조절하는 것이 가능할 것임을 암시한다.
게다가, 0 내지 약 2 ㎚에서는 (LAB 시스템과 관련하여) b*의 매우 강한 감소로 Y 유형의 다중층의 틴트(tint)가 점점 더 청색으로 된다는 것을 관찰하였다. 약 2 내지 약 4 ㎚에서는 그 거동이 극적으로 변경되어 a* 및 b*의 강한 증가로 적색으로 된다. 마지막으로, 약 4 내지 약 8 ㎚에서는 색이 청색/중성색으로 되돌아간다. 이 거동에 대한 한 가지 해석은 도 10에서 흡수 스펙트럼의 변화를 은 두께의 함수로서 관찰함으로써 제공할 수 있다:
- 매우 낮은 은 두께 (1.0 및 2.5 ㎚)에서, 흡수 스펙트럼은 Ag 두께를 증가시킴으로써 피크 위치가 적색 쪽으로 이동하여 1 ㎚에서의 675 ㎚로부터 2.5 ㎚에서의 695 ㎚로 변한다는 것을 나타내고; 이 피크는 틀림없이 Ag의 "나노 물체"의 표면 플라스몬에 상응하고,
- 2.5 ㎚ 내지 4.0 ㎚에서는, 흡수 피크의 위치가 청색 쪽으로 이동하여 695 ㎚로부터 535 ㎚로 변하며 세기가 크게 손실되고; 동시에, 적색/근-IR에서의 흡수율 수준은 여전히 높고; 이 범위의 두께는 50% 내지 83% 범위의 표면적 점유율을 갖는 은의 불연속 층에 상응하고;
- 최종적으로, 6.0 내지 8.0 ㎚에서는, 흡수율 수준이 강하게 감소하고 반사율이 상응하게 더 높고: 이것은 은층이 연속인 두께 범위에 상응한다.
Y 유형의 다중층의 저항/□는 국부적으로 측정하였다. 이 유형의 다중층의 경우, Ag 필름의 퍼콜레이션의 개시를 나타내는 3.0 ㎚에서부터 시작하여 저항/□을 측정하는 것이 가능하였다.
다양한 두께의 기능성 층을 기판의 방향으로 바로 아래에 있도록 선택된 층 ("적심층"(128)이라고 부름)의 본성의 함수로서 시험하는 1부터 5까지 번호를 매긴 5 개 실시예의 시리즈를 실시하였고, 각 예시 시리즈에 대해 다양한 매개변수를 측정하였다.
각 실시예에서, 두 반사방지 코팅(120, 160) 각각은 반사방지 층(124, 164)을 포함한다.
하기 표 2는 실시예 1 내지 5의 각 층의 (광학적 두께가 아니라) 기하학적 또는 물리적 두께 (㎚)를 예시한다.
Figure 112015058967465-pct00003
모든 실시예의 반사방지 층(124) 및 실시예 4의 적심층(128)은 규소 질화물을 기재로 하고, 더 정확하게는 Si3N4:Al (도 11 내지 14에서는 "SiN"으로 표기함)으로 제조되고; 그것들은 8 중량%의 알루미늄으로 도핑된 규소의 금속 표적으로부터 침착시켰다.
모든 실시예의 반사방지 층(164) 및 실시예 3의 적심층(128)은 아연 산화물을 기재로 하고, 더 정확하게는 ZnO (도 11 내지 14에서는 "AZO"로 표기함)로 제조되고; 그것들은 아연 산화물 ZnO로 이루어진 세라믹 표적으로부터 침착시켰고; 하지만, 예를 들어 금속 표적을 이용하는 것 및 산소 존재 하에서 반응성 스퍼터링을 수행하는 것이 가능하다.
하기 표 3은 불연속 기능성 층이 형성되는 것을 허용한 은의 기능성 층의 최대 두께를 바로 위에 위치하는 층의 본성의 함수로서 요약한다:
Figure 112015058967465-pct00004
상당히 높은 빛 투과율 TL (50% 초과) 및 상당히 낮은 빛 반사율 TL (20% 이하)을 얻을 수 있다는 것을 관찰하였다.
Figure 112015058967465-pct00005
게다가,
- 도 11에서 볼 수 있는 바와 같이, 다중층의 저항/□ R이 합리적인 값 (200 Ω/□ 미만)을 가질 수 있고,
- 도 12에서 볼 수 있는 바와 같이, 흡수율이 상대적으로 낮을 수 있고 (25% 이하),
- 도 13에서 볼 수 있는 바와 같이, 투과에서의 색 Ct가 청록색 (a*가 음이거나 또는 약간의 양임)일 수 있고,
- 도 14에서 볼 수 있는 바와 같이, 반사에서의 색 Cr이 청록색 (a*가 음이거나 또는 약간의 양임)일 수 있는 것
을 관찰하였다.
시험에서 투과 및 반사 둘 모두에서의 색이 최적화되지 않았지만, 반사방지 층의 두께의 함수로서 최적화의 규칙은 완전 (또는 연속) 금속 기능성 층을 갖는 다중층의 경우와 동일한 것으로 보인다.
이 관찰들을 확인하기 위해, 도 1과 관련해서 다음 구조 및 (광학적 두께가 아니라) 기하학적 또는 물리적 두께 (㎚)를 갖는 실시예 6을 기초로 하는 하나의 예시 시리즈를 실시하였다:
Figure 112015058967465-pct00006
이 실시예 6은 기능성 층 아래에 ZnO 적심층을 포함하는 실시예 3을 기초로 하고, 유럽 특허 출원 번호 EP 718 250의 가르침을 따르고, 다시 말해서, 어셈블리 ZnO/Ag의 양측에 규소 질화물의 배리어층을 제공한 대표적 저방출 침지코팅가능한 다중층 구조를 가졌다.
수행된 제1 시험은 HH (고습) 시험이다. 이것은 기후 챔버에 샘플을 요망되는 기간 (7일, 14일 및 56일) 동안 놓고 그것을 관찰하기 위해 챔버를 끄지 않고서 그것을 제거하는 것으로 이루어진다. 부식이 7일 시험 후에 나타나서 그 후에 계속 진행하는 6, 7 및 8 ㎚와 대조적으로, 1, 2, 3, 4 및 5 ㎚의 Ag 두께에서는 극히 적은 결함이 나타나고 시간이 지나도 거의 변화가 없었다.
은 두께가 작을수록, 다중층이 관례적으로 실시되는 것 같은 기계적 내성 시험 EST에 더 잘 견딘다는 것을 관찰하였다. 최초 긁힘 출현이 0.3 N부터 발생하는 8 ㎚의 Ag에 비해, 1 및 2 ㎚의 Ag 두께에서는 최초 긁힘이 7 N에서 나타났다. 이 결과는 제1 시험 동안에 관찰된 접착 에너지 증가와 일치하였다.
형성 또는 침지 코팅 열 처리를 모사하는 (ESTTT 시험을 위한) 650 ℃에서 10 분 동안 어닐링 후의 관찰은 여전히 유사하였다. 더 작은 Ag 두께의 경우, 긁힘이 더 빠르게 출현하였다. 최초 긁힘 출현이 0.1 N부터 보이는 8 ㎚의 Ag에 비해, 1 및 2 ㎚의 Ag 두께에서는 최초 긁힘이 3 N에서 보였다.
실시예 6의 시리즈의 광학적 "성능"을 평가하기 위해, 도 15에는 가시광선에서의 빛 투과율 및 가시광선에서의 빛 반사율을 은 두께의 함수로서 나타내고, 도 16에는 빛 흡수율을 은 두께의 함수로서 나타내고, 도 17에는 저항/□을 은 두께의 함수로서 나타낸다.
빛 흡수율은 1 내지 3 ㎚의 은에서는 상대적으로 높은 값 (약 16 내지 18%)까지 증가하고, 그 다음, 3 ㎚ 후에는 감소하여 6 내지 8 ㎚의 두께를 갖는 연속 은층을 갖는 통상적인 저방출 다중층의 "통상적인" 값에 가까운 값에 도달하였다. 3 ㎚ 후의 흡수율 감소는 빛 반사율 증가를 수반하였다.
3 ㎚부터 출발해서 100 Ω/□ 미만의 저항/□을 측정하는 것이 가능하다는 것을 관찰하였다. 흡수율의 함수로서 저항/□의 곡선은 5 내지 40 Ω/□ 범위의 저항/□에서 흡수율의 급속한 증가를 나타내었다. 이 흡수율은 그 후에 약 20%의 최대값 근처에서 안정화되었다.
게다가, 더 낮은 Ag 두께 (1 내지 4 ㎚)에서는 투과에서의 색이 청색에 위치한다는 것을 알았다.
도 18 및 19는 각각 투명 유리 기판(30) 및 더 정확하게는 이 기판(30)의 면(31) 상에 침착된 본 발명에 따르는 2개의 기능성 층을 갖는 다중층(35)의 구조 및 본 발명에 따르는 3개의 기능성 층을 갖는 다중층(36)의 구조를 도시한다.
은을 기재로 하거나 또는 은을 함유하는 금속 합금을 기재로 하는, 및 바람직하게는 은으로만 제조된 각 기능성 층(140, 180, 220)은 두 반사방지 코팅, 즉, 기판(30)의 방향으로 각 기능성 층(140, 180, 220) 아래에 위치하는 하부 반사방지 코팅(120, 160, 200)과 기판(30)으로부터의 반대측에 각 기능성 층(140, 180, 220) 위에 배치되는 상부 반사방지 코팅(160, 200, 240) 사이에 배치된다.
각 반사방지 코팅(120, 160, 200, 240)은 적어도 하나의 반사방지 층(124, 164, 204, 244)을 포함한다.
본 발명에 따르는 불연속인 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 금속 기능성 층의 높은 접착 에너지에 관한 발견의 응용을 탐구하기 위해, 도 1, 18 및 19와 관련해서 다음 구조 및 (광학적 두께가 아니라) 기하학적 또는 물리적 두께 (㎚)를 갖는 3개의 실시예를 실시하였다.
Figure 112015058967465-pct00007
침착된 이산화티타늄 TiO2의 반사방지 층(124, 164, 204 및 244)은 2.4의 광학적 지수 (550 ㎚)를 가졌다.
이 다중층들은 4 ㎜의 두께를 갖는 맑은 유리 기판 상에 침착시켰다.
이 실시예 7 내지 9는 또한 이론적 접착 에너지에 대해서 접착 에너지 증가를 나타낸다는 것을 관찰하였다.
하기 표는 실시예 7 내지 9의 주요 광학적 특성을 제시하고, 이 특성을 4 ㎜의 두께를 갖는 유리 기판의 방향으로 위에 10 ㎚의 두께를 갖는 규소 질화물을 기재로 하는 층에 의해 및 아래에 30 ㎚의 두께를 갖는 규소 질화물을 기재로 하는 층에 의해 삽입된 1.5 ㎚의 두께를 갖는 NbN의 단일의 질화된 기능성 층을 포함하는 흡수에 의한 태양 제어를 위한 다중층 (실시예 10)의 특성과 비교하였다.
Figure 112015058967465-pct00008
이렇게 해서, 실시예 10과 동일한 범위 내인 평균 선택성 s (약 1.1)과 함께, 실시예 10과 동일한 범위 내인 가시광선에서의 평균 빛 투과율 (50% 내지 70%)을 나타내는
- 불연속인 단일의 금속 기능성 층을 갖는 다중층 (실시예 7),
- 2개의 불연속 기능성 층을 갖는 2개의 금속 기능성 층을 갖는 다중층 (실시예 8),
- 3개의 불연속 기능성 층을 갖는 3개의 금속 기능성 층을 갖는 다중층 (실시예 9)
을 형성할 수 있다는 것을 관찰하였다.
게다가, 투과에서 얻은 색 (Ct) 및 반사에서 얻은 색 (Cr) 둘 모두가 요망되는 범위 내였다: 청색, 청록색.
앞의 설명에서는 본 발명을 예로서 제시한다. 관련 분야의 숙련자가 본 발명의 상이한 변형예를 실시할 수 있고, 하지만 특허청구범위에 의해 정해지는 본 특허의 틀에서 벗어나지 않는다는 것을 이해할 것이다.

Claims (16)

  1. 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 적어도 하나의 금속 기능성 층(140, 180, 220) 및 적어도 2개의 반사방지 코팅(120, 160, 200, 240)을 포함하는 박막들의 다중층(34, 35, 36)으로 한 면(31)이 코팅된 기판(30)이며, 상기 반사방지 코팅 각각은 적어도 하나의 반사방지 층(124, 164, 204, 244)을 포함하고, 상기 금속 기능성 층(140)은 두 반사방지 코팅(120, 160) 사이에 배치되고, 상기 또는 각 금속 기능성 층(140, 180, 220)은 50% 내지 98%, 또는 53% 내지 83% 범위의 표면적 점유율을 갖는 불연속 층이고, 상기 불연속 층은 섬 사이에 덮이지 않은 영역을 갖는 상호연결된 섬의 형태의 구조화를 갖는 자가 구조화된 층인 것을 특징으로 하는 기판(30).
  2. 제1항에 있어서, 상기 또는 각 불연속 금속 기능성 층(140, 180, 220)이
    - 이산화티타늄 TiO2를 기재로 하는 층 상에 침착시, 1.0 ≤ e ≤ 4.5 ㎚, 또는 1.0 ≤ e ≤ 4.0 ㎚, 또는
    - 아연 및 주석 산화물 SnZnOx를 기재로 하는 층 상에 침착시, 1.0 ≤ e ≤ 4.5 ㎚, 또는 1.0 ≤ e ≤ 4.0 ㎚, 또는
    - 아연 산화물 ZnO를 기재로 하는 층 상에 침착시, 1.0 ≤ e ≤ 5.0 ㎚, 또는 1.0 ≤ e ≤ 4.5 ㎚, 또는
    - 규소 질화물 Si3N4를 기재로 하는 층 상에 침착시, 1.0 ≤ e ≤ 7.0 ㎚, 또는 1.0 ≤ e ≤ 6.0 ㎚, 또는
    - 니켈을 기재로 하는 층 상에 침착시, 1.0 ≤ e ≤ 5.0 ㎚, 또는 1.0 ≤ e ≤ 4.0 ㎚
    인 두께 e를 갖는 것을 특징으로 하는 기판(30).
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 면(31)과 첫 번째 또는 유일한 불연속 금속 기능성 층(140) 사이에 배치된 반사방지 코팅(120)이 550 ㎚에서 1.8 내지 2.2 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 중간 굴절률 반사방지 층(124)을 포함하고, 이 중간 굴절률 반사방지 층(124)이 산화물을 기재로 하고/하거나 이 중간 굴절률 반사방지 층(124)이 5 내지 35 ㎚ 범위의 물리적 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 기판(30).
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 각 불연속 금속 기능성 층(140, 180, 220) 아래에 배치된 반사방지 코팅(120, 160, 200)이 550 ㎚에서 1.8 내지 2.2 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 중간 굴절률 반사방지 층(124, 164, 204)을 포함하고, 이 중간 굴절률 반사방지 층(124, 164, 204)이 산화물을 기재로 하고/하거나 이 중간 굴절률 반사방지 층(124, 164, 204)이 5 내지 35 ㎚ 범위의 물리적 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 기판(30).
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 면(31)과 첫 번째 또는 유일한 불연속 금속 기능성 층(140) 사이에 배치된 상기 반사방지 코팅(120)이 550 ㎚에서 2.3 내지 2.7 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 고 굴절률 반사방지 층(124)을 포함하고, 이 고 굴절률 반사방지 층(124)이 산화물을 기재로 하고/하거나 이 고 굴절률 반사방지 층(124)이 5 내지 25 ㎚ 범위의 물리적 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 기판(30).
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 각 불연속 금속 기능성 층(140, 180, 220) 아래에 배치된 반사방지 코팅(120, 160, 200)이 550 ㎚에서 2.3 내지 2.7 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 고 굴절률 반사방지 층(124, 164, 204)을 포함하고, 이 고 굴절률 반사방지 층(124, 164, 204)이 산화물을 기재로 하고/하거나 이 고 굴절률 반사방지 층(124, 164, 204)이 5 내지 25 ㎚ 범위의 물리적 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 기판(30).
  7. 제1항 또는 제2항에 있어서, 면(31)으로부터의 반대측에 첫 번째 또는 유일한 불연속 금속 기능성 층(140) 위에 배치된 반사방지 코팅(160)이 550 ㎚에서 1.8 내지 2.2 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 중간 굴절률 반사방지 층(164)을 포함하고, 이 중간 굴절률 반사방지 층(164)이 산화물을 기재로 하고/하거나 이 중간 굴절률 반사방지 층(164)이 5 내지 35 ㎚ 범위의 물리적 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 기판(30).
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 면(31)으로부터의 반대측에 각 불연속 금속 기능성 층(140, 180, 220) 위에 배치된 반사방지 코팅(160, 200, 240)이 550 ㎚에서 1.8 내지 2.2 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 중간 굴절률 반사방지 층(164, 204, 244)을 포함하고, 이 중간 굴절률 반사방지 층(164, 204, 244)이 산화물을 기재로 하고/하거나 이 중간 굴절률 반사방지 층(164)이 5 내지 35 ㎚ 범위의 물리적 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 기판(30).
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 면(31)으로부터의 반대측에 첫 번째 또는 유일한 불연속 금속 기능성 층(140) 위에 배치된 반사방지 코팅(160)이 550 ㎚에서 2.3 내지 2.7 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 고 굴절률 반사방지 층(164)을 포함하고, 이 고 굴절률 반사방지 층(164)이 산화물을 기재로 하고/하거나 이 고 굴절률 반사방지 층(164)이 5 내지 25 ㎚ 범위의 물리적 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 기판(30).
  10. 제1항 또는 제2항에 있어서, 면(31)으로부터의 반대측에 각 불연속 금속 기능성 층(140, 180, 220) 위에 배치된 반사방지 코팅(160, 200, 240)이 550 ㎚에서 2.3 내지 2.7 범위의 굴절률을 갖는 물질로 제조된 고 굴절률 반사방지 층(164, 204, 244)을 포함하고, 이 고 굴절률 반사방지 층(164, 204, 244)이 산화물을 기재로 하고/하거나 이 고 굴절률 반사방지 층(164, 204, 244)이 5 내지 25 ㎚ 범위의 물리적 두께를 갖는 것을 특징으로 하는 기판(30).
  11. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 다중층(35)이 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 2개의 금속 기능성 층(140, 180) 및 3개의 반사방지 코팅(120, 160, 200)을 포함하고, 각 금속 기능성 층이 두 반사방지 코팅 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 기판(30).
  12. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 다중층(36)이 은을 기재로 하거나 또는 은으로 제조된 3개의 금속 기능성 층(140, 180, 220) 및 4개의 반사방지 코팅(120, 160, 200, 240)을 포함하고, 각 금속 기능성 층이 두 반사방지 코팅 사이에 배치된 것을 특징으로 하는 기판(30).
  13. 제1항 또는 제2항에 있어서, 적어도 하나의 상기 금속 기능성 층(140, 180, 220)이 이 금속 기능성 층(140, 180, 220)과 이 기능성 층 아래에 있는 반사방지 코팅(120) 사이에 배치된 배리어 하부코트(130) 바로 위에 침착되고/침착되거나, 적어도 하나의 상기 금속 기능성 층(140, 180, 220)이 이 금속 기능성 층(140, 180, 220)과 이 기능성 층 위에 있는 반사방지 코팅(160) 사이에 배치된 배리어 상부코트(150) 바로 아래에 침착되는 것 및 배리어 하부코트(130) 및/또는 배리어 상부코트(150)가 0.2 ㎚ ≤ e' ≤ 2.5 ㎚이도록 하는 물리적 두께 e'을 갖는 니켈 또는 티타늄을 기재로 하는 얇은 층을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판(30).
  14. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    기판(30)으로부터 가장 먼 층인 다중층(34, 35, 36)의 마지막 층(168)은 아화학량론적으로 침착된 산화물, 이산화티타늄, 또는 아연 및 주석의 혼합 산화물을 기재로 하는 것을 특징으로 하는,
    기판(30).
  15. 섀시 구조(90)에 의해 함께 유지되는 적어도 2개의 기판(10, 30)을 포함하는 다중 글레이징 유닛(100)이며, 상기 글레이징 유닛은 외부 공간(ES)과 내부 공간(IS) 사이에 분리를 형성하고, 여기서 두 기판 사이에 적어도 하나의 기체 분리 계면(15)이 배치되고, 기판(30)은 제1항 또는 제2항에 청구된 것인 다중 글레이징 유닛(100).
  16. 삭제
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