JP2014094448A

JP2014094448A - 積層体

Info

Publication number: JP2014094448A
Application number: JP2011034195A
Authority: JP
Inventors: Susumu Suzuki; すすむ鈴木; Takahira Miyagi; 崇平見矢木; Fumie Ito; 史栄伊東; Tomohiro Yamada; 朋広山田; Eiji Shidoji; 栄治志堂寺
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 2011-02-21
Filing date: 2011-02-21
Publication date: 2014-05-22
Also published as: WO2012115111A1

Abstract

【課題】可視光透過率が比較的低く、かつ斜めから見たときの外観が赤または紫色でなく、中性色または青色となる積層体を提供すること。
【解決手段】透明基体上に３層の透明誘電体層１２、１４、１６と２層のＡｇ層１３、１５とが該透明誘電体層１２、１４、１６間に該Ａｇ層１３、１５が介在するように交互に積層されてなる積層体１であって、該Ａｇ層１３、１５を前記透明基体側から順に第１のＡｇ層１３、第２のＡｇ層１５としたとき、該第１のＡｇ層１３に対する該第２のＡｇ層１５の物理的膜厚の比が１．０５以上、かつ前記積層体１の可視光透過率が５０％以下であるもの。
【選択図】図１

Description

本発明は、積層体に係り、特に複層ガラスに好適に使用され、斜めから見たときの外観が中性色または青色となる積層体に関する。

Ａｇ薄膜は可視域で透過色、反射色が中性色（ニュートラル色）であり、また低抵抗率を示す。厚さ１０ｎｍ程度のＡｇ薄膜は可視域での吸収が少なく、反射率は数１０％である。波長が長くなるにつれて反射率は増加し、赤外域では高反射率を示す。Ａｇ薄膜を誘電体薄膜で挟み、可視域で低反射率、赤外域で高反射率としたＡｇ系多層膜は、一般的なガラスと同等の外観を示し、低放射率、高熱線反射率を示すことから、高断熱Ｌｏｗ−Ｅガラス、高透過率の熱線反射ガラスに用いられる。近年では省エネ意識の高まりとともにこれらのガラスの需要が増大している。また、低抵抗率であるために、透明導電膜として用いることも可能である。

Ｌｏｗ−Ｅガラス、例えばビル用窓ガラスとして、強化ガラスが用いられることがある。また、自動車用窓ガラスでは、曲げガラスが用いられる。強化ガラスも曲げガラスも、５５０℃〜７５０℃の温度において熱処理が行われる。Ａｇ系多層膜を有する強化ガラスまたは曲げガラスを製造する方法は２種類ある。一方は強化したガラスまたは曲げたガラスに製膜する方法である。他方は平板ガラスに製膜し、後から切断、強化または曲げのための熱処理を行なう方法である。

強化または曲げたガラスに製膜するよりも、先に製膜を行い、後から切断、強化または曲げのための熱処理を行った方が製造コストは安くなる。熱処理後に、劣化のない高性能のＡｇ系多層膜を安定的に製造することは難しく、様々なノウハウが必要とされる。しかし、最近は、膜材料開発、膜構成開発が進み、熱処理後の欠点の少ないＡｇ系多層膜も商品化されるに至っている。

２層のＡｇ層を有するＬｏｗ−Ｅガラス（２層系Ｌｏｗ−Ｅガラス）は、１層のＡｇ層を有するＬｏｗ−Ｅガラス（１層系Ｌｏｗ−Ｅガラス）に比べてＡｇ層の合計膜厚が厚く、遮熱性能に優れる。通常、２層系Ｌｏｗ−Ｅ膜では、ガラス板等の透明基体に近いＡｇ層（第１のＡｇ層）と該透明基体から遠いＡｇ層（第２のＡｇ層）との物理的膜厚はほぼ等しい。

なお、第１のＡｇ層と第２のＡｇ層との物理的膜厚を意図的に異なるものとしたものも知られている。例えば、第１のＡｇ層の物理的膜厚を第２のＡｇ層の物理的膜厚の５０〜８０％としたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。また、第１のＡｇ層の物理的膜厚を第２のＡｇ層の物理的膜厚の６０〜７０％としたものが知られている（例えば、特許文献２参照）。さらに、第２のＡｇ層の物理的膜厚に対する第１のＡｇ層の物理的膜厚の比（第１のＡｇ層の物理的膜厚／第２のＡｇ層の物理的膜厚）を１．０５以上としたものが知られている。

物理的膜厚を調整する目的として、上記特許文献１には、透過率、ソーラーファクターの増加、およびニュートラルな反射色、垂直から見たときと斜めから見たときの反射色の少ない変化が挙げられている。上記特許文献２には、透過率、ソーラーファクターの増加、およびニュートラルな反射色、垂直から見たときと斜めから見たときの反射色の少ない変化が挙げられている。上記特許文献３には、斜めから見たときのニュートラルな反射色と、小さいソーラーファクター、大きなセレクティビティとの共存が挙げられている。

また、窓ガラスについては、デザインの意匠性の観点から色調が重要となる。Ａｇ系多層膜を設けた窓ガラスは、可視域において低反射率であり、また反射色および透過色が中性であり、高遮熱性を保持しながら、素ガラスと同等な外観が得られる。しかしながら、例えば高層ビルの窓ガラスについては下から見上げられるために、下から見上げたとき、すなわち斜めから見たときの外観が重要となる。一般に、窓ガラスについては、外観、すなわち反射色が赤色、特に紫色のものは好まれず、素ガラスと同様な中性色または青色のものが好まれる。同様に、自動車用窓ガラスについても傾斜して取り付けられるために、正面から見たとき、すなわち斜めから見たときの外観が重要となる。

また、低緯度〜中緯度の地域は昼間の日射が強いため、特にビル用の窓ガラスについて防眩の目的から可視光透過率が低いことが求められる。すなわち、赤外域での遮熱性とともに、可視域での低透過性、例えば５０％以下の可視光透過率が求められる。

なお、上記特許文献では、物理的膜厚の調整に限定条件が付されている。特許文献１では、Ａｇ層に隣接するプライマー層またはバリア層はＮｉＣｒまたはＴａの酸化膜とされている。特許文献２では、透過率は６０〜７０％、ソーラーファクターは０．３２〜０．４２とされている。特許文献３では、ソーラーファクターは２７．５以下、セレクティビティは１．７５以上に限定されている。また、上記特許文献では、可視光透過率については言及されていない。

米国特許ＵＳ６６７３４２７号公報米国特許ＵＳ６２８７６７５号公報米国特許ＵＳ７４１９７２５号公報

上記特許文献では、２層のＡｇ薄膜を有するものにおいて、斜めから見たときのガラス面反射色が中性色に保たれる場合のＡｇ薄膜の膜厚比について述べられている。しかし、可視光透過率が比較的低い場合については述べられていない。本発明は、特に可視光透過率が比較的低いものにおいて、斜めから見たときの外観が赤色や紫色でなく、中性色または青色となるものを提供することを目的としている。

本発明の積層体は、透明基体上に３層の透明誘電体層と２層のＡｇ層とが該透明誘電体層間に該Ａｇ層が介在するように交互に積層されてなる積層体であって、該Ａｇ層を透明基体側から順に第１のＡｇ層、第２のＡｇ層としたとき、第１のＡｇ層に対する第２のＡｇ層の物理的膜厚の比が１．０５以上、かつ積層体の可視光透過率が５０％以下であることを特徴とする。

本発明によれば、透明基体上に３層の透明誘電体層と２層のＡｇ層とが該透明誘電体層間に該Ａｇ層が介在するように交互に積層されてなる積層体において、第１のＡｇ層に対する第２のＡｇ層の物理的膜厚の比を１．０５以上とすることで、可視光透過率が５０％以下のものにおいて、斜めから見たときの外観、特に透明基体面の外観が赤または紫色ではなく、中性色または青色のものを提供することができる。なお、本発明の積層体は、非熱処理品または熱処理可能品を問わない。

本発明の積層体の一実施形態を示す概略断面図。本発明の積層体の変形例を示す概略断面図。ＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊が１以下となるときの第１のＡｇ層および第２のＡｇ層の物理的膜厚の計算結果を示す図。本発明の積層体を用いた複層ガラスの一例を示す概略断面図。

以下、本発明の積層体の実施形態について説明する。
図１は、実施形態の積層体の一例を示す断面図である。

積層体１は、透明基体１１上に、第１の透明誘電体層１２、第１のＡｇ層１３、第２の透明誘電体層１４、第２のＡｇ層１５、第３の透明誘電体層１６が順に積層されてなるものであり、３層の透明誘電体層１２、１４、１６と２層のＡｇ層１３、１５とが透明誘電体層１２、１４、１６の各間にＡｇ層１３、１５が介在するように交互に積層されてなるものである。この積層体１は、可視光透過率が５０％以下であり、かつ第１のＡｇ層１３に対する第２のＡｇ層１５の物理的膜厚の比（第２のＡｇ層１５の物理的膜厚／第１のＡｇ層１３の物理的膜厚、以下単に膜厚比ともいう）が１．０５以上であることを特徴とする。

このような積層体１によれば、膜厚比を１．０５以上とすることで、可視光透過率が５０％以下のものについて、斜めから見たときの外観（反射色）を赤色や紫色でなく、中性色または青色とすることができる。既に説明したように、低緯度〜中緯度の地域では昼間の日射が強く、このような地域で用いられる窓ガラスについては、防眩の目的から可視光透過率が低いことが求められる。また、高層ビルの窓ガラスまたは外壁のように、下から見上げられるものについては下から見上げたときの外観、すなわち斜めから見たときの外観が重要となる。同様に、自動車の窓ガラスについても傾斜して取り付けられるために、正面、すなわち斜めから見たときの外観が重要となる。

一般に、窓ガラス等については、外観が赤色、特に紫色のものは好まれず、素ガラスと同等な中性色または青色のものが好まれる。積層体１によれば、可視光透過率が５０％以下のものにおいて、斜めから見たときの外観を中性色または青色、具体的にはＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊を１以下とすることができる。これにより、高層ビルの窓ガラスや外壁、自動車の窓ガラスに好適なものとすることができる。なお、可視光透過率は５０％以下であれば必ずしも限定されるものではないが、通常、３０％以上が好ましく、４０％以上がより好ましい。

透明基体１１は、例えばソーダライムガラス、無アルカリガラスなどのガラス板、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）等の樹脂フィルムからなるものである。透明基体１１の厚さは、特に限定されるものではないが、例えば１〜２０ｍｍが好ましい。

第１〜第３の透明誘電体層１２、１４、１６は、可視域での反射率、透過率を調整するために設けられ、例えばＺｎＯ、ＡｌドープＺｎＯ、ＳｎドープＺｎＯ、ＳｎＯ_２、ＩｎドープＳｎＯ_２、ＴｉＯ_２、ＮｂＯｘ等の金属酸化物、またはＳｉ_３Ｎ_４、ＡｌＮ等の金属窒化物からなるものである。なお、第１〜第３の透明誘電体層１２、１４、１６は、それぞれ同一材料からなるものであってもよいし、異なる材料からなるものであってもよい。また、第１〜第３の透明誘電体層１２、１４、１６は、それぞれ単一層であってもよいし、複数層であってもよい。

第１〜第３の透明誘電体層１２、１４、１６の屈折率は、１．７〜２．５が好ましく、１．８〜２．２がより好ましく、１．９〜２．１がさらに好ましい。このような屈折率とすることにより、第１、第２のＡｇ層１３、１５との干渉効果で可視光透過率を５０％以下としやすくなる。なお、屈折率は、波長５５０ｎｍにおける屈折率を意味する。

第１の透明誘電体層１１の厚さは、２５〜５０ｎｍが好ましく、３０〜４５ｎｍがより好ましく、３５〜４５ｎｍがさらに好ましい。また、第２の透明誘電体層１３の厚さは、６０〜１００ｎｍが好ましく、７０〜９５ｎｍがより好ましく、８５〜９５ｎｍがさらに好ましい。さらに、第３の透明誘電体層１６の厚さは、１０〜４０ｎｍが好ましく、１０〜３０ｎｍがより好ましく、１０〜２０ｎｍがさらに好ましい。第１〜第３の透明誘電体層１２、１４、１６の厚さをこのような範囲に調整することで、より可視光透過率を５０％以下としやすくなる。

一方、第１、第２のＡｇ層１３、１５は、Ａｇのみからなるもの、Ｐｄ等を添加したＡｇ合金からなるものである。Ａｇ合金からなるものとする場合、Ａｇ合金の全体中、Ａｇ以外の金属元素の含有量は０．２〜１０質量％が好ましく、０．２〜５質量％がより好ましい。Ａｇ以外の金属元素の含有量をこのような範囲内とすることで、例えばＡｇの拡散を抑制し、これにより耐湿性を向上させることができ、また比抵抗を１００μΩｃｍ以下にすることができる。

膜厚比（第２のＡｇ層１５の物理的膜厚／第１のＡｇ層１３の物理的膜厚）は１．０５以上である。膜厚比が１．０５未満の場合、斜めから見たときの積層体１の外観が赤色や紫色となり、ＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊が１を超えるおそれがある。膜厚比は、１．０９以上が好ましい。上記膜厚比を１．０９以上とすることで、より確実に斜めから見たときの積層体１の外観を中性色または青色とすることができる。なお、膜厚比の上限は必ずしも限定されるものではないが、１．７０以下が好ましく、１．６０以下がより好ましく、１．５０以下がさらに好ましい。

第１のＡｇ層１３の厚さは、５〜１５ｎｍが好ましく、５〜１３ｎｍがより好ましく、５〜１０ｎｍがさらに好ましい。また、第２のＡｇ層１５の厚さは、５〜１６ｎｍが好ましく、５〜１４ｎｍがより好ましく、５〜１２ｎｍがさらに好ましい。第１のＡｇ層１３、第２のＡｇ層１５の厚さをこのような範囲に調整することで、より確実に斜めから見たときの外観を中性色または青色、具体的にはＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊を１以下とすることができる。

図２は、積層体１の変形例を示す断面図である。
積層体１は、例えば図２に示すように、光吸収層１７、１８、バリア層１９、２１、保護層２２を有することができる。光吸収層１７、１８は、可視光線の吸収を補助し、可視光透過率をより容易に５０％以下とするために設けられる。光吸収層１７、１８の位置は、必ずしも限定されるものではないが、例えば第１のＡｇ層１３や第２のＡｇ層１５の表面上が挙げられる。

光吸収層１７、１８は、可視領域で光吸収性の金属膜、金属酸化膜、金属窒化膜とすることができ、例えばＴｉ、Ｎｂ、ＮｉＣｒ等の金属、ＳｉＮｘまたはＡｌＮｘのストイキオメトリーから金属側によっており、可視領域で光吸収性である材料からなるものとすることができる。光吸収層１７、１８を設ける場合、その厚さは、それぞれ０．５〜１０ｎｍが好ましく、１〜８ｎｍが好ましい。０．５ｎｍより薄いと吸収層として十分に機能しないおそれがあり、１０ｎｍより厚いと可視光透過率が過度に低下するおそれがある。なお、光吸収層１７、１８は一方のみを設けてもよく、その場合の厚さは１〜２０ｎｍが好ましく、２〜１８ｎｍがより好ましい。

バリア層１９、２１は、第１のＡｇ層１３、第２のＡｇ層１５、または光吸収層１７、１８の酸化を抑制するために設けられる。例えば、第２の透明誘電体層１４、第３の透明誘電体層１６がＺｎＯ等の金属酸化物からなる場合、その成膜時に下地層となる第１のＡｇ層１３、第２のＡｇ層１５、または光吸収層１７、１８が酸化される。第１のＡｇ層１３、第２のＡｇ層１５、または光吸収層１７、１８の上にバリア層１９、２１を設けることで、これらの酸化を抑制し、光学特性の低下等を抑制することができる。

バリア層１９、２１は、金属膜からなるものであり、具体的にはＴｉ、Ｚｎ、ＡｌＺｎ、ＴｉＺｎ、ＮｉＣｒ等からなるものである。バリア層１９、２１の厚さは、それぞれ１〜１０ｎｍの範囲が好ましい。１ｎｍより薄いとバリア層として十分に機能せず、１０ｎｍより厚いと積層体１の可視光透過率が過度に低下するおそれがある。

なお、バリア層１９、２１は金属膜として製膜されるが、例えば第２の透明誘電体層１４や第３の透明誘電体層１６を酸化雰囲気で製膜する際、または後強化あるいは後曲げ処理中に酸化されて金属酸化膜に変化する。このため、バリア層１９、２１は、必ずしも積層体１としたときに金属膜である必要はない。

保護層２２は、表面の耐擦傷性を向上させるために設けられ、積層体１の最表面、一般には第３の透明誘電体層１６の表面に設けられる。保護層２２は、例えばＴｉＮｘ、ＳｉＮｘ、ＴｉＯ_２等を主成分とする金属窒化物膜、金属酸化物膜から選ばれる１または２以上が積層されてなるものである。保護層２２の膜厚は、合計膜厚で１〜２０ｎｍが好ましく、２〜１０ｎｍがより好ましい。保護層２２の膜厚を１ｎｍ以上とすることで、耐擦傷性を効果的に向上させることができる。また、保護層２２の膜厚を２０ｎｍ以下とすることで、可視光透過率の過度な低下も抑制することができる。

次に、膜厚比の規定の有効性について、計算結果を挙げて説明する。
まず、基本となる膜構成は表１に示すように、透明基体１１（ガラス板、３ｍｍ）／第１の誘電体層１２（５ＡＺＯ、３５ｎｍ、屈折率２．０）／第１のＡｇ層１３（Ａｇ、１３ｎｍ）／光吸収層１７（Ｔｉ、５ｎｍ）／バリア層１９（ＴｉＯ_２、３．４ｎｍ、屈折率２．５）／第２の誘電体層１４（５ＡＺＯ、７５ｎｍ、屈折率２．０）／第２のＡｇ層１５（Ａｇ、１２ｎｍ）／吸収層１８（Ｔｉ、３ｎｍ）／バリア層２１（ＴｉＯ_２、３．４ｎｍ、屈折率２．５）／第３の誘電体層１６（５ＡＺＯ、２０ｎｍ、屈折率２．０）／保護層２２（ＴｉＯ_２、５ｎｍ、屈折率２．５）とした。ここで、５ＡＺＯは、Ａｌ_２Ｏ_３添加ＺｎＯ（Ｚｎに対するＡｌの含有割合が５．０原子％）のターゲットを用いて成膜されたＡｌドープＺｎＯを意味する。

このような膜構成（基本膜厚）を基本とし、同表に示す最大値（倍）および最小値（倍）の範囲内において同表に示す刻み幅で各層の膜厚を順次変更し、表２に示す光学特性を満足する解を求める計算を行った。ここで、バリア層１９、２１、保護層２２の膜厚は固定し、その他の層についてのみ膜厚を変更した。なお、第１〜第３の誘電体層１２、１４、１６の膜厚範囲は、それぞれ２４．５〜５２．５ｎｍ、６０〜９０ｎｍ、１０〜４０ｎｍである。また、第１、第２のＡｇ層１３、１５の膜厚範囲は、それぞれ１０．４ｎｍ〜１５．６ｎｍ、９．６ｎｍ〜１５．６ｎｍである。さらに、第１、第２の光吸収層１７、１８の膜厚範囲は、それぞれ１〜１０ｎｍ、０．６ｎｍ〜６ｎｍである。

また、計算は、表２に示すように、特に可視光透過率が４０〜５０％、かつ斜めから見たとき（法線方向からの角度（入射角）が７５°のとき）の透明基体１１側の表面における反射色のＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊が１以下となる解を求めた。ここで、ＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊が１以下との規定は、一般的に赤色が確認されない範囲として採用した。表２中、Ｒｆは多層膜側、すなわち透明基体１１とは反対側の主面における反射特性、Ｒｇは透明基体１１側の主面における反射特性、Ｔは可視光透過特性を示す。また、Ｙは反射率あるいは透過率を示し、ａはＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊、ｂはＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるｂ^＊を示す。結果を図３に示す。

図３中、菱形の点は、上記光学特性を満足する解が得られる第１のＡｇ層１３および第２のＡｇ層１５の物理的膜厚を示す。なお、各点は、必ずしも１つの解のみが存在するわけではなく、通常、第１〜第３の誘電体層１２、１４、１６、光吸収層１７、１８の物理的膜厚が異なる複数の解が存在する。また、左下から右上に延びる点線は、膜厚比（第２のＡｇ層の物理的膜厚／第１のＡｇ層の物理的膜厚）が１．０５となる位置を示す。

図３から明らかなように、膜厚比が１．０５以上の場合に、可視光透過率が４０〜５０％のものについて、斜めから見たときのＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊を１以下にできることがわかる。なお、この計算では、可視光透過率４０〜５０％という制限を設けたが、必ずしもこのような範囲に限らない。例えば、可視光透過率３０〜５０％の範囲についても、斜めから見たときのＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊を１以下にできる。

一方、表３、４は、上記膜厚範囲内において膜厚比を１．０５未満とした場合の一例を示したものである。この膜構成は、表４に示すように膜厚比が０．８１のものである。この膜構成においては、斜めから見たときのＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊が１を超え、外観が好ましくないことがわかる。

本発明の積層体１は、複層ガラスとして好適に用いることができる。
図４は、積層体１は、複層ガラス２の一例を示したものである。複層ガラス２は、例えば積層体１とガラス板３とがスペーサ４を介して所定の間隔となるように配置されたものである。積層体１とスペーサ４との間、ガラス板３とスペーサ４との間は１次シール材５によりシールされている。また、積層体１とガラス板３との間の周縁部は２次シール材６によりシールされている。スペーサ４内には、貫通孔７を通して中空層８内の結露を抑制するための乾燥剤９が充填されている。また、中空層８には、アルゴンガス等が封入されている。

通常、積層体１は、透明基体１１側が室外側となるようにガラス板３に対して室外側に配置される。このような複層ガラス２によれば、可視光透過率が５０％以下、かつ斜めから見たときの外観が中性色または青色である積層体１を有するために、高層ビル、特に低緯度〜中緯度の地域の高層ビルの窓ガラスや外壁に好適に用いることができる。

上記計算結果をもとに、表５に示す膜構成を有する積層体をスパッタリング法により製造した。スパッタ装置には、スパッタ室に、Ａｌ添加Ｚｎ（Ｚｎに対するＡｌの含有割合が５．０原子％）、４８質量％Ｓｎ５２質量％Ｚｎ、Ｔｉ、Ａｇの各ターゲットが装着されたインライン型スパッタ装置を使用した。

まず、洗浄した厚さ３ｍｍのソーダライムガラス板をインライン型スパッタ装置に導入し、ロードロック室において、真空度が２×１０^-６Ｔｏｒｒ以下になるまで真空排気した。引き続いて、ガラス板をスパッタ室に導入し、表５に示す膜構成となるように、順次、誘電体層としてＡｌドープＺｎＯ膜（屈折率２．０）または／およびＳｎＺｎＯｘ膜（屈折率２．０）、Ａｇ層として純Ａｇ膜、バリア層としてＴｉ膜、保護層としてＴｉＮｘ膜、ＴｉＯ_２膜（屈折率２．５）を製膜した。

なお、ＡｌドープＺｎＯ膜は、Ａｌ添加Ｚｎターゲットを用い、ガス流量比をＡｒ／Ｏ_２＝１０／９、パワー密度を８．８Ｗ／ｃｍ^２として成膜を行った。ＳｎＺｎＯｘ膜は、４８質量％Ｓｎ５２質量％Ｚｎターゲットを用い、ガス流量比をＡｒ／Ｏ_２＝１０／９、パワー密度を８．８Ｗ／ｃｍ^２として成膜を行った。Ａｇ膜は、Ａｇターゲットを用い、導入ガスをＡｒ１００％、パワー密度を４．０Ｗ／ｃｍ^２として成膜を行った。Ｔｉ膜は、Ｔｉターゲットを用い、導入ガスをＡｒ１００％、パワー密度を４．２Ｗ／ｃｍ^２として成膜を行った。ＴｉＮｘ膜は、Ｔｉターゲットを用い、ガス流量比をＡｒ／Ｎ_２＝３／７、パワー密度を２．９Ｗ／ｃｍ^２として成膜を行った。ＴｉＯ_２膜は、Ｔｉターゲットを用い、ガス流量比をＡｒ／Ｏ_２＝６／４、パワー密度を２３．５Ｗ／ｃｍ^２として成膜を行った。なお、製膜圧力はいずれも３〜５ｍＴｏｒｒとした。

製膜後、７３０℃、空気中で４分間熱処理した。なお、バリア層となるＴｉ膜は、その上に誘電体層となるＡｌドープＺｎＯ膜またはＳｎＺｎＯｘ膜を製膜後、また熱処理後においても全てＴｉＯ_２とはならず、下部はＴｉ金属として残っていた。

得られた積層体について、垂直入射の可視光透過率、斜め入射（法線方向からの角度（入射角）７５°）の透明基体（ガラス板）側の表面の反射色のＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊を求めた。なお、可視光透過率は、日立Ｕ−４１００分光光度計を用い、波長３００〜２５００ｎｍにおいて測定した。また、斜め入射の透明基体側表面の反射色（ＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊）は、日本分光製ＡＲＴ−２５ＧＴを用いて斜め入射の分光透過率、透明基体（ガラス板）側表面反射率、膜側表面反射率を測定し、これらの測定値より算出した。

表５、６から明らかなように、膜厚比を１．３２としたものは、可視光透過率が４２．１０％のものにおいて、斜めから見たときの反射色をＣＩＥ−Ｌａｂ表色法におけるａ^＊で０にできることが認められた。

１…積層体、１１…透明基体、１２…第１の透明誘電体層、１３…第１のＡｇ層、１４…第２の透明誘電体層、１５…第２のＡｇ層、１６…第３の透明誘電体層、１７、１８…吸収層、１９、２１…バリア層、２２…保護層

Claims

透明基体上に３層の透明誘電体層と２層のＡｇ層とが前記透明誘電体層間に前記Ａｇ層が介在するように交互に積層されてなる積層体であって、
前記Ａｇ層を前記透明基体側から順に第１のＡｇ層、第２のＡｇ層としたとき、前記第１のＡｇ層に対する前記第２のＡｇ層の物理的膜厚の比が１．０５以上、かつ前記積層体の可視光透過率が５０％以下であることを特徴とする積層体。
前記積層体は、光吸収層を有することを特徴とする請求項１記載の積層体。
前記光吸収層は、金属膜、金属酸化膜、または金属窒化膜であることを特徴とする請求項２記載の積層体。
前記Ａｇ層上に金属膜バリア層を介して前記透明誘電体層が積層されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項記載の積層体。
前記透明誘電体層のうち最上層となる透明誘電体層上に保護層を有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項記載の積層体。