KR102101866B1 - 플랙서블 전기변색소자의 제조방법 - Google Patents

플랙서블 전기변색소자의 제조방법 Download PDF

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Abstract

개시되는 플랙서블 전기변색소자의 제조방법는, 플랙서블(flexible)한 폴리머 재질로 형성되는 제1,2 기판을 준비하는 제1 단계; 상기 제1 기판 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 ITO(Indium Tin Oxide), 아조화합물(AZO) 및 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 중에서 선택된 재질로 형성되는 제1 투명전극층과, 상기 제1 투명전극층 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식 또는 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 형성되는 전기변색층으로 구성되는 전기변색부를 형성하는 제2 단계; 상기 제2 기판 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 ITO(Indium Tin Oxide), 아조화합물(AZO) 및 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 중에서 선택된 재질로 형성되는 제2 투명전극층과, 상기 제2 투명전극층 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식 또는 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 형성되는 상대전극층으로 구성되는 상대전극부를 형성하는 제3 단계; 상기 제1 기판의 상기 전기변색층 또는 상기 제2 기판의 상기 상대전극층 위에 습식코팅(Wet coating) 방식으로 전해질층을 형성하는 제4 단계; 및 상기 전해질층을 고체화하면서 상기 상대전극층과 상기 전기변색층이 서로 마주하도록 상기 전기변색부와 상기 상대전극부를 합지하는 제5 단계;를 포함한다.

Description

플랙서블 전기변색소자의 제조방법{Method for manufacturing Flexible Electro-Chromic element}
본 발명(Disclosure)은, 플랙서블 전기변색소자의 제조방법에 관한 것으로서, 구체적으로 모든 공정이 연속 공정으로 이루어지는 플랙서블 전기변색소자의 제조방법에 관한 것이다.
여기서는, 본 발명에 관한 배경기술이 제공되며, 이들이 반드시 공지기술을 의미하는 것은 아니다(This section provides background information related to the present disclosure which is not necessarily prior art).
빛의 투과율이 조절되는 스마트 글라스를 구현하는 기술은, 전기변색물질을 이용하는 기술(Electro-Chromic, EC), PDLC 기술(Polymer Dispersed Liquid Crystal) 및 SPD(Suspended Partical Device) 기술 등이 알려져 있다 .
이 중에 전기변색물질을 이용한 기술은, PDLC 및 SPD 기술에 비교하여, 구동 전압과 소모 전력이 낮은 장점이 있다.
전기변색물질을 이용한 기술은, 물질의 산화-환원 반응을 이용한다.
이러한 기술은, 일반적으로 글라스 기판 위에 차례로 형성되는 투명전극층, 전기변색층, 전해질층, 상대전극층 및 투명전극층으로 구성된다.
투명전극층을 통해 전원이 공급 또는 차단되며, 환원착색 물질인 전기변색층(WxOy, MoxOy 등)에 Li+이나 H+와 같은 양이온과 전자가 주입되면 착색되었다가, 방출되면 투명하게 된다. 반대로 산화착색 물질인 상대전극층(VxOy, NixOy, IrxOy, MnxOy 등)으로 Li+이나 H+와 같은 양이온과 전자가 방출되면 착색되고, 주입되면 투명하게 된다.
한편, 전기변색물질을 이용한 전기변색소자는, 이온 물질의 이동에 의해 변색이 되기 때문에 변색 효율을 개선하고 변색시간을 줄이려면 이온 물질의 이동을 빠르게 해 주어야 한다.
이는, 낮은 저항값이 전기변색소자의 구동(스위칭 타임/switching time)을 개선할 수 있다.
일반적으로 전기변색소자는 투명전극층으로, AZO, FTO, ITO, AgNWs, PEDOT:PSS 등의 투명전도막을 이용한다.
하지만 이러한 투명전도막은 단일 막으로 제조 시 전기저항이 100 ohm/sq 이상으로 높다. 또한 저항 값을 낮추기 위해서는 투명전도막의 두께를 두껍게 (약 100nm 이상)으로 해야만 40 ohm/sq 정도를 얻을 수 있다.
하지만 두꺼운 두꺼운 투명전도막은, 유연한(flexible) 재질의 기판을 이용 시 투명전도막이 깨져 전기적으로 단락이 되는 등의 전기변색소자의 신뢰성을 낮출 수 있다.
1. 한국등록특허공보 제10-0946728호
본 발명(Disclosure)은, 모든 공정이 연속 공정으로 이루어지는 플랙서블 전기변색소자의 제조방법의 제공을 일 목적으로 한다.
여기서는, 본 발명의 전체적인 요약(Summary)이 제공되며, 이것이 본 발명의 외연을 제한하는 것으로 이해되어서는 아니 된다(This section provides a general summary of the disclosure and is not a comprehensive disclosure of its full scope or all of its features).
상기한 과제의 해결을 위해, 본 발명을 기술하는 여러 관점들 중 어느 일 관점(aspect)에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법는, 플랙서블(flexible)한 폴리머 재질로 형성되는 제1,2 기판을 준비하는 제1 단계; 상기 제1 기판 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 ITO(Indium Tin Oxide), 아조화합물(AZO) 및 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 중에서 선택된 재질로 형성되는 제1 투명전극층과, 상기 제1 투명전극층 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식 또는 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 형성되는 전기변색층으로 구성되는 전기변색부를 형성하는 제2 단계; 상기 제2 기판 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 ITO(Indium Tin Oxide), 아조화합물(AZO) 및 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 중에서 선택된 재질로 형성되는 제2 투명전극층과, 상기 제2 투명전극층 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식 또는 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 형성되는 상대전극층으로 구성되는 상대전극부를 형성하는 제3 단계; 상기 제1 기판의 상기 전기변색층 또는 상기 제2 기판의 상기 상대전극층 위에 습식코팅(Wet coating) 방식으로 전해질층을 형성하는 제4 단계; 및 상기 전해질층을 고체화하면서 상기 상대전극층과 상기 전기변색층이 서로 마주하도록 상기 전기변색부와 상기 상대전극부를 합지하는 제5 단계;를 포함한다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법에서, 상기 제2 단계는, 상기 제1 투명전극층을 형성하기 전에 상기 제1 기판 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식으로 실버 나노와이어(AgNWs, Silver Nano Wire), 전도성 고분자(PEDOT:PSS) 및 메탈 메쉬(metal mesh) 중에서 선택된 재질을 이용하여 제1 전류분산층을 형성하고, 상기 제3 단계는, 상기 제2 투명전극층을 형성하기 전에 상기 제2 기판 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식으로 실버 나노와이어(AgNWs, Silver Nano Wire), 전도성 고분자(PEDOT:PSS) 및 메탈 메쉬(metal mesh) 중에서 선택된 재질을 이용하여 제2 전류분산층을 형성한다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법에서, 상기 제1,2 기판은, PET(Polyethylene terephthalate), PI(Polyimide) 및 PEN(Polyethylene naphthalate) 중에서 선택된 재질로 구비된다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법에서, 상기 제2 단계는, 상기 전기변색층 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 탄탈륨 옥사이드(TaxOy, 2≤x≤3, 3≤y≤6)로 마련되는 제1 전해질보호층을 형성하고, 상기 제3 단계는, 상기 상대전극층 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 탄탈륨 옥사이드(TaxOy, 2≤x≤3, 3≤y≤6)로 마련되는 제2 전해질보호층을 형성한다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법에서, 상기 제5 단계는, 상기 전해질층에 자외선을 조사하여 고체화하면서 상기 전기변색부와 상기 상대전극부를 순차로 합지한다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법에서, 상기 제1,2 전류분산층은, 시트저항(sheet resistance)이 40 내지 60 ohm/sq인 두께로 형성되고, 상기 제1 투명전극층과 상기 제1 전류분산층으로 구성되는 제1 복합층 및 상기 제2 투명전극층과 상기 제2 전류분산층으로 구성되는 제2 복합층의 시트저항(sheet resistance)이 각각 5 내지 20 ohm/sq이 되도록 상기 제1,2 투명전극층의 두께를 형성한다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법에서, 상기 전해질층은, LiAlF6, LiPON 및 gel/liquid electrolyte에서 선택된 물질로 구성되며, 상기 전기변색층은, WO3, polyanaline 및 viologen에서 선택된 물질로 구성되고, 상기 상대전극층은, V2O5 및 NiO에서 선택된 물질로 구성된다.
본 발명의 일 관점(aspect)에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법에서, 상기 전해질층은 100 um 이하의 두께로 형성된다.
본 발명에 따르면, 롤투롤 방식으로 모든 공정이 연속 공정으로 이루어져 생산공정을 간편한 이점을 가진다.
본 발명에 따르면, 투명전극층과 전류분산층을 복합적으로 구성함으로써 플랙서블 기능성을 안정적으로 유지할 수 있도록 한다.
본 발명에 따르면, 습식코팅된 전해질을 자외선으로 고체화하면서 전기변색부와 상대전극부를 합지함으로써 전해질 내부의 기포발생 가능성을 제거할 수 있고, 투과율 특성이 우수하며, 내구성을 향상시킬 수 있다.
본 발명에 따르면, 전해질의 양면에 전해질보호층을 구비함으로써 탈색 및 변색의 응답속도가 빠르게 된다.
도 1은 본 발명에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법의 제1 실시형태를 보인 도면.
도 2는 도 1에 따라 제조된 플랙서블 전기변색소자를 보인 도면.
도 3은 본 발명에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법의 제2 실시형태를 보인 도면.
도 4는 도 3에 따라 제조된 플랙서블 전기변색소자를 보인 도면.
도 5는 본 발명에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법의 제3 실시형태를 보인 도면.
도 6은 도 5에 따라 제조된 플랙서블 전기변색소자를 보인 도면.
이하, 본 발명에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법를 구현한 실시형태를 도면을 참조하여 자세히 설명한다.
다만, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상은 이하에서 설명되는 실시형태에 의해 그 실시 가능 형태가 제한된다고 할 수는 없고, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상에 기초하여 통상의 기술자에 의해 이하에서 설명되는 실시형태를 치환 또는 변경의 방법으로 용이하게 제안될 수 있는 범위를 포섭함을 밝힌다.
또한, 이하에서 사용되는 용어는 설명의 편의를 위하여 선택한 것이므로, 본 발명의 본질적인(intrinsic) 기술적 사상을 파악하는 데 있어서, 사전적 의미에 제한되지 않고 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미로 적절히 해석되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법의 제1 실시형태를 보인 도면, 도 2는 도 1에 따라 제조된 플랙서블 전기변색소자를 보인 도면이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 본 실시형태에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법(10)는 기판준비단계(11), 전기변색부 형성단계(12), 상대전극부 형성단계(13), 전해질층 형성단계(14), 합지단계(15)를 포함한다.
기판준비단계(11)(제1 단계)는, 플랙서블(flexible)한 폴리머 재질로 형성되는 제1,2 기판(161,162)을 준비하는 단계이다.
제1,2 기판(161,162)은, PET(Polyethylene terephthalate), PI(Polyimide) 및 PEN(Polyethylene naphthalate) 중에서 선택된 재질로 구비된다.
전기변색부 형성단계(12)(제2 단계)는, 제1 기판(161) 위에 제1 투명전극층(141), 전기변색층(120)을 순차로 형성하되, 롤투롤 방식으로 형성하는 단계이다.
제1 투명전극층(141)은, 제1 기판(161) 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 형성하며, ITO(Indium Tin Oxide), 아조화합물(AZO) 및 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 중에서 선택된 재질로 형성된다.
전기변색층(120)은, 제1 투명전극층(141) 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식 또는 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 형성된다.
전기변색층(120)은, WO3, polyanaline 및 viologen에서 선택된 물질로 구성된다.
상대전극부 형성단계(13)(제3 단계)는, 제2 기판(162) 위에 제2 투명전극층(151), 상대전극층(130)을 순차로 형성하되, 롤투롤 방식으로 형성하는 단계이다.
제2 투명전극층(151)은, 제2 기판(162) 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 형성하며, ITO(Indium Tin Oxide), 아조화합물(AZO) 및 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 중에서 선택된 재질로 형성된다.
상대전극층(130)은, 제2 투명전극층(151) 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식 또는 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 형성된다.
상대전극층(130)은, V2O5 및 NiO에서 선택된 물질로 구성된다.
전해질층 형성단계(14)(제4 단계)는, 제1 기판(161)의 전기변색층(120) 또는 제2 기판(162)의 상대전극층(130) 위에 습식코팅(Wet coating) 방식으로 전해질층(110)을 형성하는 단계이다.
전해질층(110)은, LiAlF6, LiPON 및 gel/liquid electrolyte에서 선택된 물질로 구성된다.
합지단계(15)(제5 단계)는, 전해질층(110)을 고체화하면서 상대전극층(130)과 전기변색층(120)이 서로 마주하도록 전기변색부(101)와 상대전극부(102)를 합지하는 단계이다.
이때, 전해질층(110)에 자외선을 조사하여 고체화하면서 전기변색부(101)와 상대전극부(102)를 순차로 합지하는 것이 바람직하다.
이에 의하면, 고체화하면서 발생될 수 있는 기포를 방지할 수 있다.
여기서, 전해질층(110)은 100 um 이하의 두께로 형성되는 것이 바람직하다.
전해질층(110)의 두께는, 본 실시형태에 따른 전기변색소자(200)의 내구성 및 전기변색 특성에 있어 매우 중요하다.
두께가 얇을 경우에는 내구성이 약하며, 두꺼울 경우에는 내구성은 향상되지만, 탈색·변색 응답속도가 현저히 감소하는 문제가 있다.
이에 의하면, 전기변색부(101)와 상대전극부(102)를 각각 롤투롤 방식으로 모든 공정이 연속 공정으로 이루어져 생산공정을 간편한 이점을 가진다.
또한, 습식코팅된 GEL 타입의 전해질을 자외선으로 고체화하면서 전기변색부(101)와 상대전극부(102)를 합지함으로써 전해질 내부의 기포발생 가능성을 제거할 수 있고, 투과율 특성이 우수하며, 내구성을 향상시킬 수 있다.
도 3은 본 발명에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법의 제2 실시형태를 보인 도면, 도 4는 도 3에 따라 제조된 플랙서블 전기변색소자를 보인 도면이다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 본 실시형태에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법(10)은, 위의 제1 실시형태를 모두 포함하나, 제1 기판(161)과 제1 투명전극층(141) 사이에 제1 전류분산층(142)을 구비하고, 제2 기판(162)과 제2 투명전극층(151) 사이에 제2 전류분산층(152)을 더 구비하는 점에서 차이가 있다.
제1 전류분산층(142)은, 제1 투명전극층(141)을 형성하기 전에 제1 기판(161) 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식으로 형성한다.
제1 전류분산층(142)은, 실버 나노와이어(AgNWs, Silver Nano Wire), 전도성 고분자(PEDOT:PSS) 및 메탈 메쉬(metal mesh) 중에서 선택된 재질을 이용하여 형성한다.
한편, 제2 전류분산층(152)은, 제2 투명전극층(151)을 형성하기 전에 제2 기판(162) 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식으로 형성하고, 실버 나노와이어(AgNWs, Silver Nano Wire), 전도성 고분자(PEDOT:PSS) 및 메탈 메쉬(metal mesh) 중에서 선택된 재질을 이용하여 형성한다.
본 실시형태에서는, 제1,2 전류분산층(142,152)이 추가되며, 제1,2 전류분산층(142,152)은 각각 전기변색층(120) 및 상대전극층(130)과 접하지 않도록 배치된다.
제1,2 전류분산층(142,152)은 제1,2 투명전극층(141,142)과 함께 복합 시트저항을 낮게 형성하면서도 플랙서블 기능성 유지를 위한 얇은 두께를 가능하게 한다.
이때, 제1,2 전류분산층(142,152)은, 시트저항(sheet resistance)이 40 내지 60 ohm/sq인 두께로 형성된다.
또한, 제1 투명전극층(141)과 제1 전류분산층으로 구성되는 제1 복합층 및 제2 투명전극층(151)과 제2 전류분산층(152)으로 구성되는 제2 복합층의 시트저항(sheet resistance)이 각각 5 내지 20 ohm/sq이 되도록 제1,2 투명전극층(141,142)의 두께를 형성한다.
이에 의하면, 투명전극층과 전류분산층을 복합적으로 구성함으로써 플랙서블 기능성을 안정적으로 유지할 수 있도록 한다.
도 5는 본 발명에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법의 제3 실시형태를 보인 도면, 도 6은 도 5에 따라 제조된 플랙서블 전기변색소자를 보인 도면이다.
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 실시형태에 따른 플랙서블 전기변색소자의 제조방법(10)은, 위의 제1 실시형태 또는 제2 실시형태를 모두 포함하나, 전기변색층(120)과 상대전극층(130) 각각이 전해질층(110)과 직접 접하는 것을 방지하고자 제1,2 전해질보호층(211,212)을 더 가진다.
제1 전해질보호층(211)은, 전기변색층(120) 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 탄탈륨 옥사이드(TaxOy, 2≤x≤3, 3≤y≤6)로 마련된다.
제2 전해질보호층(212)은, 상대전극층 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 탄탈륨 옥사이드(TaxOy, 2≤x≤3, 3≤y≤6)로 마련된다.
본 실시형태에서, 전해질층(110)과 전기변색층(120)의 계면, 전해질층(110)과 상대전극층(130)의 계면을 통한 양이온의 이동이 방해되어 전기변색층(120)과 상대전극층(130)에 이온이 트랩(trap)되어 전기변색효율이나 신뢰성이 저하되는 것을 방지할 수 있다.
제1,2 전해질보호층(211,212)은, Ta2O5로 마련되는 것이 바람직하다.
이에 의하면, 인가전압 3~5.5 V에 이르는 넓은 전기장에서도 안정하며, 양극간의 접촉특성 또한 매우 우수하여 충방전특성 및 계면 저항을 줄일 수 있는 특성을 가진다.

Claims (8)

  1. 플랙서블(flexible)한 폴리머 재질로 형성되는 제1,2 기판을 준비하는 제1 단계;
    상기 제1 기판 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 ITO(Indium Tin Oxide), 아조화합물(AZO) 및 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 중에서 선택된 재질로 형성되는 제1 투명전극층과, 상기 제1 투명전극층 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식 또는 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 형성되는 전기변색층으로 구성되는 전기변색부를 형성하는 제2 단계;
    상기 제2 기판 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 ITO(Indium Tin Oxide), 아조화합물(AZO) 및 FTO(Fluorine-doped Tin Oxide) 중에서 선택된 재질로 형성되는 제2 투명전극층과, 상기 제2 투명전극층 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식 또는 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 형성되는 상대전극층으로 구성되는 상대전극부를 형성하는 제3 단계;
    상기 제1 기판의 상기 전기변색층 또는 상기 제2 기판의 상기 상대전극층 위에 습식코팅(Wet coating) 방식으로 전해질층을 형성하는 제4 단계; 및
    상기 전해질층을 고체화하면서 상기 상대전극층과 상기 전기변색층이 서로 마주하도록 상기 전기변색부와 상기 상대전극부를 합지하는 제5 단계;를 포함하되,
    상기 제2 단계는, 상기 제1 투명전극층을 형성하기 전에 상기 제1 기판 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식으로 실버 나노와이어(AgNWs, Silver Nano Wire), 전도성 고분자(PEDOT:PSS) 및 메탈 메쉬(metal mesh) 중에서 선택된 재질을 이용하여 제1 전류분산층을 형성하고,
    상기 제3 단계는, 상기 제2 투명전극층을 형성하기 전에 상기 제2 기판 위에 롤투롤 습식코팅(Roll to roll wet coating) 방식으로 실버 나노와이어(AgNWs, Silver Nano Wire), 전도성 고분자(PEDOT:PSS) 및 메탈 메쉬(metal mesh) 중에서 선택된 재질을 이용하여 제2 전류분산층을 형성하며,
    상기 제1,2 기판은, PET(Polyethylene terephthalate), PI(Polyimide) 및 PEN(Polyethylene naphthalate) 중에서 선택된 재질로 구비되고,
    상기 제2 단계는, 상기 전기변색층 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 탄탈륨 옥사이드(TaxOy, 2≤x≤3, 3≤y≤6)로 마련되는 제1 전해질보호층을 형성하고,
    상기 제3 단계는, 상기 상대전극층 위에 롤투롤 스퍼터링(Roll to roll sputtering) 방식으로 탄탈륨 옥사이드(TaxOy, 2≤x≤3, 3≤y≤6)로 마련되며,
    상기 제1,2 전류분산층은, 시트저항(sheet resistance)이 40 내지 60 ohm/sq인 두께로 형성되고, 상기 제1 투명전극층과 상기 제1 전류분산층으로 구성되는 제1 복합층 및 상기 제2 투명전극층과 상기 제2 전류분산층으로 구성되는 제2 복합층의 시트저항(sheet resistance)이 각각 5 내지 20 ohm/sq이 되도록 상기 제1,2 투명전극층의 두께를 형성하고,
    상기 제5 단계는, 전해질 내부의 기포발생 가능성이 제거되도록 상기 전해질층에 자외선을 조사하여 고체화하면서 상기 전기변색부와 상기 상대전극부를 순차로 합지하는 플랙서블 전기변색소자의 제조방법.
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  6. 삭제
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 전해질층은, LiAlF6, LiPON 및 gel/liquid electrolyte에서 선택된 물질로 구성되며,
    상기 전기변색층은, WO3, polyanaline 및 viologen에서 선택된 물질로 구성되고,
    상기 상대전극층은, V2O5 및 NiO에서 선택된 물질로 구성되는 플랙서블 전기변색소자의 제조방법.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 전해질층은 100 um 이하의 두께로 형성되는 플랙서블 전기변색소자의 제조방법.
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