KR102086657B1 - 불소 함유 폐수 처리 시스템 및 불소 함유 폐수 처리 방법 - Google Patents

불소 함유 폐수 처리 시스템 및 불소 함유 폐수 처리 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명의 불소 함유 폐수 처리 시스템은, 불소 함유 폐수를 공급하도록 형성되는 폐수 공급부; 상기 폐수 공급부로부터 공급되는 불소 함유 폐수에 알루미늄 이온 소스를 투입하여 불화알루미늄 결정을 생성하도록 형성되는 결정화 반응조; 상기 결정화 반응조에서 생성되는 상기 불화알루미늄 결정을 침전시켜 상기 폐수로부터 분리하도록 형성되는 침전지; 및 상기 침전지에서 분리 배출된 상기 불화알루미늄 결정에 수산화 이온 소스를 투입하여 염기성 조건을 생성하도록 형성되고, 상기 염기성 조건에서 불화칼슘 입상화 반응을 일으키도록 상기 불화알루미늄 결정에 칼슘 이온 소스를 투입하도록 형성되는 입상화 반응기를 포함하고, 상기 입상화 반응기는 초음파를 발생시켜 상기 입상화 반응기 내부를 가열하도록 형성되는 저진동 초음파 장치를 구비한다.

Description

불소 함유 폐수 처리 시스템 및 불소 함유 폐수 처리 방법{FLUORINE-CONTAINING WASTEWATER TREATMENT SYSTEM AND FLUORINE-CONTAINING WASTEWATER TREATMENT METHOD}
본 발명은 불소 함유 폐수로부터 불화칼슘 입상화를 이용하여 폐수 내의 불소를 제거하는 불소 함유 폐수 처리 시스템과 불소 함유 폐수 처리 방법에 관한 것이다.
반도체 제조 등과 같은 공정에서는 여러 종류의 독성 가스와 화공 약품 및 다량의 용수가 사용되어 다량의 폐수 및 폐기물이 발생한다. 특히 불소는 화학적 반응에 의해 박막을 식각하는 습식 식각 공정 등에서 배출된다.
대한민국 등록특허공보 제10-0189661호(1999.01.18.)에는 소석회를 이용하여 불소를 제거하는 불소처리방법이 개시되어 있다. 그러나 소석회를 이용하여 불소를 제거하는 경우 투입되는 약품량과 처리 후 생성되는 슬러지의 양이 많아 경제적이지 못하다. 특히 최종 슬러지의 탈수 및 건조가 필요하기 때문에 슬러지 처리를 위한 추가적인 장비의 설비의 설치 및 운영 비용이 발생하게 된다.
따라서 기본의 불소처리 방법보다 개선된 형태의 불소 함유 폐수 처리 시스템과 불소 함유 폐수 처리 방법이 필요하다.
본 발명의 일 목적은 기존의 탈수 및 건조가 불필요하도록 입상화 반응기에서 이루어지는 불화칼슘 입상화를 이용하여 폐수 내 불소를 제거하는 불소 함유 폐수 처리 시스템과 불소 함유 폐수 처리 방법을 제안하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 일 목적은 입상화 반응기에서 일어나는 불화칼슘 입상화 반응을 저진동 초음파로 촉진하여 불화칼슘 생성 효과를 증대시킬 수 있는 불소 함유 폐수 처리 시스템과 불소 함유 폐수 처리 방법을 제안하기 위한 것이다.
본 발명의 또 다른 일 목적은 불화칼슘 입상화 과정 중 용출되는 알루미늄 이온을 재사용 하여 불화알루미늄 결정화 반응에 필요한 약품 사용량을 감소시킬 수 있는 불소 함유 폐수 처리 시스템과 불소 함유 폐수 처리 방법을 제안하기 위한 것이다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위해 본 발명에서 제안하는 불소 함유 폐수 처리 시스템은, 불소 함유 폐수를 공급하도록 형성되는 폐수 공급부; 상기 폐수 공급부로부터 공급되는 불소 함유 폐수에 알루미늄 이온 소스를 투입하여 불화알루미늄 결정을 생성하도록 형성되는 결정화 반응조; 상기 결정화 반응조에서 생성되는 상기 불화알루미늄 결정을 침전시켜 상기 폐수로부터 분리하도록 형성되는 침전지; 및 상기 침전지에서 분리 배출된 상기 불화알루미늄 결정에 수산화 이온 소스를 투입하여 염기성 조건을 생성하도록 형성되고, 상기 염기성 조건에서 불화칼슘 입상화 반응을 일으키도록 상기 불화알루미늄 결정에 칼슘 이온 소스를 투입하도록 형성되는 입상화 반응기를 포함하고, 상기 입상화 반응기는 초음파를 발생시켜 상기 입상화 반응기 내부를 가열하도록 형성되는 저진동 초음파 장치를 구비한다.
상기 저진동 초음파 장치는 상기 입상화 반응기의 내부를 가열하도록 20kHz 이하의 저진동 초음파를 발생시킨다.
상기 입상화 반응기는, 상기 침전지에서 분리 배출된 상기 불화알루미늄 결정을 상기 입상화 반응기의 내부로 유입시키도록 형성되는 결정 유입부; 및 상기 수산화 이온 소스와 상기 칼슘 이온 소스 중 적어도 하나를 상기 입상화 반응기의 내부로 유입시키도록 형성되는 이온 소스 유입부를 구비하고, 상기 결정 유입부에서 유입되는 상기 불화알루미늄 결정과, 상기 이온 소스 유입부에서 유입되는 상기 칼슘 이온 소스가 서로 만나는 위치와 대응되는 위치에 상기 저진동 초음파 장치가 설치된다.
상기 입상화 반응기는 상향 흐름 과정에서 상기 불화칼슘 입상화 반응을 일어나게 하도록 상기 입상화 반응기의 하부에 상기 결정 유입부와 상기 이온 소스 유입부를 구비한다.
상기 입상화 반응기는 상기 불화칼슘 입상화 반응에서 용출되는 알루미늄 이온을 상기 결정화 반응조에 공급하도록 형성된다.
또한 본 발명에서 제안하는 불소 함유 폐수 처리 방법은, 불소가 함유된 폐수에 알루미늄 이온 소스를 투입하여 불화알루미늄 결정을 생성하는 제1 공정; 및 상기 폐수로부터 분리 배출된 상기 불화알루미늄 결정에 수산화 이온 소스를 투입하여 염기성 조건을 형성하고, 상기 염기성 조건에서 불화칼슘 입상화 반응을 일으키도록 상기 불화알루미늄 결정에 칼슘 이온 소스를 투입하며, 입상화된 불화칼슘을 분리 배출하는 제2 공정을 포함하고, 상기 제2 공정에서는 상기 불화알루미늄 결정과 상기 칼슘 이온 소스를 가열하도록 초음파를 인가한다.
상기 제2 공정에서는 상기 불화알루미늄 결정과 상기 칼슘 이온 소스를 가열하도록 20kHz 이하의 저진동 초음파를 인가한다.
상기 제2 공정에서는 상기 불화알루미늄 결정과 상기 칼슘 이온 소스가 서로 만나는 위치에 초음파를 인가한다.
상기 제2 공정에서는 상기 불화알루미늄 결정과 상기 칼슘 이온 소스의 상향 흐름 과정에서 상기 불화칼슘 입상화 반응을 일어나게 한다.
상기 불화칼슘 입상화 반응에서 용출되는 알루미늄 이온을 상기 제1 공정의 상기 불화알루미늄 결정의 생성에 이용한다.
상기와 같은 구성의 본 발명에 의하면, 입상화 반응기에서 이루어지는 불화칼슘 입상화 반응을 이용해 폐수 내 불소를 제거하므로, 고농도의 입상화된 불화칼슘을 생성할 수 있을 뿐만 아니라 탈수나 건조와 같은 추가 공정이 불필요하다.
또한 본 발명은, 저진동 초음파를 인가하여 발생하는 버블의 내파를 이용하여 불화알루미늄 결정과 칼슘 이온을 가열하게 되면 과도한 에너지 소모 없이 불화칼슘 생성 효과를 급격하게 증대시킬 수 있다.
또한 본 발명은 후 공정인 불화칼슘 입상화 과정 중 용출되는 알루미늄 이온을 선 공정인 불화알루미늄 결정화 반응에 이용하므로, 제1 공정과 제2 공정이 지속적으로 이루어지는 경우 약품 사용량을 감소시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에서 제안하는 불소 함유 폐수 처리 시스템을 제안하기 위한 것이다.
도 2는 불소 함유 폐수 처리 시스템에 포함되는 입상화 반응기의 개념도다.
도 3은 저진동 초음파에 의해 불화칼슘의 입상화 반응이 촉진되는 매커니즘을 설명하기 위한 개념도다.
도 4는 본 발명에서 제안하는 불소 함유 폐수 처리 방법을 제안하기 위한 것이다.
이하, 본 발명에 관련된 불소 함유 폐수 처리 시스템과 불소 함유 폐수 처리 방법에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 본 명세서에서 사용되는 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다.
도 1은 본 발명에서 제안하는 불소 함유 폐수 처리 시스템(100)을 제안하기 위한 것이다.
불소 함유 폐수 처리 시스템(100)은 폐수 공급부(111), 결정화 반응조(112), 침전지(113) 및 입상화 반응기(120)를 포함한다.
폐수 공급부(111)는 불소 함유 폐수를 결정화 반응조(112)로 공급하도록 형성된다.
결정화 반응조(112)는 폐수 공급부(111)의 하류측에 배치된다. 결정화 반응조(112)는 폐수 공급부(111)로부터 공급되는 불소 함유 폐수에 알루미늄 이온 소스를 투입하여 불화알루미늄 결정을 생성하도록 형성된다. 알루미늄 이온 소스로는 알루미늄 염이 이용될 수 있다.
불화 알루미늄 결정화 반응이 지속적으로 일어남에 따라 결정화 반응조(112)의 알루미늄 손실량이 과다하다면 상기 결정화 반응조(112)에 알루미늄 이온 소스를 추가 투입하여 알루미늄 손실량이 보충될 수 있다.
알루미늄 이온 소스의 알루미늄 양이온과 폐수에 함유되어 있는 불소 음이온이 서로 반응하여 불화알루미늄 결정이 생성된다. 불화알루미늄 결정화 반응은 화학식 1과 같으며, 이 결정화 반응은 pH 6 내지 8의 중성 조건에서 일어난다.
Figure 112018126798860-pat00001
침전지(113)는 결정화 반응조(112)의 하류측에 배치된다. 침전지(113)는 결정화 반응조(112)에서 생성되는 불화알루미늄 결정을 침전시켜 폐수로부터 분리하도록 형성된다. 침전지(113)에서 분리된 불화알루미늄 결정은 입상화 반응기(120)로 공급된다. 나머지 물은 방류된다.
입상화 반응기(120)는 침전지(113)의 하류측에 배치된다. 입상화 반응기(120)는 침전지(113)에서 분리 배출된 불화알루미늄 결정에 수산화 이온(OH-) 소스를 투입하여 pH 10 내지 pH 12의 염기성 조건을 생성하도록 형성된다. 그리고 입상화 반응기(120)는 염기성 조건에서 불화칼슘 입상화 반응을 일으키도록 불화알루미늄 결정에 칼슘 이온(Ca2 +) 소스를 투입하도록 형성된다.
수산화 이온 소스와 칼슘 이온 소스로는 소석회{Ca(OH)2}가 이용될 수 있다. 또는 수산화 이온 소스로 수산화염이 이용될 수 있고, 칼슘 이온 소스로 칼슘염이 이용될 수 있다. 그리고 불화알루미늄 결정과 칼슘 이온을 반응물로 하는 불화칼슘 입상화 반응은 화학식 2와 화학식 3의 순차적인 반응으로 구성된다.
Figure 112018126798860-pat00002
Figure 112018126798860-pat00003
칼슘 이온 소스의 투입에 의해 일어나는 반응의 결과 입상화된 불화칼슘이 생성된다. 불화칼슘이 입상화되면 불소가 제거될 수 있다. 입상화된 고농도의 불화칼슘은 다른 물질들로부터 분리 배출된다.
입상화 반응기(120)는 불화칼슘 입상화 반응 과정에서 용출되는 알루미늄 이온을 결정화 반응조(112)에 공급하도록 형성될 수 있다. 따라서 결정화 반응조(112)에서 일어나는 불화알루미늄 결정화 반응의 알루미늄 손실량은 입상화 반응기(120)에서 공급되는 알루미늄 이온으로 보충될 수 있다.
입상화된 불화칼슘의 생성 효율은 800℃ 이상에서 급격하게 증대된다. 따라서 입상화된 불화칼슘의 생성 효율을 증대시키기 위해서는 반응 온도를 증가시켜야 한다. 그러나 입상화 반응기(120)를 직접 가열하여 그 내부의 온도를 800℃ 이상으로 향상시키기 위해서는 과도한 열에너지가 필요하므로, 열에너지 소모가 극심하다. 본 발명에서는 과도한 열에너지 소모 없이 입상화된 불화칼슘의 생성 효율을 증대시킬 수 있도록, 저진동 초음파 장치를 구비하는 입상화 반응기(120)를 제공한다.
도 2는 불소 함유 폐수 처리 시스템(100)에 포함되는 입상화 반응기(120)의 개념도다.
입상화 반응기(120)는 유동층 반응 용기(121), 결정 유입부(122), 이온 소스 유입부(123), 액체 유입부(124) 및 저진동 초음파 장치(125)를 포함할 수 있다.
유동층 반응 용기(121)는 불화알루미늄 결정, 수산화 이온, 칼슘 이온, 액체를 수용하도록 형성된다. 유동층 반응 용기(121)에서는 불화칼슘 입상화 반응이 이루어진다.
결정 유입부(122)는 침전지(113)에서 분리 배출된 불화알루미늄 결정을 유동층 반응 용기(121)로 유입시키도록 형성된다. 이온 소스 유입부(123)는 수산화 이온 소스와 칼슘 이온 소스 중 적어도 하나를 유동층 반응 용기(121)로 유입시키도록 형성된다. 액체 유입부(124)는 유동층 반응 용기(121)에 상향 흐름을 형성하는 액체(물)를 유입시키도록 형성된다.
입상화 반응기(120)는 상향 흐름 과정에서 불화칼슘 입상화 반응을 일어나게 하도록 유동층 반응 용기(121)의 하부에 상기 결정 유입부(122), 이온 소스 유입부(123), 및 액체 유입부(124)를 구비한다. 이에 따라 액체 유입부(124)에서 유입되는 액체가 유동층 반응 용기(121)에 차오르면서 불화칼슘 입상화 반응이 일어나게 된다.
저진동 초음파 장치(125)는 초음파를 발생시켜 입상화 반응기(120) 내부를 가열하도록 형성된다. 저진동 초음파 장치(125)에 의한 가열 매커니즘에 대하여는 도 3을 참조하여 먼저 설명한다.
도 3은 저진동 초음파에 의해 불화칼슘의 입상화 반응이 촉진되는 매커니즘을 설명하기 위한 개념도다.
20kHz 이하의 저진동 초음파를 액체에 인가하면 액체 내에 버블(기포, bubble, cavitation)이 발생하게 된다. 20kHz 이하의 저진동 초음파 액체에 지속적으로 인가하게 되면, 버블의 크기가 커졌다 작아졌다를 반복하면서 점차 버블이 성장하게 된다.
버블이 최대로 성장할 때까지 저진동 초음파가 계속 인가되면, 결국 버블의 내파(implosion)가 발생하게 되고, 이때 버블의 온도는 최대 5,000℃까지 상승하게 된다. 버블의 내파에 의한 온도 영향이 입상화 반응기(120) 전체에 미치는 영향은 크지 않지만, 불화칼슘 입상화 반응이 일어나는 영역에서는 반응을 촉진하기에 충분한 온도까지, 이를테면 800℃ 이상까지 온도가 상승할 수 있다.
저진동 초음파 장치(125)는 이러한 원리에 입각하여 입상화 반응기(120)를 가열하도록 20kHz 이하의 저진동 초음파를 발생시킨다. 만일 저진동 초음파 장치(125)에서 발생되는 초음파의 주파수가 20kHz를 초과하게 되면 버블의 성장에 의한 충분한 가열 효과가 나타나지 않으므로, 저진동 초음파의 주파수는 반드시 20kHz 이하여야 한다.
다시 도 2를 참조하면 저진동 초음파 장치(125)는 결정 유입부(122)에서 유입되는 불화알루미늄 결정과, 이온 소스 유입부(123)에서 유입되는 칼슘 이온 소스가 서로 만나는 위치와 대응되는 위치에 설치되는 것이 바람직하다. 그래야 버블에 의한 가열 효과를 극대화할 수 있기 때문이다.
입상화된 불화칼슘은 유동층 반응 용기(121) 내에서 상향 흐름 과정에서 형성되어 유동층 반응 용기(121)의 상부 출구를 통해 배출된다.
다음으로는 불소 함유 폐수 처리 방법에 대하여 설명한다.
도 4는 본 발명에서 제안하는 불소 함유 폐수 처리 방법을 제안하기 위한 것이다.
불소 함유 폐수 처리 방법은 제1 공정(S110)과 제2 공정(S120)을 포함한다.
제1 공정(S110)에서는 먼저 불소가 함유된 폐수에 알루미늄 이온 소스를 투입하여 불화알루미늄 결정을 생성한다(S111). 알루미늄 이온 소스로는 알루미늄 염이 이용될 수 있다.
불화 알루미늄 결정화 반응이 지속적으로 일어남에 따라 알루미늄 손실량이 과다하다면 알루미늄 손실량이 보충될 수 있다.
알루미늄 이온 소스의 알루미늄 양이온과 폐수에 함유되어 있는 불소 음이온이 서로 반응하여 불화알루미늄 결정이 생성된다. 불화알루미늄 결정화 반응은 상기 화학식 1과 같으며, 이 결정화 반응은 pH 6 내지 8의 중성 조건에서 일어난다.
이어서 폐수로부터 불화알루미늄 결정을 분리한다(S112). 불화알루미늄 결정의 분리는 침전지에서 이루어질 수 있다. 침전지에서 분리된 불화알루미늄 결정은 제2 공정을 위해 입상화 반응기로 공급된다. 나머지 물은 방류된다.
제2 공정(S120)에서는 폐수로부터 분리 배출된 불화알루미늄 결정에 수산화 이온 소스를 투입하여 염기성 조건을 형성하고, 염기성 조건에서 불화칼슘 입상화 반응을 일으키도록 불화알루미늄 결정에 칼슘 이온 소스를 투입한다. 불화칼슘 입상화 반응은 상향 흐름 과정에서 불화칼슘 입상화 반응을 일어나게 하는 입상화 반응기에서 이루어질 수 있으며, 입상화 반응기에서 입상화된 불화칼슘이 생성된다(S121).
불화알루미늄 결정에 수산화 이온 소스를 투입하면 pH 10 내지 pH 12의 염기성 조건이 형성된다. 수산화 이온 소스와 칼슘 이온 소스로는 소석회가 이용될 수 있다. 또는 수산화 이온 소스로 수산화염이 이용될 수 있고, 칼슘 이온 소스로 칼슘 염이 이용될 수 있다. 그리고 불화알루미늄 결정과 칼슘 이온을 반응물로 하는 불화칼슘 입상화 반응은 상기 화학식 2와 상기 화학식 3의 순차적인 반응으로 구성된다.
칼슘 이온 소스의 투입에 의해 일어나는 반응의 결과 입상화된 불화칼슘이 생성된다. 불화칼슘이 입상화되면 불소가 고농도로 제거될 수 있다. 입상화된 고농도의 불화칼슘은 다른 물질들로부터 분리 배출된다(S122). 그리고 불화칼슘 입상화 반응 과정에서 용출되는 알루미늄 이온은 제1 공정의 불화알루미늄 결정 생성에 재이용될 수 있다. 따라서 제1 공정의 알루미늄 손실량은 제2 공정의 알루미늄 이온으로 보충될 수 있다.
앞서 입상화된 불화칼슘을 생성하는 단계에서는 불화칼슘 결정과 칼슘 이온 소스를 가열하도록 20kHz 이하의 저진동 초음파를 인가할 수 있다. 입상화된 불화칼슘의 생성 효율은 800℃ 이상에서 급격하게 증대되므로, 저진동 초음파를 인가하여 불화칼슘 결정과 칼슘 이온 소스를 가열하게 되면 과도한 열에너지 소모 없이 입상화된 불화칼슘의 생성 효율을 증대시킬 수 있다. 특히 불화칼슘의 생성 효율 향상을 극대화하기 위해서는 불화알루미늄 결정과 상기 칼슘 이온 소스가 서로 만나는 위치에 초음파를 인가하는 것이 바람직하다.
이상에서 설명된 불소 함유 폐수 처리 시스템 및 불소 함유 폐수 처리 방법은 상기 설명된 실시예들의 구성과 방법에 한정되는 것이 아니라, 상기 실시예들은 다양한 변형이 이루어질 수 있도록 각 실시예들의 전부 또는 일부가 선택적으로 조합되어 구성될 수도 있다.

Claims (10)

  1. 불소 함유 폐수를 공급하도록 형성되는 폐수 공급부;
    상기 폐수 공급부로부터 공급되는 불소 함유 폐수에 알루미늄 이온 소스를 투입하여 불화알루미늄 결정을 생성하도록 형성되는 결정화 반응조;
    상기 결정화 반응조에서 생성되는 상기 불화알루미늄 결정을 침전시켜 상기 폐수로부터 분리하도록 형성되는 침전지; 및
    상기 침전지에서 분리 배출된 상기 불화알루미늄 결정에 수산화 이온 소스를 투입하여 염기성 조건을 생성하도록 형성되고, 상기 염기성 조건에서 불화칼슘 입상화 반응을 일으키도록 상기 불화알루미늄 결정에 칼슘 이온 소스를 투입하도록 형성되는 입상화 반응기를 포함하고,
    상기 입상화 반응기는 초음파를 발생시켜 상기 입상화 반응기 내부를 가열하도록 형성되는 저진동 초음파 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 불소 함유 폐수 처리 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 저진동 초음파 장치는 상기 입상화 반응기의 내부를 가열하도록 20kHz 이하의 저진동 초음파를 발생시키는 것을 특징으로 하는 불소 함유 폐수 처리 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 입상화 반응기는,
    상기 침전지에서 분리 배출된 상기 불화알루미늄 결정을 상기 입상화 반응기의 내부로 유입시키도록 형성되는 결정 유입부; 및
    상기 수산화 이온 소스와 상기 칼슘 이온 소스 중 적어도 하나를 상기 입상화 반응기의 내부로 유입시키도록 형성되는 이온 소스 유입부를 구비하고,
    상기 결정 유입부에서 유입되는 상기 불화알루미늄 결정과, 상기 이온 소스 유입부에서 유입되는 상기 칼슘 이온 소스가 서로 만나는 위치와 대응되는 위치에 상기 저진동 초음파 장치가 설치되는 것을 특징으로 하는 불소 함유 폐수 처리 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 입상화 반응기는 상향 흐름 과정에서 상기 불화칼슘 입상화 반응을 일어나게 하도록 상기 입상화 반응기의 하부에 상기 결정 유입부와 상기 이온 소스 유입부를 구비하는 것을 특징으로 하는 불소 함유 폐수 처리 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 입상화 반응기는 상기 불화칼슘 입상화 반응에서 용출되는 알루미늄 이온을 상기 결정화 반응조에 공급하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 불소 함유 폐수 처리 시스템.
  6. 불소가 함유된 폐수에 알루미늄 이온 소스를 투입하여 불화알루미늄 결정을 생성하는 제1 공정; 및
    상기 폐수로부터 분리 배출된 상기 불화알루미늄 결정에 수산화 이온 소스를 투입하여 염기성 조건을 형성하고, 상기 염기성 조건에서 불화칼슘 입상화 반응을 일으키도록 상기 불화알루미늄 결정에 칼슘 이온 소스를 투입하며, 입상화된 불화칼슘을 분리 배출하는 제2 공정을 포함하고,
    상기 제2 공정에서는 상기 불화알루미늄 결정과 상기 칼슘 이온 소스를 가열하도록 초음파를 인가하는 것을 특징으로 하는 불소 함유 폐수 처리 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 제2 공정에서는 상기 불화알루미늄 결정과 상기 칼슘 이온 소스를 가열하도록 20kHz 이하의 저진동 초음파를 인가하는 것을 특징으로 하는 불소 함유 폐수 처리 방법.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 제2 공정에서는 상기 불화알루미늄 결정과 상기 칼슘 이온 소스가 서로 만나는 위치에 초음파를 인가하는 것을 특징으로 하는 불소 함유 폐수 처리 방법.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 제2 공정에서는 상기 불화알루미늄 결정과 상기 칼슘 이온 소스의 상향 흐름 과정에서 상기 불화칼슘 입상화 반응을 일어나게 하는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 불소 함유 폐수 처리 방법.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 불화칼슘 입상화 반응에서 용출되는 알루미늄 이온을 상기 제1 공정의 상기 불화알루미늄 결정의 생성에 이용하는 것을 특징으로 하는 불소 함유 폐수 처리 방법.
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