KR102086431B1 - 투명유연전극의 제조장치 및 제조방법 - Google Patents

투명유연전극의 제조장치 및 제조방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 투명유연전극의 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 경화성수지층에 형성된 음각패턴에 진동을 통해 전도성 페이스트의 충진성을 높여 미세한 전극패턴을 구현함으로써, 시인성과 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 투명유연전극의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
이러한 본 발명은, 상부에 경화성수지층이 형성된 기판을 이송 공급하는 공급유닛; 이송 공급되는 기판의 경화성수지층 표면에 음각패턴을 형성시키는 스탬핑유닛; 음각패턴이 형성된 경화성수지층 표면에 전도성 페이스트를 도포하는 도포유닛; 경화성수지층 표면에 도포된 전도성 페이스트의 용제를 휘발시키는 건조유닛; 용제가 휘발된 전도성 페이스트를 진동을 통해 음각패턴의 내부에 충진하는 진동충진유닛; 및 음각패턴의 내부에 충진된 전도성 페이스트를 포함하는 기판을 소성처리하여 전극패턴을 형성하는 소성유닛;을 포함하며, 상기 스탬핑유닛, 상기 도포유닛, 상기 건조유닛, 상기 진동충진유닛 및 상기 소성유닛은 상기 공급유닛 상에 상기 기판의 이송 방향을 따라 순차적으로 배치되는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치 및 제조방법을 기술적 요지로 한다.

Description

투명유연전극의 제조장치 및 제조방법{Manufacturing apparatus and method for producing a transparent flexible electrode}
본 발명은 투명유연전극의 제조장치 및 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 경화성수지층에 형성된 음각패턴에 진동을 통해 전도성 페이스트의 충진성을 높여 미세한 전극패턴을 구현함으로써, 시인성과 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 투명유연전극의 제조장치 및 제조방법에 관한 것이다.
일반적으로 투명전극이라 함은, 광 투과성 및 전도성이 높은 전극으로써 가시광선 영역의 빛에 대해서는 투과성이 높으며, 낮은 비저항의 성격을 가지는 전극을 의미한다.
이러한 투명전극은 플렉서블 디스플레이(Flexible Display), OLED TV, 태양전지 등에 주로 사용되고 있는데, 최근 스마트폰의 수요 급증으로 터치스크린에 대한 기술산업이 활발히 확장되는 추세가 지속됨에 따라 투명전극에 대한 관심도가 집중되고 있다.
아울러, 투명유연전극은 유연성을 가지는 기판을 이용해 제조된 전극을 의미하는 것으로, 투명전극과 마찬가지로 전도성, 가시광 영역에서의 투과성뿐만 아니라 유연성이 높아 플렉서블 정보전자 기기 등의 전극으로도 응용이 가능한 것으로 알려져 있다.
앞서 언급된 투명유연전극과 관련된 특허는 다수 공지되어있으며, 예컨대 '터치 패널의 투명전극 필름 및 그 제조 방법(공개번호:10-2013-0125469)'에서는 기판, 수지층 및 상기 수지층에 형성되는 전극 패턴부를 구비하여 기판의 양면에 각각 형성되는 센서전극층으로 구성된 투명전극 필름을 제조하고자 하였다. 즉, 수지층으로 구성된 음각형태의 트렌치 패턴 내부에 금속 재료를 충진하여 투명전극 필름을 제공하고자 한 것이다.
그러나, 금속 재료 충진시 3 ㎛ 이하의 미세한 음각패턴에 적용하기에는 전기적 저항의 특성 저하가 유발될 수 있다는 문제점이 있었을 뿐만 아니라 센서전극층 표면의 잔여 금속 재료를 처리하기 위한 방안이 미흡하다는 문제점이 있었다.
이런 문제점에 착안하여 최근에는 투명유연전극의 시인성 향상을 위해 전극패턴이 점차 미세화되고, 전기적 특성 향상을 위해 전극패턴의 세장비(패턴의 폭대비 높이비)가 점차 높아지는 경향이 나타나고 있다.
이에 따라, 본 발명의 발명자가 스퀴저유닛을 이용해 전도성 페이스트를 충진하는 기술이 제시된 '전도성 페이스트를 이용한 투명유연전극의 제조방법 및 제조장치(출원번호:10-2015-0031426)'를 기출원한바 있다.
하지만 시인성과 전기적 특성을 향상할 수 있는 최근 경향을 만족시키기에는 다소 부족할 수 있으므로, 이를 보완할 수 있는 투명유연전극의 또 다른 기술개발이 절실히 요구되는 시점이다.
국내 공개특허공보 제10-2013-0125469호, 2013.11.19.자 공개.
본 발명은 상기한 문제점을 해소하기 위하여 발명된 것으로, 경화성수지층에 형성된 음각패턴에 진동을 통해 전도성 페이스트의 충진성을 높여 미세한 전극패턴을 구현함으로써, 시인성과 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 투명유연전극의 제조장치 및 제조방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 상부에 경화성수지층이 형성된 기판을 이송 공급하는 공급유닛; 이송 공급되는 기판의 경화성수지층 표면에 음각패턴을 형성시키는 스탬핑유닛; 상기 음각패턴이 형성된 경화성수지층 표면에 전도성 페이스트를 도포하는 도포유닛; 경화성수지층 표면에 도포된 전도성 페이스트의 용제를 휘발시키는 건조유닛; 용제가 휘발된 전도성 페이스트를 진동을 통해 상기 음각패턴의 내부에 충진하는 진동충진유닛; 및 상기 음각패턴의 내부에 충진된 전도성 페이스트를 포함하는 기판을 소성처리하여 전극패턴을 형성하는 소성유닛;을 포함하며, 상기 스탬핑유닛, 상기 도포유닛, 상기 건조유닛, 상기 진동충진유닛 및 상기 소성유닛은 상기 공급유닛 상에 상기 기판의 이송 방향을 따라 순차적으로 배치되는 것으로, 상기 진동충진유닛은, 내부에 진동모터가 설치되는 진동본체; 및 상기 진동본체 하부에 연결부재를 통해 장착되어 진동되는 충진부재;를 포함하되, 상기 진동본체는, 편심에 의해 진동하는 진동모터; 상기 진동모터의 상부를 덮는 상판; 상기 상판의 하부에 일정간격으로 이격 설치되어 상기 진동모터가 안착되는 하판; 상기 상판과 상기 하판 사이에 위치되어 상기 하판을 지지하고, 내부가 중공되어 상기 진동모터를 수용하며, 유연한 성질을 가지도록 둘레면이 주름잡힌 구조로 형성되어 상기 진동모터에 의한 진동을 흡수하는 유연지지대; 상기 하판의 상면에 상기 진동모터가 수용되도록 상기 진동모터의 외측에 돌출 형성되는 수용턱; 및 상기 진동모터와 상기 수용턱의 사이에 설치되는 베어링;을 포함하고, 상기 충진부재는, 상기 진동모터에 의해 경화성수지층 상에서 측방향으로 좌우 이동되면서 진동됨과 동시에 상하방향으로 이동되면서 진동되어 상기 음각패턴의 내부에 용제가 휘발된 전도성 페이스트를 충진하고, 상기 유연지지대는, 상기 진동모터, 상기 수용턱 및 상기 베어링이 상기 진동본체의 외부로 이탈되지 않게 하는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치를 기술적 요지로 한다.
삭제
여기서 상기 진동충진유닛에는, 기판상에서 상기 진동충진유닛을 이동시키는 이동유도유닛을 더 포함하여, 상기 진동충진유닛이 상기 이동유도유닛에 의해 상기 기판상에서 진동하면서 이동되는 것을 특징으로 한다.
삭제
아울러 상기 연결부재는, 상면에 상기 진동본체를 안착시키는 제1안착홈과, 하면에 상기 충진부재를 안착시키는 제2안착홈이 형성된 고정용 지그인 것을 특징으로 한다.
또는 상기 연결부재는, 진공펌프의 진공압에 의해 상기 충진부재가 진공 흡착되는 다공질의 진공흡착판인 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 건조유닛과 상기 진동충진유닛의 사이에는, 상기 진동충진유닛의 충진부재와 상기 경화성수지층 표면과의 마찰이 감소되도록, 상기 용제가 휘발된 전도성 페이스트에 수분을 공급하는 제1수분공급부가 설치되는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 진동충진유닛과 상기 소성유닛의 사이에는, 상기 경화성수지층 표면에 접촉되도록 설치되어 상기 음각패턴에 충진된 전도성 페이스트를 제외한 경화성수지층상의 잔여물을 닦는 세정용 스퀴지가 설치되는 것을 특징으로 한다.
여기서 상기 세정용 스퀴지의 일측에는, 수분을 공급하기 위한 제2수분공급부가 설치되는 것을 특징으로 한다.
아울러 상기 충진부재와 상기 세정용 스퀴지는, PVA(polyvinyl alcohol), Polyester, Cellulose 및 Polyurethane 중 어느 하나 이상을 원재료로 하여 제조된 스펀지인 것을 특징으로 한다.
나아가, 상기 충진부재는 상기 세정용 스퀴지보다 수분을 상대적으로 많이 함유하여, 상기 세정용 스퀴지보다 경도가 낮은 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 도포유닛은, 상기 전도성 페이스트의 도포되는 두께를 균일하게 조절하는 롤코터인 것을 특징으로 한다.
부가적으로, 상기 기판의 하부에 전극패턴이 형성되도록, 상기 기판의 하부에 경화성수지층이 형성되고 상기 스탬핑유닛, 상기 도포유닛, 상기 건조유닛, 상기 진동충진유닛 및 상기 소성유닛이 상기 기판의 하부를 따라 추가적으로 설치되는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 기판의 상부에 경화성수지층을 형성시키는 수지층 형성단계; 상기 경화성수지층 표면에 음각패턴을 형성시키는 패턴 형성단계; 상기 음각패턴이 형성된 경화성수지층 표면에 전도성 페이스트를 도포하는 페이스트 도포단계; 상기 경화성수지층 표면에 도포된 전도성 페이스트의 용제를 휘발시키는 건조단계; 상기 용제가 휘발된 전도성 페이스트를 진동을 통해 상기 음각패턴의 내부에 충진하는 페이스트 진동충진단계; 및 상기 음각패턴의 내부에 충진된 전도성 페이스트를 포함하는 기판을 소성처리하여 전극패턴을 형성하는 소성단계;를 포함하는 것으로, 상기 페이스트 진동충진단계에서는, 내부에 진동모터가 설치되는 진동본체 및 상기 진동본체 하부에 연결부재를 통해 장착되어 진동되는 충진부재를 포함하는 진동충진유닛을 통해 충진하되, 상기 진동본체는, 편심에 의해 진동하는 진동모터; 상기 진동모터의 상부를 덮는 상판; 상기 상판의 하부에 일정간격으로 이격 설치되어 상기 진동모터가 안착되는 하판; 상기 상판과 상기 하판 사이에 위치되어 상기 하판을 지지하고, 내부가 중공되어 상기 진동모터를 수용하며, 유연한 성질을 가지도록 둘레면이 주름잡힌 구조로 형성되어 상기 진동모터에 의한 진동을 흡수하는 유연지지대; 상기 하판의 상면에 상기 진동모터가 수용되도록 상기 진동모터의 외측에 돌출 형성되는 수용턱; 및 상기 진동모터와 상기 수용턱의 사이에 설치되는 베어링;으로 이루어지고, 상기 유연지지대를 통해 상기 진동모터, 상기 수용턱 및 상기 베어링이 상기 진동본체의 외부로 이탈되지 않게 하며, 상기 충진부재가 상기 진동모터에 의해 경화성수지층 상에서 측방향으로 좌우 이동되면서 진동됨과 동시에 상하방향으로 이동되면서 진동되어 상기 음각패턴의 내부에 용제가 휘발된 전도성 페이스트를 충진하는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조방법을 기술적 요지로 한다.
삭제
여기서 상기 페이스트 진동충진단계에서는, 충진 과정에서 발생 가능한 충진부재와 경화성수지층 표면과의 마찰이 감소되도록, 상기 용제가 휘발된 전도성 페이스트에 수분을 공급하는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 페이스트 진동충진단계와 상기 소성단계의 사이에는, 상기 음각패턴의 내부에 충진된 전도성 페이스트를 제외한 경화성수지층상의 잔여물을 세정용 스퀴지로 닦는 경화성수지층 세정단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
나아가 상기 페이스트 진동충진단계에서는, 상기 경화성수지층 세정단계보다 상대적으로 수분을 많이 공급하는 것을 특징으로 한다.
참고로, 상기 페이스트 도포단계에서는, 상기 전도성 페이스트가 롤코팅(roll-coating) 방식으로 도포되는 것을 특징으로 한다.
상기 과제의 해결 수단에 의한 본 발명에 따른 투명유연전극의 제조장치 및 제조방법은, 경화성수지층에 형성된 음각패턴에 진동충진유닛의 진동모터에 의해 발생하는 진동으로 전도성 페이스트의 충진성을 높여 미세한 전극패턴을 구현함으로써, 시인성과 전기적 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 투명유연전극의 제조장치 개념도.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진동충진유닛의 제1상세도.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진동충진유닛의 제2상세도.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 설계 변경 예시도.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 투명유연전극의 단면도.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 순서도.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 투명유연전극의 제조장치 개념도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 투명유연전극의 제조장치는 공급유닛, 스탬핑유닛(100), 도포유닛(200), 건조유닛(300), 진동충진유닛(400) 및 소성유닛(500)으로 이루어질 수 있다.
여기서 공급유닛 상에 기판(10)의 이송 방향을 따라 순차적으로 배치되는 스탬핑유닛(100), 도포유닛(200), 건조유닛(300), 진동충진유닛(400) 및 소성유닛(500)을 더욱 상세히 기술해 보도록 하겠다.
본 발명의 공급유닛은 상부에 경화성수지층(20)이 형성된 필름 재질의 유연한 기판(10)을 연속적으로 이송시켜 공급하는 구성이다.
즉, 공급유닛은 롤투롤(roll-to-roll) 시스템 방식에 적용될 수 있는 것으로, 이러한 롤투롤 시스템은 경화성수지층(20)이 형성된 기판(10)이 롤 형태로 권취되는 권취롤러와, 권취된 기판(10)을 권취 해제하여 견인 이동시키는 견인롤러로 이루어질 수 있다. 이는 견인롤러가 회전함에 따라 기판(10)이 권취롤러로부터 권취 해제되어 수평방향으로 이동될 수 있음을 의미한다.
본 발명의 스탬핑유닛(100)은 이송 공급되는 기판(10)의 경화성수지층(20) 표면에 음각패턴(22)을 형성시키는 구성이다.
상세하게는, 스탬핑유닛(100)은 회전롤(110)과 양각패턴부(120)로 이루어질 수 있다. 여기서 회전롤(110)은 경화성수지층(20)의 표면에 접촉되도록 원형으로 형성되어 회전하는 구성이며, 양각패턴부(120)는 경화성수지층(20) 상부에 형성되는 음각패턴(22) 형상에 대응되도록 회전롤(110)의 외주면에 일정 간격으로 복수 개가 형성된 구성이다.
이를 통하여, 전도성 페이스트를 도포하기 전에 스탬핑유닛(100)이 공급유닛의 이송 방향에 따라 회전하면서 경화성수지층(20)의 표면에 음각패턴(22)을 형성하는 작업을 원활하게 실시할 수 있게 된다.
본 발명의 도포유닛(200)은 음각패턴(22)이 형성된 경화성수지층(20) 표면에 전도성 페이스트를 도포하는 구성이다.
구체적으로, 도포유닛(200)은 스탬핑유닛(100)의 일측에 설치되어 외부로부터 공급되는 전도성 페이스트를 음각패턴(22)이 형성된 경화성수지층(20)의 표면에 도포하는 작용을 한다.
보다 구체적으로, 도포유닛(200)은 전도성 페이스트를 경화성수지층(20) 표면에 도포되게 함은 물론 음각패턴(22) 내부에도 일부 충진될 수 있도록 하는 것이다.
바람직하게는, 본 발명의 도포유닛(200)으로 롤코터(roll coater)를 적용하였는데, 이러한 롤코터를 적용한 이유는 도포되는 전도성 페이스트의 두께를 균일하게 조절하기 위함이다.
만약 전도성 페이스트가 균일하게 도포되지 못하면, 추후 건조유닛(300)을 통과하는 전도성 페이스트의 용제가 균일하게 휘발되지 못할 수 있으므로, 도포유닛(200)으로 전도성 페이스트를 경화성수지층(20) 표면에 균일하게 도포 가능한 롤코터를 적용하는 것이 바람직하다.
본 발명의 건조유닛(300)은 경화성수지층(20) 표면에 도포된 전도성 페이스트의 용제를 휘발시키는 구성이다.
내용인즉, 건조유닛(300)은 도포유닛(200)의 일측에 설치되어 도포유닛(200)에 의해 경화성수지층(20)에 도포된 전도성 페이스트에 함유된 용제를 휘발시키는 작용을 한다.
이러한 건조유닛(300)의 내부에는 경화성수지층(20) 표면에 건조 바람을 송풍하는 송풍기(310)와, 경화성수지층(20)에 열을 전달하는 가열히터(320)가 설치될 수 있다.
그리고 송풍기(310)와 가열히터(320)는 제어부에 의해 동작 제어되도록 구성되며, 이를 통해 전도성 페이스트에 함유된 용제 휘발 상태에 따라 송풍기(310)의 풍량을 조절하거나 가열히터(320)의 열 공급량을 조절할 수 있다. 참고로, 건조유닛(300)에는 배기장치가 설치될 수도 있다.
본 발명의 진동충진유닛(400)은 용제가 휘발된 전도성 페이스트를 진동을 통해 음각패턴(22)의 내부에 충진하는 구성이다.
이러한 진동충진유닛(400)은 내부에 진동모터(411)가 설치되는 진동본체(410)와, 진동본체(410) 하부에 연결부재(420)를 통해 장착되어 진동모터(411)에 의하여 진동되는 충진부재(430)로 이루어질 수 있다.
첫째, 진동본체(410)는 진동모터(411), 상판(412), 하판(413), 유연지지대(414), 수용턱(415) 및 베어링(416)으로 이루어진 구성이라 할 수 있다.
진동모터(411)는 진동을 발생시키는 구성으로써, 진동본체(410)의 하부에 장착되는 충진부재(430)가 경화성수지층(20)상에서 측방향으로 좌우 이동되어 진동되게 함과 동시에, 상하방향으로도 이동되어 진동되게끔 진동을 발생시키는 역할을 한다.
상판(412)은 진동모터(411)의 상부를 덮는 구성으로써, 하판(413)과 유연지지대(414)와 함께 결합 설치되어 진동모터(411)의 상부를 보호하는 역할을 한다.
하판(413)은 상판(412)의 하부에 일정간격으로 이격 설치되어 진동모터(411)가 안착되는 구성으로써, 하판(413)과 유연지지대(414)와 함께 결합 설치되어 진동모터(411)의 하부를 안정적으로 지지하는 역할을 한다.
유연지지대(414)는 상판(412)과 하판(413)의 사이에 연결 설치되어 진동모터(411)에 의한 진동을 흡수하여 상판(412)과 하판(413)을 지지하는 유연한 성질의 구성으로써, 진동모터(411), 베어링(416) 및 수용턱(415)이 탈리되어 진동본체(410)의 외부로 튕겨 나갈 수 있으므로, 이러한 점을 방지하기 위해 잡아주는 역할을 한다. 만약 유연지지대(414)가 유연한 성질이 아닌 경질(硬質)이라면, 진동모터(411)의 진동에 의한 충격으로 수용턱(415)이 부러질 우려가 발생할 수 있으므로, 유연지지대(414)는 유연한 성질을 지니는 것이 바람직하다.
수용턱(415)은 하판(413)의 상면에 진동모터(411)가 수용되도록 진동모터(411)의 외측에 돌출 형성되는 구성으로써, 진동모터(411)와 베어링(416)을 수용하여 안정적으로 지지해주는 역할을 한다.
베어링(416)은 진동모터(411)와 수용턱(415)의 사이에 설치되는 구성으로써, 진동모터(411)의 회전축과 마찰을 최소화하고 회전축의 회전을 원활하기 하기 위한 역할을 한다.
둘째, 충진부재(430)는 진동본체(410)의 하부에 연결부재(420)에 의해 설치되어, 진동모터(411)에 의해 발생하는 진동으로 경화성수지층(20) 표면의 전도성 페이스트를 음각패턴(22)에 실질적으로 충진할 수 있는 구성이다.
여기서 충진부재(430)를 진동본체(410)의 하부에 장착하기 위한 연결부재(420)는 다음과 같이 두 가지로 설명될 수 있다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진동충진유닛(400)의 제1상세도이다. 도 2를 참조하면, 진동충진유닛(400)의 연결부재(420)로 상면에 진동본체(410)를 안착시키는 제1안착홈(422a)과, 하면에 충진부재(430)를 안착시키는 제2안착홈(422b)이 형성된 고정용 지그(422)가 적용됨을 도시하였다. 여기서 진동모터(411)가 편심량(α)만큼 편심되어 진동함을 알 수 있다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진동충진유닛(400)의 제2상세도이다. 도 3을 참조하면, 진동충진유닛(400)의 연결부재(420)로 진공펌프(424a)의 진공압에 의해 충진부재(430)가 진공 흡착되는 다공질의 진공흡착판(424)이 적용됨을 도시하였다. 여기서 진동모터(411)가 편심량(α)만큼 편심되어 진동함을 알 수 있다.
더불어, 진동충진유닛(400)에는 기판(10)상에서 진동충진유닛(400)을 이동시키는 이동유도유닛(미도시)을 더 포함함으로써, 진동충진유닛(400)이 이동유도유닛에 의해 기판(10)상에서 진동하면서 이동하는 것이라 할 수 있다.
이때 진동충진유닛(400)이 경화성수지층(20)의 표면상에서 측방향으로 좌우 이동하여 진동함과 동시에 상하방향으로도 이동하여 진동함으로써, 전도성 페이스트의 충진성을 높이게 되는 것이다.
부가적으로, 건조유닛(300)과 진동충진유닛(400)의 사이에 진동충진유닛(400)의 충진부재(430)와 경화성수지층(20) 표면과의 마찰이 감소되도록, 용제가 휘발된 전도성 페이스트에 수분을 공급하는 제1수분공급부(440)가 설치될 수 있다.
이러한 제1수분공급부(440)는 충진부재(430)로 인하여 경화성수지층(20) 표면에 스크래치가 생기는 것을 방지해주기 위한 것으로, 진동충진유닛(400)의 충진부재(430)에 수분을 충분히 머금게 해주기 위한 것이다.
그리고 진동충진유닛(400)과 소성유닛(500)의 사이에는 음각패턴(22)에 충진된 전도성 페이스트를 제외한 경화성수지층(20)상의 잔여물을 닦는 세정용 스퀴지(450)가 경화성수지층(20) 표면에 접촉되도록 설치될 수 있다.
여기서 세정용 스퀴지(450)의 일측에는 세정용 스퀴지(450)에 수분을 공급하기 위한 제2수분공급부(452)가 설치될 수 있다. 이러한 제2수분공급부(452)는 음각패턴(22)에 충진된 전도성 페이스트를 제외한 경화성수지층(20) 표면의 잔여막 또는 잔류막 등을 닦아내기 위하여 수분을 약간 머금게 해주기 위한 것이다.
아울러, 충진부재(430)와 세정용 스퀴지(450)는 PVA(polyvinyl alcohol), Polyester, Cellulose 및 Polyurethane 중 어느 하나 이상을 원재료로 하여 제조된 스펀지인 것이 바람직하다. 이러한 충진부재(430)는 수분이 함유되지 않으면 완전히 딱딱해지는 성질을 지닌다.
특히, 충진부재(430)는 세정용 스퀴지(450)보다 수분을 상대적으로 많이 함유함으로써, 세정용 스퀴지(450)보다 경도가 낮은 것이 바람직하다.
충진부재(430)가 세정용 스퀴지(450)보다 상대적으로 경도가 낮은 이유는, 세정용 스퀴지(450)보다 충진부재(430)에 제1수분공급부(440)로부터 공급되는 수분을 많게 함으로써, 충진부재(430)가 수분을 충분히 머금어 음각패턴(22)에 전도성 페이스트의 충진성을 극대화시키기 위함이다.
세정용 스퀴지(450)가 충진부재(430)보다 상대적으로 경도가 높은 이유는, 진동충진유닛(400)에 의해 음각패턴(22)에 충진되고 남은 경화성수지층(20)상의 잔여물 또는 잔여막을 긁어내기 위한 것으로, 세정용 스퀴지(450)가 수분을 많이 머금게 되면 경화성수지층(20)상의 잔여물을 긁어내기에 그 기능을 제대로 수행할 수 없기 때문이다.
이처럼 충진부재(430)의 경도와 세정용 스퀴지(450)의 경도는 제1수분공급부(440)와 제2수분공급부(452)에서 공급되는 수분량으로 조절하여 사용함이 바람직하다.
본 발명의 소성유닛(500)은 음각패턴(22)의 내부에 충진된 전도성 페이스트를 포함하는 기판(10)을 소성처리하여 전극패턴(30)을 형성하는 구성이다.
즉, 소성유닛(500)은 투명유연전극이 공급유닛의 이송방향에 따라 진동충진유닛(400)을 지나 소성챔버(510)를 통과하면서 소성히터(520)에 의해 소성처리될 수 있는 구성을 가진다. 참고로, 소성히터(520)는 소성챔버(510) 내부에서 공급유닛을 중심으로 상측 혹은 하측에 설치될 수 있다.
그리고 소성유닛(500)에서 사용되는 소성챔버(510) 및 소성히터(520) 등의 가열장비는 건조유닛(300)에서 사용되는 가열장비와 동일한 것으로 적용될 수 있다.
이때 소성유닛(500)의 적용 온도는 건조유닛(300)의 적용 온도보다 20~30℃ 높은 것이 바람직하며, 전도성 페이스트의 실제 소성 온도는 150℃ 미만인 것이 바람직하다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따라 설계 변경 예시도이다. 도 4를 참조하면, 기판(10)의 상부와 더불어 하부에도 전극패턴(30)이 형성되도록, 기판(10)의 하부에 경화성수지층(20)이 형성되고 스탬핑유닛(100), 도포유닛(200), 건조유닛(300), 진동충진유닛(400) 및 소성유닛(500)이 기판(10)의 하부를 따라 추가적으로 설치됨을 확인할 수 있다.
한편, 상술한 구성으로 이루어진 본 발명에 따른 투명유연전극의 제조장치에 따른 작용과 아울러, 전도성 페이스트를 이용하여 투명유연전극을 제조하는 방법에 대하여 기술해보자면 다음과 같다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 투명유연전극의 단면도이다. 도 5를 참조하면, 투명유연전극의 제조방법에 따라 제조되는 투명유연전극을 도시하였음을 알 수 있다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 순서도이다. 도 6을 참조하면, 투명유연전극은 수지층 형성단계(S1), 패턴 형성단계(S2), 페이스트 도포단계(S3), 건조단계(S4), 페이스트 진동충진단계(S5) 및 소성단계(S6)를 거쳐 제조될 수 있음을 도시하였다.
먼저, 수지층 형성단계는 기판(10)의 상부에 경화성수지층(20)을 형성시키는 단계이다. (S1)
즉, 수지층 형성단계는 필름 재질의 유연한 기판(10) 상부에 경화성수지를 도포하여 경화성수지층(20)을 형성하는 단계라 할 수 있다.
내용인즉, 소정의 점도를 가지는 경화성수지를 유연성을 가지는 기판(10) 상부에 도포한 후 블레이드 등의 도구를 이용해 표면 정리를 함으로써, 1~10 ㎛ 범위의 두께를 가지는 경화성수지층(20)을 형성한다. 단, 경화성수지층(20)의 두께는 이에 한정되는 것만은 아니다.
여기서 경화성수지로는 자외선 경화성수지와 열 경화성수지 중에서 선택하여 사용할 수 있으나, 본 발명에서는 자외선 경화성수지를 적용하였다.
그리고 유연성을 가지는 기판(10)으로는 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET, polyethyleneterephthalate)를 적용하였으나, 이뿐만 아니라 폴리카보네이트(PC, polycarbonate), 폴리메틸메타크릴레이트(PMMA, polymethyl methacrylate), 폴리이미드(PI, polyimide), 폴리프로필렌(PP, polypropylene), 아크릴(Acryl), 폴리에틸렌나프탈레이트(PEN, polyethylene naphthalate), 트리아세테이트 셀룰로즈(TAC, triacetate cellulose), 폴리에테르설폰(PES, polyether sulfone), ITO(Indium Tin Oxide) 박막이 증착된 고분자 필름 등도 사용 가능하며, 반드시 이에 한정되는 것만도 아니다.
다음으로, 패턴 형성단계는 경화성수지층(20) 표면에 음각패턴(22)을 형성시키는 단계이다. (S2)
구체적으로, 패턴 형성단계는 회전롤(110)의 외주면에 양각패턴부(120)가 형성된 스탬핑유닛(100)이 경화성수지층(20) 표면에서 압착되면서, 돌기 형상의 양각패턴부(120)를 경화성수지층(20)으로 전사시켜 경화성수지층(20) 표면에 양각패턴부(120)에 대응되는 음각패턴(22)을 형성하는 단계이다.
이후, 경화성수지층(20)에 자외선을 조사시킴으로써 경화시키는데 즉, 경화성수지가 기판(10)과 접촉하여 접촉면적이 넓어진 상태에서 경화되어 기판(10)과의 접착력이 증대되는 원리로써, 홈 형상의 음각패턴(22) 또한 경화하게 되는 것이다.
이때, 자외선의 광원으로는 수은램프, 자외선 형광램프, 자외선 LED 등을 선택적으로 사용할 수 있다.
다음으로, 페이스트 도포단계는 음각패턴(22)이 형성된 경화성수지층(20) 표면에 전도성 페이스트를 도포하는 단계이다. (S3)
내용인즉, 페이스트 도포단계는 도포되는 전도성 페이스트의 두께를 균일하게 해주기 위하여, 음각패턴(22)이 형성된 경화성수지층(20) 표면에 전도성 페이스트를 롤코팅(roll-coating) 방식으로 도포하는 단계이다.
이러한 페이스트 도포단계에서 전도성 페이스트가 균일하게 도포되지 못하면, 추후 건조단계를 통과하는 전도성 페이스트의 용제가 균일하게 휘발되지 못할 수 있으므로, 전도성 페이스트를 경화성수지층(20) 표면에 균일하게 도포 가능한 롤코터(roll coater)를 적용하여 도포하는 것이 바람직하다.
여기서 경화성수지층(20) 표면에 도포되는 전도성 페이스트는 전도성 재료 50~80 wt%와 용제 20~50 wt%로 이루어질 수 있으며, 이하에서는 전도성 페이스트의 조성을 설명해 보도록 하겠다.
첫째, 전도성 재료는 은(Ag), 구리(Cu), 알루미늄(Al), 탄소(C), 니켈(Ni), 철(Fe), 바륨티타네이트(BaTiO3) 및 알루미늄 산화물(Al2O3) 중 어느 하나 이상을 선택하여 적용할 수 있으며, 더욱 바람직하게는 은(Ag)을 적용할 수 있다.
여기서 은(Ag)은 금속 파우더로써 소성 후 전도성을 가지며 전기가 흐르는 통로 역할을 하게 되는데, 1 ㎛ 미만의 미세한 음각패턴(22) 내부에 충진시키기 위해서는 20~100nm 범위의 크기를 가지는 입자로 구성되는 은(Ag)을 사용하는 것이 바람직하다.
단, 은(Ag) 함량이 50 wt% 미만이면 전기가 흐르는 전극패턴(30) 역할을 수행하기에 미미할 수 있으며, 80 wt%를 초과하면 전도성 페이스트의 점도가 높아져서 미세한 전극패턴(30)의 성형이 불량스러워질 우려가 있으므로, 은(Ag)은 50~80wt%의 범위로 포함되는 것이 바람직하다.
둘째, 용제(solvent)는 전도성 페이스트가 전극패턴(30)을 형성할 수 있도록 유동성을 증대시켜 주는 역할을 한다.
이때 용제가 20 wt% 미만으로 첨가되면 전도성 페이스트의 유동성이 낮아져 전극패턴(30)을 형성하는데 어려움이 뒤따르며, 50 wt%를 초과하면 전도성 페이스트의 유동성이 증가하여 음각패턴(22) 내부로의 충진 특성은 양호하나 소성 과정을 거친 후 과도한 수축이 발생하여 최종적으로 구현된 전극패턴(30)의 전기적인 특성을 저하시키는 문제를 유발할 수 있으므로, 용제는 20~50 wt%의 범위로 포함되는 것이 바람직하다.
참고로, 용제로는 벤질알코올, 에틸렌글리콜, 디에틸렌글리콜, 프로필렌글리콜, 디프로필렌글리콜, 메틸에틸케톤, 메틸이소부틸케톤, 아세톤, 메탄올, 에탄올, 부탄올, 톨루엔, 크실렌, 벤젠 및 이들의 유도체 중 어느 하나 이상을 선택하여 사용할 수 있으며, 용제의 종류가 반드시 이에 한정되는 것만은 아니다.
다음으로, 건조단계는 경화성수지층(20) 표면에 도포된 전도성 페이스트의 용제를 휘발시키는 단계이다. (S4)
즉, 건조단계는 경화성수지층(20)에 도포된 전도성 페이스트에 함유된 용제를 휘발시켜 건조하는 것으로, 송풍기(310)와 가열히터(320)가 설치된 건조유닛(300)을 이용하는 단계라 할 수 있다.
여기서 건조단계에서 80~130℃로 유지되는 건조용 오븐 등의 건조유닛(300)에서 5~15초(더욱 바람직하게는, 10초)의 범위로 유지시켜 용제를 휘발시켜 제거하는 것이 바람직한 이유는 다음과 같다.
만약 건조 온도가 130℃를 초과하거나 건조 시간이 15초를 경과하면 전도성 페이스트에 함유된 용제가 모두 휘발되면서 경화성수지층(20)에 너무 강하게 흡착되므로, 음각패턴(22) 내부로의 전도성 페이스트 충진이 제대로 이루어지지 않을 수 있다.
그리고 건조 온도가 80℃ 미만이거나 건조 시간이 5초 미만이면 전도성 페이스트에 함유된 용제가 충진부재(430)에 잔류하게 되어 양호한 충진율을 이룰 수 없다는 단점이 있다.
이에 따라, 건조단계에서는 전도성 페이스트가 도포된 경화성수지층(20)을 80~130℃의 온도에서 5~15초의 시간 동안 건조시키는 것이 바람직하다.
다음으로, 페이스트 진동충진단계는 용제가 휘발된 전도성 페이스트를 진동을 통해 음각패턴(22)의 내부에 충진하는 단계이다. (S5)
말하자면, 페이스트 진동충진단계는 진동충진유닛(400)을 이용해 진동모터(411)에 의한 편심 진동으로 음각패턴(22)의 내부에 용제가 휘발된 전도성 페이스트를 충진하는 단계라 할 수 있다.
다시 말해, 내부에 진동모터(411)가 설치된 진동본체(410)와, 진동본체(410) 하부에 연결부재(420)를 통해 장착되어 진동모터(411)에 의하여 진동되는 충진부재(430)로 이루어진 진동충진유닛(400)으로 음각패턴(22)에 전도성 페이스트를 충진한다할 수 있다.
여기서 충진부재(430)가 진동모터(411)의 진동에 의하여 경화성수지층(20) 표면상에서 측방향으로 좌우 이동되어 진동함과 동시에 상하방향으로도 이동되어 진동됨으로써, 전도성 페이스트의 충진성을 향상시킬 수 있다.
부가적으로, 페이스트 진동충진단계에서는 충진 과정에서 발생 가능한 충진부재(430)와 경화성수지층(20) 표면과의 마찰이 감소되도록, 용제가 휘발된 전도성 페이스트에 수분을 공급하는 것이 바람직하다.
그리고 페이스트 진동충진단계와 소성단계의 사이에는, 음각패턴(22)의 내부에 충진된 전도성 페이스트를 제외한 경화성수지층(20)상의 잔여물 또는 잔여막을 세정용 스퀴지(450)로 닦는 경화성수지층 세정단계를 더 포함되도록 하는 것이 바람직하다.
아울러, 충진부재(430)와 세정용 스퀴지(450)는 PVA(polyvinyl alcohol), Polyester, Cellulose 및 Polyurethane 중 어느 하나 이상을 원재료로 하여 제조된 스펀지인 것이 바람직하다. 이러한 충진부재(430)에 수분이 함유되지 않으면 완전히 딱딱해지는 성질을 지닌다.
특히, 페이스트 진동충진단계에서는 경화성수지층 세정단계에서보다 상대적으로 수분을 많이 공급하는 것이 바람직하다.
페이스트 진동충진단계에서 경화성수지층 세정단계에서보다 상대적으로 수분을 많이 공급하는 이유는, 경화성수지층 세정단계에서보다 페이스트 진동충진단계에서의 제1수분공급부(440)로부터 공급되는 수분을 많게 함으로써, 충진부재(430)가 수분을 충분히 머금어 음각패턴(22)에 전도성 페이스트의 충진성을 극대화시키기 위함이다.
경화성수지층 세정단계에서 페이스트 진동충진단계보다 상대적으로 수분을 적게 공급하는 이유는, 페이스트 진동충진단계에서의 진동충진유닛(400)에 의해 음각패턴(22)에 충진되고 남은 경화성수지층(20) 표면상의 잔여물 또는 잔여막을 긁어내기 위한 것으로, 세정용 스퀴지(450)가 수분을 많이 머금게 되면 경화성수지층(20)상의 잔여물을 긁어내기에 그 기능을 제대로 수행할 수 없게 된다.
이처럼 페이스트 진동충진단계에서의 제1수분공급부(440)와 경화성수지층 세정단계에서의 제2수분공급부(452)에서 공급되는 수분량으로 조절함으로써, 경화성수지층 세정단계보다 페이스트 진동충진단계에서 상대적으로 수분을 많이 공급되도록 하여 사용함이 바람직하다.
마지막으로, 소성단계는 음각패턴(22)의 내부에 충진된 전도성 페이스트를 포함하는 기판(10)을 소성처리하여 전극패턴(30)을 형성하는 단계이다. (S6)
즉, 소성단계는 음각패턴(22)의 내부에 충진된 전도성 페이스트를 포함하는 기판(10)을 100~140℃에서 1~10분 동안 소성하여 투명유연전극의 전기적인 특성을 향상시키는 단계로써, 소성챔버(510)와 소성히터(520)로 이루어진 소성유닛(500)을 이용하여 소성을 실시하는 단계라 할 수 있다.
내용인즉, 소성단계는 음각패턴(22) 내부로의 전도성 페이스트 충진 및 경화성수지층(20)의 표면 세정 작업이 끝난 투명유연전극을 내부가 100~140℃(바람직하게는, 130℃)로 유지되는 소성유닛(500)에서 1~10분(바람직하게는, 5분 이하) 동안 소성시켜 최종적으로 투명유연전극이 완성되는 단계이다.
여기서 소성 온도가 100℃ 미만이거나 소성 시간이 1분 미만이면 소성이 충분히 일어나지 않을 수 있으며, 소성 온도가 140℃를 초과하거나 소성 시간이 10분을 경과하면 필름 재질의 유연한 기판(10)이 변형을 일으킬 우려가 있을 뿐만 아니라 에너지가 낭비될 수 있으므로, 소성단계에서는 100~140℃에서 1~10분 동안 소성을 실시하는 것이 바람직하다.
이상과 같이 본 발명에 따른 투명유연전극의 제조장치 및 제조방법은, 경화성수지층(20)에 형성된 음각패턴(22)에 진동모터(411)에 의해 진동을 발생시켜 전도성 페이스트의 충진성을 향상시킴으로써, 시인성과 전기적 특성이 우수한 투명유연전극을 획득할 수 있다.
이상의 설명은 본 발명의 기술 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과한 것으로, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 본 발명의 본질적인 특성에서 벗어나지 않는 범위에서 다양한 수정 및 변형이 가능할 것이다. 따라서 본 발명에 개시된 실시예는 본 발명의 기술 사상을 한정하기 위한 것이 아니라, 설명하기 위한 것이고, 이러한 실시예에 의하여 본 발명의 기술 사상의 범위가 한정되는 것도 아니다. 본 발명의 보호 범위는 특허청구범위에 의하여 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술사상은 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.
10: 기판 20: 경화성수지층
22: 음각패턴 30: 전극패턴
100: 스탬핑유닛 110: 회전롤
120: 양각패턴부 200: 도포유닛
300: 건조유닛 310: 송풍기
320: 가열히터 400: 진동충진유닛
410: 진동본체 411:진동모터
412: 상판 413: 하판
414: 유연지지대 415: 수용턱
416: 베어링 420: 연결부재
422: 고정용 지그 422a: 제1안착홈
422b: 제2안착홈 424: 진공흡착판
424a: 진공펌프 430: 충진부재
440: 제1수분공급부 450: 세정용 스퀴지
452: 제2수분공급부 500: 소성유닛
510: 소성챔버 520: 소성히터
α: 편심량

Claims (19)

  1. 상부에 경화성수지층이 형성된 기판을 이송 공급하는 공급유닛;
    이송 공급되는 기판의 경화성수지층 표면에 음각패턴을 형성시키는 스탬핑유닛;
    상기 음각패턴이 형성된 경화성수지층 표면에 전도성 페이스트를 도포하는 도포유닛;
    경화성수지층 표면에 도포된 전도성 페이스트의 용제를 휘발시키는 건조유닛;
    용제가 휘발된 전도성 페이스트를 진동을 통해 상기 음각패턴의 내부에 충진하는 진동충진유닛; 및
    상기 음각패턴의 내부에 충진된 전도성 페이스트를 포함하는 기판을 소성처리하여 전극패턴을 형성하는 소성유닛;을 포함하며,
    상기 스탬핑유닛, 상기 도포유닛, 상기 건조유닛, 상기 진동충진유닛 및 상기 소성유닛은 상기 공급유닛 상에 상기 기판의 이송 방향을 따라 순차적으로 배치되는 것으로,
    상기 진동충진유닛은,
    내부에 진동모터가 설치되는 진동본체; 및
    상기 진동본체 하부에 연결부재를 통해 장착되어 진동되는 충진부재;를 포함하되,
    상기 진동본체는,
    편심에 의해 진동하는 진동모터;
    상기 진동모터의 상부를 덮는 상판;
    상기 상판의 하부에 일정간격으로 이격 설치되어 상기 진동모터가 안착되는 하판;
    상기 상판과 상기 하판 사이에 위치되어 상기 하판을 지지하고, 내부가 중공되어 상기 진동모터를 수용하며, 유연한 성질을 가지도록 둘레면이 주름잡힌 구조로 형성되어 상기 진동모터에 의한 진동을 흡수하는 유연지지대;
    상기 하판의 상면에 상기 진동모터가 수용되도록 상기 진동모터의 외측에 돌출 형성되는 수용턱; 및
    상기 진동모터와 상기 수용턱의 사이에 설치되는 베어링;을 포함하고,
    상기 충진부재는, 상기 진동모터에 의해 경화성수지층 상에서 측방향으로 좌우 이동되면서 진동됨과 동시에 상하방향으로 이동되면서 진동되어 상기 음각패턴의 내부에 용제가 휘발된 전도성 페이스트를 충진하고,
    상기 유연지지대는, 상기 진동모터, 상기 수용턱 및 상기 베어링이 상기 진동본체의 외부로 이탈되지 않게 하는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 진동충진유닛에는,
    기판상에서 상기 진동충진유닛을 이동시키는 이동유도유닛을 더 포함하여,
    상기 진동충진유닛이 상기 이동유도유닛에 의해 상기 기판상에서 진동하면서 이동되는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치.
  4. 삭제
  5. 제1항에 있어서,
    상기 연결부재는,
    상면에 상기 진동본체를 안착시키는 제1안착홈과, 하면에 상기 충진부재를 안착시키는 제2안착홈이 형성된 고정용 지그인 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 연결부재는,
    진공펌프의 진공압에 의해 상기 충진부재가 진공 흡착되는 다공질의 진공흡착판인 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 건조유닛과 상기 진동충진유닛의 사이에는,
    상기 진동충진유닛의 충진부재와 상기 경화성수지층 표면과의 마찰이 감소되도록, 상기 용제가 휘발된 전도성 페이스트에 수분을 공급하는 제1수분공급부가 설치되는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 진동충진유닛과 상기 소성유닛의 사이에는,
    상기 경화성수지층 표면에 접촉되도록 설치되어 상기 음각패턴에 충진된 전도성 페이스트를 제외한 경화성수지층상의 잔여물을 닦는 세정용 스퀴지가 설치되는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 세정용 스퀴지의 일측에는,
    수분을 공급하기 위한 제2수분공급부가 설치되는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치.
  10. 제8항에 있어서,
    상기 충진부재와 상기 세정용 스퀴지는,
    PVA(polyvinyl alcohol), Polyester, Cellulose 및 Polyurethane 중 어느 하나 이상을 원재료로 하여 제조된 스펀지인 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치.
  11. 제8항에 있어서,
    상기 충진부재는 상기 세정용 스퀴지보다 수분을 상대적으로 많이 함유하여,
    상기 세정용 스퀴지보다 경도가 낮은 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 도포유닛은,
    상기 전도성 페이스트의 도포되는 두께를 균일하게 조절하는 롤코터인 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 기판의 하부에 전극패턴이 형성되도록,
    상기 기판의 하부에 경화성수지층이 형성되고 상기 스탬핑유닛, 상기 도포유닛, 상기 건조유닛, 상기 진동충진유닛 및 상기 소성유닛이 상기 기판의 하부를 따라 추가적으로 설치되는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조장치.
  14. 기판의 상부에 경화성수지층을 형성시키는 수지층 형성단계;
    상기 경화성수지층 표면에 음각패턴을 형성시키는 패턴 형성단계;
    상기 음각패턴이 형성된 경화성수지층 표면에 전도성 페이스트를 도포하는 페이스트 도포단계;
    상기 경화성수지층 표면에 도포된 전도성 페이스트의 용제를 휘발시키는 건조단계;
    상기 용제가 휘발된 전도성 페이스트를 진동을 통해 상기 음각패턴의 내부에 충진하는 페이스트 진동충진단계; 및
    상기 음각패턴의 내부에 충진된 전도성 페이스트를 포함하는 기판을 소성처리하여 전극패턴을 형성하는 소성단계;를 포함하는 것으로,
    상기 페이스트 진동충진단계에서는,
    내부에 진동모터가 설치되는 진동본체 및 상기 진동본체 하부에 연결부재를 통해 장착되어 진동되는 충진부재를 포함하는 진동충진유닛을 통해 충진하되,
    상기 진동본체는,
    편심에 의해 진동하는 진동모터;
    상기 진동모터의 상부를 덮는 상판;
    상기 상판의 하부에 일정간격으로 이격 설치되어 상기 진동모터가 안착되는 하판;
    상기 상판과 상기 하판 사이에 위치되어 상기 하판을 지지하고, 내부가 중공되어 상기 진동모터를 수용하며, 유연한 성질을 가지도록 둘레면이 주름잡힌 구조로 형성되어 상기 진동모터에 의한 진동을 흡수하는 유연지지대;
    상기 하판의 상면에 상기 진동모터가 수용되도록 상기 진동모터의 외측에 돌출 형성되는 수용턱; 및
    상기 진동모터와 상기 수용턱의 사이에 설치되는 베어링;으로 이루어지고,
    상기 유연지지대를 통해 상기 진동모터, 상기 수용턱 및 상기 베어링이 상기 진동본체의 외부로 이탈되지 않게 하며,
    상기 충진부재가 상기 진동모터에 의해 경화성수지층 상에서 측방향으로 좌우 이동되면서 진동됨과 동시에 상하방향으로 이동되면서 진동되어 상기 음각패턴의 내부에 용제가 휘발된 전도성 페이스트를 충진하는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조방법.
  15. 삭제
  16. 제14항에 있어서,
    상기 페이스트 진동충진단계에서는,
    충진 과정에서 발생 가능한 충진부재와 경화성수지층 표면과의 마찰이 감소되도록, 상기 용제가 휘발된 전도성 페이스트에 수분을 공급하는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조방법.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 페이스트 진동충진단계와 상기 소성단계의 사이에는,
    상기 음각패턴의 내부에 충진된 전도성 페이스트를 제외한 경화성수지층상의 잔여물을 세정용 스퀴지로 닦는 경화성수지층 세정단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조방법.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 페이스트 진동충진단계에서는,
    상기 경화성수지층 세정단계보다 상대적으로 수분을 많이 공급하는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조방법.
  19. 제14항에 있어서,
    상기 페이스트 도포단계에서는,
    상기 전도성 페이스트가 롤코팅(roll-coating) 방식으로 도포되는 것을 특징으로 하는 투명유연전극의 제조방법.
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