KR102083236B1 - A Contacting Brush Type of an Apparatus for Cleaning - Google Patents

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Abstract

본 발명은 접촉식 브러시 구조의 세정 장치에 관한 것이고, 구체적으로 엘시디 기판 또는 유리 기판과 같은 기판 표면의 이물질의 제거를 위하여 브러시의 아래쪽으로 공기를 공급하여 제전 모가 균일한 형상으로 유지되면서 이물질이 효과적으로 제거되도록 하는 접촉식 브러시 구조의 세정 장치에 관한 것이다. 접촉식 브러시 구조의 세정 장치는 기판의 표면의 접촉되는 브러시 모듈(11); 브러시 모듈(11)의 한쪽 측면으로 공기를 분무하는 에어나이프 모듈(12); 세정 과정에서 발생되는 이물질을 유도하여 포집하는 후드 모듈(13); 서로 마주보는 위치에서 서로 다른 방향을 향하도록 배치된 한 쌍의 이오나이저(14a, 14b); 및 후드 모듈(13)에서 포집된 이물질의 배출을 위한 포집 공간(15)을 포함한다. The present invention relates to a cleaning apparatus of a contact brush structure, and in particular, by supplying air to the bottom of the brush to remove foreign substances on the surface of the substrate, such as an LCD substrate or a glass substrate, the foreign substances are effectively maintained while maintaining the static elimination hair in a uniform shape. A cleaning apparatus of a contact brush structure to be removed. The cleaning apparatus of the contact brush structure includes a brush module 11 in contact with the surface of the substrate; An air knife module 12 for spraying air to one side of the brush module 11; A hood module 13 for inducing and collecting foreign substances generated during the cleaning process; A pair of ionizers 14a and 14b disposed to face different directions at positions facing each other; And a collecting space 15 for discharging the foreign matter collected by the hood module 13.

Description

접촉식 브러시 구조의 세정 장치{A Contacting Brush Type of an Apparatus for Cleaning}A contacting brush type of an apparatus for cleaning}

본 발명은 접촉식 브러시 구조의 세정 장치에 관한 것이고, 구체적으로 엘시디 기판 또는 유리 기판과 같은 기판 표면의 이물질의 제거를 위하여 브러시의 아래쪽으로 공기를 공급하여 제전 모가 균일한 형상으로 유지되면서 이물질이 효과적으로 제거되도록 하는 접촉식 브러시 구조의 세정 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a cleaning apparatus of a contact brush structure, and in particular, by supplying air to the lower side of the brush to remove foreign substances on the surface of the substrate, such as an LCD substrate or a glass substrate, the foreign matter is effectively maintained while maintaining a uniform shape A cleaning apparatus of a contact brush structure to be removed.

반도체 기판, 엘시디 기판, 렌즈 이와 유사한 기판의 공정 과정에서 표면에 존재하는 미세 입자 또는 이물질이 제거될 필요가 있다. 기판 표면의 이물질을 제거하기 위한 다양한 형태의 습식 또는 건식 세정 장치가 이 분야에 공지되어 있고, 예를 들어 특허공개번호 제10-2008-0057496호는 압축 공기 및 브러시를 이용한 기판 세정 방법에 대하여 개시한다. 특허공개번호 제10-2009-0070659호는 샤프트의 원주면에 설치된 복수 개의 브러시 어셈블리로 이루어진 기판의 세정 장치에 대하여 개시한다. 또한 특허공개번호 제10-2013-0138046호는 기판 표면의 이물질의 제거를 위하여 회전하는 브러시 주위로 에어나이프에 의하여 기류가 형성되도록 하여 브러시 제전 모가 균일한 형상을 유지하여 기판 표면의 이물질 제거 능력이 향상될 수 있도록 하는 에어나이프 방식의 브러시 세정기에 대하여 개시한다. 기판 세정 공정은 다양한 형태의 이물질을 제거할 수 있으면서 기판의 손상이 발생되지 않도록 하여야 한다. 구체적으로 들어 다양한 형태의 화학적 오염물을 제거가 가능하면서 예를 들어 5 내지 10 ㎛ 직경을 가지는 이물질의 제거가 가능하여야 한다. 또한 세정 과정에서 제전 모가 대전이 되어 기판을 손상시키는 것을 방지할 수 있는 수단이 요구된다. 그러나 선행기술 또는 공지된 세정 장치는 이와 같은 기술에 대하여 개시하지 않는다. In the process of processing a semiconductor substrate, an LCD substrate, a lens or the like, fine particles or foreign substances present on the surface need to be removed. Various types of wet or dry cleaning apparatus for removing foreign matter on the substrate surface are known in the art, for example, Patent Publication No. 10-2008-0057496 discloses a method for cleaning a substrate using compressed air and a brush. do. Patent Publication No. 10-2009-0070659 discloses a cleaning apparatus for a substrate consisting of a plurality of brush assemblies installed on the circumferential surface of the shaft. In addition, Korean Patent Publication No. 10-2013-0138046 allows airflow to be formed by an air knife around a rotating brush to remove foreign substances on the surface of the substrate. An air knife brush cleaner which can be improved is disclosed. The substrate cleaning process should remove various types of foreign matter while preventing damage to the substrate. Specifically, it should be possible to remove various types of chemical contaminants while removing foreign substances having a diameter of, for example, 5 to 10 μm. There is also a need for a means for preventing the antistatic charge from damaging the substrate during the cleaning process. However, the prior art or known cleaning apparatus does not disclose such a technique.

본 발명은 선행기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로 아래와 같은 목적을 가진다. The present invention is to solve the problems of the prior art has the following object.

선행기술 1: 특허공개번호 제10-2008-0057496호(엘지디스플레이 주식회사, 2008년06월25일 공개) 세정용 브러시, 이를 구비하는 기판 세정 장치 및 기판 세정 시스템Prior Art 1: Patent Publication No. 10-2008-0057496 (LG Display Co., Ltd., published on June 25, 2008) Cleaning brush, substrate cleaning apparatus and substrate cleaning system having the same 선행기술 2: 특허공개번호 제10-2009-0070659호(세메스 주식회사, 2009년07월01일 공개) 브러시 세정 유닛과 이를 구비한 기판 세정 장치Prior Art 2: Patent Publication No. 10-2009-0070659 (Semes Co., Ltd., published on July 1, 2009) Brush cleaning unit and substrate cleaning apparatus having the same 선행기술 3: 특허공개번호 제10-2013-0138046호(황창배, 2013년12월18일 공개) 에어 나이프 방식의 브러시 세정기Prior Art 3: Patent Publication No. 10-2013-0138046 (Hwang Chang-bae, published December 18, 2013) Air cleaner brush cleaner

본 발명의 목적은 다양한 형상의 기판의 세정 공정에 적용되는 미세 입자의 제거가 가능하면서 이와 동시에 기판의 손상이 방지되도록 하는 접촉식 브러시 구조의 세정 장치를 제공하는 것이다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a cleaning apparatus of a contact brush structure capable of removing fine particles applied to a cleaning process of various shapes of substrates and at the same time preventing damage to the substrates.

본 발명의 적절한 실시 형태에 따르면, 접촉식 브러시 구조의 세정 장치는 기판의 표면의 접촉되는 브러시 모듈; 브러시 모듈의 한쪽 측면으로 공기를 분무하는 에어나이프 모듈; 세정 과정에서 발생되는 이물질을 유도하여 포집하는 후드 모듈; 서로 마주보는 위치에서 서로 다른 방향을 향하도록 배치된 한 쌍의 이오나이저; 및 후드 모듈에서 포집된 이물질의 배출을 위한 포집 공간을 포함한다.According to a suitable embodiment of the present invention, a cleaning apparatus of a contact brush structure includes a brush module in contact with a surface of a substrate; An air knife module for spraying air to one side of the brush module; A hood module for inducing and collecting foreign substances generated during the cleaning process; A pair of ionizers disposed to face different directions at positions facing each other; And a collecting space for discharging the foreign matter collected from the hood module.

본 발명의 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 에어나이프 모듈과 하나의 이오나이저를 분리시키는 분리 기판을 더 포함한다.According to another suitable embodiment of the present invention, it further comprises a separating substrate separating the air knife module and one ionizer.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 에어나이프 모듈의 분무 방향은 브러시 모듈의 접선 또는 그와 근사한 방향이 된다.According to another suitable embodiment of the present invention, the spraying direction of the air knife module is the tangent of the brush module or the direction close to the same.

본 발명의 또 다른 적절한 실시 형태에 따르면, 에어나이프 모듈은 나이프 몸체; 나이프 몸체의 한쪽 면과 마주보는 면을 가지는 나이프 덮개; 및 나이프 몸체와 나이프 덮개 사이에 형성되는 분무 갭의 간격을 조절하는 갭 슬릿으로 이루어진다.According to another suitable embodiment of the present invention, the air knife module comprises a knife body; A knife cover having a side facing one side of the knife body; And a gap slit for adjusting the spacing of the spraying gap formed between the knife body and the knife cover.

본 발명에 따른 세정 장치는 에어나이프 모듈에서 분무되는 압축 공기에 의하여 브러시에 의한 이물질의 제거가 효과적으로 이루어지도록 한다. 또한 에어나이프 모듈로부터 적절한 방향으로 압축 공기를 브러시로 분무하는 것에 의하여 브러시가 청결한 상태로 유지되어 세정 효과가 상승되도록 한다. 또한 이오나이저와 에어나이프모듈이 서로 관련성을 가지도록 배치되는 것에 의하여 세정 과정에 브러시에 의한 기판 표면의 손상이 방지되도록 한다. 또한 에어나이프 모듈은 브러시를 청결한 상태로 유지하면서 이오나이저와 함께 작동되어 대전이 방지되도록 한다. 본 발명에 따른 세정 장치는 에어나이프 모듈에 의하여 기판의 표면과 브러시 사이에 기류가 형성되면서 제전 모가 균일하게 분포되도록 하여 기판 전체에 걸쳐 이물질의 제거가 가능하도록 한다. 이로 인하여 장시간의 사용에 따른 브러시 표면에 부착된 이물질이 2차 오염원이 되는 것을 방지하여 균일한 세정 품질이 유지될 수 있도록 한다. 본 발명에 따른 세정 장치는 다양한 크기를 가지는 미세 입자가 세정이 가능하고, 예를 들어 1 내지 20 ㎛의 직경을 가지는 이물질의 제거가 가능하도록 하면서 초음파 진동자가 적용될 수 없는 낮은 강도를 가진 필름 표면의 이물질 제거를 위하여 사용될 수 있다. The cleaning apparatus according to the present invention is to effectively remove the foreign matter by the brush by the compressed air sprayed from the air knife module. In addition, by spraying the compressed air with the brush from the air knife module in an appropriate direction, the brush is kept clean so that the cleaning effect is increased. In addition, since the ionizer and the air knife module are disposed to be related to each other, damage to the substrate surface by the brush during the cleaning process is prevented. The airknife module also works with the ionizer while keeping the brush clean to prevent charging. In the cleaning apparatus according to the present invention, an air knife is formed between the surface of the substrate and the brush by the air knife module so that the static electricity is uniformly distributed so that foreign matters can be removed throughout the substrate. This prevents foreign matter adhering to the brush surface due to prolonged use to prevent secondary contamination, so that uniform cleaning quality can be maintained. The cleaning apparatus according to the present invention allows the fine particles having various sizes to be cleaned, and for example, to remove foreign substances having a diameter of 1 to 20 μm, and to prevent the ultrasonic vibrator from being applied. Can be used to remove debris.

도 1은 본 발명에 따른 접촉식 브러시 구조의 세정 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 2는 본 발명에 따른 세정 장치의 실시 예를 도시한 것이다.
도 3은 본 발명에 따른 세정 장치에 적용되는 에어나이프 모듈의 실시 예를 도시한 것이다. 1 illustrates an embodiment of a cleaning apparatus of a contact brush structure according to the present invention.
2 shows an embodiment of a cleaning apparatus according to the present invention.
Figure 3 shows an embodiment of an air knife module applied to the cleaning device according to the present invention.

아래에서 본 발명은 첨부된 도면에 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되지만 실시 예는 본 발명의 명확한 이해를 위한 것으로 본 발명은 이에 제한되지 않는다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the embodiments set forth in the accompanying drawings, but the embodiments are provided for clarity of understanding and the present invention is not limited thereto.

도 1은 본 발명에 따른 접촉식 브러시 구조의 세정 장치의 실시 예를 도시한 것이다. 1 illustrates an embodiment of a cleaning apparatus of a contact brush structure according to the present invention.

도 1을 참조하면, 접촉식 브러시 구조의 세정 장치는 기판의 표면의 접촉되는 브러시 모듈(11); 브러시 모듈(11)의 한쪽 측면으로 공기를 분무하는 에어나이프 모듈(12); 세정 과정에서 발생되는 이물질을 유도하여 포집하는 후드 모듈(13); 서로 마주보는 위치에서 서로 다른 방향을 향하도록 배치된 한 쌍의 이오나이저(14a, 14b); 및 후드 모듈(13)에서 포집된 이물질의 배출을 위한 포집 공간(15)을 포함한다. Referring to FIG. 1, the cleaning apparatus of a contact brush structure includes a brush module 11 in contact with a surface of a substrate; An air knife module 12 for spraying air to one side of the brush module 11; A hood module 13 for inducing and collecting foreign substances generated during the cleaning process; A pair of ionizers 14a and 14b disposed to face different directions at positions facing each other; And a collecting space 15 for discharging the foreign matter collected by the hood module 13.

세정 장치는 세정이 되는 기판의 위쪽 또는 측면에 배치되는 프레임(F)을 포함할 수 있고, 기판은 브러시 모듈(11)의 아래쪽에서 이동 방향(MD)을 따라 이동될 수 있다. 기판은 예를 들어 유리 기판, 웨이퍼, 필름, 평판 표시 패널 또는 이와 유사한 것이 될 수 있고, 브러시 모듈(11)의 아래쪽을 따라 이동되면서 한쪽 면이 브러시 모듈(11)의 표면에 형성된 제전 모 또는 이와 유사한 세정 수단(112)에 의하여 세정될 수 있다. 전체적으로 실린더 형상이 되는 브러시 모듈(11)은 모터에 의하여 구동되는 회전축(111)에 의하여 회전될 수 있고 원통 형상을 둘레 면을 따라 기판 표면의 이물질 제거를 위한 제전 모와 같은 세정 수단(112)이 배치될 수 있다. 브러시 모듈(11)은 길이 방향에 대하여 수직이 되는 방향을 따른 단면이 원형이 되는 실린더 형상이 될 수 있고, 회전축(111)은 원형 단면을 가진 로드 형상이 될 수 있다. 회전축(111)의 주위에 실린더 형상의 세정 수단(112)이 배치될 수 있고, 회전축(111)의 회전과 함께 세정 수단(112)이 회전되면서 기판의 한쪽 면에 접촉될 수 있다. 그리고 이에 의하여 기판의 표면에 존재하는 이물질이 제거될 수 있다. 브러시 모듈(11)은 예를 들어 50~2,500 RMP의 속도로 회전할 수 있고 세정 수단(112)이 기판의 표면과 접촉되면서 세정 수단(112)이 예정된 방향과 다른 방향으로 휘어질 수 있다. 이로 인하여 기판 전체가 세정 수단(112)에 접촉되지 않을 수 있다. 이와 같은 문제를 해결하기 위하여 브러시 모듈(11)의 바깥쪽에 에어나이프 모듈(12)이 설치될 수 있다. The cleaning apparatus may include a frame F disposed above or to the side of the substrate to be cleaned, and the substrate may be moved along the movement direction MD under the brush module 11. The substrate may be, for example, a glass substrate, a wafer, a film, a flat panel display panel, or the like, and may move along the lower side of the brush module 11 and have a static charge cap formed on one surface of the brush module 11, or It may be cleaned by similar cleaning means 112. The brush module 11, which is generally cylindrical, can be rotated by a rotation shaft 111 driven by a motor, and a cleaning means 112 such as an antistatic agent for removing foreign substances on the surface of the substrate is disposed along the circumferential surface of the cylindrical shape. Can be. The brush module 11 may have a cylindrical shape having a circular cross section along a direction perpendicular to the longitudinal direction, and the rotating shaft 111 may have a rod shape having a circular cross section. Cylindrical cleaning means 112 may be disposed around the rotation shaft 111, and the cleaning means 112 may be rotated with the rotation of the rotation shaft 111 to be in contact with one surface of the substrate. In this way, foreign matter present on the surface of the substrate may be removed. The brush module 11 may rotate at a speed of, for example, 50-2500 RMP, and the cleaning means 112 may be bent in a direction different from the predetermined direction as the cleaning means 112 come into contact with the surface of the substrate. As a result, the entire substrate may not be in contact with the cleaning means 112. In order to solve this problem, the air knife module 12 may be installed on the outside of the brush module 11.

에어나이프 모듈(12)은 브러시 모듈(11)을 향하여 공기를 분무하는 것에 의하여 세정 수단(112)이 균일한 형상이 되면서 브러시가 청결한 상태로 유지되도록 하고 이와 동시에 브러시 모듈(11)과 기판 사이에 공기의 흐름이 형성되도록 한다. 또한 세정 수단(112)에 의하여 부착력이 약해진 이물질을 분리시키면서 이와 함께 부유 중인 이물질이 다시 기판에 부착되는 것을 방지하는 기능을 가질 수 있다. 에어나이프 모듈(12)의 분무 방향은 브러시 모듈(11)의 접선 또는 그와 근사한 방향이 될 수 있다. 브러시 모듈(11) 또는 세정 수단(112)은 실린더 형상이 될 수 있고, 에어나이프 모듈(12)에서 공기가 분사되는 분무 방향(SD)은 브러시 모듈(11) 또는 세정 수단(112)의 둘레 면을 접하거나 또는 그에 근접한 방향이 될 수 있다. 이에 의하여 기판이 세정이 되는 위치에서 세정 수단(112)이 균일한 형상이 되도록 한다. 기판의 세정이 되는 면 또는 기판의 위쪽 면은 접촉 라인(CL)에 위치하거나 접촉 라인(CL)의 아래쪽에 위치할 수 있다. 이와 같은 구조에서 접촉 라인(CL)과 분무 방향은 110 내지 150의 교차 각을 형성할 수 있고, 바람직하게 120 내지 130도의 각을 형성할 수 있다. 에어나이프 모듈(12)에 의하여 이동 방향(MD)과 반대가 되는 방향으로 공기의 흐름 또는 기류가 형성될 수 있고, 제시된 교차 각에서 세정으로 인한 이물질 또는 부유 중인 이물질이 효과적으로 후드 모듈(13)로 유도될 수 있다. 제시된 실시 예에서 브러시 모듈(11)은 시계 방향으로 회전될 수 있고, 세정 수단(112)은 기판의 위쪽 표면과 접촉될 수 있다. 그리고 세정 수단(112)과 에어나이프 모듈(12)에 의하여 기판 표면에 부착된 이물질이 분리되어 후드 모듈(13)로 유도될 수 있다. The air knife module 12 maintains the brush in a clean state while the cleaning means 112 are uniformly formed by spraying the air toward the brush module 11 and at the same time between the brush module 11 and the substrate. Allow air flow to form. In addition, while separating the foreign matter is weakened by the cleaning means 112 may have a function to prevent the foreign matter from being attached to the substrate again. The spraying direction of the air knife module 12 may be a tangent of the brush module 11 or an approximation thereof. The brush module 11 or the cleaning means 112 may be cylindrical, and the spraying direction SD from which air is injected from the air knife module 12 may be a peripheral surface of the brush module 11 or the cleaning means 112. It may be in contact with or close to. This allows the cleaning means 112 to have a uniform shape at the position where the substrate is cleaned. The surface on which the substrate is cleaned or the upper surface of the substrate may be located on the contact line CL or beneath the contact line CL. In such a structure, the contact line CL and the spray direction may form an intersection angle of 110 to 150, and preferably an angle of 120 to 130 degrees. The air knife module 12 may form an air flow or airflow in a direction opposite to the direction of movement MD, and foreign matters due to cleaning or floating foreign matters may be effectively transferred to the hood module 13 at a given crossing angle. Can be induced. In the embodiment shown, the brush module 11 can be rotated clockwise and the cleaning means 112 can be in contact with the upper surface of the substrate. In addition, the foreign matter attached to the surface of the substrate by the cleaning means 112 and the air knife module 12 may be separated and guided to the hood module 13.

후드 모듈(13)은 기판의 위쪽 부분에 형성된 기류를 유입시키는 기능을 할 수 있고, 기류가 바깥쪽으로 배출되는 것을 방지하도록 바깥쪽에 형성된 1 벽면(131)과 1 벽면(131)과 적어도 일부가 마주보는 위치에 배치되어 기류의 경로를 형성하는 2 벽면(132)으로 이루어질 수 있다. 그리고 2 벽면(132)이 아래쪽으로 연장되는 길이는 1 벽면(131)이 아래쪽으로 연장되는 길이에 비하여 짧다. 또한 후드 모듈(13)은 입구가 좁으면서 기류가 유입되는 방향을 따라 단면적이 점차로 넓어지는 구조로 만들어질 수 있다. 그리고 이와 같은 구조에 의하여 기류가 빠르게 후드 모듈(13)의 위쪽 방향으로 유도될 수 있다. 후드 모듈(13)의 내부로 기류와 함께 유입된 이물질은 적절한 장치를 통하여 포집 공간(15)을 경유하여 외부로 배출될 수 있다. 브러시 모듈(11)의 위쪽 부분에 세정 수단(112)과 2 벽면에 의하여 형성되는 유도 경로(133)가 형성될 수 있고, 유도 경로(133)를 통하여 후드 모듈(13)로 유입되지 않은 잔여 기류가 유도되어 에어나이프 모듈(12)의 아래쪽으로 유도되도록 한다. 후드 모듈(13)은 다양한 구조로 만들어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The hood module 13 may function to introduce the airflow formed in the upper portion of the substrate, and at least a portion of the one wall surface 131 and the one wall surface 131 formed at the outside thereof to prevent the airflow from being discharged outwardly. It may consist of two wall surfaces 132 arranged at a viewing position to form a path of airflow. The length of the second wall 132 extending downward is shorter than the length of the first wall 131 extending downward. In addition, the hood module 13 may have a structure in which the inlet is narrow and the cross-sectional area is gradually widened along the direction in which the airflow is introduced. And by this structure, the airflow can be induced quickly in the upward direction of the hood module (13). The foreign matter introduced together with the airflow into the hood module 13 may be discharged to the outside via the collecting space 15 through a suitable device. An induction path 133 formed by the cleaning means 112 and the two wall surfaces may be formed in the upper portion of the brush module 11, and residual air flow that is not introduced into the hood module 13 through the induction path 133. Is guided to be guided downward of the air knife module 12. The hood module 13 can be made in various structures and is not limited to the embodiments shown.

본 발명의 하나의 실시 예에 따르면, 에어나이프 모듈(12)과 하나의 이오나이저(14b)를 분리시키는 분리 기판(16)을 포함할 수 있다. 또한 하나의 이오나이저(14b)의 위쪽에 배치되는 분리 기판(16)의 끝 부분은 에어나이프 모듈(12)의 분무 갭의 뒤쪽에 위치한다. 그리고 분무 갭은 브러시 모듈(11)의 중심과 동일 높이 또는 그와 유사한 높이에 위치한다. 추가로 2 벽면(132)의 끝 부분, 에어나이프 모듈(12)의 중심 및 분무 갭을 연결하는 직선은 기판의 위쪽 평면과 평행하거나 그에 가까운 형태가 될 수 있다. 이와 같은 구조에 의하여 효과적으로 세정이 이루어지면서 기류가 안정적으로 후드 모듈(13)로 유도될 수 있다. According to one embodiment of the invention, it may include a separation substrate 16 for separating the air knife module 12 and one ionizer 14b. In addition, the end portion of the separation substrate 16 disposed above the one ionizer 14b is located behind the spray gap of the air knife module 12. And the spray gap is located at the same height or the same height as the center of the brush module (11). In addition, the straight line connecting the end of the two wall surface 132, the center of the air knife module 12 and the spray gap may be parallel to or close to the upper plane of the substrate. By such a structure, the airflow can be stably guided to the hood module 13 while being effectively cleaned.

한 쌍의 이오나이저(14a, 14b)가 브러시 모듈(11)의 뒤쪽 또는 앞쪽에 배치될 수 있고, 예를 들어 1 이오나이저(14a)는 1 벽면(131)의 바깥쪽에 배치되고, 2 이오나이저(14b)는 에어나이프 모듈(12)의 아래쪽에 배치될 수 있다. 각각의 이오나이저(14a, 14b)에 이온 노즐(141)의 분무 방향을 제한하는 볼록 렌즈 또는 반구형의 유도 스크린(142)이 형성될 수 있다. 유도 스크린(142)에 의하여 이온 노즐(141)에 의하여 분무되는 이온 기류가 정해진 방향으로 유도되도록 한다. 1 이오나이저(14a)는 기판의 위쪽 방향을 향하는 이온 기류를 발생시킬 수 있고, 2 이오나이저(14b)는 기판과 수평 방향이 되는 이온 기류를 발생시킬 수 있다. 분리 기판(16)은 2 이오나이저(14b)의 끝 부분을 넘어 연장되는 구조로 만들어질 수 있고, 대전 특성을 가지지 않은 소재로 만들어질 수 있다. 예를 들어 분리 기판(16)은 2 이오나이저(14b)의 위쪽 평면으로부터 에어나이프 모듈(12)의 분무 갭의 앞쪽에 이르는 평면 형상이 될 수 있고, 비정질 소재로 만들어질 수 있지만 이에 제한되지 않는다. 이와 같은 분리 기판(16)에 의하여 이온 기류가 안정적으로 세정 수단(112)에 도달하여 기류와 혼합될 수 있다. 한 쌍의 이오나이저(14a, 14b)는 정전기의 발생을 방지하는 기능을 가질 수 있고, 다양한 방향의 이온 기류를 발생시킬 수 있다. 본 발명에 따른 에어나이프 모듈(12)은 다양한 구조로 이오나이저(14a, 14b)의 작동과 연관되어 브러시를 청결한 상태로 유지하면서 이오나이저(14a, 14b)와 함께 대전을 방지하는 기능을 가질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. A pair of ionizers 14a, 14b may be disposed behind or in front of the brush module 11, for example one ionizer 14a is disposed outside of one wall 131, and two ionizers. 14b may be disposed below the air knife module 12. Each ionizer 14a, 14b may be formed with a convex lens or hemispherical induction screen 142 that limits the spraying direction of the ion nozzle 141. The induction screen 142 causes the ion airflow sprayed by the ion nozzle 141 to be directed in a predetermined direction. The 1 ionizer 14a can generate the ion airflow toward the upper direction of the substrate, and the 2 ionizer 14b can generate the ion airflow in the horizontal direction with the substrate. The separation substrate 16 may be made of a structure that extends beyond the end of the two ionizers 14b, and may be made of a material having no charging property. For example, the separation substrate 16 may have a planar shape from the top plane of the two ionizers 14b to the front of the spray gap of the air knife module 12, and may be made of an amorphous material, but is not limited thereto. . By such a separation substrate 16, the ion airflow can stably reach the cleaning means 112 and be mixed with the airflow. The pair of ionizers 14a and 14b may have a function of preventing generation of static electricity and may generate ion airflow in various directions. The air knife module 12 according to the present invention may have a function of preventing charge along with the ionizers 14a and 14b while maintaining the brush in a clean state in association with the operation of the ionizers 14a and 14b in various structures. And are not limited to the embodiments shown.

도 2는 본 발명에 따른 세정 장치의 실시 예를 도시한 것이다. 2 shows an embodiment of a cleaning apparatus according to the present invention.

도 2를 참조하면, 기판은 이동 방향을 따라 이동될 수 있고, 1 이오나이저(14a)에 의하여 기판 표면의 정전하가 제거될 수 있다. 기판의 위쪽 표면은 브래킷(114)에 회전축(111)의 한쪽 끝이 결합되고, 모터와 같은 구동 수단(21)에 의하여 구동되는 브러시 모듈(11)의 회전에 의하여 세정될 수 있고, 브러시 모듈(11)은 시계 방향(BR)으로 회전될 수 있다. 브러시 모듈(11)에 의한 세정 과정에서 발생된 이물질은 에어나이프 모듈(12)에 의한 공기와 같은 분무 기류에 의하여 후드 모듈로 유도될 수 있다. 그리고 프레임(F)의 위쪽에 배치된 포집 공간(15)으로 유도될 수 있다. 포집 공간(15)의 위쪽에 실린더 형상의 흡입 소켓(22)이 설치될 수 있고, 이물질을 포함하는 포집 공간(15)의 내부로 유도된 기류는 흡입 소켓(22)을 통하여 외부로 배출될 수 있다. 흡입 소켓(22)을 통한 기류의 유도는 모터와 같은 구동 유닛에 의하여 작동되는 배출 팬에 의하여 이루어질 수 있다. 세정이 완료된 기판은 프레임의 외부로 배출될 수 있다. Referring to FIG. 2, the substrate may be moved along the moving direction, and the static charge on the surface of the substrate may be removed by the one ionizer 14a. The upper surface of the substrate is coupled to one end of the rotating shaft 111 to the bracket 114, it can be cleaned by the rotation of the brush module 11 driven by a drive means 21, such as a motor, 11 may be rotated in the clockwise direction BR. The foreign matter generated during the cleaning process by the brush module 11 may be induced into the hood module by spray airflow such as air by the air knife module 12. And it can be guided to the collection space 15 disposed above the frame (F). A cylindrical suction socket 22 may be installed above the collection space 15, and airflow guided into the collection space 15 including foreign matter may be discharged to the outside through the suction socket 22. have. The induction of airflow through the intake socket 22 may be by means of an exhaust fan operated by a drive unit such as a motor. The cleaned substrate may be discharged to the outside of the frame.

본 발명에 따른 세정 장치는 다양한 방법으로 작동될 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The cleaning apparatus according to the present invention can be operated in various ways and is not limited to the embodiments shown.

도 3은 본 발명에 따른 세정 장치에 적용되는 에어나이프 모듈의 실시 예를 도시한 것이다. Figure 3 shows an embodiment of an air knife module applied to the cleaning device according to the present invention.

도 3을 참조하면, 에어나이프 모듈(12)은 나이프 몸체(31); 나이프 몸체(31)의 한쪽 면과 마주보는 면을 가지는 나이프 덮개(32); 및 나이프 몸체(31)와 나이프 덮개(32) 사이에 형성되는 분무 갭(G)의 간격을 조절하는 갭 슬릿(33)으로 이루어진다. Referring to FIG. 3, the air knife module 12 includes a knife body 31; A knife cover 32 having a surface facing one side of the knife body 31; And a gap slit 33 for adjusting the spacing of the spraying gap G formed between the knife body 31 and the knife cover 32.

에어나이프 모듈(12)은 전체적으로 하모니카 또는 이와 유사한 형상을 가질 수 있고, 나이프 몸체(31)와 나이프 덮개(32)에 의하여 형성되는 분무 갭(G)을 통하여 공기와 같은 분무 기류가 형성될 수 있다. 나이프 몸체(31)는 평면 형상의 1 몸체 면(311) 및 1 몸체 면(311)의 끝 부분으로부터 경사진 형상으로 연장되는 2 몸체 면(312) 및 2 몸체(312)의 끝 부분으로부터 1 몸체(311)에 비하여 수직이 되는 방향으로 연장되는 팁 면(313)으로 이루어질 수 있다. 입구(315)를 통하여 유입된 압축 공기와 같은 유체는 유도 공간(314)의 내부로 유도된 이후 균일 경로(314a)를 경유하여 균일한 상태로 만들어져 분무 갭(G)을 통하여 분무될 수 있다. 나이프 덮개(32)는 1 몸체 면(311)과 평행하게 연장되는 덮개 면(321) 및 덮개 면(321)의 끝 부분으로부터 경사지도록 연장되는 경사 덮개 면(322)으로 이루어질 수 있다. 나이프 몸체(31)와 나이프 덮개(32)의 안쪽 면이 서로 마주보도록 결합되어 분무 갭(G)이 형성될 수 있고, 나이프 덮개(32)의 끝 부분은 나이프 몸체(31)의 끝 부분의 외부로 돌출될 수 있고, 돌출되는 수준은 팁 면(313)의 높이와 동일하거나 클 수 있고, 이에 의하여 위에서 설명된 유도 경로를 통하여 기류가 안정적으로 아래쪽으로 유도되도록 한다. The air knife module 12 may have a harmonica or similar shape as a whole, and a spray air stream such as air may be formed through the spray gap G formed by the knife body 31 and the knife cover 32. . The knife body 31 is one body from the end of the two body face 312 and the second body 312 extending in an inclined shape from the end of the one body face 311 and one body face 311 of the planar shape It may be made of a tip surface 313 extending in a direction perpendicular to the 311. Fluid such as compressed air introduced through the inlet 315 may be introduced into the induction space 314 and then made uniform through the uniform path 314a and sprayed through the spray gap G. The knife cover 32 may be composed of a cover face 321 extending in parallel with one body face 311 and an inclined cover face 322 extending inclined from an end of the cover face 321. The inner surface of the knife body 31 and the knife cover 32 may be coupled to face each other to form a spray gap (G), the end of the knife cover 32 is the outside of the end of the knife body 31 Can be protruded, and the level of protruding can be equal to or greater than the height of the tip face 313, thereby allowing the airflow to be stably guided downward through the guidance path described above.

분무 갭(G)은 나이프 몸체(31)와 나이프 덮개(32)가 결합되는 과정에서 형성될 수 있고, 필요에 따라 갭 슬릿(33)에 의하여 조절될 수 있다. 갭 슬릿(33)은 일정한 두께를 가지는 신축성 소재로 만들어질 수 있고, 양쪽 끝에 형성된 커넥터(331a, 331b)에 의하여 나이프 몸체(31)와 나이프 덮개(32) 사이에 배치될 수 있다. 갭 슬릿(33)은 입구(315)를 통하여 유입되는 압축 공기의 압력에 따라 두께가 조절될 수 있고, 이에 의하여 압축 공기의 압력 변화 또는 유도 공간(314)의 내부 압력에 관계없이 일정한 양의 유체가 분무 갭(G)을 통하여 분무되도록 한다. Spray gap G may be formed in the process of the knife body 31 and the knife cover 32 is coupled, it can be adjusted by the gap slit 33 as necessary. The gap slit 33 may be made of an elastic material having a constant thickness, and may be disposed between the knife body 31 and the knife cover 32 by the connectors 331a and 331b formed at both ends. The gap slit 33 may be adjusted in thickness according to the pressure of the compressed air introduced through the inlet 315, thereby allowing a constant amount of fluid regardless of the pressure change of the compressed air or the internal pressure of the induction space 314. To be sprayed through the spray gap (G).

에어나이프 모듈(12)은 다양한 구조로 만들어질 수 있고 제시된 실시 예에 제한되지 않는다. The air knife module 12 may be made in various structures and is not limited to the embodiments shown.

본 발명에 따른 세정 장치는 에어나이프 모듈에서 분무되는 압축 공기에 의하여 브러시에 의한 이물질의 제거가 효과적으로 이루어지도록 한다. 또한 에어나이프 모듈로부터 적절한 방향으로 압축 공기를 브러시로 분무하는 것에 의하여 브러시가 청결한 상태로 유지되어 세정 효과가 상승되도록 한다. 또한 이오나이저와 에어나이프모듈이 서로 관련성을 가지도록 배치되는 것에 의하여 세정 과정에서 브러시에 의한 기판 표면의 손상이 방지되도록 한다. 또한 에어나이프 모듈이 브러시를 청결한 상태로 유지되면서 이오나이저와 함께 작동되어 대전이 방지되도록 한다. 본 발명에 따른 세정 장치는 에어나이프 모듈에 의하여 기판의 표면과 브러시 사이에 기류가 형성되면서 제전 모가 균일하게 분포되도록 하여 기판 전체에 걸쳐 이물질의 제거가 가능하도록 한다. 이로 인하여 장시간의 사용에 따른 브러시 표면에 부착된 이물질이 2차 오염원이 되는 것을 방지하여 균일한 세정 품질이 유지될 수 있도록 한다. 본 발명에 따른 세정 장치는 다양한 크기를 가지는 미세 입자가 세정이 가능하고, 예를 들어 1 내지 20 ㎛의 직경을 가지는 이물질의 제거가 가능하도록 하면서 초음파 진동자가 적용될 수 없는 낮은 강도를 가진 필름 표면의 이물질 제거를 위하여 사용될 수 있다. The cleaning apparatus according to the present invention is to effectively remove the foreign matter by the brush by the compressed air sprayed from the air knife module. In addition, by spraying the compressed air with the brush from the air knife module in an appropriate direction, the brush is kept clean so that the cleaning effect is increased. In addition, since the ionizer and the air knife module are disposed to be related to each other, damage to the substrate surface by the brush is prevented during the cleaning process. In addition, the air knife module works with the ionizer while keeping the brush clean, to prevent charging. In the cleaning apparatus according to the present invention, an air knife is formed between the surface of the substrate and the brush by the air knife module so that the static electricity is uniformly distributed so that foreign matters can be removed throughout the substrate. This prevents foreign matter adhering to the brush surface due to prolonged use to prevent secondary contamination, so that uniform cleaning quality can be maintained. The cleaning apparatus according to the present invention allows the fine particles having various sizes to be cleaned, and for example, to remove foreign substances having a diameter of 1 to 20 μm, and to prevent the ultrasonic vibrator from being applied. Can be used to remove debris.

위에서 본 발명의 제시된 실시 예를 참조하여 상세하게 설명이 되었지만 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 제시된 실시 예를 참조하여 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변형 및 수정 발명을 만들 수 있을 것이다. 본 발명은 이와 같은 변형 및 수정 발명에 의하여 제한되지 않으며 다만 아래에 첨부된 청구범위에 의하여 제한된다. Although described in detail above with reference to the present embodiments of the present invention, those skilled in the art will be able to make various modifications and modifications to the invention without departing from the spirit of the present invention with reference to the embodiments presented. . The invention is not limited by the invention as such variations and modifications but only by the claims appended below.

11: 브러시 모듈 12: 에어나이프 모듈
13: 후드 모듈 14a, 14b: 1, 2 이오나이저
15: 포집 공간 16: 분리 기판
21: 구동 수단 22: 흡입 소켓
31: 나이프 몸체 32: 나이프 덮개
33: 갭 슬릿 111: 회전축
112: 세정 수단 114: 브래킷
131, 132: 1, 2 벽면 133: 유도 경로
141: 이온 노즐 142: 유도 스크린
311, 312: 1, 2 몸체 면 313: 팁 면
314: 유도 공간 314a: 균일 경로
315: 입구 321: 덮개 면
322: 경사 덮개 면 331a, 331b: 커넥터
BR: 시계 방향 CL: 접촉 라인
F: 프레임 G: 분무 갭
MD: 이동 방향 SD: 분무 방향11: brush module 12: air knife module
13: hood module 14a, 14b: 1, 2 ionizer
15: capture space 16: separation board
21: drive means 22: suction socket
31: knife body 32: knife cover
33: gap slit 111: axis of rotation
112: cleaning means 114: bracket
131, 132: 1, 2 Wall 133: Induction path
141: ion nozzle 142: induction screen
311, 312: 1, 2 body face 313: tip face
314: induced space 314a: uniform path
315: entrance 321: cover side
322: slope cover side 331a, 331b: connector
BR: Clockwise CL: Contact Line
F: Frame G: Spray Gap
MD: direction of movement SD: direction of spray

Claims (4)

기판의 표면의 접촉되는 브러시 모듈(11);
브러시 모듈(11)의 한쪽 측면으로 공기를 분무하는 에어나이프 모듈(12);
세정 과정에서 발생되는 이물질을 유도하여 포집하는 후드 모듈(13);
서로 마주보는 위치에서 서로 다른 방향을 향하도록 배치된 한 쌍의 이오나이저(14a, 14b); 및
후드 모듈(13)에서 포집된 이물질의 배출을 위한 포집 공간(15)을 포함하고,
에어나이프 모듈(12)과 하나의 이오나이저(14b)를 분리시키는 분리 기판(16)을 더 포함하고, 하나의 이오나이저(14b)의 위쪽에 배치되고 하나의 이오나이저(14b)의 끝부분을 넘어 연장되는 분리 기판(16)의 끝부분은 에어나이프 모듈(12)의 분무 갭의 뒤쪽에 위치하고 분무 갭은 브러시 모듈(11)의 중심과 동일 높이에 위치하며, 에어나이프 모듈(12)의 분무 방향은 브러시 모듈(11)의 접선 방향이 되는 것을 특징으로 하는 접촉식 브러시 구조의 세정 장치. A brush module 11 in contact with the surface of the substrate;
An air knife module 12 for spraying air to one side of the brush module 11;
A hood module 13 for inducing and collecting foreign substances generated during the cleaning process;
A pair of ionizers 14a and 14b disposed to face different directions at positions facing each other; And
A collection space 15 for discharging foreign matter collected from the hood module 13,
It further comprises a separating substrate 16 which separates the air knife module 12 and one ionizer 14b, and is disposed above the one ionizer 14b and ends one end of the ionizer 14b. The end of the separation substrate 16 extending beyond is located behind the spray gap of the air knife module 12 and the spray gap is located at the same height as the center of the brush module 11, and the spray of the air knife module 12 is sprayed. Direction is a tangential direction of the brush module (11). 삭제delete 삭제delete 청구항 1에 있어서, 에어나이프 모듈(12)은 나이프 몸체(31); 나이프 몸체(31)의 한쪽 면과 마주보는 면을 가지는 나이프 덮개(32); 및 나이프 몸체(31)와 나이프 덮개(32) 사이에 형성되는 분무 갭(G)의 간격을 조절하는 갭 슬릿(33)으로 이루어지는 접촉식 브러시 구조의 세정 장치. The air knife module (12) of claim 1, further comprising: a knife body (31); A knife cover 32 having a surface facing one side of the knife body 31; And a gap slit (33) for adjusting the spacing of the spray gap (G) formed between the knife body (31) and the knife cover (32).
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