KR102078546B1 - 플렉서블 전자 장치 및 이를 위한 제조 방법 - Google Patents

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쿤 후
리 린
스싱 카이
성팡 리우
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쿤산 뉴 플랫 패널 디스플레이 테크놀로지 센터 씨오., 엘티디.
쿤산 고-비젼녹스 옵토-일렉트로닉스 씨오., 엘티디.
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Abstract

플렉서블 전자 장치와 이를 제조하는 방법이 제공된다. 상기 플렉서블 전자 장치(200)는 플렉서블 기판(210) 및 상기 플렉서블 기판(210) 상에 형성되는 소자층을 구비한다. 상기 소자층은 반도체 구조(220)와 상기 반도체 구조에 연결되는 제 1 배선 구조(230)를 구비하고, 상기 제 1 배선 구조(230)는 상기 반도체 구조(220)의 채널 방향과 동일한 연장 방향을 가진다. 상기 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향은 상기 플렉서블 기판(210)의 신장(stretching) 방향과 90° 보다 작은 끼인각(included angle)을 형성한다. 본 발명의 상기 플렉서블 전자 장치(210)와 이를 제조하는 방법에 있어서, 상기 반도체 구조(220)의 채널 방향과 상기 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향을 조정하여, 상기 반도체 구조(220)와 제 1 배선 구조(230)가 응력에 대해 최소한의 영향만 받음으로써, 플렉서블 전자 장치(200)의 전기적 특성과 유연성을 보장한다.

Description

플렉서블 전자 장치 및 이를 위한 제조 방법
본 발명은 플렉서블 전자 공학 분야에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 플렉서블 전자 장치 및 이를 위한 제조 방법에 관한 것이다.
플렉서블 전자 공학은 플렉서블 기판을 바탕으로 한 전자 기술이다. 이 기술은, 고유의 유연성과 확장성으로 인해 정보, 에너지, 의료 및 국방과 같은 분야에서 널리 이용될 것으로 전망된다. 플렉서블 전자 기술을 이용하여 제조된 플렉서블 전자 장치는 가볍고 얇으며, 어떠한 형태로든 구부리거나 구길 수 있고, 예를 들면, 플렉서블 인쇄 회로 기판, 플렉서블 칩 및 플렉서블 디스플레이를 포함한다.
일반적으로 종래의 플렉서블 전자 장치는 플렉서블 기판과 상기 플렉서블 기판상에 제조되는 소자층을 포함한다. 상기 소자층은 반도체 구조와 배선 구조를 포함한다. 상기 반도체 구조는 스위치로서 기능하고, 상기 배선 구조는 다른 장치에 전기적 연결을 하기 위해 사용된다. 상기 반도체 구조에 정합되도록, 상기 배선 구조의 일부는 상기 반도체 구조의 채널 방향에 평행한 방향으로 연장된다.
종래 기술에 따른 플렉서블 전자 장치의 구조를 개략적으로 도시하는 도 1을 참조한다. 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 플렉서블 전자 장치(100)는 플렉서블 기판(110)과 상기 플렉서블 기판상에 형성된 소자층을 포함한다. 상기 소자층은 반도체 구조(120)와 상기 반도체 구조(120)에 정합되는 배선 구조(130)를 포함한다. 여기서, 상기 배선 구조(130)의 연장 방향은 상기 반도체 구조(120)의 (양방향 점선 화살표에 의해 지시되는)채널 방향에 평행하다.
상기 플렉서블 전자 장치(100)를 구부리면, 플렉서블 기판(110)과 소자층 둘 다 응력의 영향을 받는다. 종래 기술에 따른, 응력을 받는 플렉서블 전자 장치의 구조를 개략적으로 도시하는 도 2를 참조한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 플렉서블 전자 장치(100)에 작용하는 응력의 방향이 반도체 구조(120)의 채널 방향과 평행이면, 상기 반도체 구조(120)는 상기 채널 방향을 따라 인장력을 받고, 인장 방향에 대해 수직인 방향으로 수축력을 받는다. 반도체 구조(120)는 상기 두 가지 힘의 영향으로 인해 변형되고, 결과적으로 반도체 구조(120)에 흐르는 전류의 변화를 초래한다. 또한, 배선 구조(130)의 연장 방향이 응력 방향과 동일하기 때문에, 배선 구조(130)는 인장된 후 점차 얇아지고 길어져, 쉽게 부서진다.
상기로부터, 종래 플렉서블 전자 장치(10)의 반도체 구조(120)와 배선 구조(130)는 응력의 영향으로 인해 구조적으로 변화될 수 있고, 따라서 소자층(100)의 전기적 특성과 유연성이 저하될 수 있음을 알 수 있다.
본 발명의 목적은, 종래의 플렉서블 전자 장치의 전기적 특성과 유연성이 응력의 영향으로 인해 감소되는 문제를 해결하기 위한, 플렉서블 전자 장치와 이를 위한 제조 방법을 제공할 수 있다.
본 발명은 플렉서블 전자 장치를 제공하고, 상기 플렉서블 전자장치는 플렉서블 기판 및 상기 플렉서블 기판상에 형성되는 소자층을 구비한다.
상기 소자층은 반도체 구조와 상기 반도체 구조에 연결되는 제 1 배선 구조를 구비하고, 상기 제 1 배선 구조는 상기 반도체 구조의 채널 방향과 동일한 연장 방향을 가진다.
상기 제 1 배선 구조의 연장 방향은 상기 플렉서블 기판의 신장(stretching) 방향과 90° 보다 작은 끼인각(included angle)을 형성한다.
선택적으로, 상기 플렉서블 전자장치에서, 상기 제 1 배선 구조의 연장 방향과 상기 플렉서블 기판의 신장 방향 사이의 끼인각은 40° 내지 70°의 범위에 있다.
선택적으로, 상기 플렉서블 전자장치에서, 상기 소자층은 상기 플렉서블 기판의 에지 상에 제공되는 제 2 배선 구조를 더 구비하고, 상기 제 2 배선 구조는 상기 플렉서블 기판의 에지선에 평행한 연장 방향을 가진다.
선택적으로, 상기 플렉서블 전자장치에서, 상기 제 2 배선 구조는 복수 개의 관통공을 정의하고, 상기 관통공은, 상기 플렉서블 기판의 신장 방향과 동일한 방향을 따라 연장되는 대각선을 가지는 평행 사변형 형태로 형성된다.
선택적으로, 상기 플렉서블 전자장치에서, 상기 플렉서블 전자 장치는 복수 개의 픽셀 유닛을 가지는 플렉서블 평판 디스플레이 장치이고, 상기 픽셀 유닛의 경계선은 상기 플렉서블 기판의 신장 방향과 동일한 방향을 따라 연장되는 대각선을 가지는 평행 사변형 형태로 형성된다.
선택적으로, 상기 플렉서블 전자장치에서, 상기 평행 사변형의 변 에지와 상기 평행 사변형의 대각선 사이의 끼인각은 40° 내지 70°의 범위에 있다.
선택적으로, 상기 플렉서블 전자장치에서, 상기 플렉서블 전자 장치는 플렉서블 액정 디스플레이다.
선택적으로, 상기 플렉서블 전자장치에서, 상기 플렉서블 전자 장치는 플렉서블 유기 발광 디스플레이이다.
따라서 본 발명은 또한 플렉서블 전자장치를 제조하는 방법을 제공한다. 상기 플렉서블 전자 장치를 제조하는 방법에 있어서,
플렉서블 기판을 제공하는 단계; 및
상기 플렉서블 기판상에 반도체 구조와 제 1 배선 구조를 각각 형성하는 단계를 구비하되,
상기 반도체 구조는 상기 제 1 배선 구조의 연장 방향과 동일한 채널 방향을 가지며, 상기 반도체 구조의 채널 방향은 상기 플렉서블 기판의 신장(stretching) 방향과 90° 보다 작은 끼인각(included angle)을 형성한다.
따라서 본 발명은 또한 플렉서블 전자장치를 제조하는 방법을 제공한다. 상기 플렉서블 전자 장치를 제조하는 방법에 있어서,
플렉서블 기판을 제공하는 단계; 및
상기 플렉서블 기판상에 복수 개의 픽셀 유닛, 제 1 배선 구조 및 제 2 배선 구조를 각각 형성하는 단계를 구비하되,
상기 픽셀 유닛은 반도체 구조를 가지고, 상기 반도체 구조는 상기 제 1 배선 구조의 연장 방향과 동일한 채널 방향을 가지고, 상기 반도체 구조의 채널 방향은 상기 플렉서블 기판의 신장(stretching) 방향에 대해 90° 보다 작은 끼인각(included angle)을 형성한다.
상기 제 2 배선 구조는 상기 플렉서블 기판의 에지 상에 제공되고, 상기 제 2 배선 구조는 상기 플렉서블 기판의 에지선에 평행한 연장 방향을 가진다. 상기 제 2 배선 구조는 복수 개의 관통공을 정의하고, 상기 관통공은, 상기 플렉서블 기판의 신장 방향과 동일한 방향을 따라 연장되는 대각선을 가진 평행 사변형 형태로 형성된다.
본 발명의 실시예들에 따른 플렉서블 전자 장치와 이를 제조하는 방법에 있어서, 반도체 구조의 채널 방향과 제 1 배선 구조의 연장 방향을 조정하여, 상기 반도체 구조와 제 1 배선 구조가 응력에 대해 최소한의 영향만 받음으로써, 플렉서블 전자 장치의 전기적 특성과 유연성을 보장한다.
도 1은 종래 기술에 따른 플렉서블 전자 장치의 구조를 도시하는 개략도이다.
도 2는 상기 종래 기술에 따른, 응력을 받는 플렉서블 전자 장치의 구조를 도시하는 개략도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 플렉서블 전자 장치의 구조를 도시하는 개략도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른, 응력을 받는 상기 플렉서블 전자 장치의 구조를 도시하는 개략도이다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 플렉서블 전자 장치의 구조를 도시하는 개략도이다.
도 6은 본 발명의 제 2 실시예에 따른 제 2 배선 구조의 구조를 도시하는 개략도이다.
첨부된 도면과 소정 실시예들을 참조하여, 본 발명에 따른 플렉서블 전자 장치 및 이를 위한 제조 방법을 상세히 설명한다. 본 발명의 장점과 특징은 하기의 상세한 설명과 청구범위로부터 보다 명확해질 것이다. 단지 본 발명에 대한 설명의 편의와 명확성을 위해, 모든 첨부 도면은 정확한 비례가 아닌 매우 단순화한 형태로 제공되었음을 유의해야 한다.
실시예 1
본 발명의 일 실시예에 따른 플렉서블 전자 장치의 구조를 개략적으로 도시하는 도 3을 참조한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 플렉서블 전자 장치(200)는 플렉서블 기판(210)과 상기 플렉서블 기판(200) 상에 형성된 소자층을 구비한다. 상기 소자층은 상호 연결된 반도체 구조(220)와 제 1 배선 구조(230)를 포함하고, 상기 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향은 상기 반도체 구조(220)의 채널 방향과 동일하다. 상기 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향은 상기 플렉서블 기판(210)의 신장(stretching) 방향과 90° 보다 작은 끼인각(included angle)을 형성한다. 본 발명의 일 실시예에 따른 반도체 구조는 박막 트랜지스터 구조이며, 구체적으로, 게이트, 드레인(도면에 미도시) 및 채널을 포함한다.
구체적으로, 상기 플렉서블 전자 장치(200)에서, 상기 소자층은 상호 연결된 반도체 구조(220)와 제 1 배선 구조(230)를 구비한다. 상기 반도체 구조(220)는 스위치로서 기능한다. 상기 제 1 배선 구조(230)는 상기 반도체 구조(220)에 정합되고, 다른 장치와 전기적 연결을 위해 사용된다. 도 3에 도시된 바와 같이, 반도체 구조(220)의 (양방향 점선 화살표에 의해 지시되는)채널 방향은 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향에 평행하다.
또한, 상기 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향은 상기 플렉서블 기판(210)의 에지선(L)의 연장 방향에 평행하거나 수직하지 않는다. 즉, 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향은 플렉서블 기판(210)의 (에지선(L)의 연장 방향과 동일한) 신장 방향에 대해 90° 보다 작은 끼인각을 형성한다.
바람직하게는, 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향과 플렉서블 기판(210)의 신장 방향 사이의 끼인각은 40° 내지 70°의 범위에 있다. 예를 들면, 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향과 플렉서블 기판(210)의 신장 방향은 45°, 50°, 55°, 60° 또는 65°의 끼인각을 형성한다.
본 발명의 일 실시예에 따른, 응력을 받는 플렉서블 전자 장치의 구조를 개략적으로 도시하는 도 4를 참조한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 플렉서블 전자 장치(200)가 힘을 받아 구부러지면, 반도체 구조(220)의 (양방향 점선 화살표에 의해 지시되는)채널 방향과 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향은 플렉서블 기판(210)에 가해지는 힘의 (빈 화살표에 의해 지시되는)방향과 일치하지 않는다. 즉, 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향과 플렉서블 기판(210)에 작용하는 힘의 방향 사이에 끼인각이 존재한다. 따라서, 도 3과 도 4를 비교하면, 반도체 구조(220)와 제 1 배선 구조(230)는 (도 3에 도시된, 응력이 없는 원래의 위치(l1)에서 응력이 있는 위치(l2)로)
Figure 112018059340554-pct00001
(세타) 각도만큼 회전하지만 변형되지 않음을 알 수 있다. 변형되지 않는다는 말은, 이 경우 반도체 구조(220)와 제 1 배선 구조(230)는 최소의 응력을 받음으로써, 플렉서블 전자 장치(200)의 전기적 특성과 유연성이 최적의 상태로 남아있음을 의미한다.
종래의 플렉서블 전자 장치(100)에서, 반도체 구조의 채널 방향과 배선 구조의 연장 방향 둘 다 플렉서블 기판에 작용하는 힘의 방향과 동일하다(즉, 0°의 각도가 형성된다). 반대로, 본 실시예에서는, 반도체 구조(220)의 채널 방향과 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향이 플렉서블 기판(210)에 작용하는 힘의 방향과 일치하지 않아, 끼인각이 형성된다.
동일한 응력을 이용하여, 종래의 플렉서블 전자 장치(100)와 본 실시예에 따른 플렉서블 전자 장치(200)에 인장 실험을 실시한다. 상기 실험은, 종래의 플렉서블 전자 장치(100)에 비해, 본 실시예에 따른 플렉서블 전자 장치(200)는 더 작은 최대 응력을 받고, 상기 최대 응력이 매우 작은 영역에 걸쳐 분포함을 보여준다.
인지하는 바와 같이, 본 실시예에 따른 플렉서블 전자 장치(200)의 반도체 구조(220)와 제 1 배선 구조(230)는 상대적으로 작은 응력을 받게 되고, 따라서 이 응력은 플렉서블 전자 장치(200)의 전기적 특성과 유연성에 실직적으로 영향을 끼치지 못한다. 따라서, 종래의 플렉서블 전자 장치(100)에 비해, 상기 플렉서블 전자 장치(200)는 보다 양호한 전기적 특성과 유연성을 가진다.
따라서, 본 실시예는 또한 플렉서블 전자 장치를 제조하는 방법을 제공한다. 계속 도 3을 참조하면, 상기 플렉서블 전자 장치를 제조하는 방법은:
단계 1: 플렉서블 기판(210)을 제공하는 단계; 및
단계 2: 그래픽 공정에 의해 상기 플렉서블 기판(210) 상에 반도체 구조(220)와 제 1 배선 구조(230)를 각각 형성하는 단계를 구비하되, 상기 반도체 구조(220)의 채널 방향은 상기 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향과 동일하고, 상기 플렉서블 기판(210)의 신장 방향(즉, 에지선(L)의 연장 방향)에 대해 90° 보다 작은 끼인각을 형성한다.
구체적으로, 먼저 상기 플렉서블 기판(210)을 제공하며, 이는 대개 투명 플라스틱 기판이다.
다음으로, 상기 반도체 구조(220)와 제 1 배선 구조(230)를 상기 플렉서블 기판(210) 상에 각각 형성한다. 상기 반도체 구조(220)와 제 1 배선 구조(230) 둘 다 패터닝 공정을 이용하여 형성된다. 상기 패터닝 공정을 이용하여 제조되는 반도체 박막 패턴의 긴 변 방향(즉, 채널 방향)은 배선 박막 패턴의 연장 방향과 평행하고, 상기 플렉서블 기판(210)의 (도 4에서 빈 화살표들에 의해 지시되는)신장 방향에 대해 60°의 끼인각을 형성한다.
이러한 방식으로, 상기 플렉서블 전자 장치(200)가 형성된다. 플렉서블 전자 장치(200)의 소자층은 상기 반도체 구조(220)와 상기 제 1 배선 구조(230)를 포함한다. 상기 반도체 구조(220)의 채널 방향은 상기 제 1 배선 구조(230)의 연장 방향과 동일하고, 상기 플렉서블 기판(210)의 신장 방향에 대해 90° 보다 작은 끼인각을 형성한다.
실시예 2
본 발명의 제 2 실시예에 따른 플렉서블 전자 장치의 구조를 개략적으로 도시하는 도 5를 참조한다. 도 5에 도시된 바와 같이, 플렉서블 전자 장치(300)는 플렉서블 기판(310)과 상기 플렉서블 기판(310) 상에 형성된 소자층(330)을 구비한다. 상기 소자층(330)은 상호 연결된 반도체 구조들(도면에 미도시))과 제 1 배선 구조들(도면에 미도시)을 포함하고, 상기 제 1 배선 구조들의 연장 방향은 상기 반도체 구조들의 채널 방향과 동일하다. 상기 제 1 배선 구조들의 연장 방향은 상기 플렉서블 기판(310)의 신장 방향과 90° 보다 작은 끼인각을 형성한다.
구체적으로, 상기 플렉서블 전자 장치(300)에서, 상기 소자층(330)은 복수 개의 픽셀 유닛(30)과 제 1 배선 구조들을 구비한다. 상기 복수 개의 픽셀 유닛(30)은 어레이 형태로 배열되고, 각 픽셀 유닛(30)은 스위치로서 기능하는 반도체 구조(도면에 미도시)를 가진다. 상기 제 1 배선 구조들은 상기 반도체 구조들에 정합되고, 다른 장치와 전기적 연결을 위해 사용된다. 상기 제 1 배선 구조들의 연장 방향은 상기 반도체 구조들의 채널 방향과 동일하다.
상기 제 1 배선 구조들의 연장 방향은 상기 플렉서블 기판(310)의 에지선(L)에 평행하거나 수직하지 않는다. 즉, 제 1 배선 구조들의 연장 방향은 플렉서블 기판(310)의 신장 방향과 평행하거나 수직하지 않고, 이들 사이에는 90° 보다 작은 끼인각이 형성된다. 따라서, 플렉서블 기판(310)이 인장되면, 제 1 배선 구조와 반도체 구조는 상대적으로 작은 응력을 받는다. 상기 제 1 배선 구조와 반도체 구조는 단지 소정 각도로 회전하지만 변형되지 않는다.
본 실시예에서, 픽셀 유닛(30)의 경계선의 패턴은 평행 사변형이고, 상기 평행 사변형의 일 대각선은 플렉서블 기판(310)의 (양방향 점선 화살표에 의해 지시되는)신장 방향을 따라 연장된다.
바람직하게, 평행 사변형의 변 에지와 상기 평행 사변형의 대각선 사이의 끼인각은 40° 내지 70°의 범위에 있다. 본 실시예에서, 평행 사변형의 변 에지와 상기 평행 사변형의 대각선 사이의 끼인각은 60°이다.
상기 소자층(330)은 제 2 배선 구조들(도면에 미도시)을 더 구비하고, 상기 제 2 배선 구조들은 플렉서블 기판(310)의 에지 상에 구비되며 상기 제 2 배선 구조들의 연장 방향은 플렉서블 기판(310)의 에지선에 평행하다.
또한 도 5 및 도 6을 참조하면, 상기 제 2 배선 구조들은 복수 개의 관통공(40)을 정의하고, 상기 관통공들(40)은 제 2 배선 구조들의 연장 방향을 따라 균등하게 배열된다. 각 관통공(40)은 평행 사변형 형태일 수 있고, 상기 평행 사변형의 일 대각선은 플렉서블 기판(310)의 (양방향 점선 화살표에 의해 지시되는)신장 방향과 동일한 방향으로 연장된다.
제 2 배선 구조들의 연장 방향은 플렉서블 기판(310)의 신장 방향에 평행하거나 수직이어야 한다. 따라서, 평행 사변형 형태의 관통공들은 제 2 배선 구조들의 연장 방향으로 배열되고, 따라서 외부에서 작용하는 힘이 상기 배선들에 집중되는 것을 방지하고 상기 제 2 배선 구조들의 유연성을 개선한다.
바람직하게는, 상기 평행 사변형의 변 에지와 상기 평행 사변형의 대각선 사이의 끼인각은 40° 내지 70°의 범위에 있다. 본 실시예에서, 평행 사변형의 변 에지와 상기 평행 사변형의 대각선 사이의 끼인각은 60°이다.
본 실시예에서, 상기 플렉서블 전자 장치(300)는 플렉서블 평판 디스플레이 장치이다. 당업자라면 본 발명이 플렉서블 평판 디스플레이 장치의 유형을 한정하지 않음을 인식할 것이며, 상기 플렉서블 평판 디스플레이 장치는 플렉서블 LCD, 플렉서블 OLED, 또는 다른 유형의 플렉서블 평판 디스플레이 장치일 수 있다.
따라서, 본 실시예는 또한 플렉서블 전자 장치를 제조하는 방법을 제공한다. 계속 도 3을 참조하면, 상기 플렉서블 전자 장치를 제조하는 방법은:
단계 1: 플렉서블 기판(310)을 제공하는 단계; 및
단계 2: 상기 플렉서블 기판(310) 상에 복수 개의 픽셀 유닛(30)과 제 1 배선 구조들을 각각 형성하는 단계를 구비하되, 각 픽셀 유닛(30)은 반도체 구조를 가지고, 상기 반도체 구조의 채널 방향은 상기 제 1 배선 구조들의 연장 방향과 동일하며, 상기 플렉서블 기판(310)의 신장 방향에 대해 90° 보다 작은 끼인각을 형성한다.
구체적으로, 먼저 상기 플렉서블 기판(310)을 제공하고, 이는 대개 투명 플라스틱 기판이다.
다음으로, 어레이 형태로 배열되는 상기 복수 개의 픽셀 유닛(30)과 상기 제 1 배선 구조들을 상기 플렉서블 기판(310) 상에 각각 형성한다. 각 픽셀 유닛(30)은 반도체 구조를 가진다. 상기 반도체 구조와 제 1 배선 구조(230) 둘 다 패터닝 공정을 이용하여 형성된다. 상기 패터닝 공정을 이용하여 제조되는 반도체 박막 패턴의 긴 변 방향(즉, 채널 방향)은 배선 박막 패턴의 연장 방향과 평행하고, 상기 플렉서블 기판(310)의 신장 방향에 대해 60°의 끼인각을 형성한다.
상기 플렉서블 기판(310) 상에 소자층을 형성하는 과정시, 패터닝 공정을 이용하여 제 2 배선 구조들도 플렉서블 기판(310) 상에 형성된다. 상기 제 2 배선 구조들은 플렉서블 기판의 에지들 상에 제공된다. 제 2 배선 구조의 연장 방향은 상기 플렉서블 기판의 에지선에 평행하다. 상기 제 2 배선 구조들은 복수 개의 관통공을 정의한다. 관통공은 평행 사변형 형태이고, 상기 평행 사변형의 일 대각선은 상기 플렉서블 기판의 신장 방향과 동일한 방향을 따라 연장된다.
이러한 방식으로, 상기 플렉서블 전자 장치(300)가 형성된다. 플렉서블 전자 장치(300)의 소자층은 반도체 구조들, 제 1 배선 구조들 및 제 2 배선 구조들을 포함한다. 상기 반도체 구조들의 채널 방향은 상기 제 1 배선 구조들의 연장 방향과 동일하고, 상기 플렉서블 기판(310)의 신장 방향에 대해 90° 보다 작은 끼인각을 형성한다. 상기 제 2 배선 구조들의 연장 방향은 상기 플렉서블 기판(310)의 신장 방향에 평행하거나 수직이다. 응력의 영향을 감소시킬 수 있는 평행 사변형 형태의 관통공들은 상기 제 2 배선 구조들 상에 제공된다.
요약하면, 본 발명의 실시예들에 따른 플렉서블 전자 장치와 이를 위한 제조 방법에서, 반도체 구조의 채널 방향과 제 1 배선 구조의 연장 방향을 조정하여, 상기 반도체 구조와 제 1 배선 구조가 응력에 대해 최소한의 영향만 받음으로써, 플렉서블 전자 장치의 전기적 특성과 유연성을 보장한다.
상기에서는 단지 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명하였으나, 본 발명의 범위를 한정하지 않는다. 상기 개시에 따라 당업자에 의해 실시되는 어떠한 변경이나 수정도 모두 청구범위의 보호 범위에 포함된다.
30 : 픽셀유닛
40 : 관통공
200 : 플렉서블 전자장치
210 : 플렉서블 기판
220 : 반도체 구조
230 : 제1배선 구조
300 : 플렉서블 전자장치
310 : 플렉서블 기판
330 : 소자층

Claims (10)

  1. 플렉서블 전자 장치에 있어서,
    플렉서블 기판 및 상기 플렉서블 기판상에 형성되는 소자층을 구비하되,
    상기 소자층은 반도체 구조와 상기 반도체 구조에 연결되는 제 1 배선 구조를 구비하고, 상기 제 1 배선 구조는 상기 반도체 구조의 채널 방향과 동일한 연장 방향을 가지며,
    상기 제 1 배선 구조의 연장 방향은 상기 플렉서블 기판의 신장(stretching) 방향과 90° 보다 작은 끼인각(included angle)을 형성하며,
    상기 반도체 구조는 트랜지스터 구조이고, 상기 제 1 배선 구조는 상호 연결되는 배선이며,
    상기 소자층은 상기 플렉서블 기판의 에지 상에 제공되는 제 2 배선 구조를 더 구비하고, 상기 제 2 배선 구조는 상기 플렉서블 기판의 에지선에 평행한 연장 방향을 갖고,
    상기 제 2 배선 구조는 복수 개의 관통공을 정의하고, 상기 관통공은, 상기 플렉서블 기판의 신장 방향과 동일한 방향을 따라 연장되는 대각선을 가지는 평행 사변형 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는, 플렉서블 전자 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 배선 구조의 연장 방향과 상기 플렉서블 기판의 신장 방향 사이의 끼인각은 40° 내지 70°의 범위에 있음을 특징으로 하는, 플렉서블 전자 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 플렉서블 전자 장치는, 복수 개의 픽셀 유닛을 가지는 플렉서블 평판 디스플레이 장치이고, 상기 픽셀 유닛의 경계선은 상기 플렉서블 기판의 신장 방향과 동일한 방향을 따라 연장되는 대각선을 가지는 평행 사변형 형태로 형성됨을 특징으로 하는, 플렉서블 전자 장치.
  6. 제 1 항 또는 제 5 항에 있어서, 상기 평행 사변형의 변 에지와 상기 평행 사변형의 대각선 사이의 끼인각은 40° 내지 70°의 범위에 있음을 특징으로 하는, 플렉서블 전자 장치.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 플렉서블 전자 장치는 플렉서블 액정 디스플레이임을 특징으로 하는, 플렉서블 전자 장치.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 플렉서블 전자 장치는 플렉서블 유기 발광 디스플레이임을 특징으로 하는, 플렉서블 전자 장치.
  9. 삭제
  10. 플렉서블 전자 장치를 제조하는 방법에 있어서,
    플렉서블 기판을 제공하는 단계; 및
    상기 플렉서블 기판상에 복수 개의 픽셀 유닛, 제 1 배선 구조 및 제 2 배선 구조를 각각 형성하는 단계를 구비하되,
    상기 픽셀 유닛은 반도체 구조를 가지고, 상기 반도체 구조는 상기 제 1 배선 구조의 연장 방향과 동일한 채널 방향을 가지고, 상기 반도체 구조의 채널 방향은 상기 플렉서블 기판의 신장(stretching) 방향에 대해 90° 보다 작은 끼인각(included angle)을 형성하며, 상기 반도체 구조는 트랜지스터 구조이고,
    상기 제 2 배선 구조는 상기 플렉서블 기판의 에지 상에 제공되고, 상기 제 2 배선 구조는 상기 플렉서블 기판의 에지선에 평행한 연장 방향을 가지며, 상기 제 2 배선 구조는 복수 개의 관통공을 정의하고, 상기 관통공은, 상기 플렉서블 기판의 신장 방향과 동일한 방향을 따라 연장되는 대각선을 가진 평행 사변형 형태로 형성됨을 특징으로 하는, 플렉서블 전자 장치를 제조하는 방법.
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