KR102077363B1 - 기판 반송 장치 - Google Patents

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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

복수의 기판을 선반형으로 유지하는 기판 유지구에 유지되는 상기 기판과, 상기 기판의 이면을 지지하여 반송하는 지지체와의 스침을 정밀도 높게 검출하는 것.
상기 기판 유지구가 배치되는 배치부와, 상기 기판의 하면을 지지하는 지지체, 및 상기 지지체를 진퇴시키는 진퇴 기구를 구비하고, 상기 기판 유지구에 대해 기판의 전달을 행하기 위한 기판 반송 기구와, 상기 지지체를 상기 기판 유지구에 대해 상대적으로 승강시키는 승강 기구와, 상기 기판 유지구에 유지된 기판과 지지체와의 접촉에 의해 발생하는 접촉음을 증폭시키기 위한 소리 증폭부와, 상기 기판 유지구를 전파하는 고체 전파음을 감지하여 감지 신호를 출력하는 진동 센서로부터의 상기 감지 신호에 기초하여 상기 기판과 지지체와의 스침을 검출하기 위한 검출부를 구비하도록 기판 반송 장치를 구성한다.

Description

기판 반송 장치{SUBSTRATE TRANSPORT DEVICE}
[관련 출원의 참조]
본 특허 출원은, 2013년 2월 4일에 제출된 일본 출원인 일본 특허 출원 제2013-019580의 이익을 향수한다. 이 앞선 출원에서의 모든 개시 내용은 인용함으로써 본 명세서의 일부가 된다.
본 발명은 복수의 기판을 선반형으로 유지하는 기판 유지구에 대해, 상기 기판의 전달을 행하는 기판 반송 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공장에서는, 반도체 기판인 웨이퍼를 기판 격납 용기(캐리어) 내에 격납하고, 상기 기판 격납 용기를 반도체 제조 장치에 반송하도록 하고 있다. 반도체 제조 장치는, 기판 격납 용기의 반입 반출을 행하는 반입 반출용의 블록과, 웨이퍼에 대해 처리를 행하는 처리 블록을 구비하고 있다. 기판 격납 용기로서는 덮개를 용기 본체의 앞면에 구비한 밀폐형의 것이 주류이며, 용기 본체 중에 복수의 웨이퍼가 상하로 간격을 두고 격납되어 있다.
상기 반입 반출용의 블록에는 반송 로봇이 설치되고, 상기 반송 로봇은 웨이퍼의 이면을 지지하기 위한 포크를 구비하고 있다. 이 포크가 기판 격납 용기 내에 진입, 및 기판 격납 용기 내로부터 퇴출함으로써, 기판 격납 용기와 처리 블록 사이에서 웨이퍼의 전달이 행해진다. 반도체 제조 장치의 가동 개시 전 및 조정시에는, 작업원이 눈으로 확인하거나 계측 지그를 사용함으로써, 포크가 기판 격납 용기 내로 진입할 때의 기준이 되는 높이 위치의 파라미터를 취득한다. 이 작업은 티칭이라고 불리며, 반도체 제품의 생산시에는 이 작업으로 얻어진 파라미터에 기초하여 반송 로봇을 구동시켜, 웨이퍼와 포크와의 부당한 접촉(간섭)이 발생하지 않도록 상기한 웨이퍼의 전달이 행해진다.
그런데, 기판 격납 용기의 형상에는 개체차가 있고, 기판 격납 용기에 격납되는 웨이퍼에는 휘어짐이 있는 경우가 있다. 또한, 상기 반송 로봇이나 기판 격납 용기를 배치하는 스테이지 등의 상기 전달에 관련된 기구의 경시적인 변형이 일어나는 경우나, 상기한 파라미터 설정에 관련된 인위적 미스가 일어나는 경우도 생각된다. 이들 요인에 의해, 상기 웨이퍼의 전달시에 포크가 기판 격납 용기에 대해 진퇴할 때에, 기판 격납 용기 내의 웨이퍼와의 사이에 접촉이 일어나, 웨이퍼의 표면 또는 이면을 스쳐 흠집이 생김과 아울러 파티클이 발생할 우려가 있다. 이 스침의 발견에 요하는 시간이 길어질수록, 상기 반도체 제조 장치에 의한 제품의 생산이 진행되어, 그와 같이 흠집이 생긴 웨이퍼의 매수가 증가하기 때문에, 상기 스침을 신속히 발견하는 것이 요구되고 있다.
특허문헌 1에는, 기판 격납 용기의 스테이지에 진동 센서를 설치하고, 이 진동 센서에 의해 검출된 진동 가속도나 진동의 주파수 성분에 기초하여, 기판 격납 용기 내의 기판 탑재부에 대한 웨이퍼의 충돌을 검출하는 기술이 기재되어 있다. 그러나, 상기한 웨이퍼와 포크와의 스침은 통상은 미소한 것이기 때문에, 이 스침을 정밀도 높게 검출하기 위해서는, 이 특허문헌 1의 구성으로는 불충분한다. 또한, 실시형태에서 설명하는 바와 같이, 웨이퍼와 포크와의 접촉 이외의 여러 가지 요인에 의해, 기판 격납 용기는 진동한다. 각 요인에 의한 오검지(誤檢知)를 방지하여, 보다 정확하게 상기 스침의 검출을 행하는 것이 요구되고 있다.
일본 특허 공개 제2006-278396호 공보
본 발명은 이러한 사정에 있어서 이루어진 것으로, 그 목적은, 복수의 기판을 선반형으로 유지하는 기판 유지구에 유지되는 상기 기판과, 상기 기판의 이면을 지지하여 반송하는 지지체와의 스침을 정밀도 높게 검출하는 기술을 제공하는 것이다.
본 발명의 기판 반송 장치는, 복수의 기판을 선반형으로 유지하기 위한 기판 유지구가 배치되는 배치부와,
상기 기판의 하면을 지지하는 지지체, 및 상기 지지체를 진퇴시키는 진퇴 기구를 구비하고, 상기 배치부에 배치된 기판 유지구에 대해 기판의 전달을 행하기 위한 기판 반송 기구와,
상기 지지체를 상기 기판 유지구에 대해 상대적으로 승강시키는 승강 기구와,
상기 기판 유지구에 유지된 기판과 상기 지지체와의 접촉에 의해 발생하는 접촉음을 증폭시키기 위한 소리 증폭부와,
상기 기판 유지구를 전파하는 고체 전파음을 감지하여 감지 신호를 출력하는 진동 센서로부터의 상기 감지 신호에 기초하여, 상기 기판과 상기 지지체와의 스침을 검출하기 위한 검출부
를 구비하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하면, 반송 기구에 있어서 기판의 이면을 지지하는 지지체와, 기판 유지구에 유지된 기판과의 접촉음을 증폭시키기 위한 소리 증폭부가 설치되고, 기판 유지구를 전파하는 고체 전파음을 감지하는 진동 센서로부터의 출력에 기초하여 검출부가 기판과 지지체와의 스침을 검출한다. 고체 전파음은 공기 전파음에 비해 전파 거리에 의한 감쇠가 작기 때문에, 이러한 구성에 의해 상기 스침의 검출을 정밀도 높게 행할 수 있다.
도 1은 본 발명이 적용되는 도포, 현상 장치의 사시도이다.
도 2는 상기 도포, 현상 장치의 캐리어 블록의 평면도이다.
도 3은 상기 캐리어 블록의 사시도이다.
도 4는 상기 캐리어 블록의 종단 측면도이다.
도 5는 상기 캐리어 블록 및 진동 센서의 종단 측면도이다.
도 6은 상기 캐리어 블록의 개폐 도어 및 캐리어의 사시도이다.
도 7은 상기 캐리어 블록에 설치되는 반송 로봇의 포크의 이면측 사시도이다.
도 8은 포크의 정면도 및 웨이퍼(W)의 종단 정면도이다.
도 9는 상기 포크 및 웨이퍼의 평면도이다.
도 10은 포크의 정면도 및 웨이퍼의 종단 정면도이다.
도 11은 상기 포크 및 웨이퍼의 평면도이다.
도 12는 상기 도포, 현상 장치의 제어부의 블록도이다.
도 13은 상기 반송 로봇에 의한 웨이퍼의 반송 공정을 도시한 공정도이다.
도 14는 상기 반송 로봇에 의한 웨이퍼의 반송 공정을 도시한 공정도이다.
도 15는 상기 반송 로봇에 의한 웨이퍼의 반송 공정을 도시한 공정도이다.
도 16은 상기 반송 로봇에 의한 웨이퍼의 반송 공정을 도시한 공정도이다.
도 17은 상기 반송 로봇에 의한 웨이퍼의 반송 공정을 도시한 공정도이다.
도 18은 상기 반송 공정을 도시한 흐름도이다.
도 19는 상기 반송시에 있어서의 진동 센서로부터의 출력의 일례를 도시한 그래프도이다.
도 20은 상기 반송시에 있어서의 진동 센서로부터의 출력의 일례를 도시한 그래프도이다.
도 21은 진동 센서의 출력으로부터 얻어지는 주파수 스펙트럼의 일례를 도시한 그래프도이다.
도 22는 반송 로봇의 높이의 조정 공정을 도시한 공정도이다.
도 23은 반송 로봇의 높이의 조정 공정을 도시한 공정도이다.
도 24는 반송 로봇의 다른 예를 도시한 측면도이다.
도 25는 상기 반송 로봇의 포크를 도시한 측면도이다.
도 26은 상기 반송 로봇의 또 다른 구성예를 도시한 측면도이다.
도 27은 상기 캐리어 블록의 로드 포트 및 캐리어의 다른 구성예를 도시한 종단 측면도이다.
도 28은 상기 캐리어 블록의 로드 포트 및 캐리어의 또 다른 구성예를 도시한 종단 측면도이다.
도 29는 상기 캐리어 블록의 로드 포트 및 캐리어의 또 다른 구성예를 도시한 종단 측면도이다.
도 30은 평가 시험의 결과를 도시한 그래프도이다.
도 31은 평가 시험의 결과를 도시한 그래프도이다.
도 32는 평가 시험의 결과를 도시한 그래프도이다.
도 33은 평가 시험의 결과를 도시한 그래프도이다.
도 34는 평가 시험의 결과를 도시한 그래프도이다.
본 발명이 적용된 도포, 현상 장치(1)에 대해, 도 1을 참조하면서 설명한다. 도 1은 상기 도포, 현상 장치(1)의 사시도이다. 도포, 현상 장치(1)는 반도체 제조 공장 내의 클린룸 내에 설치되며, 캐리어 블록(E1)과, 처리 블록(E2)과, 인터페이스 블록(E3)을 직선형으로 접속하여 구성되어 있다. 인터페이스 블록(E3)에는, 처리 블록(E2)의 반대측에 노광 장치(E4)가 접속되어 있다. 도포, 현상 장치(1)의 외측은 캐리어(C)의 반송 영역이다. 기판 격납 용기인 캐리어(C)는, 다수 매의 웨이퍼(W)를 상하로 선반형으로 배열하여 유지하는 유지구이며, 도시하지 않은 캐리어 반송 기구에 의해 상기 반송 영역에서 반송된다.
각 블록의 역할을 간단히 설명해 두면, 캐리어 블록(E1)은 캐리어 반송 기구와의 사이에서 캐리어(C)를 전달하기 위한 블록이다. 또한, 캐리어 블록(E1)은 상기 캐리어 블록(E1)에 반송된 캐리어(C)와 처리 블록(E2) 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 행한다. 이 캐리어 블록(E1)은, 본 발명의 기판 반송 장치에 상당한다.
처리 블록(E2)은, 웨이퍼(W)에 레지스트 도포 처리, 현상 처리 등의 각종의 액 처리나 가열 처리를 행하기 위한 블록이다. 노광 장치(E4)는, 처리 블록(E2)에서 웨이퍼(W)에 형성된 레지스트막을 노광한다. 인터페이스 블록(E3)은, 처리 블록(E2)과 노광 장치(E4) 사이에서 웨이퍼(W)의 전달을 행한다. 캐리어(C)로부터 반출된 웨이퍼(W)는, 처리 블록(E2)에서 레지스트 도포 처리, 가열 처리를 순차 받은 후, 노광 장치(E4)에서 노광되고, 처리 블록(E2)에서 가열 처리, 현상 처리를 순차 받은 후, 상기 캐리어(C)로 복귀된다.
도포, 현상 장치(1)에는 제어부(2)가 설치되어 있다. 제어부(2)는 컴퓨터이며, 도포, 현상 장치(1)의 각부에 제어 신호를 송신하고, 그에 의해, 캐리어(C)와 장치(1) 내에 있어서의 웨이퍼(W)의 반송, 각 블록 사이에 있어서의 웨이퍼(W)의 반송, 각 블록에 있어서의 웨이퍼(W)의 처리, 및 후술하는 캐리어 블록(E1)의 반송 로봇(44)과 캐리어(C)의 웨이퍼(W)와의 스침의 검출이 행해지도록 제어된다. 제어부(2)에 대해서는 이후에 상세히 설명한다.
캐리어 블록(E1)에 대해, 도 2의 횡단 평면도, 도 3의 사시도 및 도 4의 종단 측면도도 참조하면서 더 설명한다. 설명의 편의상, 캐리어 블록(E1)측, 인터페이스 블록(E3)측을 각각 후방측, 전방측으로 하여 설명한다. 캐리어 블록(E1)은 케이스(31)를 구비하고 있으며, 케이스(31)는 캐리어(C)의 반송 기구와의 사이에서 캐리어(C)를 전달하고, 캐리어(C) 내와 도포, 현상 장치(1) 내 사이에서 웨이퍼(W)를 전달하기 위한 4개의 로드 포트(3)를 구성하고 있다.
각 로드 포트(3)는 상기 케이스(31)에 더하여, 캐리어(C)를 배치하는 스테이지(배치부)(32)와, 웨이퍼(W)의 반송구(33)와, 반송구(33)를 개폐하는 개폐 도어(4)에 의해 구성된다. 케이스(31)의 하부는, 후방측으로 돌출되어, 단차부(34)를 형성하고 있다. 이 단차부(34) 상에 있어서, 가로 방향으로 각 로드 포트(3)의 상기 스테이지(32)가 배열되어 있다. 각 스테이지(32)로부터 후방측을 향해 본 케이스(31)의 벽면(35)에, 상기 반송구(33)가 개구되어 있다. 벽면(35)에 있어서 반송구(33)의 외측 가장자리를 따라, 환형의 오목부(36)가 형성되어 있다.
상기 스테이지(32)는, 캐리어(C)를 도 4에 쇄선으로 나타내는 후퇴 위치와 도 5에 나타내는 전진 위치 사이에서 이동시킨다. 도면 중 도면 부호 37은, 스테이지(32)를 진퇴시키기 위한 이동 기구이다. 스테이지(32)의 표면에는, 캐리어(C)의 스테이지(32) 상에 있어서의 위치 어긋남을 방지하기 위한 3개의 지지핀(38)이, 상방을 향해 돌출되어 설치되어 있다. 또한, 도면 중 도면 부호 39는 스테이지(32)의 표면에서 돌출 및 함몰 가능한 훅이며, 캐리어(C)가 스테이지(32)에 배치되면, 상기 표면으로 돌출되어 캐리어(C)의 용기 본체(5)를 스테이지(32) 상에 고정한다.
도 6의 사시도도 참조하면서 캐리어(C)에 대해 설명한다. 캐리어(C)는 용기 본체(5)와, 상기 용기 본체(5)에 착탈 가능한 덮개(6)에 의해 구성된다. 용기 본체(5) 내의 좌우에는, 웨이퍼(W)의 이면측 둘레 가장자리부를 지지하는 지지부(51)가 상하로 다단으로 설치되고, 웨이퍼(W)가 용기 본체(5) 내에 선반형으로 격납된다. 각 지지부(51) 상은 웨이퍼(W)의 격납 영역인 슬롯(500)으로서 구성되며, 예컨대 25개의 슬롯(500)이 형성된다(각 도면에서는 편의상 25개보다 적게 도시하고 있다). 이 슬롯(500)에 대해서는, 각 슬롯끼리를 구별하기 위해서, 최하단의 것으로부터 상방을 향해 순서대로 501, 502…525의 번호를 붙여 표기하는 경우가 있다.
용기 본체(5)의 앞면에는 웨이퍼(W)의 취출구(52)가 형성되고, 상기 덮개(6)에 의해 상기 취출구(52)가 막혀진다. 도면 중 도면 부호 54는, 상기 취출구(52) 주위의 개구 가장자리부이다. 개구 가장자리부(54)의 내주측에는 결합홈(55)이 형성되어 있다. 도 5에 도시한 바와 같이 용기 본체(5)의 하부에는, 구멍(56)이 형성되어 있다. 이 구멍(56)에 상기 스테이지(32)의 지지핀(38)이 삽입됨으로써, 용기 본체(5)는 스테이지(32)의 표면으로부터 약간 뜬 상태로 지지된다.
도 6으로 되돌아가서 덮개(6)에 대해 설명하면, 덮개(6)의 내부에는 좌우에 회전부(61)가 설치되고, 회전부(61)의 상하에는 수직 방향으로 연장되는 직동부(直動部; 62)가 설치된다. 회전부(61)에는 후술하는 래치키(43)가 삽입되는 열쇠 구멍(63)이 형성되어 있고, 그와 같이 열쇠 구멍(63)에 삽입된 래치키(43)의 회전에 의해, 회전부(61)가 회전한다. 회전부(61)의 회전에 의해, 직동부(62)는, 그 선단이 덮개(6)의 상측 및 하측으로부터 돌출한 상태와, 덮개(6) 내로 인입한 상태로 전환된다. 이 직동부(62)의 선단은, 덮개(6)로부터 돌출한 상태에서 상기 용기 본체(5)의 결합홈(55)에 결합하고, 그에 의해 덮개(6)가 용기 본체(5)에 로크된 상태가 된다.
그런데 도 3 및 도 5에서는, 스테이지(32)의 3개의 지지핀(38) 중 1개를 점선의 원 안에 포함시켜 밖으로 끌어냄과 동시에 확대하여 나타내고 있다. 단, 밖으로 끌어낸 곳에서는, 상기 지지핀(38)을 밖으로 끌어내기 전과는 다른 방향에서 바라본 상태를 나타내고 있다. 이들 도면에 도시한 바와 같이 상기 지지핀(38)의 측부는 노치되어 있고, 이 노치 내에 진동 센서(11)가 설치되어 있다.
이 진동 센서(11)로서는, 예컨대 공지의 것이 이용된다. 구체적으로는, 예컨대 인체의 두개골을 통해 전해지는 골전도음과 전기 신호를 서로 변환하는 골전도 스피커 혹은 골전도 마이크로폰으로서 이용되는 기기를 이용할 수 있다. 도 5에 있어서, 쇄선의 화살표 끝에는 진동 센서(11)를 확대하여, 그 종단 측면의 개략을 나타내고 있으며, 도면 중 도면 부호 12는 케이스, 도면 중 도면 부호 13은 케이스(12) 내에 설치되는 지지부이다. 도면 중 도면 부호 14는, 그 중앙부가 상기 지지부(13)에 지지되는 원형의 압전 소자이고, 예컨대 압전 세라믹스에 의해 구성된다. 도면 중 도면 부호 15는, 압전 소자(14)의 둘레단을 둘러싸도록 링형으로 설치되는 추(錘)이다. 진동 센서(11)의 진동에 따라 압전 소자(14)가 변형하여 전하가 발생한다. 케이스(12) 내에는, 상기 전하에 의한 전기 신호(감지 신호)를 케이스(12)의 외부로 전송하기 위해서, 도시하지 않은 내부 배선이 형성되어 있다. 도 3 중 도면 부호 15는, 상기 내부 배선에 접속되고, 상기 전기 신호를 제어부(2)에 송신하기 위한 케이블이다. 이 케이블(15)은, 편의상 도 3 이외의 도면에서는 생략하고 있다.
케이스(12)의 외부에는 예컨대 수지로 이루어지는 층(16)이 형성되고(도 5), 층(16)은 지지핀(38)과 케이스(12)에 밀착되어 있다. 그리고, 용기 본체(5)는, 스테이지(32)에 배치되었을 때에 지지핀(38)에 밀착된다. 또한, 웨이퍼(W)는 용기 본체(5)에 접하여 지지되기 때문에, 용기 본체(5) 내에 있어서 후술하는 바와 같이 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 접촉에 의한 접촉음이 발생했을 때에, 이 접촉음 중, 고체를 매체로 하여 전도하는 종파 및 횡파인 고체 전파음은, 상기 웨이퍼(W), 용기 본체(5), 지지핀(38), 층(16), 진동 센서(11)로 순서대로 전파한다. 그리고, 이 고체 전파음에 의해 진동 센서(11)가 진동하고, 이 진동에 따른 신호가 출력된다. 공기를 매체로 하여 전파하는 종파 진동인 공기 전파음에 비해, 고체 전파음은 전파 중의 감쇠가 억제되기 때문에, 상기 접촉이 발생하면, 진동 센서(11)는 상기 접촉음에 따른 신호를 정밀도 높게 출력할 수 있다. 또한, 고체 전파음은 공기 전파음에 비해 빠르게 전파하기 때문에, 상기 접촉음이 발생하면, 진동 센서(11)로부터 상기 신호가 신속히 출력된다.
계속해서 개폐 도어(4)에 대해 설명한다. 개폐 도어(4)는 케이스(31)의 내측에 설치되는 도어 본체(41)를 구비하고 있다. 도어 본체(41)는 도시하지 않은 구동 기구에 의해 진퇴 가능 및 승강 가능하게 구성되고, 도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이 반송구(33)를 개폐한다. 개폐 도어(4)는, 상기 도어 본체(41)의 후방측에 덮개 개폐 기구(42)를 구비하고 있고, 덮개 개폐 기구(42)는, 그 후방측에 래치키(43)를 구비하고 있다. 래치키(43)는 수평축 주위로 회전한다. 스테이지(32)의 진퇴에 의해, 상기 스테이지(32)에 배치된 캐리어(C)의 덮개(6)의 상기 열쇠 구멍(63)에 대해, 래치키(43)의 삽입 및 빼냄이 행해진다.
도 2 및 도 4에 도시한 바와 같이, 케이스(31) 내에는 각 로드 포트(3)에서 공용되는 웨이퍼의 반송 로봇(44)이 설치되어 있다. 반송 로봇(44)은, 좌우 방향으로 수평 이동 가능한 기립한 프레임(45), 프레임(45)에 승강 가능하게 설치되는 승강 기구인 승강대(46), 승강대(46) 상을 연직축 주위로 회전 가능한 베이스(47), 및 베이스(47) 상을 진퇴 가능한 웨이퍼(W)의 지지체인 포크(48)를 구비하고 있다. 베이스(47)는 포크를 진퇴시키는 진퇴 기구를 구성한다. 이 반송 로봇(44)에 의해, 개방된 반송구(33)를 통해 캐리어(C)의 슬롯(500)과, 처리 블록(E2) 사이에서 웨이퍼(W)를 전달할 수 있다. 이 반송 로봇(44)의 각부는 도시하지 않은 모터에 의해 구동한다.
상기 포크(48)는 베이스부로부터 선단부가 두 갈래로 나뉘어지도록 병행하여 돌출되며, 평면에서 보아 대략 U자형의 평판으로서 구성되어 있고, 웨이퍼(W)의 이면을 지지하여 웨이퍼(W)를 반송한다. 포크(48)는 예컨대 세라믹스에 의해 구성된다. 도 7은 포크(48)의 이면측 사시도이다. 포크(48)의 각 선단에는, 상기 포크(48)의 이면(하면)측으로 돌출하는 핀(49)이 설치되어 있다. 핀(49)은, 상기 포크(48)의 이면과 용기 본체(5)의 슬롯(500)에 지지되는 웨이퍼(W)의 표면과의 스침을 검출하기 위해서, 포크(48)와 웨이퍼(W)와의 접촉음을 증폭시키기 위한 소리 증폭부로서 구성되어 있다.
핀(49)의 역할에 대해 더 설명하기 위해서, 도 8 및 도 9에는 상기 핀(49)을 설치하지 않은 포크(48)를 도시하고 있다. 도 8은 선단측으로부터 기단측을 향해 본 상기 포크(48) 및 상기 웨이퍼(W)의 모식도이다. 도 9는 상기 포크(48) 및 용기 본체(5)에 격납되는 웨이퍼(W)의 상면도이다. 포크(48)는, 용기 본체(5) 내로 진입하여 웨이퍼(W)를 전달한 후, 하강하여 후퇴한다. 이 하강시에 하방에 위치하는 웨이퍼(W)의 표면에 접촉하고, 그와 같이 접촉한 상태에서 후퇴함으로써 웨이퍼(W)를 스치는 경우가 있다.
여기서, 포크(48)의 이면 및 웨이퍼(W)의 표면이 모두 평면이기 때문에, 상기 포크(48)의 하강시에는, 포크(48)의 이면과 웨이퍼(W) 표면 사이에 공기층(4A)이 개재하기 쉽고, 이 공기층(4A)이 쿠션이 되어, 포크(48)와 웨이퍼(W) 표면의 충돌시의 충격의 감쇠가 일어난다(도 8). 즉 공기층(4A)에 의해, 포크(48)와 웨이퍼(W)의 충돌시에 발생하는 상기 고체 전파음은 작아진다. 또한, 그 후 포크(48)가 후퇴하여 웨이퍼(W)를 스칠 때에, 포크(48)는, 웨이퍼(W) 표면과의 사이에 끼워진 공기층(4A) 상을 미끄러지도록 이동한다. 즉, 포크(48)와 웨이퍼(W) 표면 사이에는 큰 마찰력이 발생하지 않고, 따라서 발생하는 고체 전파음은 작은 것이 된다(도 9). 한편, 도면 중 도면 부호 4B는, 스침에 의한 웨이퍼(W)의 흠집이다.
도 10 및 도 11은 핀(49)을 설치한 포크(48)를 도시하고 있다. 도 10은 도 8과 마찬가지로 기단측을 향해 본 포크(48) 및 웨이퍼(W)의 모식도를 도시하고 있고, 도 11은 도 9와 마찬가지로 상기 포크(48) 및 웨이퍼(W)의 상면을 도시하고 있다. 상기 포크(48)가 하강하여 웨이퍼(W) 표면에 충돌할 때에는, 핀(49)이 공기층(4A)을 가르도록 상기 포크(48)가 이동한다(도 10). 즉, 핀(49)을 설치하지 않은 경우에 비해 공기층(4A)에 의한 충격의 감쇠가 억제되어, 상기 충돌에 의해 큰 고체 전파음이 발생한다. 그리고, 포크(48)와 웨이퍼(W) 표면 사이에 공기층(4A)을 두는 것이 억제된 상태에서 포크(48)가 후퇴하기 때문에, 포크(48)는 상기 공기층(4A)에 의한 미끄러짐이 억제된 상태에서 웨이퍼(W) 표면을 스쳐, 큰 고체 전파음이 발생한다(도 11).
핀(49)을 구성하는 재질로서는, 상기한 바와 같이 웨이퍼(W) 표면에 접촉했을 때에 핀(49)을 설치하지 않은 포크(48)가 웨이퍼(W)에 접촉하는 것보다 큰 고체 전파음을 발생시키고, 그에 의해 진동 센서(11)로부터의 출력 신호를 크게 할 수 있는 재질이 선택된다. 구체적으로는, 상기 재질로서는 예컨대 금속이나 폴리에테르·에테르·케톤 등의 비교적 경질의 수지가 이용되며, 상기한 접촉이 일어났을 때에는, 예컨대 500 ㎐∼10000 ㎐의 고체 전파음이 발생한다.
또한, 포크(48)의 이면으로부터 핀(49)의 하단까지의 길이가 지나치게 크면, 웨이퍼(W) 표면과의 접촉을 일으킬 위험이 높아지기 때문에, 그 위험이 지나치게 높아지지 않는 크기로 핀(49)을 구성한다. 예컨대 인접하는 슬롯(500) 사이에 격납되는 웨이퍼(W)의 거리가 10 ㎜ 정도인 경우, 상기 크기(L1)는 100 ㎛ 정도이다. 한편, 도 4, 도 7, 도 10, 도 13 내지 도 17 등의 각 도면에서는 도시의 편의상, 포크(48)의 두께에 대해 실제의 크기보다 핀(49)의 높이를 크게 도시하고 있다. 또한, 도면 중 핀(49)은 링판 형상으로 나타내고 있으나, 이러한 형상에는 한정되지 않고, 예컨대 원판형, 각판형, 상하 방향으로 연장되는 막대형, 또는 가로 방향으로 연장되는 막대형으로 형성할 수 있다.
계속해서, 검출부 및 보정 기구를 구성하는 제어부(2)에 대해 도 12의 블록도를 이용하여 설명한다. 제어부(2)는, 프로그램 저장부(21), CPU(22), 메모리(23)를 구비하고 있고, 이들이 버스(24)에 접속되어 있다. 프로그램 저장부(21)는, 컴퓨터 기억 매체 예컨대 플렉시블 디스크, 컴팩트 디스크, 하드 디스크, MO(광자기 디스크) 및 메모리 카드 등의 기억 매체 등에 의해 구성되어 있다. 이러한 기억 매체에 저장된 상태로, 상기 기억 매체에 저장된 프로그램(25)이, 제어부(2)에 인스톨된다. 프로그램(25)은, 도포, 현상 장치(1)의 각부에 제어 신호를 송신해서 그 동작을 제어하여, 웨이퍼(W)의 반송, 각 블록(E1∼E4)에서의 웨이퍼(W)의 처리, 캐리어(C)로부터의 웨이퍼(W)의 반출, 캐리어(C)에의 웨이퍼(W)의 반입, 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 스침의 검출의 각 동작을 행할 수 있도록 명령(각 단계)이 편입되어 있다. CPU(22)는, 그와 같이 제어 신호를 출력하기 위해서 각종의 연산을 실행한다.
상기 각 스테이지(32)의 지지핀(38)에 설치되는 진동 센서(11)는 각각 이 제어부(2)에 접속되어 있고, 진동 센서(11)로부터의 출력 신호가, 제어부(2)에 설치되는 도시하지 않은 증폭부에 의해 증폭되며, 또한 변환부에 의해 아날로그 신호로부터 디지털 신호로 변환되어 버스(24)에 출력된다. 메모리(23)에는, 웨이퍼(W)를 용기 본체(5)에 격납하는 경우에 포크(48)가 용기 본체(5)에 대해 전진 및 후퇴할 때의 상기 출력 신호의 전압값의 시계열 데이터(전압 데이터)가 기억된다.
또한, 버스(24)에는 푸리에 변환부(26)가 접속되어 있다. 이 푸리에 변환부(26)는 상기 전압 데이터에 대해 푸리에 변환을 행하여, 이후에 나타내는 주파수 스펙트럼을 구한다. 또한, 버스(24)에는 알람 출력부(27)가 접속되어 있다. 이 알람 출력부(27)는, 상기 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 스침이 일어난 것으로 판정된 경우에 알람을 출력한다. 이 알람으로서는 소정의 음성이나 화면 표시이다.
계속해서, 반송 로봇(44)의 동작을 도시한 도 13 내지 도 17을 참조하면서, 웨이퍼(W)의 캐리어(C)에의 전달시에 스침을 검출하는 공정에 대해 설명한다. 먼저, 로드 포트(3)의 진동 센서(11)로부터 제어부(2)를 향해 신호가 출력된 상태에서, 캐리어 반송 기구에 의해 캐리어(C)가 상기 로드 포트(3)의 스테이지(32)에 반송된다. 이때에는 진동 센서(11)로부터의 신호의 전압값의 메모리(23)에의 기록은 행해지고 있지 않다.
웨이퍼(W)의 전달이 행해지는 캐리어(C)의 구멍(56)에 스테이지(32)의 지지핀(38)이 삽입되고, 상기 지지핀(38)에 지지되도록 상기 캐리어(C)가 스테이지(32)에 배치되며, 로드 포트(3)의 벽면(35)으로부터 떨어진 후퇴 위치에 위치한다. 그런 후, 스테이지(32)가 전진하여, 캐리어(C)의 개구 가장자리부(54)가 상기 벽면(35)의 오목부(36) 내에 진입하고, 래치키(43)가 회전부(61)의 열쇠 구멍(63)에 삽입된다. 래치키(43)가 회전하여, 덮개(6)와 용기 본체(5)와의 결합이 해제되고, 덮개(6)가 개폐 도어(4)의 덮개 개폐 기구(42)에 유지되며, 도어 본체(41)가 전방으로 이동한 후, 하강한다. 그에 의해, 용기 본체(5)로부터 덮개(6)가 분리되고, 로드 포트(3)의 반송구(33)가 개방된다.
반송 로봇(44)의 포크(48)가 소정의 높이 위치에 위치한 후, 용기 본체(5)의 슬롯(501)의 웨이퍼(W)의 하방에 위치하도록 전진하고, 상승하여 상기 웨이퍼(W)의 이면을 지지한다. 그런 후, 포크(48)는 후퇴하여 상기 웨이퍼(W)를 용기 본체(5)로부터 반출하고(도 13), 상기 웨이퍼(W)가 처리 블록(E2)에 반송된다. 이후, 반송 로봇(44)은 하방측의 슬롯(500)으로부터 순서대로 웨이퍼(W)를, 슬롯(501)의 웨이퍼(W)와 마찬가지로, 처리 블록(E2)에 1장씩 반송한다.
처리 블록(E2)에 반송된 웨이퍼(W)는, 인터페이스 블록(E3)→노광 장치(E4)→처리 블록(E2)에 반송되고, 그런 후, 상기 웨이퍼(W)가 원래 격납되어 있던 슬롯(500)으로 복귀된다. 하방측의 슬롯(500)에 격납되어 있던 웨이퍼(W)로부터 순서대로, 상기 슬롯(500)으로의 복귀가 행해진다. 이후, 슬롯(501)의 웨이퍼(W)를 용기 본체(5)에 격납하고, 슬롯(502), 계속해서 슬롯(503)의 웨이퍼(W)를 용기 본체(5)에 격납하는 경우를 예로 들어 설명한다. 또한, 도 18의 흐름도도 적절히 참조한다.
포크(48)가 슬롯(502)으로부터 반출된 웨이퍼(W)의 이면을 유지한 상태로, 미리 설정된 높이 위치로 이동한다. 포크(48)가 용기 본체(5)를 향해 전진을 개시하고(도 14), 이 전진이 개시된 것 즉 포크(48)에 의한 전달이 개시된 것을 나타내는 IN-OUT 신호가, 반송 로봇(44)으로부터 제어부(2)에 출력된다. 제어부(2)가 상기 IN-OUT 신호를 수신하고(단계 S1), 진동 센서(11)로부터의 출력 신호의 전압 데이터의 메모리(23)에의 기록이 개시된다(단계 S2).
포크(48)가 용기 본체(5) 내의 안쪽으로 진입을 계속하여, 소정의 위치에 위치하면 전진이 정지하고, 미리 설정된 높이만큼 하강하여, 웨이퍼(W)의 이면이 슬롯(502)의 지지부(51)에 전달되면, 포크(48)가 후퇴한다(도 15). 포크(48)가 용기 본체(5)로부터 퇴출하여, 소정의 위치에 위치하면, 포크(48)의 후퇴가 정지된다. 한편, 상기 전압 데이터의 기억을 개시하고 나서 소정의 계측 시간, 예컨대 0.4초가 경과하면(단계 S3), 전압 데이터의 기록이 정지된다(단계 S4). 전압 데이터의 기억이 정지되는 타이밍과, 포크(48)의 후퇴가 정지하는 타이밍은, 예컨대 거의 동시 내지는 동시이다.
도 19는 이 슬롯(502)에의 전달시에 메모리(23)에 기억되는 전압 데이터의 일례를 도시한 그래프이며, 횡축에 시간, 종축에 전압을 설정하고 있다. 이 슬롯(502)에의 전달시에는, 포크(48)와 웨이퍼(W)와의 스침은 일어나고 있지 않은 것으로 한다. 반송 로봇(44)의 모터의 구동음 등에 의해 진동 센서(11)가 진동하기 때문에, 상기 도 19의 그래프 중, 전압은 시간에 따라 변화하고 있다. 한편, 그래프 중의 A는 소정의 전압값이다.
이와 같이 전압 데이터가 취득되면, 제어부(2)는 소정의 구간(R1)에 있어서 전압의 최대값과 최소값의 차분(전반측 최대 진폭으로 함)을 검출한다. 또한, 구간(R1) 후의 소정의 구간(R2)에 있어서 전압의 최대값과 최소값의 차분(후반측 최대 진폭으로 함)을 검출한다. 구간(R1)은, 포크(48)가 용기 본체(5) 내를 전진하는 구간이다. 구간(R2)은 포크(48)의 하강 및 용기 본체(5) 내를 후퇴하는 동작이 포함되는 구간이다. 그런 후, 제어부(2)는, 후반측 최대 진폭-전반측 최대 진폭을 산출하고(단계 S5), 그 산출값이 허용 범위에 들어가 있는지의 여부를 판정한다(단계 S6). 도 19의 그래프의 예에서는 전반측 최대 진폭은 (a-b)이고, 후반측 최대 진폭은 (c-d)이다. 슬롯(502)에의 웨이퍼(W)의 전달시에는, 상기한 바와 같이 포크(48)와 웨이퍼(W)와의 접촉이 일어나고 있지 않기 때문에, 후반측 최대 진폭-전반측 최대 진폭=(c-d)-(a-b)는 허용 범위에 들어가 있다.
이와 같이 후반측 최대 진폭-전반측 최대 진폭이 허용 범위에 들어가면, 처리 블록(E2)으로부터 웨이퍼(W)를 수취한 포크(48)가 소정의 높이에 위치한다. 그런 후, 슬롯(502)에의 웨이퍼(W)의 전달과 마찬가지로, 상기한 단계 S1∼S6을 따라, 다음 슬롯(503)에의 웨이퍼(W)의 전달이 행해진다.
즉, 웨이퍼(W)를 유지한 포크(48)의 전진(도 16), 상기 전압 데이터의 취득의 개시, 포크(48)의 전진 정지, 설정된 높이만큼 포크(48)가 하강하는 것에 의한 슬롯(503)의 지지부(51)에의 웨이퍼(W)의 전달이 행해진다. 그런 후, 포크(48)의 후퇴, 포크(48)의 후퇴 정지, 상기 전압 데이터의 취득의 정지, 취득한 전압 데이터로부터 산출되는 후반측 최대 진폭-전반측 최대 진폭이, 허용 범위에 들어가 있는지의 여부의 판정이 행해진다.
이 슬롯(503)에의 웨이퍼(W)의 전달시에 있어서, 포크(48)의 전진시에는 포크(48)는 용기 본체(5) 내의 웨이퍼(W)에 스치고 있지 않다. 그러나, 상기 포크(48)의 하강시에는 도 10에서 설명한 바와 같이 포크(48)의 이면이 슬롯(502)의 웨이퍼(W)의 표면에 충돌하고(도 17), 그에 의해 포크(48)의 후퇴시에 있어서는, 도 11에서 도시한 바와 같이 웨이퍼(W)의 표면이 스친 것으로 한다. 이미 서술한 바와 같이, 이 충돌 및 스침에 의한 고체 전파음이 용기 본체(5), 스테이지(32)의 지지핀(38)을 통해 진동 센서(11)에 전파하여, 상기 고체 전파음에 대응한 출력 신호가 제어부(2)에 출력된다.
도 20은 이 슬롯(503)에 웨이퍼(W)를 전달할 때에 취득된 전압 데이터의 일례를, 도 19와 동일하게 나타낸 그래프이다. 상기한 바와 같이 포크(48)와 슬롯(502)의 웨이퍼(W)와의 접촉(충돌 및 스침)이 일어나고, 특히 포크(48)의 하강시의 핀(49)의 웨이퍼(W)에의 충돌에 의해 큰 소리가 발생하기 때문에, 후반측 최대 진폭 |c-d|는, 전반측 최대 진폭 |a-b|에 비해 커진다. 즉, 이 슬롯(503)에의 웨이퍼(W)의 전달에 있어서의 단계 S6에서는, 후반측 최대 진폭-전반측 최대 진폭이, 허용 범위로부터 벗어난 것으로서 판정된다. 한편, 그래프 중 B는 소정의 전압값이다.
단계 S6에서 그와 같이 허용 범위로부터 벗어났다고 판정되면, 제어부(2)는, 슬롯(503)의 전달로 취득한 전압 데이터의 구간(R1, R2)에 대해 각각 푸리에 변환을 행하여, 주파수 스펙트럼을 구한다(단계 S7). 도 21의 상측, 하측은, 각각 상기 구간(R1, R2)으로부터 얻어진 주파수 스펙트럼의 일례이다. 스펙트럼의 그래프의 횡축은 주파수, 종축은 전압의 진폭을 각각 나타내고 있다.
구간(R1)으로부터 얻어진 주파수 스펙트럼을 전반측 주파수 스펙트럼, 구간(R2)으로부터 얻어진 주파수 스펙트럼을 후반측 주파수 스펙트럼이라고 각각 기재하기로 한다. 제어부(2)는, 이들 전반측 주파수 스펙트럼, 후반측 주파수 스펙트럼의 각각에 대해, 소정의 주파수 범위 예컨대 500 ㎐∼10000 ㎐에 있어서의 진동 에너지량인 power spectrum density(단위: V2/㎐, 이하, PSD라고 기재함)를 산출한다. 상기 주파수 범위는, 이미 서술한 바와 같이 핀(49)과 웨이퍼(W)와의 접촉에 의해 발생하는 고체 전파음의 주파수를 포함하는 범위이다.
상기 PSD는, 상기 주파수 범위에 있어서의 각 주파수의 진폭의 값을 2승하고, 그 2승한 각 값의 합계를 상기 주파수 범위의 상한-상기 주파수 범위의 하한, 즉 10000 ㎐-500 ㎐로 나누어 산출되는 값이다. 상기 전반측 주파수 스펙트럼, 후반측 주파수 스펙트럼으로부터 산출한 PSD를 각각 전반측 PSD, 후반측 PSD라고 하면, 제어부(2)는 이들 PSD의 산출 후, 후반측 PSD-전반측 PSD를 연산하고(단계 S8), 이 연산값이 허용 범위에 들어가 있는지의 여부를 판정한다(단계 S9).
이와 같이 PSD에 기초하여, 판정을 행하는 이유를 설명한다. 상기 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 스침 이외의 다른 요인에 의해서도, 진동 센서(11)에는 진동이 발생한다. 상기 다른 요인으로서는, 예컨대, 상기한 바와 같이 반송 로봇(44)의 각부를 구동시키는 모터의 진동음이거나, 그 외에는 도포, 현상 장치(1)에 있어서 웨이퍼(W)를 처리하는 모듈의 구동음, 클린룸 내에 설치된 도포, 현상 장치(1) 이외의 다른 반도체 제조 장치로부터 발생되는 구동음이나 경보음 등을 들 수 있다. 그리고, 이들 다른 요인에 의해 발생하는 소리는, 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 접촉음보다 높은 주파수를 갖고 있다.
즉, 이들 다른 요인에 의해 진동 센서(11)에 의한 진동이 검출되었을 때에는, 주파수 스펙트럼에 있어서 10000 ㎐보다 높은 주파수 대역에 있어서의 진폭이 커지고, 10000 ㎐보다 낮은 주파수 대역에 있어서의 진폭이 작아진다. 상기 스침이 일어난 경우에는, 도 21의 하측에서 도시한 바와 같이, 주파수 스펙트럼에 있어서 10000 ㎐보다 낮은 주파수 대역에 있어서의 진폭이 커지고, 10000 ㎐보다 높은 주파수 대역에 있어서의 진폭이 작아진다. 즉, 상기한 포크(48)와 웨이퍼(W)와의 접촉이 일어나 진동 센서(11)가 진동할 때에는, 상기한 후반측 PSD-전반측 PSD는 비교적 높은 값이 되지만, 상기 다른 요인에 의해 진동 센서(11)가 진동할 때에는 상기한 후반측 PSD-전반측 PSD는 비교적 낮은 값이 되기 때문에, 상기 접촉의 유무를 식별할 수 있다. 한편, 전달 중에, 작업자에 의한 장치의 백도어의 개폐 등의 환경 노이즈에 의해, 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 접촉음에 유사한 신호가 검출되는 경우도 있다. 그 때문에, 후반측 PSD-전반측 PSD의 산출값이 허용 범위를 벗어난 신호가 검출된 경우, 제어부(2)는, 전달이 행해지고 있지 않은 스테이지(32)로부터도, 같은 시각에 동일한 신호가 검출되었는지의 여부의 판정을 행한다(단계 S10). 전달 중의 스테이지(32)의 진동 센서(11) 뿐만 아니라, 전달이 행해지고 있지 않은 다른 스테이지(32)의 진동 센서(11)로부터도 동시에 검출된 경우에는, 환경 노이즈라고 간주하고, 포크와 기판과의 접촉이 실제로 일어나고 있지 않다고 판단한다.
즉, 도 17에 도시한 바와 같이 접촉이 일어나고 있는 이 경우에 있어서는, 상기 단계 S9에서, 후반측 PSD-전반측 PSD의 산출값은 허용 범위를 벗어난다. 또한, 상기 허용 범위를 벗어난 신호와 동일한 신호가, 전달이 행해지고 있지 않은 스테이지로부터 검출되지 않으면 상기 단계 S10에서 확인한다. 그에 의해, 포크(48)에 의한 웨이퍼(W)의 스침이 발생했다고 판정된다(단계 S11). 그러면, 이 슬롯(503)에의 전달을 행한 시각이나, 슬롯(503)에 웨이퍼(W)를 전달했을 때에 취득된 상기한 전압 데이터 등, 각종 데이터가 상위 컴퓨터에 송신되어 보존된다(단계 S12). 또한, 반송 로봇(44)에 의한 웨이퍼(W)의 반송이 정지되고(단계 S13), 알람이 출력된다(단계 S14).
슬롯(503)의 전달시에 있어서, 주로 포크(48)와 웨이퍼(W)와의 스침이 일어난 것으로서 설명하였으나, 이 스침이 일어나지 않고, 이미 서술한 포크(48)와 웨이퍼(W)와의 접촉 이외의 요인에 의해 진동 센서(11)가 진동하여, 전반측 최대 진폭과 후반측 최대 진폭의 차분이 허용 범위로부터 벗어나는 경우가 있다. 그와 같은 경우에는, 상기한 바와 같이 후반측 PSD-전반측 PSD는 낮은 값이 되어, 단계 S9에서 허용 범위에 들어가 있다고 판정된다. 그와 같이 판정되면, 단계 S10 이후의 공정은 행해지지 않고, 다음 슬롯(504)의 웨이퍼(W)가, 슬롯(502, 503)의 웨이퍼(W)와 마찬가지로 용기 본체(5)에 전달된다.
그와 같이, 슬롯(504) 이후의 각 슬롯에 대해서도 웨이퍼(W)의 전달이 행해지는 경우, 슬롯(502, 503)에 웨이퍼(W)를 전달하는 경우와 마찬가지로, 상기한 각 단계 S에 따라 전달이 행해진다. 그리고, 슬롯(501)∼슬롯(525)에의 모든 웨이퍼(W)의 전달이 끝날 때까지, 웨이퍼(W)의 스침이 있었다고 판정되지 않으면, 슬롯(525)에의 웨이퍼(W)의 전달 종료 후, 도어 본체(41)에 의해 반송구(33)가 막히고, 덮개(6)가 용기 본체(5)에 부착된다. 스테이지(32)가 이동하여 캐리어(C)는 후퇴하고, 캐리어 반송 기구에 의해 상기 캐리어(C)는 스테이지(32)로부터 운반되며, 상기 스테이지(32)에는 다음 캐리어(C)가 반송된다.
상기한 설명에서는 편의상 생략하였으나, 최하단의 슬롯(501)에 웨이퍼(W)를 전달하는 경우도 상기한 각 단계 S의 동작이 행해진다. 단, 포크(48)의 하강 및 후퇴시에, 포크(48)의 하방에는 웨이퍼(W)가 없기 때문에, 포크(48)와 웨이퍼(W)와의 스침 대신에 포크(48)와 용기 본체(5)의 내벽과의 스침의 유무가 판정되고 있게 된다.
이 도포, 현상 장치(1)에 의하면, 포크(48)의 이면에 설치한 핀(49)에 의해, 하강하는 포크(48)가 웨이퍼(W) 표면에 충돌했을 때 및 그 후 웨이퍼(W) 표면을 스칠 때에 비교적 큰 접촉음을 발생시키고, 그에 의해 캐리어(C)의 용기 본체(5)를 전파하는 고체 전파음을 크게 할 수 있다. 그리고, 스테이지(32)의 지지핀(38)에 설치한 진동 센서(11)에 의해, 이 고체 전파음을 검출하고, 그것에 기초하여 제어부(2)가, 포크(48)와 웨이퍼(W)와의 스침의 유무를 검출한다. 따라서, 상기 스침을 정밀도 높게 검출할 수 있다. 그 때문에, 많은 웨이퍼(W)에 흠이 생기는 사고가 일어나는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기한 진동 센서(11)는, 용기 본체(5)를 전파하는 고체 전파음을 검출하기 때문에, 상기 진동 센서(11)를 반송 로봇(44)에 설치할 필요가 없다. 예컨대 반송 로봇(44)에 음향 센서나 진동 센서를 부착하여, 반송 로봇(44)과 웨이퍼(W)와의 비정상적인 충돌을 검지하는 것과 같은 구성에 비해, 진동 센서(11)는 반송 로봇(44)의 모터 등의 음향의 발생원 및 진동의 발생원에 의해 진동하기 어렵다. 즉, 상기 포크(48)와 웨이퍼(W)와의 접촉음 이외의 잡음을 검출하기 어렵기 때문에, 스침이 발생하고 있지 않은데도 상기 스침이 일어난 것으로서 검출되는 것과 같은 오검출이 일어나는 것을 억제할 수 있다.
또한, 제어부(2)는, 상기한 바와 같이 취득된 구간(R1, R2)의 전압의 최대 진폭의 차가 이상하게 되었을 때에는, 각 구간(R1, R2)으로부터 구하는 주파수 스펙트럼에 기초하여, 상기 스침의 유무를 판정하고 있다. 이 점으로부터도, 상기한 오검출이 일어나는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제어부(2)는, 각 스테이지(32)에 설치되는 진동 센서(11)로부터의 신호를 항상 감시하고 있기 때문에, 가령 어떠한 이유에 의해, 상기 스침이 아닌 환경 노이즈 등이 발생해도, 전달이 행해지고 있지 않은 다른 스테이지(32)에 있어서, 전달이 행해지고 있는 스테이지(32)와 동시에 동일한 신호가 검출되었는지의 여부를 판정함으로써, 오검출이 일어나는 것을 방지할 수 있다.
또한, 상기한 반송 로봇(44)에 상기 음향 센서나 진동 센서를 부착하는 구성이나, 포크(48)에 용량 검출 전극으로 이루어지는 거리 센서를 부착하여 포크(48)와 웨이퍼(W)와의 거리를 계측해서 스침을 검출하는 것과 같은 구성에 비해, 상기한 진동 센서(11)는 반송 로봇(44)에 설치되어 있지 않기 때문에, 진동 센서(11)와 제어부(2)를 접속하는 배선을, 반송 로봇(44)의 가동에 따라 굴곡하는 구성으로 할 필요가 없다. 따라서, 상기 배선의 수명이 저하되는 것이 방지된다.
또한, 제어부(2)는, 하나의 슬롯(500)에의 전달 중에 있어서의 구간(R1, R2)에서 얻어진 전압 데이터에 기초하여, 상기한 후반측 최대 진폭-전반측 최대 진폭=(c-d)-(a-b)를 산출하여, 상기 전달 중에 있어서의 스침의 발생의 유무를 검출하고 있다. 도포, 현상 장치(1)가 설치되는 클린룸 내에 이미 서술한 각종의 요인에 의해, 돌발적으로 잡음이 발생하는 것과 같은 경우라도, 구간(R1, R2)에 있어서 상기 잡음에 의해 진동 센서(11)가 마찬가지로 진동함으로써, 상기 오검출이 일어나는 것을 억제할 수 있다.
상기한 예에서는, 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 스침이 검출되면, 웨이퍼(W)의 반송을 정지시키고 있으나, 그와 같은 대처를 행하는 것에는 한정되지 않는다. 예컨대, 상기한 바와 같이 슬롯(503)에 웨이퍼(W)를 전달할 때에, 상기 스침이 발생했다고 판정된 경우에 대해 설명한다. 슬롯(503)에 웨이퍼(W)를 전달할 때에 웨이퍼(W)를 유지한 상태로 전진했을 때의 포크(48)의 높이 위치를 슬롯(503) 진입 높이 위치라고 하면, 이 슬롯(503) 진입 높이 위치로부터 미리 설정된 높이만큼, 하방으로 어긋난 높이 위치에 포크(48)가 위치한다. 그 후, 소정의 양 포크(48)가 전진하여, 그 선단이 슬롯(502, 503)의 웨이퍼(W) 사이에 위치한다(도 22).
제어부(2)는, 포크(48)를 상승시키면서, 진동 센서(11)로부터의 출력 신호의 변화를 모니터한다. 슬롯(503)의 웨이퍼(W)의 이면과 포크(48)와의 충돌이 일어나, 출력 신호의 전압이 커지면, 그 포크(48)의 높이 위치를 기억하고, 포크(48)의 상승을 정지시킨다. 다음으로 제어부(2)는, 포크(48)를 하강시키면서, 상기 출력 신호의 변화를 모니터한다. 슬롯(502)의 웨이퍼(W)의 표면과 포크(48)와의 충돌이 일어나, 출력 신호의 전압이 커지면, 그 포크(48)의 높이 위치를 기억하고, 포크(48)의 하강을 정지시킨다(도 23). 예컨대 제어부(2)는, 이들 기억된 각 높이 위치의 중간의 높이 위치를 산출하고, 이 중간의 높이 위치를 포크(48)가 후퇴할 때의 높이 위치로서 결정한다. 그리고, 결정한 높이 위치로부터 소정의 높이만큼 상방으로 떨어진 위치를, 슬롯(503) 진입 높이 위치로 하여, 상기 진입 높이 위치의 보정을 행한다.
이와 같이 슬롯(503) 진입 높이 위치를 보정하면, 슬롯(504∼525)에는 상기한 각 단계 S1∼S11에 따라 웨이퍼(W)를 반송한다. 즉, 이 예에서는 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 스침을 검출해도, 단계 S12의 반송 로봇(44)의 동작의 정지를 행하지 않는다. 그리고, 슬롯(504∼525)에 웨이퍼(W)를 다 격납하고, 상기 캐리어(C)가 스테이지(32)로부터 반출되며, 스테이지(32)에는 후속의 캐리어(C)가 반송된다. 이 후속의 캐리어(C)로부터 웨이퍼(W)가 꺼내지고, 그런 후, 이 캐리어(C)의 슬롯(503)에 웨이퍼(W)를 격납할 때에는, 보정된 슬롯(503) 진입 높이 위치에 웨이퍼(W)를 유지한 포크(48)가 위치하여 전진한다. 그 후, 상기 중간의 높이 위치를 포크(48)가 후퇴함으로써, 포크(48)와 슬롯(502)의 웨이퍼(W)와의 스침이 방지된다.
이 예에서는, 인원을 통하지 않고 자동으로 포크(48)의 높이 위치의 조정을 행할 수 있기 때문에, 상기 높이 위치의 조정 시간의 단축화를 도모할 수 있다. 그에 의해 스침이 검출되고 나서, 도포, 현상 장치(1)의 가동을 재개할 때까지 시간을 빠르게 할 수 있다. 상기 도 23에서는, 상기한 실시형태와 마찬가지로 포크(48)의 이면에만 핀(49)을 설치하고 있으나, 웨이퍼(W)에 접촉하는 포크(48)의 높이 위치를 정확히 검출하기 위해서, 표면에도 핀(49)을 설치해 두는 것이 바람직하다.
웨이퍼(W)와 포크(48)와의 접촉음을 증대시키기 위해서는, 핀(49)을 설치하는 것에는 한정되지 않는다. 도 24의 포크(48)의 이면 선단부는 거칠고, 미소한 요철이 형성된 요철부(81)로서 구성되어 있다. 포크(48)는 반송 로봇(44)에 수평으로 설치되지만, 그 선단은 중력에 의해 약간 비스듬히 경사져 있다. 도 25는 포크(48)가 후퇴할 때에, 이와 같이 선단이 기울어진 포크(48)의 요철부(81)가, 웨이퍼(W)의 모퉁이부를 스친 상태를 도시하고 있다. 단, 도 25에서는 포크(48)의 경사를 실제의 경사보다 크게 도시하고 있다.
그와 같이 요철부(81)에 의해 웨이퍼(W)가 스쳐지는 경우에는, 평탄한 포크(48)가 웨이퍼(W)를 스치는 경우에 비해 큰 에너지가 발생한다. 즉 요철부(81)는 비교적 큰 마찰음을 발생시킬 수 있다. 상기한 다른 요인에 의한 진동 센서(11)의 진동과, 웨이퍼(W)와의 스침에 의한 진동 센서(11)의 진동을 식별하기 위해서, 상기 스침에 의해 예컨대 상기한 500 ㎐∼10000 ㎐의 주파수의 고체 전파음이 발생하는 것과 같은 거칠기가 되도록, 요철부(81)는 구성된다.
포크(48)의 이면과 웨이퍼(W)의 표면과의 스침을 검출하는 것에 대해 설명해 왔으나, 포크(48)의 표면과 웨이퍼(W)의 이면과의 스침을 검출하도록 해도 좋다. 도 26에서는, 핀(49)을 포크(48)의 표면에 설치한 예를 도시하고 있다. 용기 본체(5)로부터 웨이퍼(W)를 취출할 때에, 상기한 바와 같이 포크(48)가 전진할 때에 핀(49)이 웨이퍼(W)의 이면을 스치면, 500 ㎐∼10000 ㎐의 고체 전파음이 발생한다. 또한, 핀(49) 대신에 요철부(81)를 포크(48)의 표면에 설치해도 좋다.
이미 서술한 바와 같이 진동 센서(11)는, 용기 본체(5)를 전파하는 고체 전파음을 검출할 수 있는 위치에 설치되어 있으면 되기 때문에, 스테이지(32)에 설치하는 것에는 한정되지 않는다. 도 27은 로드 포트(3)의 벽면(35)의 오목부(36)에 진동 센서(11)를 설치한 예를 도시하고 있다. 이 예에서는 진동 센서(11)의 전방측에 압박부인 스프링(82)을 설치하고 있으며, 용기 본체(5)에 대해 웨이퍼(W)가 전달될 때에는, 스프링(82)에 의해 진동 센서(11)가 후방측으로 압박되어, 보다 확실하게 진동 센서(11)가 용기 본체(5)에 밀착되어, 상기 고체 전파음을 검출할 수 있도록 구성되어 있다. 단, 용기 본체(5)의 개구 가장자리부(54)가 상기 진동 센서(11)에 밀착되는 위치로 이동하여 웨이퍼(W)의 전달이 행해지는 것이면, 상기 스프링(82)을 설치하지 않아도 좋다.
또한, 예컨대 도 28에 도시한 바와 같이 진동 센서(11)를 용기 본체(5)에 설치해도 좋다. 이 용기 본체(5)에 있어서, 상기 개구 가장자리부(54)에 진동 센서(11)가 매설되어 있고, 진동 센서(11)의 표면은 노출되어 있다. 또한, 이 노출된 표면에는 압전 소자(14)로부터 얻어지는 출력 신호를 추출하기 위한 전극(도시는 생략)이 설치되어 있다. 로드 포트(3)의 오목부(36)에는, 전극(83)이 매설되어 있다. 용기 본체(5)와 반송 로봇(44) 사이에서 웨이퍼(W)를 전달하기 위해서 상기 개구 가장자리부(54)가 오목부(36) 내에 진입할 때, 진동 센서(11)의 상기 전극과 전극(83)이 접속된다. 이 전극(83)을 통해 진동 센서(11)가 제어부(2)에 접속되고, 진동 센서(11)로부터의 출력 신호를 제어부(2)에 공급할 수 있도록 구성되어 있다.
도 29에는 다른 용기 본체(5) 및 로드 포트(3)의 구성예를 도시하고 있다. 이 용기 본체(5)에 있어서는, 진동 센서(11) 및 무선 송신부(84)가 매설되어 있다. 무선 송신부(84)는, 개구 가장자리부(54)의 표면에 노출되는 전극(85)에 접속되어 있다. 오목부(36)의 상기 전극(83)에는 제어부(2) 대신에 전력 공급부(86)가 접속되어 있다. 용기 본체(5)의 개구 가장자리부(54)가 오목부(36)에 진입할 때, 전극(83, 85)이 서로 접속되어, 무선 송신부(84)에 전력이 공급된다. 그와 같이 전력이 공급되면, 무선 송신부(84)는 진동 센서(11)의 아날로그의 출력을 디지털 데이터로 변환하고, 제어부(2)에 무선 송신할 수 있도록 구성되어 있다. 상기한 바와 같이, 진동 센서(11)가 스테이지(32)에 설치되지 않는 경우를 예시하였으나, 이 경우도 마찬가지로, 제어부(2)에서 각 진동 센서(11)를 항상 감시함으로써, 환경 노이즈에 의한 오검출을 방지할 수 있다.
그런데, 본 발명은 용기 본체(5)의 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 스침을 검출하는 것에는 한정되지 않는다. 웨이퍼 보트라고 불리는 다수 매의 웨이퍼(W)를 선반형으로 상하로 배열하여 유지하는 유지구에 유지된 상기 웨이퍼(W)를, 상기 웨이퍼 보트와 함께 가열로에 반입하여, 일괄적으로 가열하는 종형 열처리 장치가 알려져 있다. 이 종형 열처리 장치에 있어서는, 스테이지에 배치된 이 웨이퍼 보트와 상기 캐리어(C) 사이에서, 상기 반송 로봇(44)과 동일한 반송 로봇에 의해 웨이퍼(W)가 전달된다. 이 반송 로봇의 포크(48)에 핀(49)이나 요철부(81)를 형성하고, 예컨대 상기 스테이지에 웨이퍼 보트로부터 고체 전파음이 전파되도록 진동 센서(11)를 설치한다. 그리고 제어부(2)가, 상기 진동 센서(11)로부터의 출력에 기초하여, 웨이퍼 보트에 유지된 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 스침을 검출할 수 있다.
상기한 예에서는, 반송 로봇(44)의 승강대(47)가 승강하여 용기 본체(5)에 대해 웨이퍼(W)의 전달이 행해지고 있으나, 스테이지(32)가 승강하여 웨이퍼(W)의 전달을 행할 수 있도록 되어 있어도 좋다. 그와 같은 구성이라도, 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 스침을 검출할 수 있다. 또한, 용기 본체(5)에 대한 웨이퍼(W)의 전달이란, 용기 본체(5)에 웨이퍼(W)를 반송하는 경우, 용기 본체(5)로부터 수취하는 경우의 적어도 한쪽을 포함한다. 즉, 용기 본체(5)에의 웨이퍼(W)의 반송 및 용기 본체(5)로부터의 웨이퍼(W)의 반송의 한쪽만이 행해지도록 장치를 구성해도 좋다.
(평가 시험)
평가 시험 1
본 발명에 관련되어 행해진 평가 시험에 대해 설명한다. 평가 시험 1에서는, 상기한 반송 로봇(44)을 이용하여, 포크(48)를 웨이퍼(W)가 격납된 용기 본체(5)에 대해 진입, 하강 및 후퇴 동작을 순서대로 반복해서 행하고, 그 동안에 상기한 바와 같이 스테이지(32)에 설치한 진동 센서(11)로부터 출력되는 전압을 측정하였다. 상기 진입, 하강 및 후퇴 동작을 복수 회 반복해서 행하면, 진입시의 높이 및 후퇴시의 높이를 변경하여, 재차 진입, 하강 및 후퇴 동작을 반복해서 행하였다. 상기 포크(48)의 이면에는, 상기한 실시형태와 마찬가지로, 금속의 와셔인 핀(49)이 설치되어 있다.
평가 시험 1-1에서는, 포크(48)의 후퇴시에 있어서, 포크(48)와 용기 본체(5)의 웨이퍼(W)와의 스침이 일어나지 않도록 포크(48)의 높이를 설정하였다. 평가 시험 1-2, 1-3, 1-4에서는, 포크(48)의 후퇴시에 있어서, 상기 포크(48)가 용기 본체(5)에 격납된 웨이퍼(W) 표면보다 각각 33 ㎛ 하방, 66 ㎛ 하방, 99 ㎛ 하방을 통과하는, 즉 후퇴할 때에 웨이퍼(W)를 스치도록, 포크(48)의 높이를 설정하였다. 평가 시험 1-1∼1-4의 어떠한 것에 있어서도, 포크(48)의 전진시에는 상기 웨이퍼(W)와의 접촉이 일어나지 않도록, 포크(48)의 높이를 설정하였다.
도 30은 평가 시험 1-1∼1-4에서 얻어진 결과를 도시한 그래프이다. 그래프의 횡축은, 각 평가 시험을 개시하고 나서 경과한 시간(단위: 초)을 나타내고 있다. 종축은, 상기 출력 전압(단위: V)을 나타내고 있다. 그래프에서는, 각 평가 시험에 있어서 5회분의 포크(48)의 상기 진입, 하강 및 후퇴의 반복 동작 중의 전압 변화를 나타내고 있고, 이 표시된 범위에 있어서 첫회의 포크(48)의 전진이 개시된 타이밍을 IN으로서 기재하고 있다. 평가 시험 1-1에서는, 작은 주파수의 변동이 일어난 후, 잠시 후에 또한 동일한 주파수의 변동이 일어나고, 이들 주파수의 변동이 반복되고 있다. 이들 주파수의 변동은, 각각 포크(48)의 진입, 후퇴에 있어서의 반송 로봇(44)의 동작음에 의한 것이다. 이 그래프로부터, 실시형태에서 설명한 전반측 최대 진폭 및 후반측 최대 진폭이, 대략 일치하고 있는 것을 알 수 있다.
또한, 각 평가 시험 1-2∼1-4에서는 작은 주파수의 변동이 일어난 후, 그것보다 큰 주파수의 변동이 일어나고, 이들 변동이 반복되고 있다. 작은 주파수의 변동은 반송 로봇(44)의 동작음에 의한 것이고, 큰 주파수의 변동은, 포크(48)의 하강에 의한 웨이퍼(W)와 핀(49)과의 충돌 및 그 후의 웨이퍼(W)를 스치는 것에 의한 것이다. 즉, 전반측 최대 진폭에 비해 후반측 최대 진폭이 크다. 따라서 이 평가 시험 1로부터, 상기한 실시형태에서 나타낸 바와 같이 전반측 최대 진폭 및 후반측 최대 진폭에 기초하여, 포크(48)와 웨이퍼(W)와의 스침의 유무를 판정할 수 있는 것을 알 수 있다.
평가 시험 2
포크(48)의 진퇴에 의한 용기 본체(5)에의 웨이퍼(W)의 격납 동작을 행하고, 그 동안에 진동 센서(11)로부터 출력되는 전압을 측정하였다. 이 평가 시험 2에서는 포크(48)에 핀(49)을 설치하고 있지 않다. 이 격납 동작이 행해지고 있을 때에, 웨이퍼(W)의 스침이 일어나도록 포크(48)의 높이가 설정되어 있다.
도 31은 이 평가 시험 2의 결과를 도시한 그래프이며, 그래프의 횡축, 종축은 평가 시험 1의 도 30과 마찬가지로 시간, 출력 전압을 각각 나타내고 있다. 단, 상기 도 30의 그래프의 종축에는 0.1 V마다 눈금을 붙이고 눈금선을 그래프 중에 나타내며, 상기 눈금선 사이에는 보조 눈금선을 20 ㎷마다 나타내었다. 그에 비해, 이 평가 시험 2에 있어서의 도 31의 그래프의 종축에는 5 ㎷마다 눈금을 붙이고 눈금선을 그래프 중에 나타내며, 상기 눈금선 사이에 보조 눈금선을 1 ㎷마다 나타내고 있다. 이 평가 시험 2에서는, 측정 개시로부터 측정 종료에 이를 때까지 큰 폭으로 출력 전압이 변동하고 있다. 이것은 측정 중에 있어서, 도포, 현상 장치(1) 내외의 노이즈를 검출해 버려, 검출된 웨이퍼(W)와 포크(48)가 접촉했을 때의 진동 성분이, 이 노이즈 성분 중에 파묻혀 버리고 있는 결과가 된 것으로 생각된다. 이 평가 시험 2의 결과로부터, 웨이퍼(W)와 포크(48)가 접촉했을 때의 진동을, 이러한 다른 요인에 의한 진동과 구별하여, 스침의 오검출을 방지하기 위해서, 상기한 바와 같이 핀(49)이나 요철부(81)를 형성하는 것이 유효하다고 생각된다. 또한, 상기한 바와 같이 전반측 최대 진폭과 후반측 최대 진폭을 비교한 후, 또한 주파수 스펙트럼에 기초하여 스침의 판정을 행하는 것이, 상기 스침의 오검출을 방지하기 위해서 유효한 것을 알 수 있다.
평가 시험 3-1
도포, 현상 장치(1)의 주위의 노이즈가 큰 경우에는, 포크(48)에 소리 증폭부(돌기)를 갖고 있는 경우라도, 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 접촉음이 노이즈 성분에 파묻혀 버리는 경우가 있다. 그래서, 상기한 평가 시험 1-3에서 취득된 전압 데이터에 대해, 소정의 구간(R1, R2)을 설정하고, 실시형태에서 설명한 각 구간(R1, R2)에 있어서의 전반측 주파수 스펙트럼, 후반측 주파수 스펙트럼을 각각 구하였다. 도 32는 이들 전반측 스펙트럼, 후반측 스펙트럼을 각각 나타내고 있다. 이들 주파수 스펙트럼을 비교하면, 500 ㎐∼10000 ㎐에 있어서의 진폭이 특히 변화하고 있는 것을 알 수 있다.
즉, 주위의 노이즈 성분이 커서, 검출한 진동음에 포크(48)와 웨이퍼(W)와의 접촉음(간섭음)이 파묻혀 버리는 경우라도, 주파수 스펙트럼을 산출하여, 특정한 파장(이 경우 500 ㎐∼10000 ㎐의 파장)의 스펙트럼 강도를 이용함으로써 웨이퍼(W)의 스침의 유무를 판정할 수 있다. 한편, 이 경우 10000 ㎐를 초과하는 진폭에 대해, 전반측 주파수 스펙트럼과 후반측 주파수 스펙트럼 사이에서, 그 차이가 작았던 것은, 10000 ㎐의 파장이, 주로 주위의 구조물의 구동음 등의 고주파 성분에 의한 것이 많고, 웨이퍼(W)와 포크(48)와의 접촉에 기초한 성분에 의한 것이 작기 때문이라고 생각된다.
평가 시험 3-2
상기한 평가 시험 1-1, 1-3, 1-4에서 취득된 전압 데이터로부터, 실시형태에서 설명한 전반측 PSD, 후반측 PSD를 각각 산출하였다. 이들 PSD는, 실시형태와 마찬가지로 500 ㎐∼10000 ㎐의 주파수에 대해 산출하고 있다. 또한, 후반측 PSD-전반측 PSD를 연산하였다. 도 33의 그래프는 평가 시험 1-1, 1-3, 1-4의 전반측 PSD 및 후반측 PSD를 나타내고, 도 34의 그래프는, 이들 각 평가 시험의 후반측 PSD-전반측 PSD를 나타내고 있다. 도 34의 그래프로부터 평가 시험 1-3, 1-4에 있어서의 후반측 PSD-전반측 PSD는, 평가 시험 1-1에 있어서의 후반측 PSD-전반측 PSD보다 큰 값을 나타내고 있는 것을 알 수 있다. 이들 평가 시험 3-1, 3-2의 결과로부터, 주파수 스펙트럼을 이용하여, 스침의 유무의 판정을 행할 수 있는 것을 알 수 있다.
E1: 캐리어 블록 C: 캐리어
W: 웨이퍼 1: 도포, 현상 장치
11: 진동 센서 2: 제어부
3: 로드 포트 38: 지지핀
44: 반송 로봇 48: 포크
49: 핀 5: 용기 본체
81: 요철부

Claims (10)

  1. 복수의 기판을 선반형으로 유지하기 위한 기판 유지구가 배치되는 배치부와,
    상기 기판의 하면을 지지하는 지지체, 및 상기 지지체를 진퇴시키는 진퇴 기구를 구비하고, 상기 배치부에 배치된 기판 유지구에 대해 기판의 전달을 행하기 위한 기판 반송 기구와,
    상기 지지체를 상기 기판 유지구에 대해 상대적으로 승강시키는 승강 기구와,
    상기 기판 유지구에 유지된 기판과 상기 지지체와의 접촉에 의해 발생하는 접촉음을 증폭시키기 위한 소리 증폭부와,
    상기 기판 유지구를 전파하는 고체 전파음을 감지하여 감지 신호를 출력하는 진동 센서로부터의 상기 감지 신호에 기초하여, 상기 기판과 상기 지지체와의 스침을 검출하기 위한 검출부
    를 구비하고,
    상기 소리 증폭부는 기판과 지지체 사이의 공기층에 의한 상기 접촉음의 저하를 방지하기 위한 돌기부에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  2. 복수의 기판을 선반형으로 유지하기 위한 기판 유지구가 배치되는 배치부와,
    상기 기판의 하면을 지지하는 지지체, 및 상기 지지체를 진퇴시키는 진퇴 기구를 구비하고, 상기 배치부에 배치된 기판 유지구에 대해 기판의 전달을 행하기 위한 기판 반송 기구와,
    상기 지지체를 상기 기판 유지구에 대해 상대적으로 승강시키는 승강 기구와,
    상기 기판 유지구에 유지된 기판과 상기 지지체와의 접촉에 의해 발생하는 접촉음을 증폭시키기 위한 소리 증폭부와,
    상기 기판 유지구를 전파하는 고체 전파음을 감지하여 감지 신호를 출력하는 진동 센서로부터의 상기 감지 신호에 기초하여, 상기 기판과 상기 지지체와의 스침을 검출하기 위한 검출부
    를 구비하고,
    상기 소리 증폭부는 기판의 단부와의 접촉에 의한 접촉음을 증폭시키기 위한 요철부에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 소리 증폭부는 상기 지지체에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 검출부는, 상기 진동 센서로부터의 감지 신호에 기초하여 얻어지는 주파수 스펙트럼에 기초하여, 상기 기판과 상기 지지체와의 스침을 검출하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 진동 센서를 상기 배치부에 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판 유지구와 기판 반송 기구 사이에서 기판을 전달하기 위한 반송구가 형성된 격벽이 설치되고,
    상기 격벽에 상기 진동 센서를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 진동 센서를 상기 배치부에 배치된 기판 유지구를 향해 압박하는 압박부가 상기 격벽에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  8. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 기판 반송 장치는 상기 배치부를 복수개 구비하고, 복수의 상기 배치부에 각각 대응하는 복수의 상기 진동 센서를 가지며,
    상기 검출부는, 복수의 상기 배치부에 각각 대응하는 복수의 상기 진동 센서 중, 기판 반송 중의 상기 배치부에 대응하는 상기 진동 센서와, 기판 반송 중이 아닌 적어도 하나의 상기 배치부에 대응하는 상기 진동 센서로부터, 상기 감지 신호가 동시에 출력된 경우, 상기 기판과 상기 지지체와의 스침이 아니라고 판정하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  9. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 검출부에 의해 상기 기판과 지지체와의 스침이 검출되었을 때에, 상기 검출부는 이후에 기판 유지구에 대해 기판의 전달을 행할 때의 상기 지지체의 높이가 보정되도록, 상기 승강 기구의 동작을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판 반송 장치.
  10. 삭제
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