KR102076825B1 - Rf 플라즈마를 이용한 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법 및 이에 따라 제조된 구형 초내열합금 금속간화합물 분말 - Google Patents

Rf 플라즈마를 이용한 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법 및 이에 따라 제조된 구형 초내열합금 금속간화합물 분말 Download PDF

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Abstract

본 발명은 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 아크 용융법(arc-melting)을 통하여 제조된 초내열합금의 금속간화합물을 분쇄하여 초내열합금의 금속간화합물 분말을 만든 후, 이를 RF 플라즈마 처리하여 구형 코어(core) 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하고, 제조된 구형 코어 초내열합금의 금속간화합물 분말에 산화몰리브덴(MoO3)을 코팅하고 이를 환원하여 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 표면에 몰리브덴(Mo) 나노 입자를 형성하며, 이를 2차 RF 플라즈마 처리하는 두 번의 RF 플라즈마 처리 과정을 통해 코어(core)에는 초내열합금의 금속간화합물을 포함하고, 쉘(shell)에는 몰리브덴(Mo)을 포함하여 이루어지는 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조한다.

Description

RF 플라즈마를 이용한 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법 및 이에 따라 제조된 구형 초내열합금 금속간화합물 분말{FABRICATION OF SPHERICAL POWDERS FOR HIGH HEAT RESISTANCE INTERMETALLIC ALLOY USING THE RF PLASMA}
본 발명은 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법에 관한 것으로, 더 상세하게는 RF 플라즈마 처리를 이용하여 초내열합금의 금속간화합물 분말을 구형화하는 RF 플라즈마를 이용한 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법 및 이에 따라 제조된 구형 초내열합금 금속간화합물 분말에 관한 것이다.
일반적으로 3차원(3D) 프링팅 기술은 특수한 소재의 잉크를 이용하여 층층이 쌓아올리면서 3차원 입체 형상을 제조하는 기술로, 다양한 분야에서 사용이 확산되어 널리 활용되고 있다. 3D프린터 분야에서 3차원 입체 형상을 프린팅하는데 중요한 요소인 잉크의 흐름성을 향상시키기 위하여 잉크를 구성하는 소재 분말를 구형 형상으로 제조하는 것이 요구되어 3D 프린트용 구형 분말을 제조하기 위하여 다양하게 시도되고 있으며, 한국등록특허 제10-1421244호에서는 구형 티타늄(Ti) 분말의 제조 방법에 대해 제시되었다.
그러나 아직까지 1000℃ 이상의 고온에서도 충분한 내산화성 및 고온강도를 나타내어 사용이 가능한 초내열합금의 금속간화합물에 대해 구형 분말을 제조하는 기술은 제시된 바 없으며, 최근 3D 프린팅 기술을 이용하여 초내열합금의 터빈 블레이드 제조 또한 요구되고 있는 실정이므로 초내열합금 금속간화합물의 구형화 기술 개발을 필요로 하고 있다.
한국등록특허 제10-1421244호
따라서 본 발명의 목적은 아크 용융법(arc-melting)을 통하여 제조된 초내열합금의 금속간화합물을 분쇄하여 초내열합금의 금속간화합물 분말을 만든 후, 이를 RF 플라즈마 처리하여 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하고, 제조된 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말에 산화몰리브덴(MoO3)을 코팅하고 이를 환원하여 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 표면에 몰리브덴(Mo) 나노 입자를 형성하며, 이를 2차 RF 플라즈마 처리하는 두 번의 RF 플라즈마 처리 과정을 통한 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금 금속간화합물 분말의 제조방법 및 이에 따라 제조된 코어-쉘 구형 초내열합금 금속간화합물 분말을 제공함에 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법은, 아크 용융법(arc-melting)을 통하여 초내열합금의 금속간화합물 잉곳을 제조하는 합금 잉곳 제조 단계, 상기 금속간화합물 잉곳을 분쇄하여 코어(core) 금속간화합물 분말을 제조하는 분쇄 단계, 상기 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 처리하여 구형 코어 금속간화합물 분말을 제조하는 1차 RF 플라즈마 단계, 상기 1차 RF 플라즈마 단계에서 제조된 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 산화몰리브덴(MoO3) 쉘을 형성하는 코팅 단계 및 상기 코팅 단계에서 산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말에서 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원시켜 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 몰리브덴(Mo) 나노입자를 형성하는 환원 단계, 및 상기 환원 단계를 거친 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 처리하여 몰리브덴(Mo) 쉘로 둘러싸인 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하는 2차 RF 플라즈마 단계를 포함할 수 있다.
상기 합금 잉곳 제조 단계는 몰리브덴(Mo), 규소(Si) 및 붕소(B)를 불활성 기체 분위기하에서 1400℃ 내지 1800℃ 온도로 가열하여 상기 초내열합금의 금속간화합물로 Mo5SiB2상(T2상) 및 Mo3Si상(A15상)을 형성하는 것으로서, Mo5SiB2상(T2상) 또는 Mo3Si상(A15상)이 단독으로 존재하는 잉곳을 제조하거나 Mo5SiB2상과 Mo3Si상이 적정비율로 혼재되어 있는 잉곳을 제조할 수 있다. 만약 Mo5SiB2상과 Mo3Si상이 혼재되어 있을 경우 Mo5SiB2상 및 Mo3Si상의 비율은 임의로 조정 가능하며, 예를 들어 Mo5SiB2상 : Mo3Si상이 0 : 10 내지 10 : 0의 비율로 혼재되어 있을 수 있다.
상기 분쇄 단계는, 상기 금속간화합물 잉곳을 불활성화 기체 분위기하에서 분쇄기로 분쇄할 수 있다.
상기 분쇄 단계에서 분쇄된 코어 금속간화합물 분말의 입자 크기는 1 내지 100㎛인 것이 바람직하다.
상기 1차 RF 플라즈마 단계는, 상기 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 반응 챔버에 불활성화 기체로 아르곤(Ar)가스와 함께 흘려주면서 3 내지 10kW의 플라즈마 전력을 인가하여 구형 코어 금속간화합물 분말을 제조할 수 있다.
상기 환원 단계는, 산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어금속간화합물 분말을 수소 분위기하에서 300℃ 내지 1200℃ 온도로 가열하여 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원시킬 수 있다.
상기 2차 RF 플라즈마 단계는, 상기 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 반응 챔버 내에 넣고 3 내지 10kW의 플라즈마 전력을 인가하여 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조할 수 있다.
상기 분쇄 단계 이후 상기 1차 RF 플라즈마 단계 이전에, 분쇄된 코어(core) 초내열합금 금속간화합물 분말을 분급하는 분급 단계를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말은 상기 제조방법으로 제조되는 것으로써, 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말로 코어(core)에는 초내열합금의 금속간화합물을 포함하고, 쉘(shell)에는 몰리브덴(Mo)을 포함할 수 있다.
상기 초내열합금의 금속간화합물은 Mo5SiB2상(T2상) 및 Mo3Si상(A15상)인 것으로, Mo5SiB2상(T2상) 또는 Mo3Si상(A15상)이 단독으로 존재하거나 Mo5SiB2상과 Mo3Si상이 적정비율로 혼재된 상일 수 있다. 만약 Mo5SiB2상과 Mo3Si상이 혼재되어 있을 경우 Mo5SiB2상 및 Mo3Si상의 비율은 임의로 조정 가능하며, 예를 들어 Mo5SiB2상 : Mo3Si상이 0 : 10 내지 10 : 0의 비율로 혼재되어 있을 수 있다.
본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법을 통해 RF플라즈마를 이용하여 초내열합금의 금속간화합물을 구형 분말 형태로 구현할 수 있었다.
또한, 본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법을 통해 코어(core)에는 초내열합금의 금속간화합물을 포함하고, 쉘(shell)에는 몰리브덴(Mo)을 포함하는 코어-쉘(core-shell) 형태의 복합분말인 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조함으로써, 차후 3D 프린트용 원료 소재로서 사용 가능한 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법의 개략적인 순서도이다.
도 2는 본 발명의 1차 RF 플라즈마 단계에서 인가되는 RF 플라즈마 전력에 따라 제조된 구형 코어 금속간화합물 분말을 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)으로 관찰한 사진이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따라 2차 RF 플라즈마 단계를 통해 제조된 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 단면을 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)으로 관찰한 사진이다.
이하, 본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조에 대하여 도면을 참조하여 보다 상세하게 설명한다. 이하 설명되는 것은 일례로서 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으므로, 여기에 설명하는 것에 한정되지 않는다.
본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법은 도 1에 도시된 바와 같이, 아크 용융(arc-melting) 단계(S11), 분쇄 단계(S12), 분급 단계(S13), 1차 RF 플라즈마 단계(S14), 분급 단계(S15), 산화몰리브덴(MoO3) 코팅 단계(S16), 환원 단계(S17), 및 2차 RF 플라즈마 단계(S18)를 포함한다.
아크 용융(arc-melting) 단계(S11)는 아크 용융법(arc-melting)을 통하여 초내열합금의 금속간화합물 잉곳을 제조하는 단계로서, 일정량 계량된 몰리브덴(Mo), 규소(Si) 및 붕소(B)를 불활성 기체 분위기하에서 1400℃ 내지 1800℃ 온도로 가열하여 상기 초내열합금의 금속간화합물로 Mo5SiB2상(T2상) 또는 Mo3Si상(A15상)이 단독으로 존재하는 잉곳을 제조하거나 Mo5SiB2상과 Mo3Si상이 적정비율로 혼재되어 있는 형태의 초내열합금의 금속간화합물 잉곳을 제조할 수 있다.
아크 용융(arc-melting) 단계(S11)에서 사용하는 불활성화 기체는 원료 분말의 산화를 방지하기 위한 것으로 아르곤, 헬륨 및 네온 중에서 선택되는 어느 하나 이상을 사용할 수 있으며, 바람직하게는 아르곤 기체를 사용할 수 있다.
분쇄 단계(S12)는 상기 S11 단계에서 제조된 금속간화합물 잉곳을 일정 크기범위 내의 입자 크기를 갖도록 분쇄하는 단계로서, 금속간화합물 잉곳을 불활성화 기체 분위기하에서 분쇄기로 분쇄하여 코어 금속간화합물 분말을 형성할 수 있다.
이때 사용되는 분쇄기의 종류는 특별히 한정되지 않으나, 구체적으로 조우 분쇄기(Jaw crusher), 원판 분쇄기(Disc mill), 회전 절단식 분쇄기(Rotary cutter mill), 절단식 분쇄기(Cutter mill), 조각 파쇄기 (Shred crusher) 및 초퍼(chopper)로 이루어진 분쇄 기기 군에서 선택되는 어느 하나를 포함할 수 있으며, 상술한 예에 한정되지는 않는다.
상기 분쇄 단계 후 얻어지는 코어 금속간화합물 분말의 입자 크기는 1 내지 100㎛일 수 있다.
그리고 이와 같은 분쇄 단계 이후에 최종 제조되는 금속간화합물 분말을 균일하게 하기 위해 분쇄 후 얻어지는 코어 금속간화합물 분말을 입자 크기별로 분급하는 분급 단계(S13)를 거친다.
1차 RF 플라즈마 단계(S14)는 RF 플라즈마 챔버 내에 불활성 기체의 압력이 50 내지 90kPa로 유지하도록 불활성화 기체로 아르곤(Ar)가스를 주입하면서 상기 분급 단계(S13)를 거쳐 얻은 일정 입자 크기를 갖는 코어 금속간화합물 분말을 500 내지 800g/h의 속도로 RF 플라즈마 반응 챔버 내에 넣고 3 내지 10 kW의 RF 플라즈마 전력을 인가하여 분말의 표면을 녹여서 구형화시키는 방법으로 구형 코어 금속간화합물 분말을 제조하는 단계이다.
도 2는 본 발명의 1차 RF 플라즈마 단계에서 인가되는 RF 플라즈마 전력에 따라 제조된 구형 코어 금속간화합물 분말을 주사전자현미경(SEM)으로 관찰한 사진으로, 도시된 바와 같이 6kW 미만의 RF 플라즈마 전력으로 3kW, 4kW 및 5kW를 인가한 경우 일부 입자가 구형화되지 못함을 관찰할 수 있었고 6kW, 7kW 및 8kW의 RF 플라즈마 전력을 인가하였을 경우 코어 금속간화합물 분말이 구형화 되었음을 관찰할 수 있는 바, 코어 금속간화합물 분말의 구형화를 위해 6kW 이상의 RF 플라즈마 전력을 인가하는 것이 바람직하다. 하지만 분말의 크기가 작을수록 RF 출력은 낮춰져서 구형화할 수 있으므로 분쇄 후 분말의 크기에 따라 완전히 구형화되는 RF의 출력은 다를 수 있으며, 필요에 따라 RF 플라즈마 전력을 조절할 수 있다.
코어 금속간화합물 분말의 구형화를 위해 6kW 이상의 RF 플라즈마 전력을 인가하는 것이 바람직하다.
분급 단계(S15)는 상기 1차 RF 플라즈마 단계(S14)를 거쳐 구형화된 구형 코어 금속간화합물 분말을 균일하게 하기 위해 다시 한 번 구형 코어 금속간화합물 분말 입자 크기별로 분급한다. 바람직하게는 Mo5SiB2상(T2 상), Mo3Si상(A15상) 및 Mo5SiB2상과 Mo3Si상이 혼합된 구형 코어 금속간화합물 분말 모두에서 25 내지 45㎛의 입자 크기를 갖는 구형 코어 금속간화합물 분말로 분급할 수 있다.
산화몰리브덴(MoO3) 코팅 단계(S16)는 상기 1차 RF 플라즈마 단계에서 제조된 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 산화몰리브덴(MoO3) 쉘을 형성하는 것으로서, 터뷸러 혼합(Tubular mixing)을 이용하여 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 산화몰리브덴(MoO3)을 코팅할 수 있다.
여기서 터블러 혼합을 수행할 경우 스테인리스(stainless steel)볼과 구형 코어 금속간화합물 분말 그리고 산화몰리브덴(MoO3) 분말을 넣고 1 내지 3시간 동안 혼합하여 코팅과정을 수행할 수 있으며, 이때 혼합되는 스테인리스볼 대 금속간화합물 분말과 산화몰리브덴(MoO3) 분말의 총 합계량의 혼합비율은 예를 들어 1: 2 또는 1:3의 부피비로 혼합하는 것이 바람직하지만, 이에 한정되지 않고 필요에 따라서 당업자가 조절할 수 있다.
환원 단계(S17)는 상기 산화몰리브덴(MoO3) 코팅 단계(S16)에서 산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말에서 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원시켜 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 몰리브덴(Mo) 나노입자를 형성한다.
구체적으로 환원 단계는 산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 수소 분위기하에서 300℃ 내지 1200℃ 온도로 가열하여 하기 반응식 1과 반응식 2와 같이 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원한다.
[반응식1]
MoO3(s) + H2(g) → MoO2(s) + H2O(g)
MoO3(s) + 2H2O(g) → MoO3(OH)2(g) + H2(g)
MoO3(OH)2(g) + 2H2(g) → MoO2(s) + 3H2O(g)
[반응식2]
MoO2(s) + 2H2(g) → Mo(s) + 2H2O(g)
그 다음 2차 RF 플라즈마 단계(S18)는 상기 환원 단계(S17)를 거친 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 처리하여 몰리브덴(Mo) 쉘로 둘러싸인 최종 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하는 단계이다.
2차 RF 플라즈마 단계는 앞서 1차 RF 플라즈마 단계(S14)와 동일한 방법으로 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 반응 챔버 내에 넣고 3 내지 10kW의 플라즈마 전력을 인가하여 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하며, 이렇게 제조된 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말은 도 3에 나타낸 바와 같다.
도 3은 본 발명에 일 실시예에 따라 2차 RF 플라즈마 단계를 통해 제조된 구형 초내열합금 금속간화합물 분말의 단면을 주사전자현미경(Scanning Electron Microscope, SEM)으로 관찰한 사진이다.
도 3에 도시된 바와 같이 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말로 코어(core)에는 초내열합금의 금속간화합물을 포함하고, 쉘(shell)에는 몰리브덴(Mo)을 포함한다. 이렇게 형성된 쉘(shell)의 두께는 1 내지 10㎛ 정도의 두께가 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않고 산화몰리브덴(MoO3)의 양을 조절하면서 필요에 따라 두께를 조절할 수 있다.
본 발명의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말의 제조방법은 두 번의 RF 플라즈마 처리 과정을 통해 코어(core)에는 초내열합금의 금속간화합물을 포함하고, 쉘(shell)에는 몰리브덴(Mo)을 포함하는 코어-쉘(core-shell) 형태의 복합분말로 구성되고 95% 이상의 구상화율을 갖는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조할 수 있다.

Claims (11)

  1. 아크 용융법(arc-melting)을 통하여 초내열합금의 금속간화합물 잉곳을 제조하는 합금 잉곳 제조 단계;
    상기 금속간화합물 잉곳을 분쇄하여 코어(core) 금속간화합물 분말을 제조하는 분쇄 단계;
    코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 반응 챔버에 불활성 기체와 함께 흘려주면서 3 내지 10kW의 플라즈마 전력을 인가하는 RF 플라즈마 처리를 통해 구형 코어 금속간화합물 분말을 제조하는 1차 RF 플라즈마 단계;
    상기 1차 RF 플라즈마 단계에서 제조된 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 산화몰리브덴(MoO3) 쉘을 형성하는 코팅 단계;
    상기 코팅 단계를 통해 산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어금속간화합물 분말에서 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원시켜 구형 코어 금속간화합물 분말 표면에 몰리브덴(Mo) 나노입자를 형성하는 환원 단계; 및
    상기 환원 단계를 거친 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 처리하여 몰리브덴(Mo) 쉘로 둘러싸인 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하는 2차 RF 플라즈마 단계;를 포함하며,
    상기 합금 잉곳 제조 단계는,
    몰리브덴(Mo), 규소(Si) 및 붕소(B)를 불활성 기체 분위기하에서 가열하여 상기 초내열합금의 금속간화합물로 Mo5SiB2상 및 Mo3Si상을 형성하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 초내열합금의 금속간화합물은상기 Mo5SiB2상 및 상기 Mo3Si상이 단독 또는 둘이상 혼합된 상인 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 합금 잉곳 제조 단계는,
    1400℃ 내지 1800℃ 온도로 가열하여 초내열합금 금속간화합물을 형성하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 분쇄 단계는,
    상기 금속간화합물 잉곳을 불활성화 기체 분위기하에서 분쇄기로 분쇄하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 분쇄 단계에서 분쇄된 코어 금속간화합물 분말의 입도는 1 내지 100㎛인 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
  6. 삭제
  7. 제1항에 있어서,
    상기 환원 단계는,
    산화몰리브덴(MoO3) 쉘이 표면에 형성된 구형 코어금속간화합물 분말을 수소 분위기하에서 300℃ 내지 1200℃ 온도로 가열하여 산화몰리브덴(MoO3)을 몰리브덴(Mo)으로 환원시키는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 2차 RF 플라즈마 단계는,
    상기 몰리브덴(Mo) 나노입자가 표면에 형성된 구형 코어 금속간화합물 분말을 RF 플라즈마 반응 챔버 내에 넣고 3 내지 10kW의 플라즈마 전력을 인가하여 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말을 제조하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 분쇄 단계 이후 상기 1차 RF 플라즈마 단계 이전에, 분쇄된 코어(core) 초내열합금 금속간화합물 분말을 분급하는 분급 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말 제조방법.
  10. 제1항, 제2항, 제3항, 제4항, 제5항, 제7항, 제8항, 및 제9항 중 어느 한 항의 제조방법으로 제조되는 코어-쉘(core-shell) 형태의 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말로 코어(core)에는 Mo5SiB2상 및 Mo3Si상인 초내열합금의 금속간화합물을 포함하고, 쉘(shell)에는 몰리브덴(Mo)을 포함하는 것을 특징으로 하는 구형 초내열합금의 금속간화합물 분말.
  11. 삭제
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