KR102058696B1 - Light illuminating apparatus - Google Patents

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KR102058696B1 KR1020190104301A KR20190104301A KR102058696B1 KR 102058696 B1 KR102058696 B1 KR 102058696B1 KR 1020190104301 A KR1020190104301 A KR 1020190104301A KR 20190104301 A KR20190104301 A KR 20190104301A KR 102058696 B1 KR102058696 B1 KR 102058696B1
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야스오 코쿠레
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호야 칸데오 옵트로닉스 가부시키가이샤
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Abstract

[과제] 광 조사 장치 전체를 케이스로 덮는 구성을 취하면서도, 내부에 결로의 발생을 억제하거나, 또는 방지할 수 있는 광 조사 장치를 제공한다.
[해결 수단] 광 조사 장치가 기판과 기판의 표면에 실장된 발광 소자를 갖고 조사 대상물에 광을 출사하는 광원 모듈과, 내부에 냉매가 흐르는 유로가 형성되고, 기판의 이면에 맞닿도록 설치된 히트싱크와, 히트싱크의 유로에 접속되고 냉매가 흐르는 응축기와, 외부의 공기를 받아들이는 흡기구를 갖고, 이 흡기구로부터 받아들인 공기를 응축기에서 냉각하고 이 공기 내에 포함되는 수분을 제거하여, 드라이 에어를 생성하는 드라이 에어 생성기와, 드라이 에어 생성기에 접속되어 드라이 에어가 공급되는 에어 공급구와, 이 에어 공급구로부터 공급된 드라이 에어가 배출되는 에어 배출구를 갖고, 광원 모듈과 상기 히트싱크를 수용하는 케이스를 구비한다. [PROBLEMS] To provide a light irradiation apparatus capable of suppressing or preventing the occurrence of condensation therein while taking the configuration of covering the entire light irradiation apparatus with a case.
[Solution] A heat sink in which a light irradiation apparatus has a substrate and a light emitting element mounted on a surface of the substrate, the light source module emitting light to an irradiation object, and a flow path through which a refrigerant flows is formed, and is in contact with the rear surface of the substrate. And a condenser connected to the flow path of the heat sink and a refrigerant flowing therein, and an intake port for receiving external air, and cooling the air received from the intake port in the condenser to remove moisture contained in the air, thereby generating dry air. A dry air generator, an air supply port connected to the dry air generator, to which dry air is supplied, and an air discharge port to discharge dry air supplied from the air supply port, and a case accommodating the light source module and the heat sink. do.

Figure 112019087328305-pat00003
Figure 112019087328305-pat00003

Description

광 조사 장치{LIGHT ILLUMINATING APPARATUS}Light irradiation apparatus {LIGHT ILLUMINATING APPARATUS}

본 발명은 조사 대상물에 광을 조사하는 광 조사 장치에 관한 것으로, 특히 케이스 내에 광원 모듈과, 이 광원 모듈을 냉각하는 히트싱크를 구비한 광 조사 장치에 관한 것이다. The present invention relates to a light irradiation apparatus for irradiating light to an object to be irradiated, and more particularly, to a light irradiation apparatus having a light source module in a case and a heat sink for cooling the light source module.

종래, 옵셋 낱장 인쇄용의 잉크로서 자외광의 조사에 의해 경화되는 자외선 경화형 잉크가 사용되고 있다. 또한 액정 패널이나 유기 EL(Electro Luminescence) 패널 등, FPD(Flat Panel Display)의 씨일제로서 자외선 경화 수지가 사용되고 있다. 이러한 자외선 경화형 잉크나 자외선 경화 수지의 경화에는, 일반적으로, 자외광을 조사하는 자외광 조사 장치가 사용되지만, 특히 옵셋 낱장 인쇄나 FPD의 용도에서는, 폭이 넓은 직사각형 형상의 조사 영역에 높은 조사 강도의 자외광을 조사할 필요가 있기 때문에, 다수의 발광 소자를 기판 위에 나열하고, 조사 영역에 대향하여 배치한 광 조사 장치가 사용된다. DESCRIPTION OF RELATED ART Conventionally, the ultraviolet curable ink hardened | cured by irradiation of an ultraviolet light is used as ink for offset sheet printing. Moreover, ultraviolet curing resin is used as a sealing compound of FPD (Flat Panel Display), such as a liquid crystal panel and an organic electroluminescent (EL) panel. Ultraviolet light irradiation apparatus which irradiates ultraviolet light is generally used for hardening of such an ultraviolet curable ink and an ultraviolet curable resin, but especially in the case of offset sheet printing and the use of FPD, high irradiation intensity to a wide rectangular irradiation area | region Since it is necessary to irradiate the ultraviolet light of, a light irradiation apparatus in which a plurality of light emitting elements are arranged on a substrate and disposed to face the irradiation area is used.

이러한 다수의 발광 소자를 사용하는 광 조사 장치에서는, 발광 소자의 발열에 의해 온도가 상승하여, 발광 소자의 발광 효율이 현저하게 저하된다고 하는 문제가 발생한다. 이 때문에, 기판에 밀착하도록 히트싱크나 수냉 재킷 등의 방열 수단을 설치하고, 방열 수단의 내부에 형성된 유로에 냉각수 등의 냉매를 흘림으로써, 발광 소자에서 발생하는 열을 강제적으로 방열하는 구성이 채용되고 있다(예를 들면, 특허문헌 1). In the light irradiation apparatus using many such light emitting elements, the temperature rises by the heat_generation | fever of a light emitting element, and the problem that the luminous efficiency of a light emitting element falls remarkably arises. Therefore, a heat dissipation means such as a heat sink or a water cooling jacket is provided so as to be in close contact with the substrate, and a coolant such as cooling water flows through a flow path formed inside the heat dissipation means, thereby forcibly dissipating heat generated by the light emitting element. (For example, patent document 1).

일본 특개 2013-208792호 공보Japanese Patent Application Laid-Open No. 2013-208792

(발명의 개요)(Summary of invention)

(발명이 해결하고자 하는 과제)(Tasks to be solved)

특허문헌 1의 광 조사 장치(자외선 조사 장치)에 의하면, 방열 수단(수냉 재킷)이 발광 소자(광원 칩)의 열을 기판으로부터 흡수하여 방열하기 때문에, 발광 소자를 효율적으로 냉각하는 것이 가능하게 된다. 그러나, 특허문헌 1의 구성과 같이, 광 조사 장치 전체가 하나의 케이스 내에 수용된 구성으로 되어 있는 경우, 고습의 환경하에서 사용하면, 고습의 공기가 케이스 내에도 침입하여 케이스 내의 습도도 높아지기 때문에, 냉각된 방열 수단 및 그 주변부에 결로가 생긴다고 하는 문제가 있다. 또한 고습의 환경하에 없는 경우이어도, 발광 소자를 점등하지 않은 상태에서 방열 수단의 냉각이 행해지면, 방열 수단 및 그 주변부에 결로가 생긴다고 하는 문제가 있다. According to the light irradiation apparatus (ultraviolet ray irradiation apparatus) of patent document 1, since a heat radiating means (water cooling jacket) absorbs the heat of a light emitting element (light source chip) from a board | substrate, and heat radiates, it becomes possible to cool a light emitting element efficiently. . However, when the whole light irradiation apparatus is comprised in one case like the structure of patent document 1, when using in a high humidity environment, since high humidity air will penetrate into a case and humidity in a case will also become high, it will cool. There exists a problem that dew condensation generate | occur | produces in the said heat radiating means and its peripheral part. Moreover, even if it is not in a high humidity environment, if cooling of the heat radiating means is performed without lighting a light emitting element, there exists a problem that dew condensation will generate | occur | produce in a heat radiating means and its peripheral part.

이와 같이, 광 조사 장치의 케이스 내에서 결로가 발생하면, 최악의 경우, 물방울에 의해 발광 소자가 쇼트되어 버린다고 하는 문제가 있다. 또한 케이스 내에서 결로가 발생하여, 케이스 내가 고습의 상태가 되면, 기판 상의 회로 패턴을 구성하는 금속(예를 들면, 구리)으로의 수분의 흡수가 빨라져, 이온 마이그레이션의 발생이 가속되고, 이것에 의해 회로 패턴 사이(즉, 발광 소자의 애노드와 캐소드 사이)가 쇼트되기 쉬워진다고 하는 문제도 염려된다. As described above, when condensation occurs in the case of the light irradiation apparatus, in the worst case, there is a problem that the light emitting element is shorted by water droplets. In addition, when condensation occurs in the case and the inside of the case is in a high humidity state, absorption of moisture into the metal (for example, copper) constituting the circuit pattern on the substrate is accelerated, and the occurrence of ion migration is accelerated. There is also a concern that the circuit pattern (i.e., between the anode and the cathode of the light emitting element) is easily shorted.

본 발명은 이러한 사정을 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 광 조사 장치 전체를 케이스로 덮는 구성을 채용하면서도, 내부에서 결로의 발생을 억제하거나, 또는 방지할 수 있는 광 조사 장치를 제공하는 것이다.This invention is made | formed in view of such a situation, Comprising: The objective is providing the light irradiation apparatus which can suppress generation | occurrence | production of the dew condensation in the inside, while employ | adopting the structure which covers the whole light irradiation apparatus with a case. It is.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 광 조사 장치는 기판과 기판의 표면에 실장된 발광 소자를 갖고, 조사 대상물에 광을 출사하는 광원 모듈과, 내부에 냉매가 흐르는 유로가 형성되고, 기판의 이면에 맞닿도록 설치된 히트싱크와, 히트싱크의 유로에 접속되고 냉매가 흐르는 응축기와, 외부의 공기를 받아들이는 흡기구를 갖고, 이 흡기구로부터 받아들인 공기를 응축기에서 냉각하여 이 공기 내에 포함되는 수분을 제거하고, 드라이 에어를 생성하는 드라이 에어 생성기와, 상기 광원 모듈과 상기 히트싱크를 수용하는 수용부와, 상기 드라이 에어 생성기에 접속된 상기 수용부에 상기 드라이 에어를 공급하는 에어 공급구와, 상기 수용부에 공급된 상기 드라이 에어가 배출되는 에어 배출구를 갖는 케이스를 구비하고, 상기 드라이 에어는 상기 발광소자의 점등.비점등에 관계없이, 적어도 상기 냉매가 흐르는 때에 상기 수용부에 공급되는 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, the light irradiation apparatus of the present invention has a substrate and a light emitting element mounted on the surface of the substrate, a light source module for emitting light to the object to be irradiated, and a flow path through which a refrigerant flows is formed therein, A heat sink installed so as to be in contact with the rear surface, a condenser connected to the heat sink flow path and a refrigerant flow therein, and an air intake port for receiving external air, and the air received from the air intake port is cooled by a condenser to absorb moisture contained in the air. A dry air generator for removing and generating dry air, an accommodating portion accommodating the light source module and the heat sink, an air supply port for supplying the dry air to the accommodating portion connected to the dry air generator, and accommodating A case having an air outlet through which the dry air supplied to the unit is discharged, wherein the dry air Irrespective of the lighting or non-lighting of the optical element, at least the coolant is supplied to the housing when the coolant flows.

이러한 구성에 의하면, 히트싱크가 항상 드라이 에어로 덮어진 상태로 되기 때문에, 케이스 내부에서의 결로의 발생을 억제하거나, 방지할 수 있다. 따라서, 결로에 의한 물방울에 의해, 기판 상의 발광 소자가 쇼트되는 일도 없고, 또한 케이스 내부의 습도가 항상 낮은 상태에서 유지되기 때문에, 기판 상의 패턴의 이온 마이그레이션이 가속되지도 않는다. According to this structure, since the heat sink is always covered with dry air, it is possible to suppress or prevent the occurrence of condensation inside the case. Therefore, the water droplets due to condensation do not short-circuit the light emitting element on the substrate, and the humidity inside the case is always kept low, so that ion migration of the pattern on the substrate is not accelerated.

또한 냉매가 응축기로부터 히트싱크를 향하여 흐르도록 구성하는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 응축기의 온도를 히트싱크의 온도보다도 항상 낮게 유지할 수 있기 때문에, 히트싱크의 결로의 발생을 억제하거나, 또는 방지할 수 있다. It is also preferred that the refrigerant flows from the condenser toward the heat sink. According to such a structure, since the temperature of a condenser can be kept always lower than the temperature of a heat sink, generation | occurrence | production of the dew condensation of a heat sink can be suppressed or prevented.

또한 흡기구가 외부로부터 공급되는 압축 공기를 받아들이도록 구성하는 것이 바람직하다. It is also preferable that the intake port is configured to receive compressed air supplied from the outside.

또한 외부의 공기를 흡기구로부터 받아들임과 아울러, 드라이 에어를 에어 배출구로부터 배출하는 통기 수단을 더 구비할 수 있다. 또한 이 경우, 통기 수단이 에어펌프 또는 팬인 것이 바람직하다. In addition, it may further include a ventilation means for receiving the outside air from the inlet port, and discharge the dry air from the air outlet. Also in this case, it is preferable that the ventilation means is an air pump or a fan.

또한 드라이 에어 생성기는 케이스와 일체로 형성할 수 있다. In addition, the dry air generator may be integrally formed with the case.

또한 냉매가 물, 혹은 에틸렌글라이콜, 프로필렌글라이콜, 또는 그것들과 물과의 혼합물인 것이 바람직하다. It is also preferable that the refrigerant is water or ethylene glycol, propylene glycol, or a mixture of them with water.

또한 케이스는 에어 공급구가 형성된 제 1 면과, 에어 배출구가 형성된 제 2 면을 적어도 갖는 것이 바람직하다. 또한 이 경우, 제 1 면과 제 2 면이 광원 모듈 및 히트싱크를 사이에 끼고 대향하도록 배치되어 있는 것이 바람직하다. In addition, the case preferably has at least a first surface on which an air supply port is formed and a second surface on which an air discharge port is formed. In this case, the first and second surfaces are preferably arranged so as to face each other with the light source module and the heat sink interposed therebetween.

또한 광원 모듈을 복수 구비하고, 복수의 광원 모듈은 히트싱크 위에, 소정의 방향을 따라 적어도 일렬로 나열되어 배치되고, 히트싱크의 유로는 소정의 방향을 따라 형성되어 있는 것이 바람직하다. Furthermore, it is preferable that a plurality of light source modules are provided, and the plurality of light source modules are arranged on the heat sink at least in a line along a predetermined direction, and the flow path of the heat sink is formed along the predetermined direction.

또한 발광 소자는 자외선 경화 수지에 작용하는 파장의 광을 발하는 것이 바람직하다.Moreover, it is preferable that a light emitting element emits light of the wavelength which acts on an ultraviolet curable resin.

이상과 같이, 본 발명에 의하면, 광 조사 장치 전체를 케이스로 덮는 구성을 채용하면서도, 내부에서의 결로의 발생을 억제하거나, 또는 방지하는 광 조사 장치가 실현된다.As mentioned above, according to this invention, the light irradiation apparatus which suppresses or prevents generation | occurrence | production of the dew condensation inside is implement | achieved, employ | adopting the structure which covers the whole light irradiation apparatus with a case.

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 광 조사 장치의 정면도이다.
도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 광 조사 장치를 도 1의 A-A선으로 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 광 조사 장치의 내부 구성을 설명하는 모식도이다.
도 4는 본 발명의 실시형태에 따른 광 조사 장치에 탑재되는 광 조사 유닛의 확대 정면도이다.
도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 광 조사 장치의 내부 구성을 설명하는 모식도이다.1 is a front view of a light irradiation apparatus according to a first embodiment of the present invention.
It is sectional drawing which cut | disconnected the light irradiation apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention with the AA line of FIG.
It is a schematic diagram explaining the internal structure of the light irradiation apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention.
It is an enlarged front view of the light irradiation unit mounted in the light irradiation apparatus which concerns on embodiment of this invention.
It is a schematic diagram explaining the internal structure of the light irradiation apparatus which concerns on 2nd Embodiment of this invention.

(발명을 실시하기 위한 형태)(Form to carry out invention)

이하, 본 발명의 실시형태에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한, 도면 중 동일 또는 상당 부분에는 동일한 부호를 붙이고 그 설명은 반복하지 않는다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail with reference to drawings. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the same or equivalent part in drawing, and the description is not repeated.

(제 1 실시형태)(1st embodiment)

도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 광 조사 장치(1)의 정면도이다. 도 2는 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 광 조사 장치(1)를 도 1의 A-A선으로 절단한 단면도이다. 또한 도 3은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 광 조사 장치(1)의 내부 구성을 설명하는 모식도이다. 본 실시형태의 광 조사 장치(1)는 옵셋 낱장 인쇄용의 잉크로서 사용되는 자외선 경화형 잉크나, FPD(Flat Panel Display) 등에서 씨일제로서 사용되는 자외선 경화 수지를 경화시키는 광원 장치에 탑재되는 장치이며, 도시하지 않은 조사 대상물에 대향하여 배치되고, 조사 대상물의 소정의 에리어에 라인 형상의 자외광을 출사한다. 1 is a front view of a light irradiation apparatus 1 according to a first embodiment of the present invention. FIG. 2: is sectional drawing which cut | disconnected the light irradiation apparatus 1 which concerns on 1st Embodiment of this invention with the A-A line of FIG. 3 is a schematic diagram explaining an internal configuration of a light irradiation apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention. The light irradiation apparatus 1 of this embodiment is an apparatus mounted in the light source apparatus which hardens the ultraviolet curable ink used as ink for offset sheet printing, and the ultraviolet curable resin used as a sealing compound in FPD (Flat Panel Display), etc., It arrange | positions facing the irradiation object which is not shown in figure, and emits a line-shaped ultraviolet light to the predetermined area of an irradiation object.

도 1∼도 3에 도시하는 바와 같이, 광 조사 장치(1)는 라인 형상의 자외광을 출사하는 광 조사 유닛(100)과, 응축기(200)와, 광 조사 유닛(100) 및 응축기(200)를 수용하는 케이스(300)로 구성되어 있다. 이하, 본 명세서에서는, 광 조사 장치(1)로부터 출사되는 라인 형상의 자외광의 길이(선 길이) 방향을 X축 방향, 폭 방향(즉, 도 1의 상하 방향)을 Y축 방향, X축 및 Y축과 직교하는 방향을 Z축 방향으로 정의하여 설명한다. 1 to 3, the light irradiation apparatus 1 includes a light irradiation unit 100 that emits linear ultraviolet light, a condenser 200, a light irradiation unit 100, and a condenser 200. ) Is configured to include a case 300. Hereinafter, in this specification, the X-axis direction in the length (line length) direction of the line-shaped ultraviolet light emitted from the light irradiation apparatus 1, the X-axis direction in the width direction (that is, the up-down direction of FIG. 1), and the X-axis And a direction orthogonal to the Y axis will be described as the Z axis direction.

케이스(300)는, 도 2에 도시하는 바와 같이, 전면에 개구(310a)를 갖는 알루미늄제의 케이스 본체부(310)와, 개구(310a)에 끼워 넣어진 유리제의 창(窓)부(320)로 구성되어 있다. 또한 도 3에 도시하는 바와 같이, 케이스(300)의 내부에는, 케이스(300)의 내부에 X축 방향으로 2개로 칸막이 하는 칸막이판(330)이 설치되어 있고, 칸막이판(330)에 의해, 광 조사 유닛(100)을 수용하는 제 1 수용부(350)와, 응축기(200)를 수용하는 제 2 수용부(360)가 나뉘어 있다. 또한 칸막이판(335)에는, 제 1 수용부(350)와 제 2 수용부(360)를 연결시키는 관통구멍(335)이 설치되어 있고, 제 2 수용부(360)에서 생성된 드라이 에어가 관통구멍(335)을 통하여, 제 1 수용부(350)에 공급되도록 구성되어 있다(상세한 것은 후술). As shown in FIG. 2, the case 300 includes a case body part 310 made of aluminum having an opening 310a on its front surface, and a window portion 320 made of glass sandwiched between the opening 310a. It consists of). In addition, as shown in FIG. 3, inside the case 300, a partition plate 330 partitioning into two in the X-axis direction is provided inside the case 300, and by the partition plate 330, The first accommodating part 350 accommodating the light irradiation unit 100 and the second accommodating part 360 accommodating the condenser 200 are divided. In addition, the partition plate 335 is provided with a through hole 335 for connecting the first accommodating portion 350 and the second accommodating portion 360, and the dry air generated by the second accommodating portion 360 passes therethrough. It is comprised so that it may be supplied to the 1st accommodating part 350 through the hole 335 (it mentions later).

광 조사 유닛(100)은 도 1에 도시하는 32개의 광원 모듈(110)과, 도 4에 도시하는 바와 같이, 한 쌍의 단자대(131, 132)와, 히트싱크(150) 등을 구비하고 있다. 각 광원 모듈(110)은 직사각형 형상의 자외광을 출사하는 유닛이며, 본 실시형태에서는 히트싱크(150) 위에 16개(X축 방향)×2열(Y축 방향)의 태양으로 조밀하게 나열되어 배치되고, 광 조사 장치(1)로부터는 X축 방향에 평행한 라인 형상의 자외광이 출사되도록 구성되어 있다. The light irradiation unit 100 includes 32 light source modules 110 shown in FIG. 1, a pair of terminal blocks 131 and 132, a heat sink 150, and the like as shown in FIG. 4. . Each light source module 110 is a unit for emitting ultraviolet light having a rectangular shape. In this embodiment, the heat source module 110 is densely arranged on the heat sink 150 in the form of 16 (X-axis direction) × 2 rows (Y-axis direction). It is arrange | positioned and is comprised so that the ultraviolet-ray of line shape parallel to an X-axis direction may be emitted from the light irradiation apparatus 1.

도 4는 본 실시형태의 광 조사 유닛(100)의 구성을 설명하는 확대 정면도이며, 2개×2열의 광원 모듈(110)을 확대하여 나타내고 있다. 또한, 도 4에서는, 설명의 편의상, 케이스(300)를 생략하고 있다. 4 is an enlarged front view illustrating the configuration of the light irradiation unit 100 of the present embodiment, and shows two light source modules 110 in two rows in an enlarged manner. 4, the case 300 is abbreviate | omitted for convenience of description.

히트싱크(150)는 각 광원 모듈(110)을 고정함과 아울러, 각 광원 모듈(110)에서 발생한 열을 방열하기 위한 부재이며, 열전도율이 높은 구리 등의 금속에 의해 형성되어 있다. 도 2∼도 4에 도시하는 바와 같이, 히트싱크(150)는 X축 방향으로 뻗는 사각기둥 형상의 부재이며, 히트싱크(150)의 전면(150a)(도 4)은 광원 모듈(110)의 재치면으로 되어 있다. 또한 도 2에 도시하는 바와 같이, 히트싱크(150)의 상면 및 하면에는, 단자대(131 및 132)가 각각 복수의 고정 나사(도시하지 않음)에 의해 부착되어 있다. The heat sink 150 is a member for fixing each light source module 110 and dissipating heat generated by each light source module 110, and is formed of a metal such as copper having high thermal conductivity. As shown in FIGS. 2 to 4, the heat sink 150 is a rectangular columnar member extending in the X-axis direction, and the front surface 150a (FIG. 4) of the heat sink 150 is the light source module 110. It is made of wit. As shown in FIG. 2, terminal blocks 131 and 132 are attached to the upper and lower surfaces of the heat sink 150 by a plurality of fixing screws (not shown), respectively.

본 실시형태의 히트싱크(150)는 소위 수냉용 히트싱크이며, 도 2에 도시하는 바와 같이, 내부에 냉매가 흐르는 유로(160)가 형성되어 있다. 히트싱크(150)의 양단은, 도 3에 도시하는 바와 같이, X축 방향으로 원통 형상으로 뻗어 있고, 각각 제 1 단부(152) 및 제 2 단부(154)가 형성되어 있다. 제 1 단부(152)는 칸막이판(330)에 지지됨과 아울러, 후술하는 응축기(200)의 선단부(220)에 접속되어 있고, 응축기(200)로부터 냉매가 공급되도록 구성되어 있다. 또한 제 2 단부(154)는 케이스 본체부(310)의 측판(310c)을 관통하여 측판(310c)의 표면으로부터 돌출해 있고, 제 2 단부(154)로부터는 제 1 단부(152)에 공급된 냉매가 외부로 배출되도록 되어 있다. 또한, 냉매로서는 물, 혹은 에틸렌글라이콜, 프로필렌글라이콜, 또는 그것들과 물의 혼합물이 사용된다. The heat sink 150 of this embodiment is a so-called water cooling heat sink, and as shown in FIG. 2, the flow path 160 through which a refrigerant flows is formed. As shown in FIG. 3, both ends of the heat sink 150 extend in a cylindrical shape in the X-axis direction, and a first end 152 and a second end 154 are formed, respectively. The first end 152 is supported by the partition plate 330 and is connected to the front end portion 220 of the condenser 200, which will be described later, and is configured to supply refrigerant from the condenser 200. In addition, the second end 154 penetrates through the side plate 310c of the case main body 310 and protrudes from the surface of the side plate 310c, and is supplied from the second end 154 to the first end 152. The refrigerant is to be discharged to the outside. As the refrigerant, water or ethylene glycol, propylene glycol, or a mixture of them and water is used.

도 4에 도시하는 바와 같이, 단자대(131)는 애노드 단자(135a)와 캐소드 단자(135b)로 이루어지는 한 쌍의 전극 단자(135)를 X축 방향을 따라 복수 지지하는 수지제의 판 형상의 부재이다. 한 쌍의 전극 단자(135)(즉, 애노드 단자(135a)와 캐소드 단자(135b))는 각 광원 모듈(110)에 전력을 공급하기 위한 단자이며, 각 광원 모듈(110)의 전극판(125)에 접속된다. 본 실시형태에서는, 단자대(131)측(즉, 히트싱크(150)의 상면측)에 배치되는 16개의 광원 모듈(110)에 전력을 공급할 수 있도록, 16개의 애노드 단자(135a)와 16개의 캐소드 단자(135b)가 X축 방향을 따라 번갈아 설치되어 있다. As shown in FIG. 4, the terminal block 131 is a plate-shaped member made of resin that supports a plurality of pairs of electrode terminals 135 including the anode terminal 135a and the cathode terminal 135b along the X-axis direction. to be. The pair of electrode terminals 135 (that is, the anode terminal 135a and the cathode terminal 135b) are terminals for supplying power to each light source module 110, and the electrode plate 125 of each light source module 110 is provided. ) Is connected. In this embodiment, 16 anode terminals 135a and 16 cathodes are provided so that electric power can be supplied to the 16 light source modules 110 arranged on the terminal block 131 side (that is, the upper surface side of the heat sink 150). Terminals 135b are alternately provided along the X-axis direction.

단자대(132)는 단자대(131)와 마찬가지로, 애노드 단자(136a)와 캐소드 단자(136b)로 이루어지는 한 쌍의 전극 단자(136)를 X축 방향을 따라 복수 지지하는 수지제의 판 형상의 부재이다. 한 쌍의 전극 단자(136)(즉, 애노드 단자(136a)와 캐소드 단자(136b))는 각 광원 모듈(110)에 전력을 공급하기 위한 단자이며, 각 광원 모듈(110)의 전극판(125)에 접속된다. 본 실시형태에서는, 단자대(132)측(즉, 히트싱크(150)의 하면측)에 배치되는 16개의 광원 모듈(110)에 전력을 공급할 수 있고, 16개의 애노드 단자(136a)와 16개의 캐소드 단자(136b)가 X축 방향을 따라 번갈아 설치되어 있다. The terminal block 132 is a resin plate-like member that supports a plurality of pairs of electrode terminals 136 including the anode terminal 136a and the cathode terminal 136b along the X-axis direction, similar to the terminal block 131. . The pair of electrode terminals 136 (that is, the anode terminal 136a and the cathode terminal 136b) are terminals for supplying power to each light source module 110, and the electrode plate 125 of each light source module 110 is provided. ) Is connected. In this embodiment, power can be supplied to the sixteen light source modules 110 arranged on the terminal block 132 side (that is, the lower surface side of the heat sink 150), and the sixteen anode terminals 136a and the sixteen cathodes are provided. Terminals 136b are alternately provided along the X-axis direction.

도 4에 도시하는 바와 같이, 각 광원 모듈(110)은 열전도율이 높은 질화 알루미늄으로 형성된 직사각형 형상의 세라믹스 기판(115)과, 세라믹스 기판(115) 위에 정방 격자 형상으로 다이본딩되어 배치된 복수의 LED(Light Emitting Diode) 다이(120)와, 세라믹스 기판(115) 위에 형성된 애노드 패턴(도시하지 않음) 및 캐소드 패턴(도시하지 않음)에 각각 납땜 등(예를 들면, 도전성 접착제(은 페이스트), 납재, 용접·용착, 확산 접합 등)으로 전기적으로 접속된 직사각형 형상의 한 쌍의 전극판(125)을 구비하고 있다. As shown in FIG. 4, each light source module 110 includes a rectangular ceramic substrate 115 formed of aluminum nitride having high thermal conductivity, and a plurality of LEDs that are die-bonded and disposed in a square lattice shape on the ceramic substrate 115. (Light Emitting Diode) A solder or the like (for example, a conductive adhesive (silver paste) and a solder material) is applied to the die 120 and the anode pattern (not shown) and the cathode pattern (not shown) formed on the ceramic substrate 115, respectively. And a pair of rectangular electrode plates 125 electrically connected by welding, welding, diffusion bonding, or the like.

전극판(125)은 구리 또는 황동, 인청동, 베릴륨동 등의 구리 합금에 의해 형성된, 도전률이 높고, 유연성을 갖는 판 형상의 부재이다. 상기한 바와 같이, 전극판(125)의 선단부는 세라믹스 기판(115)의 표면의 1변의 단부 근방에서, 납땜 등에 의해 애노드 패턴 또는 캐소드 패턴으로 전기적으로 접속되어 있고, 기단부는 세라믹스 기판(115)의 외측으로 돌출하도록 끌어내져, 애노드 단자(135a 또는 136a) 또는 캐소드 단자(135b 또는 136b)와 전기적으로 접속되어 있다. The electrode plate 125 is a plate-shaped member having high conductivity and flexibility formed by copper alloys such as copper or brass, phosphor bronze, and beryllium copper. As described above, the distal end of the electrode plate 125 is electrically connected in the anode pattern or the cathode pattern by soldering or the like near the end of one side of the surface of the ceramic substrate 115, and the proximal end of the ceramic substrate 115 is formed. It is pulled out to protrude outward, and is electrically connected with the anode terminal 135a or 136a or the cathode terminal 135b or 136b.

각 광원 모듈(110)에는 X축 방향으로 20개, Y축 방향으로 11개의 LED 다이(120)(발광 소자)가 세라믹스 기판(115)의 표면과 직교하는 방향(즉, Z축 방향)으로 광축의 방향을 맞추고 세라믹스 기판(115)의 표면에 정방 격자 형상으로 나열되어 배치되어 있다. 각 LED 다이(120)의 애노드 단자(도시하지 않음) 및 캐소드 단자(도시하지 않음)는 도시하지 않은 본딩 와이어에 의해 각각 애노드 패턴 및 캐소드 패턴에 전기적으로 접속되어 있다. 그리고, 애노드 패턴에 접속된 전극판(125)에 구동 전류(즉, 애노드 전류)가 공급되면, 각 광원 모듈(110)에 탑재된 모든 LED 다이(120)에 구동 전류가 흘러, 각 LED 다이(120)로부터는 구동 전류에 따른 광량의 자외광이 출사된다. 또한, 본 실시형태의 각 LED 다이(120)는 대략 동일한 전기적 특성을 가지고 있고, 각 LED 다이(120)로부터는 대략 동일한 조사 강도 분포의 자외광이 출사되도록 구성되어 있다. 각 LED 다이(120)를 흐른 구동 전류는 캐소드 패턴을 통과하고, 캐소드 패턴에 접속된 전극판(125)으로부터는 리턴 전류(즉, 캐소드 전류)가 리턴된다. Each light source module 110 includes 20 LED dies 120 (light emitting elements) in the X-axis direction and 11 LED dies (the light emitting element) in the Y-axis direction in the direction orthogonal to the surface of the ceramic substrate 115 (that is, the Z-axis direction). Are arranged in a square lattice shape on the surface of the ceramic substrate 115. An anode terminal (not shown) and a cathode terminal (not shown) of each LED die 120 are electrically connected to the anode pattern and the cathode pattern, respectively, by a bonding wire (not shown). When a driving current (that is, an anode current) is supplied to the electrode plate 125 connected to the anode pattern, a driving current flows through all of the LED dies 120 mounted on each light source module 110, and each LED die ( The ultraviolet light of the amount of light according to the driving current is emitted from the 120. In addition, each LED die 120 of this embodiment has substantially the same electrical characteristic, and is comprised so that the ultraviolet light of the substantially identical irradiation intensity distribution may be emitted from each LED die 120. FIG. The drive current flowing through each LED die 120 passes through the cathode pattern, and a return current (ie, cathode current) is returned from the electrode plate 125 connected to the cathode pattern.

이와 같이, 각 광원 모듈(110)에 탑재된 모든 LED 다이(120)에 구동 전류가 흐르고, 각 LED 다이(120)로부터 자외광이 출사되면, LED 다이(120)의 자기발열에 의해 온도가 상승하여, 발광 효율이 현저하게 저하된다고 하는 문제가 발생한다. 이 때문에, 본 실시형태에서는, 각 광원 모듈(110)에 밀착하도록 히트싱크(150)를 설치하고, LED 다이(120)에서 발생하는 열을 강제적으로 방열하고 있다. As such, when a driving current flows through all the LED dies 120 mounted on each light source module 110, and ultraviolet light is emitted from each of the LED dies 120, the temperature is increased by self-heating of the LED dies 120. This causes a problem that the luminous efficiency is significantly lowered. For this reason, in this embodiment, the heat sink 150 is provided in close contact with each light source module 110, and the heat generated by the LED die 120 is forcibly radiated.

상기한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 도 3에 도시하는 바와 같이, 광 조사 유닛(100)을 케이스(300)에 의해 수용하는 구성을 채용하고 있는데, 광 조사 장치(1)를 고습의 환경하에서 사용한 경우에는, 고습의 공기가 케이스(300) 내에 침입하는 것을 막을 수 없어, 고습의 공기가 제 1 수용부(350)에 침입하여, 냉각된 히트싱크(150) 및 그 주변부에 접촉하면, 결로가 발생해 버린다고 하는 문제가 있다. 또한 고습의 환경하에 없는 경우에도, LED 다이(120)가 점등하지 않는 상태에서 히트싱크(150)에 냉매가 흘려지면, 히트싱크(150) 및 그 주변부가 과도하게 냉각되어, 히트싱크(150) 및 그 주변부에 결로가 발생해 버린다고 하는 문제가 있다. 그래서, 이러한 문제를 해결하기 위하여, 본 실시형태의 광 조사 장치(1)는 응축기(200)에 의해 드라이 에어를 생성하고, 광 조사 유닛(100) 및 히트싱크(150)가 수용되는 제 1 수용부(350)에 드라이 에어가 공급되도록 구성되어 있다. As mentioned above, in this embodiment, as shown in FIG. 3, although the structure which accommodates the light irradiation unit 100 by the case 300 is employ | adopted, the light irradiation apparatus 1 is carried out in a high humidity environment. When used, high humidity air cannot be prevented from infiltrating into the case 300, and when high humidity air enters the first accommodating portion 350 and contacts the cooled heat sink 150 and its periphery, condensation may occur. There is a problem that will occur. In addition, even in a high humidity environment, when the refrigerant flows into the heat sink 150 while the LED die 120 is not lit, the heat sink 150 and its periphery are excessively cooled, and the heat sink 150 And condensation occurs in the periphery thereof. So, in order to solve this problem, the light irradiation apparatus 1 of this embodiment produces | generates dry air by the condenser 200, and the 1st accommodation in which the light irradiation unit 100 and the heat sink 150 are accommodated is carried out. Dry air is supplied to the unit 350.

상기한 바와 같이, 응축기(200)는 케이스(300)의 제 2 수용부(360)에 수용되어 있다(도 3). 그리고, 케이스(300)의 측판(310b)에는 관통구멍(312)(흡기구)이 형성되어 있다. 관통구멍(312)에는 외부의 에어 공급 장치(도시하지 않음)가 접속되어 있고, 에어 공급 장치로부터의 압축 공기가 관통구멍(312)을 통과하여, 케이스(300)의 제 2 수용부(360)에 강제적으로 공급된다.As mentioned above, the condenser 200 is accommodated in the 2nd accommodating part 360 of the case 300 (FIG. 3). Then, a through hole 312 (intake port) is formed in the side plate 310b of the case 300. An external air supply device (not shown) is connected to the through hole 312, and compressed air from the air supply device passes through the through hole 312, so that the second accommodating portion 360 of the case 300 is provided. Is forcibly supplied.

본 실시형태의 응축기(200)는 금속제의 파이프를 사행(蛇行) 모양으로 꺾어서 구성한 소위 냉매 응축기이다. 응축기(200)의 기단부(210)는 케이스 본체부(310)의 측판(310b)을 관통하여 측판(310b)의 표면으로부터 노출되어 있고, 응축기(200)의 기단부(210)에는 외부의 냉매 공급 장치(도시하지 않음)로부터 냉매가 공급된다. 또한 응축기(200)의 선단부(220)는 히트싱크(150)의 제 1 단부(152)에 접속되어 있고, 응축기(200)의 기단부(210)에 공급된 냉매는 응축기(200)의 내부를 통과하고, 히트싱크(150)의 유로(160)을 통과하여, 히트싱크(150)의 제 2 단부(154)로부터 외부로 배출된다. The condenser 200 of the present embodiment is a so-called refrigerant condenser configured by bending a metal pipe in a meandering shape. The proximal end 210 of the condenser 200 penetrates through the side plate 310b of the case main body 310 and is exposed from the surface of the side plate 310b, and an external refrigerant supply device is provided at the proximal end 210 of the condenser 200. The coolant is supplied from (not shown). In addition, the distal end portion 220 of the condenser 200 is connected to the first end 152 of the heat sink 150, and the refrigerant supplied to the base end portion 210 of the condenser 200 passes through the inside of the condenser 200. Then, it passes through the flow path 160 of the heat sink 150 and is discharged to the outside from the second end 154 of the heat sink 150.

냉매가 응축기(200)의 내부를 통과하면, 냉매에 의해 응축기(200)의 표면이 냉각되지만, 상기한 바와 같이, 케이스(300)의 제 2 수용부(360)에는 외부로부터 압축 공기가 도입되어 있기 때문에, 제 2 수용부(360)에 도입된 압축 공기가 응축기(200)의 표면에서 냉각되어, 응축기(200)의 표면에는 결로가 발생한다. 그리고, 결로의 발생에 의해, 제 2 수용부(360)의 압축 공기로부터 수분이 제거되어, 제 2 수용부(360) 내로 드라이 에어(즉, 제습된 공기)가 생성된다. When the refrigerant passes through the condenser 200, the surface of the condenser 200 is cooled by the refrigerant, but as described above, compressed air is introduced into the second accommodating part 360 of the case 300 from the outside. As a result, the compressed air introduced into the second accommodating part 360 is cooled on the surface of the condenser 200, and condensation occurs on the surface of the condenser 200. As a result of the dew condensation, moisture is removed from the compressed air of the second accommodating part 360 to generate dry air (that is, dehumidified air) into the second accommodating part 360.

상기한 바와 같이, 본 실시형태에서는, 에어 공급 장치로부터의 압축 공기가 제 2 수용부(360)에 강제적으로 공급되기 때문에, 제 2 수용부(360) 내에 생성된 드라이 에어는 칸막이판(330)에 설치된 관통구멍(335)(에어 공급구)으로부터 제 1 수용부(350) 내로 밀어내진다. 그리고, 제 2 수용부(360) 내에 생성된 드라이 에어가 잇달아 제 1 수용부(350) 내로 밀어내지면, 제 1 수용부(350) 내는 드라이 에어로 채워지게 된다. 그리고, 또한 제 1 수용부(350) 내에 드라이 에어가 공급되면, 제 1 수용부(350) 내의 드라이 에어는 케이스(300)의 측판(310c)에 형성된 관통구멍(314)(에어 배출구)으로부터 배기된다. 이와 같이, 제 2 수용부(360) 내에 생성된 드라이 에어는 제 1 수용부(350)에 공급되고, 제 1 수용부(350) 내를 관통구멍(314)을 향하여 흘러, 관통구멍(314)으로부터 외부로 배기된다. 또한, 본 실시형태에서는, 관통구멍(314)으로부터 외부로 배기되는 드라이 에어의 양보다도, 에어 공급 장치로부터 제 2 수용부(360) 내에 도입되는 압축 공기의 양 쪽이 많아지도록 유량이 제어되어 있기 때문에, 제 1 수용부(350)는 항상 드라이 에어가 충만해 있는 상태로 되어 있다. 따라서, 제 1 수용부(350) 내의 공기(즉, 드라이 에어)가 히트싱크(150)에 의해 냉각되었다고 해도, 결로가 발생하지는 않는다. 또한, 본 실시형태에서는, 응축기(200)의 표면에서 결로가 발생하게 되지만, 응축기(200)로부터 적하하는 물방울은 제 2 수용부(360)에 형성된 드레인(365)으로부터 외부로 배출된다. 또한 본 실시형태에서는, 제 2 수용부(360) 내의 드라이 에어와 외부의 공기에서 압력차가 생기도록, 드레인(365)에는 필터(367)가 설치되어 있다. 따라서, 제 1 수용부(350)내에 생성되는 드라이 에어는 그 대부분이 제 2 수용부(360)에 공급된다. As described above, in the present embodiment, since the compressed air from the air supply device is forcibly supplied to the second accommodating portion 360, the dry air generated in the second accommodating portion 360 is divided by the partition plate 330. It pushes into the 1st accommodating part 350 from the through-hole 335 (air supply port) provided in the inside. When the dry air generated in the second accommodating part 360 is pushed into the first accommodating part 350 one after another, the first accommodating part 350 is filled with dry air. Further, when dry air is supplied into the first accommodating part 350, the dry air in the first accommodating part 350 is exhausted from the through hole 314 (air outlet) formed in the side plate 310c of the case 300. do. As such, the dry air generated in the second accommodating part 360 is supplied to the first accommodating part 350, flows through the first accommodating part 350 toward the through hole 314, and passes through the through hole 314. From the outside. Moreover, in this embodiment, the flow volume is controlled so that both of the compressed air introduced into the 2nd accommodating part 360 from an air supply apparatus may be larger than the quantity of dry air discharged | emitted from the through-hole 314 to the outside. Therefore, the 1st accommodating part 350 is always in the state filled with dry air. Therefore, even if air (ie, dry air) in the first accommodating portion 350 is cooled by the heat sink 150, no condensation will occur. In addition, in this embodiment, although dew condensation generate | occur | produces on the surface of the condenser 200, the water droplet dripped from the condenser 200 is discharged | emitted from the drain 365 formed in the 2nd accommodating part 360 to the outside. In addition, in this embodiment, the filter 367 is provided in the drain 365 so that a pressure difference may arise between the dry air in the 2nd accommodating part 360, and external air. Therefore, most of the dry air generated in the first accommodating part 350 is supplied to the second accommodating part 360.

이와 같이, 본 실시형태의 광 조사 장치(1)는 히트싱크(150)에 연결한 응축기(200)를 설치하고, 히트싱크(150)를 냉각하는 냉매가 응축기(200)를 경유하여 흐르도록 구성함으로써 히트싱크(150)를 냉각하면서도, 특별한 장치를 사용하지 않고 드라이 에어를 생성하고 있다. 그리고, 히트싱크(150)의 주변이 드라이 에어로 채워지는 구성으로 함으로써, 히트싱크(150)에서의 결로의 발생을 억제하거나, 또는 방지하고 있다. 즉, 본 실시형태의 광 조사 장치(1)는 광 조사 유닛(100)(단, 광원 모듈(110) 및 히트싱크(150))을 케이스(300)로 덮는 구성을 채용하면서, 케이스(300) 내부(즉, 제 1 수용부(350))의 습도가 항상 낮은 상태가 되도록 유지하고 있다. 따라서, 본 실시형태의 구성에 의하면, 결로에 의한 물방울에 의해, 세라믹스 기판(115) 상의 LED 다이(120)가 쇼트되지도 않고, 또한 세라믹스 기판(115) 상의 패턴의 이온 마이그레이션이 가속되지도 않는다. Thus, the light irradiation apparatus 1 of this embodiment is provided with the condenser 200 connected to the heat sink 150, and is comprised so that the refrigerant | coolant which cools the heat sink 150 may flow through the condenser 200. FIG. By cooling the heat sink 150, dry air is produced without using a special apparatus. And by setting it as the structure which the periphery of the heat sink 150 fills with dry air, generation | occurrence | production of the dew condensation in the heat sink 150 is suppressed or prevented. That is, the case 300 of the light irradiation apparatus 1 of this embodiment adopts the structure which covers the light irradiation unit 100 (however, the light source module 110 and the heat sink 150) with the case 300. The humidity of the inside (that is, the first accommodating portion 350) is always kept low. Therefore, according to the structure of this embodiment, the LED die 120 on the ceramic substrate 115 is not shorted and the ion migration of the pattern on the ceramic substrate 115 is not accelerated by the water droplet by dew condensation. .

또한 본 실시형태의 광 조사 장치(1)에서는, 냉매가 응축기(200)로부터 히트싱크(150)를 향하여 흐르도록 구성되어 있다. 이러한 구성에 의하면, 응축기(200)의 온도를 히트싱크(150)의 온도보다도 항상 낮게 유지할 수 있기 때문에, 히트싱크(150)에서의 결로의 발생을 억제하거나, 또는 방지할 수 있다. Moreover, in the light irradiation apparatus 1 of this embodiment, it is comprised so that a refrigerant | coolant may flow toward the heat sink 150 from the condenser 200. As shown in FIG. According to such a structure, since the temperature of the condenser 200 can always be kept lower than the temperature of the heat sink 150, the generation | occurrence | production of the dew condensation in the heat sink 150 can be suppressed or prevented.

이상이 본 실시형태의 설명이지만, 본 발명은 상기의 구성에 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 여러 변형이 가능하다. Although the above is description of this embodiment, this invention is not limited to said structure, A various deformation | transformation is possible within the scope of the technical idea of this invention.

예를 들면, 본 실시형태에서는, 케이스(300)의 내부에, 광 조사 유닛(100)을 수용하는 제 1 수용부(350)와, 응축기(200)를 수용하는 제 2 수용부(360)가 일체로 형성되어 있는 것으로서 설명했지만, 광 조사 유닛(100)을 수용하는 케이스(즉, 제 1 수용부(350))와, 응축기(200)를 수용하는 케이스(즉, 제 2 수용부(360))를 별체로 구성할 수도 있다. 또한, 그 경우, 광 조사 유닛(100)을 수용하는 케이스와, 응축기(200)를 수용하는 케이스를, 냉매를 공급하는 호스(또는 파이프) 및 드라이 에어를 공급하는 호스(또는 파이프)로 접속하면 된다. For example, in the present embodiment, the first accommodating part 350 accommodating the light irradiation unit 100 and the second accommodating part 360 accommodating the condenser 200 are provided in the case 300. Although described as being integrally formed, the case housing the light irradiation unit 100 (ie, the first accommodating part 350) and the case accommodating the condenser 200 (that is, the second accommodating part 360). ) Can also be configured separately. In that case, if the case accommodating the light irradiation unit 100 and the case accommodating the condenser 200 are connected by a hose (or pipe) for supplying a refrigerant and a hose (or pipe) for supplying dry air, do.

또한 본 실시형태에서는, 관통구멍(312)으로부터 압축 공기가 공급되는 것으로서 설명했지만, 이러한 구성에 한정되는 것은 아니고, 예를 들면, 외부의 공기를 받아들이고, 관통구멍(312)에 공기를 공급하는 에어펌프 등(통기 수단)을 관통구멍(312)에 접속할 수도 있다. In addition, although this embodiment demonstrated that compressed air is supplied from the through-hole 312, it is not limited to this structure, For example, the air which receives external air and supplies air to the through-hole 312 is supplied. A pump or the like (venting means) can also be connected to the through hole 312.

(제 2 실시형태)(2nd embodiment)

도 5는 본 발명의 제 2 실시형태에 따른 광 조사 장치(1A)의 내부 구성을 설명하는 모식도이다. 본 실시형태의 광 조사 장치(1A)는 드라이 에어를 배기하는 배기구(314A)가 케이스(300)의 배면에 형성되어 있고, 배기구(314A)에 제 1 수용부(350)의 드라이 에어를 강제적으로 배기하는 배기 팬(400)이 설치되어 있는 점에서 제 1 실시형태의 광 조사 장치(1)와 상이하다. 이러한 구성에 의하면, 배기 팬(400)을 돌림으로써, 관통구멍(312)으로부터 외부의 공기가 자동으로 받아들여지기 때문에, 관통구멍(312)에 외부의 공기를 강제적으로 공급하지 않아도 된다. FIG. 5: is a schematic diagram explaining the internal structure of the light irradiation apparatus 1A which concerns on 2nd Embodiment of this invention. In the light irradiation apparatus 1A of the present embodiment, an exhaust port 314A for exhausting dry air is formed on the back surface of the case 300, and the dry air of the first accommodating portion 350 is forced to the exhaust port 314A. It differs from the light irradiation apparatus 1 of 1st Embodiment in that the exhaust fan 400 which exhausts is provided. According to this structure, since the outside air is automatically received from the through hole 312 by turning the exhaust fan 400, it is not necessary to forcibly supply the outside air to the through hole 312. FIG.

또한, 이번 개시된 실시형태는, 모든 점에서 예시이며, 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 한다. 본 발명의 범위는, 상기한 설명이 아니고, 특허청구범위에 의해 나타내어지며, 특허청구범위와 균등한 의미 및 범위 내에서의 모든 변경이 포함되는 것이 의도된다.In addition, embodiment disclosed this time is an illustration in all the points, Comprising: It should be thought that it is not restrictive. The scope of the present invention is shown not by the above description but by the claims, and is intended to include all modifications within the meaning and range equivalent to the claims.

1, 1A 광 조사 장치 100 광 조사 유닛
110 광원 모듈 115 세라믹스 기판
120 LED 다이 125 전극판
131, 132 단자대 135, 136 전극 단자
135a, 136a 애노드 단자 135b, 136b 캐소드 단자
150 히트싱크 152 제 1 단부
15) 제 2 단부 160 유로
200 응축기 210 기단부
220 선단부 300 케이스
310 케이스 본체부 310a 개구
310b, 310c 측판 312, 314, 335 관통구멍
314A 배기구 320 창부
330 칸막이판 312, 314, 335 관통구멍
350 제 1 수용부 360 제 2 수용부
365 드레인 367 필터
400 배기팬1, 1A light irradiation device 100 light irradiation unit
110 Light source module 115 Ceramics substrate
120 LED die 125 electrode plate
131, 132 terminal block 135, 136 electrode terminal
135a, 136a anode terminals 135b, 136b cathode terminals
150 heatsink 152 first end
15) 160 second end
200 condenser 210 proximal end
220 tip 300 case
310 case body 310a opening
310b, 310c shrouds 312, 314, 335 through holes
314A exhaust port 320 window
330 partition plate 312, 314, 335 through-hole
350 First receptacle 360 Second receptacle
365 Drain 367 Filter
400 exhaust fan

Claims (12)

기판과 상기 기판의 표면에 실장된 발광 소자를 갖고, 조사 대상물에 광을 출사하는 광원 모듈과,
내부에 냉매가 흐르는 유로가 형성되고, 상기 기판의 이면에 맞닿도록 설치된 히트싱크와,
상기 히트싱크의 유로에 접속되고 상기 냉매가 흐르는 응축기와, 외부의 공기를 받아들이는 흡기구를 갖고, 이 흡기구로부터 받아들인 공기를 상기 응축기에서 냉각하고 이 공기 내에 포함되는 수분을 제거하여, 드라이 에어를 생성하는 드라이 에어 생성기와,
상기 광원 모듈과 상기 히트싱크를 수용하는 수용부와, 상기 드라이 에어 생성기에 접속된 상기 수용부에 상기 드라이 에어를 공급하는 에어 공급구와, 상기 수용부에 공급된 상기 드라이 에어가 배출되는 에어 배출구를 갖는 케이스를 구비하고,
상기 드라이 에어는 상기 발광소자의 점등.비점등에 관계없이, 적어도 상기 냉매가 흐르는 때에 상기 수용부에 공급되는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.A light source module having a substrate and a light emitting element mounted on a surface of the substrate, the light source module emitting light to an irradiation object;
A heat sink in which a flow path through which a coolant flows is formed and provided to contact the rear surface of the substrate;
A condenser connected to the heat sink flow path of the heat sink and an intake port for receiving external air, the air received from the intake port is cooled in the condenser, and moisture contained in the air is removed to remove dry air. With dry air generator to produce,
A receiving part accommodating the light source module and the heat sink, an air supply port for supplying the dry air to the accommodating part connected to the dry air generator, and an air discharge port through which the dry air supplied to the accommodating part is discharged; Having a case to have,
And said dry air is supplied to said accommodating portion at least when said refrigerant flows, irrespective of whether the light emitting element is turned on or not lit. 제 1 항에 있어서,
상기 냉매는 상기 응축기로부터 상기 히트싱크를 향하여 흐르는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method of claim 1,
And the coolant flows from the condenser toward the heat sink. 제 1 항에 있어서,
상기 수용부내에 있어서, 상기 냉매와 상기 드라이 에어가 동일 방향으로 흐르는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method of claim 1,
In the said accommodating part, the said refrigerant | coolant and the said dry air flow in the same direction, The light irradiation apparatus characterized by the above-mentioned. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 흡기구가 외부로부터 공급되는 압축 공기를 받아들이는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
And the intake port receives compressed air supplied from the outside. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 외부의 공기를 상기 흡기구로부터 받아들임과 아울러, 상기 드라이 에어를 상기 에어 배출구로부터 배출하는 통기 수단을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
And a ventilation means for receiving the external air from the inlet port and discharging the dry air from the air outlet. 제 5 항에 있어서,
상기 통기 수단이 에어펌프 또는 팬인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method of claim 5,
And said vent means is an air pump or a fan. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 드라이 에어 생성기는 상기 케이스와 일체로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
And said dry air generator is formed integrally with said case. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 냉매가 물, 혹은 에틸렌글라이콜, 프로필렌글라이콜 또는 그것들과 물과의 혼합물인 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
And the refrigerant is water or ethylene glycol, propylene glycol or a mixture of them with water. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 케이스는 상기 에어 공급구가 형성된 제 1 면과, 상기 에어 배출구가 형성된 제 2 면을 적어도 갖는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
The case has at least a first surface on which the air supply port is formed and a second surface on which the air discharge port is formed. 제 9 항에 있어서,
상기 제 1 면과 상기 제 2 면이 상기 광원 모듈 및 상기 히트싱크를 사이에 끼고 대향하도록 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method of claim 9,
And the first surface and the second surface are disposed to face each other with the light source module and the heat sink interposed therebetween. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 광원 모듈을 복수 구비하고,
상기 복수의 광원 모듈은 상기 히트싱크 위에, 미리 정해진 방향을 따라 적어도 일렬로 나열되어 배치되고,
상기 히트싱크의 유로는 상기 미리 정해진 방향을 따라 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
It is provided with a plurality of the light source module,
The plurality of light source modules are arranged on the heat sink, arranged at least in a line along a predetermined direction,
A flow path of the heat sink is formed along the predetermined direction. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 발광 소자는 자외선 경화 수지에 작용하는 파장의 광을 발하는 것을 특징으로 하는 광 조사 장치.The method according to any one of claims 1 to 3,
The light emitting device emits light having a wavelength acting on the ultraviolet curable resin.
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