KR102054146B1

KR102054146B1 - 유량 제어장치

Info

Publication number: KR102054146B1
Application number: KR1020130090158A
Authority: KR
Inventors: 다다히로 야스다
Original assignee: 가부시키가이샤 호리바 에스텍
Priority date: 2012-08-06
Filing date: 2013-07-30
Publication date: 2019-12-11
Also published as: JP2014032635A; US20140034164A1; US9494946B2; JP5947659B2; KR20140019228A

Abstract

기판 블록의 크기가 규격화되어 있기 때문에 소형화를 도모하거나 실장 밀도를 향상시키거나 하는 일이 어렵다고 하는 과제를 해결하는 유량 제어장치를 제공하기 위해서, 유체가 유입하는 단일의 입력 포트(1d), 유체가 유출하는 단일의 출력 포트(1e), 상기 입력 포트(1d)에 기단이 접속된 2개의 유입로(1a(1)), 및 상기 출력 포트(1(e))에 종단이 접속된 2개의 유출로(1a(2))가 형성된 기판 블록(1)과, 상기 기판 블록(1)에 배치된 2개의 유량 제어 유니트(UT)를 구비하며, 상기 유량 제어 유니트(UT)의 일방은, 상기 일방의 유입로(1a(1))와 일방의 유출로(1a(4))와의 사이에 마련됨과 아울러, 타방의 유입로(1a(1))와 타방의 유출로(1a(4))와의 사이에 상기 유량 제어 유니트(UT)의 타방이 마련되고, 또한, 각 유량 제어 유니트(UT)가 독립하여 동작 가능하게 구성했다.

Description

유량 제어장치 {FLOW RATE CONTROL DEVICE}

본 발명은, 예를 들면 반도체 프로세스에서 이용되는 재료 가스 등의 유량을 제어하는 유량 제어장치에 관한 것이다.

종래의 유량 제어장치는, 특허 문헌 1에 나타내는 바와 같이, 입력 포트, 출력 포트, 내부 유로 등이 형성된 기판 블록 상에, 유량 센서나 유량 조정 밸브 등이 배치되어 있으며, 유체의 유량을 설정값으로 제어하는 구성으로 되어 있다.

그리고, 이와 같은 유량 제어장치(10)가, 도 9에 나타내는 바와 같은 접속 블록(GP)이나 배관을 통하여 다른 센서(S)나 개폐 밸브(V) 등의 기기와 접속되어서, 반도체 제조 챔버 등에 복수의 가스를 공급하는 가스 패널 시스템(100)을 형성한다.

이 가스 패널 시스템에서는, 각 기기의 크기에 통일성이 없으면, 접속 블록(GP)이나 배관에 특수한 것이 필요하게 되어 표준화를 도모하기 어렵고, 조립에도 차질이 생기기 쉽기 때문에, 해당 가스 패널 시스템(100)에 이용되는 유량 제어장치(10)는, 기판 블록(1)의 평면 사이즈가 원칙적으로 규격화되어 있다.

[특허 문헌 1] 일본특허공개 2006-343883호 공보

그렇지만, 기판 블록의 크기가 규격화되어 있기 때문에 소형화를 도모하거나 실장 밀도를 향상시키거나 하는 일이 어렵다고 하는 폐해가 있다. 이에 본 발명은, 기판 블록에 유량 제어장치를 복수 배치함과 아울러, 그들 기능의 독립성을 담보하는 것에 의해, 상술한 과제를 해결하기 위하여 도모한 것이다.

즉, 본 발명에 관한 유량 제어장치는, 유체가 유입하는 단일의 입력 포트, 유체가 유출하는 단일의 출력 포트, 상기 입력 포트에 기단(基端)이 접속된 2개의 유입로, 및 상기 출력 포트에 종단(終端)이 접속된 2개의 유출로가 형성된 기판 블록과, 상기 기판 블록에 배치된 2개의 유량 제어 유니트를 구비하며, 상기 유량 제어 유니트의 일방은, 상기 일방의 유입로와 일방의 유출로와의 사이에 마련됨과 아울러, 타방의 유입로와 타방의 유출로와의 사이에 상기 유량 제어 유니트의 타방이 마련되고, 또한, 각 유량 제어 유니트가 독립하여 동작 가능하게 구성되어 있으며, 상기 기판 블록이, 2개의 상기 유량 제어 유니트가 장착되는 장방형상의 장착면을 구비하고, 상기 장착면에 대해서 수직인 방향으로부터 본 경우에, 상기 유입로가 상기 입력 포트로부터 상기 장착면의 장변측으로 경사져 연장하고 있고, 상기 유출로가 상기 장착면의 장변측으로부터 상기 출력 포트로 경사져 연장하고 있는 것을 특징으로 한다.

여기서,「각 유량 제어 유니트가 독립하여 동작 가능하게 구성되어 있다」란 예를 들면 각 유량 제어 유니트가 각각 제어 신호를 받아들여 동작하는 것을 가리킨다.

이와 같은 것이면, 1개의 기판 블록에 대해서 2개의 유량 제어 유니트가 마련되어 있으므로, 유량 제어장치 전체의 소형화를 도모하면서, 각 구성 부재의 실장 밀도를 향상시킬 수 있다.

또, 상기 유량 제어 유니트의 일방은, 상기 일방의 유입로와 일방의 유출로와의 사이에 마련되어 있고, 상기 유량 제어 유니트의 타방은, 상기 타방의 유입로와 타방의 유출로와의 사이에 마련되어 있으므로, 상기 입력 포트와 상기 출력 포트의 사이에 각각 병렬로 유로가 형성되게 된다. 게다가, 각 유량 제어 유니트가 독립하여 동작 가능하게 구성되어 있으므로 각 유로에서 따로 유량 제어를 행할 수 있다. 따라서, 각 유량 제어 유니트의 유량 제어 상태의 조합을 바꾸는 것에 의해, 1개의 유량 제어장치에 의해서 상기 출력 포트로부터 출력되는 유체의 유량을 여러 가지 유량 범위나 정밀도로 출력하는 일이 가능해진다.

예를 들면 설정 유량값의 크기 등에 따라 그 유량을 실현하는데 적합한 유량 제어 유니트만을 가동시키고, 정밀도 좋게 유량 제어를 행할 수 있도록 하려면, 상기 유량 제어 유니트의 일방에 의해 유체의 유량 제어가 행해져 있는 경우에는, 상기 유량 제어 유니트의 타방을 통하여 상기 입력 포트로부터 상기 출력 포트로 유체가 흐르지 않도록 구성되어 있으면 좋다.

여기서, 본 실시 형태에서「유량 제어를 행한다」란, 예를 들면 유입로, 유출로에서 유체가 흐르고 있는 상태에서, 설정 유량값으로 일정하게 유지하는 것이나 어느 유량으로부터 원하는 설정 유량값으로 변화시켜 가는 상태 등을 가리킨다. 반대로 말하면, 예를 들면 유량 제어 유니트의 일부에서 유체가 흐르지 않도록 유로를 폐지(閉止)하고 있는 상태는 유량 제어를 행하고 있지 않은 상태가 된다.

유저가 실현하고 싶은 설정 유량값에 따라 어느 유량 제어 유니트에 의해 유량 제어를 행할지를 고려하지 않고, 자동적으로 유량 제어를 행해야 할 유량 제어 유니트가 결정되며, 광범위의 유량 제어 레인지의 전역에 걸쳐서 고정밀도로 유량을 제어할 수 있도록 하려면, 각 유량 제어 유니트의 유량 제어 특성이 다르게 되고, 입력된 설정 유량값에 따라서, 어느 유량 제어 유니트에 의해 유량 제어를 행할지를 결정하는 동작 유니트 결정부를 더 구비한 것이면 좋다.

이와 같은 것이면, 예를 들면 유량 제어 유니트의 일방은 유량 제어 가능 레인지가 넓고, 소정의 분해능으로 유량 제어가 가능하며, 유량 제어 유니트의 타방은 유량 제어 가능 레인지가 좁고, 일방의 유량 제어 유니트 보다도 높은 분해능으로 유량 제어가 가능한 경우, 상기 동작 유니트 결정부는, 설정 유량값이 소정값 보다도 큰 경우에는, 일방의 유량 제어 유니트만으로 유량 제어를 행하는 것을 결정한다. 한편, 설정 유량값이 소정값 보다도 작고, 유체의 유량을 미소(微小) 유량으로 일정하게 유지하고 싶은 경우에는, 상기 동종 유니트 결정부는, 타방의 유량 제어 유니트만으로 유량 제어를 행하는 것을 결정한다. 따라서, 항상 각 유량 제어 유니트에 적절한 유량 제어 레인지로 유량 제어가 행해지게 되므로, 광범위의 유량 제어 가능 레인지를 실현하면서, 게다가 유량 제어 정밀도를 전역에 걸쳐서 고정밀도로 유지할 수 있게 된다.

1개의 유량 제어 유니트에서는 실현하는 일이 어려운 광범위의 레인지에서의 고정밀도의 유량 제어를 실현하기 위한 구체적인 실시 형태로서는, 상기 각 유량 제어 유니트가, 유량 제어 밸브와, 유량 센서와, 상기 유량 센서로 측정되는 측정 유량값 및 입력되어 있는 설정 유량값의 편차가 작아지도록 상기 유량 제어 밸브의 개도를 제어하는 밸브 제어부를 각각 독립적으로 구비하며, 상기 각 유량 제어 유니트의 유량 제어 가능 레인지가 다르게 되고, 상기 동작 유니트 결정부가, 입력된 설정 유량값을 유량 제어 가능 레인지 내에 포함하는 유량 제어 유니트가 유량 제어를 행하도록 결정하고, 또한, 유량 제어를 행하지 않는 유량 제어 유니트의 상기 유량 제어 밸브를 전폐(全閉)시키도록 구성되어 있는 것을 들 수 있다.

종래부터 이용되고 있는 가스 패널 시스템의 규격화되어 있는 기판 블록과 치수 등을 합치시켜, 특수한 접속 부재를 새로 이용하지 않고 본 발명의 유량 제어장치를 용이하게 종래의 가스 패널 시스템 내에 편입할 수 있음과 아울러, 유량 제어 유니트의 실장 밀도를 높이면서, 소형화를 가능하게 하려면, 상기 기판 블록이, 유량 제어 유니트가 장착되는 개략 장방형상(長方形狀)의 장착면에서의 짧은 방향의 치수에 대해서, 감압면(感壓面)을 장착면에 대해서 평행하게 하여 장착되는 압력 센서의 외형 치수와 대략 동일하게 설정되어 있는 규격화된 기판 블록이며, 상기 각 유량 제어 유니트가, 감압면을 장착면에 대해서 수직으로 하여 장착되는 압력 센서를 각각 구비하고 있고, 각 압력 센서가, 장착면에서 짧은 방향으로 나란히 병행으로 장착되어 있으면 좋다.

이와 같은 것이면, 종래의 규격화된 기판 블록의 장착면에서는, 사이즈의 제한상 1개의 압력 센서를 마련할 수 밖에 없기 때문에 1개의 유량 제어 유니트 밖에 구성할 수 없었는데 비해, 본 발명은 동일한 규격화 된 기판 블록의 장착면에 동일한 사이즈로 2개의 압력 센서를 마련할 수 있다. 따라서, 이들 압력 센서를 따로 사용하는 2개의 유량 제어 유니트를 장착면 상에서 구성할 수 있고, 각 유량 제어 유니트의 기능의 독립성도 담보할 수 있다. 또, 종래와 동일한 풋 프린트(footprint)로 서로 독립하여 유량 제어할 수 있는 유량 제어 유니트를 2배의 실장 밀도로 구성할 수 있고, 유량 제어장치 전체의 소형화도 도모할 수 있다.

이와 같이 본 발명의 유량 제어장치에 의하면, 1개의 기판 블록에서 2개의 유량 제어 유니트를 구성하고, 또한, 각 유량 제어 유니트의 유량 제어 기능의 독립성이 유지되도록 하고 있으므로, 실장 밀도를 향상시키거나, 소형화를 도모하거나 하는 것을 용이하게 할 수 있다. 또, 본 발명을 기존의 가스 패널 시스템에 이용되고 있는 규격 사이즈의 기판 블록에 대해서 적용함으로써, 각종 유량 제어 능력을 향상시키거나, 소형화를 도모하거나 한 경우, 기존의 가스 패널 시스템을 구성하는 접속 블록을 변경하지 않고 그대로 사용하면서, 기존의 유량 제어장치를 본 발명의 유량 제어장치에 용이하게 치환할 수 있다. 즉, 본 발명의 유량 제어장치를 규격화된 사이즈의 기판 블록으로 구성하는 것에 의해, 평면 사이즈의 표준화에 의한 설비 갱신의 용이성이라는 이점을 누리면서, 가스 패널 시스템의 성능을 향상시킬 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시 형태에 관한 유량 제어장치의 모식적 유체 회로도.
도 2는 일 실시 형태에서의 유량 제어장치의 모식적 사시도.
도 3은 일 실시 형태에서의 유량 제어장치의 모식적 단면도.
도 4는 일 실시 형태에서의 유량 제어장치의 장착면 및 내부 유로 구성을 나타내는 모식도.
도 5는 규격화된 기판 블록을 이용한 종래부터 있던 유량 제어장치의 일례를 나타내는 모식도.
도 6은 본 발명의 다른 실시 형태에 관한 유량 제어장치의 모식적 사시도.
도 7은 본 발명의 다른 실시 형태에서의 기판 블록의 구성을 나타내는 모식도.
도 8은 본 발명의 또 다른 실시 형태에 관한 유량 제어장치의 모식적 사시도.
도 9는 가스 패널 시스템의 개념도.

이하, 본 발명의 일 실시 형태를, 도면을 참조하여 설명한다.

본 실시 형태에 관한 유량 제어장치(10)는, 예를 들면, 반도체 제조 장치에 이용되는 것이며, 개폐 밸브(V)나 다른 유량 제어장치(10) 등의 기기와 접속 블록(GP)이나 배관을 통하여 접속되어 반도체 제조 장치의 챔버 내에 여러 가지 가스를 소정의 유량으로 공급하는 가스 패널 시스템(100)을 구성하는 것이다.

이 유량 제어장치(10)는, 상술한 가스 패널 시스템(100)에서의 표준화된 평면 상의 사이즈를 답습(踏襲)하여, 기존의 가스 패널 시스템(100) 중의 유량 제어장치(10)와 용이하게 치환 가능하게 구성된 것이며, 종래의 규격화된 사이즈와 동일한 기판 블록(1)을 구비하고 있다.

그리고, 상기 유량 제어장치(10)는, 상기 기판 블록(1) 내에 형성된 내부 유로(1a)와 각종 유체 제어 기기를 조합시키는 것에 의해, 도 1의 전체 유체 회로도를 나타내는 바와 같이, 유체가 유입하는 단일의 입력 포트(1d)와, 유체가 유출하는 단일의 출력 포트(1e)와의 사이에, 상기 입력 포트(1d) 및 출력 포트(1e)를 공통으로 하는 2개의 병렬하는 유로를 형성하는 것이다.

그리고 각 유로에는, 각각의 유로에서 독립적으로 유량 제어를 행할 수 있는 유량 제어 유니트(UT)가 각각 한개씩 구성되어 있다. 이하에 각 부를 설명한다.

우선, 상기 유량 제어장치(10)의 주로 하드웨어면의 구조에 대해서 상술한다.

상기 유량 제어장치(10)는, 도 1의 유체 회로도, 도 2의 사시도, 도 3의 유량 제어 유니트(UT)를 통과하도록 길이 방향으로 절단한 단면도에 나타내는 바와 같이, 입력 포트(1d)와 출력 포트(1e)와의 사이에 형성된 유체가 흐르는 내부 유로(1a)를 가지는 개략 직방체(直方體) 형상의 기판 블록(1)과, 상기 기판 블록(1)의 장착면(1c) 상에서 길이 방향으로 2열로 나란히 병행으로 마련된 2개의 유량 제어 유니트(UT)와, 각 유량 제어 유니트(UT)의 제어를 행하는 정보 처리 회로(6)와, 각 유량 제어 유니트(UT)의 외측을 덮는 단일의 케이싱(7)을 구비한 것이다.

기판 블록(1)은, 도 2 내지 도 4 등에 나타내는 바와 같이, 길고 가는 직방체 형상을 이루는 예를 들면 금속제(金屬製)의 것이다. 이 기판 블록(1)에서의 길이 방향과 평행한 1개의 면은, 장방형상(長方形狀)의 장착면(1c)으로 하여 설정하고 있으며, 이 장착면(1c)에만, 각종 유체 제어 기기 등의 부품이 장착되도록 구성하고 있다. 또, 이 장착면(1c)의 반대측의 면을, 해당 기판 블록(1)을 패널 등에 고정하기 위한 고정면(1b)으로 하고 있다. 그리고, 이 실시 형태에서는, 상기 고정면(1b)의 길이 방향에서의 일단부에 내부 유로(1a)의 입력 포트(1d)가 개구시켜 있음과 아울러, 타단부에 내부 유로(1a)의 출력 포트(1e)가 개구시켜 있다. 또한, 길이 방향과 평행한 다른 2면(이하, '측면'이라고 말함)에는 아무것도 장착하지 않도록 하여, 복수의 유량 제어장치(10)를 그 기판 블록(1)의 측면끼리를 밀착 내지 근접시켜 배치할 수 있도록 구성하고 있다.

내부 유로(1a)는, 기판 블록(1)의 길이 방향에서의 일단부로부터 타단부를 향해 연장하는 것이다. 보다 구체적으로는, 도 4와 같이 상기 장착면(1c)에 수직인 방향인 평면 방향으로부터 봤을 때에(이하, '평면시(平面視)'라고도 말함), 상기 고정면(1b)의 일단부 중앙에 형성된 입력 포트(1d)와, 고정면(1b)의 타단부 중앙에 형성된 출력 포트(1e)와의 사이에서 2개로 분기한 구조로 되어 있다. 입력 포트(1d)로부터는, 해당 입력 포트에 기단(基端)이 접속된 2개의 유입로(1a(1))가, 타단부측으로 V자상(狀)으로 분기한 후, 상류측 내부 유로(1a(2)), 하류측 내부 유로(1a(3))는 길이 방향에 대해서 대략 평행이 되어 연장하고 있다. 그리고, 각 하류측 내부 유로(1a(3))의 종단(終端)으로부터, 상기 출력 포트(1e)로 유출로(1a(4))가 V자상(狀)으로 합류하도록 형성하고 있다. 즉, 장착면(1c)에 대해서 수직인 방향으로부터 본 경우에, 유입로(1a(1))가 입력 포트(1d)로부터 장착면(1c)의 장변측으로 경사져 연장하고 있고, 유출로(1a(4))가 장착면(1c)의 장변측으로부터 출력 포트(1e)로 경사져 연장하고 있다. 또한, 이하, 평면 방향으로부터 봐서 길이 방향과 수직인 방향을 폭방향(짧은 방향)이라고 말한다.

각 유량 제어 유니트(UT)는, 이른바 차압식(差壓式, 압력식)의 유량 제어를 행하는 것이며, 도 1 내지 4에 나타내어지는 바와 같이 상류로부터 순서대로, 유량 제어 밸브(4)와, 제1 압력 센서(21)와, 층류 소자(3)와, 제2 압력 센서(22)를 구비하는 것이다. 각 유체 제어 기기는 상기 장착면(1c)에서 길이 방향에 2열로 나란히 장착되어 있다. 이하에서는, 각 유량 제어 유니트(UT)에서는 공통하는 구성에 대해서 우선 설명한다.

상기 각 유량 제어 밸브(4)는, 도 4에 나타내는 바와 같이 상기 장착면(1c)에서 일단부에 개구시킨 저부구비오목부(1f)에 끼워 넣어서 장착되는 것이며, 상기 출력 포트(1e)로부터 연장하는 유입로(1a(1))의 종단과, 상기 내부 유로(1a) 중 상류측 내부 유로(1a(2))에서의 기단과의 사이를 접속하는 것이다. 그리고, 각 유량 제어 밸브(4)는, 인가되는 전압에 의해서 밸브체의 개도가 변화하고, 상기 저부구비오목부(1f)에서의 틈새를 변화시켜 유량을 변화시키는 것이다. 즉, 각 유량 제어 밸브(4)에 의해 상기 저부구비오목부(1f)가 폐지(閉止)되어 완전하게 유체가 흐르지 않게 되는 상태로부터, 전개(全開)가 되어 대략 자유롭게 저항 없이 유체가 흐르는 상태까지 변화시킬 수 있다.

유로를 흐르는 유체의 유량 측정용 기기로서는, 내부 유로(1a) 상에 마련한 층류 소자(3)와, 층류 소자(3)의 상류측 및 하류측의 압력을 계측하기 위한 한 쌍의 압력 센서(21, 22)를 이용하고 있다. 각 부에 대해서 설명한다.

상기 층류 소자(3)는, 복수의 직사각형상 박판(薄板)을 적층시켜, 내부를 흐르는 유체가 층류가 되도록 구성한 것이며, 장착면(1c)의 중앙부에 형성된 오목부(1h)에 끼워 넣은 상태에서, 그 상측으로부터 제1 압력 센서(21)로 밀어 붙여 고정되는 것이다. 이 층류 소자(3)가 상기 오목부(1h)에 끼워 넣어진 상태에서, 상류측 내부 유로(1a(2))의 종단과, 하류측 내부 유로(1a(3))의 기단과의 사이가 접속되어 유로가 접속되게 된다. 또, 제2 압력 센서(22)가 장착면(1c)에 장착되는 것에 의해, 하류측 내부 유로(1a(3))의 종단과, 상기 출력 포트(1e)를 종단으로 하는 유출로(1a(4))의 기단이 접속되어 유로가 형성된다.

상기 제1 압력 센서(21) 및 상기 제2 압력 센서(22)는, 평평한 형상을 이루는 본체 부재와, 그 본체 부재 내에 내장된 감압면(21P, 22P)을 구비한 것이다. 그리고, 이 평평한 본체 부재, 즉 감압면(21P, 22P)이 기판 블록(1)의 장착면(1c)에 대해서 수직이 되도록 길이 방향을 따라서 마련하고 있다.

각 유량 제어 유니트(UT)에서 다르게 되어 있는 부분에 대해서 설명하면, 각 유량 제어 유니트(UT)는, 유량 제어 가능 레인지(range)와, 그 제어 분해능을 다르게 하고 있다. 즉, 평면시에서 상측에 마련하고 있는 유량 제어 유니트(UT)의 일방은, 출력 포트(1e)로부터 출력될 필요가 있는 최대 유량의 10 ~ 100％의 사이를 유량 제어 가능 레인지로 하고 있고, 이 레인지 내에서 소정의 유량 정밀도로의 유량 제어가 가능하다. 한편, 평면시(平面視)에서 하측에 마련하고 있는 유량 제어 유니트(UT)의 타방은, 상기 최대 유량에 대해서 0.03 ~ 10％의 사이를 유량 제어 가능 레인지로 하고 있고, 이 레인지 내에서 소정의 유량 정밀도로의 유량 제어가 가능하다. 바꾸어 말하면 유량 제어 유니트(UT)의 일방은, 유량 제어 가능 레인지를 넓게 하고 있는 대신에 그 제어 분해능을 엉성하게 하고 있으며, 유량 제어 유니트(UT)의 타방에 대해서는 유량 제어 가능 레인지를 좁게 하고 있는 대신에 그 제어 분해능을 미세하게 하고 있다.

다음에, 상기 기판 블록(1)의 사이즈나, 각 유량 제어 유니트(UT)를 구성하는 유체 제어 기기의 장착에 대해서 더 상술한다.

상기 기판 블록(1)은, 종래부터 있던 규격화된 사이즈와 동일한 크기이며, 그 장착면(1c)의 크기는, 도 4에 나타내는 바와 같이 길이 방향 치수가 105mm, 폭 방향 치수가 28.8mm이다. 이 규격화된 사이즈에서 특히 폭방향 치수는, 도 5의 (a)의 종래의 기판 블록(1)의 장착면(1c), 및, 도 5의 (b)의 종래의 유량 제어장치(10)의 사시도에 나타내는 바와 같이, 감압면(21PA, 22PA)을 장착면(1c)에 대해서 평행하게 하여 장착되는 압력 센서의 외형 치수와 대략 동일하게 되도록 설정되어 있다. 도 5로부터 분명한 바와 같이, 종래의 유량 제어장치(10A)에서는, 폭방향으로 나란히 2개의 압력 센서가 마련되는 것은 상정(想定)되어 있지 않고, 1개의 기판 블록(1)의 내부에는 분기(分岐)가 없는 1개의 유로가 형성되고, 1개의 유량 제어 유니트(UT)만이 구성되어 있다. 또한, 도 5에서는 규격화되어 있는 부분 이외에서 본 실시 형태와 크게 다른 부재에 대해서 부호에 A를 부여하고 있다.

한편, 본 실시 형태의 유량 제어장치(10)에서는, 종래부터 있던 규격화된 장착면(1c)의 사이즈를 이용하면서도, 감압면(21P, 22P)이 장착면(1c)에 대해서 수직이 되도록 장착되는 압력 센서를 이용하여, 각 압력 센서를 장착면(1c)에서 폭 방향으로 나란히 병행으로 마련하고 있다. 또, 2개의 유량 제어 밸브(4)에 대해서도 병행하게 나란히 장착하는 것에 의해, 각 유량 제어 유니트(UT) 전체도 장착면(1c)의 폭방향으로 병행하게 나란히 장착하도록 하고 있다.

즉, 본 실시 형태이면 종래의 규격화된 면적에서 2개의 유량 제어 유니트(UT)가 구성되게 되어, 실장 밀도를 높이고, 유량 제어장치(10) 전체의 소형화를 도모할 수 있다.

다음에 본 실시 형태의 유량 제어장치(10)의 유량 제어나 소프트웨어면에 대해서 상술한다.

정보 처리 회로(6)는, 케이싱(7)의 상부 공간에 수용되어 있는 것이며, 물리적으로는, CPU, 메모리, I／O채널, A／D컨버터, D／A컨버터, 그 외의 아날로그 내지 디지털 전기 회로로 이루어지며, 메모리에 격납한 프로그램에 따라서 CPU나 그 외 주변기기가 협동하는 것에 의해서, 이 정보 처리 회로(6)가, 적어도 유량 산출부(61), 밸브 제어부(62), 동작 유니트 결정부(63)로서의 기능을 담당하도록 구성하고 있다.

우선, 각 유량 제어 유니트(UT)에 각각 독립적으로 마련된 유량 산출부(61), 밸브 제어부(62)에 대해서 설명한다.

상기 유량 산출부(61)는, 제1 압력 센서(21) 및 제2 압력 센서(22)로부터의 압력 측정 신호를 받아들이고, 그들 값과 미리 기억시킨 상기 층류 소자(33)의 유체 저항 특성에 근거하여, 내부 유로(1a)를 흐르는 유체의 질량 내지 체적 유량을 산출하여 출력하는 것이다. 바꾸어 말하면, 제1 압력 센서(21), 층류 소자(33), 제2 압력 센서(22), 유량 산출부(61)가 협업함으로써 압력식의 유량 센서를 구성하고 있다.

한편, 밸브 제어부(62)는, 상기 유량 제어 밸브(4)에 제어 신호를 출력하여 전압을 인가하고, 상기 유량 산출부(61)에서 산출된 내부 유로(1a)에서의 측정 유량값이, 후술하는 동작 유니트 결정부(63)로부터 입력되는 설정 유량값이 되도록 피드백 제어를 행하는 것이다. 즉, 상기 밸브 제어부(62)는, 측정 유량값과 설정 유량값의 편차가 작아지도록 상기 유량 제어 밸브(4)의 개도를 제어하는 것에 의해, 흐르고 있는 유체의 유량 제어를 행한다. 또, 예외적인 동작으로서, 상기 동작 유니트 결정부(63)로부터 전폐(全閉) 지령이 입력된 경우에는, 상기 유량 산출부(61)로부터 출력되는 측정 유량값에 관계없이, 상기 유량 제어 밸브(4)를 전폐 상태로 하여, 대응하는 내부 유로(1a)에 유체가 흐르지 않도록 한다.

상기 동작 유니트 결정부(63)는, 유저로부터 입력되는 설정 유량값을 받아들이는 것이며, 그 입력된 설정 유량값에 따라서, 어느 유량 제어 유니트(UT)에 의해 유량 제어를 행할지를 결정하는 것이다.

보다 구체적으로는, 상기 동작 유니트 결정부(63)는, 설정 유량값을 받아들이는 접수부(63a)와, 상기 접수부(63a)에서 받아들여진 설정 유량값에 따라 각 유량 제어 유니트(UT)에 대해서 따로 제어 신호를 출력하는 동작 제어부(63b)로 구성하고 있다. 즉, 상기 동작 제어부(63b)는, 상기 접수부(63a)에 입력된 설정 유량값을 유량 제어 가능 레인지 내에 포함하는 유량 제어 유니트(UT)가 유량 제어를 행하도록 결정하고, 또한, 유량 제어를 행하지 않은 유량 제어 유니트(UT)의 상기 유량 제어 밸브(4)를 전폐시키도록 구성하고 있다. 예를 들면, 설정 입력값으로서 최대 유량의 50％가 입력된 경우에는, 상기 동작 유니트 결정부(63)의 동작 제어부(63b)는, 평면시에서 상측에 있는 일방의 유량 제어 유니트(UT)의 밸브 제어부(62)의 제어 신호 수신부(도 1에서 A, B에 의해 나타내어짐)에 대해서 이 설정 입력값을 입력함과 아울러, 평면시에서 하측에 있는 타방의 유량 제어 유니트(UT)의 밸브 제어부(62)의 제어 신호 수신부에 대해서는 전폐 지령을 입력한다.

이 결과, 평면시에서 상측의 내부 유로(1a)에는 유체가 흐르고, 설정 유량값이 되도록 평면시에서 상측의 유량 제어 밸브(4)는 순서대로 그 개도가 변경되게 된다. 한편, 평면시에서 하측의 내부 유로(1a)에서는, 하측의 유량 제어 밸브(4)가 전폐가 되기 때문에, 유체가 흐르지 않는다.

즉, 상기 동작 유니트 결정부(63)가 어느 하나의 유량 제어 유니트(UT) 밖에 동작시키지 않도록 구성되어 있으므로, 각 유량 제어 유니트(UT)는 독립 배타적으로 동작하게 된다.

반대로, 유저에 의해 예를 들면 최대 유량 0.1％ 등의 작은 설정 유량값이 입력된 경우에는, 일방의 유량 제어 유니트(UT)에는 전폐 지령이 입력되어 평면시에서 상측의 내부 유로(1a)에는 유체가 흐르지 않고, 타방의 유량 제어 유니트(UT)에는 설정 유량값이 밸브 제어부(62)에 입력되어 유량 제어가 행해지므로, 평면시에서 하측의 내부 유로(1a)에는 유체가 흐르게 된다.

이와 같이 본 실시 형태의 유량 제어장치(10)에 의하면, 규격화되어 있는 1개의 기판 블록(1)에 대해서 2개의 유량 제어 유니트(UT)를 병행, 또한, 독립적으로 제어 가능하게 구성하고 있으며, 상기 동작 유니트 결정부(63)가, 설정 유량값이 유량 제어 가능 레인지에 포함되는 쪽의 유량 제어 유니트(UT)에서만 유량 제어를 행하게 하도록 구성하고 있으므로, 유량의 제어 정밀도를 유지한 채로 유량 제어 가능 레인지를 넓게 할 수 있다.

예를 들면, 종래의 유량 제어장치(10)와 같이 1개의 일방의 유량 제어 유니트(UT) 밖에 기판 블록(1)에 형성되어 있지 않은 경우는, 최대 유량의 10％ ~ 100％까지 밖에 신뢰를 할 수 있는 제어는 할 수 없지만, 본 실시 형태의 유량 제어장치(10)라면, 타방의 유량 제어 유니트(UT)의 유량 제어 가능 레인지인 최대 유량의 0.03 ~ 10％에서도 신뢰할 수 있는 유량 제어가 가능하므로, 유량 제어장치(10)로서 0.03％ ~ 100％의 사이에서 유량 제어가 가능하다고 말할 수 있다.

즉, 본 실시 형태의 유량 제어장치(10)는, 다른 부재와의 접속을 위한 규격이 존재하기 때문에 사이즈의 변경이 어려운 기판 블록(1)에 대해서는 종래의 것을 이용하면서도, 고밀도화 및 소형화를 도모하면서, 유량 제어 가능 레인지에 대해서도 보다 넓게 할 수 있다.

다음에 본 발명의 다른 실시 형태에 대해서 도 6의 사시도와 도 7의 평면시도(平面視圖)를 참조하면서 설명한다. 또한, 상기 실시 형태와 대응하는 부재에는 동일한 부호를 부여하는 것으로 한다.

상기 실시 형태에서는, 기판 블록(1)은 단일의 금속 직방체에 대해서 각종 천공 가공을 실시하는 것에 의해 형성되어 있었지만, 본 실시 형태의 기판 블록(1)은, 도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이 2개의 개략 세직방체(細直方體) 형상의 기판 블록 요소(1s)와, 각 기판 블록 요소(1s)를 측면끼리가 인접한 상태에서 나란히 연결함과 아울러, 상기 기판 블록 요소(1s)와 가스 패널 시스템을 구성하기 위한 접속 블록(GP)과의 사이를 중개하고, 연결하는 2개의 어댑터 블록(AB)으로 구성하고 있다. 그리고, 각 기판 블록 요소(1s)의 상면(上面)은 장착면(1c)으로 되어 있으며, 각각 1개씩 유량 제어 유니트(UT)가 구성되어 있다.

각 부에 대해서 상술한다.

상기 기판 블록 요소(1s)는, 도 7의 (a) 및 도 7의 (b)에 나타내는 바와 같이 내부에 분기가 존재하지 않는 내부 유로(1a)가 형성되어 있으며, 장착면(1c)의 대면(對面)에는 상기 어댑터 블록(AB)의 내부 유로(1a)와 연결되는 유입측 연결구멍(1j)과, 유출측 연결구멍(1k)이 형성되어 있다. 상기 유입측 연결구멍(1j)과 상류측 내부 유로(1a(2))와의 사이에는 상기 어댑터 블록(AB) 내에 형성되어 있는 유입로(1a(1))와 연결되는 유입측 연결 유로(1a(1'))가 형성되어 있으며, 상기 하류측 내부 유로(1a(3))와 상기 유출측 연결구멍(1k)과의 사이에는 유출측 연결 유로(1a(4'))가 형성되어 있다.

각 어댑터 블록(AB)은, 도 7의 (c)에 나타내는 바와 같이, 개략 직방체 형상의 것이며, 상기 연결 블록 요소(1s)와의 사이에서 볼트 접속하기 위한 나사구멍(H) 외에, 상기 기판 블록 요소(1s)의 각 유입측 연결구멍(1i)과 연결되는 2개의 유체 도출구(導出口, 1l) 또는, 각 유출측 연결구멍(1k)과 연결되는 2개의 유체 유입구(1m) 중 어느 하나가 형성되어 있다. 또, 상기 어댑터 블록(AB)의 하면(下面)에는, 접속 블록(GP)으로부터 유체가 유입하는 단일의 입력 포트(1d) 또는 상기 기판 블록 요소(1s)를 통과한 유체가 접속 블록(GP)으로 출력되는 단일의 출력 포트(1e) 중 어느 하나가 형성되어 있다.

즉, 일방의 어댑터 블록(AB)의 내부에서 상기 입력 포트(1d)로부터 연장하는 유입로(1a(1))는 도중에 분기하여, 각 유체 유출구(1l)에 접속되어 있다. 또, 타방의 어댑터 블록(AB)의 내부에서는, 각 유체 유입구(1m)로부터 연장하는 내부 유로가 도중에서 합류하여 상기 출력 포트(1e)에 접속되는 유출로(1a(4))가 형성되어 있다.

그리고, 2개의 기판 블록 요소(1s)와 2개의 어댑터 블록(AB)을 조합시킨 경우의 평면시에서의 외형 사이즈는, 기판 블록(1)의 규격에 맞추어, 도 7의 (a)에 나타내는 바와 같이 장변(長邊) 방향의 치수가 105mm, 폭방향의 치수가 28.8mm가 되도록 구성되어 있으며, 입력 포트(1d), 출력 포트(1e)의 위치도 상기 실시 형태와 동일한 위치가 되도록 하고 있다.

이와 같이, 기판 블록 요소(1s) 상에 1개만 유량 제어 유니트(UT)를 마련하고, 2개의 기판 블록 요소(1s)를 2개의 어댑터 블록(AB)으로 연결함으로써 단일의 기판 블록(1)을 구성해도 상기 실시 형태와 동일의 사이즈로 도 1에 나타내어지는 유체 회로와 등가인 유체 회로를 형성할 수 있다. 즉, 본 실시 형태에서도 상기 실시 형태와 동일의 효과를 나타내는 것은 물론, 각 기판 블록(1)을 단일의 금속 블록으로 형성하는 경우에 비해 내부 유로(1a)의 가공 등이 용이하게 된다.

또, 도 2에 나타낸 상기 실시 형태의 유량 제어장치(10)와, 도 6에 나타내는 본 실시 형태의 유량 제어장치(10)를 비교한 경우, 모두 평면적인 사이즈는 동일하지만, 본 실시 형태의 유량 제어장치(10)는 어댑터 블록(AB)이 존재하는 만큼 높이 방향의 사이즈가 커지게 된다. 반도체 제조 공정에서 풋프린트 뿐만이 아니라, 높이 방향의 제한이 엄격한 경우에는, 상기 실시 형태와 같은 유량 제어장치(10)가 보다 바람직하다. 이들 실시 형태는, 비용이나 설치 제한 등의 조건에 따라 적절하게 어느 쪽을 적용할지를 선택하면 좋다.

그 외의 실시 형태에 대해서 설명한다.

상기 실시 형태에서는, 각 유량 제어 유니트는 차압식(差壓式, 압력식) 유량 센서에 의해 유량 제어를 행하는 것이었지만, 예를 들면, 제1 압력 센서, 층류 소자, 제2 압력 센서로 이루어지는 유량 센서 대신에, 열식(熱式) 유량 센서를 이용하여 유량 제어를 행하는 것이라도 상관없다. 게다가, 유량 제어장치 유니트를 구성하는 각 유체 기기의 배열은 상기 각 실시 형태에 나타낸 것에 한정되지 않고, 예를 들면 상류로부터 제1 압력 센서, 층류 소자, 제2 압력 센서, 유량 제어 밸브의 순서로 배치되어 있어도 상관없다. 열식 유량 센서를 이용하고 있는 경우도, 유량 제어 밸브, 열식 유량 센서의 순서로 상류로부터 마련되어 있어도 괜찮고, 반대로 열식 유량 센서, 유량 제어 밸브의 순서로 마련되어 있어도 괜찮다.

또, 층류 소자 대신에 음속(音速) 노즐을 이용해도 상관없다. 요컨대 유체에 대해서 저항이 되는 각 압력 센서에 의해 유량을 측정하는데 필요한 압력 변화를 생기게 하는 유체 저항 소자를 이용하면 좋다.

상기 실시 형태에서는, 기판 블록의 장착면 상에는 2개의 유량 제어 유니트를 구성하고 있었지만, 입력 포트와 출력 포트와의 사이에 병렬인 유로를 형성하도록 3개 이상의 유량 제어 유니트를 구성해도 상관없다.

또, 각 유량 제어 유니트의 유량 제어 특성은 반드시 다르게 하지 않아도 좋고, 대략 동일한 유량 제어 특성을 가지는 유량 제어 유니트를 입력 포트와 출력 포트와의 사이에서 병렬로, 복수 형성해도 좋다. 이 때, 각 유량 제어 유니트의 유량 제어가 독립하여 가능한 것이면 좋다.

상기 실시 형태에서는, 동작 유니트 결정부에 의해 어느 하나의 유량 제어 유니트에서만 유량 제어가 행해져, 배타적인 유량 제어가 되도록 구성하고 있었지만, 양쪽 모두의 유량 제어 유니트에서 유량 제어가 동시에 행해지도록 해도 괜찮다.

구체적으로는, 상기 동작 유니트 결정부 대신에, 입력된 설정 유량값을 각 유량 제어 유니트에 분배하고, 각 유량 제어 유니트에 동시에 유량 제어를 시키는 설정 유량 분배부를 구비한 유량 제어장치라도 상관없다. 예를 들면, 최대 유량에 대해서 50％의 설정 유량값이 입력된 경우, 상기 설정 유량 분배부는, 일방의 유량 제어 유니트에 30％의 설정 입력값을 입력하고, 타방의 유량 제어 유니트에 20％의 설정 유량값을 입력하여, 2개의 유량 제어 유니트로부터 출력되는 유량의 합계가 유저에 의해 입력된 설정 유량값이 되도록 분배한다. 이 분배 비율은 자유롭게 변경해도 좋고, 예를 들면 반씩 분배하도록 해도 괜찮다.

또, 상기 설정 유량 분배부가, 설정 유량값의 자리수(오더(order)) 마다, 각 유량 제어 유니트로 설정 유량값을 분배하도록 구성해도 괜찮다. 예를 들면, 설정 유량값에서의 1자리수 이상의 부분에 대해서는 대유량(大流量)을 흐르게 할 수 있는 한편, 제어 분해능이 그만큼 높지 않은 유량 제어 유니트에 입력하고, 설정 유량값의 소수점 이하의 부분에 대해서는 소유량(小流量) 밖에 흐르지 않는 한편, 제어 분해능이 높은 유량 제어 유니트에 입력하도록 상기 설정 유량 분배부를 구성하는 것을 들 수 있다. 이와 같은 것이면, 상기 설정 유량 분배부는, 각 유량 제어 유니트의 제어 분해능에 따른 오더의 설정 유량을 항상 부여하므로, 상기 출력 포트로부터 출력되는 토탈(total) 유량의 정밀도 뿐만이 아니라, 제어의 응답성에 대해서도 향상시킬 수 있다.

게다가, 2개의 유량 제어 유니트에 대해서 동시에 유체를 흐르게 하여 유량 제어할 수도 있으므로, 유량 제어의 분해능을 유지한 채로 최대 유량을 크게 할 수 있다.

즉, 본 발명은 단일의 기판 블록에 대해서 복수의 독립한 유량 제어 유니트가 있는 것에 의해, 고밀도화, 소형화를 도모하면서도, 상술해 온 바와 같은 여러 가지 유량 제어 상태를 실현할 수 있다.

게다가, 상기 동작 유니트 결정부는, 어느 유량 제어 유니트가 유저에 의한 설정 유량값을 받아들일까에 대해서 판단하도록 해도 괜찮다.

또, 상기 층류 소자의 하류에 있는 제2 압력 센서는, 상기 실시 형태에서는 각각 별도의 센서를 장착하고 있었지만, 도 8에 나타내는 바와 같이 공통화해도 상관없다. 이것은, 출력 포트로부터 각 층류 소자까지의 유로는 연결하고 있고, 압력으로서 거의 차이가 생기지 않아, 일방의 내부 유로에서의 압력을 그대로 사용할 수 있기 때문이다. 제2 압력 센서를 공통화하는 경우에는, 도 8에 나타내는 바와 같이 기존의 감압면이 장착면과 평행이 되는 압력 센서를 이용하여 폭방향 치수가 한도껏 되도록 배치함과 아울러, 어느 일방의 층류 소자의 하류측에서의 압력을 측정하도록 하면 좋다. 도 2에 나타내어지는 바와 같은 장착면에 대해서 감압면이 수직이 되도록 세로 배치되는 압력 센서의 경우, 장착면과 감압면과의 사이에 개재하는 유체 블록이 필요로 되고, 이 유체 블록은 연마 등을 행하여 높은 가공 정밀도를 유지하지 않으면 안 되는 만큼 제조 비용이 높아진다. 한편, 공통화하고 있는 센서에 이용하고 있는 것과 같은 감압면이 장착면에 대해서 평행이 되도록 장착되는 압력 센서의 경우, 전술한 유체 블록에 상당하는 부재가 필요없기 때문에, 제조 비용이 낮고, 공통화에 의한 비용 저감과 상승 효과에 의해 유량 제어장치의 제조 비용을 큰폭으로 저감할 수 있다.

게다가, 유량 제어 밸브가, 각 압력 센서 및 층류 소자 보다도 하류에 있는 경우에는, 층류 소자의 상류측의 압력 센서를 공통화 해도 괜찮다. 이 경우도 입력 포트로부터 각 층류 소자까지의 내부 유로는 하나로 연결되어 있으므로, 이 공간 내의 어디에서 압력을 측정해도 대략 동일한 값이 되기 때문이다.

게다가, 상기 각 실시 형태에서는 기판 블록 상에는 유량 제어 유니트를 구성하고 있었지만, 예를 들면 대신에 압력 제어 유니트를 구성해도 상관없다. 압력 제어 유니트는, 예를 들면 압력 센서와, 압력 제어 밸브와, 압력 센서에서 측정되는 측정 압력값이 설정 압력값이 되도록 상기 압력 제어 밸브의 개도를 제어하는 밸브 제어부로 구성한 것을 들 수 있다. 이 압력 제어 유니트에 대해서도, 상류로부터 압력 센서, 압력 제어 밸브의 순서로 마련되어 있어도 괜찮고, 반대로 압력 제어 밸브, 압력 센서의 순서로 마련되어 있어도 괜찮다.

또, 정보 처리 회로에 의해 자동적으로 어느 유량 제어 유니트가 어떤 유량 제어를 행할지가 결정되는 방식 이외에도, 유저가 직접 각 유량 제어 유니트에 설정 유량값을 자유롭게 설정할 수 있도록 해도 상관없다.

그 외, 본 발명은 상기 도시예에 한정되지 않고, 그 취지를 일탈하지 않는 범위에서 여러 가지 변형이 가능하다.

본 발명은, 반도체 제조 라인 등에서 이용되는 가스 패널 시스템에 이용할 수 있으며, 평면 사이즈의 표준화에 의한 설비 갱신의 용이성이라는 이점을 누리면서, 그 유량 제어 성능 등을 향상시킬 수 있다.

100：가스 패널 시스템 UT ：유량 제어 유니트
1 ：기판 블록 1d ：입력 포트
1e ：출력 포트 1a(1)：유입로
1a(4)：유출로 10 ：유량 제어장치
21, 22 ：압력 센서 21P ：감압면
61 ：유량 산출부 62 ：밸브 제어부
63 ：동작 유니트 결정부

Claims

유체가 유입하는 단일의 입력 포트, 유체가 유출하는 단일의 출력 포트, 상기 입력 포트에 기단(基端)이 접속된 2개의 유입로, 및 상기 출력 포트에 종단(終端)이 접속된 2개의 유출로가 형성된 기판 블록과,
상기 기판 블록에 배치된 2개의 유량 제어 유니트를 구비하며,
상기 유량 제어 유니트의 일방은, 상기 일방의 유입로와 일방의 유출로와의 사이에 마련됨과 아울러, 타방의 유입로와 타방의 유출로와의 사이에 상기 유량 제어 유니트의 타방이 마련되고, 또한, 각 유량 제어 유니트가 독립하여 동작 가능하게 구성되어 있으며,
상기 기판 블록이, 2개의 상기 유량 제어 유니트가 장착되는 장방형상의 장착면을 구비하고,
상기 장착면에 대해서 수직인 방향으로부터 본 경우에, 상기 유입로가 상기 입력 포트로부터 상기 장착면의 장변측으로 경사져 연장하고 있고, 상기 유출로가 상기 장착면의 장변측으로부터 상기 출력 포트로 경사져 연장하고 있는 것을 특징으로 하는 유량 제어장치.
청구항 1에 있어서,
상기 유량 제어 유니트의 일방에 의해 유체의 유량 제어가 행해지고 있는 경우에는, 상기 유량 제어 유니트의 타방을 통하여 상기 입력 포트로부터 상기 출력 포트로 유체가 흐르지 않도록 구성되어 있는 유량 제어장치.
청구항 1에 있어서,
각 유량 제어 유니트의 유량 제어 특성이 다르게 되어 있으며,
입력된 설정 유량값에 따라서, 어느 유량 제어 유니트에 의해 유량 제어를 행할지를 결정하는 동작 유니트 결정부를 더 구비한 유량 제어장치.
청구항 3에 있어서,
상기 각 유량 제어 유니트가, 유량 제어 밸브와, 유량 센서와, 상기 유량 센서로 측정되는 측정 유량값 및 입력되어 있는 설정 유량값의 편차가 작아지도록 상기 유량 제어 밸브의 개도를 제어하는 밸브 제어부를 각각 독립적으로 구비하고,
상기 각 유량 제어 유니트의 유량 제어 가능 레인지(range)가 다르게 되어 있으며,
상기 동작 유니트 결정부가, 입력된 설정 유량값을 유량 제어 가능 레인지 내에 포함하는 유량 제어 유니트가 유량 제어를 행하도록 결정하고, 또한, 유량 제어를 행하지 않는 유량 제어 유니트의 상기 유량 제어 밸브를 전폐(全閉)시키도록 구성되어 있는 유량 제어장치.
청구항 1에 있어서,
상기 기판 블록이, 유량 제어 유니트가 장착되는 장방형상(長方形狀)의 장착면에서의 짧은 방향의 치수에 대해서, 감압면(感壓面)을 장착면에 대해서 평행하게 하여 장착되는 압력 센서의 외형 치수와 동일하게 설정되어 있는 규격화된 기판 블록이고,
상기 각 유량 제어 유니트가, 감압면을 장착면에 대해서 수직으로 하여 장착되는 압력 센서를 각각 구비하고 있으며,
각 압력 센서가, 장착면에서 짧은 방향으로 나란히 병행으로 장착되어 있는 유량 제어장치.