KR102039341B1 - Manufacturing method of copper clad laminate - Google Patents

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케이이치 야나기다
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Abstract

열융착성 폴리이미드 필름에서의 열융착성 폴리이미드층상에 동박을 겹쳐서 열압착하여 동장 적층판을 제조한다. 열융착성 폴리이미드 필름은 열융착성 폴리이미드층과 내열성 폴리이미드층을 포함한다. 열융착성 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드는 테트라카르복실산 성분과 디아민 성분으로부터 얻어진다. 테트라카르복실산 성분이 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물을 10~30몰% 포함하고, 또한 피로멜리트산2무수물을 70~90몰% 포함한다. 디아민 성분이 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판을 50몰% 초과하여 포함한다. 내열성 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드는 테트라카르복실산 성분과 디아민 성분으로부터 얻어진다. 테트라카르복실산 성분이 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물을 50몰% 초과하여 포함한다. 디아민 성분이, p-페닐렌디아민을 50몰% 초과하여 포함한다.The copper clad laminated board is manufactured by superimposing copper foil on the heat-sealing polyimide layer in a heat-sealing polyimide film. The heat sealable polyimide film includes a heat sealable polyimide layer and a heat resistant polyimide layer. The polyimide which comprises a heat-sealable polyimide layer is obtained from a tetracarboxylic acid component and a diamine component. The tetracarboxylic acid component contains 10 to 30 mol% of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and 70 to 90 mol% of pyromellitic dianhydride. The diamine component comprises more than 50 mol% of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane. The polyimide which comprises a heat resistant polyimide layer is obtained from a tetracarboxylic-acid component and a diamine component. The tetracarboxylic acid component contains more than 50 mol% of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride. The diamine component contains more than 50 mol% of p-phenylenediamine.

Description

동장(銅張) 적층판의 제조방법Manufacturing method of copper clad laminate

본 발명은 열융착성 폴리이미드 필름을 이용한 동장 적층판의 제조방법에 관한 것이다. The present invention relates to a method for producing a copper clad laminate using a heat sealable polyimide film.

폴리이미드 필름은 플렉시블 프린트 배선판(이하 "FPC(Flexible Printed Circuit)"라고도 함)이나 테이프 오토메이티드 본딩(이하 "TAB(Tape Automated Bonding)"라고도 함) 등의 기판 재료로서 폭넓게 사용되고 있다. Polyimide films are widely used as substrate materials such as flexible printed wiring boards (hereinafter also referred to as "FPC (Flexible Printed Circuit)") and tape automated bonding (hereinafter also referred to as "TAB (Tape Automated Bonding")).

FPC나 TAB의 제조에 있어서, 폴리이미드 필름과 동박을 붙이는 방법으로는 에폭시 수지나 아크릴 수지 등의 접착제를 이용하는 방법을 들 수 있다. In manufacture of FPC and TAB, the method of using an adhesive, such as an epoxy resin and an acrylic resin, is mentioned as a method of sticking a polyimide film and copper foil.

접착제를 이용하지 않고 동박과 붙일 수 있는 폴리이미드 필름도 제안되고 있다. 예를 들면, 특허문헌 1 및 2에는 내열성 폴리이미드층에 열융착성 폴리이미드층이 적층되어 이루어지는, 열융착성을 가지는 폴리이미드 필름, 및 그것을 이용한 동장 적층판의 제조방법이 개시되어 있다. The polyimide film which can stick with copper foil, without using an adhesive agent is also proposed. For example, Patent Documents 1 and 2 disclose a polyimide film having a heat sealability, in which a heat sealable polyimide layer is laminated on a heat resistant polyimide layer, and a method for producing a copper clad laminate using the same.

WO2011/087044호WO2011 / 087044 WO2013/157565호WO2013 / 157565

그러나, FPC나 TAB의 고기능화에 따라, 열융착성 폴리이미드 필름의 내열성이나, 열융착성 폴리이미드 필름과 피착체인 동박 등의 금속층과의 접착성의 한층 높은 개선이 요망되고 있었다. However, with the high functionalization of FPC and TAB, the improvement of the heat resistance of a heat-sealing polyimide film, and the adhesiveness of metal layers, such as copper foil which is a heat-adhesive polyimide film and a to-be-adhered body, was desired further.

따라서 본 발명은 내열성이 뛰어나고, 또한 금속층과의 접착성이 뛰어난 열융착성 폴리이미드 필름을 이용한 동장 적층판의 제조방법을 제공하는 것을 목적으로 한다. Therefore, an object of this invention is to provide the manufacturing method of the copper clad laminated board using the heat-sealing polyimide film which is excellent in heat resistance and excellent in adhesiveness with a metal layer.

본 발명은 이하의 항에 관한 것이다. The present invention relates to the following terms.

1. 열융착성 폴리이미드 필름에 동박을 겹쳐서 열압착하는 공정을 가지는 동장 적층판의 제조방법으로서, 1.A method for producing a copper clad laminate having a step of overlapping and thermocompression bonding copper foil on a heat-sealing polyimide film,

상기 열융착성 폴리이미드 필름은, 열융착성 폴리이미드층과, 상기 열융착성 폴리이미드층에 접하여 적층된 내열성 폴리이미드층을 포함하고, The heat sealable polyimide film includes a heat sealable polyimide layer and a heat resistant polyimide layer laminated in contact with the heat sealable polyimide layer,

상기 열융착성 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드는 테트라카르복실산 성분과 디아민 성분으로부터 얻어지고, The polyimide which comprises the said heat-sealing polyimide layer is obtained from a tetracarboxylic-acid component and a diamine component,

상기 테트라카르복실산 성분이, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물을 10~30몰% 포함하고, 또한 피로멜리트산2무수물을 70~90몰% 포함하며, The tetracarboxylic acid component contains 10 to 30 mol% of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and 70 to 90 mol% of pyromellitic dianhydride,

상기 디아민 성분이 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판을 50몰% 초과하여 포함하고, The diamine component contains more than 50 mol% of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane,

상기 내열성 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드는 테트라카르복실산 성분과 디아민 성분으로부터 얻어지고, The polyimide which comprises the said heat resistant polyimide layer is obtained from a tetracarboxylic-acid component and a diamine component,

상기 테트라카르복실산 성분이 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물을 50몰% 초과하여 포함하고, The tetracarboxylic acid component contains more than 50 mol% of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride,

상기 디아민 성분이 p-페닐렌디아민을 50몰% 초과하여 포함하고, The diamine component comprises more than 50 mol% of p-phenylenediamine,

상기 열융착성 폴리이미드층상에 동박을 겹쳐서 350℃ 이상, 420℃ 이하의 온도범위에서 열압착하는 동장 적층판의 제조방법. The copper clad laminated board manufacturing method of laminating | stacking copper foil on the said heat-sealing polyimide layer, and carrying out thermocompression bonding at the temperature range of 350 degreeC or more and 420 degrees C or less.

2. JIS C6471의 방법으로 측정한 박리 강도가 0.5N/㎜ 이상인 상기 항 1에 기재된 동장 적층판의 제조방법. 2. The manufacturing method of the copper clad laminated board of said claim | item 1 whose peeling strength measured by the method of JIS C6471 is 0.5 N / mm or more.

[열융착성 폴리이미드 필름] [Heat sealable polyimide film]

본 발명에서 이용하는 열융착성 폴리이미드 필름은 열융착성 폴리이미드층(이하, 간단히 "열융착층"이라고도 함)과, 상기 열융착성 폴리이미드층에 접하여 적층된 내열성 폴리이미드층(이하 "코어층"이라고도 함)을 포함하는 다층의 폴리이미드 필름이다. 열융착성 폴리이미드 필름은 적어도 한 층의 열융착층 및 적어도 한 층의 코어층을 가지고 있는, 적어도 2층 구조이다. 열융착성 폴리이미드 필름은 코어층의 각 면에 동일하거나 다른 열융착층이 배치된 3층 구조여도 된다. The heat-sealable polyimide film used in the present invention is a heat-sealable polyimide layer (hereinafter referred to simply as a "heat-sealed layer"), and a heat-resistant polyimide layer laminated in contact with the heat-sealable polyimide layer (hereinafter "core" Layer ”, also called " layers "). The heat sealable polyimide film is at least a two-layer structure having at least one heat seal layer and at least one core layer. The heat sealable polyimide film may have a three-layer structure in which the same or different heat seal layers are disposed on each side of the core layer.

여기서, "열융착성"이란, 폴리이미드 필름 표면의 연화점이 350℃ 미만인 것을 말한다. 연화점은 대상물이 가열시에 급격하게 연화되는 온도이며, 비결정성 폴리이미드에서는 유리 전이 온도(Tg)가 연화점이며, 결정성 폴리이미드에서는 융점이 연화점이다. Here, "heat sealing property" means that the softening point of the surface of a polyimide film is less than 350 degreeC. The softening point is a temperature at which an object is softened rapidly during heating, the glass transition temperature (Tg) is a softening point in amorphous polyimide, and the melting point is a softening point in crystalline polyimide.

<열융착성 폴리이미드층> <Heat sealable polyimide layer>

열융착성 폴리이미드층(열융착층)은 테트라카르복실산 성분과 디아민 성분으로부터 얻어지는 열융착성 폴리이미드로 이루어진다. The heat sealable polyimide layer (heat seal layer) consists of a heat sealable polyimide obtained from a tetracarboxylic acid component and a diamine component.

상기 열융착성 폴리이미드는 테트라카르복실산 성분이 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물과 피로멜리트산2무수물을 그들의 합계로 80몰% 이상 포함하는 것이 바람직하고, 특히, 테트라카르복실산 성분이 이들의 화합물로 이루어지는 것이 더 바람직하다. 이들의 성분의 함유 비율은 전체 테트라카르복실산 성분 중 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물이 10~30몰%, 특히 15~25몰%인 것이 바람직하고, 피로멜리트산2무수물이 70~90몰%, 특히 75~85몰%인 것이 바람직하다. The heat-sealable polyimide preferably has a tetracarboxylic acid component of 80 mol% or more of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride and pyromellitic dianhydride in their total. In particular, it is more preferable that the tetracarboxylic acid component consists of these compounds. It is preferable that the content rate of these components is 10-30 mol%, especially 15-25 mol% of 3,3 ', 4,4'-biphenyl tetracarboxylic dianhydride among all the tetracarboxylic-acid components, It is preferable that pyromellitic dianhydride is 70-90 mol%, especially 75-85 mol%.

또한, 상기 열융착성 폴리이미드는, 디아민 성분이 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판을 전체 디아민 성분 중 50몰% 초과하여 포함하는 것이 바람직하다. 전체 디아민 성분 중의 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판의 함량은, 바람직하게는 70몰% 이상, 보다 바람직하게는 80몰% 이상, 가장 바람직하게는 90몰% 이상 100% 이하이다. Moreover, it is preferable that the said heat-sealing polyimide contains more than 50 mol% of 2, 2-bis [4- (4-amino phenoxy) phenyl] propane in a diamine component. The content of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane in the total diamine component is preferably 70 mol% or more, more preferably 80 mol% or more, most preferably 90 mol%. It is more than 100%.

테트라카르복실산 성분으로는 상기 2개의 테트라카르복실산 성분과 다른 테트라카르복실산 성분을 병용할 수 있다. 병용하는 다른 테트라카르복실산 성분으로는, 예를 들면, 3,3',4,4'-벤조페논테트라카르복실산2무수물, 비스(3,4-디카르복시페닐)에테르2무수물, 비스(3,4-디카르복시페닐)설파이트2무수물, 비스(3,4-디카르복시페닐)술폰2무수물, 비스(3,4-디카르복시페닐)메탄2무수물, 2,2-비스(3,4-디카르복시페닐)프로판2무수물, 및 1,4-하이드로퀴논디벤조에이트-3,3',4,4'-테트라카르복실산2무수물 등을 들 수 있다. 병용하는 테트라카르복실산 성분은 단독 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. As said tetracarboxylic-acid component, the said two tetracarboxylic-acid component and another tetracarboxylic-acid component can be used together. As another tetracarboxylic-acid component used together, 3,3 ', 4,4'- benzophenone tetracarboxylic dianhydride, bis (3, 4- dicarboxyphenyl) ether 2 anhydride, bis ( 3,4-dicarboxyphenyl) sulfite 2 anhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone 2 anhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane 2 anhydride, 2,2-bis (3,4 -Dicarboxyphenyl) propane dianhydride, and 1,4-hydroquinone dibenzoate-3,3 ', 4,4'- tetracarboxylic dianhydride, etc. are mentioned. The tetracarboxylic-acid component used together can be used individually or in combination of 2 or more types.

디아민 성분으로는 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판과 다른 디아민 성분을 병용할 수 있다. 병용하는 다른 디아민 성분으로는, 예를 들면, 1,3-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 1,3-비스(3-아미노페녹시)벤젠, 1,4-비스(4-아미노페녹시)벤젠, 3,3'-디아미노벤조페논, 4,4'-비스(3-아미노페녹시)비페닐, 4,4'-비스(4-아미노페녹시)비페닐, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]케톤, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]케톤, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]설파이드, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]설파이드, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]술폰, 비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]에테르, 비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]에테르, 및 2,2-비스[4-(3-아미노페녹시)페닐]프로판 등을 들 수 있다. 병용하는 디아민 성분은 단독 또는 2종 이상을 조합하여 사용할 수 있다. As a diamine component, 2, 2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane and another diamine component can be used together. As another diamine component used together, 1, 3-bis (4-amino phenoxy) benzene, 1, 3-bis (3-amino phenoxy) benzene, 1, 4-bis (4-amino phenoxy) Benzene, 3,3'-diaminobenzophenone, 4,4'-bis (3-aminophenoxy) biphenyl, 4,4'-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ketone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfide, bis [4- (4-aminophenoxy Cs) phenyl] sulfide, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] ether , Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] ether, 2,2-bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl] propane, and the like. The diamine component used together can be used individually or in combination of 2 or more types.

열융착층을 구성하는 열융착성 폴리이미드는 비결정성인 것이, 상기 열융착층과 내열성 폴리이미드층의 박리 강도의 향상, 및 상기 열융착층과 동박의 박리 강도의 향상의 관점에서 바람직하다. 열융착성 폴리이미드가 비결정성이라는 것은, 유리 전이 온도를 가지지만 융점은 관측되지 않는 것을 말한다. 비결정성의 열융착성 폴리이미드로 구성되는 열융착층을 제조하기 위해서는, 예를 들면, 테트라카르복실산 성분 또는 디아민 성분으로서 에테르 결합을 가지는 화합물을 이용하는 등의 방법을 채용하면 된다. It is preferable that the heat-sealing polyimide constituting the heat-sealing layer is amorphous in view of the improvement of the peel strength of the heat-sealing layer and the heat-resistant polyimide layer and the improvement of the peel strength of the heat-sealing layer and the copper foil. The fact that the heat-sealable polyimide is amorphous means that it has a glass transition temperature but no melting point is observed. What is necessary is just to employ | adopt the method, such as using the compound which has an ether bond as a tetracarboxylic-acid component or a diamine component, in order to manufacture the heat-sealing layer which consists of amorphous heat-sealable polyimide.

또한, 얻어지는 열융착성 폴리이미드 필름의 내열성을 향상시키는 관점에서, 열융착층을 구성하는 열융착성 폴리이미드의 유리 전이 온도는 250℃~320℃인 것이 바람직하고, 270℃~300℃인 것이 더 바람직하다. 유리 전이 온도의 측정방법은 후술하는 실시예에서 상세하게 기술한다. In addition, it is preferable that the glass transition temperature of the heat-sealing polyimide which comprises a heat-sealing layer is 250 degreeC-320 degreeC, and is 270 degreeC-300 degreeC from a viewpoint of improving the heat resistance of the obtained heat-sealing polyimide film. More preferred. The measuring method of glass transition temperature is described in detail in the Example mentioned later.

<내열성 폴리이미드층> <Heat resistant polyimide layer>

내열성 폴리이미드층(코어층)은 테트라카르복실산 성분과 디아민 성분으로부터 얻어지는 내열성 폴리이미드로 이루어진다. The heat resistant polyimide layer (core layer) consists of heat resistant polyimide obtained from a tetracarboxylic acid component and a diamine component.

상기 내열성 폴리이미드는 테트라카르복실산 성분으로서 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물을 전체 테트라카르복실산 성분 중 50몰% 초과하여 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 내열성 폴리이미드는 테트라카르복실산 성분으로서 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물에 추가하여 그 이외의 다른 테트라카르복실산 성분을 포함해도 된다. 예를 들면, 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물을 50몰% 초과하여 포함하고, 또한 피로멜리트산2무수물 및 1,4-하이드로퀴논디벤조에이트-3,3',4,4'-테트라카르복실산2무수물로부터 선택되는 적어도 1종의 산 성분을 포함하는 것이 바람직하다. 해당 다른 테트라카르복실산 성분의 합계량은 전체 테트라카르복실산 성분 중 70몰% 이상인 것이 바람직하고, 80몰% 이상인 것이 더 바람직하고, 90몰% 이상인 것이 보다 바람직하다. It is preferable that the said heat resistant polyimide contains more than 50 mol% of 3,3 ', 4,4'-biphenyl tetracarboxylic dianhydride as a tetracarboxylic-acid component in all the tetracarboxylic-acid components. Moreover, the said heat resistant polyimide may also contain other tetracarboxylic-acid component other than 3,3 ', 4,4'-biphenyl tetracarboxylic dianhydride as a tetracarboxylic-acid component. For example, more than 50 mol% of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride is contained, and further, pyromellitic dianhydride and 1,4-hydroquinone dibenzoate-3, It is preferable to include at least 1 type of acid component chosen from 3 ', 4,4'- tetracarboxylic dianhydride. It is preferable that the total amount of this other tetracarboxylic-acid component is 70 mol% or more in all the tetracarboxylic-acid components, It is more preferable that it is 80 mol% or more, It is more preferable that it is 90 mol% or more.

상기 내열성 폴리이미드는 디아민 성분으로서 p-페닐렌디아민을 전체 디아민 성분 중 50몰% 초과하여 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기 내열성 폴리이미드는 디아민 성분으로서 p-페닐렌디아민에 추가하여 그 이외의 다른 디아민 성분을 포함해도 된다. 예를 들면, p-페닐렌디아민을 전체 디아민 성분 중 50몰% 초과하여 포함하고, 또한 4,4'-디아미노디페닐에테르, 3,4'-디아미노디페닐에테르, m-트리딘 및 4,4'-디아미노벤즈아닐리드로부터 선택되는 적어도 1종의 디아민 성분을 포함하는 것이 바람직하다. 해당 다른 디아민 성분의 합계량은 전체 디아민 성분 중 70몰% 이상인 것이 바람직하고, 80몰% 이상인 것이 더 바람직하고, 90몰% 이상인 것이 보다 바람직하다. It is preferable that the said heat resistant polyimide contains more than 50 mol% of p-phenylenediamine as a diamine component in all the diamine components. Moreover, the said heat resistant polyimide may also contain other diamine component other than p-phenylenediamine as a diamine component. For example, p-phenylenediamine contains more than 50 mol% of the total diamine component, and also 4,4'-diaminodiphenylether, 3,4'-diaminodiphenylether, m-tridine and It is preferred to include at least one diamine component selected from 4,4'-diaminobenzanilide. It is preferable that the total amount of the said other diamine component is 70 mol% or more in all the diamine components, It is more preferable that it is 80 mol% or more, It is more preferable that it is 90 mol% or more.

내열성 폴리이미드를 얻을 수 있는 테트라카르복실산 성분과 디아민 성분의 조합으로는 예를 들면, 다음을 들 수 있다. As a combination of the tetracarboxylic-acid component and the diamine component which can obtain a heat resistant polyimide, the following is mentioned, for example.

(1) 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물(이하 "s-BPDA"라고도 함)과, p-페닐렌디아민(이하 "PPD"라고도 함)과, 필요에 따라 4,4-디아미노디페닐에테르(이하 "DADE"라고도 함)를 포함하는 조합. 이 경우, PPD/DADE(몰비)는 100/0~85/15인 것이 바람직하다. (1) 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (hereinafter also referred to as "s-BPDA"), p-phenylenediamine (hereinafter also referred to as "PPD"), and Thus a combination comprising 4,4-diaminodiphenylether (hereinafter also referred to as "DADE"). In this case, it is preferable that PPD / DADE (molar ratio) is 100/0-85/15.

(2) 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물(s-BPDA) 및 피로멜리트산2무수물(이하 "PMDA"라고도 함)과, p-페닐렌디아민(PPD)과, 필요에 따라 4,4-디아미노디페닐에테르(DADE)를 포함하는 조합. 이 경우, s-BPDA/PMDA는 55/45~90/10인 것이 바람직하다. PPD와 DADE를 병용할 경우, PPD/DADE는 예를 들면 55/45~90/10인 것이 바람직하다. (2) 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) and pyromellitic dianhydride (hereinafter also referred to as "PMDA"), and p-phenylenediamine (PPD) And the combination containing 4, 4- diamino diphenyl ether (DADE) as needed. In this case, it is preferable that s-BPDA / PMDA is 55 / 45-90 / 10. When using PPD and DADE together, it is preferable that PPD / DADE is 55/45-90/10, for example.

(3) 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물(s-BPDA)과, p-페닐렌디아민(PPD)으로 이루어지는 조합. (3) A combination consisting of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) and p-phenylenediamine (PPD).

내열성 폴리이미드층에는 필요에 따라서 미세한 무기 또는 유기 필러(이하 "첨가제"라고도 함)를 배합할 수 있다. 무기 첨가제로는 입자상 혹은 편평상 등의 무기 필러를 들 수 있다. 구체적으로는 예를 들면 미립자상의 이산화 티탄 분말, 이산화 규소(실리카) 분말, 산화 마그네슘 분말, 산화 알루미늄(알루미나) 분말, 산화 아연 분말 등의 무기 산화물 분말, 미립자상의 질화 규소 분말, 질화 티탄 분말 등의 무기 질화물 분말, 탄화 규소 분말 등의 무기 탄화물 분말, 미립자상의 탄산 칼슘 분말, 황산 칼슘 분말, 황산 바륨 분말 등의 무기 염 분말을 들 수 있다. 유기 첨가제로는 예를 들면 폴리이미드 입자, 열경화성 수지의 입자 등을 들 수 있다. 이들의 첨가제는 2종 이상을 조합하여 사용해도 된다. 첨가제의 사용량 및 형상(크기, 애스펙트비)에 대해서는 사용 목적에 따라 선택하는 것이 바람직하다. 또한, 이들의 첨가제를 균일하게 분산시키기 위해서 그 자체 공지된 수단을 적용할 수 있다. A fine inorganic or organic filler (hereinafter also referred to as "additive") can be mix | blended with a heat resistant polyimide layer as needed. As an inorganic additive, inorganic fillers, such as a particulate form or a flat form, are mentioned. Specifically, for example, inorganic oxide powders such as fine titanium dioxide powder, silicon dioxide (silica) powder, magnesium oxide powder, aluminum oxide (alumina) powder, zinc oxide powder, silicon nitride powder of fine particles, titanium nitride powder, etc. And inorganic salt powders such as inorganic carbide powders such as inorganic nitride powders and silicon carbide powders, fine particulate calcium carbonate powders, calcium sulfate powders and barium sulfate powders. As an organic additive, polyimide particle | grains, the particle | grains of a thermosetting resin, etc. are mentioned, for example. You may use these additives in combination of 2 or more type. It is preferable to select the usage-amount and shape (size, aspect ratio) of an additive according to a use purpose. Moreover, a means known per se can be applied to uniformly disperse these additives.

본 발명에서 이용하는 열융착성 폴리이미드 필름의 두께는 특별히 한정되지 않지만, 내열성 폴리이미드층의 양면에 열융착성 폴리이미드층을 각각 가지는 3층 구조의 열융착성 폴리이미드 필름의 경우는, 내열성 폴리이미드층의 두께는 3~70㎛인 것이 바람직하고, 8~50㎛인 것이 보다 바람직하다. 열융착성 폴리이미드층의 두께는 0.5~15㎛인 것이 바람직하고, 1~12.5㎛인 것이 보다 바람직하다. 열융착성 폴리이미드 필름 전체의 두께는 1~30㎛인 것이 바람직하고, 2~25㎛인 것이 보다 바람직하다. Although the thickness of the heat-sealing polyimide film used by this invention is not specifically limited, In the case of the heat-sealing polyimide film of the 3-layered structure which has a heat-sealing polyimide layer in each of both surfaces of a heat-resistant polyimide layer, heat-resistant polyimide It is preferable that it is 3-70 micrometers, and, as for the thickness of a mid layer, it is more preferable that it is 8-50 micrometers. It is preferable that it is 0.5-15 micrometers, and, as for the thickness of a heat | fever adhesive polyimide layer, it is more preferable that it is 1-12.5 micrometers. It is preferable that it is 1-30 micrometers, and, as for the thickness of the whole heat | fever adhesive polyimide film, it is more preferable that it is 2-25 micrometers.

본 발명에서 이용하는 열융착성 폴리이미드 필름은 내열성이 뛰어난 것이 바람직하고, 예를 들면 솔더 내열성이 280℃ 이상, 특히 300℃ 이상인 것이 바람직하다. 또한, 열융착성 폴리이미드 필름의 찢김 강도는 1.7N/㎜ 이상, 특히 1.9N/㎜ 이상인 것이 바람직하다. 한편, 솔더 내열성 및 찢김 강도의 측정방법에 대해서는 실시예의 항에서 설명한다. It is preferable that the heat-sealing polyimide film used by this invention is excellent in heat resistance, for example, it is preferable that solder heat resistance is 280 degreeC or more, especially 300 degreeC or more. Moreover, it is preferable that the tearing strength of a heat-sealing polyimide film is 1.7 N / mm or more, especially 1.9 N / mm or more. In addition, the measuring method of solder heat resistance and tear strength is demonstrated in the term of an Example.

[열융착성 폴리이미드 필름의 제조방법] [Manufacturing method of heat sealable polyimide film]

다음으로, 본 발명에서 이용하는 열융착성 폴리이미드 필름의 제조방법의 일례로서, 내열성 폴리이미드층(코어층)의 한쪽 면 또는 양면에 열융착성 폴리이미드층(열융착층)을 가지는 열융착성 폴리이미드 필름의 제조방법에 대해서 설명한다. Next, as an example of the manufacturing method of the heat-sealing polyimide film used in the present invention, heat-sealing property having a heat-sealing polyimide layer (heat-sealing layer) on one side or both sides of the heat-resistant polyimide layer (core layer) The manufacturing method of a polyimide film is demonstrated.

(도공법에 의한 제조방법) (Manufacturing method by coating method)

본 발명에서 이용하는 열융착성 폴리이미드 필름은 내열성 폴리이미드를 부여하는 폴리이미드 전구체 용액(폴리아믹산 용액)(a)으로부터 얻어지는 자기(自己) 지지성 필름의 한쪽 면 또는 양면에, 열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리이미드 전구체 용액(폴리아믹산 용액)(b)을 도공하여 얻어진 다층의 자기 지지성 필름을 가열, 건조하여 이미드화함으로써 얻을 수 있다. The heat-sealing polyimide film used in the present invention is a heat-sealing polyimide on one side or both sides of a self-supporting film obtained from a polyimide precursor solution (polyamic acid solution) (a) that imparts a heat-resistant polyimide. It can obtain by heating, drying, and imidizing the multilayer self-supporting film obtained by coating the polyimide precursor solution (polyamic-acid solution) (b) which imparts (b).

내열성 폴리이미드를 부여하는 폴리이미드 전구체 용액(a)으로부터 얻어지는 자기 지지성 필름은 테트라카르복실산 성분과 디아민 성분을 실질적으로 등몰(equimolar), 또는 한쪽 성분을 다른 쪽의 성분에 비하여 조금 과잉으로 하여 유기 용매 중에서 반응시켜서 얻어지는 폴리이미드 전구체 용액(a)을 지지체상에 유연(流延; casting)하고, 유연물을 가열 건조하여 얻을 수 있다. The self-supporting film obtained from the polyimide precursor solution (a) which imparts a heat resistant polyimide is substantially equimolar in the tetracarboxylic acid component and the diamine component, or slightly in excess of one component relative to the other component. The polyimide precursor solution (a) obtained by making it react in an organic solvent can be cast on a support body, and a cast material can be obtained by heating and drying.

한편, 열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리이미드 전구체 용액(b)도, 테트라카르복실산 성분과 디아민 성분을 실질적으로 등몰로, 또는 한쪽의 성분을 다른 쪽의 성분에 비하여 조금 과잉으로 하여 유기 용매 중에서 반응시킴으로써 얻어진다. On the other hand, the polyimide precursor solution (b) which imparts a heat-sealable polyimide also has an organic solvent in which the tetracarboxylic acid component and the diamine component are substantially equimolar, or one component is slightly excess compared to the other component. It is obtained by making it react in the inside.

열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리이미드 전구체 용액(b)은 테트라카르복실산 성분으로서 전체 테트라카르복실산 성분 중 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물을 10~30몰%, 피로멜리트산2무수물을 70~90몰% 포함하고, 상기 디아민 성분으로서 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판을 전체 디아민 중 50몰% 초과하여 포함하는 것이 바람직하다. The polyimide precursor solution (b) which provides a heat-sealable polyimide is a tetracarboxylic-acid component, and it is 10- containing 3,3 ', 4,4'-biphenyl tetracarboxylic dianhydride among all the tetracarboxylic-acid components. 30 mol%, 70-90 mol% of pyromellitic dianhydride, and the said diamine component contains 2, 2-bis [4- (4-amino phenoxy) phenyl] propane more than 50 mol% in all diamines. It is desirable to.

내열성 폴리이미드를 부여하는 폴리이미드 전구체 용액(a)은 테트라카르복실산 성분으로서 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물을 전체 테트라카르복실산 성분 중 50몰% 초과하여 포함하고, 상기 디아민 성분으로서 p-페닐렌디아민을 전체 디아민 중 50몰% 초과하여 포함하는 것이 바람직하다. The polyimide precursor solution (a) imparting heat resistant polyimide contains more than 50 mol% of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride as the tetracarboxylic acid component in the total tetracarboxylic acid component. It is preferable to contain more than 50 mol% of p-phenylenediamine as a diamine component in the whole diamine.

폴리이미드 전구체 용액(b) 및/또는 폴리이미드 전구체 용액(a)에는 폴리아믹산(폴리이미드 전구체)의 겔화를 제한할 목적으로, 인계 안정제, 예를 들면 아인산트리페닐이나 인산트리페닐 등을 폴리아믹산 중합시에 고형분(폴리머) 농도에 대하여 0.01~1질량%의 범위에서 첨가할 수 있다. The polyimide precursor solution (b) and / or the polyimide precursor solution (a) may contain a phosphorus stabilizer such as triphenyl phosphite or triphenyl phosphate for the purpose of limiting the gelation of the polyamic acid (polyimide precursor). It can add in 0.01-1 mass% with respect to solid content (polymer) concentration at the time of superposition | polymerization.

필름의 표면상태 및 생산성면에서는 폴리아믹산 용액에 인산 에스테르나, 3급 아민과 인산 에스테르의 염류를 첨가하는 것이 바람직하다. 이들의 첨가량은 폴리이미드 또는 중합체 100질량부에 대하여 0.01~5질량부인 것이 바람직하다. 인산에스테르의 구체예로는 디스테아릴인산에스테르나 모노스테아릴인산에스테르 등을 들 수 있다. 또한, 3급 아민과 인산에스테르의 염류로는 예를 들면 모노스테아릴인산에스테르트리에탄올아민염 등을 들 수 있다. 본 발명에서의 이미드화에 대해서는 열에 의한 이미드화(열 이미드화) 또는 화학적인 이미드화(화학 이미드화) 모두 적용할 수 있다. 이들 중 열 이미드화를 바람직하게 적용할 수 있다. In view of the surface state and productivity of the film, it is preferable to add a phosphate ester or salts of tertiary amine and phosphate ester to the polyamic acid solution. It is preferable that these addition amounts are 0.01-5 mass parts with respect to 100 mass parts of polyimides or a polymer. As a specific example of phosphate ester, distearyl phosphate ester, monostearyl phosphate ester, etc. are mentioned. Moreover, as a salt of a tertiary amine and a phosphate ester, a monostearyl phosphate ester triethanolamine salt etc. are mentioned, for example. About the imidation in this invention, thermal imidation (thermal imidation) or chemical imidation (chemical imidation) can be applied. Among these, thermal imidation can be preferably applied.

폴리이미드 전구체 용액(b) 및/또는 폴리이미드 전구체 용액(a)에는 이미드화를 촉진할 목적으로 염기성 유기 화합물을 첨가할 수 있다. 예를 들면, 이미다졸, 2-메틸이미다졸, 1,2-디메틸이미다졸, 2-페닐이미다졸, 벤즈이미다졸, 이소퀴놀린, 치환 피리딘 등을, 폴리아믹산(폴리이미드 전구체)에 대하여 바람직하게는 0.05~10질량%, 더 바람직하게는 0.05~5질량%, 특히 바람직하게는 0.1~2질량%의 비율로 사용할 수 있다. 이들의 염기성 유기 화합물을 이용하면, 비교적 저온에서 폴리이미드 전구체의 이미드화가 촉진되어서 폴리이미드 필름이 형성되므로, 이들의 염기성 유기 화합물은 이미드화가 불충분하게 되는 것을 피할 목적으로 사용할 수 있다. A basic organic compound can be added to the polyimide precursor solution (b) and / or the polyimide precursor solution (a) for the purpose of promoting imidization. For example, imidazole, 2-methylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-phenylimidazole, benzimidazole, isoquinoline, substituted pyridine, and the like are added to polyamic acid (polyimide precursor). It is preferably 0.05 to 10% by mass, more preferably 0.05 to 5% by mass, particularly preferably at a ratio of 0.1 to 2% by mass. By using these basic organic compounds, since imidation of a polyimide precursor is accelerated | stimulated at a comparatively low temperature, and a polyimide film is formed, these basic organic compounds can be used for the purpose of avoiding insufficient imidation.

상기 폴리이미드 전구체 용액을 제조하기 위한 유기 용매로는 N-메틸-2-피롤리돈, N,N-디메틸아세트아미드, N,N-디에틸아세트아미드, N,N-디메틸포름아미드, N,N-디에틸포름아미드, 헥사메틸술폰아미드 등의 아미드류, 디메틸술폭사이드, 디에틸술폭사이드 등의 술폭사이드류, 디메틸술폰, 디에틸술폰 등의 술폰류를 들 수 있다. 이들의 용매는 단독으로 이용해도 되고, 혼합하여 이용해도 된다. Organic solvents for preparing the polyimide precursor solution include N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, Amides such as N-diethylformamide and hexamethylsulfonamide, sulfoxides such as dimethyl sulfoxide and diethyl sulfoxide, and sulfones such as dimethyl sulfone and diethyl sulfone. These solvents may be used alone or in combination.

테트라카르복실산 성분과 디아민 성분의 중합 반응을 실시할 때의 유기 용매 중의 전체 모노머의 농도는 사용하는 목적에 따라 적절히 선택할 수 있다. 예를 들면, 폴리이미드 전구체 용액(a) 및 (b)는 유기 용매 중의 전체 모노머의 농도가 5~40질량%인 것이 바람직하고, 6~35질량%인 것이 보다 바람직하고, 10~30질량%인 것이 특히 바람직하다. The density | concentration of the all monomers in the organic solvent at the time of performing the polymerization reaction of a tetracarboxylic-acid component and a diamine component can be suitably selected according to the objective to be used. For example, as for the polyimide precursor solution (a) and (b), it is preferable that the density | concentration of the whole monomer in an organic solvent is 5-40 mass%, It is more preferable that it is 6-35 mass%, 10-30 mass% Is particularly preferred.

폴리이미드 전구체 용액(a) 및 폴리이미드 전구체 용액(b)의 제조예의 일례로서, 예를 들면 테트라카르복실산 성분과 디아민 성분을 실질적으로 등몰로, 또는 한쪽의 성분(산 성분 또는 디아민 성분)을 다른 쪽의 성분에 비하여 조금 과잉으로 하여 혼합하고, 바람직하게는 100℃ 이하, 더 바람직하게는 80℃ 이하, 한층 더 바람직하게는 0~60℃의 반응 온도로 약 0.2~60시간 반응시킴으로써 폴리이미드 전구체(폴리아믹산) 용액을 얻을 수 있다. As an example of the preparation example of a polyimide precursor solution (a) and a polyimide precursor solution (b), the tetracarboxylic-acid component and the diamine component are substantially equimolar, or one component (acid component or diamine component) Compared to the other components, the mixture is mixed in a little excess, and is preferably 100 ° C. or lower, more preferably 80 ° C. or lower, and even more preferably, polyimide is reacted at a reaction temperature of 0 to 60 ° C. for about 0.2 to 60 hours. A precursor (polyamic acid) solution can be obtained.

폴리이미드 전구체 용액(a) 및 폴리이미드 전구체 용액(b)의 용액 점도는 사용하는 목적(도공, 유연 등) 등에 따라 적절히 선택할 수 있다. 예를 들면, 폴리이미드 전구체 용액(a) 및 폴리이미드 전구체 용액(b)은 이들을 유연에 사용할 경우, 이 폴리이미드 전구체 용액을 취급하는 작업성면에서, 30℃에서 측정한 회전 점도가 약 100~5000포이즈인 것이 바람직하고, 500~4000포이즈인 것이 더 바람직하고, 1000~3000포이즈 정도인 것이 특히 바람직하다. 또한, 폴리이미드 전구체 용액(a) 및 폴리이미드 전구체 용액(b)을 도공에 사용할 경우, 폴리이미드 전구체 용액을 취급하는 작업성면에서, 30℃에서 측정한 회전 점도가 1~100센티포이즈인 것이 바람직하고, 3~50센티포이즈인 것이 더 바람직하고, 5~20센티포이즈인 것이 특히 바람직하다. 따라서, 상기 중합 반응은 생성하는 폴리아믹산(폴리이미드 전구체)이 상기와 같은 점도를 나타내는 정도까지 실시하는 것이 바람직하다. 또한, 제조한 폴리아믹산 용액에 상기 유기 용매를 첨가하여 용액 점도를 조정할 수도 있다. The solution viscosity of a polyimide precursor solution (a) and a polyimide precursor solution (b) can be suitably selected according to the objective (coating, casting, etc.) etc. to be used. For example, the polyimide precursor solution (a) and the polyimide precursor solution (b) have a rotational viscosity measured at 30 ° C. in terms of workability in handling the polyimide precursor solution when they are used in casting, and the polyimide precursor solution (a) and the polyimide precursor solution (b) are about 100 to 5000. It is preferable that it is poise, It is more preferable that it is 500-4000 poise, It is especially preferable that it is about 1000-3000 poise. In addition, when using a polyimide precursor solution (a) and a polyimide precursor solution (b) for coating, it is preferable that the rotational viscosity measured at 30 degreeC is 1-100 centipoise from the workability which handles a polyimide precursor solution. It is more preferable that it is 3-50 centipoise, and it is especially preferable that it is 5-20 centipoise. Therefore, it is preferable to perform the said polymerization reaction to the extent to which the polyamic acid (polyimide precursor) which produces | generates exhibits the above-mentioned viscosity. The organic solvent may also be added to the prepared polyamic acid solution to adjust the solution viscosity.

내열성 폴리이미드를 부여하는 폴리이미드 전구체 용액(a)으로부터 얻어지는 자기 지지성 필름은, 예를 들면 폴리이미드 전구체 용액(a)을 적당한 지지체(예를 들면, 금속, 세라믹, 플라스틱제의 롤, 또는 금속 벨트 등)의 표면상으로 유연하여 균일한 두께의 막 상태로 형성하고, 이어서 열풍, 적외선 등의 열원을 이용하여 바람직하게는 50~210℃, 더 바람직하게는 60~200℃로 가열하여 용매를 서서히 제거하고, 자기 지지성이 될 때까지(예를 들면, 지지체상으로부터 박리할 수 있는 정도까지) 건조함으로써 얻을 수 있다. The self-supporting film obtained from the polyimide precursor solution (a) which gives a heat resistant polyimide, for example, uses the polyimide precursor solution (a) as a suitable support body (for example, metal, ceramic, plastic roll, or metal). On the surface of the belt or the like) to form a film having a uniform thickness, and then, using a heat source such as hot air or infrared light, is preferably heated to 50 to 210 ° C, more preferably to 60 to 200 ° C, thereby It can remove by gradually removing and drying until it becomes self-supporting (for example, to the extent that it can peel from a support body).

내열성 폴리이미드를 부여하는 상기 자기 지지성 필름은 그 가열 감량이 20~40질량%의 범위에 있는 것이 바람직하고, 이미드화율이 8~40%의 범위에 있는 것이 바람직하다. 가열 감량 및 이미드화율이 상기 범위 내이면 자기 지지성 필름의 역학적 성질이 충분해지고, 자기 지지성 필름의 상부면에 폴리이미드 전구체 용액(b)을 깨끗하게 도공하기 쉬워져서 이미드화 후에 얻어지는 폴리이미드 필름에 발포, 균열, 크레즈(craze), 크랙, 금이 가는 등이 발생하기 어렵고, 또한 내열성 폴리이미드층과 열융착성 폴리이미드층의 접착 강도가 충분해진다. It is preferable that the said weight loss of the said self-supportive film which imparts a heat resistant polyimide exists in the range of 20-40 mass%, and it is preferable that an imidation ratio exists in the range which is 8-40%. If the heating loss and imidation ratio are in the said range, the mechanical property of a self-supporting film will become enough, and the polyimide film obtained after imidation will become easy to coat a polyimide precursor solution (b) on the upper surface of a self-supporting film cleanly. Foaming, cracking, craze, cracking, cracking, etc. are less likely to occur, and the adhesive strength of the heat-resistant polyimide layer and the heat-sealable polyimide layer becomes sufficient.

자기 지지성 필름의 가열 감량이란, 측정 대상의 필름을 400℃에서 30분간 건조하고, 건조 전의 중량(W1)과 건조 후의 중량(W2)으로부터 다음 식에 의해 구한 값이다. The heating loss of the self-supporting film is a value obtained by drying the film to be measured for 30 minutes at 400 ° C. from the weight (W 1 ) before drying and the weight (W 2 ) after drying by the following equation.

가열 감량(질량%)={(W1-W2)/W1}×100 Heating loss (mass%) = {(W 1 -W 2 ) / W 1 } × 100

자기 지지성 필름의 이미드화율은, 자기 지지성 필름과 그 풀큐어품(폴리이미드 필름)의 IR스펙트럼을 ATR법으로 각각 측정하고, 진동대 피크 면적의 비를 이용하여 산출할 수 있다. 진동대 피크로는 이미드카르보닐기의 비대칭 신축 진동대나, 벤젠환 골격 신축 진동대 등을 이용할 수 있다. 또 이미드화율 측정에 관하여, 일본 공개특허공보 평9-316199호에 기재된 칼 피셔 수분계를 이용하는 수법도 있다. The imidation ratio of a self-supporting film can respectively measure the IR spectrum of a self-supporting film and its full cure product (polyimide film) by ATR method, and can calculate it using the ratio of a shake table peak area. As a shake table peak, the asymmetrical stretching shake table of an imide carbonyl group, a benzene ring skeletal stretch shake table, etc. can be used. Moreover, about the imidation ratio measurement, there also exists a method of using the Karl Fischer moisture meter of Unexamined-Japanese-Patent No. 9-316199.

다음으로, 상기 자기 지지성 필름의 한쪽 면 또는 양면에, 열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리이미드 전구체 용액(b)을 도공한다. 폴리이미드 전구체 용액(b)은 지지체로부터 박리한 자기 지지성 필름에 도공해도 되고, 지지체로부터 박리하기 전에 지지체상의 자기 지지성 필름에 도공해도 된다. 도공은 자기 지지성 필름의 한쪽 면 또는 양면에 폴리이미드 전구체 용액(b)을 균일하게 실시하는 것이 바람직하다. 따라서, 폴리이미드 전구체 용액(a)의 자기 지지성 필름은 폴리이미드 전구체 용액(b)을 균질하게 도공할 수 있는 표면을 가지는 것이 바람직하다. Next, the polyimide precursor solution (b) which gives a heat-sealable polyimide to one or both surfaces of the said self-supporting film is coated. The polyimide precursor solution (b) may be coated on the self-supporting film peeled from the support, or may be coated on the self-supporting film on the support before peeling from the support. It is preferable that coating coats the polyimide precursor solution (b) uniformly on one or both surfaces of a self-supporting film. Therefore, it is preferable that the self-supporting film of a polyimide precursor solution (a) has a surface which can coat a polyimide precursor solution (b) uniformly.

폴리이미드 전구체 용액(a)으로부터 얻어지는 자기 지지성 필름에 폴리이미드 전구체 용액(b)을 도공하는 방법으로는 특별히 한정되지 않지만, 예를 들면, 그라비어 코트법, 스핀 코트법, 실크 스크린법, 딥 코트법, 스프레이 코트법, 바 코트법, 나이프 코트법, 롤 코트법, 블레이드 코트법, 다이 코트법 등의 공지의 도공 방법을 들 수 있다. Although it does not specifically limit as a method of coating a polyimide precursor solution (b) on the self-supporting film obtained from a polyimide precursor solution (a), For example, the gravure coat method, the spin coat method, the silk screen method, the dip coat Known coating methods, such as a method, a spray coating method, the bar coating method, the knife coating method, the roll coating method, the blade coating method, and the die coating method, are mentioned.

다음으로, 상기 폴리이미드 전구체 용액(b)을 도공한 폴리이미드 전구체 용액(a)의 자기 지지성 필름을, 가열·이미드화하여 열융착성 폴리이미드 필름을 얻는다. 이미드화를 위한 열처리의 최고 가열 온도는 350℃~600℃가 바람직하고, 380~520℃가 더 바람직하며, 390~500℃가 보다 바람직하고, 400~480℃가 더욱 바람직하다. Next, the self-supporting film of the polyimide precursor solution (a) which coated the said polyimide precursor solution (b) is heated and imidated, and a heat-sealing polyimide film is obtained. 350 degreeC-600 degreeC is preferable, as for the maximum heating temperature of the heat processing for imidation, 380-520 degreeC is more preferable, 390-500 degreeC is more preferable, 400-480 degreeC is still more preferable.

이미드화를 위한 가열 처리는 단계적으로 실시하는 것이 바람직하고, 우선 200℃ 이상 300℃ 미만의 온도에서 1분~60분간 제1차 가열 처리한 후에, 300℃ 이상 350℃ 미만의 온도에서 1분~60분간 제2차 가열 처리하고, 그 후, 바람직하게는 350℃~600℃, 더 바람직하게는 450~590℃, 보다 바람직하게는 490~580℃, 한층 더 바람직하게는 500~580℃의 최고 가열 온도에서 1분~30분간 제3차 가열 처리하는 것이 바람직하다. 이 가열 처리는 예를 들면 열풍로나 적외선 가열로 등의 공지의 장치를 사용해서 실시할 수 있다. 또한, 이 가열 처리는 폴리이미드 전구체 용액(b)을 도공한 폴리이미드 전구체 용액(a)의 자기 지지성 필름을 핀텐터, 클립 등으로 고정하여 실시하는 것이 바람직하다. It is preferable to perform the heat processing for imidation stepwise, and first, after 1st-60 minutes of 1 minute-60 minutes at the temperature of 200 degreeC or more and less than 300 degreeC, 1 minute-at the temperature of 300 degreeC or more and less than 350 degreeC Second heat treatment for 60 minutes, after that, preferably 350 ° C to 600 ° C, more preferably 450 to 590 ° C, more preferably 490 to 580 ° C, still more preferably 500 to 580 ° C. It is preferable to perform a 3rd heat processing at heating temperature for 1 minute-30 minutes. This heat treatment can be performed using well-known apparatuses, such as a hot stove and an infrared heating furnace, for example. Moreover, it is preferable to perform this heat processing by fixing the self-supporting film of the polyimide precursor solution (a) which coated the polyimide precursor solution (b) with a pin tenter, a clip, etc.

(공압출-유연 제막법에 의한 제조방법) (Manufacturing method by coextrusion-flexible film forming method)

본 발명에서 이용하는 열융착성 폴리이미드 필름은 공압출-유연 제막법(이하 간단히 "공압출법"이라고도 함)에 의해 내열성 폴리이미드층을 부여하는 도프액(폴리아믹산 용액, 폴리이미드 전구체 용액이라고도 함)과, 열융착성 폴리이미드층을 부여하는 도프액을 적층, 건조, 이미드화하는 방법으로 제조할 수도 있다. 이 공압출법은 예를 들면, 일본 공개특허공보 평3-180343호(일본 공고특허공보 평7-102661호)에 기재되어 있는 방법을 이용할 수 있다. The heat-sealing polyimide film used in the present invention is a dope liquid (polyamic acid solution, polyimide precursor solution) to impart a heat-resistant polyimide layer by a coextrusion-flexible film forming method (hereinafter also referred to simply as "coextrusion method"). ) And the dope liquid which gives a heat-sealable polyimide layer can also be manufactured by the method of laminating | stacking, drying, and imidating. As this coextrusion method, the method described in Unexamined-Japanese-Patent No. 3-180343 (Japanese Unexamined-Japanese-Patent No. 7-102661) can be used, for example.

보다 구체적으로 설명하면, 이 공압출법에서는 우선 2층 이상의 압출 성형용 다이스를 가지는 압출 성형기를 사용한다. 상기 다이스의 토출구로부터 내열성 폴리이미드층을 부여하는 도프액과 열융착성 폴리이미드층을 부여하는 도프액을 지지체상에 유연하고, 그로 인해 적층된 박막형상체를 형성한다. 그리고, 상기 지지체상의 박막형상체를 건조하여 다층의 자기 지지성 필름을 형성한다. 다음으로, 지지체상으로부터 다층의 자기 지지성 필름을 박리하고, 마지막으로 다층의 자기 지지성 필름을 가열 처리한다. 이 공정에 있어서, 지지체에 접하는 도프액은 내열성 폴리이미드층을 부여하는 도프액 및 열융착성 폴리이미드층을 부여하는 도프액 중 어느 것이어도 무방하다. 이때, 상기 건조에 있어서는 135℃를 초과하는 온도, 구체적으로는 140℃ 이상, 바람직하게는 145℃ 이상의 온도로 가열하여 자기 지지성 필름을 형성하는 것이 바람직하다. More specifically, in this coextrusion method, an extrusion molding machine having a die for extrusion molding of two or more layers is first used. The dope liquid which provides a heat resistant polyimide layer and the dope liquid which provides a heat-sealable polyimide layer are cast on the support body from the discharge port of the said die, and the laminated thin film form body is formed thereby. The thin film on the support is dried to form a multilayer self-supporting film. Next, the multilayer self-supporting film is peeled off from the support, and finally, the multilayer self-supporting film is heat treated. In this step, the dope liquid in contact with the support may be any of a dope liquid giving a heat resistant polyimide layer and a dope liquid giving a heat sealable polyimide layer. At this time, in the drying, it is preferable to form a self-supporting film by heating to a temperature exceeding 135 ° C, specifically 140 ° C or higher, preferably 145 ° C or higher.

2층 압출 성형용 다이스로는, 예를 들면 도프액의 공급구를 가지고, 도프액의 통로가 그 각 공급구로부터 각 매니폴드를 향하여 각각 형성되어 있으며, 그 매니폴드의 바닥부의 유로가 합류점에서 합류하고, 그 합류한 후의 도프액의 통로(립부)가 슬릿 형상의 토출구에 연이어 통하고 있어서, 이 토출구로부터 도프액이 박막형상으로 지지체상에 토출되는 구조(멀티 매니폴드형 2층 다이스)로 되어 있는 것을 들 수 있다. 상기 립부는 립 조정 볼트에 의해 그 간격을 조정할 수 있도록 되어 있다. As a two-layer extrusion die, it has a supply port of dope liquid, for example, the passage of a dope liquid is formed toward each manifold from each supply port, and the flow path of the bottom part of the manifold is at the confluence point. After the confluence, the passage (lip part) of the dope liquid after joining is connected to the slit-shaped discharge port so that the dope liquid is discharged onto the support in a thin film form (multi-manifold type two-layer die). It can be mentioned. The said lip part can adjust the space | interval by a lip adjustment bolt.

또한, 각 매니폴드의 바닥부(합류점에 가까운 부분)는 각 초크바에 의해 그 유로의 틈부의 간격이 조절된다. 상기 각 매니폴드는 행거 코트 타입의 형상을 가지고 있는 것이 바람직하다. 또한, 2층 압출 성형용 다이스로는 다이스 상부의 좌우에 각 도프액의 공급구를 가지고, 도프액의 통로가 칸막이 판을 구비한 합류점에서 즉시 합류하도록 되어 있다. 그 합류점으로부터 매니폴드에 도프액의 유로가 연이어 통하고 있고, 그 매니폴드의 바닥부의 도프액의 통로(립부)가 슬릿형상의 토출구에 연이어 통하고 있다. 이 토출구로부터 도프액이 홈막형상으로 지지체상에 토출되는 구조(피드블록형 2층 다이스 또는 싱글 매니폴드형 2층 다이스)로 되어 있는 것이어도 된다. 한편, 공압출-유연 제막법에서의 지지체상에 연속하여 압출하는 조작 이후의 건조 조건이나 가열 조건 등의 형태에 대해서는 상기 "도공법에 의한 제조방법"의 기재 내용을 그대로 적용할 수 있다. Moreover, the space | interval of the clearance gap of the flow path of the bottom part (part near a confluence point) of each manifold is adjusted by each choke bar. It is preferable that each said manifold has the shape of a hanger coat type. The die for two-layer extrusion has a supply port for each dope liquid on the left and right sides of the upper die, and the passage of the dope liquid is immediately joined at the confluence point provided with the partition plate. A flow path of the dope liquid is continuously connected to the manifold from the confluence point, and a passage (lip) of the dope liquid at the bottom of the manifold is connected to the slit discharge port. It may be a structure (feed block type 2-layer dice or single manifold type 2-layer dice) in which the dope liquid is discharged onto the support body in the form of a groove film from the discharge port. In addition, the description of the above-mentioned "manufacturing method by the coating method" can be applied as it is to the form of drying conditions, heating conditions, and the like after the continuous extrusion on the support in the coextrusion-flexible film forming method.

상기 2층 압출에 추가하여, 3층 이상 압출 성형용 다이스를 사용함으로써 2층 압출 성형과 동일한 성형방법으로 다층 압출 폴리이미드 필름을 제조할 수도 있다. 즉, 내열성 폴리이미드층을 부여하는 도프액과 열융착성 폴리이미드층을 부여하는 도프액을 사용하면 2층의 열융착성 폴리이미드 필름을 얻을 수 있다. 또한, 열융착성 폴리이미드층을 부여하는 제1 도프액 - 내열성 폴리이미드층을 부여하는 도프액 - 열융착성 폴리이미드층을 부여하는 제2 도프액의 구성으로 한 경우에는 3층의 열융착성 폴리이미드 필름을 얻을 수도 있다. 제1 도프액과 제2 도프액은 동일해도 되고 혹은 달라도 된다. In addition to the two-layer extrusion, a multilayer extruded polyimide film may be produced by the same molding method as the two-layer extrusion by using a die for three or more layers of extrusion molding. That is, when the dope liquid which gives a heat resistant polyimide layer and the dope liquid which gives a heat-sealing polyimide layer are used, two layers of heat-sealable polyimide films can be obtained. In addition, when it is set as the structure of the 1st dope liquid which gives a heat-sealable polyimide layer, the dope liquid which gives a heat-resistant polyimide layer, and the 2nd dope liquid which gives a heat-sealable polyimide layer, 3 layers of heat fusion You can also obtain a polyimide film. The first dope liquid and the second dope liquid may be the same or different.

[동장 적층판] Copper Clad Laminates

다음으로, 상기 열융착성 폴리이미드 필름을 이용한 동장 적층판의 제조방법에 대해서 설명한다. Next, the manufacturing method of the copper clad laminated board using the said heat-sealing polyimide film is demonstrated.

동장 적층판은 상기 열융착성 폴리이미드 필름의 열융착성 폴리이미드층상에 동박을 적층하여 이루어진다. 열융착성 폴리이미드 필름의 양면에 동박을 적층해도 되고, 열융착성 폴리이미드 필름의 한쪽 면에만 동박을 적층해도 된다. 동박을 열융착성 폴리이미드 필름의 한쪽 면에 적층하는 경우는, 한쪽 면 또는 양면에 열융착성 폴리이미드층을 가지는 상기 열융착성 폴리이미드 필름을 이용한다. 또한, 동박을 양면에 적층하는 경우는 양면에 열융착성 폴리이미드층을 가지는 상기 열융착성 폴리이미드 필름을 이용한다. A copper clad laminated board consists of laminating | stacking copper foil on the heat-sealing polyimide layer of the said heat-sealing polyimide film. Copper foil may be laminated | stacked on both surfaces of a heat-sealable polyimide film, and copper foil may be laminated | stacked only on one side of a heat-sealable polyimide film. When laminating | stacking copper foil on one side of a heat-sealing polyimide film, the said heat-sealing polyimide film which has a heat-sealing polyimide layer on one side or both surfaces is used. In addition, when laminating | stacking copper foil on both surfaces, the said heat-sealing polyimide film which has a heat-sealing polyimide layer on both surfaces is used.

상기 동박의 구체예로는 압연 동박이나 전해 동박 등을 들 수 있다. 동박의 두께는 특별히 제한은 없지만, 2~35㎛가 바람직하고, 5~18㎛가 특히 바람직하다. 두께가 5㎛ 이하인 동박으로는 캐리어 첨부 동박, 예를 들면 알루미늄박 캐리어 부착 동박을 사용할 수 있다. As a specific example of the said copper foil, a rolled copper foil, an electrolytic copper foil, etc. are mentioned. Although the thickness of copper foil does not have a restriction | limiting in particular, 2-35 micrometers is preferable and 5-18 micrometers is especially preferable. As copper foil whose thickness is 5 micrometers or less, copper foil with a carrier, for example, copper foil with an aluminum foil carrier, can be used.

본 발명에 있어서는 열융착성 폴리이미드층이 양면에 형성된 열융착성 폴리이미드 필름의 양면에 동박을 겹쳐서 열융착성 폴리이미드 필름과 동박을 열압착함으로써, 열융착성 폴리이미드 필름의 양면에 동박이 적층된 동장 적층판을 얻을 수 있다. 또한, 열융착성 폴리이미드층이 적어도 한쪽 면에 형성된 열융착성 폴리이미드 필름의 한쪽 면의 상기 열융착성 폴리이미드층상에 동박을 겹쳐서 열융착성 폴리이미드 필름과 동박을 열압착함으로써, 열융착성 폴리이미드 필름의 한쪽 면에 동박이 적층된 동장 적층판을 얻을 수 있다. In the present invention, the copper foil is coated on both sides of the heat-sealing polyimide film by laminating copper foil on both sides of the heat-sealing polyimide film formed on both sides of the heat-sealing polyimide layer and thermo-compressing the heat-sealing polyimide film and the copper foil. A laminated copper clad laminate can be obtained. In addition, heat-sealing by heat-sealing a heat-sealing polyimide film and a copper foil by laminating a copper foil on the heat-sealing polyimide layer on one side of the heat-sealing polyimide film having a heat-sealing polyimide layer formed on at least one side thereof The copper clad laminated board in which copper foil was laminated | stacked on one side of the sexual polyimide film can be obtained.

열융착성 폴리이미드 필름과 동박은 적어도 한 쌍의 가압 부재에 의해 가열하에서 연속적으로 열압착하는 것이 바람직하다. 가압부의 온도는 열융착성 폴리이미드의 유리 전이 온도보다도 50℃ 이상 높은 것이 바람직하고, 60℃ 이상 높은 것이 더욱 바람직하고, 70℃ 이상 높은 것이 한층 더 바람직하다. 이러한 가열 온도를 채용함으로써 열융착성 폴리이미드 필름과 동박이 강고하게 적층된 것이 된다는 유리한 효과를 발휘한다. 또 가열 온도는 420℃ 이하인 것이 열융착성 폴리이미드 필름 및 동박의 열 열화를 막는다는 점에서 바람직하다. 상술한 바와 같이, 열융착성 폴리이미드의 유리 전이 온도는 250℃ 이상인 것이 바람직하기 때문에, 구체적으로는 300℃ 이상 420℃ 이하의 온도의 범위에서 열압착하는 것이 바람직하고, 350℃ 이상 420℃ 이하의 온도의 범위에서 열압착하는 것이 보다 바람직하고, 360℃ 이상 420℃ 이하의 온도의 범위에서 열압착하는 것이 보다 바람직하다. It is preferable that a heat-sealable polyimide film and copper foil are continuously thermocompressed under heating by at least one pair of pressure members. It is preferable that the temperature of a press part is 50 degreeC or more higher than the glass transition temperature of a heat-sealing polyimide, It is more preferable that it is 60 degreeC or more high, It is further more preferable that it is 70 degreeC or more high. By employ | adopting such a heating temperature, the advantageous effect that a heat | fever sealing polyimide film and copper foil are laminated | stacked firmly is exhibited. Moreover, it is preferable that heating temperature is 420 degrees C or less from the point which prevents thermal deterioration of a heat-sealing polyimide film and copper foil. As described above, the glass transition temperature of the heat-sealable polyimide is preferably 250 ° C. or higher, and specifically, thermocompression bonding is preferably performed in a temperature range of 300 ° C. or higher and 420 ° C. or lower, and 350 ° C. or higher and 420 ° C. or lower. It is more preferable to thermo-compress in the range of temperature, and it is more preferable to thermo-compress in the range of the temperature of 360 degreeC or more and 420 degrees C or less.

가압 부재로는 한 쌍의 압착 금속 롤(압착부는 금속제, 세라믹 용사 금속제 중 어느 것이어도 됨), 더블 벨트 프레스 및 핫 프레스를 들 수 있다. 특히 가압하에 열압착 및 냉각할 수 있는 가압 부재가 바람직하고, 그 중에서도 특히 액압식의 더블 벨트 프레스를 바랍직하게 들 수 있다. 또한, 한 쌍의 압착 금속 롤에 의한 롤 라미네이트로도 간편하게 동장 적층판을 얻을 수 있다. As a press member, a pair of crimping metal rolls (any crimping part may be a metal and a ceramic sprayed metal may be sufficient), a double belt press, and a hot press are mentioned. In particular, a pressing member capable of thermocompression bonding and cooling under pressure is preferable, and a hydraulic double belt press is particularly preferred. Moreover, a copper clad laminated board can be obtained simply also by the roll lamination by a pair of crimping metal rolls.

본 발명에 있어서는 상기 가압 부재, 예를 들면 금속 롤이나 바람직하게는 더블 벨트 프레스를 사용하여, 열융착성 폴리이미드 필름과 동박과 보강재를 겹쳐서 연속적으로 가열하에 압착하여 긴 형상의 동장 적층판을 제조할 수 있다. In the present invention, by using the pressing member, for example, a metal roll or preferably a double belt press, the heat-sealing polyimide film, the copper foil, and the reinforcing material are laminated and pressed under continuous heating to produce a long copper clad laminate. Can be.

이러한 가압 부재를 이용하는 것은 열융착성 폴리이미드 필름 및 동박이 롤 감음 상태로 이용되고, 가압 부재에 각각 연속적으로 공급되어 동장 적층판이 롤 감음 상태로 얻어질 경우에 특히 바람직하다. The use of such a pressing member is particularly preferable when the heat-sealing polyimide film and the copper foil are used in the roll winding state, and are respectively supplied to the pressing member continuously to obtain the copper clad laminate in the roll winding state.

본 발명의 제조방법으로 얻어지는 동장 적층판은 열융착성 폴리이미드 필름 및 동박이 강고하게 적층된 것이 된다. 본 발명에 따르면, 예를 들면, JIS C6471의 방법으로 측정한 박리 강도가 0.5N/㎜ 이상, 바람직하게는 0.7N/㎜ 이상인 동장 적층판을 얻을 수 있다. 한편, 내열성 폴리이미드층의 양면에 열융착성 폴리이미드층이 적층된 3층의 열융착성 폴리이미드 필름 중, 열융착성 폴리이미드층에 동박이 적층된 동장 적층판에 있어서는, 박리 상태(박리 모드)는 내열성 폴리이미드층과 열융착성 폴리이미드 필름의 계면에서 박리하는 경우나, 열융착성 폴리이미드층과 동박의 계면에서 박리하는 경우 등이 있다. 따라서, 상술한 방법으로 측정된 박리 강도는 보다 접착력이 약한 계면의 박리 강도이다. 박리 강도의 측정방법에 대해서는 실시예의 항에서 설명한다. The copper clad laminated board obtained by the manufacturing method of this invention becomes a thing by which the heat-sealing polyimide film and copper foil were firmly laminated | stacked. According to the present invention, for example, a copper clad laminate having a peel strength of 0.5 N / mm or more, preferably 0.7 N / mm or more, measured by the method of JIS C6471 can be obtained. On the other hand, in the copper clad laminated board in which copper foil was laminated | stacked on the heat-sealable polyimide layer among three heat-sealable polyimide films in which the heat-sealable polyimide layer was laminated on both surfaces of the heat-resistant polyimide layer, the peeled state (peel mode) ) May be peeled off at the interface between the heat-resistant polyimide layer and the heat-sealable polyimide film, or peeled off at the interface between the heat-sealable polyimide layer and the copper foil. Therefore, the peeling strength measured by the method mentioned above is the peeling strength of the interface with weaker adhesive force. The measuring method of peeling strength is demonstrated in the term of an Example.

본 발명에서 얻어지는 동장 적층판은 성형 가공성이 양호하여, 그대로 구멍 뚫기 가공, 절곡 가공이나 짜는 가공, 금속 배선 형성 등이 가능하다. 따라서 본 발명에서 얻어지는 동장 적층판은 프린트 배선판, 플렉시블 프린트 기판, TAB 테이프 등의 전자부품이나 전자기기류의 소재로서 바람직하게 이용할 수 있다. The copper clad laminate obtained by the present invention has good moldability, and can be punched, bent or squeezed, metal wiring, or the like as it is. Therefore, the copper clad laminated board obtained by this invention can be used suitably as a raw material of electronic components, such as a printed wiring board, a flexible printed circuit board, and a TAB tape, and electronic equipment.

실시예Example

이하, 본 발명을 실시예에 기초하여 더욱 상세하게 설명한다. 그러나, 본 발명은 이하의 실시예에 의해 제한되는 것은 아니다. EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, this invention is demonstrated in detail based on an Example. However, the present invention is not limited by the following examples.

[각 평가의 측정방법] [Measurement method of each evaluation]

1. 동장 적층판의 박리 시험 1. Peel test of copper clad laminate

동장 적층판의 박리 강도는 JIS C6471의 방법으로 측정했다. Peeling strength of the copper clad laminate was measured by the method of JIS C6471.

2. 솔더 내열성 2. Solder Heat Resistance

동장 적층판의 한쪽 면의 일부와 다른 한쪽 면의 전체 면에 레지스트를 인쇄하고, 30℃에서 20~30분 에칭액에 침지하여 한쪽 면의 금속층이 일부 에칭되고, 다른 한쪽 면은 전체 면에 동박이 남은 적층판을 얻었다. 얻어진 적층판을 80℃에서 30분 건조하고, 85℃-85% RH의 환경하에서 24시간 이상 습도를 조정하였다. 이 샘플을 다양한 온도의 솔더욕에 60초간 플로트하고 샘플의 발포의 유무를 확인했다. 발포가 확인되지 않은 최고 온도를 솔더 내열 온도로 했다. A resist is printed on part of one side of the copper-clad laminate and the entire surface of the other side, and the metal layer on one side is partially etched by being immersed in an etchant at 30 ° C. for 20 to 30 minutes, and the other side is left with copper foil on the entire side. A laminated board was obtained. The obtained laminated board was dried at 80 degreeC for 30 minutes, and humidity was adjusted for 24 hours or more in the environment of 85 degreeC-85% RH. This sample was floated for 60 seconds in the solder bath of various temperature, and the presence or absence of foaming of the sample was confirmed. The maximum temperature at which foaming was not confirmed was made into the solder heat-resistant temperature.

3. 찢김 강도 3. tear strength

열융착성 폴리이미드 필름의 찢김 강도는 IPC-TM-6502.4.17.1의 방법으로 측정했다. The tear strength of the heat sealable polyimide film was measured by the method of IPC-TM-6502.4.17.1.

4. 내약품성 시험 4. Chemical resistance test

얻어진 동장 적층판의 한쪽 면의 일부에 레지스트를 인쇄하고, 30℃에서 20~30분 에칭액에 침지하여 한쪽 면의 동박이 일부 에칭된 적층판을 얻었다. 얻어진 적층판을 80℃에서 30분 건조시켰다. 이 적층판을 50℃로 가열된 10질량%의 수산화 나트륨 수용액에 30분간 침지한 후, 수세(水洗)하여 외관을 확인하였다. 외관에 변화가 없는 경우를 ○로 하고, 폴리이미드층과 동박 사이에서 박리가 생기고 있는 경우나, 폴리이미드층에 크랙이 발생하고 있는 경우는 ×로 했다. A resist was printed on a part of one side of the obtained copper clad laminated board, and it was immersed in etching liquid at 30 degreeC for 20 to 30 minutes, and the laminated board by which the copper foil of one side was partially etched was obtained. The obtained laminated board was dried at 80 degreeC for 30 minutes. After immersing this laminated board in 10 mass% sodium hydroxide aqueous solution heated at 50 degreeC for 30 minutes, it washed with water and confirmed the external appearance. The case where there was no change in an external appearance was made into (circle), and when peeling generate | occur | produced between a polyimide layer and copper foil, or when the crack generate | occur | produced in the polyimide layer was made into x.

5. 열융착성 폴리이미드의 유리 전이 온도 5. Glass transition temperature of heat sealable polyimide

열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리아믹산 용액을 유리판상에 코터를 이용하여 캐스트하고, 건조로 내에 있어서 120℃에서 15분간 건조시켜서 자기 지지성 필름을 얻었다. 얻어진 자기 지지성 필름을 사방 텐터에 붙이고, 가열로 내에서 150℃, 200℃, 250℃, 350℃에서 각각 2분간 유지하면서 승온하여, 두께 20㎛의 열융착성 폴리이미드로 이루어지는 단층의 필름을 얻었다. The polyamic acid solution which gives a heat-sealable polyimide was cast on the glass plate using the coater, and it dried in 120 degreeC in the drying furnace for 15 minutes, and obtained the self-supporting film. The obtained self-supporting film was stuck to a tenter on all sides, and it heated up, maintaining it for 2 minutes in 150 degreeC, 200 degreeC, 250 degreeC, and 350 degreeC in a heating furnace, and the single-layer film which consists of a 20 micrometers heat-sealable polyimide Got it.

얻어진 필름을, TA INSTRUMENTS사 제품 RSA G2형 동적 점탄성 측정 장치를 이용해서 승온속도 10℃/min, 주파수 1Hz의 조건으로 동적 점탄성 측정을 실시하여 tanδ의 피크 온도를 유리 전이 온도로 했다. The obtained film was subjected to dynamic viscoelasticity measurement under conditions of a temperature rising rate of 10 ° C./min and a frequency of 1 Hz using a RSA G2 type dynamic viscoelasticity measuring device manufactured by TA INSTRUMENTS, and the peak temperature of tan δ was defined as the glass transition temperature.

[내열성 폴리이미드를 부여하는 폴리아믹산 용액 A의 합성] [Synthesis of Polyamic Acid Solution A Imparting Heat Resistant Polyimide]

교반기, 질소 도입관을 구비한 반응 용기에 N,N-디메틸아세트아미드(이하 "DMAc"라고도 함)을 첨가하고, 또한 파라페닐렌디아민(PPD)과 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물(s-BPDA)을 대략 등몰 반응시켜서, 모노머 농도가 18질량%, 25℃에서의 용액 점도가 1500포이즈인 폴리아믹산 용액 A를 얻었다. N, N-dimethylacetamide (hereinafter also referred to as "DMAc") is added to the reaction vessel equipped with a stirrer and a nitrogen introduction tube, and also 3,3 ', 4,4'-ratio with paraphenylenediamine (PPD). Phenyl tetracarboxylic dianhydride (s-BPDA) was made to react substantially equimolarly, and the polyamic-acid solution A whose monomer concentration is 1500 mass and the solution viscosity in 25 degreeC is 1500 poise was obtained.

[내열성 폴리이미드를 부여하는 폴리아믹산 용액 B의 합성] [Synthesis of polyamic acid solution B imparting heat resistant polyimide]

교반기, 질소 도입관을 구비한 반응 용기에 DMAc을 첨가하고, 또한 디아민 성분으로서 PPD와, 4,4'-디아미노디페닐에테르(DADE)와, 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(이하 "BAPP"라고도 함)을 첨가했다. 이어서, 테트라카르복실산2무수물 성분으로서의 피로멜리트산무수물(PMDA)과 벤조페논테트라카르복실산2무수물(이하 "BTDA"라고도 함)을 첨가하여, 테트라카르복실산2무수물 성분과 디아민 성분을 반응시켜서, 모노머 농도가 18질량%, 25℃에서의 용액 점도가 1800포이즈인 폴리아믹산 용액 B를 얻었다. BTDA와 PMDA의 몰비는 10:90이며, PPD와 DADE와 BAPP의 몰비는 75:10:15였다. DMAc was added to the reaction vessel provided with a stirrer and a nitrogen inlet tube, and as a diamine component, PPD, 4,4'-diaminodiphenyl ether (DADE), and 2,2-bis [4- (4-amino Phenoxy) phenyl] propane (hereinafter also referred to as "BAPP") was added. Then, pyromellitic dianhydride (PMDA) and benzophenone tetracarboxylic dianhydride (hereinafter also referred to as "BTDA") as tetracarboxylic dianhydride components are added to react the tetracarboxylic dianhydride component with the diamine component. The polyamic-acid solution B whose monomer density | concentration is 18 mass% and the solution viscosity in 25 degreeC is 1800 poise was obtained. The molar ratio of BTDA and PMDA was 10:90 and the molar ratio of PPD, DADE and BAPP was 75:10:15.

[열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리아믹산 용액 C의 합성] [Synthesis of polyamic acid solution C giving a heat sealable polyimide]

교반기, 질소 도입관을 구비한 반응 용기에 DMAc을 첨가하고, 또한 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판(BAPP)을 첨가했다. 이어서, s-BPDA와 PMDA를 첨가하여 모노머 농도가 18질량%, 25℃에서의 용액 점도가 850포이즈인 폴리아믹산 용액 C를 얻었다. s-BPDA와 PMDA의 몰비는 10:90이었다. DMAc was added to the reaction container provided with the stirrer and the nitrogen inlet tube, and 2, 2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane (BAPP) was further added. Next, s-BPDA and PMDA were added, and the polyamic-acid solution C whose monomer concentration is 850 poise was 18 mass% and 25 degreeC. The molar ratio of s-BPDA and PMDA was 10:90.

[열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리아믹산 용액 D의 합성] [Synthesis of polyamic acid solution D imparting heat sealable polyimide]

교반기, 질소 도입관을 구비한 반응 용기에 DMAc을 첨가하고, 또한 BAPP를 첨가했다. 이어서, s-BPDA와 PMDA를 첨가하여 모노머 농도가 18질량%, 25℃에서의 용액 점도가 850포이즈인 폴리아믹산 용액 D를 얻었다. s-BPDA와 PMDA의 몰비는 20:80이었다. DMAc was added to the reaction container provided with the stirrer and the nitrogen inlet tube, and BAPP was further added. Subsequently, s-BPDA and PMDA were added and the monomer concentration was 18 mass%, and the polyamic-acid solution D whose solution viscosity in 25 degreeC is 850 poise was obtained. The molar ratio of s-BPDA and PMDA was 20:80.

[열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리아믹산 용액 E의 합성] [Synthesis of polyamic acid solution E imparting heat sealable polyimide]

교반기, 질소 도입관을 구비한 반응 용기에 DMAc을 첨가하고, 또한 BAPP를 첨가했다. 이어서, s-BPDA와 PMDA를 첨가하여 모노머 농도가 18질량%, 25℃에서의 용액 점도가 850포이즈인 폴리아믹산 용액 E를 얻었다. s-BPDA와 PMDA의 몰비는 22.5:77.5였다. DMAc was added to the reaction container provided with the stirrer and the nitrogen inlet tube, and BAPP was further added. Next, s-BPDA and PMDA were added, and the polyamic-acid solution E whose monomer concentration is 850 poise was 18 mass% and 25 degreeC. The molar ratio of s-BPDA and PMDA was 22.5: 77.5.

[열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리아믹산 용액 F의 합성] [Synthesis of polyamic acid solution F imparting heat sealable polyimide]

교반기, 질소 도입관을 구비한 반응 용기에 DMAc을 첨가하고, 또한 BAPP를 첨가했다. 이어서, s-BPDA와 PMDA를 첨가하여 모노머 농도가 18질량%, 25℃에서의 용액 점도가 850포이즈인 폴리아믹산 용액 F를 얻었다. s-BPDA와 PMDA의 몰비는 25:75였다. DMAc was added to the reaction container provided with the stirrer and the nitrogen inlet tube, and BAPP was further added. Subsequently, s-BPDA and PMDA were added, and the polyamic-acid solution F whose monomer viscosity is 850 poise was 18 mass% and 25 degreeC. The molar ratio of s-BPDA and PMDA was 25:75.

[열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리아믹산 용액 G의 합성] [Synthesis of polyamic acid solution G imparting heat sealable polyimide]

교반기, 질소 도입관을 구비한 반응 용기에 DMAc을 첨가하고, 또한 BAPP를 첨가했다. 이어서, s-BPDA와 PMDA를 첨가하여 모노머 농도가 18질량%, 25℃에서의 용액 점도가 850포이즈인 폴리아믹산 용액 G를 얻었다. s-BPDA와 PMDA의 몰비는 30:70이었다. DMAc was added to the reaction container provided with the stirrer and the nitrogen inlet tube, and BAPP was further added. Next, s-BPDA and PMDA were added, and the polyamic-acid solution G whose monomer viscosity is 850 poise was 18 mass% and 25 degreeC. The molar ratio of s-BPDA and PMDA was 30:70.

[열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리아믹산 용액 H의 합성] [Synthesis of polyamic acid solution H imparting heat sealable polyimide]

교반기, 질소 도입관을 구비한 반응 용기에 DMAc을 첨가하고, 또한 BAPP를 첨가했다. 이어서, PMDA를 첨가하여 모노머 농도가 18질량%, 25℃에서의 용액 점도가 850포이즈인 폴리아믹산 용액 H를 얻었다. DMAc was added to the reaction container provided with the stirrer and the nitrogen inlet tube, and BAPP was further added. Next, PMDA was added to obtain a polyamic acid solution H having a monomer concentration of 18 mass% and a solution viscosity of 850 poise at 25 ° C.

[열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리아믹산 용액 I의 합성] [Synthesis of Polyamic Acid Solution I Imparting Heat-Adhesive Polyimide]

교반기, 질소 도입관을 구비한 반응 용기에 DMAc을 첨가하고, 또한 BAPP를 첨가했다. 이어서, s-BPDA와 PMDA를 첨가하여 모노머 농도가 18질량%, 25℃에서의 용액 점도가 850포이즈인 폴리아믹산 용액 I를 얻었다. s-BPDA와 PMDA의 몰비는 40:60이었다. DMAc was added to the reaction container provided with the stirrer and the nitrogen inlet tube, and BAPP was further added. Subsequently, s-BPDA and PMDA were added, and the polyamic-acid solution I whose monomer concentration is 18 mass% and the solution viscosity in 25 degreeC is 850 poise was obtained. The molar ratio of s-BPDA and PMDA was 40:60.

[열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리아믹산 용액 J의 합성] [Synthesis of polyamic acid solution J imparting heat sealable polyimide]

교반기, 질소 도입관을 구비한 반응 용기에 DMAc을 첨가하고, 또한 BAPP와 PPD를 첨가했다. 이어서, s-BPDA를 첨가하여 모노머 농도가 18질량%, 25℃에서의 용액 점도가 850포이즈인 폴리아믹산 용액 J를 얻었다. BAPP와 PPD의 몰비는 70:30이었다. DMAc was added to the reaction container provided with the stirrer and the nitrogen inlet tube, and BAPP and PPD were further added. Subsequently, s-BPDA was added to obtain a polyamic acid solution J having a monomer concentration of 18 mass% and a solution viscosity of 850 poise at 25 ° C. The molar ratio of BAPP and PPD was 70:30.

[열융착성 폴리이미드를 부여하는 폴리아믹산 용액 K의 합성] [Synthesis of polyamic acid solution K imparting heat sealable polyimide]

교반기, 질소 도입관을 구비한 반응 용기에 DMAc을 첨가하고, 또한 BAPP를 첨가했다. 이어서, s-BPDA를 첨가하여 모노머 농도가 18질량%, 25℃에서의 용액 점도가 850포이즈인 폴리아믹산 용액 K를 얻었다. DMAc was added to the reaction container provided with the stirrer and the nitrogen inlet tube, and BAPP was further added. Next, s-BPDA was added to obtain a polyamic acid solution K having a monomer concentration of 18% by mass and a solution viscosity of 850 poise at 25 ° C.

(열융착성 폴리이미드 필름 및 동장 적층판) (Thermal Adhesive Polyimide Film and Copper Clad Laminate)

[실시예 1] Example 1

3층 압출 다이스로부터, 평활한 금속제 지지체의 상부면에 폴리아믹산 용액 C(열융착층) - 폴리아믹산 용액 A(코어층) - 폴리아믹산 용액 C(열융착층)이 되도록 폴리아믹산 용액 A와 폴리아믹산 용액 C를 압출해서 유연하여 박막형상으로 했다. 박막형상의 유연물을 145℃의 열풍으로 연속적으로 건조하여 자기 지지성 필름을 형성했다. 자기 지지성 필름을 지지체로부터 박리한 후, 가열로에서 200℃에서 460℃까지 서서히 가열해서(최고 가열 온도는 460℃) 용매의 제거와 이미드화를 실시하여, 두께 12.5㎛(2개의 열융착층의 두께는 각각 2.5㎛이며, 코어층의 두께는 7.5㎛)의 3층 구조의 열융착성 폴리이미드 필름을 얻었다. 이 열융착성 폴리이미드 필름의 찢김 강도를 표에 나타낸다. From the three-layer extrusion die, the polyamic acid solution A and the polya so as to be polyamic acid solution C (heat seal layer)-polyamic acid solution A (core layer)-polyamic acid solution C (heat seal layer) on the upper surface of the smooth metal support. The mixed acid solution C was extruded and cast to form a thin film. The thin film flexible material was continuously dried with hot air at 145 ° C to form a self-supporting film. After peeling a self-supporting film from a support body, it heats gradually from 200 degreeC to 460 degreeC in a heating furnace (maximum heating temperature is 460 degreeC), removes a solvent and imidizes it, and is 12.5 micrometers in thickness (two heat bonding layers) The thickness of was 2.5 micrometers, respectively, and the thickness of the core layer was 7.5 micrometers), and the heat | fever adhesive polyimide film of the three-layered structure was obtained. The tear strength of this heat-sealing polyimide film is shown in a table.

다음으로, 얻어진 열융착성 폴리이미드 필름의 양면에 동박(미쓰이금속광업주식회사 제품, 3EC-M3S-HTE, 두께 12㎛)을 겹쳐서 온도 370℃, 여열 5분, 프레스 압력 3MPa, 프레스 시간 1분으로 열압착함으로써 열융착성 폴리이미드 필름의 양면에 동박이 적층된 동장 적층체를 얻었다. 이 동장 적층체의 박리 강도, 솔더 내열 및 내약품성의 각 평가를 실시했다. 그 결과를 표에 나타낸다. Next, copper foil (Mitsui Metal Co., Ltd. product, 3EC-M3S-HTE, thickness 12 micrometers) was laminated | stacked on both surfaces of the obtained heat-sealing polyimide film, and the temperature was 370 degreeC, the heat of 5 minutes, press pressure 3MPa, press time 1 minute. The copper clad laminated body by which copper foil was laminated | stacked on both surfaces of the heat | fever adhesive polyimide film by thermocompression bonding was obtained. Each evaluation of peeling strength, solder heat, and chemical resistance of this copper clad laminate was performed. The results are shown in the table.

[실시예 2~5, 비교예 1~4] [Examples 2-5, Comparative Examples 1-4]

폴리아믹산의 종류를 표에 나타내는 것으로 바꾼 것 이외에는 실시예 1과 동일하게 하여 열융착성 폴리이미드 필름 및 동장 적층판을 얻었다. 각 평가 결과를 표 1에 나타낸다. Except having changed the kind of polyamic acid to what is shown in a table | surface, it carried out similarly to Example 1, and obtained the heat-sealable polyimide film and the copper clad laminated board. Table 1 shows the results of each evaluation.

Figure 112017081926930-pct00001
Figure 112017081926930-pct00001

표 1에 나타내는 결과로부터 명백하듯이, 각 실시예의 방법으로 제조된 동장 적층판은, 비교예의 방법으로 제조된 동장 적층판에 비해 박리 강도가 높고, 솔더 내열성 및 내약품성이 뛰어난 것을 알 수 있다. As is apparent from the results shown in Table 1, it is understood that the copper clad laminate produced by the method of each example has a higher peel strength and superior solder heat resistance and chemical resistance than the copper clad laminate produced by the method of the comparative example.

이상, 상술한 바와 같이, 본 발명에 따르면 특정 열융착성 폴리이미드 필름과 동박을, 특정 조건하에서 열압착함으로써 내열성이 뛰어나고, 폴리이미드 필름과 동박의 박리 강도가 높은 동장 적층판을 얻을 수 있다. As mentioned above, according to this invention, according to this invention, the copper clad laminated board which is excellent in heat resistance and high in peeling strength of a polyimide film and copper foil can be obtained by thermocompression bonding a specific heat-sealing polyimide film and copper foil on specific conditions.

Claims (5)

내열성 폴리이미드층과 열융착성 폴리이미드층이 적층된 열융착성 폴리이미드 필름으로서,
상기 열융착성 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드는 테트라카르복실산 성분과 디아민 성분으로부터 얻어지고,
상기 테트라카르복실산 성분이 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물을 10~30몰% 포함하고, 또한 피로멜리트산2무수물을 70~90몰% 포함하며,
상기 디아민 성분이 2,2-비스[4-(4-아미노페녹시)페닐]프로판을 50몰% 초과하여 포함하고,
상기 내열성 폴리이미드층을 구성하는 폴리이미드는 테트라카르복실산 성분과 디아민 성분으로부터 얻어지며,
상기 테트라카르복실산 성분이 3,3',4,4'-비페닐테트라카르복실산2무수물이고,
상기 디아민 성분이 p-페닐렌디아민이며,
상기 열융착성 폴리이미드 필름의 찢김 강도가 1.7N/㎜ 이상이고, 솔더 내열 온도가 280℃ 이상이며,
상기 열융착성 폴리이미드 필름의 열융착성 폴리이미드층측 표면에 동박이 적층된 동장 적층판의 JIS C6471의 방법으로 측정한 박리 강도가 0.5N/㎜ 이상인, 열융착성 폴리이미드 필름.
A heat sealable polyimide film in which a heat resistant polyimide layer and a heat sealable polyimide layer are laminated,
The polyimide which comprises the said heat-sealing polyimide layer is obtained from a tetracarboxylic-acid component and a diamine component,
The tetracarboxylic acid component contains 10 to 30 mol% of 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride, and 70 to 90 mol% of pyromellitic dianhydride,
The diamine component contains more than 50 mol% of 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane,
The polyimide constituting the heat resistant polyimide layer is obtained from a tetracarboxylic acid component and a diamine component,
The tetracarboxylic acid component is 3,3 ', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride,
The diamine component is p-phenylenediamine,
The tear strength of the heat-sealing polyimide film is 1.7 N / mm or more, the solder heat resistance temperature is 280 ° C. or more,
The heat-sealing polyimide film whose peeling strength measured by the method of JIS C6471 of the copper clad laminated board in which the copper foil was laminated | stacked on the heat-sealing polyimide layer side surface of the said heat-sealing polyimide film is 0.5 N / mm or more.
제1항에 있어서,
박리 부분이 열융착성 폴리이미드층과 동박의 계면인, 열융착성 폴리이미드 필름.
The method of claim 1,
The heat-sealing polyimide film whose peeling part is an interface of a heat-sealing polyimide layer and copper foil.
제1항 또는 제2항에 기재된 열융착성 폴리이미드 필름의 열융착성 폴리이미드층측 표면에 동박이 적층된, 동장 적층판.The copper clad laminated board in which copper foil was laminated | stacked on the heat-sealing polyimide layer side surface of the heat-sealing polyimide film of Claim 1 or 2. 제1항 또는 제2항에 기재된 열융착성 폴리이미드 필름의 열융착성 폴리이미드층측 표면에 동박을 겹쳐서 350℃ 이상, 420℃ 이하의 온도 범위에서 열압착하는 것을 특징으로 하는, 동장 적층판의 제조방법.Copper foil is laminated | stacked on the heat-sealing polyimide layer side surface of the heat-sealing polyimide film of Claim 1, or 2 and thermocompression bonding is carried out at the temperature range of 350 degreeC or more and 420 degrees C or less, The manufacture of the copper clad laminated board Way. 삭제delete
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